विभिन्न ऊर्जाओं पर इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की विभिन्न जटिलताओं और सूक्ष्मताओं के बावजूद , यह सबसे छोटे क्षेत्र में सबसे अधिक ऊर्जा को केंद्रित करने का सबसे व्यावहारिक तरीका है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing