Способ получения покрытия на основе диоксида кремния на кварцевом изделии

Способ получения покрытия на основе диоксида кремния на внутренней поверхности кварцевого изделия, включающий введение в реакционную зону тетрахлорида кремния и воды и осаждение пленки диоксида на упомянутой поверхности, отличающийся тем, что тетрахлорид кремния и воду вводят в реакционную зону в потоке осушенного воздуха при атмосферном давлении при объемном соотношении тетрахлорида кремния и воды 1:(2÷4), а формирование покрытия в виде диоксида кремния осуществляют в течение 10-30 мин при температуре 23°C и атмосферном давлении, с последующей термообработкой при 1150°C в течение 30 мин.