ЗОНДОВЫЙ ДАТЧИК СИЛОВОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ

1. Зондовый датчик силового взаимодействия на основе кварцевого резонатора для сканирующего зондового микроскопа, содержащий кварцевый резонатор, основание с пьезокерамической пластиной и, по меньшей мере, одно заточенное острие (9), отличающийся тем, что в него введены гибкая балка (8), закрепленная с одного конца к основанию, второе острие (10), механически сопряженное с гибкой балкой (8), и привод (6) с возможностью сближения кварцевого резонатора (2) со вторым острием (10), при этом первое и второе острия механически сопряжены с гибкой балкой (8) и не имеют постоянного механического контакта с поверхностью кварцевого резонатора (2).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первое острие может располагаться на разном расстоянии от основания гибкой балки, при этом второе острие не изменяет своего положения относительно кварцевого резонатора.
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первое острие расположено под произвольным углом к гибкой балке.
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что гибкая балка выполнена с возможностью отсоединения ее от основания.
5. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в основание гибкой балки введен вибратор.
6. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что привод выполнен в виде винтовой пары.
7. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что привод выполнен в виде пьезокерамического элемента.
8. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первое острие может быть изготовлено из различных материалов.