МИКРОСИСТЕМА ПЕРЕКЛЮЧАЕМОЙ ТЕРМОПАРЫ ДЛЯ ПРИЕМНИКА ИК-ДИАПАЗОНА

Микросистема переключаемой термопары для приемника ИК-диапазона, которая содержит: теплопроводящую подложку с поверхностью, где выделена чувствительная область; считывающие проводники, расположенные на поверхности вне чувствительной области; и фоточувствительный элемент в чувствительной области, причем фоточувствительный элемент включает в себя теплоприемную мембрану, подвешенную на консолях, с находящимся на ней «теплым спаем» термопары, и «холодными» электрическими контактами термопары на подложке, причем плечи термопары размещены на консолях, а холодные контакты электрически соединены со считывающими проводниками, при этом консоли могут изгибаться в сторону подложки, отличающаяся тем, что в подложке под консолями и мембраной выполнена полость с дном, а на мембране расположен полевой электрод, присоединенный к источнику управляющего напряжения, которое выбирается так, что при приложении напряжения к полевому электроду и подложке мембрана приходит в тепловой контакт с дном полости.