SuperSPARC hadde 20 KB nivå-1 instruksjons-cache og 16 KB nivå-1 datacache. Den ble også levert sammen med en ekstern kontroller for en valgfri nivå-2 cache. Størrelsen på nivå-2 cache kunne være opptil 2 MB. I datamaskiner med en enkelt SuperSPARC benyttet nivå-2 cache MBus eller VBus. I datamaskiner med to eller flere SuperSPARC mikroprosessorer, benyttet nivå-2 cache enten MBus eller XBus.