ПРОТИВОЭЛЕКТРОД ДЛЯ ЭЛЕКТРОХРОМНЫХ УСТРОЙСТВ

1. Электрохромное устройство, содержащее:
подложку;
электрохромный слой, размещенный на подложке или поверх подложки, причем указанный электрохромный слой содержит катодно-тонируемый электрохромный материал; и
противоэлектродный слой, также размещенный на подложке или поверх подложки, причем указанный противоэлектродный слой содержит (a) первый подслой, содержащий первый анодно-тонируемый материал, и (b) второй подслой, содержащий второй анодно-тонируемый материал, причем первый и второй анодно-тонируемые материалы имеют разные составы, но каждый содержит оксид по меньшей мере одного переходного металла, и причем первый подслой расположен между электрохромным слоем и вторым подслоем.
2. Электрохромное устройство по п.1, в котором каждый материал из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит по меньшей мере один переходный металл и еще один нещелочный металл.
3. Электрохромное устройство по п.2, в котором каждый из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит никель и вольфрам.
4. Электрохромное устройство по п.3, в котором второй анодно-тонируемый материал дополнительно содержит тантал.
5. Электрохромное устройство по п.3, в котором второй анодно-тонируемый материал дополнительно содержит ниобий.
6. Электрохромное устройство по п.3, в котором второй анодно-тонируемый материал дополнительно содержит олово.
7. Электрохромное устройство по п.2, в котором второй анодно-тонируемый материал содержит по меньшей мере один переходный металл, другой нещелочный металл и второй нещелочный металл, и в котором первый анодно-тонируемый материал содержит по меньшей мере один переходный металл и другой нещелочный металл в качестве его единственных металлов.
8. Электрохромное устройство по п.2, в котором каждый из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит по меньшей мере один переходный металл, другой нещелочный металл и второй нещелочный металл, и в котором второй анодно-тонируемый материал имеет более высокую атомную концентрацию второго нещелочного металла по сравнению с первым анодно-тонируемым материалом.
9. Электрохромное устройство по п.2, в котором один из по меньшей мере одного переходного металла выбран из группы, состоящей из вольфрама (W), тантала (Ta), хрома (Cr), марганца (Mn), железа (Fe), кобальта (Co), никеля (Ni), родия (Rh), рутения (Ru), ванадия (V), иридия (Ir), и их комбинаций.
10. Электрохромное устройство по п.9, в котором другой нещелочный металл выбран из группы, состоящей из серебра (Ag), алюминия (Al), мышьяка (As), золота (Ag), бора (B), бария (Ba), бериллия (Be), висмута (Bi), кальция (Ca), кадмия (Cd), церия (Ce), кобальта (Co), хрома (Cr), меди (Cu), европия (Eu), железа (Fe), галлия (Ga), гадолиния (Gd), германия (Ge), гафния (Hf), ртути (Hg), индия (In), иридия (Ir), лантана (La), магния (Mg), марганца (Mn), молибдена (Mo), ниобия (Nb), неодима (Nd), осмия (Os), протактиния (Pa), свинца (Pb), палладия (Pd), празеодима (Pr), прометия (Pm), полония (Po), платины (Pt), радия (Ra), рения (Re), родия (Rh), рутения (Ru), сурьмы (Sb), скандия (Sc), селена (Se), кремния (Si), самария (Sm), олова (Sn), стронция (Sr), тантала (Ta), тербия (Tb), технеция (Tc), теллура (Te), тория (Th), титана (Ti), таллия (Tl), урана (U), ванадия (V), вольфрама (W), иттрия (Y), цинка (Zn), циркония (Zr), и их комбинаций.
11. Электрохромное устройство по п.10, в котором другой нещелочный металл выбран из группы, состоящей из серебра (Ag), мышьяка (As), золота (Au), бора (B), кадмия (Cd), меди (Cu), европия (Eu), галлия (Ga), гадолиния (Gd), германия (Ge), ртути (Hg), осмия (Os), свинца (Pb), палладия (Pd), прометия (Pm), полония (Po), платины (Pt), радия (Ra), тербия (Tb), технеция (Tc), тория (Th), таллия (Tl), и их комбинаций.
