СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПЛОСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ (ВАРИАНТЫ)

1. Способ нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности детали, заключающийся в размещении на карусели в вакуумной камере по крайней мере одной плоской детали, приведении карусели во вращение и формировании нанокомпозитного покрытия на плоской детали с помощью установленных в вакуумной камере источников распыляемого материала, отличающийся тем, что при прохождении детали перед источником распыляемого материала деталь ориентируют таким образом, что обрабатываемую плоскую поверхность располагают перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, при этом фиксируют деталь относительно собственной оси, и осуществляют разворот детали на 180° относительно собственной оси вне источника распыляемого материала.
2. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.1, отличающийся тем, что при развороте детали на 180° ее обрабатывают ионным пучком.
3. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали, содержащее установленный в вакуумной камере по меньшей мере один источник распыляемого материала, карусель, на которой размещен по меньшей мере один держатель плоской детали, отличающееся тем, что перед источником распыляемого материала деталь установлена неподвижно относительно оси держателя и закреплена на держателе так, что ее обрабатываемая плоская поверхность расположена перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, а разворот детали на 180° относительно оси держателя при расположении на расстоянии от источника распыляемого материала.
4. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.3, отличающееся тем, что источник распыляемого материала выполнен в виде N магнетронов, где N - целое число и N≥1.
5. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по п.3, отличающееся тем, что источник распыляемого материала выполнен в виде N электродуговых источников, где N - целое число и N≥1.
6. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали по любому из пп.4, 5, отличающееся тем, что количество источников распыляемого материала выбрано равным М, где М - целое четное число и М≥2, причем источники распыляемого материала установлены парами напротив друг друга на расстоянии, обеспечивающем прохождение детали между ними.
7. Устройство для нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности детали по п.6, отличающееся тем, что мишени источников распыляемого материала выполнены из разных материалов.
8. Устройство для нанесения нанокомпозитного покрытия на плоские поверхности детали, содержащее установленный в вакуумной камере по меньшей мере один источник распыляемого материала, карусель, на которой размещен по меньшей мере один держатель плоской детали, отличающееся тем, что снабжено ионным источником, установленным так, что ионный пучок воздействует на поверхность при развороте детали на 180°, а перед источником распыляемого материала деталь установлена неподвижно относительно оси держателя и закреплена на держателе так, что ее обрабатываемая плоская поверхность расположена перпендикулярно плоскости, проведенной через оси вращения карусели и держателя, параллельные друг другу, а разворот детали на 180° относительно оси держателя при расположении на расстоянии от источника распыляемого материала.