ДЕТЕКТИРОВАНИЕ ИСКРОВЫХ РАЗРЯДОВ В УСТАНОВКАХ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

1. Способ обработки деталей в установке вакуумной обработки, причем к деталям приложено отрицательное смещение (bias), и в установке вакуумной обработки во время процесса обработки предотвращают повреждения инструментов, связанных с пробоями, посредством того, что процесс обработки прерывают, если ток, который протекает через подлежащие обработке детали, отклоняется в положительную сторону от заранее измеренного среднего тока на величину большую, чем ΔI, отличающийся тем, что значение ΔI так связано с отрицательным смещением (bias), что оно монотонно, и в пределах по меньшей мере одного диапазона строго монотонно, возрастает с увеличением величины напряжения смещения.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что ΔI линейно возрастает с напряжением смещения.
3. Способ по любому из пп. 1 и 2, отличающийся тем, что для генерирования напряжения смещения используют генератор с емкостным выходом.
4. Вакуумная обрабатывающая установка для обработки деталей в вакууме, содержащая:
- откачиваемую вакуумную камеру;
- держатель субстрата, выполненный с возможностью размещения подлежащих обработке деталей;
- генератор напряжения смещения для прикладывания отрицательного смещения к подлежащим обработке деталям;
- средство детектирования тока, протекающего через подлежащие обработке детали;
- средство информирования о детектированном токе, протекающем через детали;
- средство для определения отклонения актуального тока, протекающего через детали, от усредненного тока и для сравнения с автоматически устанавливаемым максимально допустимым отклонением ΔI, отличающаяся тем, что вакуумная обрабатывающая установка выполнена таким образом, что максимально допустимое отклонение ΔI автоматически устанавливается в зависимости от прикладываемого к деталям напряжения смещения.
5. Вакуумная обрабатывающая установка по п. 4, отличающаяся тем, что в установке максимально допустимое отклонение ΔI монотонно и, предпочтительно, строго монотонно зависит от величины напряжения смещения.
6. Вакуумная обрабатывающая установка по п. 5, отличающаяся тем, что ΔI линейно зависит от напряжения смещения.