РЕЖУЩИЙ ИНСТРУМЕНТ С ПОКРЫТИЕМ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Режущий инструмент с покрытием, содержащий подложку и поверхностное покрытие, содержащее слой Ti(C,N,O), содержащий по меньшей мере один MTCVD слой Ti(C,N) со столбчатой структурой и со средней шириной зерна 0,05-0,4 мкм, измеренной на поперечном сечении с нормалью к поверхности, перпендикулярной к нормали к поверхности подложки, на передней поверхности режущего инструмента с покрытием вдоль прямой линии в направлении параллельном поверхности подложки в центральном положении между самой нижней и самой верхней поверхностью раздела упомянутого MTCVD слоя Ti(C,N) со столбчатой структурой,
отличающийся тем, что
атомное отношение углерода к сумме углерода и азота (С/(С+N)), содержащихся в упомянутом MTCVD слое Ti(C,N), составляет в среднем 0,50-0,65, измеренное с помощью электронно-микрозондового анализа в 10 местах, расположенных друг от друга на расстоянии 50 мкм вдоль упомянутой прямой линии.
2. Режущий инструмент с покрытием по п. 1, в котором средняя ширина зерна составляет 0,1-0,2 мкм.
3. Режущий инструмент с покрытием по п. 1 или 2, в котором отношение С/(С+N) составляет 0,56-0,60.
4. Режущий инструмент с покрытием по п. 1, в котором упомянутый MTCVD слой Ti(C,N) имеет рентгенодифрактограмму, как измерено с использованием излучения Cu Kα, в которой текстурные коэффициенты TC(hkl) определяются как
где I(hkl) - измеренная интенсивность (hkl) отражения;
0
I(hkl) - стандартная интенсивность согласно ICDD, PDF карта № 42-1489;
n - количество отражений, используемый в расчете,
используемыми (hkl) отражениями являются: (111), (200), (220), (311), (331), (420), (422) и (511), и сумма TC (422) и TC (311) >5,5.
5. Режущий инструмент с покрытием по п. 1, в котором средняя толщина упомянутого MTCVD слоя Ti(C,N) со столбчатой структурой составляет 5-15 мкм.
2
3.
6. Режущий инструмент с покрытием по п. 1, который дополнительно содержит слой AlO
2
3
2
3
7. Режущий инструмент с покрытием по п. 6, в котором слой AlO представляет собой слой α-AlO со средней толщиной 2-6 мкм.
2
3
8. Режущий инструмент с покрытием по п. 6 или 7, в котором слой Ti(C,N,O) дополнительно включает в себя слой Ti(C,O), смежный слою AlO.
9. Способ изготовления режущего инструмента с покрытием, включающий CVD-процесс, при этом упомянутый процесс включает этапы:
обеспечения подложки в вакуумной камере,
обеспечения предшественников в упомянутой вакуумной камере,
осаждения слоя Ti(C,N,O), содержащего по меньшей мере один MTCVD слой Ti(C,N) со столбчатой структурой на упомянутой
подложке,
4
3
2
4
3
при этом MTCVD слой Ti(C,N) со столбчатой структурой осаждают при температуре 800-850°C, используя предшественники, содержащие по меньшей мере TiCl, CHCN или другой нитрил, и H и с отношением Ti/CN 4-10, основанным на объемном проценте TiCl и CHCN или другого нитрила, подводимых в вакуумную камеру.
10. Способ по п. 9, в котором отношение Ti/CN составляет 6-7.
4
3
2
11. Способ по п. 9 или 10, в котором предшественники состоят из TiCl, CHCN и H.
4
12. Способ по п. 9, в котором газовый поток TiCl составляет около 2-4 об.% суммарного газового потока предшественников во время осаждения упомянутого MTCVD слоя Ti(C,N).
13. Способ по п. 9, в котором газовый поток упомянутого одного или более нитрилов составляет от 0,2 до 0,5 об.% суммарного газового потока предшественников во время осаждения упомянутого MTCVD слоя Ti(C,N).
14. Способ по п. 9, который включает осаждение слоя Ti(C,N,O), содержащего от подложки TiN, MTCVD Ti(C,N), HTCVD Ti(C,N) и Ti(C,O).
2
3
15. Способ по п. 9, который дополнительно включает в себя осаждение слоя α-AlO.