МНОГОСЛОЙНЫЙ ДЕТЕКТОР И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОТОКА ЭЛЕКТРОНОВ

1. Детектор для измерения интенсивности генерированного потока (106) электронов, содержащий:
многослойную композитную конструкцию (104; 200; 300; 400; 500; 600; 608; 616; 700; 800), имеющую проводящий сердечник (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802), изолирующий слой (112; 404; 506; 508; 604; 612; 620; 708; 804), сформированный на проводящем сердечнике, и внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806), электрически соединенный с потенциалом и сформированный на изолирующем слое, и
опору (116), конфигурированную для размещения композитной конструкции на одной линии с генератором (102) потока электронов между генератором (102) потока электронов и целевым участком поверхностью (108) на прямой траектории потока (106) электронов, генерируемого генератором (102) потока электронов.
2. Детектор по п.1, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806) подключен к нулевому потенциалу детектора (104; 200; 300; 400; 500; 600; 608; 616; 700; 800).
3. Детектор по п.1, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806) подключен к потенциалу, достаточному для обеспечения мощности, с которой электроны вырываются из плазмы вблизи детектора (104; 200; 300; 400; 500; 600; 608; 616; 700; 800).
4. Детектор по п.1, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806) окружает проводящий сердечник (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802).
5. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
генератор (102) потока электронов для испускания потока (106) электронов вдоль заданной траектории, и
вакуумную камеру (124), в которой размещена нить (122) накала генератора (102) потока электронов.
6. Детектор по п.5, отличающийся тем, что содержит опору (126) для закрепления облучаемого материала на целевом участке (108), причем детектор размещен между генератором (102) потока электронов и целевым участком (108).
7. Детектор по п.5, отличающийся тем, что композитная конструкция сформирована на окне (128) выхода потока электронов вакуумной камеры (124).
8. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
измеритель величины тока (132; 206; 208; 412; 512; 514; 714) для измерения электрического тока в проводящем сердечнике (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802) как меры интенсивности потока электронов.
9. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
матрицу композитных конструкций (302), сформированную в виде сетки для измерения интенсивности потока (106) электронов в каждой из многочисленных позиций на траектории.
10. Детектор по п.8, отличающийся тем, что композитные конструкции расположены под углами относительно заданного направления движения облучаемого материала в пределах целевого участка (108), и в плоскости, перпендикулярной заданной траектории потока (106) электронов.
11. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
второй проводящий сердечник (504; 704), сформированный на изолирующем слое (506; 708); и
второй изолирующий слой (508; 708), сформированный на втором проводящем сердечнике (504; 704), причем внешний проводящий слой (510; 702) сформирован на втором изолирующем слое (508; 708) так, что второй проводящий сердечник (504; 704) и второй изолирующий слой (508; 708) сформированы между первым проводящим сердечником (502; 706) и внешним проводящим слоем (510; 702).
12. Детектор по п.11, отличающийся тем, что он ориентирован вдоль траектории так, что электроны, генерируемые вдоль траектории, до вступления в контакт с проводящим сердечником, проникают через внешний проводящий слой (510; 702) и второй проводящий сердечник (504; 704).
13. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
множество проводящих сердечников (502; 504; 704; 706), разделенных изолирующим слоем (506; 708).
14. Детектор по п.1, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114) содержит участок уменьшенной толщины, чтобы обеспечить образование окна (130) уменьшенного поперечного сечения.
15. Детектор по п.1, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114) содержит множество окон (130), образованных путем изменения размеров.
16. Детектор по п.1, отличающийся тем, что содержит
множество композитных конструкций (202; 204), причем внешний проводящий слой каждой композитной конструкции содержит множество окон, сформированных путем изменения размеров, при этом множество композитных конструкций (202; 204) расположены рядом на траектории (106) потока электронов так, что окно, имеющее первый размер по длине первой композитной конструкции (202), параллельно окну, имеющему второй размер по длине второй композитной конструкции (204).
17. Детектор по п.16, отличающийся тем, что содержит
первый детектор (206) тока и второй детектор (208) тока для измерения тока в проводящем сердечнике каждой первой и второй композитных конструкций (202; 204), и
процессор (210) для сложения выходных сигналов первого детектора (206) тока и второго детектора (208) тока для идентификации ассиметрий интенсивности потока электронов.
18. Способ облучения целевого участка (108) потоком электронов (106), излучаемых вдоль траектории, заключающийся в том, что
излучают поток электронов (106) через окно (128) выхода электронов вдоль траектории,
детектируют поток электронов (106), излучаемый из окна (128) выхода электронов, причем детектирование осуществляют посредством многослойной композитной конструкции (104; 200; 300; 400; 500; 600; 608; 616; 700; 800), имеющей проводящий сердечник (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802), изолирующий слой (112; 404; 506; 508; 604; 612; 620; 708; 804), сформированный на проводящем сердечнике, и внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806), сформированный на изолирующем слое, причем внешний проводящий слой подключен к потенциалу.
19. Способ по п.18, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806) подключен к нулевому потенциалу.
20. Способ по п.18, отличающийся тем, что внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806) подключен к потенциалу, достаточному для обеспечения мощности, с которой электроны вырываются из плазмы вблизи детектора.
21. Способ по п.18, отличающийся тем, что используют композитную конструкцию, которая содержит второй проводящий сердечник (504; 704) и второй изолирующий слой (506; 708), при этом внешний проводящий слой (510; 702) сформирован на втором изолирующем слое (506; 708) так, что второй проводящий сердечник (504; 704) и второй изолирующий слой (506; 708) сформированы между первым проводящим сердечником (502; 706) и внешним проводящим слоем (510; 702), способ заключается в том, что
распределяют энергию потока электронов (106) путем детектирования электронов, контактирующих с первым проводящим сердечником (502; 706) и вторым проводящим сердечником (504; 704).
22. Способ по п.21, отличающийся тем, что
используют, по меньшей мере, три проводящих сердечника, которые изолируют друг от друга.
23. Способ по п.18, отличающийся тем, что
измеряют электрический ток проводящего сердечника (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802), который служит мерой интенсивности потока электронов.
24. Способ по п.18, отличающийся тем, что детектирование осуществляют посредством множества композитных конструкций, при этом способ заключается в том, что
сравнивают уровень электрического тока, детектируемого, по меньшей мере, в двух различных композитных конструкциях, который служит мерой распределения интенсивности потока электронов.
25. Аппарат для облучения целевого участка (108) потоком (106) электронов вдоль траектории, содержащий
средство (102) излучения потока электронов (106) через окно (128) выхода электронов вдоль траектории,
средство для детектирования потока (106) электронов, выходящих из окна (128) выхода электронов, причем детектирование осуществляется посредством композитной конструкции (104; 200; 300; 400; 500; 600; 608; 616; 700; 800) содержащей проводящий сердечник (110; 402; 502; 504; 602; 610; 618; 704; 706; 802), изолирующий слой (112; 404; 506; 508; 604; 612; 620; 708; 804), сформированный на проводящем сердечнике, и внешний проводящий слой (114; 406; 510; 606; 614; 622; 702; 806), сформированный на изолирующем слое, при этом внешний проводящий слой подключен к потенциалу.