СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ТИПА БОРА В ГАЛОГЕНСИЛАНАХ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ уменьшения содержания элементов третьей главной группы периодической системы в галогенсиланах технической чистоты с целью получения очищенных галогенсиланов, который включает следующие стадии:
a) примешивание подлежащих очистке галогенсиланов к трифенилметилхлориду для образования труднорастворимых в галогенсиланах комплексов,
b) получение очищенных галогенсиланов путем выделения образовавшихся труднорастворимых комплексов посредством механического воздействия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что выделение комплексов осуществляют посредством центрифугирования, счерпывания, декантирования, седиментации и/или фильтрования.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадию а) примешивания подлежащих очистке галогенсиланов к трифенилметилхлориду для образования комплексов осуществляют в аппарате (2), из которого галогенсиланы и комплексы по меньшей мере частично переводят в узел разделения (3) с целью выделения комплексов на стадии b).
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что стадии а) и b) объединены в непрерывный процесс получения высокочистых галогенсиланов.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что уменьшают содержание бора и/или алюминия.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что под галогенсиланами подразумевают хлорсиланы.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что под галогенсиланами подразумевают тетрахлорсилан и/или трихлорсилан.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в галогенсиланах технической чистоты определяют содержание примесей, образующих комплексы с трифенилметилхлоридом.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что трифенилметилхлорид добавляют на стадии а) в таком количестве, чтобы произведение растворимости образуемого(-ых) с ним комплекса(-ов) соединений элементов третьей главной группы периодической системы было превышено настолько, чтобы образовавшийся(-еся) комплекс(-ы) выпал(-и) в осадок.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что трифенилметилхлорид добавляют на стадии а) постепенно.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что одновременно с примешиванием к трифенилметилхлориду или после указанного примешивания на стадии а) выполняют термическую обработку реакционной смеси.
12. Способ по п.2, отличающийся тем, что фильтрование осуществляют фильтрующими средами со средним диаметром пор ≤100 мкм.
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что получают высокочистые галогенсиланы.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что получают высокочистые галогенсиланы с содержанием соответствующего элемента третьей главной группы периодической системы ≤50 мкг/кг.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что к механическому выделению комплексов присоединена по меньшей мере однократная дистилляция, причем получают высокочистые галогенсиланы.
16. Способ по одному из пп.1-15, отличающийся тем, что к механическому выделению комплексов присоединена по меньшей мере однократная дистилляция, причем получают высокочистый тетрахлорсилан, трихлорсилан и/или дихлорсилан.
17. Устройство (1) для уменьшения содержания элементов третьей главной группы периодической системы в галогенсиланах технической чистоты с целью получения очищенных галогенсиланов, которое включает по меньшей мере один аппарат (2) для образования комплексов соединений, содержащих указанные элементы, и присоединенный к аппарату (2) узел разделения (3), который, в свою очередь, включает устройство, позволяющее отделять осажденные комплексы посредством механического воздействия на галогенсиланы.
18. Устройство по п.17, отличающееся тем, что узел разделения (3) последовательно присоединен по меньшей мере к одному аппарату (2).
19. Устройство по п.17, отличающееся тем, что узел разделения (3) включает узел центрифугирования, узел декантирования и/или узел фильтрования, а также при необходимости узел дистилляции.
20. Устройство по п.19, отличающееся тем, что узел дистилляции включает дистилляционный куб, колонну и по меньшей мере один приемный резервуар.
21. Устройство по п.17, отличающееся тем, что к аппарату (2) присоединен дозатор.
22. Устройство по одному из пп.17-21, отличающееся тем, что оно присоединено к общему устройству, включающему реактор для превращения металлургического кремния.
23. Применение устройства по одному из пп.17-22 для осуществления способа по одному из пп.1-22.