ПРИБОР И СПОСОБ ДЛЯ ОЧИСТКИ ЧАСТИ ПЛОЩАДИ ПОДЛОЖКИ

1. Прибор для очистки части площади подложки, в частности фотошаблона, содержащий:
чистящую головку, имеющую нижнюю поверхность, выполненную с возможностью расположения над подлежащим очистке участком подложки и в непосредственной близости от него, причем нижняя поверхность имеет образованное в ней центральное отверстие, первую кольцеобразную канавку, окружающую центральное отверстие, и по меньшей мере вторую канавку, расположенную между первой кольцеобразной канавкой и центральным отверстием, причем первая кольцеобразная канавка соединена по текучей среде с первым отверстием, обеспечивающим соединение с внешним источником подачи, а вторая кольцеобразная канавка соединена по текучей среде со вторым отверстием, обеспечивающим соединение с внешним источником подачи;
механизм подачи ленты, выполненный с возможностью подачи абразивной ленты к центральному отверстию в нижней поверхности чистящей головки, так что часть абразивной ленты выступает из него;
трубопровод для жидкой среды, имеющий выход, предназначенный для подачи жидкости к тыльной стороне абразивной ленты в центральном отверстии или вблизи него.
2. Прибор по п. 1, в котором нижняя поверхность является по существу плоской.
3. Прибор по п. 1, в котором по меньшей мере одна вторая канавка содержит две канавки, которые расположены с противоположных сторон центрального отверстия.
4. Прибор по п. 1, в котором вторая канавка является кольцеобразной канавкой, окружающей центральное отверстие.
5. Прибор по п. 1, который дополнительно содержит источник жидкой среды и источник вакуума, причем источник жидкой среды соединен со вторым отверстием, а источник вакуума соединен с первым отверстием.
6. Прибор по п. 1, который дополнительно содержит источник жидкой среды и источник вакуума, причем источник жидкой среды соединен с первым отверстием, а источник вакуума соединен со вторым отверстием.
7. Прибор по п. 1, в котором чистящая головка является монолитным телом из материала, имеющим образованные в нем внутренние каналы для соединения первой и второй канавок с первым и вторым отверстиями соответственно.
8. Прибор по п. 1, который дополнительно содержит первую группу проточных отверстий, открытых в первую канавку, и вторую группу проточных отверстий, открытых во вторую канавку, причем первая и вторая группа проточных отверстий соединены с общим каналом, соединяющим первую группу с первым отверстием, а вторую группу со вторым отверстием.
9. Прибор по п. 1, в котором по меньшей мере одна из канавок переходит в канал, соединяющий соответствующую канавку с соответствующим отверстием.
10. Прибор по п. 1, в котором проходное сечение по меньшей мере одного из каналов, соединяющего одну из канавок с соответствующим отверстием, уменьшается от соответствующего отверстия к соответствующей канавке.
11. Прибор по п. 1, который дополнительно содержит балку и механизм перемещения, причем балка шарнирно прикреплена к механизму перемещения на своем первом концевом участке, а чистящая головка прикреплена ко второму концевому участку балки, при этом механизм перемещения выполнен с возможностью перемещения балки и, тем самым, чистящей головки по заданной траектории.
12. Прибор по п. 11, в котором механизм перемещения является линейным механизмом перемещения и выполнен с возможностью перемещения балки по траектории, которая по существу параллельна продолжению балки.
13. Прибор по п. 11, в котором механизм подачи ленты выполнен с возможностью подачи ленты в направлении центрального отверстия в нижней поверхности чистящей головки, которое выровнено с направлением движения механизма перемещения.
14. Прибор по п. 11, который дополнительно содержит контроллер, выполненный с возможностью управления механизмом подачи ленты и механизмом перемещения, так что скорость подачи ленты синхронизирована с движением механизма перемещения.
15. Прибор по п. 11, в котором механизм подачи ленты содержит катушку подачи ленты, катушку приема ленты и по меньшей мере один направляющий элемент для направления ленты от катушки подачи ленты к центральному отверстию в нижней поверхности чистящей головки для выступания из нее на заданное расстояние и к катушке приема ленты, причем катушка подачи ленты и катушка приема ленты расположены с противоположных сторон центрального отверстия в нижней поверхности чистящей головки.
