Ved Napoleons endelige fall og abdikasjon i april 1814, flyktet Maria Louise og hennes sønn til Østerrike og keiser Franz Is beskyttelse. Maria Louise fikk ved Paris-traktaten 30. april 1814, lov til å beholde sin keiserlige tittel og tiltalen . Ved denne traktaten ble hun også gjort til hertuginne av hertugdømmene Parma, Piacenza og Guastalla. Disse hertugdømmene skulle opprinnelig gå i arv til hennes sønn, men Wienerkongressen vedtok at hertugdømmet kun skulle være hennes på livstid, og ikke arvelig. Senere ble det vedtatt at hertugdømmet Parma skulle føres tilbake til huset Bourbon.