Сенсор ускорения по трем направлениям

их применения. В данной работе рассмотрены планарные совмещенные МОП-структуры (СМОП)[1].

Цель данной работы - разработка новой конструкции на основе СМОП и сравнительный анализ занимаемой ею площади.

- -носа носителей различного типа проводимости. Исток является частью подложки и может быть общим для нескольких СМОП. Исток поставляет в канал носители обоих знаков - электроны и дырки. Равновесный потенциал дырок должен быть выше равновесного потенциала электронов. Сток обеспечивает беспрепятственное перетекание обоих типов носителей из канала. Затвор СМОП управляет не только величиной, но и направлением движения тока. Это позволяет исключить необходимость введения нагрузочного элемента. Простейший функциональный СМОП-

- . функций можно использовать структуру с несколькими затворами. Многовходовый элемент может выполнять различные логические функции в зависимости от отношения проводимости каналов для электронов и дырок. Если проводимость для ( , ) ,

( , ), -полняется функция И-НЕ, в противном случае выполняется функция ИЛИ-НЕ.

Предлагается при проектировании СБИС использовать набор микрофрагментов, состоящий из топологических вариантов “Входов” и “Выходов” СМОП-элемента. “Вход” включает в себя четырехвходовый СМОП-элемент, “Выход” -межслойный переход металл-поликремний.

Сравнивая занимаемые площади блоков СБИС, составленных из СМОП и структурно-топологических примитивов (СТП) [2], можно сделать следующие выводы. Площадь блоков СТП пропорциональна 20п2, где п - число логических элементов в блоке, а площадь блоков СМОП - 242п. Отношение площадей блоков равно 0,083п. При числе элементов в блоке, равном 100, выигрыш по занимаемой площади составляет 8,3 раза.

ЛИТЕРАТУРА

1. Раки тин В.В., Филипов ЕМ., Пензин ОМ. Планарные элементы на совмещенных МОП-транзисторах // Микроэлектроника. 1998. Т. 27, № 3. С. 190-193.

2. . ., . . -ротопологии фрагментов СБИС // Изв. вузов СССР. Радиоэлектроника. 1988. Т. 31. №9. С. 24-31.

УДК 621.382.8

Б.Г. Коноплев, И.Е. Лысенко СЕНСОР УСКОРЕНИЯ ПО ТРЕМ НАПРАВЛЕНИЯМ

Целью данной работы является разработка конструкции и технологии изготовления интегрального пьезорезистивного сенсора ускорения, который позволяет производить измерения одновременно по трем направлениям.

Разработанная конструкция содержит два вертикальных балочных акселерометра, изготовленных с помощью трехмерной интегральной микросборки, и один горизонтальный балочный акселерометр.

Разработанные акселерометры изготовляются с использованием - стандарт-

- .

изготавливаются дополнительные микроструктуры, используемые в качестве опор. Микроструктуры опор изготавливают интегрально-совмещенными с микрострук-, -

.

Микросборка вертикальных микроструктур осуществляется с использованием магнитной активации (рис.) [1].

Магнитное приведение в действие микроструктур осуществляется прикладыванием внешнего магнитного поля к микромагниту из гальванически осажденного слоя NiFe. Под воздействием внешнего магнитного поля происходит угловое смещение микро-,

объемом и составом магнитного материала, а также жесткостью шарниров крепления [1].

В разработанной конструкции угловое смещение микроструктур при трехмерной интегральной микросборке определяется объемом осажденного магнитного материала, что позволяет упростить технологический про. -лерометра осаждается больше магнитного , . После изготовления вертикальная структура находится в горизонтальном положении (рис.1,а). Если прикладывается внешнее магнитное поле, вначале вертикальное положение принимает микроструктура, содержащая акселерометр (рис.1,6). Затем в вертикальное положение приводятся опоры, которые после отключения магнитного поля будут удерживать акселерометр в вертикальном положении (рис.1,в).

ЛИТЕРАТУРА

Yong Yi, Chang Liu. Mechanically-Stable Micro Assembly Using Magnetic Actuation. MicroActuators, Sensor and Systems Group (MASS). http://www.mass.com.

Рис.1