УСТРОЙСТВО ЗОНДОВОЙ ЗАТОЧКИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам ионно-термической заточки зондов.
Известно устройство на основе метода механической обработки изделия, содержащее узел крепления и инструмент для заточки [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн кн 7. Элионная обработка. Учеб. Пособие для ПТУ. О.С.Моряков. - Высш. шк., 1990. - 128 с.: ил. IS BN 5-06-001079-1.; ил., стр.32, рис.12а, (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность получения зондов с уменьшенным радиусом вершины, что приводит к понижению эффективности удерживания промежутка зонд-подложка.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство на основе метода механической обработки изделия, содержащее узел крепления и инструмент для заточки [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн кн 7. Элионная обработка. Учеб. Пособие для ПТУ. О.С.Моряков. - Высш. шк., 1990. - 128 с.: ил., стр.33, рис.126, (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность получения зондов с уменьшенным радиусом вершины, что приводит к понижению эффективности удерживания промежутка зонд-подложка.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность получения зондов с уменьшенным радиусом вершины.
Поставленная техническая задача решается те, что устройство зондовой заточки, содержащее узел крепления зондов и инструмент для заточки, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено конденсаторной пластиной, размещенной над узлом крепления, который
выполнен в виде цангового зажима, а инструмент для заточки, выполнен в виде лазера и ориентирован в сторону узла крепления зондов.
Введение в устройство зондовой заточки узла крепления в виде цангового зажима позволяет снизить время операции по замене зондов и ориентации их осей в требуемом направлении. Инструмент для заточки, выполненный в виде лазера, обеспечивает возможность нагрева вершин зондов. Конденсаторная пластина обеспечивает возможность электростатического взаимодействия с зондами.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство зондовой заточки.
Устройство зондовой заточки содержит узел крепления 1 в виде цангового зажима, в котором зонды закрепляются остриями в сторону конденсаторной пластины 2, с возможностью подачи на них электрического потенциала, инструмент для заточки 3, выполненный в виде лазера, направленный в сторону зондов.
Устройство зондовой заточки работает следующим образом.
При воздействии инструмента для заточки 3, выполненного в виде лазера, на вершины зондов, закрепленных в цанговом зажиме, они нагреваются. В результате нагрева ослабляются межатомные или межмолекулярные связи в материале вершин зондов. При подаче различных электрических потенциалов на зонды и на конденсаторную пластину 2, возникает электростатическое взаимодействие между ними, в результате которого под действием Кулоновской силы слабосвязанные ионы в вершинах зондов стремятся занять более выгодную энергетическую позицию и вытягиваются, заостряясь в сторону конденсаторной пластины 3.
Применение предлагаемого устройства зондовой заточки, дает возможность получения зондов с уменьшенным радиусом вершины.