ЗАЩИТНЫЙ КОРПУС ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ МИКРОСИСТЕМЫ, СОДЕРЖАЩИЙ ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ТРАНСЛЯТОР ПРОВОДКИ

1. Защитный корпус электромеханической микросистемы (1), интегрированной в упомянутый корпус, образованный стенкой из электроизоляционного материала, причем упомянутый корпус (10) формирует закрытую камеру, и его стенка имеет внутреннюю поверхность, ориентированную внутрь камеры, и наружную поверхность, находящуюся в контакте с внешней для камеры средой, и внутренние электрические контакты (16) располагаются на внутренних поверхностях и наружные электрические контакты (17) располагаются на наружных поверхностях, причем внутренние электрические контакты (16) и наружные электрические контакты (17) попарно электрически связаны между собой, и упомянутая микросистема является, по существу, плоской, причем первая поверхность микросистемы (1) закреплена на внутренней стенке корпуса (10), и вторая поверхность микросистемы (1) содержит электрические контакты (5) микросистемы, причем первый конец проволочного соединения (20), изготовленного из электропроводного материала, закрепляется на электрическом контакте (5) микросистемы, отличающийся тем, что этот корпус содержит промежуточный транслятор проводки, закрепленный, по меньшей мере, на одной внутренней стенке, причем упомянутый промежуточный транслятор изготовлен из электроизоляционного материала и содержит дорожки (101), изготовленные из электропроводного материала, причем одна такая дорожка (101) электрически связана, по меньшей мере, с одним внутренним электрическим контактом (16) и с одним вторым концом проволочного соединения (20), причем упомянутый промежуточный транслятор дополнительно содержит, по меньшей мере, одно отверстие (102), сквозь которое проходит упомянутое проволочное соединение (20).
2. Защитный корпус электромеханической микросистемы по п.1, отличающийся тем, что упомянутый промежуточный транслятор проводки располагается, по существу, параллельно второй поверхности микросистемы (1), а также тем, что первая поверхность промежуточного транслятора располагается напротив второй поверхности микросистемы (1).
3. Защитный корпус электромеханической микросистемы по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что упомянутые дорожки (101) связаны с вторыми концами проволочных соединений (20) на второй поверхности упомянутого промежуточного транслятора.
4. Защитный корпус электромеханической микросистемы по п.1 или 2, отличающийся тем, что отношение между сечением отверстия (102) и поперечным сечением проволочного соединения (20), которое проходит сквозь это отверстие, превышает 1600.
,
5. Защитный корпус электромеханической микросистемы по п.1 или 2 отличающийся тем, что промежуточный транслятор проводки дополнительно содержит электронные компоненты, которые электрически связаны с дорожками (101).
6. Защитный корпус электромеханической микросистемы по п.5, отличающийся тем, что электронные компоненты вырабатывают электрические сигналы, используемые для обеспечения функционирования микросистемы (1).
7. Защитный корпус электромеханической микросистемы по п.6, отличающийся тем, что электронные компоненты принимают электрические сигналы, вырабатываемые микросистемой (1).
8. Защитный корпус электромеханической микросистемы по пп.1, 2, 6, 7, отличающийся тем, что проволочное соединение (20) представляет собой металлическую проволоку постоянного диаметра, а также тем, что эта проволока имеет длину, которая является меньшей, чем пятидесятикратный диаметр этой проволоки.
-4
9. Защитный корпус электромеханической микросистемы по пп.1, 2, 6, 7, отличающийся тем, что упомянутая камера является герметично закрытой, а также тем, что внутри этой камеры создается разрежение менее 10 миллибар.
10. Защитный корпус электромеханической микросистемы по пп.1, 2, 6, 7, отличающийся тем, что проволочные соединения (20) имеют диаметр, составляющий 25 мкм.