I første delreaksjon reagerer tri-metylaluminium (TMA) med en OH-gruppe i silisiumoverflaten. Et hydrogenatom går sammen med en metylgruppe og danner et metan-molekyl, mens en av bindingene i TMA-molekylet går sammen med oksygenatomet i overflaten. Når det ikke lenger er ledige OH-grupper i overflaten, stopper reaksjonene opp og ingen flere TMA-molekyler fester seg til substratet. Kammeret tømmes etter en gitt tid som er funnet etter prosesstudier.