Positive fortrengningspumper bruker en mekanisme for gjentatte ganger å utvide et hulrom, la gasser strømme inn fra kammeret, forsegle hulrommet og tømme det ut til atmosfæren. Bevegelsesmoment-overføringspumper, også kalt molekylære pumper, bruker høyhastighetsstråler av tett væske eller høyhastighets roterende kniver for å banke gassmolekyler ut av kammeret. Inneslutningspumper fanger opp gasser i fast eller adsorbert tilstand. Dette inkluderer kryopumper, getters og ionepumper.