УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ ПАРОМ

1. Устройство для вакуумного испарения, содержащее
технологическую печь;
по меньшей мере, один технологический короб, расположенный внутри технологической печи;
средство нагрева для нагрева технологического короба; и
средство вакуумирования для вакуумирования технологической печи и технологического короба до заранее определенного давления в состоянии, когда обрабатываемый объект и металлический испаряющийся материал расположены в технологическом коробе,
причем средство нагрева приводят в действие при сниженном давлении, чтобы нагреть обрабатываемый объект до заранее определенной температуры, при которой металлический испаряющийся материал испаряется, в результате чего атомы испарившегося металла поставляются к поверхности обрабатываемого объекта.
2. Устройство для вакуумного испарения по п.1, в котором технологический короб выполнен с возможностью свободной установки в или извлечения из технологической печи, и содержит коробчатую часть, которая открыта с верхней стороны, и часть-крышку, которую с возможностью снятия устанавливают с открытой верхней стороны, причем в результате снижения давления в технологической печи при помощи средства вакуумирования снижают давление и в технологическом коробе.
3. Устройство для вакуумного испарения по п.1 или 2, в котором средство нагрева и технологический короб сделаны из материала, который не вступает в реакцию с металлическим испаряющимся материалом, либо сделаны из составляющего элемента, образующего внутреннюю футеровочную пленку из материала, который не вступает в реакцию с металлическим испаряющимся материалом.
4. Устройство для вакуумного испарения по п.3, в котором упомянутым материалом, который не вступает в реакцию с металлическим испаряющимся материалом, является Mo.
5. Устройство для вакуумного испарения по п.1 или 2, в котором средство нагрева содержит изолирующий материал, охватывающий технологический короб по окружности, и теплогенерирующий элемент, расположенный на внутренней стороне изолирующего материала, причем изолирующий материал получен путем установки множества слоев на заранее определенном расстоянии друг от друга.
6. Устройство для вакуумного испарения по п.1 или 2, дополнительно содержащее установочную часть, выполненную с возможностью размещения на ней обрабатываемого объекта на заранее определенной высоте от поверхности дна технологического короба, причем установочная часть создана путем размещения множества проволочных элементов.
7. Устройство для вакуумного испарения по п.1 или 2, дополнительно содержащее удерживающую часть, выполненную с возможностью удерживания внутри нее металлического испаряющегося материала.
8. Устройство для вакуумного испарения по п.7, в котором удерживающая часть расположена на боковой стенке технологического короба таким образом, чтобы она охватывала обрабатываемый объект.
9. Устройство для вакуумного испарения по п.7, в котором удерживающая часть размещена между обрабатываемыми объектами, которые расположены в технологическом коробе.
10. Устройство для вакуумного испарения по п.5, в котором средство нагрева содержит множество соединительных каналов, между средством нагрева и внутренней стенкой технологической печи созданы газовые каналы, сообщающиеся с соединительными каналами, и эти газовые каналы соединены со средством воздушного охлаждения, содержащим вентилятор и теплообменник.