De eldste tettstedene er Holmsbu og Filtvet, som oppsto som strandsteder på 1700-tallet. Verket er et tettsted som vokste fram rundt det tidlige industriforetaket Schimmelmanns glassverk (1779–1832). De fleste tettstedene vokste fram etter den industrielle revolusjon. Spikkestad og Midtbygda/Røyken oppsto som «stasjonsbyer» etter anlegget av Spikkestadbanen i 1872. Slemmestad/Bødalen, Sætre og Tofte er tettsteder som har vokst fram rundt fabrikker og tungindustri i perioden 1875–1897. De resterende tettstedene er alle mindre tettsteder som relativt seint utvikla seg til tettsteder, med sekundære, lokale funksjoner som skolested, poststed og dampbåtanløp.