СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СПИРАЛЬНОЙ ПРУЖИНЫ

1. Способ изготовления по меньшей мере одной спиральной пружины (5), включающий нижеследующую последовательность этапов:
a) использование подложки (1), проходящей в определенной плоскости (Р) и содержащей первый слой (2), параллельный указанной определенной плоскости (Р),
b) формирование по меньшей мере одного сквозного отверстия (3) в указанном первом слое (2),
c) осаждение второго слоя (4) на указанный первый слой (2), причем указанный второй слой (4) заполняет указанное по меньшей мере одно сквозное отверстие (3) с образованием по меньшей мере одной перемычки из материала (7),
d) вытравливание по меньшей мере одной спиральной пружины (5) в слое (6а) травления, состоящем из указанного второго слоя (4) или из указанной подложки (1), причем из одного из указанных элементов, таких как указанный второй слой (4) и указанная подложка (1), не участвующих в вытравливании по меньшей мере одной спиральной пружины (5), образуется опорный элемент (6b), а указанная по меньшей мере одна перемычка из материала (7) связывает по меньшей мере одну спиральную пружину (5) с опорным элементом (6b) в направлении, перпендикулярном указанной определенной плоскости (Р),
e) удаление указанного первого слоя (2), при этом указанная по меньшей мере одна спиральная пружина (5) остается связанной с опорным элементом (6b) посредством по меньшей мере одной перемычки из материала (7),
f) выполнение в отношении по меньшей мере одной спиральной пружины (5) по меньшей мере одной термической обработки,
g) отделение по меньшей мере одной спиральной пружины (5) от опорного элемента (6b).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанную термическую обработку или по меньшей мере одну термическую обработку из группы термических обработок выполняют в печи.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанную термическую обработку или по меньшей мере одну термическую обработку из группы термических обработок выполняют при температуре по меньшей мере 800°С, предпочтительно по меньшей мере 900°С, предпочтительно по меньшей мере при 1000°С, предпочтительно по меньшей мере при 1100°С, предпочтительно по меньшей мере при 1200°С.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанная термическая обработка или по меньшей мере одна термическая обработка из группы термических обработок включает термическое оксидирование.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что он включает, между этапами f) и g), этап деоксидирования, причем указанные термическое оксидирование и деоксидирование обеспечивают уменьшение размеров по меньшей мере одной спиральной пружины (5) с получением при этом заданной жесткости пружины.
6. Способ по п. 4, отличающийся тем, что указанное термическое оксидирование направлено на образование термокомпенсационного слоя (8) на по меньшей мере одной спиральной пружине (5).
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный слой (6а) травления выполнен из материала с хрупкими свойствами при комнатной температуре.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный слой (6а) травления выполнен из кремния или материала на основе кремния.
9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный слой (6а) травления выполнен из стекла или материала на основе стекла.
10. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный слой (6а) травления выполнен из керамики или материала на основе керамики.
11. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный опорный элемент (6b) выполнен из кремния или материала на основе кремния.
12. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный первый слой (2) выполнен из оксида кремния или материала на основе оксида кремния.
13. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный этап b) выполняют посредством фотолитографии.
14. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный этап с) выполняют посредством эпитаксии.
15. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный этап d) выполняют посредством глубокого реактивного ионного травления.
16. Способ по п. 1, отличающийся тем, что указанный опорный элемент (6b) охлаждают при выполнении этапа d).
17. Способ по п. 1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна перемычка из материала (7) выполнена распределенной в существенной степени по всей длине спиральной пружины (5) или каждой спиральной пружины (5).
18. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в проекции на указанную определенную плоскость (Р), перемычка из материала (7) или каждая из перемычек из материала (7) является полностью расположенной между двумя сторонами (5а, 5b) ленты по меньшей мере одной спиральной пружины (5) и занимает только часть ширины (L) данной ленты.
19. Способ по любому из пп. 1-18, отличающийся тем, что в проекции на указанную определенную плоскость (Р) перемычка из материала (7) или каждая из перемычек из материала (7) является в существенной степени центрированной относительно указанных двух сторон (5а, 5b) ленты по меньшей мере одной спиральной пружины (5).