СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АМПЛИТУДНЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И МАСОК ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАЗОВЫХ СТРУКТУР

7
2
Способ изготовления амплитудных дифракционных оптических элементов и масок для изготовления фазовых структур, включающий нанесение металлической пленки на поверхность диэлектрической подложки с последующим воздействием сфокусированного лазерного излучения на пленку, отличающийся тем, что пленку молибдена наносят толщиной 35-45 нм, а воздействие сфокусированного лазерного излучения осуществляют мощностью (0,8-1,2)·10 Вт/см, обеспечивая полное удаление (абляцию) металлической пленки в зоне воздействия.