КОНСТРУКЦИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра, содержащий инерционную массу, выполненную в виде маятника в кремниевой пластине и соединенную с ней упругими элементами подвеса, отличающийся тем, что в конструкции чувствительного элемента предусмотрено отверстие (или предусмотрены отверстия), обеспечивающее формирование опорной части для крепления упругого элемента (или упругих элементов) подвеса инерционной массы, снижающего внутренние механические напряжения, приложенные к инерционной массе, и повышающее точностные характеристики акселерометра.