Mikroteknologi

Sistem mikro elektromekanikal atau MEMS ("Micro Electro Mechanical System"), pertama kali disebut pada tahun 1980 untuk menjelaskan
sistem mekanikal terbaru dan canggih pada chip, seperti motor
mikroelektrik, resonator, roda gigi, dan sebagainya. Saat ini, istilah
MEMS digunakan untuk merujuk pada alat mokroskopik dengan fungsi
mekanikal yang bisa diproduksi secara massal (seperti contoh, susunan
roda gigi mikroskopik yang dipasang pada mikrochip dikatakan
sebagai MEMS, namun generator laser mini tidak). Di Eropa,
istilah MST (Micro System tehnology) lebih sering digunakan, dan di
Jepang MEMS disebut dengan ""micromachine"". Perbedaan
istilah-istilah tersebut sangatlah kecil.