2
5
ДИФФУЗИЯ ФОСФОРА ИЗ НИТРИДА ФОСФОРА (PN)

2
5
2
5
2
2
S
Диффузия фосфора из нитрида фосфора (PN), включающий процесс образования фосфоросиликатного стекла на поверхности кремниевой пластины, отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется нитрид фосфора (PN) при следующем соотношении компонентов: кислород - О=70 л/ч, азот - N=700 л/ч при температуре процесса 1020°С при времени диффузии фосфора -30 мин, причем поверхностное сопротивление равно R=155±5 Ом/см.