Chiến tranh giữa các vì sao: Tập III – Sự báo thù của người Sith
Sản xuất > Quay phim

Mặc dù cảnh đầu tiên được quay là cảnh cuối cùng xuất hiện trong phim (được quay trong quá trình quay Attack of the Clones vào năm 2000), phần lớn cảnh chính đầu tiên trên phim xảy ra từ ngày 30 tháng 6 năm 2003 đến ngày 17 tháng 9 năm 2003, với phần chụp ảnh bổ sung tại Shepperton Studios ở Surrey và Elstree Studios ở Hertfordshire từ tháng 8 năm 2004 đến ngày 31 tháng 1 năm 2005. Quá trình quay phim đầu tiên diễn ra trên các sân khấu âm thanh tại Fox Studios Australia ở Sydney, mặc dù các môi trường thực tế đã được quay làm cảnh nền sau này được ghép vào phim. Chúng bao gồm những ngọn núi đá vôi mô tả Kashyyyk, được quay ở Phuket, Thái Lan . Công ty sản xuất cũng may mắn được quay cùng thời điểm núi Etna phun trào ở Ý. Các đội quay phim đã được cử đến địa điểm để quay một số góc của ngọn núi lửa mà sau đó được ghép vào nền của các hoạt cảnh và phiên bản điện ảnh cuối cùng của hành tinh Mustafar.
Trong khi quay những cảnh ấn tượng quan trọng, Lucas thường sử dụng "máy quay A" và "máy quay B", hoặc "kỹ thuật V", một quy trình bao gồm chụp bằng hai hoặc nhiều máy ảnh cùng một lúc để có được một số góc của cùng hiệu suất. Sử dụng công nghệ HD được phát triển cho bộ phim, các nhà làm phim có thể gửi cảnh quay cho các biên tập viên vào cùng ngày phim được quay, một quá trình đòi hỏi đủ 24 giờ nếu nó được quay trên phim. Cảnh quay về hành tinh Mustafar đã được trao cho biên tập viên Roger Barton , người đang ở địa điểm ở Sydney cắt cuộc đấu tay đôi đỉnh cao.
Hayden Christensen nói rằng Lucas đã yêu cầu anh ấy "đóng vai lớn và thể hiện thể chất sự trưởng thành đã diễn ra giữa hai bộ phim." Nam diễn viên cho biết anh đã tập luyện với một huấn luyện viên ở Sydney trong ba tháng và ăn "sáu bữa mỗi ngày và trên mọi chất bổ sung protein, chất tăng cân mà người đàn ông đã tạo ra" để tăng từ 160 lbs lên 185 lbs.
Christensen và Ewan McGregor đã bắt đầu tập dượt trận đấu tay đôi trên đèn cao cấp của họ rất lâu trước khi Lucas bắn nó. Họ được đào tạo chuyên sâu với điều phối viên đóng thế Nick Gillard để ghi nhớ và thực hiện cuộc đấu tay đôi của họ với nhau. Như trong phần phim tiền truyện trước đó, McGregor và Christensen đã tự mình thực hiện những cảnh đánh nhau bằng gươm ánh sáng mà không sử dụng diễn viên đóng thế. Tốc độ mà Vader và Obi-Wan tham gia vào cuộc đấu tay đôi của họ chủ yếu là tốc độ quay phim, mặc dù có những trường hợp mà các khung hình đơn đã bị loại bỏ để tăng tốc độ của các đòn đánh cụ thể. Một ví dụ về điều này xảy ra khi Obi-Wan tấn công Vader sau khi áp dụng một đòn khóa tay trong hiệp một của trận đấu.
Revenge of the Sith cuối cùng đã trở thành bộ phim Chiến tranh giữa các vì sao đầu tiên trong đó Anakin Skywalker và Darth Vader phù hợp được đóng bởi cùng một diễn viên trong cùng một bộ phim. Như Christensen kể lại, ban đầu dự định chỉ để một "anh chàng cao ráo" trong trang phục Darth Vader, nhưng sau khi "năn nỉ và nài nỉ", Christensen đã thuyết phục Lucas nhờ bộ trang phục Vader được sử dụng trong phim được tạo ra đặc biệt để phù hợp với anh ta. Trang phục mới có giày nâng và bộ đồ cơ bắp. Nó cũng yêu cầu Christensen (cao 6 feet hoặc 1,8 mét) phải nhìn qua ống kính của mũ bảo hiểm.
Năm 2004, Gary Oldman ban đầu được tiếp cận để lồng tiếng cho Tướng Grievous; tuy nhiên, sự phức tạp nảy sinh trong quá trình đàm phán hợp đồng sau khi Oldman biết rằng bộ phim sẽ được thực hiện bên ngoài Hiệp hội Diễn viên Màn ảnh mà ông là thành viên. Anh ấy đã lùi khỏi vai trò hơn là vi phạm các quy tắc của Hiệp hội. Matthew Wood, người lồng tiếng cho Grievous, phản bác câu chuyện này tại Lễ kỷ niệm III, được tổ chức ở Indianapolis. Theo anh ta, Oldman là bạn của nhà sản xuất Rick McCallum, và do đó đã ghi nhận một buổi thử vai như một sự ưu ái dành cho anh ta, nhưng không được chọn. Wood, người cũng là giám sát biên tập âm thanh, phụ trách buổi thử giọng và đã gửi buổi thử giọng ẩn danh giữa 30 người khác, với tên viết tắt là "A.S." cho Alan Smithee.  Nhiều ngày sau, anh nhận được một cuộc điện thoại yêu cầu cung cấp tên đầy đủ với tên viết tắt là "A.S."