Prosessoren hadde en enkel skalær oppbygning, med én heltallsenhet og én desimaltallsenhet. 16 KB nivå-1 cache for data og 16 KB nivå-1 cache for instruksjoner var integrert i brikken. Den hadde også en integrert kontroller for ekstern nivå-2 cache på 256 KB, 512 KB eller 1 MB, som kjørte i halvparten eller en tredjedel av hastigheten til prosessoren. På en 170 MHz TurboSPARC kjørte nivå-2 cachen således i 85 eller 56.67 MHz.