Sachverhalt:
A.
Die Orange Communications SA stellte am 24. November 2011 bei der Gemeinde Hitzkirch das Gesuch, an der Bahnhofstrasse 40 in Hitzkirch eine neue Basisstation für Mobilfunk mit sechs Antennen mit einer Leistung von je 800 bis 900 Watt errichten und betreiben zu dürfen. Gegen das Baugesuch, das vom 30. November bis 19. Dezember 2011 öffentlich auflag, haben die Y._ Ltd, die Z._ AG und zahlreiche weitere Personen Einsprache erhoben. Mit Entscheid vom 15. März 2012 wies der Gemeinderat Hitzkirch die noch hängigen Einsprachen ab und erteilte der Orange Communications SA befristet bis längstens am 30. April 2017 die von ihr verlangte Baubewilligung. Eine dagegen vom X._, der Y._ Ltd und der Z._ AG gemeinsam erhobene Verwaltungsgerichtsbeschwerde wies das Verwaltungsgericht des Kantons Luzern mit Urteil vom 15. Februar 2013 ab.
B.
Der X._, die Y._ Ltd und die Z._ AG erheben gemeinsam beim Bundesgericht Beschwerde mit den Anträgen, das Urteil des Verwaltungsgerichts und die Baubewilligung aufzuheben. Eventuell sei die Sache zwecks fachlich kompetenter Abklärung der Risiken der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) an die Vorinstanz zurückzuweisen.
Die Orange Communications SA als private Beschwerdegegnerin schliesst auf Abweisung der Beschwerde, soweit darauf einzutreten sei.
Das Verwaltungsgericht beantragt unter Verweis auf das angefochtene Urteil die Abweisung der Beschwerde. Das Bundesamt für Umwelt und das Bau-, Umwelt- und Wirtschaftsdepartement des Kantons Luzern reichten zur Beschwerde je eine Stellungnahme ein, ohne darin Anträge zu formulieren.
Die Beschwerdeführer nahmen zur Vernehmlassung des Amts für Umwelt des Kantons Luzern Stellung.

Erwägungen:
1.
1.1. Beim angefochtenen Urteil handelt es sich um einen kantonal letztinstanzlichen Entscheid über die Baubewilligung für eine Mobilfunkanlage, welcher der Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten unterliegt (<ref-law>). Die Beschwerdeführerinnen 2 und 3 sind Eigentümerinnen von Parzellen innerhalb des praxisgemäss berechneten Einspracheradius und sind daher vom umstrittenen Vorhaben besonders berührt (<ref-ruling> E. 2 S. 169 ff.) . Sie haben zudem als Adressaten des angefochtenen Entscheids ein schutzwürdiges Interesse an dessen Aufhebung oder Änderung (<ref-law>; <ref-ruling> E. 1.3 S. 252 f.). Damit kann offenbleiben, ob auch der Beschwerdeführer 1 beschwerdelegitimiert ist, zumal er keine nur ihn betreffenden Rügen vorbrachte. Da auch die übrigen Sachurteilsvoraussetzungen vorliegen, ist auf die Beschwerde - unter Vorbehalt rechtsgenüglicher Begründung (Art. 42 Abs. 2 und <ref-law>) - grundsätzlich einzutreten.
1.2. Mit der Beschwerde in öffentlich-rechtlichen Angelegenheiten kann gemäss <ref-law> die Verletzung von Bundesrecht, einschliesslich von Bundesverfassungsrecht, gerügt werden. Abgesehen von hier nicht relevanten Ausnahmen gemäss Art. 95 lit. c und d BGG kann vor Bundesgericht die Verletzung kantonalen Rechts nicht gerügt werden; zulässig ist nur die Rüge, die Anwendung dieses Rechts führe zu einer Verletzung von Bundesrecht, namentlich des verfassungsmässigen Willkürverbots (<ref-ruling> E. 2 S. 149 f.).
