СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА

1. Способ получения пленок фосфоросиликатного стекла, включающий нагрев подложек и осаждение на них пленок из парогазовой смеси, состоящей из кремнийорганического соединения, содержащей фосфор легирующей примеси, кислорода, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения воспроизводимости толщины пленок и концентрации в них фосфора, в качестве кремнийорганического соединения используют диметилдихлорсилан, а в качестве содержащей фосфор легирующей примеси треххлористый фосфор.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что соотношение диметилхлорсилана и треххлористого фосфора в парогазовой смеси составляет 10/0,02–10/1,5.