I august 1963 ble åtte av de overlevende vaktene fra leiren stilt for retten i München, anklaget for medvirkning til mord: Josef Oberhauser i 450 000 mord, Werner Dubois, Robert Jührs, Heinrich Unverhau, Ernst Zierke og Karl Alfred Schluch i 360 000 mord, Heinrich Gley i 170 000 mord og Erich Fuchs i 90 000 mord. Ingen av de anklagede nektet for å ha vært innblandet i massemord; derimot skyldte de på at de bare hadde adlydt ordre. Retten viste forståelse for dette, enda Nürnberg-prosessene hadde slått fast at dette ikke er gyldig grunn for deltakelse i krigsforbrytelser. Bare Oberhauser ble dømt - til fire et halvt års fengsel, hvilket skulle bli fem minutter pr mord. Han ble satt fri etter å ha sont halve straffen, og jobbet deretter bak disken i en ølstue. Han døde i 1979.