Акселерометр на поверхностных акустических волнах с дифференциальным съемом сигнала

Акселерометр на поверхностных акустических волнах с дифференциальным съемом сигнала, состоящий из гибкой консоли переменной толщины или ширины и инерционной массы, выполненных из монокристаллического кремния с нанесенной на его поверхность пьезоэлектрической пленкой с верхней стороны и сформированными на поверхности этой пленки встречно-штыревым преобразователем и отражающими структурами, образующими резонатор на поверхностных акустических волнах в области гибкого подвеса, отличающийся тем, что он снабжен дополнительным резонатором на поверхностных акустических волнах, сформированным в области неподвижной площадки, соединяющейся с гибким подвесом с противоположной стороны от инерционной массы и являющейся частью общей конструкции из монокристаллического кремния с пьезоэлектрической пленкой на поверхности.