ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ПЕЧЬ ИЛИ ПОДОБНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

1. Печь для химической инфильтрации из газовой фазы/химического осаждения из газовой фазы, содержащая наружный кожух (12, 12') печи; реакционную камеру (14, 14'), расположенную в кожухе печи и предназначенную для приема подлежащего обработке элемента; нагревательную систему (22) для нагревания по меньшей мере реакционной камеры; и систему циркуляции газа-реагента, предназначенную для введения газа-реагента в реакционную камеру извне кожуха печи и для передачи газа-реагента из реакционной камеры вовне кожуха печи,
отличающаяся тем, что наружный кожух печи и реакционная камера ограничивают первый объем между внутренней стороной кожуха печи и наружной стороной реакционной камеры и второй объем внутри реакционной камеры, причем первый объем разделен на первую часть, образующую зону нагревания, в которой размещена нагревательная система, и вторую часть, в которой присутствует газ-реагент, при этом зона нагревания герметично изолирована относительно второй части с газом-реагентом, а также тем, что дополнительно содержит систему (34) циркуляции инертного газа, выполненную и размещенную с возможностью подачи инертного газа в зону нагревания со скоростью, обеспечивающей положительный перепад давления по отношению к давлению газа-реагента внутри остальной части первого объема, в которой присутствует газ-реагент, для препятствования прохождению потока газа-реагента в зону нагревания, тем самым предотвращения контакта газа-реагента с нагревательной системой.
2. Печь по п.1, отличающаяся тем, что содержит первый датчик (38) давления, выполненный и размещенный с возможностью определения давления (Р1) в зоне нагревания, при этом система циркуляции инертного газа содержит регулятор (36) потока, функционирующий в соответствии с давлением, определенным в зоне нагревания, таким образом, чтобы задавать расход инертного газа, обеспечивающий заранее заданное давление в зоне нагревания.
3. Печь по п.2, отличающаяся тем, что содержит второй датчик (40) давления, выполненный и размещенный с возможностью определения давления (Р2) во второй части первого объема, в которой присутствует газ-реагент, при этом регулятор потока системы циркуляции инертного газа выполнен и размещен с возможностью управления потоком инертного газа в зону нагревания по меньшей мере частично на основе давления (Р2), определенного во второй части первого объема, таким образом, чтобы получать заранее заданный положительный перепад давления между зоной нагревания и второй частью первого объема.
4. Печь по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что содержит устройство тревоги для сигнализации об изменении потока инертного газа, необходимого для поддержания заданного давления в зоне нагревания.
5. Печь по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что нагревательная система представляет собой индуктивную нагревательную систему.
6. Печь по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что нагревательная система представляет собой резистивную нагревательную систему.
7. Печь по любому из пп.1-3, отличающаяся тем, что реакционная камера содержит один или большее количество элементов (16) стенки, элемент (18) пола и верхний элемент (20).
8. Печь по п.7, отличающаяся тем, что содержит трубопровод (26) для впуска газа-реагента, расположенный с возможностью передачи газа-реагента извне кожуха печи к отверстию (24) для впуска газа-реагента, выполненному в реакционной камере.
9. Печь по п.7, отличающаяся тем, что снабжена отверстием (28) для выпуска газа-реагента, выполненным в реакционной камере.
10. Печь по п.8, отличающаяся тем, что снабжена отверстием (28) для выпуска газа-реагента, выполненным в реакционной камере.
11. Печь по п.9, отличающаяся тем, что содержит выпуск (30) газа-реагента, выполненный в кожухе печи.
12. Печь по п.2 или 3, отличающаяся тем, что содержит контроллер для автоматического управления регулятором потока на основе давления, определенного в зоне нагревания, или давления, определенного во второй области первого объема, либо на основе обоих указанных давлений.
13. Печь по п.1, отличающаяся тем, что содержит разделяющую стенку (32) для отделения зоны нагревания от второй части первого объема, причем разделяющая стенка включает в себя по меньшей мере один керамический слой.