УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ РАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ

1. Устройство для генерации излучения из разрядной плазмы, в частности экстремального ультрафиолетового или мягкого рентгеновского излучения,
содержащее импульсный источник питания, первый электрод, второй электрод, облучаемый сфокусированным лучом лазера, инициирующим между первым и вторым электродами разряд, производящий наряду с излучением в качестве побочного продукта нейтральные и заряженные загрязняющие частицы (debris),
в котором за счет выбора места облучения электрода лазерным лучом, геометрии электродов и разрядного контура лазерно-инициируемый разряд асимметричен, имея преимущественно изогнутую/бананообразную форму, при этом градиент собственного магнитного поля тока асимметричного разряда непосредственно вблизи области разряда имеет выделенное направление, которое определяет направление преимущественного движения потока разрядной плазмы от электродов в область менее сильного магнитного поля,
а направление вывода из плазмы разряда оптического излучения в виде расходящегося пучка, характеризующегося величиной пространственного угла и оптической осью, существенно отличается от направления преимущественного движения плазмы из области разряда.
2. Устройство для генерации излучения из разрядной плазмы по п.1, в котором в месте облучения лазерным лучом нормаль к поверхности второго электрода, определяющая направление преимущественного распространения лазерно-индуцированной плазмы, существенно отличается от направления на ближайшую точку первого электрода
3. Устройство для генерации излучения из разрядной плазмы по п.1, в котором примыкающие к разрядной области токоведущие части разрядного контура, в частности скин-слои электродов, расположены преимущественно с вогнутой стороны разряда.
4. Устройство для генерации излучения из разрядной плазмы по одному из пп.1-3, в котором первый и второй электроды выполнены в виде вращающихся дисков, покрытых жидким плазмообразующим металлом.
5. Устройство для генерации излучения из разрядной плазмы по одному из пп.1-3, в котором первый и второй электроды представляют собой струи жидкого металла, формируемые соответственно первым и вторым соплами, к которым подсоединен импульсный источник питания.
6. Способ генерации излучения из разрядной плазмы, в частности экстремального ультрафиолетового или мягкого рентгеновского излучения, заключающийся в осуществлении лазерно-инициируемого разряда между первым и вторым электродами с вводом энергии импульсного источника питания в плазму разряда и генерации из плазмы разряда излучения наряду с побочным продуктом в виде нейтральных и заряженных загрязняющих частиц,
при котором за счет выбора места облучения электрода лазерным лучом, геометрии электродов, и разрядного контура формируют асимметричный разряд преимущественно изогнутой/бананообразной формы, собственное магнитное поле которого непосредственно вблизи разряда имеет градиент, определяющий выделенное направление преимущественного движения потока разрядной плазмы от электродов в расположенную с выгнутой стороны разряда область менее сильного магнитного поля,
и с помощью собственных электромагнитных сил разряда импульсно воздействуют на разрядную плазму преимущественно в выделенном направлении,
а вывод излучения в виде расходящегося пучка осуществляют в направлении, существенно отличающемся от направления преимущественного движения плазмы из области разряда.
7. Способ генерации излучения из разрядной плазмы по п.6, при котором обеспечивают вращение первого и второго электродов, выполненных в виде дисков с приводом вращения, и подают плазмообразующий жидкий металл на рабочую поверхность электродов.
8. Способ генерации излучения из разрядной плазмы по п.6, при котором первый и второй электроды формируют в виде двух струй жидкого металла.