ДЕРЖАТЕЛЬ ДЛЯ РАЗМЕЩЕНИЯ И ЗАЩИТЫ СТОРОНЫ ФОТОШАБЛОНА ИЛИ ФОТОШАБЛОНА С МЕМБРАНОЙ ОТНОСИТЕЛЬНО ОЧИЩАЮЩЕЙ СРЕДЫ, СПОСОБ ОЧИСТКИ ФОТОШАБЛОНА ИЛИ ФОТОШАБЛОНА С МЕМБРАНОЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКРЫВАНИЯ И ЗАКРЫВАНИЯ ДЕРЖАТЕЛЯ
HOLDER FOR PLACING AND PROTECTING THE SIDE OF THE PHOTOMASK OR PHOTOMASK WITH A MEMBRANE RELATIVE TO THE CLEANING MEDIUM, A METHOD FOR CLEANING THE PHOTOMASK OR PHOTOMASK WITH A MEMBRANE AND A DEVICE FOR OPENING AND CLOSING

Предложенное на рассмотрение изобретение относится к держателю для размещения и защиты стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной относительно очищающей среды, к способу очистки стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной, а также к устройству для открывания и закрывания держателя ранее указанного типа.
В частности, в сфере полупроводниковой техники известно об использовании фотошаблонов для осуществления фотолитографических процессов. Для получения хороших результатов эти фотошаблоны должны подвергаться регулярной очистке, причём для защиты определённых поверхностей фотошаблона от загрязнений частично применяются так называемые мембраны. Мембраны – это тонкие плёнки или мембранные плёнки, которые, к примеру, посредством рамы, которая приклеена к защищаемой стороне фотошаблона, удерживаются на расстоянии от защищаемой поверхности фотошаблона. Частицы загрязнений не могут, таким образом, попасть на соответствующую поверхность фотошаблона, и осаждаются, в случае их наличия, на мембране. Мембрана располагается при этом на достаточном удалении от соответствующей поверхности шаблона, так что, по меньшей мере, частицы меньше определённой величины, которые осаждаются на мембране, оказываются на достаточном удалении от соответствующей поверхности фотошаблона, так что не оказывают негативного воздействия на процесс фотолитографии.
Таким образом, количество циклов очистки для соответствующей поверхности может быть существенно уменьшено. Однако необходимо также осуществлять очистку стороны, противоположной мембране. Если раньше, как правило, мембраны своими рамами закреплялись на стороне фотошаблона таким образом, что вне рамы круговая кромочная зона шаблона оставалась свободной и могла служить в качестве уплотнительной поверхности, то используемые в настоящее время и перспективные мембраны доходят до кромки фотошаблона, или же могут даже переходить за неё.
Во время очистки противолежащей мембране стороны необходимо защищать сторону, на которой располагается мембрана, относительно используемой очищающей среды. Благодаря этому, должны предотвращаться повреждения и/или загрязнения мембраны, её рамы или стороны фотошаблона, на которой располагается мембрана. До сих пор это осуществлялось обычно за счёт того, что круговая кромочная зона стороны, на которой располагалась мембрана, насаживалась на уплотнительную раму. Эта рама была осуществлена таким образом, что мембрана и расположенная внутри кромочной зоны сторона шаблона были герметизированы относительно окружающей среды и, в частности, относительно очищающей среды. При использовании мембран, которые доходят до кромочной зоны фотошаблона и/или даже переходят её, это стало более невозможно, так как в распоряжении не имеется достаточной зоны поверхности фотошаблона на стороне, на которой располагается мембрана. Кроме того, при использовании фотошаблона без мембраны предпочтительным может являться также отсутствие контакта одной стороны с другой в процессе очистки.
Поэтому, выявляется необходимость предусмотреть альтернативное устройство и способ, которые пригодны для того, чтобы защитить сторону фотошаблона, в частности, сторону фотошаблона, на которой располагается мембрана, от очищающей среды, в то время, когда производится очистка другой стороны этой же очищающей средой.
В соответствии с изобретением для этого предусмотрен держатель по пункту 1 и способ по пункту 20, а также специальное устройство для открывания и закрывания держателя ранее описанного типа по пункту 24. Другие варианты осуществления изобретения следуют из зависимых пунктов формулы изобретения.
В частности, предусмотрен держатель для размещения и для защиты фотошаблона или фотошаблона с мембраной относительно очищающей среды, причём держатель имеет следующие элементы: основание с, по меньшей мере, тремя опорными элементами, которые для размещения и для удержания фотошаблона или фотошаблона с мембраной расположены на расстоянии от днища основания; уплотнительную раму, с верхней стороной и нижней стороной, причём нижняя сторона выполнена с возможностью насаживания на основание и уплотнительная рама имеет центральное отверстие, которое рассчитано таким образом, что может размещать фотошаблон с зазором; круговой эластичный уплотнительный элемент на уплотнительной раме, который от внутреннего периметра центрального отверстия наклонно к верхней стороне уплотнительной рамы с наклоном входит в центральное отверстие, причём уплотнительный элемент в ненагруженном состоянии имеет внутренний периметр, который меньше, чем внешний периметр фотошаблона, и в нагруженном состоянии входит в контакт с помещённым в центральное отверстие фотошаблоном по кругу на боковой кромке. Такой держатель пригоден для того, чтобы установить фотошаблон или же фотошаблон с мембраной, с обращённой вниз мембраной, на основание, чтобы затем поместить сверху уплотнительную раму и за счёт специального уплотнения предусмотреть герметизацию по боковой кромке. Уплотнительная рама может быть в обратном порядке снова снята, и ни в какой момент времени она не входит в контакт с обращённой к основанию стороной фотошаблона и/или с мембраной на фотошаблоне.
В предпочтительном варианте опорные элементы расположены таким образом, что они входят в контакт с фотошаблоном лишь в кромочной зоне, в частности, в угловых зонах фотошаблона. Опорные элементы могут иметь одну или же две наклонные опорные поверхности.
В соответствии с вариантом осуществления уплотнение в ненагруженном состоянии располагается равномерно от внутреннего периметра центрального отверстия внутрь него, и притом на расстоянии от 2,5 до 3,5 мм и предпочтительно на расстоянии примерно 2,9 мм. В данном случае зазор измерен в плоскости верхней или нижней части. Далее уплотнение в ненагруженном состоянии может быть рассчитано таким образом, что перекрывает кромочные зоны центрированного относительно него фотошаблона, и притом от 0,4 до 1 мм, предпочтительно от 0,6 до 0,8 мм. Соответствующий выступ уплотнения в центральное отверстие предусматривает достаточно материала для деформации уплотнения, когда устанавливается фотошаблон, а, с другой стороны, оно не слишком велико, чтобы сделать уплотнение нестабильным, когда во время процесса очистки фотошаблона на него оказывается воздействие. Перекрытие опять же обеспечивает достаточную деформацию уплотнения и соответствующее прижимное усилие уплотнения к боковой кромке фотошаблона.
