Ernst Kaltenbrunner var østerriker og sjef for RSHA etter at Heydrich ble drept. Han ble dømt til døden under Nürnbergprosessen og henrettet. Odilo Globočnik, leder for Aksjon Reinhardt, tok sitt eget liv etter å ha blitt arrestert av britiske styrker i mai 1945 i Kärnten. Irmfried Eberl tok sitt eget liv i varetekt etter krigen. Franz Stangl rømte til Brasil og ble stilt for retten i Tyskland i 1967. Adolf Eichmann ble dømt til døden og henrettet etter en berømt rettssak i Israel. Østerrikeren Franz Kutschera ble drept av polsk motstandsbevegelse på gaten i Warszawa i februar 1944.