Produksjon består at to faser: maskegenerering og prosessering. Maskegenerering kan sammenlignes med (og innebar tidligere) å lage den negative filmen før man starter volumproduksjon. Maskegenerering er en forholdsvis dyr prosess, spesielt i de mest moderne teknologiene med de minste linjebreddene. Produksjonshuset tilbyr derfor forskjellige muligheter hvor det blir satt sammen bidrag fra flere forskjellige aktører for å redusere prisen. Prosesseringen gjøres på «wafere». Wafere er runde skiver med en diameter på mellom fire og 22 tommer som er skåret ut av sylindriske barrer. Waferne er vanligvis under 1,5 mm tykke, typisk rundt 0,8 mm. På et wafer repeteres produksjonsmasken, slik at man vil få et større antall like moduler. Produksjonen innebærer blant annet å deponere mønstrede lag på waferet, slik at gasser av forskjellig sammensetning får tilgang til strukturer bestemt av masken. Dette er prosesser som krever optimale gasskonsentrasjoner, trykk og temperaturer, og som det er vanskelig å akselerere. Produksjonstid er mellom tolv og seksten uker, avhengig av antall maskelag. Dette har nærmest vært uendret i løpet av de siste 30 år.