ফোকাসড আয়ন বিমগুলি সরাসরি উপাদান অপসারণ করতে পারে, বা এমনকি উপযুক্ত প্রিকর্সর গ্যাস প্রয়োগ করার সময় উপাদান জমাও করতে পারে।