ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ И КОММУТАТОР

1. Переключатель или коммутатор, включающий хотя бы один переключатель, содержащий бистабильный элемент в МЭМС-исполнении, средства переключения и коммутационный узел, отличающийся тем, что бистабильный элемент выполнен в виде плоской электропроводной или с электропроводными частями мембраны, подвешенной над поверхностью подложки на упругих элементах (или на одном охватывающим мембрану упругом элементе), сжимающих ее в положении неустойчивого равновесия, с возможностью поступательного перемещения ее в обе стороны от положения неустойчивого равновесия и с возможностью подачи на электропроводную часть мембраны электрического смещения или таких же или иных смещений на разные электропроводные части мембраны, средства переключения выполнены в виде магнитного слоя на мембране и источника или источников магнитного поля вне мембраны, а коммутационный узел выполнен в виде по меньшей мере одной МДП-структуры, для которой (которых) затвором служит (служат) электропроводная часть (электропроводные части) описанной подвижной мембраны.
2. Переключатель по п.1, отличающийся тем, что коммутационный узел содержит комплементарные МДП-структуры.
3. Переключатель по п.1, отличающийся тем, что магнитный слой на мембране выполнен из магнитомягкого материала, а источник магнитного поля выполнен в виде одного или нескольких электро- или/и постоянных магнитов с возможностью позиционирования его (или их) с противоположных сторон мембраны в составе переключателя или вне его.
4. Переключатель по п.1, отличающийся тем, что магнитный слой на мембране выполнен из магнитомягкого материала, а источником магнитного поля являются электромагниты выполненные заодно с переключателем с двух сторон мембраны за пределами области ее возможных перемещений.
5. Переключатель по п.1, отличающийся тем, что магнитный слой на мембране выполнен из магнитотвердого материала (постоянного магнита), а источником знакопеременного магнитного поля является внешний или выполненный заодно с переключателем электромагнит.
6. Переключатель по п.5, отличающийся тем, что электромагнит выполнен в виде плоской или многослойной спирали, нанесенной вокруг МДП-структуры (или МДП-структур).
7. Переключатель по п.6, отличающийся тем, что переключатель содержит слой магнитомягкого материала, расположенный или внутри спирали, или под спиралью, или над спиралью.
8. Переключатель по п.7, отличающийся тем, что мембрана или слой магнитомягкого материала содержат конструктивные элементы, задающие расстояние их максимального сближения.
9. Переключатель по п.1, отличающийся тем, что упругие элементы выполнены заодно с мембраной из того же материала или из другого материала волнистыми или дугообразными расходящимися в направлении от мембраны и с нанесенным с одной или обеих стороны покрытием или покрытиями из материалов, обеспечивающих внутренние напряжения на границе раздела: стягивающие - на выпуклых сторонах, растягивающие - на вогнутых.