СПОСОБ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛА

1. Способ лазерной обработки поверхности ситалла включающий лазерное облучение ситалловой пластины и ее последующее охлаждение, отличающийся тем, что осуществляют предварительный нагрев пластины до температуры 450-1100°С, проводят обработку, охлаждают образец до температуры 150-200°С совместно с печью, завершающую стадию охлаждения производят на воздухе.
2
2. Установка для лазерной обработки поверхности ситалла содержащая СO-лазер, систему зеркал, фокусирующую линзу, управляющий компьютер, рабочий стол с образцом, отличающаяся тем, что установка снабжена нагревателем образца, управляемой заслонкой, расположенной между фокусирующей линзой и нагревателем с возможностью горизонтального смещения, экраном с отверстиями, находящимися между заслонкой и образцом, устройством обдува размещенным между линзой и поверхностью образца, оптической системой для сканирования пучка по поверхности образца.