Способ безэрозионной генерации плотной низкотемпературной плазмы

–4
–2
1. Способ безэрозионной генерации плотной низкотемпературной плазмы, в котором генерация плазмы осуществляется в вакуумной камере посредством подачи импульса отрицательного напряжения на катод разрядного устройства в диапазоне 500 В–4 кВ, длительностью 10–10 с, в магнитном поле с индукцией 200–2000 Гс и давлении в вакуумной камере от 0,1 до 200 Па.
2
3
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что напряжение подается в импульсно-периодическом режиме с частотой 10–10 Гц.