Prosessen er oppkalt etter den nederlandske fysikeren Frans Michel Penning som først rapporterte det i 1927. Penning begynte å jobbe ved Philips Natuurkundig Laboratorium i Eindhoven for å fortsette forskningen av elektrisk utladning på sjeldne gasser. Senere startet han målinger på frigjøring av elektroner fra metalloverflater av positive ioner og metastabile atomer, og spesielt på effektene relatert til ionisering av metastabile atomer.