Nanolitograpiya

Ang nanolitograpiya ay ang sangay ng nanoteknolohiyang nakatuon sa pag-aaral at paglalapat ng pabrikasyon o paggawa ng mga kayariang ang mga sukat ay nasa nanometro, na nangangahulugang mga padron na mayroong kahit na isang dimensiyong lateral na nasa pagitan ng isang indibiduwal na atomo at tinatayang nasa 100 nm.  Ginagamit ang nanolitograpiya sa panahon ng pabrikasyon ng may kalidad na semikonduktibong mga sirkitong integrado (nanosirkitriya) o mga sistemang nanoelektromekanikal o NEMS (daglat ng Ingles na nanoelectromechanical systems). Magmula noong 2007, ang nanolitograpiya ay isa nang napakamasiglang pook ng pananaliksik sa akademiya at sa industriya.

Litograpiya (mikropabrikasyon)