СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОПРИБОРА

1. Способ изготовления микроприбора, включающий процедуры, в которых структуру прибора или части прибора формируют в одном материале (первый материал), а затем преобразуют (конвертируют) этот материал в другой материал (второй материал).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в первый материал для его конвертации вводят конвертирующий материал.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что конвертирующий материал вводят диффузией или ионным внедрением.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в первый материал вводят легирующие примеси.
5. Способ по п.1 или 4, отличающийся тем, что первый и второй материалы используют полупроводниковые, а до конвертации вводят в первый материал легирующую примесь или легирующие примеси, являющиеся донорными или/и акцепторными для второго материала.
6. Способ по п.4, отличающийся тем, что до конвертации формируют поверхностные источники легирующей примеси (проводят загонку), а дальнейшее распределение легирующей примеси (разгонку) совмещают с процессом конвертации.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что конвертируемый материал подвергают ионной или иной корпускулярной бомбардировке на глубину требуемой конвертации с дозой и энергиями ионов или других частиц, достаточными для обеспечения эффективной диффузии конвертирующей примеси и/или для последующей перестройки структуры, и проводят отжиг.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что после ионной бомбардировки проводят или не проводят диффузию конвертирующей примеси или конвертирующей и легирующей примесей и проводят отжиг.
9. Способ по п.7, отличающийся тем, что ионную бомбардировку производят ионами конвертирующего материала, или ионами легирующей примеси, или ионами первого материала, или комбинацией перечисленных ионов.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что микроприбор формируют в слое первого материала, толщина которого находится в пределах, достижимых при выбранном способе конвертации.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что конвертируют слой толщиной меньше толщины микроприбора или его элемента.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что конвертируемый слой разделяют разрезами (бороздами) на участки, размеры которых определяют по прогнозируемым механическим напряжениям, а также по конструкции формируемых приборов.
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что первым материалом является кремний, а вторым - карбид кремния.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что конвертацию кремния в карбид кремния производят в среде, содержащей органическое и/или кремнийорганическое вещество.
15. Способ по п.13, отличающийся тем, что конвертацию производят путем ионного внедрения углерода, или кремния, или легирующей примеси, или их комбинации и последующего отжига.