НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС НА ОСНОВЕ ИОННЫХ И ЗОНДОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

1. Нанотехнологический комплекс на основе ионных и зондовых технологий, включающий распределительную камеру со средствами откачки, в которой расположен центральный робот распределитель с возможностью осевого вращения, содержащий захват носителей подложек, при этом распределительная камера содержит фланцы, которыми она соединена с камерой загрузки и модулем ионной имплантации, причем захват носителей подложек имеет возможность взаимодействия с камерой загрузки и модулем ионной имплантации, отличающийся тем, что в него введен измерительный модуль, включающий сканирующий зондовый микроскоп и модуль ионных пучков с системой газовых инжекторов, при этом они соединены с фланцами распределительной камеры и имеют возможность взаимодействия с захватом носителей подложек.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в него введен модуль переворота, при этом он соединен с фланцем распределительной камеры и имеет возможность взаимодействия с захватом носителей подложек.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в него введен модуль локального воздействия с блоком локального воздействия, при этом он соединен с фланцем распределительной камеры и имеет возможность взаимодействия с захватом носителей подложек.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что блок локального воздействия выполнен в виде блока ионной модификации.
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что блок локального воздействия выполнен в виде сканирующего зондового микроскопа с системой газовых инжекторов.