СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ

Способ получения прозрачных проводящих покрытий оксида цинка, включающий магнетронное распыление материала катода, состоящего из легированного цинка, осаждение распыленного материала на нагретую подложку с формированием пленки, отличающийся тем, что материал катода состоит из оксида цинка легированного галлием, а распыление катода проводят в аргоновой атмосфере на постоянном токе при несбалансированной конфигурации магнитного поля магнетрона, при этом подложку нагревают до температуры 110°С.