ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР

1. Газоразрядный эксимерный лазер, включающий в себя газонаполненный корпус (1), на котором установлена керамическая разрядная камера (2) с протяженным высоковольтным фланцем (3), расположенные в разрядной камере (2) протяженные высоковольтный электрод (4), заземленный электрод (5), зона объемного разряда (6) между высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), по меньшей мере, один блок предыонизации (7), набор конденсаторов (8), расположенных по бокам разрядной камеры и соединенных с высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), источник питания (9), подключенный к конденсаторам (8), и резонатор, при этом каждый блок предыонизации (7) содержит систему формирования скользящего разряда (CP), включающую в себя протяженную диэлектрическую пластину (11), имеющую в поперечном сечении изогнутую форму, поджигающий электрод (12), установленный на лицевой поверхности (13) диэлектрической пластины (11) вдоль нее, и протяженный инициирующий электрод (14), примыкающий к обратной поверхности (15) диэлектрической пластины (11), причем, по меньшей мере, примыкающая к инициирующему электроду (14) протяженная часть обратной поверхности (15) диэлектрической пластины (11) является цилиндрической.
2. Устройство по п.1, в котором два идентичных блока предионизации (7) расположены по бокам высоковольтного электрода (4).
3. Устройство по п.1, в котором конденсаторы (8) подсоединены к высоковольтному электроду (4) через установленные в высоковольтном фланце (3) вдоль него герметичные токовводы (23), каждый из которых снабжен керамическим изолятором (24), при этом источник питания (9) электрически связан с каждым блоком предыонизации (7) через высоковольтный фланец (3).
4. Устройство по п.1, в котором изогнутая диэлектрическая пластина (11) выполнена в виде протяженной части цилиндрической тонкостенной диэлектрической трубки, заключенной между двумя продольными сечениями трубки, параллельными ее продольной оси.
5. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит, по меньшей мере, один протяженный дополнительный электрод (25).
6. Устройство по п.5, в котором дополнительный электрод (25) соединен с инициирующим электродом (14).
7. Устройство по п.1, в котором лицевая поверхность (13) изогнутой диэлектрической пластины (11) либо выпуклая, либо вогнутая.
2
3
8. Устройство по п.1, в котором в качестве материала изогнутой диэлектрической пластины (11) используется либо сапфир, либо керамика, в частности, AlO.
9. Устройство по п.1, в котором каждая точка зоны разряда (6) между высоковольтным и заземленным электродами (4), (5) находится в зоне прямой видимости, по меньшей мере, части поверхностности изогнутой диэлектрической пластины (11), используемой для формирования СР.
10. Устройство по п.1, в котором изогнутая диэлектрическая пластина (11) выполнена в виде цилиндрической тонкостенной диэлектрической трубки с продольным разрезом (28), инициирующий электрод (14) размещен внутри диэлектрической трубки, и дополнительный электрод (25) соединен с инициирующим электродом (14) через продольный разрез (28) диэлектрической трубки.
11. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит в качестве изогнутой диэлектрической пластины (11) цельную диэлектрическую трубку (29), внутри которой размещен инициирующий электрод (14), при этом на наружной поверхности цельной диэлектрической трубки (29) размещен дополнительный электрод (25).
12. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит в качестве изогнутой диэлектрической пластины (11) цельную диэлектрическую трубку (29), внутри которой, размещен инициирующий электрод (14), при этом на наружной поверхности цельной диэлектрической трубки (29) размещен дополнительный электрод (25), подсоединенный к инициирующему электроду (14) через торец диэлектрической трубки.
13. Устройство по п.1, в котором поджигающий электрод (12) либо соединен, либо совмещен с высоковольтным электродом (4).
14. Устройство по п.1, в котором дополнительный электрод (25) либо соединен, либо совмещен с высоковольтным электродом (4).
15. Устройство по п.1, в котором высоковольтный электрод (4) установлен на высоковольтном фланце (3) и электрически соединен с ним, при этом источник питания (9) электрически связан с каждым блоком предыонизации (7) через установленные в высоковольтном фланце (3) вдоль него герметичными дополнительные токовводы (26), каждый из которых снабжен керамическим изолятором (27).
