КОНВЕРТЕР ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ИЗЛУЧЕНИЕ ВИДИМОГО ДИАПАЗОНА В ВИДЕ АМОРФНОЙ ПЛЕНКИ ОКСИДА КРЕМНИЯ SIOX НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ

X
X
Конвертер вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiO на кремниевой подложке, отличающийся тем, что толщина аморфной пленки оксида кремния SiO составляет 20÷70 нм, а ионы кислорода в упомянутой пленке содержатся в количестве, при котором стехиометрический коэффициент х находится в пределах от 2,01 до 2,45.