В предпочтительном варианте уплотнение имеет толщину в диапазоне от 1 до 3 мм, предпочтительно в диапазоне от 1,5 до 2,5 мм, а также твёрдость А по Шору в диапазоне от 25° до 75°. Для устойчивых к химическим соединениям уплотнений, которые состоят, к примеру, из перфтор-каучука или этилен-пропилен-диен-каучука, приведённые выше размеры зарекомендовали себя как особенно подходящие, для обеспечения хорошей герметизации относительно боковой кромки фотошаблона.
В не смонтированном и не нагруженном состоянии уплотнение может иметь, в основном, плоскую конфигурацию и может быть, таким образом, легко изготовлено. В направлении внутреннего периметра уплотнение может иметь, однако, также сужающуюся зону. Для хорошей герметизации относительно боковой кромки прямоугольного фотошаблона уплотнение имеет, в основном, прямоугольный внутренний периметр, причём угловые зоны внутреннего периметра имеют закругления и предпочтительно радиус в диапазоне от 2 до 4 мм, в частности, примерно 3 мм.
В варианте осуществления уплотнение имеет, в основном, прямоугольный внешний периметр, причём в, по меньшей мере, двух противолежащих кромочных зонах может быть предусмотрена, соответственно, монтажная накладка. В предпочтительном варианте уплотнительный материал согласован с соответствующей областью применения, так что уплотнение устойчиво в отношении воздействия использованной очищающей среды и/или УФ-излучения.
Уплотнительная рама может иметь верхнюю часть и нижнюю часть, которые с возможностью разъёма закреплены друг на друге, причём уплотнение зажато между верхней частью и нижней частью. Благодаря этому, уплотнение может быть хорошо закреплено на уплотнительной раме и может быть легко заменено. В частности, верхняя часть и нижняя часть могут образовывать круговое, открытое к центральному отверстию, приёмное пространство для уплотнения, которое сужается к центральному отверстию и которое с наклоном к верхней стороне уплотнительной рамы наклонено к центральному отверстию. За счёт наличия такого приёмного пространства уплотнение может надёжно удерживаться и может быть установлено с наклоном к верхней стороне. В предпочтительном варианте приёмное пространство для уплотнения в среднем примерно на 29° наклонено к верхней стороне уплотнительной рамы. В предпочтительном варианте приёмное пространство на своём обращённом к центральному отверстию конце имеет высоту, которая меньше, чем толщина уплотнения. В частности, обращённый к центральному отверстию конец приёмного отверстия имеет высоту, которая на 10-20% меньше, чем толщина уплотнения, для его надёжного удержания и дополнительной фиксации.
Для использования при влажной очистке уплотнительная рама в зоне выше места присоединения уплотнения имеет расширяющиеся радиально к периметру уплотнительной рамы скосы. Для надёжного удержания уплотнительной рамы на основании во время использования основание может иметь удерживающее устройство, в частности, вакуумное устройство, для удержания уплотнительной рамы с возможностью разъёма. В варианте осуществления основание и/или уплотнительная рама могут иметь, по меньшей мере, одно обращённое, соответственно, к другому элементу, т.е. к уплотнительной раме или к основанию, круговое уплотнение, для герметизации зоны контакта между обоими элементами. Основание и уплотнительная рама могут иметь дополнительные направляющие элементы, которые при насаживании уплотнительной рамы на основание обеспечивают ориентацию обоих элементов относительно друг друга.
Способ очистки стороны фотошаблона, в частности, фотошаблона с мембраной, имеет следующие этапы: установка фотошаблона в держатель ранее описанного типа, причём фотошаблон сначала своей не подвергаемой очистке стороной, будучи обращённым к основанию, устанавливается на опорные элементы, а затем уплотнительная рама насаживается на основание таким образом, что эластичный уплотнительный элемент вступает в контакт с фотошаблоном по кругу на боковой кромке и обеспечивает герметизацию, причём подвергаемая очистке сторона фотошаблона располагается свободно; очистка подвергаемой очистке стороны фотошаблона, по меньшей мере, одной очищающей средой, которая наносится на подвергаемую очистке сторону; снятие уплотнительной рамы с основания в направлении, обратном насаживанию, в то время как фотошаблон прижимается к опорным элементам, и подъём фотошаблона с опорных элементов. Такой способ позволяет осуществить герметизацию по боковой кромке фотошаблона и может, тем самым, аналогичным образом использоваться для фотошаблонов с мембранами и без них. За счёт снятия уплотнительной рамы в направлении, обратном насаживанию, уплотнение в любой момент времени оказывается на удалении от защищаемой стороны фотошаблона или от закреплённой на нём мембраны, и в данном случае могут быть исключены повреждения или загрязнения со стороны уплотнения. Так как фотошаблон во время снятия уплотнительной рамы прижимается к опорным элементам, то предотвращается их самостоятельный подъём или смещение и, в частности, повреждение, в результате снятия.
Чтобы обеспечить защиту стороны фотошаблона, которая должна быть защищена, и от контакта, фотошаблон в предпочтительном варианте устанавливается на опорных элементах таким образом, что лишь кромочные зоны, в частности, угловые зоны фотошаблона вступают в контакт с опорными элементами.
При насаживании уплотнительной рамы на основание уплотнительный элемент предпочтительно в направлении к верхней стороне уплотнительной рамы деформируется, так что нижняя сторона уплотнительного элемента прилегает к боковой кромке фотошаблона и герметизируется относительно неё. Благодаря этому, можно добиться хорошей герметичности.
В соответствии с вариантом осуществления очищающей средой является жидкая среда, а очищенная сторона фотошаблона перед снятием уплотнительной рамы с основания высушивается. Соответствующее высушивание может быть осуществлено, к примеру, посредством быстрого вращения держателя.
Устройство для открывания и закрывания вышеописанного держателя имеет следующие элементы: по меньшей мере, два расположенных на расстоянии друг от друга, обращённых друг к другу захвата, которые выполнены с возможностью перемещения между открытым положением, в котором они могут свободно размещать между собой уплотнительную раму, и закрытым положением, в котором они могут войти в зацепление с уплотнительной рамой; устройство поддержания шаблона с, по меньшей мере, одним поддерживающим штифтом, который в пространстве таким образом располагается между захватами, что оказывается ориентирован с центральным отверстием в уплотнительной раме, если он помещён между захватами, и который располагается, в основном, перпендикулярно направлению перемещения захвата при открывании / закрывании, причём, по меньшей мере, один поддерживающий штифт удерживается с возможностью перемещения в направлении своего расположения; устройство перемещения, которое соединено как с захватами, так и с поддерживающим устройством, для их совместного перемещения. Такое устройство особенно пригодно при открывании держателя для снятия уплотнительной рамы с основания и прижима расположенного там фотошаблона к опорным элементам держателя, чтобы гарантировать, что при снятии будет перемещаться лишь уплотнительная рама, а не фотошаблон совместно с ней.
