СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Способ получения покрытий в вакууме, включающий электродуговую генерацию плазменного потока, содержащего ионы кремния, и формирование покрытия в азотсодержащей среде, отличающийся тем, что, с целью повышения термостойкости покрытия с одновременным снижением температурного потока синтеза β-модификации нитрида кремния, в плазменный поток вводят 0,4-0,5 ат.% ионов кобальта.