ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК ИЗОБРАЖЕНИЯ, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И АППАРАТ ДЛЯ СЪЕМКИ

1. Твердотельный датчик изображения, содержащий:
первую полупроводниковую область первого типа проводимости;
вторую полупроводниковую область второго типа проводимости, расположенную в контакте с нижней поверхностью первой полупроводниковой области и функционирующую в качестве области накопления зарядов;
третью полупроводниковую область, включающую в себя боковые поверхности, окруженные второй полупроводниковой областью;
четвертую полупроводниковую область второго типа проводимости, расположенную на удалении от второй полупроводниковой области; и
затвор переноса, который образует канал для переноса зарядов, накапливаемых во второй полупроводниковой области, в четвертую полупроводниковую область,
причем третья полупроводниковая область является одной из полупроводниковой области первого типа проводимости и полупроводниковой области второго типа проводимости, а концентрация примеси в ней ниже, чем концентрация примеси во второй полупроводниковой области.
2. Датчик по п.1, в котором третья полупроводниковая область включает в себя верхнюю поверхность, которая контактирует со второй полупроводниковой областью.
3. Датчик по п.1, дополнительно содержащий пятую полупроводниковую область второго типа проводимости, включающую в себя участок, который контактирует с нижней поверхностью второй полупроводниковой области и нижней поверхностью третьей полупроводниковой области.
4. Датчик по п.3, дополнительно содержащий шестую полупроводниковую область первого типа проводимости, которая контактирует с нижней поверхностью пятой полупроводниковой области.
5. Датчик по п.1, дополнительно содержащий полупроводниковую область первого типа проводимости, включающую в себя участок, который контактирует с нижней поверхностью второй полупроводниковой области и нижней поверхностью третьей полупроводниковой области.
6. Датчик по п.1, выполненный с возможностью содержать множество пикселей, причем каждый пиксель включает в себя вторую полупроводниковую область, третью полупроводниковую область и затвор переноса, а между второй полупроводниковой областью одного пикселя и второй полупроводниковой областью другого пикселя расположена полупроводниковая область первого типа проводимости.
7. Датчик по п.1, выполненный с возможностью содержать множество пикселей, причем каждый пиксель включает в себя вторую полупроводниковую область, третью полупроводниковую область и затвор переноса, а между второй полупроводниковой областью одного пикселя и второй полупроводниковой областью другого пикселя расположена полупроводниковая область первого типа проводимости, и
третья полупроводниковая область и упомянутая полупроводниковая область расположены на одинаковой глубине и имеют одинаковую концентрацию примеси.
8. Способ изготовления твердотельного датчика изображения, включающего в себя подложку, в которой выполнены первая полупроводниковая область первого типа проводимости, вторая полупроводниковая область второго типа проводимости, расположенная в контакте с нижней поверхностью первой полупроводниковой области и функционирующая в качестве области накопления зарядов, и четвертая полупроводниковая область второго типа проводимости, расположенная на удалении от второй полупроводниковой области, и включающего в себя затвор переноса, который образует канал для переноса зарядов, накапливаемых во второй полупроводниковой области, в четвертую полупроводниковую область, причем способ содержит этап, на котором:
имплантируют ионы первого типа проводимости в подложку для формирования третьей полупроводниковой области, включающей в себя боковые поверхности, окруженные второй полупроводниковой областью.
9. Способ по п.8, в котором
твердотельный датчик изображения включает в себя множество пикселей, каждый из которых включает в себя вторую полупроводниковую область, третью полупроводниковую область и затвор переноса, а
при имплантации ионов имплантируют ионы в подложку для формирования полупроводниковой области первого типа проводимости между второй полупроводниковой областью одного пикселя и второй полупроводниковой областью другого пикселя вместе с третьей полупроводниковой областью.
10. Способ по п.9, в котором при имплантации ионов имплантируют ионы в подложку таким образом, что третья полупроводниковая область и упомянутая полупроводниковая область первого типа проводимости располагаются на одинаковой глубине и имеют одинаковую концентрацию примеси.
11. Способ по п.9, дополнительно содержащий имплантацию ионов в подложку для формирования другой полупроводниковой области первого типа проводимости под упомянутой полупроводниковой областью первого типа проводимости.
12. Способ по п.8, дополнительно предусматривающий формирование первой полупроводниковой области и второй полупроводниковой области после имплантации ионов для формирования третьей полупроводниковой области.
13. Способ изготовления твердотельного датчика изображения, включающего в себя первую полупроводниковую область первого типа проводимости, вторую полупроводниковую область второго типа проводимости, расположенную в контакте с нижней поверхностью первой полупроводниковой области и функционирующую в качестве области накопления зарядов, четвертую полупроводниковую область второго типа проводимости, расположенную на удалении от второй полупроводниковой области, и затвор переноса, который образует канал для переноса зарядов, накапливаемых во второй полупроводниковой области, в четвертую полупроводниковую область, причем способ содержит этап, на котором:
имплантируют ионы в область, где должна быть сформирована вторая полупроводниковая область, для формирования второй полупроводниковой области и ограничения третьей полупроводниковой области второго типа проводимости, включающей в себя боковые поверхности, окруженные второй полупроводниковой областью,
причем третья полупроводниковая область является полупроводниковой областью, в которой концентрация примеси второго типа проводимости ниже, чем таковая во второй полупроводниковой области.
14. Аппарат для съемки, содержащий:
твердотельный датчик изображения по любому из пп.1-7; и
блок обработки, который обрабатывает сигнал, выведенный из твердотельного датчика изображения.