СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕПЛОВОГО ИМПЕДАНСА ЦИФРОВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Способ измерения теплового импеданса цифровых интегральных схем (ЦИС), состоящий в том некоторое нечетное число логических элементов контролируемой ЦИС соединяют по схеме кольцевого генератора, а логическое состояние одного логического элемента поддерживают неизменным, кольцевой генератор управляющими импульсами частотой Ω и скважностью 2 переключают из режима генерации в режим паузы, на частоте переключения измеряют амплитуду переменной составляющей тока потребляемого контролируемой ЦИС  и переменной составляющей  температурочувствительного параметра того логического элемента, состояние которого поддерживается неизменным; модуль теплового импеданса контролируемой ЦИС на частоте переключения Ω определяют по формуле
Т
пит
Т
Т
где К - известный температурный коэффициент температурочувствительного параметра, U - напряжение питания контролируемой ЦИС, а фаза ϕ(Ω) теплового импеданса на частоте переключения определяется как разность фаз между первой гармоникой тока, потребляемого контролируемой ЦИС, и первой гармоникой температурочувствительного параметра с учетом знака коэффициента К.