УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно нанотехнологическое устройство, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод, подложку, установленную на подложкодержателе, устройство снабжено связанными с торцом основного пьезопривода двумя дополнительными пьезоприводами, на каждом из которых закреплен зонд, между подложкой и подложкодержателем выполнена герметичная полость для жидкого азота, устройство дополнительно снабжено источником импульсного нагрева наружной поверхности подложки и источником рабочего газа для подачи газа в пространство между зондами. [Патент РФ №76518, МПК H02N 2/00, опубл. 20.09.2008 (аналог)].
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней многокоординатный пьезопривод с зондом, подложку, установленную на подложкодержателе, зонд и подложка выполнены из разнородных проводников, таких, что зонд выполнен из проводника с меньшим коэффициентом Пельтье, а подложка выполнена из проводника с большим коэффициентом. [Патент РФ №78382, МПК H02N 2/00, опубл. 20.11.2008 (прототип)].
Недостатком известных устройств является невозможность локализации рабочего газа вблизи зоны технологического контакта подложки с зондом.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность локализации рабочего газа в технологической зоне выполнения операций.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основание, закрепленный на нем пьезопривод, на торце которого установлен зонд, платформу, на которой закреплена подложка, согласно предложенной полезной модели, снабжено кольцом, выполненным из цеолита и расположенным на подложке соосно с зондом, внутренний диаметр кольца составляет от 1,2 до 1,5 диаметра зонда, а толщина кольца составляет от 0,3 до 0,5 длины зонда, устройство выполнено с возможностью подачи рабочего газа и охлаждения подложки в ходе выполнения технологического процесса, а также с возможностью нагрева подложки после выполнения технологического процесса.
Технический результат, который достигается реализацией заявляемой совокупности существенных признаков, состоит в обеспечении локализации рабочего газа в технологической зоне выполнения операций.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показано устройство перемещения для нанотехнологии.
Рисунок на фиг. 1 включает следующие позиции:
1 - основание;
2 - пьезопривод;
3 - торец пьезопривода;
4 - зонд;
5 - подложка;
6 - платформа;
7 - цеолитовое кольцо;
8 - система нагрева (СНП);
9 - система охлаждения (СОП);
10 - блок подачи рабочего газа (БПОГ);
11 - рабочий газ.
В
З
Устройство перемещения для нанотехнологии (фиг. 1) содержит основание 1, закрепленный на нем пьезопривод 2, на торце 3 которого установлен зонд 4, подложку 5, закрепленную на платформе 6. Устройство снабжено кольцом 7, выполненным из цеолита и расположенным на подложке 5 соосно с зондом. Внутренний диаметр кольца 7 d составляет от 1,2 до 1,5 диаметра зонда 4 d, а толщина кольца 7 h составляет от 0,3 до 0,5 длины 1 зонда 4. Устройство выполнено с возможностью подачи рабочего газа и охлаждения подложки в ходе выполнения технологического процесса, а также с возможностью нагрева подложки после выполнения технологического процесса. Нагрев и охлаждение подложки 5 осуществляется системой нагрева 8 и системой охлаждения 9 соответственно. Подача рабочего газа 11 в технологическую зону выполнения операции на цеолитовое кольцо 7 осуществляется блоком подачи рабочего газа (БПОГ) 10.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом.
При технологическом процессе зонд 4, закрепленный на торце 3 прьезопривода 2, совершает сложные движения относительно основания 1 для точечного взаимодействия с подложкой 5, закрепленной на основании 6. При этом рабочий газ 11, подаваемый блоком подачи рабочего газа (БПОГ) 10, адсорбируется в области «зонд-подложка» при помощи цеолитового кольца 7 при охлаждении подложки 5 системой охлаждения 9. После выполнения технологического процесса рабочий газ может быть удален из цеолитового кольца 7 посредством системы нагрева 8. Если рабочий газ отсутствует в технологическом процессе, а происходит лишь взаимодействие зонда с материалом подложки, то и здесь цеолитовое кольцо 7 выполняет свои положительные функции: удерживает остатки молекул воздуха в камере и не позволяет им «присутствовать» в технологической зоне зонд-подложка.
Применение предлагаемого устройства перемещения для нанотехнологии обеспечивает возможность локализации рабочего газа в технологической зоне выполнения операций.