Šest inčna uljna difuzijska pumpa (preuzeto sa engleske Wikipedije)
**Difuzijske pumpe** koriste parne mlaznice velike brzine za plinske molekule, neposredno kroz mlaznice pare koje prolaze dalje kroz kućište na stražnji dio pumpe i kroz ispuh u okoliš. Wolfgang Gaede ih je prikazao 1915. g. pomoću živine pare. One su bile prvi tipovi visoko vakumskih pumpi koje su funkcionirale u režimu slobodnog molekularnog protoka, gdje kretanje plinskih molekula može biti razumljivije kod raspršivanja, nego kod konvencionalne dinamike tekućine. Gaede je koristio ime difuzijska pumpa prije njene konstrukcije, na osnovu pronalaska da se plin ne može raspršivati, nasuprot pare koja struji. Međutim, princip rada može biti točnije opisan kao plinsko- mlazna pumpa. Raspršivanje također ima ulogu u drugim velikim vakuumskim pumpama. U modernim udžbenicima, difuzijska pumpa je kategorizirana kao trenutno prijenosna pumpa. Difuzijska pumpa je široko primijenjena, u oba sektora: industriji i istraživanju. Najsuvremenije difuzijske pumpe koriste silikonsko ulje kao radni medij. Cecil Reginald Burch je otkrio 1928. g. mogućnost korištenja silikonskog ulja.

Uljne difuzijske pumpe
----------------------

**Uljna difuzijska pumpa** je upravljana sa uljem niskog pritiska pri isparavanju. Njena svrha je postići viši vakuum (donji pritisak) nego je moguće za korištenje pumpi. Iako je njeno korištenje bilo uglavnom povezano u sklopu visoko- vakuumskih raspona (prema dolje 10-9 mbar- a), difuzijske pumpe danas mogu proizvesti pritiske približno 10-10 mbar, nakon ispravnog korištenja sa modernom i dodatnom opremom. Primjene difuzijskih pumpi za vrlo visoke vakuume koriste se pri velikim brzinama pumpanja i svim plinovima, a pri tom su niski troškovi po jedinici. Difuzijske pumpe ne mogu izravno ispustiti u atmosferu plin, tako se mehanički prednji dio pumpe u pravilu koristi za održavanje izlaznog pritiska oko 0.1 mbar- a.

Difuzijske pumpe koje koriste Calutron mase, tijekom projekta Manhattan (preuzeto sa engleske Wikipedije)
Dijagram uljne difuzijske pumpe (preuzeto sa engleske Wikipedije)
Kroz mlaznicu fluid teče velikom brzinom i pri tom ključa te se tako stvara para u sklopu mlaznice. Treba imati na umu da je ulje plinovito kada se unosi u mlaznicu. Unutar mlaznica, protok se mijenja od laminarnog, prema nadzvučnom i molekularanom. Često se različite mlaznice koriste u serijama za povećanje rada pumpe. Difuzijske pumpe se izvana hlade zrakom ili vodom. Para se kondenzira i obnavlja i zatim vraća u bojler. Plinovi u pumpi teku prema dnu, gdje se povećava pritisak plinova. Za razliku od turbomolekularnih pumpi, difuzijske pumpe nemaju pokretne dijelove te kao takve su veoma izdržive i sigurne. Difuzijske pumpe mogu raditi na pritiscima između 10-10 i 10-2 mbar- a. One se upravljaju konvekcijom i prema tome imaju vrlo slabu energetsku učinkovitost. Glavni nedostatak difuzijskih pumpi je sklonost strujanju ulja u vakuumsku komoru. Ulje može zaprljati unutrašnju površinu komore u kontaktu s vrućim plohama ili prilikom električnog pražnjenja, nakon čega dolazi do karbonizacije. Zbog povratnog strujanja, ulja difuzijskih pumpi nisu prikladna za primjenu sa visoko osjetljivom procesnom opremom. Često se hladne prepreke koriste zato da povratno strujanje bude minimalno, makar se iz tog razloga gube sposobnosti pumpe. Zajednička greška u radu uljne difuzijske pumpe je izloženost vrućeg ulja prema okolini. Ako se ovo dogodi, ulje će pregorjeti i mora se zamijeniti. Sustav uvijek trebati biti ohlađen na sobnu temperaturu, prije kontakta s atmosferom.

Dijagram brzine pumpe u funkciji pritiska difuzijske pumpe (preuzeto sa engleske Wikipedije)

Parni ejektori
--------------

**Parni ejektor** je difuzijska pumpa za vakuumsku destilaciju i hladno sušenje. Mlaznica pare vuče paru koja mora biti izvučena iz vakuumske komore. Parni ejektori mogu imati jednu ili više faza, sa ili bez kondenzacije između faza.

Komprimirani-zračni ejektori
----------------------------

Jedna kategorija difuzijskih vakuumskih pumpi je višefazni komprimirano-zračni pogonjeni ejektor. To je vrlo popularna aplikacija gdje se objekt kreće oko komore i vakuumske linije.