В предпочтительном варианте, по меньшей мере, один поддерживающий штифт помещается в направляющем элементе и посредством устройства предварительного натяжения упруго выводится из него вовне, причём перемещение из направляющего элемента вовне ограничено посредством, по меньшей мере, одного упора. Соответствующее поддержание и предварительное натяжение могут предусматривать определённое усилие, направленное к фотошаблону, когда уплотнительная рама снимается. В альтернативном варианте или же дополнительно, по меньшей мере, один поддерживающий штифт может быть выполнен также с возможностью перемещения в направлении своего расположения посредством выполненного с возможностью управления механизма перемещения.
В варианте осуществления, по меньшей мере, один поддерживающий штифт выполнен с возможностью перемещения из своего положения между захватами в нейтральное положение, в котором он не осуществляет функцию поддержания. В этом положении, по меньшей мере, одного поддерживающего штифта устройство может использоваться также, в случае необходимости, для транспортировки других предметов, к примеру, самого фотошаблона.
В соответствии с вариантом осуществления устройство перемещения имеет два расположенных на расстоянии друг от друга рычага, на которых расположен, соответственно, по меньшей мере, один из захватов, и которые, по меньшей мере, в зоне захватов располагаются, в основном, параллельно в продольном направлении. В предпочтительном варианте захват на, по меньшей мере, одном из рычагов имеет держатель кулачка захвата с кулачком захвата, причём держатель кулачка захвата установлен с возможностью поворота вокруг проходящей в продольном направлении соответствующего рычага первой поворотной оси, и причём кулачок захвата установлен с возможностью поворота вокруг проходящей перпендикулярно продольному направлению соответствующего рычага второй поворотной оси на соответствующем держателе кулачка захвата. Благодаря этому, захват может быть согласован с неправильно ориентированной уплотнительной рамой держателя. В частности, первая и вторая поворотные оси могут быть расположены, в основном, перпендикулярно друг другу. Захват на, по меньшей мере, одном из рычагов может иметь держатель кулачка захвата с двумя кулачками захвата, расположенными на расстоянии друг от друга в продольном направлении рычага, на котором располагается держатель кулачка захвата, причём кулачки захвата в основном положении держателя кулачка захвата ориентированы по одной линии, в основном, параллельно рычагу, и причём держатель кулачка захвата установлен вокруг проходящей перпендикулярно продольному направлению соответствующего рычага третьей поворотной оси. При этом третья поворотная ось может быть обращена к другому рычагу. В предпочтительном варианте предусмотрено устройство предварительного натяжения, которое предварительно смещает держатель кулачка захвата в основное положение.
Изобретение поясняется далее более детально со ссылкой на чертежи, на которых представлены:
фиг.1 схематичный вид сверху держателя без уплотнения в соответствии с предложенным на рассмотрение изобретением,
фиг.2 схематичный вид в разрезе держателя вдоль линии II-II на фиг.1,
фиг.3 схематичный вид в разрезе держателя аналогично фиг.2, однако, со смонтированным уплотнением,
фиг.4 схематичный вид в перспективе основания держателя в соответствии с фиг.1,
фиг.5 схематичный вид в перспективе сверху на нижнюю часть уплотнительной рамы держателя в соответствии с фиг.1,
фиг.6 схематичный вид в перспективе снизу на верхнюю часть уплотнительной рамы держателя в соответствии с фиг.1,
фиг.7 схематичный вид в перспективе сверху на уплотнительную раму держателя в соответствии с фиг.1,
фиг.8 увеличенное схематичное изображение зоны зажима между верхней частью и нижней частью уплотнительной рамы со вставленным уплотнением,
фиг.9 увеличенное схематичное изображение зоны зажима аналогично фиг.8 с обозначенным фотошаблоном в не установленном положении,
фиг.10 увеличенное схематичное изображение аналогично фиг.9 с обозначенным фотошаблоном в установленном положении,
фиг.11 следующий схематичный детальный вид приёмной зоны для уплотнения в уплотнительной раме,
фиг.12 изображение аналогично фиг.11, которое относится к фотошаблону,
фиг.13 изображение аналогично фиг.12, которое относится к фотошаблону с мембраной,
фиг.14 схематичный вид сверху уплотнения в качестве примера, которое выполнено с возможностью вставки в держатель в соответствии с фиг.1,
фиг.15 схематичный вид спереди устройства для открывания и закрывания держателя в соответствии с фиг.1,
фиг.16 схематичный вид спереди устройства в соответствии с фиг.15, причём поддерживающие системы устройства представлены в другом положении, чем на фиг.15.
фиг.17 схематичный вид сбоку справа в соответствии с фиг.15, причём фиг.17а и 17b демонстрируют различные положения держателя кулачка захвата,
фиг.18 схематичный вид сбоку аналогично фиг.17, причём, однако, представленный на фиг.17 держателя кулачка захвата отсутствует,
фиг.19 увеличенные схематичные виды спереди фрагмента устройства в соответствии с фиг.1, причём фиг.19а и 19b демонстрируют различные положения держателя кулачка захвата и соответствующего захвата.
Используемые в последующем описании обозначения направлений, к примеру, вверху, внизу, слева, справа, горизонтально, вертикально, а также производные от них, относятся к изображениям, и ни в коем случае не должны рассматриваться в качестве ограничений, несмотря на то, что речь может идти также о предпочтительных вариантах расположения.
Фиг.1 демонстрирует схематичный вид сверху держателя 1 для установки и для защиты стороны фотошаблона 2, или фотошаблона с мембраной, от очищающей среды во время процесса очистки другой, т.е. не защищаемой стороны фотошаблона 2. Фотошаблон 2 обозначен на фиг.1 лишь пунктирной линией и может быть, как описано выше, фотошаблоном без мембраны или фотошаблоном с мембраной. На изображении в соответствии с фиг.1 для упрощения изображения не представлено уплотнение. Фиг.2 демонстрирует схематичный вид в разрезе держателя 1 в соответствии с фиг.1, а фиг.3 демонстрирует соответствующий вид в разрезе в соответствии с фиг.2 со вставленным уплотнением. Так как в дальнейшем будет использоваться термин «фотошаблон», то он будет относиться, как правило, к основному корпусу фотошаблона, и притом вне зависимости от того, является ли данный фотошаблон фотошаблоном с мембраной или без неё.
Держатель 1 состоит из основания 5 и из выполненной с возможностью насаживания на основание 5 уплотнительной рамы 7. На основании 5 и/или на уплотнительной раме 7 может быть предусмотрено удерживающее устройство, для удержания обоих элементов вместе с возможностью разъёма в случае, если они располагаются друг на друге. В частности, может быть предусмотрено вакуумное устройство, которое через соответствующие (не изображённые) отверстия в основании 5 воздействует на нижнюю сторону уплотнительной рамы для удержания её на основании. Однако могут быть предусмотрены и другие удерживающие устройства для фиксации обоих элементов друг на друге с возможностью разъёма.
