СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ БОРОСИЛИКАТНЫХ СЛОЕВ

3
3
2
2
S
Способ получения боросиликатных слоев, включающий процесс диффузии бора с применением жидкого источника - трехбромистого бора (BBr), отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется жидкий источник - трехбромистый бор (BBr) при следующем расходе газов: азот N=240 л/ч, кислород O=120 л/ч, температура -880°C, время загонки бора -14±2 мин, причем поверхностное сопротивление равно R=45±5 Ом/см.