РЕАКЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Реакционное устройство для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, включает в себя:
корпус устройства, в который подают порошок металлического кремния; и
эжекторный канал для эжектирования газа хлористого водорода в корпус устройства, который открыт с верхней стороны перегородки, отделяющей нижнюю часть корпуса устройства, в котором, при этом
множество плоских перфорированных элементов, имеющих сквозное отверстие, проходящее в направлении толщины, и множество гранул, расположенных между этими перфорированными элементами, сложены в перемешанном состоянии на верхней стороне эжекторного канала.
2. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1, в котором гранулы смешаны с перфорированными элементами в весовом соотношении от 0,5 до 5.
3. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1 или 2, в котором гранулой является шаровой элемент с диаметром от 5 до 20 мм,
перфорированный элемент выполнен в форме круглой плоской пластины с размером внешнего диаметра от 4 до 20 мм и сквозным отверстием такого размера, что гранула не может быть введена через него.
4. Способ получения трихлорсилана взаимодействием порошка металлического кремния с газом хлористого водорода, таким образом образуя трихлорсилан, при котором:
располагают множества плоских перфорированных элементов, имеющих сквозные отверстия, проходящие по направлению толщины, и множества гранул, расположенных между этими перфорированными элементами в перемешанном состоянии на верхней стороне перегородки, отделяющей нижнюю часть корпуса устройства, в которую подают порошок металлического кремния;
и эжектируют газ из эжекторного канала, который открыт с верхней стороны перегородки во время подачи порошка металлического кремния в корпус устройства.