СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

1. Способ выполнения процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы, при котором:
обеспечивают устройство, содержащее в основном цилиндрический резонатор, снабженный внешней цилиндрической стенкой и внутренней коаксиальной цилиндрической стенкой, образующими между собой резонирующую полость, работающую на рабочей частоте и проходящую в окружном направлении вокруг цилиндрической оси внутренней и внешней цилиндрической стенки, причем внешняя цилиндрическая стенка включает в себя входной порт, соединяемый с входным волноводом, при этом внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя щелевидные секции, проходящие в окружном направлении вокруг цилиндрической оси, и
обеспечивают работу устройства на такой рабочей частоте, что наибольший размер, определяющий апертуру щелевидных секций, является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.
2. Способ по п. 1, в котором устройство коаксиально окружает трубку-подложку, имеющую внешний диаметр, равный более чем трети длины волны рабочей частоты.
3. Устройство для выполнения процесса плазмохимического осаждения из паровой фазы, содержащее в основном цилиндрический резонатор, снабженный внешней цилиндрической стенкой и внутренней коаксиальной цилиндрической стенкой, образующими между собой резонирующую полость, работающую на рабочей частоте и проходящую в окружном направлении вокруг цилиндрической оси внутренней и внешней цилиндрической стенки, причем внешняя цилиндрическая стенка включает в себя входной порт, соединяемый с входным волноводом, при этом внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя щелевидные секции, проходящие в окружном направлении вокруг цилиндрической оси, причем наибольший размер, определяющий апертуру щелевидных секций, является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.
4. Устройство по п. 3, в котором окружной размер щелевидных секций является меньшим, чем половина длины волны рабочей частоты.
5. Устройство по п. 3 или 4, в котором щелевидные секции чередуются на двух линиях щелей, описывающих окружность вокруг цилиндрической оси.
6. Устройство по любому из пп. 3-5, в котором щелевидные секции смещены друг относительно друга в цилиндрическом направлении.
7. Устройство по любому из пп. 3-6, в котором размер ширины щелевидных секций в цилиндрическом направлении является меньшим, чем окружной размер щелевидных секций.
8. Устройство по любому из пп. 3-7, в котором внутренняя цилиндрическая стенка включает в себя две или четыре щелевидные секции.
9. Устройство по любому из пп. 3-8, в котором щелевидные секции в основном равномерно распределены в окружном направлении.
10. Устройство по любому из пп. 3-9, содержащее по меньшей мере одну пару щелевидных секций, которые расположены симметрично относительно цилиндрической оси.
11. Устройство по любому из пп. 3-10, в котором по меньшей мере одна щелевидная секция имеет площадь сечения, которая является отличной от площади сечения других щелевидных секций.
12. Устройство по любому из пп. 3-11, в котором длина резонирующей полости в цилиндрическом направлении изменяется как функция радиального расстояния до цилиндрической оси.
13. Устройство по любому из пп. 3-12, дополнительно содержащее СВЧ-генератор, который выполнен с возможностью генерирования СВЧ-волн на рабочей частоте.
14. Устройство по любому из пп. 3-13, в котором наибольшим размером, определяющим апертуру щелевидных секций, является линейный размер.