ИСТОЧНИК РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

1. Источник рентгеновского излучения, включающий одну или множество ячеек, каждая из которых является источником рентгеновского излучения и содержит автокатод, антикатод, окно, рабочий - вакуумированный или газонаполненный - объем, средства формирования электронных потоков и систему питания ячеек, отличающийся тем, что автокатод выполнен из проводникового, полупроводникового или комбинированного, в том числе многослойного или композитного, материала в виде или тонкого - менее 0,5 мм - слоя с круглым отверстием, или в виде слоя с круглым отверстием и с заостренной внутренней кромкой, а антикатод (анод) выполнен симметричным относительно оси отверстия в виде фигуры вращения и имеет радиус меньше радиуса отверстия.
2. Источник по п. 1, отличающийся тем, что средства формирования электронных потоков выполнены в виде расположенных с одной или с двух сторон автокатода параллельно плоскости катода одного или нескольких управляющих электродов из слоев проводника или полупроводника той же формы в плане, что и автокатод, с отверстиями такого же, как у автокатода, или отличающегося диаметра, причем управляющие электроды выполнены так, чтобы исключить холодную эмиссию с них в рабочих режимах источника, и с возможностью задания их электрических потенциалов относительно катода и других электродов.
3. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод выполнен из кремния с включениями или покрытием из иного проводящего материала или без включений и покрытия.
4. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод в области, совпадающей с плоскостью автокатода и в смежной с ней области, в которой его поверхность облучается электронами, имеет диаметр поперечного сечения много меньший, чем диаметр отверстия в автокатоде.
5. Источник по п. 1, отличающийся тем, что антикатод выполнен в виде конуса, направленного вершиной к окну, и расположен так, что пересекает плоскость отверстия катода, его ось совпадает с осью отверстия автокатода, а угол при вершине выполнен в пределах 1 - 120°.
6. Источник по п. 5, отличающийся тем, что антикатод выполнен в виде конуса с углом при вершине α=π/2 рад.
7. Источник по любому из пп. 1-5, отличающийся тем, что включает множество ячеек, выполненных в интегральном исполнении, окно каждой ячейки выполнено в виде мембраны, отделяющей внешнюю среду от рабочего - вакуумированного или газонаполненного - объема, а система питания ячеек выполнена с возможностью включения ячеек и управления ими в заданной последовательности или/и в заданных сочетаниях.