СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ НА ОСНОВЕ СОЕДИНЕНИЙ ТИТАНА

-2
-1
Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана, включающий ионно-плазменное распыление титана в реакционной среде при давлении в реакционной камере 5·10 - 10 Па и осаждение соединений титана на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет увеличения их коррозионной стойкости, в качестве реакционной среды используют тетраэтоксисилан, который вводят в металлическую плазму.