इलेक्ट्रॉन-बीम लिथोग्राफी में एक अन्य विकल्प अनिवार्य रूप से सामग्री को " ड्रिल " या स्पटर करने के लिए अत्यधिक उच्च इलेक्ट्रॉन ऊर्जा ( कम से कम 100 केवी ) का उपयोग करना है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing