СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ПЛОТНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ ТОКА МАТРИЦЫ МНОГООСТРИЙНОГО АВТОЭМИССИОННОГО КАТОДА

Способ повышения плотности и стабильности тока матрицы многоострийного автоэмиссионного катода в виде столбчатых наноструктур на поверхности пластин монокристаллического кремния, полученных осаждением наноалмазографитовой пленки толщиной от 1 до 1,5 нм на поверхность пластин монокристаллического кремния, которые подвергают высокотемпературному отжигу с последующим высокоанизатропным травлением на определенную глубину, которая зависит от температуры пластины в процессе осаждения углеродной пленки, отличающийся тем, что матрица многоострийного автоэмиссионного катода на поверхности монокристаллического кремния подвергается плазмохимической обработке для удаления естественного оксидного покрытия в среде хладона-14 при отрицательном смещении на подложкодержателе.