12. Электрохромное устройство по п.10, в котором другой нещелочный металл выбран из группы, состоящей из тантала (Ta), олова (Sn) и ниобия (Nb).
13. Электрохромное устройство по п.12, в котором другой нещелочный металл представляет собой тантал (Ta).
14. Электрохромное устройство по п.12, в котором другой нещелочный металл представляет собой олово (Sn).
15. Электрохромное устройство по п.12, в котором другой нещелочный металл представляет собой ниобий (Nb).
16. Электрохромное устройство по п.1, в котором каждый из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит первый переходный металл, второй переходный металл и кислород, и в котором отношение первого переходного металла ко второму переходному металлу различается в первом и втором анодно-тонируемых материалах.
17. Электрохромное устройство по п.1, в котором противоэлектродный слой дополнительно содержит третий подслой, содержащий третий анодно-тонируемый электрохромный материал, причем первый, второй и третий анодно-тонируемые материалы имеют разные составы, но каждый содержит по меньшей мере один переходный металл, и причем второй подслой размещен между первым подслоем и третьим подслоем.
18. Электрохромное устройство по п.17, в котором первый анодно-тонируемый материал содержит по меньшей мере один переходный металл, второй переходный металл, но не содержит другие переходные металлы, и кислород; второй анодно-тонируемый материал содержит по меньшей мере один переходный металл, второй переходный металл, третий переходный металл и кислород; и третий анодно-тонируемый материал содержит по меньшей мере один переходный металл, второй металл, третий переходный металл и кислород, и причем второй и третий анодно-тонируемые материалы имеют разные концентрации третьего переходного металла.
19. Электрохромное устройство по п.1, в котором первый и второй подслои противоэлектродного слоя находятся в физическом контакте друг с другом.
10
20. Электрохромное устройство по п.1, в котором первый и второй подслои противоэлектродного слоя отделены друг от друга посредством изолирующего слоя для уменьшения влияния дефектов, причем указанный изолирующий слой для уменьшения влияния дефектов имеет электронное удельное сопротивление примерно от 1 до 5×10 Ом⋅см.
21. Электрохромное устройство по п.1, в котором первый анодно-окрашиваемый материал имеет первое сродство к литию, и второй анодно-окрашиваемый материал имеет второе сродство к литию, причем первое сродство к литию и второе сродство к литию различаются.
22. Электрохромное устройство по п.1, в котором значение b* пропускаемого электрохромным устройством света составляет около 14 или ниже, когда электрохромное устройство находится в своем наиболее просветленном состоянии.
23. Электрохромное устройство по п.1, в котором значение b* пропускаемого электрохромным устройством света составляет примерно 10 или ниже, когда электрохромное устройство находится в своем наиболее просветленном состоянии.
24. Электрохромное устройство по п.1, в котором коэффициент пропускания в видимой области спектра электрохромного устройства составляет по меньшей мере примерно 55%, когда электрохромное устройство находится в своем наиболее просветленном состоянии.
25. Электрохромное устройство по п.1, в котором противоэлектродный слой имеет общую толщину между около 50 нм до около 650 нм.
26. Электрохромное устройство по п.1, в котором противоэлектродный слой имеет общую толщину от около 100 нм до около 400 нм.
27. Электрохромное устройство по п.1, в котором противоэлектродный слой имеет общую толщину от около 150 нм до около 300 нм.
28. Электрохромное устройство по п.1, в котором каждый из первого и второго подслоев противоэлектродного слоя имеют морфологию, которая представляет собой смесь аморфной и нанокристаллической фаз с нанокристаллитами, имеющими диаметр менее, чем около 50 нм.
10
29. Электрохромное устройство по п.1, в котором второй подслой представляет собой изолирующий слой для уменьшения влияния дефектов с электронным удельным сопротивлением примерно от 1 до 5×10 Ом⋅см.
