СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОБЪЕКТОВ

1. Сканирующий зондовый микроскоп для исследования крупногабаритных объектов, включающий измерительную головку с пьезосканером и зондом, сопряженными с блоком анализа и управления, а также модуль сближения, три опорные стойки, установленные на измерительной головке, и привод измерительной головки, включенный в модуль сближения, отличающийся тем, что в него введена платформа, на которой установлен двухкоординатный стол, сопряженный с корпусом, установленным на нем с возможностью вращения, на котором установлен модуль сближения, в котором закреплена измерительная головка с пьезосканером и зондом, при этом измерительная головка содержит две пружинные опоры, а платформа - модули крепления к объекту.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус сопряжен с двухкоординатным столом посредством стойки, закрепленной на двухкоординатном столе, и двух цилиндрических направляющих.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что корпус сопряжен с возвратным механизмом, закрепленным на двухкоординатном столе.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что возвратный механизм выполнен в виде кронштейна с двумя пружинными упорами, расположенными с возможностью сопряжения с корпусом.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что двухкоординатный стол выполнен в виде первой и второй кареток, сопряженных соответственно с первым и вторым приводами.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что модуль сближения выполнен в виде третьей каретки, установленной подвижно относительно корпуса и сопряженной с приводом измерительной головки.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что двухкоординатный стол содержит датчики перемещения.