ПРОЗРАЧНЫЙ ПРОВОДЯЩИЙ ОКСИД ОЛОВА, ЛЕГИРОВАННЫЙ ИНДИЕМ

1. Способ изготовления оксида индия-олова, содержащий:
напыление индия и олова из мишени на подложку с образованием оксида индия-олова поверх подложки, причем напыление содержит перемещение мишени относительно подложки вдоль пути поверх подложки,
причем пленка оксида индия-олова обладает толщиной в диапазоне от 500 нм до 4 мкм,
при этом перемещение мишени содержит перемещение мишени от конца пути до другого конца пути, и
при этом конец пути находится на конце подложки, а другой конец пути находится на другом конце подложки.
2. Способ по п. 1, в котором удельное поверхностное сопротивление оксида индия-олова составляет менее 0,5 Ом/квадрат.
3. Способ по любому предыдущему п., в котором перемещение мишени от конца пути до другого конца пути создает первый слой оксида индия-олова.
4. Способ по п. 3, дополнительно содержащий перемещение мишени от другого конца пути до конца пути для совершения цикла.
5. Способ по п. 3, дополнительно содержащий перемещение мишени от другого конца пути до конца пути с образованием второго слоя оксида индия-олова поверх первого слоя оксида индия-олова.
6. Способ по п. 4 или 5, в котором перемещение мишени содержит совершение множества циклов.
7. Способ по п. 6, в котором перемещение мишени содержит совершение 2 или более циклов.
8. Способ по пп. 5, 6 или 7, дополнительно содержащий перемещение мишени от конца пути до другого конца пути с образованием третьего слоя оксида индия-олова поверх второго слоя оксида индия-олова.
9. Способ по любому предыдущему п., в котором напыление выполняют при температуре в диапазоне от комнатной температуры до 700°F.
10. Способ по любому предыдущему п., в котором напыление выполняют в течение периода времени в пределах примерно 1 минута или более.
3
3
11. Способ по любому предыдущему п., в котором напыление выполняют при пропускании инертного газа над подложкой при расходе инертного газа в диапазоне от примерно 100 до примерно 600 ст.см/мин и при пропускании газообразного кислорода над подложкой при расходе газообразного кислорода в диапазоне от примерно 5 до 400 ст.см/мин.
12. Способ по любому предыдущему п., в котором часть оксида индия-олова отжигается по мере того, как мишень удаляется от этой части оксида индия-олова.
13. Способ по любому предыдущему п., в котором перемещение мишени относительно подложки содержит перемещение мишени и/или подложки.
14. Пленка оксида индия-олова, содержащая оксид индия-олова, причем оксид индия-олова изготовлен согласно способу по любому предыдущему п..
15. Остекление летательного аппарата, наземного транспортного средства, устройства отображения или электрохромного окна, содержащее пленку оксида индия-олова по п.14.
16. Способ изготовления пленки оксида индия-олова, содержащий:
напыление индия и олова из мишени на подложку с образованием оксида индия-олова поверх подложки, причем напыление содержит перемещение мишени относительно подложки вдоль пути поверх подложки с образованием множества слоев оксида индия-олова,
причем удельное поверхностное сопротивление оксида индия-олова составляет менее 0,5 Ом/квадрат,
при этом перемещение мишени содержит перемещение мишени от конца пути до другого конца пути, и
при этом конец пути находится на конце подложки, а другой конец пути находится на другом конце подложки.
17. Способ по п. 16, в котором пленка оксида индия-олова обладает толщиной в диапазоне от 10 нм до 4 мкм.
18. Способ изготовления оксида индия-олова, содержащий:
напыление индия и олова из мишени на подложку с образованием оксида индия-олова поверх подложки, причем напыление содержит перемещение мишени относительно подложки вдоль пути поверх подложки,
причем перемещение мишени содержит перемещение мишени от конца пути до другого конца пути, и
при этом конец пути находится на конце подложки, а другой конец пути находится на другом конце подложки.