ВАКУУМНАЯ КАМЕРА НА РАМНОМ ОСНОВАНИИ ДЛЯ УСТАНОВОК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

1. Вакуумная камера для установок для нанесения покрытий, в которой функциональные элементы расположены на камере, причем камера включает в себя раму камеры, и в раму механически разъемно и герметично вставлены вставные панели, и некоторые из вставных панелей несут функциональные элементы, отличающаяся тем, что рама камеры включает в себя, по меньшей мере, одну отформованную из цельной металлической панели, снабженную консолями основную поверхность, причем консоли отогнуты в области присоединения к основной поверхности таким образом, что они образуют перемычки рамы камеры.
2. Вакуумная камера по п.1, отличающаяся тем, что поверхность охватываемого камерой объема, по меньшей мере, на 40%, предпочтительно, по меньшей мере, на 50% ограничена вставными панелями.
3. Вакуумная камера по п.1 или 2, отличающаяся тем, что функциональные элементы и вставные панели разъемно соединены с помощью фланцевых соединений, предпочтительно посредством предусмотренных на вставных панелях прихватов.
4. Вакуумная камера по п.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, два, предпочтительно более, образованных рамой отверстия геометрически имеют, по существу, одну и ту же форму и за счет этого, по меньшей мере, две, предпочтительно более, вставных панели посредством механического ослабления и закрепления могут заменяться в своей позиции.
5. Вакуумная камера по п.3, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, два, предпочтительно более, образованных рамой отверстия геометрически имеют, по существу, одну и ту же форму и за счет этого, по меньшей мере, две, предпочтительно более, вставных панели посредством механического ослабления и закрепления могут заменяться в своей позиции.
6. Вакуумная камера по одному из пп.1, 2 или 5, отличающаяся тем, что вставные панели, по меньшей мере, в соединительной области с рамой представляют собой плоские панели.
7. Вакуумная камера по п.3, отличающаяся тем, что вставные панели, по меньшей мере, в соединительной области с рамой представляют собой плоские панели.
8. Вакуумная камера по п.4, отличающаяся тем, что вставные панели, по меньшей мере, в соединительной области с рамой представляют собой плоские панели.
9. Вакуумная камера по одному из пп.1, 2 или 5, отличающаяся тем, что рама, по существу, относительно оси имеет n-координатную симметрию, причем n представляет собой целое число больше 2, а вставные панели вставлены соответствующим симметрии рамы образом.
10. Вакуумная камера по п.3, отличающаяся тем, что рама, по существу, относительно оси имеет n-координатную симметрию, причем n представляет собой целое число больше 2, а вставные панели вставлены соответствующим симметрии рамы образом.
11. Вакуумная камера по п.4, отличающаяся тем, что рама, по существу, относительно оси имеет n-координатную симметрию, причем n представляет собой целое число больше 2, а вставные панели вставлены соответствующим симметрии рамы образом.