СПОСОБ РЕГУЛИРОВКИ ДАВЛЕНИЯ

1. Способ регулировки давления в объеме (52) в вакуумной системе, причем способ содержит следующие этапы:
а) определение величин (4) давления, являющихся мерой давления в объеме (52) в разные моменты времени, и запись определенных величин давления,
б) определение максимального (12) и минимального значения (14) среди зафиксированных величин давления,
в) определение величины (16) разности по максимальному (12) и минимальному значению (14),
г) сравнение величины (16) разности с заранее определенным первым предельным значением и
д) активация насоса для откачки жидкости из объема (52), если величина (16) разности выше первого заранее определенного предельного значения.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что величины давления записывают по принципу First-in-first-out (первым вошел, первым вышел), причем записывают только заранее определенное максимальное число величин давления.
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что максимальное значение (12), минимальное значение (14) и величину (16) разности определяют в разные моменты времени, причем этапы г) и д) выполняют для каждой определенной величины разности давлений.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что максимальное значение (12), минимальное значение (14) и величину (16) разности определяют с регулярными временными интервалами, предпочтительно, после записи каждой величины давления.
5. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что насос (56) деактивируют, когда величина (16) разности становится меньше первого заранее определенного предельного значения.
6. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что давление в объеме (52) повышают, если величина (16) разности меньше второго заранее определенного предельного значения.
7. Способ по п. 1 или 2, отличающийся дополнительными этапами:
е) вычисление среднего значения (8) записанных величин давления,
ж) получение сравнительного результата путем сравнения среднего значения (8) с третьим заранее определенным предельным значением и
з) активация насоса в зависимости от результата сравнения.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что величины давления определяют определением разности между давлением окружающей среды вокруг вакуумной системы и давлением, действующим в объеме (52), причем насос (56) активируют, если среднее значение (8) меньше третьего заранее определенного предельного значения.
9. Способ по п. 7, отличающийся тем, что величины давления определяют путем определения давления в объеме (52), причем насос (56) активируют, если среднее значение (8) больше третьего заранее определенного предельного значения.
10. Способ по п. 7, отличающийся тем, что среднее значение (8) является скользящим средним значением.