Sachverhalt:
Sachverhalt:
A. Der 1946 geborene M._ war von 1969 bis 1983 in der Firma E._ AG erwerbstätig gewesen und am 21. November 1998 in Italien an den Folgen eines anerkanntermassen berufsbedingten Pleuramesothelioms verstorben. Mit Beschwerde an das Verwaltungsgericht des Kantons Glarus vom 5. November 1999 liessen die Erben des Versicherten beantragen, es sei ihnen in Aufhebung des Einspracheentscheids der Schweizerischen Unfallversicherungsanstalt (SUVA) vom 11. August 1999 Invalidenrente, Integritätsentschädigung, Hilflosenentschädigung sowie Abfindung zuzusprechen und es sei der für das Taggeld massgebliche Verdienst neu festzusetzen. Nachdem das kantonale Gericht mit Entscheid vom 14. Juni 2000 u.a. eine Integritätsentschädigung von 80 % zugesprochen hatte, gelangte die SUVA beschwerdeweise an das Eidgenössische Versicherungsgericht. Dieses hob den angefochtenen Entscheid vom 14. Juni 2000 sowie den Einspracheentscheid der SUVA vom 11. August 1999 mit Urteil vom 4. April 2002 (U 327/00) auf und wies die Sache an letzte zurück, damit sie weitere Abklärungen darüber treffe, ob und allenfalls ab wann keine namhafte Besserung des Gesundheitszustandes des Versicherten mehr zu erwarten und gegebenenfalls ein Anspruch u.a. auf eine Integritätsentschädigung entstanden war.
Nach Einholung eines Gutachtens des Prof. Dr. med. R._, Abteilungsleiter des Departementes für Innere Medizin, Pneumologie, des Spitals X._ vom 15. November 2002 und Beizug einer Stellungnahme ihrer Abteilung Arbeitsmedizin vom 20. Januar 2003 hielt die SUVA mit Verfügung vom 5. März 2003 fest, die Voraussetzungen für eine Invalidenrente, eine Hilflosenentschädigung und eine Integritätsentschädigung seien nicht erfüllt. Daran hielt sie mit Entscheid vom 23. Oktober 2003 fest.
Nach Einholung eines Gutachtens des Prof. Dr. med. R._, Abteilungsleiter des Departementes für Innere Medizin, Pneumologie, des Spitals X._ vom 15. November 2002 und Beizug einer Stellungnahme ihrer Abteilung Arbeitsmedizin vom 20. Januar 2003 hielt die SUVA mit Verfügung vom 5. März 2003 fest, die Voraussetzungen für eine Invalidenrente, eine Hilflosenentschädigung und eine Integritätsentschädigung seien nicht erfüllt. Daran hielt sie mit Entscheid vom 23. Oktober 2003 fest.
B. Die Erben des Versicherten erhoben beim Verwaltungsgericht des Kantons Glarus Beschwerde und beantragten, in Aufhebung des Einspracheentscheides sei ihnen unter Gewährung eines Verzugszinses auf den zuzusprechenden Leistungen eine Invalidenrente und eine Integritätsentschädigung von 100 % auszurichten. Mit Entscheid vom 29. Juni 2004 wies das kantonale Gericht die Beschwerde ab.
B. Die Erben des Versicherten erhoben beim Verwaltungsgericht des Kantons Glarus Beschwerde und beantragten, in Aufhebung des Einspracheentscheides sei ihnen unter Gewährung eines Verzugszinses auf den zuzusprechenden Leistungen eine Invalidenrente und eine Integritätsentschädigung von 100 % auszurichten. Mit Entscheid vom 29. Juni 2004 wies das kantonale Gericht die Beschwerde ab.
C. Die Erben des Versicherten lassen Verwaltungsgerichtsbeschwerde führen und die vorinstanzlichen Rechtsbegehren erneuern. In einer weiteren Eingabe vom 19. April 2005 machen sie geltend, es sei auf die Argumentation in einer Stellungnahme des Bundesamtes für Sozialversicherung vom 16. November 2000 abzustellen, welche dem Eidgenössischen Versicherungsgericht bereits im Verfahren U 327/00 eingereicht worden war.
