СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ТЕРМОМЕТРИЧЕСКОГО УСТРОЙСТВА НА ПОЛИМЕРНОЙ ОСНОВЕ

20
22
3
12
13
2
Способ изготовления оптического термометрического устройства, обеспечивающего измерение температуры по изменению дифракционной картины света, заключающийся в формировании на поверхности исходной подложки элементов заданной периодической дифракционной микроструктуры путем ионной имплантации через поверхностную маску, отличающийся тем, что ионную имплантацию осуществляют ионами металла с энергией 2-1300 кэВ, дозой облучения, обеспечивающей концентрацию вводимых атомов металла в облучаемой подложке 2,0⋅10-8,0⋅10 атомов/см, плотностью тока ионного пучка 1,2⋅10-1,5⋅10 ион/смс в оптически-прозрачную полимерную подложку.