СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ОТСОЕДИНЕННЫХ ОТ ВАКУУМНОГО ПОСТА МОНОБЛОЧНЫХ ГАЗОВЫХ ЛАЗЕРОВ МЕТОДОМ ЭМИССИОННОГО СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА

1. Способ контроля герметичности отсоединенных от вакуумного поста моноблочных газовых лазеров методом эмиссионного спектрального анализа, включающий использование для оценки герметичности пробного газа выбор аналитических пар спектральных линий пробного и рабочего газов для оценки концентрации пробного газа, построение калибровочной зависимости относительной интенсивности выбранной аналитической пары от концентрации пробного газа, регистрацию спектра излучения тлеющего разряда контролируемого лазера, определение по калибровочной зависимости концентрации пробного газа, создание замкнутого объема вокруг контролируемой оболочки лазера, заполнение указанного замкнутого объема пробным газом, накопление в контролируемом лазере пробного газа, регистрацию линий пробного газа в спектре излучения тлеющего разряда после хранения в среде пробного газа, определение по калибровочной зависимости концентрации пробного газа и оценку герметичности изделия по разности измеренных концентраций пробных газов до и после контрольного времени хранения, отличающийся тем, что в качестве пробного используют газ, не являющийся рабочим газом для данного лазера или типичным примесным газом и имеющий в выбранной спектральной области линии, не перекрывающиеся линиями основных газов или молекулярных полос типичных примесных газов, обладающие высокой интенсивностью при низких концентрациях пробного газа.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для контроля герметичности используют два пробных газа, причем с помощью специальной оснастки формируют вокруг контролируемого изделия два замкнутых объема, разделяющие паяные соединения элементов моноблочных газовых лазеров и соединения способом оптического контакта, заполняют эти объемы разными пробными газами, определяют поток натекания по каждому газу.