СПОСОБ НАГРЕВА ИЗДЕЛИЙ В ПЛАЗМЕ

1. Способ термической обработки изделий, включающий установку изделий внутри рабочей камеры с последующим заполнением рабочей камеры плазмой, отличающийся тем, что изделия устанавливают в центральной зоне камеры с последующей их изоляцией, между рабочей камерой и анодом внутри нее зажигают тлеющий разряд при давлении газа 1-10 Па с напряжением 300-600 В и при постоянном разрядном токе повышают напряжение до 1500-3000 В посредством снижения давления до 0,01-0,1 Па.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что рабочую камеру заполняют гелиевой плазмой.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что рабочую камеру заполняют плазмой химически активного газа.