Silisium ble først identifisert i 1787 av Antoine Lavoisier, og uavhengig av ham ble stoffet fremstilt av Humphry Davy som feilaktig antok at det var en kjemisk forbindelse og ikke et grunnstoff. Gay-Lussac og Thénard utvant trolig en uren amorf form for silisium i 1811, men det var først i 1823 at stoffet ble isolert og identifisert som grunnstoff av den svenske kjemikeren Jöns Jakob Berzelius. Han døpte det nye grunnstoffet «silisium» etter det latinske ordet (flintstein).