அணு அடுக்கு செதுக்கல் ( " Atomi c layer etching" ) குறைகடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு வளர்ந்து வரும் நுட்பமாகும் , இதில் ஒரு சுழற்சி வேதியியல் மாற்றியமைத்தல் வழிமுறைகளுக்கு இடையில் மாற் உம் , இது செதிலின் மேல் அணு அடுக்குகளை மட்டுமே பாதிக்க் உம் , மற்றும் வேதியியல் மாற்றப்பட்ட பகுதிகள் மட்டும் நீக்கப் பட்ட் உம் படிமுறைகளை எறிந்து , தனி அணு அடுக்குகள் .
Entity: குறைகடத்தி — Type: /organization/company, /organization