ПРЕДВАРИТЕЛЬНО СЖАТАЯ ЯЧЕЙКА ЕМКОСТНОГО МИКРООБРАБОТАННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ С НАПРЯЖЕННЫМ СЛОЕМ

1. Предварительно сжатая ячейка (10) емкостного микрообработанного преобразователя, содержащая:
подложку (12),
мембрану (14), причем между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), причем мембрана содержит отверстие (15) и краевой участок (14a), окружающий отверстие (15),
по меньшей мере часть напряженного слоя (17) на мембране (14), причем напряженный слой (17) имеет заданное значение напряжения относительно мембраны (14), напряженный слой (17) выполнен с возможностью обеспечения изгибающего момента на мембране (14) в направлении к подложке (12) так, что краевой участок (14a) мембраны (14) прижимается к подложке (12);
причем напряженный слой (17) содержит отверстие (19).
total
2. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) продолжается за пределы суммарной площади (А) мембраны.
3. Ячейка по п. 1, в которой отверстие (19) напряженного слоя (17) больше, чем отверстие (15) мембраны (14).
4. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) изготовлен из металла или металлического сплава.
5. Ячейка по п. 1, в которой напряженный слой (17) изготовлен из по меньшей мере одного материала, выбранного из группы, содержащей вольфрам (W), сплав титана и вольфрама (TiW), молибден (Mo) и молибден-хромовый сплав (MoCr).
c
6. Ячейка по п. 1, в которой давление (P) сжатия мембраны (14) больше 1 бара, в частности больше 5 бар или 10 бар.
7. Ячейка по п. 1, в которой диаметр мембраны (14) меньше 150 мкм.
sub
total
8. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая заглушку (30), расположенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) суммарной площади (А) мембраны, покрытой мембраной (14).
9. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая покрывающий слой (40), расположенный на мембране (14) и/или на заглушке (30).
10. Ячейка по п. 8, дополнительно содержащая первый электрод (16) на или в подложке (12) и/или второй электрод (18) на или в мембране (14).
11. Ячейка по п. 1, в которой ячейка представляет собой ячейку емкостного микрообработанного ультразвукового преобразователя (cMUT) для передачи и/или приема ультразвуковых волн.
12. Способ изготовления предварительно сжатой ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя, причем способ содержит этапы, на которых:
обеспечивают подложку (12),
total
обеспечивают мембрану (14), покрывающую суммарную площадь (А) мембраны, причем между мембраной (14) и подложкой (12) образуют полость (20),
обеспечивают напряженный слой (17) на мембране (14), причем напряженный слой (17) имеет заданное значение напряжения относительно мембраны (14) и содержит отверстие (19),
обеспечивают отверстие (15) в мембране (14) так, что мембрана (14) содержит краевой участок (14a), окружающий отверстие (15),
причем напряженный слой (17) выполнен с возможностью обеспечения изгибающего момента на мембране (14) в направлении к подложке (12) так, что краевой участок (14a) мембраны (14) прижимается к подложке (12).
13. Способ по п. 12, в котором краевой участок (14a) мембраны (14) прижимается к подложке (12), когда обеспечивают отверстие (15) в мембране (14).
14. Способ по п. 12, дополнительно содержащий этап, на котором удаляют напряженный слой (17).