СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ, СОДЕРЖАЩИХ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ, И ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭТИМ СПОСОБОМ УСТРОЙСТВА

1. Способ изготовления микромеханических устройств, включающий в себя этап прямого соединения двух частей подложки, одна из которых (12, 20) сделана из кремния, и другая - из кремния или полупроводникового, керамического или окисного материала; причем функциональные элементы (11) и возможные вспомогательные элементы устройства присутствуют, по меньшей мере, на одной из этих частей подложки и покрытие (13, 24) из газопоглотительного материала присутствует на одной кремниевой части подложки; при этом способ включает в себя этапы, согласно которым: обеспечивают первую часть (10) подложки, на которой выполнены функциональные элементы (11) и возможные вспомогательные элементы устройства; обеспечивают вторую часть (20) подложки; причем упомянутые первая и вторая части подложки выполнены таким образом, что при их совмещении они образуют полость (14), в которой помещены упомянутые функциональные элементы, вспомогательные элементы и покрытие из газопоглотительного материала; сближают упомянутые две части подложки, чтобы сформировать упомянутую полость, и сваривают упомянутые две части подложки методом прямого соединения, при этом способ отличается тем, что упомянутое покрытие из газопоглотительного материала формируют на упомянутой кремниевой части подложки первой операцией формирования на кремниевой части подложки промежуточного слоя (23) из стеклянного, керамического или оксидного материала толщиной, по меньшей мере, 50 нм; и второй операцией - осаждением слоя (24) газопоглотительного материала толщиной не более 10 мкм на упомянутом промежуточном слое; и тем, что используемый газопоглотительный материал является сплавом, содержащим цирконий и, по меньшей мере, второй элемент, выбранный из группы, в которую входят молибден, ниобий, тантал и вольфрам; причем содержание циркония составляет 70-97 вес.%.
2. Способ по п.1, согласно которому вторым выбираемым элементом является или ниобий, или тантал и в упомянутом сплаве содержание циркония составляет 85-95 вес.%.
3. Способ по п.1, согласно которому упомянутый промежуточный слой сделан из оксида или нитрида кремния и его формируют за счет реагирования кремниевой части подложки с кислородом или азотом.
4. Способ по п.1, согласно которому упомянутый промежуточный слой сделан из оксида или нитрида кремния и его формируют имплантацией ионов кислорода или азота в кремний.
5. Способ по п.4, согласно которому после имплантации ионов выполняют тепловую обработку диффузией кислорода или азота в кремний.
6. Способ по п.1, согласно которому упомянутый промежуточный слой формируют катодным осаждением.
7. Способ по п.6, согласно которому катодное осаждение осуществляют в реакционно-способных условиях.
8. Способ по п.6, согласно которому катодное осаждение выполняют на ограниченном участке кремниевой части (20) подложки, причем согласно этому выполнению на упомянутую часть подложки помещают маску (21) с отверстием (22), которое ограничивает участок упомянутой кремниевой части подложки, на котором будет сформировано осаждение.
9. Способ по п.1, согласно которому упомянутую операцию осаждения слоя (24) газопоглотительного материала выполняют катодным осаждением.
10. Способ по п.9, согласно которому упомянутую операцию осаждения слоя (24) газопоглотительного материала выполняют только на промежуточном слое, при этом на кремниевую часть (20) подложки помещают маску с отверстием, размер которого меньше размера отверстия маски, используемой для формирования промежуточного слоя, или равен этому размеру, и устанавливают ее на кремниевой части (20) подложки таким образом, что газопоглотительный материал осаждается только на упомянутом промежуточном слое.
11. Способ по п.10, согласно которому операции формирования промежуточного слоя и слоя газопоглотительного материала выполняют с применением той же маски (21), располагаемой без изменения по отношению к кремниевой части (20) подложки.
12. Способ по п.1, согласно которому толщина слоя газопоглотительного материала находится в пределах 0,1-10 мкм.
13. Способ по п.1, согласно которому поверхности упомянутых двух свариваемых вместе частей подложки очищают и подвергают модифицирующим поверхность видам обработки перед сваркой.
14. Способ по п.13, согласно которому упомянутые виды обработки выбирают из группы, в которую входят полировка, притирка или химическая промывка.
15. Способ по п.1, согласно которому упомянутую операцию сварки упомянутых двух частей подложки выполняют методом прямого соединения в присутствии инертного газа под давлением ниже атмосферного.