СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНОГО, ОСНОВАННОГО НА ЭФФЕКТАХ ТЕРМИЧЕСКИ И/ИЛИ ОПТИЧЕСКИ СТИМУЛИРОВАННОЙ ЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ, ДЕТЕКТОРА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ЯДЕРНЫХ ИЗЛУЧЕНИЙ НА ОСНОВЕ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ

2
Способ получения тонкослойного, основанного на эффектах термически и/или оптически стимулированной люминесценции, детектора заряженных частиц ядерных излучений на основе оксида алюминия, включающий испарение мишени исходного материала импульсным электронным пучком с энергией не более 100 кэВ, длительностью импульсов от 20 до 300 мкс, плотностью энергии не менее 1 МДж/см, пучок электронов на пути к мишени проводят через систему создания перепада давления газа, с помощью которой в камере испарения обеспечивают давление в диапазоне 1-20 Па для охлаждения частиц, отличающийся тем, что осаждение частиц производят на охлаждаемые подложки, выполненные из металла, температура плавления которого превышает 900°С, а коэффициент линейного теплового расширения близок к коэффициенту линейного теплового расширения осажденного слоя оксида алюминия, толщину которого от 5 до 40 мкм регулируют временем осаждения от 5 до 20 мин, а чувствительность к излучению - финишной термообработкой в диапазоне 550-900°С в течение 10-20 мин.