СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЕВ ГРАФЕНА НА РАЗОГРЕТУЮ ПОДЛОЖКУ В ВАКУУМНОМ ОБЪЕМЕ

Способ осаждения слоев графена на разогретую подложку в вакуумной объеме, отличающийся тем, что процесс ведется в атмосфере водорода при низком давлении, а поставка летучих углеводородов к подложке осуществляется диффузией с поверхности графитовой мишени магнетрона, работающего в том же объеме.