ОПТИЧЕСКИЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МГНОВЕННОГО ПОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНОЙ ПЛЕНКИ

1. Способ оптического измерения мгновенного поля толщины прозрачной пленки, включающий направленное воздействие лучей света на пленку, их полное внутреннее отражение на границе раздела сред и последующую обработку отраженного света, отличающийся тем, что источник света помещают над пленкой или под пленкой, от которого образуются лучи света, направленные под углами, меньшими предельного угла отражения на границе пленка-воздух и большими предельного угла отражения на границе пленка-воздух, а затем фиксируют изображение искаженного светового пятна, образованного на твердой поверхности под пленкой в результате полного внутреннего отражения света на границе раздела пленка-воздух, на видеокамеру в течение всего времени измерения, обрабатывают на компьютере, измеряют геометрические размеры светового пятна и определяют толщину пленки по следующей математической формуле:
2
1
2
1
h=(D-d)/[4tg arcsin (n/n)], где h - толщина пленки, D - длина главной диагонали эллипса, аппроксимирующего область светового кольца, d - размер источника света на поверхности, n - коэффициент преломления воздуха, n - коэффициент преломления материала пленки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что на поверхности формируют несколько источников света.
3. Способ по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что на компьютере обрабатывается несколько последовательных изображений светового кольца и по изменению геометрических размеров светового кольца определяют изменение толщины пленки во времени.