МИШЕНЬ ДЛЯ ИСКРОВОГО ИСПАРЕНИЯ С ПРОСТРАНСТВЕННЫМ ОГРАНИЧЕНИЕМ РАСПРОСТРАНЕНИЯ ИСКРЫ

1. Мишень для электродугового источника (ARC) с первым телом (3) из подлежащего испарению материала, которое, по существу, в одной плоскости содержит предусмотренную для испарения поверхность, при этом поверхность в этой плоскости окружает центральную зону, отличающаяся тем, что в центральной зоне предусмотрено предпочтительно выполненное в виде пластины второе тело (7), электрически изолированное от первого тела (3) таким образом, что второе тело (7), по существу, не может предоставлять электроны для сохранения искры.
2. Мишень по п. 1, отличающаяся тем, что первое тело (3) содержит в центральной зоне углубление (5), в котором расположено второе тело (7) и закреплено с помощью изоляционного штифта (9), при этом расстояние между первым телом (3) и вторым телом (7) принимает одно или несколько значений от 1,5 мм до 3,5 мм включительно.
3. Мишень по п. 2, отличающаяся тем, что тело (7) по меньшей мере на поверхности, которая выступает из углубления (5), имеет материал, который соответствует материалу тела (3).
4. Мишень по п. 2, отличающаяся тем, что второе тело (7) содержит по меньшей мере одно углубление (13) так, что лежащий на оси центр тяжести второго тела (7) лежит на высоте боковой поверхности отверстия.
5. Мишень по п. 3, отличающаяся тем, что второе тело (7) содержит по меньшей мере одно углубление (13) так, что лежащий на оси центр тяжести второго тела (7) лежит на высоте боковой поверхности отверстия.
6. Мишень по любому из пп. 1-5, отличающаяся тем, что второе тело (7) выполнено из магнитомягкого материала.