Subudbevegelsen ble grunnlagt og stiftet i Jakarta i Indonesia av Muhammad Subuh Sumohadiwidjojo (1901–1987). Han kalte seg (indonesisk: «far»). Muhammad Subuh studerte sufisme. Han hevdet at han hadde hatt en sterk mystisk opplevelse i 1925, og i 1933 stiftet han Subud-bevegelsen på bakgrunn av denne opplevelsen. I begynnelsen var utbredelsen begrenset til Indonesia. Fra 1947 ble navnet først brukt, og i 1956 kom bevegelsen til Europa gjennom J. G. Bennett.