ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК ИЗОБРАЖЕНИЯ И СИСТЕМА ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

1. Твердотельный датчик изображения, включающий полупроводниковую подложку, содержащую множество фотоэлектрических элементов преобразования, причем датчик содержит:
- первую изолирующую пленку, которая расположена на полупроводниковой подложке и имеет множество отверстий, при этом каждое из множества отверстий расположено на одном из упомянутого множества фотоэлектрических элементов преобразования;
- множество участков изолятора, показатель преломления которых выше показателя преломления первой изолирующей пленки, при этом каждый из множества участков изолятора расположен в одном из упомянутого множества отверстий;
- вторую изолирующую пленку, которая расположена на верхних поверхностях упомянутого множества участков изолятора и верхней поверхности первой изолирующей пленки; и
- третью изолирующую пленку, показатель преломления которой ниже показателя преломления второй изолирующей пленки, и которая расположена в контакте с верхней поверхностью второй изолирующей пленки,
при этом обеспечивают соблюдение условия t<λ/n, где λ - длина волны света, поступающего в упомянутое множество участков изолятора, n - показатель преломления второй изолирующей пленки и t - толщина второй изолирующей пленки, по меньшей мере, в части области на верхней поверхности первой изолирующей пленки.
2. Датчик по п.1, в котором верхняя поверхность второй изолирующей пленки выполнена гладкой и непрерывной.
3. Датчик по п.1, в котором дополнительно обеспечивают соблюдение условия t1>λ/n, где t1 - толщина второй изолирующей пленки, по меньшей мере, в части области на верхних поверхностях упомянутого множества участков изолятора.
4. Датчик по п.1, в котором отверстие имеет коническую форму, при которой площадь увеличивается с увеличением расстояния от фотоэлектрического элемента преобразования.
5. Датчик по п.1, в котором вторая изолирующая пленка и участок изолятора изготовлены из одного из следующего: нитрида кремния и оксинитрида кремния.
6. Датчик по п.1, дополнительно содержащий цветной фильтр на третьей изолирующей пленке.
7. Датчик по п.1, в котором, по меньшей мере, часть из упомянутого множества участков изолятора и вторая изолирующая пленка выполнены как единое целое.
8. Система формирования изображения, содержащая:
- твердотельный датчик изображения по любому из пп.1-7; и
- блок обработки сигнала, выполненный с возможностью обработки сигнала, полученного твердотельным датчиком изображения.