POWER3 skilte seg ut fra sine forgjengere på tre vesentlige områder. For det første er den en 64-bit superskalær mikroprosessor, mens forgjengerne POWER1 og POWER2 er 32-bit mikroprosessorer. For det andre er de utførende enhetene, sammen med nivå-1 hurtigminne for data og instruksjoner implementert i én enkelt brikke, mens forgjengerne består av mellom 6 og 10 separate integrerte kretser. For det tredje har mikroprosessoren støtte for multiprosessering.