Повышение качества уплотнительных элементов ионно-плазменным напылением

Оригинальная статья/ Original article УДК 621.793

DOI: http://dx.doi.org/10.21285/1814-3520-2018-11 -199-208

ПОВЫШЕНИЕ КАЧЕСТВА УПЛОТНИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

© С.И. Аганаев1, Н.В. Астраханцев2, С.А. Зайдес2

Иркутский национальный исследовательский технический университет, 664074, Российская Федерация, г. Иркутск, ул. Лермонтова, 83.

РЕЗЮМЕ: Цель - исследование возможности снижения утечек в уплотнениях с герметизирующим металлическим кольцом (на примере вакуумного фланцевого соединения стандарта ConFlat) путем нанесения на поверхность кольца покрытия из мягкого металла ионно-плазменным способом. Покрытие наносилось при помощи оригинального ионно-плазменного источника с жидким анодом. Уплотнительные кольца для соединения CF40 испы-тывались на герметичность на сверхвысоковакуумном стенде с масс-спектрометрическим квадрупольным газоанализатором XT-100M, настроенным на контроль натекания гелия в вакуумную камеру стенда. Экспериментально установлено, что при повторном использовании уплотнительного кольца с нанесенным на его поверхность медным покрытием уменьшается величина натекания. Получены микроснимки поверхности кольца на сканирующем электронном микроскопе. Нанесение слоя мягкого металла на контактные поверхности однократно использовавшегося металлического кольца не только восстанавливает ее герметизирующие свойства, но и уменьшает натекание по сравнению с новой прокладкой. Эффект обеспечивается формированием плотного контакта твердого металла фланцевых клиньев с выровненной поверхностью пластичного покрытия по всей длине окружности, восстановленной благодаря сглаживанию впадин на кольце, которые образовались при предшествующей затяжке фланцевого соединения.

Ключевые слова: фланцевое соединение с металлическим уплотнителем, герметичность, ионно-плазменный источник, напыление, вакуумная установка, масс-спектрометрический газоанализатор, сканирующий электронный микроскоп

Информация о статье: Дата поступления 20 сентября 2018 г.; дата принятия к печати 30 октября 2018 г.; дата онлайн-размещения 30 ноября 2018 г.

Для цитирования: Аганаев С.И., Астраханцев Н.В., Зайдес С.А. Повышение качества уплотнительных элементов ионно-плазменным напылением. Вестник Иркутского государственного технического университета. 2018;22(11 ): 199-208. DOI: 10.21285/1814-3520-2018-11-199-208.

IMPROVING SEALING ELEMENT QUALITY BY ION-PLASMA SPUTTERING

Sergey I. Aganaev, Nikolay V. Astrakhantsev, Semen A. Zaides

Irkutsk National Research Technical University, 83 Lermontov St., Irkutsk 663074, Russian Federation

ABSTRACT: The purpose of the work is to study the possibility of reducing leakages in the seals with metal O-rings (on example of a vacuum flange joint of the ConFlat standard) by ion-plasma sputtering deposition of a soft metal on the ring surface. The coating was applied using an original ion-plasma source with a liquid anode. The hermeticity of sealing o-

Аганаев Сергей Игоревич, аспирант, e-mail: Aganaev.s@mail.ru Sergey I. Aganaev, Postgraduate student, e-mail: Aganaev.s@mail.ru

2Астраханцев Николай Вениаминович, кандидат физико-математических наук, инженер-исследователь Технопарка ИРНИТУ, e-mail: plasma@istu.edu

Nikolay V. Astrakhantsev, Cand. Sci. (Phys.-Math.), Research Engineer of IRNITU Research and Technology Park, e-mail: plasma@istu.edu

3Зайдес Семен Азикович, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой МТМ, e-mail: zsa@istu.edu Semen A. Zaides, Dr. Sci. (Eng.), Professor, Head of the Department of Mechanical Engineering Technology and Materials, e-mail: zsa@istu.edu

rings of the CF40 joint was tested on an ultrahigh vacuum test bench with a XT-100M mass spectrometer quadrupole gas analyzer tuned to control the in-leakage of helium in the test bench vacuum chamber. Conducted experiments allowed to determine that the amount of in-leakage decreases under the reusing of a sealing ring sputtered with a copper coating. Ring surface micrographs were obtained using a scanning electron microscope. Sputtering deposition of a soft metal layer on the contact surfaces of a single-used metal ring restores surface sealing properties as well as reduces in-leakage as compared to a new liner. The effect is provided by the formation of a tight contact of the flange wedge solid metal with the surface of the plastic coating leveled along the entire circumference, which was restored by smoothing ring cavities formed during the previous tightening of the flange joint.

