Способ контроля загрязнения поверхности полупроводниковой пластины по изменению шероховатости

Способ контроля загрязнения поверхности полупроводниковой пластины по изменению шероховатости, включающий в себя измерение шероховатости поверхности пластины на различных технологических этапах, при этом степень загрязнения контролируемой поверхности определяется по изменению величины шероховатости.