СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЕТОДИОДА

2
7
8
2
Способ изготовления светодиода на основе GaN, включающий текстурирование световыводящей поверхности GaN с помощью фотолитографии и плазмохимического травления нитрида галлия, отличающийся тем, что на световыводящую поверхность GAN-n или GAN-p типа осаждается просветляющее оптическое покрытие SiO и в нем формируется микрорельеф в виде наноострий с плотностью 10-10 шт/см.