СПОСОБ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛА

1
2
1
2
1. Способ оптических измерений для определения свойств материалов, заключающийся в том, что посредством модуляционной спектроскопии измеряют спектры, отличающийся тем, что измеряют спектр угла θ, соответствующего минимуму зависимости коэффициента отражения светового излучения от угла падения, и спектр угла θ, соответствующего точке перегиба угловой зависимости коэффициента отражения, при этом осуществляют модуляцию угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ и θ, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, или пренебрежимо малое влияние нелинейности угловой зависимости коэффициента отражения.
1
2
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выбором частоты модуляции f обеспечивают достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ и θ.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при измерении спектров углов используют линейно поляризованное излучение, его р-компоненту.
1
2
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для модуляции угла падения излучения на исследуемый образец с амплитудой, обеспечивающей отсутствие искажений θ и θ, связанных с нелинейностью угловой зависимости коэффициента отражения, амплитуду выбирают от 0,2 до 2 градусов.
1
2
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что при выборе частоты модуляции f, обеспечивающей достаточно высокое отношение сигнал/шум для выделения из шума полезного сигнала, необходимого для измерения характеристических углов при отсутствии искажений θ и θ, используют значения от 5 до 200 Гц.