ИСТОЧНИК ДЛЯ МЕТОДОВ ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, УСТРОЙСТВО ДЛЯ МОНТАЖА ЭТОГО ИСТОЧНИКА И СПОСОБ МОНТАЖА И ИЗВЛЕЧЕНИЯ ЭТОГО ИСТОЧНИКА

1. Источник для методов осаждения из газовой фазы, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично в фитинге источника, имеющемся в реакторе для осаждения из газовой фазы, где источник содержит камеру (1) для твердого или жидкого материала (3) источника, имеющую по меньшей мере одну по меньшей мере частично открытую стенку, и изолирующие средства в виде кожуха, выполненные с возможностью установки на стенке камеры (1) для изоляции камеры от окружающей среды, причем изолирующие средства в виде кожуха и камера (1) выполнены с возможностью скольжения друг относительно друга для открытия и/или закрытия камеры (1) после установки источника в фитинге источника, отличающийся тем, что содержит стержень (5), имеющий первый конец (11) и второй конец (9) и камеру (1), расположенную у второго конца (9) или рядом с ним.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью перемещения изолирующих средств в виде кожуха относительно камеры (1) или перемещения камеры (1) относительно изолирующих средств для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что камера (1) является тиглем источника, выполненным с возможностью приема твердого или жидкого материала (3) источника.
4. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха дополнительно содержат уплотнения (19), предусмотренные на стержне (5) по меньшей мере на одной стороне камеры (1) в продольном направлении стержня, так что уплотнения (19) прижимаются к внутренней поверхности трубы (7) после установки трубы (7) на стержне (5).
5. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью перемещения стержня (5) в направлении его продольной оси относительно изолирующих средств в виде кожуха или перемещения изолирующих средств в виде кожуха в направлении продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
6. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха содержат трубу (7), имеющую первый конец (15) и второй конец (13), выполненную с возможностью установки по меньшей мере частично вокруг стержня (5) так, чтобы, по существу, изолировать камеру (1) от окружающей среды.
7. Источник по п.1, отличающийся тем, что изолирующие средства в виде кожуха содержат, по существу, плоский или изогнутый кожух, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично на открытой стенке камеры (1) так, чтобы, по существу, изолировать камеру (1) от окружающей среды.
8. Источник по п.6, отличающийся тем, что стержень (5) является более длинным, чем труба (7), так что камера (1) может открываться или закрываться за счет того, что стержень (5) выполнен с возможностью перемещения в направлении его продольной оси в трубе (7) до тех пор, пока по меньшей мере часть камеры (1) у второго конца (9) стержня (5) или рядом с ним не выйдет из второго конца (13) трубы (7) или, таким же образом, пока камера (1) снова не войдет полностью в трубу (7).
9. Источник по п.5, отличающийся тем, что средства управления для открытия и/или закрытия камеры (1) содержат первый фланец (25), установленный на первом конце (11) стержня (5), и второй фланец (27), установленный на первом конце (15) трубы (7) или кожуха, причем средства управления содержат по меньшей мере одну пружину (17), расположенную между первым фланцем (25) стержня (5) и вторым фланцем (27) трубы (7) или кожуха.
10. Источник по п.9, отличающийся тем, что при несжатом состоянии пружины (17) камера (1), по существу, изолирована от окружающей среды и закрыта и при сжатом состоянии пружины (17) камера (1) по меньшей мере частично открыта.
11. Источник по п.9, отличающийся тем, что средства управления дополнительно содержат средства для сжатия пружины (17) для открытия камеры (1) и/или для отпускания пружины (17) для закрытия камеры (1).
12. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью поворота стержня (5) вокруг его оси относительно трубы (7) или кожуха или поворота кожуха вокруг продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
13. Источник по п.6, отличающийся тем, что труба (7) содержит отверстие, углубление или пористую часть, которые при помощи средств управления могут перемещаться так, чтобы находиться рядом с камерой (1) и/или на расстоянии от нее для открытия и/или закрытия камеры.
14. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит средства управления, выполненные с возможностью поворота стержня (5) в направлении его продольной оси относительно трубы (7) или кожуха или перемещения трубы (7) или кожуха в направлении продольной оси стержня (5) относительно стержня (5) и поворота стержня (5) вокруг его оси относительно трубы (7) или кожуха или поворота трубы (7) или кожуха вокруг оси стержня (5) относительно стержня (5) для открытия и/или закрытия камеры (1), по существу, изолированной от окружающей среды.
