ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ

1. Подложкодержатель, содержащий грузонесущую часть с местами для размещения и фиксации подложек для обработки и опору, с которой они соединены с помощью державок, отличающийся тем, что грузонесущая часть выполнена расчлененной на модули, каждый из которых соединен с приводом и установлен на опоре с возможностью автономной поштучной, а также групповой передачи в одну из фиксированных позиций: ожидания или обработки с размещением обрабатываемых поверхностей всех подложек по нормали к вектору потока распыляемого материала.
2. Подложкодержатель по п.1, отличающийся тем, что модули выполнены роторными, имеющими вид разъемного неподвижного соединения грузонесущей части (насадки-ротора) и поворотной державки, установленной на оси, жестко закрепленной в разнесенных по ее концам гнездах.
3. Подложкодержатель по п.2, отличающийся тем, что насадка выполнена в виде сектора отсекаемого радиусами, образующими угол γ≤π.
4. Подложкодержатель по пп.2 и 3, отличающийся тем, что насадка выполнена прямоугольной.
5. Подложкодержатель по п.4, отличающийся тем, что отношение высоты прямоугольной насадки к ее длине равно 0,5.
6. Подложкодержатель по п.1, отличающийся тем, что модули выполнены рамочными в виде насадок-рамок подвижно установленных на направляющих в обойме.
7. Подложкодержатель по п.6, отличающийся тем, что направляющие насадок смонтированы в обойме с возможностью выполнения установочных перемещений.
8. Подложкодержатель по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один его модуль снабжен распорным элементом.
9. Подложкодержатель по п.1, отличающийся тем, что он имеет по меньшей мере один модуль.
10. Подложкодержатель по пп.1 и 9, отличающийся тем, что по меньшей мере один его модуль имеет несколько насадок.
11. Установка для нанесения многослойных нанометрических покрытий с периодической структурой методом магнетронного распыления, содержащая вакуумную камеру, которая включает по меньшей мере две позиции обработки, по количеству которых кольцеобразная площадь вакуумной камеры, перекрытая поворотной относительно ее центральной оси платформой, расчленена на радиально расходящиеся от оси секторы, смонтированные на неподвижной стойке у оси вращения платформы симметрично и параллельно ей, соответственно количеству позиций обработки две магнетронные распылительные системы (МРС), выполненные на постоянных магнитах, имеющие одинаковую полярность с мишенями, размещенные напротив каждой МРС по периферии платформы магнитные узлы противоположной полярности, систему электропитания МРС и источник отрицательного относительно плазмы напряжения смещения, соединенные с платформой и системой электропитания МРС, выполненные импульсными и снабженные устройствами дугогашения, устройства синхронизация работы системы электропитания МРС источника отрицательного относительно плазмы напряжения смещения, систему напуска и контроля давления рабочих газов, отличающаяся тем, что платформа выполнена в виде пустотелого кольцевого цилиндра, смонтированного с возможностью выполнения в автоматическом режиме циклических установочных перемещений подложкодержателей с механизмами их привода из одной позиции обработки в другую (на угол  где n - количество позиций обработки) и датчиками управления по времени, в верхней плоскости перекрытия платформы выполнены проемы для выхода модулей подложкодержателей из позиции ожидания в позицию обработки, внутри платформы под проемами оборудованы специальные площадки для размещения корпусов подложкодержателей с механизмами их перемещения и датчиками управления по времени выстоя, каждый из которых включает направляющие, жестко закрепленные снизу плоскости перекрытия по границам проемов в направлении от периферии к центру платформы, два упора: стационарный, смонтированный на внутреннем обводном каркасе платформы и откидной, смонтированный на внешнем обводном каркасе платформы на затворе, фиксаторы положения корпуса подложкодержателя на направляющих, при этом позиция загрузки размещена за пределами внешнего обводного каркаса ее платформы.
12. Установка по п.11, отличающаяся тем, что корпус снабжен механизмом привода перемещения по направляющим.