It has the advantage that it can be used to remove semiconductor material from the chamber walls without the need to dismantle the chamber.
Έχει το πλεονέκτημα ότι μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να απομακρύνει το ημιαγωγικό υλικό από το θάλαμο χωρίς να πρέπει να διαλυθεί ο θάλαμος.