ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ФИЛЬТРЫ С ВЫСОКИМ ПРОПУСКАНИЕМ И ШИРОКИМ ДИАПАЗОНОМ ПОДАВЛЕНИЯ ДЛЯ МИНИ-СПЕКТРОМЕТРА

1. Интерференционный фильтр для приема падающего света и выбора составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию через интерференционный фильтр в качестве отфильтрованного света, содержащий:
- металлическое зеркало;
- диэлектрическое зеркало; и
- разделитель, помещенный между металлическим зеркалом и диэлектрическим зеркалом,
в котором металлическому зеркалу и диэлектрическому зеркалу приданы конфигурации, делающие возможной оптическую интерференцию в разделителе для выбора составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию.
2. Интерференционный фильтр по п.1, в котором по меньшей мере одно из толщины и состава разделителя задается для выбора составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию.
3. Интерференционный фильтр по п.1, в котором толщина разделителя задается в пределах интервала 60 нм для выбора составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию, имеющей центральную длину волны в пределах интервала 140 нм, при поддержании постоянными толщины металлического зеркала и толщины диэлектрического зеркала.
4. Интерференционный фильтр по любому из пп.1-3, в котором металлическое зеркало расположено на подложке и покрыто разделителем на всех сторонах, за исключением стороны, обращенной к подложке.
5. Интерференционный фильтр по любому из пп.1-3, в котором металлическое зеркало расположено на подложке, а интерференционный фильтр также содержит тонкопленочный разделительный слой, расположенный между подложкой и металлическим зеркалом.
6. Мини-спектрометр для приема падающего света и обнаружения одной или более составляющих света в падающем свете, содержащий:
- первый интерференционный фильтр по любому из пп.1-5, при этом указанный фильтр выполнен с возможностью приема падающего света и выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию через первый интерференционный фильтр в качестве отфильтрованного света; и
- первый фотодетектор, выполненный с возможностью обнаружения первой составляющей света, пропускаемой первым интерференционным фильтром;
в котором первый интерференционный фильтр содержит первое металлическое зеркало, первое диэлектрическое зеркало и первый разделитель, помещенный между первым металлическим зеркалом и первым диэлектрическим зеркалом, и
в котором первому металлическому зеркалу и первому диэлектрическому зеркалу приданы конфигурации, делающие возможной оптическую интерференцию в первом разделителе для выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию.
7. Мини-спектрометр по п.6, в котором по меньшей мере одно из толщины и состава первого разделителя задается для выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию.
8. Мини-спектрометр по п.6, в котором толщина первого разделителя задается в пределах интервала 60 нм для выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию, имеющей первую центральную длину волны в пределах интервала 140 нм, при поддержании постоянными толщины первого металлического зеркала и толщины первого диэлектрического зеркала.
9. Мини-спектрометр по любому из пп.6-8, дополнительно содержащий:
- второй интерференционный фильтр, выполненный с возможностью приема падающего света и выбора второй составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию, через второй интерференционный фильтр в качестве отфильтрованного света; и
- второй фотодетектор, выполненный с возможностью обнаружения второй составляющей света, пропускаемой вторым интерференционным фильтром;
в котором второй интерференционный фильтр содержит второе металлическое зеркало, второе диэлектрическое зеркало и второй разделитель, помещенный между вторым металлическим зеркалом и вторым диэлектрическим зеркалом, и
в котором второму металлическому зеркалу и второму диэлектрическому зеркалу приданы конфигурации, делающие возможной оптическую интерференцию во втором разделителе для выбора второй составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию, при этом вторая составляющая света отличается от первой составляющей света пропускаемыми длинами волн.
10. Мини-спектрометр по п.9, в котором:
- первый разделитель имеет первую толщину;
- второй разделитель имеет вторую толщину;
- первое металлическое зеркало и второе металлическое зеркало имеют третью толщину; и
- первое диэлектрическое зеркало и второе диэлектрическое зеркало имеют четвертую толщину.
11. Способ изготовления по меньшей мере первого интерференционного фильтра по любому из пп.1-5 для приема падающего света и выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию через первый интерференционный фильтр в качестве отфильтрованного света, при этом способ содержит этапы, на которых:
- обеспечивают первое металлическое зеркало;
- обеспечивают разделитель поверх первого металлического зеркала; и
- обеспечивают диэлектрическое зеркало поверх разделителя,
в котором первое металлическое зеркало, часть разделителя, обеспеченная по существу поверх первого металлического зеркала, и часть диэлектрического зеркала, обеспеченная по существу поверх части разделителя, обеспеченной по существу поверх первого металлического зеркала, составляют первый интерференционный фильтр для приема падающего света и выбора первой составляющей света из падающего света, подлежащей пропусканию.
12. Способ по п.11, дополнительно содержащий этап обеспечения второго металлического зеркала, на котором:
- разделитель дополнительно обеспечивают поверх второго металлического зеркала так, что часть разделителя, обеспеченная по существу поверх первого металлического зеркала, имеет первую толщину, и часть разделителя, обеспеченная по существу поверх второго металлического зеркала, имеет вторую толщину;
- диэлектрическое зеркало дополнительно обеспечивают поверх разделителя;
- второе металлическое зеркало, часть разделителя, обеспеченная по существу поверх второго металлического зеркала, и часть диэлектрического зеркала, обеспеченная по существу поверх части разделителя, обеспеченной по существу поверх второго металлического зеркала, составляют второй интерференционный фильтр для приема падающего света и выбора второй составляющей света падающего света, подлежащей пропусканию, при этом вторая составляющая отличается от первой составляющей света пропускаемыми длинами волн.
13. Способ по п.11 или 12, в котором:
- первое металлическое зеркало обеспечивают на подложке, содержащей первый фотодетектор, так что первое металлическое зеркало обеспечивают по существу поверх первого фотодетектора; и
- первый фотодетектор выполняют с возможностью обнаружения первой составляющей света.
14. Способ по п.13, в котором первое металлическое зеркало полностью покрывают разделителем на всех сторонах, за исключением стороны, обращенной к подложке.
15. Способ по п.12, в котором:
- первое металлическое зеркало и второе металлическое зеркало имеют третью толщину, и
- часть диэлектрического зеркала, образующая первый интерференционный фильтр, и часть диэлектрического зеркала, образующая второй интерференционный фильтр, имеют четвертую толщину.