Meskipun seucara konseptual hi deungen mikroskop confocal pemindaian yeng dikembangkan le Marvin Minsky bak thon 1961 ngen mikroskop akustik pemindaian (SAM) yeng dikembangkan le Calvin Quate ngen rekan kereuja bak thon 1970-an, mikroskop probe pemindaian yeng lubeh baron a resolusi yeng jioh lubeh lambong, kareuna hana dibatasi le panyang geulombang. Su atau cahaya.