Mikroskop gaya atom

Mikroskop gaya atom terdiri dari sebuah penopang ("cantilever") dengan ujung yang tajam sebagai alat pemeriksa ("probe") yang digunakan untuk memindai permukaan spesimen. Penopang ini biasanya terbuat dari silikon ataupun silikon nitrida dengan radius kelengkungan ujung mencapai bilangan nanometer. Ketika ujungnya dibawa mendekati permukaan sampel, gaya antara ujung tajam pemindai dengan permukaan sampel menyebabkan pelengkungan penopang sesuai dengan hukum Hooke. Tergantung pada situasinya, gaya yang diukur AFM meliputi gaya kontak mekanik, gaya van der Waals, gaya kapiler, ikatan kimia, gaya elektrostatik, gaya magnet (lihat mikroskop gaya magnet, MFM), gaya Casimir, gaya pelarutan, dll. Biasanya, kelengkungan ini diukur menggunakan spot laser yang dicerminkan dari permukaan atas penopang menuju larik fotodioda. Metode-metode lain yang digunakan meliputi interferometri optik, penginderaan kapasitif atau penopang AFM piezoresistif. Penopang ini dibuat dari unsur-unsur pizoresistif yang dapat berperilaku sebagai tolok regangan. Dengan menggunakan jembatan Wheatstone, regangan pada penopang AFM yang dikarenakan oleh pelengkungan dapat diukur. Namun, metode ini tidak sesensitif metode interferometri.