ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ СИНТЕТИЧЕКОГО ДИОКСИДА КРЕМНИЯ

1. Плазменная горелка для получения синтетического диоксида кремния, содержащая:
наружную трубку из кварцевого стекла, имеющую первую длину и первый диаметр поперечного сечения, а также первый конец, соединенный с основанием, и второй конец, ориентированный к подложке, причем указанная наружная трубка из кварцевого стекла окружена индукционной катушкой;
внутреннюю трубку из кварцевого стекла, имеющую вторую длину и второй диаметр поперечного сечения, а также первый конец, соединенный с указанным основанием, и второй конец, ориентированный к указанной подложке, причем указанный второй диаметр поперечного сечения является меньшим, чем указанный первый диаметр поперечного сечения, так что указанная внутренняя трубка из кварцевого стекла расположена по существу параллельно и внутри указанной наружной трубки из кварцевого стекла;
среднюю трубку из кварцевого стекла, имеющую третью длину и третий диаметр поперечного сечения, а также первый конец, соединенный с указанным основанием, и второй конец, ориентированный к указанной мишени, причем указанный третий диаметр поперечного сечения является меньшим, чем указанный первый диаметр поперечного сечения, и большим, чем указанный второй диаметр поперечного сечения, так что указанная средняя трубка из кварцевого стекла расположена по существу параллельно и между указанной наружной трубкой из кварцевого стекла и указанной внутренней трубкой из кварцевого стекла для обеспечения прохода экранирующего газа между указанной средней трубкой из кварцевого стекла и указанной наружной трубкой из кварцевого стекла и для обеспечения прохода плазменного газа между указанной внутренней трубкой из кварцевого стекла и указанной средней трубкой из кварцевого стекла с получением факела плазмы, когда к указанной индукционной катушке подводится энергия;
первый кольцевой диск из кварцевого стекла, соединенный с наружной стороной указанного второго конца указанной наружной трубки из кварцевого стекла;
второй кольцевой диск из кварцевого стекла, соединенный с наружной стороной указанного второго конца указанной средней трубки из кварцевого стекла, при этом форма течения указанного экранирующего газа определяется указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным вторым кольцевым диском из кварцевого стекла, а указанный второй конец указанной средней трубки из кварцевого стекла выступает выше указанного второго конца указанной наружной трубки из кварцевого стекла, и
по меньшей мере одну форсунку введения химических реагентов, расположенную между указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным вторым кольцевым диском из кварцевого стекла, для введения газа источника химических реагентов в указанный факел плазмы.
2. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный второй конец указанной наружной трубки из кварцевого стекла продолжается за пределы указанного второго конца указанной внутренней трубки из кварцевого стекла.
3. Плазменная горелка по п.1, в которой указанные первый и второй кольцевые диски из кварцевого стекла являются по существу перпендикулярными указанной средней трубке из кварцевого стекла.
4. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная средняя трубка из кварцевого стекла дополнительно содержит:
по меньшей мере одно отверстие, расположенное по существу вблизи указанного второго конца указанной средней трубки из кварцевого стекла для обеспечения прохода для указанного вводимого газа источника химических реагентов в указанный факел плазмы.
5. Плазменная горелка по п.1, в которой указанное по меньшей мере одно отверстие расположено вертикально между указанными первым и вторым кольцевыми дисками из кварцевого стекла.
6. Плазменная горелка по п.1, в которой указанные первый, второй и третий диаметры поперечного сечения являются концентрическими по отношению друг к другу.
7. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная катушка расположена вертикально между указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным основанием.
8. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная первая длина составляет примерно 100-300 мм.
9. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный первый диаметр составляет примерно 40-120 мм.
10. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная вторая длина составляет примерно 75-225 мм.
11. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный второй диаметр составляет примерно 30-90 мм.
12. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная третья длина составляет примерно 135-400 мм.
13. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный третий диаметр составляет примерно 35-105 мм.
14. Плазменная горелка по п.1, в которой указанное по меньшей мере одно отверстие имеет высоту в интервале примерно 8-24 мм.
15. Плазменная горелка по п.1, в которой указанное по меньшей мере одно отверстие имеет ширину в интервале примерно 9-27 мм.
16. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный первый кольцевой диск из кварцевого стекла имеет внутренний диаметр в интервале примерно 40-130 мм.
17. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный первый кольцевой диск из кварцевого стекла имеет наружный диаметр в интервале примерно 75-225 мм.
18. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный второй кольцевой диск из кварцевого стекла имеет внутренний диаметр в интервале примерно 35-105 мм.
19. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный второй кольцевой диск из кварцевого стекла имеет наружный диаметр в интервале примерно 55-165 мм.
20. Плазменная горелка по п.1, в которой указанные первый и второй кольцевые диски из кварцевого стекла расположены ниже зоны давления плазменного газа, чтобы заставить указанный экранирующий газ иметь горизонтальную радиальную форму течения вблизи указанного факела плазмы.
21. Плазменная горелка по п.1, дополнительно содержащая:
впуск хладагента и выпуск хладагента, расположенные в указанном основании для циркуляции хладагента через указанное основание.
