ПРОЦЕСС ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Процесс получения поликристаллического кремния, включающий следующие этапы:
подача реакционного газа внутрь химического ректора, оборудованного кремниевым сердцевинным элементом, установленным на электрод, при этом указанный реакционный газ содержит газообразный силан и газообразный водород;
нагрев кремниевого сердцевинного элемента путем подведения к нему электрического тока до температуры, при которой кремний осаждается;
формирование стержня поликристаллического кремния путем обеспечения для образующегося кремния возможности осаждения на кремниевый сердцевинный элемент; и
отведение отработавшего газа после реакции из химического реактора;
в котором отработавший газ, отводимый из химического реактора, быстро охлаждают, так что его температура падает с 800°С до 500°С не более, чем за 0,1 с.