СПОСОБ ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЙ ПОЛИРОВКИ ТОЛСТЫХ СЛОЕВ КОБАЛЬТСОДЕРЖАЩИХ СПЛАВОВ

2
2
2
2
2
2
1. Способ химико-механической полировки толстого слоя ферро-магнитного кобальтсодержащего сплава на поверхности пластины из оксида кремния с вытравленной канавкой, включающий обработку пластины полировальником в присутствии суспензии в два этапа, при которых обрабатываемая пластина и полировальник находятся во вращательном движении относительно друг друга под давлением с возможностью осуществления на любом этапе визуального контроля толщины оставшегося слоя, причем на первом этапе полирование проводят со скоростью 400-600 нм/мин при давлении 6,9-10,3 кПа и при скорости подачи суспензии 150 мл/мин, при этом используют полирующую кислотную суспензию, содержащую оксид алюминия, диоксид кремния аморфный, азотную кислоту и воду, в которую добавляют НО до достижения концентрации НО 0,6-1,8 мас. % и рН 2-3, а на втором этапе полирование проводят при давлении 15,9 -19,3 кПа и при скорости подачи суспензии 300 мл/мин, при этом используют полирующую щелочную суспензию, содержащую диоксид кремния, неорганический гидроксид и воду, в которую добавляют НО до достижения концентрации 0,8-1,2 мас. % и рН 9,5-11,2, причем каждый из этапов завершают промывкой полируемой поверхности деионизированной водой с последующей тетраметиламмония, аденозин, а полирование завершают после удаления с поверхности обрабатываемой пластины из оксида кремния всего слоя ферромагнитного кобальтсодержащего промывкой ополаскивателем, содержащим этаноламин, гидроксид сплава и достижения желаемой толщины слоя в упомянутой канавке.
2. Способ химико-механической полировки толстого слоя ферро-магнитного кобальтсодержащего сплава на поверхности пластины из оксида кремния с вытравленной канавкой по п. 1, отличающийся тем, что в качестве полирующей кислотной суспензии используют полирующую кислотную суспензию F7810 производителя Cabot.
3. Способ химико-механической полировки толстого слоя ферро-магнитного кобальтсодержащего сплава на поверхности пластины из оксида кремния с вытравленной канавкой по п. 1, отличающийся тем, что в качестве полирующей щелочной суспензии используют полирующую щелочную суспензию Cu4545 производителя Versum.
4. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве кобальт содержащего сплава используют CoFe.
x
y
z
5. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве кобальт содержащего сплава используют сплав CoFeB, где x+y+z=1.
x
y
z
k
l
6. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве кобальт содержащего сплава используют сплав CoFeBTaZr, где x+y+z+k+l=1.
x
y
z
7. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве кобальт содержащего сплава используют сплав CoZrTa, где x+y+z=1.
x
y
z
8. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве кобальт содержащего сплава используют сплав CoFeSiO, где x+y+z=1.
9. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве ополаскивателя используют деионизованную воду и химический раствор Planar Clean.
10. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что для оптического контроля толщины оставшегося слоя используют оптический микроскоп.
11. Способ химико-механической полировки толстых слоев ферро-магнитных кобальт содержащих сплавов по п. 1, отличающийся тем, что в качестве ополаскивателя используют химический раствор Planar Clean, разбавленный деионизованной водой раствором в соотношении 1:50.