Tytuł projektu: Wytwarzanie wysokiej próżni w mikro- i nanosystemach
Instytucja: Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
Miasto: Wrocław
Województwo: dolnośląskie
Kierownik projektu: dr hab. Anna Górecka-Drzazga
Panel: ST7 (obszar: ST)
Liczba wykonawców: 5
Finansowanie: 889600 PLN
Okres realizacji: 2014-03-11 00:00:00 – 2017-03-10 00:00:00 (36 miesięcy)