СОСТАВНОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ КОМПОНЕНТ ИЗ КРЕМНИЯ С МЕТАЛЛОМ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОМПОНЕНТА

1. Способ (1) изготовления составного микромеханического компонента (51, 51', 51'') из кремния и металла, включающий следующие этапы:
a) подготовку (11) подложки (3), включающей верхний (5) и нижний (7) слои кремния, между которыми проходит промежуточный слой (9) оксида кремния,
b) избирательное травление (13) по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') в верхнем слое (5) для ограничения рисунка кремниевой части (53, 53'') этого компонента;
c) продолжение (15) травления этой по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') в промежуточном слое (9);
отличающийся тем, что этот способ дополнительно включает следующие этапы:
d) выращивание (17, 21, 23) металлического слоя (63) по меньшей мере от одного участка указанной по меньшей мере одной полости (37, 45, 45'') с целью создания металлической части (41, 41', 41'') в толще компонента для изоляции кремниевой части (53, 53'') микромеханического компонента от разрушающих механических напряжений;
e) отделение (33) составного микромеханического компонента (51, 51', 51'') от подложки (3).
2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что этап d) включает следующие этапы:
- нанесение (17) слоя фоточувствительной полимерной смолы (57) на верхнюю поверхность подложки (3);
- избирательное выполнение (21) фотолитографии в слое фоточувствительной полимерной смолы (57) для создания фотолитографского рисунка (71, 73, 75) в этой полимерной смоле в соответствии с заданной конфигурацией металлической части (39, 41);
- гальваническое осаждение (23) металлического слоя, начиная от верхней электропроводной поверхности нижнего слоя (7), вертикальной по отношению к указанной по меньшей мере к одной полости (37, 45, 45''), путем выращивания, от нижней поверхности полости, слоя (63) между соответственно элементом (75) фотолитографского рисунка полимерной смолы и промежуточным (9) или верхним (5) слоем для создания металлической части (41, 41', 41'') в соответствии с этим рисунком; и в том, что этап е) выполняют путем удаления (33) фотолитографского рисунка (71, 73, 75) полимерной смолы.
3. Способ (1) по п.2, отличающийся тем, что указанную верхнюю электропроводную поверхность нижнего слоя (7), вертикальную по отношению к указанной по меньшей мере к одной полости (37, 45, 45''), делают электропроводной путем легирования нижнего слоя (7) и/или путем осаждения (29) электропроводного слоя (61).
4. Способ (1) по п.2, отличающийся тем, что после этапа (21) фотолитографии фотолитографский рисунок (71, 73, 75) выступает (73, 75) от верхнего слоя (5) подложки (3), так что слой (63) может продолжать расти в результате гальванического осаждения (23) по меньшей мере между выступающими участками (73, 75) фотолитографского рисунка полимерной смолы для создания второй металлической части (39) микромеханического компонента (51, 51') над кремниевой частью (53).
5. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, после этапа d) он включает этап (25) механообработки верхней поверхности подложки (3), чтобы уровень металлического слоя (63) оказался на одной высоте с верхним краем полимерной смолы с фотолитографским рисунком (73, 75).
6. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что металлический слой (63, 39, 39', 41, 41', 41'') включает никель.
7. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед этапом отделения (33) он включает этапы механообработки (27) и травления (31) по меньшей мере одной полости (47, 49) в нижнем слое (7) на подложке (3) для создания второй кремниевой части (65) в микромеханическом компоненте (51, 51') в соответствии с заданными формой и толщиной.
8. Способ (1) по п.7, отличающийся тем, что между этапами (27, 31) механообработки и травления нижнего слоя (7) подложки (3) он включает этап (33) отделения, этап (17', 21', 23') выращивания второго слоя металла (41') путем гальванического осаждения по меньшей мере в одном участке указанной по меньшей мере одной полости (47) в нижнем слое (7) для создания по меньшей мере одной дополнительной металлической части (41') в толще нижнего слоя (7).
9. Способ (1) по п.8, отличающийся тем, что этап выращивания включает следующие этапы:
- нанесение (17') фоточувствительной полимерной смолы на нижнюю поверхность подложки (3);
- избирательное выполнение (21') фотолитографии в слое фоточувствительной полимерной смолы для создания фотолитографского рисунка в этой полимерной смоле в соответствии с заданной конфигурацией металлической части (41');
- гальваническое осаждение (23') металлического слоя, начиная от нижней поверхности по меньшей мере одной полости (47), путем выращивания от нижней поверхности полости слоя для создания металлической части (41') в соответствии с этим рисунком.
