परिणामस्वरूप यह एक धीमी प्रक्रिया है , जिसमें पारंपरिक इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की तुलना में अधिक लंबे एक्सपोज़र समय की आवश्यकता होती है ।
Entity: इलेक्ट्रॉन — Type: /chemical_thing