НАНОСТРУКТУРНОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОСТРУКТУР

1. Способ изготовления множества наноструктур (101) на подложке (102), содержащий следующие стадии:
осаждение нижнего слоя (103) на верхней поверхности подложки (102), причем упомянутый нижний слой (103) содержит зерна с первым средним размером зерен;
осаждение слоя (104) катализатора на верхней поверхности нижнего слоя (103), причем упомянутый слой (104) катализатора содержит зерна со вторым средним размером зерен, отличающимся от упомянутого первого среднего размера зерен, с образованием тем самым пакета слоев, содержащего упомянутый нижний слой (103) и упомянутый слой (104) катализатора;
нагревание пакета слоев до температуры, при которой могут образоваться наноструктуры (101); и
обеспечение газа, содержащего реагент, так, что реагент входит в контакт со слоем (104) катализатора.
2. Способ по пункту 1, при этом наибольший из упомянутого первого среднего размера зерен и упомянутого второго среднего размера зерен является на по меньшей мере 10% большим, чем наименьший из первого среднего размера зерен и второго среднего размера зерен.
3. Способ по пункту 1 или 2, при этом упомянутый первый средний размер зерен меньше, чем упомянутый второй средний размер зерен.
4. Способ по пункту 1 или 2, при этом слой (104) катализатора имеет первый состав материала, а нижний слой (103)
имеет второй состав материала, который отличается от упомянутого первого состава материала.
5. Способ по пункту 1 или 2, дополнительно содержащий стадию:
введения по меньшей мере одного примесного элемента в по меньшей мере один из нижнего слоя (103) и слоя (104) катализатора во время осаждения упомянутых слоев.
6. Способ по пункту 1 или 2, дополнительно содержащий стадию:
введения по меньшей мере одного примесного элемента в по меньшей мере один из нижнего слоя (103) и слоя (104) катализатора после осаждения упомянутых слоев.
7. Способ по пункту 1 или 2, дополнительно содержащий стадию:
снабжения рисунком упомянутого слоя (104) катализатора перед ростом наноструктур.
8. Способ по пункту 1 или 2, при этом один из упомянутого нижнего слоя (103) и упомянутого слоя (104) катализатора с меньшим средним размером зерен осаждают распылением.
9. Способ по пункту 1 или 2, при этом один из упомянутого нижнего слоя (103) и упомянутого слоя (104) катализатора с более крупным средним размером зерен осаждают испарением.
10. Наноструктурное устройство (105), содержащее:
подложку (102);
нижний слой (103), расположенный на верхней поверхности подложки (102), причем упомянутый нижний слой (103) содержит зерна с первым средним размером зерен;
слой (104) катализатора, расположенный на верхней поверхности нижнего слоя (103), причем упомянутый слой (104) катализатора содержит зерна со вторым средним размером зерен, отличающимся от первого среднего размера зерен нижнего слоя (103), с образованием тем самым пакета слоев;
множество наноструктур (101), расположенных на упомянутом слое (104) катализатора, причем каждая из упомянутых наноструктур (101) содержит:
основание (401), прилегающее к упомянутому слою (104) катализатора;
кончик (403); и
тело (402) между упомянутым основанием (401) и упомянутым кончиком (403).
11. Наноструктурное устройство (105) по пункту 10, при этом нижний слой (103) и слой (104) катализатора взаимно продиффундировалина границе раздела между упомянутым нижним слоем (103) и упомянутым слоем (104) катализатора.
12. Наноструктурное устройство (105) по пункту 10 или 11, при этом слой (104) катализатора имеет первый состав материала, а нижний слой (103) имеет второй состав материала, который отличается от упомянутого первого состава материала.
13. Наноструктурное устройство (105) по пункту 10 или 11, при этом упомянутый кончик (403) содержит материал из упомянутого слоя (104) катализатора.
14. Наноструктурное устройство (105) по пункту 10 или 11, при этом материал с меньшим средним размером зерен имеет более высокую точку плавления, чем материал с более крупным средним
размером зерен.
15. Наноструктурное устройство (105) по пункту 10 или 11, при этом упомянутое тело (402) упомянутой наноструктуры (101) содержит углерод.