1.3. Nach <ref-law> ist in der Beschwerdebegründung in gedrängter Form darzulegen, inwiefern der angefochtene Akt Recht verletzt. Die Verletzung von Grundrechten (einschliesslich der willkürlichen Anwendung von kantonalem ober kommunalem Recht und der Willkür bei der Sachverhaltsfeststellung) prüft das Bundesgericht nur insofern, als eine solche Rüge in der Beschwerde vorgebracht und begründet worden ist (<ref-law>; <ref-ruling> E. 1.6 S. 130). Wird eine Verletzung des Willkürverbots geltend gemacht, muss anhand der angefochtenen Subsumtion im Einzelnen dargelegt werden, inwiefern der Entscheid an einem qualifizierten und offensichtlichen Mangel leidet (vgl. <ref-ruling> E. 2.2 S. 246). Nach der Praxis des Bundesgerichts liegt Willkür in der Rechtsanwendung nur vor, wenn der angefochtene Entscheid offensichtlich unhaltbar ist, mit der tatsächlichen Situation in klarem Widerspruch steht, eine Norm oder einen unumstrittenen Rechtsgrundsatz krass verletzt oder in stossender Weise dem Gerechtigkeitsgedanken zuwiderläuft. Das Bundesgericht hebt einen Entscheid jedoch einzig auf, wenn nicht bloss die Begründung, sondern auch das Ergebnis unhaltbar ist. Dass eine andere Lösung ebenfalls als vertretbar oder gar zutreffender erscheint, genügt nicht (<ref-ruling> E. 4.1 S. 133; <ref-ruling> E. 1.2 S. 177; je mit Hinweisen).
1.4. Das Bundesgericht ist an den von der Vorinstanz festgestellten Sachverhalt gebunden, soweit dieser nicht offensichtlich unrichtig ist oder auf einer Rechtsverletzung im Sinne von <ref-law> beruht (Art. 105 und Art. 97 Abs. 1 BGG). Neue Tatsachen und Beweismittel können nur so weit vorgebracht werden, als erst der Entscheid der Vorinstanz dazu Anlass gibt (<ref-law>). Dies kann zutreffen, wenn die Vorinstanz materiell in einer Weise urteilt, die bestimmte Sachumstände erstmals rechtserheblich werden lässt (vgl. Urteil 1C_288/2012 vom 24. Juni 2013 E. 2.4.1).
2.
2.1. Das Verwaltungsgericht führte aus, die Gemeinde Hitzkirch habe als zuständige Bewilligungsbehörde das Bauvorhaben publiziert, öffentlich aufgelegt und den Anstössern mitgeteilt, zudem sei ein Baugespann montiert worden, weshalb die kantonalrechtlichen Anforderungen an die Veröffentlichung eines Baugesuchs erfüllt worden seien. Eine weitere Publikationspflicht in Nachbargemeinden bestehe unter diesen Voraussetzungen nicht.
2.2. Die Beschwerdeführer wenden ein, gemäss Art. 191 Abs. 1 des Planungs- und Baugesetzes des Kantons Luzern vom 7. März 1989 (PBG/LU) sei das Bauvorhaben mit Profilen so auszustecken, dass der gesamte Umfang der Baute oder Anlage ersichtlich sei. Im vorliegenden Fall sei der Mobilfunkmast nur mit einem Holzmast ausgesteckt worden, bei dem die Antennen gefehlt hätten.
2.3. Die Tatsachenbehauptung, dass bei der Aussteckung die Antennen gefehlt hätten, ist neu und kann damit nicht gehört werden, zumal nicht erst das angefochtene Urteil zu einer solchen Behauptung Anlass gab (vgl. E. 1.4 hiervor). Damit fehlt der sinngemäss erhobenen Rüge der Verletzung von Art. 191 Abs. 1 PBG/LU die tatsächliche Grundlage.
