СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОМОЩЬЮ ПРОЦЕССОВ, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ

1. Способ изготовления многоуровневой металлической микроструктуры с помощью ультрафиолетовой фотолитографии и гальванического осаждения, отличающийся тем, что он включает в себя следующие этапы:
a) обеспечение подложки (1), которая имеет проводящую поверхность (2);
b) покрытие проводящей поверхности (2) первым слоем фоточувствительной смолы (3);
c) обработка первого слоя фоточувствительной смолы (3) с помощью излучения через маску (4), которая согласуется с требуемой фасонной выемкой;
d) проявление первого слоя фоточувствительной смолы (3) для выполнения отверстий и, тем самым, получения первого уровня формы из смолы, при этом отверстие в первом слое смолы открывает проводящую поверхность (2) подложки;
e) осаждение нового слоя фоточувствительной смолы (6) сверху проявленного слоя (3) смолы для закрывания последнего и для заполнения отверстий;
f) обработка нового слоя (6) фоточувствительной смолы с помощью излучения через маску (7), которая согласуется с требуемой фасонной выемкой;
g) проявление нового слоя (6) фоточувствительной смолы для выполнения отверстий и получения многоуровневой формы из смолы, при этом отверстия в многоуровневой форме открывают проводящую поверхность (2) подложки;
h) гальваническое осаждение металла или сплава в отверстия многоуровневой формы из смолы;
i) отделение подложки (1) и удаление слоев (3, 6) смолы для открывания многослойной металлической структуры (8), образованной вышеуказанным металлом или сплавом, полученным посредством осаждения в отверстия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа b) он включает в себя этап образования проводящей поверхности (5) с отверстием на первом слое (3) фоточувствительной смолы.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа c) он включает в себя этап образования проводящей поверхности (5) с отверстием на первом слое (3) фоточувствительной смолы.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа d) он включает в себя этап образования проводящей поверхности (5) на остающихся частях поверхности слоя (3) смолы, проявленного на предыдущем этапе.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа g) он включает в себя этап образования проводящей поверхности (5) в нижней части вышеуказанных отверстий.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что после завершения этапа g) повторяются этапы e)-g) перед переходом к этапу h) с целью добавления слоя в многоуровневую форму.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что проводящие поверхности (2, 5) образованы из набора слоев хрома и золота.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа h) он включает в себя этап, состоящий из выравнивания смолы и осажденного металла для получения одинакового уровня смолы и многоуровневой структуры.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что фоточувствительная смола, осаждаемая на этапе e), является «твердой» смолой и наносится с помощью раскатывания.