Анализ методов получения микроотверстий. Часть 1

Обзорная статья / Review article УДК: 621.9.048

DOI: http://dx.doi.org/10.21285/1814-3520-2018-9-10-19

АНАЛИЗ МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРООТВЕРСТИЙ. ЧАСТЬ 1

© А.Ф. Бойко1, М.Н. Воронкова2

Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, 308012, Российская Федерация, г. Белгород, ул. Костюкова, 46.

РЕЗЮМЕ. ЦЕЛЬ. В статье дан обзор методов получения микроотверстий, нашедших промышленное применение в мировой технологии машиностроения. Описана сущность механических, электрофизических, электрохимических методов литья, сборки, напыления. Показаны технологические возможности методов, их достоинства и недостатки. Дана сравнительная характеристика методов, указаны области их применения с целью определения наиболее эффективного метода получения прецизионных микроотверстий с точки зрения обеспечения требуемого качества отверстий и производительности процесса. МЕТОДЫ. Методической основой исследований является сравнительный научно-технический анализ мировых промышленных технологий получения микроотверстий в историческом развитии. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ. Описаны физико-техническая сущность десяти методов получения микроотверстий, их технологические возможности и применяемое оборудование. Дана количественная и качественная оценка технологических процессов. ВЫВОДЫ. Определены рациональные области использования пяти методов получения микроотверстий. Разработаны перспективные направления совершенствования технологии прецизионных микроотверстий.

Ключевые слова: микроотверстия, проколочный пуансон, лазерная прошивка, электронно-лучевая обработка, ионный пучок.

Информация о статье. Дата поступления 23 июля 2018 г.; дата принятия к печати 28 августа 2018 г.; дата он-лайн-размещения 28 сентября 2018 г.

Формат цитирования. Бойко А.Ф., Воронкова М.Н. Анализ методов получения микроотверстий. Часть 1 // Вестник Иркутского государственного технического университета. 2018. Т. 22. № 9. С. 10-19. DOI: 10.21285/18143520-2018-9-10-19

ANALYSIS OF MICRO HOLE DRILLING METHODS. PART 1

A.F. Boyko, M.N. Voronkova

Belgorod State Technological University named after V.G. Shukhov, 46, Kostyukov St., Belgorod, 308012, Russian Federation

ABSTRACT. PURPOSE. The article gives an overview of micro hole drilling methods which have found industrial application in the world mechanical engineering technology. The essence of the methods of mechanical, electrophysical, electrochemical methods of casting, assembly and spraying is described. The technological capabilities of methods, their advantages and disadvantages are shown as well as their comparative characteristics. The application areas of methods are specified in order to determine the most effective method of drilling precision micro holes in terms of ensuring the required hole quality and process performance. METHODS. A comparative scientific and technical analysis of the world industrial technologies of obtaining micro holes in the historical development forms the methodological basis of the research. RESULTS AND THEIR DISCUSSION. The article gives a physico-technical characteristic of ten methods of micro hole drilling, describes their process capabilities and used equipment. The quantitative and qualitative assessment of

1

Бойко Анатолий Федорович, доктор технических наук, профессор кафедры технологии машиностроения, e-mail: boyko_1947@bk.ru

Anatoly F. Boyko, Doctor of technical sciences, Professor of the Department of Mechanical Engineering Technology, e-mail: boyko_1947@bk.ru

2Воронкова Марина Николаевна, кандидат технических наук, доцент кафедры технологии машиностроения, e-mail: mkuzko@mail.ru

Marina N. Voronkova, Candidate of technical sciences, Associate Professor of the Department of Mechanical Engineering Technology, e-mail: mkuzko@mail.ru

technological processes is given as well. CONCLUSIONS. The rational fields have been determined for the application of five methods of micro hole drilling. The promising directions of improving precision micro hole technology have been developed.

Keywords: micro holes, pin-hole punch, laser drilling, electron beam treatment, ion beam

Information about the article. Received July 23, 2018; accepted for publication August 28, 2018 2018; available online September 28, 2018.

