I 1871 hadde provinsen Westfalen 1,78 millioner innbyggere, som bare var litt over 14 % mer enn i 1858. Frem til 1882 økte befolkningen med mer enn 20 %, og omtrent like høy var folkeøkningen frem til 1895. I de neste 10 årene frem til 1905 steg folketallet med mer enn 30 % til 3,6 millioner. Den sterkeste tilveksten erfarte Regierungsbezirk Arnsberg, som huset det meste av Westfalens industri. Folketallet i Regierungsbezirk Münster og Minden steg med omkring 100 % fra 1818 til 1905, mens folkeøkningen i Regierungsbezirk Arnsberg var på over 400 %.