МИШЕНЬ, ПРИСПОСОБЛЕННАЯ К УСТРОЙСТВУ ОПОСРЕДСТВОВАННОГО ОХЛАЖДЕНИЯ

1. Источник покрытия, включающий в себя мишень (607, 701) с передней и задней сторонами, задняя сторона которой расположена на стенке крепления (605) источника, в которое встроено опосредствованное охлаждение с каналом (609) охлаждения, при этом мишень (601, 701) зафиксирована на креплении (605) источника с помощью подходящих средств, и стенка крепления (605) источника, на которой расположена мишень (607, 701), выполнена в виде гибкой мембраны (603), которая отделяет канал (609) охлаждения от задней стороны мишени (607, 701), отличающийся тем, что на задней стороне мишени и/или на той стенке крепления источника, на которой расположена мишень, наклеена самоклеющаяся углеродная фольга (607, 705).
2. Источник покрытия по п. 1, отличающийся тем, что самоклеющаяся углеродная фольга (607, 705) наклеена таким образом, что когда мембрана (603) в процессе распыления вследствие действующего в канале (609) охлаждения гидростатического давления равномерно прижимается к задней стороне мишени (601, 701), она также прижимается к самоклеющейся углеродной фольге (607, 705) таким образом, что возникает плоскостный тепловой контакт между мембраной (603) и задней стороной мишени (601, 791), который позволяет снизить температуру мишени (601, 701) настолько, что допустимая мощность мишени (601, 701) по сравнению с допустимой мощностью той же мишени в том же источнике покрытия, но без самоклеющейся углеродной фольги (607, 705), может быть по меньшей мере удвоена.
3. Источник покрытия по п. 1 или 2, отличающийся тем, что толщина самоклеющейся углеродной фольги (607, 705) составляет между 0,125 мм и менее чем 0,5 мм, а предпочтительно толщина равна 0,125 мм.
4. Источник покрытия по п. 1 или 2, отличающийся тем, что толщина мишени (601, 701) составляет от 6 мм до 18 мм, а предпочтительно толщина равна от 6 мм до 12 мм.
5. Источник покрытия по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в качестве подходящих средств для фиксации мишени (601, 701) на креплении (605) источника предусмотрена система байонетного крепления.
6. Источник покрытия по п. 4, отличающийся тем, что периметр (707) мишени (701) взаимодействует с креплением источника в виде байонетного соединения, благодаря чему достигается более высокое и равномерное давление прижатия.
7. Источник покрытия по п. 1 или 2, отличающийся тем, что мишень (601, 701) изготовлена методом порошковой металлургии.
8. Способ нанесения покрытия на подложки, при этом для осаждения слоя посредством процесса распыления применяют источник покрытия по любому из пп. 1-7.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что температуру мишени поддерживают ниже 200°C.
10. Способ по п. 9, отличающийся тем, что на мишени применяют мощность распыления до 10 кВт.
2
11. Способ по любому из пп. 8-10, отличающийся тем, что применяют плотность мощности мишени до 100 Вт/см.
12. Способ по любому из пп. 8-10, отличающийся тем, что применяемая мишень представляет собой мишень из AlTi, AlCr, Al, Ti, TiCr или Cr.