НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам.
Известно нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие. - М.: МИЭТ, 2000 - 69 с. (аналог)].
Недостатком аналога являются малые кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом [Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научного семинара. - М.: МИФИ, 2001. (прототип)].
Недостатком прототипа также являются малые кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.
В основу полезной модели положена задача - повысить кинематические возможности при обработке объекта произвольной формы.
Эта задача решается тем, что нанотехнологическое устройство, содержащее платформу для размещения объекта обработки, пьезопривод, связанный с основанием и зондом, согласно предложенной полезной модели, снабжено двумя двухкоординатными приводами вращательного и поступательного перемещений, причем первый привод вращательного и поступательного перемещений связан с основанием посредством кривошипа, а второй привод вращательного и поступательного перемещений связан с
платформой для размещения объекта обработки, первый и второй приводы вращательного и поступательного перемещений установлены таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом.
Введение в нанотехнологическое устройство взаимного ориентирования зонда и объекта обработки посредством пьезопривода, кривошипа и пары независимых двухкоординатных приводов вращательно и поступательного перемещений, позволяет повысить кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и фиг.2. На фиг.1 показано нанотехнологическое устройство. На фиг.2 показано то же нанотехнологическое устройство, но в другой ориентации зонда относительно объекта обработки.
Нанотехнологическое устройство (фиг.1, 2) содержит платформу 1 для размещения объекта обработки 2, пьезопривод 3, связанный с основанием 4 и зондом 5. Устройство снабжено двумя двухкоординатными приводами 6, 7 вращательного и поступательного перемещений, а так же кривошипом 8. Основание 4 связано с первым двухкоординатным приводом 6 вращательного и поступательного перемещений посредством кривошипа 8, а платформа 1 связана со вторым двухкоординатным приводом 7 вращательного и поступательного перемещений. Первый 6 и второй 7 двухкоординатные приводы вращательного и поступательного перемещений жестко закреплены на неподвижном опорном основании 9 таким образом, что их оси вращения пересекаются под прямым углом.
Нанотехнологическое устройство (фиг.1, 2) работает следующим образом.
При подаче управляющего сигнала на первый двухкоординатный привод 6 его вращательное и поступательное перемещения передаются зонду 5 посредством кривошипа 8, а перемещения второго двухкоординатного привода
7 передаются непосредственно платформе 1, на которой установлен объект обработки 2. Первый 6 и второй 7 двухкоординатные приводы производят установку зонда 5 по нормали к поверхности объекта обработки 2, а пьезопривод 3 осуществляет перемещение зонда 5 вдоль этой нормали. Когда зонд 5 будет сориентирован относительно объекта обработки 2, подается напряжение, вследствие чего реализуется нанотехнологический процесс формирования наноструктуры.
Таким образом, использование в нанотехнологическом устройстве взаимного ориентирования зонда и объекта обработки позволяет формировать необходимую наноструктуру на объектах обработки произвольной формы, в частности на полусферических объектах, которые находят свое широкое применение в разнообразных датчиках.
Применение предложенного нанотехнологического устройства позволяет повысить кинематические возможности при использовании объекта обработки произвольной формы.