Основание 5 состоит, в основном, из круглой части 9 в форме пластины с верхней стороной 10 и нижней стороной 11, а также из части 13 в форме стержня, которая располагается перпендикулярно от нижней стороны 11 части 9 в форме пластины. Верхняя стороны 10 и нижняя сторона 11 части 9 в форме пластины осуществлены, в основном, ровными. Как можно лучше всего видеть на основании схематичного вида в перспективе в соответствии с фиг.4, на верхней стороне 10 части 9 в форме пластины помещено четыре опорных элемента 15. Четыре опорных элемента 15 расположены таким образом, что в них может размещаться прямоугольный, в частности, квадратный фотошаблон 2, в своих четырёх угловых зонах. Опорные элементы имеют, соответственно, две раздельные опорные поверхности 16, которые могут в зоне соответствующих углов фотошаблона 2 контактировать с ним по двум различным продольным кромкам.
Несмотря на то, что на изображении четыре опорных элемента 15 представлены со специальной конфигурацией соответствующих двух опорных поверхностей, специалист поймёт, что было бы достаточно и меньшего количества опорных элементов, в частности, трёх опорных элементов, для зажима опорной плоскости, которая также могла бы иметь, соответственно, лишь одну опорную поверхность. Опорные элементы 15 рассчитаны и расположены таким образом, что располагают устанавливаемый на них фотошаблон 2, в основном, параллельно над верхней стороной 10. У фотошаблона с мембраной опорные элементы 15 имеют достаточную высоту, чтобы фотошаблон с ориентированной вниз мембраной мог быть зафиксирован на опорных элементах 15 таким образом, чтобы мембрана удерживалась на расстоянии над верхней стороной 10 основания 5. Опорные элементы 15 расположены далее таким образом, что они, когда фотошаблон 2, с мембраной с ориентацией вниз, накладывается на опорные элементы 15, не контактируют с мембраной и с его рамой. В частности, опорные элементы 15 имеют такую конфигурацию, что контактируют с фотошаблоном лишь по его ориентированным вниз кромкам. Для этого опорные поверхности 16 имеют, соответственно, наклонные верхние стороны.
Часть 13 в форме стержня расположена по центру относительно части 9 в форме пластины и имеет, в основном, круглую форму. Как можно видеть на основании изображения с фиг.2, часть 13 в форме стержня может быть, в основном, частично полой и иметь приёмное пространство 18 для вала привода механизма поворота (не изображён). В альтернативном варианте часть 13 в форме стержня может быть осуществлена, однако, также цельной, как представлено на фиг.3, и иметь другие подходящие структуры для соединения с валом привода механизма поворота. В процессе эксплуатации основание 5 обычно посредством соответствующего вала привода механизма поворота удерживается с возможностью поворота, причём обозначенная на фиг.2 и 3 ось А представляет собой поворотную ось.
Уплотнительная рама 7 держателя 1 состоит, в основном, из верхней части 20, нижней части 21 и уплотнения 22. Для упрощения изображения уплотнение на фиг.1 и 2 не представлено, однако, его можно видеть на фиг.3. Для формирования уплотнительной рамы 7 верхняя часть 20 и нижняя часть 21 посредством соответствующих крепёжных элементов, к примеру, винтов соединяются друг с другом разъёмным образом без возможности разрушения таким образом, что уплотнение 22 размещается между ними, как будет пояснено далее более детально.
Верхняя часть 20 уплотнительной рамы представлена на фиг.6 лишь в перспективном изображении снизу, а вместе с нижней частью 21 в перспективном изображении сверху представлена на фиг.7. Верхняя часть 20 состоит, в основном, из круглого элемента в форме пластины с верхней стороной 24, нижней стороной 25 и центральным отверстием 26, которое располагается между верхней стороной 24 и нижней стороной 25.
Верхняя сторона 24 верхней части 20 осуществлена, в основном, плоской, однако, может иметь смежно с центральным отверстием скосы с уклоном к нижней стороне, как на фиг.8-10, или же закругление.
Нижняя сторона 25 также может быть осуществлена, в основном, плоской, однако, на нижней стороне могут быть предусмотрены направляющие структуры, которые позволяют осуществлять ориентацию к нижней части 21, когда верхняя часть 20 и нижняя часть 21 соединяются. Кроме того, на нижней стороне 25 верхней части 20 может быть предусмотрено большое количество глухих отверстий с резьбой, которые обеспечивают, к примеру, возможность закрепления верхней части 20 и нижней части 21 друг на друге посредством соответствующих винтов. Однако, возможны также и другие варианты закрепления между верхней частью 20 и нижней частью 21, которые позволяют осуществлять отпуск обоих элементов без разрушения.
В зоне центрального отверстия 26 нижняя сторона 25 верхней части 20 далее снабжается контуром, и причём таким образом, что сначала формируется проходящее перпендикулярно нижней стороне 25 плечо 28, которое располагается в направлении верхней стороны 24. Это плечо 28 можно видеть, в частности, на упрощённом изображении с фиг.8, которое представляет собой увеличенное схематичное изображение зоны зажима уплотнения между верхней частью 20 и нижней частью 21 уплотнительной рамы 7 со вставленным уплотнением. Это плечо 28 переходит затем в скос 29, который проходит от верхней кромки плеча 28 в направлении центрального отверстия 26, и притом с наклоном к верхней стороне 26. В частности, поверхность 29 может иметь наклон приблизительно от 25 до 32 градусов относительно верхней стороны 24 и имеет, к примеру, наклон приблизительно 28,5 градусов к верхней стороне 25 верхней части 20.
Центральное отверстие 26 имеет прямоугольную, в частности, квадратную форму с закруглёнными угловыми зонами и рассчитано таким образом, что может вмещать фотошаблон 2 с зазором.
Нижняя часть 21 состоит опять же, в основном, из элемента 32 в форме пластины с верхней стороной 33, нижней стороной 34, центральным отверстием 35 и внешним, круговым краем 36. Схематичный перспективный вид сверху на нижнюю часть 21 представлен на фиг.5. Элемент 32 в форме пластины нижней части 21 имеет, в основном, такие же размеры периметра, что и элемент 23 в форме пластины верхней части 20. Центральное отверстие 35 в нижней части 21 имеет, в основном, такую же форму и размер, что и центральное отверстие 26 в верхней части 20. Когда верхняя часть 20 и нижняя часть 21 закреплены друг на друге, центральные отверстия 26, 35 ориентированы друг к другу. Несмотря на то, что это не изображено на фиг.5 и 7, на внешнем периметре нижней части 21 могут быть размещены или осуществлены монолитно с ней элементы 37 захвата. Элементы 37 захвата, которые могут взаимодействовать с соответствующим захватом, что будет пояснено далее, можно видеть лишь на виде сверху в соответствии с фиг.1. Вместо элементов 37 захвата на нижней части 21 или в дополнение к ним элементы 37 захвата могли бы быть осуществлены и на верхней части 20 уплотнительной рамы 7. Как можно различить на виде сверху, предусмотрено в целом шесть элементов 37 захвата, при этом с разделением на две группы по три элемента 37 захвата, которые расположены на противоположных сторонах уплотнительной рамы и симметрично относительно плоскости II-II разреза на фиг.1. Как определит специалист, может быть предусмотрено также и другое расположение элементов 37 захвата вместо представленного. Для взаимодействия с устройством для открывания и закрывания держателя, что будет описано далее более детально со ссылкой на фиг.15-18, было бы достаточно, к примеру, трёх из представленных элементов 37 захвата, причем внешних элементов 37 захвата на одной стороне в комбинации с центральным элементом 37 захвата на другой стороне. За счёт расположения шести элементов захвата возможно также вместить уплотнительную раму с поворотом на 180°.
