УСТРОЙСТВО ИСПОЛНИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА И СПОСОБ УСТАНОВКИ ПОЛОЖЕНИЯ ЛИНЕЙНО ПОДВИЖНОГО ЭЛЕМЕНТА

1. Устройство (10) исполнительного элемента для формирования линейного перемещения, содержащее гидравлический исполнительный элемент (12), который содержит первый поршневой элемент (14) для приведения в действие исполнительного элемента и второй поршневой элемент (18) для создания линейного перемещения, с которыми соотнесены соответствующие гидравлически связанные рабочие камеры (16, 20), объемы которых могут изменяться из-за перемещения соответствующего поршневого элемента (14, 18),
причем предусмотрен пьезоэлектрический исполнительный элемент (36) для приложения силы к первому поршневому элементу (14),
и причем соответствующие рабочие камеры (16, 20) соединены через два противоходно ориентированных обратных клапана (24, 28),
отличающееся тем, что
оба обратных клапана (24, 28) имеют различные усилия отпирания.
2. Устройство (10) исполнительного элемента по п. 1, отличающееся тем, что
рабочая камера (16) первого поршневого элемента (14) через дроссельный элемент (32) связана с резервуаром (34) для рабочего флюида гидравлического исполнительного элемента (12).
3. Устройство (10) исполнительного элемента по п. 1 или 2, отличающееся тем, что
рабочие камеры (16, 20) образованы соответствующими
цилиндрами, в которых установлены поршни (14, 18) с возможностью перемещения.
4. Устройство (10) исполнительного элемента по п. 1 или 2, отличающееся тем, что
рабочие камеры (16, 20) образованы соответствующими сильфонами (54, 56).
5. Способ установки положения линейно перемещаемого элемента, при котором посредством пьезоэлектрического исполнительного элемента (36) к первому поршневому элементу (14) прикладывают силу, причем за счет приложения силы изменяют объем рабочей камеры (16), ассоциированной с первым поршневым элементом (14), и передают приложенную силу на второй поршневой элемент (18), рабочая камера (20) которого гидравлически связана с первой рабочей камерой (16),
отличающийся тем, что
для выполнения перемещения в заданном направлении, пьезоэлектрический исполнительный элемент (36) на первой фазе перемещения так быстро перемещается в заданном направлении, что созданное посредством перемещения давление в первой рабочей камере (16) преодолевает силу запирания обратного клапана (24, 28), гидравлически соединяющего рабочие камеры (16, 20) в направлении перемещения,
причем на второй фазе перемещения пьезоэлектрический исполнительный элемент (36) так медленно перемещается против заданного направления, что созданное посредством перемещения давление в первой рабочей камере (16) не преодолевает силу запирания обратного клапана (24, 28), гидравлически соединяющего
рабочие камеры (16, 20) противоположно направлению перемещения.
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что
в течение второй фазы перемещения, для компенсации изменения объема в первой рабочей камере (16), рабочий флюид перетекает между первой рабочей камерой (16) и резервуаром (34) через дроссельный элемент (32).
7. Способ по п. 5 или 6, отличающийся тем, что
первую и вторую фазы перемещения повторяют чередующимся образом, пока второй поршневой элемент (18) не окажется в заданном номинальном положении.