Silikon tetrafluorida

adalah produk sampingan dalam proses pembuatan pupuk fosfat yang disebabkan oleh efek asam fluorida (yang berasal dari protolisis fluorapatit) terhadap silikat. Di laboratorium, senyawa ini disiapkan dengan memanaskan di atas suhu 300 °C, dan kemudian unsur padat ini mengeluarkan dan menyisakan residu . yang dibutuhkan dalam proses ini disiapkan dengan mereaksikan asam heksafluorosilikat dengan barium klorida.