Fotolitografi

2. Melapisi wafer dengan "photoresist"
Sebelum penyinaran, "wafer" diberi lapisan "photoresist" yang akan bereaksi jika dikenai cahaya tergantung dari jenis "photoresist"-nya (positif atau negatif). Setelah dikenai cahaya, "photoresist" tersebut di larutkan pada cairan tertentu. Bagian yang terkena cahaya pada "photoresist" positif akan larut dan sebaliknya pada "photoresist" negatif, bagian yang terkena cahaya tidak akan larut.