УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ

1. Устройство для нанесения покрытий на детали, содержащее камеру (1) осаждения и множество оборудований (2, 3) для нанесения покрытий, предназначенных для одновременной или последовательной подачи покрывающих материалов в камеру (1) осаждения,
при этом по меньшей мере одно из указанных оборудований (2) для нанесения покрытий представляет собой источник (2) ионов металлов с фильтрованной дугой,
а по меньшей мере одно другое из указанных оборудований (3) для нанесения покрытий представляет собой оборудование, выбранное из источника (3) лазерной абляции, магнетрона, оборудования для осаждения из паровой фазы или низкоэнергетической ионной пушки (5),
отличающееся тем, что по меньшей мере два из оборудований (2, 3) для нанесения покрытий съемно соединены с камерой (1) осаждения посредством соединительных фланцев (10),
причем по меньшей мере два из фланцев (10) являются идентичными, так что одно оборудование (2, 3) для нанесения покрытий может соединяться посредством различных фланцев (10) с камерой (1) осаждения.
2. Устройство по п.1, в котором источник (2) ионов металлов с фильтрованной дугой содержит по меньшей мере одну пару источников (28) ионов металлов, причем каждый источник ионов металлов имеет по меньшей мере один катод (20), по меньшей мере один анод (21) и соответствующие катушки (23, 24, 25, 26, 27), причем угол β между направлениями испускания двух источников (28) ионов металлов в каждой паре превышает 90°, но меньше 170°.
3. Устройство по п.2, в котором направления испускания двух источников (28) ионов металлов в каждом или в паре не расположены на одной плоскости.
4. Устройство по п.2 или 3, которое содержит две пары источников (28) ионов металлов, наложенных друг на друга.
5. Устройство по п.2 или 3, в котором катод (20) имеет коническую форму для обеспечения однородности осаждения во время периода эксплуатации.
6. Устройство по п.2 или 3, в котором каждый из источников (28) ионов металлов содержит две фокусирующие катушки (23, 24) для фокусирования луча ионов металлов.
7. Устройство по п.2 или 3, в котором источник (2) ионов металлов с фильтрованной дугой содержит по меньшей мере одну первую катушку (27), которую пересекает луч ионов металлов, образованный каждым из источников ионов металлов.
8. Устройство по п.7, в котором источник (2) ионов металлов с фильтрованной дугой содержит по меньшей мере одну вторую катушку (25) позади источника ионов металлов, при этом первая катушка и вторая катушка взаимодействуют для отклонения луча ионов металлов в направлении камеры осаждения.
9. Устройство по п.1, которое дополнительно содержит по меньшей мере один источник тока для генерирования импульсного тока для питания источника ионов металлов с фильтрованной дугой, причем источник тока выполнен с возможностью вырабатывания тока с максимальной амплитудой выше 4000 А при частоте от 1 до 100 Гц.
10. Устройство по п.1, в котором источник (3) лазерной абляции содержит по меньшей мере одну отклоняющую катушку (39) для отклонения и фильтрации частиц, подвергаемых абляции источником лазерной абляции.
11. Устройство по п.10, в котором отклоняющая катушка (39), предназначенная для отклонения и фильтрации частиц, подвергаемых абляции источником лазерной абляции, выполнена с возможностью поворота для контролирования отклонения луча частиц.
12. Устройство по п.10 или 11, которое дополнительно содержит по меньшей мере одну катушку (26), которую пересекает луч ионов металлов и по меньшей мере одну катушку (38), которую пересекает луч частиц, подвергаемых абляции источником лазерной абляции, причем указанные катушки (26, 38) взаимодействуют для контролирования рассеивания частиц в камере (1) осаждения.
13. Устройство по п.1, в котором источник (3) лазерной абляции содержит лазер (30), зеркало (31) для отклонения лазерного луча, образованного лазером, в направлении мишени (32), первый электродвигатель (33) для вращения мишени и второй электродвигатель (34) для смещения зеркала так, чтобы подвергать абляции различные участки мишени.
14. Устройство по п.13, в котором лазерный луч (300) образует угол меньше 45° с касательной к мишени (32).
15. Устройство по п.13 или 14, которое дополнительно содержит третий электродвигатель для смещения мишени относительно лазерного луча вдоль оси, параллельной оси вращения мишени.
16. Устройство по п.1, в котором источник лазерной абляции содержит два лазера (30) для абляции одной или более мишени.
17. Способ изготовления детали с покрытием из детали без покрытия, включающий использование множества оборудований (2, 3) для нанесения покрытий вокруг камеры (1) осаждения, содержащей множество совместимых соединительных фланцев (10),
при этом способ включает установку источника (2) ионов металлов с фильтрованной дугой на любой из соединительных фланцев (10), установку источника (3) лазерной абляции на любой другой из соединительных фланцев (10) и последовательное осаждение различных слоев различных покрывающих материалов на одну или более деталей в камере (1) осаждения.