СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

1. Способ изготовления солнечного элемента из кремниевой пластины, включающий стадию травления пластины травильным газом, включающим карбонилфторид, фтор или трифторид азота, или их смеси.
2. Способ по п.1, в котором обрабатывают монокристаллическую пластину.
3. Способ по п.1, в котором обрабатывают поликристаллическую пластину.
4. Способ по п.1, в котором обрабатывают кремниевую пластину с легированием Р-типа, с нанесением покрытия с легированием N-типа.
5. Способ по п.1, в котором протравливают пластины, имеющие по меньшей мере одну трещину.
6. Способ по п.1, в котором протравливают пластины, имеющие фосфорсодержащее стекловидное покрытие.
7. Способ по п.1, в котором поверхность пластины протравливают, чтобы сделать поверхность шероховатой.
8. Способ по п.1, в котором в качестве травильного газа используют карбонилфторид или фтор, предпочтительно карбонилфторид.
9. Способ по п.1, в котором травление осуществляют непрямой плазмой.
10. Способ по любому из пп.1-9, в котором контактные электроды наносят на пластину после травления.
11. Способ изготовления солнечной панели, в котором объединяют два или более солнечных элементов, изготовленных способом по любому из пп.1-10.
12. Солнечный элемент, полученный способом по любому из пп.1-10.
13. Солнечная панель, включающая множество солнечных элементов по п.12.
14. Способ изготовления индикаторных плоскопанельных дисплеев, включающий стадию плазменного травления, в котором применяют травильный газ, который содержит карбонилфторид или элементарный фтор.
15. Способ по п.14, в котором схемы электрических цепей формируют плазменным травлением.
16. Способ по п.14, в котором стадию травления выполняют в присутствии карбонилфторида и кислорода и/или аргона, и/или азота в качестве травильного газа.
17. Способ по п.16, в котором травильный газ состоит из карбонилфторида и аргона и/или азота и, необязательно, кислорода.