ИСПАРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ СИСТЕМЫ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ, СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНКИ МАТЕРИАЛА

1. Испарительное устройство, содержащее испарительную ячейку (2), которая включает в себя нагревательные средства (4 и 6) и тигель (5), характеризующийся наличием верхнего открытого конца и нижнего глухого дна для размещения на нем загружаемого материала (3), подлежащего испарению или возгонке, причем нагревательные средства (4 и 6) выполнены с возможностью нагрева тигеля, содержащего загружаемый материал, и создания потока материала в паровой фазе путем испарения или возгонки загружаемого материала (3);
отличающееся тем, что испарительное устройство дополнительно включает в себя фильтрующую вставку (70), содержащую:
- верхнюю часть (20) с коническим отверстием (11), предназначенную для размещения на верхнем открытом конце тигеля (5); и
- нижнюю часть (21), содержащую - если считать сверху вниз - пластину (13), которая снабжена, по меньшей мере, одним отверстием (130), и одну сетку (14); при этом нижняя часть (21) предназначена для установки в тигеле (5) между верхней частью (20) и загружаемым материалом (3).
2. Испарительное устройство по п. 1, в котором нагревательные средства включают в себя первую зону (4) нагрева и вторую зону (6) нагрева, причем первая зона (4) нагрева располагается в нижней части испарительной ячейки (2), а вторая зона (6) нагрева располагается в верхней части эффузионной ячейки (2).
3. Испарительное устройство по п. 2, в котором пластина (13) располагается над нижней частью испарительной ячейки (2).
4. Испарительное устройство по п. 1 или 2, в котором верхняя часть (21) содержит, если считать сверху вниз, другую пластину (12), снабженную, по меньшей мере, одним другим отверстием (120); пластину (13), снабженную, по меньшей мере, одним отверстием (130); и сетку (14).
5. Испарительное устройство по п. 4, в котором, по меньшей мере, одно указанное отверстие (130) в указанной пластине (13) и, по меньшей мере, одно указанное другое отверстие (120) в указанной другой пластине (12) располагаются в шахматном порядке.
6. Испарительное устройство по п. 1 или 2, в котором общая площадь поверхности, по меньшей мере, одного указанного отверстия (130) указанной пластины (13) составляет не более 1% площади поверхности указанной пластины (13).
7. Испарительное устройство по п. 1 или 2, в котором нижняя часть (21) содержит, если считать сверху вниз, указанную пластину (13), сетку (14) и другую сетку (15), причем размер ячеек сетки (14) меньше размера ячеек указанной другой сетки (15).
8. Испарительное устройство по п. 1 или 2, в котором коническое отверстие (11) фильтрующей вставки (70) образует конус вращения с усеченной вершиной и основанием.
9. Испарительное устройство по п. 1 или 2, в котором фильтрующая вставка (70) содержит колпачок с отверстием, который охватывает коническое отверстие (11) фильтрующей вставки (70), причем указанный колпачок выполнен с возможностью термической изоляции тигеля (5).
10. Испарительное устройство по п. 1 или 2, дополнительно содержащее крепежные средства (16) для соединения между собой нижней части (21) и верхней части (20) фильтрующей вставки (70).
11. Устройство для осаждения пленки материала на подложку (10), содержащее испарительное устройство по п. 1 или 2 и камеру (1) для вакуумного осаждения, причем указанное устройство для осаждения выполнено с возможностью осаждения, по меньшей мере, одной пленки указанного материала в паровой фазе на подложку (10).
12. Способ осаждения пленки материала на подложку (10), включающий в себя следующие стадии:
- размещение загружаемого материала (3), подлежащего испарению или возгонке, на дне тигеля (5) устройства для осаждения по п. 1;
- вакуумирование камеры (1) путем откачки из нее воздуха;
- нагревание тигеля, содержащего загружаемый материал (3), с целью создания потока материала в паровой фазе путем испарения или возгонки загружаемого материала (3);
- фильтрацию твердого и/или жидкого материала путем его пропускания через фильтрующую вставку (70) с обеспечением возможности одновременного прохождения потока материала в паровой фазе через коническое отверстие (11); и
- осаждение пленки из указанного материала в паровой фазе на подложку (10).