ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ АКСЕЛЕРОМЕТРА

Интегральный чувствительный элемент акселерометра, содержащий инерционную массу, выполненную в виде несимметричного маятника в кремниевой пластине и соединенную с ней упругими подвесами, емкостный датчик перемещений и электромагнитную систему обратной связи с интегральной возвращающей обмоткой, отличающийся тем, что введен емкостный датчик перемещений, проводящий подвижный электрод которого совмещен с грузом разбаланса чувствительной массы и заземлен, неподвижные электроды емкостного датчика выполнены на стеклянных обкладках и посредством контактных площадок соединены со схемой, возвращающая обмотка выполнена из двух частей: подвижной и неподвижной, подвижная обмотка размещена на маятнике с обеих его сторон в виде витков меандра, причем витки на каждой из сторон маятника соединены так, что относительно оси качания ток течет по части обмотки в одну сторону, а с другой стороны - в обратном направлении, причем подвижная обмотка питается опорным напряжением, а неподвижная выполнена на двух одинаковых стеклянных обкладках, жестко соединенных с кремниевой пластиной маятника, витки которой расположены строго против витков подвижной обмотки и соединены последовательно, на неподвижную обмотку заведена обратная связь с выхода акселерометра, величина шага между витками обмотки и величина зазора между подвижными и неподвижными обмотками должны отвечать следующему соотношению
Δ/h≥10,
где Δ - шаг между витками обмотки, h - зазор между подвижными и неподвижными обмотками.