ЗАЩИТА ВНУТРЕННЕЙ ЧАСТИ КОНТЕЙНЕРА ДЛЯ ГАЗА ПОКРЫТИЕМ, ПОЛУЧЕННЫМ МЕТОДОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ

1. Способ защиты внутренней части контейнера для газа, включающий:
обеспечение наличия впускающего и выпускающего коллектора, включающего блок для соединения с отверстием, который может быть присоединен к отверстию контейнера для газа;
воздействие на внутреннюю часть контейнера для газа последовательно протекающих самонасыщающихся поверхностных реакций, проводимых посредством последовательного впуска реакционноспособных газов через блок для соединения с отверстием и отверстие во внутреннюю часть контейнера для газа; и
откачку реакционного остатка из контейнера для газа через отверстие и блок для соединения с отверстием.
2. Способ по п. 1, включающий присоединение блока для соединения с отверстием к отверстию контейнера для газа.
3. Способ по п. 1 или 2, включающий откачку реакционного остатка и извлечение газа из внутренней части контейнера для газа с помощью вакуумного насоса, присоединяемого к выпускной части впускающего и выпускающего коллектора.
4. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором уровень расположения точки подачи газа в контейнер для газа отличается от уровня расположения точки выпуска газа.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором контейнер для газа применяют в качестве реакционной емкости, которую герметизируют с помощью герметизирующей детали, находящейся в блоке для соединения с отверстием.
6. Способ по п. 5, в котором герметизирующая деталь включает коническую резьбу, которая может быть съемным образом присоединена к отверстию контейнера для газа вместо запорного клапана.
7. Способ по п. 5 или 6, в котором блок для соединения с отверстием включает сопрягаемую деталь, которая может быть присоединена к герметизирующей детали, что позволяет ввинчивать (поворачивать) герметизирующую деталь, в результате чего она герметично закрывает отверстие контейнера для газа.
8. Способ по любому из предшествующих пунктов, включающий:
подачу неактивного продувочного газа в промежуточное пространство, находящееся между контейнером для газа и окружающей его стенкой камеры, и
откачку неактивного продувочного газа из промежуточного пространства.
9. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает одну или более питающих линий, регулирующими элементами которых управляет компьютеризированная система управления.
10. Устройство для создания защиты внутренней части контейнера для газа, включающее:
впускающий и выпускающий коллектор, включающий блок для соединения с отверстием, который может быть присоединен к отверстию контейнера для газа, причем устройство предназначено для воздействия на внутреннюю часть контейнера для газа последовательно протекающих самонасыщающихся поверхностных реакций, проводимых посредством последовательного впуска реакционноспособных газов через блок для соединения с отверстием и отверстие во внутреннюю часть контейнера для газа; и
насос, предназначенный для откачки реакционного остатка из контейнера для газа через отверстие и блок для соединения с отверстием.
11. Устройство по п. 10, в котором уровень расположения точки подачи газа, образуемой впускающим и выпускающим коллектором, отличается от уровня расположения точки выпуска газа, образуемой впускающим и выпускающим коллектором.
12. Устройство по п. 10 или 11, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает питающие линии для паров предшественника и продувочного газа и регулирующие их элементы.
13. Устройство по любому из пп. 10-12, в котором впускающий и выпускающий коллектор включает блок для соединения с отверстием, индивидуально подходящий для отверстия контейнера для газа, предназначенный для введения впускающего и выпускающего коллектора в отверстие контейнера для газа с образованием при этом соединения, подходящего для переноса текучей среды между впускающим и выпускающим коллектором и внутренней частью контейнера для газа.
14. Устройство по любому из пп. 10-13, включающее:
камеру, окружающую контейнер для газа, и линию впуска неактивного газа, предназначенную для подачи неактивного продувочного газа в промежуточное пространство между контейнером для газа и окружающей его стенкой камеры.
15. Устройство по любому из пп. 10-14, в котором блок для соединения с отверстием включает герметизирующую деталь, которая может быть присоединена к отверстию контейнера для газа.
16. Устройство по п. 15, в котором герметизирующая деталь включает коническую резьбу.
17. Устройство по пп. 10-16, отличающееся тем, что устройство является мобильным.