Luxembourg ble værende et selvstendig len (land) i Det tysk-romerske riket, til keiser Karl IV i 1354 opphøyde det til et hertugdømme for sin bror Wenceslaus. Landområdene til hertugdømmene oppstod i 1353 da det gamle grevskapet Luxembourg, markgrevskapet Arlon, grevskapene Durbuy og Laroche samt distriktene Thionville, Bitburg og Marville ble slått sammen. Grevskapet Vianden kan også regnes med, siden det var en vasall for grevene og hertugene av Luxembourg siden 1264.