Pompa vakum

Orang pertama yang membuat pompa vakum adalah Guericke, sekitar tahun 1654. Itu adalah pompa minyak mentah, dengan persendian tetap kedap udara dengan perendaman air. Segera setelah Boyle menghasilkan pompa piston yang jauh lebih baik, dibuat oleh Robert Hooke. Sekitar waktu yang sama Accademia del Cimento menggunakan ruang vakum di kepala barometer merkuri yang membesar untuk melakukan eksperimen: ini dapat dianggap sebagai pompa merkuri satu langkah. Pompa pada pola Boyle dibuat oleh Hyygens, Papin dan Senguerd.