СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАПРАВЛЕНИЯ ПУЧКА НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ

1. Устройство управления направлением пучка нейтральных частиц, полученного из пучка газовых кластерных ионов с исходным путем, сформированным в ионном источнике, который имеет выходную апертуру, окружающую исходный путь, содержащее:
a. ускоряющий электрод, разнесенный от выходной апертуры, причем упомянутый ускоряющий электрод имеет апертуру, окружающую исходный путь;
при этом ускоряющий электрод и его апертура наклонены под первым углом наклона вдоль первой оси наклона относительно исходного пути пучка газовых кластерных ионов;
при этом дополнительно ускоряющий электрод электрически смещен относительно ионного источника для ускорения пучка газовых кластерных ионов в области между выходной апертурой ионного источника и апертурой ускоряющего электрода; и
при этом еще дополнительно первый угол наклона приводит к отклонению пучка газовых кластерных ионов от исходного пути вдоль первого отклоненного пути;
b. пространство дрейфа для отклоненного пучка газовых кластерных ионов, в котором происходит диссоциация газовых кластерных ионов в пучке ускоренных газовых кластерных ионов с образованием ускоренных нейтральных частиц; и
с. средство отделения ионов от нейтральных частиц для удаления ионов с пути отклоненного пучка, так что ускоренные нейтральные частицы следуют по пути отклоненного пучка в виде пучка нейтральных частиц.
2. Устройство по п. 1, при этом первый угол наклона составляет менее 90 градусов.
3. Устройство по п. 2, при этом первый угол наклона составляет более 70 градусов.
4. Устройство по п. 1, при этом первый угол наклона является управляемо изменяемым, и результирующее отклонение пучка газовых кластерных ионов является изменяемым.
5. Устройство по п. 1, при этом ускоряющий электрод и его апертура наклонены под вторым углом наклона вдоль второй оси наклона относительно исходного пути пучка газовых кластерных
ионов, и результирующее отклонение является сложным отклонением.
6. Устройство по п. 5, при этом второй угол наклона составляет менее 90 градусов и более 70 градусов.
7. Устройство по п. 1, при этом отклонение обеспечивает выравнивание или центрирование пучка нейтральных частиц.
8. Устройство по п. 5, при этом второй угол наклона является управляемо изменяемым, и результирующее отклонение пучка газовых кластерных ионов является изменяемым.
9. Устройство по п. 1, при этом каждый из первого угла наклона и второго угла наклона является управляемо изменяемым, а первая и вторая оси наклона являются различными.
10. Устройство по п. 9, дополнительно содержащее средство управления первым и вторым углами наклона для получения пучка нейтральных частиц с растровым сканированием.
11. Способ создания отклонения пучка нейтральных частиц, полученного из пучка газовых кластерных ионов с исходным путем, сформированным в ионном источнике, который имеет выходную апертуру, окружающую исходный путь, причем способ содержит этапы:
a. обеспечение ускоряющего электрода, разнесенного от выходной апертуры, причем упомянутый ускоряющий электрод имеет апертуру, окружающую исходный путь;
b. электрическое смещение ускоряющего электрода относительно ионного источника для обеспечения области ускорения пучка газовых кластерных ионов между выходной апертурой ионного источника и апертурой ускоряющего электрода;
c. осуществление первого наклона ускоряющего электрода и его апертуры на первый угол наклона вдоль первой оси наклона относительно исходного пути пучка газовых кластерных ионов, при этом пучок газовых кластерных ионов отклоняется от исходного пути вдоль первого отклоненного пути;
d. обеспечение пространства дрейфа для отклоненного пучка газовых кластерных ионов, в котором происходит диссоциация газовых кластерных ионов в ускоренном пучке газовых кластерных ионов с получением ускоренных нейтральных частиц; и
e. отделение ионов от нейтральных частиц для удаления ионов
с пути отклоненного пучка, позволяющее ускоренным нейтральным частицам следовать по пути отклоненного пучка в виде пучка нейтральных частиц.
12. Способ по п. 11, при этом первый угол наклона составляет менее 90 градусов и более 70 градусов.
13. Способ по п. 11, при этом управляемо изменяют первый угол наклона и изменяют результирующее отклонение пучка газовых кластерных ионов.
14. Способ по п. 11, дополнительно содержащий этап осуществления второго наклона ускоряющего электрода и его апертуры на второй угол наклона вдоль второй оси наклона относительно исходного пути пучка газовых кластерных ионов с получением результирующего отклонения, являющегося сложным отклонением.
15. Способ по п. 14, при этом второй угол наклона составляет менее 90 градусов и более 70 градусов относительно исходного пути.
16. Способ по п. 11, при этом упомянутое отклонение выравнивает или центрирует пучок нейтральных частиц.
17. Способ по п. 14, при этом управляемо изменяют второй угол наклона и изменяют результирующее отклонение пучка газовых кластерных ионов.
18. Способ по п. 11, при этом управляемо изменяют каждый из первого угла наклона и второго угла наклона, а первая и вторая оси наклона являются различными, и при этом первая и вторая оси наклона могут быть перпендикулярны друг другу и исходному пути.
19. Способ по п. 18, дополнительно содержащий этап переменного управления первым или вторым углами наклона для получения сканирующего пучка нейтральных частиц.
20. Способ по п. 18, дополнительно содержащий этап переменного управления первым и вторым углами наклона для получения сканирующего пучка нейтральных частиц со сканированием в двух измерениях.