ИСПАРИТЕЛЬНАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ИСПАРИТЕЛЬНОЙ КАМЕРЫ И СООТВЕТСТВУЮЩИЙ СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ

1. Испарительная ячейка (1) для вакуумной испарительной камеры, причем испарительная ячейка (1) содержит тигель (5), и при этом тигель (5) выполнен с возможностью приема твердого или жидкого материала, подлежащего сублимации или испарению, нагревательное приспособление (3) для нагревания материала в тигле, форсунку (6), расположенную на открытом торце тигля (5), причем форсунка (6) содержит усеченно-коническую часть (61), имеющую отверстие (60), выполненное с возможностью пропускания потока испаренного или сублимированного материала в вакуумную испарительную камеру, и крышку (7), расположенную на форсунке (6), причем крышка (7) имеет отверстие (70), расположенное вокруг усеченно-конической части (61) форсунки (6), причем ячейка отличается тем, что крышка (7) содержит по меньшей мере одну усеченно-коническую часть (71, 72, 73), расположенную вокруг усеченно-конической части (61) форсунки (6), и при этом крышка (7) образует тепловой барьер между тиглем (5) и вакуумной испарительной камерой.
2. Испарительная ячейка по п. 1, в которой усеченно-коническая часть (71) крышки и усеченно-коническая часть (61) форсунки, имеющие одинаковый внутренний угол (А) конуса и общую ось (100), расположены друг от друга на расстоянии, составляющем от нескольких десятых долей миллиметра до нескольких миллиметров.
3. Испарительная ячейка по п. 1, в которой по меньшей мере одна указанная усеченно-коническая часть (71, 72, 73) крышки содержит несколько усеченных конусов (71, 72, 73), имеющих одинаковый внутренний угол (В) конуса и общую ось (100), причем указанные усеченные конусы (71, 72, 73) вставлены друг в друга вокруг усеченно-конической части (61) форсунки (6).
4. Испарительная ячейка по п. 3, в которой два соседних конуса среди указанных усеченных конусов (71, 72, 73) имеют площадь контактной поверхности, которая равняется или составляет менее чем 5% их соответствующей площади поверхности.
5. Испарительная ячейка по п. 1, в которой крышка (7) изготовлена из металлического листа.
6. Испарительная ячейка по п. 1, в которой крышка (7) закрывает открытый торец тигля (5).
7. Испарительная ячейка по п. 1, в которой форсунка (6) содержит цилиндрическую стенку (68) и две нижние пластины (62, 64), причем цилиндрическая стенка (68) присоединяет две нижние пластины (62, 64) к усеченно-конической части (61) форсунки (6), при этом цилиндрическая стенка (68) содержит отверстия (66), ориентированные в радиальном направлении, и две нижние пластины (62, 64), из которых каждая содержит по меньшей мере одно отверстие (63, 65), причем по меньшей мере одно указанное отверстие (63, 65) двух нижних пластин (62, 64) расположено зигзагом.
8. Испарительная ячейка по п. 1, в которой нагревательное приспособление (3) содержит первую нагревательную область, расположенную вокруг нижней части тигля (7), и вторую нагревательную область, расположенную вокруг форсунки (6).
9. Испарительная ячейка по п. 1, в которой материал, подлежащий сублимации или испарению, выбран из галогенида металла, оксида металла и халькогенида металла.
10. Способ испарения фторида лития, включающий следующие стадии: нагревание фторида лития в тигле (5) при более высокой температуре, чем температура испарения фторида лития при данном давлении, в результате чего образуется поток газообразного фторида лития, фильтрование и направление потока газообразного фторида лития посредством форсунки (6) в вакуумную испарительную камеру, причем форсунка (6) расположена у устья тигля (5), и при этом форсунка (6) содержит усеченно-коническую часть (61) и отверстие (60), и теплоизоляция форсунки (6) по отношению к испарительной камере осуществляется посредством крышки (7), расположенной вокруг отверстия (60) форсунки (6), причем крышка (7) содержит по меньшей мере одну усеченно-коническую часть (71, 72, 73), расположенную вокруг усеченно-конической части (61) форсунки (6).