इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी द्वारा उत्पादित सबसे छोटी विशेषताएं आम तौर पर अलग-अलग विशेषताएं होती हैं , क्योंकि नेस्टेड विशेषताएं निकटता प्रभाव को बढ़ाती हैं , जिससे आसन्न क्षेत्र के एक्सपोजर से इलेक्ट्रॉन वर्तमान के एक्सपोजर में फैल जाते हैं
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing