РЕАКТОРНАЯ СИСТЕМА С ЗОЛОТЫМ ПОКРЫТИЕМ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И СПОСОБ

1. Реакторная система, содержащая:
- реакционную камеру, содержащую по меньшей мере одно основание, установленное в реакционной камере, и корпус, в рабочем состоянии соединенный с основанием, причем по меньшей мере часть реакционной камеры покрыта слоем золота, имеющим толщину по меньшей мере примерно 0,1 мкн;
- по меньшей мере одну нить, прикрепленную к основанию;
- источник электрического тока для подвода тока к нити; и
- источник газа, при работе соединенный с реакционной камерой для прохождения газа через реакционную камеру.
2. Реакторная система по п.1, в которой ток подается непосредственно к нити по токовводу в основании.
3. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера содержит также, смотровое окно для рассматривания внутренней части реакционной камеры.
4. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера покрыта слоем золота, имеющим толщину примерно от 0,5 до 3,0 мкн.
5. Реакторная система по п.1, в которой по меньшей мере одна нить содержит кремний.
6. Реакторная система по п.1, содержащая также систему охлаждения, имеющую по меньшей мере один вход для жидкости и один выход для жидкости, при работе соединенные с реакторной системой.
7. Реакторная система по п.1, в которой реакторная система является реакторной системой для химического осаждения из паровой фазы.
8. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера, покрытая слоем золота, имеет коэффициент излучения примерно от 0,01 до 0,03.
9. Реакционная камера для применения в реакторе химического осаждения из паровой фазы, содержащая:
- по меньшей мере одно основание, установленное в реакционной камере;
- по меньшей мере одну нить, прикрепленную к основанию, причем реакционная камера при работе соединена с источником электрического тока и источником газа для обеспечения осаждения материала на нить; причем
- по меньшей мере часть реакционной камеры покрыта слоем золота, имеющим толщину по меньшей мере примерно 0,1 мкн.
10. Реакционная камера по п.9, в которой ток подается к нити посредством источника электрического тока.
11. Реакционная камера по п.10, в которой ток подается прямо к нити по токовводу в основании.
12. Реакционная камера по п. 9, содержащая также по меньшей мере один впуск газа и выпуск газа, при работе соединенные с реакционной камерой для прохождения газа через реакционную камеру.
13. Реакционная камера по п.9, содержащая также смотровое окно для рассматривания внутренней части реакционной камеры.
14. Реакционная камера по п.9, в которой по меньшей мере одна нить содержит кремний.
15. Реакционная камера по п.9, в которой реакционная камера, покрытая слоем золота, имеет коэффициент излучения примерно от 0,01 до 0,03.
16. Способ осаждения материала в реакторе, включающий этапы, на которых
- обеспечивают реакционную камеру, содержащую по меньшей мере одно основание, установленное в реакционной камере, и корпус, при работе соединенный с основанием, причем по меньшей мере часть реакционной камеры покрыта слоем золота, имеющим толщину по меньшей мере примерно 0,1 мкн;
- прикрепляют по меньшей мере одну нить к основанию;
- подсоединяют источник электрического тока к реакционной камере для подачи тока к нити;
- соединяют источник газа с реакционной камерой для прохождения газа через реакционную камеру; и
- приводят в действие реактор для осаждения материала на нить в реакционной камере.
17. Способ по п.16, в котором материал, осажденный на нить, является поликристаллическим кремнием.
18. Способ по п.16, в котором нить содержит кремний.
19. Способ по п.16, в котором реактор является реактором химического осаждения из паровой фазы.
20. Способ по п.16, включающий, также, этап подачи тока прямо к нити по токовводу в основании.
21. Способ по п.16, в котором реакционная камера покрыта слоем золота, имеющим толщину примерно от 0,5 до 3,0 мкн.
22. Способ по п.16, в котором реакционная камера покрыта слоем золота, имеющим коэффициент излучения примерно от 0,01 до 0,03.
23. Способ по п.16, в котором реакционная камера содержит также смотровое окно для рассматривания внутренней части реакционной камеры.