НЕОХЛАЖДАЕМЫЙ ДАТЧИК ИНФРАКРАСНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ МАТРИЦЫ МИКРОБОЛОМЕТРОВ

1. Матрица отдельных пикселей микроболометров, где каждый из микроболометров содержит не менее одного вывешенного диода, инфракрасный поглощающий слой, не менее одной опорной балки для, по крайней мере, одного вывешенного диода, и, по крайней мере, одной поддерживающей балки для передачи электрических сигналов на не менее, чем один диод, используя поликремний или металл в качестве проводящего слоя, отличающийся тем, что используют поддерживающие диэлектрические стенки между пикселями вместо кремниевых для формирования опорной структуры ячеек микроболометра и в качестве подложки используют структуру «кремний на диэлектрике» вместо кремневой.
2. Способ изготовления матрицы отдельных пикселей микроболометров, включает КМОП-процесс изготовления матрицы отдельных пикселей микроболометров, формирование покрытия, использующего полимерметаллическую комбинацию для защиты контактных площадок в пост - КМОП процессе без использования прецизионной фотолитографии, сухое травление диэлектрика в пост - КМОП процессе через металлические маски, изготовленные в КМОП процессе при формировании пикселя, плазменное изотропное травление кремния для создания вывешенной диодной структуры пикселя.