ПРИБОР С ЭЛЕКТРОДОМ, ПОДКЛЮЧЕННЫМ К СКВОЗНОМУ ПРОВОДУ, И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Емкостный преобразователь, содержащий:
подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью; и
ячейку на упомянутой первой поверхности, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым электродом и вторым электродом,
причем поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка, и поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка.
2. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором каждая из упомянутых проводящих защитных пленок содержит многослойную пленку, имеющую два или более слоев.
3. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором упомянутые поверхности сквозного провода утоплены относительно первой поверхности и второй поверхности подложки.
4. Емкостный преобразователь по п. 1, дополнительно содержащий контактную площадку, выполненную с возможностью электрического подключения к сквозному проводу через любую из проводящих защитных пленок.
5. Емкостный преобразователь по п. 1, дополнительно содержащий провод, выполненный с возможностью электрического подключения к сквозному проводу через любую из проводящих защитных пленок.
6. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором каждая из проводящих защитных пленок включает в себя пленку Au, образованную на ее самой наружной поверхности.
7. Емкостный преобразователь по п. 6, в котором каждая из проводящих защитных пленок включает в себя пленку Ni и пленку Au и имеет пленку Au, образованную на ее самой наружной поверхности.
8. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором сквозной провод выполнен из Cu или сплава Cu.
9. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором сквозной провод электрически подключен к упомянутому первому электроду или упомянутому второму электроду.
10. Емкостный преобразователь по п. 1, в котором проводящие защитные пленки образованы исключительно на поверхностях сквозного провода.
11. Прибор, содержащий:
подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью; и
электрод, электрически подключенный к сквозному проводу,
причем поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка, и поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки расположена проводящая защитная пленка.
12. Способ изготовления емкостного преобразователя, включающего в себя подложку, имеющую первую поверхность и вторую поверхность, противоположную первой поверхности, причем подложка включает в себя сквозной провод, простирающийся через нее между упомянутой первой поверхностью и упомянутой второй поверхностью, и ячейку на первой поверхности, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым электродом и вторым электродом, при этом способ содержит:
образование проводящей защитной пленки поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой первой поверхности подложки и проводящей защитной пленки поверх поверхности сквозного провода на стороне упомянутой второй поверхности подложки; и
образование ячейки на первой поверхности подложки, причем ячейка включает в себя первый электрод и второй электрод, разнесенный от первого электрода, с зазором между первым
электродом и вторым электродом.
13. Способ по п. 12, дополнительно содержащий образование сквозного провода в подложке.
14. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют исключительно на поверхностях сквозного провода.
15. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют с использованием металлизации химическим восстановлением.
16. Способ по п. 12, в котором проводящие защитные пленки образуют с использованием металлизации химическим восстановлением, а затем подвергают выравниванию поверхности.
17. Устройство получения информации об объекте, содержащее:
емкостный преобразователь по п. 1; и
секцию обработки, выполненную с возможностью получения информации об объекте с использованием электрического сигнала, выведенного из емкостного преобразователя, и обработки упомянутой информации,
причем емкостный преобразователь выполнен с возможностью приема акустической волны от упомянутого объекта и вывода упомянутого электрического сигнала.
18. Устройство получения информации об объекте по п. 17, дополнительно содержащее источник света,
причем емкостный преобразователь выполнен с возможностью приема акустической волны, сгенерированной при облучении упомянутого объекта светом, сгенерированным из упомянутого источника света, и преобразования принятой акустической волны в электрический сигнал.
19. Измерительное устройство, содержащее:
емкостный преобразователь по п. 1, подвергающийся воздействию внешней силы,
причем измерительное устройство выполнено с возможностью измерения величины внешней силы, приложенной к поверхности упомянутого емкостного преобразователя, с использованием электрического сигнала от упомянутого емкостного преобразователя.