ФОТООПРЕДЕЛЯЕМАЯ ДЫРЧАТАЯ ПЛАСТИНА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ изготовления дырчатой пластины, включающий:
осаждение отделяемого затравочного слоя поверх подложки;
нанесение первой фотолитографической маски с рисунком поверх отделяемого затравочного слоя, причем первая фотолитографическая маска с рисунком включает негативное изображение требуемой схемы расположения отверстий;
электролитическое осаждение первого материала поверх открытых участков отделяемого затравочного слоя, определенных первой маской;
нанесение второй фотолитографической маски поверх первого материала, причем вторая фотолитографическая маска включает негативное изображение первой полости;
электролитическое осаждение второго материала поверх открытых участков первого материала, определенных второй маской;
удаление обеих масок; и
травление отделяемого затравочного слоя для освобождения первого материала и второго материала,
в котором первый материал и второй материал образуют дырчатую пластину для применения при распылении жидкости.
2. Способ по п.1, в котором первая фотолитографическая маска с рисунком задает в первом материале отверстия диаметром от приблизительно 1 мкм до приблизительно 5 мкм.
3. Способ по п.1, в котором толщина первого материала, сформированного вблизи отверстий, не зависит от диаметра отверстий.
4. Способ по п.1, в котором шаг отверстий и диаметр отверстий выбирают таким образом, что скорость потока распыляемой жидкости через отверстия является регулируемой.
5. Способ по п.1, дополнительно включающий:
нанесение третьей фотолитографической маски поверх второго материала, причем третья фотолитографическая маска включает негативное изображение второй полости;
электролитическое осаждение третьего материала поверх открытого участка, определенного третьей маской; и
удаление всех трех масок,
в котором вторая полость находится над первой полостью, и
в котором внутренний диаметр второй полости больше, чем внутренний диаметр первой полости.
6. Способ по п.5, в котором первый материал, второй материал и третий материал представляют собой один и тот же материал.
7. Способ по п.1, в котором толщина первого материала вблизи отверстий не зависит от плотности размещения отверстий в дырчатой пластине.
8. Способ по п.1, в котором дырчатую пластину формируют в ходе автоматизированного процесса.
9. Способ по п.1, в котором первый материал и второй материал представляют собой один и тот же материал.
10. Способ по п.1, в котором первый материал и второй материал включают электролитически осаждаемый материал, обладающий стойкостью по отношению к распыляемой жидкости.
11. Дырчатая пластина для применения при распылении жидкости, включающая:
первый материал, включающий множество отверстий в нем, причем первый материал обладает характеристиками, являющимися результатом формирования посредством фотолитографического процесса;
второй материал поверх первого материала, причем второй материал включает первую полость поверх множества отверстий в первом материале, причем второй материал обладает характеристиками, являющимися результатом формирования посредством фотолитографического процесса;
в которой первый материал и второй материал образуют дырчатую пластину.
12. Дырчатая пластина по п.11, в которой каждое из множества отверстий в первом материале имеет диаметр от приблизительно 1 мкм до приблизительно 5 мкм.
13. Дырчатая пластина по п.11, в которой толщина первого материала вблизи множества отверстий составляет от приблизительно 5 мкм до приблизительно 10 мкм.
14. Дырчатая пластина по п.11, в которой первый материал и второй материал включают по меньшей мере один из следующих металлов: Ni, Co, Pd, Pt и их сплавы.
15. Дырчатая пластина по п.11, дополнительно включающая:
третий материал, включающий вторую полость поверх второго материала,
в которой третий материал обладает характеристиками, являющимися результатом формирования посредством процесса электролитического осаждения,
в которой вторая полость расположена над первой полостью, и
в которой внутренний диаметр второй полости больше, чем внутренний диаметр первой полости.
16. Дырчатая пластина по п.11, в которой первый материал и второй материал включают электролитически осаждаемый материал, обладающий коррозионной стойкостью к распыляемой жидкости.
17. Дырчатая пластина, пригодная для применения при распылении жидкости, полученная способом, включающим следующие стадии:
а) осаждение отделяемого затравочного слоя поверх подложки;
б) нанесение первой фотолитографической маски с рисунком поверх отделяемого затравочного слоя, причем первая фотолитографическая маска с рисунком включает негативное изображение требуемой схемы расположения отверстий;
в) электролитическое осаждение первого материала поверх открытых участков отделяемого затравочного слоя, определенных первой маской, для формирования по существу плоской структуры, включающей множество отверстий в ней;
г) нанесение второй фотолитографической маски поверх первого материала, причем вторая фотолитографическая маска включает негативное изображение первой полости, причем первая полость расположена над множеством отверстий;
д) электролитическое осаждение второго материала поверх открытых участков первого материала, определенных второй маской;
е) удаление обеих масок; и
ж) травление отделяемого затравочного слоя для освобождения первого материала и второго материала.
18. Дырчатая пластина по п.17, в которой каждое из множества отверстий в первом материале имеет диаметр от приблизительно 1 мкм до приблизительно 5 мкм.
19. Дырчатая пластина по п.17, в которой толщина первого материала вблизи множества отверстий составляет от приблизительно 5 мкм до приблизительно 10 мкм.
20. Дырчатая пластина по п.17, в которой первый материал и второй материал включают по меньшей мере один из следующих металлов: Ni, Co, Pd, Pt и их сплавы.
21. Дырчатая пластина по п.17, в которой первый материал и второй материал включают электролитически осаждаемый материал, обладающий коррозионной стойкостью к распыляемой жидкости.
22. Дырчатая пластина по п.17, в которой способ дополнительно включает следующие стадии:
з) нанесение третьей фотолитографической маски поверх второго материала, причем третья фотолитографическая маска включает негативное изображение второй полости, в которой вторая полость распложена над первой полостью и в которой внутренний диаметр второй полости больше, чем внутренний диаметр первой полости;
и) электролитическое осаждение третьего материала поверх третьей маски и открытых участков второго материала; и
к) удаление всех трех масок.
23. Дырчатая пластина по п.22, в которой первый материал, второй материал и третий материал включают электролитически осаждаемый материал, обладающий коррозионной стойкостью к распыляемой жидкости.
24. Дырчатая пластина для применения при распылении жидкости, включающая:
первый материал, включающий множество первых отверстий в нем, причем первый материал обладает характеристиками, являющимися результатом формирования посредством фотолитографического процесса, и в котором множество первых отверстий определяет в основном цилиндрические формы;
второй материал поверх первого материала, причем второй материал включает первую полость поверх множества вторых отверстий в первом материале, причем второй материал обладает характеристиками, являющимися результатом формирования посредством фотолитографического процесса, и в котором множество вторых отверстий определяет в основном цилиндрические формы;
в которой первый материал и второй материал образуют дырчатую пластину.
25. Дырчатая пластина по п.24, в которой множество первых и вторых отверстий описывают форму ступенчатой пирамиды в дырчатой пластине.
26. Дырчатая пластина по п.25, в которой каждое из множества первых и вторых отверстий в основном описывают форму сечения прямого кругового цилиндра в дырчатой пластине.
27. Дырчатая пластина по п.24, в которой множество первых отверстий сформированы в первом материале внутри области, ограниченной каждым из множества вторых отверстий.
28. Дырчатая пластина по п.27, в которой каждое из множества первых и вторых отверстий в основном описывают форму сечения прямого кругового цилиндра в дырчатой пластине.
29. Дырчатая пластина по п.24, дополнительно включающая вибрационный элемент для передачи ей вибрационной энергии, посредством чего выталкивают капли размером от приблизительно 1 мкм до приблизительно 6 мкм.