इलेक्ट्रॉन-बीम लिथोग्राफी के उच्च रिज़ॉल्यूशन के बावजूद , इलेक्ट्रॉन लिथोग्राफी के दौरान दोषों की उत्पत्ति पर अक्सर उपयोगकर्ताओं द्वारा विचार नहीं किया जाता है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing