ТИГЕЛЬ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ОБЪЕМНОГО МОНОКРИСТАЛЛА НИТРИДА АЛЮМИНИЯ (AlN)

,
1. Тигель для выращивания объемного монокристалла нитрида алюминия, включающий графитовый контейнер с крышкой и затравкой, размещенный внутри контейнера поликристаллический источник, отличающийся темчто внутренняя поверхность контейнера футерована слоем поликристаллического источника.
,
2. Тигель для выращивания объемного монокристалла нитрида алюминия по п.1, отличающийся темчто слой поликристаллического источника выполнен в виде шарового сегмента, содержащего кольцевую, наружную и внутреннюю сегментную поверхности, причем центры вращения внутренней и наружной сегментных поверхностей расположены друг над другом и лежат на общей оси вращения поверхностей, а кольцевая поверхность совпадает с верхней плоскостью графитового контейнера.
,
3. Тигель для выращивания объемного монокристалла нитрида алюминия по п.1, отличающийся темчто поликристаллический шаровой сегмент выполнен съемным.
,
4. Тигель для выращивания объемного монокристалла нитрида алюминия по п.3, отличающийся темчто между наружной поверхностью поликристаллического шарового сегмента и внутренней поверхностью графитового контейнера установлена сопрягаемая с этими поверхностями прокладка из термически и химически стабильного материала.
,
5. Тигель для выращивания объемного монокристалла нитрида алюминия по п.3, отличающийся темчто внутренняя поверхность крышки снабжена сопрягаемой с ней прокладкой из термически и химически стабильного материала.