Fossile spøkelsesinsekter i snever forstand er bare kjent tilbake til Eocen, men det er grunn til å tro at de er eldre enn dette. Arter som kanskje er å regne til denne gruppen er kjent i alle fall tilbake til Perm. Voksne spøkelsesinsekter er for store til å bli bevart i arv, mens ungdomsstadiene er vanskelige å skille fra flere andre grupper, blant andre Notoptera.