Silikon nitrida

Silikon nitrida juga digunakan dalam proses xerografi sebagai salah satu lapisan drum foto. Silikon nitrida juga digunakan sebagai sumber pengapian untuk peralatan gas rumah tangga. Karena sifat elastisnya yang baik, silikon nitrida, bersama dengan silikon dan silikon oksida, adalah bahan yang paling populer untuk kantilever — unsur penginderaan pada mikroskop gaya atom.