СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ НИТРИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИЕВУЮ ПОДЛОЖКУ

1. Способ осаждения пленки нитрида кремния на кремниевую подложку, включающий:
- предварительную обработку поверхности кремниевой подложки в плазме азота;
- подготовку компонентов газовой смеси из 5,2% смеси моносилана с аргоном с расходом 1,05÷1,15 л/ч и азота с расходом 0,07÷0,08 л/ч, из которой формируется пленка нитрида кремния;
- осаждение пленки нитрида кремния на обработанную поверхность кремниевой подложки непосредственно после предварительной обработки поверхности кремниевой подложки в плазме азота.
2. Способ по п.1, в котором предварительную обработку поверхности кремниевой подложки проводят в азотной плазме ВЧ-индукционного разряда изолированного от «земли» корпуса реактора.
3. Способ по п.2, в котором ВЧ-мощность осаждения пленки нитрида кремния составляет 250÷350 Вт.
4. Способ по пп.1-3, в котором реакцию плазмы с кремниевой подложкой при осаждении пленки нитрида кремния осуществляют при давлении 0,1÷0,3 Па в реакторе.