Mengden overflate skapt av prosessen avhenger av strømmen (pulserende eller kontinuerlig) og dimensjonene til den primære ionestrålen. Mens bare ladede sekundære ioner som sendes ut fra materialoverflaten gjennom sputteringsprosessen, brukes til å analysere den kjemiske sammensetningen av materialet, representerer disse en liten brøkdel av partiklene som sendes ut fra prøven.