Etter maktovertakelsen anla Hitlers regime flere konsentrasjonsleirer der regimets motstandere ble internert. Regimet etablerte Dachau, Oranienburg, Sachsenhausen, Buchenwald og Ravensbrück før 1939. Etter 1939 ble disse en del et større nettverk av leirer der de internerte ble brukt til slavearbeid. Dachau ble etablert i 1933 som den første og der ble politiske fanger og tyske sigøynere samt vanlige kriminelle internert. Før krigen hadde Hitler-regimet opprettet leirer for politiske fanger på tysk jord, blant annet Dachau og Sachsenhausen. Senere ble blant annet krigsfanger, sigøynere og homofile holdt i disse leirene. Disse første leirene var ikke utryddelsesleirer, slike kom først i stand under krigen i okkuperte områder i Øst-Europa. mini|upright|Adolf Hitler og nazipartiet trappet gradvis opp de antijødiskee tiltakene etter maktovertagelsen i 1933. Etter at krigen brøt løs i 1939, ble denne politikken også eksportert til tyskokkuperte områder.