СИСТЕМА ИЗВЛЕЧЕНИЯ ДЛЯ ВТОРИЧНЫХ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, ПРЕДНАЗНАЧЕННАЯ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В МАСС-СПЕКТРОМЕТРЕ ИЛИ ДРУГОМ УСТРОЙСТВЕ ДЛЯ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

1. Система (18; 118; 218) отклонения пучка заряженных частиц, в частности система извлечения для вторичных заряженных частиц в устройстве (2) для заряженных частиц, при этом система (18; 118; 218) отклонения пучка заряженных частиц содержит:
внутренний сферический сектор (42; 142; 242);
внешний сферический сектор (44; 144; 244);
вход (75) для пучка (16; 116; 216) заряженных частиц;
выход (47) с выходной осью (24; 124; 224), через который отклоненный пучок (16; 116; 216) заряженных частиц покидает систему (18; 118; 218);
отклоняющий зазор (46; 146; 246), который образован между сферическими секторами (42; 44; 142; 144; 242; 244) и который сообщается с входом (75) и с выходом (47);
электрод (54; 154; 254) выходной стенки с выходным отверстием (56), обращенным к отклоняющему зазору (46; 146; 246), причем указанный электрод (54; 154; 254) выходной стенки имеет потенциал выходной стенки;
сферические секторы (42; 44; 142; 144; 242; 244), смещаемые при отклоняющих потенциалах для отклонения пучка (16; 116; 216) заряженных частиц, входящего в отклоняющий зазор (46; 146; 146), на заданный угол;
отличающаяся тем, что система (18; 118; 218) дополнительно содержит
промежуточный электрод (64; 164; 264) с пластинчатой формой и с выходным сквозным отверстием (66; 166; 266), причем указанный промежуточный электрод располагается между отклоняющим зазором (46; 146; 246) и электродом (54; 154; 254) выходной стенки; и
две боковые пластины (68; 168), которые обе обращены к сферическим секторам (42; 44; 142; 144, 242; 244), причем указанные боковые пластины (68; 168) смещаются для создания электростатического поля, перпендикулярного выходной оси (24; 124; 224).
2. Система (18; 118; 218) по п. 1, отличающаяся тем, что боковые пластины (68; 168) смещаются при потенциале, который по меньшей мере равен среднему потенциалу сферических секторов (42; 44; 142; 144; 242; 244), предпочтительно по меньшей мере в два раза больше среднего потенциала сферических секторов (42; 44; 142; 144; 242; 244), более предпочтительно по меньшей мере в три раза больше среднего потенциала сферических секторов (42; 44; 142; 144; 242; 244), еще более предпочтительно – по меньшей мере в четыре раза больше среднего потенциала сферических секторов (42; 44; 142; 144; 242; 244).
3. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1, 2, отличающаяся тем, что каждый сферический сектор (42; 44; 142; 144; 242; 244) имеет боковые поверхности, обращенные к боковым пластинам (68; 168), причем каждая боковая поверхность большей частью или полностью покрыта одной из боковых пластин (68; 168).
4. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-3, отличающаяся тем, что сферические секторы (42; 44; 142; 144) смещаются при замедляющем напряжении для уменьшения энергии пучка (16, 116; 216) заряженных частиц в отклоняющем зазоре (46; 146; 246).
5. Система (18) по любому из пп. 1-4, отличающаяся тем, что промежуточный электрод (64) представляет собой первую пластину, при этом система дополнительно содержит вторую пластину (72) со сквозным отверстием (74), расположенным по центру относительно выходной оси (24), причем указанная вторая пластина (72) обращена к первой пластине (64).
6. Система (18) по любому из пп. 1-5, отличающаяся тем, что содержит корпус (38; 138; 238), в котором расположены секторы (42; 44; 142; 144), при этом указанный корпус (38; 138) образует электрод (54; 154) выходной стенки.
7. Система (18; 118) по п. 6, отличающаяся тем, что корпус (38; 138) смещается при потенциале выходной стенки.
8. Система (18; 118) по любому из пп. 1-7, отличающаяся тем, что промежуточный электрод (64) представляет собой дисковый электрод, причем соответствующее сквозное отверстие (66) расположено в его центре.
9. Система (118) по любому из пп. 1-8, отличающаяся тем, что промежуточный электрод (164) представляет собой четырехсторонний, предпочтительно прямоугольный электрод.
10. Система (18; 118) по любому из пп. 1-9, отличающаяся тем, что корпус (38; 138) окружает секторы (42; 44; 142; 144) и имеет потенциал Земли, и/или корпус (38; 138) содержит пространство с электростатическим полем, отделяющее секторы (42; 44; 142; 144) от корпуса (38; 138).
11. Система (18; 118) по любому из пп. 1-10, отличающаяся тем, что корпус (38; 138) содержит нижнюю стенку (48; 148), обращенную к образцу (14), подлежащему анализу, причем указанная нижняя стенка (48; 148) содержит нижнее отверстие (53) и/или корпус (38; 138) содержит верхнюю стенку (50; 150) с по меньшей мере одним верхним отверстием (52; 152), причем указанные отверстия (52; 53; 152) являются соосными.