Während die SUVA auf Abweisung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde schliesst, verzichtet das Bundesamt für Gesundheit (BAG) auf eine Vernehmlassung.
Während die SUVA auf Abweisung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde schliesst, verzichtet das Bundesamt für Gesundheit (BAG) auf eine Vernehmlassung.
D. Mit Schreiben vom 20. Juli 2005 haben die Erben des Versicherten dem Eidgenössischen Versicherungsgericht mitteilen lassen, die SUVA habe mit Wirkung ab 1. Juli 2005 bei asbestbedingten Malignomen und anderen Tumoren mit ähnlichem Verlauf eine neue Verwaltungspraxis eingeführt.

Das Eidg. Versicherungsgericht zieht in Erwägung:
Das Eidg. Versicherungsgericht zieht in Erwägung:
1. Im angefochtenen Entscheid des kantonalen Gerichts vom 29. Juni 2004 und im Urteil des Eidgenössischen Versicherungsgerichts vom 4. April 2002 finden sich die Bestimmungen und Grundsätze gemäss der Rechtsprechung über die Gewährung der streitigen Leistungen bei Berufskrankheiten dargelegt. Darauf wird verwiesen.
1. Im angefochtenen Entscheid des kantonalen Gerichts vom 29. Juni 2004 und im Urteil des Eidgenössischen Versicherungsgerichts vom 4. April 2002 finden sich die Bestimmungen und Grundsätze gemäss der Rechtsprechung über die Gewährung der streitigen Leistungen bei Berufskrankheiten dargelegt. Darauf wird verwiesen.
2. 2.1 Die Vorinstanz geht davon aus, laut Gutachten des Prof. Dr. med. R._ seien beim Versicherten vom 13. Januar 1997 bis 31. Oktober 1997 zwei primär palliative Chemotherapien, denen aber ein mindestens teilweise kurativer Charakter nicht abgesprochen werden könne, durchgeführt worden und ab Oktober 1997 - zeitweise offenbar parallel zur bereits laufenden Chemotherapie - sei zusätzlich eine nur der Schmerzlinderung dienende palliative Therapie mit Morphinpräparaten eingeleitet worden. Demgegenüber habe das Eidgenössische Versicherungsgericht in seinem Urteil vom 4. April 2002 auf ein Attest des onkologischen Zentrums von C._ hingewiesen, wonach erst im September 1998 auf eine ausschliesslich der Schmerzlinderung dienende palliative Therapie mittels Morphinpräparaten umgestellt worden sei. Es sei auf die Erklärung des onkologischen Zentrums vom 16. September 1998 abzustellen und dieser Zeitpunkt als Ende der kurativen und Beginn einer ausschliesslich palliativen Behandlung anzunehmen.
2.2 Demgegenüber machen die Beschwerdeführer geltend, jeder Fall betreffend Vorliegen einer Dauerhaftigkeit der asbestbedingten gesundheitlichen Beeinträchtigungen müsse von den Gerichtsinstanzen einzeln überprüft werden. Die von der SUVA intern festgelegte Praxis, wonach bei Pleuramesotheliom die Ausrichtung einer Integritätsentschädigung an Asbestopfer eine Stabilisierung des Gesundheitszustandes von mindestens zwei Jahren voraussetze, sei nicht haltbar. Rechtlich zu beanstanden sei auch die Argumentation der Vorinstanz, welche entscheidend auf den Übergang von der kurativen zur palliativen Behandlung abstelle. Eine Dauerhaftigkeit der asbestbedingten Beeinträchtigung wäre im vorliegenden Fall zwar bereits anzunehmen, ginge man mit der Vorinstanz dahingehend einig, dass die rein palliative Behandlung beim Versicherten schliesslich etwas mehr als zwölf Monate gedauert habe, was aber gemäss der Aktenlage nicht zutreffe. Zudem habe selbst