En annen viktig karakteristikk er linjebredden. Linjebredden er egentlig lengden til «gate» (kontrollinngangen til CMOS-transistorer), men alle andre bredder, lengder, tykkelser osv. skaleres forholdsvis lineært med gate-lengden. Typiske linjebredder i dag er 90 nm, 45 nm og 25 nm. Vanligvis er det ren digital elektronikk som bruker de minste linjebreddene, mens analog elektronikk bruker mer konservative størrelser.