СПОСОБ НАСТРОЙКИ ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНОЙ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ

Способ настройки датчика давления на основе тонкопленочной тензорезисторной нано- и микроэлектромеханической системы, заключающийся во введении в мостовую схему двух компенсационных резисторов, воздействии нестационарной температуры измеряемой среды на мембрану датчика, определении начального выходного сигнала и его изменении от действия температуры, определении необходимой величины сопротивлений компенсационных резисторов и закорачивании компенсационных резисторов до необходимой величины, отличающийся тем, что первый компенсационный резистор выполняют из материала, имеющего контактную разность потенциалов с материалом закорачивающей перемычки, близкую к нулю, размещают его в зоне минимального градиента температурного поля по длине резистора при воздействии нестационарной температуры на минимально возможном расстоянии от тензорезисторов, а второй компенсационный резистор выполняют из материала, имеющего контактную разность потенциалов с закорачивающей перемычкой существенно превышающую контактную разность потенциалов между первым компенсационным резистором и закорачивающей перемычкой, размещают его в зоне максимального градиента температурного поля по длине резистора при воздействии нестационарной температуры, причем сначала определяют необходимую величину второго компенсационного резистора при выключенном напряжении питания и воздействии нестационарной температуры и включают его в мостовую схему, а затем определяют необходимую величину первого компенсационного резистора при включенном напряжении питания и стационарных температурах.