СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ОБРАЗЦОВ ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА АТОМНО-СИЛОВЫМ МИКРОСКОПОМ

1. Способ обработки поверхности образцов для проведения металлографического анализа атомно-силовым микроскопом, заключающийся в том, что обеспечивают шлифование, полирование и травление поверхности образца, отличающийся тем, что выбирают, по крайней мере, один участок поверхности образца с характерными структурными зернами и наносят рядом с ним ориентационную метку, различимую в атомно-силовом микроскопе; далее проводят пошаговую процедуру, каждый шаг которой включает полирование и травление образца с увеличивающимся от шага к шагу временем экспозиции в протравливающем растворе, при этом после каждой экспозиции находят помеченный участок, измеряют его трехмерную топографию на атомно-силовом микроскопе, определяют контрастность профиля поверхности; завершают вышеуказанную процедуру после того, как измерение профиля показывает уменьшение контрастности; для заключения о металлографической структуре образца используют данные трехмерной топографии, измеренные при максимуме контрастности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для определения меры контрастности поверхности используют прямолинейные профили выбранного структурного зерна из результатов измерений трехмерной топографии поверхности образца.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для определения меры контрастности структуры поверхности строят кривую первой производной в каждой точке выбранного профиля и берут отношение разности максимального и минимального значений кривой на границе выбранного структурного зерна к средней дисперсии совокупности точек указанной кривой, при этом это отношение должно быть в пределах 1:1000.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве меры контрастности поверхности вычисляют отношение перепада высоты на границе выбранного структурного зерна к средней дисперсии отклонения от аппроксимирующей кривой, проведенной по профилю этого зерна, при этом это отношение должно быть в пределах 1:1000.
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что в качестве меры контрастности поверхности вычисляют спектр мощности преобразования Фурье для выбранного профиля.