НАКЛОННЫЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ РЕШЕТКИ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАКЛОННЫХ ДИФРАКЦИОННЫХ РЕШЕТОК

1. Способ изготовления дифракционной решетки (100) для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка установлена в устройстве формирования изображения, при этом способ содержит этапы, на которых:
пучком электромагнитного излучения формируют рисунок по меньшей мере первой канавки (101) в материале пластины;
сглаживают поверхности сформированного рисунка первой канавки с помощью технологии травления;
при этом первая канавка (101) имеет глубину в первом направлении;
при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси.
2. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором:
заполняют по меньшей мере первую канавку (101) поглощающим материалом.
3. Дифракционная решетка для устройства формирования фазово-контрастного изображения, предназначенного для исследования представляющего интерес объекта, при этом дифракционная решетка (100) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка (100) установлена в устройстве формирования изображения, при этом дифракционная решетка (100) изготовлена способом по п.1 или 2 и содержит:
материал (701) пластины;
первую канавку (101) в материале (701) пластины и имеющую глубину в первом направлении, при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена относительно геометрической оси;
вторую канавку (102) в материале (701) пластины;
в которой первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси;
в которой вторая канавка (102) наклонена под вторым углом относительно геометрической оси;
в которой первый угол меньше, чем второй угол.
4. Дифракционная решетка по п.3, дополнительно содержащая:
последовательность канавок (101-113),
в которой каждая канавка из последовательности канавок наклонена под соответствующим углом относительно геометрической оси, и
в которой соответствующий угол возрастает от канавки к канавке.
5. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, где дифракционная решетка (100) делает возможной работу устройства для формирования изображения с фокусированной геометрией.
6. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, в которой канавки представляют собой по меньшей мере канавки из числа линейных канавок, трапециевидных канавок и асимметричных канавок с фокусированной геометрией.
7. Дифракционная решетка по одному из пп.3 и 4, в которой геометрическая ось дифракционной решетки (100) перпендикулярна к поверхности дифракционной решетки (100).
8. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения, предназначенное для исследования представляющего интерес объекта, при этом устройство (400) содержит:
источник (401) для испускания пучка излучения;
детектор (402);
дифракционную решетку (100, 200), расположенную между источником (401) и детектором (402);
в котором детектор (402) выполнен с возможностью обнаружения излучения после того, как оно прошло через представляющий интерес объект (403) и дифракционную решетку (100, 200);
в котором дифракционная решетка (100, 200) имеет фокусированную геометрию;
в котором дифракционная решетка (100, 200) имеет геометрическую ось, которая расположена в направлении к источнику излучения, когда дифракционная решетка установлена в устройстве для формирования изображения, в котором дифракционная решетка изготовлена способом по п.1 или 2 и содержит:
материал (701) пластины;
первую канавку (101) в материале (701) пластины и имеющую глубину в первом направлении, при этом первое направление отличается от геометрической оси, так что первая канавка (101) наклонена относительно геометрической оси;
вторую канавку (102) в материале (701) пластины;
в котором первая канавка (101) наклонена под первым углом относительно геометрической оси;
в котором вторая канавка (102) наклонена под вторым углом относительно геометрической оси;
в котором первый угол меньше, чем второй угол.
9. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8, дополнительно содержащее:
последовательность канавок (101-113),
в котором каждая канавка из последовательности канавок наклонена под соответствующим углом относительно геометрической оси, и
в котором соответствующий угол возрастает от канавки к канавке.
10. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по одному из пп.8 и 9, дополнительно содержащее:
вторую дифракционную решетку (200), которая представляет собой поглощающую дифракционную решетку (G2), расположенную перед детектором (402);
в котором вторая дифракционная решетка (200) также имеет фокусированную геометрию, адаптированную к положению дифракционной решетки.
11. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9, дополнительно содержащее:
третью дифракционную решетку (300), которая представляет собой поглощающую решетку (G0), имеющую трапециевидную геометрию и расположенную между источником (400) и фазовой дифракционной решеткой (100), и которая делает возможным, по меньшей мере, частично когерентное освещение фазовой дифракционной решетки (100).
12. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9, дополнительно содержащее:
по меньшей мере один привод или шаговый двигатель (408);
в котором пучок излучения, испускаемый источником, имеет оптическую ось (404);
в котором привод или шаговый двигатель выполнен с возможностью по меньшей мере одного из перемещения по меньшей мере одной из фазовой дифракционной решетки (100) и второй дифракционной решетки (200) перпендикулярно к оптической оси пучка излучения, испускаемого источником, и изменения эффективной глубины канавок для падающего пучка излучения путем наклонения дифракционной решетки на заданный угол.
13. Устройство для формирования фазово-контрастного изображения по п.8 или 9,
в котором источник (101) представляет собой источник рентгеновского излучения; и
где устройство выполнено с возможностью функционирования в качестве устройства формирования дифференциального фазово-контрастного изображения на основе рентгеновского излучения.