УСТРОЙСТВО ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК И СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК

1. Устройство измерения оптических характеристик, содержащее
a) делительную оптическую систему для направления света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
b) анализатор, через который синтезированный свет может проходить в заранее определенном направлении поляризации, причем синтезированный свет состоит из компонента первой поляризации, пропущенного через первую поляризационную пластину, и компонента второй поляризации, пропущенного через вторую поляризационную пластину;
c) оптическую систему формирования изображения для направления синтезированного света, пропущенного через анализатор, в единичную точку для формирования, таким образом, интерференционного изображения;
d) блок детектирования для детектирования интенсивности света интерференционного изображения;
e) блок изменения разности фаз для изменения разности в длине оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации, которые, соответственно, распространяются от первой поляризационной пластины и второй поляризационной пластины к анализатору, для изменения, таким образом, разности фаз между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации; и
f) блок обработки для Фурье-преобразования данных изменения в интенсивности света, обнаруженного блоком детектирования, совместно с изменением в разности фаз, для получения, таким образом, амплитуды относительно длины волны и разности фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению.
2. Устройство измерения оптических характеристик, содержащее
a) делительную оптическую систему для направления света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
b) анализатор, через который синтезированный свет может проходить в заранее определенном направлении поляризации, причем синтезированный свет состоит из компонента первой поляризации, пропущенного через первую поляризационную пластину, и компонента второй поляризации, пропущенного через вторую поляризационную пластину;
c) оптическую систему формирования изображения для фокусировки синтезированного света, пропущенного через анализатор, на единичной прямой, которая проходит в направлении, отличном от направлений оптических осей компонента первой поляризации и компонента второй поляризации, для формирования, таким образом, линейного интерференционного изображения;
d) фазовращатель для обеспечения непрерывного распределения разности длин оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации, которые, соответственно, распространяются от первой поляризационной пластины и второй поляризационной пластины к анализатору, для обеспечения, таким образом, непрерывного изменения фазы между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации;
e) блок детектирования для детектирования распределения интенсивности света линейного интерференционного изображения в направлении, в котором проходит интерференционное изображение; и
f) блок обработки для Фурье-преобразования данных, указывающих распределение интенсивности света интерференционного изображения, выявленное блоком детектирования, для получения, таким образом, амплитуды относительно длины волны и разности фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению.
3. Устройство измерения оптических характеристик, содержащее
a) делительную оптическую систему для направления света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
b) анализатор, через который синтезированный свет может проходить в заранее определенном направлении поляризации, причем синтезированный свет состоит из компонента первой поляризации, пропущенного через первую поляризационную пластину, и компонента второй поляризации, пропущенного через вторую поляризационную пластину;
c) оптическую систему формирования изображения для фокусировки синтезированного света, пропущенного через анализатор, на единичной прямой, которая проходит в направлении, отличном от направлений оптических осей компонента первой поляризации и компонента второй поляризации, для формирования, таким образом, линейного интерференционного изображения;
d) фазовращатель для обеспечения непрерывного распределения разности длин оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации, которые, соответственно, распространяются от первой поляризационной пластины и второй поляризационной пластины к анализатору, для обеспечения, таким образом, непрерывного изменения фазы между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации;
e) спектральную оптическую систему для разрешения по длине волны линейного интерференционного изображения для формирования, таким образом, оптического спектра;
f) блок детектирования для детектирования распределения интенсивности света оптического спектра; и
g) блок обработки для получения амплитуды относительно длины волны и разности фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, из распределения интенсивности света, выявленного блоком детектирования.
4. Устройство измерения оптических характеристик по п.1, в котором
первая поляризационная пластина и вторая поляризационная пластина располагаются так, что направления поляризации компонента первой поляризации и компонента второй поляризации ортогональны друг другу, и наклонены под углом 45º к компоненту электрического поля линейно поляризованного света, падающего на объект, подлежащий измерению.
5. Устройство измерения оптических характеристик по п.1, в котором
делительная оптическая система включает в себя объектив для коллимации света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, в параллельные световые лучи и направления параллельных световых лучей на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину, и
блок обработки получает амплитуду относительно длины волны и разность фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от части объекта, подлежащего измерению, части, соответствующей фокальной точке объектива.
6. Устройство измерения оптических характеристик по п.5, дополнительно содержащее блок изменения фокальной точки для относительного изменения фокальной точки объектива по отношению к объекту, подлежащему измерению.
