СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ МИКРОСТРУКТУРЫ И МИКРОСТРУКТУРА, ПОЛУЧЕННАЯ ПРИ ПОМОЩИ ЭТОГО СПОСОБА

1. Способ изготовления биметаллической микроструктуры (М), отличающийся тем, что содержит следующие этапы:
a) готовят подложку (1), по меньшей мере одна (3) из сторон которой является проводящей;
b) на проводящую сторону (3) подложки (1) наносят слой (4) фоточувствительной смолы;
c) слой (4) смолы облучают через трафарет, определяющий контур (4а) требуемой микроструктуры;
d) необлученные зоны (4b) слоя (4) фоточувствительной смолы растворяют, чтобы открыть в этих местах проводящую сторону (3) подложки (1), и таким образом закрывают электрически проводящие облученные зоны (4а);
e) гальваническим способом равномерно наносят слой (5) первого металла на указанный проводящий слой (3) подложки (1) и на проводящую сторону слоя (4а) фоточувствительной смолы;
f) гальваническим способом равномерно наносят слой (6) второго металла на указанный слой первого металла для формирования блока, по существу доходящего до уровня верхней поверхности слоя (4) фоточувствительной смолы;
g) смолу (4) и нанесенный металл (5, 6) обрабатывают по плоскости, чтобы привести смолу и полученный электроосаждением блок к одному уровню;
h) путем расслоения слой (4) смолы и полученный электроосаждением блок отделяют от подложки (1);
i) из расслоенной структуры удаляют слой (4) фоточувствительной смолы, чтобы высвободить сформированную таким образом микроструктуру (М).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый и второй металлы являются различными, для того чтобы получить микроструктуру (М) с оптимизированными механическими свойствами.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что первый металл имеет более низкий коэффициент трения, чем второй металл, и второй металл обладает более высокой механической прочностью, чем первый металл.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что первым металлом является сплав никель-фосфор, а вторым металлом является никель.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанную проводящую сторону (3) подложки (1) выполняют в виде наложенных друг на друга слоев хрома (2) и золота (3).
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что указанную проводящую сторону слоя (4а) фоточувствительной смолы выполняют путем активации указанной смолы.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что проводящие стороны слоя (4а) фоточувствительной смолы выполняют путем нанесения стартового проводящего слоя.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что на одной подложке выполняют несколько микромеханических структур.
9. Способ по одному из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что металлическая микроструктура (М) образует микромеханическую деталь часового механизма.