СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОТМЫВКИ И СУШКИ ПОДЛОЖЕК

1. Способ отмывки и сушки подложек, заключающийся в том, что каждую подложку устанавливают на носитель, опускают в ванну отмывки деионизованной водой до полного погружения подложек, затем медленно поднимают подложку из воды в камеру сушки, отмывая ее с помощью мегазвукового излучения, а в момент выхода подложки из воды подают пары органического растворителя на границу раздела уровня деионизованной воды ванны и воздушной среды камеры, и сушат, отличающийся тем, что на носителе подложек создают зоны точечных контактов двух торцев подложки с носителем, устанавливают подложку на носитель таким образом, что нижний торец подложки расположен под углом 5°÷10° к горизонтали, опускают подложку в ванну отмывки непрерывно, а мегазвуковое излучение при подъеме направляют на всю ее ширину, при этом в процессе выхода подложки из воды за счет создания разряжения в каждой точке контакта подложки с носителем удаляют остатки воды из зон контактов.
2. Устройство отмывки и сушки подложек, содержащее ванну отмывки подложек, связанную с магистралью подачи и слива деионизованной воды, камеру сушки, связанную магистралью подачи паров органического растворителя, мегазвуковой излучатель, механизм вертикального перемещения подложек с носителем подложек, две трубки, установленные по обе стороны обрабатываемой подложки в зоне выхода ее из деионизованной воды в камеру сушки, каждая из которых содержит ряд отверстий для подачи органического растворителя на границу раздела уровня деионизованной воды ванны отмывки и воздушной среды камеры сушки, отличающееся тем, что мегазвуковой излучатель установлен неподвижно на стенке ванны отмывки таким образом, что излучающая поверхность его расположена параллельно обрабатываемой поверхности подложки и охватывает всю ширину ее, а носитель подложек выполнен в виде двух планок, закрепленных на держателе и образующих угольник, повернутый на 5°÷10° относительно горизонтали с направлением угла в сторону дна ванны, при этом одна из поверхностей каждой планки содержит остроугольные выступы, в вершинах каждого из которых выполнены цилиндрические отверстия, образующие при пересечении наклонных поверхностей выступов выемки, профиль которых обеспечивает точечный контакт торцев подложки и планок носителя, при этом диаметр отверстий выбирают больше толщины обрабатываемой подложки, но меньше основания выступов, причем каждое отверстие выступов соединено с соответствующей полостью планок, выходящей в сторону дна ванны.