22. Плазменная горелка по п.1, в которой указанный экранирующий газ имеет содержание гидроксильных ионов менее 1 ч./млн.
23. Плазменная горелка по п.1, в которой расстояние между указанной катушкой и указанной наружной трубкой из кварцевого стекла составляет примерно 2-10 мм.
24. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная катушка питается энергией от высокочастотного генератора.
25. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная по меньшей мере одна форсунка введения химических реагентов содержит:
первую форсунку введения химических реагентов, расположенную на центральной линии указанной плазменной горелки, и
вторую форсунку введения химических реагентов, расположенную перед указанной центральной линией указанной плазменной горелки.
26. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная средняя трубка из кварцевого стекла имеет формованное вогнутое сужение по ее периметру выше указанной внутренней трубки из кварцевого стекла.
27. Плазменная горелка по п.1, в которой указанная по меньшей мере одна форсунка введения химических реагентов является изогнутой вниз от горизонтальной плоскости.
28. Устройство плазменного напыления для получения синтетического диоксида кремния, содержащее:
плазменную горелку, содержащую:
наружную трубку из кварцевого стекла, имеющую один конец, по существу перпендикулярный подложке, причем указанная наружная трубка из кварцевого стекла окружена индукционной катушкой;
внутреннюю трубку из кварцевого стекла, имеющую один конец, по существу перпендикулярный указанной подложке,
среднюю трубку из кварцевого стекла, имеющую один конец, по существу перпендикулярный указанной подложке, причем указанная средняя трубка из кварцевого стекла расположена между указанной наружной трубкой из кварцевого стекла и указанной внутренней трубкой из кварцевого стекла, при этом указанные трубки являются концентрическими, с обеспечением первого прохода, расположенного между указанной внутренней трубкой из кварцевого стекла и указанной средней трубкой из кварцевого стекла, для плазменного газа с получением факела плазмы, когда к указанной индукционной катушке подводится энергия, и второго прохода, расположенного между указанной наружной трубкой из кварцевого стекла и указанной средней трубкой из кварцевого стекла, для экранирующего газа,
первый кольцевой диск из кварцевого стекла, соединенный с наружной стороной указанного одного конца указанной наружной трубки из кварцевого стекла;
второй кольцевой диск из кварцевого стекла, соединенный с наружной стороной указанного одного конца указанной средней трубки из кварцевого стекла, причем форма течения указанного экранирующего газа определяется указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным вторым кольцевым диском из кварцевого стекла,
по меньшей мере одну форсунку введения химических реагентов, расположенную между указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным вторым кольцевым диском из кварцевого стекла, для введения газа источника химических реагентов в указанный факел плазмы, и
удерживающее средство для указанной подложки, причем указанная подложка и указанное удерживающее средство являются подвижными относительно друг друга.
29. Устройство по п.28, в котором указанный один конец указанной средней трубки из кварцевого стекла продолжается за пределы указанного одного конца указанной наружной трубки из кварцевого стекла.
30. Устройство по п.28, в котором указанный один конец указанной наружной трубки из кварцевого стекла продолжается за пределы указанного одного конца указанной внутренней трубки из кварцевого стекла.
31. Устройство по п.28, в котором указанные первый и второй кольцевые диски из кварцевого стекла являются по существу перпендикулярными указанной средней трубке из кварцевого стекла.
32. Устройство по п.28, в котором указанная средняя трубка из кварцевого стекла дополнительно содержит:
по меньшей мере одно отверстие, расположенное по существу вблизи указанного одного конца указанной средней трубки из кварцевого стекла для обеспечения прохода для указанного вводимого газа источника химических реагентов в указанный факел плазмы.
33. Устройство по п.28, в котором указанное по меньшей мере одно отверстие расположено вертикально между указанными первым и вторым кольцевыми дисками из кварцевого стекла.
34. Устройство по п.28, в котором указанная катушка расположена вертикально между указанным первым кольцевым диском из кварцевого стекла и указанным основанием.
35. Устройство по п.28, в котором указанные первый и второй кольцевые диски из кварцевого стекла расположены ниже зоны давления плазменного газа, чтобы заставить указанный экранирующий газ иметь горизонтальную радиальную форму течения вблизи указанного факела плазмы.
36. Устройство по п.28, в котором указанная катушка питается энергией от высокочастотного генератора.
37. Устройство по п.28, в котором указанная по меньшей мере одна форсунка введения химических реагентов содержит:
первую форсунку введения химических реагентов, расположенную на центральной линии указанной плазменной горелки, и
вторую форсунку введения химических реагентов, расположенную перед указанной центральной линией указанной плазменной горелки.
38. Устройство по п.37, в котором указанная плазменная горелка вращается по направлению оси относительно указанной подложки так, чтобы указанная вторая форсунка введения химических реагентов действовала в качестве передней форсунки введения химических реагентов в процессе указанного движения указанной подложки к указанной плазменной горелке.
39. Устройство по п.28, в котором указанная средняя трубка из кварцевого стекла имеет формованную вогнутую секцию вокруг ее периметра выше указанной внутренней трубки из кварцевого стекла.
40. Устройство по п.28, в котором указанная по меньшей мере одна форсунка введения химических реагентов является изогнутой вниз от горизонтальной плоскости.