СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОРИЕНТИРОВАННЫХ ФТОРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

1. Способ получения ориентированных фторидных покрытий методом химического осаждения из паровой фазы, заключающийся в том, что процесс осуществляют в реакторе химического осаждения, в зоне осаждения которого размещают подложку, на которую производят осаждение фторидного покрытия путем смешения потока испаренных металлоорганических соединений и фторидобразующего потока, при этом в качестве металлоорганических соединений используют летучие металлоорганические соединения, не содержащие фтора, а фторидобразующий поток генерируют из твердого прекурсора в результате его испарения непосредственно в реакторе химического осаждения, потоки металлоорганических соединений и фторидобразующий поток подают потоком инертного газа в зону осаждения.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве твердого прекурсора используют кислый неорганический бифторид.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что кислый неорганический фторид выбирают из бифторида аммония, бифторида калия или бифторида натрия.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве летучих металлоорганических соединений, не содержащих фтора, выбирают из бэта-дикетонатов, алкоголятов или карбоксилатов металлов.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что температуру в зоне осаждения реактора химического осаждения поддерживают равной 250-400°С.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют монокристаллические подложки.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют биаксиально текстурированные ленты на основе сплавов никеля и меди.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что поток металлоорганических соединений и фторидобразующий поток в зону осаждения подают противотоком.