Способ изготовления проводящей топологии на поверхности проводников и полупроводников

Способ изготовления проводящей топологии на поверхности проводников и полупроводников, заключающейся в последовательном нанесении на поверхность изоляционного и проводящего слоев с формированием требуемой топологии путем литографии и травления в каждом слое, отличающийся тем, что после нанесения изоляционного и проводящего слоев проводят одну фотолитографию с последующими травлениями проводящего слоя, изоляционного слоя и подтравом проводящего слоя.