Статья

Статья

Исследование плазмы

1998. Т. 36. № 2. С. 194–200

Автаева С.В., Мамытбеков М.З., Оторбаев Д.К.

Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном

Изучены параметры метаносодержащей плазмы в асимметричном высокочастотном разряде емкостного типа, активированном внешним магнитным полем. Для диагностики параметров плазмы использовались методы оптической эмиссионной спектроскопии, двойной зонд Ленгмюра и термопара. Экспериментально определены температура газа, вращательная температура возбуждения радикалов $mathrm{CH}$, температура электронов, концентрация заряженных частиц и концентрация атомарного водорода. В качестве рабочих газов использовались метан, аргон и смеси метана с аргоном. Проведено исследование осаждения в метаносодержащей плазме углеродосодержащих пленок на стеклянные подложки и изучены оптические свойства пленок. Показано, что магнитное поле существенно влияет на параметры плазмы и на свойства осаждаемых в высокочастотном разряде углеродосодержащих пленок.

Ссылка на статью:

Автаева С.В., Мамытбеков М.З., Оторбаев Д.К.

Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном, ТВТ, 1998. Т. 36. № 2. С. 194

High Temp. 1998, v.36, №2, pp. 176-182