СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АЛМАЗНОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЕТКИ

15
20
2
Способ изготовления алмазной дифракционной решетки, включающий формирование заданной дифракционной периодической микроструктуры на поверхности полированного алмаза, отличающийся тем, что формирование заданной дифракционной периодической микроструктуры осуществляют с помощью имплантации ионами бора с энергией 10-100 кэВ, дозой облучения 1⋅10-1.0⋅10 ион/см через поверхностную маску.