СПОСОБ ЛАЗЕРНОЙ ОБРАБОТКИ НЕМЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсами лазерного излучения с плотностью энергии в импульсе, определяемой по формуле:
,
отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1<χh<1,46, то плотность энергии одного лазерного импульса определяют по формуле:
,
где e - основание натурального логарифма;
3
Q - удельная энергия сублимации материала, Дж/м;
-1
χ - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения, м;
R - коэффициент отражения материала.
2. Способ лазерной обработки неметаллических материалов по п.1, отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1,46≤χh<2, то она достигается воздействием двух последовательных лазерных импульсов, плотность энергии в первом импульсе определяется по формуле:
,
а плотность энергии во втором импульсе:
.