УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области измерительной техники, а более конкретно к устройствам измерения перемещений сканирующего зонда пьезопривода.
Известно устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием (Патент РФ на ПМ №30029, кл. 7Н01J 37/28, 29.10.2002, 10.06.2003, Бюл. №16 (аналог)).
Недостатком аналога является невозможность измерения перемещений зонда пьезопривода при выполнении нанотехнологических операций.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием (Патент РФ на ПМ №30030, Кл. 7Н01L 41/00, 10.06.2003, Бюл. №16 (прототип)).
Недостатком прототипа также является невозможность измерения перемещений зонда пьезопривода при выполнении нанотехнологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность измерения перемещений зонда пьезопривода.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещений для нанотехнологии, содержащем пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на пьезоприводе и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, который жестко связан с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной
модели, зонд закреплен на пьезоприводе посредством упругой консольной балки (кантилевера), на рабочую поверхность которой нанесен тонкий слой серебра Кроме того устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, зеркалом и фотоприемником лазерного излучения, при этом источник лазерного излучения и зеркало жестко связаны с неподвижной платформой, причем источник лазерного излучения установлен на неподвижной платформе с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки и зеркала.
Введение в устройство перемещений для нанотехнологии тонкого слоя серебра, нанесенного на рабочую поверхность консольной балки, источника лазерного излучения, установленного на неподвижной опоре с возможностью многократно отражаться от рабочей поверхности, зеркала, жестко связанного с неподвижной опорой, фотоприемника, что и позволяет определять перемещения сканирующего зонда.
Сущность полезной модели поясняется на фигуре 1, где показано устройство перемещений для нанотехнологии.
Устройство перемещений для нанотехнологии (фиг.1) содержит пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижной платформой 2, зонд 3, закрепленный на пьезоприводе 1 и связанный с подложкой 4, установленной на подложкодержателе 5, жестко связанным с неподвижным основанием 6, источник лазерного излучения 7, зеркало 8, жестко связанное с неподвижной платформой 2, фотоприемник лазерного излучения 9. Зонд 3 закреплен на пьезоприводе 1 посредством упругой консольной балки 10, на рабочей поверхности 11 которой нанесен тонкий слой серебра 12, а источник лазерного излучения 7 установлен на неподвижной платформе 2 с возможностью многократного падения-отражения луча лазера от рабочей поверхности балки 10 и зеркала 8.
Устройство перемещений для нанотехнологии работает следующим образом.
Луч источника лазерного излучения 7, закрепленного на платформе 2, падает на рабочую, покрытую слоем серебра 12, поверхность 11 консольной балки 10, отражаясь (согласно законам законам геометрической оптики), попадает на зеркало 8, закрепленное на платформе 2; следуя за изгибом консольной балки 10, при взаимодействии зонда 3 с подложкой 4, луч лазера 7 многократно отражается от зеркала 8 и рабочей стороны консольной балки 10, попадает на экран фотоприемника 9. Чем больше изгиб консольной балки 10, тем больше отклонение луча лазера 7, регистрируемого фотоприемником 9.
Применение предполагаемого устройства наноперемещений обеспечивает возможность измерения перемещений зонда пьезопривода посредством регистрации отклонения консольной балки, многократно отраженным, лазерным лучом.