Плазменное обрабатывающее устройство

1. Устройство (10) для плазменной обработки, имеющее:
генератор (15), который выполнен для генерации высокочастотного переменного напряжения (HF) при различных регулировках,
присоединенный или выполненный с возможностью присоединения к генератору (15) для снабжения электрическим током обработки инструмент (12), который имеет по меньшей мере один электрод (20), который получает питание посредством переменного напряжения (HF) таким образом, что на нем является генерируемой плазма, причем сгенерированные при различных регулировках переменные напряжения имеют различные способности воспламенения и/или различные способности поддержания плазмы,
управляющее устройство (22), которое присоединено к генератору (15) таким образом, что посредством управляющего устройства (22) обеспечена возможность воздействия на регулировку генератора (15) так,
что сначала генератор (15) приводится в действие в воспламеняющем режиме эксплуатации, а после этого, в приведенном в соответствие с требуемым эффектом режиме эксплуатации.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, кроме того, предусмотрен датчик (23) плазмы, который присоединен к генератору (15) и/или к инструменту (12) для обнаружения характеристики плазмы на инструменте (12),
причем управляющее устройство (22) присоединено к датчику (23) плазмы таким образом, что посредством управляющего устройства (22) обеспечена возможность воздействия на регулировку генератора (15) на основании регистрируемых датчиком (15) плазмы характеристик плазмы, и
причем управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что на основании регистрируемой посредством датчика (23) плазмы характеристики плазмы, когда она характеризует надежную характеристику воспламенения и/или надежное поддержание плазмы, оно задает для генератора (15) регулировку с уменьшенной способностью воспламенения и/или уменьшенной способностью поддержания плазмы, и/или что на основании регистрируемой посредством датчика (23) плазмы характеристики плазмы, когда она характеризует ненадежную характеристику воспламенения и/или ненадежное поддержание плазмы, оно задает для генератора (15) регулировку с увеличенной способностью воспламенения и/или увеличенной способностью поддержания плазмы.
3. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что различные регулировки генератора побуждают его к подаче напряжения с различными характеристиками напряжения и/или к обеспечению напряжения при различных характеристиках генератора, причем различные характеристики напряжения, предпочтительно, относятся к величине напряжения и/или разновидности модуляции и/или коэффициенту амплитудной модуляции и/или форме напряжения и/или коэффициенту заполнения импульсами и/или частоте, и/или что к характеристикам генератора относится его внутреннее сопротивление.
4. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что высокочастотное переменное напряжение (HF) пульсирует со средней частотой (MF), которая, предпочтительно, составляет менее одной пятой части частоты высокочастотного переменного напряжения (HF), однако, также предпочтительно, превышает ее двадцатую часть, и что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что характеристики напряжения отличаются посредством различных коэффициентов заполнения импульсами средней частоты (MF).
5. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что высокочастотное переменное напряжение (HF) пульсирует с низкой частотой (NF), которая, предпочтительно, составляет по меньшей мере 0,5 Гц и/или, предпочтительно, составляет самое большее 200 Гц и, прежде всего, предпочтительно, от 1 до 100 Гц.
6. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что во время функционирования инструмента (12) оно приводит в действие генератор с той среди имеющихся в распоряжении регулировок, которая имеет минимальный побочный эффект, и которая обеспечивает генерацию плазмы в течение времени попытки воспламенения.
7. Устройство по п. 6, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что во время функционирования инструмента (12) оно приводит в действие генератор (15) с регулировкой с увеличенным побочным эффектом по истечении времени попытки воспламенения, если посредством датчика (23) плазмы не была зарегистрирована генерация плазмы в течение времени попытки воспламенения.
8. Устройство по п. 6, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что оно приводит в действие генератор во время функционирования инструмента (12) при следующей попытке воспламенения с регулировкой с уменьшенным побочным эффектом после по меньшей мере однократного, предпочтительно неоднократного, успешного образования плазмы в течение времени попытки воспламенения.
9. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что во время функционирования инструмента (12) оно приводит в действие генератор (15) по истечении фазы воспламенения в фазе обработки с той регулировкой, которая обеспечивает получение плазмы при минимальном прочем побочном эффекте.
10. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что во время функционирования инструмента (12), после произведенной в фазе воспламенения генерации плазмы, если посредством датчика (23) плазмы были зарегистрированы в течение времени обработки гашение или нестабильность плазмы, оно приводит в действие генератор (15) в текущей и/или в последующей фазе обработки с регулировкой с более высокой способностью поддержания плазмы и/или более высоким побочным эффектом.
11. Устройство по п. 10, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что оно изменяет регулировку генератора на регулировку с менее высокой способностью поддержания плазмы и/или менее высоким побочным эффектом, если во время функционирования инструмента (12), после произведенного в фазе воспламенения образования плазмы, датчик (23) плазмы в течение времени обработки не регистрирует тенденции к гашению плазмы.
12. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что управляющее устройство (22) выполнено таким образом, что во время функционирования инструмента (12), после произведенной в фазе воспламенения генерации плазмы, оно приводит в действие генератор (15) в фазе обработки с помощью пульсирующей со средней частотой (MF) формы напряжения с коэффициентом заполнения импульсами, который уменьшается для следующей за фазой воспламенения последующей фазы обработки, если по меньшей мере в одной фазе обработки, предпочтительно в нескольких следующих друг за другом фазах обработки, посредством датчика плазмы в течение времени обработки было зарегистрировано стабильное наличие плазмы, и который увеличивается, если была обнаружена тенденция к гашению плазмы.
13. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что датчик (23) плазмы для регистрации стабильности плазмы выполнен для отслеживания электрического параметра, прежде всего характера изменения во времени электрического параметра, причем электрический параметр может быть выведен из поставляемого к инструменту (12) тока и/или поставляемого к инструменту (12) электрического напряжения.
14. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что различные регулировки генератора (15) содержат по меньшей мере две регулировки, которые имеют различные характеристики воспламенения и/или различные характеристики поддержания плазмы и/или вызывают различные эмиссии света и/или звука, при этом, тем не менее, поставляют в плазму и/или в ткань ту же среднюю мощность.
15. Способ управления устройством (10) для плазменной обработки, которое имеет высокочастотный генератор (15) для питания инструмента (12), который выполнен с возможностью приведения в действие при различных регулировках, при которых подаваемое им переменное напряжение (HF) имеет различные характеристики воспламенения и/или различные характеристики поддержания плазмы и/или образующаяся плазма имеет эмиссии света и звука различной интенсивности, причем высокочастотный генератор (15) приводят в действие для воспламенения плазмы на инструменте (12) и для поддержания ее соответственно с той среди имеющихся в распоряжении регулировок, которая имеет наименьшую эмиссию света и/или звука, при этом, тем не менее, обеспечивает надежное воспламенение и надежное поддержание плазмы.