УПРАВЛЯЮЩИЙ МОДУЛЬ ДЛЯ УСТРОЙСТВА ДЛЯ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ

1. Управляющий модуль для устройства для ионной имплантации, включающий источник питания, содержащий:
- электрогенератор (HT) с заземленным положительным полюсом;
- первый переключатель (SW1), первый полюс которого соединен с отрицательным полюсом генератора (HT), и второй полюс которого соединен с выходным разъемом (S) источника питания; и
- второй переключатель (SW2), первый полюс которого соединен с выходным разъемом (S), и второй полюс которого соединен с нейтрализующим разъемом (N);
отличающийся тем, что он содержит токоизмерительную цепь (AMP) для измерения тока смещения, протекающего между вторым полюсом второго переключателя (SW2) и нейтрализующим разъемом (N).
2. Управляющий модуль по п. 1, отличающийся тем, что нейтрализующий разъем (N) заземлен.
3. Управляющий модуль по п. 1, отличающийся тем, что нейтрализующий разъем (N) соединен с положительным полюсом источника напряжения, отрицательный полюс которого заземлен.
4. Управляющий модуль по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что токоизмерительная цепь (AMP) представляет собой катушку, окружающую провод, соединяющий второй полюс второго переключателя (SW2) с нейтрализующим разъемом (N).
5. Управляющий модуль по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что токоизмерительная цепь (AMP) содержит измерительный резистор (Rm), соединенный между вторым полюсом второго переключателя (SW2) и нейтрализующим разъемом (N), интегрирующий конденсатор (Ci), соединенный параллельно измерительному резистору (Rm), а также цепь (U) для измерения напряжения, также соединенную параллельно измерительному резистору (Rm).
6. Управляющий модуль по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что он дополнительно содержит регулирующий конденсатор (Cr), размещенный между отрицательным полюсом генератора (HT) и землей.
7. Управляющий модуль по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что он содержит элемент (CUR) для вычисления тока питания, подаваемого генератором (HT), а также содержит управляющую цепь (СС) для вычисления тока для имплантации путем взятия разности тока питания и тока смещения (AMP).
8. Управляющий модуль по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что он содержит элемент (CUR) для вычисления тока для имплантации, подаваемого генератором (HT), и получения тока, создаваемого радиопомехой, подаваемого детектором (DES) вторичных электронов, а также он содержит управляющую цепь (СС) для вычисления ионного тока путем вычитания тока смещения (AMP) и тока, создаваемого радиопомехой, из тока питания.
9. Управляющий модуль по п. 8, отличающийся тем, что управляющая цепь (СС) также получает долю предварительно заданных сортов ионов согласно установленному спектрометром (SPC), причем управляющая цепь (СС) выделяет указанные доли в ионный ток для вычисления имплантируемой дозы.
10. Устройство для ионной имплантации, снабженное управляющим модулем по любому из пп. 1-9 и отличающееся тем, что содержит пластину (PPS) держателя подложки с присоединенным к ней выходным разъемом (S) источника (PS) питания.