СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОЧАСТИЦ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ получения наночастиц, включающий диспергирование расплавленного материала, подачу образовавшихся жидких капель этого материала в поток электронов, нанесение получаемых при прохождении потока электронов наночастиц на подложку, при этом параметры потока электронов и время нахождения жидких капель в нем удовлетворяют соотношениям
;
;
где r - радиус заряжаемых жидких капель, м;
Е - средняя энергия электронов, Дж;
-3
n - плотность потока электронов, м;
τ - время зарядки капель, с;
σ - коэффициент поверхностного натяжения диспергируемого материала при температуре его плавления, Н/м;
е - заряд электрона, Кл;
e
m - масса электрона, кг.
7
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что диспергирование расплавленного материала осуществляют электронно-лучевым плавлением поверхности острия металлического анода, в котором напряженность электрического поля вершине острия анода поддерживается на уровне не менее 10 В/см.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что диспергирование расплавленного материала осуществляют лазерной абляцией мишени из любого материала, который можно перевести в жидкое состояние.
4. Устройство для получения наночастиц, включающее узел формирования потока микрокапель, узел дозарядки микрокапель и узел осаждения наночастиц, установленные соосно и размещенные в вакуумной камере; узел формирования потока микрокапель установлен с осевым зазором относительно узла дозарядки микрокапель и включает металлическую иглу, являющуюся первым анодом, и кольцевой катод, вставленный в кольцевой паз диэлектрического диска с центральным отверстием; узел дозарядки микрокапель включает диэлектрический корпус в виде полого круглого цилиндра с центральными торцовыми отверстиями, в котором установлены первый круглый цилиндрический катод и первая круглая цилиндрическая металлическая сетка, являющаяся вторым анодом, между которыми размещен первый эмиттер электронов; узел осаждения наночастиц включает дисковый катод с центральным отверстием, третий анод и подложку, устанавливаемую на третьем аноде; при этом вокруг зазора между узлом формирования потока микрокапель и узлом дозарядки микрокапель установлен кольцевой управляющий электрод, подключенный к регулируемому источнику напряжения.
5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что третий анод выполнен в виде диска.
6. Устройство по п.4, отличающееся тем, что третий анод выполнен в виде кольца.
7. Устройство по п.4, отличающееся тем, что третий анод выполнен в виде тора.
8. Устройство по п.4, отличающееся тем, что первый эмиттер электронов выполнен в виде вольфрамовой нити, размещенной по круглой цилиндрической поверхности и подключенной к источнику тока.
9. Устройство по п.4, отличающееся тем, что узел дозарядки микрокапель включает второй круглый цилиндрический катод и вторую круглую цилиндрическую металлическую сетку, являющуюся четвертым анодом, между которыми размещен второй эмиттер электронов, установленные за первым эмиттером электронов и отделенные от него кольцевой диэлектрической перегородкой.
10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что второй эмиттер электронов выполнен в виде вольфрамовой нити, размещенной по круглой цилиндрической поверхности и подключенной к источнику тока.
11. Устройство по п.4, отличающееся тем, что диэлектрический диск, диэлектрический корпус, кольцевая диэлектрическая перегородка и дисковый катод имеют одинаковые радиусы центральных отверстий.
12. Устройство по п.4, отличающееся тем, что управляющий электрод выполнен в виде кольца.
13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что управляющий электрод выполнен в виде кольца с цилиндрической внутренней поверхностью
14. Устройство по п.12, отличающееся тем, что управляющий электрод выполнен в виде кольца с вогнутой внутренней поверхностью.
15. Устройство по п.4, отличающееся тем, что управляющий электрод выполнен в виде полого усеченного конуса.