Mikroskop elektron

Pada sistem STEM ini, elektron menembus spesimen namun sebagaimana halnya dengan cara kerja SEM, optik elektron terfokus langsung pada sudut yang sempit dengan memindai objek menggunakan pola pemindaian dimana objek tersebut dipindai dari satu sisi ke sisi lainnya ("raster") yang menghasilkan lajur-lajur titik ("dots")yang membentuk gambar seperti yang dihasilkan oleh CRT pada televisi / monitor.