Các chiến dịch bắc phạt thời Đông Tấn
Giai đoạn thứ năm > Tiêu diệt Hậu Tần

Bài chi tiết: Chiến tranh Đông Tấn-Hậu Tần
Năm 415, Diêu Hưng chết, Hậu Tần lâm vào tình trạng suy yếu. Lưu Dụ ở Kiến Khang cũng gấp rút chuẩn bị kế hoạch bắc phạt một lần nữa. Tháng 8 ÂL năm 416, Lưu Dụ đưa quân từ Kiến Khang ra Bành Thành, rồi phái các tướng gồm Quan Quân tướng quân Đàn Đạo Tế, Long Tương tướng quân Vương Trấn Ác tiến binh ra Hoài Hà, công đánh Tất Khâu và Hạng Thành, tướng Trần Lâm Tử qua sông đánh vùng Thương Viên thuộc lãnh thổ Hậu Tần.
Quân Tấn nhanh chóng giành thắng lợi ngay từ những trận đánh đầu tiên. Tướng Tần Vương Cẩu Sanh đem thành Tất Khâu hàng Vương Trấn Ác, thứ sử Từ châu Diêu Chưởng ở Hạng Thành cũng đầu hàng Đàn Đạo Tế... Quân Tấn nhanh chóng vào đến Dĩnh Khẩu trong khi các tướng Tần lũ lượt sang hàng, duy chỉ có Thái thú Tân Thái Đổng Tuân cố sức chống giữ. Đàn Đạo Tế đem quân công phá, bắt được Tuân. Đổng Tuân lên tiếng mắng chửi Đạo Tế nên bị Đạo Tế giết.
Trong triều đình Hậu Tần, Diêu Thiệu về Trường An, khuyên vua Tần là Diêu Hoằng
Tuy nhiên Tả bộc xạ Lương Hỉ cho rằng người em họ của Diêu Hoằng là Tề công Diêu Khôi ở An Định dũng mạnh thiện chiến, lại có thâm thù với Hách Liên Bột Bột, sẽ cố sức giữ An Định, thì Bột Bột không thể đánh tới kinh được. Còn nếu triệu Khôi về, thì các thành bên ngoài sẽ lâm nguy. Hoằng nghe theo. Lại bộ lang Hoành Mật lại can ngăn rằng Tề công Khôi có thể có ý khác, không tuân phục mà nhân đó phản loạn thì quân ở An Định có tới hơn 4 vạn, tiến về kinh sư một lúc thì Trường An lâm nguy. Nhưng Hoằng tin tưởng Diêu Khôi, không đồng ý với ý kiến này.
Quân Tấn sau đó tiến Thành Cao và áp sát thành Lạc Dương. Tướng ở Lạc Dương là Diêu Quang gửi thư xin cứu viện. Diêu Hoằng sai Việt kị giáo úy Diêm Sinh đem 3000 quân cứu, cộng thêm 10000 quân do Diêu Ích chỉ huy cùng đến chi viện cho thành Lạc Dương, lại thêm Chinh Đông tướng, Tịnh châu mục Diêu Ý đóng ở Thiểm Tân làm hậu viện. Trong khi tại Lạc Dương, bộ tướng Triệu Huyền khuyên Diêu Quang đừng nên xuất chiến nhưng tư mã Diêu Vũ đã thông đồng trước với Đàn Đạo Tế, thêm vào đó là Chủ bộ Diêm Khôi, Dương Kiền cùng cánh với Vũ, cùng nhau khuyên Diêu Quang ra trận. Quang nghe theo, sai Triệu Huyền đem hơn 1000 quân trấn thủ Bách Cốc ổ và Thạch Vô Húy đóng ở Củng Thành, chống lại quân Tán. Triệu Huyền bảo rằng Diêu Quang nếu không nghe lời mình, thì tất sẽ hối hận.
