СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЯЮЩИХ ВЕЩЕСТВ ИЗ ВЫХОДЯЩИХ ГАЗОВ

1. Способ удаления загрязняющих веществ из выходящего потока с операции травления металла, который (способ) содержит следующие стадии:
а) введение измеренного количества газообразного кислорода в травильный раствор на операции травления металла, где кислород окисляет продукты реакции азотной кислоты и металла в травильном растворе, образуя оксиды азота и регенерируя азотную кислоту;
b) введение дополнительного кислорода в травильный раствор для дополнительного снижения истощения азотной кислоты в травильном растворе;
с) введение газообразного кислорода в выходящий поток, который содержит пары травильной кислоты и оксиды азота, образованные на стадии а), где газообразный кислород вводится регулируемым способом;
d) собирание и транспортирование выходящего потока в первую скрубберную систему, в которой кислотный газ и оксиды азота удаляются из выходящего потока;
е) транспортирование выходящего потока по трубопроводу во вторую скрубберную систему;
f) введение озона в трубопровод между первой скрубберной системой и второй скрубберной системой, в результате смешивая с выходящим потоком с окислением оставшихся оксидов азота; и
g) мокрая очистка окисленных оксидов азота в выходящем потоке во второй скрубберной системе.
2. Способ по п. 1, в котором травильная ванна содержит азотную кислоту и фтористоводородную кислоту.
3
x
3. Способ по п. 1, в котором измеренное количество газообразного кислорода, вводимого в травильный раствор, определяется способом, выбранным из группы, состоящей из, по меньшей мере, одной четвертой по массе HNO, потребляемой иным образом в операции травления, или одной трети NO по массе, возникающих от травильной ванны, любой является меньше.
4. Способ по п. 1, в котором продуктами реакции азотной кислоты является азотистая кислота.
5. Способ по п. 1, в котором азотистая кислота взаимодействует с кислородом, растворенным в травильном растворе, с регенерацией азотной кислоты.
6. Способ по п. 1, в котором газообразный кислород вводится в травильный раствор при высоком давлении.
7. Способ по п. 1, в котором газообразный кислород вводится в травильный раствор посредством устройства Вентури.
8. Способ по п. 1, в котором дополнительный кислород является растворимым в травильном растворе.
9. Способ по п. 1, в котором дополнительный кислород, введенный в травильный раствор, взаимодействует с азотистой кислотой с образованием азотной кислоты.
10. Способ по п. 1, в котором пары травильной кислоты выбраны из группы, состоящей из фтористоводородной кислоты и азотной кислоты.
11. Способ по п. 1, в котором регулируемый способ, которым вводится кислород, выбран из группы, состоящей из приборного оснащения, использующего окислительно-восстановительный потенциал, на линии травильного раствора и измерения уровня оксидов азота в газообразном выходящем потоке.
2
12. Способ по п. 1, в котором оксидами азота является NO.
13. Способ по п. 1, в котором пары травильной кислоты и продукты истощенной азотной кислоты собираются и транспортируются узлом вытяжной колпак - трубопровод.
14. Способ по п. 1, в котором первой скрубберной системой является скрубберная система мокрой очистки каустическим или щелочным раствором.
15. Способ по п. 1, в котором озонный генератор находится в текучем сообщении с трубопроводом.
16. Способ по п. 1, в котором озон вводится в трубопровод в интервале от примерно 2 до 12% мас. озона.
17. Способ по п. 1, в котором количество введенного озона регулируется измерением концентрации оксидов азота выше по потоку от введения озона и ниже по потоку от второй скрубберной системы.
18. Способ по п. 1, в котором второй скрубберной системой является скрубберная система мокрой очистки каустическим или щелочным раствором.
2
5
19. Способ по п. 1, в котором озон присутствует в трубопроводе в течение времени, достаточного для превращения оксидов азота в NO.
20. Способ удаления загрязняющих веществ из выходящего потока с операции травления металла, который (способ) содержит следующие стадии:
а) введение измеренного количества газообразного кислорода в травильный раствор на операции травления металла, где кислород окисляет продукты реакции азотной кислоты и металла в травильном растворе, образуя оксиды азота и регенерируя азотную кислоту;
b) введение дополнительного кислорода в травильный раствор для дополнительного снижения истощения азотной кислоты в травильном растворе;
с) введение газообразного кислорода в выходящий поток, который содержит пары травильной кислоты и оксиды азота, образованные на стадии а), где газообразный кислород вводится регулируемым способом;
d) собирание и транспортирование выходящего потока в трубопровод;
е) введение озона в трубопровод, смешивая в результате выходящий поток и озон с окислением оксидов азота; и
f) подача выходящего потока в первую скрубберную систему, в которой кислотный газ и оксиды азота удаляются из выходящего потока.
21. Способ по п. 20, в котором травильная ванна содержит азотную кислоту и фтористоводородную кислоту.
3
x
22. Способ по п. 20, в котором измеренное количество газообразного кислорода, введенного в травильный раствор, определяется способом, выбранным из группы, состоящей из, по меньшей мере, одной четвертой по массе HNO, потребленной иначе в операции травления, или одной трети NO по массе, возникающего из травильной ванны, любой является меньше.
23. Способ по п. 20, в котором продуктами реакции азотной кислоты является азотистая кислота.
24. Способ по п. 20, в котором азотистая кислота взаимодействует с кислородом, растворенным в травильном растворе, с регенерированием азотной кислоты.
