ЦЕЛЬНАЯ СТАБИЛИЗИРУЮЩАЯ ДЕТАЛЬ И СПОСОБ ЕЕ ПРОИЗВОДСТВА

1. Цельная стабилизирующая деталь (41, 41′, 41″), включающая в себя маятник (43, 43′, 43″), изготовленный в первом слое материала на основе кремния и взаимодействующий с волоском (51, 51′, 51″), изготовленным во втором слое (21) материала на основе кремния, и включающим в себя маятниковую пружину (53, 53′, 53″), установленную соосно на коронке, отличающаяся тем, что она содержит часть (19), образующую прокладку, которая изготовлена в третьем слое (5) материала на основе кремния и закреплена между указанной коронкой (55, 55′, 55′″) и маятником (43, 43′, 43″), чтобы образовать указанную стабилизирующую деталь в виде цельной детали.
2. Стабилизирующая деталь по п.1, отличающаяся тем, что маятник (43, 43′, 43″) включает в себя отверстие (26), которое продолжает внутренний диаметр (24, 10) коронки (55, 55′, 55″) таким образом, чтобы принимать ось (49) маятника.
3. Стабилизирующая деталь по п.2, отличающаяся тем, что ось (49) маятника прикреплена к маятнику (43, 43′, 43″).
4. Стабилизирующая деталь по п.3, отличающаяся тем, что ось (49) маятника прикреплена к маятнику (43, 43′) введением вплотную к металлическому покрытию (63, 66), изготовленному в указанном отверстии.
5. Стабилизирующая деталь по п.2, отличающаяся тем, что участок внутреннего диаметра (24, 10) коронки (55, 55′, 55″) больше, чем диаметр отверстия (26, 63, 66) маятника (43, 43′, 43″), чтобы предотвратить контакт плотной посадки между осью (49) маятника и внутренним диаметром (24, 10) коронки (55, 55′, 55″).
6. Стабилизирующая деталь по п.1, отличающаяся тем, что обод (47, 47′, 47″) маятника (43, 43′, 43″) является непрерывным и включает в себя адаптирующее устройство (61, 64, 68), которое может изменять момент инерции маятника.
7. Стабилизирующая деталь по п.6, отличающаяся тем, что обод (47, 47′, 47″) соединен со ступицей (45, 45′, 45″) маятника (43, 43′, 43″), по меньшей мере, одной спицей (40, 42, 44, 46, 40′, 42′, 44′, 46′, 40″, 42″, 44″, 46″), которая является тонкой настолько, чтобы допускать свою осевую и/или радиальную деформацию в случае какого бы то ни было удара, сообщаемого маятнику (43, 43′, 43″).
8. Стабилизирующая деталь по п.6, отличающаяся тем, что адаптирующее устройство включает в себя углубления (60, 68), сделанные на ободе (47, 47″) маятника (43, 43″) таким образом, чтобы регулировать инерцию указанного маятника.
9. Стабилизирующая деталь по п.8, отличающаяся тем, что углубления (60) включают в себя материал с большей плотностью, чем плотность обода (47″) маятника (43″) так, чтобы увеличивать инерцию указанного маятника.
10. Стабилизирующая деталь по п.6, отличающаяся тем, что адаптирующее устройство включает в себя выступы (61), изготовленные на ободе (47′) маятника (43′) и включающие материал большей плотности, чем плотность обода (47′) так, чтобы увеличивать инерцию указанного маятника.
11. Стабилизирующая деталь по п.9, отличающаяся тем, что указанный материал большей плотности распределен на ободе (47′, 47″) в виде кольца (61, 64) с прорезями, включающего в себя ряд выступов (65, 69), разделенных с регулярными интервалами, чтобы компенсировать какое бы то ни было тепловое расширение указанного материала.
12. Стабилизирующая деталь по п.1, отличающаяся тем, что внутренний виток маятниковой пружины (53, 53′, 53″) имеет кривую Гроссманна, чтобы улучшать концентрическое расширение указанной маятниковой пружины.
