СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНТАКТНО-БАРЬЕРНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ

Способ изготовления контактно-барьерной металлизации, включающий процессы напыления и отжига в азотной среде, отличающийся тем, что контактно-барьерную металлизацию формируют путем последовательного нанесения пленок W (15% Ti) толщиной 0,17-0,19 мкм магнетронным распылением сплавной мишени, со скоростью 2,5 Å/с и пленку Al (1,5% Si) толщиной 0,35-0,45 мкм, с последующим термическим отжигом при температуре 450-480°C в течение 30 мин.