СПОСОБ ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ В СКАНИРУЮЩИХ УСТРОЙСТВАХ

1. Способ обработки сигналов в сканирующих устройствах с остросфокусированным электронным пучком, заключающийся в том, что сканируют электронным пучком поверхность объекта поперек топологического элемента, находящегося на этой поверхности, с одновременным изменением для каждой линии сканирования значения регулируемого параметра, получают вторично-эмиссионный сигнал, преобразуют этот сигнал в цифровую форму, запоминают и анализируют значения этого сигнала для определения лучших условий фокусировки, отличающийся тем, что для каждой сигналограммы определяют значение контраста сигнала, строят зависимость этого контраста от регулируемого параметра и по этой зависимости определяют положение точки фокусировки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве регулируемого параметра используют значение тока фокусирующей линзы.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве регулируемого параметра используют значение потенциала на фокусирующем электроде.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве сканирующего устройства с остросфокусированным электронным пучком используют сканирующий электронный микроскоп.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что значение контраста сигнала С определяют как:
С=ΔS/S,
где ΔS - амплитуда сигнала вблизи топологического элемента, S - значение сигнала от гладкой поверхности.
6. Способ обработки сигналов по п.1, отличающийся тем, что максимальное значение контраста сигнала на кривой зависимости от регулируемого параметра соответствует положению точки фокусировки луча на верхней грани топологического элемента.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что точка перегиба на кривой зависимости контраста от регулируемого параметра соответствует положению точки фокусировки луча на нижней грани топологического элемента.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что по точке перегиба и точке максимума на кривой зависимости контраста от регулируемого параметра определяют интервал регулируемого параметра, в пределах которого выставляют положение точки фокусировки относительно подложки.