For citation. Boyko A.F., Voronkova M.N. Analysis of micro hole drilling methods. Part 1. Proceedings of Irkutsk State Technical University. Vestnik Irkutskogo gosudarstvennogo tekhnicheskogo universiteta = Proceedings of Irkutsk State Technical University. 2018, vol. 22, no. 9, pp. 10-19. DOI: 10.21285/1814-3520-2018-9-10-19

Введение

История создания и развития методов получения микроотверстий знает более десятка их разновидностей в зависимости от свойств материала обрабатываемых деталей, формы и размеров микроотверстий, требований к точности и качеству поверхности отверстий, уровня развития машиностроительных технологий. Среди них наиболее известные и описанные в литературе [1-9]:

1. Механические методы.

2. Ионно-оптический.

3. Электронно-лучевой.

4. Лазерные.

5. Электрохимический.

6. Струйный электрохимический.

7. Метод литья.

8. Метод сборки.

9. Групповой способ вакуумного напыления.

10. Электроэрозионный.

Каждый метод имеет свои физические особенности, диапазон технологических возможностей, определенные технико-экономические показатели и в конкретный исторический период находил определенную производственную нишу в промышленности.

Цель исследования

В последние десятилетия в целом ряде отраслей промышленности (электронной, приборостроительной, медицинской, авиационной, аэрокосмической, инструментальной, автомобильной, электротехнической, оборонной и др.) существенно возросла потребность в высокопроизводительной обработке прецизионных микроотверстий диаметром 0,01-0,2 мм с точностью 1-5 мкм и шероховатостью обрабо-

танной поверхности Ra = 0,1-0,5 мкм, в том числе глубоких отверстий с соотношением глубины к диаметру до 25-30. В связи с этим целью настоящего исследований является определение наиболее эффективного метода получения прецизионных микроотверстий с точки зрения обеспечения требуемого качества отверстий и производительности процесса.

Материалы и методы исследования

Механические методы получения микроотверстий. Одним из ранних механических методов получения микроотверстий является метод давления.

Технологический процесс получения микроотверстий давлением использовали

для отверстий диаметром от 0,04 мм и более в деталях из нержавеющей и других сталей толщиной до 0,5 мм. Он включает ряд операций, выполняемых в определенной последовательности (рис. 1) [10].

Рис. 1. Последовательность операций получения микроотверстий давлением в деталях толщиной до 0,5 мм: 1 - деталь; 2 - прокладка; 3 - лунка; 4 - проколочный пуансон Fig. 1. Sequence of operations of micro hole punching in the parts with the thickness of up to 0.5 mm: 1 - part; 2 - spacer; 3 - indentation cup; 4 - pin-hole punch

Первой является операция по деформированию материала с целью образования лунок на его лицевой стороне и выпуклостей на противоположной (рис. 1, а). Для этого используют специальные про-колочные пуансоны и иногда проколочные пуансоны, выполненные с расчетом на вскрытие отверстий. Размеры этих пуансонов выбирают в зависимости от толщины прокалываемого материала.

При внедрении проколочного пуансона 4 в донышко детали 1, установленной на мягкой алюминиевой прокладке 2, происходит деформирование материала с образованием лунки на лицевой ее стороне и выпуклости 3 на противоположной (рис. 1, а). Затем производится сошлифовка выпуклостей с использованием абразивной пасты до появления отверстий, травление в кипящей концентрированной азотной кислоте и промывка водой. В результате этих процедур получается коническое отверстие диаметром в основании d1 = 0,03-0,04 мм (рис. 1, Ь). Внутри канала образуются заусенцы. Затем отверстие обрабатывают

коническим калибровочным пуансоном. При этом заусенцы выдавливаются наружу, формируется конический поясок высотой h1 и диаметром d2 (рис. 1, с). После этого производят обработку цилиндрическим калибровочным пуансоном. При этом образуется цилиндрический поясок диаметром d и высотой h (рис. 1, d). Выдавленные заусенцы удаляют путем полирования донышка детали.

