МНОГОЭЛЕМЕНТНЫЙ НЕОХЛАЖДАЕМЫЙ МИКРОБОЛОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРИЕМНИК

Многоэлементный неохлаждаемый микроболометрический приемник, содержащий многослойные чувствительные элементы плоскостной структуры, включающие полупроводниковый термочувствительный слой, отличающийс  тем, что термочувствительный слой выполнен из материала, представл ющего собой смесь окислов ванади  VOx при соотношении 2<х<2,5 и не претерпевающего фазового перехода.