Способ нанесения тонкого слоя аморфного кремния

1. Способ нанесения тонкого слоя аморфного кремния на подложку, заключающийся в обеспечении контакта поверхности подложки с веществом, содержащим кремний и разложении этого вещества, отличающийся тем, что обеспечивается контакт поверхности подложки с содержащим кремний светочувствительным веществом, и на поверхность контакта направляется УФ-излучение, обеспечивающее протекание фотохимической реакции с образованием слоя аморфного кремния.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве содержащего кремний светочувствительного вещества используются галогениды кремния.