В деталях толщиной 0,7-1,0 мм и более отверстия малого диаметра получают путем увеличения числа последовательных переходов обработки давлением. При этом пуансоны с малыми поперечными сечениями используют для продавливания остающейся тонкой перемычки, соответствующей цилиндрическому каналу.

Классическое сверление лезвийным инструментом отверстий диаметром менее 0,1 мм невозможно из-за отсутствия соответствующих сверл. Стандартные сверла диаметром 0,1 мм начали производить в 1960-х гг. [11]. Это спиральные малоразмерные сверла диаметром 0,1-1 мм с

утолщенным цилиндрическим хвостови-

3

ком3.

Однако на некоторых предприятиях были разработаны и использовались для сверления неглубоких микроотверстий специальные сверла диаметром 0,03-0,25 мм [1]. При этом применяли высокоточные пневматические станки, в которых вращение инструменту сообщалось воздушной турбинкой, выполненной за одно целое со шпинделем, имеющим подшипники в виде воздушных подушек. Применение воздушных турбинок исключает влияние вибраций, возникающих при вращении электродвигателя и шкивов. Скорость вращения регулируется изменением давления поступающего воздуха с помощью игольчатого клапана. Наибольшая частота вращения двигателя -150 000 об./мин. Величина подачи инструмента: для стали - 0,01 б мм/об., для чугуна - 0,03d мм/об., где б - диаметр сверла.

В начале 70-х гг. прошлого столетия в электронной промышленности СССР для освоения серийного производства рубиновых капилляров, используемых для микросварки полупроводников приборов, была разработана технология абразивного сверления микроотверстия.

Капиллярное отверстие в рубине сверлили на специально разработанной установке, имеющей воздушную турбину на 50-100 тыс. об/мин.

В качестве абразива применялась алмазная паста АСМ20 и АП1П. Общее время на абразивное сверление одного рубинового капилляра составляло 55-60 мин, причем 40 мин затрачивалось на сверление конуса.

Шероховатость обработанной поверхности ^ = 0,1-0,05 мкм, точность размеров отверстия - 0,002-0,003 мм.

По этой технологии получали микроотверстия диаметром от 0,02 мм и выше. Установка оснащалась специальным при-

способлением, оптическим прибором с 25-кратным увеличением и координатным столом с ценой деления отсчетных устройств 0,005 мм.

Таким образом, механические методы изготовления микроотверстий имеют весьма ограниченные возможности, особенно для получения отверстий диаметром менее 0,1 мм. Невозможно также получать микроотверстия в высокопрочных, твердых материалах (закаленные стали, высоколегированные стали, твердые сплавы, мине-ралокерамика и др.), а также отверстия глубиной более пяти диаметров. Следует отметить, что механическими методами изготовления микроотверстий владели только высококвалифицированные специалисты, имевшие иногда статус «тульского левши». Кроме того, механические методы были весьма трудоемки и не обеспечивали высокого качества изделий и стабильности процесса.

Развитие машиностроения, создание новых методов обработки материалов, возросшая потребность в производстве прецизионных деталей с микроотверстиями потребовали разработки более эффективных методов изготовления микроотверстий. К числу таких методов относятся электро-физикохимические методы.

Ионно-оптический метод получения микроотверстий основан на явлении катодного распыления, сопровождающего тлеющий разряд. Прошивание отверстия производят при помощи сфокусированного пучка ионов, направленного на обрабатываемую деталь [11]. Ионный пучок может пробивать отверстия в любых материалах любой твердости.

