ГАЗОСЕЛЕКТИВНАЯ МЕМБРАНА И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ изготовления мембраны с газопроницаемыми окошками (26), включающий:
- изготовление из кремния первой пластины (10),
- формирование в первой пластине (10) впадин (11) или проходов,
- наложение на первую пластину (10) второй кремниевой пластины (20), содержащей слой (21) с селективной газопроницаемостью из кремнийсодержащего материала,
- формирование во второй пластине (20) впадин (22, 40), по меньшей мере частично перекрывающихся с впадинами (11) или проходами в первой пластине, так что две пластины (10, 20) образуют тело (25) мембраны с окошками (26), каждое из которых имеет слой (21) с селективной газопроницаемостью.
2. Способ по п.1, в котором формирование впадин или сквозных отверстий выполняют путем травления.
2
3. Способ по п.2, в котором газоселективный слой (21) выполнен из диоксида кремния (SiO) и образует нижнюю стенку второй пластины (20).
4. Способ по п.1, в котором все впадины (11) первой пластины (10) содержат донышки, снабженные порами и проницаемые для газа.
5. Газоселективная мембрана, тело (25) которой содержит:
- первую пластину (10) из кремния, имеющую впадины (11) или проходы, и
- вторую пластину (20) из кремния, имеющую проходы (22, 40), перекрытые нижней стенкой, образованной тонким газоселективным слоем (21), причем пластины (10, 20) плашмя прилегают друг другу.
6. Мембрана по п.5, в которой впадины (11) первой пластины (10) имеют пористые донышки (13).
7. Газоселективная мембрана, содержащее тело (25), имеющее окошки (26) с селективной газопроницаемостью, в которых находится слой (21) кремнийсодержащего материала, и нагреватель (35) для нагрева окошек (26), образованный излучающим нагревательным элементом, нагревающим совместно несколько окошек (26), причем тело (25) мембраны служит в качестве поглотителя излучения.
8. Мембрана по п.7, в которой нагреватель (35) содержит электрически нагреваемое тело (36).
9. Мембрана по п.7, тело (25) которой содержит теплоотражающий слой (38).