УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Устройство перемещения для нанотехнологии.
Полезная модель относится к области нанотехнологии, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жёстко связанный неподвижным основанием. Авторское свидетельство СССР № 1713065, кл. Н 02 L41/09, 1991
Недостатком аналога является невозможность одновременного, независимого технологического зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жёстко связанный с неподвижным основанием и подложку, установленную на подвижном столе. Неволин В.К. Физические основы туннельнозондовой нанотехнологии - Учебное пособие // М.: МИЭТ 2000.- 69 с., ил.-стр. 4-5
Недостатком прототипа является также невозможность одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных нано технологических операций.
В основу полезной модели положена следующая техническая задача обеспечить возможность одновременного, независимого технологического зондирования
нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения для нанотехнологии, содержащем пьезопривод, жёстко связанный с неподвижным основанием, и подложку закреплённую на столе, согласно предложенной полезной модели, к пьезоприводу, посредством консоли, прикреплён жгут из оптоволоконных трубок, причём каждая трубка связана с независимым источником электромагнитного излучения, а подложка выполнена с возможностью подачи на неё электрического потенциала и снабжена системой охлаждения, устройство дополнительно снабжено системой подачи рабочего газа в технологический зазор между подложкой и жгутом.
Введение в устройство перемещения для нанотехнологии жгута из оптоволоконных трубок, причём количество трубок неограниченно, в целом обеспечивает возможность одновременного, независимого технологического зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга.
Полезная модель поясняется фиг. 1, где показано устройство перемещения для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологии (фиг. 1) содержит пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижным основанием 2, подложку 3, установленную на столе 4, и снабжённую системой охлаждения 5, системой подачи на неё электрического потенциала 12 и системой подачи рабочего газа 7 в технологический зазор 10. На пьезоприводе 1 посредством консоли 9 прикреплён жгут 6 из оптоволоконных трубок 11. С каждой трубкой 11 связан независимый источник электромагнитного излучения
8. Пьезопривод 1 расположен в пространстве с возможностью подачи на него напряжения от блока питания 13.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом. При подаче напряжения на пьезопривод 1 происходит перемещение жгута 6 из оптоволоконных трубок 11 на поверхность подложки 3. В каждую оптоволоконную трубку 11 автономно подаётся электромагнитное излучение. Рабочий газ поступает в технологический зазор 10 (условно не показан). В результате взаимодействия электромагнитного излучения с поверхностью подложки рабочий газ ионизируется, и посредством системы подачи электрического потенциала происходит пришивание ионов к поверхности подложки.
Применение предложенного устройства перемещения для нанотехнологии позволяет одновременно и независимо технологически зондировать несколько точек на поверхности подложки 3, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных нанотехнологических операций.