ТЕРМИЧЕСКИ И ОПТИЧЕСКИ УПРАВЛЯЕМОЕ ФОКУСИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

1. Термически и оптически управляемое фокусирующее устройство, содержащее на поверхности подложки массив ячеек с деформируемыми мембранами, образованными тонкопленочным слоем, отличающееся тем, что тонкопленочный мембранный слой своей нижней поверхностью совпадает с поверхностью подложки, причем адгезия между отдельными участками поверхностей отсутствует, в то время как материал слоя имеет положительный коэффициент термического расширения.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что упомянутый слой частично поглощает оптическое излучение.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что упомянутый слой изготовлен из проводящего материала, причем устройство содержит электрические контакты, соединенные электрически с упомянутым слоем, а подложка изолирующая.
4. Устройство по любому из пунктов, отличающееся тем, что упомянутая подложка прозрачная и с упомянутым слоем имеет одинаковые коэффициенты термического расширения, причем упомянутый слой не имеет тангенциальных напряжений.