УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ И/ИЛИ МОДУЛЯЦИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, В ЧАСТНОСТИ МНОЖЕСТВА ЛАЗЕРНЫХ ЛУЧЕЙ

1. Устройство для отклонения и/или модуляции лазерного излучения (31), в частности, множества лазерных лучей (2), содержащее
множество отклоняющих средств (33, 38, 39),
средства перемещения, выполненные с возможностью перемещения указанного множества отклоняющих средств (33, 38, 39) по отдельности или группами, отличающееся тем, что указанные средства перемещения содержат по меньшей мере один исполнительный элемент, предпочтительно, множество исполнительных элементов, в частности, по меньшей мере один пьезоактюатор (5), который или которые выполнены с возможностью осуществления поступательного движения.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждому отклоняющему средству (33, 38, 39) соответствует один исполнительный элемент, который способен передвигать относящееся к нему отклоняющее средство (33, 38, 39).
3. Устройство по п. 1 или 2, отличающееся тем, что отклоняющие средства (33, 38, 39) выполнены с возможностью перемещения и/или поворота вокруг оси (4).
4. Устройство по любому из пп. 1-3, отличающееся тем, что отклоняющие средства выполнены в виде зеркальных элементов (1, 25, 26, 46, 47).
5. Устройство по любому из пп. 1-4, отличающееся тем, что отклоняющие средства выполнены в виде прозрачного конструктивного элемента (13, 16, 17), через который проходит отклоняемое лазерное излучение (31), в частности, отклоняемый лазерный луч (2).
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что конструктивный элемент (13) представляет собой плоскопараллельную пластину.
7. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что конструктивный элемент представляет собой линзу (10) или сегмент (11, 12) линзы.
8. Устройство по любому из пп. 1-7, отличающееся тем, что каждое из отклоняющих средств содержит два находящихся напротив друг друга прозрачных конструктивных элемента (16, 17), через которые проходит отклоняемое лазерное излучение (31), в частности, отклоняемый лазерный луч (2), причем оба конструктивных элемента (16, 17) выполнены с возможностью перемещаться относительно друг друга, в частности, в направлении, перпендикулярном к направлению распространения лазерного излучения (31), в частности, лазерного луча (2).
9. Устройство по п. 8, отличающееся тем, что конструктивные элементы (16, 17) имеют соответствующие друг другу контуры (18, 19), в частности, на находящихся напротив друг друга сторонах указанных конструктивных элементов (16, 17).
10. Устройство по любому из пп. 1-9, отличающееся тем, что отклоняющие средства (33, 38, 39) расположены рядом друг с другом, в частности, в направлении перпендикулярном к направлению распространения лазерного излучения (31), в частности, лазерных лучей (2).
11. Устройство по любому из пп. 1-10, отличающееся тем, что лазерное излучение (31), в частности, лазерные лучи (2), выходят из линейки (8) лазерных диодов, в частности, каждый из эмиттеров (7) линейки (8) лазерных диодов излучает один из лазерных лучей (2).
12. Устройство по любому из пп. 1-10, отличающееся тем, что оно может быть использовано для компенсации изгиба линейки (8) лазерных диодов.
13. Устройство по любому из пп. 1-10, отличающееся тем, что отклоняющие средства содержат зеркальные элементы (46, 47), расположенные так, что при использовании устройства от каждого из двух зеркальных элементов (46, 47) соответственно отражается часть лазерного луча (2), причем второй из зеркальных элементов (46, 47) выполнен с возможностью перемещаться исполнительным элементом относительно первого из зеркальных элементов (46, 47), так что при подходящем расположении зеркальных элементов (46, 47) относительно друг друга уменьшается интенсивность лазерного луча (2) в рабочей плоскости за счет деструктивной интерференции.
14. Способ компенсации изгиба линейки (8) лазерных диодов, характеризующийся тем, что множество отклоняющих средств (33, 38, 39) переводят с помощью средств перемещения по отдельности или группами в такую позицию и/или положение, что в результате корректируется дугообразное искажение линейки (8) лазерных диодов.
15. Способ по п. 14, отличающийся тем, что используют устройство по любому из пп. 1-12.
16. Способ по п. 14 или 15, отличающийся тем, что множество отклоняющих средств (33, 38, 39) после перевода в компенсирующую изгиб позицию и/или положение фиксируют, с тем чтобы в дальнейшем не требовались средства перемещения.