die SUVA im vorinstanzlichen Verfahren darauf hingewiesen, dass gemäss Prof. Dr. med. R._ nie eine kurative Behandlung vorgenommen, sondern sogleich mit einer palliativen Behandlung begonnen worden sei. Dabei sei die Meinung der SUVA, nur die eigentliche "Terminalpflege" sei als palliative Behandlung massgebend, wissenschaftlich nicht abgesichert und lasse sich auch nicht auf die Rechtsprechung abstützen. Nach der Praxis sei die Lebenserwartung nach ausgebrochener Krankheit entscheidend, und nicht die überspitzte Unterscheidung zwischen kurativer und palliativer Behandlung eines Erkrankten, wobei eine Krankheit in der Regel bereits ausgebrochen sei, wenn der Versicherte wegen der aufgetretenen Symptome (Atemnot, etc.) zum ersten Mal den Arzt aufsuche. Unabhängig davon, ob für eine lediglich kurze, vorübergehende Zeit mit einer kurativen Behandlung noch eine gewisse Verbesserung des Gesundheitszustandes erreicht werden konnte, verlaufe die Berufskrankheit des malignen Pleuramesothelioms stets tödlich. Da beim Versicherten diese Diagnose bereits Ende Dezember 1996 gestellt worden sei und bei den an diesem Leiden erkrankten Personen Symptome oft schon seit längerer Zeit vorhanden seien, bevor die genaue Diagnose gestellt werden könne, sei die für die Zusprechung einer Integritätsentschädigung erforderliche Dauerhaftigkeit gegeben. Die behandelnden Ärzte hätten ihre Massnahmen auf lindernde und den Krankheitsverlauf möglicherweise verzögernde (palliative) Therapien beschränkt. Nehme man für die Beurteilung der Dauerhaftigkeit den Ausbruch der Krankheit als massgebenden Zeitpunkt, so sei gar von einer Zeitdauer von mehr als zwei Jahren auszugehen.
2.3 Mit Urteil vom 4. April 2002 hat das Eidgenössische Versicherungsgericht die Sache an die SUVA zurückgewiesen zur Durchführung weiterer Abklärungen bezüglich der Frage, wann im konkreten Fall keine namhafte Verbesserung des Gesundheitszustandes mehr erwartet werden konnte und die Behandlung nur noch palliativer Art gewesen war (U 327/00, vgl. RKUV 2002 Nr. U 460 S. 415). Gestützt auf die vorhandenen Akten hat Prof. Dr. med. R._ am 15. November 2002 ein Gutachten erstellt, in welchem er zum Schluss gelangte, ab Oktober 1997 sei eine gegen Schmerzen und Atemnot gerichtete medikamentöse Therapie mit Morphin-Präparaten eingeleitet worden. Sodann sei ab November 1997, offenbar bei Zunahme der Atemnot, mit einer Heim-Sauerstoff-Therapie begonnen worden. Ferner sei den Akten zu entnehmen, dass dem Patienten im September 1998 einmalig 30 mg/m2 Vinorelbin intravenös verabreicht wurden. Der Gutachter hielt zudem fest, die behandelnden Ärzte hätten ihre Massnahmen auf lindernde und den Krankheitsverlauf möglicherweise verzögernde Therapien beschränkt. Kurze Zeit nach Stellung der Diagnose sei eine palliative Behandlung, die aus zwei unterschiedlichen Pflegearten von Chemotherapie bestand, eingeleitet worden. Nach fast einem ganzen Jahr diverser Chemotherapie-Zyklen sei rund ein Jahr vor dem Tod des Patienten auf eine ausschliesslich medikamentöse Therapie der Schmerzen und der Atemnot umgestellt worden. Der Zweck der Behandlung sei vor allem palliativ gewesen; ein weiteres Ziel sei gewesen, den Gesundheitszustand des Patienten zu bessern, zu stabilisieren und allenfalls den Verlauf der Erkrankung zu verzögern.
