ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ

поры, может расслаивать многослойные покрытия особенно имеющие значительные механические напряжения.
Известна конструкция ИП /I/, состоящая из чередующихся интерференционных слоев с высоким показателем преломления из сульфида цинка или селенида цинка или сульфида сурьмы или сульфида, мышьяка или селенида мышьяка и слоев с низким показателем преломления из фторида магния, в середину которого введена прослойка из оксида кремния, составляющая (0,2-0,5) оптической толщины слоя с низким показателем преломления за счет соответствующего уменьшения толщины слоя фторида магния.
Основным недостатком этого ИП является ограничение его применения в ИК области более 5,5 мкм из-за длинноволновой границы прозрачности слоев оксида кремния и фторида магния.
Известна конструкция интерференционного зеркала /2/ (прототип) в котором на подложку нанесено Ш из чередующихся слоев с низким показателем преломления из фторидов и с высоким показателем преломления - из германия, между которыми введены прослойки, составляющие (0,1-0,5) четвертьволновой толщины из материалов сульфида цинка, селенида цинка, или сульфида мышьяка или селенида мышьяка или сульфида сурьмы.
Эта конструкция имеет следующие недостатки I. В случае использования водорастворимых фторидов, например, фторид бария, ИП имеет невысокую влагостойкость. 2. Коэффициент поглощения слоев германия имеет сильно выраженную положительную температурную производную, что ограничивает применение Ш при значительных лучевых нагрузках или при температуре более 50°С. Зо Имеются ограничения использования Щ в видимой области из-за коротковолновой границы прозрачности германия, соответствующей 2,0 мкм.
Целью предполагаемой полезной модели является повышение влагостойкости и поверхностной прочности ИП с малыми потерями на поглощение.
Указанная цель достигается за счет того, что в интерференционном покрытии слои с низким показателем преломления выполнены из фторида висмута, а слои с высоким показателем преломления выполнены из сульфида мышьяка или селенида мыщьяка или сульфида сурьмы или селенида германия или QAT8 или теллурида германия, причем поверх каждого слоя, включая последний, нанесены прослойки из сульфида цинка, составляющее (0,1-02) их оптической толI i id г 6j
- 2  3  eZ/iSat
шины за счет уменьшения соответствующих слоев.
На фигуре условно (в сечении) показана в качестве примера предложенная конструкция зеркального ИЛ где на подложку из селенида цинка (I) нанесен слой фторида висмута (2), затем нанесена прослойка из сульфида цинка (3), затем нанесен слой из халькогенида (4), поверх которого так же нанесена прослойка из сульфида цинка. Такое сочетание повторяется М раз.
Предложенное Ш реализуется следующим путем. Проводят расчет ИП в зависимости от его функционального назначения (зеркальное, фильтрующее и т.д.) при условии, что слой с низким показателем преломления выполнен из фторида висмута а слои с высоким показателем преломления выполнены из сульфида мышьяка или селенида мышьяка или сульфида сурьмы или се лен и да германия или GATS или теллурида германия. Поверх каждого слоя нанесены прослойки из сульфида цинка, составляющие (0,1-0,2) их оптической толщины за счет соответствующего уменьшения слоев0 Например, для зеркального Ш на длину волны 10,6 мкм с заданной величиной коэффициента отражения р  99% при использовании халькогенида - сульфида сурьмы конструкция покрытия выглядит так П ( 0,9 Bf F3 0,1 ZnS 0,9 SB ,1 ZhS)  Это покрытие наносится методом электроннолучевого испарения в вакууме.
Предложенная конструкция ИП имеет следующие существенные признаки0 I. ИП состоит из чередующихся между собой слоев с низким и высоким показателем преломления. 2о Слои с низким показателем преломления выполнены из фторидов. 3. Слои с высоким показателем преломления выполнены из халькогенидов.
