СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА

1. Способ лазерной обработки поверхности ситалла, включающий лазерное облучение ситалловой пластины с предварительным нагревом и последующим поэтапным охлаждением, отличающийся тем, что ситалловую пластину помещают в замкнутый объем из теплоизолирующего материала, а лазерное облучение производят через оптический фильтр, пропускающий излучение в спектральном интервале (области) длины волны рабочего лазера и не пропускающий излучение инфракрасного диапазона волн.
2
2. Установка для лазерной обработки поверхности ситалла содержащая CO-лазер, оптическую систему с фокусирующей линзой для сканирования пучка по поверхности образца, управляющий компьютер, рабочий стол с нагревателем и образцом, снабженная средствами защиты и охлаждения фокусирующей линзы от температурного воздействия, отличающаяся тем, что она снабжена камерой из теплоизолирующего материала, в которой размещен нагреватель с образцом, причем между камерой и фокусирующей линзой установлен оптический фильтр, закрывающий образец в замкнутом объеме, пропускающий излучение рабочего лазера и не пропускающий излучение в инфракрасном диапазоне волн.