Rundt 1521 fantes det 144 riksgrevskaper. Tallet sank til 99 innen 1792 fordi grevehus døde ut eller ble opphøyet til riksfyrsterangen, eller fordi riksgrevskap ble mediatisert (dvs. slått sammen med større nabostater) eller forlot riket. På den andre siden kom enkelte nye riksgrever til ved delingen av grevehus eller på grunn av opphøyelser til riksgrevestanden. Ved oppløsningen av Det tysk-romerske rike mistet begrepet sin betydning og mange riksgrevskaper sin selvstendighet.