Begrepet ateist (fra franske ), i betydningen av «en som benekter eller ikke tror på eksistens av Gud», går kronologisk forut på engelsk, hvor det først er funnet så tidlig som 1566, og på nytt i 1571. Ateist som merkelapp på de som ikke tror, de gudløse, ble brukt i England så tidlig som 1577. Det engelske begrepet ble avledet fra franske og benyttet i engelsk en gang rundt 1587. Beslektede ord oppsto senere: deist i 1621, teist i 1662, og teisme i 1678. På den tiden hadde deist og deisme allerede den meningen som de har i dag, og begrepet teisme kom til bli motsetningen til deisme.