СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МЕТАЛЛОВ

2
Способ формирования силицидов металлов, включающий осаждение металла на кремний и его плавление, отличающийся тем, что плавление осуществляют воздействием компрессионного плазменного потока продолжительностью 50-200 мкс, плотностью энергии 8-20 Дж/см в переменном магнитном поле, перпендикулярном плоскости осажденного металла, с частотой 1300-2000 Гц и индукцией 0,22-12 мТл.