СКАНИРУЮЩИЙ МОНОБЛОЧНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО

1. Сканирующий моноблочный интерферометр Фабри-Перо, содержащий два плоскопараллельных мембранных зеркала, обращенных одно к другому и зафиксированных с помощью оптического контакта на своих краях на противоположных сторонах разделительного кольца, а также два пьезоэлектрических элемента, наклеенные, каждый, с обратной стороны соответствующего зеркала, при этом каждое из упомянутых мембранных зеркал с обратной стороны выполнено с утолщенной центральной частью, соединенной через утонченную промежуточную часть с утолщенной краевой частью, на которой и наклеен соответствующий пьезоэлектрический элемент.
2. Интерферометр по п. 1, в котором каждый из упомянутых пьезоэлектрических элементов выполнен многослойным.
-6
3. Интерферометр по п. 1, в котором материал упомянутых зеркал и разделительного кольца имеет температурный коэффициент линейного расширения не более 0,55×10 1/с.