СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП И СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ БЛИЗОСТИ ЕГО ЗОНДОВ

1. Сканирующий зондовый микроскоп, имеющий первый зонд и второй зонд, которые оба предназначены для сканирования образца при поддержании постоянного расстояния до поверхности образца, причем сканирующий зондовый микроскоп содержит:
a) первый сканер для перемещения первого зонда относительно образца;
b) второй сканер для перемещения второго зонда относительно образца;
c) вибратор для обеспечения вибрации с определенной частотой или первого зонда, или второго зонда;
d) устройство контроля вибраций для контролирования вибрации с определенной частотой первого зонда и второго зонда;
e) детектор близости зонда для выявления близости первого зонда и второго зонда друг к другу на основании изменения, по меньшей мере, любой из вибрации первого зонда или вибрации второго зонда; и
f) регулятор для регулирования первого сканера и второго сканера на основании результата выявления детектором близости зонда.
2. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1, в котором:
вибратор обеспечивает вибрацию первого зонда; и
детектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации первого зонда равна пороговому значению или меньше него.
3. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1 или 2, в котором:
вибратор обеспечивает вибрацию первого зонда; и
детектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации второго зонда превышает пороговое значение.
4. Сканирующий зондовый микроскоп по п.1 или 2, в котором первый зонд и второй зонд прикреплены к первому резонатору камертонного типа и второму резонатору камертонного типа, и сканеры перемещают первый зонд и второй зонд при резонировании резонаторов камертонного типа, и сканирующий зондовый микроскоп содержит:
детектор напряжения для выявления сигнала напряжения, индуцированного в каждом из резонаторов камертонного типа, когда кончик первого зонда и кончик второго зонда отдельно приближаются к поверхности образца; и
регулятор расстояния между зондом и образцом для стабилизации расстояния между кончиком каждого зонда и поверхностью образца на основании результата выявления детектором напряжения.
5. Сканирующий зондовый микроскоп, имеющий первый зонд и второй зонд, которые оба предназначены для сканирования образца при поддержании постоянного расстояния до поверхности образца, причем сканирующий зондовый микроскоп содержит:
a) первый резонатор камертонного типа, к которому прикреплен первый зонд;
b) второй резонатор камертонного типа, к которому прикреплен второй зонд;
c) сканер для перемещения каждого из первого зонда и второго зонда относительно образца при резонировании каждого из первого резонатора камертонного типа и второго резонатора камертонного типа;
d) вибратор для обеспечения вибрации с определенной частотой или первого зонда, или второго зонда;
e) детектор сигналов для выявления сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в каждом из резонаторов камертонного типа, когда первый зонд и второй зонд приближаются друг к другу, в то время как вызываются резонансы первого резонатора камертонного типа и второго резонатора камертонного типа; и
f) детектор близости зонда для выявления близости первого зонда и второго зонда друг к другу на основании сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в каждом из первого резонатора камертонного типа и второго резонатора камертонного типа.
6. Сканирующий зондовый микроскоп по п.5, в котором:
детектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании произведения сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в первом резонаторе камертонного типа, и сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного во втором резонаторе камертонного типа.
7. Сканирующий зондовый микроскоп по п.5, в котором:
детектор близости зонда выявляет близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании суммы сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в первом резонаторе камертонного типа, и сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного во втором резонаторе камертонного типа.
8. Сканирующий зондовый микроскоп по любому из пп.5-7, в котором:
определенная частота отличается от резонансной частоты резонатора камертонного типа.
9. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа, имеющего первый зонд и второй зонд, которые оба предназначены для сканирования образца при поддержании постоянного расстояния до поверхности образца, причем способ содержит этапы, на которых:
обеспечивают вибрацию определенной частоты или первого зонда, или второго зонда;
контролируют вибрацию определенной частоты первого зонда и второго зонда; и
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании изменения, по меньшей мере, или вибрации определенной частоты первого зонда, или вибрации определенной частоты второго зонда.
10. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа по п.9, в котором:
обеспечивают вибрацию определенной частоты первого зонда; и
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации первого зонда равна или меньше порогового значения.
11. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа по п.9 или 10, в котором:
обеспечивают вибрацию определенной частоты первого зонда; и
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании того, что величина изменения вибрации второго зонда превышает пороговое значение.
12. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа, имеющего первый зонд и второй зонд, которые оба предназначены для сканирования образца при поддержании постоянного расстояния до поверхности образца, в котором:
первый зонд прикреплен к первому резонатору камертонного типа;
второй зонд прикреплен ко второму резонатору камертонного типа;
обеспечивают вибрацию определенной частоты или первого зонда, или второго зонда; и
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в каждом из первого резонатора камертонного типа и второго резонатора камертонного типа.
13. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа по п.12, в котором:
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании произведения сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в первом резонаторе камертонного типа, и сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного во втором резонаторе камертонного типа.
14. Способ выявления близости зондов сканирующего зондового микроскопа по п.12, в котором:
выявляют близость первого зонда и второго зонда друг к другу на основании суммы сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного в первом резонаторе камертонного типа, и сигнала напряжения определенной частоты, индуцированного во втором резонаторе камертонного типа.
15. Сканирующий зондовый микроскоп по п.3, в котором первый зонд и второй зонд прикреплены к первому резонатору камертонного типа и второму резонатору камертонного типа, и сканеры перемещают первый зонд и второй зонд при резонировании резонаторов камертонного типа, и сканирующий зондовый микроскоп содержит:
детектор напряжения для выявления сигнала напряжения, индуцированного в каждом из резонаторов камертонного типа, когда кончик первого зонда и кончик второго зонда отдельно приближаются к поверхности образца; и
регулятор расстояния между зондом и образцом для стабилизации расстояния между кончиком каждого зонда и поверхностью образца на основании результата выявления детектором напряжения.