Det ble fra krigens sluttfase gjennomført en serie rettsprosesser som helt eller delvis omhandlet medvirkning til holocaust under andre verdenskrig. Rettsoppgjøret skjedde i regi av de allierte okkupasjonsmaktene i Tyskland straks etter krigen, det skjedde i regi av tyske myndigheter etter at Forbundsrepublikken (Vest-Tyskland) fikk suverenitet og det skjedde i de landene som var berørt av folkemordet. Den første prosessen ble ført høsten 1944 mot personell i Majdanek før krigen var slutt. Nürnbergprosessen mot lederne for Nazi-Tyskland er særlig kjent. Denne ble etterfulgt av Nürnbergprosessene der særlig Einsatzgruppenprosessen omhandlet holocaust.