РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1. Реактор для поликристаллического кремния, в котором кремниевый затравочный стержень, установленный внутри реактора, нагревается посредством подачи электричества, причем газообразный исходный материал, подаваемый внутри реактора, имеет возможность вызывать реакцию, таким образом получая поликристаллический кремний на поверхности кремниевого затравочного стержня,
при этом реактор для поликристаллического кремния содержит: патрубок для подачи газообразного исходного материала, установленный в нижней части реактора; и сопло для подачи газообразного исходного материала, которое проходит снизу вверх и которое крепится к патрубку для подачи газообразного исходного материала, обеспечивая соединение с возможностью сообщения, при этом верхний край сопла для подачи газообразного исходного материала устанавливается на высоте в пределах от -10 см до +5 см по отношению к верхнему краю электрода, который удерживает кремниевый затравочный стержень.
2. Реактор по п.1, в котором верхний край сопла для подачи газообразного исходного материала устанавливается на высоте в пределах от -5 см до +1 см по отношению к верхнему краю электрода, который удерживает кремниевый затравочный стержень.
3. Реактор по п.1, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала имеет сужающуюся цилиндрическую форму, имеющую наружную круговую боковую поверхность, которая уменьшается в диаметре при приближении к его верхнему краю.
4. Реактор по п.1, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала содержит главный корпус сопла и головку сопла, которая устанавливается на кончике главного корпуса сопла съемным образом.
5. Реактор по п.2, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала имеет сужающуюся цилиндрическую форму, имеющую наружную круговую боковую поверхность, которая уменьшается в диаметре при приближении к его верхнему краю.
6. Реактор по любому одному из пп.2, 3 и 5, в котором сопло для подачи газообразного исходного материала содержит главный корпус сопла и головку сопла, которая устанавливается на кончике главного корпуса сопла съемным образом.
7. Способ получения поликристаллического кремния, включающий в себя:
нагрев кремниевого затравочного стержня, установленного внутри реактора для поликристаллического кремния, посредством подачи электричества; и
введение в реакцию газообразного исходного материала, подаваемого внутрь реактора через патрубок для подачи газообразного исходного материала, установленный в нижней части реактора, и сопло для подачи газообразного исходного материала, которое проходит снизу вверх и которое крепится к патрубку для подачи газообразного исходного материала, обеспечивая соединение с возможностью сообщения, таким образом получая поликристаллическии кремнии на поверхности кремниевого затравочного стержня;
при этом верхний край сопла для подачи газообразного исходного материала устанавливают на высоте в пределах от -10 см до +5 см по отношению к верхнему краю электрода, который удерживает кремниевый затравочный стержень.