I desember 1994 lanserte SGI filsystemet XFS for versjon 5.3 av operativsystemet IRIX. Den 18. februar 2004 ble XFS innlemmet i versjon 2.4.25 av Linuxkjernen; den 18. desember 2003 ble filsystemet også innlemmet i versjon 2.6. Den 31. mars 2002 ble Gentoo Linux den første Linuxdistribusjonen som benyttet XFS som standard.