СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЕ

Способ выявления дефектов на полупроводниковой пластине, включающий травление поверхности подложек, отличающийся тем, что обработку ведут в травителе, состоящей из следующих компонентов: фтористоводородной кислоты, азотной кислоты и уксусной кислоты в объемных частях 3:6:3
3
3
HF:HNO:СНСООН
3:6:3
при комнатной температуре и времени травления - 90 секунд, при этом количество дефектов линий скольжения составило 25±5 шт./мм.