СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛА ГАЗОВОГО СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ДИОКСИДА ОЛОВА

2
1. Способ приготовления материала газового сенсора на основе пористой толстой пленки нанокристаллического SnO, модифицированной путем внесения методом золь-гель технологии в состав чувствительного слоя добавок оксида никеля NiO и золота Аu в виде наночастиц с концентрацией в диапазоне 0,3-2,5 мол.%.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для получения газового сенсора материал наносят на изолирующую подложку из поликристаллического оксида алюминия с платиновыми измерительными электродами на лицевой стороне, платиновым тонкопленочным нагревателем на обратной стороне.