I andre delreaksjon reagerer vannmolekyler med de resterende metylgruppene i det kjemisorberte di-metylaluminium-molekylet. Resultatet er flere metanmolekyler, som pumpes ut av kammeret, og Al2O3-grupper som er kjemisk bundet til overflaten. Reaksjonene stopper opp når det ikke lenger er metylgrupper å reagere med. Kammeret tømmes igjen.