Heydrich døde i 1942 og Himmler tok sitt eget liv i mai 1945. Ernst Kaltenbrunner ble henrettet etter hovedprosessen i Nürnberg. Franz Walter Stahlecker, leder for Einsatzgruppe A, ble drept i 1942. Heinrich Müller i Gestapo forsvant i mai 1945. Arthur Nebe, som en periode ledet Einsatzgruppe B, ble henrettet av tyske myndigheter i mars 1945. Horst Böhme, som ledet Einsatzgruppe B og C i perioder, forsvant i april 1945. Rudolf Lange tok sitt eget liv i februar 1945. Alfred Filbert ble i 1962 dømt til livsvarig fengsel av en vesttysk domstol. Friedrich Panzinger (Einsatzgruppe A) tok sitt liv i vesttysk varetekt i 1959. Erich Ehrlinger ledet Sonderkommando 1b under Einsatzgruppe A og senere sjef for Sipo og SD i Kyiv og Minsk med ansvar for å drepe de gjenværende jødene der. Han unnslapp rettsforfølgelse rett etter krigen. Vesttyske myndigheter arresterte Ehrlinger i 1958 og han ble dømt i forbindelse med over 1000 mord.