СОЛНЕЧНАЯ БАТАРЕЯ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ изготовления солнечных батарей, содержащий этапы:
формирования пленки SiNx поверх второй главной поверхности полупроводниковой подложки n-типа;
формирования диффузионного слоя p-типа поверх первой главной поверхности полупроводниковой подложки n-типа после стадии формирования пленки SiNx и
2
формирования поверх диффузионного слоя p-типа пассивирующей пленки, состоящей из пленки SiO или пленки оксида алюминия.
2. Способ по п.1, причем толщина пленки SiNx составляет по меньшей мере 50 нм.
3. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап формирования текстуры на первой главной поверхности полупроводниковой подложки n-типа, после этапа формирования пленки SiNx и перед этапом формирования диффузионного слоя.
4. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап формирования противоотражательной пленки поверх пассивирующей пленки.
5. Способ изготовления солнечных батарей, содержащий этапы:
формирования диффузионного слоя n-типа поверх второй главной поверхности полупроводниковой подложки p-типа;
формирования пленки SiNx поверх диффузионного слоя n-типа и
2
формирования поверх первой главной поверхности полупроводниковой подложки p-типа пассивирующей пленки, состоящей из пленки SiO или пленки оксида алюминия, после этапа формирования пленки SiNx.
6. Способ по п.5, причем толщина пленки SiNx, составляет по меньшей мере 50 нм.
7. Способ по п.5, дополнительно содержащий этап формирования текстуры на первой главной поверхности полупроводниковой подложки p-типа после стадии формирования пленки SiNx и перед стадией формирования пассивирующей пленки.
8. Способ по п.5, дополнительно содержащий этап формирования противоотражательной пленки поверх пассивирующей пленки.
9. Солнечная батарея, содержащая:
пленку SiNx, сформированную поверх второй главной поверхности полупроводниковой подложки n-типа;
диффузионный слой p-типа, сформированный поверх первой главной поверхности полупроводниковой подложки n-типа; и
2
пассивирующую пленку, сформированную поверх диффузионного слоя p-типа и состоящую из пленки SiO или пленки оксида алюминия,
солнечную батарею изготавливают посредством способа изготовления солнечной батареи по п.1.
10. Солнечная батарея, содержащая:
диффузионный слой n-типа, сформированный поверх второй главной поверхности полупроводниковой подложки p-типа;
пленку SiNx, сформированную поверх диффузионного слоя n-типа;
и
2
пассивирующую пленку, сформированную поверх первой главной поверхности полупроводниковой подложки p-типа и состоящую из пленки SiO или пленки оксида алюминия,
солнечную батарею изготавливают посредством способа изготовления солнечных батарей по п.5.