Den 17. juli 2002 introduserte Fujitsu en ny generasjon av SPARC64 IV i 700, 788 and 810 MHz (en 600 MHz versjon ble demonstrert allerede i 2001). Disse prosessorene var fabrikkert med Fujitsu's CS85-prosess, en 130 nanometers 6-lags kobber CMOS-prosess. Den interne spenningen ble redusert til 1.8 Volt, mens den eksterne ble redusert til 1.8 eller 2.5 Volt.