СТЕРЕОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Стереометрическое устройство для наноперемещения.
Полезная модель относится к области точного машиностроения, а более конкретно к стереометрическим устройствам для наноперемещений.
Известно стереометрическое устройство для нанонеремещений Авторское свидетельство СССР №1713065, МГЖ Н02 N 41/09, 1991, содержащее блок питания, пьезопривод и жёстко закренлённый на нём зонд.
Недостаткоманалогаявляетсяневозможностьобеспечить
одновременную реализацию нанотехнологических процессов по всем трём координатным направлениям.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является стереометрическое устройство для наноперемещений Биннииг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Нобелевская лекция по физикеУспехи
физических наук. - Том 154, вьш. 2, 1988, содержащее блок питания, пьезопривод и жёстко закреплённый на нём зонд.
Недостатком прототипа также является невозможность обеспечить одновременную реализацию нанотехнологических процессов по всем трём координатным направлениям.
В основу полезной модели положена техническая задача, обеспечить одновременную реализацию нанотехнологических процессов по всем трём координатным направлениям.
Поставленная техническая задача решается тем, что в стереометрическое устройство для паноисрсмещений. содержащее основной пьезоприг4од и жёстко закреплённый на нём зонд, согласно предложенной полезной модели, дополнительно введено три пьезопривода, на двух из которых жёстко закреплены зонды, причём основной и два дополнительных пьезопривода расположены по координатным осям X, У, Z с возможностью независимой подачей напряжения, а третий дополнительный пьезопривод установлен соосно с
MnK7H02N2/00
основным с возможностью поступательного н вращательного перемещения относительно координатной оси X.
Введение в стереометрическое устройство для наноперемещений трёх дополнительных пьезоприводов, два из которых снабжены зондами, и питаемых независимо друг от друга обеспечивает одновременную реализацию ианогсхно.кническихпроцессовповсемтремкоординатным
направлениям.
Сущность полезной модели поясняет фи1.1. где показано стереометрическое устройство для наноперемещений.
Стереометрическое устройство для наноперемещений (фиг.1) содержит основной пье опривод 1, три дополнительных пьезопривода 2, 3, 8, зонд 4, жестко закрепленный на основном пьезоприводе 1. На дополнительных ni c oiipiiiioiax 2, 3 жёстко закреплены зонды 5, 6. Основной пьезопривод 1 и два дополнительных 11ье}О11риво,ца 2, 3 расположены по координатным осям X, У, /, с возможностью независимой подачи напряжения на каждый из них от блока питания 7.
Дополнительный пьезопривод 8 устанавливается ctuK-iio с основным мьезоприволом 1, с возможностью поступательного и вращательного перемещения относительно координатной оси X.
Стереометрическое устройство для нанонеремещепмя (фиг.1) работает следующим образом.
При подаче напряжения от блока питания 7 на иьеюнрши  1, 2, 3 происходит их независимое перемещение вдоль координатных осей X, , Z соответственно. При подаче напряжения от блока питания 7 на пьезопривод 8 происходит его независимое перемещение вдоль координатной оси X, а также вращение вокруг координатной оси X.
Применение предложенного стереометрического устройства для нанонеремещегчия обеспечивает одновременную реализацию нанотсхпочо; нмсских процессов по всем трём координатным направлениям.