ВИБРАЦИОННЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР

Вибрационный микромеханический акселерометр, содержащий инерционную массу, закрепленную с зазором относительно диэлектрической подложки с помощью пары внутренних резонаторов, отличающийся тем, что он содержит две пары П-образных упругих перемычек, поддерживающих инерционную массу, и расположенную с зазором относительно диэлектрической подложки раму, закрепленную на опорных элементах через две пары П-образных упругих перемычек и пары внешних резонаторов, ось чувствительности которых ортогональна оси чувствительности пары внутренних резонаторов.