СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧЕНИЯ

2
4
2
4
Способ получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, содержащих включения нанокристаллов кремния с объемной долей, не превышающей 15%, и размером не более 10 нм, включающий плазмохимическое осаждение смеси газов водорода (H) и тетрафторида кремния (S1F) на твердотельную подложку при объемном отношении газов [H]/[SiF] от 4 до 10, частоте разряда 30÷80 МГц и плотности мощности разряда 5÷110 мВт/см, при этом плазмохимическое осаждение осуществляют при давлении не ниже 2000 мТорр, обеспечивающем формирование кремниевых нанокристаллов непосредственно в плазме тлеющего разряда.