НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРИВОД

Устройство относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнолгическим приводам.
Известно устройство нанотехнологического привода, содержащее, систему пьезоэлементов, жестко связанных между собой, зонд, связанный с системой пьезоэлементов и основание на котором устанавливается система пьезоэлементов, подложку, электрически связанную с зондом. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. -Учебное пособие / М.: МИЭТ, 2000 - 69 с.]
Недостатком аналога являются малые кинематические возможности.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является пьезопривод для нанотехнологии, содержащий систему пьезоэлементов, жестко связанных между собой, зонд, связанный с системой пьезоэлементов и основание на котором устанавливается система пьезоэлементов, подложку, электрически связанную с зондом. [Свидетельство на полезную модель №30034, МПК 7 Н 01 L 41/09, опубл Бюл. №16 (прототип)]
Недостатком прототипа является также малые кинематические возможности.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы повысить кинематические возможности нанотехнологического привода.
Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом приводе, содержащем систему пьезоэлементов, жестко связанных между собой, зонд. связанный с системой пьезоэлементов и основание на котором установлена система пьезоэлементов, подложку, электрически связанную с зондом, согласно предложенной полезной модели, подложка связана с выходом электромеханического привода
вращательного движения, посредством пьезопривода угловых перемещений, а основание закреплено на выходе электромеханического привода поступательного движения, посредством пьезопривода поступательных перемещений.
Предложенная конструкция устройства позволяет увеличить кинематические возможности нанотехнологического привода.
Сущность изобретения поясняется фиг.1, где показывается устройство нанотехнологического привода.
Нанотехнологический привод фиг.1, содержит, систему пьезоэлементов 1. жестко связанных между собой, зонд 2, связанный с системой пьезоэлементов 1 и основание 3 на котором устанавливается система пьезоэлементов 1, подложку 4, электрически связанную с зондом 2. Подложка 4 связана с выходом 5 электромеханического привода вращательного движения (ЭМПВД) 6 посредством пьезопривода угловых перемещений (ППУП) 7, а основание 3 закреплено на выходе 8 электромеханического привода поступательного движения (ЭМППД) 9 посредством пьезопривода поступательных перемещений (ПППП) 10.
Нанотехнологический привод работает следующим образом.
При выполнении технологических операций зонд 2 и система пьезоэлементов 1 перемещаются при помощи ПППП 10 и ЭМППД 9, причем грубое перемещение производится при помощи ЭМППД 9,а точное перемещение при помощи ПППП 10. Одновременно с этим подложка перемещается при помощи ППУП 7 и ЭМВД 6, причем грубое перемещение производится при помощи ЭМПВД 6,а точное перемещение при помощи ППУП 7.
Применение предлагаемого технического решения нанотехнологического привода позволяет повысить кинематические возможности нанотехнологического привода.