СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕТЕРОПЕРЕХОДА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ/АМОРФНЫЙ ГИДРОГЕНИЗИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ ДЛЯ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И СОЛНЕЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ С ТАКИМ ГЕТЕРОПЕРЕХОДОМ

-2
2
1. Способ получения гетероперехода нанокристаллический кремний/аморфный гидрогенизированный кремний в образце, представляющем собой пленку аморфного гидрогенизированного кремния, нанесенную на кварцевую подложку, включающий облучение образца фемтосекундными лазерными импульсами в вакууме при давлении не более 2⋅10 мбар, с центральной длиной волны излучения 257-680 нм, частотой повторения импульсов 20-500 кГц, длительностью импульсов 30-500 фс и плотностью энергии лазерных импульсов 4-500 мДж/см.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что нанесение пленки на кварцевую подложку выполнено посредством плазмохимического осаждения слоя аморфного гидрогенизированного кремния на кварцевую подложку.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пленок используют пленки, полученные методом ионного распыления кремния.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве пленок используют пленки, полученные методом термического разложения моносилана.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что облучение образца лазерными импульсами осуществляют посредством сканирования сфокусированным пучком при скорости сканирования от 1 до 10 мм/с.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что расстояние между центрами сканированных полос составляет 40 мкм, а шаг сканирования выбирают таким образом, чтобы перекрытие лазерных пучков от соседних полос составляло не менее 80%.
7. Способ по п. 5, отличающийся тем, что диаметр пучка варьируют от 20 до 100 мкм.
8. Солнечный элемент, содержащий слой с гетеропереходом нанокристаллический кремний/аморфный гидрогенизированный кремний, полученный в соответствии с пп. 1-7, выполненный на пленке аморфного гидрогенизированного кремния и нанесенный на кварцевую подложку, нанесенный на этот слой металлический электрод и проводящий прозрачный подслой, нанесенный на кварцевую подложку.
9. Солнечный элемент по п. 8, отличающийся тем, что металлический электрод выполнен из алюминия или золота, или магния.