Kammerherreinnen døde på Tirsbæk herregård ved Vejle Fjord den 25. juli 1802, og Benzon lot oppføre et minnesmerke i marmor og granitt for henne. Etter hennes død, giftet Benzon seg på ny med norskfødte Frederica Edel Benedicta Brüggemann (1777–1846). Han døde selv den 21. januar 1840.