СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГИБКИХ ОРГАНО-НЕОРГАНИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ получения слоистого материала, включающий более чем одну последовательность, включающую:
(а) осаждение неорганического слоя путем выполнения от 4 до 150 циклов способа осаждения атомных слоев, и
(б) осаждение органического слоя, содержащего серу с помощью способа осаждения молекулярного слоя.
2. Способ по п. 1, в котором для осаждения органического слоя в способе осаждения молекулярного слоя применяют тиол.
3. Способ по п. 1 или 2, в котором для осаждения органического слоя в способе осаждения молекулярного слоя применяют дитиол.
4. Способ по п. 1, в котором для осаждения органического слоя в способе осаждения молекулярного слоя применяют ароматический тиол.
5. Способ по п. 1, в котором для осаждения неорганического слоя в способе осаждения атомных слоев применяют Аl-содержащее соединение.
6. Способ по любому из пп. 1-5, в котором последовательность, включающая (а) и (б) выполняется, по меньшей мере, 30 раз.
7. Слоистый материал, включающий более чем одну последовательность, включающую:
(а) неорганический слой, имеющий толщину от 0.4 до 15 нм; и
(б) серосодержащий органический слой.
8. Слоистый материал по п. 7, в котором органический слой содержит серу в степени окисления -2, -1 или 0.
х
у
9. Слоистый материал по п. 7 или 8, в котором неорганический слой содержит АlO(ОН), где 0≤х≤1.5; 0≤у≤3 и 2х+у=3.
10. Слоистый материал по п. 7 или 8, в котором поочередно включены, по меньшей мере, 30 неорганических слоев и, по меньшей мере, 30 органических слоев.
11. Барьерная пленка, включающая слоистый материал по любому из пп. 7-10.
12. Барьерная пленка по п. 11, в которой барьерная пленка дополнительно включает полимерную подложку.
13. Барьерная пленка по п. 11 или 12, в которой барьерная пленка дополнительно включает выравнивающий слой.
14. Применение барьерной пленки по любому из пп. 11-13 для герметизации, упаковки или пассивации.
15. Электронное устройство, включающее барьерную пленку по любому из пп. 11-13.