АГРЕГАТ И СПОСОБ ПЕРЕНОСА РАДИКАЛОВ

1. Система электронно-лучевой литографии, содержащая:
- генератор элементарных лучей для генерирования множества элементарных лучей;
- множество элементов управления элементарным лучом для управления элементарными лучами, причем по меньшей мере один из элементов управления элементарным лучом содержит апертурную решетку;
- генератор плазмы, содержащий камеру (2), в которой может быть образована плазма, причем камера содержит впуск (5) для приема вводимого газа и один или более выпусков (6) для удаления по меньшей мере одного из плазмы и радикалов, созданных в ней; и
- полое направляющее тело (9) для направления образованных в плазме радикалов к апертурной решетке, на которой подлежит удалению отложение загрязнения;
- причем камера снабжена ограничителем потока.
2. Система электронно-лучевой литографии по п. 1, в которой ограничителем потока является перфорированная стенка.
3. Система электронно-лучевой литографии по п. 1, дополнительно содержащая регулятор (8) давления, имеющий впуск с первой площадью поперечного сечения и выпуск со второй площадью поперечного сечения, причем первая площадь поперечного сечения больше, чем вторая площадь поперечного сечения, впуск регулятора давления соединен с одним или более выпусками камеры, выпуск регулятора давления соединен с направляющим телом.
4. Система электронно-лучевой литографии по п. 3, в которой регулятор давления принимает форму воронки (8).
5. Система электронно-лучевой литографии по п. 3, в которой выпуск регулятора давления снабжен удлиненным участком, к которому разъемно прикрепляется направляющее тело.
6. Система электронно-лучевой литографии по п. 5, дополнительно содержащая кожух (400) для размещения поверх соединения между направляющим телом и удлиненным участком выпуска регулятора давления.
7. Система электронно-лучевой литографии по любому из пп. 3-6, в которой регулятор давления снабжен дополнительным впуском (35) для приема напускаемого газа.
8. Система электронно-лучевой литографии по любому из пп. 1-6, в которой полое направляющее тело принимает форму трубки (9).
9. Система электронно-лучевой литографии по любому из пп. 1-6, в которой генератор плазмы дополнительно содержит радиочастотную катушку (4) вокруг наружной стороны камеры для генерирования плазмы внутри камеры.
10. Регулятор давления для соединения с камерой, содержащей плазму, причем регулятор давления имеет обладающий первой площадью поперечного сечения впуск для приема по меньшей мере одного из плазмы и радикалов, созданных в ней, и выпуск со второй площадью поперечного сечения, причем первая площадь поперечного сечения больше, чем вторая площадь поперечного сечения, впуск регулятора давления соединен с камерой плазмы, выпуск регулятора давления разъемно прикрепляется к полому телу.
11. Регулятор давления по п. 10, причем регулятор давления принимает форму воронки (8).
12. Регулятор давления по п. 10 или 11, причем регулятор давления снабжен дополнительным впуском (35) для приема напускаемого газа.
13. Способ переноса радикалов, содержащий этапы, на которых:
- обеспечивают систему электронно-лучевой литографии по любому из пп. 1-9 с концом полого направляющего тела в непосредственной близости от области или объема, в которых подлежит удалению отложение загрязнения;
- вводят вводимый газ в камеру;
- образуют плазму и радикалы в камере; и
- создают поток радикалов по направлению к концу полого направляющего тела.
14. Способ по п. 13, в котором генератор плазмы системы электронно-лучевой литографии содержит радиочастотную катушку (4) вокруг наружной стороны камеры, причем образование плазмы содержит возбуждение радиочастотной катушки.
15. Способ по п. 13, причем система электронно-лучевой литографии снабжена регулятором давления по п. 12, и при этом способ дополнительно содержит введение напускаемого газа через дополнительный впуск регулятора давления.
16. Способ по п. 13, в котором вводимый газ представляет собой кислород.