15. Источник по п.1, отличающийся тем, что средства управления соединены со средствами управления, предусмотренными в реакторе для осаждения из газовой фазы, таким образом, чтобы обеспечить возможность приведения в действие средств управления для открытия и/или закрытия камеры (1).
16. Источник по п.1, отличающийся тем, что камера (1), и/или стержень (5), и/или изолирующее устройство в виде кожуха изготовлены по меньшей мере частично из стекла.
17. Источник по п.1, отличающийся тем, что стержень (5) дополнительно содержит канал (30) для направления потока газа-носителя, продувочного газа и тому подобного над камерой (1).
18. Устройство для установки источника в реакторе для осаждения из газовой фазы, содержащее по меньшей мере один фитинг источника для источника, соединенный с реакционной емкостью реактора для осаждения из газовой фазы, источник, выполненный с возможностью установки по меньшей мере частично в фитинге источника или пространстве источника, соединенном с фитингом источника, принимающее устройство в фитинге источника для приема источника, загрузочное устройство для установки источника на своем месте в фитинге источника для использования, камеру (1), предусмотренную в источнике, для твердого или жидкого материала (3) источника и изолирующие средства в виде кожуха (7, 19), по существу, изолирующие камеру (1) от окружающей среды, отличающееся тем, что загрузочные устройства выполнены с возможностью снятия изоляции и открытия камеры (1) источника при закрытии фитинга источника и/или для создания изоляции и закрытия камеры при открытии фитинга источника.
19. Устройство по п.18, отличающееся тем, что изолирующие средства в виде кожуха (7, 19) выполнены с возможностью создания изоляции и открытия камеры (1) и/или снятия изоляции и закрытия камеры (1), когда источник находится в фитинге источника, посредством скольжения изолирующих средств в виде кожуха и камеры (1) друг относительно друга.
20. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит средства управления, содержащиеся в источнике, для открытия и/или закрытия камеры (1), изолированной изолирующими средствами (7, 19) в виде кожуха.
21. Устройство по п.18, отличающееся тем, что принимающее устройство содержит соединительную выемку или приемник для приема источника и/или по меньшей мере камеры (1) источника.
22. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства выполнены с возможностью фиксации источника на месте в фитинге источника и его освобождения.
23. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства имеют ручное управление.
24. Устройство по п.18, отличающееся тем, что загрузочные устройства содержат люк для фиксации источника внутри приемника, содержащегося в фитинге источника.
25. Устройство по п.18, отличающееся тем, что содержит отдельные средства управления, предусмотренные в фитинге источника, для снятия и/или создания изоляции камеры (1) источника изолирующими средствами.
26. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит по меньшей мере один комплект средств для подачи газа-носителя, продувочного газа и тому подобного в фитинг источника.
27. Устройство по п.18, отличающееся тем, что дополнительно содержит нагревающие устройства, предусмотренные в фитинге источника, для нагрева твердого или жидкого материала источника, содержащегося в камере источника.
28. Способ установки источника в реакторе для осаждения из газовой фазы и извлечения этого источника из реактора, включающий в себя следующие стадии:
a) введение источника, содержащего камеру для твердого или жидкого материала, источника, выполненную с возможностью открытия и закрытия, по существу, с изоляцией от окружающей среды, по меньшей мере частично внутрь фитинга источника реактора для осаждения из газовой фазы или емкости источника, соединенной с фитингом источника, когда камера закрыта;
b) закрытие фитинга источника, когда источник находится на месте;
c) открытие камеры источника для использования материала источника посредством скольжения друг относительно друга камеры и изолирующих средств в виде кожуха, установленных по меньшей мере частично на открытой стенке камеры;
d) закрытие камеры источника после использования твердого или жидкого материала источника посредством скольжения друг относительно друга камеры и изолирующих средств в виде кожуха, установленных по меньшей мере частично на открытой стенке камеры;
e) открытие фитинга источника для извлечения источника и
f) извлечение источника из фитинга источника реактора для осаждения из газовой фазы,
отличающийся тем, что стадии b) и с), а также стадии d) и е) объединяют таким образом, что закрытие фитинга источника автоматически открывает камеру, а открытие фитинга источника автоматически закрывает камеру.
29. Способ по п.28, отличающийся тем, что камеру источника, когда она находится в фитинге источника, открывают и закрывают по желанию в соответствии с последовательностью рабочих операций.
30. Способ по п.28 или 29, отличающийся тем, что его применяют для замены источника в фитинге источника.