СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ АДГЕЗИИ МЕЖДУ ТОНКОПЛЕНОЧНЫМИ СЛОЯМИ, ПОЛУЧАЕМЫМИ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Способ повышения адгезии между тонкопленочными слоями, включающий магнетронное распыление противолежащих мишеней, направление распыленного материала в зону смешения, образованную двумя встречными потоками распыленного материала, отклонение направления каждого из встречных потоков распыленного материала в сторону подложки с возможностью образования результирующего потока распыленного материала из зоны смешения на подложку, перемещение подложки относительно результирующего потока, осаждение распыленного материала на подложку, отличающийся тем, что в процессе магнетронного распыления связанно управляют токами разрядов магнетронов таким образом, что концентрации распыляемых материалов в результирующем потоке изменяются во времени, и на подложку вначале осаждают нижний слой из первого материала, затем осаждают переходный слой из смеси материалов нижнего и верхнего слоев, управляемо изменяющий свой состав так, что концентрация первого материала нижнего слоя изменяется от 100% до 0%, а концентрация второго материала верхнего слоя, соответственно, от 0% до 100%, и затем осаждают верхний слой из второго материала.