РЕАКТОР

1. Реактор для осуществления метода послойного атомного осаждения, содержащий вакуумную камеру (1), которая содержит реакционную камеру и имеет первую торцевую стенку (2), снабженную монтажным люком, вторую торцевую стенку (3), снабженную сервисным люком, боковые стенки/корпус (4), соединяющие первую и вторую торцевые стенки (2, 3), и по меньшей мере один фитинг (5) материала источника для подачи материалов источника в вакуумную камеру реактора (1), отличающийся тем, что по меньшей мере один из фитингов (5) материала источника установлен в боковой стенке/корпусе (4) вакуумной камеры (1) реактора.
2. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера выполнена в форме куба, так что она имеет две, по существу, вертикальные боковые стенки (4), по меньшей мере одна из которых снабжена по меньшей мере одним фитингом (5) материала источника.
3. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера выполнена в форме прямой призмы, так что она имеет две, по существу, вертикальные боковые стенки (4), по меньшей мере одна из которых снабжена по меньшей мере одним фитингом (5) материала источника.
4. Реактор по п.2, отличающийся тем, что вакуумная камера дополнительно имеет, по существу, горизонтальные верхнюю и нижнюю стенки по меньшей мере одна из которых снабжена фитингом источника для порошковых материалов источника.
5. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера выполнена в форме цилиндра, так что она имеет, по существу, круглые первую и вторую торцевые стенки (2, 3) и корпус (4), снабженный по меньшей мере одним фитингом (5) материала источника.
6. Реактор по п.1, отличающийся тем, что фитинг или фитинги (5) материала источника расположены, по существу, в поперечном направлении по отношению к боковым стенкам/корпусу (4).
7. Реактор по п.6, отличающийся тем, что фитинги (5) материала источника расположены, по существу, перпендикулярно по отношению к боковым стенкам/корпусу (4).
8. Реактор по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один из фитингов (5) материала источника расположен в вакуумной камере, по существу, горизонтально.
9. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера содержит по меньшей мере два фитинга (5) материала источника, установленных на одном уровне на противоположных сторонах вакуумной камеры или на противоположных сторонах корпуса (4).
10. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера содержит по меньшей мере два фитинга (5) материала источника, применяемых для подачи заготовки или заготовок через вакуумную камеру.
11. Реактор по п.1, отличающийся тем, что монтажный и сервисный люки выполнены с возможностью подачи заготовки через вакуумную камеру.
12. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера содержит внутренний источник (6) нагрева.
13. Реактор по п.12, отличающийся тем, что сервисный люк содержит резисторы для нагрева вакуумной камеры (1).
14. Реактор по п.1, отличающийся тем, что вакуумная камера имеет внешний источник нагрева.
15. Реактор по п.1, отличающийся тем, что дополнительно содержит передвижной кронштейн для поддержки сервисного люка при его снятии.
16. Реактор по п.1, отличающийся тем, что дополнительно содержит средства для создания низкого давления в вакуумной камере.