ДЕТЕКТОР ВТОРИЧНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ С ВЫСОКОЙ ЭНЕРГИЕЙ

1. Детектор вторичных электронов с высокой энергией, содержащий коллектор(COL, P), на котором расположены только три электрода, изолированные друг от друга и электрически смещенных относительно коллектора:
первый отрицательно смещенный отталкивающий электрод (G1, A1, T1) для отталкивания зарядов первого заданного знака, предназначенных для отталкивания, имеющий по меньшей мере одно отверстие для прохождения электронов;
второй положительно смещенный отталкивающий электрод (G2, A2, T2) для отталкивания зарядов противоположного знака, предназначенных для отталкивания, также имеющий по меньшей мере одно отверстие для прохождения электронов; и
селективный электрод (G3, A3, T3), в котором также выполнено по меньшей мере одно отверстие для прохождения электронов;
причем отверстия в указанных электродах выровнены вдоль проводящего цилиндра (D),
отличающийся тем, что селективный электрод (G3, A3, T3) выполнен с отрицательным электрическим смещением.
2. Детектор по п.1, отличающийся тем, что коллектор (COL) имеет чашевидную форму.
3. Детектор по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что указанные электроды (G1-A1-T1, G2-A2-T2, G3-A3-T3) выполнены из алюминия.
4. Детектор по п.1 или 2, отличающийся тем, что расстояние между двумя последовательно расположенными электродами (G1-G2, G2-G3) лежит в диапазоне 6-10 мм.
2
5. Детектор по п.1 или 2, отличающийся тем, что площадь отверстий в указанных электродах (G1-A1-T1, G2-A2-T2, G3-A3-T3)составляет от 15 до 30 мм.
6. Детектор по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанными электродами служат сетки.
7. Детектор по п.6, отличающийся тем, что прозрачность указанных сеток (G1, G2, G3) превышает 50%.
8. Детектор по п.6, отличающийся тем, что отношение h/D превышает 1, где h - расстояние между двумя последовательно расположенными сетками, a D - диаметр отверстий в указанных сетках.
9. Детектор по п.1 или 2, отличающийся тем, что указанными электродами служат кольца (A1-T1, A2-T2, A3-T3).
10. Детектор по п.9, отличающийся тем, что отношение h/D превышает 1, где h - расстояние между двумя последовательно расположенными сетками, a D - диаметр проводящего цилиндра.
11. Способ обнаружения вторичных электронов с помощью детектора, содержащего:
коллектор (COL) для сбора требуемых зарядов, на котором расположены только три электрода, изолированные друг от друга;
первый электрод (G1, A1, T1) для отталкивания зарядов заданного знака, предназначенных для отталкивания;
второй электрод (G2, A2, T2) для отталкивания зарядов противоположного знака, предназначенных для отталкивания;
селективный электрод(C3, A3, T3);
отличающийся тем, что коллектор (COL) принят за базовый, причем согласно способу:
прикладывают к первому электроду (G1, A1, T1) первое напряжение постоянного тока отрицательной полярности, абсолютная величина которого составляет менее 120 В;
прикладывают ко второму электроду (G2, A2, T2) второе напряжение постоянного тока положительной полярности и
прикладывают к селективному электроду (G3, A3, T3) третье напряжение постоянного тока отрицательной полярности.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что абсолютная величина второго напряжения составляет менее 120 В.
13. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что абсолютная величина третьего напряжения составляет менее 60 В.