СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ДИЭЛЕКТРИКА ОКСИДА ТИТАНА

Способ получения тонкопленочного диэлектрика оксида титана, включающий обработку подложек гомогенной смесью четыреххлористого титана и кислорода при повышенной температуре, отличающийся тем, что подложки подвергают обработке гомогенной смесью с добавкой оксида азота при молярном соотношении четыреххлористого титана к кислороду и оксиду азота, соответственно равном 1:1:(3,8-4,2), обработку подложек ведут с предварительным нагревом их до температуры 160-300°C при скорости газового потока 15-20 л/ч.