СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОТОКОВ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ исследования потоков заряженных частиц, включающий направленное воздействие потоком, содержащим заряженные частицы, по меньшей мере, на один контрольный образец и определение свойств исследуемого потока по характеристикам поверхности контрольного образца после воздействия исследуемого потока, отличающийся тем, что используют контрольный образец, по крайней мере, часть которого выполнена в форме прямой призмы, при этом контрольный образец устанавливают таким образом, что, по меньшей мере, одна из его боковых граней обращена к исследуемому потоку заряженных частиц, и измеряют характеристики поверхности боковых граней контрольного образца после воздействия исследуемого потока заряженных частиц.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют контрольный образец, содержащий дополнительный участок, выполненный в форме прямого круглого цилиндра, при этом участок контрольного образца, выполненный в форме прямой призмы, и участок контрольного образца, выполненный в форме прямого круглого цилиндра, соосны и сопряжены по своим основаниям.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют контрольный образец, снабженный держателем для установки в узле крепления.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что контрольный образец устанавливают в вакуумной камере и ориентируют относительно стенок вакуумной камеры.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что ориентацию контрольного образца относительно стенок вакуумной камеры осуществляют с помощью маркировки, которую наносят на торцевую поверхность контрольного образца.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют контрольный образец, выполненный из материала, отличающегося по цвету от покрытия, наносимого на поверхность контрольного образца в процессе воздействия исследуемого потока.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют контрольный образец, на боковую поверхность которого нанесено покрытие, отличающееся по цвету от материала, из которого выполнен контрольный образец.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что определяют элементный состав покрытия, образуемого на боковой поверхности контрольного образца после воздействия исследуемого потока.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что измеряют толщину покрытия, образуемого на боковой поверхности контрольного образца после воздействия исследуемого потока.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что измеряют толщину слоя, удаляемого с боковой поверхности контрольного образца при воздействии исследуемого потока.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что измеряют твердость боковой поверхности контрольного образца после воздействия исследуемого потока.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что определяют величину поверхностного потенциала материала на боковой поверхности контрольного образца после воздействия исследуемого потока.
13. Установка для исследования потоков заряженных частиц, содержащая вакуумную камеру, по меньшей мере, один генератор потока, содержащего заряженные частицы, по меньшей мере, один контрольный образец, установленный в полости вакуумной камеры, и узел крепления контрольного образца, отличающаяся тем, что, по крайней мере, часть контрольного образца выполнена в форме прямой призмы, при этом контрольный образец установлен в полости вакуумной камеры таким образом, что, по меньшей мере, одна из боковых граней контрольного образца обращена к исследуемому потоку заряженных частиц.
14. Установка по п.13, отличающаяся тем, что контрольный образец содержит дополнительный участок, выполненный в форме прямого круглого цилиндра, при этом участок контрольного образца, выполненный в форме прямой призмы, и участок контрольного образца, выполненный в форме прямого круглого цилиндра, соосны и сопряжены по своим основаниям.
15. Установка по п.13, отличающаяся тем, что на торцевую поверхность контрольного образца нанесена маркировка, определяющая ориентацию контрольного образца относительно стенок вакуумной камеры.
16. Установка по п.13, отличающаяся тем, что контрольный образец снабжен держателем для установки в узле крепления контрольного образца.
17. Установка по п.13, отличающаяся тем, что содержит стойку для крепления контрольных образцов, выполненную с возможностью перемещения относительно стенок вакуумной камеры.
18. Установка по п.13, отличающаяся тем, что в качестве генератора потока, содержащего заряженные частицы, использован вакуумно-дуговой источник плазмы.
19. Установка по п.13, отличающаяся тем, что в качестве генератора потока, содержащего заряженные частицы, использован газоразрядный источник ионов.
20. Установка по п.13, отличающаяся тем, что на боковую поверхность контрольного образца нанесено покрытие, отличающееся по цвету от материала, из которого выполнен контрольный образец.