Ovennevnte rådmann i Randers Hans Hansen Bentsen (1541–1625) hadde sønnene Søren Bentzon (1618–1668), som var sogneprest og prost i Randers, og Mads Bentzon, hvis sønn Hans Bentzon (1650–1704) kjøpte Skærsø og var stamfar til 3. adelige linje av 1679. Han var far til Johan (Jochum) Severin Bentzon (1692–1741) til Estvadgård, som var gift med sin kusine Frederikke Louise Bentzon, f. Glud (1702–1745), som opprettet Estvadgaards Stiftelse. Ovennevnte prost Søren Bentzon (1618–1668) var far til assessor Hans Benzon (1657–1715), hvis barn 22. februar 1717 ble opphøyet i adelstanden. Familien skriver seg, likesom de adelige linjer av 1679, Benzon. Av hans barn var konferensråd Johannes Benzon (1712–1784) til Sohngårdsholm, far til oberstløytnant Hans Peter Benzon (1749–1817), hvis sønnesønn var nasjonaløkonomen Peter Tamm Julius Benzon-Buchwald (1821–1877).