2
МАТЕРИАЛ ДЛЯ КОНВЕРСИИ ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ИЗЛУЧЕНИЕ ВИДИМОГО ДИАПАЗОНА В ВИДЕ АМОРФНОЙ ПЛЕНКИ ОКСИДА КРЕМНИЯ SiOSx НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ

2
2
Материал для конверсии вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона в виде аморфной пленки оксида кремния SiOSx на кремниевой подложке, отличающийся тем, что толщина аморфной пленки оксида кремния SiO составляет 20÷70 нм, а ионы серы содержатся в количестве, при котором стехиометрический коэффициент «x» находится в пределах от 0,01 до 0,45.