2.4 Aus den von Prof. Dr. med. R._ festgestellten Ergebnissen und den bereits im ersten Gerichtsverfahren vorhandenen Akten leitete das kantonale Gericht ab, anhand der gutachtlichen Befunde habe das Eidgenössische Versicherungsgericht in seinem Urteil vom 4. April 2002 auf das Attest des onkologischen Zentrums von C._ hingewiesen, wonach erst im September 1998 auf eine ausschliesslich der Schmerzlinderung dienende palliative Therapie mittels Morphinpräparaten umgestellt worden sei. Darauf sei abzustellen. Ginge man mit Prof. Dr. med. R._ dagegen von einem Beginn der ausschliesslich palliativen Behandlung ab Ende Oktober 1997 aus, betrage die Zeitspanne zwischen diesem Zeitpunkt und dem Tod des Versicherten lediglich etwas mehr als zwölf Monate, was nur rund die Hälfte dessen sei, was die SUVA in plausibler Art und Weise als dauernd im Sinne von <ref-law> verstehe.
2.4 Aus den von Prof. Dr. med. R._ festgestellten Ergebnissen und den bereits im ersten Gerichtsverfahren vorhandenen Akten leitete das kantonale Gericht ab, anhand der gutachtlichen Befunde habe das Eidgenössische Versicherungsgericht in seinem Urteil vom 4. April 2002 auf das Attest des onkologischen Zentrums von C._ hingewiesen, wonach erst im September 1998 auf eine ausschliesslich der Schmerzlinderung dienende palliative Therapie mittels Morphinpräparaten umgestellt worden sei. Darauf sei abzustellen. Ginge man mit Prof. Dr. med. R._ dagegen von einem Beginn der ausschliesslich palliativen Behandlung ab Ende Oktober 1997 aus, betrage die Zeitspanne zwischen diesem Zeitpunkt und dem Tod des Versicherten lediglich etwas mehr als zwölf Monate, was nur rund die Hälfte dessen sei, was die SUVA in plausibler Art und Weise als dauernd im Sinne von <ref-law> verstehe.
3. 3.1 Entgegen der bisherigen Auffassung der SUVA kann eine längerfristige Stabilisierung des Gesundheitszustandes bei Berufskrankheiten mit infauster Prognose von der Natur der Sache her, die sich wesentlich von Unfallfolgen unterscheidet, nicht verlangt werden. Einen Anspruch auf Integritätsentschädigung nur deswegen zu verweigern, weil sich der Gesundheitszustand nicht stabilisiert und die Behandlung - und sei sie auch nur rein palliativ - bis zum Tode weiterzuführen ist, würde der speziellen Situation der Berufskrankheit nicht gerecht (RKUV 2004 Nr. U 508 S. 268 Erw. 5.3.4). Andererseits würde es dem Zweck der Integritätsentschädigung widersprechen, den Erben eine Entschädigung allein dafür zuzusprechen, dass ihr Angehöriger sich für kurze Zeit vor seinem Ableben in einem Zustand befand, der jede Verbesserung ausschloss. Bricht eine Berufskrankheit mit infauster Prognose aus, kann zwar kein stabiler, allenfalls aber vorübergehend ein stationärer Gesundheitszustand erreicht werden und der Betroffene noch längere Zeit überleben. Über eine Mindestdauer hat das Eidgenössische Versicherungsgericht bisher nicht entschieden. Abgelehnt hat es die in der Lehre vertretene Meinung, dass bereits eine logische Sekunde genüge, in der sich der Versicherte nach Abschluss der Behandlung damit konfrontiert sieht, mit einem nicht mehr verbesserungsfähigen Schaden leben zu müssen. Bei einer - gemäss ärztlicher Prognose - schon ex ante sehr kurzen Lebenserwartung von etwa drei Monaten kann der Zweck der Integritätsentschädigung nicht mehr erreicht werden (RKUV 2004 Nr. U 508 S. 268 Erw. 5.3.2 und 5.3.3). Hat ein Unfallversicherer beim Erlass der Verfügung gar nicht mehr die Möglichkeit, die Leistungsgewährung prognostisch zu beurteilen, ist die Frage nach der Lebenserwartung retrospektiv zu prüfen.