30. Электрохромное устройство по п.1, дополнительно содержащее прозрачный проводящий слой, размещенный на электрохромном слое и противоэлектродном слое или поверх них.
31. Электрохромное устройство по п.30, в котором прозрачный проводящий слой содержит легированный оксид индия.
32. Электрохромное устройство по п.1, в котором по меньшей мере один из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит никель, алюминий и кислород.
33. Электрохромное устройство по п.32, в котором первый анодно-тонируемый материал содержит никель, вольфрам и кислород, и в котором второй анодно-тонируемый материал содержит никель, алюминий и кислород.
34. Электрохромное устройство по п.1, в котором по меньшей мере один из первого и второго анодно-тонируемых материалов содержит никель, кремний и кислород.
35. Электрохромное устройство по п.34, в котором первый анодно-тонируемый материал содержит никель, вольфрам и кислород, и в котором второй анодно-тонируемый материал содержит никель, кремний и кислород.
36. Способ изготовления электрохромного устройства, причем способ содержит:
осаждение электрохромного слоя, содержащего катодно-окрашиваемый электрохромный материал;
осаждение противоэлектродного слоя путем:
осаждения первого анодно-тонируемого подслоя,
литирования первого анодно-тонируемого подслоя, и
после литирования первого анодно-тонируемого подслоя, осаждение второго анодно-тонируемого подслоя, причем первый анодно-тонируемый подслой размещен между электрохромным слоем и вторым анодно-тонируемым подслоем, и причем первый и второй анодно-тонируемые подслои имеют разные составы, и каждый содержит оксид по меньшей мере одного переходного металла.
37. Способ по п.36, в котором осаждение противоэлектродного слоя дополнительно включает осаждение третьего анодно-тонируемого подслоя, содержащего оксид по меньшей мере одного переходного металла, причем второй анодно-тонируемый подслой размещен между первым и третьим анодно-тонируемыми подслоями, причем первый анодно-тонируемый подслой состоит по существу из оксида никеля-вольфрама, причем второй и третий анодно-тонируемые подслои состоят по существу из оксида никеля-вольфрама-тантала, и причем концентрация тантала является более высокой в третьем анодно-тонируемом подслое, чем во втором анодно-тонируемом подслое.
38. Способ по п.36, в котором первый анодно-тонируемый подслой осаждается при более высокой скорости осаждения, чем второй анодно-тонируемый подслой.
39. Способ по п.36, в котором первый анодно-тонируемый подслой осаждается при более низкой мощности распыления, чем мощность, используемая для осаждения второго анодно-тонируемого подслоя.
2
2
40. Способ по п.39, в котором первый анодно-тонируемый подслой осаждается при мощности распыления между около 5-20 кВт/м, и в котором второй подслой осаждается при мощности распыления между около 20-45 кВт/м.
41. Способ по п.36, в котором температура частично изготовленного электрохромного устройства является более низкой во время осаждения первого анодно-тонируемого подслоя, чем во время осаждения второго анодно-тонируемого подслоя.
42. Способ по п.36, дополнительно содержащий:
осаждение лития на второй анодно-тонируемый подслой, и затем
осаждение третьего анодно-тонируемого подслоя на второй анодно-тонируемый подслой.
43. Способ по п.36, дополнительно содержащий:
осаждение третьего анодно-тонируемого подслоя на второй анодно-тонируемый подслой, и затем
осаждение лития на третий анодно-тонируемый подслой.
44. Способ по п.36, в котором первый анодно-тонируемый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 5 нм и около 100 нм.
45. Способ по п.44, в котором первый анодно-тонируемый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 10 нм и около 80 нм.
46. Способ по п.45, в котором первый анодно-тонируемый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 10 нм и около 30 нм.
47. Электрохромное устройство по п.1, в котором первый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 5 нм и около 100 нм.
48. Электрохромное устройство по п.47, в котором первый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 10 нм и около 80 нм.
49. Электрохромное устройство по п.48, в котором первый подслой противоэлектродного слоя имеет толщину между около 10 нм и около 30 нм.