СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1. Способ получения поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы, включающий подачу в реактор восстановления через систему патрубков газовой смеси на основе кремнийсодержащего газа и осаждение кремния на нагретых поверхностях с образованием отходящей газовой смеси, отличающийся тем, что процесс осаждения кремния осуществляют одновременно в, по крайней мере, двух реакторах, которые соединяют между собой последовательно системой патрубков для транспортирования газовой смеси, подают на вход первого реактора газовую смесь, предназначенную для работы всех реакторов, и осуществляют непрерывное прохождение газовой смеси через все последовательно соединенные реакторы.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, по крайней мере, один раз в течение проведения процесса осаждения направление прохождения газовой смеси через последовательно соединенные реакторы изменяют на противоположное.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что реакторы различной конструкции соединяют между собой последовательно в порядке убывания значений времени, необходимого для проведения процесса осаждения в реакторах в автономном режиме.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что реакторы соединяют между собой последовательно в порядке возрастания значений их рабочих температур.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что расход газовой смеси на входе в первый реактор удовлетворяет соотношению
где Q - расход газовой смеси на входе в первый реактор;
i
Q - расход газовой смеси, необходимый для работы одного из последовательно соединенный реакторов в автономном режиме;
n - количество последовательно соединенных реакторов.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве кремнийсодержащего газа используют хлорсиланы или их смесь.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что газовую смесь, необходимую для работы всех реакторов, готовят в одном общем для всех реакторов блоке.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что патрубки для транспортирования газовой смеси между реакторами снабжают теплоизоляцией.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве начальных нагретых поверхностей для осаждения кремния используют поверхности полых тел.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве начальных нагретых поверхностей для осаждения кремния используют поверхности пластин.