УСТАНОВКА ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И СПОСОБ ПОКРЫТИЯ ИЛИ ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ

1. Установка плазменного нанесения покрытий для покрытия или обработки поверхности подложки (3) с рабочей камерой (2), которая является вакуумируемой и в которой может быть размещена подложка (3), и с плазменной горелкой (4) для создания плазменной струи (5) нагреванием технологического газа, причем плазменная горелка (4) имеет сопло (41), через которое плазменная струя (5) может выходить из плазменной горелки (4) и простираться вдоль продольной оси (А) в рабочей камере (2), отличающаяся тем, что ниже по течению от сопла (41) в рабочей камере (2) предусмотрено механическое ограничивающее приспособление (12), которое простирается вдоль продольной оси (А) и защищает плазменную струю (5) от бокового, нежелательного проникновения частиц.
2. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) расположено непосредственно ниже по течению от сопла (41) плазменной горелки (4).
3. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) выполнено в виде трубы, в частности металлической трубы.
4. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем ограничивающее приспособление (12) выполнено в виде цилиндрической трубы, диаметр (Е) которой максимум в десять раз, в частности максимум в пять раз, превышает диаметр сопла (41) у его выходного отверстия.
5. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1, причем дополнительно предусмотрено инжекционное приспособление (11) для инжекции в плазменную струю (5) реакционноспособной текучей среды.
6. Установка плазменного нанесения покрытий по п.5, причем инжекционное приспособление (11) содержит кольцеобразное инжекционное сопло (111), которое расположено в ограничивающем приспособлении (12).
7. Установка плазменного нанесения покрытий по п.1 с подложкодержателем (8) для удерживания подложки (3), причем ограничивающее приспособление (12) простирается на по меньшей мере 80%, предпочтительно по меньшей мере 90%, расстояния между соплом (41) и подложкодержателем (8).
8. Способ покрытия или обработки поверхности подложки посредством установки плазменного нанесения покрытий, при котором размещают подложку (3) в рабочей камере (2), вакуумируют рабочую камеру (2) до давления менее одного бара, посредством плазменной горелки (4) нагреванием технологического газа создают плазменную струю (5), которая через сопло (41) выходит из плазменной горелки (4) и может простираться вдоль продольной оси (А) в рабочей камере (2), отличающийся тем, что плазменную струю (5) защищают механическим ограничивающим приспособлением (12), которое простирается вдоль продольной оси (А), от бокового, нежелательного проникновения частиц.
9. Способ по п.8, причем в плазменную струю инжектируют реакционноспособную текучую среду посредством инжекционного приспособления (11).
10. Способ по п.8, причем плазменную струю (5) защищают ограничивающим приспособлением (12) на по меньшей мере 80%, предпочтительно по меньшей мере 90%, ее длины между соплом (41) и подложкой (3).
11. Способ по п.8, при котором технологическое давление в рабочей камере (2) при нанесении покрытий составляет максимум 100 мбар, предпочтительно максимум 50 мбар, и в частности максимум 30 миллибар.