Способ изготовления фотопроводящих антенн

1. Способ изготовления фотопроводящих антенн, включающий в себя нанесение диэлектрического слоя на поверхность фотопроводящего слоя, нанесение фоторезиста и последующее формирование маски окон в диэлектрике, жидкостное травление окон по маске, нанесение фоторезиста и формирование маски для металлизации антенны, термическое нанесение металлизации фотопроводящей антенны с последующим удалением остатков металла методом "взрывом", отличающийся тем, что металлизация фотопроводящей антенны наносится на диэлектрический слой, которым покрыта поверхность фотопроводящего слоя, а электрический контакт металлизации с полупроводником осуществляется через предварительно вскрытые окна в диэлектрическом слое.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, окна в диэлектрическом слое травятся плазмохимическим способом, а металлизация фотопроводящих антенн наносится методом магнетронного распыления.