СПОСОБ ОЦЕНКИ НАДЕЖНОСТИ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ РАЗВОДКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Способ оценки надежности металлических проводников интегральных схем, состоящий в проведении ускоренных испытаний металлических проводников при постоянной температуре за счет саморазогрева протекающим током, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени испытаний и повышения информативности, определяют скорость нарастания сопротивления металлических проводников проводников в зависимости от времени в пологой области, при этом в дальнейшем испытания до наступления отказа металлических проводников не проводятся.