ब्लैंकिंग विक्षेपण त्रुटियां तब होती हैं जब इलेक्ट्रॉन किरण को उचित तरीके से विक्षेपित नहीं किया जाता है जबकि ऐसा होना चाहिए , जबकि आकार देने संबंधी त्रुटियां चर-आकार वाले बीम सिस्टम में तब होती हैं जब गलत होता है आकृति को नमूने पर प्रक्षेपित किया जाता है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing