УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПОДЛОЖКУ, В ЧАСТНОСТИ, НА ПРЕССОВАЛЬНЫЙ ЛИСТ

1. Применение устройства (100…103) для плазменного нанесения покрытия на прессовальный лист (2), которое содержит вакуумную камеру (3) и расположенный в ней электрод (400…409), который при работе ориентирован, по существу, параллельно указанному прессовальному листу (2) и напротив его подлежащей покрытию стороны, причем электрод (400…409) сегментирован, и каждый из электродных сегментов (500…512) имеет собственный соединительный вывод (6) для источника (700…702) электрической энергии.
2. Применение по п. 1, отличающееся тем, что отдельные электродные сегменты (501, 504, 505) устройства (100…103) изолированы друг от друга.
3. Применение по п. 1, отличающееся тем, что отдельные электродные сегменты (502, 503) устройства (100…103) соединены друг с другом посредством узких перемычек (9) или, соответственно, заданных активных сопротивлений.
4. Применение по п. 1, отличающееся тем, что отдельные электродные сегменты (510) устройства (100…103) посредством узких перемычек или, соответственно, заданных активных сопротивлений соединены с по меньшей мере одним источником (700) энергии.
5. Применение по п. 1, отличающееся тем, что устройство (100…103) содержит несколько управляемых/регулируемых независимо друг от друга источников (701, 702) энергии, которые через указанные соединительные выводы (6) соединены с электродными сегментами (500…512).
6. Применение по п. 5, отличающееся тем, что каждый электродный сегмент (510) устройства (100…103) соединен с соответствующим источником (701…706) энергии, который является управляемым/регулируемым независимо от остальных источников (701…706) энергии.
7. Применение по п. 5, отличающееся тем, что устройство (100…103) содержит управляющий блок (1101), который приспособлен для переключения источника (701, 702) энергии попеременно на соответствующий электродный сегмент (508) группы (1301, 1302) электродных сегментов (508), а соединительных выводов (6) остальных электродных сегментов (508) этой группы (1301, 1302) - в изолированное от указанного первым электродного сегмента (508) разомкнутое состояние.
2
8. Применение по любому из пп. 1-7, отличающееся тем, что площадь электродного сегмента (500…512) устройства (100…103) меньше или равна 1 м.
9. Применение по любому из пп. 1-7, отличающееся тем, что источники (700…706) энергии устройства (100…103) выполнены в виде источников тока.
10. Применение по п. 9, отличающееся тем, что максимальная сила тока для каждого электродного сегмента (500…512) меньше или равна 150 А.
11. Применение по любому из пп. 1-7, отличающееся тем, что электродные сегменты (503) устройства (100…103) выполнены в виде решетки.
12. Применение по любому из пп. 1-7, отличающееся тем, что электрод (405) устройства (100…103) в своей краевой зоне изогнут в направлении к подлежащему покрытию прессовальному листу (2).
13. Способ плазменного нанесения покрытия на прессовальный лист (2), характеризующийся стадиями:
а) расположения подлежащего покрытию прессовального листа (2) в вакуумной камере (3) напротив расположенного в вакуумной камере (3) сегментированного электрода (400…409) и с, по существу, параллельной ему ориентацией,
b) включения по меньшей мере одного предназначенного электродному сегменту (500…512) электрода (400…409) источника (700…706) энергии, и
с) введения газа, который вызывает стимулированное плазмой химическое осаждение из газовой фазы на заготовку прессовального листа (2).
14. Способ по п. 13, отличающийся тем, что соответствующий источник (701…706) энергии для каждого электродного сегмента (500…512) включают и управляют/регулируют независимо от остальных источников (701…706) энергии.
15. Способ по п. 13, отличающийся тем, что источник (701, 702) энергии попеременно переключают на соответствующий электродный сегмент (508) группы (1301, 1302) электродных сегментов (508), а соединительные выводы (6) остальных электродных сегментов (508) этой группы (1301, 1302) переключают в изолированное от указанного первым электродного сегмента (508) разомкнутое состояние.
16. Способ по п. 15, отличающийся тем, что выбор того электродного сегмента (508), которому предназначен включенный источник (701, 702) энергии, выполняют случайно.
17. Способ по п. 15, отличающийся тем, что расположенные аналогично белым полям шахматной доски электродные сегменты (509) и расположенные аналогично черным полям шахматной доски электродные сегменты (509) попеременно снабжают электрической энергией.
18. Способ по любому из пп. 13-17, отличающийся тем, что измеряют напряжение между электродным сегментом (511) и подлежащим покрытию прессовальным листом (2), и снабжение энергией уменьшают или выключают, когда обнаруживается падение указанного напряжения.
19. Способ по любому из пп. 13-17, отличающийся тем, что на лежащие у края электрода (409) электродные сегменты (512) подают более высокий потенциал, чем на лежащие внутри электродные сегменты (512).
20. Способ по любому из пп. 13-17, отличающийся тем, что на лежащих у края электрода (409) электродных сегментах (512) устанавливают/регулируют более высокую силу тока, чем на лежащих внутри электродных сегментах (512).
21. Способ изготовления одно- или многослойных пластинчатых материалов, в частности, пластмасс, древесных материалов и ламинатов с бумажным покрытием и без него, отличающийся тем, что для этого используют подложку или, соответственно, прессовальный лист (2), которые изготовлены с помощью стадий:
а) расположения подлежащих покрытию подложки/прессовального листа (2) в вакуумной камере (3) напротив расположенного в вакуумной камере (3) сегментированного электрода (400…409) и с, по существу, параллельной ему ориентацией,
b) включения по меньшей мере одного предназначенного электродному сегменту (500…512) электрода (400…409) источника (700…706) энергии, и
с) введения газа, который вызывает стимулированное плазмой химическое осаждение из газовой фазы на заготовку подложки/заготовку прессовального листа (2).
2
22. Способ по п. 21, отличающийся тем, что площадь изготавливаемых плит больше или равна 1 м.
23. Способ по п. 21 или 22, отличающийся тем, что пластинчатый материал содержит частицы с твердостью по шкале Виккерса между 1000 и 1800, в частности, в зоне своей обращенной к прессовальному листу (2) поверхности.
2
3
24. Способ по п. 21 или 22, отличающийся тем, что пластинчатый материал содержит корунд или, соответственно, оксид алюминия AlO, в частности, в зоне своей обращенной к прессовальному листу (2) поверхности.