Sachverhalt:
A. Auf Begehren verschiedener Anwohner des Flughafens Zürich ersuchte der Kanton Zürich als damaliger Flughafenhalter im Juni 1999 die Eidgenössische Schätzungskommission, Kreis 10, um Eröffnung formeller Enteignungsverfahren zur Abgeltung übermässiger Fluglärm-Immissionen. In der Folge wurden der Schätzungskommission zahlreiche Entschädigungsforderungen überwiesen. Davon stammten 126 von Grundeigentümern in Opfikon-Glattbrugg und betreffen 162 Liegenschaften im Bereich der Abflugschneise der Piste 16. Diese Begehren waren beim Kanton vom 1. Juli 1998 bis 5. Mai 1999 eingegangen.
Am 25. Mai 2001 wurde die Flughafen Zürich AG als neue Flughafenhalterin auf ihr Gesuch hin unter Zuerkennung der Parteistellung zum Verfahren beigeladen. Mit Eingabe vom 23. Juli 2001 erhoben der Kanton Zürich und die Flughafen Zürich AG in den genannten Verfahren die Einrede der Verjährung und beantragten, dass über diese vorweg in einem Teilentscheid befunden werde. Im nachfolgenden Schriftenwechsel befassten sich die Parteien ausschliesslich mit der Verjährungsfrage. Mit Verfügung vom 6. November 2002 stellte der Präsident der Schätzungskommission formell fest, dass der Entscheid über die Verjährungseinrede mit ausdrücklichem oder stillschweigendem Einverständnis der Parteien im Sinne von Art. 60 Abs. 4 des Bundesgesetzes über die Enteignung ohne Beizug der übrigen Mitglieder gefällt werde.
B. Mit Entscheid vom 11. Juni 2003 wies der Präsident der Eidgenössischen Schätzungskommission, Kreis 10, die Verjährungseinrede ab. Er erwog, nach ständiger Rechtsprechung des Bundesgerichts unterlägen Forderungen des öffentlichen Rechts, mithin auch enteignungsrechtliche Entschädigungsforderungen, aus Gründen der Rechtssicherheit der Verjährung. Die fünfjährige Verjährungsfrist für Ansprüche der hier zu beurteilenden Art beginne zu laufen, sobald die drei in ständiger Praxis entwickelten Voraussetzungen für die Abgeltung von Eingriffen in nachbarrechtliche Abwehransprüche - nämlich die Unvorhersehbarkeit und die Spezialität der Einwirkungen sowie die Schwere des Schadens - kumulativ gegeben seien. Die Voraussetzung der Unvorhersehbarkeit der übermässigen Immissionen aus dem Flugverkehr sei in den vorliegenden Fällen erfüllt, da die Entschädigung fordernden Grundeigentümer ihre Liegenschaften vor dem gemäss bundesgerichtlicher Rechtsprechung massgeblichen Zeitpunkt (1. Januar 1961) erworben hätten. Das Kriterium der Schwere des Schadens sei für den Beginn des Fristenlaufs im Zusammenhang mit dem Fluglärm nicht erheblich. Deshalb stelle die Voraussetzung der Spezialität der Einwirkungen die massgebliche Variable zur Feststellung der Entstehung des Entschädigungsanspruchs dar. Diese Voraussetzung sei in der Regel dann erfüllt, wenn das (Lärm-)Mass das Übliche und Zumutbare übersteige. Dies sei gemäss heutiger Gesetzgebung und Rechtsprechung der Fall, wenn die im Umwelt- bzw. Lärmschutzrecht festgelegten Belastungsgrenzwerte überschritten würden. Die Belastungsgrenzwerte für den Lärm der Landesflughäfen seien jedoch in den Jahren 1998 und 1999, als die hier umstrittenen Entschädigungsbegehren eingereicht worden seien, noch nicht rechtsverbindlich gewesen. Andererseits sei offenkundig, dass die damaligen Messwerte weit über den nun nachträglich festgelegten Grenzwerten gelegen hätten. Nach neueren Erwägungen des Bundesgerichtes (<ref-ruling>) sei indessen der gemessene, gemittelte Dauerlärmpegel Leq für die Beurteilung der störenden Einwirkungen des Fluglärms nicht allein massgebend; vielmehr bilde auch die Anzahl Flugbewegungen eine wichtige Determinante für das Ausmass der Belästigung. Aus diesem Grunde seien vom Bundesamt für Zivilluftfahrt die Bewegungsstatistiken der An- und Abflüge auf dem Flughafen Zürich beigezogen worden. Aus den jährlichen Bewegungszahlen ergebe sich, dass die Abflüge auf Piste 16, die über die Liegenschaften der Gesuchsteller führten, ab Herbst 1996 erheblich zugenommen hätten. Ab Einführung der sog. 4. Welle habe ein "Dauerlärmteppich" die bisherigen Ruhepausen ersetzt. Dieser Zeitpunkt könne mit der Erkennbarkeit der Übermässigkeit gleichgesetzt werden. Bei Annahme einer fünfjährigen Verjährungsfrist könnten daher die in den Jahren 1998 und 1999 eingereichten Entschädigungsbegehren nicht verjährt sein. Die Verjährungseinrede sei daher abzuweisen. Unter diesen Umständen könne offen bleiben, ob nicht richtigerweise eine zehnjährige Verjährungsfrist gelten sollte und ob der Kanton Zürich die Enteigneten nicht durch sein Verhalten von der Geltendmachung ihrer Entschädigungsansprüche abgehalten habe.
C. Gegen den Entscheid des Präsidenten der Eidgenössischen Schätzungskommission, Kreis 10, haben der Kanton Zürich und die Flughafen Zürich AG Verwaltungsgerichtsbeschwerde eingereicht. Die Beschwerdeführer verlangen, dass die eingereichten Entschädigungsbegehren in Aufhebung des angefochtenen Entscheides infolge Verjährung abgewiesen würden bzw. festgestellt werde, dass diese Begehren verjährt und demzufolge nicht mehr durchsetzbar seien.
Zur Begründung bringen die Beschwerdeführer im Wesentlichen vor, es könne weder an der Verjährbarkeit der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche noch daran gezweifelt werden, dass in Fällen wie den vorliegenden eine fünfjährige Verjährungsfrist gelte. Die Verjährung beginne mit der Entstehung des Entschädigungsanspruchs und damit bei Vorliegen der drei Voraussetzungen der Unvorhersehbarkeit, der Spezialität und der Schwere der Einwirkungen. Das Kriterium der Unvorhersehbarkeit scheine hier als erfüllt, wobei allenfalls - was in einem materiellrechtlichen Verfahren abzuklären wäre - der Stichtag für den Flughafen Zürich früher als auf den 1. Januar 1961 angesetzt werden müsste. Uneinigkeit herrsche darüber, wann die für den Verjährungsbeginn entscheidende Spezialität der Immissionen eingetreten sei. Für die Frage, wann die Lärmbeeinträchtigungen das Mass des Üblichen und Tolerierbaren überschritten hätten, könne keine Rolle spielen, dass die Immissionsgrenzwerte für Landesflughäfen erst seit kurzem in Kraft seien, da sich aus den Gutachten der Eidgenössischen Expertenkommission für die Beurteilung von Lärm-Immissionsgrenzwerten genügend Anhaltspunkte für die Festsetzung von Grenzwerten ergäben. Gemäss den Angaben der Grundeigentümer selbst habe sich der Dauerschallpegel Leq seit Beginn der statistischen Messungen (1972) bis 1984 etwa zwischen 68,3 und 68,8 dB(A) bewegt. Seit Herbst 1996 sei er weiter auf 70 dB(A) angestiegen. Ab Herbst 2001 seien jedoch die Flugbewegungen auf dem Flughafen Zürich aus den bekannten Gründen signifikant zurückgegangen und sei auch in nächster Zeit nicht mit einem Wiederanstieg zu rechnen. Somit ergebe sich, dass der Immissionsgrenzwert auf den den Empfindlichkeitsstufen II und III zugewiesenen Grundstücken der Beschwerdegegner seit Anfang der siebziger Jahre, spätestens aber seit Mitte der achtziger Jahre infolge des Start-Lärms auf der Piste 16 überschritten werde. Soweit im angefochtenen Entscheid erwogen werde, neben dem Dauerschallpegel auch die Zahl der Flugbewegungen zu berücksichtigen, könne dies allenfalls Anregung für künftige Normsetzung sein, habe aber mit dem geltenden Recht nichts zu tun. Die fraglichen Lärmimmission müssten gemäss den in der Umweltschutzgesetzgebung festgelegten Methoden bemessen und anhand der dort bestimmten Belastungsgrenzwerten, die nunmehr auch den Empfehlungen der Expertenkommission entsprächen, beurteilt werden. Die Annahme, dass die Verjährungsfrist erst im Zeitpunkt der Zunahme der Flugbewegungen im Herbst 1996 zu laufen begonnen habe, sei unzulässig, da auf das erstmalige Überschreiten der Immissionsgrenzwerte abgestellt werden müsse.
Was die Erkennbarkeit der Grenzwertüberschreitungen anbelangt, so legen die Beschwerdeführer weiter dar, dass diese seit Jahrzehnten gegeben sei. Die Bevölkerung um den Flughafen Zürich habe die Überschreitung der Zumutbarkeitsgrenze auch tatsächlich gekannt. Die Argumentation der Beschwerdegegner, dass sich die Bevölkerung bis 1996 mit der übermässigen Lärmbelastung abgefunden und erst das weitere Ansteigen des Lärmpegels einen Stimmungsumschwung bewirkt habe, laufe darauf hinaus, dass für die Feststellung des Zeitpunktes der objektiven Erkennbarkeit auf das rein subjektive Empfinden der einzelnen Betroffenen abgestellt werde. Damit würde es diesen anheim gestellt zu bestimmen, wann die Verjährung ihrer Entschädigungsansprüche zu laufen beginne. Im Weiteren seien die Verhältnisse auf dem Flughafen Zürich durchaus mit jenen auf dem Flughafen Genf zu vergleichen, mit denen sich das Bundesgericht in seiner Rechtsprechung zur Verjährungsfrage auseinandergesetzt habe. Zusammenfassend sei festzuhalten, dass die Übermässigkeit der Lärmbelastung seit den achtziger Jahren objektiv erkennbar gewesen sei und als allerletzter Zeitpunkt für den Beginn der Verjährungsfrist in Anlehnung an <ref-ruling> die amtliche Veröffentlichung der Lärmzonenpläne am 28. August 1987 in Betracht fallen könne. Mit all diesen Vorbringen habe sich die Vorinstanz übrigens überhaupt nicht auseinander gesetzt und dadurch den Anspruch der Beschwerdeführer auf rechtliches Gehör verletzt. Zur Frage des Vertrauensschutzes bringen die Beschwerdeführer schliesslich vor, die Behörden hätten hinsichtlich der Verjährung nie irgendwelche konkreten Zusicherungen abgegeben und auch keine verbindlichen Feststellungen über den Schadenseintritt und allfällige Entschädigungen getroffen. Aus den Erwägungen des Bundesgerichts, die im Zusammenhang mit dem Flughafenausbau angestellt worden seien, könnten die Beschwerdeführer ebenfalls nichts für sich herleiten, da Urteile aus den Jahren 1997 bis 2000 keine Verunsicherung bezüglich einer Verjährungsfrist hätten hervorrufen können, die längst abgelaufen gewesen sei.
Die Beschwerdeführer ersuchen um Durchführung eines zweiten Schriftenwechsels.
D. Der Beschwerdegegner 111 stellt Antrag auf Abweisung der Beschwerde. Er bringt vor, solange kein formelles Enteignungsverfahren für einen immissionsträchtigen Betrieb durchgeführt werde, könne die Verjährung gar nicht eintreten. Im vorliegenden Fall müsse auch berücksichtigt werden, dass der Lärm um den Flughafen Zürich-Kloten laufend zugenommen habe, was zwangsläufig zur jeweiligen Neubeurteilung führen müsse. Die Verjährungsfrist könne zudem erst zu laufen beginnen, wenn die Belastungsgrenzwerte festgelegt seien, der Lärmbelastungskataster erlassen sei und die Sanierungsfristen abgelaufen seien.
