УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ ИОННЫМ ПУЧКОМ

1. Ионная пушка, содержащая источник ионов, размещенный в резервуаре, и устройство ограничения размера ионного пучка, отличающаяся тем, что в качестве устройства для ограничения размера ионного пучка выступает углеродная нанотрубка в аморфной оболочке с диаметром внутреннего канала 0,5-5 нм и внешним диаметром 50-500 нм.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве резервуара источника ионов оно содержит резервуар, выполненный в кремниевой пластине, содержащей отверстия для ввода и вывода материала, при этом отверстие для ввода материала выполнено с возможностью его герметизации после ввода материала, а отверстие для выхода материала сопряжено с внутренним каналом одностенной углеродной нанотрубки в аморфной оболочке.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что источник ионов установлен с возможностью перемещения для позиционирования ионного пучка.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно выполнено с возможностью подвода тепловой энергии или приложения электрического поля для осуществления транспорта ионов через внутренний канал углеродной нанотрубки.