СПОСОБ ПРЕЦИЗИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ

Способ прецизионного легирования тонких пленок на поверхности арсенида галлия, включающий обработку поверхности пластины арсенида галлия концентрированной плавиковой кислотой в течение 10 мин, промывку пластины дистиллированной водой, сушку на воздухе, окисление пластины в присутствии активного хемостимулятора оксид свинца (II) при температуре 530°C скорости потока кислорода 30 л/ч в течение 40 мин, отличающийся тем, что окисление проводится в присутствии оксида иттрия (III), причем его количественное содержание варьируется от 0 до 100 мол.% от оксида свинца (II).