ДЕТАЛЬ С DLC ПОКРЫТИЕМ И СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ DLC ПОКРЫТИЯ

1. Металлическая деталь, содержащая WC-C слой с градиентом состава, без металлсодержащего подслоя и без ионно-имплантированного слоя, и поверхностный DLC слой, характеризующийся когезионными свойствами при испытаниях с помощью нанесения царапин.
2. Деталь по п. 1, отличающаяся тем, что покрыта DLC покрытием, нанесенным на WC-C слой с градиентом состава, который имеет протравленная в СВЧ-плазме деталь.
3. Способ нанесения DLC покрытия на металлическую деталь, отличающийся тем, что включает следующие этапы, на которых:
- травят деталь в СВЧ-плазме;
- подвергают деталь нанесению WC-C слоя с градиентом состава;
- используют СВЧ-плазму для нанесения DLC покрытия на WC-C слой.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что создают плазму аргона для обеспечения травления в диапазоне давлений от 0,05 до 0,5 Па.
5. Способ по п. 3, отличающийся тем, что WC-C слой с градиентом состава производят посредством магнетронного физического осаждения из паровой фазы (PVD).
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что начинают с первого чистого WC слоя, за которым следует слой с постепенно увеличивающимся расходом углеводорода, за которым, наконец, следует WC-C слой.
7. Способ по любому из пп. 5 или 6, отличающийся тем, что толщина WC-C слоя с градиентом состава составляет от 0,3 до 10 мкм, предпочтительно, 0,8 мкм.
8. Способ по п. 3, отличающийся тем, что DLC покрытие имеет толщину от 1 до 20 мкм.
9. Деталь, покрытая DLC покрытием, полученным непосредственно с помощью применения способа по любому из пп. 3-8, отличающаяся тем, что не содержит металлсодержащего подслоя и ионно-имплантированного слоя, и содержит WC-C слой с градиентом состава.