УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ИСПАРЕНИЯ РЕАГЕНТА

1. Устройство (1) для испарения по меньшей мере одного из следующих реагентов:
а) раствора предшественника восстановителя,
б) предшественника восстановителя,
имеющее по меньшей мере одну нагревательную зону (2) с электронагревом, отличающееся тем, что нагревательная зона (2) имеет по меньшей мере один электрический нагреватель (3) с нагревательным резистором (4), саморегулирующимся около значимой температуры (30).
2. Устройство (1) по п.1, у которого кривая (22) изменения электрического сопротивления в зависимости от температуры имеет по меньшей мере одну точку (26) перегиба, а кривая производной от этой кривой (22) изменения электрического сопротивления имеет в области температуры (27), соответствующей указанной точке (26) перегиба, полную ширину на уровне полумаксимума, численно равную температуре максимум 40 К.
3. Устройство (1) по п.1 или 2, у которого кривая изменения электрического сопротивления характеризуется наличием значимой температуры, которая соответствует рабочей температуре нагревательной зоны (2).
4. Устройство (1) по п.1 или 2, в котором нагревательная зона (2) имеет по меньшей мере одну из следующих структур:
а) испарительный объем (21), пригодный для испарения реагента, и
б) нагревательный объем, пригодный для нагрева превратившегося в пар реагента.
5. Устройство (1) по п.1 или 2, у которого кривая (22) изменения электрического сопротивления в зависимости от температуры имеет в области значимой температуры (30) подъем, численно превышающий 1 Ом/К.
6. Устройство (1) по п.1 или 2, в котором по меньшей мере один нагревательный резистор (4) выполнен из по меньшей мере одного из следующих материалов:
а) материала, обладающего свойствами терморезистора с положительным температурным коэффициентом сопротивления,
б) титанатной керамики,
в) легированной титанатной керамики,
г) керамики на основе титаната бария.
7. Устройство (1) по п.1 или 2, у которого значимая температура (30) на кривой изменения электрического сопротивления в зависимости от температуры составляет от 140 до 180°С.
8. Устройство (1) по п.1 или 2, у которого значимая температура (30) на кривой изменения электрического сопротивления в зависимости от температуры составляет по меньшей мере 300°С.
9. Устройство (1) по п.1 или 2, имеющее по меньшей мере один саморегулирующийся нагревательный резистор.
10. Способ испарения по меньшей мере одного из следующих реагентов:
а) раствора предшественника восстановителя,
б) предшественника восстановителя, заключающийся в том, что реагент электрическим нагревателем (3) с по меньшей мере одним нагревательным резистором (4), саморегулирующимся около значимой температуры, нагревают до заданной температуры, которая соответствует значимой температуре (30).
11. Способ по п.10, при осуществлении которого заданная температура составляет от 140 до 180°С.
12. Способ по п.10, при осуществлении которого заданная температура составляет по меньшей мере 300°С.