НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещений в нанотехнологии.
Известно технологическое устройство для наноперемещений [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии - учебное пособие /М. МИЭТ, 2000г.], содержащее неподвижную направляющую, стол, и пьезоэлектрические преобразователи, жестко связанные с неподвижной направляющей.
Недостатком аналога является наличие теплового дрейфа осажденных частиц при проведении технологического процесса получения наноструктур.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство перемещений [Технологическое устройство для наноперемещений. Свидетельство на полезную модель №30041 10.06.2003г Бюл. №16], содержащее основание, установленный на нем пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, закрепленную на платформе, блок питания, связанный с зондом и подложкой.
Недостатком прототипа является наличие теплового дрейфа осажденных частиц при проведении технологического процесса получения наноструктур.
В основу полезной модели положена техническая задача: снизить тепловой дрейф осажденных частиц при проведении технологического процесса проведения наноструктур.
Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащем основание, установленный на нем пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, подложку, закрепленную на платформе, блок питания, связанный с зондом и подложкой, согласно предложенной полезной модели, основание и платформа выполнены в форме пластин плоского конденсатора, пьезопривод и подложка электрически изолированы от основания и платформы
посредством диэлектрических пластин, устройство снабжено дополнительным блоком питания, связанным с пластинами плоского конденсатора.
Предложенная конструкция обеспечивает низкий тепловой дрейф осажденных частиц посредством подачи напряжения на конденсатор с помощью дополнительного блока питания, связанного с его пластинами, что обеспечит решение поставленной задачи.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показана схема нанотехнологического устройства перемещений.
Нанотехнологическое устройство перемещений (фиг.1), содержит основание (1), установленный на нем пьезопривод (2), на торце (3) которого закреплен зонд (4), подложку (5), закрепленную на платформе (6), блок питания (7), связанный с зондом (4), и подложкой (5). Основание (1) и платформа (6) выполнены в форме пластин (8,9) плоского конденсатора (10), пьезопривод (2) и подложка (5) электрически изолированы от основания (1) и платформы (6) посредством диэлектрических пластин (11,12), устройство снабжено дополнительным блоком питания (13), связанным с пластинами (8,9) плоского конденсатора (10).
Нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения между зондом (4) и подложкой (5) формируется нанотехнологический рисунок, который под действием теплового излучения может дрейфовать, т.е. не только изменять положение в пространстве, но и форму и размеры. Для исключения такого негативного явления на пластины (8,9) подается напряжение от дополнительного блока питания (13). В результате создается дополнительное электрическое поле, и при уходе зонда от места проведения нанотехнологической операции образовавшийся нанорисунок удерживается и не дрейфует по плоскости подложки. Таким образом, исключается возможность дрейфа нанорисунка.
Применение предложенного устройства позволяет снизить дрейф частиц, тем самым, увеличивая его производительность.