Die weiteren Beschwerdegegner, die alle vom gleichen Rechtsanwalt vertreten sind, ersuchen um Bestätigung der angefochtenen Verfügung und Abweisung der Verwaltungsgerichtsbeschwerde bzw. der Einrede der Verjährung. Eventuell sei die Einrede jedenfalls bezüglich der formellen Enteignung der Nachbarrechte infolge der neuen Fluglärmimmissionen seit Herbst 1996 sowie der weiteren aufgrund der Südanflüge eingetretenen neuen Lärmimmissionen und anderen Beeinträchtigungen des Grundeigentums abzuweisen. In prozessualer Hinsicht stellen die Beschwerdegegner Antrag auf Durchführung einer öffentlichen Parteiverhandlung und auf öffentliche Urteilsverkündigung. In der umfangreichen Beschwerdeantwort wird - zusammengefasst - geltend gemacht, der Eintritt der Spezialität der Immissionen könne nicht allein anhand der - seinerzeit noch gar nicht bestehenden - Immissionsgrenzwerte bestimmt werden. Das Bundesgericht habe in den Verfahren um den Flughafen Genf eine von diesen Werten unabhängige, praktische und opportune Lösung gewählt, die sinngemäss auf die Verhältnisse in Zürich übertragen werden müsse. Dabei sei zu berücksichtigen, dass in Zürich - im Gegensatz zu Genf - nie ein offizielles Enteignungsverfahren mit Aufforderung zur Anmeldung der Entschädigungsforderungen durchgeführt worden und es nie zu einem Präzedenzfall vor Bundesgericht gekommen sei. Zu beachten sei weiter, dass die Piste 16 ursprünglich nur von den Langstreckenflugzeugen benutzt worden sei und erst ab 1993 vermehrt für Starts in Richtung Süden freigegeben worden sei, wobei zunächst immer noch Ruhepausen verblieben seien. Erst mit der Einführung der 4. Welle und der plötzlichen Verdoppelung der täglichen Flugbewegungen im Herbst 1996 sei der Fluglärm in Opfikon absolut unerträglich geworden. Auch für die Zukunft sei weiterhin mit einer intensiven Benützung der "Blindlandepiste" als Startpiste und neu nun auch als Landepiste für Südanflüge zu rechnen. Nach heutigen Erkenntnissen müsse für die Beurteilung der Störwirkung und damit auch für den Eintritt der Spezialität vermehrt auf die Anzahl der Schallereignisse und die Dauer der Ruhepausen abgestellt werden. Dem entspreche, dass die Übermässigkeit der Immissionen für die Einwohner von Opfikon erst bei der plötzlichen Verdoppelung der Flugbewegungszahl erkennbar geworden sei. Für die objektive Erkennbarkeit sei im Übrigen auf die Gesamtheit der Umstände im betroffenen Gebiet abzustellen, so auf die raumplanerischen Versäumnisse der Gemeinde und des Kantons sowie auf den Einbezug der Liegenschaften in Opfikon (bloss) in die Lärmzone C. Weiter hätten die behördlichen Informationen im Zusammenhang mit der fünften Ausbauetappe bei den Einwohnern den Eindruck erweckt, dass die Fluglärmbelastung nicht mehr zunehmen werde. Den Grundeigentümern im Süden des Flughafens habe der Kanton denn auch immer zugesichert, dass dieses Gebiet geschont würde. Da wie erwähnt die Grundstücke in Opfikon der Lärmzone C zugewiesen worden seien, seien die Eigentümer in ihren Nutzungsrechten nicht eingeschränkt worden und habe für sie keine Aussicht auf Entschädigung bestanden. Im Gegensatz zu den Fällen in Genf könne daher die Publikation der Lärmzonenpläne nicht als massgeblicher Zeitpunkt für den Beginn der Verjährung betrachtet werden. Zudem könne die Erkennbarkeit des Rechtsweges frühestens ab dem zweiten Entscheid Jeanneret aus dem Jahre 1995 (<ref-ruling>) bejaht werden. Der Kanton Zürich habe ebenfalls nichts zu einer Klärung der rechtlichen Situation beigetragen, sondern die Grundeigentümer gegenteils hingehalten. Daran vermöchten die von der Gegenseite angeführten Umstände (Gründung des Schutzverbandes, Flughafengesetz von 1970, Klagen von Anwohnern usw.), welche belegen sollten, dass der Schaden bereits in den achtziger Jahren erkennbar und die Bevölkerung über den Rechtsweg informiert gewesen sei, nichts zu ändern.
Zum Eventualantrag wird weiter dargelegt, mit der extremen Frequenzzunahme im September 1996 sei unabhängig von der vorangegangenen Entwicklung eine neue, zusätzliche Entschädigungsforderung aus formeller Enteignung von Nachbarrechten entstanden. Diese Forderung könne unmöglich verjährt sein, bevor sie überhaupt entstanden sei. Aus der Rechtsprechung des Bundesgerichtes, nach welcher Strassenanwohner von wichtigeren Verkehrsachsen mit dem Ausbau und mit Verkehrszuwachs rechnen müssten, könne für den Betrieb von Flughäfen nichts hergeleitet werden. Ausserdem schaffe der Südanflug völlig neue Verhältnisse. Verschiedene Liegenschaften der Beschwerdegegner würden heute im Tiefstflug überflogen und könnten aus diesem Grunde Entschädigung verlangen, wobei die drei Voraussetzungen für Immissionsenteignungen nicht gegeben sein müssten. Schliesslich könnten die Beschwerdegegner Vertrauensschutz beanspruchen, weil die zürcherischen Behörden die Bewohner der Südgemeinden immer im Glauben gelassen hätten, die Lärmsituation werde sich nicht verschlimmern, sondern eher verbessern. Die Eigentümer hätten deshalb darauf vertrauen dürfen, dass Entschädigungsbegehren aussichtslos oder allenfalls verfrüht seien. Diese Vertrauensgrundlage sei frühestens mit dem zweiten bundesgerichtlichen Entscheid Jeanneret bzw. mit der Einführung der 4. Welle zerstört worden. Auch für die Einwohner von Opfikon müsse sodann gelten, dass die Verjährungsfrist durch die laufende umweltschutzrechtliche Sanierungsfrist gehemmt werde. Abschliessend ziehen die Beschwerdegegner in Zweifel, ob die Verjährungsfrist (nur) fünf Jahre betrage und ob die enteignungsrechtliche Entschädigungsforderung überhaupt verjährbar sei.
E. Der Präsident der Eidgenössischen Schätzungskommission, Kreis 10, hat auf Vernehmlassung verzichtet.
F. Den Parteien ist mit Verfügung des Instruktionsrichters vom 20. November 2003 mitgeteilt worden, dass über die Verfahrensanträge soweit nötig später förmlich entschieden werde.

Das Bundesgericht zieht in Erwägung:
1. Entscheide der Eidgenössischen Schätzungskommissionen und deren Präsidenten unterliegen nach Art. 77 Abs. 1 des Bundesgesetzes über die Enteignung (EntG, SR 711) der eidgenössischen Verwaltungsgerichtsbeschwerde. Das Bundesgericht wendet auf Verwaltungsgerichtsbeschwerde hin das Recht von Amtes wegen an, wobei es grundsätzlich an die Parteibegehren, nicht aber an die vorgebrachten Begründungen gebunden ist (vgl. Art. 114 Abs. 1 OG). In bundesrechtlichen Enteignungsverfahren steht dem Bundesgericht nach der Praxis trotz Art. 105 Abs. 2 OG auch in tatsächlicher Hinsicht freie Prüfung zu (<ref-ruling> E. 1b, 447 E. 1).
2. Die Beschwerdeführer haben um einen zweiten Schriftenwechsel ersucht, die Beschwerdegegner stellen unter Berufung auf Art. 6 EMRK Antrag auf Durchführung einer öffentlichen Parteiverhandlung und auf öffentliche Urteilsverkündigung.
Die Parteien haben sich in der Beschwerde und in den Beschwerdeantworten zur Streitsache bereits ausführlich geäussert. Die Durchführung eines weiteren Schriftenwechsels rechtfertigt sich daher nicht. Das Gleiche gilt auch für die von den Beschwerdegegnern verlangte Parteiverhandlung.
Was die Öffentlichkeit des Verfahrens anbelangt, so haben die Beschwerdegegner im vorinstanzlichen Verfahren durch ihr Einverständnis zur Beurteilung der Sache (allein) durch den Schätzungskommissions-Präsidenten sinngemäss auf ein öffentliches Verfahren verzichtet. Auf diesen Verzicht können sie vor Bundesgericht nicht wieder zurückkommen (vgl. <ref-ruling> E. 2c S. 23 ff.). Dem Anspruch auf öffentliche Urteilsverkündigung wird dadurch Rechnung getragen, dass die Urteilssprüche jeweils beim Bundesgericht während vier Wochen öffentlich aufgelegt werden.
3. Die Beschwerdeführer beklagen sich insofern über eine Verletzung des rechtlichen Gehörs, als der Schätzungskommissions-Präsident auf ihre Darlegungen, insbesondere was die Erkennbarkeit der Übermässigkeit bzw. der Spezialität der Lärmeinwirkungen betreffe, nicht eingegangen sei. Einzuräumen ist, dass sich die Vorinstanz in ihren Erwägungen mit der Argumentation der Beschwerdeführer kaum befasst. Aus dem Urteil geht jedoch klar hervor, ab wann und aus welchen Gründen die Voraussetzung der Spezialität der Immissionen als erfüllt betrachtet werden müsse. Damit ist der Schätzungskommissions-Präsident seiner Begründungspflicht nachgekommen. Die Beschwerdeführer waren denn auch - wie die vorliegende Verwaltungsgerichtsbeschwerde zeigt - durchaus in der Lage, den fraglichen Entscheid sachgerecht anzufechten. Der Vorwurf der Gehörsverletzung ist demnach zurückzuweisen (vgl. <ref-ruling> E. 2a, 126 I 97 E. 2a S. 102 f., je mit Hinweisen auf weitere Urteile).
4. Umstritten ist ein Teilentscheid über die Verjährung der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche, die von verschiedenen Grundeigentümern in Opfikon-Glattbrugg für die übermässige Lärmbelastung durch die auf der Piste 16 startenden Flugzeuge erhoben worden sind. Nicht entschieden wurde in der angefochtenen Verfügung über allfällige enteignungsrechtliche Folgen der im Herbst 2003 neu eingeführten Anflüge von Süden auf die Piste 34. Ebenfalls nicht beurteilt wurde die Rechtzeitigkeit der angemeldeten weiteren Entschädigungsforderungen, die für den Start- oder Landelärm im An- oder Abflugbereich der übrigen Pisten des Flughafens Zürich eingereicht worden sind. Auch das Bundesgericht hat daher grundsätzlich - von den generellen Erwägungen zur Verjährbarkeit und zur Verjährungsfrist abgesehen (E. 5-11) - nur darüber zu befinden, ob die gegen die Entschädigungsbegehren der Gesuchsteller und Beschwerdegegner erhobene Verjährungseinrede unter den in Opfikon-Glattbrugg, im Abflugbereich der Piste 16, gegebenen Verhältnissen zu Recht abgewiesen worden ist.
5. Im angefochtenen Entscheid ist die Frage, ob enteignungsrechtliche Entschädigungsansprüche für andauernde übermässige Immissionen überhaupt der Verjährung unterstünden, letztlich offen gelassen worden. Die Beschwerdeführer bejahen die Verjährbarkeit unter Hinweis auf die bundesgerichtliche Rechtsprechung (<ref-ruling>). Gemäss dieser trete, wenn die übermässigen Einwirkungen vom bestimmungsgemässen und im öffentlichen Interesse liegenden Betrieb eines öffentlichen Werks ausgingen, für welches das Enteignungsrecht ausgeübt werden könne, der enteignungsrechtliche Entschädigungsanspruch an die Stelle der Abwehrrechte und Schadenersatzansprüche gemäss Art. 679 und 684 ZGB; dieser öffentlichrechtliche Ersatzanspruch verjähre auch dann, wenn die Einwirkungen andauerten. Die Beschwerdegegner ziehen die Verjährbarkeit der Entschädigungsforderungen für anhaltende Immissionen in Zweifel, da der Beseitigungs- und Unterlassungsanspruch als Teilgehalt des nachbarrechtlichen Immissionsschutzes unverjährbar sei und nach <ref-ruling> auch der (privatrechtliche) Anspruch auf Ersatz des Schadens nicht verjähren könne, solange das schädigende Ereignis andaure. Zwar erlösche der nachbarrechtliche Beseitigungsanspruch, wenn die übermässigen Immissionen aus dem Betrieb öffentlicher Werke stammten, jedoch nur insoweit, als die Einwirkungen unvermeidbar seien. Daraus folge, dass auch für die Schadenersatzforderung aus formeller Enteignung keine Verjährungsfrist laufen könne, solange die Schädigung andaure und deren Unvermeidbarkeit nicht festgestellt sei. Da die Feststellung der Unvermeidbarkeit der Immissionen in Fällen wie den vorliegenden im umweltschutzrechtlichen Sanierungsverfahren erfolge, bestehe der Beseitigungsanspruch bis zum Ablauf der Sanierungsfrist fort und hindere den Lauf der Verjährung.
