Kamp konsentrasi Auschwitz
Kamp > Auschwitz III–Monowitz

Artikel utama: Kamp konsentrasi Monowitz
Setelah meninjau sejumlah lokasi untuk membangun pabrik baru yang akan memproduksi Buna-N, sejenis karet sintetis yang penting bagi upaya perang, perusahaan kimia Jerman IG Farben memilih sebuah lokasi di dekat kota Dwory dan Monowitz, kira-kira 7 km (4,3 mi) di sebelah timur Auschwitz I. Pengecualian pajak diberikan bagi perusahaan yang bersedia mengembangkan pabrik di wilayah perbatasan, sesuai dengan ketentuan Undang-Undang Bantuan Fiskal Wilayah Timur, yang disahkan pada bulan Desember 1940. Selain dekat dengan dengan kamp konsentrasi yang menjadi sumber tenaga kerja murah, lokasi tersebut juga dihubungkan oleh jalur kereta api yang memadai ke sumber bahan baku. Pada bulan Februari 1941, Himmler memerintahkan agar penduduk Yahudi di Oświęcim diusir demi memberi ruang bagi pekerja terampil. Semua orang Polandia yang mampu bekerja diperintahkan untuk tetap tinggal di kota tersebut untuk membangun pabrik, dan para tahanan Auschwitz juga diberdayakan untuk mengerjakan pembangunan tersebut.
Pada bulan April 1941, para tahanan Auschwitz mulai dipekerjakan di pabrik IG Farben, yang dinamai dengan kawasan industri Buna Werke dan IG-Auschwitz. Mereka membantu merobohkan rumah-rumah di Monowitz demi membuka lahan bagi pembangunan pabrik tersebut. Pada bulan Mei, akibat kekurangan truk pengangkut, ratusan tahanan mesti bangun pukul tiga pagi dan berjalan kaki bolak-balik dari Auschwitz I menuju pabrik. Muncul kekhawatiran bahwa panjangnya barisan para tahanan kelelahan yang berjalan melewati kota Oświęcim akan menimbulkan kecurigaan dan memperburuk hubungan Jerman-Polandia, alhasil para tahanan diperintahkan untuk bercukur setiap hari, memastikan mereka dalam keadaan bersih, dan disuruh bernyanyi saat berjalan. Sejak akhir Juli, para tahanan diangkut menuju pabrik dengan kereta barang. Lantaran kesulitan memindahkan para tahanan, terutama pada musim dingin, IG Farben akhirnya memutuskan untuk membangun kamp di pabrik tersebut. Rombongan tahanan pertama pindah ke sana pada tanggal 30 Oktober 1942. Kamp tersebut dinamai KL Auschwitz III–Aussenlager (subkamp Auschwitz III), dan kemudian sebagai kamp konsentrasi Monowitz. Monowitz adalah kamp konsentrasi pertama yang dibiayai dan dibangun oleh swasta.
Berukuran 270 m × 490 m, kamp Auschwitz III sedikit lebih luas dari Auschwitz I. Pada akhir tahun 1944, kompleks kamp tersebut memiliki 60 barak berukuran 175 m × 8 m, yang masing-masingnya memiliki sebuah ruang santai dan sebuah kamar tidur berisi 56 dipan kayu bertingkat tiga. Organisasi SS menerima upah sebesar 3 sampai 4 Reichsmark dari IG Farben untuk setiap pekerja yang bekerja selama sembilan sampai sebelas jam sehari. Pada tahun 1943–1944, lebih kurang 35.000 tahanan bekerja di pabrik tersebut, 23.000 tahanan (rata-rata 32 tahanan per hari) tewas akibat kekurangan gizi, penyakit, dan beban kerja yang berat. Menurut sejarawan Peter Hayes, setelah bekerja selama tiga sampai empat bulan di kamp tersebut, para tahanan "menyusut menjadi kerangka berjalan". Kematian dan pemindahan para tahanan ke kamar gas di Auschwitz II mengurangi hampir seperlima jumlah tahanan setiap bulannya. Kepala pabrik terus-terusan mengancam akan mengirim para tahanan ke kamar gas, dan bau pembakaran jenazah dari krematorium di Auschwitz I dan II sangat tercium kuat di kamp tersebut.
Pabrik IG Farben seharusnya mulai beroperasi pada tahun 1943, tetapi karena kekurangan tenaga kerja dan bahan baku, pengoperasiannya ditunda berulang kali. Sekutu mengebom pabrik tersebut pada tanggal 20 Agustus, 13 September, 18 Desember, dan 26 Desember 1944. Pada tanggal 19 Januari 1945, SS memerintahkan agar lokasi pabrik dipindahkan, dan menyuruh 9.000 tahanan, sebagian besarnya orang Yahudi, melakukan kirab kematian menuju subkamp Auschwitz lainnya di Gliwice. Dari Gliwice, para tahanan diangkut dengan kereta barang terbuka ke kamp konsentrasi Buchenwald dan Mauthausen. 800 tahanan yang tertinggal di Monowitz dibebaskan pada tanggal 27 Januari 1945 oleh Front Ukraina ke-1 dari Tentara Merah.