СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕАКТОРОВ ОСАЖДЕНИЯ

1. Способ, в котором:
вводят пары прекурсора по меньшей мере по одной подающей линии в реакционную камеру реактора осаждения и
осаждают материал на поверхности партии вертикально расположенных подложек в реакционной камере посредством установления вертикального потока паров прекурсора в реакционной камере и введения его в вертикальном направлении в промежутки между указанными вертикально расположенными подложками таким образом, что пары прекурсора текут от верхней стороны реакционной зоны к нижней стороне реакционной зоны вдоль каждой из указанных поверхностей по существу в одном и том же параллельном вертикальном направлении.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанная партия вертикально расположенных подложек включает набор пластин, расположенных параллельно в держателе подложек, причем указанный набор пластин включает по меньшей мере две пластины.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что держатель подложек загружают в реакционную камеру и выгружают из реакционной камеры с верхней стороны реакционной камеры.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что держатель подложек закрепляют на подвижной крышке реакционной камеры.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что пары прекурсора подают в реакционную камеру через крышку реакционной камеры.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что пары прекурсора подают через крышку реакционной камеры в расширительный объем, а из этого расширительного объема в вертикальном направлении через распределительную пластину - в часть реакционной камеры, содержащую указанные подложки.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что на поверхностях подложек осаждают тонкую пленку путем осуществления последовательных самонасыщающих поверхностных реакций.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что размер реакционной камеры специально оптимизирован под размер партии вертикально расположенных подложек или под размер держателя подложек, несущего указанные подложки.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что направление указанного вертикального потока является направлением сверху вниз.
10. Устройство, содержащее:
по меньшей мере одну подающую линию, выполненную с возможностью подачи паров прекурсора в реакционную камеру реактора осаждения, где
указанная реакционная камера выполнена с возможностью осаждения материала на поверхности партии вертикально расположенных подложек в реакционной камере посредством установления вертикального потока паров прекурсора в реакционной камере и введения его в вертикальном направлении в промежутки между указанными вертикально расположенными подложками таким образом, что пары прекурсора текут от верхней стороны реакционной зоны к нижней стороне реакционной зоны вдоль каждой из указанных поверхностей по существу в одном и том же параллельном вертикальном направлении.
11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что указанная партия вертикально расположенных подложек включает набор пластин, расположенных параллельно в держателе подложек, причем указанный набор пластин включает по меньшей мере две пластины.
12. Устройство по п.11, включающее
крышку реакционной камеры, выполненную с возможностью крепления указанного держателя подложек.
13. Устройство по п.10, включающее
крышку реакционной камеры, причем устройство выполнено с возможностью подачи указанных паров прекурсора в реакционную камеру через указанную крышку реакционной камеры.
14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что устройство выполнено с возможностью подачи указанных паров прекурсора через крышку реакционной камеры в расширительный объем, а из этого расширительного объема в вертикальном направлении через распределительную пластину - в часть реакционной камеры, содержащую указанные подложки.
15. Устройство по п.10, отличающееся тем, что устройство выполнено с возможностью осаждения тонкой пленки на поверхностях подложек путем осуществления последовательных самонасыщающих поверхностных реакций.
16. Устройство по п.10, отличающееся тем, что размер реакционной камеры специально оптимизирован под размер партии вертикально расположенных подложек или под размер держателя подложек, несущего указанные подложки.
17. Устройство по п.10, отличающееся тем, что направление указанного вертикального потока является направлением сверху вниз.