СПОСОБ ПРОВЕДЕНИЯ ГРАДУИРОВКИ МАСС-СПЕКТРОМЕТРА ДЛЯ КОЛИЧЕСТВЕННОГО АНАЛИЗА ГАЗОВЫХ СМЕСЕЙ

Способ проведения градуировки масс-спектрометра для количественного анализа газовых смесей, заключающийся в определении коэффициентов чувствительности для индивидуальных газов на основании регистрируемых интенсивностей пиков масс-спектра и давления газа в системе напуска масс-спектрометра,
отличающийся тем, что определение коэффициентов чувствительности прибора для индивидуальных газов проводят по серии результатов анализов индивидуальных газов и газовых смесей с различным содержанием компонентов, а коэффициенты чувствительности (K) определяют путем решения методом наименьших квадратов системы линейных уравнений вида:
,
i
где P - давление газа в системе напуска масс-спектрометра;
- приведенная интенсивность ионного тока j - компонента в i - газовой смеси;
n - число анализов;
m - число коэффициентов чувствительности, n≥m.