Provinsen Westfalen oppstod som en følge av Wienerkongressen, hvor kongeriket Preussen ble delt inn i ti provinser gjennom «Forordning om en bedre innrettelse av provinsielle forhold» av 30. april 1815. Den franske vasallstaten kongeriket Westfalen (1809–1813) ble oppløst etter at Frankrike tapte folkeslaget ved Leipzig den 19. oktober 1813. Etter Napoléon Bonapartes nederlag den 14. november 1813 mot den tredje prøyssiske arme under ledelse av Ludwig von Vincke, opprettet Preussen den midlertidige provinsen Generalguvernementet mellom Weser og Rhinen. Provinsen Westfalen var den direkte politiske etterfølgeren til denne.