ТЕРМОСТАБИЛИЗИРУЮЩЕЕ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к термостабилизирующим нанотехнологическим устройствам перемещения.
Известно нанотехнологическое устройство для термостабилизации, содержащее неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой [Неволин В.К. Физические основы тунельно-зондовой нанотехнологии - Учебное пособие / М: МИЭТ, 2000-69 с, стр.9, (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность термостабилизации пьезопривода и зонда.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является термостабилизирующее нанотехнологическое устройство, содержащее неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе [Патент РФ на ПМ №30041, кл. 7 H02N 2/00, 10.06.2003, Бюл. №16].
Недостатком прототипа также является невозможность термостабилизации пьезопривода и зонда.
В основу полезной модели положена техническая задача состоящая в том, чтобы обеспечить термостабилизацию пьезопривода и зонда.
Поставленная техническая задача решается, что в термостабилизирующем нанотехнологическом устройстве перемещения, содержащем неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, пьезопривод расположен внутри сильфона, герметично связанного с платформой и торцевой крышкой, установленной на зонде, с возможностью осевого перемещения относительно зонда, на поверхности отверстия торцевой крышки выполнена окружная канавка, внутри которой установлено герметизирующее кольцо, а на наружной поверхности зонда жестко закреплена тепловая труба, устройство перемещения дополнительно снабжено узлом подачи жидкого азота в сильфон.
Введение в нанотехнологическое устройство для термостабилизации сильфона, внутри которого расположен пьезопривод, тепловой трубы, жестко закрепленной на наружной поверхности зонда, и узла подачи жидкого азота (УПЖА) позволяют обеспечить теплоотвод от пьезопривода и зонда, что в конечном итоге реализует их термостабилизацию.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано термостабилизирующее нанотехнологическое устройство перемещения.
Термостабилизирующее нанотехнологическое устройство перемещения (фиг.1) содержит неподвижную платформу 1, закрепленный на ней пьезопривод 2, на торце 3 пьезопривода 2 установлен зонд 4. Пьезопривод 2 расположен внутри сильфона 5, герметично связанного с платформой 1 и торцевой крышкой 6, установленной на зонде 4. В торцевой крышке 6 выполнена окружная канавка 7 с герметизирующем кольцом 8. Тепловая труба 9 жестко закреплена на наружной поверхности 10 зонда 4. Устройство перемещения дополнительно снабжено узлом подачи жидкого азота (УПЖА) 11 внутрь сильфона 5.
Термостабилизирующее нанотехнологическое устройство перемещения работает следующим образом (фиг.1).
При выполнении нанотехнологических операций происходит нагрев пьезопривода и зонда. Для снижения температуры внутрь сильфона 5, где расположен пьезопривод 2, подается жидкий азот от устройства подачи (УПЖА)
11. Герметизирующее кольцо 8 не позволяет жидкому азоту вытекать из сильфона 5. Тепловая труба 9 обеспечивает равномерное охлаждение зонда 4.
Применение предполагаемого термостабилизирующего нанотехнологического устройства перемещения позволяет обеспечить термостабилизацию пьезопривода и зонда.