УСТРОЙСТВО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ЗОНДОВ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам восстановления зондов.
Известно устройство восстановления зондов для нанотехнологии, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены анод и катод, связанные с источником питания [Марголин В.И. Основы нанотехнологии. - Учебное пособие//СПб.: СПБГЭТУ "ЛЭТИ", 2000. - 56 с., ил. (аналог).].
Недостатком аналога является отсутствие возможности осаждения вольфрама на острие зондов.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство восстановления вольфрамовых зондов для нанотехнологии, содержащее вакуумную камеру, внутри которой расположены анод и катод, связанные с источником питания [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ, 2000. - 69 с., ил. (прототип)].
Недостатком прототипа является также отсутствие возможности осаждения вольфрама на острие зондов.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить высокую точность осаждения вольфрама на поверхность зондов при малых потерях распыляемого материала.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве восстановления зондов, содержащем вакуумную камеру, внутри которой расположены анод и катод, связанные с источником питания, согласно предложенной полезной модели. анод выполнен в виде сетки, внутри вакуумной камеры установлен источник электромагнитного излучения, с возможностью подачи электромагнитного потока через сетку-анод на катод, на котором установлен пакет изношенных зондов, причем сам пакет выполнен из диэлектрического материала, а каждый зонд электрически связан с катодом.
Введение в устройство восстановления зондов для нанотехнологии анода, выполненного в виде сетки, и установка на катод пакета изношенных зондов позволяет при подаче электромагнитного потока от источника электромагнитного излучения через сетку-анод на катод, в соответствие с законом фотоэффекта восстанавливать изношенные вольфрамовые зонды.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1., где показано схема устройства восстановления зондов для нанотехнологии.
Устройство восстановления зондов для нанотехнологии содержит вакуумную камеру 1, внутри которой расположены анод 2 и катод 3, связанные с источником питания 4. Анод 2 выполнен в виде сетки. Внутри вакуумной камеры 1 установлен источник электромагнитного излучения 5 с возможностью подачи электромагнитного потока через сетку-анод 2 на катод 3, на котором установлен пакет 6 изношенных зондов 7. Причем сам пакет 6 выполнен из диэлектрического материала, а каждый зонд 7 электрически связан с катодом 3.
Устройство работает следующим образом. В вакуумную камеру 1 подают рабочий газ (условно не показан). От источника питания 4 подается напряжение на сетку-анод 2 и катод 3. От источника электромагнитного излучения 5 подается световой поток, который проходит через сетку-анод 2 и попадает на катод 3, откуда к аноду 2 устремляются электроны в соответствии с законом фотоэффекта
При движении электронов происходит их столкновение с атомами рабочего газа, которые ионизируются, тем самым образую два потока заряженных частиц: электронный в сторону анода 2 и ионный в сторону катода 3 на острие зондов 7, где и происходит их осаждение, т.к. напряженность на остриях максимальна.
Применение предложенного устройства восстановления зондов для нанотехнологии позволяет обеспечить высокую точность осаждения вольфрама на поверхность зондов при малых потерях распыляемого материала.