Способ прогнозирования эрозии мишени планарных магнетронных распылительных систем

Способ прогнозирования профиля эрозии мишени планарных магнетронных распылительных систем, включающий выполнение расчета конфигурации магнитного поля над поверхностью катода планарного магнетрона, результатом которого является создание матриц амплитудных значений вектора индукции магнитного поля и направленной параллельно плоскости мишени его компоненты, строки которых соответствуют значениям параллельно плоскости мишени, а столбцы соответствуют значениям удаления от неё перпендикулярно поверхности, при этом данные в матрицах обнуляют за пределами границ, устанавливаемых по величине компоненты и высоты тёмного катодного пространства, дальнейшее преобразование матриц приводит к формированию одной матрицы, суммирование столбцов которой определяет профиль эрозии мишени, отличающийся тем, что, используя данные обеих матриц, создают рабочую матрицу, данные которой равны отношению данных матрицы компоненты к данным матрицы амплитуды вектора индукции, и матрицу концентрации электронов, данные которой равны отношению данных матрицы компоненты к значению ячейки её первой строки, где данные рабочей матрицы равны единице, а прогнозируемый профиль эрозии получают в результате сложения профиля эрозионной канавки с профилем общей эрозии, умноженным на коэффициент, подбираемый в пределах от 0,1 до 1 в зависимости от мощности работы магнетрона, причём профиль общей эрозии мишени определяют в результате умножения рабочей матрицы на матрицу концентрации с последующим сложением столбцов образованной двумерной матрицы и нормированием результатов, а профиль эрозионной канавки получают в результате умножения матрицы концентрации электронов на матрицу, строки которой представляют собой Гауссово распределение данных рабочей матрицы относительно среднего значения, равного единице при среднеквадратическом отклонении, равном половине разности между единицей и синусом угла в пределах от шестидесяти до восьмидесяти градусов, выбираемого в зависимости от мощности работы магнетрона, с последующим сложением значений столбцов образованной двумерной матрицы и нормированием результатов.