НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЗОНДА

Полезная модель относится к области машиностроения, а, более конкретно, к нанотехнологическим устройствам.
Известно устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на неподвижной платформе, установленный на торце пьезопривода зонд, подложку, на торце пьезопривода установлены два лазерных когерентных источника с возможностью направления лазерных когерентных лучей под углом 40-50° относительно плоскости подложки в зазор между зондом и подложкой. [Патент РФ №65300, МПК H01L 41/00, опубл. 27.07.2007 г. (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность двухсторонней обработки пластин посредством зондов.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому результату является нанотехнологическое устройство, содержащее неподвижное основание, связанный с ним основной пьезопривод и основной зонд, электрически сзязанный с подложкой, на торце основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода, на торце каждого дополнительного пьезопривода жестко закреплен зонд, один из зондов выполнен из платиново-иридиевого сплава, а два других - из вольфрама; все три зонда расположены на одной линии. [Патент РФ на полезную модель №65299, МПК H01L 41/00, опубл. 27.07.2007 г. (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность двухсторонней обработки пластин посредством зондов.
В основу полезной модели положена техническая задача, заключающаяся в том, чтобы обеспечить возможность двусторонней обработки пластин посредством зондов.
Поставленная техническая задача решается тем, что, нанотехнологическое устройство, содержащее неподвижное основание, связанный с ним пьезопривод, на котором закреплен основной зонд, подложку, закрепленную на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено зондом, основной и дополнительный зонды жестко связаны с пьезоприводом посредством биморфов, острия зондов направлены навстречу друг другу, подложка размещена между остриями зондов.
Введение в нанотехнологическое устройство дополнительного зонда таким образом, что основной и дополнительный зонды закреплены на биморфах, которые жестко связаны с основным пьезоприводом, острия зондов направлены друг к другу, а между остриями расположена подложка, закрепленная на подложкодержателе, обеспечивает возможность двусторонней обработки пластин посредством зондов.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где схематично изображено заявляемое нанотехнологическое устройство.
Нанотехнологическое устройство (фиг.1) содержит неподвижное основание 1, связанный с ним основной пьезопривод 2 и основной зонд 3, электрически связанный с подложкой 4. Устройство снабжено дополнительным зондом 5, причем основной 3 и дополнительный 5 зонды закреплены на биморфах 6, 7, которые жестко связаны с основным пьезоприводом 2. Острия 8, 9 зондов 3, 5 направлены друг к другу, а между остриями 8, 9 расположена подложка 4, закрепленная на подложкодержателе 10.
Заявляемое нанотехнологическое устройство перемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения на подложку 4 и зонды 3, 5 между остриями 8, 9 и подложкой 4 образуется электрическое поле. Молекулы рабочего газа (условно не показан) ионизируются и оседают на двух поверхностях (верхней и нижней) подложки. Таким образом, реализуется двухсторонняя обработка (сверху и снизу) поверхности подложки 4.
Применение предлагаемого нанотехнологического устройства позволяет обеспечить возможность двухсторонней обработки пластин посредством зондов.