Galway har vært gift tre ganger. Hans første ekteskap, med en fransk kvinne som han fikk en sønn med. Han giftet seg med sin andre kone, Anna (Annie) Renggli, datter av en kjent sveitsisk arkitekt, i 1972, og flyttet fra Berlin til Luzern i Sveits. Paret har tvillingdøtre og en sønn. Det var til henne han i 1978 spilte inn en instrumental versjon av John Denver's "Annie's Song". Etter skilsmissen flyttet han til Meggen i Sveits, en landsby utenfor Luzern, hvor han nå bor sammen med sin tredje kone, den amerikanskfødte Lady Jeanne Galway (født Cinnante), som han giftet seg med i 1984. De turnerer ofte sammen og spiller duetter.