3.2 Entgegen der Auffassung der Vorinstanzen konnte Prof. Dr. med. R._ in seinem Aktengutachten mit ausreichender Klarheit feststellen, dass rund ein Jahr vor dem Ableben des Versicherten (November 1997) auf eine ausschliesslich gegen Schmerzen und Atemnot gerichtete medikamentöse Behandlung, bestehend aus Morphin-Präparaten und Sauerstoff, umgestellt worden war. Wenn das Eidgenössische Versicherungsgericht in seinem ersten Urteil vom 4. April 2002 (U 327/00) auf das Attest des onkologischen Zentrums von C._ vom 28. September 1998 hingewiesen hatte, wonach erst im September 1998 auf eine reine schmerzlindernde palliative Therapie durch Morphin-Präparate umgestellt worden sei, war dies aus der damaligen Aktenlage heraus richtig. Indessen hat das neu eingeholte Gutachten des Prof. Dr. med. R._ vom 15. November 2002 zusätzliche Erkenntnisse über den gesamten Verhandlungsverlauf erbracht. Demzufolge ist die für die Zusprechung einer Integritätsentschädigung erforderliche Dauerhaftigkeit eines therapeutisch nicht mehr zu beeinflussenden, insofern stationären und zu palliativen Massnahmen Anlass gebenden Gesundheitszustandes während eines Jahres ausgewiesen. Darin liegt auch der rechtserhebliche Unterschied zu dem im Urteil K. vom 27. Dezember 2001 (U 372/99) beurteilen Sachverhalt. Dies rechtfertigt hier die Zusprechung einer Integritätsentschädigung im Grundsatz; über deren Ausmass wird die SUVA noch zu befinden haben. Ob der Zeitraum einer (zumindest) einjährigen Phase palliativer Behandlung im Sinne einer regelbildenden Gerichtspraxis auch für andere Asbestfälle beachtlich sei, braucht hier nicht entschieden zu werden. Dazu besteht umso weniger Anlass, als die SUVA anscheinend, gemäss Brief der Erben des Versicherten vom 20. Juli 2005, mit Wirkung ab 1. Juli 2005 eine neue Verwaltungspraxis eingeführt hat. Danach soll Anspruch auf einen 40 %igen "Vorschuss" sechs Monate nach Ausbruch der Krankheit und Anspruch auf weitere 40 % Entschädigung im Erlebensfalle nach zwei Jahren bestehen.
3.2 Entgegen der Auffassung der Vorinstanzen konnte Prof. Dr. med. R._ in seinem Aktengutachten mit ausreichender Klarheit feststellen, dass rund ein Jahr vor dem Ableben des Versicherten (November 1997) auf eine ausschliesslich gegen Schmerzen und Atemnot gerichtete medikamentöse Behandlung, bestehend aus Morphin-Präparaten und Sauerstoff, umgestellt worden war. Wenn das Eidgenössische Versicherungsgericht in seinem ersten Urteil vom 4. April 2002 (U 327/00) auf das Attest des onkologischen Zentrums von C._ vom 28. September 1998 hingewiesen hatte, wonach erst im September 1998 auf eine reine schmerzlindernde palliative Therapie durch Morphin-Präparate umgestellt worden sei, war dies aus der damaligen Aktenlage heraus richtig. Indessen hat das neu eingeholte Gutachten des Prof. Dr. med. R._ vom 15. November 2002 zusätzliche Erkenntnisse über den gesamten Verhandlungsverlauf erbracht. Demzufolge ist die für die Zusprechung einer Integritätsentschädigung erforderliche Dauerhaftigkeit eines therapeutisch nicht mehr zu beeinflussenden, insofern stationären und zu palliativen Massnahmen Anlass gebenden Gesundheitszustandes während eines Jahres ausgewiesen. Darin liegt auch der rechtserhebliche Unterschied zu dem im Urteil K. vom 27. Dezember 2001 (U 372/99) beurteilen Sachverhalt. Dies rechtfertigt hier die Zusprechung einer Integritätsentschädigung im Grundsatz; über deren Ausmass wird die SUVA noch zu befinden haben. Ob der Zeitraum einer (zumindest) einjährigen Phase palliativer Behandlung im Sinne einer regelbildenden Gerichtspraxis auch für andere Asbestfälle beachtlich sei, braucht hier nicht entschieden zu werden. Dazu besteht umso weniger Anlass, als die SUVA anscheinend, gemäss Brief der Erben des Versicherten vom 20. Juli 2005, mit Wirkung ab 1. Juli 2005 eine neue Verwaltungspraxis eingeführt hat. Danach soll Anspruch auf einen 40 %igen "Vorschuss" sechs Monate nach Ausbruch der Krankheit und Anspruch auf weitere 40 % Entschädigung im Erlebensfalle nach zwei Jahren bestehen.
