ТОЧКИ СОЕДИНЕНИЯ ДЕРЖАТЕЛЯ И ПЕРЕМЫЧКИ ДЛЯ ТРУБЧАТЫХ НИТЕЙ НАКАЛА В РЕАКТОРЕ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

1. Реакторная система для химического осаждения из газовой фазы, содержащая:
по меньшей мере, одну трубчатую нить накала, имеющую первый и второй концы, причем трубчатая нить накала выполнена с возможностью пропускания электрического тока;
затравочный элемент, прикрепленный к первому концу трубчатой нити накала; и
держатель, соединенный с, по меньшей мере, затравочным элементом, причем держатель выполнен с выступом, который соответствует пазу в затравочном элементе, так что держатель является электрически соединенным с трубчатой нитью накала.
2. Система по п.1, в которой выступ расположен приблизительно в центре держателя.
3. Система по п.1, в которой затравочный элемент является отсоединяемым от держателя.
4. Система по п.1, в которой затравочный элемент прикрепляют к держателю после формования трубчатой нити накала.
5. Система по п.1, в которой затравочный элемент изготовлен из графита.
6. Система по п.1, в которой, по меньшей мере, одна трубчатая нить накала содержит первую и вторую трубчатые нити накала, причем каждая соединена с соответствующим затравочным элементом и держателем.
7. Реакторная система для химического осаждения из газовой фазы, содержащая:
первую трубчатую нить накала, имеющую первый и второй концы, причем первая трубчатая нить накала выполнена с возможностью пропускания электрического тока, второй конец электрически присоединен к, по меньшей мере, одному электроду;
вторую трубчатую нить накала, имеющую первый и второй концы, причем вторая трубчатая нить накала выполнена с возможностью пропускания электрического тока; и
перемычку для соединения первой и второй трубчатых нитей накала.
8. Система по п.7, в которой перемычка содержит множество углублений, причем каждое из углублений предназначено для вхождения в контакт с одним из первых концов первой и второй трубчатых нитей накала.
9. Система по п.8, в которой каждое углубление имеет, по меньшей мере, одно вентиляционное отверстие для образования вентиляционного канала.
10. Система по п.7, в которой перемычка выполнена с возможностью полного перекрытия периферийной окружности первых концов первой и второй трубчатых нитей накала.
11. Система по п.7, в которой перемычка содержит канавки для вхождения в контакт с, по меньшей мере, частью одного из первых концов первой и второй трубчатых нитей накала.
12. Система по п.11, в которой перемычка сконфигурирована так, чтобы не полностью перекрывать периферийную окружность первых концов первой и второй трубчатых нитей накала.
13. Система по п.7, в которой перемычка содержит множество канавок для вхождения в контакт с первой и второй трубчатыми нитями накала.
14. Система по п.7, в которой перемычка изготовлена из кремния.
15. Реакторная система для химического осаждения из газовой фазы, содержащая:
по меньшей мере, одну трубчатую нить накала, имеющую первый конец и второй конец, причем первый конец соединен с перемычкой;
перемычка имеет контактную часть для механического вхождения в контакт с, по меньшей мере, одной трубчатой нитью накала и
контактная часть имеет, по меньшей мере, одно углубление для вхождения в контакт с первым концом трубчатой нити накала.
16. Система по п.15, в которой, по меньшей мере, одно углубление дополнительно содержит, по меньшей мере, одно вентиляционное отверстие.
17. Система по п.15, в которой контактная часть выполнена с возможностью полного перекрытия периферийной окружности первого конца.
18. Система по п.15, в которой контактная часть сконфигурирована так, чтобы не перекрывать полностью периферийную окружность первого конца.
19. Система по п.15, в которой перемычка изготовлена из кремния.
20. Способ формирования трубчатой нити накала на держателе в реакторе для химического осаждения из газовой фазы, содержащий стадии, на которых:
обеспечивают затравочный элемент, соединенный с возможностью отсоединения с держателем;
погружают, по меньшей мере, часть держателя в расплав кремния и
извлекают держатель из расплава кремния таким образом, что трубчатая нить накала формируется непосредственно на держателе.
21. Способ по п.20, в котором затравочный элемент является затравочным элементом многократного использования, соединенным с возможностью отсоединения с держателем.
22. Способ по п.20, в котором расплав кремния содержится в тигле.
23. Способ по п.22, дополнительно содержащий стадию, на которой
регулируют длину трубчатой нити накала на основе количества расплавленного материала, содержащегося в тигле.
24. Способ по п.20, дополнительно содержащий стадию, на которой отделяют затравочный элемент многократного использования от держателя.
25. Способ формирования трубчатой нити накала на держателе в реакторе для химического осаждения в газовой фазе, содержащий стадии, на которых:
обеспечивают затравочный элемент, соединенный с держателем;
погружают, по меньшей мере, часть держателя в расплав кремния;
извлекают держатель из расплава кремния так, что трубчатая нить накала формируется на затравочном элементе; и
соединяют трубчатую нить накала с держателем.