КОНЦЕВОЙ БЛОК ДЛЯ ВРАЩАЮЩЕЙСЯ МИШЕНИ С ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СОЕДИНЕНИЕМ МЕЖДУ ТОКОСЪЕМНИКОМ И РОТОРОМ ПРИ ДАВЛЕНИИ МЕНЬШЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ

1. Установка для распыления, содержащая:
по меньшей мере один концевой блок для поддерживания конца цилиндрической вращающейся распыляемой мишени, причем концевой блок включает в себя неподвижный проводящий токосъемник и вращающийся проводящий ротор для вращения с цилиндрической распыляемой мишенью во время операций распыления;
при этом концевой блок дополнительно включает в себя узел передачи электрической энергии, расположенный между неподвижным проводящим токосъемником и вращающимся ротором, для обеспечения передачи электрической энергии от токосъемника к ротору;
первую область охлаждения, через которую течет жидкость для охлаждения неподвижного проводящего токосъемника, причем первая область охлаждения расположена вокруг по меньшей мере участка неподвижного проводящего токосъемника и практически концентрична с неподвижным проводящим токосъемником;
вторую область охлаждения, которая отделена от первой области охлаждения и через которую течет жидкость для охлаждения ротора и мишени, причем вторая область охлаждения по меньшей мере частично окружена ротором, и при этом жидкость во второй области охлаждения течет в по меньшей мере направлении, которое практически параллельно оси, вокруг которой должны вращаться мишень и ротор;
при этом жидкость в первой области охлаждения течет вокруг упомянутой оси, вокруг которой должны вращаться мишень и ротор; и
при этом каждый из узла передачи электрической энергии, ротора и токосъемника расположен в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления, во время операций распыления.
2. Установка для распыления по п.1, причем узел передачи электрической энергии состоит из одной или более проводящих щеток.
3. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем каждый из всего узла передачи электрической энергии и всего ротора расположен в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления.
4. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем мишень также должна быть расположена целиком в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления.
5. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем весь токосъемник расположен в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления.
6. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем опора концевого блока поддерживает концевой блок с перекрытия камеры распыления установки для распыления.
7. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем жидкость в первой области охлаждения не смешивается с жидкостью во второй области охлаждения.
8. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем жидкость в первой области охлаждения содержит воду.
9. Установка для распыления по любому предыдущему пункту, причем жидкость во второй области охлаждения содержит воду.
10. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем концевой блок и мишень установлены на катодном барабане для избирательного перемещения и применения в операциях распыления в установке для распыления.
11. Установка для распыления по любому предшествующему пункту, причем вход охлаждающей жидкости и выход охлаждающей жидкости для первой области охлаждения предусмотрены в или вблизи упомянутого концевого блока, и при этом вход охлаждающей жидкости и выход охлаждающей жидкости для второй области охлаждения предусмотрены в или вблизи другого концевого блока, который предусмотрен на конце мишени, противоположном тому концу, на котором расположен упомянутый концевой блок, включающий в себя токосъемник.
12. Концевой блок для поддерживания вращающейся распыляемой мишени в установке для распыления, содержащий:
неподвижный проводящий токосъемник;
вращающийся проводящий ротор для вращения с вращающейся распыляемой мишенью во время операций распыления;
узел передачи электрической энергии, расположенный между неподвижным проводящим токосъемником и вращающимся ротором, по меньшей мере для обеспечения передачи электрической энергии от токосъемника к ротору; и
при этом каждый из узла передачи электрической энергии, ротора и токосъемника выполнен с возможностью расположения в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления, во время операций распыления.
13. Концевой блок по п.12, дополнительно содержащий первую область охлаждения, через которую течет жидкость для охлаждения неподвижного проводящего токосъемника, причем первая область охлаждения расположена вокруг по меньшей мере участка неподвижного проводящего токосъемника и практически концентрична с неподвижным проводящим токосъемником.
14. Концевой блок по п.13, дополнительно содержащий вторую область охлаждения, через которую течет жидкость для охлаждения ротора и мишени, причем вторая область охлаждения по меньшей мере частично окружена ротором, и при этом жидкость во второй области охлаждения течет в по меньшей мере направлении, которое практически параллельно оси, вокруг которой должны вращаться мишень и ротор.
15. Концевой блок по п.14, причем жидкость в первой области охлаждения течет вокруг упомянутой оси, вокруг которой должны вращаться мишень и ротор.
16. Концевой блок по любому из пп.12-15, причем узел передачи электрической энергии состоит из одной или более проводящих щеток.
17. Концевой блок по любому из пп.12-16, причем каждый из всего узла передачи электрической энергии и всего ротора выполнен с возможностью расположения в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления, во время операций распыления.
18. Концевой блок по любому из пп.14-17, причем первая и вторая области охлаждения не сообщаются по текучей среде друг с другом.
19. Способ изготовления изделия с покрытием, содержащий:
распыление вращающейся мишени в камере под давлением, меньшим, чем атмосферное давление, для напыления слоя на подложку, при этом мишень поддерживается концевым блоком, включающим в себя неподвижный проводящий токосъемник, вращающийся проводящий ротор, который вращается с распыляемой мишенью во время упомянутого распыления, узел передачи электрической энергии, расположенный между неподвижным проводящим токосъемником и вращающимся ротором, для передачи электрической энергии от токосъемника к ротору;
обеспечение концевого блока в таком положении, что во время упомянутого распыления каждый из узла передачи электрической энергии, ротора и токосъемника расположен в области под вакуумом, имеющей давление меньше атмосферного давления.