2
3
СПЕЧЕННОЕ ИЗДЕЛИЕ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ НА ОСНОВЕ ZnO-GaO И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ

2
3
1. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO, включающий стадии, на которых:
формируют смесь порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия;
помещают порошковую формовку из смеси порошков внутрь контейнера, устанавливаемого внутри печи для спекания;
повышают температуру порошковой формовки до температуры спекания не менее 1200°С, но не более 1500°С, с введением в то же время кислорода внутрь контейнера;
поддерживают температуру спекания в состоянии, при котором внутрь контейнера вводят кислород; и
снижают температуру внутри печи в состоянии, при котором прекращают введение кислорода внутрь контейнера.
2
3
2. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO по п.1, в котором
величина расхода потока кислорода, вводимого внутрь контейнера, составляет 20 л/мин или менее.
2
3
3. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO по п.1, в котором
количество порошка оксида галлия в смеси составляет 2 вес.% или менее.
2
3
4. Способ получения спеченного изделия для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO по п.1, в котором
контейнер включает множество контейнеров, установленных внутри печи для спекания, таким образом, что порошковые формовки, каждую из которых помещают во множество контейнеров, подвергают спеканию одновременно.
2
3
5. Спеченное изделие для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO, включающее спеченное изделие из смеси порошков из порошка оксида цинка и порошка оксида галлия, и имеющее
относительную плотность 98% или более,
средний диаметр зерен 50 мкм или менее, и
-3
удельное электрическое сопротивление 2×10 Ом·см или менее.
2
3
6. Спеченное изделие для распыляемой мишени на основе ZnO-GaO по п.5, в котором
распределение величины удельного электрического сопротивления по каждому из направления по плоскости и направления по глубине спеченного изделия составляет 20% или менее.