СПОСОБ ДИФФУЗИОННОЙ СВАРКИ МНОГОСЛОЙНОГО ПАКЕТА ИЗ СТЕКЛА И МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
METHOD OF DIFFUSION SEALING OF LAMINATE PACK OF GLASS AND MONOCRYSTAL SILICON

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении полупроводниковых микромеханических устройств, например, чувствительных элементов интегральных датчиков.
Наиболее близким к заявленному изобретению является способ [1], при котором свариваемые детали из полупроводника или металла и стекла нагревают до температуры сварки, прикладывают к ним постоянное напряжение для создания ионного тока диффузии между соединяемыми поверхностями и сдавливают их циклически.
Недостатком такого способа являются возникающие в материалах напряжения, которые уменьшают точность чувствительных элементов интегральных датчиков. Возникновение напряжений связано с различными коэффициентами линейного расширения полупроводника и стекла, и упругой деформацией от устранения первоначальной неплоскостности контактных поверхностей в пакете механическим нормированным прижимом.
Задачей, на решение которой направлено заявленное изобретение является снижение напряжений, возникающих в многослойном пакете стекла и монокристаллического кремния и, следовательно, повышение точностных характеристик интегральных датчиков.
Поставленная задача решается за счет того, что в способе диффузионной сварки многослойного пакета из стекла и монокристаллического кремния, включающем его сжатие с нормированным усилием, нагрев, изотермическую выдержку и подачу на сжатый пакет постоянного напряжения, согласно изобретению, изотермическую выдержку сжатого многослойного пакета осуществляют при температуре, выше температуры сварки, а подачу напряжения производят после охлаждения сжатого пакета до температуры, ниже температуры сварки.
Одним существенным отличием предложенного способа является то, что нагрев и изотермическая выдержка осуществляются при температуре, выше температуры сварки многослойного пакета из стекла и монокристаллического кремния, в результате чего, под действием нормированного усилия, при соприкосновении свариваемых поверхностей, в стекле возникают, в основном, пластические деформации, так как модуль Юнга стекла уменьшается с повышением температуры.
Еще одним существенным отличием предложенного способа является то, что диффузионная сварка многослойного пакета из стекла и монокристаллического кремния осуществляется при температуре ниже температуры сварки [2], в результате чего снижается температурный интервал остывания, что приводит к снижению напряжений, связанных с различными коэффициентами линейного расширения материалов пакета.
Пример реализации заявленного способа.
Производили диффузионную сварку чувствительных элементов линейных акселерометров, представляющих собой многослойный пакет стекло «пирекс 7059» - монокристаллический кремний КЭС-0,5 - стекло «пирекс 7059» [2]. Размер пакета 7×6×0,9 мм (длина-ширина-высота). Сдавленный с усилием 5 кН пакет нагревали до температуры 490°C, затем производили изотермическую выдержку три часа, после чего охлаждали до температуры 370°C и подавали на пакет напряжение 300 В, с последующим контролем тока через свариваемый пакет до его прекращения.
Производили диффузионную сварку чувствительных элементов линейных акселерометров с обратной связью, представляющих собой многослойный пакет стекло «С37-2» - монокристаллический кремний КЭС-0,5 - стекло «С37-2» [2]. Размер пакета 7×6×2,3 мм (длина-ширина-высота). Сдавленный с усилием 15 кН пакет нагревали до температуры 450°C, производили изотермическую выдержку три часа, затем охлаждали до температуры 400°C и подавали на пакет напряжение 350 В, с последующим контролем тока через свариваемый пакет до его прекращения.
Производили диффузионную сварку чувствительных элементов линейных акселерометров с обратной связью, представляющих собой многослойный пакет стекло «ЛК105» - монокристаллический кремний КЭС-0,5 - стекло «ЛК105». Размер пакета 7×6×2,3 мм (длина-ширина-высота). Сдавленный с усилием 15 кН пакет нагревали до температуры 460°C, производили изотермическую выдержку три часа, затем охлаждали до температуры 380°C и подавали на пакет напряжение 285 В, с последующим контролем тока через свариваемый пакет до его прекращения.
В результате применении предложенного способа механическая прочность соединения пакета осталась на уровне 20 МПа, возникающие при диффузионной сварке в стекле и монокристаллическом кремнии напряжения снизились, а температурный уход акселерометров уменьшился, в среднем, на 10-15%, за счет чего повысились точностные характеристики чувствительных элементов интегральных акселерометров.
Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР №1454612, МКП В23К 20/14, 1987 (прототип).
2. Хоменко Н.Н. Получение неразъемных соединений кремния с материалами. - Чернигов: ВСНТО, 1986.