МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП

1. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп, содержащий:
основание (1),
блок предварительного сближения (3), мобильно установленный на основании (1),
пьезосканер (4), расположенный на блоке предварительного сближения (3),
держатель объекта (5), расположенный на пьезосканере (4),
образец (6), содержащий зону измерений (М) и закрепленный с помощью держателя объекта (5) на пьезосканере (4),
платформу (9), закрепленную на основании (1) напротив образца (6),
анализатор, установленный на платформе (9) и содержащий первую измерительную головку (13), обращенную к образцу (6) и
адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6),
характеризующийся тем, что
он содержит первую (10) и вторую (11) направляющие, закрепленные на платформе (9), тем, что анализатор содержит вторую измерительную головку (16), обращенную к образцу (6) и адаптированную для зондирования зоны измерений (М) образца (6), и тем, что первая (13) и вторая (16) измерительные головки мобильно установлены соответственно на первой (10) и второй (11) направляющих.
2. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит оптический блок
(29), закрепленный на основании (1) и включающий:
лазерный модуль (19),
первые двухкоординатные направляющие (21), обращенные к образцу (6) и закрепленные на лазерном модуле (19),
лазер (20), мобильно установленный на первых двухкоординатных направляющих (21) и могущий быть оптически сопряженным с зоной измерения (М) образца (6),
приемный модуль (24),
вторые двухкоординатные направляющие (26), обращенные к образцу (6) и закрепленные на приемном модуле (24),
фотоприемник (25), мобильно установленный на вторых двухкоординатных направляющих (26) и могущий быть оптически сопряженным с зоной измерения (М) образца (6).
3. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит:
первый двухкоординатный стол (2), связующий блок предварительного сближения (3) с основанием (1),
второй двухкоординатный стол (7), и
оптический микроскоп (8), закрепленный на втором двухкоординатном столе (7).
4. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что платформа (9) содержит упоры (12) с подвижными винтами (34), и тем, что первая (13) и вторая (16) измерительные головки адаптированы:
линейно перемещаться по первой (10) и второй (11) направляющим соответственно до упоров (12), и/или
радиально перемещаться относительно первой (10) и второй (11) направляющих соответственно.
5. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит:
жидкостной модуль (45),
резервуар (49) с жидкостью,
ловитель (42), и
тем, что ловитель (42) установлен на платформе (9), жидкостной модуль (45) ориентированно установлен на ловителе (42), резервуар (49) с жидкостью закреплен на держателе объекта (5) и сопряжен с анализатором.
6. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит модуль измерения твердости (53), ориентированно установленный на ловителе (42).
7. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первая (13) и вторая (16) измерительные головки, одновременно установленные на первых (10) и вторых (11) направляющих соответственно, являются головками по меньшей мере одного из указанных ниже типов: (а) туннельная головка, в которой зонд выполнен в виде иглы (15), а держатель зонда выполнен в виде захвата (14) иглы (15); (б) атомно-силовая головка, в которой зонд выполнен в виде кантилевера (18), а держатель зонда в виде захвата (17) кантилевера (18).
8. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что он содержит:
блок нагрева (59),
термопара (62),
бесконтактный измеритель температуры (63), и
тем, что блок нагрева (59) установлен на держателе объекта (5), термопара (62) закреплена на блоке нагрева (59), бесконтактный измеритель температуры (63) оптически сопряжен с образцом (6).
9. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что в него введен точный захват (65) иглы (15) содержащий:
кронштейн (67) с V-образной канавкой (66), удлиненной вдоль центральной направляющей (ВН) и представляющей микронеровности предопределенного первого размера,
винт (69), удлиненный вдоль продольной оси (КР), установленный в кронштейне (67) и сопряженный с V-образной канавкой (66).
10. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.9, характеризующийся тем, что винт (69) имеет правую резьбу 15, и тем, что продольная ось (КР) винта (69) смещена относительно центральной направляющей (ВН) V-образной канавки (66).
11. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.9, характеризующийся тем, что винт (69) имеет левую резьбу, и тем, что продольная ось (КР) винта (69) смещена относительно центральной направляющей (ВН) V-образной канавки(66).
12. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.9, характеризующийся тем, что винт (69) содержит торец (70), краевая поверхность которого представляет микронеровности предопределенного второго размера большего по сравнению с первым размером микронеровностей V-образной канавки (66).
13. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что в него введен первый точный захват (75) кантилевера (18), содержащий:
первую опору (76),
вторую опору (77) со скосом (78),
первую пластину(80),
пружинный элемент (79), и
тем, что
первая опора (76), вторая опора (77) со скосом (78) и пружинный элемент (79) закреплены на первой пластине и адаптированы взаимодействовать с кантилевером (18),
пружинный элемент (79) установлен напротив первой опоры (76).
14. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что в него введен второй точный захват (81) кантилевера (18) содержащий:
третью опору(83),
четвертую опору (84) со скосом (85),
вторую пластину (82),
эксцентрик (86) с упругим элементом (87), и
тем, что
третья опора (83), четвертая опора (84) со скосом (85) и эксцентрик (86) с упругим элементом (87) закреплены на второй пластине (82) и адаптированы взаимодействовать с кантилевером (18),
эксцентрик (86) установлен на второй пластине (82) напротив четвертой опоры (84) со скосом (85).
15. Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп по п.1, характеризующийся тем, что первая (13) и вторая (16) измерительные головки содержат механизированные приводы.