УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, СОДЕРЖАЩЕЕ ЭЛЕКТРОД

1. Устройство для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, содержащее:
корпус, имеющий камеру;
вход, выполненный в корпусе для введения газа в камеру;
выход, выполненный в корпусе для выведения газа из камеры;
по меньшей мере, один электрод, имеющий наружную поверхность и проходящий сквозь корпус, причем электрод, по меньшей мере, частично расположен в камере для соединения с захватной частью;
источник питания, соединенный с электродом для подачи на него электрического тока;
6
первое наружное покрытие, нанесенное на наружную поверхность электрода и имеющее удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10Сименс/метр при комнатной температуре; и
второе наружное покрытие, отличающееся от первого наружного покрытия и нанесенное на первое наружное покрытие.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первое наружное покрытие включает металл, выбранный из группы, включающей никель, золото, платину, палладий, серебро, хром, титан и их сочетания.
3
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что второе наружное покрытие имеет более высокую износостойкость, чем первое наружное покрытие, измеряемую в мм/Н*м по методике ASTM G99-5.
4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем первое наружное покрытие нанесено на контактную зону электрода, а второе наружное покрытие нанесено на первое наружное покрытие в указанной контактной зоне.
6
5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие в контактной зоне, включает титансодержащее соединение, имеющее удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
6. Устройство по п.4, отличающееся тем, что наружная поверхность электрода свободна от второго наружного покрытия вне контактной зоны электрода.
7. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем первое наружное покрытие нанесено на электрод вне контактной зоны, и второе наружное покрытие нанесено на первое наружное покрытие вне контактной зоны.
6
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие вне контактной зоны, имеет удельную электропроводность, меньшую 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие вне контактной зоны, включает алмазоподобное углеродное соединение.
10. Устройство по п.4, отличающееся тем, что электрод включает стержень, имеющий первый конец и второй конец, и головку, расположенную на одном из концов стержня, причем головка электрода включает наружную поверхность, имеющую указанную контактную зону.
11. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что, по меньшей мере, один электрод включает первый электрод для приема захватной части на первом конце подложки и второй электрод для приема захватной части на втором конце подложки.
12. Электрод для использования в устройстве для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, причем указанный электрод имеет наружную поверхность, включающую:
6
первое наружное покрытие, нанесенное на наружную поверхность электрода и имеющее удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10Сименс/метр при комнатной температуре, и
второе наружное покрытие, отличающееся от первого наружного покрытия и нанесенное на первое наружное покрытие.
13. Электрод по п.12, отличающийся тем, что первое наружное покрытие включает металл, выбранный из группы, включающей никель, золото, платину, палладий, серебро, хром, титан и их сочетания.
3
14. Электрод по п.12 или 13, отличающийся тем, что второе наружное покрытие имеет более высокую износостойкость, чем первое наружное покрытие, измеряемую в мм/Н·м.
15. Электрод по п.12 или 13, отличающийся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем первое наружное покрытие нанесено на контактную зону электрода, а второе наружное покрытие нанесено на первое наружное покрытие в указанной контактной зоне.
6
16. Электрод по п.15, отличающийся тем, что второе наружное покрытие на контактной зоне электрода имеет удельную электропроводность, равную, по меньшей мере, 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
17. Электрод по п.15, отличающийся тем, что электрод включает чашку с контактной зоной, расположенной внутри части чашки.
18. Электрод по п.17, отличающийся тем, что контактная зона расположена только на боковых стенках чашки, а второе наружное покрытие на дне чашки, в случае его наличия, отличается от покрытия на стенках чашки.
6
19. Электрод по п.18, отличающийся тем, что второе наружное покрытие нанесено на дно чашки, причем второе наружное покрытие, нанесенное на дно чашки, имеет удельную электропроводность, меньшую 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
20. Электрод по п.19, отличающийся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на дно чашки, включает алмазоподобное углеродное соединение.
21. Электрод по п.12 или 13, отличающийся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем наружная поверхность электрода свободна от второго наружного покрытия вне контактной зоны электрода.
22. Электрод по п.12 или 13, отличающийся тем, что наружная поверхность имеет контактную зону для контакта с захватной частью, причем первое наружное покрытие нанесено на электрод вне контактной зоны, и второе наружное покрытие нанесено на первое наружное покрытие вне контактной зоны.
6
23. Электрод по п.22, отличающийся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие вне контактной зоны, имеет удельную электропроводность, меньшую 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
24. Электрод по п.23, отличающийся тем, что второе наружное покрытие, нанесенное на первое наружное покрытие вне контактной зоны, включает алмазоподобное углеродное соединение.
25. Электрод по п.15, отличающийся тем, что содержит стержень, имеющий первый конец и второй конец; и головку, расположенную на одном из концов стержня, причем головка электрода включает наружную поверхность, имеющую контактную зону.