चंद्र प्रभा अभयारण्य 78 किमी² के क्षेत्र में फैला हुआ है और कैमूर पर्वतमाला के उत्तरी ढलान पर नौगढ़ और विजयगढ़ पहाड़ियों पर स्थित है ।
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