СПОСОБ СЕЛЕКЦИИ ОПТИЧЕСКИХ МОД В МИКРОРЕЗОНАТОРАХ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ НАНОАНТЕНН

1. Способ селекции оптических мод микрорезонатора, включающий эпитаксиальный синтез слоистой полупроводниковой структуры, содержащей светоизлучающую активную область и волноводный слой, реализующий селекцию вертикальных мод, отличающийся тем, что формируют осесимметричный микрорезонатор с помощью травления слоистой полупроводниковой структуры; формируют наноантенну, примыкающую к внешней боковой поверхности микрорезонатора и вытяную в направлении, перпендикулярном слоям слоистой полупроводниковой структуры, наноантенну формируют под действием сфокусированного электронного пучка в присутствии газа-прекурсора.
9
16
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что наноатенна состоит из композита платина-углерод, формируемого из газа-прекурсора CHPt.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что диаметр наноантенны составляет около 150 нм.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что длина наноантенны составляет около длины волны лазерного излучения.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве материала активной области используется массив самоорганизующихся квантовых точек InAs/InGaAs.
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве материала активной области используется многослойный массив самоорганизующихся квантовых точек InAs/InGaAs.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве материала волноводного слоя используется GaAs.
8. Способ по п. 7, отличающийся тем, что толщина волноводного слоя составляет около 0,2 мкм.
9. Способ по п. 1 отличающийся тем, что осесимметричный микрорезонатор имеет форму диска с диаметром около 6 мкм.