सबसे पहला TEM मैक्स नॉल और अर्नस्ट रुस्का ने 1931 में बनाया था , 1933 मे इन दोनो मे मिल कर एक TEM विकसित किया जिसकी " रिज़ोल्विंग पावर " प्रकाश से भी अधिक थी ।
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