25. Способ по п. 20, в котором газообразный кислород вводится в травильный раствор при высоком давлении.
26. Способ по п. 20, в котором газообразный кислород вводится в травильный раствор посредством устройства Вентури.
27. Способ по п. 20, в котором дополнительный кислород является растворимым в травильном растворе.
28. Способ по п. 20, в котором дополнительный кислород, введенный в травильный раствор, взаимодействует с азотистой кислотой с образованием азотной кислоты.
29. Способ по п. 20, в котором пары травильной кислоты выбраны из группы, состоящей из фтористоводородной кислоты и азотной кислоты.
30. Способ по п. 20, в котором регулируемый способ, которым вводится кислород, выбран из группы, состоящей из приборного оснащения на линии, использующего окислительно-восстановительный потенциал травильного раствора, и измерения уровня оксидов азота в выходящем газовом потоке.
2
31. Способ по п. 20, в котором оксидами азота является NO.
32. Способ по п. 20, в котором пары травильной кислоты и продукты истощенной азотной кислоты собираются и транспортируются узлом вытяжной колпак - трубопровод.
33. Способ по п. 20, в котором первой скрубберной системой является скрубберная система мокрой очистки каустическим или щелочным раствором.
34. Способ по п. 20, в котором озонный генератор находится в жидкостном сообщении с трубопроводом.
35. Способ по п. 20, в котором озон вводится в трубопровод в интервале от примерно 2 до примерно 12% мас. озона.
36. Способ по п. 20, в котором количество введенного озона контролируется путем измерения концентрации оксидов азота выше по потоку от введения озона и ниже по потоку от второй скрубберной системы.
2
5
37. Способ по п. 20, в котором озон присутствует в трубопроводе в течение времени, достаточного для превращения оксидов азота в NO.
38. Способ удаления загрязняющих веществ из выходящего потока от (азотная кислота)содержащего окисления химических веществ, выбранных из группы, состоящей из неорганических и органических химических веществ, причем способ содержит следующие стадии:
а) введение измеренного количества газообразного кислорода в раствор способа (азотная кислота)содержащего окисления, где кислород окисляет продукты взаимодействия азотной кислоты и химических веществ в растворе, образуя оксиды азота и регенерируя азотную кислоту;
b) введение дополнительного кислорода в раствор для дополнительного снижения истощения азотной кислоты в растворе;
с) введение газообразного кислорода в выходящий поток, который содержит кислотные пары и оксиды азота, образованные на стадии а), где газообразный кислород вводится регулируемым способом;
d) собирание и транспортирование выходящего потока в первую скрубберную систему, в которой кислотный газ и оксиды азота удаляются из выходящего потока;
е) транспортирование выходящего потока по трубопроводу во вторую скрубберную систему;
f) введение озона в трубопровод между первой скрубберной системой и второй скрубберной системой, в результате со смешением с выходящим потоком с окислением оставшихся оксидов азота; и
g) мокрая очистка окисленных оксидов азота в выходящем потоке во второй скрубберной системе.
3
x
39. Способ по п. 38, в котором измеренное количество газообразного кислорода, вводимого в раствор, определяется способом, выбранным из группы, состоящей из, по меньшей мере, одной четвертой по массе HNO, потребляемой в ином случае в способе окисления, или одной трети NO по массе, возникающего от сосуда окисления, любой является меньше.
40. Способ по п. 38, в котором продуктами реакции азотной кислоты является азотистая кислота.
41. Способ по п. 38, в котором азотистая кислота взаимодействует с кислородом, растворенным в растворе, с регенерированием азотной кислоты.
42. Способ по п. 38, в котором азотистая кислота взаимодействует с кислородом, растворенным в растворе, с регенерированием азотной кислоты.
43. Способ по п. 38, в котором газообразный кислород вводится в раствор при высоком давлении.
44. Способ по п. 38, в котором газообразный кислород вводится в раствор посредством устройства Вентури.
45. Способ по п. 38, в котором дополнительный кислород является растворимым в растворе.
46. Способ по п. 38, в котором дополнительный кислород, введенный в травильный раствор, взаимодействует с азотистой кислотой с образованием азотной кислоты.
47. Способ по п. 38, в котором парами кислоты являются пары азотной кислоты.
48. Способ по п. 38, в котором регулируемый способ, которым вводится кислород, выбран из группы, состоящей из приборного оснащения на линии, использующего окислительно-восстановительный потенциал раствора, и измерения уровня оксидов азота в выходящем газовом потоке.
2
49. Способ по п. 38, в котором оксидами азота является NO.
50. Способ по п. 38, в котором пары кислоты и продукты истощенной азотной кислоты собираются и транспортируются узлом вытяжной колпак - трубопровод.
51. Способ по п. 38, в котором первой скрубберной системой является скрубберная система мокрой очистки каустическим или щелочным раствором.
52. Способ по п. 38, в котором озонный генератор находится в жидкостном сообщении с трубопроводом.
53. Способ по п. 38, в котором озон вводится в трубопровод в интервале от примерно 2 до примерно 12% мас. озона.
54. Способ по п. 38, в котором количество введенного озона контролируется путем измерения концентрации оксидов азота выше по потоку от введения озона и ниже по потоку от второй скрубберной системы.
55. Способ по п. 38, в котором второй скрубберной системой является скрубберная система мокрой очистки каустическим или щелочным раствором.
2
5
56. Способ по п. 38, в котором озон присутствует в трубопроводе в течение времени, достаточного для превращения оксидов азота в NO.