ИНТЕГРИРОВАННЫЙ ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДАТЧИК

1. Интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.
2. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит эластомерный материал.
3. Датчик по п.1, в котором активный элемент содержит LC-материал в эластомерной сетке.
4. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) содержит одно из: оптического, магнитного или емкостного детектора.
5. Датчик по п.1, в котором детектор (30, 40) выполнен с возможностью обнаруживать множество уровней деформации.
6. Датчик по п.1, в котором активный элемент выполнен в виде слоя, и деформацией является закручивание слоя.
7. Датчик по п.6, в котором слой является монолитным слоем.
8. Датчик по любому предшествующему пункту, в котором активный элемент имеет длину меньше 100 мкм.
9. Биочип, имеющий средство (50, 60) анализа пробы и имеющий интегрированный температурный датчик по любому предшествующему пункту.
10. Биочип по п.9, имеющий интегрированную схему для обработки сигнала.
11. Биочип по п.10, в котором интегрированная схема содержит интегрированный контроллер для замеров процесса анализа, причем сигнал, выводимый посредством датчика, подается на контроллер.
12. Способ изготовления интегрированного температурного датчика, содержащий этапы, на которых формируют микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и формируют детектор (30, 40), выполненный с возможностью выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.
13. Способ формирования температурного сигнала посредством действий, при которых предоставляют интегрированный температурный датчик, содержащий микромеханический активный элемент (20), содержащий термически активируемый полимерный материал, имеющий деформацию, зависящую от температуры, и используют детектор (30, 40), чтобы выводить сигнал в соответствии с деформацией активного элемента.