УСТАНОВКА ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

1. Установка ионно-плазменной обработки изделий, содержащая рабочую камеру с источником ионов (имплантером), причем рабочая камера имеет три зоны: две реверсивные и посередине активную; шлюзовую камеру; вакуумный затвор; систему вакуумирования, систему прогрева и охлаждения рабочей и шлюзовых камер, пневмосистему, систему управления и систему электропитания, отличающаяся тем, что она (установка) содержит систему позиционирования обрабатываемых изделий, состоящую из механизма перемещения рабочего стола, который может перемещаться по направляющим рабочей и шлюзовой камер; каретки с тросовым приводом перемещения, механизмом зацепления и механизмом расцепления каретки с рабочим столом, при этом тросовый привод перемещения состоит из барабана для намотки троса, направляющих блоков, вала, на котором барабан закреплен стяжными хомутами в положении, обеспечивающим наименьшее отклонение ветвей троса при его перематывании, причем вал барабана закреплен в двух радиально-сферических подшипниках, расположенных вне вакуумной зоны, с реверсивным электромеханическим приводом, обеспечивающим возвратно-поступательное движение рабочего стола, на котором расположены несколько вертикальных шпинделей со звездочками, соединенными между собой замкнутой цепью, а один из шпинделей с нижней стороны рабочего стола оснащен звездочкой или шестерней, которая при движении стола катится по закрепленной на основании рабочей камеры рейке, на которой расположена цепь или соответственно зубчатая рейка и вращает вертикальные шпиндели стола, в посадочные отверстия, которых устанавливают легкосъемные поводки, на которые устанавливают малые шпиндели, которые при вращении вертикальных шпинделей катятся своим шкивом по поверхности стола и вращаются вместе с установленными на них изделиями вокруг собственной оси, наклоненной под углом к поверхности стола.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что шлюзовая камера имеет загрузочную дверца при открытии которой, ее (дверцу) поворачивают вокруг двух цапф, расположенных на горизонтальной оси ниже загрузочной дверцы на боковых планках и перемещают их по «С»-образным пазам, причем при открытии-закрытии они (цапфы) расположены в нижних горизонтальных пазах, а при перемещении цапф вверх по вертикальным пазам и переводе их в верхние горизонтальные пазы и закреплении планок-укосин, внутренняя плоскость загрузочной дверцы (в этом положении) становится продолжением плоскости дна шлюзовой камеры, при этом на расположенные на ней направляющие из шлюзовой камеры выкатывают рабочий стол, который после замены обрабатываемых изделий легко перемещают внутрь шлюзовой камеры.
3. Установка по пп.1 и 2, отличающаяся тем, что рабочий стол перемещают кареткой в сторону шлюзовой камеры двумя подпружиненными упорами, а в обратную сторону каретка тянет рабочий стол зацепом, выполненным в виде крюка с наклонной передней гранью, служащей для автоматического зацепления с планкой рабочего стола.
4. Установка по п.1, отличающаяся тем, что механизм расцепления с рабочим столом содержит шатунно-кривошипный механизм с ползуном, который при движении его (ползуна) навстречу каретке отжимает зацеп вниз за его передний скос и он (зацеп) отделяется от рабочего стола верхней пластиной ползуна, а при движении каретки от шлюзовой камеры рабочий стол остается в шлюзовой камере, так как зацеп скользит по внутренней поверхности ползуна и освобождается позади стола вне зоны зацепления с рабочим столом.