ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

19
-3
Полупроводниковый преобразователь давлени , содержащий кремниевую мембрану с утолщенным периферийным основанием, выполненную из кремни  n-типа проводимости и легированную бором до концентрации не менее 5·10 см, и имеющую толщину, равную высоте тензорезисторов, сформированных на закрепленном на мембране слое двуокиси кремни  и выполненных из кремни , легированного бором до того же уровн  концентрации, что и мембрана, и объединенных с помощью коммутационных шин в мостовую измерительную схему, и имеющих соединенные с ними металлизированные контактные площадки, отличающийс  тем, что в нем мембрана содержит профиль с концентраторами механических напр жений в месте расположени  тензорезисторов, который представл ет собой сочетание утонченных участков и жестких центров, а поверхность тензорезисторов покрыта слоем двуокиси кремни .