Mit dieser Argumentation werfen die Beschwerdegegner die Fragen auf, in welchem Verfahren die - enteignungsrechtliche - Unvermeidbarkeit übermässiger Immissionen festzustellen sei und inwiefern sich die aus der Umweltschutzgesetzgebung fliessenden Rechte und Pflichten auf die enteignungsrechtlichen Ansprüche infolge übermässiger Fluglärm-Immissionen auswirkten. Diesen Zusammenhängen ist im Folgenden nachzugehen.
6. Im formellen Enteignungsverfahren gemäss dem Bundesgesetz vom 20. Juni 1930 über die Enteignung (EntG; SR 711) können nicht nur Entschädigungsforderungen angemeldet, sondern auch Einsprachen gegen die Enteignung im engeren Sinn erhoben sowie Planänderungsgesuche und Begehren nach den Artikeln 7-10 EntG gestellt werden (vgl. Art. 30 Abs. 1 und Art. 35 EntG). Das gilt auch dann, wenn das Enteignungsrecht im Zusammenhang mit dem Bau und der Inbetriebnahme des Werkes nicht beansprucht worden ist und das Enteignungsverfahren erst auf Begehren von Nachbarn wegen übermässiger Einwirkungen eröffnet werden muss. In solchen erstmaligen Enteignungsverfahren wegen Unterdrückung nachbarlicher Abwehrrechte kann der Gesuchsteller mit genereller Einsprache unter anderem geltend machen, die Voraussetzungen zur Ausübung des Enteignungsrechts seien nicht gegeben, weil etwa die übermässigen Einwirkungen nicht unvermeidbar seien. Der Enteignete hat aber auch Gelegenheit, gestützt auf Art. 7 Abs. 3 EntG Lärmschutzvorkehren zu verlangen, wobei neben baulichen Massnahmen unter Umständen auch betriebliche Beschränkungen in Betracht fallen können (vgl. zum Ganzen <ref-ruling>; <ref-ruling> E. 2a; <ref-ruling> E. 3; <ref-ruling> E. 1; <ref-ruling> E. 6c/bb S. 364; <ref-ruling> E. 3; siehe auch <ref-ruling>).
An diesen Befugnissen der Lärmbetroffenen haben weder die Bestimmungen des eidgenössischen Umweltschutzrechts noch die prozessualen Neuerungen, die durch das Bundesgesetz vom 18. Juni 1999 über die Koordination und die Vereinfachung der Entscheidverfahren vom 18. Juni 1999 für die meisten öffentlichen Werke eingeführt worden sind, etwas geändert. Zwar sind nun die enteignungsrechtlichen Einsprachen grundsätzlich im (kombinierten) spezialgesetzlichen Plangenehmigungsverfahren zu erheben und werden diese von der Plangenehmigungsbehörde beurteilt (vgl. z.B. Art. 37f Abs. 2 und Art. 37h des Bundesgesetzes vom 21. Dezember 1948 über die Luftfahrt [LFG; SR 748.0]). Dies mindert die Funktion der enteignungsrechtlichen Einsprache jedoch nicht. Zudem treten übermässige Immissionen oft unabhängig von der Durchführung eines Plangenehmigungsverfahrens ein. Auch in diesem Fall stehen den von übermässigen Einwirkungen Betroffenen weiterhin alle sich aus dem Enteignungsgesetz ergebenden Ansprüche zu und können diese im nachträglich eröffneten Enteignungsverfahren mit Einsprache bewirken, dass die Zulässigkeit und der Umfang der Enteignung von der Einsprachebehörde verbindlich festgelegt wird (vgl. Urteile 1A.244 und 1A.259/2003 E. 6.2, 1A.245 und 1A.260/2003 E. 4.2, 1A.250/2003 E. 7.2, alle vom 31. März 2004; vgl. für früher eingeführte kombinierte Verfahren <ref-ruling> E. 1-3). Das enteignungsrechtliche Einspracheverfahren ist somit das massgebliche Verfahren für den Entscheid darüber geblieben, ob die Enteignung rechtmässig sei bzw. allfällige übermässige Einwirkungen nicht oder nur mit einem unverhältnismässigen Kostenaufwand vermieden werden könnten.
7. Aus dem Gesagten ist jedoch nicht zu schliessen, dass das eidgenössische Umweltschutzrecht und insbesondere das (Lärm-)Sanierungsverfahren für die Entschädigungsverfahren wegen übermässiger Lärmeinwirkungen - sei es im formellen Enteignungsverfahren oder infolge materieller Enteignung - bedeutungslos geblieben wären. Allerdings ist bei der Rechtsetzung dem Zusammenspiel der verschiedenen Verfahren nur wenig Aufmerksamkeit geschenkt worden. Dies gilt insbesondere für die Verfahren wegen übermässigen Einwirkungen aus dem Betrieb der öffentlichen Flugplätze, welche im eidgenössischen Gesetzes- und Verordnungsrecht auch heute noch keine abschliessende Regelung gefunden haben:
7.1 Seit der Einführung des Luftfahrtgesetzes im Jahre 1948 steht für den Bau und den Betrieb der öffentlichen Flugplätze (Flughäfen) das Enteignungsrecht gemäss dem Bundesgesetz über die Enteignung zur Verfügung. Nach Art. 50 Abs. 1 LFG in der ursprünglichen Fassung vom 21. Dezember 1948 konnte der Bundesrat dieses Recht selbst ausüben oder es an Dritte übertragen. Gemäss den heute geltenden, durch das Bundesgesetz über die Koordination und Vereinfachung von Entscheidverfahren geänderten Bestimmungen steht dem Inhaber der Betriebskonzession die Enteignungsbefugnis von Gesetzes wegen zu (Art. 36a Abs. 4 LFG). Da auch die aus dem Grundeigentum hervorgehenden nachbarlichen Abwehrrechte Gegenstand der Enteignung bilden können, haben die Flugplatzhalter seit jeher die Möglichkeit bzw. die Pflicht, die unvermeidlich mit ihrem Betrieb verbundenen übermässigen Einwirkungen auf die Umwelt auf dem formellen Enteignungswege abzugelten. Diese Abgeltung übermässiger Lärmimmissionen kann gemäss jüngerer Rechtsprechung, auf die noch einzugehen sein wird (E. 8.2), sowohl in Geld als auch als Realleistung in Form von baulichen Lärmschutzmassnahmen an den lärmbetroffenen Wohnbauten erfolgen (<ref-ruling> E. 6 S. 362). Der Anspruch der Enteigneten auf Ersatzleistung für übermässige Lärmimmissionen hängt nicht nur von den im Enteignungsgesetz umschriebenen, sondern auch von den in der bundesgerichtlichen Rechtsprechung (seit <ref-ruling>) aufgestellten Voraussetzungen ab, insbesondere von den Bedingungen der Unvorhersehbarkeit und der Spezialität der Immissionen sowie der Schwere des durch diese bewirkten Schadens (für den Flugbetrieb vgl. etwa <ref-ruling> E. 4 und 5; <ref-ruling> E. 7).
7.2 Die immer akuter werdenden Probleme um die schweizerischen Flughäfen bewogen den Bundesgesetzgeber noch vor Einführung des allgemeinen Umweltschutzrechts, ein spezielles luftfahrtrechtliches Instrument zur "Sanierung der Lärmverhältnisse in den Flughafenrandzonen", nämlich die Lärmzonen, zu schaffen (vgl. Botschaft über die Änderung des Luftfahrtgesetzes vom 10. Februar 1971, BBl 1971 I 266, S. 274). Mit der am 17. Dezember 1971 in das Luftfahrtgesetz aufgenommenen Bestimmung von Art. 42 Abs. 1 lit. b (in Kraft seit 1. Januar 1974) wurde der Bundesrat ermächtigt, durch Verordnung vorzuschreiben, dass Gebäude in einem bestimmten Umkreis von öffentlichen Flugplätzen nur noch benützt oder neu erstellt werden dürften, soweit sich ihre Ausführung und Bestimmung mit der Fluglärmbelastung vereinbaren lassen. Nach dem entsprechenden Verordnungsrecht, das für die drei Lärmzonen A, B und C unterschiedliche Nutzungseinschränkungen vorschrieb, durften allerdings die bestehenden Gebäude in allen Zonen in bisheriger Weise weiter benützt werden (vgl. Art. 61 ff., insbes. Art. 62 Abs. 4 der Verordnung über die Luftfahrt vom 14. November 1973, AS 1973 S. 1856, mit Änderung vom 6. Dezember 1982, AS 1982 S. 2277; Art. 40 ff. der Verordnung über die Infrastruktur der Luftfahrt vom 23. November 1994 [VIL, SR 743.131.1] AS 1994 S. 3050; Art. 7 der Verordnung über die Lärmzonen der konzessionierten Flugplätze vom 23. November 1973, AS 1973 S. 1966, ab 1. April 1984 "Verordnung über die Lärmzonen der Flughäfen Basel-Mülhausen, Genf-Cointrin und Zürich" benannt [vgl. Art. 6 der Verordnung über die Lärmzonen der konzessionierten Regionalflugplätze vom 9. März 1984, AS 1984 S. 321]). Den Anwohnern stand für die Beschränkung ihres Grundeigentums durch den Lärmzonenplan ein Anspruch auf Entschädigung zu, sofern diese in ihrer Wirkung einer Enteignung gleichkam (Art. 44 Abs. 1 LFG). Entsprechende Begehren waren innert fünf Jahren seit Veröffentlichung des Zonenplans beim Halter des Flugplatzes anzumelden und wurden im Bestreitungsfall der Eidgenössischen Schätzungskommission zur Beurteilung im enteignungsrechtlichen Schätzungsverfahren zugestellt (Art. 44 Abs. 3 und 4 LFG). In welcher Beziehung dieses Entschädigungsverfahren wegen materieller Enteignung zum formellen Enteignungsverfahren stand, war - abgesehen von dem in beiden Fällen vor der Eidgenössischen Schätzungskommission durchzuführenden Schätzungsverfahren - der Gesetzgebung nicht zu entnehmen.
Die spezialrechtliche Regelung über die Lärmzonen ist, obschon die gesetzliche Bestimmung von Art. 42 Abs. 1 LFG unverändert geblieben ist, spätestens im Jahr 2000 mit der Aufhebung des entsprechenden Verordnungsrechts dahingefallen (vgl. den Anhang der Änderung vom 12. April 2000 der Lärmschutz-Verordnung vom 15. Dezember 1986 [LSV, SR 814.41] AS 2000 S. 1388, 1396). Art. 42 LFG ist allerdings bei der Revision des Luftfahrtgesetzes vom 18. Juni 1993 (in Kraft seit 1. Januar 1995) durch einen fünften Absatz ergänzt worden, wonach "die Lärmvorschriften der Bundesgesetzgebung über den Umweltschutz vorbehalten bleiben". Damit sollte nach Meinung des Bundesrates klargestellt werden, dass auch schon vor dem Zeitpunkt, in dem die Verordnungen über die Lärmzonen formell aufgehoben würden, die Lärmvorschriften der Bundesgesetzgebung über den Umweltschutz den Vorschriften der Luftfahrtgesetzgebung vorgingen (vgl. Botschaft über eine Änderung des Luftfahrtgesetzes vom 20. November 1991, BBl 1992 I 607, S. 630). Diese Auffassung ist jedoch mit den Bestimmungen von Art. 3 Abs. 1 und Art. 64 des Bundesgesetzes vom 7. Oktober 1983 über den Umweltschutz (USG; SR 814.01), die ergänzendes strengeres Umweltschutzrecht ausdrücklich zulassen und für das USG-widrige Verordnungsrecht eine förmliche Anpassung verlangen, nur schwer vereinbar (nach Meinung von Heribert Rausch, Kommentar zum Umweltschutzrecht, N. 43 zu <ref-law>, besteht allerdings zwischen Art. 42 Abs. 1 lit. b LFG und Art. 22, Art. 24 sowie Art. 25 USG keine Normenkollision). Übrigens hat der Zürcher Kantonsrat noch in seinem Bericht zum überarbeiteten kantonalen Richtplan vom 31. Januar 1995 (S. 107) erwähnt, dass die Lärmzonenpläne nach der Festlegung der für die Landesflughäfen geltenden Belastungsgrenzwerte in der Lärmschutz-Verordnung angepasst werden müssten, wobei sich diese Anpassung aus kantonaler Sicht möglichst im Rahmen der bestehenden Pläne halten solle.
