УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНИ И/ИЛИ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА И СПОСОБ ЕГО ПРИМЕНЕНИЯ

1. Устройство для ионного распыления мишени или ионной обработки поверхности объекта, содержащее кольцевой источник ионов и держатель мишени или объекта, отличающееся тем, что источник ионов выполнен с возможностью формирования ионного пучка, распространяющегося в промежутке между двумя условными вложенными друг в друга сходящимися - в направлении от источника ионов к держателю объекта (мишени) - коническими поверхностями, образующие которых составляют с общей осью конусов разные углы и общее основание которых совпадает с окружностью, ограниченной круговой выходной щелью кольцевого источника ионов, и с возможностью изменения расстояния между источником ионов и держателем объекта (мишени).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что держатель объекта (мишени) выполнен с возможностью поворота и/или вращения вокруг одной или нескольких осей и снабжен средствами терморегулирования и приводом вращения и наклона.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что площадь окружности, ограниченной круговой выходной щелью кольцевого источника ионов не меньше площади описанной окружности контуров обрабатываемого объекта (мишени).
4. Способ использования устройства по любому из пп.1-3, отличающийся тем, что расстояние между держателем объекта (мишени) и ионным источником вдоль оси последнего меняют по заданному закону.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что держатель с объектом (мишенью) вращают по заданному закону и/или изменяют угол его оси с осью источника ионов по заданному закону.