ФОТОИОНИЗАЦИОННЫЙ ГАЗОАНАЛИЗАТОР

1. Фотоионизационный газоанализатор, содержащий фотоионизационный детектор, включающий ионизационную камеру, имеющую штуцера для подвода и вывода анализируемого газа, лампу вакуумного ультрафиолетового излучения с окном для вывода излучения в ионизационную камеру, источник питания лампы, побудитель расхода, соединенный с ионизационной камерой, две газовые линии, одна из которых служит для подвода анализируемого газа, а вторая - для подвода агента, используемого для очистки ионизационной камеры от загрязнения и электронный блок, служащий для настройки газоанализатора, измерения сигнала ионизационной камеры и формирования управляющих воздействий, отличающийся тем, что во второй газовой линии установлен источник паров фтористого водорода, на выходе которого установлен запорный клапан, а на входе - фильтр для поглощения примесей и паров фтористого водорода.
2. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в качестве источника паров фтористого водорода используется проницаемая для паров фтористого водорода ампула, выполненная из фторопласта, частично заполненная плавиковой кислотой.
3. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в газовой линии для подвода анализируемого газа установлен управляемый запорный клапан.
4. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что газовая линия для подвода анализируемого газа и газовая линия, в которой установлен источник паров фтористого водорода, через тройник подключены к линии ввода газа, соединенной со штуцером для подвода газа в ионизационную камеру.
5. Газоанализатор по п. 1, отличающийся тем, что в него введена третья газовая линия, соединенная с линией ввода газа между тройником и штуцером для подвода анализируемого газа в ионизационную камеру, причем в этой линии установлен дополнительный побудитель расхода, на входе в который установлен запорный клапан и фильтр для очистки анализируемого газа от примесей.