СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОСТАВНОЙ КОМПЕНСАЦИОННОЙ БАЛАНСИРНОЙ ПРУЖИНЫ

1. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (1), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (3, 3'), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
c) соединяют первую пластину (1) с по меньшей мере одной второй пластиной (3, 3') для образования подложки (2, 2');
1
2
2
d) вытравливают рисунок (4) в подложке (2, 2') для образования составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), включающей в себя первую толщину (E) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E, E') по меньшей мере второго материала;
e) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (2, 2').
2. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (11), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (13, 13'), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
d') вытравливают идентичные рисунки (14, 16, 16') в каждой из пластин (13, 11, 13');
1
2
2
с') соединяют первую пластину (11) с по меньшей мере одной второй пластиной (13, 13') для образования подложки (12, 12') и путем совмещения одинаковых рисунков (14, 16, 16') образуют составную компенсационную балансирную пружину (31, 41), включающую в себя первую толщину (E) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E, E') по меньшей мере второго материала;
е) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (12, 12').
3. Способ изготовления составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), содержащий следующие этапы, на которых:
a) берут первую пластину (21), выполненную из первого материала;
b) берут по меньшей мере вторую пластину (23, 23'), выполненную из по меньшей мере второго материала, чьи изменения модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) имеют противоположный знак относительно изменений модуля Юнга в зависимости от температуры (ТЕС) первого материала;
f) вытравливают идентичные рисунки (24, 26, 26') в каждой из пластин (23, 21, 23') в только одной части толщины;
g) соединяют первую пластину (21) с по меньшей мере одной второй пластиной (23, 23') для образования подложки (22, 22') путем совмещения одинаковых рисунков (24, 26, 26');
1
2
'2
f) вытравливают идентичные рисунки (24, 26, 26') в остальной части подложки (22, 22') для образования составной компенсационной балансирной пружины (31, 41), включающей в себя первую толщину (E) первого материала и по меньшей мере вторую толщину (E, E) по меньшей мере второго материала;
е) высвобождают составную компенсационную балансирную пружину (31, 41) из подложки (22, 22').
4. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе кремния.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе кремния включае(ю)т в себя монокристаллический кремний, легированный монокристаллический кремний, поликристаллический кремний, легированный поликристаллический кремний, пористый кремний, оксид кремния, кварц, кремнезем, нитрид кремния или карбид кремния.
6. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе керамики.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе керамики включае(ю)т в себя фотоструктурируемое стекло, боросиликат, алюмосиликат, кварцевое стекло, церодур, монокристаллический корунд, поликристаллический корунд, глинозем, оксид алюминия, нитрид алюминия, монокристаллический рубин, поликристаллический рубин, оксид циркония, оксид титана, нитрид титана, карбид титана, нитрид вольфрама, карбид вольфрама, нитрид бора или карбид бора.
8. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал выполнен(ы) на основе металла.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что первый материал и/или по меньшей мере один второй материал на основе металла включае(ю)т в себя железный сплав, медный сплав, никель или его сплав, титан или его сплав, золото или его сплав, серебро или его сплав, платину или ее сплав, рутений или его сплав, родий или его сплав, палладий или его сплав.
10. Способ по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что несколько составных компенсационных балансирных пружин (31, 41) выполняют на одной и той же подложке (2, 2', 12, 12', 22, 22').