2.4. Weiter bringen die Beschwerdeführer vor, es könne nicht sein, dass das Bauvorhaben, bei dem fast 50 % der Einspruchsberechtigten in der Nachbargemeinde Ermensee wohnten, in dieser Gemeinde nicht zumindest im Amtsblatt hätte publiziert werden müssen.
2.5. Auf diese Rüge ist nicht einzutreten, weil die Beschwerdeführer damit sinngemäss eine Verletzung der kantonalen Vorschriften über die Publikation von Bauvorhaben geltend machen, ohne rechtsgenüglich darzulegen, inwiefern diese Rechtsanwendung zu einer Verletzung von Bundesrecht geführt haben soll (vgl. E. 1.2 und 1.3).
3.
3.1. Mobilfunkantennen sind als Infrastrukturbauten in Bauzonen zulässig, wenn ein Bezug zu den Zonenflächen besteht, auf welchen sie erstellt werden sollen (Art. 22 Abs. 2 lit. a RPG). Sie sind in diesem Sinne in der Bauzone grundsätzlich zonenkonform, soweit sie im Wesentlichen der Abdeckung derselben dienen (<ref-ruling> E. 4.3.1 und 4.3.2 S. 324 f. mit Hinweisen). Nicht erforderlich ist, dass die Mobilfunkantenne einzig dem Bauzonenteil dient, in welchem sie errichtet werden soll. Vielmehr ist zulässig, dass ein Teil der betreffenden Funkzelle das Nichtbaugebiet erfasst. Auch ist bei der Errichtung von Mobilfunkantennen innerhalb der Bauzone kein Bedürfnisnachweis erforderlich. Somit ist unmassgeblich, ob der von den Mobilfunkkonzessionen geforderte Abdeckungsgrad schon erreicht ist (Urteil 1A.162/2004 vom 3. Mai 2005 E. 4.3 mit Hinweisen).
3.2. Unter Berufung auf diese Rechtsprechung kam das Verwaltungsgericht zum Ergebnis, die geplante Mobilfunkantenne in der Industriezone sei zonenkonform, da sie auch der Erschliessung der umliegenden Wohn- und Gewerbezonen diene, weshalb sie im Wesentlichen Bauzonenland abdecke. Solange die massgebenden Grenzwerte eingehalten würden, sei die Leistung der Antenne nicht entscheidend, zumal ein Bedürfnisnachweis nicht erforderlich und auch nicht massgebend sei, ob der von der Mobilfunkkonzession geforderte Abdeckungsgrad bereits erreicht sei.
3.3. Die Beschwerdeführer wenden ein, gemäss der Rechtsprechung des Bundesgerichts dürften Mobilfunkanlagen nicht beliebige Ortsteile versorgen. So sei es nicht gestattet, von einem Wohnquartier aus ein grosses Dorf vollumfänglich zu bedienen. Die umstrittene Antenne diene nicht in erster Linie der Versorgung des Industriequartiers von Hitzkirch und Ermensee, sondern der Abdeckung der Hauptverkehrslinien der Seetalbahn und der Hauptstrasse durch das Seetal. Entsprechend seien zwei der Antennen auf diese Gebiete und bloss eine auf ein Wohnquartier und das Dorf Hitzkirch ausgerichtet. Wäre die Anlage nur für die Versorgung der Industriequartiere ausgelegt, hätte eine viel kleinere Leistung genügt.
3.4. Soweit die Beschwerdeführer gemäss diesen Ausführungen davon ausgehen, die Anlage dürfe bloss das Industriequartier erfassen, lassen sie ausser Acht, dass Mobilfunkantennen gemäss der genannten Rechtsprechung des Bundesgerichts nicht einzig dem Bauzonenteil dienen müssen, in welchem sie errichtet werden. Ansonsten kritisieren die Beschwerdeführer die Feststellung des Verwaltungsgerichts, wonach die geplante Anlage im Wesentlichen der Erschliessung der Industriezone des Standorts und der umliegenden Wohn- und Gewerbezonen diene. Auf diese Kritik ist jedoch nicht einzutreten, weil die Beschwerdeführer nicht rechtsgenüglich darlegen, inwiefern die beanstandete Feststellung willkürlich, bzw. unhaltbar sein soll (vgl. E. 1.3 hiervor); aus der Ausrichtung der Antennen allein lässt sich noch nicht auf das versorgte Gebiet schliessen. Damit fehlt der Behauptung der Beschwerdeführer, die Mobilfunkanlage sei nicht zonenkonform, die Grundlage.
