СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИГЛЫ КАНТИЛЕВЕРА СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

1. Способ изготовления иглы кантилевера сканирующего зондового микроскопа путем использования подложки, отличающийся тем, что подложка, выполненная из оптически прозрачного материала, имеет форму цилиндра с заглушенным торцом с одной стороны и конусным сужением - с другой, в которую заливают жидкую оптически прозрачную среду и в горизонтальном положении погружают в пластическую массу, при этом уровень пластической массы находится выше уровня оси подложки, а уровень жидкой оптически прозрачной среды - ниже уровня открытого конусного торца подложки, затем охлаждением пластической массы жидкую оптически прозрачную среду переводят в твердое агрегатное состояние, после этого температуру пластической массы повышают до появления пленки в виде жидкости, формирующейся между оптически прозрачной средой, находящейся в твердом агрегатном состоянии, и подложкой; посредством источника света с щелевым объективом, расположенным над подложкой параллельно ее продольной оси, направляют плоский световой поток на подложку, с последующим его перемещением на расстояние, определенное заданным шагом щелевого объектива, и удерживают его в заданных положениях до появления полостей в твердом теле оптически прозрачной среды, после получения необходимого количества полостей на нижней части оптически прозрачной среды постепенно понижают температуру пластической массы до исчезновения пленки в виде жидкости и полостей, после этого температуру пластической массы снова повышают до появления пленки в виде жидкости, формирующейся между оптически прозрачной средой и подложкой, и вновь сверху на подложку из источника света направляют плоский световой поток в те же участки оптически прозрачной среды, где ранее были сформированы полости, и удерживают его до повторного появления полости, после окончания повторной обработки плоским световым потоком всех заданных участков оптически прозрачной среды и повторного образования полостей температуру пластической массы вновь постепенно понижают до перехода образовавшейся жидкости в твердое агрегатное состояние, данный процесс повторяют до момента появления микротрещин на внутренней стороне нижней части подложки и выхода их на наружную поверхность.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подачу плоского светового потока осуществляют одновременно на все обрабатываемые участки подложки посредством источника света с объективом, имеющим несколько щелей, отдаленных друг от друга на расстояния, соответствующие ширине изготовляемых игл.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что частота и длительность воздействия плоского светового потока на оптически прозрачную среду обусловлена характеристиками используемой оптики, а также формой и размерами используемой подложки.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют оптически непрозрачный материал, при этом в качестве оптически прозрачной среды, находящейся в подложке, используют жидкость, которая обеспечивает хрупкость материала подложки при охлаждении.