СПОСОБ КОНТРОЛЯ СОСТАВА МАТЕРИАЛА ПРИ ФОРМИРОВАНИИ СТРУКТУРЫ

1. Способ контроля состава материала при формировании структуры, заключающийся в том, что в процессе формирования слоя осуществляют измерение эллипсометрических параметров Ψ и Δ, отличающийся тем, что вычисляют производную, при этом в качестве функции выбирают один из эллипсометрических параметров, а в качестве аргумента - другой эллипсометрический параметр, результаты вычисления фиксируют в плоскости производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр в виде кривой, по которой определяют оптические постоянные, изменение состава материала слоя, причем вычисление производной эллипсометрического параметра осуществляют с точностью, достаточной в представлении производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр для соотнесения получаемых кривых с контролируемыми слоями разного градиента состава.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что производная кусочно-непрерывна с точками разрыва первого рода.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что производная непрерывна.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что определяют оптические постоянные, изменение состава материала слоя, а также его толщину.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что как изменение состава материала слоя определяют его градиент.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что результаты вычисления фиксируют в плоскости производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр в виде кривой, характеризующейся, по крайней мере, наличием одного излома при формировании последовательности слоев.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что результаты вычисления фиксируют в плоскости производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр в виде кривой, характеризующейся, по крайней мере, наличием одного разрыва при формировании последовательности слоев.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что результаты вычисления фиксируют в плоскости производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр в виде кривой, характеризующейся изломами и разрывами при формировании последовательности слоев.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что вычисляют производную эллипсометрического параметра dΔ/dΨ и/или dΨ/dΔ, результаты вычисления фиксируют в плоскости производная эллипсометрического параметра -эллипсометрический параметр dΔ/dΨ-Δ, или dΨ/dΔ-Δ, или dΔ/dΨ-Ψ, или dΨ/dΔ-Ψ.
l/2
n
1
n
1
n
1
n
1
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что точность вычисления производной, достаточная в представлении производная эллипсометрического параметра - эллипсометрический параметр для соотнесения получаемых кривых с контролируемыми слоями разного градиента состава, описана выражением (4/n)×{[δΔ/(Ψ-Ψ)]+[δΨ/(Δ-Δ)]}, где δΨ и δΔ - относительная точность измерения эллипсометрических параметров, Ψ-Ψ и Δ-Δ - интервал изменений параметров, n - количество измерений на этом интервале, задана используемьм при контроле эллипсометром и равна в количественном выражении от 0,1 до 0,2.