ЕМКОСТНАЯ ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА

1. Емкостная измерительная система, содержащая пару датчиков, сконструированную в виде единого интегрального блока, имеющего тонкопленочную структуру, причем каждый датчик (30a, 30b) из пары датчиков имеет отдельный измерительный электрод (31a, 31b), сформированный из первой проводящей пленки на первой поверхности единого первого изолирующего слоя (34), и каждый датчик имеет отдельный задний охранный электрод (35), сформированный из второй проводящей пленки, причем задний охранный электрод сформирован в одной плоскости и содержит периферийную часть, расположенную в той же самой плоскости, задний охранный электрод расположен на второй поверхности первого изолирующего слоя (34) и первой поверхности единого второго изолирующего слоя (43), причем периферийная часть каждого заднего охранного электрода продолжается за пределы каждого измерительного электрода, образуя боковые охранные электроды, которые по существу или полностью окружают измерительный электрод.
2. Емкостная измерительная система по п.1, в которой тонкопленочная структура дополнительно содержит удлиненный соединительный элемент (110), содержащий гибкую мембрану, на которой напечатаны или к которой прикреплены токопроводящие дорожки (114a-114c), причем токопроводящие дорожки электрически соединены с измерительными электродами (31a, 31b) и с задними охранными электродами (35a, 35b) датчиков на одном конце и с соединителем (116) на другом конце.
3. Емкостная измерительная система по п.1, в которой изолирующий слой (34) содержит первую область, где сформированы измерительные электроды (31a, 31b), и вторую удлиненную область, на которой сформированы токопроводящие дорожки (114a-114c).
4. Емкостная измерительная система по п.1, в которой тонкопленочная структура дополнительно содержит третью проводящую пленку, содержащую интегрированный экранирующий электрод (44), расположенный на второй поверхности второго изолирующего слоя (43).
5. Емкостная измерительная система по п.4, в которой тонкопленочная структура дополнительно содержит удлиненный соединительный элемент (110), содержащий гибкую мембрану, на которой напечатаны или к которой прикреплены токопроводящие дорожки (114a-114e), причем токопроводящие дорожки электрически соединены с измерительными электродами (31a, 31b), с задними охранными электродами (35a, 35b) и с экранирующим электродом (44) на одном конце и с соединителем (116) на другом конце.
6. Емкостная измерительная система по п.4 или 5, в которой датчик соединен с трехжильным коаксиальным кабелем (350), и в которой экранирующий электрод (44) электрически соединен с электрической жилой (353) кабеля, имеющей внешний потенциал земли.
7. Емкостная измерительная система по п.4 или 5, дополнительно содержащая источник (306) питания переменного тока для подачи питания на емкостной датчик, схему (301) обработки сигналов для обработки сигналов из датчика и трехжильный коаксиальный кабель (350) для соединения емкостного датчика с источником питания переменного тока и со схемой обработки сигналов, причем упомянутый кабель имеет центральную жилу (351), внешнюю жилу (352), и экранирующую жилу (353), где центральная жила предназначена для электрического соединения источника питания переменного тока с измерительным электродом (31) датчика, внешняя жила предназначена для электрического соединения с задним охранным электродом (35) датчика, а экранирующая жила предназначена для электрического соединения экранирующего электрода (44) датчика с заземлением схемы обработки сигналов на конце кабеля, удаленном от датчиков.
8. Емкостная измерительная система по п.1 или 2, в которой измерительные электроды пары датчиков имеют, по существу, одинаковый размер.
9. Емкостная измерительная система по п.1 или 2, в которой расстояние, отделяющее измерительные электроды пары датчиков, по существу, равно размеру измерительных электродов.
10. Емкостная измерительная система по п.1 или 2, в которой размер пары датчиков, по существу, равен размеру задних охранных электродов пары датчиков.
11. Емкостная измерительная система, содержащая тонкопленочную структуру, причем тонкопленочная структура содержит гибкий слой основы из изоляционного материала, на котором сформировано множество датчиков, при этом каждый датчик (30) имеет первый изолирующий слой (34), первую проводящую пленку, содержащую измерительный электрод (31), сформированный на первой поверхности первого изолирующего слоя, вторую проводящую пленку, содержащую задний охранный электрод (35), расположенный на второй поверхности первого изолирующего слоя (34) и первой поверхности второго изолирующего слоя (43), и третью проводящую пленку, содержащую экранирующий электрод (44), расположенный на второй поверхности второго изолирующего слоя (43),
в которой каждый датчик установлен в структуру и электрически соединен с трехжильным коаксиальным кабелем (350), причем экранирующий электрод датчика электрически соединен с внешней жилой (353) трехжильного коаксиального кабеля для обеспечения соединения с потенциалом земли на конце кабеля, удаленном от датчиков, и в которой экранирующий электрод датчика не имеет электрического соединения со структурой в датчике, и
в которой слой основы дополнительно содержит удлиненную часть, образующую гибкую структуру соединителя, соединяющую электроды каждого датчика (30) с соответствующими жилами трехжильного коаксиального кабеля (35) через тонкопленочный соединительный элемент (110).
12. Емкостная измерительная система по п.11, в которой электроды датчика (30) соединены с жилами кабеля (350) через токопроводящие дорожки (114a-114e) на тонкопленочном соединителе (110), причем токопроводящие дорожки электрически соединены, по меньшей мере, с измерительным электродом (31) и с задним охранным электродом (35) датчика на одном конце и с соединителем (116) на другом конце.
13. Емкостная измерительная система по п.12, в которой одна или более токопроводящих дорожек, электрически соединенных с задним охранным электродом (35), лежат поверх токопроводящей дорожки, соединенной с измерительным электродом, причем упомянутые токопроводящие дорожки электрически соединены с задним охранным электродом, который является более широким, так что периферийная часть выступает от края токопроводящей дорожки, соединенной с измерительным электродом.
14. Емкостная измерительная система по п.12, дополнительно содержащая одну или более токопроводящих дорожек, соединенных с экранирующим электродом (44) датчика на одном конце, и электрически соединенных с электрической жилой (353) кабеля, имеющей внешний потенциал земли, на другом конце.
15. Емкостная измерительная система по п.14, в которой одна или более токопроводящих дорожек, электрически соединенных с экранирующим электродом (44), лежат поверх токопроводящей дорожки, соединенной с задним охранным электродом, и токопроводящей дорожки, соединенной с измерительным электродом.
16. Емкостная измерительная система по п.1 или 11, в которой изолирующие слои (34, 43) являются общими для дополнительных емкостных датчиков (30).
17. Емкостная измерительная система по п.1 или 11, в которой тонкопленочная структура является гибкой.
18. Емкостная измерительная система по п.1 или 11, в которой изолирующие слои (34, 43) содержат листы из каптона.
19. Литографическая система для экспонирования мишени, содержащая:
систему проекционного объектива для фокусировки экспонирующего пучка на мишень;
подвижный координатный стол для транспортировки мишени;
емкостную измерительную систему по пп.1-11 для выполнения измерений относительно расстояния между системой проекционного объектива и мишенью; и
блок управления для управления перемещением подвижного координатного стола, чтобы регулировать положение мишени, по меньшей мере, частично на основании сигнала из емкостной измерительной системы.