СПОСОБ И ПРИСПОСОБЛЕНИЕ ДЛЯ КОМБИНИРОВАННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ОСАЖДЕНИЯ НА ВСЮ ПОДЛОЖКУ РАСПЫЛЕНИЕМ

1. Камера для обработки, содержащая
крышку, расположенную над верхней поверхностью области обработки указанной камеры;
множество распылительных пистолетов с мишенью, прикрепленной к одному концу каждого из распылительных пистолетов, при этом указанное множество распылительных пистолетов проходит через крышку камеры для обработки и каждый из указанного множества распылительных пистолетов наклонен таким образом, что поверхность мишени, прикрепленной к каждому пистолету, наклонена в направлении внешней периферии подложки.
2. Камера для обработки по п.1, в которой
нормаль к поверхности мишени находится между приблизительно 1 градусом и приблизительно 75 градусами относительно нормали к поверхности опоры подложки камеры для обработки, и
при этом каждый из указанного множества распылительных пистолетов смещен относительно центра опоры подложки.
3. Камера для обработки по п.1, в которой
крышка содержит защитный элемент пистолета, проходящий через крышку, для каждого из указанного множества распылительных пистолетов, и поддерживающий соответствующие распылительные пистолеты.
4. Камера для обработки по п.3, в которой
каждый защитный элемент пистолета содержит противоположные полки, проходящие внутрь поперек верхнего отверстия каждого защитного элемента пистолета.
5. Камера для обработки по п.1, в которой
крышка соприкасается с выступом, проходящим вдоль внешней периферийной поверхности боковой стенки камеры для обработки.
6. Камера для обработки по п.5, в которой зазор проходит между верхним краем боковой стенки и нижней поверхностью крышки.
7. Камера для обработки по п.3, в которой
каждый защитный элемент пистолета содержит нижнюю поверхность с проходящим через нее отверстием, которое вмещает мишень, прикрепленную к нижней поверхности распылительного пистолета, и
при этом внешний край нижней поверхности защитного элемента пистолета является закругленным и находится за пределами линии видимости при наблюдении от мишени.
8. Камера для обработки, содержащая
крышку, расположенную над верхней поверхностью области обработки указанной камеры; и
множество распылительных пистолетов, которые проходят через крышку камеры для обработки и каждый из которых ориентирован таким образом, что нижняя плоская поверхность каждого пистолета наклонена в направлении внешней периферии подложки,
причем каждый из указанного множества распылительных пистолетов прикреплен к рычагу обеспечения выступания, выполненному для обеспечения возможности перемещения с четырьмя степенями свободы.
9. Камера для обработки по п.8, в которой перемещение с четырьмя степенями свободы включает перемещение вдоль оси X, оси Y, оси Z и поворот.
10. Камера для обработки по п.8, в которой
нормаль к нижней плоской поверхности находится между приблизительно 1 градусом и приблизительно 75 градусами относительно нормали к поверхности опоры подложки камеры для обработки, и
при этом каждый из указанного множества распылительных пистолетов смещен относительно центра опоры подложки.
11. Камера для обработки по п.8, дополнительно содержащая
опору подложки, расположенную ниже указанного множества распылительных пистолетов и выполненную для поворота вокруг оси опоры подложки.
12. Камера для обработки по п.11, в которой
рычаг обеспечения выступания обеспечивает подачу вспомогательных средств к соответствующему распылительному пистолету и вал, расположенный вокруг оси опоры подложки, обеспечивает подачу вспомогательных средств к опоре подложки.
13. Камера для обработки по п.1, в которой
крышка соприкасается с боковой стенкой камеры для обработки на внешней периферийной поверхности боковой стенки.
14. Камера для обработки по п.1, в которой
корпус распылительного пистолета имеет путь заземления через крышку и защитный элемент обрабатывающего комплекта к нижней части корпуса камеры.
15. Способ обработки подложки, включающий
осаждение слоя материала поверх всей поверхности подложки посредством множества распылительных пистолетов, расположенных над поверхностью подложки; и
комбинированное осаждение еще одного слоя материала поверх области указанного слоя материала посредством указанного множества распылительных пистолетов.
16. Способ по п.15, в котором
осаждение и комбинированное осаждение выполняют последовательно в одной и той же камере для обработки.
17. Способ по п.15, в котором
каждый из указанного множества распылительных пистолетов ориентирован таким образом, что нижняя поверхность каждого распылительного пистолета наклонена в направлении внешней периферии камеры для обработки.
18. Способ по п.15, дополнительно включающий
поворот подложки во время осаждения слоя материала.
19. Способ по п.15, в котором комбинированная обработка включает
осаждение материала поверх еще одной области отличным образом от указанного осаждения еще одного слоя,
причем осаждение материала поверх еще одной области отличным образом включает в себя одно из следующего: изменение материалов, изменение условий обработки или изменение последовательностей технологических операций.
20. Способ по п.15, дополнительно включающий
перемещение каждого из указанного множества распылительных пистолетов вокруг множества осей.