Прецизионный способ создания диодов с меза-структурой

Способ создания диодов с меза-структурой, включающий формирование полупроводниковой меза-структуры, отличающийся тем, что меза-структура изготовлена в виде двойной мезы - предварительной и основной, при этом предварительная меза заведомо большего размера формируется перед формированием основной мезы, а основная меза формируется после измерения емкости предварительной меза-структуры и выбора необходимого размера мезы в соответствии с этим измерением.