СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного технического кремния хлористым водородом при повышенном давлении в реакторе с кипящим слоем, последующую сепарацию твердых частиц кремния, конденсацию парогазовой смеси с отделением водорода и хлористого водорода и получение конденсата, содержащего хлорсиланы, выделение трихлорсилана из полученного конденсата методами ректификации и «реакционной» ректификации в присутствии увлажненного газа, инертного к хлорсиланам, и переработку отходов производства, отличающийся тем, что гидрохлорированию подвергают фракцию технического кремния, содержащую, по крайней мере, 90% частиц с размером от 90 до 450 мкм и разницей в размерах, не превышающих величины 250 мкм, при этом весь жидкий конденсат, образующийся на стадии гидрохлорирования, на первом этапе выделения подвергают двухступенчатой очистке от борсодержащих примесей с помощью «реакционной» ректификации и адсорбции путем пропускания паров хлорсиланов через слой борселективных ионообменных смол, а отходы, образующиеся на всех стадиях процесса и содержащие кремний и его соединения, подвергают термогидролизу в водородном пламени.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед проведением адсорбции конденсат, полученный на стадии «реакционной» ректификации, выдерживают в течение 48-72 ч.