УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖКИ И СООТВЕТСТВУЮЩИЙ СПОСОБ

1. Устройство для обработки, в частности для травления и/или проявления подложек (17), в частности пластин, содержащее вращательную тарелку (1), отличающееся тем, что вращательная тарелка (1) имеет зазор (3) Вентури.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно содержит источник среды под давлением.
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что оно имеет по меньшей мере одно отверстие (13) для выпуска среды под давлением.
4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что вращательная тарелка (1) имеет чашеобразную форму.
5. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что оно содержит диффузор (5), который вставлен во вращательную тарелку (1) и образует зазор (3) Вентури.
6. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что вращательная тарелка (26) имеет на своем наружном крае (25) множество пазов (18, 19, 20).
7. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что оно содержит захват (21), имеющий множество подъемных штырей (22, 23, 24).
8. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что вращательная тарелка (27) имеет фаску (28).
9. Способ обработки, в частности травления и/или проявления, подложек (17), в частности пластин, отличающийся тем, что он включает следующие операции:
- укладку подложки (17),
- подачу в зазор (3) Вентури среды под давлением,
- вращение подложки (17) при помощи вращательной тарелки (26),
- нанесение обрабатывающего средства на подложку (17) и
- снятие подложки (17).
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что операция укладки подложки (17) включает:
- позиционирование подложки (17) на выдвижном элементе,
- перемещение выдвижного элемента так, что подложка (17) позиционируется над вращательной тарелкой (26),
- позиционирование захвата (21) под подложкой (17) так, что подложка (17) опирается на три подъемных штыря (22, 23, 24) захвата (21),
- удаление выдвижного элемента под подложкой (17),
- укладку подложки (17) на вращательную тарелку (26) путем перемещения тарелки (26) и захвата (21) друг относительно друга вдоль оси (D) вращения тарелки (26), при этом подъемные штыри (22, 23, 24) захвата (21) входят в пазы (18, 19, 20) вращательной тарелки (26).
11. Способ по п.9, отличающийся тем, что операция снятия подложки (17) включает:
- позиционирование захвата (21) под подложкой (17) на вращательной тарелке (26),
- перемещение вращательной тарелки (26) и захвата (21) друг относительно друга вдоль оси (D) вращения тарелки (26), при этом подъемные штыри (22, 23, 24) захвата (21) входят в пазы (18, 19, 20) вращательной тарелки (26), так что подложка (17) опирается на три точки захвата (21),
- позиционирование выдвижного элемента под подложкой (17),
- удаление захвата (21) под подложкой (17),
- перемещение выдвижного элемента с подложкой (17).