СПОСОБ ОБРАБОТКИ КРЕМНИЕВОЙ ОСНАСТКИ

4
2
Способ обработки кремниевой оснастки, включающий обработку кремниевой оснастки в растворе состоящем из фторида аммония, фтористоводородной кислоты и деионизованной воды, отличающийся тем, что обработку проводят при соотношении компонентов фторида аммоний (NHF), фтористоводородной кислоты (HF) и деионизованной воды (HO), соответственно 18:2,5:1, при комнатной температуре, длительность составляет 20±10 мин, далее промывка в деионизованной воде 30±10 мин.