Alpha AXP

Prosesor ini memiliki perbedaan signifikan dibandingkan dengan 21064 dan 21164, yakni dari cache level-1 yang digunakan: prosesor ini menggunakan 128 Kilobyte cache level-1 yang terbagi menjadi 64 Kbyte instruction cache dan 64 Kbyte data cache. Cache level-1 yang digunakan adalah cache yang bersifat set associative 2-way. Berbeda dengan cache level-1 yang diperbesar, cache level-2 malahan dipindah dari chip ke motherboard: cache level-2 dapat berkisar dari kapasitas 1024 Kbyte hingga 16386 Kbyte. Tidak seperti 21164 yang memiliki cache level-3, prosesor 21264 tidak memilikinya. Meskipun cache level-2 diletakkan berjauhan dari chip, kinerjanya tidak buruk. Hal ini disebabkan oleh prosesor ini mengimplementasikan cache Level-1 yang cukup besar, dan memiliki kinerja yang baik karena cache tersebut memiliki hit-ratio yang tinggi, yang mengakibatkan turunnya latensi total dari akses memori secara keseluruhan.