УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЖИМА И ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ ВАННЫ ИСПАРИТЕЛЯ

1. Установка вакуумной обработки, в особенности установка ленточного напыления, включающая в себя по меньшей мере один расположенный в технологической камере (2) испаритель (1), содержащий регулируемую по мощности и нагреваемую за счет прохождения тока ванну (3) испарителя, два электрических подающих провода (4, 5), между которыми зажимается ванна (3) испарителя, причем первый подающий провод (4) выполнен с возможностью сдвига относительно второго подающего провода (5) в направлении (А) зажима, а также содержащий устройство для направления первого подающего провода (4) для зажима и позиционирования ванны (3) испарителя между подающими проводами (4, 5), отличающаяся тем, что устройство для направления первого подающего провода (4) имеет по меньшей мере два распорных элемента (18, 19) и одно основание (22), причем первый подающий провод (4) подвижно соединен с основанием (22) с помощью распорных элементов (18, 19), а распорные элементы (18, 19) расположены на одной стороне с первым подающим проводом (4), а другой стороной на основании (22) и способствуют таким образом принудительному направлению первого подающего провода (4), причем распорные элементы (18, 19) имеют такую длину и такое расположение между первым подающим проводом (4) и основанием (22), что по меньшей мере за счет небольшой области отклонения распорных элементов (18, 19) направление (В) перемещения по существу параллельно направлению (А) зажима.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один распорный элемент выполнен жестким и с помощью шарнирных соединений расположен на первом подающем проводе (4) и на основании (22).
3. Установка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что предусмотрены средства для создания силы предварительного натяжения, в особенности силы предварительного натяжения, составляющей 50 Н, в направлении (А) зажима и по меньшей мере против второго подающего провода (5).
4. Установка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что по меньшей мере один распорный элемент (18, 19) выполнен в виде плоской пружины, которая создает силу предварительного натяжения в направлении (А) зажима и по меньшей мере против второго подающего провода (5).
5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что предусмотрен по меньшей мере один вертикальный упорный элемент (20, 21) для ограничения движения первого подающего провода (4) в направлении к основанию (22).
6. Установка по п.1, отличающаяся тем, что предусмотрен по меньшей мере один горизонтальный упор (20, 24, 21, 25) для ограничения сдвига первого подающего провода (4) в направлении (А) зажима.
7. Установка по п.1, отличающаяся тем, что первый подающий провод (4) расположен на пластине (17) и распорные элементы (18, 19) расположены на пластине (17), причем или сама пластина (17), или прокладка (16), расположенная между пластиной (17) и первым подающим проводом (4), электрически изолирована, и, таким образом, устройство для направления первого подающего провода (4) электрически изолировано относительно первого подающего провода (4).
8. Установка по п.5 или 7, отличающаяся тем, что два горизонтальных упора образованы двумя кулачками и ответными выступами (24, 25), образованными на пластине (17), причем кулачки расположены на одном или нескольких вертикальных упорных элементах (20, 21).
9. Установка по п.1, отличающаяся тем, что предусмотрена нажимная пружина (26), обеспечивающая возможность сдвига первого подающий провод (4) в направлении (А) зажима в направлении второго поводящего провода (5).
10. Установка по п.9, отличающаяся тем, что для создания нагрузки или снятия нагрузки нажимной пружины (26) предусмотрен пневматический элемент (30).
11. Установка по п.1, отличающаяся тем, что первый подающий провод (4) содержит первую часть (13), которая предпочтительно выполнена из меди, и выполненную с возможностью крепления к ней вторую часть (6), причем вторая часть выполнена в виде токового стержня (6).
12. Установка по п.11, отличающаяся тем, что токовый стержень (6) выполнен с возможностью крепления на первой части (13) за счет свободного фланца (10), и, таким образом, токовый стержень (6) может быть плавно повернут относительно первой части (13).
13. Установка по п.11, отличающаяся тем, что второй подающий провод (5) имеет «массовый» стержень (7), и «массовый» стержень (7) и/или токовый стержень (6) имеют множество кулачковых зажимных устройств (8, 9) для ванны (3) испарителя.
14. Установка по п.13, отличающаяся тем, что «массовый» стержень (7) имеет четыре осесимметрично расположенных кулачковых зажимных устройства (9) вдоль квадратного цоколя (32), причем кулачковое зажимное устройство (8) токового стержня (6) выполнено за счет кольцевого или круглого цоколя (31).
15. Установка по п.11, отличающаяся тем, что первый подающий провод (4) имеет водяное охлаждение, которое во второй части (13) выполнено предпочтительно в виде глухого отверстия с распределительной трубой хладагента.
16. Установка по п.1, отличающаяся тем, что внутри установки вакуумной обработки испаритель (1) выполнен с возможностью регулировки относительно напыляемой подложки, в особенности относительно расстояния до подложки.
17. Установка по п.1, отличающаяся тем, что она является установкой ленточного напыления.
18. Испаритель (1) по п.1, причем указанный испаритель встроен в установку вакуумной обработки.
19. Испаритель (1) по п.1, выполненный с возможностью размещения в ряду испарителей установки ленточного напыления.