СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕРЖНЕЙ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ВЫСОКОЙ СТЕПЕНИ ЧИСТОТЫ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО СРЕДСТВА-ОСНОВЫ

1. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы, содержащий этапы, на которых
устанавливают средство-основу во внутреннее пространство реактора осаждения, используемого для получения кремниевого стержня, при этом образуют средство-основу, формируя один или множество разделительных слоев на поверхности металлического элемента основы, и соединяют средство-основу с электродным средством;
нагревают средство-основу, подводя электрическую энергию через электродное средство;
и подают реакционный газ во внутреннее пространство для осаждения кремния, в результате чего формируется продукт осаждения в направлении наружу на поверхности средства-основы.
4
2
2
3
4
2. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором реакционный газ содержит по меньшей мере один кремнийсодержащий компонент, выбранный из группы, состоящей из моносилана (SiH), дихлорсилана (SiHCl), трихлорсилана (SiHCl), тетрахлорида кремния (SiCl) и смеси из них.
3. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.2, в котором реакционный газ дополнительно содержит по меньшей мере один газовый компонент, выбранный из группы, состоящей из водорода, азота, аргона, гелия, хлористого водорода и смеси из них.
4. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором осаждение кремния происходит во внутреннем пространстве при абсолютном давлении реакции в диапазоне 1-20 бар и температуре реакции в диапазоне 650-1300°С, исходя из температуры поверхности продукта осаждения.
5. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором металлический элемент основы имеет форму, выбранную из группы, состоящей из стержня, проволоки, нити, прутка, полоски и ленты, имеющих в поперечном сечении форму окружности, овала или многоугольника, и из трубы, трубки, цилиндра и короба, имеющих в поперечном сечении форму концентрических окружностей, концентрических овалов или концентрических многоугольников.
6. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1 или 5, в котором металлический элемент основы представляет собой металл или сплав, содержащий по меньшей мере один металлический элемент, выбранный из группы, состоящей из вольфрама (W), рения (Re), осмия (Os), тантала (Ta), молибдена (Mo), ниобия (Nb), иридия (Ir), рутения (Ru), технеция (Tc), гафния (Hf), родия (Rh), ванадия (V), хрома (Cr), циркония (Zr), платины (Pt), тория (Th), лантана (La), титана (Ti), лютеция (Lu), иттрия (Y), железа (Fe), никеля (Ni), алюминия (Al) и смеси из них.
7. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором число разделительных слоев, при этом каждый выполнен из отличающегося барьерного компонента, находится в пределах от 1 до 5.
8. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.7, в котором барьерный компонент, составляющий каждый слой разделительного слоя (слоев), выбирают из группы, состоящей из нитрида кремния, оксида кремния, карбида кремния, оксинитрида кремния и смеси из них.
9. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.7, в котором барьерный компонент, составляющий каждый слой разделительного слоя (слоев) выбирают из нитрида, оксида, силицида, карбида, оксинитрида или оксисилицида, содержащих по меньшей мере один металлический элемент, выбранный из группы, состоящей из вольфрама (W), рения (Re), осмия (Os), тантала (Ta), молибдена (Mo), ниобия (Nb), иридия (Ir), рутения (Ru), технеция (Tc), гафния (Hf), родия (Rh), ванадия (V), хрома (Cr), циркония (Zr), платины (Pt), тория (Th), лантана (La), титана (Ti), лютеция (Lu), иттрия (Y) и смеси из них.
10. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по любому одному из пп.7-9, в котором общая толщина разделительного слоя (слоев) находится в диапазоне от 10 нм до 20 мм.
11. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по любому одному из пп.7-9, дополнительно содержащий этап добавления кремниевого слоя к разделительному слою (слоям), при этом кремниевый слой имеет толщину в диапазоне 1 мкм-10 мм, и кремний выбирают в качестве барьерного компонента.
12. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.11, в котором кремниевый слой добавляют к разделительному слою (слоям) в таком состоянии, в котором металлическое средство-основа и электродное средство соединены друг с другом и установлены во внутреннем пространстве реактора осаждения, металлическое средство-основу нагревают, подводя электрическую энергию через электродное средство, и подаваемый газ для формирования кремниевого слоя подают во внутреннее пространство реактора осаждения при условиях реакции, при этом подаваемый газ выбирают из компонентов реакционного газа для формирования продукта осаждения при получении стержня поликристаллического кремния, и обеспечивают такие условия реакции, чтобы кремниевый слой и продукт осаждения могли отличаться друг от друга по кристаллической структуре и тепловому расширению.
13. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором металлический элемент основы и электродное средство соединяют друг с другом и устанавливают во внутреннее пространство реактора осаждения, металлический элемент основы нагревают, подводя электрическую энергию через электродное средство, подаваемый газ для формирования разделительного слоя (слоев) подают во внутреннее пространство реактора осаждения и формируют разделительный слой (слои), в результате чего получают средство-основу.
14. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором предварительное средство-основу, полученное заранее путем формирования части разделительного слоя (слоев) на металлическом элементе основы, и электродное средство соединяют друг с другом и устанавливают во внутреннее пространство реактора осаждения, предварительное средство-основу нагревают, подводя электрическую энергию через электродное средство, подаваемый газ для формирования дополнительного разделительного слоя (слоев) подают во внутреннее пространство и формируют дополнительный разделительный слой (слои), в результате чего получают средство-основу.
15. Способ получения стержня поликристаллического кремния с использованием металлического средства-основы по п.1, в котором средство-основу получают, компонуя разделительный слой, полученный заранее, с металлическим элементом основы таким образом, чтобы разделительный слой мог окружать металлический элемент основы.