ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Датчик перемещения содержит термостабилизированный микронагреватель, содержащий резистор, токовводы и металлические контактные площадки, и приемник тепла, перемещающийся от микронагревателя на расстояние 5-800 мкм под действием приложенной силы, давления, в том числе акустического, или находящийся в стационарном состоянии, но изменяющий размер в результате усадки, теплового расширения электро- и магнитострикции, отличающийся тем, что микронагреватель выполнен из монокристаллического кремния, микронагреватель имеет форму балки переменного сечения, широкая часть которой является резистором и содержит область противоположного типа проводимости, а узкая токовводами, в которых сформированы области низкоомного кремния и имеется силицидное покрытие, причем окончания токовводов выполняются в виде площадок для формирования на них металлических контактов.