СПОСОБ ОЧИСТКИ ОТХОДЯЩИХ ГАЗОВ ОТ СИЛАНА

1. Способ очистки отходящих газов от силана, включающий его взаимодействие с кислородом воздуха с образованием твердого диоксида кремния, с последующим отделением диоксида кремния фильтрацией, отличающийся тем, что отходящие газы, содержащие силан, смешивают с воздухом, и взаимодействие проводят в реакторе типа «туннельная горелка», причем время пребывания газов в реакторе от 1 до 10 с, объемное соотношение силан:кислород от 1:2 до 1:10.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для полной конверсии силана подаваемый в реактор воздух и отходящие газы перед взаимодействием предварительно подогревают до температуры 150-350°С.
3. Способ по любому из пп.1 или 2, отличающийся тем, что реактор снабжен рубашкой охлаждения, в которую подают теплоноситель с температурой 20-150°С.