ПОДЛОЖКА С МАСКОЙ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, ПРОДУКТ, ИЗГОТОВЛЕННЫЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОДЛОЖКИ С МАСКОЙ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКИ С МАСКОЙ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, МАСКА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, ПРОДУКТ С НАНЕСЕННЫМ РИСУНКОМ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Подложка с маской для травления, содержащая фоточувствительный материал, наносимый на поверхность подложки, причем экспонирование и проявление фоточувствительного материала осуществляют для формирования рисунка в фоторезисте; покрывающую пленку из алмазоподобного углерода, причем покрывающую пленку формируют на поверхности подложки и поверхности рисунка в фоторезисте; рисунок из алмазоподобного углерода, который формируют на поверхности подложки путем отделения покрывающей пленки из алмазоподобного углерода, сформированной на поверхности рисунка в фоторезисте, вместе с рисунком в фоторезисте.
2. Подложка с маской для травления по п.1, содержащая, по крайней мере, один из материал, выбранный из группы, включающей Cu, Ag, Al, Au, Pt, Pd, Zn, Mg, Fe, нержавеющую сталь, Ni, Ni-Cr, Sn, Ti, Ti-сплавы, Si, SiO2, стекло, Cr и Мо.
3. Подложка с маской для травления по п.1 или 2, содержащая амортизирующий слой, изготовленный из каучука или смолы с буферными свойствами.
4. Подложка с маской для травления по п.1, в которой фоточувствительный материал представляет собой негативную фоточувствительную композицию.
5. Подложка с маской для травления по п.1, в которой толщина покрывающей пленки из алмазоподобного углерода составляет от 0,1 мкм до нескольких десятков микрометров.
6. Продукт, изготовленный с использованием подложки с маской для травления по п.1.
7. Способ изготовления подложки с маской для травления, отличающийся тем, что осуществяют подготовку субстрата; нанесение фоточувствительного материала на поверхность подложки;
экспонирование и проявление фоточувствительного материала для формирования рисунка в фоторезисте;
формирование покрывающей пленки из алмазоподобного углерода на поверхности подложки и поверхности рисунка в фоторезисте; и
отделение покрывающей пленки из алмазоподобного углерода, сформированной на поверхности рисунка в фоторезисте, вместе с рисунком в фоторезисте.
8. Способ изготовления подложки с маской для травления по п.7, отличающийся тем, что подложка, на которую наносится фоточувствительный материал, содержит, по крайней мере, один материал, выбранный из группы, включающей Cu, Ag, Al, Au, Pt, Pd, Zn, Mg, Fe, нержавеющую сталь, Ni, Ni-Cr, Sn, Ti, Ti-сплавы, Si, SiO2, стекло, Cr и Мо.
9. Способ изготовления подложки с маской для травления по 7, отличающийся тем, что указанная подложка включает амортизирующий слой, изготовленный из каучука или смолы с буферными свойствами.
10. Способ изготовления подложки с маской для травления по п.7, отличающийся тем, что фоточувствительный материал представляет собой негативную фоточувствительную композицию.
11. Способ изготовления подложки с маской для травления по п.7, отличающийся тем, что толщина покрывающей пленки из алмазоподобного углерода составляет от 0,1 мкм до нескольких десятков микрометров.
12. Маска для травления, характеризующая тем, что фоточувствительный материал наносят на поверхность подложки; экспонирование и проявление фоточувствительного материала осуществляют для формирования рисунка в фоторезисте; покрывающую пленку из алмазоподобного углерода формируют на поверхности подложки и поверхности рисунка в фоторезисте; покрывающую пленку из алмазоподобного углерода, сформированную на поверхности рисунка в фоторезисте, отделяют вместе с рисунком в фоторезисте для формирования рисунка из алмазоподобиого углерода на поверхности подложки.
13. Продукт с нанесенным рисунком, характеризующийся тем, что фоточувствительный материал наносят на поверхность подложки; экспонирование и проявление фоточувствительного материала осуществляют для формирования рисунка в фоторезисте; покрывающую пленку формируют на поверхности подложки и поверхности рисунка в фоторезисте; покрывающую пленку из алмазоподобпого углерода, сформированную на поверхности рисунка в фоторезисте, отделяют вместе с рисунком в фоторезисте для формирования рисунка из алмазоподобного углерода на поверхности подложки; подложку подвергают травлению; и рисунок из алмазоподобного углерода удаляют при помощи кислоподного озоления.
14. Способ изготовления продукта с нанесенным рисунком, отличающийся тем, что осуществляют нанесение фоточувствительного материала на поверхность субстрата; экспонирование и проявление фоточувствительного материала для формирования рисунка в фоторезисте; формирование покрывающей пленки из алмазоподобного углерода на поверхности подложки и поверхности рисунка в фоторезисте; отделение покрывающей пленки из алмазоподобного углерода, сформированной на поверхности рисунка в фоторезисте, вместе с рисунком в фоторезисте с формированием рисунка из алмазоподобного углерода па поверхности подложки; и травление подложки.