हालाँकि , व्यावहारिक रिज़ॉल्यूशन सीमा बीम के आकार से नहीं बल्कि फोटोरेसिस्ट और सेकेंडरी इलेक्ट्रॉन यात्रा में फोटोरेसिस्ट में आगे बिखरने से निर्धारित होती है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing