Silikon nitrida

Silikon nitrida yang diendapkan oleh LPCVD mengandung hidrogen hingga 8%. Ia juga menunjukkan kuat tarik, yang dapat memecahkan film yang lebih tebal dari 200 nm. Namun, ia memiliki resistivitas dan kekuatan dielektrik yang lebih tinggi daripada kebanyakan isolator yang biasa digunakan dalam mikrofabrikasi (masing-masing 10 Ω·cm dan 10 MV/cm).