Верхняя сторона 33 и нижняя сторона 34 элемента в форме пластины осуществлены в дальних зонах плоскими, однако, верхняя сторона может иметь направляющие структуры, чтобы предусмотреть возможность выравнивания между верхней частью 20 и нижней частью 21 при соединении. Также в элементе 32 в форме пластины могут быть предусмотрены не изображённые отверстия, которые могут быть ориентированы с соответствующими глухими отверстиями в верхней части 20, для соединения обоих элементов друг с другом, к примеру, посредством винтов. Однако, соответствующие отверстия и соединительные элементы, с целью упрощения изображения, на чертежах не представлены.
Верхняя сторона 33 имеет смежно с центральным отверстием 26 возвышение, которое осуществлено посредством скоса 38. Скос 38 располагается в радиальном направлении нижней части 21, в основном, на таком же расстоянии, что и скос 29 в элементе 23 в форме пластины верхней части 20. Скос 38 имеет относительно плоской верхней стороны 33 элемента 32 в форме пластины наклон, к примеру, в пределах от 28 до 34 градусов и имеет, к примеру, уклон приблизительно 30 градусов. Угол между скосами 29 и 38 разный и, в частности, угол скоса 38 на 1-2 градуса более крутой, чем угол скоса 29. За счёт этого, в смонтированном состоянии уплотнительной рамы 7 выявляется сужающееся к центральному отверстию 26 приёмное пространство 40 между верхней частью 20 и нижней частью 21. Это сужающееся приёмное пространство 40 особенно хорошо можно видеть на фиг.8, где видно также помещённое в него уплотнение 22. Функция сужающегося приёмного пространства 40 поясняется далее более детально, когда более детально будет описываться уплотнение 22.
В соответствующих закруглённых концевых зонах скосы 29 и 38 могут быть осуществлены немного круче, к примеру, на 0,5° круче, чтобы и здесь предусмотреть хороший предварительный зажим угловыми зонами уплотнения 22 в направлении вверх. За счёт этого обращённое к центральному отверстию 26 отверстие приёмного пространства 40 располагается в закруглённых зонах немного выше, чем в других зонах.
Элемент 32 в форме пластины имеет далее внешний, круглый край 36, который располагается, в основном, перпендикулярно от нижней стороны 34 в направлении вниз, как можно видеть на фиг.2 или же на фиг.3. Как можно видеть на фиг.2, край 36 имеет внутренние размеры, которые подходят для полного размещения части 9 в форме пластины основания 3, когда уплотнительная рама 7 располагается на основании 5. Несмотря на то, что это не изображено более детально, между нижней стороной 34 нижней части 21 и верхней стороной части 9 в форме пластины может быть предусмотрено, по меньшей мере, одно уплотнение, которое закреплено на одном из двух элементов.
Уплотнение 22, которое первый раз можно увидеть на фиг.3, поясняется далее более детально со ссылкой на фиг.3 и 8-14. При этом фиг.14 демонстрирует вид сверху на уплотнение 22 в качестве примера, в то время как фиг.8-13 схематично и в увеличенном масштабе демонстрируют зажим уплотнения 22 между верхней частью 20 и нижней частью 21 уплотнительной рамы, а также частично соотношение уплотнения 22 и фотошаблона.
Как можно видеть на виде сверху в соответствии с фиг.14, уплотнение 22 имеет, в основном, прямоугольный, в частности, в основном, квадратный круговой профиль с закруглёнными концевыми зонами. На двух противоположных продольных сторонах кругового профиля предусмотрены ориентированные наружу крепёжные пластины 44, 45.
Уплотнение 22 в не смонтированном состоянии имеет, в основном, плоскую конфигурацию и состоит из соответствующего уплотнительного материала, который устойчив в отношении чистящих сред, используемых при чистке фотошаблона 2. В качестве материалов в данном случае подходят, к примеру, перфтор-каучук или этилен-пропиленовый каучук. Уплотнение 22 имеет в предпочтительном варианте толщину в диапазоне от 1 до 3 мм, предпочтительно в диапазоне от 1,5 до 2,5 мм и твёрдость А по Шору в диапазоне от 25° до 75°. В основном, прямоугольный внутренний периметр уплотнения имеет закруглённые концевые зоны, причём значение радиуса закругления лежит предпочтительно в пределах от 2 до 4 мм, в частности, в пределах приблизительно 3 мм. Несмотря на то, что это не изображено на фигурах, уплотнение может иметь сужающуюся к центральному отверстию центральную зону.
Крепёжные пластины 44, 45 рассчитаны таким образом, что они помещаются в соответствующие приёмные элементы на нижней стороне 25 элемента 23 в форме пластины верхней части 20 уплотнительной рамы 7, которые представлены под ссылочной позицией 46 на фиг.6. Крепёжные пластины 44, 45 имеют соответствующие крепёжные отверстия, для обеспечения возможности закрепления уплотнения 22 на нижней части 21 уплотнительной рамы 7 соответствующим образом, к примеру, посредством штифтов 47, которые предусмотрены на верхней стороне 33 элемента 32 в форме пластины (см. фиг.5). Разумеется, могут быть предусмотрены также дополнительные крепёжные пластины, или же от крепёжных пластин 44, 45 можно отказаться.
Как лучше всего можно видеть на фиг.8, уплотнение 22 имеет, в основном, толщину в соответствии с высотой плеча 28 на нижней стороне 25 верхней части 20 уплотнительной рамы 7. За счёт скоса 38 на нижней части 21 уплотнительной рамы 7 уплотнение наклоняется в направлении, ориентированном вверх, как представлено на фиг.8. При этом пунктирная линия формы уплотнения 22 на фиг.8 демонстрирует уплотнение как оно выглядело бы, если бы оно удерживалось лишь посредством нижней части 21 или если бы приёмное пространство 40 не сужалось. Форму в соответствии со сплошной линией уплотнение 22 принимает тогда, когда верхняя часть 20 закреплена на нижней части 21. За счёт сужения приёмного пространства 40, это приёмное пространство 40 имеет смежно с центральным отверстием 26 меньшую высоту, чем если бы уплотнение 22 имело в ненагруженном состоянии. За счёт этого уплотнение 22 в данной зоне защемляется, что, с одной стороны, фиксирует его, а, с другой стороны, позволяет получить дополнительное предварительное напряжение в направлении вверх. В частности, высота приёмного пространства 40 на его обращённом к центральному отверстию 26 конце в пределах от 10% до 20% меньше, чем толщина уплотнения в ненагруженном состоянии.
1
2
Уплотнение 22 рассчитано таким образом, что оно в смонтированном состоянии, т.е., когда оно помещено между верхней частью 20 и нижней частью 21, располагается, в основном, равномерно от внутреннего периметра центрального отверстия 26 внутрь него, и притом с зазором D от 2,5 мм до 3,5 мм и предпочтительно примерно 2,9 мм, причем в радиальном направлении верхней части 20 или нижней части 21, как представлено, к примеру, на фиг.11. Кроме того, уплотнение 22 рассчитано таким образом, что оно в ненагруженном смонтированном состоянии перекрывает кромочные зоны центрированного относительно него фотошаблона с зазором D примерно от 0,4 мм до 1 мм, предпочтительно от 0,6 мм до 0,8 мм в радиальном направлении, что наилучшим образом представлено на фиг.13 и 14, причем вне зависимости от того, является ли фотошаблон 2 фотошаблоном без мембраны или же фотошаблоном с мембраной, как представлено на фиг.12 и 13.
Если фотошаблон 2 помещён в центральное отверстие 26 уплотнительной рамы 7 таким образом, что фотошаблон контактирует с уплотнением 22, то оно, вследствие этого, изгибается ещё больше в направлении вверх, как схематично представлено на фиг.10. Уплотнение 22 контактирует в этом случае с фотошаблоном 2 по кромке периметра и обеспечивает уплотнение относительно неё. Соответствующей герметизации содействует также специальная форма уплотнения 22, которую оно получает в результате зажима между верхней частью 20 и нижней частью 21 уплотнительной рамы 7. Эффект герметизации осуществляется в данном случае затем посредством нижней стороны уплотнения 22, как представлено на фиг.10. За счёт наклонного расположения уплотнения 22 достигается хороший контакт нижней стороны уплотнения 22 с краем периметра фотошаблона 2. Наклонное расположение делает возможным, однако, также лёгкое насаживание уплотнительной рамы 7 сверху на фотошаблон 2 и повторное снятие её в обратном порядке, как описывается далее более детально.
На основании фиг.15-19 специальное устройство 50 для открывания и закрывания вышеописанного держателя 1 поясняется более детально. При этом фиг.15 демонстрирует схематичный вид спереди устройства 50, фиг.16 схематичный вид сбоку справа в соответствии с фиг.15, фиг.17 схематичный вид сбоку аналогично фиг.16, причём часть устройства не показана, а фиг.19а и 19b демонстрируют в увеличенном масштабе схематичные виды спереди фрагмента устройства 50 с кулачком захвата устройства в различных положениях.
Устройство 50 состоит, в основном, из главного рычага 52, первого рычага 54 захвата, второго рычага 55 захвата, первого устройств 56 захвата на первом рычаге захвата и второго устройства 57 захвата на втором рычаге захвата, а также из устройства 60 поддержания шаблона.
Главный рычаг 52 имеет первый соединительный конец 62, а также второй соединительный конец 64. Первый соединительный конец 62 может быть каким-либо подходящим способом соединён с механизмом перемещения, который пригоден для трёхмерного перемещения главного рычага 52 в пространстве. Соответствующие механизмы перемещения достаточно известны из уровня техники и, поэтому, в данном случае не поясняются более детально.
Второй соединительный конец 64 жёстко закреплён на соединительном конце 62 и на нём располагаются первый и второй рычаги 54, 55 захвата, а также устройство 60 поддержания шаблона.
Кроме того, на втором соединительном конце предусмотрен не изображённый более детально приводной механизм, который предназначен для перемещения первого рычага 54 захвата и второго рычага 54, 55 захвата относительно друг друга, как будет пояснено далее более детально.
Рычаги 54, 55 захвата имеют, соответственно, в основном, L-образную форму. Соответствующее первое плечо 66 L-образной формы, которое далее обозначается также как короткое плечо 66, размещено на втором соединительном конце 64 главного рычага 52 и проведено в нём в его продольном направлении. В частности, соответствующие короткие плечи 66 расположены во втором соединительном конце 64 главного рычага 52 таким образом, что располагаются, в основном, параллельно друг другу и выходят с противоположных сторон второго соединительного конца 64. В частности, короткие плечи 66 рычагов 54, 55 захвата могут быть ориентированы относительно друг друга и могут удерживаться с возможностью перемещения в направлении друг к другу или друг от друга.
Вторые плечи 67, которые обозначаются далее также как длинные плечи 67, располагаются под прямым углом к коротким плечам 66, причем относительно второго соединительного конца 64 в направлении вперёд, так что длинные плечи 67 рычагов захвата выступают за пределы переднего конца главного рычага 52. Следовательно, оба плеча 66, 67 соответствующих рычагов 54, 55 захвата располагаются горизонтально. Длинные плечи 67 рычагов 54, 55 захвата располагаются при этом, в основном, параллельно друг другу.
Как пояснено посредством двойных стрелок F на фиг.15, длинные плечи 67 выполнены с возможностью перемещения, за счёт соответствующего перемещения коротких плеч 66, в направлении друг к другу и друг от друга, для изменения соответствующим образом зазора между ними. Плечи 66, 67 имеют, соответственно, прямоугольное поперечное сечение.
На первом рычаге 54 захвата, на его длинном плече 67, располагается первое устройство 56 захвата, в то время как на втором рычаге 55 захвата, на его длинном плече 67, располагается второе устройство 57 захвата.
Первое устройство 56 захвата состоит, в основном, из кулачка 70 захвата с двумя первыми захватами 71, а также из, по меньшей мере, одного второго захвата 72.
Кулачок 70 захвата имеет крепёжное плечо 74, удлиняющее плечо 75, а также две L-образные части 76 захвата. Крепёжное плечо 74 имеет вытянутую форму с, в основном, прямоугольным поперечным сечением. Крепёжное плечо 74 помещено на длинном плече 67 первого рычага 54 захвата, причем на обращённой ко второму рычагу 55 захвата стороне длинного плеча 67. В частности, крепёжное плечо 74 посредством поворотной оси 78 установлено на длинном плече 67 с возможностью вращения. Поворотная ось 78 проходит перпендикулярно продольному расположению длинного плеча 67 в направлении второго рычага 55 захвата.
Кроме того, на крепёжном плече 74 с обеих сторон поворотной оси 78 предусмотрены два направляющих штифта 79, которые помещены в расположенные с обеих сторон поворотной оси 78 продольные пазы длинного плеча 67 первого рычага 54 захвата. Благодаря этому, поворот крепёжного плеча 74 относительно длинного плеча 67 рычага 54 захвата ограничен, как представлено, к примеру, на фиг.16b. Крепёжное плечо 74 посредством подходящих зажимных средств, которые, к примеру, внутри продольного паза 80 воздействуют на направляющий штифт 79, или других подходящим образом расположенных зажимных средств, зажато в направлении, в котором ориентировано продольное расположение крепёжного плеча 74, в основном, параллельно продольному расположению длинного плеча 67 первого рычага 54 зажима. Соответствующее положение можно видеть, к примеру, на фиг.16а.
