ПОКРЫТЫЕ ВЫСОКОПРОЧНЫМ МАТЕРИАЛОМ ИЗДЕЛИЯ ИЗ МЕТАЛЛА, ТВЁРДОГО СПЛАВА, МЕТАЛЛОКЕРАМИКИ ИЛИ КЕРАМИКИ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТАКИХ ИЗДЕЛИЙ

x
1-x
x
y
1. Покрытые высокопрочным материалом изделия из металла, твердого сплава, металлокерамики или керамики, где указанное покрытие состоит из композитного слоя TiSiCN или из системы слоев, содержащей по меньшей мере один слой TiSiCN, отличающиеся тем, что композитный слой из TiSiCN представляет собой нанокомпозитное покрытие, полученное с использованием термического способа химического осаждения из газовой фазы без дополнительного плазменного возбуждения и содержащее нанокристаллическую фазу из TiCN с размером кристаллитов от 5 до 150 нм и вторую фазу из аморфного SiCN.
x
1-x
x
y
2. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что нанокристаллическая фаза TiCN присутствует в количестве от 60 до 99 мас.%, а аморфная фаза SiCN - в количестве от 1 до 40 мас.%.
x
1-x
x
y
3. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что нанокристаллическая фаза TiCN в нанокомпозитном покрытии имеет 0,1≤х≤0,99, а аморфная фаза SiCN имеет 0,1≤х≤0,95 и 0,05≤у≤0,9.
4. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что содержание углерода в композитном покрытии TiSiCN составляет более 8 ат.%.
5. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что в композитном покрытии TiSiCN в качестве дополнительного компонента содержится аморфный углерод в количестве до 5 мас.%.
6. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что в нанокомпозитном покрытии TiSiCN содержится менее 1 ат.% галогенов и менее 4 ат.% кислорода.
7. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что нанокомпозитное покрытие из TiSiCN состоит из отдельных слоев TiSiCN с различными соотношениями между титаном и кремнием.
8. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что нанокомпозитное покрытие из TiSiCN характеризуется градиентом содержания кремния и титана.
9. Покрытые высокопрочным материалом изделия по п. 1, отличающиеся тем, что нанокомпозитное покрытие из TiSiCN находится в многослойной системе в комбинации с одним или несколькими покровными слоями и/или слоями, предназначенными для соединения с основой изделия, причем указанные слои состоят из одного или нескольких нитридов, карбидов, карбонитридов, оксинитридов, оксикарбидов, оксикарбонитридов и оксидов титана, гафния, циркония, хрома и/или алюминия или из смешанных фаз с присутствием этих элементов.
x
1-x
x
y
10. Способ изготовления покрытых высокопрочным материалом изделий из металла, твердого сплава, металлокерамики или керамики, где указанное покрытие состоит из нанокомпозитного слоя TiSiCN или многослойной системы, содержащей по меньшей мере один композитный слой TiSiCN, причем этот композитный слой TiSiCN представляет собой нанокомпозитное покрытие, содержащее нанокристаллическую фазу TiCN с размером кристаллитов от 5 до 150 нм и вторую фазу из аморфного SiXN, в соответствии с п. 1, отличающийся тем, что нанокомпозитное покрытие из TiSiCN осаждают на изделие из газовой смеси, содержащей один или несколько галогенидов титана, один или несколько кремнийсодержащих предшественников, водород и реакционные соединения, содержащие атомы углерода и азота, и/или азотные соединения, и/или углеводороды, и/или инертные газы, с использованием термического способа химического осаждения из газовой фазы при температуре от 700 до 1100°С и давлении от 10 Па до 101,3 кПа без дополнительного плазменного возбуждения, причем молярное соотношение между галогенидами титана и кремнийсодержащими предшественниками выбирается таким, чтобы в газовой смеси обеспечивалось соотношение между атомами кремния и титана, превышающее 1.
11. Способ по п. 10, отличающийся тем, что в качестве реакционных соединений, содержащих атомы углерода и азота, используют один или несколько нитрилов или аминов.
12. Способ по п. 11, отличающийся тем, что в качестве реакционных соединений, содержащих атомы углерода и азота, используют ацетонитрил.
2
3
2
4
2
2
13. Способ по п. 10, отличающийся тем, что в качестве азотных соединений используют N и/или NH, а в качестве углеводородов - CH и/или СН.