Для получения ионного пучка и осуществления процесса сверления микроотверстий используют ионную пушку, представляющую собой электровакуумный прибор, состоящий из герметизированного

3

ГОСТ 8034-76. Сверла спиральные малоразмерные диаметром от 0,1 до 1,5 мм с утолщенным цилиндрическим хвостовиком. Технические условия; утв. и введен в действие постановлением Госкомстандартов Совета Министров СССР от 06.10.1976 г. № 2292 (взамен ГОСТ 8034-67) / GOST 8034-76. Spiral small drills with the diameter from 0.1 to 1.5 mm with a thickened cylindrical tail. Specifications; approved and put into effect by the resolution of the State Committee for Standards of the Council of Ministers of the USSR of 6 November 1976 No. 2292 (in replacement of GOST 8034-67).

корпуса, внутри которого находится анод и катод, снабженный отверстием для выхода пучка. В ионной пушке используют катодно-лучевой газоразрядный источник ионов. Для этого между анодом и катодом прикладывают напряжение 12-25 кВ и устанавливают вакуум порядка 10-1 мм рт. ст., вследствие чего возникает самостоятельный газовый разряд. Используемая в пушке система электродов вызывает своеобразный процесс - автофокусировку ионов. В результате пучок фокусируется в тонкий шнур.

Момент появления микроотверстия в обрабатываемой детали регистрируют визуально через стеклянное окно или микроскоп. В момент появления в обрабатываемой детали отверстия его диаметр составляет 2-3 мкм. Если установку сразу же после появления отверстия не выключать, то отверстие начнет увеличиваться в диаметре. Меняя время обработки (рассверливания), можно получать отверстия заданного диаметра.

Таким образом, достоинствами ион-но-оптического метода получения микроотверстий является возможность обрабатывать любые токопроводящие и нетокопро-водящие материалы, а также широкий диапазон: от нескольких микрон до десятых долей миллиметра.

К недостаткам данного метода следует отнести:

- невысокую производительность процесса;

- нецилиндричность (конусность) получаемых отверстий и существенный разброс их размеров;

- проблематичность получения глубоких отверстий (свыше 10 диаметров);

- зависимость качества обработанной поверхности от структуры (зернистости) материала детали;

- необходимость дополнительного времени для создания вакуума в системе;

- невысокую точность относительного положения полученного отверстия.

Электронно-лучевой способ прошивки отверстий основан на выделении тепла при торможении электронного

пучка, проникающего в материал обрабатываемой детали. Обработка ведется в разряженной воздушной среде при давлении 10-1-10-4 Па. Вакуум обеспечивает необходимую длину пробега электронов, предохраняет от загрязнения элементы электронно-оптической системы и исключает пробой промежутка между катодом и анодом. Для сообщения электронам необходимой кинетической энергии прикладывают электрическое поле с напряжением 50-150 кВ, которое создается между катодом, эмитирующим электроны, и анодом, под которым расположена обрабатываемая деталь. Электронный луч фокусируется на детали в пятно диаметром 1-100 мкм при помощи магнитной и электростатической системы электронно-лучевой установки.

Диаметр пятна соответствует диаметру прошиваемого отверстия на выходе. На входе диаметр отверстия получается больше, чем на выходе, т. е. отверстие получается конусным. Кроме того, кромки на входе и выходе отверстия имеют плавные скругления. Уклон стенок отверстия составляет от десятых долей до нескольких градусов. На рис. 2 показана форма продольного сечения сквозного отверстия при размерной обработке электронным лучом.

А

Рис. 2. Типовой профиль отверстий, полученных электронно-лучевой обработкой Fig. 2. Typical profile of holes obtained by electron beam processing

Точность размеров и качество поверхности при прошивке микроотверстий зависят от рода материала, размеров от-

верстия (диаметра, глубины), параметров процесса, характеристик электронной пушки. Точность получаемых отверстий соответствует 7-9 квалитету, шероховатость поверхности ^ = 2-10 мкм.