Keywords: flange joint with a metal seal, hermeticity, ion-plasma source, sputtering, vacuum installation, mass spectrometry gas analyzer, scanning electron microscope

Information about the article: Received September 20, 2018; accepted for publication October 30, 2018; available online November 30, 2018.

For citation: Aganaev S.I., Astrakhantsev N.I., Zaides S.A. Improving sealing element quality by ion-plasma sputtering. Vestnik Irkutskogo gosudarstvennogo tehnicheskogo universiteta = Proceedings of Irkutsk State Technical University. 2018; 22(11) pp. 199-208. (In Russ.) DOI: 10.21285/1814-3520-2018-11-199-208.

Введение

Уплотнения как элементы трубопроводной арматуры широко применяют в конструкциях различных аппаратов и механизмов. От их работоспособности в значительной степени зависят функциональные возможности оборудования. Степень нарушения целостности уплотнительных поверхностей зависит от того, насколько структура материала и геометрия поверхности способны противостоять воздействию монтажных и эксплуатационных нагрузок [1-3].

Современные тенденции мирового развития арматуростроения описаны в обзоре [4], где отмечается, что серьезное внимание в мире уделяется безопасности, надежности и качеству работы уплотни-тельной арматуры. Особое значение имеет герметичность: так, по оценке Американского агентства по охране окружающей среды типичный нефтеперерабатывающий завод имеет 11000 единиц арматуры, которая из-за утечек в соединениях выделяет в воздух 3,3 т летучих органических веществ в сутки. Такое нарушение снижает экономичность производства [5].

Нанесение специальных тонкопленочных покрытий и модификация поверхностных слоев уплотнительных элементов трубопроводной арматуры высокого давления позволит существенно улучшить экс-

плуатационные характеристики [6]. В первую очередь, это повышение герметичности, а также кратное увеличение срока службы ответственных деталей трубопроводов в условиях высокого давления и агрессивной среды (включая возможность многократного использования уплотни-тельных прокладок в разъемных соединениях, что улучшает экономические показатели).

Среди разнообразных методов нанесения покрытий особое место занимают вакуумные ионно-плазменные методы, где атомы и молекулы в ионизованном или возбужденном состоянии интенсивно взаимодействуют друг с другом [7]. Процесс нанесения покрытий становится все более эффективным и широко применяется для нанесения упрочняющих покрытий на детали механизмов и режущий инструмент [8].

В работе [9], целью которой было исследование возможности применения различных покрытий в разъемных соединениях трубопроводного оборудования химического и нефтяного машиностроения, экспериментально показано, что нанесение ионно-плазменных покрытий из мягкого металла, более чем на порядок снижает уровень протечки уплотнений типа плоскость-плоскость при давлениях до 10 МПа. При этом нанесение классических твердых по-

крытий (титан, нитрид титана) на уплотняющие поверхности привело к увеличению протечек.

В нефтегазохимической индустрии для сочленения трубопроводов высокого давления, температуры и больших сечений (до 100 МПа, 400оС, Ду 160 мм и более) применяется так называемое бугельное соединение с уплотнительным элементом в виде стального кольца элипсоидального поперечного сечения - «линзы». При затяжке бугельного соединения [10] сопрягаемые поверхности в зоне контакта взаимодействуют сложным образом, включая пластическую деформацию сдвига. Ожидаемый эффект использования линз с покрытием может заключаться в снижении необходимых усилий затяжки уплотнения и возможности повторного использования линзы после восстановления покрытия.

Цель работы - проверка возможности устранения утечек в уплотнении на примере фланцевого соединения стандарта ConFlat (далее по тексту - ОР) при повторном использовании металлического кольца путем нанесения на его уплотняющие поверхности слоя мягкого металла ионно-плазменном способом.

В отличие от ранее цитированной статьи [9], в которой испытаниям на герметичность подвергались уплотнения типа плоскость-плоскость, поверхность уплотни-тельного кольца в соединении ОР при затяжке подвергается сложной контактной деформации, включая сдвиговую.

