Antallet riksumiddelbare territorier ble sterkt redusert mot slutten av Det tysk-romerske rike. Mange mindre territorier ble mediatisert gjennom franske anneksjoner mellom 1792 og 1799, gjennom i 1803 og gjennom grunnleggelsen av Rhinforbundet i 1806. Få måneder senere ble Det tysk-romerske rike oppløst, og riksumiddelbarheten mistet sin betydning; dvs. de gjenværende riksumiddelbare territoriene ble suverene stater.