ТИГЕЛЬ ДЛЯ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЯ

1. Тигель для кристаллизации кремния, который содержит
основной корпус, который имеет дно и боковые стенки, образующие внутренний объем тигля;
подложку, которая содержит от 80 до 100 вес.% нитрида кремния, расположенную у поверхности боковых стенок, обращенной к внутреннему объему;
промежуточный слой, который содержит от 50 до 100 вес.% диоксида кремния, нанесенный сверху от подложки;
поверхностный слой, который содержит от 50 до 100 вес.% нитрида кремния, до 50 вес.% диоксида кремния и до 20 вес.% кремния, нанесенный сверху от промежуточного слоя.
2. Тигель по п.1, отличающийся тем, что подложка имеет толщину от 20 до 300 мкм.
3. Тигель по п.1, отличающийся тем, что промежуточный слой имеет толщину от 50 до 500 мкм.
4. Тигель по одному из пп.1-3, отличающийся тем, что он содержит дополнительный промежуточный слой сверху от первого промежуточного слоя, который содержит до 50 вес.% нитрида кремния, с остатком, содержащим диоксид кремния.
5. Тигель по п.4, отличающийся тем, что дополнительный промежуточный слой имеет толщину до 200 мкм.
6. Тигель по п.1, отличающийся тем, что поверхностный слой имеет толщину от 50 мкм до 500 мкм.
3
4
2
7. Тигель по п.1, отличающийся тем, что поверхностный слой содержит от 50 до 100 вес.% SiN, до 40 вес.% SiO и до 10 вес.% кремния.
8. Способ изготовления тигля для кристаллизации кремния, который содержит следующие операции:
использование основного корпуса тигля, который имеет дно и боковые стенки, образующие внутренний объем;
нанесение подложки, которая содержит от 80 до 100 вес.% нитрида кремния, у поверхности боковых стенок, обращенной к внутреннему объему;
сверху подложки нанесение промежуточного слоя, который содержит от 50 до 100 вес.% диоксида кремния;
нанесение поверхностного слоя, который содержит от 50 до 100 вес.% нитрида кремния, до 50 вес.% диоксида кремния и до 20 вес.% кремния, сверху промежуточного слоя.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что он дополнительно включает в себя нанесение сверху промежуточного слоя дополнительного промежуточного слоя, который содержит до 50 вес.% нитрида кремния, с остатком, содержащим диоксид кремния.
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что по меньшей мере одну из операций нанесения подложки или слоев осуществляют при помощи распыления.
11. Способ по одному из пп.8-10, отличающийся тем, что он дополнительно включает операцию нагревания тигля при температуре и времени, которые позволяют кальцинировать органические соединения, присутствующие в покрытии.