4. Das Verwaltungsgericht kam zum Ergebnis, die von den Beschwerdeführern verlangte Konventionalstrafe für den Fall der Überschreitung der Bewilligungsfrist sei weder nötig noch gesetzlich vorgesehen.
Die Beschwerdeführer bringen dazu vor, da die Dauer der Befristung aus der Bewilligung nicht hervorgehe, könne ihre Verlängerung ohne Miteinbezug der Anwohner bewilligt werden. Die Baubewilligung sei auch in diesem Punk zu ungenau, weshalb die Ausschreibung wiederholt werden müsse.
Die Rüge ist unbegründet, weil die Baubewilligung gemäss ihrer Ziff. 4 ausdrücklich nur bis längstens am 30. April 2017 erteilt wurde.
5.
Im kantonalen Verfahren machten die Beschwerdeführer geltend, die in der Baubewilligung gemäss Zusatzblatt 4a für die Orte mit empfindlicher Nutzung (OMEN) 02 und 03 errechneten Werte von 5.94 bzw. 5.87 Volt pro Meter (V/m) lägen bedenklich nahe am Grenzwert von 6 V/m, weshalb das Datenblatt von einer unabhängigen Stelle auf seine Richtigkeit überprüft werden müsse. Das Verwaltungsgericht führte dazu aus, gemäss den Akten ergäben sich keine Anhaltspunkte dafür, dass die massgebenden Grenzwerte nicht korrekt berechnet worden seien. Diese Erwägung fechten die Beschwerdeführer vor Bundesgericht nicht an.
6.
6.1. Die Qualitätssicherungssysteme (QS-Systeme) dienen der Kontrolle, dass die bewilligten Parameter (äquivalente Strahlungsleistung ERP, Senderichtung) der Mobilfunkantennen im Betrieb eingehalten und die Grenzwerte der Verordnung vom 23. Dezember 1999 über den Schutz vor nichtionisierender Strahlung (NISV; SR 814.710) nicht überschritten werden. Diese Kontrolle ist in <ref-law> vorgesehen. Die Verordnung schreibt jedoch nicht vor, auf welche Weise sie zu erfolgen hat (Urteil 1C_169/2013 vom 29. Juli 2013 E. 4.4). Das bestehende QS-System wurde entwickelt, um das System der baulichen Begrenzungen zu überwinden und eine grössere Flexibilität zu erreichen (Urteil 1A.6/2007 vom 6. September 2007 E. 5.3). Das Bundesgericht hat mehrfach entschieden, dass das vom Bundesamt für Umwelt empfohlene QS-System eine zulässige Alternative zur Kontrolle durch bauliche Vorkehrungen darstellt und grundsätzlich den Anforderungen der bundesgerichtlichen Rechtsprechung an eine wirksame Kontrolle der Emissionsbegrenzungen genügt (Urteile 1A.4/2007 vom 25. Juni 2007 E. 3.1; 1C_282/2008 vom 7. April 2009 E. 3; 1C_169/2013 vom 29. Juli 2013 E. 4.4; je mit Hinweisen).
6.2. Unter Verweis auf diese Rechtsprechung kam das Verwaltungsgericht zum Ergebnis, das angewandte QS-System sei entgegen der Meinung der Beschwerdeführer einer mechanischen Kontrolle vorzuziehen.
