I mer tekniske termer er termospray den kontrollerte delfordampningen av en væske når den strømmer gjennom et oppvarmet kapillarrør. Nebuliseringen oppnås ved å pumpe en væskeprøve ved moderat høyt trykk gjennom et elektrotermisk oppvarmet kapillarrør. Når tilstrekkelig strøm er koblet til prøvestrømmen, produseres en delvis fordampet blanding bestående av den fordampet prøve og noen gjenværende væskeprøve. Ved utgang fra den oppvarmede kapillæren omdannes den raskt til en aerosol. Den produserte dampen fungerer som en forstøvningsgass og hjelper oppløsningen av væskestrømmen til dråper, i en prosess som ligner på pneumatisk forstøvning. Konseptuelt kan dette således betraktes som en pneumatisk prosess der den ekspanderende løsemiddeldampen brukes som en forstøvergass. Løsningen forlater røret som en supersonisk stråle eller spray av veldig små dråper bestående av løsemiddeldamp. Kvalitativt er aerosolene tett med en moderat smal partikkelstørrelsesfordeling.