Способ получения нитевидных нанокристаллов кремния

4
3
x
2
Способ получения нитевидных нанокристаллов кремния, включающий подготовку кремниевой пластины путем нанесения на ее поверхность нанодисперсных частиц катализатора с последующим помещением в ростовую печь, нагревом и осаждением кристаллизуемого вещества из газовой фазы по схеме пар → капельная жидкость → кристалл, отличающийся тем, что перед нанесением частиц катализатора и помещением подложки в ростовую печь на пластину кремния наносят пленку титана и анодируют длительностью от 5 до 90 мин в 1%-ном растворе NHF в этиленгликоле, причем плотность анодного тока поддерживают в интервале от 5 до 20 мА/см, а наночастицы катализатора на анодированную поверхность Ti наносят осаждением металла с общим обозначением Me, где Me выбирается из ряда Ni, Ag, Pd, из 0,1 М раствора, имеющего общую формулу Me(NO), где Me - одно из химических веществ ряда Ni, Ag, Pd; х=1-2) в течение 1-2 мин при воздействии на раствор ультразвуком мощностью 60 Вт.