Silikon nitrida

Silikon nitrida sering digunakan sebagai isolator dan penghalang kimiawi di bidang manufaktur sirkuit terpadu, untuk mengisolasi secara elektrik struktur yang berbeda atau sebagai masker etsa dalam permesinan mikro curah. Sebagai lapisan pasivasi, silikon nitrida lebih unggul daripada silikon dioksida, karena ia lebih baik secara signifikan sebagai penghalang difusi terhadap molekul air dan ion natrium, dua sumber utama korosi dan ketidakstabilan dalam mikroekektronika. Ia juga digunakan sebagai dielektrik antara lapisan polisilikon pada kapasitor dalam chip analog.