УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЕМКОСТНЫХ СЕНСОРНЫХ ПАНЕЛЕЙ

Полезная модель относится к электронной технике и может быть использовано при контроле качества сенсорных панелей.
Наиболее известны оптические методы контроля основанные на фотометрическом и интерференционном принципе используемые при определении толщин напыленного слоя. Фотометрический метод [Быстров Ю.А., Колгин Е.А., Котлецов Б.Н. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. // Радио и связь. - 1988. - С.135] основан на зависимости коэффициента пропускания слоя вещества от его толщины. Интерференционный метод [Быстров Ю.А., Колгин Е.А., Котлецов Б.Н. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. // Радио и связь. - 1988. - С.114] основан на измерении по спектральному коэффициенту пропускания. Фотометрический метод отличается простотой конструкции и скоростью контроля, интерференционный метод отличается большой точностью и возможностью настройки. Недостатком вышеупомянутых методов является невозможность контролировать качество всей поверхность объекта.
Наиболее близким по совокупности существенных признаков к предлагаемому является устройство для фотометрического контроля толщины по коэффициенту прозрачности по белому свету [Быстров Ю.А., Колгин Е.А., Котлецов Б.Н. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. // Радио и связь. - 1988. - С.136]. Оно содержит источник света, фотоприемник и устройство отображения информации. Данное устройство обладает высокой точностью, благодаря наличию образцового пучка и получению результатов с помощью детектора отношений между образцовым и ослабленным пучком. Однако данное устройство не обладает возможностью контролировать качество сенсорной панели значительной площади.
Технической задачей, решаемой полезной моделью является создание устройства контроля качества, которое позволяет увеличить площадь контролируемой поверхности.
Поставленная задача решается в предлагаемой полезной модели за счет того что устройство контроля, так же как и известное, содержит источник света, фотоприемник и устройство отображения информации, в отличие от известного, предлагаемое устройство содержит систему перемещения в виде сканера и один фильтр предназначенный для помещения на исследуемом объекте, установленный между сканером и контролируемым слоем, причем полоса пропускания каждого фильтра
соответствует той части спектра искомой примеси, которая наиболее сильно отличается от аналогичных частей спектра других примесей.
Расширение возможностей полезной модели производится сменой фильтра, причем полоса пропускания каждого отдельного фильтра соответствует той части спектра искомой примеси, которая наиболее сильно отличается от аналогичных частей спектра других примесей. Для обработки полученных результатов используется математическая модель.
Технический результат, достигаемый с помощью предлагаемого устройства - возможность проводить контроль качества не только точечной области, но и всей поверхности сенсорной панели, возможность контролировать не только толщину, но и состав напыленного слоя.
Полезная модель поясняется чертежом. Устройство содержит источник света в виде ртутной лампы 1, цифровой фотоприемник 2, устройство отображения информации 3, фильтр 4, устройство перемещения вдоль фильтра - 5 и тестируемое стекло - 6. Ртутная лампа используется вместо точечного источника света для увеличения контролируемой площади. Для снятия целой линии значений коэффициентов ослабления светового потока от ртутной лампы можно использовать набор идентичных фотоприемников. Порядок работы можно представить следующим образом: выбирается фильтр для каждой искомой примеси, причем полоса пропускания каждого фильтра соответствует той части спектра искомой примеси, которая наиболее сильно отличается от аналогичных частей спектра других примесей. Например для Sn можно выбрать фильтр оставляющий только длинноволновую часть спектра, потому что SnO2, как основная компонента прозрачна при этих длинах волн. Поочередно устанавливается каждый фильтр и производится сканирование, результаты предоставляются на устройстве отображения информации. В устройстве отображения информации используется математическая модель для анализа полученных результатов. К ее основным действиям можно отнести получение контрастных картин и сравнение их между собой. Так как фильтры подобраны таким образом, что бы дефект имел наиболее контрастную картину, то для получения результата необходимо сложить обычную картину ослабления, для одной длинны волны, с инвертированной картиной для другой. Это позволит исключить неоднородности по толщине и выделить неоднородности по составу.