Bruk av elektronstråler i mikroskop gjør det mulig å se mindre detaljer i et mikroskop. Mens et elektron med en kinetisk energi på 100 eV, kan skille to punkt med en avstand 0.123 nm, vil bruk av elektromagnetisk stråling med fotoner av samme energi kun gi en oppløsning på 12.4 nm. Det er derfor elektronmikroskop gjør det mulig å studere de aller minste egenskaper i forskjellige materialer.