ТЕПЛОВОЙ ДЕТЕКТОР С ПОВЫШЕННОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ

1. Устройство для детектирования электромагнитного излучения, в особенности, инфракрасного излучения, содержащее подложку (1) и, по меньшей мере, одну микроструктуру, содержащую мембрану (2), которая является чувствительной к упомянутому излучению и расположена, по существу, напротив и на расстоянии от упомянутой подложки, при этом упомянутая мембрана непосредственно или опосредованно механически прикреплена, по меньшей мере, к двум продольно прямолинейным коллинеарным удерживающим элементам или опорным ножкам (3, 3B, 3C), по меньшей мере, одна из которых механически соединена с подложкой посредством промежуточной стойки (15), причем упомянутая мембрана также является электрически связанной с подложкой, отличающееся тем, что, по меньшей мере, две коллинеарные ножки, именуемые "первыми ножками", скреплены друг с другом на уровне их концов, которые прикреплены к мембране (2) непосредственно или опосредованно при помощи механического соединителя (20, 20A, 20B), который расположен, по существу, в одной плоскости с ножками и мембраной, а другой конец, по меньшей мере, одной из упомянутых ножек составляет единое целое с жесткой поперечиной (4A), которая расположена, по существу, в одной плоскости с ножками и расположена, по существу, под прямым углом к основному габаритному размеру упомянутых ножек, при этом сама упомянутая поперечина составляет единое целое со стойкой (15), которая составляет единое целое с подложкой (1).
2. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по п.1, отличающееся тем, что упомянутые первые ножки (3) непосредственно прикреплены к мембране (2), причем, по меньшей мере, одна из них также является электрически связанной с упомянутой мембраной и с поперечиной (4A), которая сама является электрически связанной со стойкой (15).
3. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что жесткая поперечина (4A) является общей для четырех соседних мембран (2).
4. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что жесткая поперечина (4A) составляет единое целое с двумя стойками (15), расположенными на ее концах.
5. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что поперечина (4A) сформирована посредством, по меньшей мере, одного слоя жесткого материала, который полностью соприкасается со слоями, из которых состоят ножки.
6. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп.1 или 2, отличающееся тем, что поперечина (4A) является электрически связанной со стойкой (15), которая сама является проводящей, для обеспечения общей электрической связи между контактами на поверхности подложки и электрическими функциями в мембране.
7. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по п.1, отличающееся тем, что упомянутые первые ножки (3, 3A) опосредованно прикреплены к мембране (2) посредством коллинеарных промежуточных ножек (3B), которые являются параллельными ножкам (3, 3A) и прикреплены на уровне одного из их концов к поперечине (4B), которая составляет единое целое с мембраной и расположена, по существу, в одной плоскости с ножкой и с упомянутой мембраной, а другой конец упомянутых промежуточных ножек (3B) прикреплен к первым ножкам (3, 3A) на уровне механического соединительного элемента (20, 20A).
8. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по п.7, отличающееся тем, что упомянутые поперечины (4B) одиночной мембраны (2) прикреплены друг к другу посредством жесткого элемента или планки (30), которая составляет единое целое и расположена в одной плоскости с мембраной.
9. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по п.7, отличающееся тем, что мембрана (2) содержит сплошную жесткую рамку, причем две противоположные стороны упомянутой рамки имеют удлинения, образующие поперечины (4B), способные обеспечивать возможность крепления промежуточных консолей (3B) на этом уровне.
10. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по п.6, отличающееся тем, что упомянутые поперечины (4B) не являются непосредственно прикрепленными к мембране (2), а соединены через третий набор из двух коллинеарных ножек (3C), которые являются параллельными упомянутым первым ножкам (3, 3A) и упомянутым промежуточным ножкам (3B), один из концов которых прикреплен к упомянутым поперечинам, а другой их конец составляет единое целое с упомянутой мембраной на уровне механического соединительного элемента (20B).
11. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп. 1, 2, 7, 8, 9,10, отличающееся тем, что ширина поперечин (4A, 4B) является пренебрежимо малой по сравнению с длиной ножки, к которой они прикреплены.
12. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп. 1, 2, 7, 8, 9,10, отличающееся тем, что ширина поперечины (4A, 4B), по меньшей мере, в том конце, который объединен с ножкой, является величиной того же порядка, что и ширина ножки.
13. Устройство для детектирования электромагнитного излучения по любому из пп.7, 8, 9, 10, отличающееся тем, что материалы, из которых состоят ножки, продолжены настолько, что доходят до внутренней части мембраны, или через поверхность основания поперечины (4B), которая составляет единое целое с мембраной, для обеспечения электрической связности, которую легко реализовать при необходимости, и для обеспечения надлежащей механической прочности между концом ножек и конструкциями, удерживающими их в состоянии линейного натяжения.