СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОЙ ПОЛИМЕРНОЙ ПЛЕНКИ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ

1. Способ получения тонкой полимерной пленки на диэлектрической подложке, включающий активацию полимерного пленочного материала, осаждение диспергированных, заряженных частиц модификатора на поверхность полимерного пленочного материала, полимеризацию и фиксацию частиц модификатора на поверхности полимерного пленочного материала, отличающийся тем, что в качестве полимерного пленочного материала используют диэлектрическую подложку, на поверхность которой после ее активации осаждают возбужденные в плазмотроне частицы модификатора, в качестве которых используют частицы мономера или смеси мономеров, расход частиц мономера, или смеси мономеров до их осаждения на поверхность диэлектрической подложки регулируют, за счет чего контролируют толщину слоя мономера, после чего слой мономера, или смеси мономеров полимеризуют путем реакции радикальной или ионной поверхностной полимеризации, в результате чего инициируют образования ковалентных связей между поверхностными молекулами диэлектрической подложки и молекулами формируемой тонкой полимерной пленки.
2. Устройство получения тонкой полимерной пленки на диэлектрической подложке, содержащее источник газа, узел подачи обрабатываемого материала, ионизатор диэлектрической подложки, отличающееся тем, что содержит дополнительно редуктор для регулировки расхода частиц мономера, или смеси мономеров, вход которого подсоединен к выходу источника газа, а выход редуктора подсоединен к входу распылителя частиц мономера, или смеси мономеров, выход которого подсоединен к плазмотрону, ко второму входу которого подключен регулятор амплитуды и частоты тока разряда, выходной торец плазмотрона располагают под углом к выходному торцу ионизатора диэлектрической подложки, со стороны выходных торцов плазмотрона и ионизатора диэлектрической подложки расположена камера осаждения возбужденных частиц мономера, или смеси мономеров, со стороны выходного торца камеры осаждения расположен вход в камеру закрепления, ко второму входу которой подключено устройство инициирования реакции радикальной или ионной полимеризации, со стороны выхода из камеры закрепления расположен приемник диэлектрической подложки с нанесенной на ее поверхность тонкой полимерной пленкой.