УСТРОЙСТВО ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ

1. Устройство вакуумной обработки, содержащее:
рабочую камеру, способную вакуумироваться;
нагревательное средство для нагревания рабочей камеры;
удерживающее средство для удерживания испаряемого металлического материала в виде объемного элемента и обрабатываемого изделия внутри рабочей камеры;
при этом нагревательное средство эксплуатируется при пониженном давлении в рабочей камере, а рабочая камера нагревается до температуры, при которой по меньшей мере испаряемый металлический материал испаряется, тем самым образуя атмосферу металлических паров внутри рабочей камеры, так что металлические атомы в атмосфере металлических паров сцепляются с поверхностью нагретого обрабатываемого изделия.
2. Устройство вакуумной обработки по п.1, в котором испаряемый металлический материал и обрабатываемое изделие размещаются отдельно в вертикальном направлении.
3. Устройство вакуумной обработки по п.1 или 2, в котором удерживающее средство для удерживания обрабатываемого изделия выполнено из сетчатого элемента.
4. Устройство вакуумной обработки по п.1 или 2, дополнительно содержащее средство подачи инертного газа, так что в атмосфере металлических паров содержится инертный газ.
5. Устройство вакуумной обработки по п.1 или 2, дополнительно содержащее: подготовительную камеру, сообщающуюся с рабочей камерой так, чтобы быть способной вакуумироваться; и транспортировочное средство, которое может перемещать обрабатываемое изделие из подготовительной камеры в рабочую камеру до и после нагревания рабочей камеры.
6. Устройство вакуумной обработки по п.1 или 2, в котором испаряемый металлический материал содержит по меньшей мере один из Dy и Tb, при этом обрабатываемым изделием является спеченный магнит на основе железа-бора-редкоземельных элементов, имеющий заданную форму, и при этом температура при нагреве спеченного магнита может регулироваться так, что металлические атомы, сцепленные с поверхностью спеченного магнита, могут диффундировать в границу его кристаллических зерен.
7. Устройство вакуумной обработки по п.6, в котором удерживающее средство для удерживания спеченного магнита и испаряемого металлического материала выполнено из материала, не вступающего в реакцию с Dy или Tb.
8. Устройство вакуумной обработки по п.6 или 7, в котором нагревательное средство выполнено с возможностью нагревания рабочей камеры до температуры ниже 700°С и выдерживания температуры на этом уровне.