УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМЕ

1. Устройство для обработки изделий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, систему термического напыления материала на обе стороны подложки за один технологический цикл, дисковую карусель на которой жестко установлены узлы поворота с держателями подложек, кронштейн с датчиком температуры и свидетелем, и систему вакуумной откачки, отличающееся тем, что, с целью увеличения надежности, упрощения конструкции и эксплуатации, вращение подложкодержателей с подложками на 180° за один оборот карусели осуществляется посредством двух неподвижно установленных копиров, один из которых имеет форму кольца, а второй - разомкнутого кольца, по которым обкатываются подшипники, установленные на крестовине попарно через 90°, и смещены по оси узла поворота на расстояние равное расстоянию между копирами, крестовина жестко закреплена на одном конце вала узла поворота, а на другом конце вала узла поворота крепятся подложкодержатели с подложками.
2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что между двумя замыкающими подложкодержателями с подложками выделено место для кронштейна, на котором установлены датчик температуры и свидетель.
3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что копиры неподвижно закреплены на крышке камеры на расстоянии, достаточном для свободного прохождения пар подшипников, установленных по обеим сторонам крестовины при обкатывании подшипников по наружной поверхности копиров.
4. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что для плавного перехода крестовины с парой подшипников с дорожки одного копира на дорожку другого выполнено удлинение (или продолжение) дорожек копиров в местах перехода.