МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ СЕНСОРНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА

1. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система, содержащая первый резонатор, закрепленный первым концом на первом держателе, соединенным с подложкой, отличающаяся тем, что на первом резонаторе нанесен первый сенсорный слой.
2. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что первый сенсорный слой имеет возможность изменять проводимость при адсорбции на него частиц определенного типа.
3. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что первый сенсорный слой имеет возможность адсорбции частиц определенного типа.
4. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что первый сенсорный слой выполнен в виде, по меньшей мере, одного локального фрагмента.
5. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что первая группа резонаторов закреплена первыми концами на первом держателе.
6. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что резонаторы из первой группы резонаторов имеют одинаковую ширину.
7. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что резонаторы из первой, группы резонаторов имеют одинаковую длину.
8. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что резонаторы из первой группы группа резонаторов имеют одинаковую толщину.
9. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, по меньшей мере, один резонатор в первой группе резонаторов имеет переменную ширину и (или) толщину.
10. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что резонаторы из второй группы резонаторов имеют различную длину.
11. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.7, отличающаяся тем, что резонаторы из второй группы резонаторов параллельны друг другу.
12. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что резонаторы из третьей группы резонаторов не все параллельны друг другу.
13. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что второй резонатор закреплен первым концом на первом держателе, а вторым концом на втором держателе.
14. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.1, отличающаяся тем, что четвертая группа резонаторов закреплена первыми концами на первом держателе, а вторыми концами на втором держателе.
15. Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система по п.14, отличающаяся тем, что пятая группа резонаторов закреплена первыми концами на третьем держателе, а вторыми концами на четвертом держателе.