СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1. Способ получения поликристаллического кремния, в котором нагревают множество кремниевых стержней-затравок, помещенных в реакционную печь, а поликристаллический кремний осаждают на поверхностях кремниевых стержней-затравок с помощью сырьевого газа, испускаемого из газовыпускных отверстий, расположенных во внутренней нижней части реакционной печи, причем способ включает
этап стабилизации осадка, на котором скорость испускания сырьевого газа из газовыпускных отверстий плавно повышают на первой стадии осаждения поликристаллического кремния;
этап придания формы, на котором первую скорость испускания повышают при скорости повышения, более высокой, чем скорость повышения на этапе стабилизации, а затем скорость испускания плавно повышают при скорости, более низкой, чем скорость повышения; и
этап роста, на котором, после этапа придания формы, скорость испускания делают более медленной, чем скорость в конце этапа придания формы.
2. Способ по п.1, в котором длительность, требуемая для этапа придания формы, соответствует 20-35% от общей продолжительности осаждения поликристаллического кремния.
3. Способ по п.1, в котором множество газовыпускных отверстий ответвлены от газоподающей трубы, а на этапе придания формы, скорость испускания из части газовыпускных отверстий повышают путем закрытия другого множества газовыпускных отверстий.
4. Способ по п.3, в котором на этапе придания формы 30-55% газовыпускных отверстий закрыто.
5. Способ по п.3, в котором на этапе роста скорость испускания сырьевого газа снижается за счет уменьшения количества закрытых газовыпускных отверстий, по сравнению с этапом придания формы.
6. Способ по п.5, в котором на этапе роста 10-20% газовыпускных отверстий закрыто.
7. Способ по любому из пп.1-3, в котором осуществляют переключение между закрываемыми газовыпускными отверстиями и другими газовыпускными отверстиями, создавая, таким образом, переключение между открытым/закрытым состоянием, в течение каждого заданного временного интервала.