СПОСОБ ПРЕЦИЗИОННОГО ПРОГРАММНО-УПРАВЛЯЕМОГО ИСПАРЕНИЯ МЕТАЛЛА

Способ прецизионного программно-управляемого испарения металла, включающий вакуумирование рабочей камеры, прецизионное облучение мениска испаряемого металлического слитка электронным пучком и стабилизацию зазора между мениском и подложкой напыления, с помощью двухконтурной системы управления, сенсорные функции в которой выполняет видеокамера, передающая оцифрованное изображение мениска в анализатор геометрической формы мениска, формирующего данные об изменяющейся форме мениска для двух контуров управления, один из которых прецизионно программно управляет энергокомплексом электронно-лучевой пушки путем изменения токов луча и фокусировки и параметров генератора эллиптической развертки, а второй с помощью механизма подачи слитка стабилизирует зазор между мениском и подложкой напыления или изменяет его программно в зависимости от требований технологии напыления.