7.3 Der Vollständigkeit halber ist darauf hinzuweisen, dass sich der Kanton Zürich noch vor der Schaffung der eidgenössischen gesetzlichen Grundlagen für die Lärmzonen bemühte, die Immissionen mit den im kantonalen Gesetz vom 27. September 1970 (Fluglärmgesetz) vorgesehenen "Massnahmen gegen die Auswirkungen von Fluglärm und Abgasen in den Randgebieten des Flughafens Zürich" in Schach zu halten. Das Gesetz schrieb vor, dass einerseits die Erstellung von Neubauten und die Benützung bestehender Gebäude um den Flughafen zu beschränken und andererseits Massnahmen zur Lärmbekämpfung, insbesondere in der Nacht, zu ergreifen seien (§ 1 Fluglärmgesetz). Der Regierungsrat wurde angewiesen, Lärmschutzzonen festzulegen (§ 2 Abs. 3 Fluglärmgesetz), und die Gemeinden wurden verpflichtet, ihre Bauordnungen und Zonenpläne den Lärmschutzzonen anzupassen (§ 4 Fluglärmgesetz). Für die Belastungen des Grundeigentums durch Bauverbote, Baubeschränkungen und Verpflichtungen zu Schallschutzmassnahmen wurde den Eigentümern ein Anspruch auf Entschädigung gemäss den §§ 183bis ff. des zürcherischen Einführungsgesetzes zum ZGB (EG ZGB) zuerkannt, falls die Nutzungsbeschränkungen in ihrer Wirkung einer Enteignung ähnlich seien (§ 4 Abs. 1 Fluglärmgesetz). Die Finanzierung der durch das Gesetz vorgesehenen Massnahmen und die zu entrichtenden Entschädigungen sicherte der Kanton durch einen Fonds (§§ 6 bis 10 Fluglärmgesetz).
Infolge der Lärmzonenrechtsetzung durch den Bund verzichtete der Kanton Zürich darauf, eine eigene Verordnung zur Umschreibung der in den Lärmzonen geltenden Beschränkungen zu erlassen. Aufgrund der derogatorischen Kraft des Bundesrechts erlangten bei Verbindlichwerden der Lärmzonenpläne für den Flughafen Zürich am 28. August 1987 auch die Entschädigungsbestimmungen des eidgenössischen Luftfahrtgesetzes Geltung. Ob und inwieweit die Regelungen des Zürcher Lärmschutzgesetzes als - grundsätzlich genehmigungspflichtige - kantonale Ausführungs- oder Ergänzungsbestimmungen im Sinne von Art. 44bis LFG in der Fassung vom 17. Dezember 1971 weiterhin Gültigkeit für sich beanspruchen konnten, ist in der Literatur umstritten (vgl. Max Neuenschwander, Die gesetzlichen Bestimmungen über die Lärmzonen, in: Schweizerische Vereinigung für Luft- und Raumrecht 1977 Nr. 2 S. 4, 19 f.; Peter Ettler, Die Polizeirechtsetzung gegen Luftfahrtimmissionen in der Schweiz, Diss. Zürich 1979, S. 311; Robert Henri Chanson, Schutz vor Lärm der Grossflughäfen Genf und Zürich nach schweizerischem Recht, Diss. Zürich 1980, S. 122 ff.; Hermann Roduner, Grundeigentumsbeschränkungen zugunsten von Flughäfen, Diss. Zürich 1984, S. 84 ff.). Formell aufgehoben wurde das Gesetz erst mit dem Flughafenfondsgesetz vom 20. August 2001 (Zürcher Gesetzessammlung 748.3). Dieses sieht nunmehr noch vor, dass Entschädigungsansprüche aus materieller Enteignung, die ihren Grund im Betrieb des Flughafens haben und vom Kanton direkt oder gestützt auf Rückgriffsansprüche der Gemeinden beglichen werden müssen, aus einem speziellen, bei der Verselbständigung des Flughafens zu schaffenden Fonds abzugelten sind.
7.4 Nach heutigem Recht gilt für bestehende Flugplätze, von denen übermässige Lärmimmissionen ausgehen, gleich wie für andere Verkehrsanlagen, grundsätzlich die Sanierungspflicht im Sinne von Art. 16 bis 18 USG. Können wegen gewährter Erleichterungen die Alarmwerte nicht eingehalten werden, so sind nach <ref-law> und <ref-law> an den lärmbelasteten bestehenden Gebäuden bauliche Schallschutzmassnahmen, sog. passive Schallschutzmassnahmen, zu treffen. Solche Schutzmassnahmen sind bei neuen oder wesentlich geänderten Flugplatzanlagen bereits bei Lärm über den Immissionsgrenzwerten zu ergreifen (<ref-law>, Art. 10 i.V.m. Art. 7 und Art. 8 LSV). Sind die Immissionsgrenzwerte überschritten, so dürfen grundsätzlich keine Baubewilligungen mehr für neue Wohngebäude erteilt und keine neuen Wohnzonen mehr ausgeschieden werden (Art. 22 und Art. 24 USG, Art. 29 und 31 LSV). Die Lärmimmissionen, die aufgrund von Entscheiden über die Erstellung, Änderung oder Sanierung von Flugplätzen zulässig sind, sind im sog. Lärmbelastungskataster festzuhalten (<ref-law>). Nach <ref-law> in der Fassung vom 12. April 2000 wäre der Kataster für die Ausscheidung und Erschliessung von Bauzonen, für die Erteilung von Baubewilligungen und für Schallschutzmassnahmen an bestehenden Gebäuden massgebend, das heisst für die Grundeigentümer verbindlich. Gemäss <ref-ruling> E. 49 S. 596 f. ist jedoch die rechtliche Natur des Katasters auch nach der Änderung der Verordnung unbestimmt geblieben, da weder eine gesetzliche Grundlage für direkt aus dem Lärmbelastungskataster fliessende Beschränkungen bestehe noch ein Rechtsschutz- und Entschädigungsverfahren (für materielle Enteignung) vorgesehen sei; der Lärmbelastungskataster könne daher bestenfalls ein für die Behörden massgebliches Inventar sein, das keine grundeigentümerverbindlichen Wirkungen entfalte. Der Wechsel vom System der luftfahrtrechtlichen Lärmzonen zum umweltschutzrechtlichen Institut des Lärmbelastungskatasters wird nach Auffassung des Bundesgerichts erst dann vollzogen sein, wenn auch das massgebliche Gesetzesrecht, insbesondere die Bestimmungen von Art. 42 ff. LFG, die nötigen Anpassungen erfahren haben und die Probleme des Rechtsschutz- und Entschädigungsverfahrens gelöst sind.
8. Angesichts der Mängel des gesetzten Rechts hat das Bundesgericht versucht, die Beziehungen zwischen den einzelnen Verfahren zur Abgeltung übermässiger Lärmeinwirkungen in seiner Rechtsprechung zu klären.
8.1 Zum Verhältnis der formellen Enteignung zur allfälligen materiellen Enteignung durch Lärmzonenpläne hielt das Bundesgericht im Genfer Fall <ref-ruling> erstmals fest, die Tatsache, dass Grundeigentümer nach Zuweisung ihrer Grundstücke zu einer Lärmzone die Durchführung eines Verfahrens wegen materieller Enteignung veranlassen könnten, schliesse nicht aus, dass unter Umständen auch die Einleitung eines Verfahrens wegen formeller Enteignung von Nachbarrechten verlangt werden könne. Da die bestehenden Gebäude in den Lärmzonen in bisheriger Weise weiter benützt werden dürften und daher kein Entschädigungsanspruch aus materieller Enteignung entstehen könne, müsse den Grundeigentümern ein anderer Weg zur Geltendmachung ihrer Entschädigungsbegehren für die lärmbedingte Entwertung ihrer Liegenschaften eröffnet werden. Sei sowohl für die Unterdrückung nachbarlicher Abwehrrechte als auch für die lärmzonenplanerische Nutzungsbeschränkung ein Entschädigungsverfahren einzuleiten, obliege es der zuständigen Eidgenössischen Schätzungskommission, die beiden Verfahren zu koordinieren und dafür zu sorgen, dass der gleiche Schaden nicht zweimal abgegolten werde (<ref-ruling> E. 2e S. 378). Aufgrund dieser Rechtsprechung sind um den Flughafen Genf auf Begehren von Grundeigentümern zahlreiche Verfahren wegen formeller und/oder materieller Enteignung eröffnet worden (vgl. <ref-ruling>, 122 II 337, 122 II 349, 124 II 543, 128 II 231, 128 II 329, 129 II 72; s.a. <ref-ruling> E. 2a S. 15). Dieser Praxis entsprechend hat das Bundesgericht in einem den Flughafen Zürich betreffenden Fall die Entschädigungsforderung des Grundeigentümers für den Einbezug seiner Liegenschaften in die Lärmzone B zusätzlich unter dem Gesichtswinkel einer möglichen formellen Enteignung geprüft (BGE <ref-ruling> E. 7 S. 490 ff.).
8.2 Zur Beziehung zwischen den Ansprüchen von Lärmbetroffenen, die auf dem Bundesgesetz über die Enteignung beruhen, und jenen, die sich aus dem Umweltschutzrecht ergeben, hat das Bundesgericht zunächst betont, Enteignungsgesetzgebung und Umweltschutzgesetzgebung verfolgten, obschon sie verschiedene Berührungspunkte aufwiesen, grundsätzlich unterschiedliche Zwecke: Während das Umweltschutzgesetz die Menschen, Tiere und Pflanzen gegen schädliche oder lästige Einwirkungen schützen wolle, diene das Enteignungsgesetz dazu, dem Gemeinwesen zu ermöglichen, sich die zur Erfüllung öffentlicher Aufgaben notwendigen Güter - unter Einhaltung des Verhältnismässigkeitsgebotes und unter voller Entschädigung der Enteigneten - zwangsweise zu beschaffen und allfällige Hindernisse zu beseitigen (Urteil E.31/1987 vom 12. Juni 1989 E. 3, <ref-ruling> E. 3b S. 23). An dieser unterschiedlichen Zwecksetzung ist in <ref-ruling> E. 6c S. 364 ff. festgehalten, aber auch darauf hingewiesen worden, dass gewisse Grundsätze des Enteignungsgesetzes gleich wie das Umweltschutzrecht auf den Schutz von Drittpersonen bzw. der Öffentlichkeit hinzielten, nämlich die den Enteigner zu Schutzvorkehren anhaltende Bestimmung von Art. 7 Abs. 3 EntG, die Vorschriften über den Realersatz und die Entschädigung von Mietern und Pächtern sowie die Verpflichtung des Enteigneten, schadensmindernde Massnahmen zu dulden. Im Lichte dieser Grundsätze dürfe und müsse der Enteignungsrichter dann, wenn durch Realersatzleistungen in Form von baulichen Schallschutzmassnahmen sowohl der Schaden vermindert als auch die Wohnbevölkerung geschützt werden könne, solche Massnahmen im Entschädigungsverfahren anordnen, selbst wenn sie vom Enteigneten nicht verlangt worden seien. Im gleichen Urteil, in dem es um den Lärm einer Nationalstrasse ging, ist in Änderung der bisherigen Rechtsprechung festgehalten worden, dass sich die enteignungsrechtlich relevante Übermässigkeit der Immissionen bzw. das Kriterium der Spezialität der Einwirkungen danach richte, ob der in der Umweltschutzgesetzgebung festgelegte Immissionsgrenzwert überschritten sei (E. 5b S. 356 ff.).
Im ebenfalls den Nationalstrassenlärm betreffenden Urteil <ref-ruling> hat das Bundesgericht erkannt, dass mit fortschreitender Änderung der Verfassungs- und Gesetzgebung auf den Gebieten der Raumordnung und Umwelt der Inhalt des (privatrechtlichen) Eigentums neu umschrieben werde. So würden heute die sich aus dem Grundeigentum ergebenden Ansprüche der Nachbarn, die Gegenstand der Enteignung bilden könnten, durch die Umweltschutzgesetzgebung mitbestimmt. Diese sehe unter anderem für Altanlagen die Pflicht zur Anpassung an die lärmschutzrechtlichen Anforderungen vor, was auch für den Nachbarn, der von übermässigen Immissionen aus solchen Anlagen betroffen werde, seine Bedeutung habe. Zwar stehe die Sanierungspflicht dem enteignungsrechtlichen Entschädigungsanspruch an sich nicht entgegen. Im vorliegenden Fall sei jedoch für das fragliche Nationalstrassenstück im Kanton Luzern ein Sanierungsverfahren im Gange und könnten die Sanierungsarbeiten, dank welcher übermässige Immissionen künftig vermieden würden, aller Voraussicht nach vor Ablauf der Sanierungsfrist vorgenommen werden. Unter diesen Umständen könne den enteignungsrechtlichen Ansprüchen keine prioritäre Bedeutung, sondern allenfalls ergänzende Funktion zukommen. Die Enteignungspraxis müsse diesen umweltschutzrechtlichen Neuerungen Rechnung tragen. Wenn das Umweltschutzrecht des Bundes bestimme, dass ein Nachbar einer öffentlichen Anlage Immissionen über dem Immissionsgrenzwert jedenfalls während der vom Bundesrat festgelegten Sanierungsfrist zu dulden habe, so könne der Betreiber der Anlage vor Ablauf dieser Frist grundsätzlich nicht zu einer Enteignungsentschädigung verpflichtet werden. Insofern bemesse sich die Dauer von entschädigungslos zu duldenden Störungen an den Sanierungsvorschriften im Umweltschutzgesetz und in der Lärmschutz-Verordnung. Solange die Sanierungsfrist noch laufe, könne im Allgemeinen nicht gesagt werden, die Einwirkungen seien im enteignungsrechtlich relevanten Sinn ihrer Dauer nach aussergewöhnlich. Nicht zu entscheiden sei dagegen, wie sich die Rechtslage ausnehme, wenn die Sanierungsfrist überschritten werde oder eine Sanierung nur mit Erleichterungen möglich sei.
8.3 Die im Zusammenhang mit dem Strassenverkehr erarbeiteten Grundsätze haben sich auch auf dem Gebiete der Luftfahrt niedergeschlagen:
Im Rahmenkonzessionsverfahren für den Ausbau (5. Etappe) des Flughafens Zürich (<ref-ruling> E. 21a S. 337) ist auf enteignungsrechtliche Entschädigungsbegehren hin auf das bundesgerichtliche Urteil verwiesen worden, nach dem der Betreiber einer übermässig lärmigen Anlage in der Regel nicht vor Ablauf der Sanierungsfrist zur Zahlung einer Enteignungsentschädigung verpflichtet werden könne. Dies müsse grundsätzlich auch beim Ausbau einer Anlage gelten, die bereits sanierungspflichtig sei oder durch die Erweiterung sanierungspflichtig werde. Die Anmeldung eines Entschädigungsbegehrens aus formeller Enteignung für die mit dem Ausbau des Flughafens Zürich verbundenen Lärmimmissionen erscheine daher - vor der Festlegung der massgeblichen Belastungsgrenzwerte und dem Beginn des Laufs der Sanierungsfrist - zur Zeit jedenfalls als verfrüht. Es könnte sich einzig fragen, ob ein solcher Anspruch nicht insoweit sofort entstehe, als beim Ausbau Erleichterungen gemäss Art. 18 in Verbindung mit <ref-law> gewährt würden. Diese Frage wurde jedoch offen gelassen.
Noch im gleichen Jahr hat das Bundesgericht in einem enteignungsrechtlichen Entschädigungsverfahren für übermässige Lärmimmissionen aus dem Betrieb des Flughafens Genf entschieden, dass dem Beschwerdeführer trotz der noch nicht laufenden (und damit noch nicht abgelaufenen) Sanierungsfrist ein Ersatzanspruch aus Enteignungsrecht zusteht. Da für den Flughafen Genf noch kein Sanierungsverfahren eingeleitet worden sei, könne dieser Sachverhalt nicht mit Fällen verglichen werden, wo bereits ein konkretes Sanierungsprojekt vorliege. Zu unterscheiden sei auch zwischen Situationen, in denen es nur um bereits vorhandene Lärmimmissionen gehe, und jenen, in denen infolge Ausbaus der Flughafenanlagen mit Mehrlärm zu rechnen sei; in solchen Fällen könne allenfalls die Anmeldung enteignungsrechtlicher Entschädigungsansprüche, die vor der definitiven Bewilligung für den Ausbau und der damit verbundenen Sanierungsanordnung erfolge, als verfrüht betrachtet werden (<ref-ruling> E. 6 S. 557).
Im Baukonzessionsverfahren für das Dock Midfield des Flughafens Zürich hat das Bundesgericht schliesslich erklärt, im Rahmen des vorliegenden (nicht mit einer Enteignung verbundenen) Verfahrens bzw. des nachlaufenden Bewilligungsverfahrens sei allein über die umweltschutzrechtliche Verpflichtung zur Ergreifung von Schallschutzmassnahmen und die Übernahme entsprechender Kosten zu befinden. Das schliesse nicht aus, dass in einem getrennt vom umweltschutzrechtlichen Verfahren geführten Enteignungsverfahren Entschädigungsansprüche bejaht werden könnten, die unter Umständen auch in Form von ergänzenden baulichen Massnahmen als Realleistungen im Sinne von Art. 18 EntG abzugelten seien. Ob die Voraussetzungen für die Zusprechung enteignungsrechtlicher Entschädigungsleistungen gegeben seien, sei aber nicht im Baukonzessionsverfahren zu entscheiden (<ref-ruling> E. 50 S. 597).
9. Zusammenfassend kann die Rechtsstellung der von übermässigen Einwirkungen eines Flughafens betroffenen Eigentümer von Wohnliegenschaften aufgrund der Rechtsordnung und der bundesgerichtlichen Rechtsprechung wie folgt umschrieben werden:
9.1 Während der Geltung des luftfahrtrechtlichen Lärmzonen-Regimes hatten die Eigentümer - neben den im jeweiligen Einspracheverfahren anzubringenden Einwendungsmöglichkeiten - Gelegenheit, für ihre in die Lärmzone einbezogenen Grundstücke bei der Eidgenössischen Schätzungskommission sowohl gestützt auf Art. 44 LFG Entschädigung (in Geld) für die auf eine materielle Enteignung hinauslaufenden Nutzungsbeschränkungen zu fordern als auch im formellen Enteignungsverfahren Entschädigung in Geld für die Entwertung ihrer Liegenschaften und/oder bauliche Schallschutzmassnahmen für die bestehenden Wohnbauten zu verlangen. Standen dem Eigentümer Entschädigungen aus materieller sowie aus formeller Enteignung zu, durften diese den entstandenen Schaden nicht übersteigen.
9.2 Die - noch nicht vollständig abgeschlossene - Ablösung des Lärmzonenplans durch die Instrumente des Umweltschutzrechts hat, zumindest auf den ersten Blick, zu gewissen Doppelspurigkeiten bei den Einsprache- und Entschädigungsrechten der lärmbelasteten Grundeigentümer geführt. So können diese nicht mehr nur im enteignungsrechtlichen Einspracheverfahren geltend machen, die übermässigen Einwirkungen seien nicht unvermeidbar (vgl. E. 6), sondern auch im umweltschutzrechtlichen Sanierungsverfahren um Emissionsbeschränkungen und Erlass entsprechender Verkehrs- oder Betriebsvorschriften ersuchen. Werden im Sanierungsverfahren Erleichterungen gewährt, so sind die übermässig lärmbetroffenen Gebäude in der Umgebung des Flughafens mit Schallschutzfenstern zu versehen oder durch ähnliche bauliche Massnahmen zu schützen (Art. 20 und <ref-law>). Solche Schallschutzvorkehren dürfen aber, wie oben dargelegt (E. 8.2), auch im enteignungsrechtlichen Entschädigungsverfahren verlangt oder von Amtes wegen angeordnet werden.
Die gestützt auf das Enteignungsgesetz anzuordnenden Schallschutzvorkehren hängen jedoch von anderen Voraussetzungen ab als die umweltschutzrechtlichen baulichen Massnahmen. Enteignungsrechtliche Entschädigungsleistungen in jeder Form können für übermässige Lärmeinwirkungen nur zuerkannt werden, wenn die drei Voraussetzungen der Unvorhersehbarkeit und der Spezialität der Immissionen sowie der Schwere des Schadens gegeben sind (vgl. E. 7.1 in fine). Da das Bundesgericht in seiner Rechtsprechung die Schwelle der Vorhersehbarkeit des mit dem Betrieb der Landesflughäfen verbundenen Lärms auf den 1. Januar 1961 festgesetzt hat (<ref-ruling> E. 6b/aa S. 334 ff., <ref-ruling> E. 7b S. 491), dürfte nur ein kleiner Teil der lärmbetroffenen Grundeigentümer zu den enteignungsrechtlich Anspruchsberechtigten zählen. Umweltschutzrechtliche Schutzvorkehren sind demgegenüber - dem Gesetzeszweck entsprechend - bei Überschreiten des massgebenden Lärmgrenzwertes unabhängig von weiteren Voraussetzungen zu ergreifen. Allerdings sind umweltschutzrechtliche Schallschutzvorkehren in der Umgebung bestehender, nicht wesentlich geänderter Flughafenanlagen erst ab Überschreiten des Alarmwerts zu treffen (<ref-law>), während enteignungsrechtliche Entschädigungsansprüche gemäss der Praxis grundsätzlich bei Lärmbelastungen über dem Immissionsgrenzwert entstehen (<ref-ruling> E. 5b S. 356). Die Abgeltung übermässiger Lärmbelastung erfolgt daher bei bestehenden, nicht wesentlich geänderten Flughäfen - wie beim Flughafen Genf - in erster Linie auf der Grundlage des Enteignungsrechts. Werden dagegen - wie im Falle des Flughafens Zürich - Anlagen und Betrieb wesentlich geändert und damit vorzeitig sanierungspflichtig, treten die ebenfalls ab Überschreitung des Immissionsgrenzwertes zu treffenden umweltschutzrechtlichen Massnahmen (<ref-law>) in den Vordergrund. Die Zusprechung einer enteignungsrechtlichen Entschädigung fällt in diesen Fällen insoweit in Betracht, als die lärmbetroffenen Liegenschaften auch nach der (umweltschutzrechtlichen) Lärmisolierung der Bauten lärmbedingt entwertet bleiben. Die beiden Verfahren schliessen einander somit nicht aus und können parallel geführt werden.
Die gestützt auf das Enteignungsgesetz anzuordnenden Schallschutzvorkehren hängen jedoch von anderen Voraussetzungen ab als die umweltschutzrechtlichen baulichen Massnahmen. Enteignungsrechtliche Entschädigungsleistungen in jeder Form können für übermässige Lärmeinwirkungen nur zuerkannt werden, wenn die drei Voraussetzungen der Unvorhersehbarkeit und der Spezialität der Immissionen sowie der Schwere des Schadens gegeben sind (vgl. E. 7.1 in fine). Da das Bundesgericht in seiner Rechtsprechung die Schwelle der Vorhersehbarkeit des mit dem Betrieb der Landesflughäfen verbundenen Lärms auf den 1. Januar 1961 festgesetzt hat (<ref-ruling> E. 6b/aa S. 334 ff., <ref-ruling> E. 7b S. 491), dürfte nur ein kleiner Teil der lärmbetroffenen Grundeigentümer zu den enteignungsrechtlich Anspruchsberechtigten zählen. Umweltschutzrechtliche Schutzvorkehren sind demgegenüber - dem Gesetzeszweck entsprechend - bei Überschreiten des massgebenden Lärmgrenzwertes unabhängig von weiteren Voraussetzungen zu ergreifen. Allerdings sind umweltschutzrechtliche Schallschutzvorkehren in der Umgebung bestehender, nicht wesentlich geänderter Flughafenanlagen erst ab Überschreiten des Alarmwerts zu treffen (<ref-law>), während enteignungsrechtliche Entschädigungsansprüche gemäss der Praxis grundsätzlich bei Lärmbelastungen über dem Immissionsgrenzwert entstehen (<ref-ruling> E. 5b S. 356). Die Abgeltung übermässiger Lärmbelastung erfolgt daher bei bestehenden, nicht wesentlich geänderten Flughäfen - wie beim Flughafen Genf - in erster Linie auf der Grundlage des Enteignungsrechts. Werden dagegen - wie im Falle des Flughafens Zürich - Anlagen und Betrieb wesentlich geändert und damit vorzeitig sanierungspflichtig, treten die ebenfalls ab Überschreitung des Immissionsgrenzwertes zu treffenden umweltschutzrechtlichen Massnahmen (<ref-law>) in den Vordergrund. Die Zusprechung einer enteignungsrechtlichen Entschädigung fällt in diesen Fällen insoweit in Betracht, als die lärmbetroffenen Liegenschaften auch nach der (umweltschutzrechtlichen) Lärmisolierung der Bauten lärmbedingt entwertet bleiben. Die beiden Verfahren schliessen einander somit nicht aus und können parallel geführt werden.
10. Die in der Spezialgesetzgebung wie im Umweltschutzrecht getroffenen Regelungen über den Schutz vor übermässigem Lärm haben sich somit nach bisheriger Rechtsprechung auf die Verjährung der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche für andauernde übermässige Immissionen wie folgt ausgewirkt:
Wie sich <ref-ruling> E. 5b und c sinngemäss entnehmen lässt, ist der Einführung der luftfahrtrechtlichen Lärmzone keine Bedeutung für die Verjährung von Forderungen aus formeller Enteignung beigelegt worden. Der Beginn der Verjährung der Entschädigungsansprüche von Genfer Grundeigentümern ist lediglich deshalb auf den Zeitpunkt des Verbindlichwerdens der Lärmzonenpläne festgelegt worden, weil die Komplexität der Rechtslage und das Verhalten der Flugplatzbehörde zu Unsicherheiten über den einzuschlagenden Rechtsweg führte und erst mit der Veröffentlichung der Lärmzonenpläne Klarheit darüber geschaffen wurde, dass die Grundeigentümer ihre Entschädigungsbegehren, sei es infolge materieller oder formeller Enteignung, nunmehr anzumelden hätten.
In <ref-ruling> ist dagegen aus den umweltschutzrechtlichen Bestimmungen über die Sanierung öffentlicher Anlagen abgeleitet worden, eine solche müsse, falls sie unmittelbar bevorstehe bzw. noch vor Ablauf der Sanierungsfrist möglich sei, den enteignungsrechtlichen Entschädigungsanspruch verdrängen. Hieraus könnte - wie dies die Beschwerdegegner tun - der Schluss gezogen werden, die enteignungsrechtlichen Ansprüche seien vor Ablauf der Sanierungsfrist gar nicht verjährbar. Die im fraglichen Entscheid getroffene Lösung bedarf jedoch der Präzisierung:
Die bevorstehende Sanierung einer Verkehrsanlage vermag das Entstehen des enteignungsrechtlichen Entschädigungsanspruch nur dann zu hemmen, wenn feststeht oder höchst wahrscheinlich ist, dass durch Massnahmen an der Quelle übermässige Immissionen vollständig beseitigt werden können und damit eine dauernde Unterdrückung der nachbarlichen Abwehrrechte vermieden werden kann. Ist dagegen klar, dass im laufenden oder noch durchzuführenden Sanierungsverfahren Erleichterungen gewährt und passive Schallschutzmassnahmen angeordnet werden müssen, wird der enteignungsrechtliche Anspruch als solcher wie dargelegt (E. 9.2 in fine) nicht verdrängt. Kann mit anderen Worten die umweltschutzrechtliche Sanierung zwar den Umfang des im Enteignungsverfahrens zu ersetzenden Schadens verringern, nicht aber die Enteignung selbst verhindern, so hat der Umstand, dass noch ein Sanierungsverfahren durchgeführt werden muss, auf die Entstehung und die Verjährung des enteignungsrechtlichen Entschädigungsanspruchs keinen Einfluss. Soweit sich aus <ref-ruling> E. 4 S. 569 ff. und <ref-ruling> E. 21a S. 337 f. etwas anderes herleiten lässt, kann an dieser Rechtsprechung nicht festgehalten werden.
Für das vorliegende Verfahren ergibt sich hieraus, dass das Entstehen und die Verjährung der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche der Nachbarn des Flughafens Zürich weder durch die Ausscheidung von Lärmzonen in den achtziger Jahren noch durch die - infolge der 5. Bauetappe vorzeitig ausgelöste - Sanierungspflicht beeinflusst worden sind, steht doch hinsichtlich dieser Sanierung von vornherein fest, dass auch durch zusätzliche Massnahmen an der Quelle übermässige Lärmimmissionen in der Flughafen-Umgebung, so auch in Opfikon, nicht völlig vermieden werden können (vgl. <ref-ruling> E. 40 S. 571, E. 47 und 48 S. 590 ff.). Im Übrigen ist mit Blick auf die im Baukonzessionsverfahren grundsätzlich gewährten Erleichterungen das in diesem Rahmen erstellte Schallschutzkonzept bereits teilweise umgesetzt worden.
Für das vorliegende Verfahren ergibt sich hieraus, dass das Entstehen und die Verjährung der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche der Nachbarn des Flughafens Zürich weder durch die Ausscheidung von Lärmzonen in den achtziger Jahren noch durch die - infolge der 5. Bauetappe vorzeitig ausgelöste - Sanierungspflicht beeinflusst worden sind, steht doch hinsichtlich dieser Sanierung von vornherein fest, dass auch durch zusätzliche Massnahmen an der Quelle übermässige Lärmimmissionen in der Flughafen-Umgebung, so auch in Opfikon, nicht völlig vermieden werden können (vgl. <ref-ruling> E. 40 S. 571, E. 47 und 48 S. 590 ff.). Im Übrigen ist mit Blick auf die im Baukonzessionsverfahren grundsätzlich gewährten Erleichterungen das in diesem Rahmen erstellte Schallschutzkonzept bereits teilweise umgesetzt worden.
11. Der Präsident der Schätzungskommission hat die Frage, ob von einer fünfjährigen Verjährungsfrist auszugehen sei oder ob nicht richtigerweise eine zehnjährige Frist gelten müsse, im angefochtenen Entscheid ebenfalls offen gelassen. Zu dieser Frage kann auf die gefestigte bundesgerichtliche Rechtsprechung verwiesen werden, die mit dem Entscheid <ref-ruling> (Brandenberger) eingeleitet und verschiedentlich, so ausdrücklich auch für Entschädigungsansprüche infolge Fluglärms (vgl. <ref-ruling> E. 4 S. 549), bestätigt worden ist. Danach gilt bei formeller Enteignung der Abwehrrechte, welche die Nachbarn eines öffentlichen Werkes vor übermässigen Lärmimmissionen schützen, grundsätzlich eine Verjährungsfrist von fünf Jahren ab Entstehung des Entschädigungsanspruchs. Entsteht der geltend gemachte Schaden nicht unmittelbar durch den Bau oder die Inbetriebnahme des öffentlichen Werkes, so beginnt die fünfjährige Frist zu laufen, wenn Einwirkung und Schaden objektiv erkennbar sind (vgl. <ref-ruling> E. 3a).
Die von den Beschwerdegegnern vorgetragene Kritik vermag nicht zu überzeugen. Soweit die fünfjährige Frist für die Anmeldung von Schadenersatzansprüchen wegen übermässiger Lärmeinwirkungen generell als zu kurz bezeichnet wird, ist darauf hinzuweisen, dass nachträgliche Entschädigungsbegehren, falls für den Bau oder Betrieb des Werkes bereits ein Enteignungsverfahren mit öffentlicher Planauflage stattgefunden hat, binnen nur sechs Monaten anzumelden sind und nach Ablauf dieser Frist verwirken (Art. 41 Abs. 2 lit. b EntG). Dies gilt auch für die nachträgliche Inanspruchnahme nachbarlicher Abwehrrechte, obschon die von übermässigen Einwirkungen Betroffenen nicht durch persönliche Anzeige auf die Verwirkungsfrist aufmerksam gemacht werden müssen (vgl. Art. 31 EntG; <ref-ruling> E. 2, 111 Ib 15 E. 8 S. 24, 280 E. 3b S. 285, 113 Ib 34 E. 3 S. 38, 116 Ib 386 E. 3d in fine S. 394). Im Lichte dieser Gesetzesbestimmungen erscheint die Verjährungsfrist von fünf Jahren als ausreichend.
Soweit die Beschwerdegegner weiter zu bedenken geben, die zehnjährige Verjährungsfrist für Entschädigungsansprüche infolge kommunaler Zonenplanung (<ref-ruling> E. 5b S. 340) sei aus Gründen der Rechtssicherheit für die formelle Enteignung zu übernehmen, ist zu bemerken, dass für Forderungen, die im Zusammenhang mit öffentlichen Werken und Unternehmungen des Bundes entstehen, regelmässig eine Verjährungsfrist von fünf Jahren angenommen wird (vgl. <ref-ruling> E. 7 S. 61 mit Verweisungen). So sieht namentlich Art. 44 LFG für materielle Enteignungen infolge Einbezugs in Sicherheitszonenpläne (bzw. in Lärmzonenpläne) eine fünfjährige Frist zur Anmeldung von Entschädigungsansprüchen vor. Da im Weiteren das zürcherische Fluglärmgesetz wie geschildert nie zum Tragen kam (E. 7.3), hilft den Beschwerdegegnern der Hinweis auf § 183ter EG ZGB, der die Anmeldung von Entschädigungsbegehren während zehn Jahren zulässt, nichts. Es ist daher auch im vorliegenden Verfahren davon auszugehen, dass für die angemeldeten enteignungsrechtlichen Entschädigungsforderungen eine fünfjährige Verjährungsfrist gilt.
Soweit die Beschwerdegegner weiter zu bedenken geben, die zehnjährige Verjährungsfrist für Entschädigungsansprüche infolge kommunaler Zonenplanung (<ref-ruling> E. 5b S. 340) sei aus Gründen der Rechtssicherheit für die formelle Enteignung zu übernehmen, ist zu bemerken, dass für Forderungen, die im Zusammenhang mit öffentlichen Werken und Unternehmungen des Bundes entstehen, regelmässig eine Verjährungsfrist von fünf Jahren angenommen wird (vgl. <ref-ruling> E. 7 S. 61 mit Verweisungen). So sieht namentlich Art. 44 LFG für materielle Enteignungen infolge Einbezugs in Sicherheitszonenpläne (bzw. in Lärmzonenpläne) eine fünfjährige Frist zur Anmeldung von Entschädigungsansprüchen vor. Da im Weiteren das zürcherische Fluglärmgesetz wie geschildert nie zum Tragen kam (E. 7.3), hilft den Beschwerdegegnern der Hinweis auf § 183ter EG ZGB, der die Anmeldung von Entschädigungsbegehren während zehn Jahren zulässt, nichts. Es ist daher auch im vorliegenden Verfahren davon auszugehen, dass für die angemeldeten enteignungsrechtlichen Entschädigungsforderungen eine fünfjährige Verjährungsfrist gilt.
12. Grundsätzlich ist unbestritten, dass die Verjährung der enteignungsrechtlichen Entschädigungsansprüche für die Flughafen-Immissionen mit Entstehung dieser Ansprüche zu laufen beginnt und die Entstehung von den bereits erwähnten Voraussetzungen der Unvorhersehbarkeit und der Spezialität der Einwirkungen sowie der Schwere des Schadens abhängt (s. E. 1 in fine und E. 9.2), die alle drei kumulativ erfüllt sein müssen. Solange es an einem dieser Kriterien fehlt, kann der Anspruch nicht entstehen und demnach nicht verjähren. Die Verjährung beginnt zudem erst vom Zeitpunkt an zu laufen, in dem die Spezialität der Einwirkungen und die Schwere des Schadens objektiv erkennbar sind. Der Enteignete kann mit seiner Entschädigungsforderung nur säumig werden, wenn er von der Intensität der Einwirkungen und der Schwere des Schadens bei gebotener Sorgfalt Kenntnis haben kann (vgl. E. 11; <ref-ruling> E. 3, 111 Ib 280 E. 3b S. 285).
12.1 Zur Unvorhersehbarkeit der übermässigen Lärmeinwirkungen wird im angefochtenen Entscheid ausgeführt, diese sei gemäss bundesgerichtlicher Rechtsprechung jenen Grundeigentümern zugute zu halten, welche ihre Liegenschaften schon vor dem 1. Januar 1961 erworben haben (<ref-ruling> E. 6 S.334 ff., <ref-ruling> E. 7b S. 491, 128 II 231 E. 2.2 S. 234, 329 E. 2.1). Diese Bedingung sei in den vorliegenden Fällen durchwegs erfüllt, da alle Gesuchsteller ihre Liegenschaften schon vor dem massgeblichen Datum erworben hätten. Die Beschwerdeführer stellen diese Tatsache - Nachprüfung vorbehalten - an sich nicht in Abrede, wollen aber allenfalls geltend machen, dass der für den Flughafen Genf festgelegte Stichtag für den Flughafen Zürich vorzuverlegen sei. Hierzu ist lediglich zu bemerken, dass sich die fraglichen Erwägungen in <ref-ruling> E. 6 allgemein auf die Luftfahrt und die Landesflughäfen bezogen haben und keineswegs nur die Genfer Verhältnisse, sondern auch jene in Zürich berücksichtigt worden sind. Dass die Einwirkungen aus dem Betrieb des Flughafens Zürich ebenfalls ab 1961 als voraussehbar gelten, ist in BGE <ref-ruling> E. 7b ausdrücklich bestätigt worden.
12.2 Die Voraussetzung der Spezialität ist nach ständiger Praxis insbesondere dann gegeben, wenn die Lärmimmissionen eine Intensität erreichen, die das Mass des Üblichen und Zumutbaren übersteigt. Dies ist nach neuerer Rechtsprechung regelmässig anzunehmen, wenn die in der eidgenössischen Umweltschutzgesetzgebung festgelegten Immissionsgrenzwerte überschritten sind (<ref-ruling> E. 5b S. 356 ff.; s.a. <ref-ruling> E. 3 S. 342, <ref-ruling> E. 7c S. 492). In den früheren Entscheiden sind - solange die Belastungsgrenzwerte noch nicht festgelegt waren - in der Regel die Vorschläge der eidgenössischen Kommission für die Beurteilung von Lärm-Immissionsgrenzwerten beigezogen worden (vgl. <ref-ruling> E. 8c S. 339, 124 II 543 E. 5a S. 552, 126 II 522 E. 43 S. 575 ff.; s.a. <ref-ruling> E. 3, 4 und 7).
