द्वितीयक इलेक्ट्रॉन उत्पादन से बचने के लिए , फोटोरेसिस्ट को उजागर करने के लिए प्राथमिक विकिरण के रूप में कम ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉनों का उपयोग करना अनिवार्य होगा ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing