சிலிக்கான் மெல்லிய-ஏடு மின்கலங்கள் பிரதானமாக , சிலான் வாயு மற்றும் ஹைட்ரஜன் வாயு ஆகியவற்ற் இலிருந்து வேதி ஆவிப் படிவு மூலம் ஆவைக்கம் ஆக ப்ளாளாட்ம் இடுட்பத் இடுப்பட ( PE-CVD ) ) படிவாக்கப்படுகின்றன .
Entity: ஹைட்ரஜன் — Type: /chemical_thing