ПОДЛОЖКА ДЛЯ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

1. Подложка для фотопреобразователя, включающая полупроводниковую пластину, отличающаяся тем, что пластина с тыльной стороны подложки выполнена в виде ячеистой решетки с глухими сотовыми ячейками.
2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что ячейки получены химическим или плазмохимическим травлением.
3. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что ячейки выполнены на глубину 0,5-0,8 толщины пластины.
4. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что выполнена из кремния или арсенида, галлия или германия.