СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ УПРОЧНЯЮЩИХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Способ нанесения упрочняющих покрытий в вакууме, включающий пропускание импульсов разрядного тока между анодом и катодом, осаждение покрытия на подложкодержатель при приложении к нему отрицательного ускоряющего потенциала и перемещение подложкодержателя, отличающийся тем, что, с целью повышения равномерности покрытия при упрочнении порошковых материалов, синхронно с пропусканием импульсов разрядного тока на подложкодержатель накладывают импульсное магнитное поле, а перемещение подложкодержателя осуществляют в период паузы между импульсами разрядного тока, при этом длительность импульса вибрационного перемещения не превышает длительность паузы между импульсами разрядного тока.