КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ЭЛЕКТРОДУГОВОГО ИСПАРИТЕЛЯ

1. Катодный узел электродугового испарителя, содержащий цилиндрический охлаждаемый катод, выполненный из испаряемого материала в виде цилиндрической обечайки с возможностью вращения вокруг собственной оси, снабженный средствами подвода-отвода охлаждающей среды, средствами электрической связи катода с источником электропитания разряда, средствами фиксации положения катодного пятна на поверхности испарения катода, отличающийся тем, что катод выполнен составным, состоящим по крайней мере из двух сегментов обечайки, образующих при совмещении сплошную обечайку.
2. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что сегменты составного катода соединены между собой сваркой.
3. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что катод состоит из соединенных между собой сегментов обечаек, выполненных из материалов, выбранных из элементов IV, V, VI групп Периодической таблицы и Al, а также их сплавов.
4. Катодный узел по п.3, отличающийся тем, что соотношение площадей сегментов обечаек, выполненных из различных наносимых материалов, определяется соотношением толщин слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.
5. Катодный узел по п.1, отличающийся тем, что катод состоит из трех частей обечаек, выполненных соответственно из титана, алюминия и кремния.
6. Катодный узел по п.5, отличающийся тем, что соотношение площадей испаряемых поверхностей сегментов обечаек из титана, алюминия и кремния определяется соотношением слоев этих материалов, получаемых при нанесении покрытия.