Mikroskop pemindai elektron

Berdasarkan karya Max Knoll dan Manfred von Ardenne pada tahun 1930-an, SEM terdiri dari seberkas elektron yang memindai permukaan sampel yang akan dianalisis dimana, sebagai tanggapan, kembali memancarkan partikel tertentu. Partikel ini dianalisis oleh detektor yang berbeda yang memungkinkan untuk merekonstruksi gambar tiga dimensi dari permukaan.