КОМПОНОВКА SMU, ОБЕСПЕЧИВАЮЩАЯ СТАБИЛЬНОСТЬ RF ТРАНЗИСТОРА

1. Способ для тестирования испытуемого устройства (DUT), характеризующийся тем, что:
соединяют первый модуль источника/измерителя (SMU), включающий в себя по меньшей мере три точки тестирования, с первый набором по меньшей мере из трех триаксиальных кабелей и выводом заземления, причем каждый триаксиальный кабель содержит по меньшей мере центральный сигнальный проводник, внешний экран и средний проводник, при этом каждую из трех точек тестирования соединяют с первым концом центрального сигнального проводника каждого кабеля из первого набора из трех триаксиальных кабелей соответственно, а внешние экраны первого набора триаксиальных кабелей электрически соединяют вместе с выводом заземления;
соединяют второй конец каждого кабеля из первого набора триаксиальных кабелей с набором узлов испытуемого устройства;
соединяют второй SMU, включающий в себя по меньшей мере три точки тестирования, со вторым набором по меньшей мере из трех триаксиальных кабелей и имеющих центральный сигнальный проводник, внешний экран, средний проводник и вывод заземления, при этом каждую из трех точек тестирования соединяют с первым концом центрального сигнального проводника каждого кабеля из второго набора трех триаксиальных кабелей соответственно, а внешние экраны второго набора триаксиальных кабелей электрически соединяют вместе с выводом заземления;
соединяют второй конец каждого кабеля из второго набора триаксиальных кабелей с указанным набором узлов испытуемого устройства;
при этом внешние экраны кабелей как первого, так и второго наборов триаксиальных кабелей электронно соединяют вместе и электрически соединяют с их соответствующими выводами заземления.
2. Способ по п.1, в котором первый и второй SMU включают в себя вывод заземления на массу, с которым электрически соединены соответствующие внешние экраны первого и второго наборов триаксиальных кабелей.
3. Способ по п.1, в котором первый и второй SMU дополнительно включают в себя:
первый входной вывод, электрически соединенный с первой точкой тестирования, причем первый входной вывод имеет:
первый оконечный резистор, электрически последовательно соединенный с указанным первым входным выводом;
первый и второй защитные конденсаторы, электрически последовательно соединенные с первым оконечным резистором;
первый защитный резистор, электрически соединенный с первым защитным конденсатором и вторым защитным конденсатором;
конденсатор заземления, электрически последовательно соединенный с его соответствующим выводом заземления;
второй входной вывод, электрически соединенный со второй точкой тестирования, причем второй входной вывод имеет:
второй оконечный резистор, электрически последовательно соединенный со вторым входным выводом;
третий и четвертый защитные конденсаторы, электрически последовательно соединенные со вторым оконечным резистором;
второй защитный резистор, электрически соединенный с третьим защитным конденсатором и четвертым защитным конденсатором; и
третий входной вывод, электрически соединенный с первым входным выводом, вторым входным выводом и третьей точкой тестирования, причем третий входной вывод также электрически соединен с конденсатором заземления и его соответствующим выводом заземления.
4. Способ по п.3, в котором первый входной вывод выполнен с возможностью приема сигнала, подаваемого на вход Hi.
5. Способ по п.3, в котором второй входной вывод выполнен с возможностью приема сигнала, подаваемого на вход Sense Hi.
6. Способ по п.3, в котором третий входной вывод выполнен с возможностью приема сигнала, подаваемого на вход Lo.
7. Способ по п.1, в котором DUT представляет собой металлоокисидный полевой транзистор (MOSFET), или операционный усилитель, или дискретное устройство с тремя выводами.
8. Способ по п.1, в котором DUT электрически соединен с первым и вторым наборами триаксиальных кабелей в конфигурации с общим эмиттером.
9. Способ по п.1, в котором DUT электрически соединен с первым и вторым наборами триаксиальных кабелей в конфигурации с общей базой.
10. Способ по п.1, в котором DUT электрически соединен с первым и вторым наборами триаксиальных кабелей в конфигурации с общим коллектором.
11. Способ по п.1, в котором первый и второй SMU имеют соответствующий первый вход, электрически соединенный с первой точкой тестирования, каждый SMU имеет соответствующий первый входной вывод, электрически соединенный с первым оконечным резистором, каждый оконечный резистор SMU имеет сопротивление по меньшей мере 50 Ом.
12. Способ по п.1, в котором первый и второй наборы триаксиальных кабелей имеют импеданс по меньшей мере 100 Ом.
13. Способ по п.1, в котором каждый SMU дополнительно включает в себя третий защитный резистор, электрически соединенный со средними проводниками первого и второго триаксиальных кабелей соответственно.
14. Система для тестирования испытуемого устройства (DUT), содержащая:
первый модуль источника/измерителя (SMU), включающий в себя по меньшей мере три точки тестирования, соединенные с первым набором из по меньшей мере трех триаксиальных кабелей, каждый из которых содержит по меньшей мере центральный сигнальный проводник, внешний экран и средний проводник, и с первым выводом заземления таким образом, что каждая из трех точек тестирования соединена с первым концом центрального сигнального проводника каждого кабеля из первого набора из трех триаксиальных кабелей соответственно, и внешние экраны первого набора триаксиальных кабелей электрически соединены вместе и с первым выводом заземления;
набор узлов, соединенных со вторым концом каждого кабеля из первого набора триаксиальных кабелей и с DUT;
второй SMU, включающий в себя по меньшей мере три точки тестирования, соединенные со вторым набором по меньшей мере из трех триаксиальных кабелей, каждый из которых содержит по меньшей мере центральный сигнальный проводник, внешний экран и средний проводник, и со вторым выводом заземления таким образом, что каждая из трех точек тестирования соединена с первым концом центрального сигнального проводника каждого кабеля из второго набора трех триаксиальных кабелей соответственно, и внешние экраны второго набора триаксиальных кабелей электрически соединены вместе и со вторым выводом заземления;
второй конец каждого кабеля второго набора триаксиальных кабелей соединен с указанным набором узлов и с DUT;
при этом внешние экраны как первого, так и второго наборов триаксиальных кабелей электронно соединены с их соответствующим первым и вторым выводами заземления.
15. Система по п.14, в которой первый SMU и второй SMU содержат вывод заземления на массу, с которым электрически соединены соответствующие внешние экраны первого и второго триаксиальных кабелей.
16. Система по п.14, в которой DUT представляет собой металлоокисидный полевой транзистор (MOSFET), или операционный усилитель, или дискретное устройство с тремя выводами.