СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ НИТРИДА КРЕМНИЯ

2
2
3
2
2
3
Способ получения диэлектрической пленки нитрида кремния, включающий получение диэлектрической пленки нитрида кремния из газовой смеси, в состав которого входят: дихлорсилан, аммиак, отличающийся тем, что пластины подвергают обработке газовой смеси состоящей из дихлорсилана (SiHCl) и аммиака (NH) при температуре равной 800°С в течение 20 мин и при соотношении компонентов: SiHCl:NH=12 л/ч: 20 л/ч, где рабочее давление -Р=66 Па.