СПОСОБ ЗАЩИТЫ СУСТАВОВ МАНИПУЛЯТОРОВ И МЕХАНИЗМА ВРАЩЕНИЯ ПРЕДМЕТНОГО СТОЛА, РАБОТАЮЩИХ В ВАКУУМЕ, ПУТЕМ ПРИМЕНЕНИЯ ОБОЛОЧЕК СО СПИРАЛЬНЫМ ГОФРОМ И КОЛЬЦЕВЫХ ИОННЫХ НАСОСОВ

Способ защиты суставов манипуляторов и механизма вращения предметного стола, работающих в вакууме (агрессивных средах), путем применения оболочек со спиральным гофром и кольцевых ионных насосов, отличающийся тем, что суставы манипулятора покрывают оболочками со спиральным гофром, а смазанные жидкой смазкой подшипники оси вращения предметного стола изолируют от технологической вакуумной камеры кольцевым иным насосом, в результате чего звенья манипулятора могут не только сгибаться, но и совершать вращательные движения, т.е. повышается число степеней свободы манипулятора, а предметный стол может вращаться на любой угол, без угрозы загрязнения вакуума испарениями смазки.