ДАТЧИК ИЗЛУЧЕНИЯ С ЗАЩИТОЙ ОТ ЗАСВЕТКИ

1. Датчик излучения, содержащий множество пикселей (600), сформированных в и на полупроводниковой подложке (101), причем каждый пиксель содержит микроплату (103), подвешенную над подложкой (101) на теплоизоляционных лапках (105a, 105b), при этом микроплата (103) содержит в порядке, начиная с верхней поверхности подложки (101):
проводящий слой (601), выполненный с возможностью преобразования падающего электромагнитного излучения в тепловую энергию;
пассивный оптический затвор, содержащий термочувствительный слой (605), покрывающий одну из поверхностей проводящего слоя (601), причем термочувствительный слой (605) термически связан с проводящим слоем (601) и имеет коэффициент отражения для обнаруживаемого излучения, увеличивающийся в зависимости от его температуры; и
термистор (603), покрывающий противоположную проводящему слою (601) поверхность термочувствительного слоя (605).
2. Датчик по п.1, в котором расстояние между проводящим слоем (601) и термочувствительным слоем (605) составляет меньше 20 нм.
3. Датчик по п.1 или 2, в котором проводящий слой (601) находится в контакте с термочувствительным слоем (605).
4. Датчик по любому из пп.1–3, в котором толщина термочувствительного слоя (605) составляет между 20 и 60 нм.
5. Датчик по любому из пп.1–4, в котором проводящий слой (601) разделен на первый (601–a) и второй (601–b) отдельные участки изолирующей канавкой (705).
6. Датчик по п.5, в котором площадь поверхности первого участка (601–a) больше, чем площадь поверхности второго участка (601–b).
7. Датчик по любому из пп.1–6, в котором термочувствительный слой (605) выполнен из материала с фазовым переходом.
8. Датчик по п.7, в котором термочувствительный слой (605) выполнен из оксида металла, имеющего изолирующую фазу, прозрачную для обнаруживаемого излучения, и металлическую фазу, отражающую для обнаруживаемого излучения.
9. Датчик по п.8, в котором термочувствительный слой (605) выполнен из оксида ванадия или оксида титана.
2
10. Датчик по п.7, в котором термочувствительный слой (605) выполнен из AgS или из FeS.
11. Датчик по любому из пп.6–10, в котором термочувствительный слой (605) имеет температуру перехода между 60 и 180°C.
12. Датчик по любому из пп.1–11, в котором каждый пиксель (600) дополнительно содержит схему (102) считывания для считывания значения термистора (603) пикселя.
13. Датчик по любому из пп.1–12, в котором в каждом пикселе (600) проводящий слой (601) выполнен из материала, поглощающего обнаруживаемое излучение.
14. Датчик по любому из пп.1–13, в котором в каждом пикселе (600) проводящий слой (601) представляет собой металлический слой.
15. Датчик по любому из пп.1–14, в котором в каждом пикселе (600) проводящий слой (601) выполнен из нитрида титана.
16. Датчик по любому из пп.1–15, в котором в каждом пикселе (600) теплоизоляционные лапки (105a, 105b) лежат на вертикальных электросоединительных столбиках (107a, 107b).
17. Датчик по любому из пп.1–16, в котором в каждом пикселе (600) микроплата (103) и теплоизоляционные лапки (105a, 105b) расположены в полости (113), закрытой прозрачной для обнаруживаемого излучения крышкой (111).
18. Датчик по п.17, в котором в каждом пикселе (600) прозрачная крышка (111) герметично закрывает полость (113), и полость (113) находится под давлением, которое ниже атмосферного давления.