ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ ПЛОСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

1. Голографический интерферометр для измерения деформаций плоской поверхности элементов твердотельной электроники, содержащий источник излучения с коллиматором, объектив, исследуемый объект, фотопластину и промежуточную оптическую среду, размещенную между фотопластиной и исследуемым объектом, отличающийся тем, что промежуточная оптическая среда выполнена в виде периодической структуры из выступов и впадин.
2. Голографический интерферометр по п.1, отличающийся тем, что структура из выступов и впадин выполнена с периодом от 200 до 5000 мкм.
3. Голографический интерферометр по п.1, отличающийся тем, что отношение размера стороны выступа к величине периода составляет 1:10.