СПОСОБ И УСТРОЙСТВО АВТОМАТИЧЕСКОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИН РЕГУЛИРОВАНИЯ ПАРАМЕТРОВ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ЛИНИИ ОСАЖДЕНИЯ

1. Способ автоматического определения величины регулирования, по меньшей мере, одного параметра функционирования линии (3) осаждения, выполняющей осаждение пакета тонких слоев на прозрачную подложку (2), при этом, способ осуществляется при помощи компьютера и включает:
- стадию (Е10) получения математической модели (MOD), соотносящей, по меньшей мере, один параметр функционирования линии осаждения, по меньшей мере, с одной функцией качества, заранее определенной исходя, по меньшей мере, из одного измерения качества пакета тонких слоев, осажденного линией осаждения;
- стадию (Е50) получения величины указанной, по меньшей мере, одной функции качества, исходя из величины указанного, по меньшей мере, одного измерения качества, выполненного на выходе линии осаждения для пакета тонких слоев, осажденного линией осаждения на прозрачную подложку, тогда как на линии осаждения была задана так называемая текущая величина указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования; и
- стадию (Е80) автоматического определения при помощи полученной математической модели величины регулирования текущей величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, позволяющей уменьшить имеющееся расхождение между полученной величиной указанной, по меньшей мере, одной функции качества и целевой величиной, выбранной для указанной, по меньшей мере, одной функции качества пакета тонких слоев.
2. Способ по п. 1, в котором пакет содержит множество тонких слоев, и в котором регулируют множество параметров функционирования, связанных со множеством тонких слоев.
3. Способ определения по п. 1 или 2, в котором величину функции качества получают на основании измерений качества, выполненных в различных точках по всей ширине или поверхности подложки.
4. Способ определения по любому из пп. 1-3, в котором математическая модель (MOD) связывает, по меньшей мере, одно изменение указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования с, по меньшей мере, одним изменением указанной функции качества.
5. Способ определения по любому из пп. 1-4, в котором на указанной линии (3) осаждения для осаждения на прозрачную подложку пакета тонких слоев применена технология катодного распыления.
6. Способ определения по п. 5, в котором указанное катодное распыление проводится в присутствии магнитного поля.
7. Способ определения по любому из пп. 1-6, в котором указанное, по меньшей мере, одно измерение качества включает в себя, по меньшей мере, одно измерение оптического спектра пакета тонких слоев.
8. Способ определения по п. 7, в котором указанное, по меньшей мере, одно измерение качества включает, кроме того, по меньшей мере, одно измерение из следующих:
- измерение электрического свойства пакета тонких слоев;
- измерение механического свойства пакета тонких слоев;
- измерение химического свойства пакета тонких слоев; и
- измерение массы пакета тонких слоев.
9. Способ определения по любому из пп. 1-8, в котором указанная линия осаждения включает множество секций, в которых на прозрачную подложку осаждают указанные тонкие слои, и указанный, по меньшей мере, один параметр функционирования включает в себя:
- по меньшей мере, мощность или напряжение, прикладываемое к катоду  секции линии осаждения; и/или
- по меньшей мере, скорость перемещения подложки относительно катода секции линии осаждения; и/или
- по меньшей мере, давление и/или количество газа, используемого в  секции линии осаждения; и/или
- по меньшей мере, магнитное поле или распределение магнитного поля, приложенного в секции линии осаждения; и/или
- по меньшей мере, настройку механического элемента некоторой секции линии осаждения.
10. Способ определения по любому из пп. 1-9, в котором стадия получения математической модели включает:
- получение величины, именуемой справочной, указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, соответствующего введенным параметрам линии осаждения во время осаждения, именуемого справочным, пакета тонких слоев на подложку;
- получение для множества пакетов тонких слоев, именуемых отладочными, осажденных на подложку линией осаждения, когда в линии осаждения заданы параметры с величинами указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, представляющие собой изменения, определенные относительно указанной справочной величины, множества величин указанной, по меньшей мере, одной функции качества; и
- стадию определения математической модели, исходя из множества величин указанной, по меньшей мере, одной функции качества, полученных для множества отладочных пакетов тонких слоев.
11. Способ определения по любому из пп. 1-10, в котором:
- математическая модель представляет собой полиномиальную модель, дающую изменения величины указанной, по меньшей мере, одной функции качества в зависимости от изменений величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования; и
- стадия определения включает стадию инверсии полиномиальной модели с целью определения указанной величины регулирования.
12. Способ определения по п. 11, в котором стадия инверсии полиномиальной модели включает регуляризацию инверсии.
