РЕЗОНАТОР С ТЕМПЕРАТУРНОЙ КОМПЕНСАЦИЕЙ ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ ПЕРВОГО И ВТОРОГО ПОРЯДКА

1. Термокомпенсированный резонатор (1), включающий в себя основу, используемую при деформации, при этом сердцевина (3) основы содержит первый материал, отличающийся тем, что основа имеет по меньшей мере первое и второе покрытие (4, 5), соответственно выполненное из второго и третьего материалов, причем для каждого материала изменение модуля Юнга в зависимости от температуры различное, а каждая толщина упомянутых первого и второго покрытий отрегулированы так, чтобы обеспечить резонатору практически нулевое изменение частоты первого и второго порядка (α и β) в зависимости от температуры.
2. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа включает в себя третье покрытие, выполненное из четвертого материала, для которого изменение модуля Юнга в зависимости от температуры отличается от материалов сердцевины (3) и остальных покрытий (4, 5), причем каждая толщина упомянутых трех покрытий отрегулирована так, чтобы обеспечить резонатору практически нулевое изменения частоты первого, второго и третьего порядка (α, β, γ) в зависимости от температуры.
3. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что сердцевина (3) основы имеет отрицательные изменения модуля Юнга первого и второго порядка в зависимости от температуры.
4. Резонатор (1) по п.3, отличающийся тем, что сердцевина (3) основы включает в себя монокристаллический кремний.
5. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа имеет секцию практически четырехугольной формы с парами одинаковых граней.
6. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа имеет сечение практически четырехугольной формы, поверхности которого полностью покрыты.
7. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что первое покрытие (4) имеет положительные для первого порядка и отрицательные для второго порядка изменения модуля Юнга в зависимости от температуры.
8. Резонатор (1) по п.7, отличающийся тем, что первое покрытие (4) включает в себя двуокись кремния.
9. Резонатор (1) по п.7, отличающийся тем, что второе покрытие (5) имеет положительное второго порядка изменение модуля Юнга в зависимости от температуры.
10. Резонатор (1) по п.9, отличающийся тем, что второе покрытие (5) имеет положительное первого порядка изменение модуля Юнга в зависимости от температуры.
11. Резонатор (1) по п.10, отличающийся тем, что второе покрытие (5) включает в себя двуокись германия.
12. Резонатор (1) по п.9, отличающийся тем, что второе покрытие (5) имеет отрицательное первого порядка изменение модуля Юнга в зависимости от температуры.
13. Резонатор (1) по п.9, отличающийся тем, что первое покрытие (4) и второе покрытие (5) выполнены в обратной последовательности.
14. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что упомянутые покрытия нанесены в первую очередь на поверхности, параллельные нейтральной плоскости (F) основы, с тем чтобы в наибольшей степени модифицировать частоту упомянутого резонатора.
15. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа представляет собой свернутый стержень для образования балансирной пружины и соединена с инерционным маховиком.
16. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа включает в себя по меньшей мере два симметрично установленных стержня для образования камертона.
17. Резонатор (1) по п.1, отличающийся тем, что основа является резонатором микроэлектромеханической системы (МЭМС).
18. Хронометр, отличающийся тем, что включает в себя по меньшей мере один резонатор по любому из п.п.1-17.