СПОСОБ ПО ВЫДЕЛЕНИЮ ГАЗА ДЛЯ ИНСПЕКТИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ С ПОКРЫТИЕМ

1. Способ инспектирования продукта процесса покрытия, где покрытие было нанесено на поверхность подложки с образованием поверхности с покрытием, где способ включает этапы:
(а) обеспечения продукта как объекта инспекции;
(c) измерения высвобождения, по меньшей мере, одной разновидности летучего вещества из объекта инспекции в газовое пространство вблизи поверхности с покрытием; и
(d) сравнения результата этапа (с) с результатом этапа (с) для, по меньшей мере, одного эталонного объекта, измеренного при таких же тестовых условиях, таким образом определяя присутствие или отсутствие покрытия, и/или физическое и/или химическое свойство покрытия.
2. Способ по п.1, где определяют физическое и/или химическое свойство покрытия, которое выбирают из группы, состоящей из его барьерного эффекта, его натяжения смачивания и его композиции, и которое предпочтительно является его барьерным эффектом.
3. Способ по п.1 или 2, где этап (с) выполняют путем измерения массового расхода или объемного расхода указанной, по меньшей мере, одной разновидности летучего вещества в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием.
4. Способ по п.1 или 2, где:
(i) эталонный объект представляет собой непокрытую подложку; или
(ii) эталонный объект представляет собой подложку, покрытую эталонным покрытием.
5. Способ по п.1 или 2, включающий в качестве дополнительного этапа между этапами (а) и (с) этап
(b) изменения атмосферного давления в газовом пространстве вблизи поверхности с покрытием так, чтобы обеспечивалась разность давлений через поверхность с покрытием, и для реализации более высокого массового расхода или объемного расхода разновидности летучего вещества, чем без разности давлений.
6. Способ по п.5, где измерение выполняют путем применения измерительной ячейки, помещенной между поверхностью подложки с покрытием и источником вакуума.
7. Способ по п.1 или 2, где разновидность летучего вещества представляет собой газ или пар при тестовых условиях, предпочтительно выбранный из группы, состоящей из воздуха, азота, кислорода, водяного пара, летучих компонентов покрытия, летучих компонентов подложки и их комбинации, более предпочтительно она представляет собой воздух, азот, кислород, водяной пар или их комбинацию.
8. Способ по п.1 или 2, где объект инспекции приводят в контакт с разновидностью летучего вещества на этапе (а), предпочтительно разновидностью летучего вещества, выбранного из группы, состоящей из воздуха, азота, кислорода, водяного пара и их комбинации, предпочтительно для того, чтобы обеспечить адсорбцию или абсорбцию указанной разновидности летучего вещества на или в материал объекта инспекции; и где последующее высвобождение указанной разновидности летучего вещества из объекта инспекции измеряют на этапе (с).
9. Способ по п.1 или 2, где множество различных разновидностей летучих веществ измеряют на этапе (с), и где предпочтительно, по существу, все разновидности летучих веществ, высвобожденные из объекта инспекции, измеряют на этапе (с).
10. Способ по п.1 или 2, где подложка представляет собой полимерное соединение, предпочтительно представляет собой сложный полиэфир, полиолефин, циклический олефиновый сополимер, поликарбонат или их комбинацию.
11. Способ по п.1 или 2, где покрытие представляет собой покрытие, полученное с помощью PECVD из кремнийорганического предшественника.
12. Способ по п.1 или 2, где
x
(i) покрытие представляет собой барьерное покрытие, предпочтительно представляет собой слой SiO, где х составляет от приблизительно 1,5 до приблизительно 2,9; и/или
w
x
y
z
(ii) покрытие представляет собой покрытие, изменяющее смазывающую способность и/или поверхностное натяжение подложки с покрытием, предпочтительно представляет собой слой SiOCH, где w составляет 1, х составляет от приблизительно от 0,5 до 2,4, у составляет от приблизительно 0,6 до приблизительно 3, и z составляет от 2 до приблизительно 9.
13. Способ по п.1 или 2, где разновидность летучего вещества представляет собой разновидность летучего вещества, высвобождаемого из покрытия, предпочтительно представляет собой летучий компонент покрытия, и где инспекцию проводят для определения присутствия, свойств и/или состава покрытия.
14. Способ по п.1 или 2, где при измерении разновидность летучего вещества представляет собой разновидность летучего вещества, высвобождаемого из покрытия, и где инспекцию проводят для определения присутствия покрытия и/или барьерного эффекта покрытия.
15. Способ по п.1 или 2, где подложка представляет собой сосуд, имеющий стенку, на которую, по меньшей мере, частично наносят покрытие на ее внутреннюю или внешнюю поверхность во время способа нанесения покрытия, и где предпочтительно покрытие наносят на внутреннюю поверхность стенки сосуда.
16. Способ по п.15, где устанавливают разность давлений между полостью сосуда и внешней стороной для того, чтобы измерить выделение разновидности летучего вещества из стенки сосуда с покрытием.
17. Способ по п.16, где разность давлений обеспечивают, по меньшей мере, частичным вакуумированием газового пространства в сосуде.
18. Способ по п.1 или 2, где условия, эффективные для распознания присутствия или отсутствия покрытия и/или для определения физического и/или химического свойства покрытия, включают длительность теста менее одного часа, или менее одной минуты, или менее 50 с, или менее 40 с, или менее 30 с, или менее 20 с, или менее 15 с, или менее 10 с, или менее 8 с, или менее 6 с, или менее 4 с, или менее 3 с, или менее 2 с, или менее 1 с.
19. Способ по п.1 или 2, где скорость высвобождения разновидности летучего вещества изменяют путем изменения окружающего давления и/или температуры и/или влажности, таким образом увеличивая разницу между эталонным объектом и объектом инспекции в отношении скорости высвобождения и/или типа измеряемой разновидности летучего вещества.
20. Способ по п.1 или 2, который применяют в качестве технологического контроля в линии для процесса покрытия для того, чтобы определить или устранить продукты с покрытием, которые не удовлетворяют установленному стандарту, или продукты с поврежденным покрытием.
21. Способ по п.1 или 2, где покрытие представляет собой PECVD-покрытие, выполненное в условиях вакуума, и где последующее измерение выделения газа проводят без нарушения вакуума, применяемого для PECVD.
22. Способ по п.1 или 2, где измерение выполняют с применением методики измерения на основе микрокантилеверов.
23. Способ по п.22, где измерение выполняют путем
(i) (а) обеспечения, по меньшей мере, одного микрокантилевера, который имеет свойство в присутствии выделяемого материала двигаться или менять форму на иную;
(b) воздействия на микрокантилевер выделяемым материалом при условиях, эффективных для того, чтобы заставить микрокантилевер двигаться или менять форму на иную; и
(c) детектирования движения или иной формы предпочтительно посредством отражения энергетического падающего луча, например, лазерного луча, от части микрокантилевера, которая меняет форму, до и после того, как микрокантилевер подвергают выделению газа, и измерения полученного отклонения отраженного луча в точке, удаленной от кантилевера;
или путем
(ii) (а) обеспечения, по меньшей мере, одного микрокантилевера, который резонирует на другой частоте в присутствии выделяемого материала;
(b) воздействия на микрокантилевер выделяемым материалом при условиях, эффективных для того, чтобы заставить микрокантилевер резонировать на другой частоте; и
(c) детектирования другой резонансной частоты, например, с помощью датчика гармонических колебаний.
24. Аппарат для осуществления способа по п.20.