САМООХЛАЖДАЕМЫЙ АВТОНОМНЫЙ НАНОПРИБОР И СПОСОБ ЕГО ФОРМИРОВАНИЯ

-1
8
8
2
Способ формирования самоохлаждаемого автономного наноприбора, заключающийся в том, что на подложке из монокристаллического материала, с сформированным с одной стороны СКВИД-приемником, на обратной стороне размещают устройство для поглощения тепла, которое содержит катод и анод, имеющие различную энергию Ферми электронов, затем подложку через отверстие для монтажа заключают в вакуумную оболочку из ситалла, содержащую контактные электроды для двух сторон подложки, после этого отверстие для монтажа подложки закрывают крышкой из ситалла, размещают данное устройство в вакуумной камере, в которой располагают также мишень из ситалла, откачивают до давления 10 Па, нагревают мишень и крышку из ситалла до температуры 450÷500°C, затем лазером длиной волны 1,06 мкм, длительностью импульса 10-20 нс и частотой повторения импульсов 10 Гц, плотностью мощности 5·10÷8·10 Вт/см распыляют мишень из ситалла, находящуюся на расстоянии 8÷10 мм от крышки из ситалла в течение времени 10 минут.