Малые размеры сечения электронного луча как технологического инструмента определили его применение прежде всего в микроэлектронике для изготовления, например, микросхем с высокой плотностью монтажа, масок и трафаретов. Особой разновидностью размерной элекгронно-лучевой обработки является перфорация: получение мелких сквозных отверстий в металлических и керамических фильтрах, в пористых охлаждающих элементах камер сгорания ракетных двигателей, в лопатках турбин и др. Производительность перфорации зависит от мощности луча и толщины заготовки и может достигать 105 отверстий в секунду. Используется электроннолучевая обработка для прошивки малых отверстий в фильерах из различных твердых сплавов, керамики, стекла. Обычно глубина отверстий в фильерах составляет 1-3 мм, количество отверстий в фильерах достигает 500. В микроэлектронике распространена также электронно-лучевая резка заготовок из полупроводниковых материалов и ферритов на отдельные малоразмерные элементы и прошивание в них отверстий.

Таким образом, достоинствами элекгроннолучевого метода получения микроотверстий являются:

- возможность обработки всего диапазона микроотверстий: от 1 мкм до десятых долей миллиметра;

- возможность обработки любых материалов: токопроводящих, диэлектриков, полупроводников;

- высокая производительность процесса, особенно при обработке диэлектриков и перфорации тонколистовых материалов;

- возможность получения относительно глубоких отверстий: для металлов -до 15-20 диаметров отверстия, для диэлектриков - до 100-200 диаметров.

Недостатки метода:

- нецилиндричность получаемых отверстий (конусность, скругление кромок на входе и выходе отверстий);

- невозможность или трудность получения шероховатости обработанной поверхности, кг < 1-2 мкм;

- потеря производительности, связанная с необходимостью дополнительного времени для создания вакуума в рабочей камере;

- невозможность получения высокой точности положения получаемого отверстия относительно элементов конструкции детали;

- повышенная электроопасность от поражения электрическим током, ускоряющим напряжение до 150 кВ.

Лазерная прошивка микроотверстий основана на плавлении и испарении материалов в результате воздействия поверхностного или объемного (в зависимости от свойств облучаемого вещества) источника тепла, представляющего собой сфокусированный на малом участке интенсивный монохроматический когерентный световой луч. Как и электронно-лучевая обработка, лазерная технология относится к лучевым методам, однако имеет существенное преимущество: обработка осуществляется в обычной воздушной среде. При этом плотность потока энергии достигает 1013 Вт/м2.

Получение микроотверстий осуществляется чаще всего с помощью твердотельных импульсных лазеров за один или несколько импульсов. Многоимпульсная обработка применяется для получения глубоких отверстий малых диаметров с большим отношением глубины к диаметру, а также отверстий высокой точности.

Путем сочетания многоимпульсной обработки с фокусированием луча в виде цилиндрической световой трубки представляется возможным получать глубокие отверстия 7-9 квалитета точности.

Экспериментально установлено, что дно отверстия при лазерной обработке формируется в основном за счет испарения, а боковые стенки - за счет плавления

материала обрабатываемого изделия и вытекания жидкости при избыточном давлении паров в полости отверстия. Геометрическая форма отверстия существенно зависит от места расположения фокального пятна относительно поверхности детали. Следует отметить, что максимальный диаметр отверстия находится у его входной части. То есть, как и при электроннолучевой обработке, отверстия получаются конусными, но лазерная технология более производительна и экономична.

Метод получения микроотверстий с помощью лазера нашел распространение при изготовлении фильер, подшипников из кристаллических материалов для измерительных приборов, форсунок, часовых рубиновых камней, изделий электронной техники.

С большой эффективностью лазерная технология используется для прошивки малых отверстий в керамических материалах, в особенности при изготовлении отверстий диаметром, равным десятым и сотым долям миллиметра, и глубина которых более чем в 2 раза превышает диаметр [12].

В начале 70-х гг. прошлого столетия лазерную технологию стали использовать для прошивки микроотверстий в технических рубиновых камнях, годовой объем производства которых в мире достигает 1 млрд штук. В основном они применяются в часовой и приборостроительной промышленности. В настоящее время большинство часовых камней обрабатывают на лазерном оборудовании [13]. На нем прошивают отверстия диаметром 50-400 мкм и глубиной 200-750 мкм.

