ПЛАЗМЕННО-ДУГОВОЕ УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЙ

1. Плазменно-дуговое устройство формирования покрытий, содержащее вакуумную камеру (1) с осью O-O1, перпендикулярной плоскости первой координаты X и второй координаты Y и направленной вдоль третьей координаты Z, при этом в вакуумной камере (1) осесимметрично размещены катодный узел (2), включающий катод (3), выполненный из электропроводящего материала, анод (4), который охватывает катод (3) и включающий также экранирующий электрод (5), расположенный между катодом (3) и анодом (4), магнитная система, которая состоит из последовательно размещенных первой электромагнитной катушки (10) с торцевой поверхностью (11), расположенной в плоскости первой координаты X и второй координаты Y, а также второй электромагнитной катушки (15), и держатель подложки (21) с подложкой (22), содержащее также источник питания (25), подключенный к аноду (4) и катоду (3), обеспечивающий возникновение между ними электрической дуги, отличающееся тем, что катодный узел (2) снабжен первым приводным механизмом (30), обеспечивающим перемещение вдоль оси O-O1 катода (3) и вторым приводным механизмом (33), обеспечивающим вращение катода (3) вокруг оси O-O1.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что катод (3) включает рабочую поверхность (35), расположенную в плоскости первой координаты X и второй координаты Y, а величина перемещение катода (3) по оси O-O1 должна быть таковой, чтобы могло осуществляться совмещение плоскости рабочей поверхности (35) катода (3) с плоскостью торцевой поверхности (11) первой электромагнитной катушки (10).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый приводной механизм (30) и второй приводной механизм (33) могут работать независимо друг от друга.
р
4 Устройство по п. 2, отличающееся тем, что уровень оптимального положения рабочей поверхности (35) катода (3) после ее выработки определяется значением тока электрической дуги I.
5. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что в него введен измеритель тока (40) с блоком управления (41) и силовым блоком (42), подключенным к первому приводному механизму (30).
6. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что в него введен оптический датчик (44), оптически сопряженный с рабочей поверхности (35) катода (3) и подключенный к блоку сравнения (46) с силовым блоком 47, соединенным с первым приводным механизмом (30).
7. Устройство по п. 3, отличающееся тем, что второй приводной механизм (33) снабжен регулятором скорости (49), обеспечивающим дискретное включение второго приводного механизма (33).
8. Устройство по п. 6, отличающееся тем, что оптический датчик (44) снабжен подвижным защитным экраном (45).
9. Устройство по п. 8, отличающееся тем, что подвижный защитный экран (45) может занимать два фиксированных положения, первое из которых закрывает оптический датчик (44), а второе открывает оптический датчик (44).
10. Устройство по п. 9, отличающееся тем, что подвижный защитный экран (45) может занимать второе фиксированное положение, открывающее оптический датчик (44) при отсутствии тока электрической дуги.