Senere ble dampmaskinene bygget med kjeler som skapte damp med svært høy temperatur, såkalt overopphetet damp. Den tyske ingeniøren Wilhelm Schmidt (1858–1924) regnes for å stå bak gjennombruddet innenfor teknologien som kalles . Schmidt konstruerte dampkjeler med ett trinn etter selve kjelen der vannet koker, der han lot dampen gå gjennom et sinnrikt system av rør, se illustrasjon (Schmidts superheater). Disse rørene var anbrakt der ild og røykgasser passerte, slik at dampen fikk temperaturer helt opp mot 350 °C. Med denne videreutviklingen ble effektiviteten, eller virkningsgraden, forbedret ytterligere. Forbruket av drivstoff per utviklet hestekrafttime (energi) er et mål for dette. Newcomens dampmaskin brukte 18 kg kull, Watts maskin 4 kg kull, Corliss' maskin 600 g kull og i moderne tid bare rundt 200 g kull, der alle tall er masseenhet kull per hestekrafttime.