Heinrich Himmler
Thăng tiến trong lực lượng SS

Bài chi tiết: Machtergreifung
Sau khi thủ lĩnh SS Erhard Heiden từ chức vào tháng 1 năm 1929, Hitler phê chuẩn cho Himmler đảm đương chức vụ Reichsführer-SS (Thống chế SS); và ông vẫn thực hiện nhiệm vụ của mình tại sở chỉ huy truyền thông. Một trong những việc đầu tiên của Himmler là tái cơ cấu SS tại Đại hội Nuremberg vào tháng 9 năm đó. Trong năm tiếp theo, Himmler phát triển SS từ một lực lượng 290 người lên thành khoảng 3.000 người. Đến năm 1930 Himmler đã thuyết phục được Hitler cho SS hoạt động như là một tổ chức riêng biệt, mặc dù về mặt chính thức nó vẫn còn trực thuộc SA.
Để thâu tóm quyền lực chính trị, Đảng Quốc xã đã khai thác lợi thế kinh tế tụt dốc trong cuộc Đại Suy thoái. Chính phủ liên hiệp của Cộng hòa Weimar không thể cải thiện tình hình kinh tế, nên nhiều cử tri đã chuyển hướng sang tư tưởng chính trị cực đoan, trong đó có Đảng Quốc xã. Hitler đã dùng thuật hùng biện dân túy, trong đó đổ lỗi cho những "bia đỡ đạn" khác-đặc biệt là người Do Thái-cho những khó khăn của nền kinh tế. Trong cuộc bầu cử năm 1932, Đảng Quốc xã thắng 37,3% số phiếu bầu và 230 ghế trong Reichstag (một cơ quan lập pháp; nghị viện). Hitler được Tổng thống Paul von Hindenburg bổ nhiệm làm Thủ tướng Đức vào ngày 30 tháng 1 năm 1933, dẫn đầu một liên minh tồn tại ngắn ngủi bao gồm những thành viên Quốc xã và Đảng Nhân dân Quốc gia Đức. Nội các mới ban đầu chỉ bao gồm ba thành viên của Đảng Quốc xã; Hitler, Hermann Göring với tư cách một bộ trưởng không bộ và Bộ trưởng Nội vụ Phổ, và Wilhelm Frick với tư cách Bộ trưởng Nội vụ Đế chế. Chưa đầy một tháng sau, tòa nhà Reichstag bị cháy. Hitler lợi dụng sự kiện này để buộc von Hindenburg ký nghị định hỏa hoạn Reichstag (hay "Nghị định của Tổng thống Đế chế cho việc Bảo vệ Nhân dân và Nhà nước"), trong đó đình chỉ các quyền cơ bản và cho phép giam giữ không qua xét xử. Đạo luật Trao quyền (Ermächtigungsgesetz, tên chính thức: Gesetz zur Behebung der Not von Volk und Reich, tạm dịch: "Luật Khắc phục Tai họa của Nhân dân và Đế chế") được Reichstag cho thông qua vào năm 1933 giúp Hitler nắm trong tay đầy đủ quyền lập pháp, và trên thực tế đất nước đã trở thành một chế độ độc tài. Vào ngày 1 tháng 8 năm 1934, nội các của Hitler đã cho thông qua một luật trong đó quy định rằng vào thời điểm von Hindenburg chết, chức vụ tổng thống sẽ bị bãi bỏ và những quyền hạn của nó sẽ được sáp nhập với quyền hạn của thủ tướng. Von Hindenburg qua đời sáng hôm sau, và Hitler đã trở thành người đứng đầu nhà nước và chính phủ dưới danh nghĩa Führer und Reichskanzler (Lãnh tụ và Thủ tướng).
Đảng Quốc xã lên nắm quyền tạo điều kiện cho Himler và đội quân SS thăng tiến mạnh mẽ. Đến năm 1933, số thành viên SS đã tăng lên thành 52.000. Những yêu cầu tuyển chọn là nghiêm ngạt để đảm bảo tất cả thành viên đều thuộc chủng tộc thượng đẳng (Herrenvolk) Aryan của Hitler. Các ứng viên đã được xem xét kỹ lưỡng những phẩm chất Bắc Âu-trong lời của Himmler: "giống như một người làm vườn cố gắng tái tạo những giống cũ, tốt mà đã bị pha trộn và làm giảm giá trị; chúng ta bắt đầu từ các nguyên tắc lựa chọn cây trồng và tiếp theo hành động hoàn toàn không ngại ngùng để loại trừ những người mà chúng ta không nghĩ là chúng ta có thể sử dụng cho việc xây dựng SS." Có một số rất ít người đã dám nêu ra rằng với những tiêu chuẩn mà Himmler đưa ra thì chính ông ta cũng không đáp ứng được.
