طباعة حجرية نانوية
أساليب أخرى لتقانة الطباعة الحجرية النانوية

قد تمتد  الطباعة النانوية بالأشعة السينية  (بالإنجليزية: X-ray lithography)‏ لتشمل إحلالاً بصرياً (بالإنجليزية: an optical resolution)‏ على مقياس 15 نانومتر من خلال استخدام أطوال الموجة القصيرة لـ واحد نانومتر وذلك بهدف الإنارة. ويتم تنفيذ هذا من خلال استخدام نهج طباعة التقريب (بالإنجليزية: proximity printing approach)‏. كما تم تطوير هذا الأسلوب إلى مدى معالجة الكمية. حيث يعتمد امتداد تلك الطريقة على أشعة إكس الخاصة بالمجال القريب الموجود بحيود فرينل (بالإنجليزية: Fresnel diffraction)‏: حيث تعد صورة feature القناع الواضحة «مصغرة» من خلال التقرب من الرقاقة القائمة بالقرب من «الحالة الحرجة». حيث تقرر هذه الحالة فجوة القناع للرقاقة (بالإنجليزية: mask-to-wafer gap)‏ وتعتمد على كلٍ من الحجم وصورة وضوح القناع بالإضافة إلى الطول الموجي. وهذه الطريقة بسيطة حيث أنها لا تتطلب استخدام عدساتٍ.
طريقة pitch resolution enhancement والتي تعبر في الحصول على القبول تمثل عملية زخرفةٍ مزدوجةٍ (بالإنجليزية: double patterning)‏. ويزيد هذا الأسلوب من كثافة الصورة من خلال طباعة صورةٍ جديدةٍ فيما بين الصور التي تم طباعتها مسبقاً على نفس الطبقة. وهي تعد طريقةً مرنةً نتيجة أن يمكن تعديلها لتستخدم لأي واجهةٍ أو أسلوب زخرفةٍ. وهنا يتم تقليل حجم الصورة من خلال استخدام أساليب الطباعة الغير حجرية ومنها التنميش أو الكشط (بالإنجليزية: etching)‏ أو الفواصل الجدارية (بالإنجليزية:  sidewall spacers)‏.
ويتسم العمل على أداة الطباعة الحجرية الغير مقنَّعة  البصرية (بالإنجليزية:  optical maskless lithography)‏ بالتقدم والتطور. حيث تستخدم تلك الأداة شعاع المرآه الدقيق الرقمي (بالإنجليزية:  digital micro-mirror array)‏ بهدف التعامل أو التلاعب مع الشعاع المنعكس بدون الحاجة إلى قناعٍ متداخلٍ. إلا أن الإنتاجية بطبيعتها تكون منخفضةً، إلا أن التخلص من تكلفة الإنتاج المرتبط بالقناع – والتي تتزايد باطرادٍ مستمرٍ مع كل تقدمٍ تكنولوجيٍ جديدٍ- تعني أن مثل ذلك النظام قد يكون أكثر تأثيراً من ناحية التكلفة في حالة الإنتاج الصغير لدولة دوائر الفن، كما هو الحال في معامل الأبحاث، حيث لا تمثل إنتاجية الأداة أي اهتمامٍ هناك.
إلا أن أكثر تقنية عامة للطباعة الحجرية النانوية تتمثل في طباعة الكتابة المباشرة بشعاع الالكترون  (بالإنجليزية: Electron-Beam Direct-Write Lithography)‏، والتي تقوم على استخدام شعاع الإلكترونيات بهدف إنتاج نموذج – والذي عادةً ما يستخدم في المقاومة البوليمرية ومنها مثلاً Poly methyl methacrylate (بالإنجليزية:  Poly methyl methacrylate)‏.
