СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЛОЯ МДП СТРУКТУР, ОБЛАДАЮЩИХ ЭФФЕКТОМ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ ПРОВОДИМОСТИ

1. Способ изготовления диэлектрического слоя МДП структур, обладающих эффектом переключения проводимости, путем плазменного нанесения кремнийсодержащего материала, отличающийся тем, что нанесение кремнийсодержащего материала осуществляют методом магнетронного распыления кремниевой мишени с использованием плазмы, генерируемой электрическим разрядом постоянного тока в среде аргона с контролируемыми добавками кислорода и азота с получением нанокомпозитной пленки оксинитрида кремния с включенными наноразмерными кластерами кремния.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что нанесение пленки ведут при скорости осаждения 5-7 нм/мин и концентрации кислорода и азота 6-8 об.% и 3-5 об.% соответственно.