12. Система (18; 118) по любому из пп. 1-11, отличающаяся тем, что внешний сектор (44; 144) содержит по меньшей мере один канал (62), расположенный соосно с нижним отверстием (154) и с верхним отверстием (52, 152).
13. Система (18; 118) по п. 12, отличающаяся тем, что внешний сектор (44; 144) содержит несколько каналов (62) для нескольких первичных пучков (12), и/или верхняя стенка (50; 150) содержит несколько верхних отверстий (52, 152) для нескольких первичных пучков (12).
14. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-13, отличающаяся тем, что высота каждого сквозного отверстия (66; 166; 174; 266) по существу равна радиальной высоте RH отклоняющего зазора (64; 164; 264).
15. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-14, отличающаяся тем, что каждое сквозное отверстие (66; 166; 174; 266) является круглым и имеет диаметр, по существу равный радиальной высоте RH отклоняющего зазора (64; 164; 264).
16. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-15, отличающаяся тем, что толщина промежуточного электрода (64; 164; 264) не превышает высоты соответствующего сквозного отверстия (66; 166; 266).
17. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-16, отличающаяся тем, что отклоняющий зазор (46; 146; 246) по существу проходит по четверти круга и/или образует изгиб с углом от 60° до 120°, необязательно он образует 90° изгиб.
18. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-17, отличающаяся тем, что внутренний сектор (42; 142; 242) и/или внешний сектор (44; 144; 244) образуют систему со средним радиусом, равным максимум 10 мм, предпочтительно максимум 8 мм.
19. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-18, отличающаяся тем, что содержит фиксирующий фланец и/или средства фиксации, предпочтительно средства обратимой фиксации.
20. Система (18; 118; 218) по любому из пп. 1-19, отличающаяся тем, что промежуточный электрод (64; 164; 264) смещается при промежуточном потенциале для отклонения пучка (16; 116; 216) заряженных частиц внутри отклоняющего зазора (46; 146) таким образом, чтобы делать указанный пучок (16; 116; 216) заряженных частиц параллельным выходной оси (24; 124; 224).
21. Устройство (2) для пучка заряженных частиц, содержащее систему (18; 118; 218) отклонения заряженных частиц, в частности систему отклонения вторичных частиц, отличающееся тем, что система (18; 118; 218) отклонения заряженных частиц выполнена по любому из пп. 1-20, при этом предпочтительно корпус (38; 138) образует извлекающий электрод.
22. Устройство (2) по п. 21, отличающееся тем, что устройство представляет собой масс-спектрометр для выполнения анализа вторичных ионов.
23. Устройство (2) по любому из пп. 21, 22, отличающееся тем, что содержит вдоль выходной оси (24; 124; 224) и начиная от системы (18; 118; 218) отклонения заряженных частиц: ускоряющую ступень, первую линзу, систему отклоняющих устройств и вторую линзу, или любое их сочетание.
24. Устройство (2) по любому из пп. 21-23, отличающееся тем, что дополнительно содержит магнитный сектор (8) и систему (10) обнаружения.
25. Устройство (2) по любому из пп. 21-24, отличающееся тем, что содержит источник (6) первичных частиц для получения вторичной заряженной частицы из образца (14), причем указанные первичные частицы представляют собой ионы и вторичные заряженные частицы представляют собой ионы.
26. Устройство (2) по любому из пп. 21-24, отличающееся тем, что содержит источник (6) первичных частиц для получения вторичной заряженной частицы из образца (14), причем указанные первичные частицы представляют собой ионы и вторичные заряженные частицы представляют собой электроны.
27. Устройство (2) по любому из пп. 21-24, отличающееся тем, что содержит источник (6) первичных частиц для получения вторичной заряженной частицы из образца (14), причем указанные первичные частицы представляют собой электроны и вторичные заряженные частицы представляют собой электроны.
28. Устройство (2) по любому из пп. 21-24, отличающееся тем, что содержит источник (6) первичных частиц для получения вторичной заряженной частицы из образца (14), причем указанные первичные частицы представляют собой электроны и вторичные заряженные частицы представляют собой ионы.
29. Устройство (2) по любому из пп. 21-24, отличающееся тем, что содержит источник первичного пучка (12) для формирования вторичных заряженных частиц, причем указанный первичный пучок (12) представляет собой пучок фотонов или пучок рентгеновских лучей, или пучок быстрых нейтронов.
30. Устройство (2) по любому из пп. 25-29, отличающееся тем, что дополнительно содержит область (36; 136; 236) для образца под корпусом (38; 138; 238); причем источник (6) первичных заряженных частиц находится над корпусом (38; 138; 238), и устройство (2) расположено таким образом, что первичные заряженные частицы проходят в область (36; 136; 236) для образца через корпус (38; 138; 238).
31. Устройство (2) по любому из пп. 21-30, отличающееся тем, что содержит вспомогательный узел с приспособлениями для задания положения системы извлечения в продольном и/или поперечном направлении, для того чтобы выравнивать оптическую ось с осью первичного пучка.
32. Система закачки газа, содержащая систему (18; 118; 218) отклонения заряженных частиц, отличающаяся тем, что система (18; 118; 218) отклонения заряженных частиц выполнена по любому из пп. 1-20.