СПОСОБ ГОМОГЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ HIPIMS

1. Способ физического нанесения покрытия из газовой фазы путем распыления в вакуумированой камере для нанесения покрытий, в частности, с помощью процесса HIPIMS, включающий следующие этапы:
a) подготовка генератора с заданной постоянной отдачей мощности, предпочтительно, по меньшей мере после подключения и по окончании интервала увеличения мощности,
b) подключение генератора,
c) присоединение первого частичного катода к генератору так, чтобы мощность генератора подавалась на первый частичный катод,
d) отсоединение генератора от первого частичного катода по окончании заданного первого интервала импульсов высокой мощности, соответствующего первому частичному катоду,
e) присоединение второго частичного катода к генератору так, чтобы мощность генератора подавалась на второй частичный катод,
f) отсоединение генератора от второго частичного катода по окончании заданного второго интервала импульсов высокой мощности, соответствующего второму частичному катоду,
отличающийся тем, что длительность первого интервала импульсов высокой мощности согласуют с длительностью другого интервала импульсов высокой мощности таким образом, чтобы слой, образующийся в результате нанесения покрытия, имел заданное распределение толщин слоев по высоте камеры для нанесения покрытий.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве заданного
распределения толщин слоев выбирают гомогенное распределение толщины слоев.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый интервал импульсов высокой мощности по времени начинают и заканчивают раньше второго интервала импульсов высокой мощности, причем этапы d) и е) выполняют таким образом, чтобы первый и второй интервалы импульсов высокой мощности перекрывались по времени, а все интервалы импульсов высокой мощности вместе образовывали первую группу так, чтобы отдача мощности генератором оставалась постоянной без перерыва от начала первого и до конца второго интервала импульсов высокой мощности, без применения второго интервала увеличения мощности.
4. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что используют более двух частичных катодов, причем этапы с)-f) применяют к ним аналогично.
5. Способ по п. 3, отличающийся тем, что используют более двух частичных катодов, причем этапы с)-f) применяют к ним аналогично.
6. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что по меньшей мере относительную длительность интервалов импульсов высокой мощности определяют путем калибровочного напыления, предшествующего напылению.
7. Способ по п. 3, отличающийся тем, что по меньшей мере относительную длительность интервалов импульсов высокой мощности определяют путем калибровочного напыления, предшествующего напылению.
8. Способ по п. 4, отличающийся тем, что по меньшей мере
относительную длительность интервалов импульсов высокой мощности определяют путем калибровочного напыления, предшествующего напылению.
9. Способ по п. 5, отличающийся тем, что по меньшей мере относительную длительность интервалов импульсов высокой мощности определяют путем калибровочного напыления, предшествующего напылению.