МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО, В КОТОРОМ ОПТИЧЕСКАЯ ФУНКЦИЯ ОТДЕЛЕНА ОТ МЕХАНИЧЕСКОЙ И ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ

1. Микроэлектромеханическое устройство, содержащее:
подложку;
подвижный элемент, расположенный поверх подложки, содержащий электрически проводящий деформируемый слой и отражающий элемент, который механически присоединен к деформируемому слою и который имеет отражающую поверхность, расположенную на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в целом параллельного отражающей поверхности; и
активирующий электрод, расположенный по меньшей мере под частью деформируемого слоя сбоку от отражающей поверхности, при этом подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения в направлении к подложке или от нее в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
2. Устройство по 1, в котором неподвижная часть устройства выполнена с возможностью работы в качестве ограничителя перемещения подвижного элемента.
3. Устройство по п.2, в котором подвижный элемент выполнен с возможностью перемещения из первого положения, в котором часть подвижного элемента не находится в контакте с неподвижной частью, во второе положение, в котором указанная часть находится в контакте с неподвижной частью в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
4. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к верхней поверхности деформируемого слоя.
5. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент механически присоединен к нижней поверхности деформируемого слоя.
6. Устройство по п.1, в котором подвижный элемент дополнительно содержит по меньшей мере один соединительный элемент, соединяющий отражающий элемент с деформируемым слоем.
7. Устройство по п.6, в котором первый соединительный элемент механически присоединен к первому краю отражающего элемента, а второй соединительный элемент механически присоединен ко второму краю отражающего элемента, причем первый край расположен, по существу, напротив второго края.
8. Устройство по п.6, в котором отражающий элемент имеет края, причем механическое соединение каждого края отражающего элемента с деформируемым слоем обеспечено указанным по меньшей мере одним соединительным элементом.
9. Устройство по п.6, в котором указанный по меньшей мере один соединительный элемент содержит по меньшей мере один выступ, расположенный на отражающем элементе.
10. Устройство по п.1, в котором отражающая поверхность не находится в контакте с верхней поверхностью подложки, когда между активирующим электродом и деформируемым слоем создана активирующая разность напряжений.
11. Устройство по п.1, в котором расстояние между отражающей поверхностью и верхней поверхностью подложки больше расстояния между деформируемым слоем и верхней поверхностью подложки.
12. Устройство по п.1, в котором расстояние между деформируемым слоем и верхней поверхностью подложки больше расстояния между отражающей поверхностью и верхней поверхностью подложки.
13. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность подложки.
14. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность активирующего электрода.
15. Устройство по п.1, в котором неподвижная часть устройства содержит верхнюю поверхность изолирующего слоя, расположенного между активирующим электродом и деформируемым слоем.
16. Устройство по п.1, в котором создание разности напряжений между активирующим электродом и деформируемым слоем вызывает смещение деформируемого слоя и смещение отражающей поверхности, причем деформируемый слой характеризуется смещением, параллельным смещению отражающей поверхности, на иную плоскость, нежели отражающая поверхность.
17. Устройство по п.1, дополнительно содержащее еще один активирующий электрод, расположенный над подвижным элементом, который выполнен с возможностью проявления в ответ на разность напряжений, созданную между указанным еще одним активирующим электродом и подвижным элементом, реакции в виде перемещения в направлении от подложки.
18. Устройство по п.17, дополнительно содержащее изолирующий слой между указанным еще одним активирующим электродом и подвижным элементом.
19. Устройство по п.18, в котором изолирующий слой сформирован на верхней поверхности подвижного элемента.
20. Устройство по п.18, в котором изолирующий слой сформирован на нижней поверхности другого активирующего электрода.
21. Устройство по п.1, дополнительно содержащее:
дисплей;
процессор, выполненный с возможностью взаимодействия с упомянутым дисплеем и обработки видеоданных; и
запоминающее устройство, выполненное с возможностью взаимодействия с указанным процессором.
22. Устройство по п.21, дополнительно содержащее схему формирователя, выполненную с возможностью передачи на дисплей по меньшей мере одного сигнала.
23. Устройство по п.22, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью передачи по меньшей мере части видеоданных в схему формирователя.
24. Устройство по п.21, дополнительно содержащее модуль видеоисточника, выполненный с возможностью передачи указанных видеоданных в процессор.
25. Устройство по п.24, в котором модуль видеоисточника содержит по меньшей мере один из следующих компонентов: приемник, приемопередатчик и передатчик.
26. Устройство по п.21, дополнительно содержащее устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и их передачи в процессор.
27. Устройство по п.1, в котором подложка является по меньшей мере частично прозрачной.
28. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент выполнен с возможностью отражения первого цвета, когда находится в первом положении, и отражения второго цвета, когда находится во втором положении.
29. Устройство по п.1, в котором отражающий элемент является полностью отражающим.
30. Способ изготовления микроэлектромеханического устройства, согласно которому:
формируют сверху подложки активирующий электрод;
формируют сверху активирующего электрода временный слой;
формируют сверху временного слоя электропроводный деформируемый слой, по меньшей мере под частью которого расположен активирующий электрод;
формируют поверх временного слоя отражающий элемент, механически соединенный с деформируемым слоем и имеющий отражающую поверхность, расположенную сбоку от активирующего электрода на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в общем параллельного отражающей поверхности; и
удаляют временный слой, причем после удаления временного слоя оказывается сформирован подвижный элемент, содержащий деформируемый слой и отражающий элемент и выполненный с возможностью перемещения в направлении к подложке или от нее в ответ на разность напряжений, созданную между активирующим электродом и деформируемым слоем.
31. Устройство, изготовленное согласно способу по п.30.
32. Способ модуляции света, согласно которому:
берут дисплейный элемент, содержащий подложку, подвижный элемент, расположенный сверху подложки, и активирующий электрод, причем подвижный элемент содержит электропроводный деформируемый слой и отражающий элемент, который механически соединен с деформируемым слоем и который имеет отражающую поверхность, расположенную на расстоянии от деформируемого слоя вдоль направления, в общем параллельного отражающей поверхности, при этом активирующий электрод расположен по меньшей мере под частью деформируемого слоя сбоку от отражающей поверхности; и
создают между активирующим электродом и деформируемым слоем разность напряжений, которое в свою очередь создает на деформируемом слое притягивающую силу, перемещающую подвижный элемент в направлении к подложке или от нее.