ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ И МАССЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ

1. Информационно-измерительная система контроля толщины диэлектрических пленок и плоских изделий, содержащая обкладки конденсатора, в зазоре между которыми размещена подвижная диэлектрическая пленка или плоское изделие, и блок регистрации информации, выполненный в виде последовательно оптически соединенных лазерного диода, поляризатора, электрооптической ячейки Поккельса, анализатора, фотодиода, выход которого подключен ко входу управляемого клавиатурой микроконтроллера, содержащего микропроцессор, усилитель и аналого-цифровой преобразователь, выход микроконтроллера соединен с жидкокристаллическим индикатором, а ячейка Поккельса содержит электрооптический кристалл с двумя электродами снаружи его, которые последовательно соединены с обкладками конденсатора, отличающаяся тем, что с одной стороны от электрооптического кристалла ячейки Поккельса размещено плоское зеркало, а с другой стороны корректирующая пластина, поляризатор-анализатор света, соединенный через оптические разъемы с контроллером, соединенным с жидкокристаллическим индикатором и системой визуализации.
2. Информационно-измерительная система по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве корректирующей пластины использована пластина Л/8.
3. Информационно-измерительная система по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве поляризатора-анализатора использована одна призма Глана.
4. Информационно-измерительная система по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве измерительного конденсатора использована диэлектрическая вставка с цилиндрическими электродами.