ИСТОЧНИК БЫСТРЫХ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ

1. Источник быстрых нейтральных частиц, содержащий источник ионов с холодным катодом и замкнутым дрейфом электронов и нейтрализатор, выполненный в виде внешних и внутренних коаксиальных поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал нейтрализации определенной длины, сопряженный с замкнутой выходной щелью источника, отличающийся тем, что на нейтрализатор установлены электроды сепаратора, выполненные в виде поверхностей, образующих в совокупности щелевой канал сепарации определенной длины и ширины, сопряженный с замкнутой выходной щелью нейтрализатора, что обеспечивает полную нейтрализацию выходного потока частиц за счет изменения отношения длины щелевого канала сепарации к ширине его замкнутой выходной щели и регулирования напряжения, подаваемого на электроды сепаратора для отклонения ионов из пучка быстрых частиц.
2. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит несколько щелевых источников быстрых нейтральных частиц, снабженных электродами сепаратора, что улучшает равномерность выходного нейтрального пучка за счет перекрывания угловых диаграмм отдельных пучков.
3. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит наклонно направленный канал нейтрализации и соосные с ним электроды сепаратора, что обеспечивает получение сфокусированного нейтрального пучка для повышения производительности процессов обработки объектов.
4. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит канал нейтрализации с отрицательным наклоном и соосные с ним электроды сепаратора, что обеспечивает получение расходящегося нейтрального пучка.
5. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит наклонный под углом (0-15)° к направлению пучка канал нейтрализации и соосные с ним электроды сепаратора, что увеличивает эффективность нейтрализации на стенках канала и фокусировку выходного пучка в некоторую область.
6. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит наклонный под углом (0-15)° от направления пучка канал нейтрализации и соосные с ним электроды сепаратора, что увеличивает эффективность нейтрализации на стенках канала и обеспечивает получение расходящегося нейтрального пучка.
7. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит источник быстрых нейтральных частиц с направленным вовне расходящимся пучком и электродами сепаратора, что обеспечивает получение радиально расходящегося нейтрального пучка для обработки внутренних цилиндрических (круглых, овальных или иных в основании) поверхностей объектов.
8. Источник по п.1, отличающийся тем, что содержит источник быстрых нейтральных частиц с направленным внутрь сходящимся пучком и электродами сепаратора, что обеспечивает получение радиально сходящегося нейтрального пучка для обработки внешних поверхностей объектов.
9. Источник по п.1, отличающийся тем, что в плане конструкция источника может иметь несколько вариантов, например круговое сечение или вытянутое сечение, что обеспечивает формирование нейтральных пучков различной пространственной протяженности.
10. Источник по п.1, отличающийся тем, что электроды сепаратора покрыты материалом с малым коэффициентом распыления, что обеспечивает высокую степень чистоты выходного потока частиц.
11. Источник по п.7, отличающийся тем, что произвольное число отдельных щелевых источников с радиально расходящимися нейтральными пучками и электродами сепараторов объединены общим анодом, что обеспечивает, например, равномерную обработку протяженных участков внутренней поверхности различных объектов.
12. Источник по п.8, отличающийся тем, что произвольное число отдельных щелевых источников с радиально сходящимися нейтральными пучками и электродами сепараторов объединены общим анодом, что обеспечивает, например, равномерную обработку протяженных участков внешней поверхности различных объектов.