4. An der prozessualen Weiterverfügung des Rentenanspruches haben die Beschwerdeführer im Hinblick auf die bis zum Ableben ausgerichteten Taggelder kein Rechtsschutzinteresse. Die Kumulation von vollem Taggeld und Invalidenrente ist ausgeschlossen.
4. An der prozessualen Weiterverfügung des Rentenanspruches haben die Beschwerdeführer im Hinblick auf die bis zum Ableben ausgerichteten Taggelder kein Rechtsschutzinteresse. Die Kumulation von vollem Taggeld und Invalidenrente ist ausgeschlossen.
5. Über den Verzugszins wird die SUVA unter Berücksichtigung des In-Kraft-Tretens des ATSG am 1. Januar 2003 neu zu verfügen haben.
5. Über den Verzugszins wird die SUVA unter Berücksichtigung des In-Kraft-Tretens des ATSG am 1. Januar 2003 neu zu verfügen haben.
6. Das Verfahren ist kostenlos (Art. 134 OG). Dem Prozessausgang entsprechend haben die Beschwerdeführer Anspruch auf eine Parteientschädigung (Art. 135 in Verbindung mit Art. 159 Abs. 2 OG).

Demnach erkennt das Eidg. Versicherungsgericht:
Demnach erkennt das Eidg. Versicherungsgericht:
1. In teilweiser Gutheissung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde, soweit darauf einzutreten ist, werden der Entscheid des Verwaltungsgerichts des Kantons Glarus vom 29. Juni 2004 und der Einspracheentscheid vom 23. Oktober 2003 mit der Feststellung aufgehoben, dass die Beschwerdeführenden Anspruch auf Integritätsentschädigung haben.
1. In teilweiser Gutheissung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde, soweit darauf einzutreten ist, werden der Entscheid des Verwaltungsgerichts des Kantons Glarus vom 29. Juni 2004 und der Einspracheentscheid vom 23. Oktober 2003 mit der Feststellung aufgehoben, dass die Beschwerdeführenden Anspruch auf Integritätsentschädigung haben.
2. Die Sache wird an die SUVA zurückgewiesen, damit sie über den Leistungsanspruch in masslicher Hinsicht (einschliesslich der Frage der Verzugszinsen) verfüge.
2. Die Sache wird an die SUVA zurückgewiesen, damit sie über den Leistungsanspruch in masslicher Hinsicht (einschliesslich der Frage der Verzugszinsen) verfüge.
3. Es werden keine Gerichtskosten erhoben.
3. Es werden keine Gerichtskosten erhoben.
4. Die Schweizerische Unfallversicherungsanstalt hat den Beschwerdeführenden für das Verfahren vor dem Eidgenössischen Versicherungsgericht eine Parteientschädigung (einschliesslich Mehrwertsteuer) von Fr. 2'500.-- zu bezahlen.
4. Die Schweizerische Unfallversicherungsanstalt hat den Beschwerdeführenden für das Verfahren vor dem Eidgenössischen Versicherungsgericht eine Parteientschädigung (einschliesslich Mehrwertsteuer) von Fr. 2'500.-- zu bezahlen.
5. Das Verwaltungsgericht des Kantons Glarus wird über eine Parteientschädigung für das kantonale Verfahren entsprechend dem Ausgang des letztinstanzlichen Prozesses zu befinden haben.
5. Das Verwaltungsgericht des Kantons Glarus wird über eine Parteientschädigung für das kantonale Verfahren entsprechend dem Ausgang des letztinstanzlichen Prozesses zu befinden haben.
6. Dieses Urteil wird den Parteien, dem Verwaltungsgericht des Kantons Glarus und dem Bundesamt für Gesundheit (BAG) zugestellt.
Luzern, 24. Oktober 2005
Im Namen des Eidgenössischen Versicherungsgerichts
Der Präsident der IV. Kammer: Der Gerichtsschreiber: