సిలికాన్ టెట్రాక్లోరైడ్,లేదా ట్రైక్లోరో సైలన్(HSiCl)నుండి సిలికాన్‌ను ఉత్పత్తి చెయ్యునపుడు ఏర్పడిన వ్యర్ధవాయువును ఆక్సిజన్ తో క్షయించడం వలన డైక్లోరోసైలన్ ఉత్పత్తి అగును .
Entity: ఆక్సిజన్ — Type: /chemical_thing