СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР

1. СВЧ плазменный реактор, содержащий герметичный осесимметричный радиальный волновод, центральная часть которого является СВЧ резонатором, осесимметричный массивный цилиндрический держатель подложки, обратная по отношению к подложке и СВЧ разряду сторона держателя соединена с теплообменником, отличающийся тем, что держатель подложки выполнен из термостойкого и теплопроводного металла, теплообменник контактирует с держателем по площади от 30 до 90% площади обратной стороны держателя, теплообменник содержит цилиндрическую камеру, установленную коаксиально с держателем подложки, по периферии цилиндрической камеры выполнен зазор, соединяющий цилиндрическую камеру теплообменника с коллектором, газовые каналы, один из которых, осевой, соединен коаксиально с цилиндрической камерой теплообменника, другой соединен с коллектором.
2. СВЧ плазменный реактор по п.1, отличающийся тем, что держатель подложки выполнен из молибдена.
3. СВЧ плазменный реактор по п.1, отличающийся тем, что держатель подложки соединен с радиальным волноводом через тороидальную мембрану, образующую в сечении U-образный полуволновой шлейф.
4. СВЧ плазменный реактор по п.1, отличающийся тем, что осевой канал теплообменника является каналом подачи охлаждающего газа с температурой ниже рабочей температуры реактора, канал, соединенный с коллектором, является каналом откачки газа.
5. СВЧ плазменный реактор по п.1, отличающийся тем, что осевой канал является каналом откачки газа, канал, соединенный с коллектором является каналом подачи газа с температурой выше рабочей температуры реактора.
6. СВЧ плазменный реактор по п.3, отличающийся тем, что в тороидальной мембране, образующей U-образный полуволновой шлейф, установлен отрезок кварцевой трубы без контакта со стенками тороидальной мембраны.