Các chiến dịch bắc phạt thời Đông Tấn
Giai đoạn thứ năm > Chu Linh Thạch vào đất Thục

Sau khi diệt Nam Yên, Lưu Dụ tạm thời đưa chủ lực về nam để tập trung tiêu diệt khởi nghĩa của Lư Tuần. Còn ở miền tây, vào năm 405, người quận Ba Tây là Tiều Túng xây dựng lực lượng, chiếm cứ đất Thục, đóng ở Thành Đô, lập ra nước Tiều Thục (405 - 413). Tiều Túng xưng thần với nước Hậu Tần và liên kết với thế lực của họ Hoàn và Lư Tuần, đánh phá nhà Tấn. Trước tình hình đó, Lưu Dụ nhiều lần đưa quân sang đánh Thục nhưng không thu được kết quả đáng kể.
Năm 406, Lưu Dụ cử các tướng Mao Tu Chi, Tư Mã Vinh Kỳ, Văn Xử Mậu, Thời Diên Tổ tiến quân về phía tây đánh Thục. Trên đường đi, Tư Mã Vĩnh Kì bị thủ hạ Dương Thừa Tổ ám hại, quân Tấn đành phải rút về. Mãi đến năm 407, Dương Thừa Tổ mới bị diệt, Lưu Dụ lại cử Lưu Kính Tuyên đánh Thục một lần nữa. Tiều Túng bèn sang xưng thần với Hậu Tần để được giúp đỡ. Đến cuối năm 408, Lưu Kính Tuyên tiến sang vùng Hoàng Hổ thì Diêu Hưng cũng đưa quân đến cứu Thục. Tướng Thục là Tiều Đạo Phúc đưa quân chống cự với Kính Tuyên hơn 60 người. Cuối cùng quân Tấn hết lương đành phải lui về.
Sang năm 410, Tiều Túng lại đánh phá miền Kinh châu, chiếm được quận Ba Đông. Trước tình thế ấy, tháng 12 năm 412, Lưu Dụ quyết định diệt Tiều Thục, phái Thái thú Tây Dương Chu Linh Thạch làm Thứ sử Ích châu cùng Ninh Sóc tướng quân Tang Hỉ, thái thú Hạ Bi Lưu Chung và thái thú Lan Lăng Khoái Ân cùng dẫn 20000 quân từ Giang Lăng đánh vào đất Thục. Trước khi ra trận, Lưu Dụ dặn kế cho Linh Thạch nên tấn công theo tuyến đường dài hơn đến kinh thành Tây Thục là Thành Đô theo Mân giang, và dùng nghi binh theo Phù Giang ở gần nhằm phân tán sự phòng thủ của quân Thục. Có tướng Mao Tu Chi xin được cùng ra trận nhưng Lưu Dụ sợ rằng Tu Chi mà vào đất Thục sẽ giết hại nhiều làm dân Thục oán hận nên không chịu. Linh Thạch đi theo đúng lộ trình đó, Tiều Túng quả nhiên mắc mưu nên phái Tiều Đạo Phúc đóng quân ở Phù Thành, nhưng Linh Thạch đã đi theo đường khác rồi.
Tháng 5, quân của Chu Linh Thạch tiến vào thành Bạch Đế. Linh Thạch tiếp tục đánh Bình Mô, còn cách Thành Đô 200 dặm. Tiều Túng lại sai Đại tướng quân Hầu Huy, Thượng thư bộc xa Tiếu Sân đến Bình Mô nghênh chiến. Các tướng Tấn thấy rằng ở phía bắc có nhiều binh Thục nên muốn tấn công vào phía nam thành. Linh Thạch nói:
-Kim đồ nam thành, bất túc dĩ phá bắc, nhược tận duệ dĩ bạt bắc thành, tắc nam thành bất huy tự tán hĩ.
Đến tháng 7 năm 413, Chu Linh Thạch hạ được thành phía bắc, giết Hầu Huy và Tiếu Sân rồi chiếm luôn thành nam, sau đó bỏ thuyền kéo thẳng về Thành Đô. Trên đường đi, quân Tấn gặp phải sự kháng cự của đại tướng Tiếu Phủ nhưng nhanh chóng đánh tan.
Mấy ngày sau, quân Tấn vào Thành Đô. Tiều Túng bỏ thành mà chạy. Thượng thư lệnh của Túng là Mã Đam mở cửa cho quân Tấn kéo vào. Thành Đô rơi vào tay quân Tấn. Chu Linh Thạch cho giết hết thân thích của Tiều Túng
Về phần Tiều Túng, ông ta chạy đến chỗ của Tiều Đạo Phúc nhưng bị Đạo Phúc mắng chửi và muốn giết đi, nên lại bỏ chạy tiếp, cuối cùng thắt cổ tự tử, bị người quận Ba Tây là Vương Chí chém đầu của Túng, nộp cho Chu Linh Thạch.
Linh Thạch lại đánh sang Phù Thành. Tiều Đạo Phúc biết không giữ được nữa, bèn đem vàng bạc thưởng cho quân sĩ rồi cho họ bỏ trốn, còn mình trốn đến Quảng Hán, bị người Quảng Hán là Đỗ Cẩn bắt được và bị đem chém đầu.
Thế là Tiều Thục bị diệt vong. Triều đình nhà Tấn xét công, phong Chu Linh Thạch làm Giám quân sáu quận của hai châu Lương, Thần, tước Phong Thành huyện hầu. Đất Thành Đô trở về tay nhà Tấn.