ЭЛЕКТРОННЫЙ УЗЕЛ, КОТОРЫЙ ВКЛЮЧАЕТ В СЕБЯ УЛОЖЕННЫЕ ДРУГ НА ДРУГА ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА

1. Электронный узел, содержащий:
первое электронное устройство, которое включает в себя полость, углубляющуюся в заднюю сторону первого электронного устройства,
при этом первое электронное устройство включает в себя промежуточную пластину на передней стороне первого электронного устройства, при этом полость в первом электронном устройстве углубляется сквозь первое электронное устройство до промежуточной пластины; и
второе электронное устройство, установленное на первом электронном устройстве в пределах полости в первом электронном устройстве.
2. Электронный узел по п. 1, в котором по меньшей мере одно из первого электронного устройства и второго электронного устройства представляет собой кристалл.
3. Электронный узел по п. 1, в котором второе электронное устройство припаяно к первому электронному устройству.
4. Электронный узел по п. 1, в котором полость в первом электронном устройстве углубляется частично сквозь первое электронное устройство.
5. Электронный узел по п. 1, в котором второе электронное устройство установлено на промежуточной пластине.
6. Электронный узел по п. 1, в котором первое электронное устройство включает в себя сквозные кремниевые межсоединения, электрически соединенные со вторым электронным устройством.
7. Электронный пакет, содержащий:
подложку;
первое электронное устройство, установленное на подложке, причем первое электронное устройство включает в себя полость, углубляющуюся в заднюю сторону первого электронного устройства,
при этом первое электронное устройство включает в себя промежуточную пластину на передней стороне первого электронного устройства, при этом полость в первом электронном устройстве углубляется сквозь первое электронное устройство до промежуточной пластины; и
второе электронное устройство, установленное на первом электронном устройстве в пределах полости в первом электронном устройстве.
8. Электронный пакет по п. 7, в котором первое электронное устройство включает в себя сквозные кремниевые межсоединения, электрически соединяющие второе электронное устройство с подложкой.
9. Электронный пакет по п. 7, дополнительно содержащий третье электронное устройство, установленное по меньшей мере на одном из первого электронного устройства и второго электронного устройства.
10. Электронный пакет по п. 9, в котором третье электронное устройство установлено на первом электронном устройстве и втором электронном устройстве.
11. Электронный пакет по п. 9, в котором третье электронное устройство припаяно по меньшей мере к одному из первого электронного устройства и второго электронного устройства.
12. Электронный пакет по п. 11, в котором по меньшей мере одно из первого электронного устройства, второго электронного устройства и третьего электронного устройства представляет собой кристалл.
13. Электронный пакет по п. 7, в котором второе электронное устройство припаяно к первому электронному устройству.
14. Электронный пакет по п. 7, в котором полость в первом электронном устройстве углубляется частично сквозь первое электронное устройство.
15. Электронный пакет по п. 7, в котором первое электронное устройство включает в себя сквозные кремниевые межсоединения, электрически соединяющие первое электронное устройство со вторым электронным устройством.
16. Электронный пакет, содержащий:
подложку;
первое электронное устройство, припаянное к подложке, причем первое электронное устройство включает в себя полость, углубляющуюся в заднюю сторону первого электронного устройства,
при этом первое электронное устройство включает в себя промежуточную пластину на передней стороне первого электронного устройства, при этом полость в первом электронном устройстве углубляется сквозь первое электронное устройство до промежуточной пластины;
второе электронное устройство, припаянное к первому электронному устройству в пределах полости первого электронного устройства; и
третье электронное устройство, припаянное по меньшей мере к одному из первого электронного устройства и второго электронного устройства.
17. Электронный пакет по п. 16, в котором по меньшей мере одно из первого электронного устройства, второго электронного устройства и третьего электронного устройства представляет собой кристалл.
18. Электронный пакет по п. 16, в котором полость первого электронного устройства углубляется частично сквозь первое электронное устройство.