МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ МАГНИТООРИЕНТИРОВАННЫХ НАНОСТРУКТУР

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к многозондовым устройствам для формирования наноструктур.
Известно многозондовое устройство для формирования наноструктур содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную стенку, жестко связанный с ней подложкодержатель и пьезопривод, связанный с пакетом зондов [Патент РФ на ПМ №30033, кл. 7 Н01L 41/00. - Опубл. 10.06.2003, Бюл. №16 (аналог)].
Недостатком аналога является низкое быстродействие нанотехнологических операций при создании структур, а также невозможность формирования магнитоориентированных наноструктур посредством известного многозондового устройства для формирования наноструктур.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является многозондовое устройство для формирования наноструктур, содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную стенку, жестко связанный с ней подложкодержатель и пьезопривод, связанный с пакетом зондов [Патент РФ на ПМ №43105, кл. 7 Н01L 41/00. - Опубл. 27.12.2004, Бюл. №36 (прототип)].
Недостатком прототипа также является низкое быстродействие нанотехнологических операций при создании структур, а также невозможность формирования магнитоориентированных наноструктур посредством известного многозондового устройства для формирования наноструктур.
В основу полезной модели положена техническая задача - повысить быстродействие нанотехнологических операций при создании структур, а также
реализовать возможность формирования магнитоориентированных наноструктур посредством предложенного многозондового устройства для формирования магнитоориентированных наноструктур.
Поставленная техническая задача решается тем, что известное многозондовое устройство для формирования наноструктур, содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную стенку, жестко связанный с ней подложкодержатель и пьезопривод, связанный с пакетом зондов, согласно предложенной полезной модели, имеет пьезопривод выполненный трехкоординатным, с возможностью перемещения пакета зондов по координатным осям X, Y, Z, пакет зондов, установленный в немагнитной обойме, связанной с трехкоординатным пьезоприводом, причем пакет зондов в немагнитной обойме и подложкодержатель установлены между полюсами электромагнита, а каждый зонд выполнен из магнитострикционного материала.
Введение в известное многозондовое устройство для формирования наноструктур электромагнита, трехкоординатного пьезопривода и немагнитной обоймы, снабженной пакетом зондов, выполненных из магнитострикционного материала за счет магнитострикционного эффекта обеспечивает высокую скорость сборки магнитных наноструктур на подложке, что позволяет повысить быстродействие нанотехнологических операций при создании структур, а также реализовать возможность формирования магнитоориентированных наноструктур посредством предложенного многозондового устройства для формирования магнитоориентированных наноструктур.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано многозондовое устройство для формирования магнитоориентированных наноструктур.
Многозондовое устройство для формирования магнитоориентированных наноструктур (фиг.1) содержит подложкодержатель 1 для размещения подложки 2, неподвижную стенку 3, жестко связанный с ней
подложкодержатель 1 и трехкоординатный пьезопривод 4, связанный с пакетом зондов 5. Пакет зондов 5 установлен в немагнитной обойме 6, связанной с трехкоординатным пьезоприводом 4, причем пакет зондов 5 в немагнитной обойме 6 и подложкодержатель 1 установлены между полюсами электромагнита 7, а каждый зонд 5 выполнен из магнитострикционного материала.
Многозондовое устройство для формирования магнитоориентированных наноструктур (фиг.1) работает следующим образом.
При приложении разности потенциалов между пакетом зондов 5 и подложкой 2, возникающее между ними неоднородное электрическое поле удерживает обрабатываемые наночастицы в промежутке зонд-подложка. После этого включается электромагнит 7. Возникающее между полюсами электромагнита 7 однородное магнитное поле заставляет магнитные моменты наночастиц ориентироваться в направлении силовых линий этого поля, пронизывающего подложку 2 в поперечном направлении. Одновременно с этим, выполненные из магнитострикционного материала зонды 5, за счет возникновения в них магнитострикционного эффекта, увеличивают свои линейные размеры по координате Z, тем самым реализуя контактную фиксацию наночастиц на подложке 2.
В предложенной полезной модели, как видно из фиг.1, магнитная ориентация обрабатываемых наночастиц перпендикулярна плоскости подложки, соответственно, в ней реализуется выполнение группового «вертикального» синтеза магнитоориентированных наноструктур на подложке.
Применение предложенного многозондового устройства для формирования магнитоориентированных наноструктур позволяет повысить быстродействие нанотехнологических операций при создании структур, а также реализовать возможность формирования магнитоориентированных наноструктур.