УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для наноперемещений.
Известно устройство для наноперемещения изделия, содержащее стол, направляющую и привод, выполненный в виде пьезоэлектрических преобразователей, установленных под углом и жестко прикрепленных одними концами к столу [Авт.свид. СССР №529509, кл. H 01 L 21/66, 1976].
Недостатком аналога являются малые кинематические возможности, так как наноперемещения зонда осуществляются только в малом диапазоне линейных величин.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для наноперемещений, содержащее неподвижное основание, жестко связанный с ним пьезопривод и установленный на нем зонд [Устройство перемещения зонда для нанотехнологии. Свидетельство на полезную модель №30030 29.10.2002 Бюл. №16].
Недостатком прототипа являются кинематические возможности, так как наноперемещения зонда осуществляются только в малом диапазоне линейных величин, при этом зонд в процессе наноперемещений меняет свое вертикальное положение.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящия в том, чтобы расширить кинематические возможности устройства, при сохранении положения оси зонда в строго вертикальном направлении.
Поставленная задача решается тем, что в устройстве для наноперемещений. содержащем неподвижное основание, жестко связанный с ним пьезопривод и установленный на нем зонд, согласно предложенной полезной модели, пьезопривод
выполнен в виде параллельно расположенных биморфов, жестко соединенных последовательно друг за другом, с возможностью реализации перемещения зонда только вдоль координатной оси Z, причем число биморфов - четное.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для наноперемещений.
Устройство для наноперемещений (фиг.1) содержит основание (1), жестко связанный с ним пьезопривод (2), состоящий из четного числа биморфных пластин, соединенных последовательно друг за другом, и установленный на нем зонд (3).
Устройство для наноперемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезопривод (2) происходит изгиб биморфных пластин и перемещение зонда (3), причем перемещение зонда (3) осуществляется только вдоль координатной оси Z. Изменение подаваемого на пьезопривод напряжения позволяет работать в любом малом диапазоне линейных величин.
Применение предложенного устройства для наноперемещений позволяет увеличить диапазон перемещений зонда, при сохранении положения оси зонда в строго вертикальном положении.