НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИОННО-ДУГОВОЕ НАПЫЛЕНИЕ

Способ нанесения покрытия при электродуговом напылении или ионно-дуговом напылении на подложки в вакуумной камере, где испаряют твердый материал дугового испарителя, который работает в качестве катода; во время дугового испарения ускоряют движение катодного пятна на поверхности твердого материала при помощи магнитного поля во избежание выброса большого количества макрочастиц или капель с поверхности твердого материала; в потоке от дугового испарителя от катода на анод образуются отрицательно заряженные частицы; при этом отрицательно заряженные частицы перемещаются от катода к аноду, что в основном не вызывает дополнительного возрастания абсолютного значения разности потенциалов между катодом и анодом, что делает возможным меньший прирост температуры подложки при напылении.