Таким образом, настоящее исследование является подготовительным этапом к разработке оригинальных конструкций уплотнений и технологии изготовления уплотнительных элементов с покрытием.

Методика исследования

Объектом настоящего исследования являются одноразовые уплотнительные кольца, извлеченные после расстыковки узла уплотнения CF40, на поверхность которых при помощи оригинального источника металлической плазмы [11] (рис.1) наносится медное покрытие, и восстановленные кольца испытываются на герметичность в вакуумной установке с масс-спектромет-рическим газоанализатором.

Соединения CF используются при изготовлении сверхвысоковакуумных камер и магистралей (предельное остаточное давление до 10-11 Па) и могут применяться в широком температурном диапазоне (от -200оС до 450оС) [12]. Для того чтобы обеспечить уплотнение, фланец CF имеет «клин». Кольцо из отожженной меди укладывается между «клиньями» двух фланцев CF, имеет толщину 2 мм и центруется по внешнему диаметру 48 мм проточкой на внутренних сторонах фланцев CF [13]. При затягивании соединяющих болтов «клин» каждого из фланцев деформирует поверхность кольца, и сплющивает, выдавливая его к внешней стороне фланца. В результа-

те материал кольца оказывается запертым в полости, образованной «клиньями» и внутренними поверхностями проточки фланцев [14].

После стыковки и протяжки болтов на кольце в зоне герметизации увеличивается микротвердость, формируются продольные риски, и в соответствии с инструкцией такое кольцо не может использоваться повторно. Поставлена задача повысить кратность использования кольца путем нанесения слоя мягкого металла на его поверхности, деформированные при первичном использовании.

Схема ионно-плазменного источника, который использовался для восстановления поверхностного слоя уплотнитель-ных колец, приведена на рис. 1. Источник позволяет наносить металлические покрытия (медь, свинец, кадмий, олово), причем скорость осаждения более чем на порядок выше по сравнению с магнетронным или вакуумно-дуговым напылением. Источник состоит из смонтированного на водоохла-ждаемом вакуумном вводе графитового тигля - анода 1, в чашку которого поме-

Рис. 1. Схема ионно-плазменного источника: 1 - водоохлаждаемый анод; 2 - рабочий материал; 3 -прямонакальный катод; 4 - держатель; 5 - вспомогательный электрод; 6 - магнитная катушка; 7 - восстанавливаемое кольцо Fig. 1. Ion-plasma source diagram 1 - water-cooled anode, 2 - working material, 3 - filament-type cathode, 4 - holder, 5 - auxiliary electrode, 6 - magnetic coil, 7 - reparable ring

щается рабочий материал 2; в настоящем эксперименте - медный цилиндр диаметром 18 мм и высотой 9 мм. На расстоянии 3-5 мм от поверхности тигля и рабочего материала закреплен прямонакальный катод 3 из вольфрамовой проволоки диаметром 0,5 мм изогнутый в виде петли диаметром 15 мм. Концы спирали закреплены в держателях 4 из нержавеющей стали, на которые от понижающего разделительного трансформатора подается переменное накальное напряжение 8-10 В, обеспечивающее разогрев катода до температуры, при которой ток термоэлектронной эмиссии может достигать значений 0,5-1 А (в зависимости от расстояния между катодом 3 и анодом 1).

Источник плазмы работает следующим образом. К аноду прикладывается потенциал +650 В относительно заземленного катода, ускоряющий термоэлектроны, торможение которых в рабочем материале приводит к его разогреву и испарению. Через несколько минут, когда давление паров рабочего вещества в разрядном промежутке достигает порогового значения, происходит зажигание пучково-плазменного разряда с возрастанием анодного тока до максимальной величины 3,5 А - ток «короткого замыкания» источника анодного напряжения с падающей вольт-амперной характе-

ристикой. При этом в зависимости от величины накального напряжения потенциал анода снижается до 120-200 В. [15].

Для облегчения зажигания разряда и с целью увеличения зоны ионизации паров рабочего материала пара катод-анод окружена вспомогательным электродом 5, на который подается положительный потенциал 25-110 В поддерживаемый всегда ниже, чем потенциал анода, а вся зона плазмообразования находится в продольном магнитном поле, создаваемом с помощью магнитной катушки 6.

