РЧ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ С ГИБКОЙ И СВОБОДНОЙ МЕМБРАНОЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ

1. РЧ МЭМС-переключатель, содержащий микромеханическое переключающее устройство, выполненное с возможностью приведения в действие между двумя положениями: первым положением (отключенное состояние) и вторым положением (включенное состояние), и активирующее устройство, предназначенное для приведения переключающего устройства в соответствующее положение, отличающийся тем, что микромеханическое переключающее устройство содержит гибкую мембрану (6), свободно поддерживаемую опорным устройством (3) и выполненную с возможностью изгибаться под воздействием активирующего устройства (7) и свободно скользить относительно опорного устройства (3) во время своего перемещения изгиба.
2. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние).
3. РЧ МЭМС-переключатель по п.2, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя.
4. РЧ МЭМС-переключатель по п.1, в котором мембрана (6) представляет собой емкостной переключающий элемент.
5. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
6. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
7. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.5, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
8. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.7, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
9. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.8, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
10. РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.1-9, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством.
11. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.5-9, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством, содержащим два электрода (7), предназначенные для отгибания мембраны от подложки (1), при этом эти два электрода (7) расположены на подложке (1) за пределами компланарного волновода.
12. РЧ МЭМС-переключатель по п.4, в котором при разомкнутом переключателе гибкая мембрана (6) находится в состоянии покоя в одном из двух, первом или втором положении, предпочтительно, - в первом положении (отключенное состояние).
13. РЧ МЭМС-переключатель по п.12, содержащий электростатическое устройство (4) для удержания мембраны (6) в состоянии покоя.
14. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.12, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
15. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.14, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
16. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.15, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
17. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.16, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
18. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.17, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
19. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.13, в котором на поверхности подложки (1) находится первый диэлектрический слой (2), причем переключатель дополнительно содержит два металлических опорных элемента (3), образующих вместе с первым диэлектрическим слоем (2) компланарный волновод, а мембрана (6) свободно поддерживается посредством указанных двух металлических опорных элементов (3).
20. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.19, в котором каждый опорный элемент (3) содержит проход (3b), через который свободно проходит переключающая мембрана (6), а мембрана (6) содержит на обоих концах два участка (6b) большего размера, предназначенные для закрепления мембраны (6) на опорных элементах (3), но не ограничивающие свободное скольжение мембраны (6) относительно опорных элементов (3) во время движения переключения мембраны.
21. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.20, содержащий третий металлический опорный элемент (4), расположенный между двумя металлическими опорными элементами (3) и используемый в качестве линии сигнала для РЧ сигнала, при этом между мембраной (6) и третьим металлическим опорным элементом (4) находится по меньшей мере один второй диэлектрический слой (5).
22. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.21, в котором второй диэлектрический слой (5) нанесен на третий металлический опорный элемент (4).
23. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по п.22, в котором мембрана (6) контактирует со вторым диэлектрическим слоем (5), когда мембрана (6) находится в состоянии покоя.
24. РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.12-23, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством.
25. Емкостной РЧ МЭМС-переключатель по любому из пп.14-23, в котором активирующее устройство является электростатическим устройством, содержащим два электрода (7), предназначенные для отгибания мембраны от подложки (1), при этом эти два электрода (7) расположены на подложке (1) за пределами компланарного волновода.