УСТРОЙСТВО И СПОСОБЫ ДЛЯ РЕАКТОРОВ ОСАЖДЕНИЯ

1. Источник исходного продукта, содержащий:
присоединяемый картридж исходного продукта, выполненный с возможностью отсоединения;
первую соединительную часть, выполненную с возможностью присоединения картриджа исходного продукта к источнику исходного продукта и отсоединения от него; и
вторую соединительную часть для присоединения источника исходного продукта к устройству реактора осаждения и отсоединения от него.
2. Источник по п.1, содержащий фильтр частиц, соединенный с первой соединительной частью.
3. Источник по п.1, содержащий уплотнительную часть или клапан, выполненный с возможностью герметичного закрытия картриджа исходного продукта с обеспечением предотвращения потока материала исходного продукта из картриджа исходного продукта к первой соединительной части.
4. Источник по п.3, содержащий третью соединительную часть на первой стороне уплотнительной части или клапана и четвертую соединительную часть на другой стороне уплотнительной части или клапана, при этом указанные третья и четвертая части выполнены с возможностью открытия для отсоединения указанной уплотнительной части или клапана и для того, чтобы очистить картридж.
5. Источник по п.1, содержащий теплопроводящий корпус источника, и в нем картридж нагревателя.
6. Источник по п.5, содержащий слой теплоизолирующего материала вокруг корпуса источника, и покрытие вокруг слоя теплоизолирующего материала.
7. Источник по п.1, содержащий теплопроводящий выступ, расположенный около нижней части картриджа исходного продукта и имеющий выточенный канал для вмещения термопары.
8. Источник по п.1, в котором картридж исходного продукта содержит ручной клапан картриджа, выполненный с возможностью герметичного закрытия картриджа исходного продукта.
9. Картридж исходного продукта, присоединяемый с возможностью отсоединения для использования в источнике исходного продукта, выполненном по п.1.
10. Картридж по п.9, содержащий камеру исходного продукта с расположенным в ней резервуаром исходного продукта для вмещения исходного продукта.
11. Картридж по п.10, в котором камера исходного продукта содержит соединительную часть с горловиной для разборки контейнера исходного продукта для очистки.
12. Картридж по п.9, в котором стенка резервуара исходного продукта герметично закрыта уплотнением от стенки камеры исходного продукта.
13. Картридж по п.9, содержащий соединительную часть для загрузки и разгрузки резервуара исходного продукта из нижней части картриджа.
14. Картридж по п.13, содержащий выступающую вниз ручку для вытаскивания резервуара из камеры исходного продукта после открытия соединительной части.
15. Картридж по п.10, содержащий клапан для изоляции газового пространства камеры исходного продукта от выходного трубопровода источника.
16. Картридж по п.10, в котором резервуар исходного продукта содержит фильтр частиц, расположенный сверху резервуара исходного продукта.