Способ защиты структур на основе алюмосиликатного стекла

2
2
3
2
Способ защиты структур на основе алюмосиликатного стекла, включающий защиту поверхности кристаллов р-n переходов, отличающийся тем, что на поверхность полупроводниковой структуры наносят слой на основе алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси, в состав которого входят: 45±5% окиси кремния - SiO; 15±5% окиси алюминия - AlO; 30±5% окиси бария - ВаО и 0,09±0,01% оксида натрия - NAO, процесс проводят при рабочей температуре -750±50°С, где толщина стекла составило 1,0±0,2 мкм.