СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ

1. Способ плазменного осаждения полимерных покрытий, включающий помещение обрабатываемого образца в вакуумную камеру, заполнение вакуумной камеры реакционным газом, генерацию плазмы посредством зажигания и поддержания газового разряда и осаждение полимерного покрытия на поверхность обрабатываемого образца в процессе плазменной полимеризации, отличающийся тем, что подложку помещают на крышку стакана, в котором достигается равномерная плотность реакционного газа. На стакан подается ВЧ-напряжение, а подвод реакционного газа производится равномерным молекулярным потоком из-под крышки в темную приповерхностную зону разряда.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подаваемая на ВЧ-электрод мощность составляет 25-75 Вт.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что давление реакционного газа в камере находится в диапазоне 0,7-7 Па.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что диаметр крышки стакана составляет 1,1-1,3 диаметра подложки, а высота крышки равна 3-10 мм.