СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ЭЛЕКТРОИЗОЛИРУЮЩИХ СЛОЕВ

z
r
1. Способ получения плохопроводящих, в частности изолирующих, слоев, по меньшей мере, на одной детали посредством вакуумного нанесения покрытий, при котором между, по меньшей мере, одним анодом и катодом дугового источника в содержащей реактивный газ атмосфере осуществляют электрический дуговой разряд, отличающийся тем, что на поверхности, электрически соединенной с катодом мишени, создают лишь небольшое, в основном, перпендикулярное поверхности мишени внешнее магнитное поле для поддержания процесса испарения, содержащее вертикальную составляющую B и меньшую по сравнению с ней радиальную или параллельную поверхности составляющую B, прикладывая ток возбуждения к магнитной системе, состоящей, по меньшей мере, из одной поляризованной, в основном, аксиально катушки и имеющей схожую с периферией мишени геометрию.
z
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что вертикальную составляющую B на поверхности мишени устанавливают в диапазоне 3-50 Гс, однако предпочтительно в диапазоне 5-25 Гс.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что магнитную систему располагают, в основном, в одной плоскости с поверхностью мишени или предпочтительно за поверхностью мишени.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что искровой разряд и, по меньшей мере, один дуговой источник одновременно питают постоянным током и импульсным или переменным током.
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что искровой разряд и, по меньшей мере, один дуговой источник одновременно питают постоянным током и импульсным или переменным током.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что искровой разряд и, по меньшей мере, один дуговой источник одновременно питают постоянным током и импульсным или переменным током.
7. Способ по п.4, отличающийся тем, что за счет изоляции поверхности мишени долю постоянного тока напряжения источника повышают, по меньшей мере, на 10%, предпочтительно, по меньшей мере, на 20% по сравнению с режимом работы с неизолированной поверхностью.
8. Способ по п.4, отличающийся тем, что между катодом дугового источника в качестве первого электрода и расположенным отдельно от дугового источника электродом используют источник импульсного тока.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что второй электрод используют в качестве катода другого дугового источника и соединяют его также с источником постоянного тока.
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что в качестве второго электрода включают катод источника ионного распыления.
11. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что используют, по меньшей мере, две расположенные под углом друг к другу или напротив друг друга мишени, между которыми располагают, по меньшей мере, одну деталь.
12. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что ток возбуждения является постоянным током и/или импульсным или переменным током, который подают от источника тока через катушку на катод.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что катушку рассчитывают с возможностью установления внешнего магнитного поля при протекании тока возбуждения, в основном, на значение собственного магнитного поля тока дуги.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что используют катушку с числом витков 1-20, предпочтительно 1-10, в частности 1-5.
15. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что используют мишень из алюминийсодержащего сплава и с поверхности мишени испаряют алюминийсодержащий сплав или соединение алюминийсодержащего сплава.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что сплав содержит чистый алюминий или сплав алюминия с одним или несколькими переходными металлами IV-VI подгрупп, а также Fe, Si, В, С, предпочтительно, однако, сплав AlTi, AlTa, AlV, AlCr или AlZr.
17. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что содержащая реактивный газ атмосфера содержит кислород или состоит из кислорода, и осаждают оксидсодержащий слой, предпочтительно оксид.
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что дополнительно, по меньшей мере, к одному оксидсодержащему слою на деталь наносят, по меньшей мере, один другой адгезионный и/или твердый слой, причем предпочтительно в качестве последнего этапа покрытия наносят оксидсодержащий слой, предпочтительно оксид.
19. Способ по п.18, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один раз между непосредственно следующими друг за другом адгезионными, твердыми и/или оксидными слоями наносят переходный слой, содержащий элементы двух непосредственно следующих друг за другом слоев.
2
20. Способ по одному из пп.1-10, отличающийся тем, что содержащая реактивный газ атмосфера включает в себя борсодержащее соединение или состоит из борсодержащего соединения, и осаждают борсодержащий слой, предпочтительно борид, в частности предпочтительно TiB.
z
r
21. Способ получения плохопроводящих, в частности изолирующих, слоев, по меньшей мере, на одной детали посредством вакуумного нанесения покрытий, при котором между, по меньшей мере, одним анодом и катодом дугового источника в содержащей реактивный газ атмосфере осуществляют электрический дуговой разряд, отличающийся тем, что на поверхности электрически, соединенной с катодом мишени, не создают или создают лишь небольшое, в основном, перпендикулярное поверхности мишени внешнее магнитное поле для поддержания процесса испарения, содержащее вертикальную составляющую B и, в основном, меньшую радиальную или параллельную поверхности составляющую B, и в установке для вакуумного нанесения покрытий используют только один дуговой источник или в установке располагают другие источники покрытия так, что степень повторного покрытия поверхности мишени меньше 10%, предпочтительно меньше 5%, в частности предпочтительно меньше 1% испаренного катодом количества металла.
z
22. Способ по п.21, отличающийся тем, что вертикальную составляющую B на поверхности мишени устанавливают менее 50, предпочтительно, однако, менее 25 Гс.
23. Способ получения плохопроводящих, в частности изолирующих, слоев, по меньшей мере, на одной детали посредством вакуумного нанесения покрытий, при котором между, по меньшей мере, одним анодом и катодом дугового источника в содержащей реактивный газ атмосфере осуществляют электрический дуговой разряд, отличающийся тем, что дуговой разряд осуществляют генератором постоянного тока и/или импульсного или переменного тока, на поверхности электрически соединенной с катодом мишени создают лишь небольшое, в основном, перпендикулярное поверхности мишени внешнее магнитное поле для поддержания процесса испарения и между катодом и анодом располагают электрически изолированное от обоих ограничительное кольцо из диэлектрика, например BN, или из очень хорошо проводящего металла, например Al, Cu, Ag.