Перспективными направлениями для развития лазерной технологии прошивки микроотверстий являются:

- получение микроотверстий диаметром менее 3 мкм, создание лазеров с малой (менее 0,4 мкм) длиной волны излучения;

- повышение качества микроотверстий без снижения производительности создания мощных импульсных лазеров с длительностью импульса менее 10 мкм и ча-

стотой следования импульсов до 1 кГц, в том числе получение микроотверстий методом вырезки (трепанации).

Таким образом, достоинствами лазерного метода получения микроотверстий являются:

- широкий диапазон обработки микроотверстий: от 5 мкм и выше;

- возможность обработки любых материалов: токопроводящих, диэлектриков, полупроводников, независимо от их механических свойств;

- высокая производительность процесса, которая составляет от нескольких до сотен отверстий в минуту;

- возможность получения относительно глубоких отверстий - до 15-20 диаметров отверстия;

- возможность осуществления процесса в обычной воздушной среде.

Недостатки метода:

- нецилиндричность получаемых отверстий: конусность, скругление кромок на входе и выходе отверстий;

- трудность получения шероховатости обработанной поверхности, Rz < 1-2 мкм;

- невозможность получения высокой (микронной) точности расположения оси получаемого отверстия относительно элементов конструкции детали (в том числе из-за погрешности формы поперечного сечения лазерного луча);

- низкий КПД лазерных установок -не более 30%;

- повышенная опасность для глаз обслуживающего персонала от лазерного излучения как прямого, так и отраженного.

Электрохимическая прошивка отверстий малых диаметров представляет собой размерную электрохимическую обработку цельным катодом-инструментом без прокачки электролита через межэлектродный промежуток.

Инструмент для выполнения прошивочной операции (рис. 3) изготавливали из вольфрамовой проволоки 1, отожженной в печи при 1200-1300°С в течение 4-5 ч с последующим охлаждением вместе с печью [14].

Рис. 3. Катод-инструмент для прошивки отверстий малых диаметров: 1 - вольфрамовая проволока;

2 -эпоксидная композиция;

3 - стеклянная трубка Fig. 3. Cathode tool for flashing holes of small diameters: 1 - tungsten wire; 2 - epoxy composition;

3 - glass tube

В медном стержне 4 диаметром 6 мм высверливали отверстие, в котором с помощью припоя ПСр-70 крепили зачищенный конец вольфрамовой проволоки длиной 50-70 мм. На другом конце стержня нарезали резьбу для удобства присоединения к источнику питания. Корпус электрода-инструмента изготавливали из стеклянной трубки 3, с одной стороны которой вытягивали капилляр, помещали в него свободный конец вольфрамовой проволоки и впаивали металл в стекло. В стенке корпуса с помощью тонкого пламени газовой горелки прожигали отверстие, в которое вводили эпоксидную композицию 2. Боковое отверстие в корпусе запаивали стек-

лом, а верхний конец корпуса после разогрева до размягчения обжимали вокруг медного стержня и проводили отжиг остеклованного электрода. Для изготовления рабочей части катода конец капилляра с впаянной в него вольфрамовой проволокой отрезали алмазным кругом. Равномерный слой стеклянной изоляции на боковой поверхности катода получали растворением стекла в плавиковой кислоте на специальном приспособлении, обеспечивающем вращение катода вокруг его оси с минимальным радиальным биением. Так как травление стекла происходило и с торцевой поверхности, то выступающую вольфрамового проволоку стравливали в смеси соляной и азотной кислот.

Способ был применен для прошивки отверстий в твердосплавном инструменте для микросварки.

Прошивка осуществлялась в двух электролитах: фосфатном (30% Н3Р04) и хлоридно-щелочном (5% МИ4С1 + 10% М2С03 + 3% ЭДТАNa). В этих электролитах достигается полное растворение продуктов анодных реакций в результате связывания их в комплексные соединения, что очень важно при малой площади обработки.

