СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ

Способ получения наноразмерных структур кремния путем термического разложения силанов, отличающийся тем, что условия протекания реакций разложения силанов создают методом адиабатического сжатия смеси газообразных силанов с инертным газом.