УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Устройство перемещения для нанотехнологии
Полезная модель относится к области машиностроения, а конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее пъезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием. Авторское свидетельство СССР № 1713065, кл. Н02 1.41/09, 1991
Недостатком аналога является невозможность использования магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной привод, жестко связанный с неподвижным основанием, и подложку установленную на подвижном столе. Неволин В.К. Физические основы тунельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ 2000.-69с., ил.- стр. 4-5
Недостатком прототипа также является невозможность использования магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда при выполнении различных технологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить использование магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда при выполнении различных технологических операций.
Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве перемещения для нанотехнологии, содержащем привод, жестко связанный с неподвижным основанием, и подложку, установленную на подвижном столе, согласно полезной модели, привод выполнен в виде электромагнита и магнитострикционного преобразователя, причем электромагнит установлен таким образом, что направление
МПК 7 Н02 N 2/00 вектора индукции магнитного поля электромагнита соответствует осевому
перемещению зонда и перпендикулярно плоскости подложки.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство перемещения для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологии содержит привод 1, жестко связанный с неподвижным основанием 2, и подложку 3, установленную на подвижном столе 4. привод выполнен в виде электромагнита 5, магнитострикционного преобразователя 6 и зонда 7. Причем электромагнит 5 установлен таким образом, что направление вектора индукции магнитного поля электромагнита 5 соответствует осевому перемещению зонда 7 и перпендикулярно плоскости подложки 3. Магнитнострикционный преобразователь может бьггь выполнен из никеля, алфера, пермаллоя, пермендюра.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом. При подаче напряжения на электромагнит 5 происходит перемещение привода 1, а вместе с ним и зонда 7, и таким образом реализуется нанотехнологический процесс.
Применение предложенного устройства перемещения для нанотехнологии позволяет реализовать нанотехнологические процессы на подложке с использованием магнитного поля вместо электрического поля.
иООЗ  9
2