Многоэлектродная охлаждаемая конструкция

1. Электрод коллиматора, содержащий тело (81) электрода, имеющее сплющенную кольцевую форму, причем тело электрода снабжено центральной апертурой (82) электрода, причем тело электрода задает высоту (He) электрода между двумя противоположными основными поверхностями, причем тело электрода вмещает охлаждающий канал (105) внутри тела электрода для переноса охлаждающей жидкости (102), причем тело электрода изготовлено из алюминия, причем охлаждающий канал (105) содержит первое отверстие (103) и второе отверстие (104), причем первое отверстие и второе отверстие расположены в боковой поверхности (85) тела (81) электрода, причем охлаждающий канал (105) соединяет первое отверстие (103) и второе отверстие (104) через траекторию (105a-105d) канала, обеспеченную внутри тела (81) электрода, причем траектория канала содержит круглую часть (105a), находящуюся вокруг апертуры (82) электрода, и причем охлаждающий канал сформирован в виде трубки канала, содержащей тепло- и электропроводящий материал.
2. Электрод коллиматора по п. 1, причем охлаждающий канал изготовлен из титана.
3. Электрод коллиматора по п. 1, причем первое отверстие выполнено с возможностью соединения со структурой (117) для подачи жидкости, а второе отверстие (104) с возможностью соединения со структурой (118) для выпуска жидкости.
4. Электрод коллиматора по п. 1, причем охлаждающий канал соединен с электроизоляционным элементом (115) канала, предоставленным за пределами внешнего периметра (85) тела электрода.
5. Электрод коллиматора по п. 1, причем первое отверстие и второе отверстие электрода коллиматора расположены близко друг к другу в боковой поверхности электрода коллиматора.
6. Электрод коллиматора по п. 1, причем апертура электрода имеет круговую симметрию относительно оптической оси (A) электрода коллиматора, и причем охлаждающий канал содержит две практически прямые концевые части (105b) для соединения круглой части с первым отверстием и вторым отверстием.
7. Электрод коллиматора по п. 6, причем соотношение между диаметром (∅) апертуры электрода, с одной стороны, и радиальным расстоянием (ΔR2) между периметром (82a) апертуры электрода и круглой частью охлаждающего канала, с другой стороны, задается посредством 3·ΔR2≥∅.
8. Электрод коллиматора по п. 1, причем трубка канала интегрирована внутри тела электрода коллиматора.
9. Электрод коллиматора по п. 1, причем тело электрода по меньшей мере частично состоит из литого материала, в частности, литого алюминия, и причем трубка канала заключена в упомянутый литой материал.
10. Электрод коллиматора по п. 1, причем верхняя поверхность (83) тела электрода снабжена пазом (106), имеющим форму, соответствующую трубке канала, и причем трубка канала расположена внутри паза.
11. Электрод коллиматора по п. 10, причем трубка канала присоединена внутри паза к электроду коллиматора посредством теплопроводящего клейкого материала (107).
12. Электрод коллиматора по п. 1, причем трубка канала содержит:
нижнюю часть (105c) желобка с прямоугольными поверхностями, образованными с внешней стороны, и искривленным желобком, образованным с внутренней стороны, и
верхнюю часть (105d) крышки для герметизации искривленного желобка, образованного с внутренней стороны нижней части желобка, формируя посредством этого проточный канал для охлаждающей жидкости.
13. Электрод коллиматора по п. 1, содержащий по меньшей мере две опорных части (86) электрода и поддерживающих электрод элемента (87) вдоль наружного периметра (85) тела электрода, причем каждый поддерживающий электрод элемент соединяет периметр электрода с соответствующей опорной частью (86) электрода, образуя посредством этого пространство (88) для теплового расширения между опорной частью электрода и внешним периметром электрода, и причем поддерживающие электрод элементы выполнены с возможностью совместно удерживать на себе вес тела электрода в осевом направлении.
14. Электрод коллиматора по п. 13, причем поддерживающий электрод элемент содержит подвижный удлиненный держатель (87a-87c), который соединен на первом конце с внешним периметром электрода и соединен посредством второго конца с опорной частью электрода.
15. Электрод коллиматора по п. 14, причем подвижный удлиненный держатель имеет сужение (87b-87c) держателя, которое позволяет сгибание соответствующей опорной части электрода относительно тела электрода в радиально-угловой плоскости при предотвращении сгибания соответствующей опорной части электрода относительно тела электрода в осевом направлении.
