Tilintetgjørelsesleirer ble etablert i den okkuperte delen av Polen fra sent i 1941. Kulmhof (polsk: ) var i drift fra den 8. desember 1941 for å drepe jødene i Łódź og Wartheland, og der ble gassvogner tatt i bruk i stor skala. Kulmhof var det første faste drapsanlegget. Bełżec ble den andre rene utryddelsesleiren under holocaust etter at den i november 1941 ble omgjort til utryddelsesleir. Firmaet J. A. Topf & Söhne fikk i oktober 1941 i oppdrag å utvide krematoriekapasiteten i Auschwitz som på det tidspunktet ikke var en utryddelsesleir.