СЛОЖНАЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКАЯ ДЕТАЛЬ

1. Способ изготовления цельной микромеханической детали (11, 21, 31, 41, 51, 61) из синтетической аллотропной модификации углерода, включающие в себя следующие операции:
a) формирование подложки (1), содержащей негативную полость (3) для указанной изготовляемой микромеханической детали;
1
b) покрытие указанной негативной полости (3) подложки (1) слоем (5) синтетической аллотропной модификации углерода, толщина (e) которого меньше глубины негативной полости (3);
2
1
c) снятие с подложки (1) толщины (e), большей, чем толщина (e) нанесенного слоя (5), для получения ограниченной толщины слоя материала в указанной негативной полости (3);
d) удаление подложки (1) с целью освобождения цельной микромеханической детали (11, 21, 31, 41, 51, 61), сформированной в указанной негативной полости (3), содержащей внешнюю поверхность, шероховатость которой сравнима с шероховатостью подложки (1).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что негативная полость (3) содержит стенку с сформированным на ней зубчатым венцом (45, 55, 65).
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтетическая аллотропная модификация углерода (5) находится в кристаллической форме.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтетическая аллотропная модификация углерода (5) находится в аморфной форме.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что между операцией b) и операцией с) он включает в себя следующую операцию:
операцию е) заполнения полости (3), покрытой синтетической аллотропной модификацией углерода (5), вторым материалом (7) с целью получения после проведения операций с) и d) микромеханической детали (51) в синтетической аллотропной модификации углерода (5), усиленной и/или отделанной вторым материалом (7).
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что второй материал (7, 17) содержит металл или металлический сплав.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что между операцией с) и операцией d) он включает в себя следующую операцию:
операцию f) заполнения полости (3), покрытой синтетической аллотропной модификацией углерода (5), вторым материалом (7, 17) с целью получения после проведения операции d) микромеханической детали (51, 61), выполненной из синтетической аллотропной модификации углерода (5), усиленной и/или отделанной вторым материалом (7, 17).
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что в ходе операции f) производится формирование второго материала (17), выступающего из негативной полости (3), с целью создания дополнительного функционального элемента (12, 14, 16, 62) микромеханической детали.
9. Способ по п.7, отличающийся тем, что второй материал (7, 17) содержит металл или металлический сплав.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что микромеханическая деталь образует внешнюю часть, спиральную пружину, баланс, паллетный рычаг, мост, колесную пару или анкерное колесо часового механизма.
1
3
1
3
11. Полая микромеханическая деталь (11, 21, 31, 41, 51, 61), изготовленная способом по п.1, являющаяся цельной, выполненной из синтетической аллотропной модификации углерода в слое 5 толщиной (e) от 0.2 мкм до 20 мкм, содержащей внешнюю поверхность высотой (e) больше толщины (e) слоя (5), выполненной из синтетической аллотропной модификации углерода, причем высота (e) данной внешней поверхности составляет от 10 мкм до 500 мкм, а среднее арифметическое отклонение (Ra) шероховатости данной внешней поверхности значительно меньше 10 нм.
12. Деталь по п.11, отличающаяся тем, что на ее внешней поверхности сформирован зубчатый венец (45, 55, 65).
13. Деталь по п.11, отличающаяся тем, что полая микромеханическая деталь, выполненная из синтетической аллотропной модификации углерода, по меньшей мере, частично заполняется вторым материалом (7, 17) с целью создания выполненной из синтетической аллотропной модификации углерода микромеханической детали (51, 61), усиленной и/или отделанной вторым материалом (7, 17).
3
14. Деталь по п.13, отличающаяся тем, что формирование второго материала производится таким образом, чтобы он выступал за уровень высоты (e) внешней поверхности, с целью создания дополнительного функционального элемента (12, 14, 16, 62) микромеханической детали.
15. Деталь по п.13, отличающаяся тем, что второй материал (7, 17) содержит металл или металлический сплав.
16. Часовой механизм, содержащий микромеханическую деталь (11; 21, 31, 41, 51, 61) по любому из пп.11-15.
17. Часовой механизм по п.16, отличающийся тем, что микромеханическая деталь образует всю или часть внешних элементов, спиральную пружину, баланс, паллетный рычаг, мост, колесную пару или анкерное колесо.