Блок абляции вакуумной установки напыления пленок

1. Блок абляции вакуумной установки напыления пленок, содержащий по меньшей мере один барабан мишеней, выдвижную заслонку, неподвижные заслонки, по меньшей мере один направленный в мишени излучатель, отличающийся тем, что все элементы блока расположены в отдельной вакуумной камере абляции либо подключаются к основной вакуумной камере через нее, при этом вакуумная камера абляции содержит входные и выходные соединительные патрубки, так, что выходной патрубок служит для герметичного соединения с основной вакуумной камерой в зоне обработки подложек, при этом выдвижная заслонка, разделяющая в закрытом положении обе камеры, расположена внутри или на торце выходного патрубка, а к входным патрубкам герметично подсоединены излучатели или заглушки их заменяющие, причем вакуумная камера абляции имеет гермошлюз для обслуживания барабана мишеней и канал откачки газа.
2. Блок абляции по п. 1, отличающийся тем, что к абляционной вакуумной камере подсоединен по меньшей мере один ассистирующий осаждению пленки излучатель, направленный в сторону обрабатываемой подложки.
3. Блок абляции по п. 1, отличающийся тем, что внутри или на торце выходного патрубка расположен тепло- и электроизолированный от камеры абляции проводник с высокой геометрической прозрачностью, на который может быть подан электрический потенциал, отличный от потенциала камеры абляции.
4. Блок абляции по п. 1, отличающийся тем, что часть внутренней поверхности стенок камеры абляции, принадлежащая выходному патрубку и зоне стыка этого патрубка с основным объемом камеры абляции, перекрыта от потока абляции съемным кожухом.