СПОСОБ ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ МЕДИ ИЗ РАСТВОРА ЭЛЕКТРОЛИТА НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИЭЛЕКТРИКА

3
-4
-2
Способ лазерного осаждения меди из раствора электролита на поверхность диэлектрика, заключающийся в приготовлении электролита, промывке подложки, фокусировании лазера на границу подложка-электролит, сканировании излучения по поверхности диэлектрика, отличающийся тем, что в состав электролита дополнительно вводят AlCl в количестве 10-10 М, после чего проводят сканирование излучения по поверхности диэлектрика со скоростью перемещения относительно точки фокуса в диапазоне 10-30 мкм/с и мощностью лазерного излучения 1000 мВт.