चूँकि इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी के लिए लिखने का समय आसानी से एक दिन से अधिक हो सकता है , " यादृच्छिक रूप से होने वाली " खराबी होने की संभावना अधिक होती है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing