СПОСОБ СТАБИЛИЗАЦИИ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСХЕМ И МИКРОСБОРОК

Способ стабилизации температуры элементов микросхем и микросборок, включающий проведение топологической термокомпенсации на основании уравнения температурной погрешности в прецизионном устройстве, содержащем подложку, схему регулирования температуры и электрически соединенные с ней датчик температуры и нагреватель, отличающийся тем, что повышение точности стабилизации температуры проводят на основании информации о пространственном распределении статической ошибки регулирования температуры подложки, которую получают путем расчета или экспериментальных измерений температурного поля подложки, для крайних значений диапазона изменения температуры окружающей среды, с учетом тепловыделений и координат размещения термостатируемых элементов.