Marie died on 4 June 1627 at the Palais du Louvre in Paris, at the age of twenty-one, shortly after the birth of her daughter who, as her only child, inherited her fortune and titles.
Marie meninggal pada tanggal 4 Juni 1627 di Palais du Louvre, Paris, pada usia 22 tahun, tak lama setelah kelahiran putrinya, yang menjadi ahli waris harta dan gelarnya.