Khả năng tổ chức, trí tuệ ham học hỏi đã giúp ích cho Himmler khi ông bắt đầu thiết lập các phòng ban SS khác nhau. Vào năm 1931 ông bổ nhiệm Reinhard Heydrich làm người đứng đầu cơ quan tình báo mới ('Ic Service'), sang năm 1932 nó được đổi tên thành Sicherheitsdienst (Cơ quan An ninh). Himmler sau này chính thức bổ nhiệm Heydrich làm phụ tá của mình. Hai người đã có một mối quan hệ tốt trong công việc và có sự tôn trọng lẫn nhau. Vào năm 1933, họ bắt đầu tách SS ra khỏi sự kiểm soát của SA. Cùng với Bộ trưởng Nội vụ Frick, bọn họ kỳ vọng tạo nên một lực lượng cảnh sát Đức thống nhất. Tháng 3 năm 1933, Thống đốc Đế chế vùng Bavaria Franz Ritter von Epp bổ nhiệm Himmler chức Trưởng Cảnh sát Munich. Himmler bổ nhiệm Heydrich làm chỉ huy cục IV, cảnh sát mật. Cũng trong năm đó, Hitler thăng cho Himmler lên cấp bậc SS-Obergruppenführer (Trung tướng SS), tương đương chỉ huy cao cấp của SA. Kể từ đó, Himmler và Heydrich nhanh chóng tiếp quản lực lượng cảnh sát mật hết bang này đến bang khác; chỉ còn Phổ là nằm dưới quyền kiểm soát của Göring.
Himmler còn thành lập thêm SS-Rasse- und Siedlungshauptamt (hay RuSHA, tạm dịch: Cơ quan Trung ương Định cư và Chủng tộc SS), một tổ chức phân biệt chủng tộc và bài Do Thái. Ông bổ nhiệm Darré, cấp bậc SS-Gruppenführer (Thiếu tướng SS), làm người đứng đầu cơ quan này. Chức năng của nó là thực hiện các chính sách chủng tộc và theo dõi "tính toàn vẹn chủng tộc" của các thành viên SS. Vấn đề chủng tộc được soi xét rất kỹ trong lý lịch của các thành viên. Vào ngày 31 tháng 12 năm 1931, Himmler giới thiệu "quy định kết hôn", trong đó yêu cầu thành viên SS muốn kết hôn phải cung cấp gia phả chứng minh rằng cả hai bên gia đình đều thuộc dòng dõi Aryan, từ năm 1800 đến hiện tại. Trong cuộc điều tra chủng tộc, nếu tìm thấy bất kỳ ai trong gia phả không phải người Aryan, cá nhân liên quan sẽ bị trục xuất ra khỏi SS. Mỗi người sẽ phải đưa ra một Sippenbuch, một hồ sơ phả hệ chi tiết về lịch sử nguồn gốc của mình. Himmler mong muốn mỗi cuộc hôn nhân của các thành viên SS sẽ tạo ra ít nhất bốn đứa trẻ, từ đó gia tăng nhanh chóng số lượng người mang chủng tộc ưu việt và đó sẽ là những thành viên SS tương lai. Tuy nhiên, chương trình này đem lại kết quả đáng thất vọng, chỉ có ít hơn 40% thành viên SS kết hôn và trung bình mỗi người trong số đó chỉ tạo ra được tầm một đứa trẻ.
Vào tháng 3 năm 1933, chưa đầy ba tháng kể từ thời điểm Quốc xã lên nắm quyền, Himmler cho thành lập trại tập trung chính thức đầu tiên ở Dachau. Hitler phát biểu rằng ông không muốn nó chỉ là một trại tù hay trại giam giữ khác. Himmler bổ nhiệm Theodor Eicke, một tội phạm nghiêm trọng từng bị kết án và cuồng nhiệt lý tưởng Quốc xã làm chỉ huy điều hành trại vào tháng 6 năm 1933. Eicke đã phát minh ra một hệ thống được sử dụng như là hình mẫu cho các trại tập trung tương lai trên khắp nước Đức. Những điểm đặc trưng của nó bao gồm khả năng cô lập các nạn nhân với thế giới bên ngoài, những chi tiết công việc và các cuộc gọi điểm danh được sửa soạn công phu, sử dụng vũ lực và hành quyết để buộc tù nhân phải vâng lời, và một bộ luật nghiêm khắc về tính kỷ luật cho những lính canh. Các tù nhân và lính canh đều được trao đồng phục; trong đó đồng phục của lính canh có một phù hiệu Totenkopf (đầu lâu) đặc biệt trên cổ áo. Đến thời điểm kết thúc năm 1934, Himmler đã giành quyền kiểm soát các trại dưới sự bảo hộ của SS và tạo ra một lực lượng riêng biệt: SS-Totenkopfverbände (Đơn vị Đầu Tử thần).
Ban đầu các khu trại dành để giam giữ những đối thủ chính trị; qua thời gian, trại tiếp nhận thêm các đối tượng mà xã hội Đức không mong muốn như tội phạm, những người lang thang, người không bình thường (người lệch chuẩn). Một nghị định của Hitler ban hành vào tháng 12 năm 1937 đã cho phép bắt giữ bất kỳ người nào mà chế độ cho rằng đó là thành viên không mong muốn của xã hội. Trong đó bao gồm người Do Thái, người Di-gan, người cộng sản, những người thuộc bất kỳ nền văn hóa, chủng tộc, chính trị, hay tôn giáo nào khác mà Quốc xã cho là Untermensch (hạ đẳng, chưa giống con người). Tính đến thời điểm chiến tranh thế giới thứ II bùng nổ vào mùa thu năm 1939, đã có 6 trại được thành lập và chúng là nơi ở của khoảng 27.000 tù nhân. Số nạn nhân thiệt mạng trong các trại là cao.