ПЕРЕКЛЮЧАЕМЫЕ МАГНИТНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДЛЯ ВРАЩАЮЩЕГОСЯ КАТОДА

1. Вращающийся катодный узел, содержащий
катод, имеющий трубчатую форму и ограничивающий осевую полость;
экран, окружающий катод, причем экран ограничивает проходное отверстие, которое открывает участок катода; и
блок поворотных магнитов, расположенный внутри осевой полости катода, причем блок поворотных магнитов включает в себя первый магнитный компонент, имеющий первую магнитную индукцию, и второй магнитный компонент, имеющий вторую магнитную индукцию, при этом первая магнитная индукция больше, чем вторая магнитная индукция, причем первый магнитный компонент и второй магнитный компонент установлены с возможностью поворачиваться между первым положением, в котором первый магнитный компонент обращен к проходному отверстию, и вторым положением, в котором второй магнитный компонент обращен к проходному отверстию.
2. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором экран является электрически не подключенным.
3. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором первая магнитная индукция составляет примерно от 50 до 500 Гс.
4. Вращающийся катодный узел по п. 3, в котором вторая магнитная индукция составляет примерно от 10 до 100 Гс.
5. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором подложка, на которую должно осаждаться покрытие, расположена перед проходным отверстием.
6. Вращающийся катодный узел по п. 5, в котором траектория перемещения подложки является линейной траекторией.
7. Вращающийся катодный узел по п. 5, в котором траектория перемещения подложки является круговой траекторией или планетарной трехосной траекторией.
8. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором первый магнитный компонент и второй магнитный компонент установлены на опорном элементе, который выполнен с возможностью поворачиваться с помощью электрического двигателя.
9. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором катод имеет круглое поперечное сечение.
10. Вращающийся катодный узел по п. 1, в котором питание катода осуществляется системой электропитания, причем система электропитания выполнена с возможностью выдавать первое напряжение в первом диапазоне напряжений для катодной дуги и первый ток в первом диапазоне токов для катодно-дугового осаждения, при этом система электропитания также выполнена с возможностью выдавать второе напряжение во втором диапазоне напряжений и второй ток во втором диапазоне токов для магнетронного распыления.
11. Вращающийся катодный узел по п. 10, в котором первый диапазон напряжений составляет от 20 до 40 В, первый диапазон тока составляет от 100 до 600 А, и второй диапазон напряжений составляет от 300 до 1600 В, а второй диапазон тока составляет от 10 до 100 А.
12. Система осаждения покрытия, содержащая
камеру для осаждения покрытия; и
вращающийся катодный узел, расположенный в камере для осаждения покрытия, причем вращающийся катодный узел включает в себя:
катод, имеющий трубчатую форму и ограничивающий осевую полость;
экран, окружающий катод, причем экран ограничивает проходное отверстие, которое открывает участок катода; и
блок поворотных магнитов, расположенный внутри осевой полости катода, причем блок поворотных магнитов включает в себя первый магнитный компонент, имеющий первую магнитную индукцию, и второй магнитный компонент, имеющий вторую магнитную индукцию, при этом первая напряженность магнитного поля больше, чем вторая напряженность магнитного поля, причем первый магнитный компонент и второй магнитный компонент могут поворачиваться между первым положением, в котором первый магнитный компонент обращен к проходному отверстию, и вторым положением, в котором второй магнитный компонент обращен к проходному отверстию.
13. Система осаждения покрытия по п. 12, в которой экран является электрически не подключенным.
14. Система осаждения покрытия по п. 12, в которой первая магнитная индукция составляет примерно от 50 до 500 Гс.
15. Система осаждения покрытия по п. 14, в которой вторая магнитная индукция составляет примерно от 10 до 100 Гс.
16. Система осаждения покрытия по п. 12, в которой подложка, на которую должно осаждаться покрытие, расположена перед проходным отверстием.
17. Система осаждения покрытия по п. 16, в которой траектория перемещения подложки является линейной траекторией.
18. Система осаждения покрытия по п. 16, в которой траектория перемещения подложки является круговой траекторией.
19. Система осаждения покрытия по п. 12, в которой первый магнитный компонент и второй магнитный компонент установлены на опорном элементе, который выполнен с возможностью поворачиваться с помощью электрического двигателя или пневматического привода на рычаге.
20. Вращающийся катодный узел по п. 12, в котором питание катода осуществляется системой электропитания, причем система электропитания выполнена с возможностью выдавать первое напряжение в первом диапазоне напряжений для катодной дуги и первый ток в первом диапазоне токов для катодно-дугового осаждения, при этом система электропитания также выполнена с возможностью выдавать второе напряжение во втором диапазоне напряжений и второй ток во втором диапазоне токов для магнетронного распыления.
21. Вращающийся катодный узел по п. 20, в котором первый диапазон напряжений составляет от 20 до 40 В, первый диапазон тока составляет от 100 до 600 А, при этом второй диапазон напряжений составляет от 300 до 1600 В, а второй диапазон тока составляет от 10 до 100 А.