УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Устройство для производства трихлорсилана, которое разлагает полимер, содержащий хлорсиланы с высокой температурой кипения, полученные в процессе производства поликристаллического кремния, при производстве трихлорсилана или в процессе превращения, тем самым, производя трихлорсилан, устройство содержит:
печь разложения, обеспечивающую реакцию хлористого водорода с полимером при высоких температурах, для производства трихлорсилана;
нагревательный элемент, нагревающий внутреннюю часть печи разложения;
трубу подачи сырья для направления полимера и хлористого водорода к внутренней нижней части печи разложения вдоль продольного направления печи разложения и подачи в печь разложения через нижнее концевое отверстие трубы подачи сырья;
реакционную камеру, предусмотренную между наружной периферийной поверхностью трубы подачи сырья и внутренней периферийной поверхностью печи разложения;
трубу отведения газа для отведения реакционного газа из верхней части реакционной камеры;
ребро, которое направляет полимер и хлористый водород, подаваемые из нижнего концевого отверстия трубы подачи сырья, для смешения и поднятия вверх, и сформированное как единое целое с, по меньшей мере, одной из наружной периферийной поверхности трубы подачи сырья или внутренней периферийной поверхности печи разложения.
2. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, в котором труба подачи сырья установлена прямо, вдоль центральной оси печи разложения.
3. Устройство для производства трихлорсилана по п.1,
в котором система подачи полимера и система подачи хлористого водорода присоединены к верхней секции трубы подачи сырья, которая выступает наружу из печи разложения, и
перемешивающий элемент, имеющий второе ребро, вставлен в трубу подачи сырья.
4. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, в котором труба отведения газа сформирована в двойной трубной конструкции, чтобы окружать периферию трубы подачи сырья снаружи печи разложения.
5. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, в котором печь разложения оснащена трубой для подачи сжатого газа для подачи сжатого газа в печь разложения и трубой отведения текучей среды печи для отведения текучих сред в печи, вытесненных сжатым газом.
6. Устройство для производства трихлорсилана по п.1, дополнительно содержащее множество сферических элементов качения, предусмотренных во внутренней нижней части печи разложения.
7. Способ для производства трихлорсилана, при котором вводят в печь разложения хлористый водород и полимер, содержащий хлорсиланы с высокой температурой кипения, полученный в процессе производства поликристаллического кремния, при производстве трихлорсилана или в процессе превращения, и обеспечивают их реакцию друг с другом при высокой температуре, так что полимер разлагается, тем самым, производя трихлорсилан, способ для производства трихлорсилана, включает этапы, на которых:
нагревают печь разложения и подают полимер и хлористый водород из верхней части нагретой печи разложения для направления во внутреннюю нижнюю часть печи разложения наряду с превращением в газ вследствие предварительного нагрева; и
перемешивают текучую смесь полимера и хлористого водорода, и обеспечивают их реакцию друг с другом наряду с подъемом вверх из внутренней нижней части в печи разложения.