Tritt die Übermässigkeit der Lärmbelastung nicht schon bei der Inbetriebnahme eines Werkes, sondern erst infolge Verkehrszunahme oder einer Betriebsänderung ein, ist aufgrund der konkreten Verhältnisse zu entscheiden, ab wann die Einwirkungen als unüblich und unzumutbar einzustufen sind. Dabei darf, wie in den Genfer Fällen erwogen worden ist, unter Umständen auch einer von der Verkehrsentwicklung unabhängigen speziellen Situation, in der sich die Lärmbetroffenen befunden haben, Rechnung getragen werden (BGE 122 II 543 E.5a-c S. 551 ff.; vgl. oben E. 8.1).
12.2.1 Im angefochtenen Entscheid wird dargelegt, in den der Anmeldung der Entschädigungsbegehren vorangehenden Jahren habe die Lärmbelastung in Opfikon-Glattbrugg während des Tages offenkundig weit über den nachträglich festgesetzten Grenzwerten gelegen. Gemäss den vom Bundesamt für Zivilluftfahrt (BAZL) beigezogenen Flugbewegungsstatistiken sei die in den Jahren 1993 bis 1995 übliche Zahl von Abflügen auf Piste 16 (Tagesmittel 40 bis 50 Starts) im Herbst 1996 verdoppelt worden, was zu einer ununterbrochenen und offenbar unerträglichen Lärmbelastung geführt habe. Nach neuerem Stand der Wissenschaft, der nach bundesgerichtlicher Rechtsprechung in Fluglärmfragen zu berücksichtigen sei (<ref-ruling> E. 45), dürfe bei der Ermittlung der Störwirkung von Fluglärm nicht allein auf den gemessenen, gemittelten Dauerlärmpegel Leq abgestellt werden, sondern bilde auch die Anzahl der Flugbewegungen eine wichtige Determinante für das Ausmass der Belästigung. Es erscheine als logisch und nachvollziehbar, dass die Anzahl der Flugbewegungen zumindest ein gewichtiges Indiz für das Störungspotential darstelle. Habe mithin das neue Abflugregime auf Piste 16 ab Herbst 1996 die störenden Einwirkungen verstärkt und namentlich die früheren Ruhepausen durch einen "Dauerlärmteppich" ersetzt, so könne dies mit dem Zeitpunkt der objektiven Erkennbarkeit der Übermässigkeit gleichgesetzt werden. Die in den Jahren 1998 und 1999 angemeldeten Entschädigungsansprüche könnten daher auch bei Annahme einer fünfjährigen Verjährungsfrist nicht verjährt sein.
Die Beschwerdeführer bringen zur Voraussetzung der Spezialität der Immissionen vor, gemäss den Angaben der Grundeigentümer selbst habe sich der Dauerschallpegel Leq seit Beginn der statistischen Messungen im Jahre 1972 in einer Höhe bewegt, die über den heutigen Immissionsgrenzwerten liege. Allein diese Tatsache - und nicht etwa die Anzahl Flugbewegungen - sei für die Frage der Spezialität der Einwirkungen bzw. den Lauf der Verjährungsfrist massgebend. Die Übermässigkeit der Einwirkungen sei der Bevölkerung um den Flughafen Zürich denn auch bekannt gewesen. Diese könne sich nicht darauf berufen, dass sie sich mit der Lärmbelastung zunächst noch abgefunden habe, bis diese bei weiterem Ansteigen des Lärmpegels unerträglich geworden sei. Für die Feststellung der Spezialität der Einwirkungen sei auf die objektive Erkennbarkeit und nicht auf das subjektive Empfinden der einzelnen Betroffenen abzustellen. Im Übrigen seien die Verhältnisse in Zürich mit jenen in Genf, die das Bundesgericht bewogen hätten, den Beginn der Verjährungsfrist auf den Zeitpunkt der Publikation der Lärmzonenpläne zu legen, durchaus vergleichbar. Der Beginn der Verjährungsfrist sei daher auf Ende August 1987, den Zeitpunkt der amtlichen Veröffentlichung der Lärmzonenpläne für den Flughafen Zürich zu legen, falls nicht davon auszugehen sei, dass die Voraussetzung der Spezialität nicht schon bei Überschreiten der Immissionsgrenzwerte anfangs der siebziger Jahre erfüllt gewesen sei.
In der Beschwerdeantwort legen die gesuchstellenden Anwohner zum Zeitpunkt des Spezialitäts-Eintritts dar, dieser sei nicht allein anhand der seinerzeit noch gar nicht bestehenden Immissionsgrenzwerte zu bestimmen. Das Bundesgericht habe in den Verfahren um den Flughafen Genf eine von diesen Werten unabhängige, praktische und opportune Lösung gewählt, die sinngemäss auf die Verhältnisse in Zürich übertragen werden müsse. Dabei sei zu berücksichtigen, dass in Zürich - im Gegensatz zu Genf - nie ein offizielles Enteignungsverfahren mit Aufforderung zur Anmeldung der Entschädigungsbegehren durchgeführt worden sei. Ausserdem lägen die Grundstücke der Gesuchsteller in Opfikon bloss in der Lärmzone C oder sogar ausserhalb des Perimeters; die Eigentümer seien daher in ihren Nutzungsrechten nicht eingeschränkt worden und hätten keinen Anlass gehabt, irgendwelche Entschädigungsforderungen anzumelden. Zu beachten sei weiter, dass die Piste 16 ursprünglich nur den Langstreckenflugzeugen gedient habe und wohl ab 1993 etwas vermehrt benutzt worden sei. Erst mit der Einführung der 4. Welle und der plötzlichen Verdoppelung der täglichen Flugbewegungen im Herbst 1996 sei aber der Fluglärm in Opfikon erkennbar unerträglich geworden.
12.2.2 Nach den Darlegungen beider Seiten herrscht weitgehend Einigkeit darüber, dass in den fraglichen Siedlungsgebieten von Opfikon-Glattbrugg die mit den Abflügen auf Piste 16 verbundene Lärmbelastung schon geraume Zeit vor Anmeldung der Entschädigungsforderungen die Immissionsgrenzwerte überstieg, falls diese damals bereits festgesetzt gewesen wären. Für die Beschwerdeführer genügt dies zur Bejahung der Spezialität der Immissionen, für die Beschwerdegegner kann dieser Umstand mit Blick auf die vom Bundesgericht für den Flughafen Genf gewählte Sonderlösung nicht allein ausschlaggebend sein. Tatsächlich sind die seinerzeit vom Bundesgericht geprüften Verhältnisse um den Flughafen Genf in gewisser Hinsicht den Zürcher Gegebenheiten sogar ähnlicher, als es die Beschwerdegegner wahr haben wollen. Insbesondere ist auch im Kanton Genf für die Unterdrückung nachbarlicher Abwehrrechte nie ein Enteignungsverfahren mit öffentlicher Planauflage durchgeführt worden, in welchem alle Lärmbetroffenen zur Anmeldung ihrer Entschädigungsansprüche aufgefordert worden wären. Vielmehr ist auf die Begehren von Anwohnern und auf bundesgerichtliches Urteil hin jeweils in den Einzelfällen ein Verfahren eröffnet worden (vgl. <ref-ruling> E. 4a S. 549 E. 5c/bb S. 554 E. 5c/cc S. 557). Der Kanton Zürich hat sich der Einleitung solcher Verfahren in den wenigen Fällen, in denen ausdrücklich darum ersucht wurde, nie widersetzt (vgl. <ref-ruling> Sachverhalt, BGE <ref-ruling> Sachverhalt S. 485). Insofern mag in Zürich weniger Unsicherheit über den einzuschlagenden Rechtsweg bestanden haben als in Genf. Ob die Tatsache, dass die Liegenschaften der heutigen Gesuchsteller seinerzeit in die Lärmzone C mit den geringsten Nutzungsbeschränkungen einbezogen worden sind, gegen die Erkennbarkeit der Spezialität der Lärmeinwirkungen in den nachfolgenden Jahren spricht, wie dies die Beschwerdegegner meinen, ist ebenfalls zweifelhaft.
Die Frage des Eintritts der Spezialität der Lärmimmissionen und deren Erkennbarkeit kann aber letztlich offen bleiben, weil - wie im Folgenden darzulegen sein wird - angesichts der besonderen Verhältnisse in Opfikon-Glattbrugg davon ausgegangen werden darf, dass bis zur starken Zunahme des Abflugverkehrs auf Piste 16 Ende 1996 an den lärmbetroffenen Liegenschaften kein schwerer Schaden eingetreten bzw. ein solcher jedenfalls objektiv nicht erkennbar war.
12.3 Die Voraussetzung der Schwere des lärmbedingten Schadens findet ihre Rechtfertigung im Grundsatz, dass eine Entschädigung nicht für jeden beliebigen staatlichen Eingriff und damit auch nicht für jede beliebige Beeinträchtigung durch den öffentlichen Verkehr geschuldet wird. Der Schaden muss somit eine gewisse Höhe oder einen gewissen Prozentsatz des Gesamtwertes einer Liegenschaft erreichen, um Anlass zu Entschädigung zu geben (vgl. <ref-ruling> E. 2 und E. 11, <ref-ruling> E. 7d S. 493). Ausserdem wird verlangt, dass die Beeinträchtigung eine dauernde oder doch von gewisser Dauer und nicht bloss vorübergehend sei (<ref-ruling> E. 4b/bb S. 571, mit weiteren Hinweisen). Dabei kann offen bleiben, in welchen Fällen sich die Dauer der entschädigungslos zu duldenden Einwirkungen - wie im soeben zitierten Entscheid erwähnt - nach den umweltschutzrechtlichen Sanierungsvorschriften richte.
Im angefochtenen Entscheid wird mit Hinweis auf <ref-ruling> E. 5a S. 552 erwähnt, das Kriterium der Schwere sei für den Beginn der Verjährungsfrist im Zusammenhang mit Fluglärmimmissionen nicht signifikant. Das Bundesgericht hat an der angegebenen Stelle tatsächlich bemerkt, dass die Voraussetzung des schweren Schadens für die Verjährung nicht bedeutsam sei, da sie bloss die Geltendmachung von nur geringfügigen Schäden ausschliessen wolle. Nun spielte der Eintritt eines schweren Schadens im damaligen Fall für den Lauf der Verjährung deshalb keine Rolle, weil Eintritt und Erkennbarkeit des Schadens wie häufig mit Eintritt und Erkennbarkeit der Spezialität der Einwirkungen zeitlich zusammenfielen. Dies ändert aber nichts daran, dass sich ein Schaden auch erst nachträglich ergeben oder erkennbar sein kann und erst im Zeitpunkt, in dem der Schaden die enteignungsrechtlich erhebliche Grösse erreicht, dem Betroffenen ein - verjährbarer - Entschädigungsanspruch erwächst. Wie bereits mehrfach dargelegt, kann dem Enteigneten ein Entschädigungsanspruch nur erwachsen, wenn ein erheblicher Schaden eingetreten ist, und die fünfjährige Frist nur zu laufen beginnen, wenn der Schaden in seiner Schwere objektiv erkennbar ist. Im Zusammenhang mit der Verjährungsfrage ist daher grundsätzlich ebenfalls zu prüfen, ob und ab wann der Eintritt eines schweren Schadens bejaht werden kann.
Ist im Einzelfall die Höhe des Schadens zur Festsetzung der Entschädigung zu ermitteln, so sind neben der Lärmbelastung auch die Lage, die Art und die Umgebung der Grundstücke zu berücksichtigen (<ref-ruling> E. 3a S. 21 f., 117 Ib 15 E. 2b S. 18). Steht, wie hier auf allgemeine Verjährungseinrede hin, Eintritt und objektive Erkennbarkeit der Wertverminderung ganzer Quartiere in Frage, dürfen auch weitere Gegebenheiten in Betracht gezogen werden, die - wie wirtschaftliche und räumliche Entwicklungen sowie sämtliche Auswirkungen der lärmigen öffentlichen Anlage selbst - die Immobilienwerte zu beeinflussen vermögen. Aufgrund der in Opfikon eingetretenen Entwicklungen kann wie schon erwähnt geschlossen werden, dass die fluglärmbedingte Entwertung der fraglichen Wohnliegenschaften vor Ende 1996 enteignungsrechtlich nicht ins Gewicht fiel bzw. objektiv nicht als schwerer Schaden erkennbar war:
12.3.1 Wie die Beschwerdegegner zu Recht unterstreichen, wurde die im Jahre 1958 auf 3700 m verlängerte "Blindlandepiste" 16/34 zunächst vorwiegend als Landepiste benutzt, während die Piste 28 in Richtung West als Haupt-Abflugpiste diente. Nach dem Regierungsratsbeschluss über Lärmbekämpfungvorschriften und -verfahren auf dem Flughafen Zürich vom 3. März 1976 (Zürcher Gesetzessammlung 748.31, OS 46 S. 53) waren zwischen 07.01 Uhr und 21.00 Uhr normalerweise alle Abflüge auf Piste 28/10 durchzuführen und stand die Piste 34/16 nur zur Verfügung, wenn ein Abflug auf Piste 28/10 aus operationellen Gründen nicht möglich war (Ziff. 6.3.1). Zwischen 21.01 und 07.00 Uhr waren normalerweise alle Abflüge von Strahlflugzeugen auf verkürzter Piste 34 - also in Richtung Norden - durchzuführen (Ziff. 6.3.3), wobei Luftfahrtzeuge, die beim Wegflug von Piste 34 an der Messstelle Oberglatt in der Regel mehr als 95 dB(A) Lärm erzeugten, zwischen 22.01 und 06.00 Uhr nicht zugelassen waren (Ziff. 6.3.6). Diese Regelung galt bis zur Änderung des Betriebsreglementes am 19. August 1992.