Источник пристыковывается к металлической вакуумной камере диаметром 125 мм и длиной 400 мм, которая откачивается до предельного абсолютного давления 10-3 Па турбомолекулярным насосом. На оси камеры на расстоянии 120 мм от торца анода размещается подлежащее восстановлению кольцо 7. Поток паров рабочего материала с поверхности анода и ионизированных атомов этого же материала из зоны плазмообразования распространяется преимущественно вдоль оси камеры и конденсируется на восстанавливаемом кольце с образованием слоя меди, толщина которого зависит от времени напыления и расстояния от анода до кольца.

Результаты испытания на герметичность

Испытанию на герметичность подвергались три образца:

а - новое стандартное кольцо; б - стандартное кольцо, извлеченное из разобранного фланцевого соединения после первого испытания и повторно установленное в это же соединение;

в - кольцо, ранее однократно использованное, на обе рабочие поверхности которого нанесен слой меди толщиной около 0,06 мкм.

На рис. 2 показано кольцо с покрытием, уложенное в проточку фланца ОР40, перед их стыковой со вторым фланцем. На поверхности хорошо видна кольцевая вмятина - результат воздействия фланцевого клина на кольцо при первичной затяжке.

Интенсивность утечки определялась масс-спектрометрическим способом [16]. Для этого был изготовлен экспериментальный стенд, (рис. 3) (предельно достигаемое абсолютное давление 10-7 Па), откачиваемый турбомолекулярным насосом ЫРасе 80. В вакуумную камеру установки через фланцевое соединение CF40 вводилась вакуумируемая часть квадрупольного масс-спектрометра ХТ-100М (рис. 3, 1) [17]. В качестве испытываемого узла уплотнения использовалось вышеупомянутое фланцевое соединение CF40 масс-спектрометра. Зона зазора между фланцами этого соединения (рис. 3, 3) через трубку обдувалась пробным газом.

В качестве пробного газа использовался гелий (Не), имеющий максимальную проникающую способность среди всех газов. Масс-спектрометр настраивался на регистрацию атомной/молекулярной массы в диапазоне от 3 до 5 а.е.м.; при проникновении гелия через уплотнение в вакуумную камеру на масс-спектрограмме регистрировался пик на 4 а.е.м. С учетом того, что естественное содержание гелия в атмосфере ничтожно мало, данный метод контроля герметичности имеет максимально возможную чувствительность и широко используется в промышленных течеискате-лях масс-спектрометрического типа.

Процедура проведения испытаний следующая. Образец уплотнялся во фланцевом соединении по единой схеме с одинаковым усилием поочередного затягивания болтов. Затем производилась откачка до абсолютного давления не более 10-3 Па, включался масс-спектрометр, и откачка продолжалась в течение не менее 1 ч, до тех пор, пока относительная скорость изменения абсолютного давления не уменьшалась до 5% за 10 мин. Далее зона стыка фланцев ОР обдувалась пробным газом, и производилась дополнительная протяжка болтов фланцевого соединения до тех пор, пока амплитуда пика гелия на масс-спектрограмме не переставала уменьшаться. Эта амплитуда пика принималась за показатель степени негерметичности соединения.

Результаты испытаний на герметичность образцов «а» - «в» показаны на рис. 4.

Из сравнения рис. 4, а и Ь следует, что при повторном использовании стандартного кольца, степень натекания пробного газа увеличилась в 7 раз. Это происходит вследствие повышения жесткости из-за локальной деформации кольца при первом затягивании, а также несовпадения микроструктуры контактирующих поверхностей вследствие проворачивания кольца относительно фланцев, что по совокупности препятствует формированию плотного контакта для герметизации.

При сравнении рис. 4, а и c видно, что степень натекания через кольцо с покрытием при одинаковых условиях затяжки уменьшилась более чем в 50 раз, по отношению к стандартному новому кольцу. Это говорит о том, что возможно не только повторное использование кольца после его ионно-плазменной обработки, но и целесообразно нанесение дополнительного покрытия на новое кольцо для снижения усилия затяжки, при которой обеспечивается герметичность фланцевого соединения.

Для выявления факторов, способствующих положительному эффекту от

нанесения покрытия на однократно использованное кольцо, образец «а» после испытаний на герметичность и образец «в» с нанесенным покрытием перед уплотнением

исследовались на сканирующем электронном микроскопе иБОЬ и1Б-24500. Микроснимки поверхности уплотнительных колец показаны на рис. 5.

