СПОСОБ ОБРАБОТКИ КВАРЦЕВОЙ ОСНАСТКИ
METHOD OF QUARTZ GEAR PROCESSING

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах.
Известны способы обработки изделий из кварца. Обработку кварца проводят при более высоких температурах, чем обработку стекла (см. А.И.Курносов. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. - М.: Высшая школа. 1980. Стр. 272-273; Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь. - 1988. Стр.48-50).
Основным недостатком этих способов является неполное удаление примесей с кварцевой трубы после ряда диффузионных операций - диффузия бора, диффузия фосфора.
Техническим результатом изобретения является полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры и качества обработки кварцевых труб.
2
Технический результат достигается тем, что удаление загрязнений с кварцевой трубы происходит за счет использования раствора, в состав которого входят фтористоводородная кислота - HF и деионизованная вода - HO в соотношении 1:4. Длительность обработки составляет 30±10 минут. После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 30±10 минут.
Сущность способа заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при определенном соотношении, температура раствора комнатная. Процесс удаления различных загрязнений и примесей считается законченным в том случае, когда цвет индикаторной бумаги не изменяется. Обработку проводят при длительности процесса 30±10 минут.
Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.
ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов:
2
HF:HO=1:4
Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 35 минут.
После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 35 минут.
Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.
2
ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов: HF:HO=1:4.
Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 30 минут.
После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 30 минут.
Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.
2
ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из фтористоводородной кислоты и деионизованной воды при соотношении компонентов: HF:HO=1:4.
Температура раствора комнатная. Длительность обработки составляет 25 минут.
После обработки в растворе кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 25 минут.
Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.
Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры и качества обработки кварцевых труб.