Технологическое устройство для наноперемещений изделия

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к технологическим устройствам для наноперемещений изделия.
Известно технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей Авт. Свид. СССР № 529509, кл. HO1L21/66, 1976.
Недостатком аналога является невозможность его использования в заданной рабочей среде (жидкости или газе).
Наиболее близким по технологической сущности и достигаемому результату является технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую. стол и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей |Авт. Свид. СССР №1713065, кл. HO2L41,09, 1991.
Недостатком прототипа является также невозможность его использования в заданной рабочей среде (жидкости или газе).
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность использования устройства в заданной рабочей среде, а именно в жидкости или газе. ;,;.;: , Поставленная техническая задача решается тем, что в технологическом устройстве для наноперемещений изделия, содержащем неподвижную нанравляющую, стол и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей, согласно предложенному техническому решению, между ненодвижной направляющей и столом герметично установлен диэлектрический сильфон с возможностью подачи внутрь сильфона и удаления из него рабочей жидкости или газа. Введение в технологическое устройство для наноперемещений изделия диэлектрического сильфона с герметичными элементами и системами подачи внутрь диэлектрического сильфона рабочей жидкости или газа, что и обеспечивает его использование в заданной токопроводящей рабочей среде. Сущность полезной модели ноясняется фиг.1, где показано технологическое устройство для наноперемещений изделия. Технологическое устройство для нанонеремещений изделия (фиг.1) содержит неподвижную направляющую 1. стол 2 и пьечтлектрические преобразователи 3, жестко связанные с неподвижной нанравляющей 1. На пьезоэлектрических преобразователях закреплен зонд 4. Между неподвижной направляющей 1 и столом 2 герметично установлен диэлектрический сильфон 5, с помощью уплотнений 6, 7.Технологическое устройство для наноиеремещений изделия снабжено такжесистемами 8. 9 подачи внутрь диэлектрического сильфона 5 и удаления изнего рабочей жидкости или газа, которые на фиг. 1 условно не показаны. i На столе 2 установлена подложка 10 с возможностью электрического взаимодействия с зондом 4. Стоя 2 снабжен системой шестикоординатных перемещений 11, выполненной по структуре / - координат. Технологическое устройство для наноперемещений изделия работает следующим образом. При перемещении стола 2 по шести координатам с помотлью системы шестикоординатных перемещений И происходит установка подложки 10 напротив зонда 4 и герметизация пространства в котором расположены подложка 10 и зонд 4 с помощью диэлектрического сильфона 5 и уплотнений 6, 7. Внутрь это пространство подается рабочий газ или жидкость с помощью системы подачи 8, а при необходимости удаляется из этого пространства с помощью системы 9 удаления рабочего газа или жидкости. Применение предлагаемого технологического устройства для наноперемещений изделия обеспечивает возможность его работы в заданной токопроводящей рабочей среде, в качестве которой используется жидкость или газ.