СОВМЕСТИМЫЙ С ВАКУУМОМ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ИЗОЛЯТОР

1. Совместимый с вакуумом электрический изолятор, содержащий электрически изолирующую стеклянную подложку, имеющую по меньшей мере одну переднюю поверхность с по меньшей мере частью, открытой воздействию ионизированной плазмы, и электрически изолирующий керамический слой, покрывающий по меньшей мере одну часть по меньшей мере одной передней поверхности стеклянной подложки.
2. Электрический изолятор по п. 1, в котором стеклянная подложка включает в себя один кусок стекла.
3. Электрический изолятор по п. 2, в котором стеклянная подложка является круглой и имеет диаметр по меньшей мере 1 м.
4. Электрический изолятор по п. 3, в котором стеклянная подложка представляет собой круглый диск, имеющий центральное отверстие для приема электрода и дополнительно содержащий непокрытую внутреннюю область стеклянной подложки вокруг ее центрального отверстия и непокрытую наружную область стеклянной подложки вокруг ее наружной окружности.
5. Электрический изолятор по п. 4, дополнительно содержащий внутреннее и наружное уплотнения для текучей среды, посаженные на непокрытой внутренней области и непокрытой наружной области соответственно.
6. Электрический изолятор по п. 1, в котором стеклянная подложка состоит из боросиликатного стекла.
7. Электрический изолятор по п. 1, в котором керамический слой состоит из материала, выбранного из группы, состоящей из оксида иттрия и оксида алюминия.
8. Электрический изолятор по п. 7, в котором толщина керамического слоя из оксида алюминия составляет 10-200 мкм.
9. Электрический изолятор по п. 1, в котором по меньшей мере одна передняя поверхность содержит несколько частей, открытых воздействию ионизированной плазмы и покрытых покрытием в виде керамического слоя и перемежающихся по меньшей мере одной непокрытой частью.
10. Электрический изолятор по п. 1, в котором по меньшей мере одна передняя поверхность стеклянной подложки содержит складки, причем указанные складки, по размерам и исполнению предназначены для компенсации разницы коэффициента теплового расширения стеклянной подложки и коэффициента теплового расширения керамического слоя покрытия.
11. Система возбуждения плазмы, содержащая вакуумный сосуд; первый электрод и второй электрод, вмонтированные в вакуумный сосуд и разнесенные для образования между ними промежутка, причем система возбуждения плазмы действует для прикладывания напряжения между первым и вторым электродами; и электрический изолятор, установленный между этими двумя электродами, причем электрический изолятор содержит электрически изолирующую стеклянную подложку с по меньшей мере одной передней поверхностью с по меньшей мере частью, открытой воздействию плазмы внутри вакуумного сосуда, и электрически изолирующий керамический слой, покрывающий по меньшей мере одну часть по меньшей мере одной передней поверхности и способный поддерживать напряжение в вакууме.
12. Система возбуждения плазмы по п. 11, в которой стеклянная подложка включает в себя один кусок стекла.
13. Система возбуждения плазмы по п. 11, в которой стеклянная подложка является круглой и имеет диаметр по меньшей мере 1 м.
14. Система возбуждения плазмы по п. 13, в которой стеклянная подложка представляет собой круглый диск, имеющий центральное отверстие для приема первого электрода и дополнительно содержащий непокрытую внутреннюю область стеклянной подложки вокруг ее центрального отверстия и непокрытую наружную область стеклянной подложки вокруг ее наружной окружности.
15. Система возбуждения плазмы по п. 14, в которой второй электрод является трубчатым и окружает электрический изолятор, а электрический изолятор дополнительно содержит внутреннее и наружное уплотнения, посаженные на непокрытой внутренней области и непокрытой наружной области соответственно, так что между электрическим изолятором и первым и вторым электродами создаются уплотнения для текучей среды.
16. Система возбуждения плазмы по п. 11, в которой стеклянная подложка состоит из боросиликатного стекла.
17. Система возбуждения плазмы по п. 11, в которой керамический слой состоит из материала, выбранного из группы, состоящей из оксида иттрия и оксида алюминия.
18. Система возбуждения плазмы по п. 17, в которой толщина керамического слоя из оксида алюминия составляет 10-200 мкм.
19. Система возбуждения плазмы по п. 11, в которой по меньшей мере одна передняя поверхность содержит несколько частей, открытых воздействию плазмы и покрытых покрытием в виде керамического слоя и перемежающихся по меньшей мере одной непокрытой частью.
20. Электрический изолятор по п. 1 или система возбуждения плазмы п. 11, в которых электрически изолирующая стеклянная подложка дополнительно открыта воздействию заряженных частиц.
21. Электрический изолятор по п. 1 или система возбуждения плазмы 11, в которых электрически изолирующая стеклянная подложка дополнительно открыта воздействию фотонов высокой энергии.