УЗЕЛ КАТОДА МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛИТЕЛЯ

1. Узел катода магнетронного распылителя, содержащий катод мишень, центральный магнит, систему периферийных магнитов, систему охлаждения, основание из магнитного материала и металлический экран, отличающийся тем, что металлический экран установлен, ниже поверхности катода мишени на  высоты узла катода, а катод мишень, основание из магнитного материала и кольцо с уплотнительными элементами соединены между собой верхним и нижним фланцами, выполненными в виде струбцины.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между охлаждающей системой и основанием из магнитного материала установлена немагнитная вставка.