SPARC64 III bestod av 17.6 millioner transistorer, hvorav 6 millioner ble benyttet til logiske kretser og 11.6 millioner ble benyttet til cache-RAM og . Størrelsen var 210 mm². Prosessoren ble fabrikkert av Fujitsu ved å ta i bruk deres CS-70 prosess, en 240 nanometers, 5-lags CMOS-prosess.