СПОСОБ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНАМИ ГАЗОВ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ

17
2
Способ имплантации ионами газов металлов и сплавов, при котором в поверхность металла имплантируют ионы азота, отличающийся тем, что поочередно с азотом проводят имплантацию ионами инертного газа, дозу имплантации которых выбирают в интервале (0,1…0,25)·D, где D - доза имплантирования ионами азота, которую выбирают в интервале (1…5)·10 ион/см.