İndüksiyonla birleşmiş plazma
İndüksiyonla birleşmiş plazma (ICP) veya transformatörle birleşmiş plazma (TCP), enerjinin elektromanyetik indüksiyonla, yani zamanla değişen manyetik alanlarla üretilen elektrik akımlarıyla beslendiği bir tür plazma kaynağıdır. Üç tür ICP geometrisi vardır: düzlemsel (Şekil 3 (a)), silindirik (Şekil 3 (b)) ve yarı toroidal (Şekil 3 (c)). Düzlemsel geometride, elektrot, bir spiral (veya bobin) gibi sarılmış bir yassı metal uzunluğudur.