СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТИРУЮЩЕГО ЭЛЕКТРОНЫ ПРИБОРА И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВА ОТОБРАЖЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

1. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, включающего в себя эмитирующий электроны элемент, который включает в себя структуру, содержащую металл, и лежащий поверх этой структуры слой с низкой работой выхода, выполненный из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода этого металла, и который осуществляет автоэлектронную эмиссию с поверхности, причем способ содержит:
обеспечение структуры, содержащей металл, на которой был сформирован слой оксида металла, содержащий оксид того же металла, что и металл, содержащийся в этой структуре; и
обеспечение слоя с низкой работой выхода на слое оксида металла.
2. Способ по п.1, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана.
3. Способ по п.2, в котором слой оксида металла содержит лантан.
4. Способ по п.3, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода.
5. Способ по п.4, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана.
6. Способ по п.1, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана.
7. Способ по п.1, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана.
8. Способ изготовления эмитирующего электроны прибора, содержащий:
формирование электропроводной пленки, содержащей металл, на изолирующем слое, имеющем угловую часть и боковую поверхность, соединенную с угловой частью, и верхнюю поверхность, таким образом, что электропроводная пленка простирается по боковой поверхности и верхней поверхности изолирующего слоя и частично покрывает угловую часть;
травление электропроводной пленки;
обеспечение слоя оксида металла, содержащего оксид того же металла, что и металл, содержащийся в электропроводной пленке, на протравленной электропроводной пленке; и
обеспечение слоя с низкой работой выхода, выполненного из материала с меньшей работой выхода, чем работа выхода металла, входящего в состав слоя оксида металла,
при этом формирование включает в себя формирование электропроводной пленки таким образом, что электропроводная пленка имеет первую часть, находящуюся на боковой поверхности, и вторую часть, находящуюся на угловой части, и первая часть имеет меньшую плотность, чем плотность второй части, а травление включает в себя травление первой и второй частей травителем, способным сильнее травить первую часть, чем вторую часть.
9. Способ по п.8, в котором слой с низкой работой выхода выполняют из поликристаллического борида лантана.
10. Способ по п.9, в котором слой оксида металла содержит лантан.
11. Способ по п.10, дополнительно содержащий обеспечение слоя оксида лантана на слое с низкой работой выхода.
12. Способ по п.11, в котором слой оксида лантана выполняют из триоксида дилантана.
13. Способ по п.8, в котором металлом является молибден, а слой оксида металла содержит оксид молибдена и оксид лантана.
14. Способ по п.8, в котором металлом является вольфрам, а слой оксида металла содержит оксид вольфрама и оксид лантана.
15. Способ изготовления устройства отображения изображения, включающего в себя эмитирующие электроны приборы и светоизлучающие элементы, которые излучают свет при бомбардировке электронами, эмитируемыми из эмитирующих электроны приборов, причем способ содержит изготовление каждого из эмитирующих электроны приборов способом по любому из пп.1-14.