10. Способ (1) по п.9, отличающийся тем, что после этапа (21') фотолитографии полимерная смола с фотолитографским рисунком выступает от нижнего слоя (7) подложки (3), так что слой может продолжать расти в результате гальванического осаждения (23') для создания второй дополнительной металлической части (39') микромеханического компонента (51') под второй кремниевой частью (65).
11. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед этапом отделения (33) он включает этап (25') механообработки нижней поверхности подложки (3), чтобы уровень металлической части (39') оказался на одной высоте с нижним краем полимерной смолы с фотолитографским рисунком.
12. Способ (1) по п.8, отличающийся тем, что второй гальванически осажденный слой металла (39', 41') включает никель.
13. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что на одной подложке (3) выполняют несколько микромеханических компонентов (51, 51', 51'').
14. Составной микромеханический компонент (51, 51', 51'') из кремния и металла, включающий часть (53, 53''), выполненную в слое кремния (5), и отличающийся тем, что эта кремниевая часть содержит зубцы (55) для создания зубчатого колеса или триба, и тем, что на поверхности по меньшей мере доли толщины кремниевой части выполнена металлическая часть (39, 41, 41'') толщиной более 6 мкм для изоляции кремниевой части (53, 53'') от разрушающих механических напряжений.
15. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что металлическая часть образует гильзу, покрывающую периферийную стенку кремниевой части.
16. Микромеханический компонент по п.15, отличающийся тем, что эта гильза соединена с периферийной стенкой посредством мостиков из материала.
17. Микромеханический компонент по п.15, отличающийся тем, что указанная металлическая часть включает в качестве продолжения ее вторую металлическую часть, выступающую от кремниевой части.
18. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что указанная металлическая часть образует гильзу (41, 41'') в полости (45, 45''), выполненной в кремниевой части (53, 53''), для приема вращающейся оправки.
19. Микромеханический компонент по п.18, отличающийся тем, что эта гильза соединена со стенкой полости мостиками из материала.
20. Микромеханический компонент по п.18, отличающийся тем, что металлическая часть (41) включает в качестве продолжения ее вторую металлическую часть (39), выступающую от кремниевой части (53).
21. Микромеханический компонент по п.20, отличающийся тем, что вторая металлическая часть (39) включает зубцы (59) для создания зубчатого колеса или триба.
22. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что каждая металлическая часть (63, 39, 41, 41'') включает никель.
23. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что он включает вторую кремниевую часть (65), выполненную из второго слоя (7).
24. Микромеханический компонент по п.23, отличающийся тем, что вторая металлическая часть (65) включает по меньшей мере на одном участке толщины ее дополнительную металлическую часть (41') для изоляции второй кремниевой части (65) от разрушающих механических напряжений.
25. Микромеханический компонент по п.24, отличающийся тем, что дополнительная металлическая часть образует гильзу (41') в полости (47), выполненной во второй кремниевой части (65), для приема вращающейся оправки.
26. Микромеханический компонент по п.25, отличающийся тем, что эта гильза соединена со стенками полости посредством мостиков из материала.
27. Микромеханический компонент по п.24, отличающийся тем, что дополнительная металлическая часть (41') включает в качестве продолжения ее вторую дополнительную металлическую часть (39'), выступающую от второй кремниевой части (65).
28. Микромеханический компонент по п.27, отличающийся тем, что вторая дополнительная металлическая часть (39') включает зубцы (59') для создания зубчатого колеса или триба.
29. Микромеханический компонент по п.24, отличающийся тем, что каждая металлическая часть (39', 41') включает никель.
30. Микромеханический компонент по п.24, отличающийся тем, что вторая кремниевая часть (65) опирается на кремниевую часть (53) через промежуточный слой (9) оксида кремния.
31. Микромеханический компонент по п.24, отличающийся тем, что вторая кремниевая часть (65) включает зубцы (67) для создания зубчатого колеса или триба.
32. Часы, отличающиеся тем, что они включают по меньшей мере один микромеханический компонент (51, 51', 51'') в соответствии с одним из пп.14-31.