КАТОДНАЯ МИШЕНЬ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ изготовления катодной мишени, содержащий получение заготовки катодной мишени из металла заданного химического состава, ее механическую обработку для придания требуемой формы, отличающийся тем, что расплавленный металл заливают в керамическую форму для получения слитка-электрода цилиндрической формы, затем полученный слиток-электрод для исключения биения при осевом вращении обтачивают, после чего его при вращении расплавляют плазмой для получения сферических гранул, затем расчетное количество сферических гранул собирают и в вакууме засыпают в капсулу кольцевой формы для образования полости в мишени, а капсулу заваривают, после чего сферические гранулы в капсуле подвергают горячему изостатическому прессованию, затем производят разгерметизацию капсулы кольцевой формы и осуществляют механическую очистку и механическую обработку образовавшейся заготовки полой катодной мишени.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что механическую очистку полой катодной мишени осуществляют путем снятия с нее составных частей капсулы, а механическую обработку производят обточкой для придания требуемых геометрических параметров.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что горячее изостатическое прессование гранул в капсуле производят при давлении Р=150÷160 МПа, температуре Т=1200±10 С, при этом время выдержки составляет 2 ч.
4. Катодная мишень, изготовленная способом по п.1, выполнена полой из заданного химического состава металла, отличающаяся тем, что полость катодной мишени выполнена цилиндрической, а наружная поверхность катодной мишени эквидистантна поверхности полости, при этом катодная мишень состоит из спрессованных в условиях горячего изостатического прессования сферических гранул диаметром 50÷400 мкм заданного химического состава металла на основе никеля или на основе кобальта для обеспечения высокой плотности и для обеспечения стабильных геометрических размеров при разрушении катодной мишени в процессе распыления.
5. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе никеля включает 18-22% Со; 18-22% Сr: 11-13% Аl; 0,2-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Cu.
6. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе никеля включает 18-22% Сr; 11-13,5% Аl; 0,3-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
7. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе кобальта включает 18-22% Сr; 11-13% Аl; 0,2-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
8. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе кобальта включает 22-24% Сr; 11-13% Аl; 0,2-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
9. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе никеля включает 6-10% Со; 18-22% Сr; 11-13% Аl; 0,2-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
10. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе кобальта включает 6-10% Ni; 22-24% Сr; 11-13% Аl; 0,2-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
11. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что заданный химический состав металла на основе кобальта включает 18-25% Ni; 22-24% Сr; 11-13% Аl; 0,3-0,6% Y и примеси не более 0,3% Fe; 0,2% Si; 0,05% С; 0,05% Сu.
12. Катодная мишень по п.4, отличающаяся тем, что плотность катодной мишени достигает не менее 98%.