ПРОЕКЦИОННО-ЕМКОСТНАЯ СЕНСОРНАЯ ПАНЕЛЬ С СЕРЕБРОСОДЕРЖАЩИМ ПРОЗРАЧНЫМ ПРОВОДЯЩИМ СЛОЕМ(ЯМИ)

1. Емкостная сенсорная панель, содержащая:
подложку;
многослойное прозрачное проводящее покрытие, включающее в себя по меньшей мере один содержащий серебро проводящий слой, которое поддерживается упомянутой подложкой,
множество электродов рядов, множество электродов столбцов и множество проводящих дорожек, причем электроды рядов, электроды столбцов и проводящие дорожки содержат многослойное прозрачное проводящее покрытие;
процессор, который измеряет электрическую емкость между электродами рядов и электродами столбцов при обнаружении места прикосновения на сенсорной панели,
при этом электроды рядов, электроды столбцов и проводящие дорожки образованы практически в общей плоскости, практически параллельной подложке,
при этом каждый из электродов рядов электрически соединен с процессором по меньшей мере одной из проводящих дорожек, и
при этом проводящие дорожки по меньшей мере частично практически параллельны электродам столбцов.
2. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой прозрачное проводящее покрытие содержит, отдаляясь от подложки:
первый диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния;
диэлектрический слой, содержащий оксид металла(ов);
проводящий слой, содержащий серебро;
верхний контактный слой, расположенный поверх слоя, содержащего серебро, и контактирующий с ним; и
второй диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния.
3. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой диэлектрический слой, содержащий оксид металла(ов), содержит оксид цинка.
4. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой диэлектрический слой, содержащий оксид металла(ов), содержит оксид NiCr.
5. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой верхний контактный слой содержит Ni и/или Cr.
6. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой прозрачное проводящее покрытие дополнительно содержит диэлектрический слой, содержащий оксид титана, расположенный между по меньшей мере первым диэлектрическим слоем, содержащим нитрид кремния, и диэлектрическим слоем, содержащим оксид металла(ов).
7. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой прозрачное проводящее покрытие дополнительно содержит между по меньшей мере первым диэлектрическим слоем, содержащим нитрид кремния, и диэлектрическим слоем, содержащим оксид металла(ов), слой, содержащий оксид титана, слой, содержащий оксид цинка, и слой, содержащий оксид олова.
8. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой прозрачное проводящее покрытие дополнительно содержит между по меньшей мере первым диэлектрическим слоем, содержащим нитрид кремния, и диэлектрическим слоем, содержащим оксид металла(ов), слой, содержащий оксид титана, слой, содержащий оксид цинка, и другой слой, содержащий оксид титана.
9. Емкостная сенсорная панель по п. 2, в которой покрытие дополнительно содержит внешнее покрытие, содержащее оксид циркония.
10. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой прозрачное проводящее покрытие содержит, отдаляясь от подложки:
первый диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния;
нижний контактный слой, содержащий Ni и/или Cr;
проводящий слой, содержащий серебро, непосредственно контактирующий с нижним контактным слоем;
верхний контактный слой, содержащий Ni и/или Cr, контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро; и
второй диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния.
11. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой прозрачное проводящее покрытие обладает удельным поверхностным сопротивлением, меньшим или равным примерно 15 Ом/квадрат.
12. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой прозрачное проводящее покрытие обладает удельным поверхностным сопротивлением, меньшим или равным примерно 10 Ом/квадрат.
13. Емкостная сенсорная панель по п. 1, в которой прозрачное проводящее покрытие обладает удельным поверхностным сопротивлением, меньшим или равным примерно 5 Ом/квадрат.
14. Дисплей в сборе, содержащий емкостную сенсорную панель по любому предыдущему пункту, связанную с жидкокристаллической панелью, причем жидкокристаллическая панель включает в себя пару подложек с обеспеченным между ними жидкокристаллическим слоем.
15. Способ изготовления сенсорной панели, содержащей подложку и процессор обработки сигналов, причем способ содержит:
осаждение серебросодержащего прозрачного проводящего покрытия на подложке и формирование рисунка серебросодержащего прозрачного проводящего покрытия с образованием множества электродов рядов, множества электродов столбцов и множества проводящих дорожек,
при этом электроды рядов, электроды столбцов и дорожки находятся в плоскости, практически параллельной подложке, при этом каждый из электродов рядов электрически соединен с процессором обработки сигналов по меньшей мере одной из дорожек.
16. Способ по п. 15, в котором прозрачное проводящее покрытие содержит, отдаляясь от подложки, следующие слои, осажденные напылением:
первый диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния;
диэлектрический слой, содержащий оксид металла(ов);
проводящий слой, содержащий серебро;
верхний контактный слой, расположенный поверх проводящего слоя, содержащего серебро, и контактирующий с ним; и
второй диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния.
17. Способ по п. 16, в котором диэлектрический слой, содержащий оксид металла(ов), содержит оксид цинка.
18. Способ по п. 16, в котором прозрачное проводящее покрытие дополнительно содержит диэлектрический слой, содержащий оксид титана, расположенный между по меньшей мере первым диэлектрическим слоем, содержащим нитрид кремния, и диэлектрическим слоем, содержащим оксид металла(ов).
19. Способ по п. 15, в которой прозрачное проводящее покрытие содержит, отдаляясь от подложки, следующие слои, осажденные напылением:
первый диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния;
нижний контактный слой, содержащий Ni и/или Cr;
проводящий слой, содержащий серебро, непосредственно контактирующий с нижним контактным слоем;
верхний контактный слой, содержащий Ni и/или Cr, контактирующий с проводящим слоем, содержащим серебро; и
второй диэлектрический слой, содержащий нитрид кремния.
20. Способ по любому из пп. 15-19, в котором прозрачное проводящее покрытие обладает удельным поверхностным сопротивлением, меньшим или равным примерно 10 Ом/квадрат.