Slutten på det gamle rike og avskaffelsen av de geistlige territoriene gjennom av 25. februar 1803, betydde også slutten for hertugdømmet Westfalen. Området falt i 1803 inn under landgrevskapet Hessen-Darmstadt, og ble etter forskjellige mellomliggende faser innlemmet i Landgrevskapet Hessen-Kassel i 1817. Hertugdømmet ble innlemmet som en provins i den hessiske stat med hovedsete i Arnsberg. Det meste av hertugdømmets klostre og stift ble sekulariserte umiddelbart etter maktovertagelsen.