НИЗКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ С ПОКРЫТИЕМ ИЗ ОКСИДА ЦИНКА

1. Способ изготовления прозрачного изделия с покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, при осуществлении которого
подготавливают прозрачную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие, имеющей температуру не более 400°С, и
подают цинксодержащеее соединение и одно или несколько кислородсодержащих соединений на указанную поверхность, причем цинксодержащее соединение и соединения, являющиеся источником кислорода, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.
2. Способ по п.1, в котором цинксодержащее соединение и упомянутые одно или несколько кислородсодержащих соединений перемешивают в течение менее чем 500 мс.
3. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, одно или несколько кислородсодержащих соединений и одно или несколько соединений, содержащих элемент 13 группы, причем цинксодержащее соединение, кислородсодержащие соединения и соединения, содержащие элемент 13 группы, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.
4. Способ по п.1, в котором покрытие из оксида цинка образуют в процессе химического осаждения из паровой фазы.
5. Способ по п.4, в котором процесс химического осаждения из паровой фазы осуществляют при атмосферном давлении.
6. Способ по п.3, в котором соединением, содержащим элемент 13 группы, является соединение, содержащее алюминий.
15
16
15
16
17
18
19
17-19
(3-n)
n
z
7. Способ по п.6, в котором соединение, содержащее алюминий, является соединением алюминия с формулой R АlR L, где R является алкильной или арильной, или галогенидной, или алкоксидной группой, R - Н-группа, алкильная, арильная, галогенидная или дикетонатная группа с формулой (RC(O)CRC(O)R), в которой R могут быть одинаковыми или разными группами и являются Н-группой, алкильной или арильной группами (включая циклические и частично или полностью фторированные производные), n=0-3, L является кислородсодержащим донорным лигандом, a z=0-2.
8. Способ по п.7, в котором соединением, содержащим алюминий, является диэтилалюминий ацетилацетонат.
9. Способ по п.7, в котором соединением, содержащим алюминий, является диэтилалюминий хлорид.
10. Способ по п.3, в котором соединением, содержащим элемент 13 группы, является соединение, содержащее галлий.
15
16
15
16
17
18
19
17-19
(3-n)
n
z
11. Способ по п.10, в котором соединением, содержащим галлий, является соединение галлия с формулой R GaR L, где R является алкильной или арильной, или галогенидной, или алкоксидной группой, R - Н-группа, алкильная, арильная, галогенидная или дикетонатная группа с формулой (RC(O)CRC(O)R), в которой R могут быть одинаковыми или разными группами и являются Н-группой, алкильной или арильной группами (включая циклические и частично или полностью фторированные производные), n=0-3, L является кислородсодержащим донорным лигандом, a z=0-2.
12. Способ по п.11, в котором соединением, содержащим галлий, является диметилгаллий ацетилацетонат.
13. Способ по п.11, в котором соединением, содержащим галлий, является диметилгаллий гексафторацетилацетонат.
14. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, кислородсодержащее соединение, соединение, содержащее элемент 13 группы, и фторсодержащее соединение, причем цинксодержащее соединение, соединение, являющееся источником кислорода, и соединение, содержащее элемент 13 группы, а также фторсодержащее соединение перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.
15. Способ по п.14, в котором фторсодержащее соединение выбирают из группы, включающей
дифторметан; 1,1-дифторэтан; 1,1,1,2-тетрафторэтан; 1,1,1,2,2-пентафторэтан; 1,1,1-трифторэтан; 1,1,1,3,3-пентафторпропан; фторэтилен; 1,1-дифторэтилен; 1,1,1,2,3,3,3-гептафторпропан; 1,1,1,2,2,3,3-гептафторпропан; гексафторпропен; 3,3,3-трифторпропен; перфторциклопентен; перфторбутадиен; 1,1,1,3,3,3-гексафтор-2-пропанол; 1,1,1,3,3,3-гексафтор-2-метил-2-пропанол; гексафторпропеноксид; 2,2,3,4,4,4-гексафтор-1-бутанол; 1,1,2,2,3,4-гексафтор-3,4-бис(трифторметил)циклобутан; гексафтор-2-бутин; гексафторацетон; ангидрид гексафторглутаровой кислоты; ангидрид трифторуксусной кислоты; трифторацетилхлорид; 2,2,2-трифторэтанол; 1,1,1-трифторацетон; трифторметан; 1,1,1-трифтор-2-пропанол; 3,3,3-трифторпропионовая кислота; 3,3,3-трифторпропин; трифторамин; фтороводород; трифторуксусная кислота; 1,1,1,3,3-пентафторбутан и 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-декафторпентан.
16. Способ по п.15, в котором фторсодержащим соединением является гексафторпропен.
17. Способ по п.1, в котором кислородсодержащим соединением является вода.
18. Способ по п.1, в котором кислородсодержащим соединением является смесь спирта и воды, где концентрация воды составляет не более 25 мол.%.
19. Способ по п.18, в котором используется спирт - 2-бутанол.
20. Изделие с покрытием из ZnO, изготовленное способом по п.1.