СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ВОЛЬФРАМОВЫХ СЛОЕВ

1. Способ получения наноструктурированных вольфрамовых слоев, включающий разогрев подложки до заданной температуры, создание заданной газовой среды, подвод металлоорганического соединения к подложке, разложение металлоорганического соединения, удаление продуктов разложения, отличающийся тем, что подложку вращают, а подвод, разложение металлоорганического соединения и удаление продуктов разложения производят циклически.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подачу металлоорганического соединения периодически останавливают.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что подачу металлоорганического соединения ведут из двух дозаторов.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что подачу металлоорганического соединения ведут в среде сопутствующего газа.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что направление движения подложки при формировании слоев меняют.
6. Устройство для получения наноструктурированных вольфрамовых слоев, содержащее реактор, состоящий из герметичного корпуса, внутри которого находятся печь и подложка, подложка расположена на печи, сопряженные с реактором систему создания и поддержания необходимой газовой среды, систему создания и поддержания заданного давления и систему подачи металлоорганических соединений, отличающееся тем, что подложка имеет возможность движения относительно системы подачи металлоорганических соединений.
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что система подачи металлоорганических соединений содержит, по крайней мере, один дозатор.
8. Устройство по п.6, отличающееся тем, что система подачи металлоорганических соединений содержит систему подачи сопутствующего газа.
9. Устройство по п.6, отличающееся тем, что система подачи металлоорганических соединений содержит нагреватели.