Способ глубокой очистки моносилана

Способ получения моносилана диспропорционированием трихлорсилана, включающий контактирование трихлорсилана и смеси хлорсиланов с катализатором в ректификационной колонне, отгонку из смеси тетрахлорида кремния и выделение полученных хлорсиланов с последующим возвратом смеси в ректификационную колонну, испарением жидкой смеси, нагревом полученной паровой смеси перед контактом с катализатором до 60-160°С и подачей ее в реакционную зону с катализатором, расположенную на линии парового потока ректификационной колонны с последующим постадийным выделением из смеси силанов индивидуальных продуктов методом парциальной конденсации при различных температурах 0-10°С (для тетрахлорида кремния), (-10) - (-20)°С - (дихлорсилана), (-30) - (-40)°С - (для моносилана), отличающийся тем, что моносилан с примесями хлорсиланов и гетерогенными наночастицами катализатора разделяется и очищается методом мембранного газоразделения при комнатной температуре последовательно на различных типах мембран в различных режимах газоразделения, сначала для определения хлорсиланов процесс мембранного разделения на высокопроницаемой по хлорсиланам мембране ведут в режиме противотока, затем процесс мембранной очистки моносилана от гетерогенных наночастиц ведут на высокопроницаемой по моносилану мембране в режиме прямотока.