Etter krigen ble det innledet rettsoppgjør mot regimet og enkeltpersoner i en serie prosesser: Nürnbergprosessen (hovedprosessen) ble ført av de allierte i fellesskap mot regimets toppledere Nürnbergprosessene var 12 etterfølgende prosesser gjennomført av USA Auschwitzprosessen eller Krakowprosessen ble ført av polske myndigheter mot personell i Auschwitz Dachauprosessene var 489 militære straffesaker mot mannskap fra leirene Dachau, Buchenwald, Flossenburg og Mauthausen gjennomført av den amerikanske okkupasjonsmakten inne i Dachau-leiren. Majdanekprosessene ble innledet straks sovjetiske styrker befridde Majdanek høsten 1944. Belsenprosessen ble gjennomført av de allierte høsten 1945 mot personell fra Auschwitz og Bergen-Belsen. Stutthofprosessen ble gjennomført av polske og sovjetiske myndigheter i Gdańsk 1946. Saker for tyske domstoler etter at Vest-Tyskland var opprettet som selvstendig stat: Ulm-Einsatzkommando-prosessen (tysk: ) var den første store saken under tysk lov. Den omfattet 10 personer, blant andre Bernhard Fischer-Schweder, tiltalt for medvirkning til holocaust i Litauen. Auschwitzprosessen i Frankfurt ble gjennomført 1963–1965 mot 22 personer tiltalt etter tysk straffelov. Treblinkaprosessen ble avholdt i Düsseldorf fra 1964 og omfattet personell fra utryddelsesleiren Treblinka Majdanekprosessen i Düsseldorf («den tredje majdanekprosessen») ble gjennomført fra 1975 mot personell fra konsentrasjonsleiren Majdanek Karl-Friedrich Höcker ble dømt til fengsel først på 1960-tallet for sitt virke i Auschwitz, deretter i 1989 for sitt virke i Majdanek. Andre saker: Adolf Eichmann ble dømt og henrettet i Israel.