ТОНКАЯ СТРУКТУРА, ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ, ПРОСВЕТЛЯЮЩАЯ ПЛЕНКА, ВОДООТТАЛКИВАЮЩАЯ ПЛЕНКА, ПОДЛОЖКА ДЛЯ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ, ФАЗОВАЯ ПЛАСТИНКА, СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОЙ СТРУКТУРЫ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОСВЕТЛЯЮЩЕЙ ПЛЕНКИ

1. Тонкая структура, содержащая многочисленные конические участки на своей поверхности, при этом:
конические участки имеют мезоструктуру; и
мезоструктура содержит структуру, имеющую мезопоры.
2. Тонкая структура по п. 1, в которой, когда длина нижней линии конических участков обозначена D и высота конических участков обозначена Н, отношение H/D составляет 1/2 или больше.
3. Тонкая структура по п. 1, в которой конические участки имеют высоту 50 нм или больше.
4. Тонкая структура по п. 1, в которой средний интервал p между вершинами конических участков, прилегающих друг к другу, составляет 400 нм или меньше.
5. Тонкая структура по п. 1, в которой, когда средний интервал между вершинами конических участков, прилегающих друг к другу, обозначен p и стандартное отклонение распределения интервалов между вершинами обозначено σ, удовлетворяется следующее выражение 1:
<mrow><mtext> </mtext><mtext> </mtext></mrow>
0,1<σ/p<0,5
(Выражение 1).
6. Тонкая структура по п. 1, в которой внутреннее пространство мезопор является пустым.
7. Тонкая структура по п. 1, в которой в мезопорах присутствует один из органического материала и неорганического материала.
8. Тонкая структура по п. 7, в которой в мезопорах присутствует неорганический материал, и при этом неорганический материал содержит любой из оксида кремния, оксида циркония и оксида титана.
9. Тонкая структура по п. 1, в которой мезопоры имеют цилиндрическую форму.
10. Тонкая структура по п. 1, в которой мезопоры расположены периодически, и при рентгеноструктурном анализе структура показала дифракционный пик, соответствующий структурному периоду 1,0 нм или больше.
11. Тонкая структура по п. 1, в которой участок стенки, формирующий мезопоры, образован любым из оксида кремния, оксида циркония и оксида титана.
12. Тонкая структура, содержащая многочисленные выступающие участки на своей поверхности, при этом:
выступающие участки имеют такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от низа выступающих участков к их вершине, уменьшается вдоль этого направления;
выступающие участки имеют мезоструктуру, имеющую мезопоры;
на вершине выступающих участков присутствует элемент-металл; и
когда длина нижней линии выступающих участков обозначена D и высота выступающих участков обозначена Н, отношение H/D составляет 2,0 или больше.
13. Просветляющая пленка, содержащая тонкую структуру, имеющую многочисленные выступающие участки на своей поверхности, при этом:
выступающие участки имеют мезоструктуру;
мезоструктура является структурой, имеющей мезопоры; и
выступающие участки имеют такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от низа выступающих участков к их вершине, уменьшается вдоль этого направления.
14. Просветляющая пленка, содержащая тонкую структуру, имеющую многочисленные выступающие участки на своей поверхности, при этом:
выступающие участки имеют мезоструктуру;
мезоструктура является структурой, имеющей мезопоры; и
выступающие участки имеют такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от низа выступающих участков к их вершине, уменьшается вдоль этого направления; и
при этом тонкая структура содержит тонкую структуру по любому из пп. с 1 по 12.
15. Оптический элемент, содержащий:
подложку и
просветляющую пленку, присутствующую на поверхности подложки,
при этом:
просветляющая пленка содержит просветляющую пленку по п. 14;
конические поверхности выступающих участков, прилегающих друг к другу, сливаются друг с другом; и
положения, где конические поверхности сливаются друг с другом, представлены на стороне просветляющей пленки, соответствующей поверхности подложки, а расстояние между участком, где конические поверхности сливаются друг с другом, и подложкой не является постоянным.
16. Оптический элемент, содержащий:
подложку и
просветляющую пленку, присутствующую на поверхности подложки,
при этом:
просветляющая пленка содержит просветляющую пленку по п. 14;
участок просветляющей пленки, соприкасающийся с подложкой, имеет мезоструктуру; и
когда показатель преломления подложки обозначен na и показатель преломления участка просветляющей пленки, соприкасающегося с подложкой, обозначен nb, удовлетворяется соотношение 0≤|na-nb|≤0,05.
17. Способ получения тонкой структуры, содержащий подвергание неорганического оксида плазменному травлению с использованием химически активного газа, без использования маски, для формирования на неорганическом оксиде многочисленных выступающих участков, имеющих средний интервал от вершины до вершины 400 нм или меньше и имеющих такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от их низа к их вершине, уменьшается вдоль этого направления.
18. Способ получения тонкой структуры, содержащий:
формирование мезоструктурированного материала, имеющего мезопоры; и
подвергание мезоструктурированного материала плазменному травлению с использованием химически активного газа для формирования на мезоструктурированном материале многочисленных выступающих участков, имеющих такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от их низа к их вершине, уменьшается вдоль этого направления.
19. Способ получения тонкой структуры, содержащий:
формирование мезоструктурированного материала, имеющего мезопоры; и
подвергание мезоструктурированного материала плазменному травлению при осаждении на поверхность мезоструктурированного материала вещества, имеющего материал, составляющий часть камеры травления установки для плазменного травления, для формирования структуры, имеющей многочисленные выступающие участки, имеющие такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от их низа к их вершине, уменьшается вдоль этого направления.
20. Способ получения тонкой структуры по п. 19, в котором:
формирование мезоструктурированного материала, имеющего мезопоры, содержит формирование мезоструктурированного материала, имеющего пустые мезопоры; и
способ дополнительно содержит заполнение мезопор выступающих участков одним из органического материала и неорганического материала.
21. Способ получения тонкой структуры, имеющей многочисленные выступающие участки, содержащий:
формирование первого слоя, образованного мезоструктурированным материалом, имеющим мезопоры;
формирование на поверхности первого слоя второго слоя, образованного из материала, имеющего меньшую скорость травления, чем скорость травления первого слоя;
подвергание второго слоя первому плазменному травлению без использования маски для формирования многочисленных выступающих участков на втором слое и
подвергание первого слоя второму плазменному травлению через выступающие участки второго слоя для формирования на первом слое многочисленных выступающих участков, имеющих такую форму, что площадь поперечного сечения при разрезании выступающих участков плоскостью, перпендикулярной направлению от их низа к их вершине, уменьшается вдоль этого направления.