Med grunnleggelsen ble den nye administrative inndelingen i kommuner, kretser, Regierungsbezirke innført som en del av den prøyssiske statsreformen. Den administrative integreringen i den prøyssiske statsforvaltningen ble fremfor alt ledet av overpresident Ludwig von Vincke. I 1939 hadde provinsen Westfalen et areal på 20 215 km² og var inndelt i de tre Regierungsbezirke Arnsberg, Minden og Münster. Provinsens grenser ble modifisert noe i 1851 og deretter under Weimarrepublikken.