Статья

Статья

Исследования плазмы

1984. Т. 22. № 1. С. 26–30

Митин Р.В., Валужин B.C.

Пороговый режим емкостного высокочастотного газового разряда

В результате расчетов, основанных на использовании упрощенной теории емкостного ВЧ-разряда, получены формулы, определяющие температуру плазмы, радиус проводящего канала и мощность разряда в пороговом режиме, требующем для своего осуществления минимального значения напряженности электрического ВЧ-поля, возбуждающего разряд. Показано, что основные характеристики пороговых режимов емкостного и индукционного ВЧ-разрядов совпадают.