МОЩНЫЙ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ

1. Эксимерный лазер, содержащий:
внешний цилиндрический корпус, обрамляющий заполненную рабочей газовой средой лазерную камеру с газодинамическим трактом, два газоразрядных модуля, систему прокачки рабочей газовой среды через указанные газоразрядные модули и систему охлаждения рабочей газовой среды, при этом каждый газоразрядный модуль имеет высоковольтный и заземленный электроды и УФ предыонизатор, оснащенный системой формирования протяженного однородного завершенного разряда, скользящего по поверхности диэлектрической пластины,
систему питания газоразрядных модулей,
два диэлектрических цилиндрических контейнера, установленных внутри внешнего цилиндрического корпуса параллельно друг другу на расстоянии, обеспечивающем размещение между ними двух упомянутых газоразрядных модулей, при этом каждый диэлектрический цилиндрический контейнер оснащен собственным газоразрядным модулем, размещенным на внешней поверхности этого диэлектрического контейнера, при этом газоразрядные модули закреплены на обращенных друг к другу участках стенок диэлектрических контейнеров так, что их высоковольтные электроды расположены в одной плоскости, при этом элементы системы питания соответствующего газоразрядного модуля, по крайней мере, частично размещены внутри диэлектрического контейнера, на стенке которого закреплен этот газоразрядный модуль.
2. Эксимерный лазер по п. 1, в котором заземленные электроды газоразрядных модулей соединены друг с другом.
3. Эксимерный лазер по п. 1, в котором заземленные электроды газоразрядных модулей выполнены в едином блоке.
4. Эксимерный лазер по п. 1, в котором диэлектрические контейнеры выполнены из керамики и заполнены электрически прочным газом, иным, чем рабочая газовая среда.
5. Эксимерный лазер по п. 1, в котором внешний цилиндрический корпус выполнен из металла.
6. Эксимерный лазер по п. 1, в котором в УФ предыонизаторе система формирования протяженного однородного завершенного разряда, оснащена выпуклыми диэлектрическими пластинами.
7. Эксимерный лазер по п. 6, в котором в газоразрядном модуле высоковольтный электрод выполнен полупрозрачным и выпуклые диэлектрические пластины установлены с обратной стороны полупрозрачного высоковольтного электрода.
8. Эксимерный лазер по п. 6, в котором в газоразрядном модуле высоковольтный электрод выполнен сплошным и выпуклые диэлектрические пластины установлены по обе стороны от сплошного высоковольтного электрода.
9. Эксимерный лазер по п. 1, в котором один из диэлектрических контейнеров смещен к стенке внешнего цилиндрического корпуса и газодинамический тракт оснащен, по крайней мере, двумя направляющими цилиндрическими стенками, каждая из которых одной кромкой примыкает к стенке этого диэлектрического контейнера, а другой кромкой примыкает к стенке внешнего цилиндрического корпуса.
10. Эксимерный лазер по п. 1, в котором элементы системы питания внутри каждого диэлектрического контейнера включают в себя, по меньшей мере, накопительные конденсаторы системы питания предыонизатора, накопительные конденсаторы системы питания газового разряда газоразрядного модуля и магнитоуправляемые ключи для подачи питания на указанные конденсаторы.
11. Эксимерный лазер по п. 10, в котором накопительные конденсаторы системы питания предыонизатора размещены внутри диэлектрического контейнера в зоне, прилегающей к внутренней стенке диэлектрического контейнера напротив электрода предыонизатора, а накопительные конденсаторы системы питания газового разряда газоразрядного модуля размещены внутри диэлектрического контейнера двумя блоками с двух сторон относительно накопительных конденсаторов системы питания предыонизатора.
12. Эксимерный лазер по п. 11, в котором магнитоуправляемые ключи для подачи питания на конденсаторы, размещены внутри диэлектрического контейнера в зоне между упомянутыми накопительными конденсаторами.
13. Эксимерный лазер по п. 1, в котором диэлектрические контейнеры размещены в центральной зоне внешнего цилиндрического корпуса и за газоразрядными модулями газодинамический тракт разделяется на два рукава, каждый из которых огибает соответствующий диэлектрический контейнер, которые затем соединяются с противоположной стороны контейнеров перед нагнетательным агрегатом, подающим рабочую среду в газоразрядные модули.
14. Эксимерный лазер по п. 13, в котором в нагнетательном агрегате используются осевые вентиляторы, располагаемые вдоль газоразрядных модулей, при этом между осевыми вентиляторами и газоразрядными модулями установлена выравнивающая решетка.
