ฟลูออโรมีเทน

ฟลูออโรมีเทน (หรือชื่ออื่นๆ ดังนี้ เมทิลฟลูออไรด์ หรือ ฟรีออน 41 ฮาโลคาร์บอน-41 และ HFC-41) เป็นสารประกอบที่ไม่เป็นพิษ ควบแน่นได้และติดไฟได้ที่สภาวะมาตรฐาน (STP) ใช้ในอุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำและผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์  ฟลูออโรมีแทนสามารถแตกตัวให้ฟลูออไรด์ได้เมื่อได้รับคลื่นวิทยุและจะกัดซิลิกอนให้เป็นตามแบบที่ต้องการได้

External links 
 National Pollutant Inventory - Fluoride and compounds fact sheet 
 MSDS at Oxford University 
 Data at Airliquide Encyclopedia
 Termochemical data at chemnet.ru

แก๊ส
ออร์กาโนฟลูออไรด์