СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ГРАНУЛИРОВАННОГО ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ С ПСЕВДООЖИЖЕННЫМ СЛОЕМ

1. Способ производства поликристаллического кремния с использованием реактора с псевдоожиженным слоем, при котором:
обеспечивают реактор с псевдоожиженным слоем, в котором реакционная труба расположена внутри корпуса реактора так, что корпус охватывает ее, тем самым внутреннее пространство корпуса реактора разделяется на внутреннюю зону, образованную внутри реакционной трубы и внешнюю зону, образованную между корпусом реактора и реакционной трубой, при этом формируют слой частиц кремния и осаждение кремния происходит во внутренней зоне, и поддерживают разность давлений между внутренней и внешней зонами в пределе 1 бар.
2. Способ по п.1, при котором дополнительно вводят псевдоожижающий газ в слой частиц кремния, вводят реакционный газ, содержащий атомы кремния в слой частиц кремния, вводят инертный газ во внешнюю зону, чем обеспечивается поддержание во внешней зоне, по существу, инертной атмосферы, нагревают слой частиц кремния, выводят из реактора с псевдоожиженным слоем частицы поликристаллического кремния, полученные во внутренней зоне, выводят из реактора с псевдоожиженным слоем отходящий газ.
3. Способ по п.2, при котором реакционный газ представляет собой газ, содержащий атомы кремния и выбранный из группы, состоящей из моносилана, дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния и их смеси.
4. Способ по п.3, при котором реакционный газ дополнительно содержит, по меньшей мере, один газ, выбранный из группы, состоящей из водорода, азота, аргона, гелия, хлористого водорода и их смеси.
5. Способ по п.2, при котором псевдоожижающий газ представляет собой газ, выбранный из группы, состоящей из водорода, азота, аргона, гелия, хлористого водорода, тетрахлорида кремния и их смеси.
6. Способ по п.2, при котором инертный газ содержит, по меньшей мере, один газ, выбранный из группы, состоящей из водорода, азота, аргона и гелия.
7. Способ по п.1, при котором давление во внешней зоне или давление во внутренней зоне поддерживают в диапазоне от 1 до 15 бар.
8. Способ по п.1, при котором давление во внешней зоне регулируют в диапазоне между максимальной и минимальной величиной давления, измеряемого во внутренней зоне.
9. Способ по п.1, при котором разность давлений между внешней зоной (Ро) и внутренней зоной (Pi) поддерживают удовлетворяющим условию 0 бар ≤ (Pi-Po) ≤ 1 бар, при этом устройство регулирования внутреннего давления, которое измеряет и/или регулирует давлением во внутренней зоне пространственно соединено с внутренней зоной.
10. Способ по п.1, при котором разность давлений между внешней зоной (Ро) и внутренней зоной (Pi) поддерживают удовлетворяющим условию 0 бар ≤ (Po-Pi) ≤ 1 бар, при этом устройство регулирования внутреннего давления, которое измеряет и/или регулирует давление во внутренней зоне пространственно соединено с верхней частью внутренней зоны, давление в которой ниже, чем давлением во внутренней или нижней части псевдоожиженного слоя частиц поликристаллического кремния.
11. Способ по п.1, при котором давление во внутренней зоне и/или внешней зоне определяют на основании анализа газа, присутствующего или выводимого из внутренней зоны и/или внешней зоны при помощи элемента для анализа газа.
12. Способ по п.2, при котором дополнительно формируют насадочный слой насадочного материала, который не псевдоожижается потоком псевдоожижающего газа, и формируется в нижней части слоя частиц кремния с высотой слоя насадки, находящимся ниже места, где вводится реакционный газ в слой частиц кремния.
13. Способ по п.9, при котором давление во внутренней зоне и/или внешней зоне определяют на основании анализа газа, присутствующего или выводимого из внутренней зоны и/или внешней зоны.
14. Способ по п.10, при котором давление во внутренней зоне и/или внешней зоне определяют на основании анализа газа, присутствующего или выводимого из внутренней зоны и/или внешней зоны.
15. Способ по п.1, при котором дополнительно измеряют и/или регулируют давление во внутренней зоне и измеряют и/или регулируют давление во внешней зоне.