Finn Qvale var sønn av Paul Fredrik Heltzen Qvale (1839–1893) som ble inspektør ved Idun Gjærfabrikk i Kristiania, og Seriane Marie Lammers (1844–1924) som var søster til operasangeren Thorvald Lammers (1841–1922). Finn var bror til skipsinspektør Einar Qvale (1869–1958) og rettspresident Erling Qvale (1880–1968). Finn Qvale ble i 1930 gift med Kirsten Prebensen (1883–1957), som var datter av Nicolai Christian Grove Prebensen (1850–1938) fra Risør, som var minister og odelstingspresident (se Prebensen (slekt)). Fra hennes første ekteskap med Oscar Georg Müller (død 1925) var han stefar til ingeniør Fredrik Heuch Qvale (1917–1992) og tannlege Adam Walther Qvale (1919–1995).