Модификация поверхности чувствительного слоя сенсора газа электроискровой обработкой

Модификация поверхности чувствительного слоя сенсора газа электроискровой обработкой

С.А. Богданов, А.Г. Захаров, И.В. Писаренко

Технологический институт федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.

Принцип действия многих полупроводниковых сенсоров газов основан на изменении их электрофизических свойств и характеристик в результате физикохимических процессов (сорбционные процессы, окислительно-восстановительных реакции и др.) на границе раздела чувствительный слой (ЧС) сенсора - газовая среда с участием анализируемого газа. Важную роль при этом играет явление газовой адсорбции, при котором частицы (молекулы, атомы, ионы) газа преимущественно накапливаются на поверхности ЧС и вступают с ней в связь [1, 2].

Химически адсорбированная на поверхности адсорбента частица газа и адсорбент формируют единую квантовомеханическую систему. Помимо энергетических состояний, обусловленных хемосорбированными частицами, реальная поверхность адсорбента обладает также энергетическими состояниями «биографического» происхождения (поверхностные уровни Тамма и Шокли, структурные дефекты поверхности, примеси и др.), что вызывает локализацию заряда на поверхности адсорбента и при отсутствии хемосорбированных частиц.

В процессе электроискровой обработки (ЭИО) адсорбента могут происходить различные физико-химические превращения, обусловленные межэлектродной средой, режимами ЭИО и свойствами материала электродов. В частности, процессы, связанные с переносом материала электрода при электроискровом разряде на полупроводниковую подложку, а, следовательно, и появление обусловленных материалом электрода дополнительных глубоких энергетических уровней (ГУ) в запрещенной зоне полупроводника.

Появление анализируемого газа приводит к перераспределению свободных носителей заряда между разрешенными зонами и локальными поверхностными энергетическими уровнями и, как следствие, к изменению электрофизических свойств ЧС, по характеру изменения которых можно судить о концентрации анализируемого газа в среде [3, 4].

Решение задачи повышения адсорбционной чувствительности полупроводниковых сенсоров газа невозможно без интенсивного исследования методов управления свойствами поверхности полупроводников. Установлено, что образование гетероразмерных кластеров различного фазового состава и конфигураций на поверхности полупроводника существенно изменяет как его электронные, так и адсорбционные свойства [5, 6].

В качестве модельного материала, электрические свойства которого можно изменять в широких пределах, на этапе выяснения физико-химических особенностей адсорбционной чувствительности целесообразно использовать кремний.

Для изготовления полупроводниковых сенсоров газов используются различные технологические методы модификации поверхностных свойств: электрохимического травления, электроннолучевой обработки, ионной имплантации, поверхностного легирования и др.

Целью настоящей работы является исследование особенностей модификации состава и структуры поверхности кремния электроискровой обработкой.

Пластины кремния марки КЭФ - 4,5 были обработаны электроискровым разрядом на установке [7] с энергией 0,4 Дж с последующим предварительным отжигом в атмосфере азота при температуре 1000 0С в течении одного часа. Материалом обрабатывающего электрода являлся никель, который по данным [8, 9] обусловливает формирование в запрещенной зоне кремния акцепторных ГУ. Далее на этих пластинах в стандартном технологическом процессе были изготовлены МД11-структуры. Кроме того, были также изготовлены тестовые МД11-структуры на основе пластин кремния КЭФ-4,5 без проведения ЭИО. Толщина 8Ю2 составляла в обоих случаях ^ = 230 нм.

После ЭИО и отжига проводилось исследование поверхности кремниевых пластин атомно-силовой микроскопией (рис. 1, 2).

Рис. 1. Морфология поверхности кремния прошедшего ЭИО

Рис. 2. Морфология поверхности кремния без ЭИО

Анализ результатов атомно-силовой микроскопии показал, что ЭИО существенно влияет на морфологию поверхности ЧС - высота неровности составляет величину порядка 400 нм. В свою очередь высота неровности для пластин, не проходивших ЭИО, составила величину порядка 50 нм.

Методом динамической спектроскопии глубоких уровней (ДСГУ) [10]

исследовались параметры ГУ в кремнии после ЭИО. Объектом исследования являлись МД11-структуры. Полученные экспериментальные зависимости показали наличие глубоких энергетических уровней в запрещенной зоне кремния, проявивших себя на ДСГУ-спектре (рис. 3) в области температур от минус 100 0С до плюс 10 0С.

АС, пФ

Рис. 3 - ДСГУ-спектр МДП-структуры, сформированной на кремнии, обработанном электроискровым разрядом никелевым электродом

На рис. 3. видно наличие четырех пиков, соответствующих акцепторным ГУ с энергиями ионизации (Ес - Ел = 0,24 эВ, Ес - Ег2 = 0,34 эВ , Ес - Ег3 = 0,40 эВ,

Ес - Е(4 = 0,55 эВ) близкими к известным из литературы параметрам ГУ никеля в кремнии [8], а также ГУ обусловленных наличием в кремнии дислокаций [9]. Концентрации обнаруженных ГУ - Ыл = 1,5 -1013 см-3, 2 = 1,6 -1013 см-3, 3 = 1,8 -1013

3 13 3

см , 4 = 3 -10 см , соответственно.

Оценка плотности поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик-полупроводник проводилась дифференциальным методом [10], основанным на сравнении экспериментальной высокочастотной емкости МД1 -структуры с теоретической расчетной емкостью ее модели для двух случаев.

В первом случае при моделировании теоретической вольт-фарадной

характеристики (ВФХ) глубокие энергетические уровни не учитывались, а во втором случае учитывалось влияние ГУ в соответствии с моделью, предложенной в [11].

Полученные распределения плотности поверхностных состояний N55 от величины поверхностного потенциала р$ показаны на рис. 4.

N5$, см -2 эВ-1

<Рб , В

Рис. 4 - Зависимость плотности поверхностных состояний от величины поверхностного потенциала: 1 - для МДП-структуры без ЭИО; 2, 3 - для МДП-структуры, сформированной на кремнии, обработанном электроискровым разрядом никелевым электродом

Видно, что ЭИО приводит к увеличению плотности поверхностных состояний. При оценке N55 (р$) пространственное распределение ГУ в полупроводнике принималось равномерным, что может в первом приближении объяснить появление минимума при величине поверхностного потенциала р$ « 0,25 В на распределении N5$ (р$ ) рис. 4.

Таким образом, электроискровая обработка поверхности чувствительного слоя приводит к увеличению эффективной площади его поверхности, увеличению плотности поверхностных состояний, а также к образованию в запрещенной зоне полупроводника глубоких энергетических уровней, обусловленных атомами материала электрода и дислокациями, что в совокупности позволит варьировать чувствительность и селективность сенсоров газов.

Литература:

1. Вашпанов Ю.О., Смынтына В. А. Адсорбционная чувствительность полупроводников [Текст] / Одесса: Астропринт, 2005. - 216 с.

2. Barsan N., Weimar U. Understanding the fundamental principles of metal oxide based gas sensors; the example of CO sensing with SnO2 sensors in the presence of humidity [Текст] // Journal of Physics: Condensed Matter. - 2003, Т. 15, № 20. - P. 813 - 839.

3. Barsan N., Weimar U. Conduction model of metal oxide gas sensors [Текст] // Journal of Electroceramics. - 2001, Т. 7, № 3. - P. 143-167.

4. Богданов С.А., Захаров А.Г., Лытюк А.А. Моделирование газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров газов на основе оксидов металлов [Текст] // Нано- и микросистемная техника. - 2011., № 1. - С. 12 - 14.

5. Моисеева Т. А., Мясоедова Т.Н., Петров В.В., Кошелева Н.Н. Разработка газочувствительного элемента на основе пленок оксидов меди для датчика аммиака [Электронный ресурс] // «Инженерный вестник Дона», 2012, № 4. - Режим доступа: http://www.ivdon.ru/magazine/archive/n4p2y2012/1347 (доступ свободный) - Загл. с экрана.

- Яз. рус.

6. Надда М.З., Петров В.В., Шихабудинов А.А. Исследование свойств нанокомпозитного материала для высокочувствительных сенсоров диоксида азота [Электронный ресурс] // «Инженерный вестник Дона», 2012, № 4. - Режим доступа: http://www.ivdon.ru/magazine/archive/n4p2y2012/1349 (доступ свободный) - Загл. с экрана.

- Яз. рус.

7. Сеченов Д.А., Захаров А.Г, Беспятов В.В. Формирование в кремнии локальных дислокационных областей электроискровым разрядом [Текст] // Электронная обработка материалов. - 1975, № 2. - С. 14- 17.

8. Абдурахманов К.П., Куликов Г.С., Лебедев А.А. и др. Исследования поведения примесей марганца и никеля при диффузионном легировании кремния [Текст] // Физика и техника полупроводников. -1991. - Т. 25, № 6. - С. 1075 - 1078.

9. Сеченов Д.А., Захаров А.Г., Набоков Г.М. Электрофизические свойства МДП-структур, сформированных на кремнии с высокой плотностью дислокаций [Текст] // Известия вузов. Физика. - 1977., № 9. - С. 137 - 138.

10. Богданов С.А., Захаров А.Г., Набоков Г.М. Определение свойств структур твердотельной электроники методами емкостных характеристик [Текст]: Учебное пособие / Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2009. - 108 c.

11. Богданов С. А., Захаров А.Г. Вольт-фарадные характеристики МДП-структур с учетом однозарядного глубокого энергетического уровня [Текст] // Известия вузов. Северо-Кавказский регион. - 2007., № 5. - С. 22 - 24.