Deposition

Deposition atau pengendapan, pada proses mikrosistem adalah proses melapisi permukaan wafer dengan zat-zat tertentu. Deposition digunakan untuk berbagai macam tujuan seperti melindungi wafer, menjadi bahan untuk mask, membuat penghantar listrik, dan meletakkan komponen tertentu yang mungkin akan digunakan dalam komponen mikrosistem.