सन १९८१ में गर्ड बिन्निग और हैन्रिक रोह्रर ( आई बी एम ज़्यूरिख़ ) ने इसका आविष्कार किया जिसके लिये सन १९८६ में इन्हे भौतिकी का नोबेल पुरस्कार दिया गया ।
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