UltraSPARC bestod av 5.2 millioner transistorer. Av disse ble 3.4 millioner transistorer benyttet til logiske kretser, mens resten ble brukt til å implementere hurtigminne. Den ble fabrikkert ved hjelp av Texas Instruments' EPIC-3 prosess, en 470 nanometers 4-lags CMOS prosess.