СИСТЕМЫ И СПОСОБЫ ГЕНЕРАЦИИ И ПЕРЕДАЧИ УНЧ/ОНЧ СИГНАЛОВ

1. Система для генерации и передачи ультранизкочастотных (УНЧ) или очень низкочастотных (ОНЧ) сигналов, причем система содержит:
множество устройств передатчиков на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС), расположенных в массиве устройств, причем каждое из МЭМС-устройств передатчиков содержит:
первый экран;
балку, имеющую ближний конец и дальний конец, причем ближний конец балки соединен с первым экраном анкером, так что балка проходит над первым экраном и отнесена от него;
электрет, соединенный с дальним концом балки и отнесенный от первого экрана;
привод электрического смещения, соединенный с балкой и предназначенный для генерации напряжения на балке; и
второй экран, расположенный на расстоянии над балкой; и
ступень возбуждения вибрации, функционально соединенную с каждым МЭМС-устройством передатчика, причем ступень возбуждения вибрации предназначена для синхронного возбуждения каждого МЭМС-устройства передатчика так, что каждый электрет вибрирует по существу в перпендикулярном направлении относительно первого и второго экранов;
при этом каждый электрет вибрирует с по существу одинаковой модулированной частотой для генерации и передачи УНЧ или ОНЧ сигналов.
2. Система по п. 1, в которой балка включает в себя кремний, диоксид кремния или металл.
3. Система по п. 1, в которой электрет включает в себя неорганический электрет.
4. Система по п. 1, в которой электрет включает в себя органический электрет.
5. Система по п. 1, в которой привод электрического смещения выполнен как одно целое с балкой.
6. Система по п. 1, в которой привод электрического смещения включает в себя электростатический механизм возбуждения, термоэлектрический механизм возбуждения или пьезоэлектрический механизм возбуждения.
7. Система по п. 1, в которой МЭМС-устройства передатчиков расположены в вакуумном пакете.
8. Система по п. 7, в которой ступень возбуждения вибрации расположена в вакуумном пакете.
9. Система по п. 1, в которой МЭМС-устройства передатчиков расположены в множестве вакуумных пакетов, расположенных в массиве пакетов.
10. Система по п. 9, в которой ступень возбуждения вибрации является внешней относительно вакуумных пакетов массива пакетов.
11. Система по п. 1, в которой МЭМС-устройства передатчиков сконфигурированы для модуляции УНЧ или ОНЧ сигналов с использованием встроенного пьезоэлектрического устройства настройки частоты.
12. Способ изготовления массива передатчиков для ультранизкочастотных (УНЧ) или очень низкочастотных (ОНЧ) сигналов, причем способ предусматривает:
формирование множества устройств передатчиков на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС) в массиве, причем каждое из МЭМС-устройств передатчиков изготавливают процессом, предусматривающим:
формирование первого экрана;
формирование балки, имеющей ближний конец и дальний конец, причем ближний конец балки соединяют с первым экраном анкером, так что балка проходит над первым экраном и отнесена от него;
формирование электрета на дальнем конце балки, так что электрет отнесен от первого экрана;
формирование привода электрического смещения на балке, предназначенного для генерации напряжения на балке; и
формирование второго экрана, расположенного на расстоянии над балкой; и
соединение ступени возбуждения вибрации с массивом для синхронного возбуждения каждого МЭМС-устройства передатчика так, что каждый электрет вибрирует по существу в перпендикулярном направлении относительно первого и второго экранов, при этом каждый электрет формируют для вибрации с по существу одинаковой модулированной частотой для генерации и передачи УНЧ или ОНЧ сигналов.
13. Способ по п. 12, в котором балку изготавливают из материала, включающего в себя кремний, диоксид кремния или металл.
14. Способ по п. 12, в котором электрет формируют из материала, включающего в себя неорганический электрет.
15. Способ по п. 12, в котором электрет формируют из материала, включающего в себя органический электрет.
16. Способ по п. 12, в котором привод электрического смещения выполняют как одно целое с балкой.
17. Способ по п. 12, в котором МЭМС-устройства передатчиков формируют в вакуумном пакете.
18. Способ по п. 17, в котором ступень возбуждения вибрации располагают в вакуумном пакете.
19. Способ по п. 12, в котором МЭМС-устройства передатчиков формируют в множестве вакуумных пакетов, расположенных в массиве пакетов.
20. Способ по п. 19, в котором ступень возбуждения вибрации выполняют внешней относительно вакуумных пакетов массива пакетов.