Ved inngangen til 2000-tallet var stirlingmotorer på 1-200 kW i begrenset serieproduksjon. De kunne drives av naturgass, propan, solenergi, biomasse, diesel og radioaktive isotoper. Kostnadene var høye, anslått til 16- 72 000 kr pr kW elektrisk kraft. Motorer for kombinert kraft- og varmeproduksjon var imidlertid under utvikling flere steder. Blant annet i Danmark og sentrale deler av Europa var det betydelig interesse for utvikling av slik desentralisert energiproduksjon. En utfordring var høyfrekvent støy. I Norge var stirlingmotor på 12 kW (3 kW el og 9 kW varme) under utvikling hos Sigma Elektroteknisk. I senere år er de mye brukt i mikrokraftvarmeanlegg på grunn av sin høye effektivitet (over 90 % for stirlingmotorer), lave vedlikeholdskrav, lite lyd og vibrasjoner og lave utslipp.