Byen er et resultat av økonomisk vekst på 1800-tallet. Her var det landlige områder frem til omtrent 1860, da kullgruvene åpnet og produksjon av stål ble satt i gang i stor skala. Dette gjorde byen om til det store industrikomplekset man ser i dag. Flere landsbyer ble i 1862 slått sammen til en ny bystruktur, som i 1874 fikk bystatus. I 1929 ble de nærliggende byene Sterkrade og Osterfeld også innlemmet. Oberhausen er en typisk by for Ruhrområdet som har vokst opp rundt industri og fabrikker. I 1905 hadde Alt-Oberhausen (den gamle, sørlige delen) mer enn 50 000 innbyggere. Allerede i 1914 overskred innbyggertallet 100 000 og Oberhausen ble dermed en storby. Med innlemmelsen av Sterkrade og Osterfeld steg innbyggertallet igjen med mer enn 80 000 personer til 190 000. I året 1963 nådde innbyggertallet sitt historisk høydepunkt med 260 000 innbyggere.