СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЯ

1. Способ травления кремниевой подложки, включающий приведение кремниевой подложки в контакт с водным раствором:
фтористоводородой кислоты или ее соли,
соли металла, способной к химическому осаждению металла на поверхность кремния в присутствии ионов фторида и
спирта.
2. Способ по п.1, в котором соль металла представляет собой соль серебра, возможно нитрат серебра.
3. Способ по п.1, в котором:
а) содержание соли металла, например, содержание серебра или нитрата серебра, в растворе составляет от 5 до 100 мМ, например от 12,6 до 24 мМ, например от 12,6 до 22,1 мМ и/или
б) фтористая кислота включает фтористый водород, содержание которого составляет:
1) от 3 до 20 мас.%,
2) от 8 до 20%,
3) от 10 до 15%,
4) приблизительно 12 или 13,6%.
5) от 1,5 до 10 М,
6) от 5 до 7,5 М,
7) приблизительно 6,8 М и/или
в) содержание спирта составляет до 40 об.%, например от 3 до 40%, например от 5 до 40%, например от 15 до 30%.
4. Способ по п.1, в котором спирт представляет собой этанол.
5. Способ по п.1, дополнительно включающий стадию выдержки подложки в растворе при температуре от 0 до 30°C, например 20°С.
6. Способ по п.1, дополнительно включающий повышение температуры раствора до температуры от 40 до 75°С.
7. Способ по п.1, дополнительно включающий добавление добавочной соли серебра, например нитрата серебра, или соли трехвалентного железа, например нитрата трехвалентного железа, или других веществ, вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, в ходе реализации данного способа.
8. Способ по п.7, при условии зависимости от п.6, в котором дополнительную соль серебра, или трехвалентного железа, или других веществ, вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, добавляют при повышении температуры.
9. Способ по п.8, в котором первое количество соли серебра, или соли трехвалентного железа, или других веществ вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, добавляют при повышении температуры, а затем добавляют по меньшей мере еще одно дополнительное количество, например, последовательно через 10 и 20 мин.
3
3
10. Способ по п.1, где указанная стадия контакта образует первую стадию с использованием первого раствора, и способ включает дополнительно вторую стадию, включающую приведение кремниевой подложки в контакт со вторым раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и соль трехвалентного железа, например, Fe(NO), или другие вещества, вызывающие увеличение содержания нитрат-ионов,
11. Способ по п.10, в котором вторую стадию проводят при температуре выше, чем температура первой стадии, например при температуре от 30 до 80°С, например от 45 до 75°С, например от 60 до 75°C.
3
3
3
12. Способ по любому из пп.10 или 11, дополнительно включающий добавление к раствору, в ходе осуществления этого способа, соли серебра или соли трехвалентного железа, например Fe(NO) и/или AgNO, или других веществ, вызывающих увеличение содержания нитрат-ионов, особенно ко второму раствору в ходе проведения второй стадии.
13. Перезаряжаемый литиевый аккумулятор, включающий анод, который содержит травленную кремниевую подложку, изготовленную способом по любому из пп.1-12.