СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ МНОГООСТРИЙНОГО АВТОЭМИССИОННОГО КАТОДА НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

1. Способ изготовления матрицы многоострийного автоэмиссионного катода в виде композиционной наноалмазографитовой пленки, синтезированной в плазме микроволнового газового разряда паров углеводородных веществ, например, этанола в диапазоне давлений от 0,05 до 0,08 Па и температуре подложки от 200 до 350°С, отличающийся тем, что пленки осаждают толщиной от 1 до 1,5 нм на поверхность пластин монокристаллического кремния, которые подвергают высокотемпературному отжигу с последующим высокоанизотропным травлением на определенную глубину, которая зависит от температуры пластины в процессе осаждения углеродной пленки.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для увеличения поверхностной плотности столбчатых эмиссионных центров синтез композиционной наноалмазографитовой пленки на пластинах монокристаллического кремния проводят при более высоких температурах.