16. Прибор по п. 15, который содержит средство уравновешивания, выполненное с возможностью обеспечения прикладывания постоянного нажимного усилия ленты к поверхности подложки, подлежащей очистке, посредством перемещения груза вдоль балки на основе по меньшей мере одного из следующего: количество ленты, перемещающейся от катушки подачи ленты к катушке приема ленты, и датчик, определяющий нажимное усилие, прикладываемое лентой к поверхности подложки.
17. Способ очистки части площади подложки, в частности фотошаблона, включающий:
обеспечение чистящей головки, имеющей нижнюю поверхность, причем нижняя поверхность имеет образованное в ней центральное отверстие, первую кольцеобразную канавку, окружающую центральное отверстие, и по меньшей мере вторую канавку, расположенную между первой кольцеобразной канавкой и центральным отверстием;
обеспечение механизма подачи ленты, выполненного с возможностью подачи абразивной ленты к центральному отверстию в нижней поверхности чистящей головки, так что часть абразивной ленты выступает из него;
расположение выступающей части абразивной ленты в контакте с участком положки, подлежащим очистке, чтобы таким образом расположить нижнюю поверхность чистящей головки в непосредственной близости от участка подложки, подлежащего очистке;
подачу жидкости к тыльной стороне абразивной ленты в центральном отверстии или вблизи него, так что по меньшей мере часть абразивной ленты, выступающей из центрального отверстия, смачивается;
обеспечение относительного перемещения абразивной ленты и участка поверхности подложки, подлежащего очистке;
нанесение чистящей среды на участок поверхности подложки, подлежащий очистке, с помощью по меньшей мере одной первой канавки или по меньшей мере одной второй канавки; и
прикладывание всасывающего усилия к другой канавке, т. е. к по меньшей мере одной второй канавке или по меньшей мере одной первой канавке.
18. Способ по п. 17, в котором величина выступания определяет зазор между поверхностью подложки и нижней поверхностью чистящей головки.
19. Способ по п. 17, в котором чистящая среда является жидкой средой, причем жидкую среду подают с помощью второго отверстия, а всасывающее усилие прикладывают к первому отверстию.
20. Способ по п. 17, в котором чистящая среда является жидкой средой, причем жидкую среду подают с помощью первого отверстия, а всасывающее усилие прикладывают ко второму отверстию.
21. Способ по п. 17, в котором усилие абразивной ленты, действующее на подложку, составляет от 0,1 до 5 Н, предпочтительно приблизительно 1 Н.
22. Способ по п. 17, в котором обеспечение относительного перемещения абразивной ленты и участка поверхности подложки, подлежащего очистке, содержит по меньшей мере одно из следующего: перемещение ленты между катушкой подачи ленты и катушкой приема ленты и перемещение чистящей головки по заданной траектории.
23. Способ по п. 22, в котором чистящую головку перемещают по линейной траектории, которая выровнена с направлением продолжения выступающей части ленты.
24. Способ по п. 22, в котором перемещают как ленту, так и чистящую головку, причем механизмом подачи ленты для перемещения ленты и механизмом перемещения для перемещения чистящей головки управляют таким образом, что скорость перемещения ленты синхронизирована со скоростью перемещения чистящей головки.
25. Способ по п. 17, в котором используют средство уравновешивания, выполненное с возможностью обеспечения прикладывания постоянного нажимного усилия ленты к поверхности подложки, подлежащей очистке, посредством перемещения груза вдоль балки на основе по меньшей мере одного из следующего: количество ленты, перемещающейся от катушки подачи ленты к катушке приема ленты, и датчик, определяющий нажимное усилие, прикладываемое лентой к поверхности подложки.
26. Способ по п. 17, в котором подложка является фотошаблоном, причем способ используют для удаления клея, в частности полосы клея для приклеивания пленки, с фотошаблона.
27. Способ по п. 17, в котором используют прибор по п. 1.