These carved out devices, notably put to use in specific microelectromechanical systems used as microsensors, generally only reach the micro size, but the most recent of these have begun to incorporate nanosized components.
Овие оформени уреди, посебно употребени во микроелектромеханички системи како микросензори ,обично ја достигнуваат само микро големината, но од неодамна почнале да инкорпорираат и компоненти со наноголемина.