Otro grupo de técnicas nanotecnológicas incluye las utilizadas para la fabricación de nanotubos y nanohilos, las utilizadas en la fabricación de semiconductores como la litografía ultravioleta profunda, la litografía de haces de electrones, el mecanizado de haces de iones enfocados, la litografía de nanoimpresiones, la deposición de capas atómicas y la deposición de vapor molecular, y además incluye técnicas de autoensamblaje molecular como las que emplean copolímeros de di-bloque.