(RuCp(i-PrCp) has achieved growth rates of 7.5 nm/min to 20 nm/min as well as low resistivities.
RuCp(i-PrCp đạt được tốc độ phát triển từ 7,5 nm/phút tới 20 nm/phút cũng như có suất kháng thấp.