СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННЫХ ИЗДЕЛИЙ ИЗ МОЛИБДЕНА И ЕГО СПЛАВОВ И РАСТВОР ДЛЯ ФОТОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

2
1. Способ изготовления прецизионных изделий из молибдена и его сплавов с заданными геометрическими параметрами, включающий предварительную обработку поверхности исходного материала в обезжиривающем органическом растворителе, формирование на ней фоторезистивной маски с использованием позитивного фоторезиста, последующее травление исходного материала через фоторезистивную маску в растворе для фотохимического травления при постоянном контроле, отличающийся тем, что после предварительной обработки поверхности исходного материала в обезжиривающем органическом растворителе ее дополнительно обрабатывают последовательно в обезжиривающем щелочном растворе и водном растворе кислот при температуре 50-60°С и 18-25°С в течение 30-40 мин и 0,5-1 мин соответственно с последующей сушкой в безкислородной атмосфере, при формировании фоторезистивной маски используют позитивный фоторезист с кинематической вязкостью, равной 6-6,5 мм/с, при этом его задубливание ведут при температуре 190-210°С в течение 40-50 мин, а последующее травление исходного материала ведут в соответствующем растворе для фотохимического травления при температуре 50-60°С до получения заданных геометрических параметров.
2. Способ изготовления прецизионных изделий из молибдена и его сплавов по п.1, отличающийся тем, что все упомянутые операции ведут на одной из противоположных поверхностей исходного материала либо на обеих.
3. Способ изготовления прецизионных изделий из молибдена и его сплавов с заданными параметрами по п.1, отличающийся тем, что при предварительной обработке водный раствор кислот берут из азотной, ортофосфорной и уксусной при соотношении компонентов 2:4:1:1 соответственно.
4. Раствор для фотохимического травления молибдена и его сплавов состоит из водного раствора кислот и специальных добавок, отличающийся тем, что водной раствор кислот состоит из азотной, ортофосфорной и уксусной, а в качестве специальных добавок содержит насыщенный водный раствор солей аммония фтористого и молибденово-кислого при следующем соотношении компонентов, об.%:
Азотная кислота
25-30
Ортофосфорная кислота
30-40
Уксусная кислота
10-15
Аммоний фтористый
2-5
Аммоний молибденово-кислый
1-3
Вода
остальное