УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ЯМ

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования квантовых ям.
Известно устройство формирования квантовых ям, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электирически связанную с зондами [Патент РФ на ПМ №66607, кл. 7 Н01L 41/00, 10.09.2007 Бюл. №25 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность формирования квантовых ям в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.
:
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования квантовых ям содержащее, трехкоординатный пьезопривод, установленный на нeпoдвижнoм основании и связанный с подложкодежателем, на котором закреплена. подложка, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область [Патент РФ на ПМ №68181, кл. 7 Н01J 37/28, 10.11.2007 Бюл. №31 (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность формирования квантовых ям в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования квантовых ям в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.
Согласно предложенной полезной модели в устройство дополнительно введен источник рентгеновского излучения, жестко закрепленный на торце пьезопривода. На торце источника установлен пакет зондов, каждый зонд выполнен в виде многослойной углеродной нанотрубки со сферическим наконечником, причем количество зондов в пакете составляет не менее 10000 штук.
Введение в устройство для формирования квантовых ям источника рентгеновского излучения, пакета зондов обеспечивает возможность формирования квантовых ям в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.
Сущность полезной модели поясняется на (фиг.1) где показано устройство для формирования квантовых ям.
Устройство для формирования квантовых ям содержит многозондовый пьезопривод 1, установленный на неподвижном основании 2, подложку 3, установленную на неподвижном подложкодержателе 4, связанную с пакетом зондов 5, источник рабочего газа 6 для передачи последнего в технологическую область 7, источник рентгеновского излучения 8, жестко закрепленный на торце пьезопривода 1, на торце источника 8 установлен пакет зондов 5, причем каждый зонд 9 выполнен в виде многослойной углеродной нанотрубки 10 со сферическим наконечником 11, причем количество зондов 9 в пакете составляет не менее 10000 штук.
Устройство для формирования квантовых ям (фиг.1) работает следующим образом.
Пьезопривод 1 установленный на неподвижном основании 2 и связанный с источником рентгеновского излучения 8 обеспечивает необходимое перемещение источника рентгеновского излучения 8, а вместе с тем и пакета зондов 5, установленного на торце источника 8, относительно подложки 3, установленной на неподвижном подложкодержателе 4. Далее в технологическую область подается рабочий газ посредством источника рабочего газа 6, после чего производится включение источника 8. Излучение от источника 8, проходя пакет зондов 5, содержащий не менее 10000 зондов 9, выполненных в виде многослойных углеродных нанотрубок 10, фокусируется с помощью сферических наконечников 11, которые в данном случае выполняет роль собирающих линз. Сфокусированное рентгеновское излучение обеспечивает формирование на подложке 3 квантовых ям.
Применение предлагаемого устройства для формирования квантовых ям позволяет обеспечить возможность формирования квантовых ям в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.