УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК

1. Устройство для осаждения металлических пленок, содержащее рабочую вакуумную камеру, эмиссионную сетку, полый катод, ограниченный эмиссионной сеткой, анод внутри полого катода, источник питания разряда, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с полым катодом, источник ускоряющего напряжения, положительным полюсом соединенный с анодом, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит мишень в форме экрана, выполненного из фольги осаждаемого металла, и расположенного на внутренней поверхности полого катода, эмиссионную сетку из осаждаемого металла, полый держатель подложек, установленный в рабочей вакуумной камере напротив эмиссионной сетки, полость которого оснащена экраном из фольги осаждаемого металла, а также источник напряжения смещения, который положительным полюсом соединен с рабочей вакуумной камерой, а отрицательным полюсом - с эмиссионной сеткой.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит экран, закрепленный в центре эмиссионной сетки.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит стержень, установленный на оси полого катода, соединенный с ним электрически и покрытый экраном из фольги осаждаемого металла.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит постоянный магнит, установленный на наружной поверхности полого катода в центре его дна.