6.3. Die Beschwerdeführer wiederholen vor Bundesgericht ihren Einwand, wonach das QS-System der Mobilfunkbetreiber ungenügend sei, da die Steuer- und Überwachungszentrale des Mobilfunknetzes von Orange aus Kostengründen nach Rumänien verlegt worden sei und damit eine Überprüfung der Rohdaten vor Ort nicht durchgeführt werden könne bzw. nie durchgeführt worden sei.
6.4. Diese Argumentation wurde vor Bundesgericht bereits in einem früheren Verfahren vorgebracht (vgl. Urteil 1C_661/2012 vom 5. September 2013 E. 5). Das Bundesamt für Umwelt kam jedoch in seinem im Januar 2012 vorgelegten Bericht "Stichprobenkontrollen von Mobilfunksendeanlagen und Überprüfung der Qualitätssicherungssysteme der Mobilfunkbetreiber Orange, Sunrise, Swisscom und SBB" zum Ergebnis, für das ordnungsgemässe Funktionieren der QS-Systeme und deren Kontrolle sei der Standort der zugehörigen Rechner und Speichermedien nicht von Belang. Dies wurde vom Bundesgericht bestätigt (Urteil 1C_661/2012 vom 5. September 2013 E. 5.2 i.V.m. E. 5.1). An dieser Rechtsprechung ist festzuhalten, zumal die Beschwerdeführer keine vom Bundesgericht noch nicht berücksichtigten Argumente vorbringen. Damit erweist sich auch der Einwand der Beschwerdeführer, das kantonale Amt für Umwelt könne seine Aufsichtspflicht nicht wahrnehmen, da sich die Steuerungszentrale von Orange in Rumänien befinde, als unbegründet.
7.
7.1. Sodann machen die Beschwerdeführer geltend, die errechneten Abstrahlungswerte seien so nahe an den Grenzwerten, dass diese bei kleinsten Veränderungen überschritten werden könnten. Diese Nähe zu den Grenzwerten sei unzumutbar, weil die verwendeten Messgeräte eine Ungenauigkeit von +/- 20 - 42 % aufwiesen und damit keine Überprüfung zuliessen. Damit verlangen die Beschwerdeführer dem Sinn nach, dass für die Anlagewerte eine der Messunsicherheit entsprechende Distanz zu den Grenzwerten vorzusehen sei.
7.2. Diesem Begehren kann nicht stattgegeben werden. Das Bundesgericht lehnt bei der rechnerischen Strahlungsprognose im Standortdatenblatt die Berücksichtigung eines Faktors für die Messunsicherheit ab, weil dies auf eine Verschärfung des Anlagegrenzwertes hinauslaufen würde (Urteil 1C_132/2007 vom 30. Januar 2008 E. 4.5).
7.3. Im Übrigen handelt es sich bei den Anlagegrenzwerten nicht um Gefährdungswerte, sondern um vorsorgliche Emissionsbegrenzungen, welche die Strahlung auf das technisch und betrieblich mögliche und wirtschaftlich tragbare Mass reduzieren sollen (Urteil 1C_132/2007 vom 30. Januar 2008 E. 4.4.5). Bei solchen Grenzwerten im Vorsorgebereich kommt gemäss der Rechtsprechung des Bundesgerichts auch bei den konkreten Messungen der Grundsatz zur Anwendung, wonach der gemessene Wert massgeblich ist, und die Messunsicherheit weder dazugerechnet noch abgezogen wird (Urteil 1C_132/2007 vom 30. Januar 2008 E. 4.6).
8.
8.1. Gemäss Art. 59b lit. a des Bundesgesetzes über den Umweltschutz (USG, SR 814.01) kann der Bundesrat den Inhabern bestimmter Betriebe und Anlagen vorschreiben, dass sie ihre Haftpflicht durch Versicherung oder in anderer Form sicherstellen. Eine solche Verpflichtung ist jedoch für Mobilfunkanlagen nicht eingeführt worden. Die kantonalen Baubehörden können daher die Erteilung der Baubewilligung für eine solche Anlage nicht vom Nachweis einer Haftpflichtversicherung abhängig machen (Urteil 1A.208/2004 vom 19. Januar 2005 E. 4).
