Способ изготовления тонкопленочного положительного электрода литий-ионного аккумулятора на основе оксидов ванадия

Способ изготовления тонкопленочного положительного электрода литий-ионного аккумулятора на основе пленок оксидов ванадия, имеющих кристаллическую структуру, включающий формирование тонкопленочного электродного материала и нанесение его на металлическую подложку методом магнетронного распыления ванадия в плазме кислорода и аргона при определенном соотношении кислород/аргон без принудительного нагрева металлической подложки с получением текстурированной пленки, которую подвергают последующему отжигу в кислородсодержащей среде с получением окислов ванадия в поликристаллической фазе, отличающийся тем, что формирование тонкопленочного электродного материала методом магнетронного распыления ванадия в плазме кислорода и аргона осуществляют при соотношении расходов кислород/аргон 0,2-0,3 с получением пористой пленки аморфного окисленного ванадия, а последующий отжиг в кислородсодержащей среде осуществляется при температуре 350-380°C в течение 30-90 минут с получением следующих оксидов ванадия в поликристаллической фазе: V2O3, VO2, V3O7 и V2O5.