Navnet har vært skrevet Vares, Vare, Varsa, Varts, Wards, Wares, Warts og Warch. Etternavnet ble til ved at en av slekten ble kalt Varsa (samisk for unghest, føll) og senere benyttet det som sitt etternavn. Ifølge Adolf Steen er Aslak Person Nicki den første som et oppført som «Nicki el.r Varsa» (1752) og skal visstnok være første gang Vars-navnet ble tatt i bruk av Nicki-slekten.