КОРИОЛИСОВ ГИРОСКОП, СОДЕРЖАЩИЙ КОРРЕКТИРОВОЧНЫЕ МОДУЛИ, И СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ КВАДРАТУРНОГО ИСКАЖЕНИЯ

1. Кориолисов гироскоп (1), содержащий
- систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и один второй корректировочный модуль (40), которые соответственно включают в себя множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс.
2. Кориолисов гироскоп по п.1, отличающийся тем, что система масс кориолисова гироскопа (1) состоит из первой частичной массы (10) и второй частичной массы (20), при этом обеспечена возможность регистрации отклонения второй частичной массы (20) вследствие кориолисовой силы,
причем подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) являются неотъемлемой составной частью второй частичной массы (20).
3. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы реализована посредством образования восстанавливающих сил для компенсации отклонения.
4. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что
- множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) соответственно содержит одинаковое количество первых неподвижных корректировочных электродов (31, 41) и вторых неподвижных корректировочных электродов (32, 42), при этом первые неподвижные корректировочные электроды (31, 41) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси в первом направлении, а вторые неподвижные корректировочные электроды (32, 42) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси во втором направлении, при этом второе направление противоположно первому направлению, и
- множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27) соответственно содержит одинаковое количество первых подвижных корректировочных электродов (24, 26) и вторых подвижных корректировочных электродов (25, 27), при этом первые подвижные корректировочные электроды (24, 26) проходят от системы масс вдоль первой оси во втором направлении, а вторые подвижные корректировочные электроды (25, 27) проходят от системы масс вдоль первой оси в первом направлении.
5. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что
- каждому неподвижному корректировочному электроду (31, 32, 41, 42) соответствует подвижный корректировочный электрод (24, 25, 26, 27), при этом расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до соответствующего ему подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27) меньше, чем расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до другого соседнего подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27),
- в первом корректировочном модуле (30) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (31), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (24), расположен вдоль второй оси в третьем направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (32), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (25), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, причем четвертое направление противоположно третьему направлению, и
- во втором корректировочном модуле (40) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (41), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (26), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (42), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (27), расположен вдоль второй оси в третьем направлении.
6. Кориолисов гироскоп по п.5, отличающийся тем, что кориолисов гироскоп (1) включает в себя несколько однотипно выполненных первых корректировочных модулей (30) и/или несколько однотипно выполненных вторых корректировочных модулей (40).
7. Кориолисов гироскоп по п.6, отличающийся тем, что кориолисов гироскоп (1) включает в себя одинаковое количество первых и вторых корректировочных модулей (30, 40).
8. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, отличающийся тем, что неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) и/или подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) соответственно имеют ширину, составляющую максимум 10 мкм.
9. Кориолисов гироскоп по одному из пп.1 и 2, включающий в себя, кроме того, по меньшей мере один управляющий модуль (50, 60), который электрически соединен с корректировочными модулями (30, 40) и предназначен для того, чтобы подавать на них по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.
10. Система, содержащая по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200), которые соединены друг с другом и соответственно включают в себя систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси,
отличающаяся тем, что
система включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240), которые соответственно содержат множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс по меньшей мере одного из по меньшей мере двух кориолисовых гироскопов (100, 200).
11. Система по п.10, отличающаяся тем, что
- множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) соответственно имеет одинаковое количество первых неподвижных корректировочных электродов (31, 41) и вторых неподвижных корректировочных электродов (32, 42), при этом первые неподвижные корректировочные электроды (31, 41) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси в первом направлении, а вторые неподвижные корректировочные электроды (32, 42) проходят от соответствующих анкерных структур (33, 43) вдоль первой оси во втором направлении, при этом второе направление противоположно первому направлению, и
- множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27) соответственно имеет одинаковое количество первых подвижных корректировочных электродов (24, 26) и вторых подвижных корректировочных электродов (25, 27), при этом первые подвижные корректировочные электроды (24, 26) проходят от системы масс вдоль первой оси во втором направлении, а вторые подвижные корректировочные электроды (25, 27) проходят от системы масс вдоль первой оси в первом направлении.
12. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- каждому неподвижному корректировочному электроду (31, 32, 41, 42) соответствует подвижный корректировочный электрод (24, 25, 26, 27), при этом расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до соответствующего ему подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27) меньше, чем расстояние от каждого неподвижного корректировочного электрода (31, 32, 41, 42) до другого соседнего подвижного корректировочного электрода (24, 25, 26, 27),
- в первом корректировочном модуле (130, 230) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (31), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (24), расположен вдоль второй оси в третьем направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (32), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (25), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, при этом четвертое направление противоположно третьему направлению, и
- во втором корректировочном модуле (140, 240) каждый первый неподвижный корректировочный электрод (41), если смотреть от соответствующего ему первого подвижного корректировочного электрода (26), расположен вдоль второй оси в четвертом направлении, в то время как каждый второй неподвижный корректировочный электрод (42), если смотреть от соответствующего ему второго подвижного корректировочного электрода (27), расположен вдоль второй оси в третьем направлении.
13. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200) соединены друг с другом в отношении движения возбуждения, которое возбуждает колебания системы масс параллельно первой оси, и
- каждый кориолисов гироскоп (100, 200) включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240).
14. Система по п.13, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130) первого кориолисова гироскопа (100) выполнен однотипно по отношению по меньшей мере к одному первому корректировочному модулю (230) второго кориолисова гироскопа (200), и
- по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140) первого кориолисова гироскопа (100) выполнен однотипно по отношению по меньшей мере к одному второму корректировочному модулю (240) второго кориолисова гироскопа (200).
15. Система по одному из пп.10 и 11, отличающаяся тем, что
- по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200) соединены друг с другом в отношении регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы, которая действует вдоль второй оси, и
- по меньшей мере один из кориолисовых гироскопов (100, 200) включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230), и по меньшей мере один из кориолисовых гироскопов (100, 200) включает в себя по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240).
16. Система по одному из пп.10 и 11, включающая в себя, кроме того, по меньшей мере один управляющий модуль, который электрически соединен с корректировочными модулями (130, 140, 230, 240) и предназначен для подачи на них по меньшей мере в течение промежутка времени постоянного корректирующего напряжения.
17. Способ уменьшения квадратурного искажения кориолисова гироскопа (1), содержащего
- систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси, при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси, и
- по меньшей мере один первый корректировочный модуль (30) и один второй корректировочный модуль (40), которые соответственно включают в себя множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и множество подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27), при этом неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс,
отличающийся тем, что
на корректировочные модули (30, 40) подают по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что на корректировочные модули осуществляют подачу корректирующих напряжений различной величины в зависимости от подлежащего уменьшению квадратурного искажения.
19. Способ по одному из пп.17 и 18, отличающийся тем, что величину корректирующих напряжений устанавливают в зависимости от определенного изменения собственной частоты системы масс и с учетом подлежащего уменьшению квадратурного искажения вдоль второй оси.
20. Способ по одному из пп.17 и 18, отличающийся тем, что
- кориолисов гироскоп (1) включает в себя несколько однотипно выполненных первых корректировочных модулей (30) и/или несколько однотипно выполненных вторых корректировочных модулей (40), и
- корректирующие напряжения, которые подают на однотипно выполненные корректировочные модули, в сумме компенсируются.
21. Способ уменьшения квадратурного искажения в системе, содержащей по меньшей мере два кориолисовых гироскопа (100, 200), которые соединены друг с другом и соответственно включают в себя систему масс, выполненную с возможностью возбуждения колебаний параллельно первой оси,
при этом обеспечена возможность регистрации отклонения системы масс вследствие кориолисовой силы вдоль второй оси, которая проходит перпендикулярно первой оси,
при этом система включает в себя по меньшей мере один первый корректировочный модуль (130, 230) и по меньшей мере один второй корректировочный модуль (140, 240), которые соответственно содержат множество неподвижных корректировочных электродов (31, 32, 41, 42) и подвижных корректировочных электродов (24, 25, 26, 27),
причем неподвижные корректировочные электроды (31, 32, 41, 42) проходят в направлении первой оси и жестко соединены с подложкой посредством соответствующих анкерных структур (33, 43), а подвижные корректировочные электроды (24, 25, 26, 27) образуют часть системы масс по меньшей мере одного из по меньшей мере двух кориолисовых гироскопов (100, 200),
отличающийся тем, что
на корректировочные модули (130, 230, 140, 240) подают по меньшей мере в течение промежутка времени постоянные корректирующие напряжения.