СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ САМОНАКАЛИВАЕМОГО ПОЛОГО КАТОДА ИЗ НИТРИДА ТИТАНА ДЛЯ СИСТЕМЫ ГЕНЕРАЦИИ АЗОТНОЙ ПЛАЗМЫ

Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы, включавший установку полого катода из титана в разрядную систему, содержащую анодный электрод, постоянную прокачку через полый катод из титана азота, приложение между анодом и полым катодом из титана напряжения и зажигание тлеющего разряда между полым катодом из титана и анодом, ток в котором задают максимальным, при котором в течение нескольких минут полый катод из титана нагревается до температуры, превышающей температуру α-β перехода в титане (882°С), но не достигающей температуры плавления титана (1668±4°С), что обеспечивает интенсивную диффузию азота в титан и формирование на поверхности полого катода из титана слоя нитрида титана, обладающего высокой температурой плавления и низкой работой выхода электронов, и переход полого катода из титана в режим термоэмиссии, затем ток разряда повышают до 4 А, при этом напряжение его горения автоматически снижается до 100 В, и такой режим поддерживают в течение (не менее) 40 мин, в процессе чего на поверхности полого катода формируется слой нитрида титана толщиной до 50 мкм и подслой твердого раствора азота в титане толщиной 150 мкм, по завершении этого процесса устанавливают требуемую рабочую величину тока разряда и переходят в рабочий режим азотирования, в процессе которого слой нитрида титана формируется по всей толщине стенки полого катода в его рабочей зоне, что позволяет изменять параметры разряда в широких пределах, ограниченных температурой плавления нитрида титана.