СПОСОБ РАФИНИРОВАНИЯ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ С ПОМОЩЬЮ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО НАГРЕВА И ИНЖЕКЦИИ ВОДЫ НА ПОВЕРХНОСТЬ РАСПЛАВА

Способ рафинирования металлургического кремния с помощью электронно-лучевого нагрева и инжекции воды на поверхность расплава, включающий разогрев в тигле неочищенного кремния до получения расплава, отличающийся тем, что нагрев и плавление неочищенного кремния производят в вакууме с помощью графитового нагревателя, при этом кремний помещают в кварцевый тигель, размещенный на графитовом суппорте, при этом электрический контакт с поверхностью расплава осуществляют с помощью специального водоохлаждаемого электрода, рафинирование поверхности расплава осуществляют с помощью нагрева потоком электронов, для получения которого используют электронно-лучевую пушку, с периодической подачей дистиллированной воды на поверхность расплава через сопло-форсунку высокого давления, слиток кремния формируют путем медленного направленного охлаждения расплава, далее, после извлечения слитка, от него отрезают верхний слой с сосредоточенными в нем примесями.