КЛАСТЕРНЫЙ АНАЛИЗ НЕИЗВЕСТНЫХ В МНОЖЕСТВЕ ДАННЫХ SEM-EDS

1. Способ для определения содержания минералов в образце, при этом указанный способ включает в себя:
направление электронного пучка на множество точек неизвестной композиции;
детектирование рентгеновских лучей, испускаемых в результате воздействия электронного пучка на образец, с целью получения рентгеновского спектра, при этом информация содержит точку данных;
классификацию точки данных из образца путем сравнения с множеством известных точек данных как классифицированной точки данных, при этом указанная классифицированная точка данных классифицируется как подобная точка данных, если характеристики классифицированной точки данных подобны характеристикам известной точки данных, и, альтернативно, классифицированная точка данных классифицируется как несходная точка данных, если характеристики классифицированной точки данных не подобны известной точке данных;
помещение точки данных в группу, при этом характеристики точек данных в пределах группы имеют характеристики, аналогичные характеристикам классифицированной точки данных;
повторение предыдущих этапов, пока все точки данных не станут классифицированными точками данных и не будут помещены в группы с аналогичными характеристиками; и
анализ групп с несходными точками данных для применения в обработке образца минералов.
2. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя удаление всех групп несходных точек данных кроме двадцати групп с наибольшим числом несходных точек данных до анализа групп с несходными точками данных с целью определения содержания минералов для групп с несходными точками данных.
3. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя удаление всех групп несходных точек данных с пятью или менее несходными точками данных до анализа групп с несходными точками данных с целью определения содержания минералов для групп с несходными точками данных.
4. Способ по п. 1, дополнительно включающий в себя удаление всех групп несходных точек данных с двадцатью или менее несходными точками данных до анализа групп с несходными точками данных с целью определения содержания минералов для групп с несходными точками данных.
5. Способ по п. 1, в котором группы с несходными точками данных анализируются с целью определения содержания минералов для групп с несходными точками данных, посредством выполнения количественной энергодисперсионной рентгеноспектроскопии для определения элементного состава группы несходных точек данных.
6. Способ по п. 5, в котором множество известных точек данных изменяется на основании результатов анализа энергодисперсионной рентгеноспектроскопии, и образец обрабатывается снова с измененным множеством известных точек данных.
7. Способ по п. 1, в котором группы с несходными точками данных анализируются с целью определения среднего атомного номера для групп с несходными точками данных посредством выполнения анализа с помощью детектора обратного рассеяния электронов.
8. Способ по п. 7, в котором множество известных точек данных изменяется на основании результатов анализа с помощью детектора обратного рассеяния электронов, и образец обрабатывается снова с измененным множеством известных точек данных.
9. Способ по п. 1, в котором каждая группа классифицированных точек данных имеет среднее значение, которое повторно вычисляется при добавлении каждой классифицированной точки данных.
10. Способ по п. 9, в котором характеристика каждой классифицированной точки данных находится в пределах трех процентов от среднего характеристического значения группы, в которую она помещена.
11. Способ по п. 9, в котором характеристика каждой классифицированной точки данных находится в пределах одного процента от среднего характеристического значения группы, в которую она помещена.
12. Способ по п. 9, в котором характеристика каждой классифицированной точки данных находится в пределах 0,01% от среднего характеристического значения группы, в которую она помещена.
13. Способ по п. 1, в котором недавно классифицированная точка данных помещается в отдельную группу, если нет никаких ранее классифицированных точек данных с характеристиками, подобными недавно классифицированным точкам данных.
14. Устройство рентгеноспектроскопии сканирующего электронного микроскопа, содержащее:
источник пучка заряженных частиц или фотонного пучка и средство для направления пучка к образцу минералов;
детектор для обнаружения эмиссии из образца в ответ на пучок и для формирования набора данных, содержащего множество точек данных;
процессор для управления сканирующим электронным микроскопом; и
читаемый компьютером носитель информации, на котором хранятся компьютерные инструкции для:
классификации точки данных рентгеноспектроскопии, взятой из образца, посредством сравнения с множеством известных точек данных, как классифицированной точки данных, при этом указанная классифицированная точка данных классифицируется как подобная точка данных, если характеристики классифицированной точки данных подобны характеристикам известной точки данных, и, альтернативно, классифицированная точка данных классифицируется как несходная точка данных, если характеристики классифицированной точки данных не подобны известной точке данных;
помещение точки данных рентгеноспектроскопии в группу, при этом характеристики точек данных в пределах группы имеют характеристики, аналогичные характеристикам классифицированной точки данных;
повторение предыдущих этапов, пока все точки данных рентгеноспектроскопии не станут классифицированными точками данных и не будут помещены в группы с аналогичными характеристиками; и
анализ групп с несходными точками данных для применения в обработке образца минералов.