МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ

2
2
2
2
Метод получения пленки, включающий обработку поверхности пластин, отличающийся тем, что на поверхности пластины формируют защитный слой на основе диоксида германия за счет горения водорода и сухого кислорода в среде азота (N) и расхода газов: N=400 л/ч; H=70 л/ч; O=700±50 л/ч, при этом толщина защитной пленки составила 0,78÷0,05 мкм.