Рис. 2. Укладка уплотнительного кольца: 1 - вакуумируемая часть квадрупольного масс-спектрометра XT-100M; 2 - уплотнительное кольцо; 3 - лунка; 4 - фланец соединения CF40

Fig. 2. O-ring laying:

1 - vacuumized part of the XT-100M quadrupole mass spectrometer; 2 - sealing ring;

3 - groove; 4 - joint flange CF40

Рис. 3. Экспериментальный стенд для испытания медного кольца на герметичность: 1 - корпус газоанализатора XT-100; 2 - трубка для подвода газа; 3 - исследуемое соединение KF40; 4 - вакуумная камера; 5 - турбомолекулярный насос Fig. 3. Experimental test bench for testing copper ring hermeticity: 1 - XT-100 gas analyzer body; 2 - gas supply tube; 3 - joint KF40 under investigation; 4 -vacuum chamber;

5 - turbo molecular pump

P, Ion Mass Sweep

5 SO*« 1

s.DDe-e rx

4.50«-9 \ \

4 00*-9 \ 1

ssou-a \ I

З.ОСе-9 \ ;

2.50i-9 \ i

г DQe-g / \ \

1 S0e-9 \

1 QiJ»'9 \ \

5 00»-10 I \ \

0 i 00«-10

3 * 6 til, E/mcjl

Рис. 4. Масс-спектрограммы, показывающие натекание гелия через фланцевое соединение с тремя образцами уплотнительных колец: а - стандартное кольцо; b - повторное использование кольца; c - кольцо c напылением Fig. 4 Mass spectrograms showing helium in-leakage through a flange joint with three o-ring specimens: a - standard ring; b - reused ring; c - sputter deposition ring

b

c

sSMD töDpfli iirtiiijü'ül

21 И ВЕЧ äEJ

tfBBf

я 5 50 2-21Si46iil1

21 К SEM Sfl

Рис. 5. Микроснимки поверхности фланцевых колец с различным масштабами увеличения:

a - 100 мкм; b - 20 мкм; c - 1 мм; d - 100 мкм; a, b - стандартное кольцо после однократного использования; c, d - кольцо после однократного использования и нанесения покрытия Fig. 5. Micro images of flange ring surfaces with different magnification scales:

a - 100 pm; b - 20 pm; c - 1 mm; d - 100 pm; a, b - standard ring after a single use; c, d - ring after a single use and coating

На всех снимках рис. 5, с различными масштабами показаны участки поверхности колец с пластической деформацией, возникшей при уплотнении фланцевого соединения. На рис. 5, а и Ь показаны микроснимки однократно уплотненного кольца (образец а) без покрытия. В зоне уплотнения видны полосы кольцевой формы, причиной образования которых является пластическая деформация поверхности меди в зоне контакта с фланцевым клином, возникающая из-за малых перемещений клина относительно кольца при поочередном затягивании болтов во фланцевом соединении CF40. Поскольку болты затягивались вручную без контроля момента силы, пери-

одичность расположения полос в радиальном направлении не наблюдается.

На рис. 5, Ь и б приведен микроснимок участка поверхности кольца, прошедшего цикл однократного использования и восстановления путем нанесения покрытия. Видно, что нанесенное покрытие сгладило полосы, а точечные дефекты, представляющие микрокапли расплавленного металла, на качество герметизации принципиального влияния не оказывают. Опасность для нарушения уплотнения представляют именно полосы в форме микровпадин - царапин на поверхности уплотнительного кольца.

Заключение

Экспериментально показано, что уплотнительное кольцо, восстановленное путем нанесения на контактные поверхности слоя мягкого металла (меди толщиной 0,06 мм), повышает герметичность фланцевого соединения стандарта ОР. Это позволяет повторно использовать кольцо, причем степень уплотнения даже улучшается по сравнению со стандартной новой прокладкой.

Полученный результат носит качественный характер и требует проведения

1. Материалы уплотнений трубопроводной арматуры. Свойства уплотнительных материалов [Электронный ресурс] // Старт ИМПЭКС. URL: https://starimpex.ru/raznoe/svojstva-uplotnitelnyh-materialov.html (26.09.2018).

2. Крепление скважин [Электронный ресурс] // Добыча нефти и газа. URL:

http://oilloot.ru/component/content/article/78-tekhnika-i-tekhnologii-stroitelstva-skvazhin/170-kreplenie-skvazhin (26.09.2018).

