СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНОК

1. Способ формирования наноструктур на поверхности полупроводниковых пленок путем воздействия лазерного излучения на образец, отличающийся тем, что обеспечивают локальное проплавление вещества, а последующее застывание расплава приводит к образованию «наноконусов».
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что варьируя диаметром лазерного луча и скоростью сканирования поверхности, меняют период образования «наноконусов».
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что лазерное излучение используется не для удаления вещества с поверхности, а для его перераспределения и структурирования поверхности.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что отклонение угла падения лазерного луча от нормали к поверхности образца приводит к изменению распределения образующихся «наноконусов».