СПОСОБ ОЧИСТКИ МЕТАЛЛУРГИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ УВЛАЖНЕННОЙ ПЛАЗМОЙ ПЕРЕМЕННОГО ТОКА В ВАКУУМЕ

Способ очистки металлургического кремния увлажненной плазмой переменного тока в вакууме, заключающийся в разогреве в тигле неочищенного кремния до получения расплава и обработке расплава плазменным факелом, содержащим инертный газ и пары воды, отличающийся тем, что разогрев и плавление неочищенного кремния производят в вакууме с помощью графитового нагревателя, при этом кремний помещают в кварцевый тигель цилиндрической формы, расплав кремния обрабатывают плазмой увлажненного аргона, при этом применяют систему из трех струйных двухрежимных плазмотронов с изолированными от корпуса анодами и системой подачи воды в канал анода, что позволяет повысить тепловую эффективность, увеличить вероятность окислительно-восстановительных реакций, слиток поликристаллического кремния формируют путем медленного охлаждения расплава в кварцевом тигле, что позволяет более эффективно обрабатывать расплав кремния окислительно-восстановительной плазмой с большей концентрацией паров воды и величиной тепловой мощности выделяющейся на поверхности кремния в вакууме и реализовать дополнительную очистку с помощью направленной кристаллизации.