УСТАНОВКА ПРОИЗВОДСТВА ТРИХЛОРСИЛАНА И СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Установка производства трихлорсилана, включающая:
реактор;
устройство доставки сырья, которое подает порошок металлического кремния в качестве сырья в реактор;
устройство введения газа, которое вводит газообразный хлорид водорода в реактор, так что газообразный хлорид водорода реагирует с порошком металлического кремния, одновременно псевдоожижаясь газообразным хлоридом водорода;
устройство удаления газа, которое выпускает генерированный газ, содержащий трихлорсилан, из верхней части реактора; и
множество элементов, контролирующих поток газа, которое расположено во внутреннем пространстве реактора вдоль вертикального направления.
2. Установка производства трихлорсилана по п.1, в которой участок большого диаметра, имеющий больший внутренний диаметр, чем внутренний диаметр нижней части реактора, создан на верхней части реактора, и верхний конец элемента, контролирующего поток газа, выше, чем нижний конец участок участка большого диаметра.
3. Установка производства трихлорсилана по п.1, в которой нижний конец элемента, контролирующего поток газа, имеет выпуклую поверхность, выступающую вниз.
4. Установка производства трихлорсилана по п.1, в которой каждый из элементов, контролирующих поток газа, имеет полую структуру.
5. Способ производства трихлорсилана, включающий в себя следующие этапы:
обеспечение реактора и множества элементов, контролирующих поток газа, расположенных вдоль вертикального направления во внутреннем пространстве реактора;
подачу порошка металлического кремния в качестве сырья в реактор;
введение газообразного хлорида водорода в реактор снизу так, что газообразный хлорид водорода течет вверх вдоль элементов, контролирующих поток газа;
псевдоожижение порошка металлического кремния потоком газообразного хлорида водорода и взаимодействие порошка металлического кремния с газообразным хлоридом водорода с генерацией газообразного трихлорсилана; и
отбор газа, содержащего газообразный трихлорсилан, из верхней части реактора.