УСТРОЙСТВО НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам наноперемещений.
Известно устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе. Установленный на торце пьезопривода зонд, электрически связан с подложкой. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие. - М.: МИЭТ. 2000 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность повышения качества нанотехнологических операций в виду отсутствия активации поверхности подложки и высокой энергии ионизации материала, из которого изготовлена подложка.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, жестко закрепленный на неподвижной платформе. Установленный на торце пьезопривода зонд, электрически связан с подложкой. [Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научного семинара - М. МИФИ. 2001 (прототип)].
Недостатком прототипа является невозможность повышения качества нанотехнологических операций в виду отсутствия активации поверхности подложки и высокой энергии ионизации материала, из которого изготовлена подложка.
В основу полезной модели положена техническая задача повысить точность и качество проведения нанотехнологических операций локального нанесения материала на подложку и локального удаления материала с подложки.
Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве наноперемещений, содержащем пьезопривод, закрепленный на неподвижной
платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезопривода установлены два лазерных когерентных источника с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой.
Введение в устройство наноперемещений двух лазерных когерентных источников, установленных на торце пьезопривода, с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой, позволяет воздействовать на поверхность подложки совместно с зондом, что обеспечивает активацию поверхности подложки, фотоэффект, ионизацию рабочего газа, который может быть запущен в технологический объем.
Сущность полезной модели поясняется (фиг.1), где показано устройство наноперемещений.
Устройство наноперемещений (фиг.1) содержит пьезопривод 1, закрепленный на неподвижной платформе 2, установленный на торце 3 пьезопривода 1 зонд 4, электрически связанный с подложкой 5. На торце 3 пьезопривода 1 также установлены два лазерных когерентных источника 6,7 с возможностью направления лазерных когерентных лучей 8,9 под углом 40-50 градусов относительно плоскости подложки 5 в зазор между зондом 4 и подложкой 5.
При подачи напряжения на пьезопривод 1 осуществляется перемещение зонда 4 в сторону обрабатываемой подложки 5, при этом реализуется нанотехнологический процесс, например, нанесение квантовых точек. Для повышения качества этого процесса включают лазерные источники 6, 7, лучи 8, 9 направлены в сторону обрабатываемой поверхности. В результате наложения двух лучей 8, 9 друг на друга происходит их интерференция, при которой напротив острия зонда 4 возникает интерференционный максимум на поверхности подложки 5, что увеличивает повышение качества выполнения нанотехнологических операций локального
нанесения материала на подложку и локального удаления материала с подложки.
Применение предложенного устройства наноперемещений позволяет выполнять нанотехнологические операции за счет активации поверхности подложки.