Various techniques of nanolithography such as optical lithography, X-ray lithography, dip pen nanolithography, electron beam lithography or nanoimprint lithography were also developed.
Varias técnicas de nanolitografía tales como a litografía óptica, a nanolitografía dip-pen de litografía de raios X, a litografía de feixe de electróns ou litografía de nanoimpresión tamén foron desenvoltas.