СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ ПЛАЗМЫ, ВОЗБУЖДАЕМОЙ МИКРОВОЛНОВОЙ ЭНЕРГИЕЙ В ОБЛАСТИ ЭЛЕКТРОННОГО ЦИКЛОТРОННОГО РЕЗОНАНСА (ECR), ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ИЛИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ВОКРУГ НИТЕВИДНОГО КОМПОНЕНТА

1. Способ создания плазмы, возбуждаемой микроволновой энергией в области электронного циклотронного резонанса (ECR), для осуществления обработки поверхности или нанесения покрытия вокруг нитевидного компонента (F), согласно которому:
осуществляют непрерывное прямолинейное перемещение нитевидного компонента (F) через по меньшей мере два магнитных диполя (1 и 2), расположенных напротив друг друга и вокруг трубы (3), образующей камеру обработки;
вводят микроволновую энергию между по меньшей мере двумя магнитными диполями (1 и 2).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что обработка поверхности представляет собой очистку, травление, функционализацию или привитую сополимеризацию.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что покрытие получают с помощью PECVD (плазмохимического осаждения из паровой фазы).
4. Устройство для создания плазмы вокруг нитевидного компонента (F), которому сообщается непрерывное прямолинейное движение, содержащее средства для выработки микроволновой энергии в области циклотронного резонанса, отличающееся тем, что устройство содержит по меньшей мере один модуль, состоящий из двух магнитных диполей (1, 2), расположенных напротив друг друга и установленных вокруг трубы (3), которая образует камеру обработки и через которую прямолинейно перемещается нитевидный компонент (F), подлежащий обработке, при этом между двумя диполями установлен микроволновый аппликатор (4).
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что магнитные диполи (1, 2) представляют собой кольцевые магниты.
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что кольцевые магниты представляют собой постоянные магниты.
7. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что кольцевые магниты представляют собой катушки индуктивности.
8. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что микроволновый аппликатор (4) расположен перпендикулярно центральной оси трубы (3).
9. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что труба (3) образует Т-образную деталь, имеющую серединную ветвь (3a) и две других ветви (3b, 3c) на обеих сторонах указанной серединной ветви (3a), при этом серединная ветвь (3a) вмещает микроволновый аппликатор, тогда как в двух других ветвях (3b) и (3c) размещены магнитные диполи (1, (2).
10. Устройство по любому из пп. 4—9, отличающееся тем, что устройство содержит несколько модулей, установленных последовательно на одной прямой и соединенных вместе с помощью уплотнительного кольца (5).
11. Устройство по п. 10, отличающееся тем, что каждое кольцо (5) действует как зона нагнетания, соединенная с коллектором для нагнетания газа.
12. Устройство по п. 10, отличающееся тем, что, в соответствии с другим вариантом, кольца (5) действуют как зона нагнетания и как зона инжекции газа.
13. Устройство по любому из пп. 4—9, отличающееся тем, что нитевидный компонент (F) электрически поляризован для обеспечения возможности ионной бомбардировки плазмы.