ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к зондовым устройствам.
Известно зондовое устройство, содержащее зонд, установленный на пьезоприводе, который жестко закреплен на неподвижной платформе, подложку, электрически связанную с зондом и установленную на основании. [Марголин В.И. Основы нанотехнологии. - Учебное пособие // СПб.: СПБГЭТУ «ЛЭТИ», 2000. - 56 с., ил. (аналог)]
Недостатком аналога является невозможность подачи рабочего газа в область между зондом и подложкой.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является зондовое устройство, содержащее зонд, установленный на пьезоприводе, который жестко закреплен на неподвижной платформе, подложку, электрически связанную с зондом и установленную на основании. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ, 2000. - 69 с., ил. (прототип)]
Недостатком прототипа также является невозможность подачи рабочего газа в область между зондом и подложкой.
В основу полезной модели положена задача обеспечить возможность подачи рабочего газа в область между зондом и подложкой.
Эта задача решается тем, что внутри зонда параллельно его оси симметрии выполнено глухое отверстие, открытый торец которого расположен на острие зонда, а на циллиндрической поверхности зонда перпендикулярно его оси выполнены сквозные отверстия, соединенные с глухим отверстием, и с возможностью подачи в сквозные отверстия рабочих газов.
Введение в зондовое устройство зонда с выполненным глухим отверстием, открытый торец которого расположен на острие зонда, и
сквозными отверстиями, выполненными на циллиндрической стороне зонда, перпендикулярно его оси, соединенные с глухим отверстием, позволяет получать различные химические соединения на поверхности подложки, путем подачи рабочих газов в пространство между зондом и подложкой через отверстия, выполненные в зонде.
Сущность полезной модели поясняется (фиг.1), где показано зондовое устройство.
Зондовое устройство содержит зонд 1, установленный на пьезоприводе 2, который жестко закреплен на неподвижной платформе 3, подложку 4, электрически связанную с зондом 1 и установленную на основании 3. Внутри зонда 1 параллельно его оси симметрии выполнено глухое отверстие 5, открытый торец которого расположен на острие зонда 1, а на циллиндрической поверхности зонда, перпендикулярно его оси, выполнено сквозное отверстие 6, соединенное с глухим отверстием 5, и с возможностью подачи в сквозное отверстие 6 рабочих газов.
Зондовое устройство работает следующим образом (фиг.1).
В сквозное отверстие 6 подается рабочий газ, который попадает в рабочую область между зондом 1 и подложкой 4 через глухое отверстие 5. Под действием электрического поля, созданного напряжением, приложенным к подложке 4 и зонду 1, рабочий газ осаждается на поверхности подложки 4, причем вещество, полученное из рабочего газа, оседает на поверхности подложки 4 в виде кольца.
Применение предложенного зондового устройства позволяет создавать наноразмерные объекты на поверхности подложки.