ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ КОНТАКТ НАГРЕВАТЕЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКИ РОСТОВОГО МАНИПУЛЯТОРА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР

1. Электрический контакт нагревателя полупроводниковой подложки ростового манипулятора вакуумной камеры для выращивания полупроводниковых гетероструктур, содержащий контактный винт с гайкой, при этом нагреватель содержит основание с отверстиями под винты, выполненное из пиролитического нитрида бора, и размещенную на нем нагревательную спираль, выполненную из пиролитического графита, отличающийся тем, что контактный винт и гайка выполнены из металла, при этом гайка подпружинена относительно основания нагревателя пружинным элементом из пиролитического нитрида бора.
2. Электрический контакт по п.1, отличающийся тем, что пружинный элемент выполнен в виде диска с центральным отверстием, в котором с зазором размещен винт, при этом диск контактирует с гайкой, а между диском и основанием нагревателя размещено упорное кольцо, контактирующее с периферией диска.
3. Электрический контакт по п.1 или 2, отличающийся тем, что пружинный элемент выполнен тарельчатой формы с центральным отверстием, в котором с зазором размещен винт, при этом центральная часть пружинного элемента тарельчатой формы контактирует с гайкой, а его обод контактирует с основанием нагревателя.
4. Электрический контакт по п.1 или 2, отличающийся тем, что винт и гайка выполнены из молибдена или тантала.