СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ получения тетрафторида кремния, который содержит следующие стадии:
материал исходного сырья, содержащий диоксид кремния, вводят в реакцию со смешанным раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и кремнефтористоводородную кислоту, до получения водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты;
водный раствор высококремнистой фторкремниевой кислоты вводят в реакцию с серной кислотой до получения тетрафторида кремния; и
фракцию серной кислоты, содержащую фтористый водород, который представляет собой побочный продукт на стадии получения тетрафторида кремния, подвергают отпарке до получения серной кислоты,
полученную серную кислоту возвращают на стадию получения тетрафторида кремния для повторного использования.
2. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором на стадии получения серной кислоты ее обезвоживают до достижения специфической концентрации серной кислоты, которую можно использовать на стадии получения тетрафторида кремния.
3. Способ получения тетрафторида кремния по п.2, в котором используют кварцевый песок с уровнем содержания диоксида кремния в качестве материала исходного сырья 80 мас.% и более.
4. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором уровень содержания водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты, полученного на стадии получения высококремнистой фторкремниевой кислоты и присутствующего в продукте, составляет 42 мас.% и более.
5. Способ получения тетрафторида кремния по п.4, в котором концентрация серной кислоты, используемой на стадии получения тетрафторида кремния, составляет 85 мас.% и более.
6. Способ получения тетрафторида кремния по п.5, в котором температура серной кислоты на стадии получения тетрафторида кремния составляет 60°С и менее.
7. Способ получения тетрафторида кремния по п.6, в котором концентрацию серной кислоты, содержащей фтористый водород, образовавшийся на стадии получения тетрафторида кремния, выдерживают равной 80 мас.% и более, исходя из количеств только серной кислоты и воды при исключении фтористого водорода.
8. Способ получения тетрафторида кремния по п.7, в котором уровень содержания фтористого водорода, присутствующего в серной кислоте на стадии получения серной кислоты, составляет 1 ч./млн./масс. и менее.
9. Устройство для получения тетрафторида кремния, которое содержит
реакционную емкость, в которой материал исходного сырья, содержащий диоксид кремния, вводят в реакцию со смешанным раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и кремнефтористоводородную кислоту, до получения водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты;
насадочную колонну, в которой водный раствор высококремнистой фторкремниевой кислоты реагирует с серной кислотой до получения тетрафторида кремния;
отпарную колонну, в которой серную кислоту, содержащую фтористый водород, который является побочным продуктом в насадочной колонне, подвергают отпарке для удаления фтористого водорода до получения серной кислоты; и
испаритель, в котором концентрируют серную кислоту, полученную в отпарной колонне,
и затем подают в насадочную колонну.
10. Устройство по п.9, в котором испаритель обеспечивает обезвоживание и концентрирование серной кислоты, полученной в отпарной колонне, вплоть до достижения специфической концентрации серной кислоты, которую можно использовать в насадочной колонне.
11. Устройство по п.10, в котором испаритель изготавливают из металла или с использованием стеклянной футеровки.