НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК НА ПОДЛОЖКЕ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам формирования квантовых точек на подложке.
Известно устройство формирования квантовых точек на подложке, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами, каждый зонд пьезопривода выполнен в виде углеродной нанотрубки, при этом внутренний объем каждой углеродной нанотрубки заполнен жидкофазным галлием, а подложка выполнена из диэлектрического материала, обладающего эффектом смачивания с жидкофазным галлиемсодержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондом. [Патент РФ №66607, МПК H01L 41/00, опубл. 10.09.2007 г., (аналог)]
Недостатком известного решения является отсутствие возможности управления процессом формирования квантовых точек.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования квантовых точек на подложке, содержащее трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область, устройство снабжено жесткой платформой, закрепленным на жесткой платформе источником лазерного излучения, на наружной цилиндрической поверхности источника лазерного излучения установлена втулка, внутри которой закреплена фокусирующая линза с возможностью осевого перемещения, устройство дополнительно снабжено источником регулируемого потенциала на поверхности подложки [Патент РФ №68181, МПК H01J 37/28, опубл. 10.11.2007 г., (прототип)]
Недостатком известного решения является отсутствие возможности управления процессом формирования квантовых точек
Техническая задача, на решение которой напрвлена предлагаемая полезная модель, состои. в том, чтобы обеспечить управляемость процесса формирования квантовых точек.
Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве формирования квантовых точек на подложке, содержащее, зонды многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами, согласно предложенной полезной модели, многозондовый пьезопривод выполнен в виде набора пьезоколец, соединенных в полый цилиндр, на торце наружного кольца закреплена диэлектрическая пластина, на которой закреплены зонды, устройство дополнительно снабжено электронной пушкой и двумя парами конденсаторных пластин расположенных по пути следования электронного луча, причем плоскости двух конденсаторных пластин взаимно перпендикулярны по отношению друг к другу, причем конденсаторные пластины связаны с узлами подачи управляющих напряжений Ux и Uy.
Введение в нанотехнологическое устройство формирования квантовых точек на подложке пьезопривода выполненного в виде набора пьезоколец, соединенных в полый цилиндр, диэлектрической пластины с закрепленными в ней зондами, электронной пушкой и двух пар конденсаторных пластин расположенных по пути следования электронного луча, причем плоскости двух конденсаторных пластин взаимно перпендикулярны по отношению друг к другу, также конденсаторные пластины связаны с узлами подачи управляющих напряжений 11x и Кy обеспечивает управляемость процесса формирования квантовых точек.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где представлено нанотехнологическое устройство формирования квантовых точек.
Нанотехнологическое устройств формирования квантовых точек состоит из многозондового пьезопривода (1), установленного на неподвижном основании (2), подложки (3), установленной на неподвижном подложкодержателе 4, электрически связанную с зондами (5), пьезопривод (1) выполнен в виде набора пьезоколец (6), соединенных в полый цилиндр (7), на торце (8) наружного кольца (9) закреплена диэлектрическая пластина (10) с закрепленными в ней зондами (5), устройство дополнительно снабжено электронной пушкой (11) и двумя парами конденсаторных пластин (12) (13) расположенных по пути следования электронного луча, причем плоскости двух конденсаторных пластин взаимно перпендикулярны по отношению друг к другу, причем конденсаторные пластины связаны с узлами (14) (15) подачи управляющих напряжений Ux и Uy.
Нанотехнологическое устройство формирования квантовых точек работает следующим образом.
Пучок электронов созданный электронной пушкой (11), направляется двумя парами конденсаторных пластин и попадает на зонд (5). Зонд (5) заряжается отрицательно. При подаче на подложку (3) напряжение, между зондом (11) и подложкой (3) формируется туннельный ток, посредством которого на подложке (3) образуется квантовая точка. Следует отметить, что квантовая точка образуется при взаимодействии туннельных электронов и рабочего газа.
Предложенная конструкция устройства обеспечивает управляемость процесса формирования квантовых точек.