Способ определения плотности ионного тока на контактирующую с плазмой стенку и устройство для его осуществления

1. Способ определения плотности ионного тока на контактирующую с плазмой стенку путем регистрации пространственного распределения в прилегающей плазме электрических параметров подвижного одиночного плоского зонда Ленгмюра с последующей обработкой результатов измерений, отличающийся тем, что эти измерения проводят подвижным имитатором пристеночного зонда Ленгмюра, а в качестве его электрических параметров регистрируют полные зондовые вольт-амперные характеристики.
е
s
f
s
f
e
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в случае бесстолкновительной плазмы с функцией распределения электронов по энергиям, близкой к максвелловской, стандартной обработкой зондовых характеристик определяют электронную температуру Т, потенциал пространства V, плавающий потенциал V и плотность тока электронного насыщения с последующим умножением последней на больцмановскую экспоненту exp[-(V-V)/T], где потенциалы и температура электронов выражены в одинаковых единицах.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в случае немаксвелловской плазмы обработку зондовых характеристик проводят линейной экстраполяцией к плавающему потенциалу плазмы ионных ветвей полулогарифмических зондовых характеристик с логарифмическим представлением величин зондового тока.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в случае немаксвелловской плазмы обработку зондовых характеристик проводят линейной экстраполяцией ионных ветвей линейных характеристик к плавающему потенциалу плазмы.
5. Устройство для определения плотности ионного тока на контактирующую с плазмой стенку, содержащее введенный в газоразрядное плазменное пространство подвижный одиночный плоский зонд Ленгмюра с собирающей поверхностью в виде проволочного торца, отличающееся тем, что его зондовая проволока введена в один из каналов многоканального керамического стержня с фиксацией измерительного торца проволоки заподлицо с торцом керамического стержня, внешний диаметр которого выбран так, чтобы площадь керамической поверхности, окружающей измерительный торец проволоки, превышала площадь собирающей поверхности зонда в десять и более раз, в другом канале стержня размещен дополнительный проводник, подключенный к внешнему опорному электроду с развитой собирающей поверхностью, охватывающему керамический стержень около его измерительного торца, а на противоположном конце керамического стержня оба проводника выведены из его каналов и подключены к регистрирующей аппаратуре.
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что в случае работы с высокочастотной плазмой поверхность керамического стержня в промежутке между опорным электродом и стенкой газоразрядной камеры окружена заземленным металлическим экраном, не имеющим электрического контакта с этим электродом.