I 1525 betaler Vincens Lunge inn skatten av bispelenet Hardanger, så på dette tidspunkt er lenet i ferd med å bli et ordinært len. Fra 1539 er igjen Hardanger og Halsnøy klostergods igjen samlet under felles lensherre, Jens Splid som er gift med enken etter Vincens Lunge. Lenene i Norge ble avskaffet etter innføringen av eneveldet i 1660, men også etter denne tid ble det innvilget nye forleninger. Således fikk arvingene etter Christopher Urnes død i 1663 beholde lenet til 1. mai 1664, videre fikk Frederik von Ahlefeldt lenet fra 1. mai 1664 til sin død i 1686. Lenet inndras og blir en del av Bergenhus amt.