ГИБКИЙ ЭЛЕМЕНТ ДЛЯ МИКРОНАСОСА

1. Микронасос, имеющий форму стопы, содержащей последовательно расположенные гибкую мембрану (2), камеру (4) насоса и закрывающую пластину (3), при этом камера (4) насоса сообщается с наружной средой, например, через гибкую мембрану (2), а мембрана (2) прикреплена к приводу (5), расположенному снаружи микронасоса, отличающийся тем, что мембрана (2) прикреплена к приводу (5) посредством по меньшей мере одного элемента, имеющего форму планки (6), жесткой вдоль своей главной оси и гибкой в направлении, перпендикулярном ее главной оси.
2. Микронасос по п.1, в котором привод (5) представляет собой пьезоэлектрический биморфный или мультиморфный привод.
3. Микронасос по п.1, в котором привод (5) представляет собой тепловой биморфный привод.
4. Микронасос по п.1, в котором привод (5) выполнен из сплава с памятью формы.
5. Микронасос по п.1, прикрепленный к жесткому несущему блоку (11).
6. Микронасос по п.1, в котором привод (5) имеет закрепленный конец (8) и свободный конец (9), расположенный на определенном расстоянии от мембраны (2), а один конец (10) планки (6) зафиксирован относительно свободного конца (9) привода.
7. Микронасос по п.6, в котором планка (6) прикреплена к приводу (5) посредством клея.
8. Микронасос по п.6, в котором планка (6) находится в непосредственном контакте с мембраной (2).
9. Микронасос по п.8, в котором планка (6) прикреплена к мембране (2) посредством клея.
10. Микронасос по п.9, в котором конец (14) планки (6), прикрепленный к мембране (2), имеет зубчатый контур для повышения прочности приклеивания.
11. Микронасос по п.1, в котором планка (6) выполнена из нержавеющей стали.
12. Микронасос по п.2, в котором привод (5) содержит электрические контакты (15), расположенные рядом с его закрепленным концом (8).
13. Микронасос по п.12, в котором привод (5) представляет собой мультиморфную приводную пластину.
14. Микронасос по любому из пп.5-13, в котором привод (5) имеет конец (8), закрепленный на жестком несущем блоке (11).
15. Микронасос по п.9, в котором планка (6) установлена без возможности непосредственного контакта с мембраной (2) при любых размерных погрешностях деталей, возникающих при их изготовлении, и любых смещениях относительного положения деталей во время сборки.
16. Микронасос по п.15, в котором пространство между планкой (6) и мембраной (2) заполнено клеем.