СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ХЛОРСИЛАНОВ, СПОСОБ ХЛОРИРОВАНИЯ СОДЕРЖАЩЕГО ДВУОКИСЬ КРЕМНИЯ СЫРЬЯ И СПОСОБ КОНВЕРСИИ ТЕТРАХЛОРСИЛАНА В ТРИХЛОРСИЛАН

1. Способ получения хлорсиланов, включающий взаимодействие двуокиси кремния с трихлоридом бора, отличающийся тем, что в реактор подают водород, и производят механическую активацию сырья, содержащего двуокись кремния, в присутствии трихлорида бора и водорода в реакторе, и синтез трихлорсилана и тетрахлорсилана осуществляют механохимической реакцией.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что водород и трихлорид бора подают в реактор попеременно.
3. Способ по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана и тетрахлорсилана ведут при мольном соотношении водорода и трихлорида бора (0,4÷15,0):1.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве исходного сырья, содержащего двуокись кремния, используют кварц, кварцит, конденсированный силикагель.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана и тетрахлорсилана проводят с подачей в реактор газа, инертного к хлорсиланам, без ограничения его соотношения с трихлоридом бора и водородом.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что для очистки конденсата хлорсиланов от примеси бора, испаренный конденсат пропускают через реактор, заполненный преимущественно высокочистым элементарным кремнием, который подвергают механической активации.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана и тетрахлорсилана ведут с использованием смеси исходного и оборотного трихлорида бора без ограничения их соотношения, смеси исходного и оборотного водорода без ограничения их соотношения.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что синтез хлорсиланов проводят в реакторе проточного типа с непрерывными: подачей газообразных исходных реагентов и отбором газообразных продуктов реакции, и с периодической загрузкой кремнийсодержащего компонента.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что синтез хлорсиланов ведут в размольном аппарате роторного типа, снабженном мелющими телами.
10. Способ хлорирования сырья, содержащего двуокись кремния, трихлоридом бора, отличающийся тем, что производят механическую активацию сырья, содержащего двуокись кремния, в присутствии трихлорида бора в реакторе, и синтез тетрахлорсилана осуществляют механохимической реакцией.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что в качестве исходного сырья, содержащего двуокись кремния, используют: кварц, кварцит, конденсированный силикагель.
12. Способ по п.10, отличающийся тем, что синтез тетрахлорсилана проводят с подачей в реактор газа, инертного к тетрахлорсилану, без ограничения его соотношения с трихлоридом бора.
13. Способ по п.10, отличающийся тем, что для очистки конденсата тетрахлорсилана от примеси бора, испаренный конденсат пропускают через реактор, заполненный преимущественно высокочистым элементарным кремнием, который подвергают механической активации.
14. Способ по п.10, отличающийся тем, что синтез тетрахлорсилана ведут с использованием смеси исходного и оборотного трихлорида бора без ограничения их соотношения.
15. Способ по п.10, отличающийся тем, что синтез тетрахлорсилана проводят в реакторе проточного типа с непрерывными: подачей трихлорида бора и отбором отходящей парогазовой смеси, и с периодической загрузкой кремнийсодержащего компонента.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что синтез тетрахлорсилана ведут в размольном аппарате роторного типа, снабженном мелющими телами.
17. Способ конверсии тетрахлорсилана в трихлорсилан гидрированием тетрахлорсилана водородом на реакционной поверхности частиц кремнийсодержащего сырья, отличающийся тем, что смесь водорода и паров тетрахлорсилана пропускают через реактор, в котором производят механическую обработку кремнийсодержащего сырья, и происходит механохимический синтез трихлорсилана.
18. Способ по п.17, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана ведут с использованием водорода и тетрахлорсилана с мольным соотношением указанных компонентов (1÷20):1.
19. Способ по п.17, отличающийся тем, что в качестве кремнийсодержащего сырья используют кварц, кварцит, конденсированный силикагель, высокочистый элементарный кремний.
20. Способ по п.17, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана ведут с использованием смеси исходного и оборотного водорода без ограничения их соотношения.
21. Способ по п.17, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана проводят в реакторе проточного типа с непрерывными: подачей исходной парогазовой смеси и отбором отходящей парогазовой смеси.
22. Способ по п.21, отличающийся тем, что синтез трихлорсилана ведут в размольном аппарате роторного типа, снабженном мелющими телами.