СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОКИСЛА С ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Обработка кремниевых пластин перед напылением, включающая травление кремния с полным удалением остатков окисла с поверхности кремниевых пластин перед напылением обратной стороны, отличающаяся тем, что в качестве травителя используется раствор, в состав которого входят бифторид аммония и деионизованная вода, компоненты раствора выбираются в следующем соотношении:
4
2
2
NHHF:HO=1:26,
время обработки остатков окисла с кремниевых пластин при этом составляет не более 10 с при комнатной температуре.