СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ПОВЕРХНОСТИ

2
2
5
2
Способ изготовления тензорезисторов для измерения деформаций поверхности, заключающийся в том, что на поверхность наносят слой керамики на основе окисла алюминия, который затем шлифуют, на него осаждают металлическую пасту, которая сплавляется при высокой температуре, на которой формируют рисунок тензорезистора, отличающийся тем, что металлическую поверхность окисляют методом глубокого пористого анодирования до формирования пленки окисла толщиной, обеспечивающей надежную электрическую изоляцию тензорезистора от поверхности металла, упрочняют пленку окисла обжигом в азотной атмосфере, наносят в вакууме слои SiO или TaO, полируют его до 14 класса чистоты, наносят на него слой нихрома с необходимым удельным сопротивлением посредством термического испарения нихрома из тигля в вакууме, напыляют в вакууме слои алюминия и меди, изготавливают по тонкопленочной фотолитографии рисунок тензорезистора с контактными площадками, приваривают к ним токопроводящие проводники и готовый тензорезистор изолируют сверху слоем SiO.