13. Стабилизирующая деталь по п.1, отличающаяся тем, что маятниковая пружина (53, 53′, 53″) имеет, по меньшей мере, одну часть из материала на основе диоксида кремния, чтобы сделать указанную маятниковую пружину механически более прочной и регулировать ее коэффициент термоупругости.
14. Часовой механизм, отличающийся тем, что включает в себя стабилизирующую деталь (41, 41′, 41″) по любому из пп.1-13.
15. Способ (1) производства цельной стабилизирующей детали (41, 41′, 41″), содержащий следующие этапы:
a) обеспечение (100) подложки (3), включающей в себя верхний слой (5) и нижний слой (7) материалов на основе кремния,
b) селективное травление (101), по меньшей мере, одной полости (10, 11) в верхнем слое (5) для определения шаблона первой части (19) коронки (55, 55′, 55″) и первой части (17) маятника (43, 43′, 43″), изготовленного из материалов на основе кремния указанной детали,
отличающийся тем, что дополнительно содержит следующие этапы:
а) присоединение (102) посредством сплавления кремния дополнительного слоя (21) материала на основе кремния к травленому верхнему слою (5) подложки (3),
d) селективное травление (103), по меньшей мере, одной полости (20, 24) в дополнительном слое (21), чтобы продолжить шаблон (19, 23) указанных первых частей коронки (55, 55′, 55″) и маятника (43, 43′, 43″) и определить шаблон (27) маятниковой пружины (53, 53′, 53″), изготавливаемой из материала на основе кремния, указанной детали,
e) селективное травление (105, 108, 112), по меньшей мере, одной полости (26, 28, 29, 30, 31, 32) в нижнем слое (7) для определения последней части (34) маятника (43, 43′, 43″), изготавливаемого из материала на основе кремния, указанной детали, и
f) высвобождение стабилизирующей детали (41, 41′, 41″) из подложки (3).
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что после этапа d) он дополнительно включает в себя следующий этап:
g) окисление маятниковой пружины (53, 53′, 53″), изготавливаемой из материала на основе кремния, указанной детали так, чтобы регулировать ее коэффициент термоупругости, а также придать указанной пружине большую механическую прочность.
17. Способ по п.15, отличающийся тем, что перед этапом е) он дополнительно включает в себя следующий этап:
h) селективное осаждение (107, 110), по меньшей мере, одного металлического слоя (61, 63, 64, 66) на нижнем слое (7) для определения шаблона, по меньшей мере, одной металлической части указанной детали.
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что этап h) включает в себя следующий этап:
i) выращивание (107) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на поверхности нижнего слоя (7) так, чтобы образовать металлическую часть (61) для увеличения массы маятника (43′), изготавливаемого из материалов на основе кремния.
19. Способ производства по п.17, отличающийся тем, что этап h) включает в себя следующую фазу:
i) выращивание (107) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на поверхности нижнего слоя (7) так, чтобы образовать вторую металлическую часть (63) для принятия оси (49), которая вводится в нее.
20. Способ производства по п.17, отличающийся тем, что этап h) включает в себя следующие фазы:
j) селективное травление (109), по меньшей мере, одной полости (60) в нижнем слое (7) для принятия указанной, по меньшей мере, одной металлической части;
к) выращивание (110) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на указанной, по меньшей мере, одной полости так, чтобы образовать металлическую часть (64) для увеличения массы маятника (43″), изготавливаемого из материалов на основе кремния.
21. Способ по п.17, отличающийся тем, что этап h) включает в себя следующие фазы:
j′) селективное травление (109), по меньшей мере, одной полости (62) в нижнем слое (7) для принятия указанной, по меньшей мере, одной металлической части;
k′) выращивание (110) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на указанной, по меньшей мере, одной полости так, чтобы образовать вторую металлическую часть (63) для принятия оси (49), которая вводится в нее.
22. Способ по п.17, отличающийся тем, что за этапом h) следует этап:
1) полировка (111) металлического осажденного слоя (61, 63, 64, 66).
23. Способ по любому из пп.15-22, отличающийся тем, что на одной и той же подложке (3) изготавливаются несколько стабилизирующих деталей (41, 41′, 41″).