СПОСОБ УДАЛЕНИЯ КРИСТАЛЛИТОВ

Метод удаления кристаллитов с поверхности кремниевой пластины, включающий процесс химическую обработку, отличающийся тем, что поверхность предварительно окисляют в среде кислорода при температуре 800°С в течении 15 минут, а затем проводят химическую обработку в растворе бифторида аммония и фторида аммония в соотношении 1:4,5.