في حين تمثل الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية الشديدة (بالإنجليزية: Extreme ultraviolet lithography)‏ إحدى صور الطباعة الحجرية البصرية باستخدام أطوال الموجات فوق القصيرة (والتي تصل إلى 13.5 نانومتر). ومن ثم فهي تعد أكثر اساليب تقانة الجيل الجديد للطباعة الحجرية (بالإنجليزية: next-generation lithography)‏ شيوعاً.
كما تعد الطباعة الحجرية باستخدام الجسيمات المشحونة (بالإنجليزية:  Charged-particle lithography )‏، ومنها مثلاً الطباعة الحجرية بقذف الأيون أو الإلكترون (بالإنجليزية:  ion- or electron-projection lithography)‏ (PREVAIL, SCALPEL, LEEPL)، إنتاج زخارفٍ ذات درجة صفاءٍ ودقةٍ عاليةٍ جداً. حيث تستخدم تقنية الطباعة الحجرية بأشعة الأيون (بالإنجليزية: Ion beam lithography)‏ الأشعة المركزة أو العريضة للأيونات النشطة خفيفة الوزن (ومنها He+) بهدف نقل الرسم إلى السطح. كما يمكن أن ينتقل استخدام الطباعة الحجرية باستخدام تقريب أشعة الأيون (بالإنجليزية:  Ion Beam Proximity Lithography)‏ على المستوى النانوي على الأسطح الغير مستوية.
في حين تستخدم لطباعة الحجرية باستخدام الجسيمات المحايدة (بالإنجليزية:  Neutral Particle Lithography)‏ شعاعاً عريضاً من الجسيمات المحايدة النشطة بهدف نقل الزخرفة أو الرسم على السطح.
هذا وتعد الطباعة الحجرية بالبصمة النانوية (بالإنجليزية: Nanoimprint lithography)‏ وتنوعاتها المختلفة ومنها Step-and-Flash Imprint Lithography، LISA، و LADIمن تطبيقات تقنية الطباعة الحجرية النانوية الواعدة في مجال الزخرفة. كما يمكن وصل هذا الأسلوب مع تقنية الطباعة الحجرية بالاحتكاك (بالإنجليزية: contact printing)‏.
إلا أن الطباعة الحجرية باستخدام المسبار الماسح  (بالإنجليزية: Scanning probe lithography)‏ تعد أيضاً تقانةً واعدةً في مجال الزخرفة على المستوى النانوي العميق. وعلى سبيل المثال، يمكن التلاعب بالذرات الفردية من خلال استخدام مجهار المسح النفقي (بالإنجليزية: scanning tunneling microscope)‏. مع ملاحظة أن الطباعة الحجرية بانغماس القلم (بالإنجليزية: Dip-Pen Nanolithography)‏ تعد أول تطبيقاً تجارياً متاحاً لتقنية الطباعة الحجرية باستخدام المسبار الماسح القائمة على مجهر القوة الذرية (بالإنجليزية: atomic force microscopy)‏.
تمثل الطباعة الحجرية النانوية باستخدام مجهر القوة الذرية (بالإنجليزية: Atomic Force Microscopic Nanolithography)‏ تقنية زخرفة السطح الكيميميكانيكية والتي تستخدم مجهر القوة الذرية (بالإنجليزية: atomic force microscopy)‏.
تقوم الطباعة الحجرية المغناطيسية (بالإنجليزية: Magnetolithography)‏ على وضع حقل مغناطيسي على الركيزة باستخدام أقنعة أو أغطية معدنية متوازية المغناطيسية يطلق عليها «قناع أو غطاء مغناطيسي». حيث يحدد القناع المغناطيسي والذي يعد مثيلاً أو نظيراً للقناع الضوئي التوزيع المكاني وشكل المجال المغناطيسي الذي تم وضعه على الركيزة. في حين يمثل المكون الثاني جسيمات (حديدية ممغنطة) نانوية عالية الإنفاذية (نظير للمقاوم الضوئي) والتي يتم تجميعها على سطح الركيزة وفقاً للمجال الناجم عن القناع أو الغطاء المغناطيسي.