3. Уплотнение - важнейший компонент гидравлической конструкции [Электронный ресурс] // Основные средства: URL: http://www.os1.ru/article/7328-uplotnenie-vajneyshiy-komponent-gidravlicheskoy-konstruktsii (10.10.2018).

4. Промышленная экология [Электронный ресурс]. URL: http://www.alfar.ru/smart/1/1054/ (10.10.2018).

5. Божко Г.В. Разъемные герметичные соединения // Вестник ТГТУ. 2010. Т. 16. № 2. С. 404-120

6. Аганаев С.И., Тютрин Н.О. Исследование технологии получения герметичных покрытий на уплотни-тельных элементах ионно-плазменным методом // Жизненный цикл конструкционных материалов (от получения до утилизации): материалы VII Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием (Иркутск, 26-28 апреля, 2018 г.). Иркутск: Изд-во ИРНИТУ, 2018. С. 213-220.

7. Артеменко Н.В., Симонов В.Н. Власова Д.В. Исследование процесса осаждения нитрида титана на установке ионно-плазменного напыления МАП-3 // Труды ВИАМ. 2017. № 12 (60). С. 110-122

8. Сейткулов А.Р. Особенности процесса получения покрытий вакуумным ионно-плазменным методом // Вестник КазККА. 2010. № 3 (64). С. 151-155.

дальнейших исследований, связанных с изготовлением специального вакуумного стенда с измерением усилия затяжки уплотнительного кольца.

Представляет интерес развитие данного метода для многократного использования уплотнительных колец, а также исследование возможности применения технологии нанесения покрытий на герметизирующие элементы трубопроводной арматуры, эксплуатируемые в условиях высоких давлений, температур и агрессивных сред.

кий список

9. Паперный В.Л., Погодин В.К., Перминова Е.А. Исследование герметичности уплотнительных соединений плоскость - плоскость с ионно-плазменными покрытиями // Химическое и нефтегазовое машиностроение 2013. № 9. С. 3-6.

10. Пат. № 2322632, Российская Федерация Разъемное соединение / В.К. Погодин, В.П. Вирюкин, И.М. Рудых, А.М. Кузнецов, Меринов С.П. Елшин

A.И. 04.08.2006 г.

11. Пат. №170029, Российская Федерация Устройство для создания потока металлической плазмы / О.И. Шипилова, Н.В. Астраханцев, Н.В. Лебедев,

B.Л. Паперный. 12.04.2017 г.

12. ООО "АВАКС" Научно-производственная фирма: Уплотнительные прокладки соединений CF (conflat) [Электронный ресурс]. URL: https://avacuum.ru/rus/armature/59/g179/ (10.10.2018).

13. Fittingplus: Пассивная арматура вакуумных систем. [Электронный ресурс]. URL: http://fittingplus.ru/pdf/vacuum_fittingt.pdf (10.10.2018).

14. Никитин О. Ф. Обоснование размеров канавки установки кольца контактных уплотнительных устройств // Наука и образование МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2013. № 6. С. 113-118.

15. Борисенко А.Г. Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники // Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2013. № 4. С. 37-41.

16. Пат. № 95112665/09, Российская Федерация. Масс-спектрометр для газового анализа / А.В. Козловский. 27. 01.1998.

17. Pyramid Vacuum: Масс-анализаторы серии Extorr XT [Электронный ресурс]. URL: http://www.pyramid-vacuum.ru/extrr.htm (15.10.2018).

References

1. Mechanized scraping of coal foam on the electrolyzer with C1 anode. Seal materials for pipeline valves. Properties of sealing materials. Start IMPEKS. Available at:

https://starimpex.ru/raznoe/svojstva-uplotnitelnyh-materialov.html (accessed September 26, 2018). 2. Well casing. Dobycha nefti i gaza [Oil and Gas Pro-

duction] Available at:

http://oilloot.ru/component/content/article/78-tekhnika-i-tekhnologii-stroitelstva-skvazhin/170-kreplenie-skvazhin (accessed September 26, 2018).

3. Compacting as an essential component of hydraulic structure. Osnovnyye sredstva [Primary tools] Available at: http://www.os1.ru/article/7328-uplotnenie-vajneyshiy-komponent-gidravlicheskoy-konstruktsii (accessed September 26, 2018).

