РАСПЫЛЯЕМЫЕ МИШЕНИ, ИЗГОТОВЛЕННЫЕ СПОСОБОМ ХОЛОДНОГО ПРЕССОВАНИЯ

1. Распыляемая мишень с распыляемым материалом, состоящим из сплава или смеси материалов из, по меньшей мере, двух компонентов, причем оба компонента находятся в термодинамически неравновесном состоянии, отличающаяся тем, что компоненты уплотнены посредством изостатического или униаксиального холодного прессования.
2. Распыляемая мишень по п.1, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет твердость меньше 100 МПа по Бринеллю, причем этот компонент составляет, по меньшей мере, 20 об.% всей смеси порошков.
3. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов присутствует в виде порошка.
4. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что компоненты состоят из металлов или сплавов или из смеси металла или сплава с керамическим материалом.
5. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из, по меньшей мере, одного металла из группы индия, олова или висмута или из сплава на основе этих металлов.
6. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов состоит из индия или из сплава на основе индия.
7. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов имеет чистоту металла более 99,9%.
8. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал состоит из компонентов
индий или сплав на основе индия,
медь или сплав на основе меди.
9. Распыляемая мишень по любому из пп.1 или 2, отличающаяся тем, что распыляемый материал расположен на подложке или на несущей трубке со сплошным замыканием.
10. Способ изготовления распыляемой мишени по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что компоненты подвергают уплотнению посредством изостатического или униаксиального способа холодного прессования.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что компоненты после холодного прессования не подвергают термической обработке.
12. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов распыляемого материала напрессовывают на металлическую подложку и образуют связь со сплошным замыканием между распыляемым материалом и подложкой.
13. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из компонентов распыляемого материала спрессовывают в пластину мишени путем аксиального прессования и эту пластину мишени отдельно от процесса прессования наклеивают или напаивают на подложку.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что температура процесса склеивания или пайки ниже, чем самая низкая температура плавления компонентов.
15. Способ по любому из пп.10 или 11, отличающийся тем, что компоненты напрессовывают на несущую рубку посредством изостатического прессования и образуется связь со сплошным замыканием между распыляемым материалом и несущей трубкой.