Etter at hertugdømmet Nassau ble annektert av Prøyssen, ble der innført det prøyssiske forvaltningssystemet og distrikter ble grunnlagt. Diez ble distriktshovedstad i det nytt grunnlagte distriktet . Til hørte i begynnelsen også Limburg; men i 1886 fikk Limburg setet i det nytt grunnlagte distriktet .