УПРАВЛЕНИЕ МНОЖЕСТВОМ КАТУШЕК-СВЕЧЕЙ ЧЕРЕЗ ЕДИНСТВЕННЫЙ КАСКАД УСИЛЕНИЯ МОЩНОСТИ

1. Устройство генерирования плазмы, содержащее:
цепь (2) питания, содержащую выключатель (М), управляемый сигналом (V1) управления для подачи промежуточного напряжения (Vinter) на выход цепи питания на частоте, определяемой сигналом управления,
множество катушек-свечей (ВВ1, ВВ2, ВВ3, ВВ4), генерирующих плазму, установленных параллельно на выходе цепи питания через соединители (20), при этом каждый соединитель (20) выполнен с возможностью разъемного соединения с соответствующей катушкой-свечой и содержит средства (23), выполненные с возможностью смещения резонансной частоты указанной катушки-свечи таким образом, чтобы каждая катушка-свеча имела свою отдельную резонансную частоту,
устройство (5) управления цепью питания, определяющее частоту сигнала управления среди резонансных частот катушек-свечей таким образом, чтобы селективно управлять катушками-свечами в зависимости от используемой частоты управления.
2. Устройство по п.1, в котором каждая катушка-свеча, генерирующая плазму, содержит резонатор (1), имеющий частоту, превышающую 1 МГц, и содержащий два электрода, при этом резонатор выполнен с возможностью генерирования плазмы между двумя электродами, когда на выход цепи питания подается высокое напряжение определенного уровня.
3. Устройство по п.1 или 2, в котором соединители (20) соединены между собой при помощи одной соединительной детали (26).
4. Устройство по п.3, в котором соединительная деталь содержит средства (27) предотвращения неверного соединения, позволяющие крепить ее на множестве катушек-свечей единственным образом.
5. Устройство по п.1, в котором средства (23), выполненные с возможностью смещения резонансной частоты катушки-свечи, содержат средства изменения величины индуктивности катушки-свечи, расположенные в непосредственной близости от катушки-свечи.
6. Устройство по п.5, в котором средства изменения величины индуктивности катушки-свечи содержат обмотку (34), находящуюся в непосредственном контакте с обмоткой (L) катушки-свечи.
7. Устройство по п.6, в котором обмотка (34) средств изменения индуктивности размещена вокруг элемента (36) из магнитного материала.
8. Устройство по п.6 или 7, в котором обмотка (34) средств изменения индуктивности, по меньшей мере, частично охвачена элементом (36) из магнитного материала.
9. Устройство по п.5, в котором средства изменения величины индуктивности катушки-свечи содержат элемент (30) из магнитного материала, непосредственно прилегающий к обмотке (L) катушки-свечи.
10. Устройство по п.9, в котором элемент (30) из магнитного материала, охватывает, по меньшей мере, часть конца обмотки катушки-свечи.
11. Устройство по п.9 или 10, в котором элемент (30) из магнитного материала содержит центральный сердечник (32), вставленный в обмотку катушки-свечи.
12. Устройство по п.7, в котором магнитный материал содержит феррит.