СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОРГАНО-НЕОРГАНИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ получения слоистого материала, который включает движение подложки по отношению к, по меньшей мере, двум отдельным отверстиям, расположенным вдоль относительно подвижной траектории, в котором, по меньшей мере, через одно отверстие органическое соединение в газообразном состоянии пропускают в направлении поверхности подложки и, по меньшей мере, через еще одно отверстие пропускают (полу)металлсодержащее соединение, в газообразном состоянии в направлении поверхности подложки, и в котором отверстия установлены на вращающемся барабане.
2. Способ по п. 1, в котором отверстие, через которое инертный газ пропускают в направлении подложки, размещено между каждыми двумя отверстиями, через которые пропускают органическое соединение или (полу)металлсодержащее соединение.
3. Способ по любому из п. 1 или п. 2, в котором отверстие, через которое соединение, способное расщеплять (полу)металлсодержащее соединение, пропускают в газообразном состоянии в направлении подложки, размещено между каждыми двумя отверстиями, через которые (полу)металл-содержащее соединение, пропускают в направлении подложки.
4. Способ по п. 1 или 2, в котором присутствует больше отверстий, через которые пропускают (полу)металлсодержащее соединение, в направлении подложки, чем отверстий, через которые пропускают органическое соединение.
5. Способ по п. 1 или 2, в котором скорость движения отверстий относительно подложки составляет от 0.01 до 10 м/с.
6. Способ по п. 1 или 2, в котором скорость потока органического соединения или (полу)металлсодержащего соединения через отверстия составляет от 1 до 100 кубических сантиметров в минуту.
7. Способ по п. 1 или 2, в котором подложка представляет собой полимерную пленку.
8. Способ по п. 1 или 2, в котором каждое отверстие проходит ту же самую площадь поверхности подложки, по меньшей мере, дважды.
9. Способ по п. 1 или 2, в котором давление на подложку составляет от 500 до 1500 мбар.
10. Способ по п. 1 или 2, в котором температура на подложке составляет от 50 до 150°C.
11. Способ по п. 1 или 2, в котором органическое соединение содержит тиольную группу.
12. Способ по п. 1 или 2, в котором (полу)металлсодержащее соединение представляет собой алкил (полуметалл).
13. Способ по п. 3, в котором соединением, способным расщеплять (полу)металлсодержащее соединение, является вода, кислородная плазма или озон.