Eiji Tsuburaya
Biografi > Lahirnya perusahaan hingga tahun terakhir: 1963–1970 > Ultraman dan seterusnya (1966–1967)

Di puncak popularitas Ultra Q, TBS menayangkan The Father of Ultra Q, sebuah episode dari serial dokumenter mereka Modern Leaders, pada 2 Juni 1966. Sepanjang episode tersebut, Tsuburaya difilmkan di tempat kerja dan di tempat lain, bahkan diwawancarai oleh orang-orang yang mengenakan kostum monster Ultra Q: dalam hal ini, ia menyebutkan untuk pertama kalinya bahwa ia sedang mengerjakan acara baru untuk mengikuti Ultra Q, yang kemudian menjadi Ultraman.
Tsuburaya mulai mengerjakan seri tokusatsu baru pada musim gugur tahun sebelumnya: eksekutif TBS ingin menghasilkan seri yang berkembang seperti Ultra Q dan menginginkan program penuh warna yang akan "mengambil jalur monster ke tingkat berikutnya". Tsuburaya dan penulis Tetsuo Kinjō memutuskan untuk mengambil konsep dasar dari Ultra Q tentang warga sipil dan ilmuwan yang menawar monster: mereka datang dengan gagasan mengenai sebuah grup, yang untuk sementara diberi nama "Badan Investigasi Ilmiah" (SIA), dibentuk untuk menangani kaiju dan fenomena supernatural sebagai fokus acara baru. Keduanya juga setuju untuk menambahkan konsepsi yang tidak terpakai dari Ultra Q dan WoO. Tsuburaya telah menghabiskan banyak uang studio dalam membangun modelnya untuk film Godzilla, jadi TBS bertujuan untuk memonetisasi miniatur ini dan mencari tugas yang dapat menggunakan kembali set dan setelan dari waralaba Godzilla.
Selama mendesain, Tsuburaya menemukan versi asli dari desain karakter utama seakan "terlalu alien dan menyeramkan", dan meminta desainer produksi Tohl Narita untuk terus menyusun desain tambahan karena skenario ditulis secara bersamaan. Narita memilih untuk mengakarkan desain Ultraman dalam konsep Yunani cosmos (keteraturan dan harmoni), berbeda dengan desain sebelumnya desain untuk Ultra Q, yang terinspirasi dari konsep khaos. Tsuburaya memberikan masukan untuk desain Narita, dengan beberapa terinspirasi oleh seni Miyamoto Musashi. Kulit perak Ultraman melambangkan baja dari roket antarbintang, sedangkan garis merah melambangkan permukaan Mars. Seperti yang dinyatakan oleh penulis biografi August Ragone, Ultraman menjadi "buatan paling populer dan abadi" Tsuburaya
Sesi syuting Ultraman dimulai pada Maret 1966, dan kru dibagi menjadi tiga kelompok terpisah untuk laga hidup dan efek khusus. Tsuburaya Productions dan TBS awalnya berencana untuk mulai menayangkan serial tersebut pada 17 Juli 1966, tetapi TBS memilih untuk merilisnya seminggu sebelumnya. Tsuburaya mengawasi produksi setiap episode serial ini dan menjabat sebagai sutradara efek khusus de facto untuk episode 18 dan 19.
Setelah beberapa pertemuan antara kedua perusahaan dan sponsor, diputuskan bahwa episode perintis, awalnya direncanakan sebagai Ultraman Eve Festival, akan memperkenalkan karakter dari judul acara tersebut. Episode perintis ditayangkan pada 10 Juli—salah satu tanggal yang disebut sebagai hari ulang tahun Tsuburaya— pada tahun yang sama, dengan judul The Birth of Ultraman: An Ultraman Premiere Celebration. Ultraman menjadi hit yang lebih besar dari pendahulunya, mendapatkan 40% penayangan. Dengan monster sekarang tersedia untuk ditonton di rumah setiap minggu, anak-anak lebih sedikit meminta orang tua untuk membawa mereka ke teater: akibatnya, kemenangan Tsuburaya Productions di televisi mengalihkan pendapatan box-office dari film kaiju Toho.
Pada tahun 1966, Tsuburaya juga bekerja sekali lagi dengan Honda untuk film kaiju The War of the Gargantuas, yang diproduksi bekerja sama dengan Henry G. Saperstein, bercerita tentang ilmuwan yang menyelidiki penampakan dua humanoid berbulu raksasa yang akhirnya saling bertarung di Tokyo. Awalnya disusun sebagai sekuel dari Frankenstein vs. Baragon, film ini melewati beberapa judul tentatif selama pembuatan skrip, dan film final dirujuk oleh penulis sejarah film Stuart Galbraith IV sebagai "kuasi–sekuel" dari pendahulunya. Film ini tayang perdana di Jepang pada Juli 1966.
Setelah serial Tsuburaya Booska the Friendly Beast mulai ditayangkan di televisi pada November 1966, ia menerima kredit terakhirnya sebagai "sutradara efek khusus" pada film Godzilla untuk Ebirah, Horror of the Deep. Namun, muridnya Sadamasa Arikawa sebenarnya berperan sebagai sutradara efek khusus de facto untuk film ini, dengan kredit Tsuburaya hanya bersifat seremonial. Tahun berikutnya, Tsuburaya mengarahkan efek untuk King Kong Escapes, produksi bersama Jepang-Amerika yang dibuat untuk merayakan hari jadi Toho yang ketiga puluh lima. Sebagai penghormatan kepada adegan pertempuran dinosaurus dari King Kong (1933), sutradara memperkenalkan Gorosaurus, kaiju dinosaurus yang melawan Kong di Pulau Mondo dalam film tersebut. Rilisan tahun 1967 berikut yang menampilkan kontribusi Tsuburaya adalah Ultraseven, entri ketiga dalam seri Ultra, yang dipengaruhi oleh serial TV Britania Thunderbirds. Serial ini menerima rating 33,7% setelah mulai ditayangkan pada 7 Oktober 1967. Pada tahun 1967, ia juga ditunjuk sebagai "pengawas efek khusus" dan menyerahkan posisi direktur efek khusus untuk serial film Godzilla kepada Arikawa, dimulai dengan Son of Godzilla.