ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ СТРУКТУРЫ "ПОЛИКРЕМНИЙ-ДИЭЛЕКТРИК"

Полупроводниковый преобразователь давления, содержащий упругий элемент, выполненный из кремния с поверхностью, покрытой изолирующим слоем двуокиси кремния, на котором сформированы тензорезисторы из поликристаллического кремния, легированные бором и объединенные при помощи коммутационных шин в мостовую схему, отличающийся тем, что тензорезисторы объединены при помощи коммутационных шин в многоэлементную мостовую схему, которая содержит три измерительных моста, каждый из которых состоит из четырех тензорезисторов одинакового номинала, и четырех дополнительных тензорезисторов, номинальное сопротивление которых в четыре раза меньше сопротивления тензорезисторов в составе измерительных мостов, при этом узлы измерительных диагоналей каждого моста последовательно соединены между собой, а дополнительные тензорезисторы включены в цепи питания первого и третьего мостов таким образом, что они образуют измерительный мост второго порядка, причем выходное напряжение схемы снимается с крайних узлов измерительной диагонали первого и третьего мостов.