Способ нанесения покрытий и устройство для его осуществления

-2
1. Способ нанесения покрытий, включающий вакуумирование камеры, напуск в нее рабочего газа, использование катода с мишенью в качестве источника осаждаемых частиц, образованных в результате бомбардировки ионами рабочего газа, полученных путем зажигания тлеющего разряда, и направления на подложку потока частиц мишени высокой энергии, отличающийся тем, что при зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере ниже Р=10 Торр, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства, за счет организации сверхзвукового потока рабочего газа в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении при скорости потока газа более V=300 м/с.
2. Устройство нанесения покрытий, содержащее газоразрядную камеру и размещенные в ней катод с мишенью и анод, газоввод для напуска рабочего газа, отличающееся тем, что содержит конфузор, а газоввод выполнен как сверхзвуковое сопло, являющееся диффузором, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно друг против друга таким образом, что ось конфузора и диффузора находится в поперечном к оси анода и катода направлении на заданном расстоянии относительно анода и катода.