8.2. Unter Berufung auf diese Rechtsprechung lehnte das Verwaltungsgericht die Forderung der Beschwerdeführer, die Beschwerdegegnerin hätten für die vorgesehene Mobilfunkanlage eine Haftpflichtversicherung über Fr. 100 Mio. abzuschliessen, ab.
8.3. Die Beschwerdeführer wenden ein, eine Haftpflichtversicherung sei erforderlich, weil die von der geplanten Anlage verursachten Schäden erst nach Jahren auftreten könnten und damit die Gefahr bestehe, dass dann die Beschwerdegegnerin als Aktiengesellschaft nicht mehr bestehe. Mit diesen Angaben vermögen die Beschwerdeführer jedoch nicht aufzuzeigen, inwiefern das Verwaltungsgericht Bundesrecht verletzt haben soll, wenn es gemäss der Rechtsprechung des Bundesgerichts für Betreiber von Mobilfunkantennen eine gesetzliche Grundlage für die Verpflichtung zum Abschluss einer Haftpflichtversicherung verneinte.
9.
9.1. Die elektromagnetische Verträglichkeit einer Mobilfunkanlage mit anderen elektrischen und elektronischen Geräten wird in aller Regel nicht im Baubewilligungsverfahren geprüft, sondern erst, wenn sich Störeinflüsse infolge des Betriebs der Mobilfunkantenne ergeben. In solchen Fällen kontrolliert das Bundesamt für Kommunikation (BAKOM), ob die Bestimmungen im Bereich elektromagnetische Verträglichkeit eingehalten werden, und ordnet die erforderlichen Massnahmen an (Art. 33 des Fernmeldegesetzes vom 30. April 1997 [FMG; SR 784.10] i.V.m. Art. 22 ff. der Verordnung vom 14. Juni 2002 über Fernmeldeanlagen [FAV; SR 784.101.2]). Diese Vorgehensweise erscheint in der Regel sinnvoll, da vor Inbetriebnahme der Anlage schwer vorhersehbar ist, ob und wenn ja welche Geräte gestört werden könnten. Anders verhält es sich jedoch, wenn ein Störungspotential erkennbar ist und die Gefahr von schwerwiegenden Sach- und/oder Personenschäden im Störungsfall besteht. In diesem Fall gebietet es das Vorsorgegebot, bereits im Baubewilligungsverfahren die elektromagnetische Verträglichkeit der geplanten Anlage zu prüfen und Vorkehrungen zu treffen, um gefährliche Störeinflüsse zu verhindern (Urteil 1C_400/2008 vom 19. Oktober 2009 E. 5.4 mit Hinweisen; bestätigt in Urteil 1C_154/2009 vom 27. April 2010 E. 7.3). Die Gefahr von schwerwiegenden Sach- und/oder Personenschäden wurde bei möglichen Unfällen in einer Chemiefabrik und der Gefährdung des Flugfunksystems des Flughafens Belpmoos bejaht (vgl. Urteil 1C_154/2009 vom 27. April 2010 E. 7.3).
9.2. Im kantonalen Beschwerdeverfahren behaupteten die Beschwerdeführer erstmals, in unmittelbarer Nähe (ca. 200 m) von der geplanten Mobilfunkanlage befänden sich Firmen, u.a. die Vita Bad AG, die mit hochempfindlichen elektronischen Messgeräten gefährliche Chemikalien verarbeiten würden. Störfälle bei diesen Messungen hätten unter Umständen tödliche oder toxische Folgen mit ernsthaften Auswirkungen auf die Nachbarschaft, weshalb erhebliche Risiken für Sach-, Umwelt- und Personenschäden bestünden.
