УСТРОЙСТВО ПОДВИЖКИ

1. Устройство подвижки, включающее в себя основание (1), на котором установлен базовый элемент (2), также установлен первый передаточный элемент (3) с первым приводом по координате X (4) и первым подвижным элементом (5), сопряженный со вторым передаточным элементом (6), на котором расположен второй подвижный элемент (7) и второй привод по координате Y (8), посредством переходного элемента (9), включающее также каретку (10), расположенную на базовом элементе (2) с возможностью перемещения по координатам X, Y, и держатель образца (11), сопряженный с кареткой (10), отличающееся тем, что каретка (10) упруго сопряжена с переходным элементом (9) по координате Z, перпендикулярной плоскости координат X, Y.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что упругое сопряжение каретки (10) и переходного элемента (9) осуществлено посредством второго передаточного элемента (6).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что упругое сопряжение каретки (10) и переходного элемента (9) осуществляется посредством плоской пружины (15).
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что упругое сопряжение каретки (10) и переходного элемента (9) выполнено в виде плоской перфорированной пружины (16).
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что переходной элемент (9) выполнен в виде рельсовой направляющей.
6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что переходной элемент (9) выполнен в виде плоской пружины.
7. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каретка (10) установлена на базовом элементе (2) посредством первого промежуточного элемента (17) и второго промежуточного элемента (18), подключенных к модулю контроля давления (19) и обеспечивающих вакуумный прижим.
8. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каретка (10) установлена на базовом элементе (2) посредством первого промежуточного элемента (17) и второго промежуточного элемента (18), подключенных к модулю контроля давления (19) и обеспечивающих аэростатический эффект.
9. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каретка (10) установлена на базовом элементе (2) посредством трех приводов (22) по координате Z.
10. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первый привод (4) включает первый переходной элемент (50), сопряженный со вторым переходным элементом (51) и третьим переходным элементом (52), включает также первый двигатель (53) и второй двигатель (54), при этом первый переходной элемент (50) соединен с первым подвижным элементом (5), второй переходной элемент (51) соединен с первым двигателем (53) с возможностью отсоединения от него, третий переходной элемент (52) соединен со вторым двигателем (54) с возможностью отсоединения от него.