СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ТОПОГРАФИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА

1. Способ формирования изображения топографии поверхности объекта, включающий эмиссию вторичных электронов с поверхности исследуемого объекта в растровом электронном микроскопе, их сбор и регистрацию зондом измерительной головки сканирующего туннельного микроскопа, установленным от поверхности объекта на минимальном расстоянии, позволяющем регистрировать ток вторичных электронов, синхронизированно с режимом сканирования растрового электронного микроскопа, при этом для построения трехмерного изображения топографии поверхности исследуемого объекта в цифровой форме, зонд последовательно позиционируют в точки, расположенные по периметру поля сканирования растрового электронного микроскопа, отличающийся тем, что сбор и регистрацию вторичных электронов осуществляют в газовой среде, которую создают в области взаимодействия электронного пучка растрового электронного микроскопа с поверхностью исследуемого объекта.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что газовую среду в области взаимодействия электронного пучка растрового электронного микроскопа с поверхностью исследуемого объекта создают путем инжектирования в данную область газа.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве инжектируемого газа используют инертный газ.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве инжектируемого газа используют водяной пар.