9.3. Das Verwaltungsgericht erwog, diese Vorbringen seien pauschal und unsubstanziiert gehalten. Die Beschwerdeführer legten nicht dar, in welchen Gebäuden die Vita Bad AG mit welchen Chemikalien arbeite, obwohl dies die beiden Vertreter der Beschwerdeführerin 3 hätten wissen müssen, da sie Verwaltungsratsmitglieder der Vita Bad AG seien. Nur gestützt auf die unbelegten und pauschalen Vorbringen der Beschwerdeführer sei eine Rückweisung an die Vorinstanz zu weiteren Abklärungen nicht angezeigt. Die Instruktionsrichterin habe daher im Rahmen einer schriftlichen Beweisauskunft vom 27. August 2012 den Verwaltungsratspräsidenten der Vita Bad AG aufgefordert, namentlich die Fragen zu beantworten, ob diese Firma mit elektronischen oder elektrischen Geräten gefährliche Chemikalien bearbeite und wenn ja welche. Die am Folgetag zugestellte Aufforderung sei jedoch unbeantwortet geblieben. Auf dem Formular: "Fällt ihr Betreib unter die StFV", habe die Vita Bad AG u.a. deklariert, dass sie die gemäss Störfallverordnung erforderlichen Mengenschwellen für giftige, ätzende oder gesundheitsschädliche Stoffe nicht überschreite. Gestützt auf diese Deklaration habe das kantonale Amt für Umwelt und Energie (uwe) in seinem vom Verwaltungsgericht angeforderten Amtsbericht vom 21. November 2012 festgehalten, dass die Vita Bad AG nicht unter die Störfallverordnung falle. Dennoch könne aufgrund des von der Vita Bad AG ausgefüllten Formulars nicht ausgeschlossen werden, dass sie in kleineren, gemäss StFV nicht relevanten Mengen ätzende sowie reizende und damit gesundheitsschädliche Stoffe verarbeite. Auf weitere Abklärungen könne jedoch verzichtet werden, weil gemäss den Berechnungen des Verwaltungsgerichts die geplanten Mobilfunkanlage keine Strahlenbelastung erzeugen könne, die in den Produktionsstätten der Vita Bad AG die Funktion von elektrischen Geräten, mit denen eventuell Chemikalien verarbeitet werden, stören könnten. Da somit die Gefahr von schwerwiegenden Sach- oder Personenschäden im Störungsfall weder dargetan noch ersichtlich sei, sei die elektromagnetische Verträglichkeit der geplanten Anlage mit anderen elektronischen Geräten nicht mehr weiter zu prüfen.
9.4. Die Beschwerdeführer wenden ein, Vertreter der Vita Bad AG hätten durch Selbstdeklaration mittels "Formular StFV" vom 11. Dezember 2012 angegeben, dass gefährliche Stoffe im Betrieb verarbeitet würden. Auf der Grundlage dieser Selbstdeklaration habe das Amt für Umwelt und Energie bestätigt, dass die Vita Bad AG nicht der Störfallverordnung unterstehe, aber dennoch mit gefährlichen Chemikalien arbeite. Diese Auskünfte hätten sorgfältige EMV-Abklärungen erforderlich gemacht, da bei Störfällen mit chemischen Stoffen ein grosses Risiko für schwerwiegende Sach- und Personenschäden bestehe. Es könne der Vita Bad AG nicht vorgeworfen werden, diese Risiken nur pauschal und nicht substanziiert vorgebracht zu haben, da sie sich auf die entsprechende Fachkompetenz der Bewilligungsinstanz habe verlassen dürfen. Es müsse den Behörden genügen, dass sie im Sinne einer Anzeige auf die Risiken aufmerksam gemacht werden.
