СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ РЕПЛИК РАЗЛИЧНОЙ ФОРМЫ НА ОСНОВЕ ПОЛИМЕРНЫХ ШАБЛОНОВ

1. Способ получения металлических реплик конической или цилиндрической на основе полимерных шаблонов, заключающийся в том, что сначала изготавливают полимерный шаблон по ионно-трековой технологии при облучении полимерной пленки и создании сквозных цилиндрических или тупиковых конических пор, затем на одну из поверхностей полимерного шаблона методом термического напыления наносят контактный металлический слой, потом проводят гальваническое осаждение металлической основы и осуществляют контролируемое осаждение металла в микропоры или наноразмерные поры полимерного шаблона, после чего проводят химическое растворение полимерного шаблона.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимерный шаблон изготовлен из пленки полиэтилентерефталата толщиной от 10 до 20 мкм.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что реплики цилиндрической формы получают на основе полимерного шаблона со сквозными цилиндрическими порами диаметром от 50 нм до 1 мкм.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что реплики конической формы получают на основе полимерного шаблона с тупиковыми коническими порами с диаметром основания от 50 нм до 1 мкм.
5
7
2
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимерный шаблон со сквозными цилиндрическими порами изготавливают путем облучения полимерной пленки на ускорителе ионами криптона или ксенона, направленными перпендикулярно к ее поверхности, с флюенсом от 10 до 10 ион/см с последующей обработкой в растворе щелочи NaOH с 3-х молярной концентрацией при температуре 50°С в течение от 5 до 80 мин.
5
7
2
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что полимерный шаблон с тупиковыми коническими порами изготавливают путем облучения полимерной пленки ионами аргона, направленными перпендикулярно к ее поверхности, с флюенсом от 10 до 10 ион/см после чего обрабатывают в водно-спиртовым раствором щелочи NaOH с молярной концентрацией от 2 до 4 при температуре от 20 до 80°С, где в качестве спирта использован этиловый спирт.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что контактный металлический слой на полимерный шаблон с цилиндрическими сквозными порами наносят методом термического напыления в вакууме.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что контактный металлический слой на шаблон с тупиковыми коническими порами наносят методом термического напыления в вакууме с использованием вращающегося держателя.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что гальваническое осаждение металлической основы и контролируемое осаждение металла в микро- или наноразмерные поры полимерного шаблона с цилиндрическими сквозными порами или с тупиковыми коническими порами осуществляют в электрохимической ячейке с соответствующим раствором электролита.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что гальваническое осаждение металлической основы толщиной от 15 до 20 мкм проводят в гальваностатическом режиме.
11. Способ по п.9, отличающийся тем, что гальваническое осаждение металла в поры полимерного шаблона с цилиндрическими сквозными порами проводят в потенциостатическом режиме и момент полного заполнения пор в полимерном шаблоне регистрируют по резкому увеличению тока.
12. Способ по п.9, отличающийся тем, что гальваническое осаждение металлической основы толщиной от 15 до 20 мкм и контролируемое осаждение металла в микро- или наноразмерные поры полимерного шаблона с тупиковыми коническими порами проводят в потенциостатическом режиме в два этапа, при этом на первом этапе осуществляют осаждение металла в поры и на поверхность шаблона при малом напряжении, а на втором этапе напряжение увеличивают и формируют металлическую основу толщиной от 15 до 20 мкм.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что гальваническое осаждение металла в поры полимерной подложки с тупиковыми коническими порами проводят со стороны напиленного металлического слоя.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что химическое растворение полимерного шаблона проводят в растворе щелочи NaOH с 6 молярной концентрацией, при температуре 60°С.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что металлом для гальванического осаждения металлической основы и контролируемого осаждения металла в микропоры или наноразмерные поры полимерного шаблона является металл из ряда медь, никель, серебро.
4
2
2
4
2
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что в случае гальванического осаждения меди используют сернокислый электролит состава CuSO·5HO от 200 до 250 г/л, HSO от 35 до 70 г/л, при этом гальваническое осаждение проводят при температуре электролита от 20 до 45°С и катодной плотности тока не более 25 мА/см.
4
2
2
2
3
2
2
17. Способ по п.15, отличающийся тем, что в случае гальванического осаждения никеля используют электролит Уоттса состава NiSO·7HO 300 г/л, NiCl·6HO 45 г/л, НВО38 г/л, при этом гальваническое осаждение проводят при непрерывном перемешивании, температуре электролита 60°С и плотности тока от 1 до 4 мА/см.
2
2
18. Способ по п.15, отличающийся тем, что в случае гальванического осаждения серебра используют электролит серебрения состава KAg(CN) 60 г/л (32 г/л Ag), KCNS 150 г/л, КОН,5 г/л, при этом гальваническое осаждение проводят при температуре электролита от 20 до 25°С и катодной плотности тока от 1 до 10 мА/см.