16. Пакет (70) электродов коллиматора для использования в генераторе (50) пучков заряженных частиц, содержащий
множество электродов (71-80) коллиматора по п. 1, выполненных с возможностью коллимации пучка (54) заряженных частиц,
причем по меньшей мере каждый из первого электрода коллиматора и второго электрода коллиматора снабжены охлаждающим каналом (105) для переноса охлаждающей жидкости (102), причем охлаждающий канал содержит первое отверстие (103) для соединения со структурой (117) для подачи жидкости и второе отверстие (104) для соединения со структурой (118) для выпуска жидкости,
и причем пакет электродов коллиматора содержит соединительный канал (110), выполненный с возможностью устанавливать жидкостное соединение между вторым отверстием первого электрода коллиматора и первым отверстием второго электрода коллиматора.
17. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем тела первого электрода коллиматора и второго электрода коллиматора размещены коаксиально с апертурами электродов, совмещенными вдоль оптической оси (A) пакета электродов коллиматора, и причем второй электрод коллиматора расположен выше по потоку от первого электрода коллиматора при наблюдении вдоль оптической оси.
18. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем соединительный канал сформирован в виде промежуточного трубчатого элемента (110), содержащего первую практически прямую часть (111), обращенную от первого отверстия, вторую практически прямую часть (112), обращенную от второго отверстия, и в целом искривленную часть (113), соединяющую первую прямую часть со второй прямой частью.
19. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем по меньшей мере часть соединительного канала изготовлена из электроизоляционного материала, предпочтительно из оксида алюминия.
20. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем соединительный канал снабжен по меньшей мере одной сильфонной структурой(114), которая выполнена с возможностью компенсации дифференциальных температурных деформаций между первым электродом коллиматора и вторым электродом коллиматора.
21. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем охлаждающая жидкость является ультрачистой водой или маслом с низкой электропроводностью.
22. Пакет электродов коллиматора по п. 16, причем электроды коллиматора взаимно смещены посредством дистанцирующих структур (89), изготовленных из электроизоляционного материала.
23. Пакет электродов коллиматора по п. 22, причем дистанцирующие структуры обеспечивают межэлектродное разнесение (Hd) между электродами коллиматора вдоль осевого направления.
24. Генератор (50) пучков заряженных частиц для использования в системе (10) литографии пучками заряженных частиц, содержащий
источник (52) заряженных частиц для генерирования пучка (54) заряженных частиц, и
пакет (70) электродов коллиматора по п. 16.
25. Система (10) литографии пучками заряженных частиц для воздействия на целевой объект (31), содержащая:
генератор (50) пучков заряженных частиц для генерации пучка (54) заряженных частиц по п. 24;
апертурную матрицу (58) для формирования множества
элементарных пучков из пучка заряженных частиц, и
проектор (66) элементарных пучков для проецирования элементарных пучков на поверхность целевого объекта.
26. Система (10) литографии пучками заряженных частиц по п. 25, дополнительно содержащая модулятор (56, 60) элементарных пучков для формирования рисунка элементарных пучков, чтобы формировать модулированные элементарные пучки, причем проектор элементарных пучков выполнен с возможностью проецирования модулированных элементарных пучков на поверхность целевого объекта.
27. Система литографии пучками заряженных частиц по п. 25, содержащая структуру (117) для подачи жидкости, чтобы переносить охлаждающую жидкость из насоса (116) для охлаждающей жидкости к коллиматорной системе, и структуру (118) для выпуска жидкости, чтобы переносить охлаждающую жидкость из коллиматорной системы обратно в насос для охлаждающей жидкости.
28. Система литографии пучками заряженных частиц по п. 27, содержащая насос для охлаждающей жидкости, соединенный с по меньшей мере одной из структуры для подачи жидкости и структуры для выпуска жидкости, причем насос для охлаждающей жидкости выполнен с возможностью рециркуляции охлаждающей жидкости из структуры для выпуска жидкости к структуре для подачи жидкости в замкнутом контуре, и причем система литографии пучками заряженных частиц выполнена с возможностью удаления тепловой энергии из охлаждающей жидкости, исходящей из структуры для выпуска жидкости, посредством блока теплообменника.
29. Система литографии пучками заряженных частиц по п. 28, содержащая конструкцию фильтров, выполненную с возможностью удаления электропроводящих частиц из рециркулирующей охлаждающей жидкости (102) в ходе работы.