УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОДОРОЖЕК

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанодорожек.
Известно устройство формирования нанодорожек содержащее подложку, источник лазерного излучения и отражатель [Журнал технической физики, 2005, том 75, выпуск 5. Нанолитография СБИС в экстремально дальнем вакуумном ультрафиолете (обзор). Р.Сейсян. Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, 19402 Санкт-Петербург, Россия].
Недостатком аналога является невозможность формирования дорожек нанометрового диапазона.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования изображения содержащее подложку, источник лазерного излучения и отражатель [Журнал САПР и графика, март 2009. Второе дыхание 193-нм литографии или особенности 32-нм техпроцесса].
Недостатком прототипа также является невозможность формирования дорожек нанометрового диапазона.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования нанодорожек, содержащем подложкодержатель, источник лазерного излучения и отражатель, согласно предложенной полезной модели, источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели δ равным (2÷3)λ длины волн излучения и расстоянием между щелями γ равным (4÷6)λ длины волн излучения, отражатель выполнен из двух зеркал, размещенных друг к другу под углом близким к 180°, подложкодержатель выполнен в виде кюветы с жидкостью и установлен на шестикоординатном пьезоприводе, закрепленном на неподвижном основании.
Технический результат, достижение которого обуславливается реализацией всей заявляемой совокупностью признаков, состоит в том, что обеспечивается возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.
Сущность полезной модели поясняется на (фиг.1) где показано устройство для формирования нанодорожек.
Устройство для формирования нанодорожек содержит подложкодержатель 7, источник лазерного излучения 2 и отражатель 3. Источник лазерного излучения выполнен щелевым с размером щели 4 δ равным (2÷3)λ длины волн излучения и расстоянием между щелями γ равным (4÷6)λ длины волн излучения. Отражатель 3 выполнен из двух зеркал 5 и 6, размещенных относительно друг друга под углом близким к 180°. Подложкодержатель 7, на котором крепится подложка 1, выполнен в виде кюветы 8, заполненной жидкостью 9, например, водой, и установлен на шестикоординатном пьезоприводе 10, закрепленном на неподвижном основании 11.
Устройство для формирования нанодорожек (фиг.1) работает следующим образом.
Источник лазерного излучения 2 формирует когерентный волновой пучок, который, выходя из источника 2, разделяется щелями 4 на лучи, распространяющиеся вдоль параллельных прямых, причем расстояние между соседними лучами составляет γ (4÷6)λ длин волн. Далее излучение, отражаясь от зеркал 5 и 6, проходит слой жидкости 9, уменьшая длину волны пропорционально показателю преломления этой жидкости и попадает на подложку 1. Угол между зеркалами 5 и 6 выбирается таким образом, что достигая подложки 1, когерентные лучи интерферируют, образуя череду равноудаленных максимумов интенсивности излучения, в местах которых происходит интенсивный выброс материала подложки 1, что при перемещении шестикоординатного пьезопривода 10 обеспечивает формирование нанодорожек на подложке 1. Шаговое перемещение шестикоординатного пьезопривода 10 на величину - (2÷3)λ длины волны, в направлении перпендикулярном сформированным дорожкам и повторение вышестоящих операций формирования нанодорожек позволит участить количество дорожек на площади подложки 1.
Применение предлагаемого устройства для формирования нанодорожек позволяет обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона.