Mikroskop pemindai elektron

Sebuah mikroskop pemindai elektron pada dasarnya terdiri dari pistol elektron dan kolom elektron, yang fungsinya adalah untuk menghasilkan probe elektron baik pada sampel, tahap spesimen untuk memindahkan sampel di tiga arah dan sensor untuk menangkap dan menganalisa radiasi yang dipancarkan oleh sampel. Selain itu perangkat tentu harus dilengkapi dengan sistem pompa vakum