XFS er et 64-biter filsystem som ble utviklet av Silicon Graphics Inc. (SGI) i 1993. Det var standard filsystem i operativsystemet IRIX fra versjon 5.3 i desember 1994. I mai 2001 ble XFS tilføyd Linuxkjernen i form av patcher fra SGI, før det ble integrert i kjernens versjon 2.6 den 18. desember 2003.