СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГИБКИХ ОРГАНИЧЕСКИХ-НЕОРГАНИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ изготовления слоистого материала, содержащий выполнение по меньшей мере дважды последовательности операций, включающих
(а) осаждение неорганического слоя посредством осуществления 3-150 циклов процесса осаждения атомных слоев, и
(б) осаждение органического слоя, содержащего азот, посредством осуществления 1-3 циклов процесса осаждения молекулярных слоев.
2. Способ по п. 1, где в процессе осаждения молекулярных слоев для осаждения органического слоя применяют первичный амин.
3. Способ по п. 1 или 2, где в процессе осаждения молекулярных слоев для осаждения органического слоя применяют ароматический амин.
4. Способ по любому из пп. 1-3, где в процессе осаждения молекулярных слоев для осаждения органического слоя применяют ароматический амин, содержащий гидроксильную группу.
5. Способ по любому из пп. 1-4, где в процессе осаждения атомных слоев для осаждения неорганического слоя применяют соединение, содержащее Al.
6. Способ по любому из пп. 1-5, где последовательность, содержащую (а) и (б), осуществляют по меньшей мере 30 раз.
7. Слоистый материал, содержащий по меньшей мере две последовательности слоев, включающих
(а) неорганический слой, который имеет толщину, составляющую 0,3-15 нм и
(б) органический слой, содержащий азот, который имеет толщину, составляющую 0,1-3 нм.
8. Слоистый материал по п. 7, где органический слой включает азот в степени окисления -3.
x
у
9. Слоистый материал по п. 7 или 8, где неорганический слой содержит AlO(ОН), где 0≤x≤1,5; 0≤у≤3 и 2 x+y=3.
10. Слоистый материал по любому из пп. 7-9, где слоистый материал содержит последовательность слоев, включающую по меньшей мере 30 последовательностей слоев (а) и (б).
11. Защитная пленка, содержащая слоистый материал по любому из пунктов 7-10.
12. Защитная пленка по п. 11, где защитная пленка дополнительно содержит полимерную подложку.
13. Защитная пленка по п. 11 или 12, где защитная пленка дополнительно содержит выравнивающий слой.
14. Применение защитной пленки по любому из пп. 11-13 для герметизации, упаковки, или пассивации.
15. Электронное устройство, содержащее защитную пленку по любому из пп. 11-13.