СПОСОБ ГИДРОФОБИЗАЦИИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ СУБСТРАТА

1. Способ гидрофобизации внутренней поверхности субстрата путем разложения прекурсора кремния в паровой фазе из группы инертных газов - аргона, гелия, их смесей, азота или водорода, отличающийся тем, что в качестве прекурсора кремния используют гидрид кремния, либо другой прекурсор аморфного кремния, испаряющийся при температурах ниже тех, при которых ведут осаждение, при этом объем прекурсора кремния в количествах от 5 об. % до 30 об. %, смешивая с инертным газом, подают в субстрат.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что внутреннюю поверхность субстрата подготавливают до нанесения покрытия, очищают органическим растворителем и активируют поверхность раствором минеральной кислоты либо щелочи.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что разложение прекурсора кремния проводят термически, при температурах от 600°C до 1000°C, в течение от 3 до 240 минут.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что циклы подачи прекурсора кремния в субстрат повторяют до достижения требуемой толщины покрытия с промежуточной продувкой субстрата инертным газом.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что смесь газов, получаемую после проведения реакции разложения, используют повторно в качестве газа-носителя.