УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнолногического оборудования кластерного типа.
Известно устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее механический зонд и подложку установленную на неподвижном подложкодержателе [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2 - М: Наука, 1988 - с.261-278 (аналог).].
Недостатком аналога является низкая производительность.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленными на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложкой [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие / М.: МИЭТ, 2000 - 69 с. (прототип)].
Недостатком прототипа так же является низкая производительность.
В основу полезной модели положена техническая задача повышения производительности нанотехнолногического оборудования.
Поставленная техническая задача решается тем, устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленными на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложками, согласно предложенной полезной модели, снабжено линейным транспортером для подложек, обеспечивающим поступательное движение подложек.
Введение в устройство перемещения подвижного линейного транспортера, на котором устанавливаются подложки, обеспечивающим их поступательное движение, обеспечивает параллельную реализацию различных технологических процессов, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство перемещения зонда для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования состоит из неподвижного основания 1 с закрепленными на нем пьезоприводами 2, на которых установлены зонды 3, электрически взаимодействующие с подложками 4. Устройство снабжено подвижным линейньм транспортером 5, который может быть выполнен в виде любого известного линейного транспортера, предназначенного для упомянутой цели его использования. Подложки 4 установлены на подвижном линейном транспортере 5.
Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования работает следующим образом. При взаимодействии зондов 3 с подложками 4 реализуются необходимые технологические процессы. Далее линейный транспортер 5, совершая дискретное поступательное движение, обеспечивает перемещение подложек 4 по технологическому циклу.
Применение в устройстве перемещения для нанотехнологического оборудования линейного транспортера позволяет одновременно проводить несколько различных технологических процессов на одной установке, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.