Mikrofabrikasyon
]]
Mikrofabrikasyon, mikrometre ölçekli yapılar üzerinde çalışan bir üretim tekniğidir. İlk örnekleri tümleşik devreler üzerinde uygulanan teknik "yarı iletken aygıt üretimi" olarak da adlandırılmaktadır. Nanometre ölçeğinde çalışan mikro elektro-mekanik sistemler üzerindeki araştırmalar da mikrofabrikasyon tekniğinin gelişimini hızlandırmıştır.