СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОБЪЕКТОВ МАЛЫХ РАЗМЕРОВ С НЕРОВНЫМИ КРАЯМИ И ИНТЕРФЕРОГРАММ НА БАЗЕ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРИЕМНИКОВ ИЗЛУЧЕНИЯ

Способ измерения объектов малых размеров с неровными краями и интерферограмм на базе фотоэлектрических приемников излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений этих объектов, их изображение, полученное на фото слайде и проектируемое на экран, измеряется в относительных единицах - электрических импульсах с предварительной калибровкой и последующим переводом количества импульсов в метрические единицы длины.