सन १९८१ में गर्ड बिन्निग और हैन्रिक रोह्रर ( आई बी एम ज़्यूरिख़ ) ने इसका आविष्कार किया जिसके लिये सन १९८६ में इन्हे भौतिकी का नोबेल पुरस्कार दिया गया ।
Entity: नोबेल पुरस्कार — Type: /award