ЭКСИМЕРНАЯ ЛАЗЕРНАЯ СИСТЕМА И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ

1. Эксимерная лазерная система, содержащая шасси, на котором размещены первый лазерный модуль, включающий в себя,
протяженный керамический корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, первый электрод, размещенный со стороны стенки корпуса, второй электрод, размещенные снаружи корпуса конденсаторы, подсоединенные к первому электроду через высоковольтные токовводы корпуса и подсоединенные ко второму электроду через заземленные токовводы корпуса и расположенные по обе стороны электродов протяженные заземленные газопроницаемые токопроводы
второй лазерный модуль, идентичный первому,
импульсный источник питания, выводы которого малоиндуктивно подсоединены к конденсаторам каждого лазерного модуля.
2. Эксимерная лазерная система по п.1, в которой
между конденсаторами второго лазерного модуля и источником питания введена линия задержки, обеспечивающая задержку зажигания разряда во втором лазерном модуле на время, не превышающее длительность временного интервала между моментом зажигания разряда и моментом достижения порога генерации в первом лазерном модуле, и введена система оптической связи между двумя лазерными модулями, обеспечивающая инжекцию внешнего оптического сигнала, представляющего собой малую часть излучения первого лазерного модуля во второй лазерный модуль.
3. Лазерная система по п.1 или 2, отличающаяся тем, что в корпусе каждого лазерного модуля установлены либо один, либо два протяженных керамических контейнера, размещенных преимущественно с нерабочей стороны второго электрода так, что стенки каждого керамического контейнера, обращенные к разрядной области, образуют часть системы формирования газового потока в приэлектродной области между газопроницаемыми токопроводами, в каждом керамическом контейнере размещены дополнительные конденсаторы, при этом конденсаторы подключены ко второму электроду через токовводы каждого керамического контейнера и дополнительные конденсаторы, при этом лазерная система содержит дополнительный источник питания, полярность которого противоположна полярности источника питания, и дополнительный источник питания подключен к дополнительным конденсаторам каждого лазерного модуля через торцы каждого керамического контейнера.
4. Способ генерации излучения посредством эксимерной лазерной системы по п.2, заключающийся в импульсной зарядке с помощью импульсного источника питания конденсаторов и предыонизации в лазерных модулях газа между первым и вторым электродами, осуществлении разряда между первым и вторым электродами и генерации лазерного излучения в каждом лазерном модуле,
при котором после зажигания разряда в первом лазерном модуле зажигают разряд во втором лазерном модуле с временной задержкой, не превышающей длительность временного интервала между моментом зажигания разряда и моментом достижения порога генерации в первом лазерном модуле, и с помощью системы оптической связи производят инжекцию во второй лазерный модуль внешнего оптического сигнала, представляющего собой малую часть излучения первого лазерного модуля, снижая порог генерации во втором лазерном модуле.
5. Способ генерации излучения по п.4, отличающийся тем, что предварительно включают дополнительный источник питания и с торцов каждого керамического контейнера каждого лазерного модуля производят импульсную зарядку дополнительных конденсаторов, размещенных в керамических контейнерах, затем с временной задержкой, равной разности времен зарядки дополнительных конденсаторов и конденсаторов, включают импульсный источник питания и осуществляют быструю импульсную зарядку конденсаторов напряжением, полярность которого противоположна полярности напряжения зарядки дополнительных конденсаторов, после момента одновременного окончания зарядки конденсаторов и дополнительных конденсаторов осуществляют разряд между высоковольтными первым и вторым электродами противоположной полярности по малоиндуктивному разрядному контуру, включающему в себя конденсаторы и дополнительные конденсаторы, последовательно соединенные между собой через газопроницаемые токопроводы.