Maximilien var eldste av fire barn av advokaten François de Robespierre og Jacqueline Marguerite Carraut, og han var bror til Augustin de Robespierre og Charlotte Robespierre. Familien stammet på farssiden fra Irland. De var kommet til Frankrike på grunn av den religiøse forfølgelsen under kong Henrik VIII. Moren var datter av en velstående brygger.