СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМНОГО СОСТАВА АКТИВНЫХ НАНОПРИМЕСЕЙ В ЖИДКОСТЯХ

Способ определения атомного состава активных примесей в жидких средах, заключающийся в подготовке анализируемого объекта, в размещении его в вакууме, в облучении поверхности пучком заряженных частиц и регистрации вторичных частиц, в определении по вторичным частицам состава атомов поверхности, отличающийся тем, что подготовку анализируемого объекта осуществляют подготовкой поверхности полупроводниковой пластины химическим травлением, обработкой в перекисно-аммиачном растворе, отмывкой в деионизованной воде, нанесением капли анализируемой жидкости размером не менее микрона на поверхность чистой полупроводниковой пластины и последующим ее удалением, а для анализа облучают пучком заряженных частиц след удаленной капли.