ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК МИКРОПРИМЕСЕЙ АММИАКА

Полупроводниковый датчик микропримесей аммиака, содержащий основание и подложку, отличающийся тем, что полупроводниковое основание выполнено из поликристаллической пленки антимонида галлия, а подложкой служит электродная площадка пьезокварцевого резонатора.