Алгоритм прогнозирования качества полупроводниковых приборов методом вычислительных оценок

Елизаров С.В., Козлова И.Н.

АЛГОРИТМ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ КАЧЕСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ МЕТОДОМ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ ОЦЕНОК

Принцип действия алгоритма вычисления оценок (АВО) состоит в определении приоритетов, характеризующих "близость" распознаваемого и эталонных объектов по системе ансамблей признаков, представляющей собой совокупность подмножеств заданного множества признаков. На его основе было проведено прогнозирование качества полупроводниковых приборов.

Было использованы параметры обобщенной близости между распознаваемым объектом и объектами обучающей выборки (эталонными объектами). Эта близость представлялась комбинацией близостей распознаваемого объекта с эталонными объектами, вычисленных на множествах частичных описаний. Таким образом, АВО является расширением метода k-ближайших соседей, в котором близость объектов рассматривается только в одном заданном пространстве признаков.

Вторым расширением АВО является то, что в данном алгоритме задача определения сходства и различия объектов формулировалась как параметрическая и был выделен этап настройки АВО по обучающей выборке, на котором подбирались оптимальные значения введенных параметров. Критерием качества служила ошибка распознавания. В качестве параметров использовались:

- правила вычисления близости объектов по отдельным признакам; правила вычисления близости объектов в подпространствах признаков;

степень важности того или иного эталонного объекта как диагностического прецедента; значимость вклада каждого опорного множества признаков в итоговую оценку сходства распознаваемого объекта с каким-либо диагностическим классом.

Параметры АВО задавались в виде значений порогов и как веса указанных составляющих.

Данный алгоритм обеспечил риск потребителя 0, 02...0, 06.