ИНТЕГРАЛЬНАЯ СТРУКТУРА ВЫПРЯМИТЕЛЯ-МОДУЛЯТОРА ДЛЯ РАДИОЧАСТОТНЫХ ИДЕНТИФИКАТОРОВ СВЧ-ДИАПАЗОНА

1. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона, содержащая первый вывод (1), связанный с внешней антенной, катодом первого диода Шоттки (2) и анодом второго диода Шоттки (3), анод первого диода Шоттки (2) связан с общей шиной земли (5), катод второго диода Шоттки (3) связан со стоками первого и второго МОП транзисторов (6) и (7), анодом диода (10), являющимся стоком p-канального МОП-транзистора (7), и верхней обкладкой первого конденсатора (11), второй вывод (4) являющийся входом модулятора, связан с внешним управляющим устройством и с затворами МОП-транзисторов (6) и (7), исток n-канального МОП-транзистора (6) связан с шиной земли (5), исток p-канального МОП-транзистора (7) и анод диода (10) подключены к шине положительного питания Vcc (8), третий вывод (12) связан с внешней антенной, нижней обкладкой первого конденсатора (11) и верхней обкладкой второго конденсатора (13), нижняя обкладка второго конденсатора (13) связана с шиной земли (5), между шинами положительного питания (8) и земли (5) включен третий накопительный конденсатор (9), отличающаяся тем, что, с целью обеспечения функции выпрямления, умножения и модуляции СВЧ-сигнала, поступающего на выводы антенны, первый и второй диоды Шоттки выполнены на силициде платины (фиг.1, элементы 2 и 3), первый и второй поликремниевые конденсаторы выполнены в виде двух поликремниевых обкладок с диэлектриком между слоями поликремния (фиг.1, элементы 11 и 13), а стоковый р-n переход p-канального МОП транзистора (фиг.1, элементы 7 и 10) связан с третьим конденсатором (фиг.1, элемент 9) и выполняет дополнительную функцию передачи выпрямленного напряжения в упомянутый конденсатор.
2. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что барьерные емкости p-n переходов диодов Шоттки (2, 3) на силициде платины составляют менее 0,1 пФ.
3. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что площадь контакта катода диодов Шоттки из силицида платины составляет менее 6 мкм2.
3
4
4. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что комбинированный диэлектрик между слоями поликремния выполнен из подслоя двуокиси кремния (SiO2) и нитрида кремния (SiN).
3
4
5. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что подслой двуокиси кремния (SiO2) комбинированного диэлектрика между слоями поликремния имеет толщину порядка 60÷100 Ă, а толщина слоя нитрида кремния (SiN) - 250 Ă.
6. Интегральная структура выпрямителя-модулятора для радиочастотных идентификаторов СВЧ-диапазона по п.1, отличающаяся тем, что третий конденсатор имеет емкость более 500 пФ.