Energies in the range 1 to 10 keV (160 to 1,600 aJ) can be used, but result in a penetration of only a few nanometers or less.
1-10 keV (160 to 1,600 aJ) aralığındaki enerjiler de kullanılabilir fakat sadece birkaç nanometre veya daha az oranda bir delinmeyle sonuçlanır.