Достоинствами электрохимического способа прошивки малых отверстий являются:

- простота технологии и оборудования;

- хорошее качество обработанной поверхности (^а = 0,4-0,8 мкм).

Недостатки метода:

- низкая производительность процесса (0,02-0,07 мм/мин);

- невысокая точность обработки;

- экологическая опасность, связанная с применением химически опасных электролитов.

Выводы

1. Исторически технология получения микроотверстий начиналась с механических методов. Однако эти методы имели ограниченные возможности по диапазону

диаметров обрабатываемых отверстий, их глубины, достигаемой точности, производительности процесса.

2. Возможности технологии получе-

ния микроотверстий были существенно расширены разработкой и промышленным применением электрофизикохимических методов обработки как по диапазону геометрических параметров отверстий, так и качественных показателей профиля. Впервые удалось получить отверстия диаметром несколько микрометров, стало возможным получать микроотверстия глубиной более 100 диаметров.

3. С точки зрения оптимального сочетания требований по качеству микроотверстий и производительности процесса наиболее перспективными являются электрофизико-химические методы обработки, среди которых наиболее эффективной представляется электроэрозионная обработка, которая будет подробно проанализирована во второй части статьи.

Библиографический список

1. Бойко А.Ф. Эффективная технология и оборудование для электроэрозионной прошивки прецизионных микроотверстий. Белгород: Изд-во БГТУ, 2010. 314 с.

2. Бойко А.Ф., Лойко А.М. Особенности процесса естественной эвакуации продуктов обработки при электроэрозионной прошивке микроотверстий // Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова. 2016. № 11. С. 128-131.

3. Кудеников Е.Ю., Бойко А.Ф. Исследование профиля прецизионных отверстий, получаемых методом электроэрозионной обработки // Вестник Белгородского государственного технологического университета им. В.Г. Шухова. 2017. № 3. С. 103-106.

4. Биленко С.В., Сарилов М.Ю., Бурдасов Е.Н., Мас-лацова А.Э. Исследование процесса электроэрозионного прошивания отверстий // Фундаментальные исследования. 2012. № 9 (ч. 4). С. 882-888.

5. Оглезнев Н.Д., Абляз Т.Р. Влияние режимов электроэрозионной обработки на точность получения отверстий // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2013. Т. 15. № 4 (2). С. 393-398.

6. Оглезнев Н.Д.Современное состояние и перспективы развития электроэрозионной обработки // Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2014. Т. 16. № 1 (2). С. 490-493.

7. Елисеев Ю.С., Саушкин Б.П. Электроэрозионная обработка авиационно-космической техники. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 437 с.

8. Ставицкий И.Б., Битюцкая Ю.Л. Назначение рациональных режимов электро-эрозионной обработки платины с использованием решений тепловой задачи Стефана // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2015. № 11. С. 60-71. DOI: 10.7463/1115.0826317

9. Саушкин Б.П. Электроэрозионная обработка: состояние и перспективы развития. Часть 2. Прошивка отверстий // РИТМ: ремонт, инновации, технологии, модернизации. 2012. № 9 (77). С. 20-24.

10. Красников В.Ф. Микротехнология // Машиностроитель. 1972. № 11. С. 41-43.

11. Левинсон Е.М. Отверстия малых размеров (методы получения). Л.: Машиностроение. 1977. 152 с.

12. Крылов К.И., Прокопенко В.Т., Митрофанов А.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: Машиностроение. 1998. 276 с.

13. Reiner S. Laserais herkzeng in der Fertingung // Phys und Didakt. 1976. 4. No. 3. P. 205-223.

14. Зенин В.В., Кондратьев В.П., Водянов Ю.М., Рыжков Ф.Н. Электрохимическая прошивка отверстий малых диаметров в твердосплавном инструменте для микросварки // Электронная обработка материалов. 1975. № 5. С. 85-87.

