УСТОЙЧИВЫЕ К ВОЗДЕЙСТВИЮ ВОЗДУХА РАСПРЕДЕЛИТЕЛИ ЩЕЛОЧНЫХ И ЩЕЛОЧНОЗЕМЕЛЬНЫХ МЕТАЛЛОВ

1. Устойчивый к воздействию окружающих газов распределитель щелочного или щелочноземельного металла (10; 20; 30; 40; 50; 60), характеризуемый тем, что содержит подложку (11), несущую покрытие из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43; 53; 63), и тем, что щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде элементарного металла, механически и химически защищенного от окружающей среды за счет нахождения в контакте с упомянутым покрытием из газопоглощающего материала.
2. Распределитель по п.1, в котором упомянутая подложка (11) выполнена из материала, выбранного среди металлов, металлических сплавов, полупроводников, стекол или керамических материалов.
3. Распределитель по п.2, в котором упомянутый материал выбран среди ковара, кремния, германия, карбида кремния, сапфира, кварца, стекла, пирекса, фосфида индия и арсенида галлия.
4. Распределитель по п.1, в котором упомянутый щелочной или щелочноземельный металл выбран среди лития, натрия, калия, рубидия, цезия, магния, кальция, стронция и бария.
5. Распределитель по п.1, в котором упомянутый газопоглощающий материал выбран среди гафния, ниобия, ванадия, титана, циркония и сплавов на основе титана и/или циркония с одним или более элементами, выбранными среди переходных элементов, редкоземельных элементов и алюминия.
6. Распределитель по п.1, в котором щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде покрытия (12; 22; 32; 42), полностью покрытого покрытием из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43).
7. Распределитель по п.6, дополнительно содержащий барьерный слой (24; 34; 44) между упомянутым покрытием из щелочного или щелочноземельного металла и упомянутой подложкой.
8. Распределитель по п.7, в котором упомянутый барьерный слой выполнен из тантала, платины, золота, сочетаний этих металлов, нитрида титана, нитрида кремния или газопоглощающего материала.
9. Распределитель по п.6, в котором толщина упомянутого покрытия из щелочного или щелочноземельного металла составляет между 1 и 100 нм.
10. Распределитель по п.9, в котором упомянутая толщина составляет между 10 и 50 нм.
11. Распределитель по п.6, в котором толщина упомянутого покрытия из газопоглощающего материала составляет между 100 нм и 1 мкм.
12. Распределитель по п.7, в котором упомянутый барьерный слой имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
13. Распределитель (20; 40) по п.7, в котором упомянутое покрытие из газопоглощающего материала (23; 43) и упомянутый барьерный слой (24; 44) имеют одинаковые поперечные размеры.
14. Распределитель (30) по п.7, в котором упомянутое покрытие (32) из щелочного или щелочноземельного металла и упомянутый барьерный слой (34) имеют одинаковые поперечные размеры.
15. Распределитель по п.1, в котором щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри по меньшей мере части покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала.
16. Распределитель по п.15, в котором массовое процентное содержание щелочного или щелочноземельного металла составляет между 1 и 20% от общей массы упомянутого покрытия.
17. Распределитель по п.16, в котором упомянутое массовое процентное содержание составляет между 3 и 10%.
18. Распределитель (60) по п.15, дополнительно содержащий барьерный слой (64) между упомянутым покрытием (63) из газопоглощающего материала и упомянутой подложкой.
19. Распределитель по п.18, в котором упомянутый барьерный слой выполнен из тантала, платины, золота, сочетаний этих металлов, нитрида титана, нитрида кремния или газопоглощающего материала.
20. Распределитель по п.15, в котором упомянутое покрытие из газопоглощающего материала имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
21. Распределитель по п.18, в котором упомянутый барьерный слой имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
22. Способ изготовления распределителя по п.1, в котором упомянутое газопоглощающее покрытие и упомянутый щелочной или щелочноземельный металл получают посредством ряда последовательных нанесений подлежащих нанесению материалов, ограничивая масками ту область на подложке, на которую происходят нанесения.
23. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают распределители, в которых щелочной или щелочноземельный металл находится в виде покрытия (12; 22; 32; 42) из металла, упомянутое покрытие получают с помощью испарения этого металла и его конденсации на подложке.
24. Способ по п.23, в котором покрытия (13; 23; 33; 43) из газопоглощающего материала, лежащие поверх покрытий из щелочного или щелочноземельного металла, выполняют с помощью распыления, работая с относительно высоким давлением газа в распылительной камере и низкой электрической мощностью, прилагаемой между мишенью и подложкой.
25. Способ по п.24, в котором операцию распыления осуществляют, поддерживая холодной подложку, на которой имеет место нанесение, и с большим расстоянием между мишенью и подложкой.
26. Способ по п.22, в котором барьерные слои изготавливают методом, выбранным среди испарения, распыления и «химического осаждения из паровой фазы».
27. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают распределители, в которых щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала, упомянутое покрытие получают с помощью распыления мишени, содержащей газопоглощающий материал и упомянутый щелочной или щелочноземельный металл.
28. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают подложки, в которых щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала, упомянутое покрытие получают с помощью распыления газопоглощающего материала и одновременного испарения щелочного или щелочноземельного металла.