ИЗБИРАТЕЛЬНЫЙ ЛАЗЕРНО-СТИМУЛИРУЮЩИЙ ПЕРЕНОС ДИСКРЕТНЫХ КОМПОНЕНТОВ

1. Способ переноса изделий, содержащий:
приклеивание изделия к клейкому слою носителя, прозрачного для лазерного излучения;
фокусировку лазерного луча с низкой энергией через прозрачный для лазерного излучения носитель на вздувающемся слое в указанном носителе, ближайшем к клейкому слою, для создания вздутия на вздувающемся слое, которое деформирует клейкий слой; и
перенос изделия с прозрачного для лазерного излучения носителя на приемную подложку, помещенную в непосредственной близости, в результате отделения изделия по мере расширения вздутия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что вздутие расширяется по существу до фиксированного размера в результате получения излучения луча лазера с низкой энергией.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что вздувающийся слой содержит полимер, полиимид или неорганический материал, выбранный для абляции управляемым, невзрывным способом под действием облучения лазерным лучом с заданными длиной волны и энергией импульса, и обладающий достаточной эластичностью, чтобы вздутие при образовании не разрывалось.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что вздувающийся слой подвергается абляции, которая ограничивается «непроникающей» абляцией, создающей пары для образования вздутия без разрыва указанного вздутия.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что вздутие образуется под действием луча лазера низкой энергии, испаряющего небольшое количество материала с вздувающегося слоя, что приводит к выделению газов, которые создают вздутие в носителе, а указанное вздутие деформирует клейкий слой указанного носителя, прозрачного для лазерного излучения.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерный луч низкой энергии имеет длину волны в ультрафиолетовом диапазоне.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерный луч низкой энергии содержит один импульс или последовательность импульсов от лазера.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерный луч низкой энергии сканирует с высокой частотой повторения, а схема и скорость сканирования выбраны для создания непрерывного вздутия.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что схему сканирования выбирают из группы схем сканирования, содержащей прямые линии, кривые линии, замкнутые кривые, окружности, треугольники, прямоугольники и другие геометрические формы.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерный луч низкой энергии имеет энергию меньше 1 мДж, чтобы обеспечить соблюдение условия, что вздутие не «взорвется» во время переноса изделия.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что указанный лазер низкой энергии имеет энергию порядка 20 мкДж/импульс.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал, испаряемый лазерным лучом низкой энергии, ограничен внутри указанного вздутия во вздувающемся слое.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что ультратонкое изделие имеет толщину меньше 100 мкм.
14. Способ по п.12, отличающийся тем, что ультратонкое изделие имеет толщину меньше 50 мкм.
15. Устройство для переноса ультратонких изделий с носителя на приемную подложку, содержащее:
носитель, содержащий слой, прозрачный для лазерного излучения, вздувающийся слой и клейкий слой, к которому прикреплено ультратонкое изделие в процессе подготовки к операции переноса;
средство для вывода лазерного луча;
средство для формирования лазерного луча в соответствии с заданной формой, и средство для направления лазерного луча через слой носителя, прозрачный для лазерного излучения, к вздувающемуся слою, ближайшему к клейкому слою для образования во вздувающемся слое вздутия, которое деформирует клейкий слой, вызывая отделение указанного ультратонкого изделия от носителя для приема его приемной подложкой;
при этом толщина вздувающегося слоя больше глубины поглощения лазерного излучения для предотвращения разрыва вздувающегося слоя.
16. Устройство по п.15, отличающееся тем, что ультратонкое изделие имеет толщину меньше 100 мкм.
17. Устройство по п.15, отличающееся тем, что лазерный луч имеет длину волны в ультрафиолетовом диапазоне.
18. Устройство по п.15, отличающееся тем, что лазерный луч содержит один или несколько лазерных импульсов.
19. Устройство по п.15, отличающееся тем, что указанное средство для вывода лазерного луча содержит по меньшей мере один лазер, генерирующий лазерный луч.
20. Устройство по п.15, отличающееся тем, что указанное средство для формирования лазерного луча в соответствии с заданной формой содержит оптические компоненты, выбранные из следующей группы оптических компонентов: полуволновые пластинки, поляризаторы, расширители луча, формирователи луча и линзы.
21. Устройство по п.15, отличающееся тем, что средство для направления лазерного луча содержит сканирующую головку и/или подвижный столик для направления лазерного луча в заданную позицию на носителе, из которой переносится ультратонкое изделие.
22. Устройство по п.15, отличающееся тем, что средство для направления лазерного луча через слой носителя, прозрачный для лазерного излучения, выполнено с возможностью направления лазерного луча к вздувающемуся слою, ближайшему к заданному ультратонкому изделию на носителе.
23. Устройство по п.15, отличающееся тем, что вздувающийся слой подвергается абляции, которая ограничивается «непроникающей» абляцией, создающей пары для образования вздутия без разрыва указанного вздутия.
24. Устройство для переноса ультратонких изделий с носителя на приемную подложку, содержащее:
носитель, содержащий слой, прозрачный для лазерного излучения, вздувающийся слой и клейкий слой, к которому прикреплено ультратонкое изделие в процессе подготовки к операции переноса;
лазер и оптические элементы для формирования выходного лазерного излучения в соответствии с требующейся формой; и
по меньшей мере одно позиционирующее устройство для направления лазерного луча через слой носителя, прозрачный для лазерного излучения, к вздувающемуся слою, ближайшему к клейкому слою для образования во вздувающемся слое вздутия, которое деформирует клейкий слой, вызывая отделение указанного ультратонкого изделия от носителя для приема его приемной подложкой;
при этом вздувающийся слой подвергается абляции, которая ограничена «непроникающей» абляцией, создающей пары для образования вздутия без разрыва указанного вздутия.
25. Устройство по п.24, отличающееся тем, что ультратонкое изделие имеет толщину меньше 100 мкм.
26. Устройство по п.24, отличающееся тем, что лазерный луч имеет длину волны в ультрафиолетовом диапазоне.
27. Устройство по п.24, отличающееся тем, что лазерный луч содержит один или несколько лазерных импульсов.
28. Устройство по п.24, отличающееся тем, что оптические элементы для формирования выходного лазерного луча в соответствии с заданной формой содержат оптические компоненты, выбранные из следующей группы оптических компонентов: полуволновые пластинки, поляризаторы, расширители луча, формирователи луча и линзы.
29. Устройство по п.24, отличающееся тем, что устройство для направления лазерного луча содержит сканирующую головку и/или подвижный столик для направления лазерного луча в заданные положения на носителе, из которых переносится ультратонкое изделие.
30. Устройство по п.24, отличающееся тем, что выполнено с возможностью выполнять лазерное сканирование с высокой частотной повторения, а схема и скорость сканирования выбраны для создания непрерывного вздутия.