УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ МИКРОСТРУКТУР

Устройство контроля герметичности микроструктур, включающее камеру экспозиции микроструктур в пробном газе, спектрометр, отличающееся тем, что в камере экспозиции размещены два волновода, первый используется для подвода излучения от спектрометра к микроструктуре, второй волновод используется для приема и передачи излучения, прошедшего через микроструктуру, к спектрометру.