ГИБРИДНЫЙ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР

1. Гибридный плазмохимический реактор, включающий осесимметричную металлическую разрядную камеру, расположенный внутри камеры по ее оси электрод, средства ввода СВЧ энергии в разрядную камеру в виде соосного с ней коаксиала, центральный проводник которого электрически соединен с электродом, а внешний со стенками камеры, средства откачки, ввода и отвода газов в разрядную камеру, систему охлаждения, магнитную систему с соосным с камерой внешним соленоидом, источник постоянного напряжения, отрицательный полюс которого подсоединен к центральному проводнику коаксиала, а положительный - к стенкам камеры, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме тела вращения с диаметром большим длины СВЧ волны, разрядная камера и электрод выполнены создающими абсолютный максимум СВЧ поля между ее стенками и электродом в приосевой области, противоположной центральному проводнику коаксиала.
2. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что стенки разрядной камеры в приосевой области, противоположной центральному проводнику коаксиала, выполнены в форме открытой внутрь камеры полости с диаметром поперечного сечения меньшим диаметра электрода.
3. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что полость имеет форму цилиндра.
4. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что полость имеет форму многогранной призмы.
5. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что стенки полости выполнены в форме ячеек.
6. Гибридный плазмохимический реактор по п. 2, отличающийся тем, что противолежащая открытой полости поверхность электрода имеет выступ с диаметром соизмеримым с диаметром полости.
7. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме диска.
8. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что электрод выполнен в форме конуса в направлении к СВЧ вводу.
9. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что поверхность электрода в области абсолютного максимума СВЧ поля выполнена в форме открытой внутрь камеры полости.
10. Гибридный плазмохимический реактор по п. 9, отличающийся тем, что стенки полости выполнены в форме ячеек.
11. Гибридный плазмохимический реактор по п. 9, отличающийся, тем, что стенки камеры имеют выступ в направлении полости.
12. Гибридный плазмохимический реактор по п. 1, отличающийся тем, что между электродом и стенками камеры со стороны коаксиала установлено герметичное диэлектрическое кольцо, прозрачное для СВЧ.