Микронагреватель для полупроводникового химического газового сенсора

1. Микронагреватель, содержащий резистор нагрева, выполненный из никеля, вольфрама или платины в виде спирального меандра, отличающийся тем, что резистор нагрева расположен на тонкой мембране из оксида кремния, которая подвешена на двух несущих балках в полости, вытравленной в кристалле из кремния.
2. Микронагреватель по п. 1, характеризующийся тем, что несущие балки и токовводы резистора нагрева имеют сужающуюся геометрию по направлению от контактных площадок, расположенных на кристалле кремния, к нагреваемой мембране.
3. Микронагреватель по п. 1, характеризующийся тем, что он может применяться в качестве элемента конструкции полупроводникового химического газового сенсора.