ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ СОЗДАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ДВУМЕРНО-ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР НА СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ОБРАЗЦЕ ПРОИЗВОЛЬНОЙ ПЛОЩАДИ

1. Фотолитографический интерференционный способ создания наноразмерных двумерно-периодических структур на светочувствительном образце произвольной площади, включающий в себя формирование трех когерентных пучков света и получение их двумерно-периодической картины интерференции в поле стоячей волны на светочувствительном образце, отличающийся тем, что первые два когерентных пучка формируют в одной плоскости падения, а третий пучок формируют в плоскости, перпендикулярной первой, при этом интенсивности первых двух пучков выбирают одинаковыми, а интенсивность третьего пучка выбирают в два раза больше, чем интенсивность первого пучка.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для создания двумерно-периодической картины интерференции с высокой стабильностью периодов и без дефектов используют интерференцию трех когерентных пучков с плоскими волновыми фронтами.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при разделении исходного лазерного излучения на три когерентных пучка используют четное количество отражений для каждого из пучков, например два.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что поляризации пучков выбирают в зависимости от их углов падения на поверхность светочувствительного образца.
5. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что для создания двумерно-периодической картины интерференции используют одну экспозицию.