СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ УРОВНЯ РАСПЛАВА И ЕГО СКОРОСТИ ВРАЩЕНИЯ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ КРИСТАЛЛОВ

Способ измерения уровня расплава и его скорости вращения при выращивании кристаллов, в котором на поверхность расплава под некоторым углом направляют зондирующий световой пучок, а с помощью линейного фотоприемного устройства и оптической системы, установленной на пути отраженного от расплава светового пучка, определяют положение отраженного от расплава светового пучка в плоскости фотоприемного устройства и вычисляют уровень расплава, упомянутый зондирующий пучок выполняют расходящимся, на поверхности расплава формируют из пучка узкую световую полосу, ориентированную вдоль радиуса тигля, фотоприемное устройство выполняют двумерным, причем его плоскость фоторегистрации оптически сопрягают с плоскостью, проходящей через ось зондирующего пучка и световую полосу на поверхности расплава, из электрических сигналов фотоприемного устройства, соответствующих световым распределениям в различных сечениях световой полосы на поверхности расплава, выбирают сигналы, удовлетворяющие заданным параметрам по амплитуде и ширине импульса, статистически обрабатывают сигналы, выбранные за несколько циклов фоторегистрации, по полученным данным определяют двумерные координаты светового распределения в плоскости фоторегистрации, по которым определяют угловую скорость вращения расплава и его уровень на заданном расстоянии от центра тигля.