Ved folketellingen i 2011 var det innbyggere i distriktet, mot i 2001. Den urbane befolkningen utgjorde 63,59 % av befolkningen. Barn i alderen 0 til 6 år utgjorde 9,93 % i 2011 mot 11,72 % i 2001. Antallet jenter i den alderen per tusen gutter er 967 i 2011 mot 961 i 2001. Den 18. juli 2019 ble Chengalpattu utskilt som et eget distrikt, og med dette ble Kanchipuram mer enn halvert av størrelse og mistet sine områder mot havet, sør for Chennai.