Halvleder-sensoren består av tynne ledninger av halvleder-tinndioksid på en isolert kjeramisk base, og overvåkes ved hjelp av en integrert krets. Selve sensoren må være oppvarmet til om lag 400 °C under drift. Oksygen øker motstanden i tinndioksidet, mens karbonmonoksid reduserer motstanden. Motstanden overvåkes av den integrerte kretsen. Levetiden til halvleder-sensoren er om lag 5 år, og typen bør testes hvert år med en testgass.