АДАПТИРУЕМАЯ ФИКСАЦИЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКИХ МАГНЕТРОНОВ

1. Напылительная система, содержащая цилиндрическую цель, которая содержит кольцевую окружную периферию, наружный диаметр, конец, осевую длину и, вдоль осевой длины, концевой участок, прилегающий к концу цели, и шпиндель концевого блока, прилегающий к концу цели, причем система содержит:
паз, выполненный по окружной периферии цели в первом месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
стопорное кольцо в пазу; и
фланцевое кольцо, установленное на окружной периферии цели во втором месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели, причем первое место находится ближе к концу цели, чем второе место;
стопорное кольцо, способное предотвратить перемещение фланцевого кольца вдоль осевой длины цели через первое место в направлении конца цели, при этом, иначе, фланцевое кольцо может свободно перемещаться вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
зажим, достаточный для фиксации фланцевого кольца и шпинделя относительно друг друга.
2. Система по п.1, в которой фланцевое кольцо имеет внутренний диаметр, который больше или равен наружному диаметру концевого участка цели.
3. Система по п.1, в которой стопорное кольцо имеет внутренний диаметр, который меньше наружного диаметра цели на конечном участке цели, и наружный диаметр, который больше наружного диаметра цели на конечном участке цели.
4. Система по п.1, в которой зажим содержит зажимное кольцо, достаточное для приложения усилия, направленного внутрь как в радиальном направлении, так и вдоль оси цели.
5. Система по п.1, в которой концевой участок цели содержит спиральный паз, и первое место находится между спиральным пазом и концом цели.
6. Система по п.1, которая содержит также кольцевую прокладку для обеспечения уплотнения между шпинделем и целью.
7. Узел цели, содержащий цилиндрическую цель, которая имеет кольцевую окружную периферию, наружный диаметр, конец, осевую длину и, вдоль осевой длины, концевой участок, прилегающий к концу цели, и шпиндель концевого блока, прилегающий к концу цели, причем узел содержит:
паз, выполненный по окружной периферии цели в первом месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
стопорное кольцо в пазу; и
фланцевое кольцо, установленное на окружной периферии цели во втором месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели, причем первое место находится ближе к концу цели, чем второе место;
стопорное кольцо, способное предотвратить перемещение фланцевого кольца вдоль осевой длины цели через первое место в направлении конца цели, при этом, иначе, фланцевое кольцо может свободно перемещаться вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
зажим для фиксации фланцевого кольца и шпинделя относительно друг друга.
8. Узел по п.7, в котором фланцевое кольцо имеет внутренний диаметр, который больше или равен наружному диаметру концевого участка цели.
9. Узел по п.7, в котором стопорное кольцо имеет внутренний диаметр, который меньше наружного диаметра цели на конечном участке цели, и наружный диаметр, который больше наружного диаметра цели на конечном участке цели.
10. Узел по п.7, в котором концевой участок цели содержит спиральный паз, и первое место находится между спиральным пазом и концом цели.
11. Способ соединения конца цилиндрической цели с прилегающим шпинделем концевого блока, при котором цель имеет кольцевую окружную периферию, наружный диаметр, конец, осевую длину и, вдоль осевой длины, концевой участок, прилегающий к концу цели, причем способ содержит:
формирование паза по окружной периферии цели в первом месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
размещение фланцевого кольца во втором месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели, причем первое место находится ближе к концу цели, чем второе место, и фланцевое кольцо может свободно перемещаться вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
после указанного формирования и указанного размещения, установку стопорного кольца в пазу, причем стопорное кольцо способно предотвратить перемещение фланцевого кольца вдоль осевой длины цели через первое место в направлении конца цели; и
после указанной установки, прикрепление фланцевого кольца к шпинделю.
12. Способ по п.11, при котором указанное прикрепление содержит зажим фланцевого кольца со шпинделем таким образом, что усилие прилагается по направлению внутрь как в радиальном направлении, так и в осевом направлении.
13. Способ по п.11, при котором концевой участок цели содержит спиральный паз, и первое место находится между спиральным пазом и концом цели.
14. Способ по п.11, при котором цель содержит противоположный конец и участок противоположного конца, прилегающий к противоположному концу, и который также содержит:
формирование паза по окружной периферии цели в третьем месте вдоль осевой длины цели на противоположном концевом участке цели;
размещение фланцевого кольца по окружной периферии цели в четвертом месте вдоль осевой длины цели на концевом участке цели, причем третье место находится ближе к концу цели, чем четвертое место, и отдельное фланцевое кольцо может свободно перемещаться вдоль осевой длины цели на концевом участке цели;
после указанного формирования отдельного паза и указанного размещения отдельного фланцевого кольца, установку отдельного стопорного кольца в отдельном пазу, причем отдельное стопорное кольцо способно предотвратить перемещение фланцевого кольца вдоль осевой длины цели через третье место в направлении противоположного конца цели; и
после указанной установки отдельного стопорного кольца отдельное прикрепление отдельного фланцевого кольца к шпинделю, прилегающему к противоположному концу цели.