ПОКРЫТИЕ ИЗ НИТРИДА УГЛЕРОДА И ИЗДЕЛИЕ С ТАКИМ ПОКРЫТИЕМ

2
1. Способ нанесения посредством лазерной абляции покрытия из нитрида углерода на выбранную поверхность изделия, отличающийся тем, что однородная зона поверхности, на которую должно быть нанесено покрытие, составляет по меньшей мере 0,2 дм, а покрытие наносят посредством ультракоротких лазерных импульсов, осуществляя сканирование лазерного пучка с помощью вращающегося оптического сканера, содержащего, по меньшей мере, одно зеркало для отражения лазерного пучка.
2
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что однородная зона поверхности составляет по меньшей мере 0,5 дм.
2
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что однородная зона поверхности составляет по меньшей мере 1,0 дм.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоту следования лазерных импульсов выбирают составляющей по меньшей мере 1 МГц.
2
-9
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерную абляцию осуществляют в вакууме при давлении 98·10-98·10 Па.
2
-1
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что нанесение осуществляют в вакууме при давлении 98·10-98·10 Па.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что расстояние между мишенью и указанной однородной зоной поверхности выбирают меньшим 25 см, предпочтительно меньшим 15 см и наиболее предпочтительно меньшим 10 см.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что облучаемую поверхность мишени подвергают многократной абляции для получения бездефектного покрытия.
2
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что средняя шероховатость покрытия, нанесенного на указанную однородную зону поверхности, составляет по результатам сканирования участка 1 мкм с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ) менее 100 нм.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что оптическое пропускание покрытия, нанесенного на однородную зону поверхности, составляет не менее 88%, предпочтительно не менее 90% и наиболее предпочтительно не менее 92%.
2
2
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что покрытие, нанесенное на однородную зону поверхности, содержит менее одного микроотверстия на 1 мм, предпочтительно менее одного микроотверстия на 1 см и наиболее предпочтительно не содержит микроотверстий в однородной зоне поверхности.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что покрытие на однородную зону поверхности наносят таким образом, что первые 50% указанного покрытия не содержат никаких частиц с диаметром, превышающим 1000 нм, предпочтительно 100 нм и наиболее предпочтительно 30 нм.
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что однородная зона поверхности на покрываемом изделии содержит кристаллическую структуру.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что однородная зона поверхности на покрываемом изделии содержит графитистую структуру.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанная поверхность является однородной.
16. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что толщина покрытия, нанесенного на однородную поверхность изделия, составляет от 20 нм до 20 мкм, предпочтительно от 100 нм до 5 мкм.
2
17. Изделие, имеющее поверхность, на которую посредством лазерной абляции нанесено покрытие из нитрида углерода, отличающееся тем, что покрытая однородная зона поверхности составляет по меньшей мере 0,2 дм, а покрытие нанесено с использованием ультракоротких лазерных импульсов при сканировании лазерного пучка с помощью вращающегося оптического сканера, содержащего, по меньшей мере, одно зеркало для отражения лазерного пучка.
2
18. Изделие по п.17, отличающееся тем, что однородная зона поверхности составляет по меньшей мере 0,5 дм.
2
19. Изделие по п.18, отличающееся тем, что однородная зона поверхности составляет по меньшей мере 1,0 дм.
2
20. Изделие по п.17, отличающееся тем, что средняя шероховатость покрытия, нанесенного на однородную зону поверхности, составляет по результатам сканирования участка 1 мкм с помощью АСМ менее 100 нм
21. Изделие по п.17, отличающееся тем, что оптическое пропускание покрытия, нанесенного на однородную зону поверхности, составляет не менее 88%, предпочтительно не менее 90% и наиболее предпочтительно не менее 92%
2
2
22. Изделие по п.17, отличающееся тем, что покрытие, нанесенное на однородную зону поверхности, содержит менее одного микроотверстия на 1 мм, предпочтительно менее одного микроотверстия на 1 см и наиболее предпочтительно не содержит микроотверстий в однородной зоне поверхности.
23. Изделие по п.17, отличающееся тем, что покрытие на однородную зону поверхности нанесено таким образом, что первые 50% указанного покрытия не содержат никаких частиц с диаметром, превышающим 1000 нм, предпочтительно 100 нм и наиболее предпочтительно 30 нм.
24. Изделие по любому из пп.17-23, отличающееся тем, что толщина покрытия, нанесенного на однородную поверхность изделия, составляет от 20 нм до 20 мкм, предпочтительно от 100 нм до 5 мкм.