РЕГУЛЯТОР ПОТОКА

1. Регулятор потока, содержащий:
корпус (22, 30), имеющий первый проход (20), расположенный на восходящей стороне, через который проходит рабочее вещество, второй проход (62), расположенный на нисходящей стороне относительно упомянутого первого прохода (20), и дросселирующую секцию (32), расположенную между упомянутым первым проходом (20) и упомянутым вторым проходом (62);
датчик расхода потока (14), расположенный на упомянутом корпусе (22, 30) и содержащий чувствительный элемент (12), который позволяет измерять расход потока упомянутого рабочего вещества, проходящего от упомянутого первого прохода (20) к упомянутому второму проходу (62);
регулятор расхода потока (18), который предназначен для управления расходом потока упомянутого рабочего вещества через корпус клапана (64) и который установлен параллельно с упомянутым датчиком расхода потока (14), при этом упомянутый регулятор расхода потока (18) содержит диафрагму в сборе (72), которая смещается при подаче воздуха системы управления, корпус клапана (64), подсоединенный посредством штока (74) к упомянутой диафрагме в сборе (72), и пружину (78), которая поджимает упомянутый корпус клапана (64) в таком направлении, что он садится на седло клапана (66), образованное в упомянутом корпусе (22, 30),
при этом упомянутый чувствительный элемент (12) является сенсором MEMS, а упомянутый регулятор расхода потока (18) имеет кроме того сбалансированную конструкцию, которая уравновешивает прижимающую силу, приложенную со стороны упомянутой диафрагмы в сборе (72) на упомянутый корпус клапана (64), с прижимающей силой, приложенной со стороны упомянутой пружины (78) на упомянутый корпус клапана (64).
2. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 1, отличающийся тем, что упомянутый блок управления расходом потока (18) содержит также переключающий клапан (60) для переключения состояния подачи упомянутого воздуха системы управления, при этом упомянутый переключающий клапан (60) приводится в действие входным управляющим сигналом от блока управления (24), а упомянутый управляющий сигнал является сигналом с ШИМ или сигналом с ЧИМ.
3. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 2, отличающийся тем, что упомянутый переключающий клапан (60) состоит из питающего клапана (92), который подает упомянутый воздух системы управления в питающую камеру (84), образованную между упомянутой диафрагмой в сборе (72) и упомянутым корпусом (30), для приведения в действие упомянутой диафрагмы в сборе (72), и выпускного клапана (94), который выпускает упомянутый воздух системы управления для обратного хода упомянутой диафрагмы в сборе (72), при этом упомянутый питающий клапан (92) и упомянутый выпускной клапан (94) представляют собой двухходовые клапаны, которые приводятся в действие упомянутым управляющим сигналом.
4. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 1, отличающийся тем, что сила упругости упомянутой пружины (78) воздействует на упомянутый корпус клапана (64) в том же самом направлении, что и направление потока упомянутого рабочего вещества.
5. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 1, отличающийся тем, что упомянутый воздух системы управления подается на упомянутую диафрагму в сборе (72) от восходящей стороны упомянутого датчика расхода потока (14).
6. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 1, отличающийся тем, что в упомянутом первом проходе (20) на восходящей стороне упомянутой дросселирующей секции (32) установлен ректификатор потока (34) для очистки потока упомянутого рабочего вещества.
7. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 1, отличающийся тем, что упомянутый чувствительный элемент (12) содержит детектирующий проход (36), соединяющий между собой восходящую сторону и нисходящую сторону упомянутой дросселирующей секции (32), обходя тем самым упомянутый первый проход (20), и детектирующий сенсор (38), расположенный напротив упомянутого детектирующего прохода (36).
8. Регулятор потока, в соответствии с пунктом 3, отличающийся тем, что упомянутый питающий клапан (92) и упомянутый выпускной клапан (94) представляет собой двухходовой клапан, который переключается электрически управляющим сигналом.