3
СПОСОБ ПРИМЕНЕНИЯ NF ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ОТЛОЖЕНИЙ

1. Способ удаления поверхностных отложений, причем указанный способ включает
3
(a) активирование в удаленной камере газовой смеси, содержащей источник кислорода и NF, используя достаточную мощность в течение достаточного времени, чтобы указанная газовая смесь достигла нейтральной температуры по меньшей мере примерно 3000 K для образования активированной газовой смеси, и после этого
(b) приведение указанной активированной газовой смеси в контакт с поверхностными отложениями, удаляя тем самым по меньшей мере некоторые из указанных поверхностных отложений.
2. Способ по п.1, в котором указанные поверхностные отложения удаляются с внутренних поверхностей рабочей камеры, которая используется при изготовлении электронных приборов.
3. Способ по п.1, в котором указанный источник кислорода является газообразным кислородом или оксидами азота.
4. Способ по п.3, в котором указанный источник кислорода является газообразным кислородом.
5. Способ по п.1, в котором поверхностное отложение выбрано из группы, состоящей из кремния, допированного кремния, нитрида кремния, вольфрама, диоксида кремния, оксинитрида кремния, карбида кремния и различных кислородсодержащих соединений кремния, называемых low-k материалами.
6. Способ по п.5, в котором поверхностное отложение является нитридом кремния.
7. Способ по п.1, в котором указанная мощность генерируется источником радиочастотного излучения, источником постоянного тока или источником микроволнового излучения.
8. Способ по п.7, в котором указанная мощность генерируется источником радиочастотного излучения.
9. Способ по п.8, в котором указанная активированная газовая смесь в удаленной камере образует тороидальную конфигурацию, а указанная радиочастотная энергия является индуктивно-трансформаторно связанной и имеющей частоту ниже 1000 кГц.
10. Способ по п.9, в котором для усиления указанной индуктивной связи используется по меньшей мере один магнитный сердечник.
11. Способ по п.1, в котором давление в удаленной камере составляет от 0,1 торр до 20 торр.
12. Способ по п.1, в котором указанная газовая смесь, кроме того, содержит газ-носитель.
13. Способ по п.12, в котором указанный газ-носитель является по меньшей мере одним газом, выбранным из группы газов, состоящей из азота, аргона и гелия.
14. Способ по п.13, в котором указанный газ-носитель является аргоном, гелием или их смесью.