Статья

Статья

Теплофизические свойства веществ в твердом, жидком и газообразном состоянии

1963. Т. 1. № 3. С. 368–375

Романычев В.С.

Испаряемость материала полупроводника в газовой среде

Получены основные уравнения для расчета скорости испарения полупроводниковых материалов в среде различных газов, дана область применения полученных соотношений. Показано большое влияние на скорость испарения: материала полупроводника, типа газа, давления газа, температуры и градиента температур.