इस प्रक्रिया का विकास जर्मनी के भौतिकशास्त्री कार्ल हेंज स्टीगरवाल्ड ( Karl-Heinz Steigerwald ) ने किया था जो उस समय एलेक्ट्रान बीम के भिन्न-भिन्न अनुप्रयोगों पर ही काम कर रहे थे ।
Entity: एलेक्ट्रान — Type: /chemical_thing