УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВОГО ОКНА ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

1. Устройство для ионно-плазменного травления и нанесения тонких пленок, содержащее вакуумную камеру, в которой расположены анод, протяженный термокатод с отражателем, напротив друг друга распыляемая мишень и подложкодержатель, и магнитную систему, отличающееся тем, что анод выполнен в виде полого прямоугольного параллелепипеда, в отверстиях оснований которого расположены мишень и подложкодержатель, а возле открытых торцов напротив друг друга расположены два спиральных термокатода, имеющие полукруглые отражатели, закрывающие торцы, параллельно мишени и подложке установлены магнитоуправляемые заслонки, магнитная система выполнена в виде двух соленоидов, связанных магнитопроводом и установленных возле отражателей снаружи камеры, причем длина термокатода 1, расстояние между мишенью и подложко-держателем h, расстояние между катодами L и диаметр мишени d выбраны из соотношений: 0,13L≤h≤0,3L; 0,45L≤d; l=1,14 d.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что мишень установлена на держателе, выполненном в виде полого куба с возможностью вращения.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что магнитопровод расположен с одной стороны камеры и имеет на концах постоянные магниты.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что отражатели выполнены полыми с отверстиями со стороны катода.