Sammenlignet med atomabsorpsjonsspektroskopi har ICP-MS større hastighet, presisjon og følsomhet. Imidlertid, sammenlignet med andre typer massespektrometri, som termisk ioniseringsmassespektrometri (TIMS) og glødeutladningningsmassespektrometri (GD-MS), introduserer ICP-MS mange forstyrrende specier: argon fra plasma, komponenter av luft som lekker gjennom kjegleåpningene og forurensning fra glassutstyr og kjeglene.