РАСПЫЛЯЕМАЯ МИШЕНЬ

1. Способ изготовления распыляемой мишени, содержащий следующие этапы:
формируют расплавленную сплавную смесь, причем расплавленная сплавная смесь включает в себя (i) соединение, содержащее по меньшей мере одно из следующего: Со, Fe или В, в качестве первичного компонента, или (ii) соединение, содержащее Со и, по меньшей мере, одно из следующего: Fe и Ni, или (iii) соединение, имеющее формулу CoFeX, где X представляет собой одно из следующего: В, С или Al;
заливают расплавленную смесь в форму для образования направленного литого слитка;
выполняют отжиг литого слитка; и
нарезают литой слиток для формирования распыляемой мишени;
причем распыляемая мишень имеет чистоту выше 99,99% и низкое содержание кислорода, составляющее 40 мд или менее, и имеет столбчатую микроструктуру, сформированную с помощью боридов.
2. Способ по п. 1, в котором расплавленная сплавная смесь содержит соединение, включающее в себя 15% или более бора (В).
3. Способ по п. 1, дополнительно содержащий следующие этапы: (i) формуют литой слиток до нарезания литого слитка, или (ii) выполняют отжиг распыляемой мишени после нарезания литого слитка, или (iii) выполняют финишную обработку распыляемой мишени после нарезания литого слитка.
4. Способ по п. 3, в котором этап финишной обработки включает в себя шлифовку по меньшей мере одной поверхности распыляемой мишени.
5. Способ по п. 1, в котором отжиг осуществляют при температуре менее 700°C в течение приблизительно не менее 8 ч.
6. Способ по п. 1, дополнительно содержащий этап, на котором заливают расплавленную смесь в воронку над формой, причем воронка содержит конический верхний участок и цилиндрический нижний участок.
x
y
(1-x-у)
7. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень содержит сплав, имеющий формулу CoFeB.
1-x
x
8. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень содержит сплав, имеющий формулу (CoFe)B, причем 0,2≤х≤0,4.
9. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет диаметр до 250 мм.
10. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет проходящий через мишень поток, составляющий по меньшей мере 30% при толщине 3 мм.
11. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет чистоту 99,99%.
12. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет содержание кислорода менее 40 мд.
13. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет содержание В выше 15%.
14. Способ по п. 1, в котором отжиг осуществляют в вакууме или с использованием газозащиты посредством инертного газа.
15. Способ по п. 1, в котором распыляемая мишень имеет однородную микроструктуру.
16. Распыляемая мишень, предназначенная для производства магниторезистивных RAM (MRAM), изготовленная согласно способу, содержащему следующие этапы:
формируют расплавленную сплавную смесь, содержащую Со, Fe, В или Ni и по меньшей мере одно из следующего: Ni, Mn, В, С и/или Cl;
заливают расплавленную смесь в воронку, размещенную над формой, для образования направленного литого слитка;
выполняют отжиг литого слитка; и
нарезают литой слиток посредством ЭЭО для формирования распыляемой мишени.
17. Распыляемая мишень по п. 16, причем распыляемая мишень имеет содержание В выше 15%.
18. Распыляемая мишень, содержащая
сплав Со, Fe, В или Ni и по меньшей мере одно из следующего: Ni, Mn, В, С и/или Al; и проходящий через мишень магнитный поток, составляющий приблизительно 30%;
причем распыляемая мишень по существу не имеет трещин.
19. Распыляемая мишень, имеющая столбчатую микроструктуру, образованную интерметаллическими соединениями бора, и дополнительно содержащая кобальт и железо, причем распыляемая мишень имеет чистоту выше 99,99% и низкое содержание кислорода, составляющее 40 мд или менее.
20. Распыляемая мишень по п. 19, причем распыляемая мишень имеет проходящий через мишень поток, составляющий по меньшей мере 30% при толщине 3 мм.