МИНИАТЮРИЗИРОВАННАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА МАТРИЦЫ ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ, ВЫПОЛНЕННАЯ ПО ПРИНЦИПАМ МИКРОЭЛЕКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ (MEMS)

1. Устройство для регистрации динамических изменений, таких как масса или вязкость, содержащее:
одноразовый картридж, имеющий, по меньшей мере, один микроэлектромеханический датчик,
по меньшей мере, один источник света, подключенный к, по меньшей мере, одному микроэлектромеханическому датчику,
по меньшей мере, один фотодетектор, подключенный к, по меньшей мере, одному микроэлектромеханическому датчику и источнику света, и
управляющую электронику, подключенную к, по меньшей мере, одному средству активации,
причем, по меньшей мере, одно средство активации может быть подключено с возможностью разъединения к, по меньшей мере, одному микроэлектромеханическому датчику и
причем управляющая электроника и пользовательский интерфейс могут быть подключены с возможностью разъединения к, по меньшей мере, одному фотодетектору.
2. Устройство по п. 1, в котором, по меньшей мере, один источник света является единичным лазерным источником, и, по меньшей мере, один фотодетектор является единичным фотодетектором.
3. Устройство по п. 1, в котором, по меньшей мере, один микроэлектромеханический датчик содержит, по меньшей мере, одну вибрирующую структуру для регистрации и средство интерференции, связанное с каждой вибрирующей механической структурой.
4. Устройство по п. 1, в котором, по меньшей мере, один микроэлектромеханический датчик содержит, по меньшей мере, одну вибрирующую структуру для регистрации и средство интерференции, связанное с, по меньшей мере, одной вибрирующей механической структурой и подложкой, имеющей сквозное отверстие для каждой механической структуры, чтобы источник света мог пропускать через подложку к механической структуре.
5. Устройство по п. 4, в котором фотодетектор расположен на подложке.
6. Устройство по п. 5, в котором источник света присоединен к подложке.
7. Устройство по п. 5, дополнительно содержащее, по меньшей мере, один нагревательный элемент для каждой вибрирующей механической структуры.
8. Устройство по п. 1, в котором микромеханический датчик содержит множество вибрирующих механических структур.
9. Устройство по п. 8, в котором вибрирующие механические структуры расположены в виде двухмерной матрицы.
10. Устройство по п. 4, в котором, по меньшей мере, один источник света является единичным источником света, которым осуществляют сканирование по каждой вибрирующей механической структуре.
11. Устройство по п. 4, в котором средство интерференции является решеткой, связанной с каждой вибрирующей механической структурой.
12. Устройство по п. 10, в котором, по меньшей мере, один источник света выбран из группы, состоящей из лазерного диода, СИД или VCSEL.