СПОСОБ КАРБОТЕРМИЧЕСКОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ

2
1. Способ карботермического восстановления диоксида кремния с использованием в качестве шихты дисперсного порошка SiO, каждая частица которого покрыта слоем углеродного восстановителя, отличающийся тем, что сначала на частицы кремнезема наносят слой кремния, затем наносят слой углеродного восстановителя; полученную композицию при необходимости компактируют и подвергают высокотемпературной обработке до получения целевого продукта, в качестве которого может быть кремний или карбид кремния, или их смесь.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой углеродного восстановителя наносится пиролизом газообразного углеводорода или смеси углеводородов при температуре 1050÷1350К.
4
2
6
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой кремния наносится путем пиролиза при температуре 650÷1200К кремнийсодержащего газа, в качестве которого выбирают по крайней мере один из ряда силанов (SiH, SiH и т.д.).
4
3
2
2
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой кремния наносится путем водородного восстановления при температуре 1150÷1300К кремнийсодержащего газа, в качестве которого выбирают по крайней мере одного из ряда хлорсиланов (SiCl, SiHCl, SiHCl и т.д.).