СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КОНСТАНТЫ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СВЯЗИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СЛОЯ

1
Способ измерения константы электромеханической связи пьезоэлектрического материала K, выполненного в виде тонких пьезоэлектрических слоев или пленок, входящих в состав резонаторной структуры, заключающийся в том, что измеряют частотную зависимость модуля импеданса, производят измерение разности между частотами резонанса и антирезонанса Δ(n), отличающийся тем, что дополнительно измеряют частотную зависимость мнимой части импеданса резонатора и находят разность частот экстремумов Δ(n) и вычисляют K по формуле
,
где
1
l
t
n
Δ - разность между частотами антирезонанса и резонанса, Δ - разность между частотами экстремумов на частотных зависимостях мнимой части импеданса, l и t - соответственно толщины слоев - пленки и электродов, ν ν - скорости акустических волн в этих слоях - известные для данного резонатора параметры, ω - частота обертона с номером n.