Mikroteknologi

Meski proses MEMS umumnya diklasifikasikan ke beberapa kategori,
seperti permesinan, sesungguhnya terdapat ribuan proses MEMS yang
berbeda. Beberapa melakukan proses geometri sederhana, sementara
yang lainnya melakukan proses geometri 3-D yang rumit dengan banyak
perubahannya. Sebuah perusahaan pembuat akselerometer untuk
airbag akan membutuhkan desain dan proses yang sangat berbeda
dibandingkan dengan pembuatan akseleromter untuk navigasi internal.
Perubahan dari akselerometer ke alat inersial lainnya seperti giroskop
membutuhkan perubahan dalam desain dan proses yang lebih rumit lagi,
juga fasilitas perakitan dan tim rekayasanya.