However, it has higher resistivity and dielectric strength than most insulators commonly available in microfabrication (1016 Ω·cm and 10 MV/cm, respectively).
Namun, ia memiliki resistivitas dan kekuatan dielektrik yang lebih tinggi daripada kebanyakan isolator yang biasa digunakan dalam mikrofabrikasi (masing-masing 1016 Ω·cm dan 10 MV/cm).