15. Эксимерный лазер, содержащий:
внешний эллиптический цилиндрический корпус, обрамляющий с внешней стороны заполненную рабочей газовой средой лазерную камеру с газодинамическим трактом, два газоразрядных модуля, систему прокачки рабочей газовой среды через указанные газоразрядные модули и систему охлаждения рабочей газовой среды, при этом каждый газоразрядный модуль имеет высоковольтный и заземленный электроды и УФ предыонизатор, оснащенный системой формирования протяженного однородного завершенного разряда, скользящего по поверхности диэлектрической пластины,
систему питания газоразрядных модулей,
один диэлектрический цилиндрический контейнер, установленный внутри внешнего эллиптического цилиндрического корпуса в его средней части с зазорами относительно внутренней поверхности этого корпуса, обеспечивающими размещение в этих зазорах двух упомянутых газоразрядных модулей, при этом газоразрядные модули закреплены на противоположных участках стенки диэлектрического контейнера так, что их высоковольтные электроды расположены в одной плоскости, при этом элементы системы питания газоразрядных модулей, по крайней мере, частично размещены внутри диэлектрического контейнера.
16. Эксимерный лазер по п. 15, в котором диэлектрический цилиндрический контейнер выполнен из керамики и заполнен электрически прочным газом, иным, чем рабочая газовая среда.
17. Эксимерный лазер по п. 15, в котором внешний эллиптический цилиндрический корпус выполнен из металла.
18. Эксимерный лазер по п. 15, в котором в каждом газоразрядном модуле УФ предыонизатор и высоковольтный электрод размещены на стенке цилиндрического диэлектрического корпуса, а заземленный электрод размещен на стенке эллиптического цилиндрического корпуса.
19. Эксимерный лазер по п.15, в котором в УФ предыонизаторе система формирования протяженного однородного разряда оснащена выпуклыми диэлектрическими пластинами.
20. Эксимерный лазер по п. 19, в котором в газоразрядном модуле высоковольтный электрод выполнен полупрозрачным и выпуклые диэлектрические пластины установлены с обратной стороны полупрозрачного высоковольтного электрода.
21. Эксимерный лазер по п. 19, в котором в газоразрядном модуле высоковольтный электрод выполнен сплошным и выпуклые диэлектрические пластины установлены по обе стороны от сплошного высоковольтного электрода.
22. Эксимерный лазер по п. 15, в котором в каждом газоразрядном модуле высоковольтный электрод размещен на стенке цилиндрического диэлектрического корпуса, а УФ предыонизатор и заземленный электрод размещены на стенке эллиптического цилиндрического корпуса
23. Эксимерный лазер по п. 22, в котором в УФ предыонизаторе система формирования протяженного однородного разряда оснащена выпуклыми диэлектрическими пластинами.
24. Эксимерный лазер по п. 23, в котором в газоразрядном модуле заземленный электрод выполнен полупрозрачным и выпуклые диэлектрические пластины установлены с обратной стороны полупрозрачного заземленного электрода
25. Эксимерный лазер по п. 23, в котором в газоразрядном модуле заземленный электрод выполнен сплошным и выпуклые диэлектрические пластины установлены по обе стороны от сплошного заземленного электрода
26. Эксимерный лазер по п. 15, в котором элементы системы питания внутри диэлектрического контейнера включают в себя, по меньшей мере, накопительные конденсаторы системы питания УФ предыонизаторов, накопительные конденсаторы системы питания газового разряда для обоих газоразрядных модулей и магнитоуправляемые ключи для подачи питания на указанные накопительные конденсаторы.
27. Эксимерный лазер по п. 26, в котором накопительные конденсаторы системы питания каждого УФ предыонизатора размещены внутри цилиндрического диэлектрического контейнера в зоне, прилегающей к внутренней стенке этого контейнера напротив электрода этого УФ предыонизатора, а накопительные конденсаторы системы питания газового разряда для каждого газоразрядного модуля размещены внутри цилиндрического диэлектрического контейнера двумя блоками с двух сторон относительно накопительных конденсаторов системы питания УФ предыонизатора этого газоразрядного модуля.
28. Эксимерный лазер по п. 27, в котором магнитоуправляемые ключи для подачи питания на накопительные конденсаторы, размещены внутри цилиндрического диэлектрического контейнера в зоне между упомянутыми накопительными конденсаторами.
29. Эксимерный лазер по п. 26, в котором внутренняя полость цилиндрического диэлектрического контейнера разделена продольной перегородкой на две камеры, при этом для каждого газоразрядного модуля накопительные конденсаторы системы питания УФ предыонизаторов, накопительные конденсаторы системы питания газового разряда и магнитоуправляемые ключи для подачи питания на указанные накопительные конденсаторы размещены в камере, примыкающей к этому газоразрядному модулю.
30. Эксимерный лазер по п. 15, в котором газодинамический тракт лазерной камеры выполнен в виде кольцевого канала, охватывающего диэлектрический цилиндрический контейнер, а система прокачки содержит два участка, расположенные с двух сторон относительно диэлектрического цилиндрического контейнера и соединяющие соответственно выход одного газоразрядного модуля с входом другого газоразрядного модуля, при этом каждый из участков оснащен собственным вентилятором и теплообменником.