СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С ОПТИЧЕСКИМ МИКРОСКОПОМ

1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом, включающий платформу, на которой установлены образец и оптический микроскоп с осветителем, отличающийся тем, что оптический микроскоп содержит базовый элемент с крышкой, на котором установлено оптоэлектронное устройство с объективом и матрицей ПЗС, сопряженное с трехкоординатным манипулятором, двухкоординатный манипулятор, сопряженный с осветителем, а также модуль фиксации базового элемента на платформе СЗМ.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент выполнен в виде герметичного кожуха.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что осветитель выполнен в виде светодиода.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптический микроскоп имеет дополнительное место установки на платформе.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что объектив оптоэлектронного устройства расположен под углом не равным 90° к поверхности образца.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптическая ось объектива составляет с плоскостью ПЗС угол не равный 90°.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент снабжен средствами герметизации, установленными с возможностью взаимодействия с платформой.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что базовый элемент снабжен средствами точной установки на платформе.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что крышка содержит, по меньшей мере, одно герметизированное оптическое окно.
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оптический микроскоп включает трехкоординатный манипулятор.