СПОСОБ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ

1. Способ плазменной обработки поверхности внутри полого тела (4), включающий следующие технологические стадии:
заполнение полого тела (4), имеющего одну стенку, выполненную из диэлектрического материала, технологическим газом;
обеспечение газонепроницаемости путем герметизации полого тела (4),
введение полого тела (4), герметизированного для обеспечения газонепроницаемости, в пространство (5) между по меньшей мере двумя электродами (1, 2), причем в этом пространстве (5) за пределами полого тела преобладает внешнее давление по меньшей мере 0,05 МПа (0,5 бар), в то время как во внутренней камере полого тела преобладает внутреннее давление также по меньшей мере 0,05 МПа (0,5 бар), а пространство (5) между электродами (1, 2) заполнено газом, для которого требуется более высокая напряженность поля для зажигания в случае внешнего давления, чем для технологического газа в случае внутреннего давления, и
зажигание плазмы внутри полого тела (4) путем приложения между электродами (1, 2) достаточно высокого напряжения переменного тока.
2. Способ по п.1, в котором внешнее давление не выше, чем внутреннее давление.
3. Способ по п.1, в котором плазму получают исключительно внутри полого тела (4).
4. Способ по п.1, в котором внешнее давление и/или внутреннее давление составляет максимально 1 МПа (10 бар), предпочтительно, от 0,08 до 0,2 МПа (от 0,8 до 2 бар).
5. Способ по п.4, в котором внешнее давления равно атмосферному давлению.
6. Способ по п.1, в котором внутреннее давление выбирают таким, чтобы оно было равно внешнему давлению или не более чем на 0,1 МПа (1 бар) превышало внешнее давление.
7. Способ по п.1, в котором в качестве полого тела выбирают пакет, бутыль или канистру.
8. Способ по п.1, в котором полое тело (4) имеет толщину стенки от 10 мкм до 5 мм, предпочтительно толщина стенки составляет от 50 мкм до 2 мм.
9. Способ по п.1, в котором полое тело (4) имеет наименьший диаметр по меньшей мере 2 см, предпочтительно по меньшей мере 6 см.
10. Способ по п.1, в котором плазму получают в виде объемной плазмы, которая проходит от одной стенки полого тела (4) до противоположно расположенной стенки полого тела (4).
11. Способ по п.1, в котором напряжение переменного тока имеет амплитуду от 0,1 до 50 кВ, предпочтительно от 1 до 20 кВ.
12. Способ по п.1, в котором для получения плазмы подают мощность от 100 Вт до 5 кВт.
13. Способ по п.1, в котором части поверхности, предназначенной для обработки, приводят в контакт с плазмой в течение от 5 до 300 с.
14. Способ по п.1, в котором электроды (1, 2) представляют собой стержни, или по меньшей мере один стержень и одну пластину, или две пластины.
15. Способ по п.1, в котором по меньшей мере один из электродов (1, 2) непосредственно прикладывают к полому телу (4).
16. Способ по любому из пп.1-15, в котором во время горения плазмы перемещают по меньшей мере один из электродов (1, 2).
17. Способ по п.1, в котором технологический газ содержит гелий и/или аргон, и/или другой благородный газ.
18. Способ по п.1, в котором в технологический газ добавляют по меньшей мере один предшественник.
19. Способ по п.18, в котором в технологический газ добавляют по меньшей мере один предшественник, при этом технологический газ пропускают через предшественник до заполнения полого тела (4).
20. Способ по п.1, в котором на поверхность внутренней стенки полого тела (4) последовательно наносят покрытие и/или создают функциональные группы.
21. Способ по п.1, в котором впоследствии обрабатывают внешнюю поверхность объекта, помещенного в полое тело (4) перед герметизацией полого тела (4).
22. Способ по п.21, в котором объект представляет собой пробку (8) или пластину микротитратора.
23. Способ по п.21 или 22, в котором объект перемещают встряхиванием полого тела (4), в то время как его наружную поверхность обрабатывают плазмой.