ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА СВЧ-ДИАПАЗОНА

1. Гибридная интегральная схема СВЧ-диапазона, содержащая диэлектрическую подложку с топологическим рисунком металлизации на лицевой и экранной заземляющей металлизацией на обратной сторонах, кристаллы навесных компонентов: активных - полупроводниковых приборов и пассивных - конденсаторов, расположенные на лицевой стороне подложки и одни из выводов которых соединены с топологическим рисунком металлизации, на лицевой поверхности подложки расположен пленочный полимерный носитель, на наружной стороне которого выполнены плоские пленочные внутрисхемные соединительные проводники, соединенные с контактными площадками кристаллов навесных компонентов и с топологическим рисунком металлизации через сквозные отверстия в полимерном носителе, отличающаяся тем, что толщина полимерного носителя от 5 до 100 мкм, а диэлектрическая проницаемость полимера от 1,5 до 8,0; в пленочном полимерном носителе вдоль пленочных проводников топологического рисунка металлизации и на расстоянии от него не более 1 мм, а также под внутрисхемными соединительными проводниками выполнены дополнительные отверстия с плотностью от 10 до 90% от общей площади полимерного носителя.
2. Гибридная интегральная схема СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что дополнительные отверстия в полимерном носителе в местах, свободных от внутрисхемных соединительных проводников, выполнены в виде окон.
3. Гибридная интегральная схема СВЧ-диапазона по п.2, отличающаяся тем, что расстояние между соседними отверстиями или окнами равно или больше толщины полимерного носителя.
4. Гибридная интегральная схема СВЧ-диапазона по п.3, отличающаяся тем, что отверстия и окна выполнены глухими, при этом толщина дна отверстия или окна равна или более 1 мкм.
5. Гибридная интегральная схема СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что кристаллы навесных компонентов расположены в углублениях диэлектрической подложки, глубина которых обеспечивает расположение их лицевых поверхностей в одной плоскости с лицевой стороной диэлектрической подложки.