Sigismund von Ow var en sønn av den bayerske regjeringsrådmannen Felix von Ow-Felldorf (1816–1869) og hans første kone Josepha, født grevinne von Berchem (1832–1855). Hans bror Anton (1858–1943), som kom fra farens andre ekteskap, var distriktsdommer i Berchtesgaden.