УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ НАНОРИСУНКА

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для формирования нанорисунка.
Известно устройство формирования нанорисунка, содержащее катодно-анодную пару, установленную в вакуумной камере с возможностью подачи инертного газа, например, аргона [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники в 10 кн. Кн. 7. Элионная обработка. Учеб. пособие для ПТУ / О.С.Моряков. - М.: Высш. шк., 1990, 128 с., ил., с.35 (аналог)].
Недостатком аналога является неэффективное эмиттирование электронов из катода для последующего формирования электронного и ионного пучков. Также существенным недостатком аналога является то, что в устройстве не предусмотрено фокусирование сформированных электронного и ионного пучков.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования нанорисунка, содержащее катодно-анодную пару, установленную в вакуумной камере с возможностью подачи инертного газа, например, аргона [Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники в 10 кн. Кн. 7. Элионная обработка. Учеб. пособие для ПТУ / О.С.Моряков. - М.: Высш. шк., 1990, 128 с., ил., с.37 (прототип)].
Недостатком прототипа является неэффективное эмиттирование электронов из катода для последующего формирования электронного и ионного пучков. Другим существенным недостатком прототипа является то, что в устройстве не предусмотрено отклонение сформированных электронного и ионного пучков.
Целью полезной модели является обеспечение эффективного формирования электронного и ионного пучков, а также их отклонение для получения необходимого нанорисунка.
Поставленная задача достигается тем, что устройство формирования нанорисунка, содержащее катодно-анодную пару, установленную в вакуумной камере с возможностью подачи инертного газа, например, аргона, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено источником лазерного излучения для эмиттирования электронов из катода и двумя взаимно перпендикулярными парами управляющих конденсаторных пластин, установленными между катодом и анодом с возможностью взаимодействия с электронным и ионным пучками.
Введение в устройство формирования нанорисунка источника лазерного излучения и двух взаимно перпендикулярных пар управляющих конденсаторных пластин позволяет не только эффективно формировать, но и отклонять электронный и ионный пучки для получения необходимого нанорисунка.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где изображено устройство формирования нанорисунка.
Устройство формирования нанорисунка (фиг.1) содержит катодно-анодную пару 1-2, установленную в вакуумной камере 3 с возможностью подачи инертного газа 4, например, аргона. Устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения (ИЛИ) 5 для эмиттирования электронов 6 из катода 1 и двумя взаимно перпендикулярными парами управляющих конденсаторных пластин 7, 8, установленными между катодом 1 и анодом 2 с возможностью взаимодействия с электронным 9 и ионным 10 пучками.
Устройство формирования нанорисунка (фиг.1) работает следующим образом.
При приложении разности потенциалов к катодно-анодной паре 1-2 и облучении катода 1 источником лазерного излучения (ИЛИ) 5 эмиттируемые катодом 1 электроны 6 движутся к аноду 2, образуя электронный пучок 9. При встрече ускоренных электронов 6 с атомами инертного газа 4, предварительно напущенного в вакуумную камеру 3, инертный газ 4 ионизируется, и его положительные ионы начинают движение в обратном направлении, создавая ионный пучок 10. Электронный 9 и ионный 10 пучки отклоняются с помощью двух взаимно перпендикулярных пар управляющих конденсаторных пластин 7, 8 таким образом, чтобы выполнялось направленное распыление служащего мишенью катода 1 посредством ионного пучка 10, тяжелые ионы которого выбивают материал катода 1, оставляя на нем наноборозды (нанорисунок).
Применение предложенного устройства позволяет не только эффективно формировать, но и отклонять электронный и ионный пучки для получения необходимого нанорисунка.