УЗЕЛ СОЕДИНЕНИЯ ОПОРНОЙ ТРУБКИ С ВРАЩАЮЩЕЙСЯ МИШЕНЬЮ

1. Узел вращающейся распыляемой мишени, включающий следующие компоненты:
опорная трубка, имеющая длину и наружную поверхность с наружным диаметром;
материал распыляемой мишени, расположенный на опорной трубке, имеющий длину и внутреннюю поверхность с внутренним диаметром, который больше, чем наружный диаметр опорной трубки;
связующий материал или клеевой слой, нанесенный на материал распыляемой мишени и опорную трубку только вблизи концов материала мишени, таким образом, что связующий материал или клеевой слой прерывным образом расположен вдоль наружной поверхности опорной трубки и задает зазор между наружной поверхностью опорной трубки и материалом мишени;
при этом опорная трубка содержит одно или более перфорационных отверстий на своей поверхности, причем зазор связан посредством текучей среды с внутренней частью опорной трубки через указанные отверстия, чтобы обеспечить во время процесса распыления возможность протекания охлаждающей текучей среды через зазор и непосредственного контактирования с внутренней поверхностью материала мишени между концами материала мишени.
2. Узел по п.1, отличающийся тем, что зазор проходит вдоль существенной части поверхности опорной трубки между концами материала распыляемой мишени.
3. Узел по п.2, отличающийся тем, что наружная поверхность опорной трубки, задающая зазор, проходит более чем на две трети длины материала распыляемой мишени и, предпочтительно, более чем на четыре пятых длины материала распыляемой мишени; а связующее вещество или клеевой слой, нанесенный на материал распыляемой мишени, по существу, на всю поверхность вблизи его концов, проходит менее чем на одну треть длины материала распыляемой мишени и, предпочтительно, менее чем на одну пятую длины материала распыляемой мишени.
4. Узел по п.3, отличающийся тем, что зазор имеет постоянную глубину менее 3 мм или менее 1 мм.
5. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно содержит кольцевой разгрузочный резервуар для приема связующего материала или клеевого слоя, утопленный по меньшей мере на одном конце наружной поверхности опорной трубки или внутренней поверхности материала распыляемой мишени, или на обеих указанных поверхностях.
6. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно содержит два разнесенных выступа, расположенных в непосредственной близости от по меньшей мере одного конца перфорированной опорной трубки, которые взаимодействуют с внутренней поверхностью материала мишени для задания глубины зазора и удерживания связующего материала или клеевого слоя в области между двумя указанными выступами.
7. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что связующий материал или клеевой слой выбран из группы, включающей материалы на основе висмута, фольгу, индий, сплавы из индия и олова, сплавы из серебра и олова и им подобные сплавы; и/или материал мишени выбран из группы, включающей сплавы, смеси, чистые металлы, керамику, оксиды, нитриды, бориды, карбиды, фториды и сульфиды.
8. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что дополнительно содержит вакуумное уплотнение снаружи от перфорационных отверстий между концами опорной трубки и материалом распыляемой мишени для сопротивления давлению охлаждающей текучей среды во время процесса распыления.
9. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что опорная трубка изготовлена из вакуумно-совместимого и немагнитного материала длинной приблизительно от 6 до 152 дюймов, с внутренним диаметром приблизительно от 2 до 6 дюймов и с наружным диаметром приблизительно от 4 до 9 дюймов.
10. Узел по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что опорная трубка в местах нанесения связующего материала или клеевого слоя покрыта разделительным составом, способствующим отделению материала мишени от опорной трубки после распыления, причем разделительный состав выбран из группы, включающей пчелиный воск, спирты на графитовом основании, краски на графитовом основании и сухие графитсодержащие смазки.
11. Соединительное или герметизирующее зажимное приспособление для сборки узла вращающейся распыляемой мишени, причем указанный узел вращающейся распыляемой мишени содержит материал распыляемой мишени, расположенный на перфорированной опорной трубке, и зазор для охлаждающей текучей среды между материалом распыляемой мишени и опорной трубкой, проходящий более чем на две трети длины материала распыляемой мишени; включающее центрирующую базу, на которой жестко закреплен конец опорной трубки, выполненную с возможностью расположения материала мишени поверх опорной трубки на верхней поверхности указанной базы, причем верхняя поверхность центрирующей базы включает выступающую поверхность, расположенную между наружной поверхностью опорной трубки и внутренней поверхностью материала мишени для задания кольцевого зазора; и полосу переменной температуры, расположенную сверху указанной центрирующей базы в контакте с наружной поверхностью материала мишени в местах выполнения соединения или герметизации.
12. Приспособление по п.11, отличающееся тем, что содержит специальный нагревательный элемент и/или специальный охлаждающий элемент, расположенный внутри полосы переменной температуры, причем каждый из нагревательного и охлаждающего элементов включает либо электронный нагревательный элемент, либо канал текучей среды для прохождения нагретой или охлажденной жидкости через указанную полосу.
13. Приспособление по п.11 или 12, отличающееся тем, что содержит нагревательную пробку, расположенную внутри опорной трубки в контакте с внутренней поверхностью опорной трубки в местах выполнения соединения или герметизации.
14. Способ выполнения соединения или герметизации между материалом вращающейся распыляемой мишени и перфорированной опорной трубкой с образованием зазора для охлаждающей текучей среды между материалом распыляемой мишени и опорной трубкой, проходящего более чем на две трети длины материала распыляемой мишени, согласно которому располагают по меньшей мере один конец опорной трубки и по меньшей мере один конец материала мишени в соединительном или герметизирующем зажимном приспособлении с формированием зазора с постоянной глубиной 3 мм, или меньше, между опорной трубкой и материалом распыляемой мишени, добавляют связующий материал или клеевой слой в зазор между опорной трубкой и материалом мишени вблизи концов материала распыляемой мишени в таком количестве, чтобы покрыть менее одной трети длины материала распыляемой мишени, причем в зависимости от состава и формы связующего материала или клеевого слоя его добавляют до или после расположения одного конца материала распыляемой мишени в указанном приспособлении, и подают энергию к указанному приспособлению для формирования соединения или герметизации с помощью нагрева связующего материала или клеевого слоя.
15. Стенд для опорной трубки для сборки узла продолговатой вращающейся распыляемой мишени, причем указанный узел содержит материал распыляемой мишени, расположенный на перфорированной опорной трубке, и зазор для охлаждающей текучей среды между материалом распыляемой мишени и опорной трубкой, проходящий более чем на две трети длины материала распыляемой мишени; включающий базу, вертикальную опору, установленную на указанной базе с возможностью вращения, горизонтальную втулку, прикрепленную одним концом к вертикальной опоре и выполненную с возможностью вертикального перемещения вдоль длины вертикальной опоры для приема узлов распыляемой мишени разной длины, поворотную рукоятку, прикрепленную к другому концу втулки, и средства на поворотной рукоятке для удержания опорной трубки, связующего или герметизирующего материала и материала распыляемой мишени.