МЭМС (MEMS)-СТРУКТУРА С ГИБКОЙ МЕМБРАНОЙ И УСОВЕРШЕНСТВОВАННЫЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ АКТИВАЦИОННЫЙ МЕХАНИЗМ

1. МЭМС (MEMS)-структура, содержащая гибкую мембрану (6), имеющую основную продольную ось (6a), которая определяет продольное направление (X), по меньшей мере одну опору (3, 3') под гибкой мембраной (6), электрический опускающий активационный механизм (7), способный сгибать гибкую мембрану (6) в нижнее форсированное положение, электрический поднимающий активационный механизм (8), способный сгибать мембрану (6) в верхнее форсированное положение, причем электрический опускающий активационный механизм (7) или электрический поднимающий активационный механизм (8) содержит активационную область (7c или 8c), которая проходит под частью мембраны (6) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на мембрану (6) одновременно по обе стороны от указанной по меньшей мере одной опоры (3) в продольном направлении (X).
2. МЭМС (MEMS)-структура по п.1, в которой мембрана (6) состоит из гибкой функциональной части (60), находящейся выше указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') и способной сгибаться вверх или вниз под действием эффекта рычага, создаваемого по меньшей мере одной опорой (3, 3'), и по меньшей мере одной гибкой боковой нефункциональной части (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y) и проходящей по обе стороны по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем активационная область (7 с) электрического опускающего активационного механизма (7) или активационная область (8c) электрического поднимающего активационного механизма (8) проходит под по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b) и способна создавать тянущие силы, воздействующие на по меньшей мере одну боковую нефункциональную часть (61b) мембраны (6) одновременно с обеих сторон по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X).
3. МЭМС (MEMS)-структура по п.2, в которой мембрана (6) содержит по меньшей мере две боковые гибкие нефункциональные части (61b), расположенные по обе стороны от функциональной части (60) мембраны (6) в поперечном направлении (Y).
4. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, дополнительно содержащая подложку (1), в которой функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем указанная центральная нефункциональная часть (61a) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере одной боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), и в которой зазор (g2) в исходном положении между подложкой (1) и указанной боковой нефункциональной частью (61b) меньше, чем зазор (g1) в исходном положении между функциональной частью (60) мембраны и подложкой (1).
5. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, в которой функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем указанная центральная нефункциональная часть (61a) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), находящейся за пределами по меньшей мере одной опоры (3,3') в поперечном направлении (Y), и которая проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), и толщина боковой нефункциональной части (61b) меньше, чем толщина функциональной части (60) мембраны.
6. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, дополнительно содержащая подложку (1), в которой функциональная часть (60) мембраны (6), вытянута по меньшей мере на одном конце в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами указанной по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и проходит по обе стороны указанной по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем зазор (g2) в исходном положении между подложкой (1) и указанной боковой нефункциональной частью (61b) меньше, чем зазор (g1) в исходном положении между центральной нефункциональной частью (61a) мембраны и подложкой (1).
7. МЭМС (MEMS)-структура по п.2 или 3, где функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута по меньшей мере с одного конца в продольном направлении (X) центральной нефункциональной частью (61a), причем функциональная часть (60) мембраны (6) вытянута в поперечном направлении по меньшей мере боковой нефункциональной частью (61b), расположенной за пределами по меньшей мере одной опоры (3, 3') в поперечном направлении (Y), и которая проходит по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3 или 3') в продольном направлении (X), причем толщина боковой нефункциональной части (61b) меньше, чем толщина центральной нефункциональной части (61a) мембраны.
8. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где электрический опускающий активационный механизм (7) включает активационную область (7c), проходящую под частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную часть мембраны (6) одновременно по обе стороны от по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X), и электрический поднимающий активационный механизм (8) включает активационную область (8c), проходящую под другой частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную другую часть мембраны (6) с обеих сторон от по меньшей мере одной опоры (3, 3') в продольном направлении (X).
9. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) находится выше по меньшей мере двух опор (3, 3'), разнесенных друг от друга в продольном направлении (X), причем электрический поднимающий активационный механизм (7) или электрический опускающий активационный механизм (8) включает для каждой опоры (3, 3') активационную область (7c или 8c), проходящую под частью мембраны (6) и способную создавать тянущие силы, воздействующие на указанную часть мембраны (6) одновременно по обе стороны от соответствующих опор (3 и 3') в продольном направлении (X).
10. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является свободной мембраной, у которой оба конца (6b, 6c) не прикреплены к подложке (1), и поддерживается в исходном положении по меньшей мере одной опорой.
11. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является консольной мембраной, которая закреплена на одном конце (6а) к подложке (1).
12. МЭМС (MEMS)-структура по любому из пп.1, 2 или 3, где мембрана (6) является двузажимной мембраной (6) и прикреплена двумя концами (6b, 6c) к подложке (1).