Удлиняющее плечо 75 примыкает внизу к более близко расположенному к основному рычагу 52 концу крепёжного плеча 74 и располагается, в основном, параллельно ему в направлении главного рычага 52. На свободном, т.е. удалённом от крепёжного плеча 74, конце удлиняющего плеча 75 размещена одна из L-образных частей 76 захвата. Соответствующая L-образная часть 76 захвата предусмотрена и на крепёжном плече 74, причем на удалённом от главного рычага 52 конце крепёжного рычага 74. Крепёжный рычаг 74, удлиняющий рычаг 75, а также L-образные части 76 захвата могут быть осуществлены цельными, однако, могут состоять также из различных элементов, закрепленных друг на друге. В настоящее время предпочтительной является, однако, монолитная форма.
L-образные части 76 захвата имеют, соответственно, вытянутое первое плечо 82, которое располагается, в основном, ниже крепёжного плеча 74 перпендикулярно ему, и горизонтально под длинным плечом 67 первого рычага 54 захвата насквозь. На свободном конце первого плеча 82 располагается перпендикулярно ему в направлении вниз второе плечо 83. Первое плечо 82 имеет на своём обращённом ко второму рычагу 55 захвата конце канавку, которая служит для образования второго захвата 72.
В расположенном в направлении вниз втором плече 83 также образована канавка, которая формирует один из первых захватов 71 кулачка 70 захвата. Так как предусмотрены две L-образные части 76 захвата, то предусмотрены, соответственно, и два расположенных на расстоянии друг от друга в продольном направлении крепёжного плеча 74 и, тем самым, в продольном направлении длинного плеча 67 первого рычага 54 захвата, первых захвата 71. Захваты 71 и 72 образованы посредством углублений в соответствующих частях плеча кулачка захвата. Они могут быть образованы, однако, и другим способом, в частности, могут быть размещены также в виде отдельных элементов на соответствующих частях плеча кулачка захвата.
Второе устройство 57 захвата, размещенное на втором рычаге 55 захвата, образуется, в основном, посредством кулачка 84 захвата и помещённого на кулачке 84 захвата первого захвата 87, а также второго захвата 97. Кулачок 84 захвата имеет первое горизонтальное плечо 88, вертикальное соединительное плечо 89 и второе горизонтальное плечо 90. Кулачок 84 захвата может быть образован монолитным или состоять из нескольких отдельных частей.
Первое горизонтальное плечо 88 располагается перпендикулярно под длинным плечом 67 второго рычага 55 захвата насквозь. На нижней стороне длинного плеча 67 второго рычага 55 захвата предусмотрен упор, выполненный с возможностью регулировки, на который может опираться верхняя сторона первого горизонтального плеча 88, как можно увидеть, к примеру, на виде в соответствии с фиг.15. На обращённом к первому рычагу 54 захвата конце первого плеча 88 образован второй захват 97 в форме канавки таким же образом, что и второй захват 72 на первом кулачке 70 захвата.
На противолежащем второму захвату 97 конце первого горизонтального плеча 88 находится вертикальное соединительное плечо 89, которое располагается от соответствующего конца перпендикулярно вниз. На нижнем конце вертикального соединительного плеча 89 находится второе горизонтальное плечо 90, которое располагается перпендикулярно вертикальному соединительному плечу 89.
Второе горизонтальное плечо 90 располагается, в основном, параллельно первому горизонтальному плечу 88. На своём обращённом к первому рычагу 54 захвата конце второго горизонтального плеча 90 оно удерживает на себе первый захват 87. Первый захват 87 установлен с возможностью поворота вокруг проходящей параллельно второму горизонтальному плечу 90 поворотной оси 96. Поворотная ось 96 ориентирована в направлении к первому рычагу 54 захвата.
Кулачок 84 захвата посредством крепёжной скобы 91 установлен на втором рычаге 55 захвата. В частности, крепёжная скоба 91 установлена на обращённой от первого крепёжного рычага 54 стороне длинного плеча 67 второго крепёжного рычага 55. Соответствующее соединение может быть осуществлено любым подходящим способом или образом. Крепёжная скоба 91 имеет, в основном, изогнутую форму с горизонтальным плечом 92 и вертикальным плечом 93, которое располагается от конца горизонтального плеча 92 перпендикулярно вниз. На своём нижнем конце вертикальное плечо 93 крепёжной скобы 91 имеет поворотную ось 94. Поворотная ось 94 располагается, в основном, параллельно длинному плечу 67 второго крепёжного рычага 55 в горизонтальном направлении.
Второе горизонтальное плечо 90 кулачка 84 захвата посредством поворотной оси 94 с возможностью поворота установлено на крепёжной скобе 91. На крепёжной скобе 91 далее предусмотрено устройство 98 предварительного напряжения со штифтом 99 с предварительным натягом в направлении вниз, который воздействует на конец второго горизонтального плеча 90. Штифт 99 таким образом давит на второе горизонтальное плечо 90, что оно поворачивается вокруг поворотной оси против часовой стрелки в соответствии с фиг.15. Этот поворот ограничивается тем, что упор на первом горизонтальном плече 88 входит в контакт с нижней стороной на длинном плече 67 второго крепёжного рычага 55. В этом положении первое горизонтальное плечо 88 и второе горизонтальное плечо 90 кулачка 84 захвата ориентированы горизонтально. Как поясняется на фиг.19b, кулачок захвата может поворачиваться, однако, и против усилия предварительного натяжения штифта 99 в направлении часовой стрелки вокруг поворотной оси 94.
Первое устройство 56 захвата и второе устройство 57 захвата расположены на соответствующих первом рычаге 54 захвата и втором рычаге 55 захвата таким образом, что в положении покоя устройств захвата захваты 71 и 87 располагаются в горизонтальной плоскости и обращены друг к другу. Таким же образом захваты 72 и 97 располагаются в положении покоя устройств захвата в горизонтальной плоскости и обращены друг к другу.
За счёт подвижного расположения первого и второго кулачков 70, 84 захвата относительно соответствующих рычагов 54, 55 захвата, а также дополнительной способности к повороту захвата 87, возможно согласование соответствующих захватов 87, 71 с элементами, ориентированными не горизонтально. В частности, захваты 87, 71 имеют конфигурацию для зацепления элементов 37 захвата уплотнительной рамы 7 вышеописанного держателя 1. Захваты 72, 97 могут быть использованы, напротив, для зацепления других элементов, к примеру, фотошаблона.
Устройство 60 поддержания шаблона устройства 50 состоит, в основном, из горизонтально расположенного элемента 100 в форме пластины, а также установленных на нём поддерживающих устройств 102.
Элемент 100 в форме пластины закреплён на конце на втором соединительном конце 64 основного рычага 52, и притом таким образом, что он располагается параллельно рычагам 54, 55 захвата. Элемент 100 в форме пластины может быть жёстко установлен на соединительном конце 64 основного рычага 52, однако, может также удерживаться на нём с возможностью регулировки по высоте и/или с возможностью поворота, причём элемент 100 в форме пластины может быть зафиксирован в своём представленном на фигурах положении.
