УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ПРОЦЕССА ПЛАЗМЕННОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

1. Устройство для осуществления процесса плазменного химического осаждения из паровой фазы, содержащее, по существу, цилиндрический резонатор, снабженный наружной цилиндрической стенкой, заключающей резонансную полость, проходящую в периферийном направлении вокруг оси цилиндра, причем резонатор дополнительно снабжен частями боковой стенки, ограничивающими резонансную полость в направлении цилиндра, и щелевой структурой, проходящей в периферийном направлении вокруг оси цилиндра и обеспечивающей доступ из резонансной полости радиально внутрь,
при этом щелевая структура содержит щелевые секции, которые являются взаимно смещенными в направлении цилиндра.
2. Устройство по п.1, в котором каждая из щелевых секций проходит в указанном в периферийном направлении в пределах полукруга.
3. Устройство по п.1 или 2, в котором периферийное крайнее положение первой щелевой секции, по существу, совпадает с периферийным исходным положением второй щелевой секции.
4. Устройство по п.1 или 2, в котором периферийный размер щелевых секций больше ширины щелевых секций.
5. Устройство по п.1 или 2, в котором щель сформирована парой щелевых секций, обращенных друг к другу при наблюдении в направлении цилиндра.
6. Устройство по п.1 или 2, в котором смещение между щелевыми секциями составляет примерно четверть длины волны плазмы (микроволновой).
7. Устройство по п.1 или 2, в котором смещение между щелевыми секциями больше примерно 5 мм, предпочтительно в диапазоне от примерно 30 мм до примерно 50 мм.
8. Устройство по п.1 или 2, дополнительно содержащее СВЧ волновод, конец которого проходит через наружную цилиндрическую стенку в резонансную полость.
9. Устройство по п.1 или 2, в котором каждая щелевая секция позволяет микроволновой энергии проходить радиально внутрь, причем интенсивности соответствующей проходящей микроволновой энергии, по существу, являются согласованными.
10. Устройство по п.1 или 2, в котором ширина щелевых секций взаимно различается.
11. Устройство по п.1 или 2, в котором места расположения щелевых секций являются симметричными относительно плоскости симметрии СВЧ волновода.
12. Устройство по п.1 или 2, в котором резонансная полость в целом имеет, по существу, вращательную симметричную форму.
13. Устройство по п.1 или 2, в котором резонатор содержит два, по существу, идентичных полублока, которые расположены со смещением относительно друг друга в направлении цилиндра.
14. Устройство по п.1 или 2, в котором резонатор снабжен внутренней цилиндрической стенкой, ограничивающей резонансную полость в радиальном направлении к оси цилиндра, причем указанная щель расположена во внутренней цилиндрической стенке.
15. Устройство по п.1 или 2, дополнительно содержащее соединитель для соединения микроволнового генератора со вторым концом СВЧ волновода.
16. Устройство по п.1 или 2, в котором подложка трубки расположена в трубчатом внутреннем пространстве радиально внутри резонансной полости, причем подложка трубки расположена с возможностью вращения относительно оси цилиндра резонатора во время работы устройства.
17. Устройство по п.1 или 2, в котором резонатор выполнен с возможностью возвратно-поступательного перемещения вдоль подложки трубки в направлении цилиндра.