СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И РЕГЕНЕРАЦИИ ТРАВИЛЬНЫХ РАСТВОРОВ

4
2
3
1. Способ очистки поверхности полупроводниковых пластин от металлических загрязнений и регенерации отработанного травильного раствора, отличающийся тем, что очистку поверхности полупроводниковых пластин от металлических загрязнений осуществляют в ванне с растворами NHHF+O, а процесс регенерации травильных растворов проводят в рецикле с процессом травления.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что регенерацию травильных растворов от ионов железа и меди проводят контактным осаждением на бракованных кремниевых пластинах.