इलेक्ट्रॉन किरण अश्मलेखन ( e-beam lithography ) एक ऐसी पक्रिया है जिसमें इलेक्ट्रानों के किरण पुंज को रैसिस्ट से लिपे सतह पर एक सांचे ( पैटर्न ) के अनुसार क्रमवीक्षित ( स्कैन ) किया जाता है ।
Entity: इलेक्ट्रानों — Type: /chemical_thing