UltraSPARC III bestod av 16 millioner transistorer, hvorav omtrent 75% bestod av cache-RAM. Den var fabrikkert av Texas Instruments med deres C07a 180 nanometers, 6-lags, aluminium CMOS-prosess. Den interne spenningen var 1,7 Volt. Den hadde 1200 pinner, pakket i en LGA.