Foruten den viktigste leiren, Dora som huset 15 000 fanger var de viktigste underleirene (etablert 2. mai 1944, i snitt rundt 8 000 fanger), (1. april 1944, 4 000 fanger), (13. mars 1944, med 1 000 fanger) og SS enhetene III og IV (totalt rundt 3 000 fanger, fordelt på flere små leire langs en nylig bygget jernbane mellom Nordhausen og Herzberg am Harz. Flere underleire ble bygget i og Mittelbau og ble offisielt uavhengige. Våren 1945 var antall innsatte totalt over 40 000 i rundt 40 leire.