Tytuł projektu: Wysokorozdzielcza litografia optyczna i elektronowa przy użyciu rezystów na bazie cieczy jonowych
Instytucja: Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Miasto: Warszawa
Województwo: mazowieckie
Kierownik projektu: dr Katarzyna Małgorzata Komorowska
Panel: ST8 (obszar: ST)
Liczba wykonawców: 9
Finansowanie: 1351320 PLN
Okres realizacji: 2020-08-27 00:00:00 – 2023-05-26 00:00:00 (33 miesięcy)