ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Датчик линейных перемещений, содержащий измерительную дифракционную решетку и считывающую головку, имеющую источник излучения, коллиматор, индикаторную решетку, матрицу фотоприемников, две группы опорных подшипников для перемещения считывающей головки относительно измерительной решетки и жестко с ней связанные, а индикаторная решетка расположена со стороны и в пределах апертуры измерительной решетки, и измерительная решетка содержит подложку, имеющую базовую и обратную поверхности, и стеклянную направляющую с базовой и обратной поверхностями, причем измерительная решетка расположена на базовой поверхности подложки так, что ее штрихи перпендикулярны направлению перемещения, а стеклянная направляющая жестко присоединена к торцу подложки перпендикулярно штрихам измерительной решетки, и измерительная решетка обладает осью, перпендикулярной к своим штрихам, расположена в пределах ее апертуры и параллельна направлению перемещения считывающей головки, и первая группа подшипников обеспечивает зазор между индикаторной и измерительной решеткой и состоит из трех подшипников, установленных с возможностью перемещения по базовой поверхности подложки, два из которых расположены с одной стороны измерительной решетки, на линии, параллельной оси измерительной решетки и вдоль направления перемещения считывающей головки, а третий подшипник с другой стороны измерительной решетки, и они обеспечивают зазор между считывающей головкой и базовой поверхностью стеклянной направляющей, а другая группа опорных подшипников состоит из двух подшипников, установленных с возможностью перемещения, по базовой поверхности стеклянной направляющей и расположены на ее базовой поверхности со стороны измерительной решетки, и на линии параллельной ее оси, и направляющая жестко присоединена к торцу подложки, который перпендикулярен штрихам измерительной решетки, и длина направляющей не меньше измеряемого перемещения, отличающийся тем, что в устройстве дополнительно введен один опорный подшипник в первой группе опорных подшипников, жестко связанный со считывающей головкой и установленный со стороны измерительной решетки на линии, где расположен третий подшипник этой группы, и в считывающую головку введены две группы магнитов, жестко с ней связанные, и три металлических ленты, две из которых жестко связанны с базовой поверхностью подложки, а третья жестко связана с базовой поверхностью стеклянной направляющей, примыкающей к базовой поверхности подложки, причем первая группа магнитов состоит из двух пар магнитов, и обе пары установлены на считывающей головке со стороны базовой поверхности подложки измерительной решетки, попарно на прямой, параллельной ее оси и вне ее апертуры и апертуры индикаторной решетки и опорных подшипников считывающей головки и на одинаковом расстоянии от базовой поверхности подложки, причем первая пара магнитов расположена с одной стороны измерительной решетки, а вторая пара этой же группы установлена с другой стороны измерительной решетки, симметрично относительно первой, а вторая группа магнитов состоит из двух магнитов, установленных на считывающей головке со стороны базовой поверхности стеклянной направляющей, и имеют к ней выход, и расположены на прямой, параллельной ее оси, и вне апертуры опорных подшипников считывающей головки, установленных со стороны базовой поверхности измерительной решетки и на одинаковом расстоянии от нее, и три металлические ленты, установленные своим наибольшим размером, параллельно оси измерительной решетки, напротив каждой соответствующей пары магнитов, причем длины металлических лент равны линейному размеру подложки и стеклянной направляющей и две из них жестко связаны с базовой поверхностью подложки измерительной решетки и расположены с двух ее сторон, параллельно ее оси, а третья металлическая лента параллельна первым двум металлическим лентам и расположена в апертуре пары магнитов второй группы, причем магниты и металлические ленты имеют возможность создания силы притяжения считывающей головки к подложке и стеклянной направляющей, обеспечивая контакт опорных подшипников с подложкой измерительной дифракционной решетки и стеклянной направляющей и между магнитами и металлическими лентами имеется воздушный зазор, обеспеченный опорными подшипниками и дающий возможность перемещения считывающей головки вдоль оси измерительной дифракционной решетки.