कम ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉनों का उपयोग करने का दोष यह है कि फोटोरेसिस्ट में इलेक्ट्रॉन बीम के प्रसार को रोकना कठिन है| .
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing