ซิลิคอนไนไตรด์

ซิลิคอนไนไตรด์ (Silicon nitride) เป็นสารประกอบทางเคมีระหว่างซิลิคอนและไนโตรเจน โดย Si3N4 เป็นซิลิคอนนิวไตรด์ที่เสถียรทางอุณหพลศาสตร์มากที่สุด ทำให้ Si3N4 ถือว่าเป็นซิลิคอนไนไตรด์ที่จำเป็นที่สุดในเชิงพาณิชย์ "ซิลิคอนไนไตรด์" มักจะหมายถึง Si3N4 ซิลิคอนไนไตรด์เป็นของแข็งที่มีจุดหลอมเหลวสูงและค่อนข้างเฉื่อยในการทำปฏิกิริยาทางเคมี และแข็งมาก (8.5 ในมาตราโมส) และเสถียรต่อความร้อนสูง

อ้างอิง 

ไนไตรด์
สารประกอบซิลิคอน