ПЕРЕМЕЩАЕМОЕ УСТРОЙСТВО ПОДАЧИ ЗВУКА ДЛЯ РАСТРОВОЙ СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ С АКУСТИЧЕСКИМ ВОЗБУЖДЕНИЕМ ОБРАЗЦА

1. Устройство подачи звука для атомно-силового микроскопа с акустическим возбуждением образца, содержащее излучатель (1) звука, в частности ультразвуковую испытательную головку, и выполненное с возможностью подачи звуковых волн, сформированных с использованием излучателя звука, в тело образца (Р) для акустического возбуждения тела образца,
при этом устройство подачи звука имеет резервуар (3) для жидкости, внутреннее пространство (I) которого предназначено для заполнения и/или заполнено жидкостью (2),
нижняя сторона (U) тела образца может располагаться и/или расположена с возможностью поперечного перемещения на резервуаре для жидкости и/или над ним,
конец (4) излучателя звука, выполненного с возможностью подачи звуковых волн в тело образца, размещен во внутреннем пространстве резервуара для жидкости, и/или звуковые волны могут передаваться во внутреннее пространство с помощью этого конца, и
часть внутреннего пространства резервуара для жидкости, расположенная между этим концом и нижней стороной тела образца, выполнена с возможностью полного заполнения и/или заполнена жидкостью.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что
резервуар (3) для жидкости, в частности верхний обод (5) резервуара для жидкости, выполнен так, что между ним и нижней стороной тела образца может образовываться и/или образована жидкостная пленка.
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что оно включает
открытый с верхней стороны и горизонтально ограниченный резервуар для жидкости, на котором, в частности на его верхнем ободе (5), и/или выше которого, в частности выше его верхнего обода (5), может горизонтально располагаться и/или расположена нижняя сторона (U) тела образца.
4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что
резервуар (3) для жидкости ограничен сверху, в частности посредством его верхнего обода (5), горизонтально расположенной плоской частью поверхности,
и/или
резервуар (3) для жидкости, в частности его верхний конец и/или его верхний обод (5), имеет расширенную часть (6) и/или плоскую платформу, в частности, кольцеобразную платформу.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что
оно имеет опорный блок, в частности опорный блок (7), содержащий по меньшей мере три вертикально ориентированных колоннообразных элемента и/или стол перемещения х/у, при этом на опорный блок может горизонтально помещаться, и/или помещено тело образца, и/или с помощью этого опорного блока тело образца может перемещаться по горизонтали, а верхний конец опорного блока выступает в вертикальном направлении за резервуар для жидкости, в частности за его верхний обод (5), так что между резервуаром для жидкости, в частности его ободом, и нижней стороной тела образца может образовываться и/или образована жидкостная пленка.
6. Устройство по п.2 или 5, отличающееся тем, что
в нем может образовываться и/или образована жидкостная пленка толщиной от 20 до 1000 мкм, в частности от 100 до 500 мкм, включая предельные значения.
7. Устройство по любому из пп.1, 2 или 5, отличающееся тем, что
с концом (4) излучателя звука, выполненного с возможностью подачи звуковых волн в тело образца, герметично соединена часть (8) корпуса, проходящая в горизонтальном направлении вокруг этого конца и образующая резервуар для жидкости, при этом упомянутая часть корпуса предпочтительно имеет кольцеобразную, эллиптическую или прямоугольную форму, и/или упомянутая часть корпуса не препятствует передаче в тело образца колебаний, сформированных излучателем звука.
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что
упомянутая часть (8) корпуса сформирована в виде кольцевой части, выполненной с возможностью заполнения и/или заполненной жидкостью (2), и расположена концентрически вокруг конца (4) излучателя звука, который предпочтительно имеет форму цилиндра, верхняя поверхность крышки которого расположена горизонтально.
9. Устройство по любому из пп.1, 2 или 5, отличающееся тем, что
излучатель звука полностью помещен в корпус (9), выполненный в виде резервуара для жидкости, и герметично закрыт им.
10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что
корпус (9) имеет стенку, которая предпочтительно расположена перпендикулярно к горизонтали и проходит концентрически вокруг излучателя (1) звука, выполненного радиально симметричным относительно вертикальной оси.
11. Устройство по любому из пп.1, 2 или 5, отличающееся тем, что
с внутренним пространством (I) резервуара (3) для жидкости соединен, предпочтительно через шланг (10), компенсационный контейнер (11) для обмена жидкостью, выполненный с возможностью заполнения и/или заполненный жидкостью.
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что
компенсационный контейнер (11) выполнен и/или расположен так, что уровень жидкости и/или давление в области внутреннего пространства резервуара для жидкости может поддерживаться постоянными посредством этого компенсационного контейнера, и/или имеется регулирующее устройство, в частности регулирующее устройство уровня заполнения жидкостью компенсационного контейнера, так что уровень жидкости и/или давление в области внутреннего пространства резервуара для жидкости может поддерживаться постоянными посредством компенсационного контейнера.
13. Устройство по любому из пп.1, 2 или 5, отличающееся тем, что
жидкость (2) содержит или представляет собой воду, в частности сверхчистую воду.
14. Атомно-силовой микроскоп, содержащий устройство подачи звука по любому из предыдущих пунктов.
15. Способ подачи звука для атомно-силового микроскопа с акустическим возбуждением образца, в котором
звуковые волны подают в тело образца для его акустического возбуждения с использованием излучателя (1) звука, в частности ультразвуковой испытательной головки, которая выполнена с возможностью подачи сформированных звуковых волн в тело образца (Р),
внутреннее пространство (I) резервуара (3) для жидкости заполняют жидкостью (2),
нижнюю сторону (U) тела образца располагают с возможностью поперечного перемещения на резервуаре для жидкости или над ним,
конец (4) излучателя звука, выполненного с возможностью подачи звуковых волн в тело образца, располагают во внутреннем пространстве резервуара для жидкости, и/или звуковые волны передают во внутреннее пространство с помощью этого конца, и
часть внутреннего пространства резервуара для жидкости, расположенную между этим концом и нижней стороной тела образца, полностью заполняют жидкостью.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что
звук формируют и передают с использованием устройства подачи звука по любому из пп.1-13.
17. Применение устройства подачи звука по любому из пп.1-13 и/или способа по любому из пп.15-16 для атомно-силовой микроскопии с акустическим возбуждением тел образцов большой площади, и/или плоских тел образцов, в частности полупроводниковых пластин или фотошаблонов, и/или множества малых тел образцов, которые предпочтительно зафиксированы на промежуточном теле большой площади.