மிகவும் சமீபத்தில் , டியூக் பல்கலைக்கழகம் மற்றும் பெக்கிங் பல்கலைக்கழகங்களைச் சேர்ந்த அமெரிக்க மற்றும் சீன ஆராய்ச்சியாளர்கள் இணைந்து , எத்தனால் மற்றும் மெத்தனால் வாயுக்கள் மற்றும் படிகக்கல் அடி மூலக்கூறுகள் ஆகியவற்றின் இணைப்பில் தொடர்புடைய புதிய CVD செய்முறையை அறிவித்தனர் , இதில் 95-98% உடைய கிடைமட்டம் ஆக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட அணிகளை உடைய அரைமின்கடத்து நானோகுழாய்கள் செய்ய முடியும் .
Entity: மெத்தனால் — Type: /chemical_thing