Bruken av gnistionisering for analyse av urenheter i faste stoffer ble indikert av Arthur Jeffrey Dempster i 1935. Metaller var en klasse av materiale som ikke tidligere kunne ioniseres ved termisk ionisering (metoden som tidligere ble brukt for ioniserende fast prøve). Gnistionkilder ble ikke produsert kommersielt før etter 1954, da Hannay demonstrerte sin evne til å analysere sporurenheter (per million deteksjonsfølsomhet) i halvledende materialer. Prototypen av gnistkildeinstrumentet var MS7 massespektrometer produsert av Metropolitan-Vickers Electrical Company, Ltd. i 1959. Kommersiell produksjon av gnistkildeinstrumenter fortsatte gjennom 50-, 60- og 70-tallet, men de ble faset ut når andre sporstoffelementdeteksjonsteknikker med forbedret oppløsning og nøyaktighet ble oppfunnet (ca. 1960-tallet). Etterfølgere av gnistionkilden for sporelementanalyse er laserionkilden, glødeutladningskilden og den induktivt koblede plasmaionkilden. I dag bruker svært få laboratorier gnistionisering over hele verden.