СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СКОРОСТИ ЗАПОЛНЕНИЯ ПОР ПОРИСТОГО МАТЕРИАЛА КОНДЕНСАТОМ ПАРОВ МЕТАЛЛА

1. Способ определения скорости заполнения пор пористого материала конденсатом паров металла в зависимости от технологических параметров процесса металлирования паро-жидкофазным методом, включающий создание разницы температур между температурой конденсатора из пористого материала и источника паров металла с более высокой температурой у последнего на одной из стадий процесса металлирования, включающего нагрев, изотермическую выдержку и охлаждение, определение привеса конденсатора и вычисление скорости заполнения пор материала конденсатора конденсатом паров металла, исходя из объема пор материала конденсатора, времени заполнения пор материала конденсатом и изменения веса конденсатора, отличающийся тем, что под конденсатором устанавливают сборник жидкого конденсата паров металла и создают условия для исключения испарения из него конденсата паров металла, после проведения процесса металлирования определяют толщину (а через нее - массу) покрытия на конденсаторе и массу жидкого конденсата паров металла в сборнике, если таковые имеются, а вычисление скорости заполнения пор материала конденсатора конденсатом паров металла производят по формуле:
3
где ν - скорость заполнения пор пористого материала конденсатора, г/(см×ч);
п
ж
2
ν и ν - скорость образования твердого (в виде покрытия) и жидкого конденсата паров металла на поверхности не содержащего открытых пор материала конденсатора соответственно, в г/(см×ч);
общ
τ - длительность одной из стадий металлирования, на которой создается разница температур между температурами источника паров металла и конденсатора, ч.;
k
m - привес конденсатора, г;
п
m - масса твердого конденсата паров металла в виде покрытия на поверхности не имеющего открытых пор материала конденсатора, г;
ж
m - масса жидкого конденсата паров металла в сборнике конденсата, г;
3
V - объем пор материала конденсатора, см;
2
п
ж
S - площадь поверхности конденсатора из пористого материала, см; при этом скорости образования покрытия на конденсаторе и жидкого конденсата паров металла (ν и ν соответственно) определяют при тех же технологических параметрах процесса металлирования, что и технологические параметры процесса металлирования конденсатора из пористого материала.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что определяют скорость заполнения пор пористого материала конденсатом паров кремния.