Tytuł projektu: Technologia i charakteryzacja ultracienkich warstw krzemu wytwarzanych metodą PECVD na potrzeby struktur nanoelektronicznych
Instytucja: Politechnika Warszawska, Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych
Miasto: Warszawa
Województwo: mazowieckie
Kierownik projektu: prof. Romuald Bartłomiej Beck
Panel: ST7 (obszar: ST)
Liczba wykonawców: 17
Finansowanie: 598720 PLN
Okres realizacji: 2012-08-30 00:00:00 – 2016-02-29 00:00:00 (42 miesięcy)