Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур

Способ количественной трехмерной реконструкции поверхности кремниевых микро- и наноструктур в растровой электронной микроскопии, включающий получение стерео изображений исследуемого объекта при различных углах наклона столика объектов в растровом электронном микроскопе, фотограмметрическую обработку полученных изображений и отличающийся тем, что с целью повышения точности результатов трехмерной реконструкции, исследуемый объект предварительно подвергается плазменной обработке при помощи высокочастотного разряда пониженного давления, причем мощность разряда и продолжительность обработки устанавливаются достаточными для возникновения и визуализации в растровом электронном микроскопе морфологических особенностей нанометрового масштаба на поверхности исследуемого объекта.