СИСТЕМА СОЗДАНИЯ ВАКУУМА

1. Система создания вакуума, предназначенная для откачки вакуумной камеры, причем система содержит: вакуумный насос и множество линий предварительной откачки, предназначенных для подачи газа в вакуумный насос, причем на первом этапе откачки камеры низкого вакуума первое устройство линии предварительной откачки может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, а на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума второе устройство линии предварительной откачки, содержащее одну или более упомянутых линий предварительной откачки, может быть подключено для подачи газа в вакуумный насос, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения для подачи жидкости, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.
2. Система создания вакуума по п.1, в которой, по меньшей мере, одну из упомянутых линий предварительной откачки во втором устройстве линии предварительной откачки отключают от первого устройства линии предварительной откачки во время упомянутого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума.
3. Система создания вакуума по п.1 или 2, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит одну или более упомянутых линий предварительной откачки упомянутого первого устройства линии предварительной откачки.
4. Система создания вакуума по п.3, в которой упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутое множество линий предварительной откачки.
5. Система создания вакуума по п. 1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откачки содержит первую линию предварительной откачки, а упомянутое второе устройство линии предварительной откачки содержит упомянутую первую линию предварительной откачки и вторую линию предварительной откачки.
6. Система создания вакуума по п.5, в которой упомянутая первая линия предварительной откачки имеет первую площадь поперечного сечения, которая меньше, чем площадь поперечного сечения второй линии предварительной откачки.
4
5
2
5
6
2
7. Система создания вакуума по п.6, в которой упомянутая первая линия предварительной откачки имеет площадь поперечного сечения от 10 до 10 мм, а упомянутая вторая линия предварительной откачки имеет площадь поперечного сечения от 10 до 10 мм.
8. Система создания вакуума по п.1, содержащая устройство управления, сконфигурированное для выбора упомянутого первого устройства линии предварительной откачки для подачи газа в упомянутый вакуумный насос во время упомянутого первого этапа откачки камеры относительно низкого вакуума, и выбора упомянутого второго устройства линии предварительной откачки для подачи газа в упомянутый вакуумный насос, когда упомянутое давление уменьшают ниже предварительно определенного давления или в предварительно определенный момент времени от начала откачки камеры.
9. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое предварительно определенное давление находится от 0,1 до 10 мбар.
10. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое устройство управления функционально соединяют, по меньшей мере, с одним клапаном для управления потоком газа через первое устройство линии предварительной откачки или второе устройство линии предварительной откачки, в соответствии с сигналом управления, принятым из устройства управления.
11. Система создания вакуума по п.10, содержащая первый клапан, расположенный вверху по течению второй линии предварительной откачки, и второй клапан, расположенный ниже по течению второй линии предварительной откачки, для отключения второй линии предварительной откачки от системы создания вакуума.
12. Система создания вакуума по п.8, в которой упомянутое устройство управления функционально соединено для приема сигнала давления от датчика давления для измерения давления в системе создания вакуума, причем упомянутое устройство управления сконфигурировано с возможностью вывода управляющего сигнала, когда упомянутый сигнал давления указывает уменьшение давления в упомянутой системе ниже предварительно определенного значения.
13. Система создания вакуума по п.1, в которой упомянутое первое устройство линии предварительной откачки имеет объем, который, по меньшей мере, на порядок меньше, чем объем вакуумной камеры, а второе устройство линии предварительной откачки имеет объем, который того же порядка или больше, чем объем вакуумной камеры.
14. Система создания вакуума по п.1, в которой полную площадь поперечного сечения второго устройства линии предварительной откачки задают таким образом, что скорость откачки ограничена скоростью откачки вакуумного насоса, а не активной проводимостью второго устройства линии предварительной откачки.
15. Система создания вакуума по п.1, в которой вакуумный насос подключают с помощью одного или обоих устройств линии предварительной откачки, которые соединяют со вторым вакуумным насосом, который подключают к вакуумной камере.
16. Способ откачки вакуумной камеры, причем способ содержит этапы, на которых: подключают первое устройство линии предварительной откачки для подачи жидкости в вакуумный насос и откачивают газ через первое устройство линии предварительной откачки на первом этапе откачки камеры низкого вакуума и подключают второе устройство линии предварительной откачки для подачи газа в вакуумный насос и откачивают газ через второе устройство линии предварительной откачки на втором этапе откачки камеры более высокого вакуума, причем второе устройство линии предварительной откачки имеет полную площадь поперечного сечения, которая больше, чем полная площадь поперечного сечения первого устройства линии предварительной откачки.