Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния

2
3
2
3
2
3
1. Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки AlO на поверхности пористого кремния заключается в осаждении наноразмерной пленки AlO в виде ориентированных в одном направлении нанонитей высотой 80-100 нм, расположенных на поверхности на расстоянии 300-500 нм друг от друга, включающий анодное электрохимическое травление в электролите исходного монокристаллического кремния в ячейке электрохимического травления, нанесение методом ионно-плазменного распыления на слой пористого кремния пленки AlO.
-3
2. Способ по п. 1 отличается тем, что формирование пленки проводят при рабочем давлении в камере в диапазоне 3-5⋅10 мм рт.ст. и потенциала мишени - 400-600 В.
2
3
3. Способ по п. 1 отличается тем, что механизм роста пленки задается кристаллографической ориентацией исходной пластины монокристаллического кремния, используемой для создания пористого слоя, методом и условиями создания пористого слоя, а также способом формирования пленки AlO методом ионно-плазменного распыления.