СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОАНЕМОМЕТРА (ВАРИАНТЫ)

-1
-1
-4
1. Способ изготовления термоанемометра, заключающийся в том, что на поверхность модели наклеивают диэлектрическую пленку из полиимида с металлизированными чувствительными элементами и выводами, отличающийся тем, что для измерения температуры в диапазоне 25°-300°C чувствительные элементы термоанемометра и его электрические выводы формируют методом многоэтапного испарения металла в вакууме, для этого очищают поверхности диэлектрической пленки из полиимида и металлов этиловым спиртом, помещают в вакуум при давлении 5·10-8-10 мм рт.ст., поверхность пленки активизируют при помощи тлеющего разряда, далее проводят электровакуумное напыление продолжительностью 0,25-0,3 мин при силе тока 550-600 мА на поверхности пленки в вакууме через две маски и формируют чувствительные элементы и электрические выводы, причем до металлизации пленку натягивают так, чтобы она приобрела форму мембраны, и нагревают ее до температуры 180-200°C, окончательно металлизацию осуществляют при давлении в камере 10 мм.рт.ст. продолжительностью 0,45-0,5 мин при силе тока 230-240 мА с обеспечением необходимой прочности адгезии металлического покрытия.
2. Способ изготовления термоанемометра по п. 1, отличающийся тем, что прочность адгезии металлизированной пленки определяют, припаивая к напыленной пленке провод, нагружают провод силой до 40÷50 н/м перпендикулярно поверхности модели, выбраковывают термоанемометр в случае отслоения чувствительного элементы от поверхности модели.
-1
3. Способ изготовления термоанемометра, заключающийся в том, что на поверхности модели напыляют чувствительные элементы с выводами из металла, отличающийся тем, что для измерения температуры в диапазоне 300°-1000°C формирование чувствительных элементов и выводов термоанемометра осуществляют в вакууме на поверхности модели методом многоэтапного катодного напыления, для чего осаждают металл, затем наносят пленку из изоляционных материалов, например окиси алюминия, регулируют режим напыления металлов из платины, константана, золота, серебра для получения чувствительных элементов с электрическими выводами путем варьирования электрической мощности, подводимой к устройству напыления в диапазоне 200-500 Вт, напыление металлов осуществляют в нейтральной среде, например, аргоне при давлении 10Па, после завершения металлизации чувствительные элементы с выводами толщиной 0,2-0,3 мкм формируют любым известным способом на поверхности модели любой кривизны, причем для защиты от окисления поверхность модели и сформированные чувствительные элементы покрывают изоляционным материалом, а также обеспечивают необходимую прочность адгезии металлического покрытия.
4. Способ изготовления термоанемометра по п. 3, отличающийся тем, что прочность адгезии металлизированной пленки определяют, припаивая к напыленной пленке провод, нагружают провод силой до 40÷50 н/м перпендикулярно поверхности модели, выбраковывают термоанемометр в случае отслоения чувствительного элементы от поверхности модели.