СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕТОК ДЛЯ ПОДСЧЕТА БИОЛОГИЧЕСКИХ МИКРООБЪЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТИ СТЕКЛЯННОЙ ПОДЛОЖКИ

15
20
2
Способ изготовления периодически-микроструктурированных сеток для подсчета биологических микрообъектов, заключающийся в формировании заданных микроструктур на поверхности исходной подложки, отличающийся тем, что формирование заданных периодических микроструктур осуществляется с помощью имплантации ионами газа с энергией 5-100 кэВ, дозой облучения 1⋅10-1.0⋅10 ион/см через поверхностную маску в стеклянную подложку.