Dass die Piste 16 nicht zu einer Haupt-Abflugpiste werden solle, liess sich auch aus der mehrmals überarbeiteten, im Jahre 1987 verbindlich werdenden Lärmzonenplanung schliessen. Die Lärmzonenpläne für den Flughafen Zürich wiesen die hier fraglichen Quartiere der damals bestehenden und erwarteten künftigen Lärmbelastung entsprechend lediglich der Zone C zu, in der Wohnnutzungen grundsätzlich zulässig sind. In die Zone B, in welcher Wohnbauten grundsätzlich ausgeschlossen sein sollten, wurde südlich der Piste 16 lediglich ein rund 800 m langer Streifen einbezogen. Demgegenüber sind in der Verlängerung der Westpiste 28 und nördlich der Piste 32 und 34 ausgedehntere Gebiete als Lärmzone B ausgeschieden worden. Da § 2 Abs. 4 des Zürcher Fluglärmgesetzes die festgelegten Lärmschutzzonen auch für einen künftigen Ausbau des Flughafens sowie für die An- und Abflugwege als verbindlich erklärte, schien die relativ lärmgeschützte Lage von Opfikon als gesichert.
Nach der Änderung des Betriebsreglementes für den Flughafen Zürich vom 19. August 1992 (Zürcher Gesetzessammlung 748.22, OS 52 S. 378 ff.) blieb zwar die Piste 16 in der Pistenrangordnung für Abflüge während des Tages an letzter Stelle, doch sah § 11 des Anhangs 2 zum Betriebsreglement vor, dass von dieser Rangfolge aus Gründen der Sicherheit und des Betriebes - namentlich wegen ungenügender Pistenlänge - abgewichen werden könne. Gestützt auf diese Regelung wurde die Piste 16 nun vermehrt für Starts in Richtung Süden freigegeben, wobei sich diese Mehrbenutzung zunächst vorwiegend auf den Morgen beschränkte und erst mit Einführung der 4. Welle auf den ganzen Tag erstreckte.
Nach den im angefochtenen Entscheid genannten, von den Beschwerdeführern nicht bestrittenen Zahlen sind die Abflugbewegungen auf der Piste 16 in den Jahren 1993 bis 1995 zunächst kontinuierlich von rund 14'600 auf rund 18'600 angestiegen. Die Einführung der 4. Welle im Herbst 1996 bewirkte im Jahre 1997 praktisch die Verdoppelung der Starts über Opfikon (35'920). In den Jahren 1998 (36'400 Abflüge) und 1999 (37'400 Abflüge) hat sich die Zahl dieser Flugbewegungen nochmals leicht und im Jahr 2000 (58'294 Abflüge) erneut wesentlich erhöht. In neuester Zeit sind die Flugbewegungszahlen aus den bekannten Gründen eingebrochen, doch liegen die Zahlen der Starts auf Piste 16 auch nach den offiziellen Angaben der Flughafenhalterin in den letzten Jahren noch deutlich über dem Niveau von 1995 (2001: 32'700 Abflüge; 2002: 27'700 Abflüge; 2003: 28'977 Abflüge).
Die mit der Verdoppelung der Flugbewegungen verbundene Mehrbelastung der Bevölkerung im Süden der Piste 16 löste, wie sich aus den Akten ergibt, vermehrte Anfragen und Proteste von Behörden und Privaten (vgl. auch die Geschäftsberichte des Zürcher Regierungsrates von 1997 S. 290 und 1998 S. 279) sowie schliesslich die Anmeldung der vorliegenden Entschädigungsforderungen aus.
12.3.2 In sozioökonomischer und siedlungspolitischer Hinsicht ist festzustellen, dass die Nähe des Flughafens eine grosse Anziehungskraft nicht nur auf das Gewerbe sondern auch auf die Wohn- und Arbeitsbevölkerung ausgeübt hat. Nach Angaben der Stadt Opfikon haben sich infolge der Nachbarschaft des Flughafens und der Stadt Zürich in dieser Gemeinde über tausend Betriebe mit zusammen rund 16'000 Arbeitsplätzen angesiedelt (www.opfikon.ch/home). Das Gebiet verfügt nicht zuletzt flughafenbedingt über gut ausgebaute Infrastrukturanlagen. Diese Standortvorteile haben südlich des Flughafens Zürich in allen Bauzonen zu hohen Landpreisen geführt (vgl. Ulrich Stieger, Räumliche und sozioökonomische Auswirkungen des Flughafens Zürich, in: Informationsheft Raumplanung 2/98 S. 12 ff.; s.a. Bodenpreisstatistik für Wohnbauland des Statistischen Amtes des Kantons Zürich, www.statistik.zh.ch.). Die Flughafennähe hat sich mithin auch auf die Wohnliegenschaften jedenfalls solange wertvermehrend ausgewirkt, als die Lärmbelastung einigermassen erträglich blieb. Weiter ist bekannt, dass sich die Nachbargemeinden des Flughafens Zürich, so auch die Stadt Opfikon, durch die Lärmbelastung und die Lärmzonenplanung nur wenig in ihrer baulichen Entwicklung haben beeinflussen lassen (vgl. etwa <ref-ruling> E. 31b S.353). Auch der Kanton Zürich selbst hat kaum etwas unternommen, um der Siedlungsentwicklung in Zürich-Nord und Opfikon Einhalt zu gebieten. Vielmehr sind im kantonalen Richtplan vom 31. Januar 1995 auch Quartiere südlich der Piste 16 in eines der Zentrumsgebiete von kantonaler Bedeutung einbezogen worden, deren Entfaltung als wirtschaftliche und kulturelle Zentren aber auch als Wohngebiete mit hoher Ausnützung gefördert werden soll (vgl. Kantonsratsbeschluss S. 27-31). Es bestanden daher auch in dieser Hinsicht für die Grundeigentümer keine Anzeichen dafür, dass ihre - noch nicht von Dauerlärm betroffenen - Liegenschaften erheblich an Wert verlieren könnten oder schon verloren hätten.
12.3.3 Zusammenfassend ist festzuhalten, dass die Opfikoner Wohnquartiere südlich der Piste 16 hinsichtlich der Beeinträchtigung durch den (Ab-)Flugverkehr eine spezielle Entwicklung durchlaufen haben, die sich von jener anderer flughafennaher Siedlungsgebiete unterscheidet. Zwar zählte die Stadt Opfikon seit jeher zu den fluglärmbelasteten Gemeinden, doch befand sie sich im Vergleich etwa mit Rümlang oder Höri bis Mitte der neunziger Jahre in einer einigermassen privilegierten Situation. Da diese Vorzugslage durch den Lärmzonenplan gewährleistet schien und die Gemeinde wie auch die Einwohner vom günstigen Einfluss des Flughafens auf die Wirtschaft und den Immobilienmarkt profitierten, kann davon ausgegangen werden, dass sich die flughafenbedingten Vor- und Nachteile lange Zeit die Waage hielten. Es steht daher mit genügend hoher Sicherheit fest, dass für die Grundeigentümer, die sich werkbedingte Vorteile ohnehin an eine Enteignungsentschädigung anrechnen lassen müssen (vgl. Art. 20 Abs. 3 EntG), erst beim sprunghaften Ansteigen der Flugbewegungen erkennbar wurde, dass die mit dem Flugverkehr verbundenen Belästigungen die Standortvorteile nunmehr überwögen und erhebliche Entwertungen ihrer Liegenschaften zur Folge haben könnten. Ist aber das erhebliche Ausmass der fluglärmbedingten Schäden - deren Höhe im Einzelfall von der Schätzungskommission zu überprüfen und zu bestimmen sein wird - erst nach der Umstellung des Abflugbetriebes im Herbst 1996 erkennbar geworden, so können die von den Beschwerdegegnern in den Jahren 1997 und 1998 angemeldeten Entschädigungsansprüche nicht verjährt sein.
12.3.3 Zusammenfassend ist festzuhalten, dass die Opfikoner Wohnquartiere südlich der Piste 16 hinsichtlich der Beeinträchtigung durch den (Ab-)Flugverkehr eine spezielle Entwicklung durchlaufen haben, die sich von jener anderer flughafennaher Siedlungsgebiete unterscheidet. Zwar zählte die Stadt Opfikon seit jeher zu den fluglärmbelasteten Gemeinden, doch befand sie sich im Vergleich etwa mit Rümlang oder Höri bis Mitte der neunziger Jahre in einer einigermassen privilegierten Situation. Da diese Vorzugslage durch den Lärmzonenplan gewährleistet schien und die Gemeinde wie auch die Einwohner vom günstigen Einfluss des Flughafens auf die Wirtschaft und den Immobilienmarkt profitierten, kann davon ausgegangen werden, dass sich die flughafenbedingten Vor- und Nachteile lange Zeit die Waage hielten. Es steht daher mit genügend hoher Sicherheit fest, dass für die Grundeigentümer, die sich werkbedingte Vorteile ohnehin an eine Enteignungsentschädigung anrechnen lassen müssen (vgl. Art. 20 Abs. 3 EntG), erst beim sprunghaften Ansteigen der Flugbewegungen erkennbar wurde, dass die mit dem Flugverkehr verbundenen Belästigungen die Standortvorteile nunmehr überwögen und erhebliche Entwertungen ihrer Liegenschaften zur Folge haben könnten. Ist aber das erhebliche Ausmass der fluglärmbedingten Schäden - deren Höhe im Einzelfall von der Schätzungskommission zu überprüfen und zu bestimmen sein wird - erst nach der Umstellung des Abflugbetriebes im Herbst 1996 erkennbar geworden, so können die von den Beschwerdegegnern in den Jahren 1997 und 1998 angemeldeten Entschädigungsansprüche nicht verjährt sein.
13. Nach dem Gesagten erübrigt es sich zu prüfen, ob die Gesuchsteller aufgrund des Verhaltens des Kantons Zürich darauf vertrauen durften, dass der frühere Flughafenhalter auf ihre Forderungen eingehen und von der Verjährungseinrede absehen werde.
13. Nach dem Gesagten erübrigt es sich zu prüfen, ob die Gesuchsteller aufgrund des Verhaltens des Kantons Zürich darauf vertrauen durften, dass der frühere Flughafenhalter auf ihre Forderungen eingehen und von der Verjährungseinrede absehen werde.
14. Die Verwaltungsgerichtsbeschwerde des Kantons Zürich und der Flughafen Zürich AG ist gemäss den Erwägungen als unbegründet abzuweisen.
Die bundesgerichtlichen Kosten sind angesichts des Verfahrensausgangs sowie gemäss Art. 116 Abs. 1 EntG den beiden Beschwerdeführern zu belasten. Diese haben die Beschwerdegegner zudem für das bundesgerichtliche Verfahren angemessen zu entschädigen.

Demnach erkennt das Bundesgericht:
1. Die Verwaltungsgerichtsbeschwerde wird abgewiesen.
2. Die Gerichtsgebühr von Fr. 5'000.-- wird, unter solidarischer Haftbarkeit, dem Kanton Zürich und der Flughafen Zürich AG auferlegt.
3. Der Kanton Zürich und die Flughafen Zürich AG haben unter solidarischer Haftung dem Beschwerdegegner 111 eine Entschädigung von Fr. 1'000.-- sowie den übrigen Beschwerdegegnern gemeinsam eine Entschädigung von Fr. 6'000.-- für das bundesgerichtliche Verfahren zu bezahlen.
4. Dieses Urteil wird den Parteien und dem Präsidenten der Eidgenössischen Schätzungskommission, Kreis 10, schriftlich mitgeteilt.
Lausanne, 27. Juli 2004
Im Namen der I. öffentlichrechtlichen Abteilung
des Schweizerischen Bundesgerichts
Der Präsident: Die Gerichtsschreiberin: