МИКРОИГЛА СО МНОЖЕСТВОМ КАНАЛОВ

1. Микроигла (4), включающая острый кончик (31), удлиненный корпус (32) и головку (36), содержащую по меньшей мере два параллельных независимых просвета (5,6), где каждый из просветов (5,6) сообщается с находящимся на удаленном конце боковым отверстием (7,8) головки (36); при этом отверстия (7,8) по существу ориентированы в направлении, которое перпендикулярно основному направлению просветов (5,6), и при этом удаленный верхний кончик (33,34) просвета (5,6) находится в головке (36) микроиглы.
2. Микроигла (4) по п.1, в которой каждый просвет (5,6) соединен с отдельным резервуаром (23-25).
3. Микроигла (4) по п.1, в которой диаметр кончика (31) составляет менее 1 мкм.
4. Микроигла (4) по п.1, в которой удлиненный корпус (32) и головка (36) имеют круглую форму внешнего периметра поперечного сечения.
5. Микроигла (4) по п.1, в которой удлиненный корпус (32) и головка (36) имеют многогранную форму внешнего периметра поперечного сечения.
6. Микроигла (4) по п.1, в которой внешний периметр поперечного сечения головки (36) микроиглы (4) меньше внешнего периметра поперечного сечения удлиненного корпуса (32).
7. Микроигла (4) по п.1, представляющая собой кремниевую иглу исходящего из плоскости типа и включающая основание (17).
8. Комплект микроигл (4) по любому из предшествующих пунктов, зафиксированных на одной подложке.
9. Микроигла с множеством каналов по любому из пп.1-7, получаемая способом, включающим один этап изотропного травления и один этап анизотропного травления.
10. Микроигла с множеством каналов по п.9, отличающаяся тем, что способ включает три этапа изотропного травления и два этапа анизотропного травления.
11. Способ получения микроиглы с множеством каналов по любому из пп.1-7, включающий три этапа изотропного травления и два этапа анизотропного травления
12. Способ по п.11, в котором последний этап представляет собой изотропное травление.