Inntil 1800 var Marienfelde et lite sted med færre enn 200 innbyggere. Fra ca 1850 økte innbyggertallet og da Marienfelde stasjon ble anlagt i 1875, begynte utviklingen av den nordlige del av området. Vest for jernbanen ble villaområdet Neu-Marienfelde oppført, mens det øst for stasjonen ble etablert industri. Marienfelde ble innlemmet i Stor-Berlin i 1920 og tilhørte da bydelen Tempelhof. Før utbruddet av den første verdenskrigen hadde Marienfelde ca 10 000 innbyggere.