7. Способ измерения оптических характеристик, содержащий этапы, на которых:
a) заставляют линейно поляризованный свет падать на объект, подлежащий измерению;
b) направляют, посредством делительной оптической системы, свет, излучаемый от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
c) направляют компонент первой поляризации, пропущенный через первую поляризационную пластину, и компонент второй поляризации, пропущенный через вторую поляризационную пластину, в оптическую систему формирования изображения через анализатор, одновременно изменяя разность в длине оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации и фокусируя, посредством оптической системы формирования изображения, направляемые компоненты на единичной точке, для формирования, таким образом, интерференционного изображения; и
d) осуществляют Фурье-преобразование данных, указывающих изменение в интенсивности света интерференционного изображения, для получения, таким образом, амплитуды относительно длины волны и разности фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению.
8. Способ измерения оптических характеристик, содержащий этапы, на которых:
a) заставляют линейно поляризованный свет падать на объект, подлежащий измерению;
b) направляют, посредством делительной оптической системы, свет, излучаемый от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
c) направляют компонент первой поляризации, пропущенный через первую поляризационную пластину, и компонент второй поляризации, пропущенный через вторую поляризационную пластину, в оптическую систему формирования изображения через анализатор, одновременно обеспечивая непрерывное распределение разности длин оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации и фокусируя, посредством оптической системы формирования изображения, направляемые компоненты на единичной прямой, для формирования, таким образом, линейного интерференционного изображения; и
d) осуществляют Фурье-преобразование данных, указывающих распределение интенсивности света линейного интерференционного изображения в направлении, в котором проходит интерференционное изображение, для получения, таким образом, амплитуды относительно длины волны и разности фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению.
9. Способ измерения оптических характеристик, содержащий этапы, на которых:
a) заставляют линейно поляризованный свет падать на объект, подлежащий измерению;
b) направляют, посредством делительной оптической системы, свет, излучаемый от объекта, подлежащего измерению, на который падает линейно поляризованный свет, на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину;
c) направляют компонент первой поляризации, пропущенный через первую поляризационную пластину, и компонент второй поляризации, пропущенный через вторую поляризационную пластину, в оптическую систему формирования изображения через анализатор, одновременно обеспечивая непрерывное распределение разности длин оптического пути между компонентом первой поляризации и компонентом второй поляризации и фокусируя, посредством оптической системы формирования изображения, направляемые компоненты на единичной прямой линии, для формирования, таким образом, линейного интерференционного изображения;
d) разрешают по длине волны, посредством спектральной оптической системы, линейное интерференционное изображение, для получения, таким образом, оптического спектра; и
e) получают амплитуду относительно длины волны и разность фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, на основании распределения интенсивности света оптического спектра.
10. Устройство измерения оптических характеристик по п.2, в котором
первая поляризационная пластина и вторая поляризационная пластина располагаются так, что направления поляризации компонента первой поляризации и компонента второй поляризации ортогональны друг другу, и наклонены под углом 45º к компоненту электрического поля линейно поляризованного света, падающего на объект, подлежащий измерению.
11. Устройство измерения оптических характеристик по п.3, в котором
первая поляризационная пластина и вторая поляризационная пластина располагаются так, что направления поляризации компонента первой поляризации и компонента второй поляризации ортогональны друг другу, и наклонены под углом 45º к компоненту электрического поля линейно поляризованного света, падающего на объект, подлежащий измерению.
12. Устройство измерения оптических характеристик по п.2, в котором
делительная оптическая система включает в себя объектив для коллимации света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, в параллельные световые лучи и направления параллельных световых лучей на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину, и
блок обработки получает амплитуду относительно длины волны и разность фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от части объекта, подлежащего измерению, части, соответствующей фокальной точке объектива.
13. Устройство измерения оптических характеристик по п.3, в котором
делительная оптическая система включает в себя объектив для коллимации света, излучаемого от объекта, подлежащего измерению, в параллельные световые лучи и направления параллельных световых лучей на первую поляризационную пластину и вторую поляризационную пластину, и
блок обработки получает амплитуду относительно длины волны и разность фаз двулучепреломления относительно длины волны света, излучаемого от части объекта, подлежащего измерению, части, соответствующей фокальной точке объектива.
14. Устройство измерения оптических характеристик по п.12, дополнительно содержащее блок изменения фокальной точки для относительного изменения фокальной точки объектива по отношению к объекту, подлежащему измерению.
15. Устройство измерения оптических характеристик по п.13, дополнительно содержащее блок изменения фокальной точки для относительного изменения фокальной точки объектива по отношению к объекту, подлежащему измерению.