İndüksiyonla birleşmiş plazma atomik emisyon spektroskopisi
Mekanizma

ICP-AES iki bölümden oluşur: ICP ve optik spektrometre. ICP meşalesi, 3 eş merkezli kuvars cam tüpten oluşur. Radyo frekansı (RF) jeneratörünün çıkışı veya "iş" bobini bu kuvars meşalenin bir kısmını çevreler. Argon gazı tipik olarak plazmayı oluşturmak için kullanılır.
Meşale açıldığında, bobinde akan yüksek güçlü radyo frekansı sinyali tarafından bobinin içinde yoğun bir elektromanyetik alan yaratılır. Bu RF sinyali bir RF jeneratörü tarafından yaratılır. Aynı tipik bir radyo vericisinin bir verici anteni kullandığı gibi RF jeneratörü de "çalışma bobinini" etkili bir şekilde kullanan yüksek güçlü bir radyo vericisidir. Tipik aletler 27 veya 40 MHz' de çalışır. Meşale boyunca akan argon gazı, iyonlaşma işlemini başlatmak için argon akışı boyunca kısa bir deşarj arkı oluşturan bir Tesla birimi ile ateşlenir. Plazma "ateşlendiğinde", Tesla birimi kapatılır.
Argon gazı, yoğun elektromanyetik alanda iyonize edilir ve RF bobininin manyetik alanına doğru belirli bir dönme simetrik düzeninde akar. Nötr argon atomları ve yüklü parçacıklar arasında oluşturulan elastik çarpışmaların sonucu olarak yaklaşık 7000 °K'lık stabil, yüksek sıcaklıkta bir plazma üretilir.
Bir peristaltik pompa, sis haline dönüştürülecek ve doğrudan plazma alevi içerisine sokulacak sulu veya organik bir numuneyi analitik nebülizöre verir. Numune plazmada hemen elektron ve yüklü iyonlar ile çarpışır ve kendisi yüklü iyonlara ayrışır. Çeşitli moleküller, kendi atomlarına parçalanırlar ve daha sonra elektronlarını kaybederler ve plazma içinde tekrar tekrar birleşerek, ilgili elementlerin karakteristik dalga boylarında radyasyon yayarlar.
Bazı tasarımlarda, plazmayı belirli bir noktada 'kesmek' için bir kesme gazı, tipik olarak azot veya kuru basınçlı hava kullanılır. Bir veya iki transfer merceği daha sonra yayılan ışığı optik spektrometredeki bileşen dalga boylarına ayrıldığı bir kırınım ağına odaklamak için kullanılır. Diğer tasarımlarda, plazma, doğrudan bir argon akışının ortaya çıktığı, plazmayı saptırdığı ve plazmadan yayılan ışığın optik birime girmesine izin verirken soğutma sağlayan bir delikten oluşan bir optik arayüze doğrudan etki eder. Yine başka tasarımlar, optik birimi ayırmak için ışığın bir kısmını iletmek amaçlı optik lifler kullanır.
Optik birim(ler) içinde, ışığın farklı dalga boylarına (renklerine) ayrılmasından sonra, ışık yoğunluğu, bir fotoçoğaltıcı tüp veya fiziksel olarak söz konusu her bir element çizgisi için spesifik dalga boylarını "görüntülemek" için konumlandırılmış tüplerle ölçülür veya daha modern birimlerde, ayrılan renkler, yük bağlaşımlı aygıtlar (charge coupled devices-CCDs) gibi bir dizi yarı iletken fotodetektöre düşer. Bu dedektör dizilerini kullanan birimlerde, tüm dalga boylarının yoğunlukları (sistemin kapasitesi dahilinde) eşzamanlı olarak ölçülebilir, böylece birim cihaza aynı anda her elementin hassas analizini sağlar. Böylece örnekler çok hızlı bir şekilde analiz edilebilir.
Her bir çizginin yoğunluğu daha sonra, elementlerin bilinen konsantrasyonlarının önceden ölçülen yoğunluklarıyla karşılaştırılır ve konsantrasyonları daha sonra kalibrasyon çizgileri boyunca interpolasyon ile hesaplanır.
Ek olarak, özel yazılımlar genellikle belirli bir numune matrisi içindeki farklı elementlerin varlığından kaynaklanan girişimleri düzeltir.