ЛАЗЕРНОЕ ФОРМООБРАЗОВАНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ МИКРОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ

1. Лазерное формообразование механических микроструктур на поверхности подложки путем осаждения вещества из газовой фазы с использованием локального нагревания области осаждения лазерным излучением, отличающееся тем, что вещество в газовой фазе диспергировано в виде аэрозоля.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал упомянутых частиц поглощает лазерное излучение.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что лазерное излучение импульсное, причем длительность импульса не менее той, при которой длина тепловой волны в частице более ее поперечника.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что упомянутые частицы электрически заряжены, причем упомянутая подложка электрически соединена с полюсом источника электрического напряжения.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что электрическое напряжение упомянутого источника знакопеременное, причем изменение полярности напряжения синхронизовано с периодичностью генерации импульса лазерного излучения.
6. Способ по п.2, отличающийся тем, что упомянутые частицы пара-, суперпара- или ферромагнитные, причем упомянутая подложка помещена в области магнитного поля, силовые линии которого пересекают ее упомянутую поверхность.