Allerede rundt 1809 begynte den storstilte gruvedriften av salpeter, som ble satt opp for produksjon av sprengstoff og gjødsel. Siden 1853 var utvinningen gjennom bruk av dampmaskiner sterkt akseleret. For å framskynde transporten ble reist i 1871 en jernbanelinje fra Iquique til området av La Noria, etterfulgt av jernbanelinjen fra Pozo Almonte til havnen Pisagua. Den sørlige jernbanen nådde til Lagunas. Med Perus uavhengighet i 1821, dannet regionen , etterpå i 1857 og endelig i 1877. 1879-1883 kjempet Chile mot Bolivia og Peru i salpeterkrigen. Tarapacá ble endelig gjort i Ancóntraktaten i 1883 av Peru til Chile. Den 8. oktober 2007 skilte de nordlige provinsene Arica og Parinacota regionen og dannet den nye regionen Arica y Parinacota, mens provinsen El Tamarugal ble opprettet, som tidligere var en del av provinsen Iquique.