Mikroprosessoren ble fabrikkert av Fujitsu i deres CS-60 prosess, en 350 nanometers, 5-lags CMOS prosess. Reduksjonen i transistorenes størrelse fra 400 nanometer i SPARC64, reduserte også størrelsen på brikkene. Størrelsene på brikkene var henholdsvis 202 mm² (mikroprosessoren), 103 mm² (MMU) og 84 mm² (Cache-RAM).