СПОСОБ СОЗДАНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ К КРЕМНИЮ

-3
-4
Способ создания омических контактов к кремнию, включающий обработку кремниевой пластины с активными областями в растворе плавиковой кислоты и нанесение молибдена, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контакта путем снижения контактного сопротивления, перед обработкой в плавиковой кислоте дополнительно проводят обработку в перекисно-аммиачном растворе, после чего пластину выдерживают 30-50 мин в вакууме от 4·10 до 1·10 Па при 220-350°С и повторно обрабатывают в перекисно-аммиачном растворе.