УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для наноперемещений.
Известно устройство для наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку. [Патент РФ на ПМ №65300, кл. H01L 41/100, 27.07.2007, Бюл №21 (аналог)]
Недостатком аналога является возможность воздействия внешней среды с частичками пыли на процесс выполнения технологической операции.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для наноперемещений, содержащее неподвижное основание, жестко связанный с ним пьезопривод и установленный на нем зонд. [Патент РФ на ПМ №42693, кл. 7 Н01Н 41/100, 10.12.2009, Бюл №34 (прототип)].
Недостатком прототипа также является возможность воздействия внешней среды с частичками пыли на процесс выполнения технологической операции.
В основу полезной модели положена техническая задача, заключающаяся в том, чтобы устранить возможность воздействия внешней среды на процесс выполнения технологической операции.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для наноперемещений, содержащее неподвижную платформу, установленный на платформе пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, установленную на подложкодержателе и электрически связанную с зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено блоком пьезокерамических колец, закрепленным соосно с зондом на торце пьезопривода, причем нижнее кольцо выполнено с треугольным заостренным профилем, блок пьезокерамических колец снабжен полимерной прокладкой, размещенной на острие нижнего кольца, блок пьезокерамических колец электрически связан с независимым источником питания.
Введение в устройство наноперемещения блока пьезокерамических колец, закрепленных на торце пьезопривода, нижнего кольца, выполненного с возможностью контактного взаимодействия с подложкой посредством заостренного треугольного профиля, позволяет герметизировать устройство наноперемещения от возможности воздействия внешней среды в процессе выполнения технологического процесса.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где изображено устройство для наноперемещений.
Устройство для наноперемещения (фиг.1) содержит неподвижную платформу 1, установленный на ней пьезопривод 2, на торце которого закреплен зонд 3, подложку 4, установленную на подложкодержателе 5. На торце пьезопривода соосно зонду 3 закреплен блок пьезокерамических колец 6, причем нижнее кольцо 7 выполнено с заостренным треугольным профилем 8, что обеспечивает возможность контактного взаимодействия с подложкой 4, блок пьезокерамических колец 6 снабжен полимерной прокладной 9, расположенной на острие нижнего кольца 7. Блок пьезокерамических колец 6 связан с независимым источником питания (на фиг.1 условно не показан).
Устройство для наноперемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезопривод 2 происходит механическая деформация. В результате зонд 3 перемещается. При подаче напряжения на блок пьезокерамических колец 6 происходит их механическая деформация, причем нижнее кольцо 7 с треугольным профилем 8 с полимерной прокладкой 9 контактируюет с подложкой 4, в результате чего происходит герметизация устройства наноперемещения.
Применение предлагаемого устройства для наноперемещений позволяет устранить возможность воздействия внешней среды на процесс выполнения технологической операции.