Mikroskop pemindai elektron

Tidak diketahui secara persis siapa sebenarnya penemu mikroskop pemindai elektron ini. Penanggung jawab dari sejarah awal SEM telah diajukan oleh McMullan. Walau, publikasi pertama kali yang mendiskripsikan teori SEM dilakukan oleh fisikawan Jerman Dr. Max Knoll pada 1935, meskipun fisikawan Jerman lainnya Dr. Manfred von Ardenne mengklaim dirinya telah melakukan penelitian suatu fenomena yang kemudian disebut SEM hingga tahun 1937. Mungkin karena itu, tidak satu pun dari keduanya mendapatkan penghargaan nobel untuk penemuan itu.