Lensinndelingen ble innført i 1634 mens Finland var en del av Sverige. Etter en lensreform i 1775 hadde Finland følgende seks len: Nylands og Tavastehus län Kymmenegårds län Åbo og Björneborgs län Savolax og Karelens län Vasa län Uleåborgs län Det ble ingen endring i lensforvaltningen da Finland ble et storfyrstedømme under Russland i 1809, og i 1812 ble Viborgs guvernement gjenforent med Finland under navnet Viborgs län.