Khi quân Tấn tiến đến, các thành Thành Cao, Dương Thành, Vũ Lao, Huỳnh Dương lũ lượt bỏ vũ khí đầu hàng, Đàn Đạo Tế nhanh chóng ở quân tiến thẳng đến Lạc Dương. Thạch Vô Húy được lệnh giữ Củng Thành cũng bỏ trốn. Triệu Huyền bèn ra trận giao chiến cùng tướng Tấn là Mao Đức Tổ ở Bách Cốc, bị thua to rồi chết trong trận. Diêu Vũ bỏ khỏi thành hàng quân Tấn. Đàn Đạo Tế bèn tiến thẳng vào Lạc Dương. Diêu Quang hoảng sợ, cuối cùng chấp nhận đầu hàng. Trong khi Diêm Sanh ở Tân An và Ích Nam ở Hồ Thành định đưa quân chi viện và cùng đóng ở LẠc Dương, nghe tin Lạc Dương đã mất nên dừng lại.
Cuối năm 416, Diêu Ý nghe theo lời Tư mã Tôn Sương, quyết định phản lại Diêu Hoằng, đưa quân về Trường An cướp ngôi đế. Khi quân của Ý tới Thiểm Tây, lại cho mời thêm quân các tộc Nhung, Khương tới chi viện. Thị lang Tả Nhã can ngăn rằng quốc gia sắp mất không nên gây họa loạn nữa, liền bị Ý sát hại. Diêu Hoằng nghe tin đó lo sợ, triệu thúc phụ là Diêu Thiệu vào bàn kế rồi sai Diêu Tán vào Quan quân tư mã Quốc Phan cùng Xa Huyền đánh Thiểm Tây và Diêu Lư đóng ở Đồng Quan, cuối cùng bắt sống được Diêu Ý.
Tháng 1 năm 417, Diêu Hoằng thấy Trường An đã nguy cấp, bèn triệu tập bách quan đến bàn kế. Cùng lúc đó, Tề công Diêu Khôi làm phản ở An Định, đưa quân từ Bắc Ung châu về Trường An, tiếm xưng Đại đô đốc, Kiến Nghĩa Đại tướng quân, được Dương Uy tướng Khương Kỉ theo giúp chinh bắc. Quân của Khôi tiến về Trường An, Kiến Tiết tướng quân Bành Hoàn Đô ở Âm Mật bỏ chạy về Kinh. Quân của Khôi đến Tân Chi, rồi lại đánh Mi Thành. Tây tướng quân Diêu Kham bị thua trận làm Trường An kinh động.
Diêu Hoằng quyết định dùng Diêu Thiệu và Diêu Dụ, Hồ Dực đem quân đến đánh. Trong lúc đó, thái thú Phù Phong đã đầu hàng Diêu Khôi. Diêu Thiệu bèn đưa quân đến giao chiến với Khôi ở Linh Thai. Con Thiệu là Diêu Tán giữ Ninh Sóc tướng quân Doãn Nhã làm thái thú Hoằng Nông trấn thủ Đồng Quan rồi đưa quân sang đông. Quân của Diêu Khôi thấy Diêu Thiệu đến thì hoảng sợ, tướng Tề Hoàng bỏ sang hàng. Khôi mới đem binh ra chống và bị giết. Cuộc nổi loạn chấm dứt nhưng cũng đủ làm phân tán sự phòng thủ của Hậu Tần trước quân Tấn.
Ở miền nam, Lưu Dụ cũng chính thức phát binh, giữ người con nhỏ là Lưu Nghĩa Long ở Bành Thành còn mình tiến ra bắc. Trong khi đó Vương Trấn Ác kéo quân tới Thằng Trì, lại sai Mao Đức Tổ giao chiến cùng Doãn Nhã ở thành Lễ Ngô, bắt sống Nhã rồi tiến chiếm Đồng Quan. Còn Đàn Đạo Tế và Trầm Lâm Tử phá quân Tần ở Tương Ấp, thái thú Hà Bắc của Tần là Tiết Bạch chạy sang Hà Đông. Quân Tấn lại đánh thứ sử Tịnh châu Doãn Chiêu ở Bồ Phản nhưng lần này không thành công.
