वाणिज्यिक रूप में प्रयोग होने वाले इलेक्ट्रॉन किरण अश्मलेखन तंत्र काफी महंगे होते हैं ओर ये सबी ( रु. १६ करोड से ज्यादा ) ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing