НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологичным устройствам перемещений.
Известно нанотехнологичное устройство перемещений, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом [Патент США №6215121, МПК G01B 21/30; G01N 37/00; G01Q 10/04, опубл. 10.04.2001 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность отвода тепла из рабочей зоны устройства.
Наиболее близким по технической сущности и достигнутому техническому результату является нанотехнологичное устройство перемещений, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом [Патент РФ №2199171, МПК H01L 41/09, опубл. 20.02.2003 (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность отвода тепла из рабочей зоны устройства.
В основу полезной модели положена техническая задача, заключающаяся в том, чтобы обеспечить возможность отвода тепла из рабочей зоны при выполнении технологических операций.
Поставленная техническая задача решается тем, что нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее неподвижную платформу, жестко закрепленный на ней пьезопривод с зондом, подложкодержатель, согласно заявляемой полезной модели, снабжено тепловой трубкой, установленной в диэлектрическом кольце, жестко связанным со свободным торцом пьезопривода, зонд закреплен в тепловой трубке, в области перехода в острие на зонде выполнен бортик, связанный с торцом тепловой трубки, пьезопривод выполнен в виде набора пьезоколец, между которыми расположены металлические кольца, устройство снабжено источником жидкого азота, который связан со свободным противоположным торцом тепловой трубки.
Технический результат состоит в обеспечении возможности отвода тепла из рабочей зоны устройства при выполнении технологических операций за счет наличия в конструкции устройства тепловой трубкы, установленной внутри пьезопривода и связанной с источником жидкого азота.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показан вид нанотехнологического устройства перемещений сбоку.
Нанотехнологическое устройство перемещений (фиг. 1) содержит пьезопривод 1, выполненный из набора пьезоколец 2, между которыми расположены металлические кольца 3, тепловую трубку 4, закрепленную на свободном торце пьезопривода 1, зонд 5, установленный в тепловой трубке 4 и взаимодействующий с подложкой 6, тепловая трубка 4 связана с источником жидкого азота 7.
Нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения на металлические кольца 3, происходит механическая деформация пьезопривода 1 из набора пьезоколец 2 вследствие обратного пьезоэффекта, при этом тепловая трубка 4, жестко связанная со свободным торцем пьезопривода 1, выполняет перемещение зонда 5 перпендикулярно подложке 6, в результате сил электрического взаимодействия зонда 5 и подложки 6 выполняется технологический процесс, при этом тепло из рабочей зоны зонда 5 тепловой трубки 4 к источнику жидкого азота 7.
Применение предложенного нанотехнологического устройства перемещений позволяет эффективно отводить тепло из рабочей зоны.