हस्तक्षेप लिथोग्राफी इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग नैनोमीटर-स्केल अवधि के साथ पैटर्निंग सरणियों के लिए एक और संभावित मार्ग है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing