Un atro gruppo de tecniche nanotecnòlige deuviæ pe-a fabricaçion de nanocannæ e nanofî, quelle deuviæ inta fabricaçion de semiconduttoî comme a litografia ultravioletta profonda, a litografia à fasci d’elettriçitæ, a lavoraçion con fasci iònichi focalizzæ, a litografia nanoimprint, a depoxiçion de seu atòmico e a depoxiçion de vapô molecolare, e pe de ciù comprendan de tecniche d’autoassemblaggio molecolare comme quelle che deuvian di copolimeri à blòcchi.