СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ И ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ТОНКИХ ПРОЗРАЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКЕ

Способ измерения толщины и показателя преломления тонких прозрачных покрытий на подложке путем облучения контролируемого покрытия оптическим излучением, регистрации отраженных от покрытия потоков излучения и определения параметров покрытия по результатам анализа зарегистрированных потоков, отличающийся тем, что перестраивают в узком спектральном диапазоне длину волны падающего на контролируемое покрытие излучения, определяют зависимость отраженного потока излучения от длины волны, измеряют на основе этой зависимости коэффициент отражения и первую производную коэффициента отражения трехслойной системы «воздух - покрытие - подложка» и по ним находят толщину и показатель преломления покрытия.