Høyspennings RF-gnistkilden er den som ble brukt i kommersielle SSMS-instrumenter på grunn av dens evne til å ionisere både ledende og ikke-ledende materialer. Vanligvis er prøver fysisk innlemmet i to ledende elektroder mellom hvilke en intermitterende (1 MHz) høyspenning (50-100 kV ved bruk av en Tesla-transformator) elektrisk gnist produseres for å ionisere materialet på tuppen av de pinformede elektrodene. Når den pulserende strømmen påføres elektrodene under ultrahøy vakuum, oppstår et gnistutladningsplasma i gnistgapet der ioner genereres via elektronstøt. Innen utladningsplasmaet fordamper prøven, forstøver og ioniseres prøven via elektronpåvirkning. Den totale ionestrømmen kan optimaliseres ved å justere avstanden mellom elektrodene. Denne modusen for ionisering kan brukes til å ionisere ledende, halvledende og ikke-ledende prøver.