УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а именно к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее неподвижное основание и жестко связанный с ним привод, выполненный в виде трех модулей, последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей расположены по координатным осям X, Y, Z и зонд, связанный с третьим модулем [Авторское свидетельство СССР №1713065, Кл. Н02L 41/09, 1991 г. (аналог)].
Недостатком аналога является малое быстродействие зонда связанного с третьим модулем привода.
Наиболее близким по технической сущности и достигнутом результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее неподвижное основание и жестко связанный с ним привод, выполненный в виде трех модулей, последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей расположены по координатным осям X, Y, Z и зонд, связанный с третьим модулем [Неволин В.К. Физические основы тунельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М. МИЭТ 2000 - 69 с., пл. - стр.4-5. (прототип)].
Недостатком прототипа также является малое быстродействие зонда связанного с третьим модулем привода.
В основу полезной модели положена техническая задача - повысить быстродействие зонда, связанного с третьим модулем привода.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения для нанотехнологии, содержащем неподвижное основание и жестко связанный с ним привод, выполненный в виде трех модулей,
последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей расположены по координатным осям X, Y, Z и зонд, связанный с третьим модулем, согласно предложенной полезной модели, модули перемещения по координатным осям X, Y выполнены пьезоэлектрическими, а третий модуль перемещения по координатной оси Z выполнен в виде катушки индуктивности с сердечником, на свободном конце которого выполнена сквозная прорезь, разделяющая сердечник на две части - жесткую и упругую, на которой консольно закреплен зонд.
Введение в устройство перемещения для нанотехнологии модулей перемещения по координатным осям X, Y выполненных пьезоэлектрическими и третьего модуля перемещения по координатной оси Z, выполненного в виде катушки индуктивности с сердечником, на свободном конце которого выполнена сквозная прорезь, разделяющая сердечник на две части - жесткую и упругую, на которой консольно закреплен зонд, обеспечивает увеличение быстродействия зонда, связанного с третьим модулем привода.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и фиг.2, где изображено устройство перемещения для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологии (фиг.1 и фиг.2) содержит модули 1, 2 перемещения по координатным осям X, Y выполненные пьезоэлектрическими и третий модуль 3 перемещения по координатной оси Z выполненный в виде катушки индуктивности 4 с сердечником 5, на свободном конце которого выполнена прорезь, разделяющая сердечник на две равные части - жесткую 6 и упругую 7, на которой консольно закреплен зонд 8.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом.
При подаче напряжения на модули перемещения 1, 2 по координатным осям X, Y происходит их механическая деформация,
вызванная явлением обратного пьезоэффекта. При этом, зонд 8 перемещается вдоль осей Х и Y.
При подаче напряжения на третий модуль перемещения 3, происходит увеличение или уменьшение сил отталкивания между упругой 6 и жесткой 7 частями сердечника 5. При этом зонд 8 перемещается вдоль оси оси Z.
Применение предлагаемого устройства перемещения для нанотехнологии позволяет увеличить быстродействия зонда, связанного с третьим модулем привода.