СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО СИЛАНА

1. Способ получения высокочистого силана по реакции восстановления тетрафторида кремния гидридом кальция в проточном реакторе при 180-200°С с последующей очисткой от фторсодержащих примесей и примесей углеводородов, и причем очистку от фторсодержащих примесей проводят пропусканием полученного силана через реактор с гидридом кальция, отличающийся тем, что реакцию восстановления тетрафторида кремния ведут с механической активацией в горизонтально расположенном реакторе, вращающемся со скоростью 90-150 об/мин, для чего в реактор загружают мелющие тела, предпочтительно цилиндрической формы.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют мелющие тела цилиндрической формы диаметром 5-20% от внутреннего диаметра реактора.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что мелющие тела и гидрид кальция берут в равном объемном соотношении.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что очистку от углеводородов проводят ректификацией.
28
29
30
4
4
4
5. Способ получения высокочистого изотопно-обогащенного силана SiH или SiH или SiH, по реакции восстановления изотопно-обогащенного тетрафторида кремния -28 или кремния -29 или кремния-30 гидридом кальция в проточном реакторе при 180-200°С с последующей очисткой от фторсодержащих примесей и примесей углеводородов, причем очистку от фторсодержащих примесей проводят пропусканием полученного силана через реактор с гидридом кальция, отличающийся тем, что реакцию восстановления тетрафторида кремния ведут с механической активацией в горизонтально расположенном реакторе, вращающемся со скоростью 90-150 об/мин, для чего в реактор загружают мелющие тела, предпочтительно цилиндрической формы.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что используют мелющие тела цилиндрической формы диаметром 5-20% от внутреннего диаметра реактора.
7. Способ по п.5, отличающийся тем, что мелющие тела и гидрид кальция берут в равном объемном соотношении.
8. Способ по п.5, отличающийся тем, что очистку от углеводородов проводят ректификацией.