УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВОЗБУЖДЕНИЯ И ПОДДЕРЖАНИЯ СВЧ РАЗРЯДОВ В ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРАХ

1. Устройство для возбуждения протяженных разрядов в потоках газов, включая источник электромагнитных СВЧ колебаний, сопряженный с металлическим волноводом прямоугольного сечения, с двумя расположенными напротив отверстиями в центре широких стенок с размещенным внутри волновода концентратором электрического поля в виде полого, токопроводящего усеченного конуса с диаметрами оснований D и d (D>d), имеющего электрический контакт с одной широкой стенкой волновода по границе отверстия большего диаметра и зазор z между торцом основания с меньшим диаметром и противоположной стенкой волновода, диэлектрическую трубку-реактор с протекающем через нее потоком газа, проходящую поперек волновода через концентратор и отверстие в противоположной широкой стенке, отличающееся тем, что, с целью создания в трубке-реакторе плазмы в виде протяженного столба, поддерживаемого за счет возбуждения в нем поверхностных плазменных волн, величина зазора z лежит в интервале значений от λ/50 до λ/5, где λ - длина волны используемого источника СВЧ колебаний в вакууме.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что отношение диаметров оснований полого конусного концентратора D/d лежит в интервале значений от 1,1 до 5.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью принудительного обрыва плазменного столба в заданном поперечном сечении трубки-реактора и тем самым создания однонаправленного режима распространения поверхностной плазменной волны в плазменном столбе с внешней стороны волновода, поверх диэлектрической трубки-реактора с плазмой, коаксиально располагают терминирующее плазменный столб устройство в виде открытого с одной стороны резонатора коаксиального типа, выполненного в виде двух отрезков токопроводящих трубок, соединенных между собой токопроводящим основанием, так, что длина внутреннего отрезка трубки L с погрешностью не более 5% от величины длины волны используемого источника СВЧ колебаний в вакууме А равна N·λ/4, где N - нечетное число.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что терминирующий плазму резонатор коаксиального типа подведен открытой стороной снаружи к волноводу со стороны широкой стенки, образующей зазор z с концентратором так, что внешняя трубка резонатора имеет электрический контакт с ней.
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, терминирующий плазму резонатор коаксиального типа подведен открытой стороной снаружи к волноводу со стороны широкой стенки, соединенной с концентратором так, что внешняя трубка резонатора имеет электрический контакт с ней.