ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค

ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค ( ; MEMS) เป็นคำที่ใช้เรียกในประเทศสหรัฐอเมริกาและประเทศอื่นๆ ส่วนประเทศในทวีปยุโรปจะเรียกว่า ระะบบจุลภาค (Microsystems) ระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค คือ อุปกรณ์ที่มีขนาดอยู่ในช่วงระดับไมโครเมตร (10-6 เมตร หรือ หนึ่งส่วนหนึ่งล้านเมตร) และมิลลิเมตร (10-3 หรือ หนึ่งส่วนหนึ่งพันเมตร) หรือระหว่าง 1 ไมโครเมตร และ 1 มิลลิเมตร ซึ่งรวมส่วนประกอบทางวิศวกรรมไฟฟ้าและวิศวกรรมเครื่องกลเข้าไว้ด้วยกัน โดยอุปกรณ์อาจมีความสามารถในการรับรู้ คำนวณประมวลผล ตอบสนอง ควบคุม สื่อสาร และมีแหล่งพลังงานรวมอยู่ภายในตัวเอง

อ้างอิง 

 Gad-el-Hak, M. (2002). The MEMS handbook. Boca Raton, FL, CRC Press.
 Senturia, S. D. (2001). Microsystem design. New York, NY, Springer.
 Madou, M. J. (2002). Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. Boca Raton, FL, CRC Press.

ดูเพิ่ม 
 ไมโครเทคโนโลยี
 การออกแบบระบบไฟฟ้าเครื่องกลจุลภาค  บน วิกิตำรา (Wikibooks)

ไมโครเทคโนโลยี
วิศวกรรมไฟฟ้า
วิศวกรรมเครื่องกล