ПРЕЦИЗИОННОЕ УСТРОЙСТВО СБЛИЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ

1. Прецизионное устройство сближения объектов, включающее основание, платформу и привод, отличающееся тем, что в него введены стойки, подшипники скольжения, пружины и первые аксельрометры (первые датчики), при этом стойки закреплены на основании, платформа установлена на стойках посредством подшипников скольжения, пружины расположены между основанием и платформой, первые аксельрометры установлены на основании вдоль первой координаты, а привод выполнен в виде пьезоприводов с исполнительными элементами и упорами, сопряженными с вкладышами, закрепленными на стойках.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что пружины расположены вокруг стоек.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что вкладыши закреплены на стойках посредством плоских пружин.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что на платформе закреплены вторые и третьи датчики вдоль второй и третьей координаты, и на платформе установлена каретка посредством первых и вторых пьезомодулей.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что вторые и третьи датчики выполнены в виде вторых и третьих аксельрометров.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что вторые и третьи датчики выполнены в виде емкостных датчиков.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что вторые и третьи датчики выполнены в виде интерферометров.