Поддерживающие устройства 102 состоят, соответственно, из приёмных втулок 104, а также из поддерживающих штифтов 106, которые подвижно расположены на приёмных втулках 104. В частности, четыре из этих поддерживающих устройств 102 расположены на нижней стороне элемента 100 в форме пластины. Для этого, соответственно, приёмные втулки 104 закреплены подходящим образом или способом на нижней стороне элемента 100 в форме пластины, и притом, таким образом, что продольная ось соответствующих приёмных втулок 104 располагается перпендикулярно элементу 100 в форме пластины.
Внутри приёмных втулок 104 образуется соответствующее приёмное пространство (не показано) для поддерживающих штифтов 106, в котором поддерживающие штифты 106 проведены в продольном направлении с возможностью смещения. Внутри этого приёмного пространства приёмных втулок 104 предусмотрено, соответственно, также устройство предварительного натяжения (не показано), которое предварительно смещает поддерживающие штифты 106 из приёмных втулок 104 вовне. При этом перемещение поддерживающих штифтов 106 из приёмных втулок 104 вовне подходящим образом ограничено. Соответствующее устройство предварительного натяжения может быть образовано, к примеру, посредством механических пружин, пневматических пружин или других элементов. В то время как фиг.15 демонстрирует полностью погружённое положение поддерживающих штифтов 106, фиг.16 демонстрирует полностью извлечённое положение поддерживающих штифтов 106.
Поддерживающие штифты 106 имеют, соответственно, не изображённую направляющую часть, которая помещена внутрь приёмной втулки 104, а также выходящую вовне часть, на нижнем конце которой расположен контактный наконечник 108. Как определит специалист, поддерживающие штифты 106 выполнены с возможностью введения внутрь приёмной втулки 104 и выведения из неё против действия усилия предварительного натяжения. Таким же образом контактные наконечники 108 могут упругим образом располагаться внутри поддерживающих штифтов 106. Расположенная вне приёмной втулки 104 часть соответствующих поддерживающих штифтов 106 помещена в облицовку, которая закреплена на соответствующей приёмной втулке 104. Облицовка образует своего рода сильфон, так что, в случае необходимости, образующиеся за счёт введения поддерживающих штифтов 106 в приёмные втулки частицы задерживаются и не могут попасть на расположенный ниже фотошаблон.
В рабочем положении устройства 60 поддержания шаблона, представленного, к примеру, на фиг.16, элемент 100 в форме пластины находится в положении, как изображено на фигуре. Благодаря этому, поддерживающие штифты 106 таким образом позиционируются между рычагами 54, 55 захвата, что в том случае, если захваты 87, 71 входят в зацепление с элементами 37 захвата на уплотнительной раме 7, в которой отсутствует фотошаблон, по меньшей мере, контактные наконечники 108 поддерживающих штифтов 106 входят внутрь центрального отверстия 26 уплотнительной рамы 7. Если же, напротив, внутри уплотнительной рамы 7 находится фотошаблон, то контактные наконечники 108 могут войти в контакт с верхней стороной фотошаблона 2 и поддерживающие штифты могут упруго изогнуться в приёмных втулках 104.
Далее более детально поясняется процесс очистки с применением вышеописанного держателя 1 и устройства 50 для открывания и закрывания держателя. Сначала фотошаблон 2 предназначенной для очистки стороной или мембраной, с ориентацией вниз, накладывается на опорные поверхности 16 опорных элементов 15. Затем уплотнительная рама 7 сверху посредством устройства 50 устанавливается над основанием 5 и перемещается в его направлении. При этом контактные наконечники поддерживающих штифтов 106 входят в контакт с ориентированной вверх стороной фотошаблона 2 и прижимают фотошаблон к опорным поверхностям 16. При последующем перемещении уплотнительной рамы вниз в направлении основания поддерживающие штифты подпружиниваются в приёмных втулках 104 против усилия предварительного натяжения. Далее при таком перемещении уплотнительной рамы круговое уплотнение 22 на уплотнительной раме 7 входит сначала в контакт с ориентированной вверх стороной фотошаблона 2. При последующем перемещении уплотнительной рамы 7 вниз уплотнение 22 изгибается в направлении вверх. За счёт дальнейшего перемещения уплотнительной рамы 7 в направлении основания 5 нижняя сторона уплотнения 22 входит в контакт с боковой кромкой фотошаблона 2 и герметизирует его. Такое положение уплотнения сохраняется до тех пор, пока уплотнительная рама 7 не окажется установленной на основании 5. Уплотнительная рама 7 затем, к примеру, посредством вакуума, прочно удерживается на основании 5, а устройство 50 отпускается и удаляется из зоны непосредственно при помощи держателя 1.
2
Нижняя сторона фотошаблона 2 или мембрана на нижней стороне фотошаблона 2 до определённого момента времени герметизирована относительно окружающей среды. Тогда на обращённую вверх сторону фотошаблона 2, для очистки, может подаваться очищающая среда, к примеру, очищающая жидкость, газ или твёрдый материал, к примеру, замороженный СО. За счёт герметизации фотошаблона 2 по боковой кромке нижняя сторона фотошаблона 2 или находящаяся на нём мембрана предохраняются от очищающей среды.
Если подаётся жидкость, то после подачи очищающей жидкости и, в случае необходимости, после промывки промывочной жидкостью, соответствующая верхняя сторона фотошаблона 2 высушивается. Это может быть осуществлено, к примеру, посредством быстрого вращения основания 5 и, таким образом, уплотнительной рамы 7 и фотошаблона 2. Соответствующее высушивание может быть осуществлено и/или поддержано также посредством направленной на верхнюю сторону фотошаблона 2 газовой струи.
Затем устройство 50 снова помещается в положение над уплотнительной рамой 7, и захваты 87 и 71 входят в зацепление с элементами 37 захвата на уплотнительной раме 7. При перемещении устройства 50 в соответствующее положение захвата контактные наконечники 108 поддерживающих штифтов 106 снова вступают в контакт с верхней стороной фотошаблона 2, и поддерживающие штифты с прогибом входят в приёмные втулки 104. При последующем ориентированном вверх перемещении устройства 50 поддерживающие штифты 106 прижимают фотошаблон 2 к опорным поверхностям 16 опорных элементов 15, в то время как уплотнительная рама 7 посредством захватов 87, 71 устройства поднимается. При этом подъём поддерживающих штифтов 106, а также их соответствующее предварительное напряжение, достаточны для того, чтобы надёжно удерживать фотошаблон 2 на опорных поверхностях 16 опорных элементов 15.
Когда уплотнительная рама 7 поднята и удалена, возможно также снять фотошаблон 2 с опорных элементов 15 основания 5.
Изобретение пояснялось ранее на основании предпочтительных примеров осуществления, не будучи ограниченным конкретными примерами осуществления. На основании формулы изобретения для специалиста выявляются различные модификации и варианты осуществления.