16. Устройство по п.1, в котором протяженные стенки (40) керамической разрядной камеры (2) выполнены наклонными к высоковольтному электроду (4), и конденсаторы (8) установлены наклонно к высоковольтному электроду (4).
17. Газоразрядный эксимерный лазер, включающий в себя газонаполненный корпус (1), на котором установлена керамическая разрядная камера (2) с протяженным высоковольтным фланцем (3), расположенные в разрядной камере (2) протяженные высоковольтный электрод (4) и заземленный электрод (5), зона объемного разряда (6) между высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), продольные оси которых (30), (31) параллельны друг другу, источник питания (9), подключенный к конденсаторам (8), установленных по бокам разрядной камеры (2) и подсоединенных к высоковольтному и заземленному электродам (4, 5), при этом высоковольтный электрод (4) размещен на внутренней стороне высоковольтного фланца (3) и выполнен частично прозрачным, на наружной стороне высоковольтного фланца (3) установлена дополнительная разрядная камера (33), выполненная, по меньшей мере, частично из керамики, и блок предыонизации (7), установленный с обратной стороны частично прозрачного высоковольтного электрода (4), по меньшей мере, частично размещен в дополнительной разрядной камере (33).
18. Устройство по п.17, в котором протяженные стенки (40) керамической разрядной камеры (2) выполнены наклонными к высоковольтному электроду (4), и конденсаторы (8) установлены наклонно к высоковольтному электроду (4).
19. Устройство по п.17, в котором блок предыонизации (7) содержит систему формирования скользящего разряда (CP) между протяженными поджигающим и дополнительным электродами (12), (25), расположенными на поверхности диэлектрической пластины (11), к обратной поверхности (15) которой примыкает инициирующий электрод (14), соединенный с дополнительным электродом (25), причем система формирования CP выполнена симметричной относительно плоскости (34), включающей в себя продольные оси (30), (31) высоковольтного и заземленного электродов (4), (5).
20. Устройство по п.17, в котором протяженная диэлектрическая пластина (11) системы формирования CP имеет в поперечном сечении изогнутую форму.
21. Устройство по п.17, в котором высоковольтный электрод (4) имеет с обратной стороны протяженную нишу (35), в которой, по меньшей мере, частично размещена керамическая часть (36) дополнительной разрядной камеры (33).
22. Устройство по п.17, в котором протяженные стенки (40) керамической разрядной камеры (2) выполнены наклонными к высоковольтному электроду (4), и конденсаторы (8) установлены наклонно к высоковольтному электроду (4).
23. Устройство по п.17, в котором либо поджигающий электрод (12), либо дополнительный электрод (25) соединен с высоковольтным частично прозрачным электродом (4).
24. Устройство по п.17, в котором система формирования CP содержит в качестве изогнутой диэлектрической пластины (11) цельную диэлектрическую трубку (29), внутри которой размещен инициирующий электрод (14), при этом на наружной поверхности цельной диэлектрической трубки (29) диаметрально противоположно размещены поджигающий и дополнительный электроды (12), (25).
25. Устройство по п.24, в котором либо поджигающий электрод (12), либо дополнительный электрод (25) подсоединен к инициирующему электроду (14) через торец цельной диэлектрической трубки (29).
26. Газоразрядный эксимерный лазер, включающий в себя газонаполненный корпус (1), на котором установлена керамическая разрядная камера (2) с протяженным высоковольтным фланцем (3), расположенные в разрядной камере (2) протяженные высоковольтный электрод (4), заземленный электрод (5), зона объемного разряда (6) между высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), по меньшей мере, один блок предыонизации (7), набор конденсаторов (8), расположенных по бокам разрядной камеры (2) и соединенных с высоковольтным и заземленным электродами (4), (5), источник питания (9), подключенный к конденсаторам (8), и резонатор, при этом протяженные стенки (40) керамической разрядной камеры (2) выполнены наклонными к высоковольтному электроду (4), и конденсаторы (8) установлены наклонно к высоковольтному электроду (4).