СПОСОБ ОКОНЧАТЕЛЬНОЙ ГЕРМЕТИЗАЦИИ МИКРОУЗЛА

Способ окончательной герметизации микроузла, включающий помещение собранного микроузла в вакуумную камеру, вакуумирование или заполнение объема рабочим газом и осуществление герметизации микроузла, отличающийся тем, что одновременно при изготовлении кожуха микроузла в его основании выполняют кольцевую теплоизолирующую канавку и паз, после чего кожух устанавливают на основании микроузла с зазором для образования парогазового канала между свариваемыми кромками кожуха, основания микроузла и пазом, с последующей сваркой лазерным лучом между собой так, что сварной шов имеет непроваренный отрезок в зоне паза, не прекращая процесса вакуумирования или газозаполнения через парогазовый канал, осуществляют окончательную герметизацию микроузла, заваривая непроваренный отрезок лазерным лучом.