СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК С ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКИХ СТЕКОЛ

Способ удаления фоторезистивных пленок с поверхности оптических стекол, включающий плазмохимическое травление пластины низкотемпературной плазмой в присутствии атомарного кислорода, отличающийся тем, что обрабатываемой пластиной является оптическое стекло, а нагрев фоторезистивной пленки до оптимальной температуры травления осуществляется инфракрасным излучателем, расположенным под поверхностью обрабатываемой пластины.