Статья

Статья

Теплофизические свойства веществ

1992. Т. 30. № 2. С. 290–293

Жиляков Л.А., Костановский А.В.

Оптические свойства тонких пленок нитрида алюминия

Представлены результаты измерений оптических констант (показателя преломления и коэффициента поглощения) тонких пленок нитрида алюминия (ТП $mathrm{AlN}$), полученных методами термического азотирования чистого алюминия и реактивного испарения нитрида алюминия, в УФ-, видимой и ближней ИК-областях спектра. Отмечены высокая прозрачность в исследуемой области спектра, а также влияние структуры на оптические свойства ТП $mathrm{AlN}$.