УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ НА УГЛЕРОДНОЙ ФОЛЬГЕ

Устройство для непрерывного выращивания тонких слоев кремния на углеродной фольге, характеризующееся тем, что включает нагреватель, подложку, соединенную с механизмом ее перемещения, капиллярный питатель и вибропитатель подачи дробленого кремния, при этом все устройство размещено в вакуумной камере, а механизм перемещения подложки выполнен в виде вращающегося барабана, на который наматывается подложка со слоем кремния.