НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам для перемещения изделия.
Известно нанотехнологическое устройство перемещения изделия, содержащее неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе [Патент РФ на ПМ №62752, МПК H01L 41/00, опубл. 27.04.2007, (аналог)].
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство перемещений, содержащее неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе [Патент РФ на ПМ №65299, МПК Н02N 2/00, опубл. 27.07.2007 (прототип)].
Недостатком известных устройств невозможность компенсации линейных перемещений зонда при изменении температуры технологической среды.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить компенсацию перемещений острия зонда при изменении температуры технологической среды.
Поставлена техническая задача решается тем, что, в нанотехнологическом устройстве перемещения, содержащем неподвижную платформу, жестко связанный с ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд с возможностью электрического взаимодействия с подложкой, установленной на подложкодержателе согласно предложенной полезной модели, на торце зонда жестко установлена биметаллическая пластина, на конце которой закреплено острие.
Введение в нанотехнологическое устройство для перемещений биметаллической пластины с закрепленным на ней острием обеспечивает возможность компенсирования линейных перемещений острия зонда при изменении температуры технологической среды.
Сущность полезной модели поясняется на Фиг.1, где показано нанотехнологическое устройство для перемещения изделия.
Нанотехнологическое устройство для перемещений изделия содержит неподвижную платформу 1, жестко связанный с ней пьезопривод 2, на торце 3 которого закреплен зонд 4, с возможностью электрического взаимодействия с подложкой 5, установленной на подложкодержателе 6. С зондом 4 жестко связана биметаллическая пластина 7, на подвижном конце 8 которой закреплено острие 9.
Нанотехнологическое устройство перемещения изделия работает следующим образом.
При подаче рабочего напряжения на пьезопривод 2, вследствие изменения температуры технологической среды возникает тепловое расширение всего устройства в целом. Данный процесс вызывает изменение зазора между острием 9 зонда 4 и подложкой 5, установленной на подложкодержателе 6.
В случае уменьшения температуры - зазор увеличивается, при увеличении температуры - уменьшается. Изменение зазора вызвано как подачей напряжения на нанотехнологическое устройство, так и изменением температуры во время выполнения нанотехнологических операций.
При изменении температуры технологической среды происходит изгиб биметаллической пластины. Таким образом, зазор между острием 9 зонда 4 и подложкой 5, в конечном итоге не изменяется.
Применение предлагаемого нанотехнологического устройства для перемещений позволяет осуществить компенсацию линейных перемещений острия зонда при изменении температуры технологической среды.