ТЕНЕВАЯ МАСКА, ЗАКРЕПЛЕННАЯ НА СУБСТРАТЕ МАГНИТНЫМ СПОСОБОМ

1. Устройство для осаждения латерально структурированных слоев на субстрат (2), расположенный на держателе (1) субстрата, посредством теневой маски (3), поверхностно наложенной на предназначенную для нанесения покрытия поверхность (2') субстрата, при этом на держателе (1) субстрата имеются первые магнитные зоны (4), предназначенные для магнитного притяжения соответствующих этим первым магнитным зонам (4) вторых магнитных зон (5) теневой маски (3), при этом первые магнитные зоны (4) перед нанесением покрытия на субстрат (2) при наложенной на субстрат (2) теневой маске (3) приводятся в активное положение, в котором вторые магнитные зоны (5) притягиваются к поверхности (2') субстрата, а для наложения или снятия теневой маски (3) они приводятся в неактивное положение, в котором сила притяжения, действующая на вторые магнитные зоны (5), уменьшается, отличающееся тем, что первые магнитные зоны (4) образованы расположенными в выемках (6) контактной поверхности (1') субстрата держателя (1) субстрата, в частности, постоянными магнитными элементами, которые по месторасположению соответствуют вторым магнитным зонам (5).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первые или вторые магнитные зоны (4, 5) образованы магнитными, в частности, постоянными магнитными элементами, а соответственно другие магнитные зоны (4, 5) ферромагнитными элементами.
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что, в частности, образованные (постоянными) магнитными элементами первые магнитные зоны (4) проложены поперек контактной поверхности (1') субстрата для перемещения из активного положения в неактивное положение и обратно.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что выемки (6) контактной поверхности (1') субстрата образованы скрещивающимися пазами, в которых располагаются имеющие форму перемычек сетки (постоянные) магнитные элементы (4), находящиеся в магнитном взаимодействии с выполненными также в виде перемычек сетки ферромагнитными элементами (5) теневой маски.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что (постоянные) магнитные элементы (4) держателя (1) субстрата представляют собой магнитные планки (10), которые посредством подъемного устройства (7) внутри выемки (6) перемещаются из активного положения, в котором магнитные планки (4) расположены практически заподлицо с контактной поверхностью (1') субстрата, в неактивное положение, в котором магнитные планки (4) расположены в выемках (6) в утопленном положении.
6. Устройство по п. 5, отличающееся тем, что подъемное устройство (7) расположено на обратной от контактной поверхности (1') субстрата стороне (1'') держателя (1) субстрата и посредством толкателей (9), проходящих сквозь отверстия (8) держателя (1) субстрата, воздействуют на (постоянные) магнитные элементы (4).
7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что магнитные планки (10) соединены с несущим элементом (11) с вертикальным зазором для движения относительно горизонтально проходящей контактной поверхности субстрата.
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что магнитные планки (10) образованы полосами (12) постоянного магнита, которые соединены с подкладной полосой (13), в частности, склеены.
9. Устройство по п.1, отличающееся сенсорами (16) контроля зазора, предназначенными для контроля возможного зазора между контактной поверхностью (5') перемычки (5) теневой маски (3) и поверхностью (2') субстрата.
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что держатель (1) субстрата представляет собой охладитель и включает в себя меандрообразно проходящие охлаждающие каналы (14, 15), причем в двух отдельных, проходящих параллельно контактной поверхности субстрата плоскостях предусмотрены две отдельные системы (14, 15) каналов, через которые в противоположных направлениях могут протекать или протекают хладагенты.
11. Держатель субстрата для устройства по п.1, отличающийся выемками (6) в контактной поверхности (1') субстрата, в которых расположены постоянные магнитные элементы, перемещаемые в направлении перпендикуляров к контактной поверхности (1') субстрата.
12. Теневая маска (3) для применения с устройством или держателем субстрата по п.1, включающая в себя расположенные в виде сетки перемычки (5) из магнитного материала, отличающаяся тем, что накладываемая на субстрат (2) контактная поверхность (5') перемычек (5) под острым углом переходит в вогнутую или проходящую наискосок боковую поверхность (5'') перемычки (5).