ИП имеет следующие отличительные признаки. I, Слои с низким показателем преломления выполнены из фторида висмута. Этот материал известен в литературе /3/, имеет показатель преломления  1;6 в ИК области, нерастворим в воде, слои фторида висмути имеют поликристаллическую структуру и характерны значитель 4  20 г 1/вгйз
ными растягивающими напряжениями. 2. Слои с высоким показателем преломления выполнены из сульфида мышьяка или селенида мышьяка или сульфида сурьмы или селенида германия или Q4TS или теллурида германия имеющие величину показателя преломления 2,25, 2,7, 2,7, 2,7, 3,1 и 3,7 соответственно. Эти материалы так же известны в литературе /4,5/. Слои из этих материалов нерастворимы в воде, имеют стеклообразную структуру с плотной упаковкой и слабо выраженные сжимающие или растягивающие напряжения, имеют невысокую микротвердость. В предложенном ИП слои халькогенидов дополнительно выполняют роль герметизаторов поликристаллических слоев фторида висмута и сульфида цинка. 3. Поверх каждого интерференционного слоя, включая последний, нанесены прослойки из сульфида цинка, составляющие (0,1-0,2) их оптической толщины за счет соответствующего уменьшения слоев. Сульфид цинка широко известный пленкообразующий материал, он нерастворим в воде, в Ж области имеет показатель преломления равный 2,2, слои сульфида цинка имеют поликристаллическую структуру, характерны значительными сжимающими напряжениями и относительно высокой микротвердостью. В ИП прослойки сульфида цинка выполняют роль пассиватора, компенсатора растягивающих напряжений слоев фторида висмута и упрочняющей прослойки снаружи покрытия. Толщина прослойки сульфида цинка выбрана минимально необходимой для достижения выше изложенных свойств, но незначительно влияющая на эффективный показатель преломления интерференционных слоев.
Выше изложенные отличительные признаки образуют новую совокупность признаков неизвестную в технической и патентной литературе.
Практически нами было реализовано зеркальное Щ на длину волны 10,6 мкм на подложке из селенида цинка вида П ( 0,9в/Рз 0,1 ZnS 0,9 S82SaO,1/ЈnS )  Покрытие наносилось методом электронно-лучевого испарения на вакуумной установке ВУ-2М.
Были получены следущие характеристики Ш: коэффициент отражения р  99%, коэффициент пропускания ЈГ 0,5%. ИП выдерживало испытание при влажности воздуха 98% при 40°С в течение 10 суток без признаков разрушения и изменения оптических характеристик. Зеркало подвергалось многократным лучевым нагрузкам С09-лазерного излучения мощностью до I кВт при плотности мощности до 1,5 кВт/см , а так же подвергалось многократным протиркам оптическими салфетками, смоченными органическим растворителем. Покрытие сохраняло целостность а оптические характеристики не изменялись.
ЛИТЕРАТУРА
1.Патент РФ № 2124223 от 15.05.96. Интерференционное покрытие.
2.Патент РФ № 2091826 от 23.04.93. Интерференционное зеркало.
3.Гусев А.Г. и др. Оптико-физические свойства пленок фторида висмута // OMI Мб, 1990, с.55.
4.T&keo MjtitOi // ЙР1Е, 1986, 650, рЛ31-140.
5.Патент РФ № 2087014 от 27.04.93. Способ получения интерференционного слоя. Авторы полезной модели: С  д&-- В.Н Глебов А.М.Малютин
ФОРМУЛА ПОЛЕЗНОЙ МОДЕЖ
Интерференционное покрытие, состоящее из чередующихся слоев с низким показателем преломления из фторидов и с высоким показателем преломления из халькогенидов, отличающееся тем, что слои с никим показателем преломления выполнены из фторида висмута, а слои с высоким показателем преломления выполнены из сульфида мышьяка или селенида мышьяка или сульфида сурьмы или селенида германия или GATS или теллурида германия, причем поверх каждого слоя, включая последний, нанесены прослойки из сульфида цинка, составляющие (0,1-0,2) их оптической толщины за счет уменьшения соответствующих слоев. Авторы полезной модели: /Ј%&/ В.Н.Глебов А.М.Малютин
Интерференционное покрытие