ГРАДИЕНТНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ

1. Способ получения многослойных тонких пленок с градиентным составом, включающий:
введение в плазму по меньшей мере одного химического вещества-предшественника;
нанесение слоя первой пленки, имеющего толщину, на поверхность подложки, при этом первая пленка имеет химический состав, определяемый по меньшей мере одним химическим веществом-предшественником;
изменение по меньшей мере одного параметра плазменного процесса, связанного с нанесением указанного по меньшей мере одного химического вещества-предшественника, в процессе нанесения слоя первой пленки, имеющего толщину;
изменение химического состава по меньшей мере части указанного слоя первой пленки, независимо или в комбинации, в вертикальном направлении или в вертикальном и горизонтальном направлении относительно указанной подложки.
2. Способ по п. 1, согласно которому введение включает введение в плазму первого химического вещества-предшественника и, одновременно с ним, по меньшей мере одного другого химического вещества-предшественника, отличного от первого химического вещества-предшественника, при этом способ дополнительно включает нанесение, в пределах первой пленки, слоя второй пленки, имеющего толщину, полученной по меньшей мере частично из второго химического вещества-предшественника, при этом вторая пленка имеет химический состав, отличный от состава первой пленки.
3. Способ по п. 1, согласно которому введение включает последовательное введение в плазму первого химического вещества-предшественника и по меньшей мере одного другого химического вещества-предшественника, отличного от первого химического вещества-предшественника; и нанесение слоя второй пленки, имеющего толщину, полученной по меньшей мере частично из указанного по меньшей мере одного другого химического вещества-предшественника, при этом вторая пленка имеет химический состав, отличный от состава первой пленки.
4. Способ по любому из пп. 1-3, согласно которому изменение включает изменение одного или более параметров, выбранных из группы, состоящей из мощности плазмы, скорости потока газа-носителя, температуры вещества-предшественника, скорости потока в барботере, скорости потока разбавления или вертикального положения плазменной головки относительно подложки.
5. Способ по п. 1, согласно которому подложка содержит один или более полупроводниковых материалов, металлов или неметаллов.
6. Способ по п. 1, согласно которому нанесение включает нанесение по методу атмосферного плазменного напыления.
7. Изделие, содержащее слой первой пленки, имеющий толщину от поверхности изделия, при этом первая пленка имеет градиентный химический состав в пределах по меньшей мере части указанной толщины в вертикальном или в горизонтальном и вертикальном направлении относительно поверхности изделия.
8. Изделие по п. 7, дополнительно содержащее вторую пленку, отличную от первой пленки, при этом указанная вторая пленка находится в пределах первой пленки и имеет градиентный химический состав, и по меньшей мере часть второй пленки пространственно отделена от первой пленки в горизонтальном, вертикальном или в горизонтальном и вертикальном направлении относительно поверхности изделия.
9. Изделие по п. 8, в котором вторая пленка химически отлична от первой пленки в вертикальном направлении относительно поверхности изделия.
10. Изделие по п. 8, в котором вторая пленка расположена непосредственно на первой пленке.
11. Изделие по п. 8, в котором по меньшей мере часть второй пленки пространственно отделена в горизонтальном направлении, в вертикальном направлении или в горизонтальном и вертикальном направлении от первой пленки относительно поверхности изделия.
12. Изделие по п. 8, дополнительно содержащее поверхность раздела между первой пленкой и второй пленкой, при этом поверхность раздела характеризуется изменением элементного состава первой пленки относительно элементного состава второй пленки.
13. Изделие по п. 12, в котором поверхность раздела проходит между вертикальной частью первой пленки и вертикальной частью второй пленки относительно поверхности изделия.
14. Изделие по п. 12, в котором поверхность раздела проходит между горизонтальной частью первой пленки и горизонтальной частью второй пленки относительно поверхности изделия.
15. Изделие по любому из пп. 12-14, в котором поверхность раздела между первой пленкой и второй пленкой имеет градиент элементного состава по одному или обоим из кислорода и углерода.
16. Изделие по п. 7, в котором поверхность изделия представляет собой по меньшей мере часть воздушно-космического летательного аппарата.
17. Система для нанесения пленок, имеющих химический градиент, содержащая:
устройство для атмосферного плазменного напыления, выполненное с возможностью получения плазмы;
один или более газов-источников плазмы, совместимых с указанным устройством для атмосферного плазменного напыления;
один или более источников вещества-предшественника, совместимых с указанным устройством для атмосферного плазменного напыления; и
необязательно, один или более источников защитного газа, совместимых с указанным устройством для атмосферного плазменного напыления.
18. Система по п. 17, в которой устройство для атмосферного плазменного напыления может быть расположено горизонтально, вертикально или горизонтально и вертикально относительно поверхности подложки.
19. Система по п. 18, в которой устройство для атмосферного плазменного напыления выполнено с возможностью расположения и/или регулирования положения вокруг по меньшей мере двух осей относительно поверхности подложки.
20. Система по п. 17, в которой устройство для атмосферного плазменного напыления является автоматизированным с обеспечением возможности перемещения в одном или более из вертикального или горизонтального положения относительно изделия.