ФАЗОСДВИГАЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР С ДИФРАКЦИОННОЙ ВОЛНОЙ СРАВНЕНИЯ И ИСТОЧНИК ЭТАЛОННОЙ СФЕРИЧЕСКОЙ ВОЛНЫ ДЛЯ НЕГО

1. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения, содержащий источник высококогерентного света, выход которого связан с первой частью оптического волокна, первый источник эталонной сферической волны и средство для перенаправления пучка света от исследуемого объекта на регистратор, при этом первый источник эталонной сферической волны включает отрезок оптического волокна, первый конец которого служит входом первый источника эталонной сферической волны, а второй конец выполнен суженным с металлизированными до вершины скосами, отличающийся тем, что первая часть оптического волокна содержит первый поляризационный контроллер, а первый источник эталонной сферической волны дополнительно содержит корпус, в котором закреплен указанный отрезок оптического волокна, вершина размещена в выходном отверстии корпуса, при этом функцию средства для перенаправления света выполняет основная плоскость корпуса, корпус снабжен крепежным элементом, с помощью которого корпус жестко связан с пьезоприводом, связанным по сигналу с регистратором.
2. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.1, отличающийся тем, что содержит второй источник эталонной сферической волны, при этом в интерферометр введена вторая часть оптоволокна со вторым поляризационным контроллером, а между источником высококогерентного света и первым и вторым поляризационными контроллерами установлен оптоволоконный делитель света, выход которого связан с первой и второй частями оптического волокна.
3. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.2, отличающийся тем, что второй источник эталонной сферической волны включает отрезок оптического волокна, первый конец которого служит входом источника эталонной сферической волны, а второй конец отрезка выполнен суженным с металлизированными до вершины скосами.
4. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.2, отличающийся тем, что первый и второй источники эталонной сферической волны каждый, соответственно, содержит корпус, в котором закреплен соответствующий отрезок оптического волокна, первый конец отрезка служит входом источника эталонной сферической волны, а второй конец отрезка выполнен суженным с металлизированными до вершины скосами, а вершина отрезка размещена в выходном отверстии на основной плоскости соответствующего корпуса.
5. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.1, или 2, или 3, или 4, отличающийся тем, что крепежные элементы корпуса источника эталонной сферической волны выполнены в виде хомутов или цанг.
6. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.1, или 2, или 3, или 4, отличающийся тем, что дополнительно снабжен позиционером для фиксации исследуемого объекта.
7. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.1, или 2, или 3, или 4, отличающийся тем, что между регистратором и источником эталонной сферической волны установлена наблюдательная система.
8. Фазосдвигающий интерферометр с дифракционной волной сравнения по п.1, или 2, или 3, или 4, отличающийся тем, что интерферометр дополнительно снабжен корректором волнового фронта сферической волны.
9. Источник эталонной сферической волны, содержащий отрезок оптического волокна, первый конец которого служит входом источника, а второй конец выполнен суженным с металлизированными до вершины скосами, отличающийся тем, что он содержит корпус, включающий жестко связанные первую и вторую части, в которых выполнены, соответственно, первая и вторая части полости, причем вторая часть полости сужена к выходному отверстию на основной плоскости корпуса, по меньшей мере, участок которой выполнен отражающим, отрезок оптического волокна закреплен в указанной полости, а его вершина размещена в выходном отверстии на основной плоскости корпуса.
10. Источник эталонной сферической волны по п.9, отличающийся тем, что первая часть корпуса источника эталонной сферической волны выполнена в виде обоймы, а вторая часть корпуса выполнена в виде пластины, обращенной к первой части корпуса стороной, противоположной основной плоскости.
11. Источник эталонной сферической волны по п.9, отличающийся тем, что первая часть корпуса источника эталонной сферической волны выполнена в виде втулки, при этом вторая часть корпуса, выполненная в виде стакана заодно целое, охватывает первую часть.
12. Источник эталонной сферической волны по п.9, отличающийся тем, что первая часть корпуса источника эталонной сферической волны выполнена из внешней и внутренней жестко связанных частей, при этом внутренняя часть выполнена в форме втулки.
13. Источник эталонной сферической волны по п.9, отличающийся тем, что вторая часть корпуса источника эталонной сферической волны выполнена из обладающего свойством анизотропного травления материала.