Naturlig forekommende silisium består av tre stabile isotoper: (92,32 %), (4,97 %) og (3,1 %). I tillegg er 20 kunstig fremstilte isotoper kjent (som alle er ustabile - og dermed radioaktive). De mest stabile av disse er med halveringstid 150 år og med halveringstid 157,3 minutter. Alle de resterende isotopene har halveringstider kortere enn 10 sekunder.