Tại Trường An, Diêu Hoằng phái Diêu Loan đến chiếm lại Đồng Quan và Diêu Lư đến cứu Bồ Phản. Trầm Điền Tử và Đàn Đạo Tế không dám tấn công bèn dẫn quân sang Đồng Quan hỗ trợ Vương Trấn Ác. Đến tháng 3 năm 417, Đạo Tế và Lâm Tử đến Đồng Quan, giáo chiến với quân của Diêu Thiệu và giành thắng lợi, chém được hơn 1000 quân Tần. Thiệu phải rút về Định Thành rồi sai Diêu Loan đem quân đánh cướp đường lương của Đàn Đạo Tế nhằm cô lập quân Tấn. Quân của Loan giao chiến với quân Tấn ở Quan Nam nhưng không thắng và tướng Doãn Nhã bị bắt giết. Sau đó, Trầm Lâm Tử nhân đêm tối công phá quân trại của Diêu Loan, giết Loan và hơn 1000 sĩ tốt. Diêu Thiệu nghe tin, cử con là Diêu Tán đóng ở Hà Thượng nhằm chặn quân thủy của Tấn, nhưng cũng bị Trầm Lâm Tử đánh bại. Tướng Tiết Bạch về hàng quân Tấn.
Cùng lúc đó, thủy quân của Lưu Dụ cũng đã tiến tới Thanh Hà. Diêu Hoằng sai sứ sang cầu cứu Bắc Ngụy. Bắc Ngụy Minh Nguyên Đế sai Tư đồ Trưởng Tôn Tung làm Đốc Sơn đông chư quân cùng Chấn Uy tướng quân Nga Thanh, thứ sử Ký châu A Bạt Can dẫn 100000 quân đóng ở Hà Bắc nhưng chỉ để phòng thủ chứ không có hành động nào chi viện cho Hậu Tần.
Lưu Dụ nhanh chóng tiến vào lãnh thổ Hậu Tần. Diêu Hoằng sai Diêu Vạn và Diêu Cương ra chống cự. Diêu Loan cũng sai Doãn Nha ra giao chiến với tư mã của Đàn Đạo Tế là Từ Diễm ở phía nam Đồng Quan nhưng bị bắt. Lưu Dụ muốn giết nhã, nhưng sau tha cho.
Diêu Hoằng lại sai Hoàng Môn thị lang Diêu Hòa đóng quân ở Nghiêu Liễu để phòng ngừa Trầm Điền Tử. Trong quân doanh, Diêu Thiệu sai Hồ Dực đóng quân ở Đông Nguyên, Diêu Loan đóng doanh ở đường lớn để giao chiến với quân Tấn. Trầm Điền Tử bèn dùng quân tinh nhuệ mai phục ban đêm, quân của Diêu Loan thiệt hại nặng, bản thân Loan tử chiến, sĩ tốt mất hết hơn 9000.
Diêu Tán đóng quân ở Hà Thương, sai Diêu Nan đem lương thực cung cấp cho lính ở Bồ Phản. Khi tới Hương Thành, quân của Nan bị quân Tấn đánh bại, lương thực bị cướp. Tại Trường An, Diêu Hoằng lại cử Diêu Hòa chống lại quân của Tiết Bạch ở Hà Đông nhưng thất bại. Diêu Tán cũng bị Trầm Lâm Tử đánh tan phải lui về Định Thành. Diêu Thiệu nghe tin, phái Tả trưởng sử Diêu Hiệp, Diêu Mặc Lễ và Hà Đông thái thú Đường Tiểu Phương dẫn 3000 quân đóng ở Cửu Nguyên, Hà Bắc nhưng Hiệp từ chối. Thiệu không nghe vẫn sai đi, cuối cùng bị Trầm Lâm Tử dẫn 8000 quân đánh úp, Hiệp và Tiểu Phương tử trận. Diêu Thiệu nghe tin đó, phẫn uất lâm bệnh rồi giao việc nước cho Diêu Tán, phái Diêu Nan giữ quân ở Quan Tây rồi thổ huyết mà chết.
Thấy vận nước sắp tiêu, Diêu Hoằng lại sai sứ đến Bắc Ngụy cầu cứu lần nữa. Ngụy chủ sai Nam Bình công Thác Bạt Tung, An Bình công Ất Chiên Quyến đóng ở Hà Nội, Du kích tướng quân Vương LẠc Sanh đóng ở Hà Đông nhưng cũng không giúp gì được cho Diêu Hoằng.
Tháng 7 năm 417, Lưu Dụ kéo binh vào đất Thiểm, sai Trầm Lâm Tử dẫn hơn 10000 quân khai đường Viên Sơn rồi cùng hợp với Trầm Điền Tử ở Thanh Nê rồi đánh sang Nghiêu Liễu. Phó Hoằng tiến đánh Vũ Quan, tướng Tần bỏ thành mà chạy. Diêu Hoằng lại sai Diêu Hòa và Diêu Dụ đưa quân sang Nghiêu Liễu chống cự.
