ОСАЖДЕНИЕ ГРАФЕНА НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ И ВКЛЮЧАЮЩИЕ ИХ ИЗДЕЛИЯ

1. Способ изготовления изделия с покрытием, где способ включает:
изготовление подложки, имеющей покрываемую поверхность;
помещение самособранного монослойного (SAM) трафарета на покрываемую поверхность;
изготовление предшественника, включающего молекулу предшественника, где молекула предшественника представляет собой полициклический ароматический углеводород (PAH) и дискотическую молекулу;
растворение предшественника с образованием раствора;
нанесение раствора на подложку с расположенным на ней трафаретом SAM;
фотохимическое присоединение молекулы предшественника к трафарету SAM; и
нагревание подложки, по меньшей мере, до 450°C для образования включающей графен пленки.
2. Способ по п.1, в котором подложка представляет собой стеклянную подложку.
3. Способ по п.1, в котором подложка представляет собой кремниевую пластину.
4. Способ по п.1, дополнительно включающий нанесение слоя, включающего диоксид кремния, на покрываемую поверхность перед помещением трафарета SAM.
5. Способ по п.1, в котором трафарет SAM представляет собой производное силанбензофенона.
6. Способ по п.5, в котором трафарет SAM представляет собой хлорсиланбензофенон (CSBP).
7. Способ по п.1, в котором трафарет SAM и/или молекула предшественника включает одну или более алкильных групп.
8. Способ по п.1, в котором молекула предшественника представляет собой C96 и/или HBC.
9. Способ по п.1, дополнительно включающий очистку раствора посредством колоночной хроматографии.
10. Способ по п.9, дополнительно включающий приготовление раствора в хлороформе и/или додекане.
11. Способ по п.1, в котором ось c молекулы предшественника является практически перпендикулярной подложке до и/или после фотохимического присоединения.
12. Способ по п.1, в котором фотохимическое присоединение включает воздействие на подложку энергии ультрафиолетового излучения.
13. Способ по п.12, в котором длина волны ультрафиолетового излучения составляет от 320 до 380 нм.
14. Способ по п.1, в котором указанное нагревание осуществляют в вакууме.
15. Способ по п.1, в котором указанное нагревание осуществляют в среде, включающей инертный газ.
2
2
16. Способ по п.15, в котором указанное нагревание осуществляют в среде, включающей газообразные Ar и CH.
17. Способ изготовления изделия с покрытием, где способ включает:
изготовление подложки, имеющей покрываемую поверхность;
помещение самособранного монослойного (SAM) трафарета на покрываемую поверхность;
нанесение раствора на подложку с расположенным на ней трафаретом SAM, причем в растворе содержится предшественник, включающий молекулу предшественника, где молекула предшественника представляет собой молекулу полициклического ароматического углеводорода (PAH);
присоединение молекулы предшественника к трафарету SAM путем воздействия на него энергией ультрафиолетового излучения; и
нагревание подложки, по меньшей мере, до 450°C для образования включающей графен пленки,
в котором трафарет SAM и/или молекула предшественника включает одну или более алкильных групп, которые способствуют обеспечению того, что ось c молекулы предшественника является практически перпендикулярной подложке до и/или после фотохимического присоединения.
18. Способ по п.17, дополнительно включающий нанесение слоя, включающего диоксид кремния, на покрываемую поверхность перед помещением трафарета SAM.
19. Способ по п.17, в котором трафарет SAM представляет собой производное силанбензофенона.
20. Способ по п.17, в котором молекула предшественника представляет собой C96 и/или HBC.
21. Способ по п.17, в котором указанное нагревание осуществляют в вакууме.
22. Способ по п.17, в котором указанное нагревание осуществляют в среде, включающей инертный газ.
23. Способ изготовления электронного устройства, где способ включает:
изготовление подложки, имеющей покрываемую поверхность;
помещение самособранного монослойного (SAM) трафарета на покрываемую поверхность;
изготовление предшественника, включающего молекулу предшественника, где молекула предшественника представляет собой полициклический ароматический углеводород (PAH) и дискотическую молекулу;
растворение предшественника с образованием раствора;
нанесение раствора на подложку с расположенным на ней трафаретом SAM;
фотохимическое присоединение молекулы предшественника к трафарету SAM; нагревание подложки, по меньшей мере, до 450°C для образования включающей графен пленки на подложке; и
встраивание подложки с включающей графен пленкой в электронное устройство.
24. Способ изготовления электронного устройства, где способ включает:
изготовление подложки, имеющей покрываемую поверхность;
помещение самособранного монослойного (SAM) трафарета на покрываемую поверхность;
нанесение раствора на подложку с расположенным на ней трафаретом SAM, в растворе содержится предшественник, включающий молекулу предшественника, где молекула предшественника представляет собой молекулу полициклического ароматического углеводорода (PAH);
присоединение молекулы предшественника к трафарету SAM путем воздействия на него энергией ультрафиолетового излучения;
нагревание подложки, по меньшей мере, до 450°C для образования включающей графен пленки; и
встраивание подложки с включающей графен пленкой в электронное устройство,
где трафарет SAM и/или молекула предшественника включает одну или более алкильных групп, которые способствуют обеспечению того, что ось c молекулы предшественника является практически перпендикулярной подложке до и/или после фотохимического присоединения.
25. Способ изготовления изделия с покрытием, где способ включает:
изготовление подложки, имеющей покрываемую поверхность;
помещение монослойного трафарета на покрываемую поверхность;
создание газового потока, включающего газ-носитель и молекулу предшественника, вблизи подложки, на которую помещен монослойный трафарет, где молекула предшественника представляет собой молекулу полициклического ароматического углеводорода (PAH);
присоединение молекулы предшественника к монослойному трафарету путем воздействия на него энергией ультрафиолетового излучения; и
нагревание подложки с монослойным трафаретом и молекулой предшественника для образования включающей графен пленки,
где монослойный трафарет и/или молекула предшественника включает одну или более алкильных групп, которые способствуют обеспечению того, что ось c молекулы предшественника является практически перпендикулярной подложке до и/или после фотохимического присоединения.