СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ УЛЬТРАЧИСТОГО КРЕМНИЯ

1. Способ получения ультрачистого кремния посредством термического разложения соединения кремния, отличающийся тем, что соединение кремния для разложения смешивают с газом-носителем, который имеет температуру, при которой происходит термическое разложение соединения кремния.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что энергию, необходимую для разложения соединения кремния по меньшей мере частично, предпочтительно - полностью, обеспечивает газ-носитель.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что разложение соединения кремния осуществляют в условиях, при которых ультрачистый кремний получают в жидкой форме.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что разложение соединения кремния происходит при температуре, превышающей температуру плавления кремния, в частности - при температуре ≥1410°С.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-носитель перед смешиванием с соединением кремния нагревают до температуры, превышающей температуру плавления кремния, в частности - до температуры ≥1410°С.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-носитель перед смешиванием с соединением кремния нагревают до температуры в диапазоне от 1410°С до 4000°С, в частности - в диапазоне от 2000°С до 4000°С.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что соединение кремния является кремнийводородным соединением.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-носитель является водородом.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-носитель перед смешиванием с соединением кремния нагревают в генераторе плазмы.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что смесь соединения кремния и газа-носителя доводят до температуры, лежащей в диапазоне от 1600°С до 1800°С.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание соединения кремния в смеси лежит в диапазоне от 5 мас.% до 99 мас.%.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что смесь соединения кремния и газа-носителя подают в реактор.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что смесь подают в реактор со скоростью потока в диапазоне от 200 м/с до 400 м/с.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве газа-носителя используют водород, образующийся при термическом разложении кремнийводородного соединения.
15. Реактор для получения ультрачистого кремния посредством термического разложения соединения кремния, в частности - способом по любому из пп.1-14, содержащий термостойкую внутреннюю полость, в которую можно подать смесь соединения кремния с газом-носителем, нагретым до температур >1410°С, выпускную трубу для газообразных продуктов разложения и выпускное устройство для жидкого кремния.
16. Реактор по п.15, отличающийся тем, что по меньшей мере один участок внутренней полости реактора является по существу цилиндрическим.
17. Реактор по п.15, отличающийся тем, что он содержит предпочтительно тангенциально впадающий во внутреннюю полость канал, через который можно подавать смесь соединения кремния с газом-носителем.
18. Реактор по п.15, отличающийся тем, что выпускное устройство для газообразных продуктов разложения содержит фильтр в форме трубы, открытой с одной стороны, которая предпочтительно вертикально расположена во внутренней полости реактора.
19. Установка для получения ультрачистого кремния, содержащая реактор по любому из пп.15-18.
20. Установка по п.19, отличающаяся тем, что она содержит нагревательное устройство, в котором газ-носитель можно нагреть до температуры >1410°С, в частности - до температуры в диапазоне от 2000°С до 4000°С.
21. Установка по п.20, отличающаяся тем, что нагревательное устройство является генератором плазмы.