СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЕРЕД НАПЫЛЕНИЕМ ТИТАН-ГЕРМАНИЙ (Ti-Ge)

3
2
Способ обработки поверхности пластин перед напылением титан-германий (TI-GE), включающий обработку поверхности кремниевых пластин, перед напылением обратной стороны, отличающийся тем, что в качестве травителя используется раствор в состав, которого входят: азотная кислота - HNO, фтористоводородная кислота - HF, деионизованная вода - НО в следующих соотношениях:
3
2
HNO:HF:HO
1:10:35,
время обработки поверхности кремниевых пластин равно не более (25±5) с, при комнатной температуре.