СПОСОБ ЗАДАНИЯ ДАВЛЕНИЯ В КОНТРОЛИРУЕМОМ ОБЪЕМЕ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ задания давления в контролируемом объеме, заключающийся в том, что с помощью схемы регулирования давления и трубопроводной магистрали задают «грубо» установленное значение давления в контролируемом объеме, затем периодически измеряют в нем давление и, при отклонении его величины от заданной, вычисляют количество сжатого газа, которое необходимо ввести в контролируемом объеме или удалить из него, и подавая или удаляя необходимое количество газа с помощью схемы регулирования до достижения в контролируемом объеме давления, которое затем «прецизионно» поддерживают для того, чтобы обеспечить его в контролируемом объеме, отличающийся тем, что «прецизионное» регулирование величины давления в контролируемом объеме производят, меняя сопротивление трубопроводной магистрали в схеме регулирования при задании избыточного давления от минимального значения, обеспечиваемого включением впускного клапана и всех клапанов элементов регулирования расхода схемы регулирования, и до максимального значения, соответствующего сумме сопротивлений всех дросселей, достигаемого выключением поэтапно всех клапанов элементов регулирования расхода и затем впускного клапана при приближении задаваемого избыточного давления к заданному значению, прекращая поступление газа, с последующим поддержанием заданного давления в контролируемом объеме с требуемой дискретностью изменения давления путем кратковременного открытия впускного клапана для подачи газа или выпускного клапана для отвода газа из рабочей емкости, а при задании разрежения - от минимального сопротивления включением выпускного клапана и всех клапанов элементов регулирования расхода схемы регулирования и до максимального значения сопротивления выключением всех клапанов элементов регулирования расхода и затем выпускного клапана при приближении разрежения к заданному значению, прекращая отвод газа из рабочей емкости, при этом дальнейшее поддержание заданного разрежения в контролируемом объеме с требуемой дискретностью производят путем кратковременного открытия впускного клапана для подачи газа или выпускного клапана для отвода газа из рабочей емкости.
2. Установка для задания давления в контролируемом объеме, содержащая источники высокого и низкого давления, связанные параллельно через входные вентили и входную группу соответственно из впускного и выпускного клапанов со схемой регулирования, включающей в себя входную группу клапанов, трубопроводную магистраль для прохождения газа и последовательно соединенные между собой элементы регулирования расхода, а также рабочую емкость, снабженную датчиком давления и связанную через выходной вентиль с контролируемым объемом и системой управления, связанной также со схемой регулирования, отличающаяся тем, что входная группа клапанов состоит из параллельно соединенных впускного и выпускного клапанов, подключенных в одной точке непосредственно к первому из n элементов регулирования расхода, где n≥3, каждый из которых состоит из параллельно соединенных между собой клапана и дросселя, при этом источники давления связаны с входными вентилями через фильтры защиты системы регулирования от возможных загрязнений.