СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА, СТАБИЛЬНОСТИ И ДЕГРАДАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ МНОГООСТРИЙНЫХ АВТОЭМИССИОННЫХ КАТОДОВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

9
-2
Способ повышения плотности тока, стабильности и деградационной стойкости многоострийных автоэмиссионных катодов в виде композиционной наноалмазографитовой пленки на столбчатых наноструктурах монокристаллического кремния высотой до нескольких десятков нанометров и поверхностной плотностью до (5-14) 10 см, отличающийся тем, что многоострийные автоэмиссионных катоды изготавливают на пластинах монокристаллического кремния донорного типа проводимости с увеличением поперечной электропроводности композиционной наноалмазографитовой пленки.