4. Promyshlennaya ekologiya [Industrial ecology] Available at: http://www.alfar.ru/smart/1/1054/ (accessed October 10, 2018).т

5. Bozhko G.V. Raz"yemnyye germetichnyye soyed-ineniya [Split Hermetical Compounds]. Vestnik TGTU [Transactions of the TSTU]. 2010. Vol,16, no 2, pp. 404-120

6. Aganaev S. I. Tyutrin N. O. Issledovaniye tekhnologii polucheniya germetichnykh pokrytiy na uplotnitel'nykh elementakh ionno-plazmennym metodom [Study of the production technology of hermetic coatings on sealing elements by the ion-plasma method]. Materialy VIII Vserossiyskoy nauchno-tekhnicheskoy konferentsii s mezhdunarodnym uchastiyem. 2018 Zhiznennyy tsikl konstruktsionnykh materialov

7. Artemenko N.V., Simonov V.N. Vlasov D.V. Issledovaniye protsessa osazhdeniya nitrida titana na ustanov-ke ionno-plazmennogo napyleniya MAP-3 [Study of titanium nitride deposition on the ion-plasma spraying installation MAP-3] Trudy VIAM.

8. [Proceedings of VIAM]. Moscow: VIAM Publ. 2017. no 12

9. Seytkulov A.R. Features of coating production by the vacuum ion-plasma method. Vestnik KazKKA [Bulletin of the Tynyshpaev Kazakh Academy of Transport and Communications]. 2010, no 3(64), pp. 151-155.

10. Paperniy V.L., Pogodin V.K., Perminova E.A. Her-miticity study of face - face sealing joint with ion-plasma

Критерии авторства

Аганаев С.И., Астраханцев Н.В., Зайдес С.А. заявляют о равном участии в получении и оформлении научных результатов и в равной мере несут ответственность за плагиат.

Конфликт интересов

Авторы заявляют об отсутствии конфликта интересов.

coatings. Khimicheskoye i neftegazovoye mashi-nostroyeniye [Chemical and Petroleum Engineering]. 2013, no 9, pp. 3-6.

11. Pogodin V.K., Viryukin V.P., Rudykh I.M., Kuz-netsov A.M., Merinov S.P. Yolshin A.I Raz"yemnoye soyedineniye [Detachable joint] // Patent of the Russian Federation for invention no. 2322632. Date of state registration August, 4. 2006

12. Shipilova O.I. Astrakchantsev, N.V. Lebedev,N.V. Paperny V.L. Device for metallic plasma flow creation. Patent of the Russian Federation for the Utility Model no.170029. Date of state registration April, 12. 2018

13. 000 "AVAKS" Nauchno-proizvodstvennaya firma. [Scientific and production company AVAKS LLC] Uplot-nitel'nyye prokladki soyedineniy [Sealing liners for CF (conflat) joints] Available at:

https://avacuu m. ru/rus/armatu re/59/g 179/ (accessed October 10, 2018).

14. Fittingplus: Passivnaya armatura vakuumnykh sis-tem [Fittingplus: Passive valves of vacuum systems.] Available at: http://fittingplus.ru/pdf/vacuum_fitting+.pdf

15. Nikitin O. F. Justification of groove dimensions for mounting a ring of contact sealing devices. Nauka i obrazovaniye MGTU im. N.E. Baumana. [Scientific Periodical of the Bauman MSTU Science and Education]. 2013. no 6. - pp 113-118

16. Borisenko A.G. The source of macroparticle-free plasma flows for nanoelectronics. Tekhnologiya i kon-struirovaniye v elektronnoy apparature [Technology and design in electronic equipment]. 2013. №4. - P. 37-41.

17. Kozlovskiy A.V. Mass-spektrometr dlya gazovogo analiza [Mass Spectrometer for Gas Analysis]. Patent of the Russian Federation for invention no. 95112665/09. Date of state registration January, 27. 1998

18. Pyramid Vacuum: Mass-analizatory serii Extorr XT [Pyramid Vacuum: Mass Analyzers of Extorr XT Series] Available at: http://www.pyramid-vacuum.ru/extrr.htm

Authorship criteria

Aganaev S.I., Astrakhantsev N.I., Zaides S.A. declare equal participation in obtaining and formalization of scientific results and bear equal responsibility for plagiarism.

Conflict of interests

The authors declare that there is no conflict of interests regarding the publication of this article.