СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НИТЕВИДНЫХ НАНОКРИСТАЛЛОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

2
5
2
Способ получения нитевидных нанокристаллов полупроводниковых материалов, включающий подготовку кремниевой пластины путем нанесения на ее поверхность нанодисперсных частиц катализатора с последующим помещением в ростовую печь, нагревом и осаждением кристаллизуемого вещества из газовой фазы по схеме пар→капельная жидкость→кристалл, отличающийся тем, что пластину кремния легируют фосфором до удельного сопротивления 0,008-0,018 Ом·см и анодируют длительностью не более 5 мин в смеси 48%-ного раствора HF и CHOH (96%) в соотношении 1:1, причем плотность тока анодизации поддерживают на уровне 10 мА/см, а наночастицы катализатора наносят электронно-лучевым напылением пленки металла толщиной не более 2 нм.