СПОСОБ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ И АНАЛИЗА СОСТАВА ОСАЖДЕННЫХ СПЛАВОВ В ВАКУУМЕ МЕТОДОМ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ПРИ ВОЗБУЖДЕНИИ ЭЛЕКТРОННЫМ УДАРОМ В ВЧЕ (ВЫСОКОЧАСТОТНОМ ЕМКОСТНОМ) РАЗРЯДЕ

1. Способ контроля скорости осаждения и анализа состава осажденных сплавов методом эмиссионной спектроскопии при возбуждении электронным ударом атомов сплава в паровой фазе, отличающийся тем, что возбуждение атомов парового потока выполняют электронным ударом в высокочастотном емкостном разряде.
2. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что систему возбуждения выполняют в виде двух плоскопараллельных металлических пластин, расположенных против друг друга, параллельно пути следования паров испаряемого сплава, и подключаемых к выводам высокочастотного генератора.
3. Способ контроля по п.1, отличающийся тем, что внутренняя сторона каждого высокочастотного электрода экранирована диэлектрической обкладкой.