Aunque conceptualmente similar al microscopio confocal de escaneo desarrollado por Marvin Minsky en 1961 y al microscopio acústico de escaneo (SAM) desarrollado por Calvin Quate y sus colegas en la década de 1970, los nuevos microscopios de sonda de barrido tienen una resolución mucho mayor, ya que no están limitados por la longitud de onda del sonido o la luz.