Статья

Статья

Исследование плазмы

2007. Т. 45. № 3. С. 325–332

Лебедев Ю.А., Татаринов А.В., Эпштейн И.Л.

Электродный микроволновый разряд в постоянном поле

Исследовано влияние внешнего постоянного электрического поля на электродный микроволновый разряд в азоте при давлениях $1$–$5$ Тор и падающих мощностях $20$–$170$ Вт. Показано, что вольт-амперные характеристики разряда (ВАХ) по постоянному току нелинейные, причем нелинейностью, определяющей ВАХ, является плазменный слой у поверхности разрядной камеры. Получено качественное согласие измеренных ВАХ и рассчитанных на основе самосогласованной одномерной квазистатической модели СВЧ-разряда в системе электродов со сферической симметрией. Показано, что приложенное постоянное напряжение слабо влияет на характеристики разряда, но позволяет управлять потоками заряженных частиц на поверхность разрядной камеры.