Pandim boh decade ludoe, kemajuan lam teknologi multi-geurebang memungkenkan penskalalaan peurangkat transistor efek medan semikonduktor-oksida-logam (MOSFET) sampoe tingkat skala nano yeng lubeh ubit dari panyang gerbang 20 nm, dimulai deungen FinFET (transistor efek medan sirip) , MOSFET geurebang ganda lhee dimensi, ken-planar.