СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ IN SITU

Способ бесконтактного измерения температуры in situ, заключающийся в том, что исследуемый образец освещают поляризованным светом и измеряют изменение поляризации при отражении, отличающийся тем, что, в процессе измерения регистрируют отраженное от поверхности образца электромагнитное излучение с длиной волны в диапазоне 300-900 нм, при этом для зондирующего пучка задают состояние линейной поляризации с поворотом 0°, ±45° относительно плоскости падения, анализируют изменение состояния поляризации после отражения, вычисляют эллипсометрические параметры Ψ и Δ, Δ, накапливают массив данных для дальнейшего усреднения, находят отношение комплексных коэффициентов Френеля Rp и Rs и температуру Т, решая следующее уравнение:
где N(T)=n-ik - комплексный показатель преломления, зависящий от температуры,
F(T) - функция, вид которой зависит от исследуемого материала.