СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ

2
1. Способ получения микроэлектромеханических систем (“MEMS”) из структуры, включающий стадию, в которой структуру травят с применением газа для травления, включающего атомарный фтор, или карбонилфторид (COF), или смесь обоих.
2. Способ по п.1, в котором атомарный фтор или карбонилфторид используют совместно с инертным разбавителем, кислородом и/или пассивирующим агентом.
3. Способ по п.1, в котором одновременно или последовательно с травлением проводят пассивирование, по меньшей мере, части вытравленной поверхности структуры.
4. Способ по п.3, в котором пассивирующий агент выбирают из органических соединений, предоставляющих в плазме фторполимер.
4
6
5
8
2
2
3
4
2
6
3
8
2
4
4
6
6
6
3
4
8
5. Способ по п.4, в котором пассивирующий газ выбирают из c-CF, c-CF, CHF, CHF, CF, CF, CF, CF, CF, c-CF, CFI и CF.
6. Способ по п.1, в котором кремниевую пластину используют в качестве структуры.
4
6
7. Способ по п.1, в котором газовую смесь, включающую атомарный фтор, азот и аргон, используют в качестве травящего газа на стадии травления, а пассивирующий газ, включающий CF, используют для обеспечения пассивирования на стадии пассивирования, и в результате чего стадии травления и стадии пассивирования выполняют последовательно друг за другом.
8. Способ по п.1, в котором газовую смесь, включающую карбонилфторид и азот и/или аргон, используют в качестве газа для травления.
9. Газовая смесь, включающая карбонилфторид и атомарный фтор.
10. Газовая смесь по п.9, дополнительно включающая азот, аргон и/или пассивирующий газ, совместимый с атомарным фтором.
11. Газовая смесь, включающая карбонилфторид и, по меньшей мере, одно соединение, выбранное из группы, состоящей из пассивирующего газа, азота и аргона.
12. Газовая смесь по п.11, включающая карбонилфторид и пассивирующий газ; карбонилфторид и аргон; карбонилфторид, и аргон, и азот; или карбонилфторид, пассивирующий газ и аргон; или карбонилфторид, пассивирующий газ, и аргон, и азот; или карбонилфторид, пассивирующий газ и водород или газ, выделяющий водород.
4
6
5
8
2
2
3
4
2
6
3
8
2
4
4
6
6
6
3
4
8
13. Газовая смесь по любому из пп.9-12, в которой пассивирующий газ выбирают из c-CF, c-CF, CHF, CHF, CF, CF, CF, CF, CF, c-CF, CFI и CF.
14. Газовая смесь, состоящая из атомарного фтора, азота и аргона, содержащая равное или больше 10 об.% атомарного фтора, равное или меньше 25 об.% атомарного фтора, равное или больше 5 об.% аргона, равное или меньше 15 об.% аргона; равное или больше 65 об.% азота; равное или меньше 80 об.% азота и необязательно кислород в интервале от 2 до 15 об.%, компоненты, добавленные до 100 об.%.
15. Газовая смесь по пп.9, 11 или 14 в жидком состоянии.
16. Газовая смесь по п.15, подвергнутая сжатию в контейнере.