СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ФОКУСИРОВКИ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА ЭЛЕКТРОННОЙ ПУШКИ ТИПА ПИРСА И УПРАВЛЯЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НЕЕ

1. Способ управления электронной пушкой типа Пирса, отличающийся тем, что осуществляют непосредственное измерение температуры внутри электронной пушки типа Пирса.
2. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что для непосредственного измерения используют термопару.
3. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что местоположения, где осуществляют непосредственное измерение, представляют собой анод и регистратор потока.
4. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что местоположение, где осуществляют непосредственное измерение, представляет собой любое из кольца, диафрагмы и трубы для выпуска, предусмотренных на входе или выходе любой одной из катодной камеры, промежуточной камеры и сканирующей камеры.
5. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что обратную связь результата измерения температуры внутри электронной пушкой типа Пирса осуществляют по скорости выпуска вакуумной системы выпуска.
6. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством использования отверстия диафрагмы, предусмотренной в вакуумной системе выпуска.
7. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством изменения скорости вращения насоса вакуумной системы выпуска.
8. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.5, отличающийся тем, что обратную связь по скорости выпуска осуществляют посредством изменения величины потока газа вакуумной системы выпуска.
9. Способ управления электронной пушкой типа Пирса по п.1, отличающийся тем, что электронная пушка типа Пирса представляет собой электронную пушку, имеющую две или более фокусирующих катушки, и электронный луч управляется так, чтобы он проходил приблизительно параллельно от фокусирующей катушки на предыдущей ступени к катушке следующей ступени.
10. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса, отличающееся тем, что оно содержит средство для осуществления непосредственного измерения температуры внутри электронной пушки типа Пирса.
11. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.10, отличающееся тем, что средство для осуществления непосредственного измерения представляет собой термопару.
12. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.10, отличающееся тем, что местоположения, где предусмотрено средство для осуществления непосредственного измерения, представляют собой анод и регистратор потока.
13. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.10, отличающееся тем, что местоположение, где находятся средство для осуществления непосредственного измерения, представляют собой любое одно местоположение из кольца, диафрагмы и трубы для выпуска, предусмотренных на выходе или входе любой одной из из катодной камеры, промежуточной камеры и сканирующей камеры.
14. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.10, отличающееся тем, что оно содержит средство для осуществления обратной связи результата измерения температуры внутри электронной пушкой типа Пирса по скорости выпуска вакуумной системы выпуска.
15. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.14, отличающееся тем, что средство для осуществления обратной связи по скорости выпуска представляет собой средство для изменения отверстия диафрагмы, предусмотренной в вакуумной системе выпуска.
16. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.14, отличающееся тем, что средство для осуществления обратной связи по скорости выпуска представляет собой средство для изменения скорости вращения насоса вакуумной системы выпуска.
17. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.14, отличающееся тем, что средство для осуществления обратной связи по скорости выпуска представляет собой средство для изменения величины потока газа вакуумной системы выпуска.
18. Устройство управления электронной пушкой типа Пирса по п.10, отличающееся тем, что электронная пушка типа Пирса представляет собой электронную пушку, имеющую две или более фокусирующих катушек, и устройство для управления электронной пушкой типа Пирса содержит средство для управления электронным лучом, так, чтобы он проходил приблизительно горизонтально от фокусирующей катушки предыдущей ступени к фокусирующей катушке следующей ступени.