СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ОБЛАДАЮЩЕГО ЭФФЕКТОМ ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ ПРОВОДИМОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЛОЯ

Способ формирования обладающего эффектом переключения проводимости диэлектрического слоя путем нанесения композитного материала, отличающийся тем, что нанесение проводят осаждением кремнийсодержащего материала из смеси силана с кислородсодержащими и/или азотсодержащими газами в плазме низкочастотного тлеющего разряда частотой 3-200 кГц.