References

1. Boiko A.F. Effektivnaya tekhnologiya i oborudovanie dlya elektroerozionnoi proshivki pretsizionnykh mikroot-verstii [Effective technology and equipment for electro-erosive piercing of precision micro-holes]. Belgorod: BGTU Publ., 2010, 314 p.

2. Boiko A.F., Loiko A.M. Features of process of natural evacuation of products of erosion in case of electrical discharge machining microopenings. Vestnik Belgo-rodskogo gosudarstvennogo tekhnologicheskogo uni-versiteta im. V.G. Shukhova [Bulletin of BSTU named after V.G. Shukhov]. 2016, no. 11, pp. 128-131.

3. Kudenikov E.Yu., Boiko A.F. Research profile precision holes obtained by electrical discharge machining.

Vestnik Belgorodskogo gosudarstvennogo tekhnolog-icheskogo universiteta im. V.G. Shukhova [Bulletin of BSTU named after V.G. Shukhov]. 2017, no. 3, pp. 103-106.

4. Bilenko S.V., Sarilov M.Yu., Burdasov E.N., Maslatsova A.E. Study of the process of hole-making by electrical discharge machining. Fundamental'nye issle-dovaniya [Fundamental Research]. 2012, no. 9

5. Ogleznev N.D., Ablyaz T.R. Influence of electroero-sive processing modes on accuracy of receiving holes. Izvestiya Samarskogo nauchnogo tsentra Rossiiskoi akademii nauk [Izvestia of Samara Scientific Center of the Russian Academy of Sciences]. 2013, vol. 15,

no. 4

6. Ogleznev N.D. Current state and prospects of development the electroerosive processing. Izvestiya Samar-skogo nauchnogo tsentra Rossiiskoi akademii nauk [Izvestia of Samara Scientific Center of the Russian Academy of Sciences]. 2014, vol. 16, no. 1

7. Eliseev Yu.S., Saushkin B.P. Elektroerozionnaya obrabotka aviatsionno-kosmicheskoi tekhniki [Electro-erosive processing of aerospace equipment]. Moscow: Bauman Moscow State Technical University Publ., 2010, 437 p.

8. Stavitskii I.B., Bityutskaya Yu.L. Electrical discharge platinum machining optimization using Stefan problem solutions. // Nauka i obrazovanie: nauchnoe izdanie MGTU im. N.E. Baumana [Science and Education. Bauman Moscow State Technical University]. 2015, no. 11, pp. 60-71. DOI: 10.7463/1115.0826317.

9. Saushkin B.P. Electrical discharge machining: condition and development prospects. Part 2. Hole Punching.

Критерии авторства

Бойко А.Ф., Воронкова М.Н. имеют на статью равные авторские права и несут равную ответственность за плагиат.

Конфликт интересов

Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов.

RITM: remont, innovatsii, tekhnologii, modernizatsii [RHYTHM: Repair, Innovation, Technology, Modernization]. 2012, no. 9

10. Krasnikov V.F. Microtechnology. Mashinostroitel' [Machine Builder]. 1972, no. 11, pp. 41-43.

11. Levinson E.M. Otverstiya malykh razmerov

12. Krylov K.I., Prokopenko V.T., Mitrofanov A.S. Primenenie lazerov v mashinostroenii i priborostroenii [Application of lasers in mechanical engineering and instrument making]. Leningrad: Mashinostroenie Publ., 1998, 276 p.

13. Reiner S. Laserais herkzeng in der Fertingung. Phys und Didakt. 1976, 4, no. 3, pp. 205-223.

14. Zenin V.V., Kondrat'ev V.P., Vodyanov Yu.M., Ryzhkov F.N. Electrochemical piercing of small diameter holes in a carbide tool for microwelding. Elektron-naya obrabotka materialov [Electronic Processing of Materials]. 1975, no. 5, pp. 85-87.

Authorship criteria

Boyko A.F., Voronkova M.N. have equal author's rights and bear equal responsibility for plagiarism.

Conflict of interests

The authors declare that there is no conflict of interests regarding the publication of this article.