РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ ПЛОСКОГО МАГНЕТРОНА И СПОСОБ ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

1. Распылительный узел плоского магнетрона, содержащий по меньшей мере одну плоскую магнитную систему, установленную с возможностью ее вращения вокруг оси (первая ось), перпендикулярной поверхности распыляемой мишени, и привода вращения вокруг этой оси, отличающийся тем, что по меньшей мере одна магнитная система установлена с возможностью одновременного вращения вокруг дополнительной оси (дополнительная ось), параллельной первой оси и вращающейся вокруг нее, причем магнитная система несимметрична относительно дополнительной оси, а распылительный узел содержит привод вращения относительно дополнительной оси.
2. Распылительный узел по п.1, отличающийся тем, что содержит водило, установленное под распыляемой мишенью так, что одна ось его вращения совпадает с первой осью распылительного узла, а вторая ось совпадает с дополнительной осью вращения установленного на нем носителя магнитной системы.
3. Распылительный узел по п.1, отличающийся тем, что водило выполнено в виде диска (параллельного рабочей плоскости мишени), ось вращения которого совпадает с первой осью распылительного узла, и на этом дисковом водиле установлен по меньшей мере один носитель магнитной системы с возможностью вращения вокруг своей дополнительной оси.
4. Распылительный узел по п.3, отличающийся тем, что на диске-водиле установлено два или больше носителей одинаковых или разных магнитных систем, оси вращения которых (дополнительные оси) находятся на одинаковом или различном расстоянии от первой оси.
5. Распылительный узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что носитель магнитной системы выполнен заодно с магнитной системой в виде пластины из магнитного материала, на которой несимметрично дополнительной оси вращения установлено два замкнутых геометрически подобных вложенных один в другой контура магнитов, причем внешний контур создает магнитное поле, перпендикулярное пластине и направленное в одну сторону, а внутренний - магнитное поле противоположного направления.
6. Распылительный узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что приводы вращения вокруг первой и дополнительной (или каждой из дополнительных) осей выполнены в виде отдельных электроприводов.
7. Распылительный узел по любому из пп.2-4, отличающийся тем, что привод вращения вокруг дополнительной оси выполнен в виде планетарной зубчатой передачи, в которой закрепленный на водиле или диске-водиле носитель (или каждый такой носитель) магнитной системы выполнен в виде шестерни-сателлита планетарной передачи, находящейся во взаимодействии с неподвижной коронной или солнечной шестерней.
8. Распылительный узел по п.7, отличающийся тем, что носители в виде шестерен-сателлитов, установленные на диске-водиле на разных или одинаковых расстояниях от его центра вращения (от первой оси), имеют такие диаметры, что находятся в зацеплении с общей коронной или солнечной шестерней.
9. Способ использования распылительного узла магнетрона по п.6, отличающийся тем, что угловые скорости вращения магнитной системы вокруг первой и дополнительной (дополнительных) осей задают выбранной программой управления приводами вращения.