РАЗРЯДНАЯ СИСТЕМА ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА

1. Разрядная система эксимерного лазера, включающая в себя расположенные в лазерной камере (1) протяженные первый электрод (2), установленный со стороны стенки лазерной камеры (1) и второй электрод (3), зону объемного разряда (4) между первым и вторым электродами (2), (3), продольные оси которых параллельны друг другу, по меньшей мере, один блок предыонизации (5), содержащий систему формирования однородного завершенного скользящего разряда (CP), включающую в себя протяженную диэлектрическую пластину (6), поджигающий электрод (7), установленный на лицевой поверхности (8) диэлектрической пластины (6) вдоль нее, и протяженный инициирующий электрод (9), примыкающий к обратной стороне (10) диэлектрической пластины (6), при этом
протяженная диэлектрическая пластина (6) системы формирования CP имеет в поперечном сечении изогнутую форму, и
по меньшей мере, примыкающая к инициирующему электроду (9) протяженная часть обратной поверхности (10) диэлектрической пластины (6) является цилиндрической.
2. Устройство по п.1, в котором система формирования CP установлена так, чтобы образующие цилиндрической поверхности изогнутой диэлектрической пластины (6) были параллельны продольным осям первого и второго электродов (2), (3).
3. Устройство по п.1, в котором, лицевая и обратная стороны (8), (10) изогнутой диэлектрической пластины (6) являются цилиндрическими.
4. Устройство по п.1, в котором, по меньшей мере, часть поверхности изогнутой диэлектрической пластины (6), совмещенная с поверхностью инициирующего электрода (9), является кругло-цилиндрической.
5. Устройство по п.1, в котором изогнутая диэлектрическая пластина (6) выполнена в виде протяженной части цилиндрической тонкостенной диэлектрической трубки, заключенной между двумя продольными сечениями трубки, параллельными ее продольной оси.
6. Устройство по п.1, в котором два идентичных блока предыонизации (5) расположены по бокам либо первого электрода (20, выполненного сплошным, либо второго электрода (3), выполненного сплошным.
7. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит, по меньшей мере, один протяженный дополнительный электрод (14).
8. Устройство по п.7, в котором дополнительный электрод (14) соединен с инициирующим электродом (9).
9. Устройство по п.1, в котором лицевая поверхность (8) изогнутой диэлектрической пластины (6) выпуклая.
2
3
10. Устройство по п.1, в котором в качестве материала изогнутой диэлектрической пластины (6) используется либо сапфир, либо керамика, в частности, AlO.
11. Устройство по п.1, в котором инициирующий электрод (9) выполнен охлаждаемым либо потоком газа, либо жидким теплоносителем.
12. Устройство по п.1, в котором каждая точка зоны разряда (4) между первым и вторым электродами (2), (3) находится в зоне прямой видимости, по меньшей мере, части поверхностности изогнутой диэлектрической пластины (6), используемой для формирования СР.
13. Устройство по п.1, в котором лицевая поверхность (8) изогнутой диэлектрической пластины (6) вогнутая.
14. Устройство по п.1, в котором часть изогнутой диэлектрической пластины (6), не используемая для формирования CP, расположена с обратной стороны либо первого электрода (2), либо второго электрода (3).
15. Устройство по п.1, в котором изогнутая диэлектрическая пластина (6) выполнена в виде цилиндрической тонкостенной диэлектрической трубки с продольным разрезом (29).
16. Устройство по п.1, в котором изогнутая диэлектрическая пластина (6) выполнена в виде цилиндрической тонкостенной диэлектрической трубки с продольным разрезом (29), инициирующий электрод (9) размещен внутри диэлектрической трубки, и дополнительный электрод (14) соединен с инициирующим электродом (9) через продольный разрез (29) диэлектрической трубки.
17. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит в качестве изогнутой диэлектрической пластины (6) цельную диэлектрическую трубку, внутри которой, размещен инициирующий электрод (9), при этом на наружной поверхности цельной диэлектрической трубки размещен дополнительный электрод (14).
18. Устройство по п.1, в котором система формирования CP содержит в качестве изогнутой диэлектрической пластины (6) цельную диэлектрическую трубку, внутри которой, размещен инициирующий электрод (9), при этом на наружной поверхности цельной диэлектрической трубки размещен дополнительный электрод (14), подсоединенный к инициирующему электроду (9) через торец диэлектрической трубки.
19. Устройство по п.1, в котором либо поджигающий электрод (7), либо дополнительный электрод (14), соединен либо с первым электродом (2), либо со вторым электродом (3).
20. Устройство по п.1, в котором поджигающий электрод (7), либо дополнительный электрод (14) совмещен либо с первым электродом (2), либо со вторым электродом (3).
21. Устройство по любому из пп. 1-5, 7, 9-11, 15, 16, 19, в котором либо первый электрод (2), либо второй электрод (3) выполнен частично прозрачным, имеющим с обратной стороны протяженную нишу (35), в которой, по меньшей мере, частично, размещен протяженный блок предыонизации (5), при этом в блоке предыонизации (5) система формирования CP выполнена симметричной относительно плоскости (30), включающей в себя продольные оси (31), (32) первого и второго электродов (2), (3), и содержит две зоны CP, симметрично расположенные по обе стороны указанной плоскости (30).
22. Устройство по любому из пп.1-5, 7, 9-11, 15, 16, 19, в котором либо первый электрод (2), либо второй электрод (3) выполнен частично прозрачным, имеющим с обратной стороны протяженную нишу (35), в которой, по меньшей мере, частично, размещен протяженный керамический изолятор (36) с π-образным, либо П-образным поперечным сечением, и система формирования CP, по меньшей мере, частично размещенная в протяженном керамическом изоляторе (36), содержит две зоны CP, симметрично расположенные по обе стороны плоскости (30), включающей в себя продольные оси (31), (32) первого и второго электродов (2), (3).