СПОСОБ УСКОРЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

1. Способ измерения рельефа и свойств поверхности для сканирующего зондового микроскопа, в котором сканирование осуществляют в направлении, параллельном поверхности образца по заданной траектории, данные регистрируют при прямом или обратном проходе, а для формирования управляющего вертикальными перемещениями сигнала используют массив значений управляющего сигнала, снятый на предыдущей строке сканирования, отличающийся тем, что еще используют массив значений сигнала ошибки рассогласования, умноженный на калибровочный коэффициент.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что значение калибровочного коэффициента определяют до начала сканирования по углу наклона кривой зависимости сигнала ошибки рассогласования от управляющего сигнала.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что значение калибровочного коэффициента определяют по прямому и обратному проходам в каждой строке сканирования.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют массивы значений управляющего сигнала и массивы значений сигнала ошибки рассогласования, снятые более чем на одной предыдущей строке сканирования.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют Фурье-фильтр, обеспечивающий фильтрацию массива значений сигнала ошибки рассогласования.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что параметры Фурье-фильтра определяют по отклику сигнала с датчика вертикальных перемещений на короткий импульс управляющего сигнала.
7. Способ по п.5, отличающийся тем, что параметры Фурье-фильтра определяют по отклику сигнала ошибки рассогласования на короткий импульс управляющего сигнала.
8. Способ по п.5, отличающийся тем, что пересчет параметров Фурье-фильтра осуществляют на каждой строке сканирования по форме сигнала с датчика вертикальных перемещений и форме управляющего сигнала.
9. Способ по п.5, отличающийся тем, пересчет параметров Фурье-фильтра осуществляют на каждой строке сканирования по форме управляющего сигнала и по форме сигнала ошибки рассогласования, снятого при прямом и обратном проходах.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что скорость сканирования в направлении, параллельном поверхности образца по заданной траектории, изменяется динамически в зависимости от величины сигнала ошибки рассогласования, заданного массивом значений.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что сканирование осуществляют в направлении, параллельном поверхности образца по спиральной траектории.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, используют массив значений управляющего сигнала, снятый на предыдущей строке сканирования, и массив значений сигнала ошибки рассогласования, умноженный на калибровочный коэффициент для формирования управляющего сигнала в многопроходных методиках.