1
X
X
3
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК Ba-SrTiO- ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

1-X
X
3
-3
5
6
2
Способ получения тонких пленок BaSrTiO пироэлектрических материалов, включающий воздействие на мишень импульсным лазером с λ=1,06 мкм с последующим осаждением материала на монокристаллическую кремниевую подложку и охлаждением в кислородосодержащей атмосфере, отличающийся тем, что на мишень воздействуют лазером, работающим в режиме свободной генерации, с длительностью импульса 10 с и плотностью потока энергии на поверхности мишени 10-10 Вт/см, при этом давление составляет 20±0,5 Па, и температура подложки 200-240°С.