РЕНТГЕНОШАБЛОН И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Рентгеношаблон, представляющий собой рентгенопоглощающую структуру, сформированную на несущей мембране, закрепленной на (в) опорном кольце, отличающийся тем, что рентгенопоглощающая структура выполнена из рентгенорезиста.
2. Способ изготовления рентгеношаблона, включающий в себя фиксацию несущей мембраны на (в) опорном кольце и формирование на ней рентгенопоглощающей структуры, отличающийся тем, что в качестве несущей мембраны используют бериллиевую фольгу, а в качестве рентгенопоглощающей структуры - резистивную маску, которую формируют методом прямого рисования рентгеновским пучком.
3. Рентгеношаблон по п. 1, отличающийся тем, что для формирования резистивной маски используют сенсибилизированный более тяжелыми химическими элементами (входящими в его химическую формулу и/или добавленными в виде наночастиц) рентгенорезист.
4. Рентгеношаблон по п. 1, отличающийся тем, что рентгенопоглощающая топологическая структура сформирована с обеих сторон несущей мембраны.
5. Способ по п. 2, отличающийся тем, что на финальной стадии изготовления шаблона проводят дополнительную термообработку (hard bake) сформированной резистивной маски.