Capacitively coupled plasma (CCP): similar to glow discharge plasmas, but generated with high frequency RF electric fields, typically 13.56 MHz.
Kapasitif eşleşmiş plazma (CCP): parıltılı deşarj plazmalarına benzer, ancak yüksek frekanslı RF elektrik alanları ile oluşturulur, tipik 13.56 MHz.