СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ получения моносилана, включающий взаимодействие гидрида кальция с тетрафторидом кремния в эвтектическом расплаве хлоридов лития и калия при 360-390°C, очистку моносилана, отличающийся тем, что приготовление эвтектического расплава хлоридов лития и калия и растворение в нем гидрида кальция проводят в отдельном реакторе и приготовленный эвтектический расплав непрерывно подают в реакторы, где протекает реакция гидрида кальция и тетрафторида кремния, распыляемого в объеме реактора.
2. Устройство для получения моносилана, включающее обогреваемый реактор для приготовления эвтектического расплава хлоридов лития и калия и растворения в нем гидрида кальция, отличающееся тем, что узел синтеза моносилана состоит из 10-15 реакторов, объединенных в одном корпусе, а каждый реактор через штуцер в верхней части подключен к дозировочной гребенке и к общему питателю, из которого происходит ввод эвтектического расплава с растворенным в нем гидридом кальция, в нижней части реакторы снабжены штуцерами, посредством которых они сообщаются через разгрузочную гребенку с блоком фильтрации эвтектики, а тетрафторид кремния поступает в каждый реактор через расходомер.