ЭКСИМЕР-ЛАЗЕРНАЯ СИСТЕМА С КОНСТРУКЦИЕЙ КОЛЬЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА

1. Эксимер-лазерная система, содержащая: камеру задающего генератора (MO), камеру усилителя мощности (PA), модуль сужения ширины линии (LNM), модуль анализа ширины линии (LAM), блок создания волнового фронта в задающем генераторе (MO WEB), расширитель оптических импульсов (OPS), автоматический затвор, зеркало частичного отражения (PR), систему расщепления луча (Splitter), первое зеркало с высокой отражательной способностью (HR1), второе зеркало с высокой отражательной способностью (HR2) и третье зеркало с высокой отражательной способностью (HR3),
причем камера задающего генератора (MO) генерирует лазерные импульсы с суженной шириной линии и малой энергией посредством модуля сужения ширины линии (LNM) в качестве затравочного света, причем затравочный свет преломляется блоком создания волнового фронта в задающем генераторе (MO WEB), а затем поступает в камеру усилителя мощности (PA) через систему расщепления луча (Splitter),
причем система расщепления луча (Splitter), первое зеркало с высокой отражательной способностью (HR1), второе зеркало с высокой отражательной способностью (HR2) и третье зеркало с высокой отражательной способностью (HR3) образуют четырехугольный круговой оптический путь,
причем камера усилителя мощности (PA) имеет первую пару окон Брюстера (B1, B1’) и вторую пару окон Брюстера (B2, B2’), причем первая пара окон Брюстера (B1, B1’) расположена в первом оптическом пути кругового оптического пути вместе с разрядным электродом камеры усилителя мощности (PA), а вторая пара окон Брюстера (B2, B2’) расположена во втором оптическом пути кругового оптического пути, параллельном первому оптическому пути усиления.
2. Эксимер-лазерная система по п. 1, отличающаяся тем, что камера усилителя мощности (PA) имеет два параллельных разрядных электрода, и первый оптический путь и второй оптический путь в круговом оптическом пути проходят соответственно через два разрядных электрода.
3. Эксимер-лазерная система по п. 1, отличающаяся тем, что каждое из первого зеркала с высокой отражательной способностью (HR1), второго зеркала с высокой отражательной способностью (HR2) и третьего зеркала с высокой отражательной способностью (HR3) представляет собой зеркало с отражательной способностью с углом 45°.
4. Эксимер-лазерная система по п. 2, отличающаяся тем, что каждое из первого зеркала с высокой отражательной способностью (HR1), второго зеркала с высокой отражательной способностью (HR2) и третьего зеркала с высокой отражательной способностью (HR3) представляет собой зеркало с отражательной способностью с углом 45°.