Et induktivt koblet plasma er et plasma som får energi (ionisert) ved induktiv oppvarming av gassen med en elektromagnetisk spole, og inneholder en tilstrekkelig konsentrasjon av ioner og elektroner for å gjøre gassen elektrisk ledende. Ikke hele gassen trenger å bli ionisert for at gassen skal ha egenskapene til et plasma; så lite som 1% ionisering skaper et plasma. Plasmaene som brukes i spektrokjemisk analyse er i det vesentlige elektrisk nøytrale, med hver positive ladning på et ion balansert med et fritt elektron. I disse plasmene er de positive ionene nesten alle enkeltladede, og det er få negative ioner, så det er nesten like store mengder ioner og elektroner i hvert volumsenhet plasma.