УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК

Полезная модель относится к электронике, а более конкретно, к устройствам получения квантовых точек.
Известно устройство для нанесения пленок на подложку, содержащее постоянный магнит, на котором расположены плоская мишень-катод, а над ней по периметру анод. Эта система находится под колпаком вакуумной распылительной установки, рабочим газом в которой после откачки служит аргон [Стр. 38-39 «Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлетроники» В 10 кн. Кн. 7 Элионная обработка. О.С. Моряков - М.: Высш. шк., 1990 - 128 с.: ил (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность управления процессом формирования квантовых точек.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для нанесения пленок на подложку, содержащее магнетронный источник, распылитель вещества, выполненный в виде постоянного магнита, мишень-катод, анод и источник питания, подложку-приемник распыляемого вещества, закрепленную на подложкодержателе [Стр. 40-41 «Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлетроники.» В 10 кн. Кн. 7 Элионная обработка. О.С. Моряков - М.: Высш. шк., 1990 - 128 с.: ил (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность управления процессом формирования квантовых точек.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность управления процессом формирования квантовых точек.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве формирования квантовых точек, включающем магнетронный источник, содержащем источник питания, анод и распылитель вещества, включающий постоянный магнит и мишень-катод, подложкодержатель для крепления подложки-приемника распыляемого вещества, согласно предложенной полезной модели, мишень-катод выполнена из железа, при этом электроны совершают движение по полуокружности, периодически взаимодействуя с мишенью-катодом и инертным газом, анод выполнен в виде сетки, устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения, установленным снаружи полого цилиндра, внутренняя поверхность которого выполнена зеркальной, в полом цилиндре по образующей выполнена прорезь, в которой установлена с возможностью изменения направления лазерных лучей оптическая часть источника лазерного излучения.
Технический результат состоит в возможности управления процессом формирования квантовых точек за счет «неслипания» ионов и равномерного их расположение друг относительно друга на подложке-приемнике распыляемого вещества, что обеспечивается предложенным конструктивным выполнением устройства и выполнением мишени-катода из железа.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показано устройство для получения квантовых точек.
Технический результат состоит в возможности управления процессом формирования квантовых точек за счет «неслипания» ионов и равномерного их расположение друг относительно друга на подложке-приемнике распыляемого вещества, что обеспечивается предложенным конструктивным выполнением устройства и выполнением мишени-катода из железа.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показано устройство для получения квантовых точек.
Устройство для получения квантовых точек (фиг. 1) содержит магнетронный источник 1, который содержит распылитель вещества, включающий постоянный магнит 2 и мишень-катод 3, анод 4 и источник питания 5. Устройство также содержит подложкодержатель 7 для крепления подложки-приемника 6 распыляемого вещества. В устройстве мишень-катод 3 выполнена из железа и не связана с постоянным магнитом 2, а анод 4 выполнен в виде сетки 8, устройство дополнительно снабжено источником лазерного излучения 9, установленным снаружи полого цилиндра 10, внутренняя поверхность 11 которого выполнена зеркальной, в полом цилиндре по образующей выполнена прорезь, в которой установлена с возможностью изменения направления лазерных лучей оптическая часть источника лазерного излучения.
Устройство для получения квантовых точек работает следующим образом.
Источник питания 5 создает электрическое поле, под действием которого электроны вылетают из мишени-катода 3. Проходя через постоянный магнит 2, электроны взаимодействуют с магнитным полем посредством сил Лоренца, под действием которых электроны начинают двигаться по окружности, ось которой перпендикулярна вектору скорости движения электронов и параллельна линиям действия магнитного поля. Из-за этого электроны совершают движение по полуокружности, периодически взаимодействуя с мишенью-катодом 3 и инертным газом, например, аргоном, выбивая из него один электрон. Аргон превращается в положительно заряженный ион. Ионы аргона взаимодействуют с отрицательно заряженной мишенью-катодом 3, «выбивая» из нее атомы железа, Нейтральные атомы железа перемещаются в сторону подложки, проходя через анод 4 и цилиндр 10. При этом атомы железа взаимодействуют со световыми лучами от лазерного источника 9. Это взаимодействие вызывает фотоэффект. Таким образом, на подложку осаждаются положительно заряженные ионы железа, образуя квантовые точки. Положительный заряд иона железа обеспечивает «неслипание» ионов и равномерное их расположение друг относительно друга. Таким образом, каждый атом железа (или несколько атомов) представляет собой квантовую точку.
Применение предлагаемого устройства для получения квантовых точек обеспечивает возможность управления процессом формирования квантовых точек.