НАМОТОЧНОЕ ВАКУУМИРОВАННОЕ УСТРОЙСТВО

1. Намоточное вакуумированное устройство, содержащее:
камеру, способную поддерживать состояние вакуума;
первый электрод в форме ролика, который обеспечен в камере с возможностью вращения, включающий в себя часть, с которой гибкое обрабатываемое целевое изделие находится в контакте, и часть, с которой гибкое обрабатываемое целевое изделие не находится в контакте, и способен заставлять гибкое обрабатываемое целевое изделие перемещаться под действием вращения;
блок газоснабжения, включающий в себя второй электрод, установленный напротив первого электрода в камере, и способный подавать технологический газ в область между обрабатываемым целевым изделием и вторым электродом, причем обрабатываемое целевое изделие находится в контакте с первым электродом; и
третий электрод имеет поверхность, расположенную напротив части первого электрода в камере, с которой обрабатываемое целевое изделие не находится в контакте, причем напряжение переменного тока посредством источника переменного тока подают в область между третьим электродом и первым электродом.
2. Намоточное вакуумированное устройство по п.1, в котором:
первый электрод обеспечен таким образом, что он проходит в направлении оси вращения первого электрода.
3. Намоточное вакуумированное устройство по п.1, в котором:
первый электрод имеет внешнюю периферийную поверхность, и
третий электрод имеет поверхность, расположенную напротив внешней периферийной поверхности первого электрода вдоль внешней периферийной поверхности.
4. Намоточное вакуумированное устройство по п.1, дополнительно содержащее механизм регулирования температуры для охлаждения или нагрева первого электрода.
5. Намоточное вакуумированное устройство по п.4, дополнительно содержащее механизм охлаждения для охлаждения третьего электрода.
6. Намоточное вакуумированное устройство по п.1, в котором:
камера включает в себя делительную плиту для разделения камеры на отделение, в котором установлен второй электрод, и отделение, в котором установлен третий электрод, и
давление в отделении, в котором установлен второй электрод, и давление в отделении, в котором установлен третий электрод, устанавливают по отдельности.
7. Намоточное вакуумированное устройство по п.6, в котором:
делительная пластина включает в себя дуговую часть, обеспеченную напротив первого электрода.
8. Намоточное вакуумированное устройство по п.1, в котором:
первый электрод и третий электрод образуют зазор 1-5 мм.