Dette kalles en syklus. En dose (puls) av den første gassen kommer inn i reaksjonskammeret og reagerer med atomer i overflaten av substratet det skal gros på. Dette kalles kjemisorbsjon, og det vil dannes avfallsstoffer som tømmes ut av reaksjonskammeret. Når det ikke lenger er ledige atomer å reagere med, vil det ikke lenger feste seg mer av den første gassen til substratet. Overskuddet av gass tømmes ut av reaksjonskammeret. Deretter pulses den andre gassen. Denne reagerer med molekylene fra gass A som ble kjemisorbert i overflaten, og det dannes en tynn film av det ønskede stoffet. Prosessen stopper også her når det ikke lenger er noen ledige atomer å reagere med. Derfor er hele syklusen selvbegrensende, og mindre enn ett atomlag dannes per syklus.