پلاسمای القایی
تولید

حرارت دادن القایی یک فناوری بالغ با چندین دهه تاریخچه است. یک قطعه فلزی رسانا، داخل یک سیمپیچ با فرکانس بالا قرار می‌گیرد و القا می‌شود.. به قطعه همزمان گرما داده می‌شود تا به حالت داغ قرمز برسد. تفاوتی میان اصول اساسی حرارت دادن القایی یا " القای پلاسمای کوپل شده" وجود ندارد، فقط در مورد دوم، ماده ای که می‌خواهد القا شود با جریانی از گاز جایگزین می‌شود و دمای داده شده به گاز، به قدری بالا است که گاز به "حالت چهارم ماده" - پلاسما وارد می‌شود.
یک مشعل پلاسمای کوپل شده القایی (Inductively coupled plasma-ICP)، اساسا یک سیم پیچ مسی با چندین دور سیم پیچ است که آب سرتاسر این سیم پیج در حرکت است تا گرمای تولید شده در طول فرایند را خارج کند. ICP ها دو نوع عملکرد دارند، یک نوع حالت خازنی (E) با چگالی پلاسمای کم و دیگری حالت القایی (H) با چگالی پلاسمای بالا. انتقال حالت گرمایش E به H با ورودی های خارجی اتفاق می افتد.  سیم پیچ دور یک تیوب محصور پیچیده می‌شود. که داخل این سیم پیچ، پلاسمای القایی (حالت H) تولید شده است. یکی از انتهای دو سر تیوب محصور باز است؛ که پلاسما در واقع روی یک جریان گاز پیوسته نگهداری شده است. در طول فرایند القای پلاسما، ژنراتور جریان متناوب (ac) را با فرکانس رادیویی (r.f.) بر روی مشعل سیم پیچ فراهم می‌کند. این جریان ac، یک میدان مغناطیسی متناوب داخل سیمچیچ ایجاد می‌کند. پس از نوشتن قانون آمپر      (برای سیم پیچ برقی)  :
\phi _{B}=(\mu _{0}\,I_{c}\,N)(\pi \,r_{0}^{2})\quad (1)
که در فرمول بالا،  \phi _{B} شار میدان مغناظیسی است.  \mu _{0} ثابت نفوذپذیری است که مقدار آن برابر  4\pi \,10^{-7}\,{\textrm {Wb/A.m}} می‌باشد.  I_{c} جریانی الکتریکی است که درون سیم پیچ جریان دارد.  N تعداد دور سیم پیچ پیچیده شده بر واحد طول است. همجنین r_{0} میانگین شعاع چرخش سیم پیچ است.
با توجه به قانون فارادی ، تغییر در شار میدان مغناطیسی یک ولتاژ یا نیروی الکترومغناطیسی را القا می کند:
E=-N(\Delta \phi _{B}/\Delta t)\quad (2)
به گونه ای که  N تعداد دور های سیم پیچ است و عبارت داخل پرانتز نسبت تغییرات شار با زمان است. پلاسما رسانا است ( با فرض اینکه پلاسما هنوز داخل مشعل وجود دارد). این نیروی الکترومغناظیسی E ، در اندازه خود جریانی را با چگالی j در حلقه های بسته ایجاد می‌کند. حالتی که بسیار شبیه به گرما دادن میله فلزی در یک سیم پیچ القایی است: انرژی منتقل شده به پلاسما توسط گرمای ژول(j2R)-که از قانون اهم به دست می‌آید- پس داده می‌شود. در رابطه گفته شده R مقاومت پلاسما است.
از آنجایی که پلاسما رسانایی الکتریکی نسبی بالایی دارد، نفوذ میدان مغناطیسی متناوب درون آن دشوار است، بخصوص در فرکانس های خیلی بالا.
این پدیده معمولا به عنوان "پدیده پوست" توصیف می‌شود. سناریو شهودی این است که جریان های القا شده که هر خط مغناطیسی را احاطه کرده اند، بر روی یکدیگر اثر می‌گذارند، به همین دلیل جریان خالص القا شده تنها نزدیک حاشیه پلاسما متمرکز می‌شود. بدین معنی است که داغ ترین قسمت پلاسما خارج از محور است. در نتیجه، پلاسمای القایی چیزی مانند "پوسته ای حلقوی" است. با مشاهده پلاسما از طرف محور آن، به صورت یک "شیرینی دایره ای" روشن به نظر می‌رسد.
در عمل، شعله ور شدن پلاسما تحت شرایط فشار پایین ( <300 torr ) غالبا خودجوش است. به محض اینکه نیروی r.f. اعمال شدخ+ه به سیم پیچ به آستانه مشخصی رسید (به عواملی مانند حالت مشعل، دبی جریان گاز و ... ). حالت گاز پلاسما ( معمولا آرگون) به سرعت از درخشش تخلیه به حالت کمان شکن تغییر وضعیت پیدا میکند و یک پلاسمای القایی پایدار را ایجاد میکند. برای حالتی که فشار دلخواه، فشار اتمسفر باشد، شعله ور شدن معمولا به وسیله سیم پیچ تسلا صورت میگیرد که فرکانس بالا، جرقه هایی با ولتاژ الکتریکی بالا را تولید میکند. این سیم پیچ کمان شکن داخلی را درون مشعل ایجاد میکند و تحریک آبشاری از یونیزاسیون گاز پلاسما، که در نهایت منجر به یک پلاسما پایدار می شود را شبیه سازی میکند.