СПОСОБ И СИСТЕМА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Способ получения трихлорсилана, в котором частицы кремния реагируют с тетрахлорсиланом и водородом и, необязательно, с хлористым водородом в реакторе (101) с кипящим слоем с получением потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта, причем реактор (101) с кипящим слоем содержит по меньшей мере одно впускное отверстие (103) для тетрахлорсилана, водорода и, при необходимости, хлористого водорода, по меньшей мере одно впускное отверстие (105) для частиц кремния, которые совместно с тетрахлорсиланом и водородом образуют кипящий слой, и по меньшей мере одно выпускное отверстие (117) для потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта, перед которым установлен по меньшей мере один сепаратор (118) частиц, который избирательно пропускает только частицы кремния, размер которых меньше определенного максимального размера частиц, отличающийся тем, что предпочтительно через регулярные промежутки времени или непрерывно через по меньшей мере одно дополнительное выпускное отверстие (109; 112) без такого сепаратора (118) частиц частицы кремния удаляют из реактора (101).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частицы кремния удаляют непосредственно из флюидизированного участка кипящего слоя.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что удаленные частицы кремния перемещают во второй реактор (102), в частности - во второй реактор с кипящим слоем, где они реагируют с тетрахлорсиланом и водородом и, необязательно, с хлористым водородом с образованием второго потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что второй поток содержащего трихлорсилан газообразного продукта направляют в расположенный выше по течению реактор (101) с кипящим слоем через по меньшей мере одно дополнительное выпускное отверстие без сепаратора (109; 112) частиц.
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что условия реакции во втором реакторе (102), в частности - температура и/или давление, при которых реагируют удаленные частицы кремния, отличаются от условий в расположенном выше по течению реакторе (101) с кипящим слоем, содержащем по меньшей мере одно дополнительное выпускное отверстие без сепаратора (109; 112) частиц.
6. Система (100) для получения трихлорсилана, в частности - для осуществления способа по любому из пп.1-5, содержащая первый реактор, выполненный в форме реактора с кипящим слоем, для проведения реакции частиц кремния с тетрахлорсиланом и водородом и, при необходимости, с хлористым водородом с получением первого потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта, и второй реактор (102), в частности - выполненный в форме реактора с кипящим слоем, для проведения реакции частиц кремния с тетрахлорсиланом и водородом и, при необходимости, с хлористым водородом с получением второго потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта, причем первый реактор (101) содержит
по меньшей мере одно впускное отверстие (103) для тетрахлорсилана и водорода и, при необходимости, для хлористого водорода,
по меньшей мере одно впускное отверстие (105) для частиц кремния,
реакционную камеру (106), в которой частицы кремния могут образовывать кипящий слой вместе с тетрахлорсиланом и водородом,
по меньшей мере одно выпускное отверстие (107) для первого потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта, перед которым предусмотрен по меньшей мере один сепаратор (118) частиц, который избирательно пропускает только частицы кремния, размер которых меньше определенного максимального размера частиц, и
по меньшей мере одно дополнительное выпускное отверстие (109; 112) без такого сепаратора частиц, через которое из реактора (101) могут удаляться частицы кремния с размерами, превышающими максимальный размер частиц,
а второй реактор (102) содержит
по меньшей мере одно выпускное отверстие (111) для частиц кремния,
реакционную камеру, в которой частицы кремния могут образовывать кипящий слой вместе с тетрахлорсиланом и водородом, и
по меньшей мере одно выпускное отверстие (114) для второго потока содержащего трихлорсилан газообразного продукта,
причем между по меньшей мере одним дополнительным выпускным отверстием (109; 112) первого реактора (101) и по меньшей мере одним впускным отверстием (111) для частиц кремния второго реактора (102) имеется соединение (110), через которое частицы кремния, удаленные из первого реактора (101) могут быть перемещены во второй реактор (102).
7. Система по п.6, отличающаяся тем, что по меньшей мере один сепаратор (118) частиц представляет собой один или более циклонов.
8. Система по п.6, отличающаяся тем, что между первым реактором (101) и вторым реактором (102) имеется по меньшей мере одно дополнительное соединение (115), по которому второй поток содержащего трихлорсилан газообразного продукта может быть направлен в первый реактор (101).