УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФИЛЬТРОВАНИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ТЕХНИЧЕСКИХ ЖИДКОСТЕЙ

Изобретение относится к области фильтрования технических жидкостей и может быть использовано в приборостроении и других отраслях промышленности, где необходима тонкая очистка таких жидкостей, как например, растворители, применяемых при промывке микросхем и микросборок.
4
Известна установка для фильтрования жидкости (Авторское свидетельство СССР №1510875 от 30.09.89 г. МПК B01D 33/00), содержащая вакуум-фильтр, ресивер, соединенный через трубопроводы низкого и высокого вакуума с распределительными головками вакуум-фильтра, соединенные с ресивером барометрические трубы, сообщающиеся с баком гидрозатвора, причем трубопроводы низкого вакуума перед вводом в ресивер соединены между собой посредством стабилизирующего вакуум-устройства, включающего диафрагму с калибровочным отверстием.
Предлагаемая установка для фильтрования жидкости имеет сложную конструкцию, предназначена для фильтрования тонкоизмельченных материалов и направлена на удаление влаги из тонкоизмельченных осадков, а не на очистку жидкой отфильтрованной фракции от осадка.
7
Наиболее близким аналогом (прототипом) предлагаемого изобретения является нутч-фильтр (Патент RU №2042384 от 27.08.1995 г. МПК B01D 29/075), содержащий открытый корпус, разделенный фильтровальной перегородкой на верхнюю камеру для подачи суспензии и нижнюю вакуумную камеру фильтрации, последняя из которых выполнена в виде батареи из полиэтиленовых труб, перфорированных в верхней части и установленных плотно параллельно одна другой, с глухими концами с одной стороны и соединенными концами с другой стороны с коллектором, связанным с вакуумной системой, при этом фильтровальная перегородка выполнена в виде фильтровального полотна, уложенного на батарею.
Прототип также имеет сложную конструкцию, предназначен для фильтрования суспензий и также направлен на удаление влаги из объема осадка.
Заявляемая полезная модель направлена на создание такого устройства для фильтрования технических жидкостей, в частности, растворителей, используемых для промывки изделий микроэлектроники, которое бы обеспечило высокую степень очистки самих жидкостей от микрозагрязнений.
Таким образом, предлагаемое устройство для фильтрования преимущественно технических жидкостей, содержащее емкость, сообщающуюся с атмосферой и разделенную фильтровальной перегородкой на верхнюю камеру для подачи фильтруемого раствора и нижнюю вакуумную камеру фильтрации, дополнительно содержит вторую, закрытую емкость для фильтрования раствора, также разделенную фильтровальной перегородкой на верхнюю и нижнюю камеру, причем обе емкости имеют крышки, а их днища соединены между собой трубопроводом, первая же из них содержит поплавковый датчик уровня, размещенный в верхней камере, состоящей из штока и поплавка, причем поплавок датчика уровня с помощью штока имеет возможность перемещения вниз вместе с фильтруемой жидкостью до полного опорожнения верхней камеры, при этом обеспечивая возможность замыкания планкой, закрепленной на верхней, выступающей из камеры части штока, пары электрических контактов, расположенных на крышке емкости, и электрически связанных с цепью управления вакуумным насосом, обеспечивая, таким образом, возможность отключения последнего, шланг насоса, в свою очередь, присоединен к крышке второй емкости, имеющей слив с краном для отфильтрованной жидкости, расположенный над фильтровальной перегородкой, кроме того, обе емкости имеют возможность разъединения верхних и нижних камер; планка, размещенная на штоке, расположена на нижней части консоли, прикрепленной к верхней части штока, в ее конце; фильтровальная перегородка выполнена керамической.
На фиг.1 представлена пневмогидравлическая схема устройства для фильтрования технических жидкостей.
Устройство для фильтрования состоит из емкостей 1 и 2, которые разделены на верхние 3 и 4 и нижние 5 и 6 камеры соответственно фильтровальными перегородками 7, обе емкости имеют крышки 8 и 9. При этом емкость 1 оснащена поплавковым датчиком уровня 10, состоящим из штока 11, на нижнем конце которого укреплен поплавок 12, а на верхней части штока 11 закреплена консоль (не показано), на нижней части которой расположена планка 13; емкость 1 на своей крышке 8 содержит пару электрических контактов 14, электрически связанных с цепью управления (не показано) вакуумным насосом 15, а также горловину 16 для заливания фильтруемой жидкости в верхнюю камеру 3, к крышке 9 емкости 2 присоединен шланг 17, второй конец которого присоединен к вакуумному насосу 15. Нижние камеры 5 и 6 емкостей 1 и 2 соединены между собой трубопроводом 18. Верхняя камера 4 емкости 2 оснащена сливом 19 с краном 20 для слива отфильтрованной жидкости.
Устройство работает следующим образом.
В емкость 1 через горловину 16 в крышке 8, заливают в верхнюю камеру 3 определенный объем фильтруемой жидкости, при этом поплавок 12 на штоке 11 поплавкового датчика уровня 10 поднимается вверх и планка 13, размещенная на штоке 11, размыкая электрические контакты 14, разрывает цепь управления (не показано) вакуумным насосом 15. После этого вручную включают вакуумный насос 15, при создании разрежения которым в верхней камере 4 емкости 2 с помощью шланга 17, присоединенного к крышке 9, фильтруемая жидкость в емкости 1 из верхней камеры 3 через фильтровальную перегородку 7 поступает в нижнюю камеру 5, а затем через трубопровод 18 поступает в нижнюю камеру 6 емкости 2, через фильтровальную перегородку 7 - в верхнюю камеру 4 емкости 2. При этом планка 13, размещенная на штоке 11, опускается вместе с жидкостью, замыкая электрические контакты 14 в цепи управления (не показано) вакуумным насосом 15, расположенные на крышке 8 емкости 1, автоматически отключая его и останавливая, таким образом, процесс фильтрования. После отключения насоса 15 открывают кран 20 слива 19, расположенного над фильтровальной перегородкой 7 емкости 2, сливая отфильтрованную жидкость в рабочую емкость (не показано).
Для замены фильтровальной перегородки в любой из емкостей достаточно разъединить верхнюю и нижнюю камеру, извлечь использованную фильтровальную перегородку и поставить новую.
Таким образом, предлагаемое устройство для фильтрования технических жидкостей благодаря наличию второй дополнительной емкости для фильтрования с направлением движения жидкости противоположном направлению силы тяжести позволяет добиться более качественной очистки жидкостей от микрозагрязнений, так как при этом отфильтрованный осадок не забивает поры керамического фильтра и под влиянием силы тяжести оседает на дне нижней камеры второй емкости.
Полученная в результате такого двойного фильтрования техническая жидкость, например, растворитель, может быть успешно использован для высококачественной промывки микросхем и микросборок, изготавливаемых в приборостроении и других отраслях промышленности, от различных видов загрязнений, отрицательно влияющих на их функционирование.