9.5. Im "Formular StFV" (Anhang zum Amt. Bel. 14) kreuzte die Vita Bad AG zur Beantwortung aller Fragen zur Mengenüberschreitung betreffend verschiedene gesundheitsschädigende Stoffe jeweils das Feld "nein" an. Daraus kann entgegen der Meinung der Beschwerdeführer nicht abgeleitet werden, dass die Vita Bad AG solche Stoffe verarbeitet. Dies ergibt sich auch nicht daraus, dass das Amt für Umwelt und Energie im Amtsbericht vom 21. November 2012 anführte, die Firma Vita Bad [AG] falle nicht in den Geltungsbereich der Störfallverordnung. Unter diesen Umständen hätten die Beschwerdeführer oder die Vertreter der Vita Bad AG bezüglich des von ihnen unsubstanziiert behaupteten Störungspotenzials nähere Angaben machen müssen, um die Gefahr von schwerwiegenden Sach- und/oder Personenschäden im Störungsfall erkennbar werden zu lassen. Die Vita Bad AG hat jedoch die entsprechenden vom Verwaltungsgericht gestellten Fragen unbeantwortet gelassen. Demnach konnte dieses Gericht mangels genügender Angaben und Anhaltspunkte bundesrechtskonform davon ausgehen, bei der Vita Bad AG sei ein erhebliches Störungspotenzial weder dargetan noch ersichtlich.
9.6. Den Ausführungen des Verwaltungsgerichts zur möglichen Strahlenbelastung der Räumlichkeiten der Vita Bad AG sind nach dem Gesagten nicht entscheiderheblich, weshalb auf die dagegen gerichtete Kritik der Beschwerdeführer nicht einzutreten ist.
10. Das Verwaltungsgericht kam zum Ergebnis, die Kosten von Fr. 2'100.-- für den Einspracheentscheid seien unter Berücksichtigung der verschiedenen getätigten Amtshandlungen nicht unangemessen gewesen und bewegten sich im unteren Bereich des gesetzlich vorgeschriebenen Rahmens.
Die Beschwerdeführer erheben auch vor Bundesgericht die Rüge, die Kosten des Einspracheverfahrens seien viel zu hoch gewesen. Zur Begründung führen sie an, dieses Verfahren sei weder kompliziert noch besonders aufwendig gewesen. Zudem sei die Baubewilligung zum grössten Teil aus Textbausteinen zusammengestellt gewesen. Auf diese Rüge ist nicht einzutreten, weil die Beschwerdeführer nicht rechtsgenüglich darlegen, inwiefern die massgebenden kantonalen Gesetzes- und Verordnungsbestimmungen in Verletzung von Bundesrecht, namentlich des Willkürverbots, angewendet worden sein sollen (vgl. E. 1.2 und 1.3 hiervor).
11.
Nach dem Gesagten ist die Beschwerde abzuweisen, soweit darauf einzutreten ist. Bei diesem Verfahrensausgang sind die Kosten des bundesgerichtlichen Verfahrens den Beschwerdeführern aufzuerlegen (<ref-law>). Diese haben zudem die private Beschwerdegegnerin für das bundesgerichtliche Verfahren angemessen zu entschädigen (<ref-law>).

Demnach erkennt das Bundesgericht:
1.
Die Beschwerde wird abgewiesen, soweit darauf einzutreten ist.
2.
Die Gerichtskosten von Fr. 4'000.-- werden den Beschwerdeführern unter Solidarhaft auferlegt.
3.
Die Beschwerdeführer haben die private Beschwerdegegnerin unter solidarischer Haftbarkeit für das bundesgerichtliche Verfahren mit Fr. 3'000.-- zu entschädigen.
4.
Dieses Urteil wird den Parteien, dem Gemeinderat Hitzkirch, dem Bau-, Umwelt- und Wirtschaftsdepartement des Kantons Luzern, Dienststelle Umwelt und Energie, dem Kantonsgericht Luzern, 4. Abteilung (vormals Verwaltungsgericht des Kantons Luzern, Verwaltungsrechtliche Abteilung), dem Verwaltungsgericht des Kantons Luzern, Verwaltungsrechtliche Abteilung, und dem Bundesamt für Umwelt schriftlich mitgeteilt.
Lausanne, 23. Oktober 2013
Im Namen der I. öffentlich-rechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Fonjallaz
Der Gerichtsschreiber: Gelzer