СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМИЧЕСКИ ОБРАБОТАННОГО ПОКРЫТОГО ИЗДЕЛИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДА И ЗАЩИТНОЙ ПЛЕНКИ

1. Способ изготовления термически обработанного покрытого изделия, включающий:
X
Z
термическую обработку покрытой стеклянной подложки, причем перед термической обработкой покрытую стеклянную подложку составляют стеклянная подложка, слой, содержащий алмазоподобный углерод (АПУ) на стеклянной подложке, и защитная пленка на стеклянной подложке, покрывающая, по меньшей мере, содержащий АПУ слой, где защитная пленка включает антиадгезионный слой и кислородонепроницаемый слой, антиадгезионный слой и кислородонепроницаемый слой представляют собой различные материалы, и антиадгезионный слой содержит оксинитрид цинка ΖnΟΝ, где соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет, по меньшей мере, 0,40;
в течение вышеупомянутой термической обработки покрытой стеклянной подложки с содержащим АПУ слоем и покрывающей его защитной пленкой, эта защитная пленка предотвращает значительное выгорание содержащего АПУ слоя, причем термическая обработка включает нагревание стеклянной подложки до температуры, достаточной для термической закалки, термического упрочнения и/или термического изгиба; и
воздействие на защитную пленку антиадгезионной жидкостью и удаление, по меньшей мере, части защитной пленки в течение и/или после вышеупомянутой термической обработки.
2. Способ по п. 1, в котором антиадгезионный слой состоит, по существу, из оксинитрида цинка, необязательно легированного алюминием.
3. Способ по п. 1, в котором соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет от 0,40 до 1,2.
4. Способ по п. 1, в котором соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет от 0,55 до 1,0.
5. Способ по п. 1, в котором соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет от 0,60 до 0,85.
6. Способ по п. 1, в котором соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет от 0,63 до 0,80.
7. Способ по п. 1, в котором защитная пленка дополнительно включает слой, содержащий нитрид кремния и покрывающий, по меньшей мере, кислородонепроницаемый слой.
8. Способ по п. 1, в котором покрытая стеклянная подложка дополнительно включает слой, содержащий нитрид кремния и расположенный между стеклянной подложкой и содержащим АПУ слоем.
9. Способ по п. 1, в котором термическая обработка включает нагревание стеклянной подложки с содержащим АПУ слоем и покрывающей его защитной пленкой с использованием, по меньшей мере, температуры (температур), составляющей, по меньшей мере, 550°C.
10. Способ по п. 1, в котором кислородонепроницаемый слой содержит нитрид алюминия.
11. Способ по п. 1, в котором кислородонепроницаемый слой состоит, по существу, из нитрида алюминия.
12. Способ по п. 1, в котором антиадгезионный слой присутствует, по меньшей мере, между стеклянной подложкой и кислородонепроницаемым слоем.
13. Способ по п. 1, в котором антиадгезионный слой и кислородонепроницаемый слой находятся в непосредственном контакте друг с другом.
3
2
14. Способ по п. 1, в котором содержащий АПУ слой содержит аморфный АПУ и имеет больше связей между атомами углерода в состоянии sp, чем связей между атомами углерода в состоянии sp.
15. Способ по п. 1, в котором содержащий АПУ слой имеет среднюю прочность, составляющую, по меньшей мере, 20 ГПа.
16. Способ по любому предшествующему п., в котором содержащий АПУ слой является гидрированным.
17. Способ по п. 1, в котором покрытое изделие является практически прозрачным, по меньшей мере, после термической обработки и удаления защитной пленки.
18. Способ по п. 1, в котором после вышеупомянутой стадии удаления, по меньшей мере, часть содержащего АПУ слоя оказывается открытой таким образом, что она представляет собой наиболее внешний слой покрытого изделия.
19. Способ изготовления термически обработанного покрытого изделия, включающий:
X
Z
термическую обработку покрытой стеклянной подложки, причем перед термической обработкой покрытую стеклянную подложку составляют стеклянная подложка, содержащий углерод слой на стеклянной подложке и защитная пленка на стеклянной подложке, покрывающая, по меньшей мере, содержащий углерод слой, где защитная пленка включает антиадгезионный слой и кислородонепроницаемый слой, антиадгезионный слой содержит оксинитрид цинка ΖnOΝ, и выполняется, по меньшей мере, одно из следующих условий: (i) соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет, по меньшей мере, 0,40, и/или (ii) соотношение газообразного азота и газообразного кислорода в процессе распыления в атмосфере, в которой осаждается распылением антиадгезионный слой, составляет, по меньшей мере, 0,40;
в течение вышеупомянутой термической обработки покрытой стеклянной подложки с содержащим АПУ слоем и покрывающей его защитной пленкой эта защитная пленка предотвращает значительное выгорание содержащего углерод слоя, причем термическая обработка включает нагревание стеклянной подложки до температуры достаточной для термической закалки, термического упрочнения и/или термического изгиба; и
удаление, по меньшей мере, части защитной пленки в течение и/или после вышеупомянутой термической обработки.
20. Способ по п. 19, в котором антиадгезионный слой состоит, по существу, из оксинитрида цинка, необязательно легированного алюминием.
21. Способ по п. 19, в котором выполняется, по меньшей мере, одно из следующих условий: (i) соотношение азота и кислорода z/x в антиадгезионном слое составляет от 0,40 до 1,2, и/или (ii) соотношение газообразного азота и газообразного кислорода в процессе распыления в атмосфере, в которой осаждается распылением антиадгезионный слой, составляет от 0,40 до 1,2.
22. Способ по п. 19, в котором термическая обработка включает нагревание стеклянной подложки с содержащим АПУ слоем и покрывающей его защитной пленкой с использованием температуры по меньшей мере, 550°C.
23. Способ по п. 19, в котором кислородонепроницаемый слой содержит нитрид алюминия.
X
Z
24. Покрытое изделие, представляющее собой стеклянную подложку, на которую нанесено покрытие, причем данное покрытие включает, в порядке удаления от стеклянной подложки: слой, содержащий алмазоподобный углерод (АПУ); слой, содержащий оксинитрид цинка ΖnΟΝ, где соотношение азота и кислорода z/x составляет от 0,4 до 1,2; и содержащий нитрид алюминия слой, покрывающий стеклянную подложку и находящийся в непосредственном контакте с содержащим оксинитрид цинка слоем.
25. Покрытое изделие по п. 24, дополнительно включающий слой, содержащий нитрид кремния и расположенный между стеклянной подложкой и содержащим АПУ слоем.
26. Покрытое изделие по любому из пп. 24-25, в котором содержащий оксинитрид цинка слой находится в непосредственном контакте с содержащим АПУ слоем.