МИШЕНЬ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ

1. Мишень для распыления, отличающаяся тем, что содержит вещество (или вещества), вступающее (вступающие) при температуре распыления в экзотермическую реакцию с компонентом (или с компонентами) мишени и/или внешней среды, причем концентрация этого вещества (этих веществ) в мишени такова, что при температуре распыления тепловой эффект экзотермической реакции в зоне распыления меньше интегрального теплоотвода от этой зоны.
2. Мишень по п.1, отличающаяся тем, что содержит оксидный материал или оксидный материал и легирующие и/или вспомогательные примеси, а также содержит углерод в концентрации от 0,1 до 20 ат.%.
3. Мишень по п.2, отличающаяся тем, что оксидным материалом является оксид цинка.