ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС

1. Геттерный насос, содержащий корпус (21, 21′; 31), имеющий форму тела вращения с осью (24) вращения, и множество газопоглощающих картриджей (10; 22, 23; 32, 33, 34; 320, 330, 340), установленных внутри корпуса (21, 21′; 31), причем каждый картридж содержит прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) и пространственно разнесенные газопоглощающие элементы (12, 12′,…,12"), установленные на прямолинейном центральном основании (11; 221, 231), при этом плоскость, включающая в себя прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) и параллельная оси (24) вращения, определяет плоскость ориентации газопоглощающего картриджа, а плоскость, ортогональная оси (24) вращения и пересекающая середину прямолинейного центрального основания (11; 221, 231), определяет плоскость (222, 232) позиционирования газопоглощающего картриджа, характеризующийся тем, что углы (α, α′) между упомянутыми плоскостями (222, 232) позиционирования и прямолинейными центральными основаниями (11; 221, 231) менее или равны 30°, предпочтительно, менее или равны 10°.
2. Геттерный насос по п. 1, в котором тело вращения выбрано из группы, содержащей цилиндр, конус и усеченный конус.
3. Геттерный насос по любому из пп. 1 или 2, в котором пространственно разнесенные газопоглощающие элементы (12, 12′, 12′′) изготовлены из металлов или сплавов, содержащих по меньшей мере 30% одного или более таких материалов, как титан, цирконий, иттрий.
4. Геттерный насос по п. 1, в котором прямолинейное центральное основание (11; 221, 231) имеет длину 4-30 см и предпочтительно содержит от 2 до 7 газопоглощающих элементов (12, 12′, 12′′) на см.
5. Геттерный насос по п. 1, в котором корпус (31) закрыт на одном конце основанием, а на противоположном конце - вакуумным фланцем.
6. Геттерный насос по п. 1, в котором корпус (21, 21′; 31) имеет открытый конец.
7. Геттерный насос по п. 1, в котором расстояние между плоскостями позиционирования по меньшей мере двух газопоглощающих картриджей составляет менее 1,5 см, так что они по существу лежат в одной плоскости позиционирования, определяя плоскость компоновочного узла газопоглощающих картриджей.
8. Геттерный насос по п. 7, в котором углы (β, β′, β′′) при вершинах многоугольника, образованного плоскостями ориентации газопоглощающих картриджей, лежащих в одной плоскости компоновочного узла газопоглощающих картриджей, не
превышают 130°, предпочтительно, меньше или равны 90°.
9. Геттерный насос по п. 8, в котором плоскость газопоглощающего компоновочного узла содержит три газопоглощающих картриджа (32, 33, 34), расположенных в треугольной конфигурации.
10. Геттерный насос по п. 8, в котором плоскость газопоглощающего компоновочного узла содержит четыре газопоглощающих картриджа, расположенных в квадратной конфигурации.
11. Геттерный насос по любому из пп. 8-10, в котором линии, соединяющие соседние вершины многоугольника, лежащие в разных плоскостях газопоглощающих компоновочных узлов, формируют совместно с плоскостями компоновочных узлов углы, не превышающие 80°, предпочтительно, менее 60°.
12. Геттерный насос по п. 7, в котором количество плоскостей газопоглощающих компоновочных узлов составляет от 40 до 80 на метр длины корпуса (31) насоса.
13. Применение геттерного насоса по п. 1 в насосной системе, содержащей различные типы вакуумных насосов.
14. Применение геттерного насоса по п. 1 в насосной системе по п. 13, в которой упомянутые вакуумные насосы включают в себя вакуумный насос, выбранный из группы, состоящей из ионно-распылительного насоса, турбомолекулярного насоса, криогенного насоса, насоса с нераспыляемым газопоглотителем.