ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ПУЧКА

1. Измерительное устройство для измерения сфокусированного лазерного пучка, содержащее:
- линзовую систему увеличения, по меньшей мере, с двумя линзами (10, 12), расположенными одна за другой вдоль траектории лазерного пучка, причем линзы единственной или каждой пары имеют совпадающие фокальные точки,
- электронный датчик (14) изображения для фиксации увеличенного изображения лазерного пучка, расположенный за линзовой системой увеличения в ее фокальной точке,
- адаптер (42) для присоединения измерительного устройства к лазерной системе, генерирующей лазерный пучок, при этом адаптер охватывает траекторию лазерного пучка и образует опорную поверхность (46) для лазерной системы, выступающую вдоль оси (16) лазерного пучка, и
- средства (98) продольной юстировки, обеспечивающие возможность совместной юстировки положения линз (10, 12) линзовой системы увеличения и датчика (14) изображения вдоль оси пучка относительно базовой точки измерительного устройства, заданной на адаптере.
2. Измерительное устройство по п.1, отличающееся тем, что часть линз или все линзы (10, 12) линзовой системы увеличения установлены одна за другой по направлению лазерного пучка в линзовый тубус (68), помещенный в приемную полость (66) направляющей детали (56) с возможностью перемещения вдоль оси указанного тубуса и зафиксированный от поворота вокруг указанной оси, при этом адаптер (42) присоединен к направляющей детали.
3. Измерительное устройство по п.2, отличающееся тем, что адаптер (42) выполнен как компонент, отдельный от направляющей детали (56), и присоединен к ней с возможностью отсоединения и замены.
4. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что средства (98) продольной юстировки связаны с линзовым тубусом (68) и с направляющей деталью (56).
5. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что содержит средства (52) поперечной юстировки, связанные с адаптером (42) и с направляющей деталью (56) и обеспечивающие юстировку, по меньшей мере, первой линзы (10) линзовой системы увеличения относительно базовой точки в поперечном направлении, перпендикулярном направлению лазерного пучка.
6. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что адаптер (42) содержит основную часть (44) в форме детали, охватывающей траекторию пучка и снабженной на одном из своих концов сопрягающими средствами для сопряжения с лазерной системой.
7. Измерительное устройство по п.6, отличающееся тем, что сопрягающие средства выполнены с возможностью установки на лазерную систему с формированием радиального прижимающего усилия.
8. Измерительное устройство по п.6, отличающееся тем, что основная часть (44) адаптера (42) присоединена другим своим концом к регулировочному блоку (52), обеспечивающему юстировку, по меньшей мере, первой линзы (10) линзовой системы увеличения относительно адаптера (46) в направлении, поперечном траектории лазерного пучка.
9. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что линзовая система увеличения образована двумя линзами (10, 12) или четырьмя линзами (24, 26, 28, 30).
10. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что все линзы (10, 12) линзовой системы увеличения являются положительными линзами.
11. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что линзовая система увеличения содержит, по меньшей мере, одну отрицательную линзу (24, 28), причем, по меньшей мере, последняя линза (30) указанной системы является положительной линзой.
12. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна линза (10, 12) линзовой системы увеличения имеет плоскую поверхность, а ее криволинейная поверхность обращена к участку лазерного пучка, имеющему меньшую расходимость.
13. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что средства (98) продольной юстировки обеспечивают совместную юстировку линзовой системы увеличения и датчика изображения в пределах, по меньшей мере, трех рэлеевских длин лазерного пучка.
14. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что направляющая деталь (56) имеет форму трубки.
15. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что линзовый тубус (68) выступает одним своим концом из направляющей детали (56) и выполнен с возможностью механического сопряжения в зоне указанного конца с камерой (74), в которой находится датчик изображения.
16. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что между линзовым тубусом (68) и направляющей деталью (56) установлено упругое смещающее средство (104) для создания смещающего усилия, действующего на линзовый тубус в осевом направлении в сторону направляющей детали.
17. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что датчик изображения является частью камеры, которая присоединена к измерительному устройству с возможностью отсоединения и замены.
18. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что выполнено с возможностью переноса в руках.