आदर्श रूप से , इन इलेक्ट्रॉनों में कई ईवी से अधिक के क्रम में ऊर्जा नहीं होनी चाहिए , ताकि बिना कोई द्वितीयक इलेक्ट्रॉन उत्पन्न किए फोटोरेसिस्ट को उजागर किया जा सके , क्योंकि उनके पास पर्याप्त अतिरिक्त ऊर्जा नहीं होगी ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing