МИКРОСИСТЕМА ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

1. Микросистема оптического излучения, включающая:
- источник квазимонохроматического оптического излучения;
- систему оптических элементов;
- первую линейку электроуправляемых микроструктур;
- вторую линейку электроуправляемых микроструктур;
- фотоприемник;
- блок управления;
при этом система оптических элементов включает:
собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположена первая линейка электроуправляемых микроструктур;
собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположена вторая линейка электроуправляемых микроструктур;
собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположен фотоприемник;
каждая электроуправляемая микроструктура представляет собой набор из двух электродов, сформированных на подложке друг над другом с воздушным зазором (например, так, как это показано на фигурах 2 и 4), кратным четверти длины волны падающего света: неподвижного нижнего электрода и подвижного верхнего электрода;
блок управления по первой управляющей шине подсоединен к контактным площадкам неподвижного нижнего электрода и подвижного верхнего электрода первой линейки электроуправляемых микроструктур соответственно;
блок управления по второй управляющей шине подсоединен к контактным площадкам неподвижного нижнего электрода и подвижного верхнего электрода второй линейки электроуправляемых микроструктур соответственно;
каждая из линеек электроуправляемых микроструктур включает в свой состав как минимум две электроуправляемые микроструктуры, расположенные на подложке параллельно относительно друг друга;
подвижный верхний электрод изолирован диэлектрическим материалом от неподвижного нижнего электрода;
источник квазимонохроматического оптического излучения связан с первой линейкой электроуправляемых микроструктур через собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположена первая линейка электроуправляемых микроструктур;
первая линейка электроуправляемых микроструктур через собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположена вторая линейка электроуправляемых микроструктур, связана со второй линейкой электроуправляемых микроструктур,
которая, в свою очередь, через собирающую линзу, в фокальной плоскости которой расположен фотоприемник, связана с фотоприемником.
2. Микросистема по п.1, в которой подвижный верхний электрод изготовлен из диэлектрического материала и покрыт отражающим металлическим покрытием.
3. Микросистема по п.2, в которой линейки электроуправляемых микроструктур расположены плоскопараллельно и направлены отражающими поверхностями друг на друга.
4. Микросистема по п.3, в которой подложки линеек электроуправляемых микроструктур ориентированы так, что микроструктуры первой линейки перпендикулярны микроструктурам второй линейки.
5. Микросистема по п.4, в которой управление линейками электроуправляемых микроструктур с помощью блока управления осуществляется независимо.
6. Микросистема по любому из пп.1-5, в которой отклонения пучка квазимонохроматического оптического излучения осуществляются по двум пространственным направлениям, причем каждая из линеек электроуправляемых микроструктур отклоняет пучок квазимонохроматического оптического излучения только в одном пространственном направлении.