ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра, содержащий маятник из монокристаллического кремния, стеклянную подложку и внешнюю рамку с площадками крепления к стеклянной подложке, крестообразные торсионы, отличающийся тем, что дополнительно введена центральная площадка крепления к стеклянной подложке, расположенная в центре симметрии маятника, соединенная через изгибные упругие элементы с маятником таким образом, что ось изгиба упругих элементов совпадает с осью крутильных крестообразных торсионов, и между местом крепления конца торсиона в маятнике и изгибными упругими элементами, вдоль маятника, расположена сквозная щель, с обеих сторон относительно центральной площадки крепления.