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表格标题:
表 1 汽车主要传感器分类（按工作原理） 
表格:
| 类别 | 工作原理 |
| --- | --- |
| 速度/位臵传感器 | 霍尔效应、AMR/GMR/TMR等磁电阻效应原理 |
| 低/中压压力传感器 | 硅压阻式/硅电容式（MEMS） |
| 高压压力传感器 | 陶瓷电容式 |
| 加速度传感器 | 惯性原理（MEMS） |
| 角速度传感器 | Coriolis力原理（MEMS） |
| 磁力计 | 霍尔效应、AMR/GMR/TMR等磁电阻效应原理（MEMS） |
| 温度传感器 | 热敏电阻式/热电偶式 |
| 氧传感器、气体传感器等 | 化学类原理 |
问题:
低/中压压力传感器的工作原理是什么
Answer:
硅压阻式/硅电容式（MEMS）