СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОСФОРОСИЛИКАТНЫХ ПЛЕНОК

3
2
Способ получения фосфоросиликатных пленок, включающий обработку подложек смесью трихлорида фосфора, кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке смесью с добавкой окиси азота при расходе компонентов: трихлорида фосфора, кислорода и оксид азота при следующем, соотношении газов: трихлорида фосфора PCl=18 л/ч; кислорода O=20±0,5 л/ч, окись азота NO=200±10 л/ч, обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 250-400°C.