СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАНОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ НА ЛОПАТКАХ ТУРБОМАШИН ИЗ ЛЕГИРОВАННЫХ СТАЛЕЙ

1. Способ получения ионно-плазменного нанослойного покрытия на лопатках турбомашин из легированных сталей, включающий ионно-имплантационную обработку поверхности основного материала лопатки с последующим чередующимся нанесением на нее слоев металлов и соединений этих металлов с другими металлическими и неметаллическими материалами, отличающийся тем, что после ионно-имплантационной обработки поверхности основного материала лопатки вначале на ее поверхность наносят слой металла толщиной от 10 до 30 нм, затем производят имплантационную обработку этого слоя ионами других металлических и неметаллических материалов до получения сплошного внедренного в поверхность слоя толщиной от 1 до 9 нм, а затем повторяют чередующееся нанесение слоев металла толщиной от 10 до 30 нм с последующей имплантацией ионов на глубину от 1 нм до 9 нм после каждого нанесения металлического слоя, причем в качестве металлов используют Ti, Zr, Hf, Cr, V, Nb, Та, Mo, W, Al, La, Eu или их соединения, а в качестве имплантируемых ионов других металлических и неметаллических материалов Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их сочетание, при условии разнородности металлов, наносимых в качестве слоя и металлов, имплантируемых в этот слой.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что после имплантаци ионов проводят постимплантационный отпуск, причем постимплантационный отпуск и нанесение нанослойного покрытия проводят в одном вакуумном объеме за один технологический цикл.
10
20
3. Способ по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят при энергии ионов 0,2-50 КэВ и дозе имплантации ионов 10 до 5·10
2
ион/см, но не превышающей начало распыления материала слоя.
4. Способ по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что ионную имплантацию производят в импульсном режиме.
5. Способ по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что ионную имплантацию производят в непрерывном режиме.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что ионную имплантацию производят в импульсном режиме.
7. Способ по п.3, отличающийся тем, что ионную имплантацию производят в непрерывном режиме.
8. Способ по любому из пп.1-2, 6 или 7, отличающийся тем, что наносят слои из металлов суммарной толщиной от 10-90% от общей толщины покрытия, а общая толщина покрытия составляет от 1,2 до 30 мкм.
9. Способ по п.3, отличающийся тем, что наносят слои из металлов суммарной толщиной от 10-90% от общей толщины покрытия, а общая толщина покрытия составляет от 1,2 до 30 мкм.
10. Способ по п.4, отличающийся тем, что наносят слои из металлов суммарной толщиной от 10-90% от общей толщины покрытия, а общая толщина покрытия составляет от 1,2 до 30 мкм.
11. Способ по п.5, отличающийся тем, что наносят слои из металлов суммарной толщиной от 10-90% от общей толщины покрытия, а общая толщина покрытия составляет от 1,2 до 30 мкм.
12. Способ по любому из пп.1-2, 6, 7, 9-11, отличающийся тем, что покрытие наносят только на перо лопатки.
13. Способ по любому из пп.1-2, 6, 7, 9-11, отличающийся тем, что покрытие наносят на хвостовик и перо лопатки.
14. Способ по п.3, отличающийся тем, что покрытие наносят только на перо лопатки.
15. Способ по п.4, отличающийся тем, что покрытие наносят только на перо лопатки.
16. Способ по п.5, отличающийся тем, что покрытие наносят только на перо лопатки.
17. Способ по п.8, отличающийся тем, что покрытие наносят только на перо лопатки.
18. Способ по п.3, отличающийся тем, что покрытие наносят на хвостовик и перо лопатки.
19. Способ по п.4, отличающийся тем, что покрытие наносят на хвостовик и перо лопатки.
20. Способ по п.5, отличающийся тем, что покрытие наносят на хвостовик и перо лопатки.