Oberons geologi ble påvirket av to konkurrerende krefter: danelsen av nedslagskratre og engodgen fornyelse. Førstnevnte påvirket månen gjennom hele historien, og er først og fremst ansvarlig for hvordan overflaten ser ut i dag. Sistnevnte prosess var aktiv i en periode etter månens dannelse. De endogene prosessene var primært tektoniske av natur, og førte til dannelsen av canyoner, som faktisk er gigantiske sprekker i isskorpen. Canyonene utslettet deler av den eldre overflaten. Oppsprekkingen av skorpen ble forårsaket av at Oberon ekspanderte med ca. 0,5 %, en hendelse som fant sted i to faser og ga et skille mellom eldre og yngre canyoner.