СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА НАНОЭЛЕКТРОННЫХ И НАНОМЕХАНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ

Способ производства наноэлектронных и наномеханических приборов путем адсорбции отдельных атомов на поверхность подложки и путем десорбции отдельных атомов с поверхности подложки для формирования наноэлектронного или наномеханического прибора с визуализацией результатов процесса на всех этапах, отличающийся тем, что адсорбирующиеся на поверхности подложки атомы поступают из структурных каналов нанотрубок зонда при пропускании электрического тока вдоль структурных каналов за счет электродиффузии в структурных каналах нанотрубок и испарения из зонда с последующей адсорбцией на поверхности подложки, а десорбирующиеся атомы с поверхности подложки поступают в структурные каналы нанотрубок зонда при пропускании электрического тока вдоль структурных каналов за счет ориентированного по направлению структурных каналов полевого испарения с поверхности подложки, внедрения атомов в структурные каналы и дальнейшей электродиффузии внедренных атомов в структурных каналах нанотрубок.