СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОЛОТОЙ ПЛЕНКИ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЗОЛОТОЙ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ

1. Способ получения золотой пленки с использованием золотой распыляемой мишени, содержащей золото и неизбежные примеси, которая имеет среднее значение твердости по Виккерсу, составляющее от 40 или более до 60 или менее, среднее значение размера кристаллического зерна, составляющее от 15 мкм или более до 200 мкм или менее, и у которой кристаллографическая плоскость золота {110} преимущественно ориентирована к подлежащей распылению поверхности золотой распыляемой мишени,
причем способ содержит:
формирование золотой пленки на пленкообразующем базовом материале путем распыления золотой распыляемой мишени.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что при определении индексов N ориентации кристаллографических плоскостей золота распыляемой мишени согласно следующему уравнению (1), основанному на отношении интенсивностей дифракции каждой из кристаллографических плоскостей золота, которое получено с помощью рентгеновской дифракции для подлежащей распылению поверхности, индекс N ориентации кристаллографической плоскости {110} золота распыляемой мишени составляет более 1 и является наибольшим среди индексов N ориентации всех кристаллографических плоскостей:
(hkl)
(hkl)
(hkl)
причем I/I(hkl) - отношение интенсивностей дифракции плоскости (hkl) при рентгеновской дифракции, JСРDS·I/I - отношение интенсивностей дифракции плоскости (hkl) в карточке JСРDS, Ʃ(I/I)) - сумма отношений интенсивностей дифракции всех кристаллографических плоскостей при рентгеновской дифракции, а Ʃ(JСРDS·I/I) - сумма отношений интенсивностей дифракции всех кристаллографических плоскостей в карточке JСРDS.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что среднее значение твердости по Виккерсу золотой распыляемой мишени составляет от 45 или более до 55 или менее, средний размер кристаллического зерна золотой распыляемой мишени составляет от 30 мкм или более до 150 мкм или менее, и индекс N ориентации кристаллографической плоскости золота {110} составляет 1,3 или более.
4. Способ по п. 1 или 3, отличающийся тем, что вариация твердости по Виккерсу по всей распыляемой мишени находится в пределах ±20%.
5. Способ по п. 1 или 3, отличающийся тем, что вариация среднего размера кристаллических зерен по всей распыляемой мишени находится в пределах ±20%.