УСТРОЙСТВО ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ НАПЫЛИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКОЙ

УСТРОЙСТВО для УПРАВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ НАПЫЛИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКОЙ
Нредлагаемое устройство относится к средствам нанесения покрытий на рулонные пленочные материалы методом электроннолучевого напыления и может быть использовано в машиностроении и приборостроении для управления толщиной нанесенного на рулонные пленочные материалы покрытия.
Известно устройство для нанесения покрытий методом электронно-лучевого напыления в вакууме (патент РФ № 2014364, 1994.06.15,С23С14/00).
Известное устройство не обеспечивает равномерной толщины покрытия в переходных режимах работы электронной пушки.
Известно устройство (Электронно-лучевая установка для нанесения покрытий в вакууме, Авт.: А.В.Горин, А.Л. Емельянов, Д.Г. Юдин, А.В. Водолажский , В.П. Свечкин , Труды постоянно действующего научно-технического семинара Электровакуумная техника и технология. Под ред. А.В.Горина. М.: 1999, с.86.), состоящее из источника питания электронной пушки, вакуумной камеры, в которой размещена электронная пушка, испаряемая мишень и ведущий барабан, протягивающий пленку, на которую наносится покрытие. Барабан соединен с расположенным вне камеры редуктором, входной вал которого соединен с валом электродвигателя. Управление электродвигателем осуществляется от преобразователя.
Известное устройство не обеспечивает равномерной толщины наносимого на рулонный материал покрытия при изменении мощности электронной пушки.
Техническая задача, решаемая полезной моделью состоит в том, что для обеспечения равномнерной толщины наносимого покрытия в установке для нанесения покрытия на движущийся рулонный материал скорость перемещения пленки изменяют пропорционально изменению мощности электронной пушки.
Поставленная техническая задача решается тем, что в известное устройство, содержащее источник питания электронной пушки, вакуумную камеру, в которой размещена электронная пушка, испаряемая мишень и протягивающий пленку ведущий барабан, соединенный с расположенным вне камеры редуктором, входной вал которого связан с валом электродвигателя, подключенного к выходу преобразователя, снабженного входом управления, согласно полезной модели, введен датчик интенсивности испарения мишени и инерционное корректирующее звено, выход которого подключен ко входу управления преобразователя, а вход - к выходу датчика интенсивности испарения мишени.
Кроме того, поставленная техническая задача решается также тем, что в известном устройстве, содержащем источник питания электронной пушки, вакуумную камеру, в которой размещена электронная пушка, испаряемая мишень и протягивающий пленку ведущий барабан, соединенный с расположенным вне камеры редуктором, входной вал которого связан с валом электродвигателя, подключенного к выходу преобразователя, снабженного входом управления, инерционным корректирующим звеном, выход
которого подключен ко входу задания скорости преобразователя, согласно изобретению, дополнительно датчик интенсивности испарения мишени выполнен в виде блока умножения и датчиков тока и напряжения электронной пушки, подключенных выходами ко входам блока умножения, соединенного своим выходом со входом инерционного корректирующего звена.
Предлагаемоеустройствосхематичнопредставлено
функциональной схемой, приведенной на рисунке.
Устройство содержит вакуумную камеру 1, электронную пушку 2, испаряемую мишень 3 и барабан 4, протягивающий пленку (на чертеже пленка не показана). Барабан 4 соединен с расположенным вне камеры 1 редуктором 5, входной вал которого соединен с валом электродвигателя 6, подключенного к выходу преобразователя 7, в качестве которого может быть использован преобразователь постоянного тока для аналогичного двигателя или преобразователь частоты для асинхронного электродвигателя. Вход управления (задания скорости Шз) преобразователя 7 соединен с выходом инерционного корректирующего звена 8. Электронная пушка 2подключена к источнику питания 9. В устройстве
предусмотрен датчик интенсивности испарения мишени 10 (обозначен на фиг. 1 штриховой линией), подключенный своим выходом ко входу инерционного корректирующего звена 8.
Датчик интенсивности испарения мишени 10 может быть выполнен, например в виде датчика тока 11, потребляемого электронной пушкой 2 и датчика 12 напряжения на электронной пушке 2. Датчик тока 11 входом подключен к выходу источника питания 9, а датчик напряжения 12 входом подсоединен ко входу электронной пушки 2. Выходы указанных датчиков подключены ко
входам блока умножения 13. соединенного выходом со входом инерционного корректирующего звена 8. Возможно и иное выполнение датчика интенсивности испарения мишени, что, однако, не изменяет существа изобретения.
Устройство работает следующим образом.
В установившемся режиме, когда электронная пушка 2 потребляет заданную мощность и скорость испарения мишени 3 постоянна, барабан 4 вращается также с постоянной скоростью сОб, определяемой заданным значением скорости соз, вырабатываемым на выходе корректирующего звена 8 по сигналу обратной связи, поступающему от датчика интенсивности 10.
Постоянная скорость вращения барабана (Об  const в сочетании с постоянной скоростью испарения мишени обеспечивают равномерное нанесение покрытия на перематываемую пленку (одинаковую толщину наносимого покрытия по всей площади пленки). При изменении мощности, потребляемой электронной пушкой 2, что может происходить в переходных режимах работы установки или, например, при кратковременных электрических пробоях электронной пушки, скорость испарения мишени и, следовательно, толщина наносимого на пленку слоя, при постоянной скорости вращения барабана (перемотки пленки) будет изменяться, что приведет к браку.
Введение в систему управления перемоткой пленки датчика интенсивности испарения мишени 10 и корректирующего звена 8, подключенного ко входу преобразователя 7, позволяет изменять скорость вращения барабана и, следовательно, скорость перемотки пленки при изменении скорости испарения мишени. При снижении мощности, потребляемой электронной пушкой 2, и, следовательно.
скорости испарения мишени, уменьшается сигнал задания скорости, что приводит к снижению скорости вращения барабана (скорости перемотки пленки), сохраняя неизменной толщину наносимого на пленку слоя. Увеличение мощности, потребляемой испарителем, приводит к увеличению скорости барабана, т.е. уменьшает время нахождения пленки в парах испаряемой мишени, что обеспечивает неизменность заданной толпщны покрытия.
Процессы испарения мишени инерционны, поэтому изменение скорости вращения барабана должно осуществляться с замедлением, которое достигается введением в систему корректирзтощего инерционного звена 8.