СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ БЕСТИГЕЛЬНОЙ ЗОННОЙ ПЛАВКИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ выращивания монокристаллов методом бестигельной зонной плавки, включающий затравление кристалла из расплавленной зоны, выдержку в течение заданного времени и вытягивание монокристалла на затравку из расплавленной зоны в градиенте температуры, в процессе которого осуществляют контроль параметра растущего монокристалла, отличающийся тем, что в качестве контролируемого параметра растущего монокристалла используют величину диаметра центральной симметричной части расплавленной зоны, при этом величину диаметра фронта кристаллизации выбирают с заданной поправкой, учитывающей допустимое отклонение диаметра выращиваемого монокристалла от заданного, и поддерживают эту величину постоянной в течение всего процесса выращивания путем регулирования величины диаметра центральной симметричной части расплавленной зоны.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что регулирование величины диаметра центральной симметричной части расплавленной зоны осуществляют путем изменения скорости перемещения верхнего штока ростовой камеры.
3. Устройство для выращивания монокристаллов методом бестигельной зонной плавки, включающее ростовую камеру с нижним и верхним штоками, видеокамеру, установленную в смотровом окне ростовой камеры, выход видеокамеры через блок обработки сигнала подключен к формирователю управляющего сигнала, выход которого соединен с входом блока автоматического управления скоростью перемещения штоков, подключенного к блоку перемещения штоков, отличающееся тем, что оно снабжено стробоскопом, установленным перед смотровым окном ростовой камеры, и синхронизатором, соединенным с входами синхронизации стробоскопа и видеокамеры, а блок обработки сигнала содержит процессор с подключенными к нему модулями выделения кадра изображения, выделения контура изображения, вычисления диаметра центральной симметричной части расплавленной зоны и вычисления диаметра фронта кристаллизации, при этом процессор соединен с синхронизатором, а выход видеокамеры подключен к входу модуля выделения кадра изображения, который через модуль выделения контура изображения подключен к входам модуля вычисления диаметра фронта кристаллизации и модуля вычисления диаметра центральной симметричной части расплавленной зоны, выходы которых соединены соответственно с первым и вторым усредняющими фильтрами, формирователь управляющего сигнала выполнен в виде двухкаскадного пропорционально-интегрально-дифференциального регулятора, при этом входы первого каскада регулятора, формирующего сигнал, учитывающий фактический фронт кристаллизации монокристалла, соединены соответственно с выходом первого усредняющего фильтра и модулем задания величины поправки, входы второго каскада регулятора, формирующего сигнал, учитывающий диаметр центральной симметричной части расплавленной зоны, соединены соответственно с выходом первого каскада регулятора и выходом второго усредняющего фильтра, а выход второго каскада регулятора подключен к входу блока автоматического управления скоростью перемещения штоков.