13. Способ определения по п. 10, в котором линия осаждения включает N секций, при этом, N является целым числом больше 1, при этом, каждая секция соотнесена, соответственно, с одним параметром функционирования P(n), n=1,…,N, и математическая модель представляет собой линейную модель с использованием матрицы M, включающей N столбцов u(n), при этом, каждый столбец определяется как:
,
где var(n) означает разность между величинами указанной, по меньшей мере, одной функции качества,  полученными для двух отладочных пакетов тонких слоев осажденных линией осаждения, на которой задана величина параметра функционирования P(n), представляющая собой изменение +δ(n) относительно справочной величины параметра функционирования P(n), и величиной параметра функционирования P(n), представляющей собой изменение -δ(n) относительно справочной величины параметра функционирования P(n).
14. Способ определения по п. 13, в котором величина регулирования указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования задана как:
,
Т
где v означает расхождение между полученной величиной функции качества и целевой величиной, выбранной для указанной функции качества пакета тонких слоев, и М означает транспонированную матрицу матрицы М.
15. Способ определения по любому из пп. 1-9, в котором математическая модель является полиномиальной моделью, дающей изменения величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования в зависимости от изменений величины функции качества.
16. Способ определения по любому из пп. 1-11 или 15, в котором указанная математическая модель получена с использованием алгоритма автоматической статистической отладки.
17. Способ определения по любому из пп. 1-16, включающий, кроме того, стадию подтверждения полученной математической модели.
18. Компьютерная программа (PROG) включающая команды, предназначенные для осуществления стадий способа определения по любому из пп. 1-17, когда указанная программа выполняется компьютером.
19. Машиночитаемый носитель, считываемый компьютером, на котором записана компьютерная программа по п. 18.
20. Способ задания параметров линии (3) осаждения, выполненной с возможностью осаждения на прозрачную подложку (2) пакета тонких слоев, при этом, способ осуществляются компьютером и включает:
- первую стадию (Е20) задания параметров линии осаждения с величиной, именуемой текущей, по меньшей мере, одного параметра функционирования линии осаждения;
- стадию (Е30) осаждения на подложку линией осаждения, на которой задана указанная текущая величина, пакета тонких слоев;
- стадию автоматического определения величины регулирования текущей величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования с использованием способа автоматического определения по любому из пп. 1-14 и применением величины указанного, по меньшей мере, одного измерения качества, выполненного на выходе линии осаждения для пакета тонких слоев, осажденного на стадии осаждения;
- стадию (Е80) оценки скорректированной величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, исходя из текущей величины и определенной величины регулирования; и
- вторую стадию (Е90) задания параметров линии осаждения со скорректированной величиной указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, прошедшей оценку на стадии оценки.
21. Способ задания параметров по п. 20, в котором стадии осаждения, определения, регулирования и вторую стадию задания параметров осуществляют так, что:
- разность между величиной функции качества, оцененной исходя из указанной величины, измеренной на выходе линии осаждения, и целевой величиной, выбранной для указанной функции качества, больше заданного порога, или
- величина регулирования, определенная для указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, меньше заданного порога.
22. Устройство (16) автоматического определения величины регулирования, по меньшей мере, одного параметра функционирования линии осаждения, выполняющей осаждение пакета тонких слоев на прозрачную подложку, при этом устройство включает:
- первый модуль (16А) получения, предназначенный для получения математической модели, соотносящей, по меньшей мере, один параметр функционирования линии осаждения с, по меньшей мере, одной функцией качества, заранее определенной исходя из, по меньшей мере, одного измерения качества пакета тонких слоев, осажденного линией осаждения;
- второй модуль (16В) получения, выполненный с возможностью получения величины указанной, по меньшей мере, одной функции качества, исходя из величины указанного, по меньшей мере, одного измерения качества, выполненного на выходе линии осаждения для пакета тонких слоев, осажденного на прозрачную подложку, линия осаждения была сконфигурирована посредством так называемой текущей величиной указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования; и
- модуль (16С) определения, выполненный с возможностью автоматического определения при помощи полученной математической модели величины регулирования текущей величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, позволяющей уменьшить имеющееся расхождение между полученной величиной указанной, по меньшей мере, одной функции качества и целевой величиной, выбранной для указанной, по меньшей мере, одной функции качества пакета тонких слоев.
23. Система (1) осаждения на прозрачную подложку (2) пакета тонких слоев, содержащая:
- линию (3) осаждения, выполненную с возможностью  осаждения на прозрачную подложку пакета тонких слоев;
- модуль (14) задания параметров линии осаждения, выполненный с возможностью задания величины, именуемой текущей, по меньшей мере, одного параметра функционирования линии осаждения;
- устройство (16) автоматического определения по п. 19 величины регулирования текущей величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, предназначенное для использования величины, по меньшей мере, одного измерения качества, выполненного на выходе линии осаждения для пакета тонких слоев, осажденного на прозрачную подложку линией осаждения;
- модуль (22) оценки, выполненный с возможностью оценки скорректированной величины указанного, по меньшей мере, одного параметра функционирования, исходя из текущей величины и величины регулирования, определенной устройством определения;
при этом модуль (14) задания параметров, выполненный с возможностью задания скорректированной величины, по меньшей мере, одного параметра функционирования линии осаждения, оцененной модулем оценки.