CVD-РЕАКТОР СИНТЕЗА ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ

1. CVD-реактор синтеза гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния на кремниевых подложках путем химического осаждения из газовой фазы, включающий кварцевую трубу с размещенным в ней контейнером с подложкодержателями, нагревателем индукционного типа, систему подачи газа, отличающийся тем, что контейнер реактора двухзонный, выполненный из графита покрытого карбидом кремния, первая зона по ходу газа-носителя представленная основанием выполнена без тепловых экранов и предназначена для предварительного подогрева водорода и протекания транспортной реакции переноса углерода в форме газообразных углеводородов во вторую зону представленную сборкой подложкодержателей с тепловыми экранами, причем зоны, включающие основание и подложкодержатели, сообщаются отверстиями для переноса углеводородов потоком водорода над подложками кремния.
2. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что отверстия в подложкодержателях для перехода газового потока по высоте контейнера над подложками кремния расположены вдоль части одного края подложки кремния.
3. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что сопряжение сборки подложкодеражателей, основания и сборки тепловых экранов контейнера выполнены на свободной посадке.
4. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что реактор вертикальный, контейнер установлен на полом пьедестале, направляющем поток водорода в первую зону.
5. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что между контейнером и пьедесталом установлена металлическая пластина с отверстиями для прохода потока водорода, разогреваемая ВЧ-полем индуктора.
6. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что замкнутый объем реактора обеспечивается верхними и нижними крышками с парными фланцами, закрывающими коаксиально установленные кварцевые трубы, зазор между которыми предназначен для омывания стенок кварца потоком воды охлаждения.
7. Реактор по п. 1, отличающийся тем, что герметичность полости реактора и системы охлаждения кварцевых труб реактора обеспечивается струбциной, стягивающей нижнюю и верхнюю крышки реактора с эластичным уплотнением на фланцах.