Bengt Wilhelm Carlberg giftet seg første gang den 17. desember 1722 med Anna Dorothea Weber (død 11. mai 1727), og andre gang den 24. juni 1729 med Jeanna Christina von Blessingh (1714–70), datter av J. A. von Blessingh. Det første ekteskapet var barnløst. I sitt andre ekteskap fikk han fire barn: Johan Adam Carlberg (1732–1799), som ble løytnant i Fortifikationen; Carl Wilhelm Carlberg; Lovisa (født 13. desember 1749), som ble gift med fanejunker ved Skaraborgs regiment Johan Friedrich Schuer, sønn av kattunsprodusent Johan Friedrich Schuer; og Ulrika, gift med kaptein i Fortifikationen Henric Liedin.