СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫПРЯМЛЯЮЩИХ КОНТАКТОВ К АРСЕНИДУ ГАЛЛИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ РУТЕНИЯ

3
2
3
1. Способ изготовления выпрямляющих контактов к арсениду галлия, отличающийся тем, что металлизацию арсенида галлия производят электрохимическим осаждением рутения из сульфаматного электролита рутенирования на основе гидроксихлорида рутения (IV), содержащего, г/л: RuOHCl (в пересчете на металл) - 2,5-5, NHSOH - 25-50.
2
2. Способ изготовления выпрямляющих контактов к арсениду галлия, отличающийся тем, что осаждение рутения проводят из электролита по п. 1. при температуре 20-65°C, при катодной плотности тока от 1 до 8 А/дм, при значении рН электролита 0,8-1,0, с наложением или без наложения ультразвукового поля с частотой 18-35 кГц.
3. Способ по п.п. 1 и 2, отличающийся тем, что отжиг полученных контактов проводят при температуре 400°C в атмосфере водорода в течение 10 мин.