Anca se simil del cuncett del microscop cunfucal a scansiun svilupà da Marvin Minsky in del 1961 e al microscop acustic a scansiun (SAM) svilupà da Calvin Quate e da i sò culaburatur in di an ‘70, i nœuf microscop a scansiun a sunda gan una resoluziun püsee volta perché in minga limitat da la luungheza d’unda del sòn o de la lüs.