Trầm Điền Tử đưa quân đánh Nghiêu Liễu. Diêu Hoằng lo sợ, đích thân dẫn hơn 10000 quân đến Thanh Nê. Điền Tử dùng nghi binh, đánh tan và giết vô số quân Tần. Diêu Hoằng rút về Bá Thượng.
Không lâu sau, Lưu Dụ tới Đồng Quan, sai Chu Siêu Thạch và Từ Y Chi đến hội cùng Tiết Bạch ở Hà Bắc rồi đánh sang Bồ Phản, giao chiến với quân Diêu Tán ở Quan Tây. Dụ lại sai Vương Trấn Ác và Vương Kính đưa quân sang phía tây đánh Diêu Nan ở Dương Hành. Ở Bồ Phản, tướng Tần là Diêu Phác và Diêu Hòa đánh tan quân Tấn ở Bồ Phản, giết được Y Chi, Siêu Thạch phải chạy về Đồng Quan. Diêu Tán lại sai Tư Mã Hưu Chi và Tư Mã Quốc Phan dẫn quân the đường Hà Nội để dẫn đường cho quân Ngụy. Còn Diêu Nan bị Vương Trấn Ác đánh bại nhiều lần, bèn dẫn quân về phía tây. Vương Trấn Ác bèn cho quân đuổi theo truy kích. Diêu Hoằng từ Bá Thượng cũng đi đến Thạch Kiều, Diêu Tán lui về Trịnh Thành. Một tướng khác là [[Diêu Cường đem hơn 1000 người trong quận chống cự Trấn Ác, bị đánh bại, Diêu Cường bị giết, Diêu Nan phải lui về Trường An.
Lưu Dụ đuổi theo Diêu Tán ở Trịnh Thành, Diêu Hoằng lại cử Diêu Phi đóng ở Trịnh Kiều, Hồ Dực đóng ở Thạch Tích, Diêu Tán rút về Bá Đông còn mình đóng ở Tiêu Diêu viên, lại cho thượng thư Bàng Thống phòng thủ trong cung. Cùng lúc đó Vương Trấn Ác tiến binh, đến Vị Kiều, lệnh cho quân sĩ ăn uống no say rồi đứng trước quân sĩ mà ra trận. Sĩ tốt thấy vậy cũng tranh nhau lập công, cuối cùng đại phá được Diêu Phi. Diêu Hoằng biết tin định đem quân cứu nhưng không được.
Quân Hậu Tần liên tiếp thất bại. Diêu Kham chết, Diêu Hoằng đành phải lui quân về cung. Tiếp đó, Vương Trấn Ác tiến vào Bình Sóc Môn, Diêu Hoằng hoảng sợ, vội cùng Diêu Dụ đem theo 100 kị binh trốn sang Thạch Kiều. Đông Bình công Diêu Tán cũng đưa quân đến hội cùng Diêu Hoằng còn tướng Hồ Dực về hàng quân Tấn.
Diêu Hoằng đến đường cùng, muốn đầu hàng quân Tấn. Con Hoằng là Diêu Phật Niệm mới 11 tuổi bảo nếu đầu hàng thì cũng bị giết, chi bằng tự tử trước khi Hoằng không nghe. Phật Niệm bèn đập dầu vào thành tự tử.
Ngày Quý Hợi, Diêu Hoằng đưa vợ con và quận thần đến trước thành đầu hàng Vương Trấn Ác. Quân Tấn tiến vào chiếm được Trường An.
Tháng 9 năm 417, Lưu Dụ vào tới Trường An, được Vương Trấn Ác đón ở Bá Thượng. Lúc vào thành, Trấn Ác tham lam lấy nhiều của cải, nhưng Lưu Dụ nể vì công to nên không hỏi đến. Sau đó, Lưu Dụ cho chuyển vàng bạc và những đồ quý trong cung Hậu Tần áp tải về Kiến Khang, phát một ít thưởng cho tướng sĩ. Các tướng Bình Nguyên công Diêu Phác, thứ sử Tịnh châu Doãn Chiêu lần lượt về hàng, bị Lưu Dụ giết hết. Sau đó Dụ cho giết Diêu Hoằng và hoàng tộc Hậu Tần. Hậu Tần diệt vong.