СПОСОБ СОЗДАНИЯ ВОЛНОВОДНОГО СВЧ МОДУЛЯ

1. Способ создания волноводного СВЧ модуля, корпус которого состоит из двух половинок, соединяющихся по середине широкой стенки волноводного канала, включающий монтаж полупроводниковой МИС в продольном сечении волновода на одной из половинок волноводного корпуса, сборку (соединение) модуля из двух половинок и заполнение волноводного канала путем вспенивания специального пеноматериала, введенного предварительного внутрь корпуса, отличающийся тем, что вначале в обе половинки корпуса вводится пеноматериал и проводится заполнение канала волновода путем вспенивания пеноматериала в каждой половинке в отдельности, затем на одной из половинок корпуса монтируется МИС, после чего проводится сборка модуля.
2. Способ изготовления волноводного СВЧ модуля по п.1, отличающийся тем, что после сборки модуля со стороны его торца (торцов) в волноводном канале частично удаляется пеноматериал, и в этом месте проводится повторное запенивание волноводного канала для устранения щели в волноводном канале между двумя половинками модуля.
3. Способ изготовления волноводного СВЧ модуля по п.1, отличающийся тем, что после сборки модуля торцевая часть (торцевые части) волноводного канала покрываются тонким слоем кремнийорганического лака с температурой полимеризации не выше 250°C, с последующей его полимеризацией.