СПОСОБ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ И ОДНОЗНАЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЙ ВЫСОТЫ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫМИ МЕТОДАМИ НА ОСНОВЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ЭФФЕКТА ГЕНЕРАЦИИ ОТРАЖЕННОЙ ГИГАНТСКОЙ ВТОРОЙ ГАРМОНИКИ

1. Способ обеспечения точности и однозначности измерений высоты микрорельефа поверхности интерференционными методами на основе использования когерентного электромагнитного излучения, отличающийся тем, что на поверхности с микрорельефом создают оптическую нелинейность, когерентное электромагнитное излучение направляют на эту поверхность, при этом измерение высоты микрорельефа обеспечивают путем анализа интерференции излучения отраженной от поверхности с микрорельефом гигантской второй гармоники и гигантской второй гармоники, отраженной от поверхности эталонного образца, а однозначность измерения высоты микрорельефа обеспечивают путем анализа интерференции ответвленной части когерентного электромагнитного излучения и когерентного электромагнитного излучения, отраженного от поверхности с микрорельефом.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что оптическую нелинейность поверхностей с микрорельефом и эталонного образца создают, например, методом химического травления поверхностей или их покрытия частицами наноразмерного уровня из металла, например серебра, или полупроводника, например кремния.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, генерация отраженной гигантской второй гармоники является результатом взаимодействия когерентного электромагнитного излучения с нелинейно-оптической поверхностью.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве когерентного электромагнитного излучения используют лазерное излучение в ближнем инфракрасном и видимом оптическом диапазоне длин волн.