СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВОГО СОЛНЕЧНОГО ЭЛЕМЕНТА (ВАРИАНТЫ) И СООТВЕТСТВУЮЩИЙ СОЛНЕЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ

1. Способ изготовления кремниевого солнечного элемента, который включает в себя следующие операции, проводимые в указанном порядке:
создание двумерного эмиттера на эмиттерной поверхности подложки солнечного элемента;
создание пористого кремниевого слоя на эмиттерной поверхности; и
обратное травление пористого кремниевого слоя.
2. Способ изготовления кремниевого солнечного элемента с избирательным эмиттером, который включает в себя следующие операции, проводимые в указанном порядке:
создание двумерного эмиттера на эмиттерной поверхности подложки солнечного элемента;
нанесение барьера травления на первые частичные зоны эмиттерной поверхности;
травление эмиттерной поверхности во вторых частичных зонах эмиттерной поверхности, не покрытых барьером травления;
удаление барьера травления; и
создание металлических контактов в первых частичных зонах.
3. Способ по п.2, который дополнительно предусматривает после нанесения барьера травления:
создание пористого кремниевого слоя на вторых частичных зонах эмиттерной поверхности, не покрытых барьером травления.
4. Способ по п.1 или 3, который дополнительно предусматривает:
окисление пористого кремниевого слоя.
5. Способ по п.3, который дополнительно предусматривает травление пористого кремниевого слоя.
6. Способ по п.5, в котором травление окисленного пористого кремниевого слоя осуществляют после удаления барьера травления.
7. Способ по п.1, в котором толщину полученного пористого кремниевого слоя определяют оптически.
8. Способ по п.1 или 2, в котором по меньшей мере одну операцию, выбранную из группы, в которую входят травление эмиттерной поверхности, создание пористого кремниевого слоя и окисление пористого кремниевого слоя, проводят с использованием жидкого раствора.
3
9. Способ по п.1 или 2, в котором создание двумерного эмиттера осуществляют при помощи РОСl диффузии газовой фазы, причем возникающий при этом фосфорный газ не удаляют ранее нанесения барьера травления.
10. Способ по п.1 или 2, в котором барьер травления наносят при помощи пасты, содержащей пластик.
11. Способ по п.1 или 2, в котором барьер травления наносят при помощи трафаретной печати.
12. Способ по п.1 или 2, в котором металлические контакты наносят при помощи трафаретной печати.
13. Кремниевый солнечный элемент с избирательным эмиттером, содержащий:
подложку солнечного элемента с двумерным эмиттером на ее эмиттерной поверхности;
диэлектрический слой;
металлические контакты эмиттера на эмиттерной поверхности;
причем двумерный эмиттер имеет более высокую поверхностную концентрацию примеси в первых частичных зонах, чем в смежных вторых частичных зонах;
при этом подложка солнечного элемента имеет большую толщину в первых частичных зонах, чем во вторых частичных зонах;
причем диэлектрический слой покрывает главным образом всю эмиттерную поверхность и расположен локально между металлическими контактами эмиттера и подложкой солнечного элемента.
14. Солнечный элемент по п.13, в котором металлические контакты по меньшей мере локально проникают в диэлектрический слой.