СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОВОКУПНОЙ УТЕЧКИ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ, А ТАКЖЕ ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА

1. Способ определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- прекращение подачи технологического газа к технологической камере (10),
- подача несущего газа в технологическую камеру (10), перекачивание несущего газа и газа утечки посредством насосного устройства (16),
- измерение содержания газового компонента перекачиваемого газа и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основании измеренного содержания газового компонента.
2. Способ по п.1, в котором несущий газ подают в технологическую камеру (10) с постоянным известным расходом.
3. Способ по п.1, в котором содержание газового компонента измеряют в об.%.
4. Способ по п.1, в котором в качестве несущего газа используют инертный газ и/или измеряют содержание кислорода.
5. Способ по п.1, в котором в зависимости от установленного верхнего предела совокупной утечки не происходит запуск установки для производства при превышении верхнего предела.
6. Способ по п.5, в котором при установке верхнего предела совокупной утечки или при определении совокупной утечки учитывают составные части технологического газа и/или выделяющиеся при процессе газы.
7. Способ по п.6, в котором учтенные технологические газы являются кислородом и/или горючими газами.
8. Способ по п.1, в котором способ выполняют с регулярными интервалами и/или, прежде всего, перед каждым стартом процесса.
9. Способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки с технологической камерой (10) и соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16) с шагами:
- измерение содержания газового компонента во время рабочего процесса и
- определение совокупной утечки вакуумной установки на основе измеренного содержания газового компонента и расхода технологического газа.
10. Способ по п.9, в котором измеряют газовый компонент кислород и/или содержание водорода в технологическом газе известно.
11. Способ по п.9, в котором содержание кислорода измеряют в об.% и/или содержание водорода измеряют в об.%.
12. Способ по п.9, в котором при превышении первого предельного значения генерируют предупредительный сигнал и/или при превышении второго предельного значения происходит автоматическое выключение вакуумной установки.
13. Способ по п.9, в котором содержание газового компонента определяют за насосным устройством (16) по направлению потока.
14. Способ цикличного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.1-8, в котором во время производственного процесса дополнительно выполняют способ непрерывного определения совокупной утечки вакуумной установки по одному из пп.9-13.
15. Вакуумная установка, в которой предусмотрена возможность выполнения способа по одному из пп.1-14, с
- технологической камерой (10),
- соединенным с технологической камерой (10) насосным устройством (16).
- расположенным после технологической камеры (10) по направлению потока датчиком (22) для определения содержания газового компонента и
- соединенным с датчиком (22) анализирующим устройством (26) для определения совокупной утечки (16).
16. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся тем, что датчик расположен в отводе (20), прежде всего в байпасе соединенного с выпуском насосного устройства (16) трубопровода (18).
17. Вакуумная установка по п.15 или 16, отличающаяся расположенным за насосным устройством (16) по направлению потока устройством (19) очистки отходящих газов, перед которым установлен датчик (22).
18. Вакуумная установка по п.15, отличающаяся соединенным с насосной камерой устройством (28, 30) подачи несущего газа.