ПЕРЕСТРАИВАЕМЫЙ КРИОГЕННЫЙ ГЕНЕРАТОР ГЕТЕРОДИНА СУБТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА НА ОСНОВЕ РАСПРЕДЕЛЕННОГО ТУННЕЛЬНОГО ПЕРЕХОДА ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ПРИЕМНЫХ СИСТЕМ

1. Перестраиваемый криогенный генератор гетеродина для интегральных приемных устройств субтерагерцового диапазона на основе распределенного туннельного перехода сверхпроводник-изолятор-сверхпроводник, изготовленного на подложке из кристаллического изолирующего материала, отличающийся тем, что обратная сторона подложки выполнена шероховатой, с размером неоднородностей, соизмеримым с длиной звуковой волны субтерагерцового диапазона в кристаллической подложке.
2. Структура по п.1, отличающаяся тем, что подложка выполнена из высокочистого кристаллического кремния.
3. Структура по п.2, отличающаяся тем, что размер неоднородностей обратной стороны кремниевой подложки лежит в диапазоне 20-1000 нм.
4. Структура по п.1, отличающаяся тем, что подложка выполнена из кристаллического кварца, MgO или другого кристаллического материала, пригодного для изготовления туннельных переходов методами микроэлектроники.
5. Структура по п.1, отличающаяся тем, что нижний сверхпроводниковый электрод туннельного перехода выполнен из Nb, a верхний - из NbN или NbTiN.
6. Структура по п.1, отличающаяся тем, что изолятор в туннельной структуре выполнен из AlN или MgO.
7. Структура по п.1, отличающаяся тем, что оба сверхпроводника выполнены из NbN или NbTiN.