СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНЯ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ (ВАРИАНТЫ)

1. Способ получения кристаллического кремния высокой чистоты, включающий термическое восстановление кремнийсодержащего соединения до элементарного кремния с помощью углеродсодержащего вещества, отличающийся тем, что процесс ведут в две стадии в реакторе плазменной печи при температуре выше 1500°С, на первой стадии восстановления в качестве кремнийсодержащего соединения вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве восстановителя вводят смесь моноокиси углерода с водородом, взятых в объемном соотношении 1:1, на второй стадии очистки кремния вводят в реактор химически активные по отношению к примесям газы, например, кислород и вакуумируют объем реактора.
2. Способ получения кристаллического кремния высокой чистоты, включающий термическое восстановление кремнийсодержащего соединения до элементарного кремния с помощью углеродсодержащего вещества, отличающийся тем, что процесс восстановления ведут в реакторе плазменной печи постоянного тока при температуре выше 1500°С, анод подключают к токопроводящему корпусу реактора и расплавленному кремнию, вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве восстановителя вводят в реактор смесь углеводорода с кислородом, взятых в объемном соотношении 2:1.
3. Способ получения кристаллического кремния высокой чистоты, включающий термическое восстановление кремнийсодержащего соединения до элементарного кремния с помощью углеродсодержащего вещества, отличающийся тем, что процесс восстановления ведут в реакторе плазменной печи при температуре выше 1500°С на переменном токе с частотой выше 5 кГц, вводят в реактор кварцевую крупку, а в качестве восстановителя вводят в реактор смесь углеводорода с кислородом, взятых в объемном соотношении 2:1.