УСТРОЙСТВО КАССЕТНОЙ ПОДАЧИ ОБРАЗЦОВ

Полезная модель относится к области процессов осаждения из газовой фазы, а именно к держателям серии образцов, позволяющим проводить их обработку в реакторе для нанесения покрытий газофазными методами и обеспечивающим смену образцов без разгерметизации реакционной камеры и может быть использовано в химической промышленности, производстве полупроводников, покрытий на поверхности и других отраслях.
Известные устройства для подачи образцов в герметичную камеру не позволяют быстро заменить обрабатываемый образец и имеют относительно сложные конструкции.
Известно устройство для транспортировки образцов в герметичную камеру, содержащее держатель для подачи образцов и толкатель (RU 143 848 U1, опубликовано 10.08.2014, МПК C23C 14/50).
Известно устройство кассетной транспортировки образцов в герметичную камеру, содержащее кассету для подачи образцов (RU 2380785 C2, опубликовано 27.01.2010, МПК H01J 37/26). Недостатком данного устройства является сложность конструкции.
Если для обработки и анализа не требуется вакуума, а разгерметизация установки входит в регламент технологического процесса и увеличивает время обработки, тогда целесообразно применение более простой установки для подачи и смены образцов.
Задача, на которую направлено настоящая полезная модель состоит в создании устройства кассетной подачи образцов, способного обеспечить быструю смену обрабатываемого образца без разгерметизации реакционной камеры.
Техническим результатом является упрощение конструкции, увеличение скорости обработки образцов.
Технический результат достигается тем, что устройство выполнено в виде трубы и снабжено механическим толкателем со штоком, а также сбрасывателем образцов в камеру.
На чертеже 1 показано предложенное устройство, где:
1. Труба
2. Образцы
3. Толкатель
4. Шток
5. Шпилька
6. Резьбовая втулка
7. Ручка
8. Уплотнение Вильсона
9. Сбрасыватель
10. Опора
11. Уплотнение
12. Хвостовик
13. Ручка
14. Воронка
Устройство кассетной подачи образцов содержит трубу 1, в которую друг за другом устанавливаются образцы 2, толкатель 3, шток 4, шпильку 5, резьбовую втулку 6, ручку 7, уплотнение Вильсона 8, сбрасыватель 9 с опорой 10, уплотнение 11, хвостовик 12, ручку 13, воронку 14.
Устройство кассетной подачи образцов работает следующим образом. При вращении ручки 7 шпилька 5 перемещается относительно гайки 6 и двигает через шток 4, уплотнение 8, толкатель 3 образцы 2 за срез трубки 1. При выходе верхнего образца за срез трубки 1 хвостовик 12 сбрасывателя 9, закрепленного в опоре 10 и в узле уплотнения 11 при повороте ручки 13 совершает отметающее движение и сбрасывает верхний образец из кассеты. Образец под действием хвостовика скользит по поверхности следующего за ним образца и падает на раструб воронки. См. Вид A фазы 1,2.3.4. Количество оборотов ручки согласуется с шагом резьбы шпильки и толщиной образцов.
Для решения поставленной задачи устройство кассетной подачи образца выполнено из трубы диаметром определенного размерами образца, снабженного толкателем и сбрасывателем так, что при определенной подаче толкателя образцы из кассеты подаются к срезу трубки, верхний образец при манипуляциях сбрасывателя и сил тяжести падает в шлюзовой приемник образцов, на место обработки устанавливается следующий по порядку образец.
Перемещение образца из зоны обработки в инертную зону позволяет провести обработку серии образцов без разгерметизации установки и максимально уменьшить время между процессами обработки.