ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛА И ЭЛЕКТРОД ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В НЕЙ

1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит:
корпус, образующий камеру;
впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в камеру;
выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из камеры;
по меньшей мере один электрод, имеющий внешнюю поверхность, имеющую область контакта, приспособленную контактировать с контактным гнездом, причем упомянутый электрод расположен проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри камеры для соединения с контактным гнездом;
источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода; и
6
внешнее покрытие, расположенное на упомянутой внешней поверхности упомянутого электрода вне упомянутой области контакта, причем упомянутое внешнее покрытие имеет электропроводность по меньшей мере 9·10 См/м и сопротивление коррозии, большее, чем у серебра в ряду электродных потенциалов, основанном на использовании морской воды комнатной температуры в качестве электролита.
2. Производственная установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя:
ствол, имеющий первый конец и второй конец; и
головку, расположенную на одном из упомянутых концов упомянутого ствола.
3. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка упомянутого электрода образует упомянутую внешнюю поверхность, имеющую упомянутую область контакта.
4. Производственная установка по п.3, при этом упомянутое внешнее покрытие расположено на по меньшей мере одном из упомянутой головки вне упомянутой области контакта и упомянутого ствола.
5. Производственная установка по п.4, при этом упомянутое внешнее покрытие расположено на упомянутой головке вне упомянутой области контакта.
6. Производственная установка по п.5, при этом упомянутое внешнее покрытие дополнительно расположено на упомянутом стволе упомянутого электрода, и при этом упомянутое внешнее покрытие на упомянутом стволе включает в себя разные металлы с упомянутым внешним покрытием на упомянутой головке.
7. Производственная установка по п.2, при этом упомянутый ствол не имеет покрытия, расположенного на его упомянутой внешней поверхности.
8. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка содержит медь.
9. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка упомянутого электрода по меньшей мере частично расположена внутри камеры.
10. Производственная установка по любому предыдущему пункту, при этом упомянутое внешнее покрытие содержит по меньшей мере один элемент из золота, платины и палладия.
11. Производственная установка по п.10, при этом упомянутое внешнее покрытие дополнительно содержит по меньшей мере один элемент из серебра, никеля и хрома.
12. Производственная установка по п.1, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.
13. Производственная установка по любом из пп.1-9, при этом упомянутый по меньшей мере один электрод включает в себя первый электрод для приема контактного гнезда на первом конце несущей подложки и второй электрод для приема контактного гнезда на втором конце несущей подложки.
14. Электрод для использования с производственной установкой для осаждения материала на несущую подложку, причем эта несущая подложка имеет находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутый электрод содержит:
ствол, имеющий первый конец и второй конец;
головку, расположенную на одном из упомянутых концов упомянутого ствола, для соединения с контактным гнездом;
при этом упомянутый ствол и упомянутая головка имеют внешнюю поверхность, имеющую область контакта, приспособленную контактировать с контактным гнездом; и
6
упомянутый электрод имеет внешнюю поверхность и внешнее покрытие, расположенное на упомянутой внешней поверхности вне упомянутой области контакта, причем упомянутое внешнее покрытие имеет электропроводность по меньшей мере 9·10 См/м и сопротивление коррозии, большее, чем у серебра в ряду электродных потенциалов, основанном на использовании морской воды комнатной температуры в качестве электролита.
15. Электрод по п.14, при этом упомянутая головка является цельной с упомянутым стволом.
16. Электрод по п.14, при этом упомянутый электрод образует стакан, причем упомянутая область контакта расположена внутри части упомянутого стакана.
17. Электрод по п.14, при этом упомянутое внешнее покрытие расположено на по меньшей мере одном из упомянутой головки вне упомянутой области контакта и упомянутого ствола.
18. Электрод по п.17, при этом упомянутое внешнее покрытие расположено на упомянутой головке вне упомянутой области контакта.
19. Электрод по п.18, при этом упомянутый ствол не имеет покрытия, расположенного на его упомянутой внешней поверхности.
20. Электрод по п.14, при этом упомянутая головка содержит медь.
21. Электрод по любому из пп.14-20, при этом упомянутое внешнее покрытие содержит по меньшей мере один элемент из золота, платины и палладия.
22. Электрод по п.21, при этом упомянутое внешнее покрытие дополнительно содержит по меньшей мере один элемент из серебра, никеля и хрома.
23. Электрод по п.14, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.
24. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка содержит медь и упомянутая головка по меньшей мере частично расположена внутри камеры.
25. Производственная установка по п.10, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.
26. Производственная установка по п.11, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.
27. Электрод по п.21, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.
28. Электрод по п.22, при этом упомянутое внешнее покрытие имеет толщину от 0,0254 до 0,254 мм.