De fremste av de «eutanasiinstituttene» der avlivningene fant sted, lå i Brandenburg an der Havel, Hadamar og Sonnenschein-slottet. Men det første dødsanlegget var Hartheim-slottet i Oberösterreich. Det ble konfiskert i 1939, og ombygd til dødsanstalt for den sørøstlige del av Det tyske rike i 1940.