УСТРОЙСТВО НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам наноперемещений.
Известно устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом. (Патент РФ от ПМ №40550, кл. H02N 2/00, 10.09.2004 Бюл. №25, (аналог)).
Недостатком аналога является малый диапазон линейных перемещений зонда (до 0,1 мкм).
Наиболее близким по технической сущности и достигнутому результату является устройство наноперемещений, содержащее пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой, электрически связанный с зондом. (Патент РФ от ПМ №76517, кл. Н2/00, 20.09.2008 Бюл. №26, (прототип)).
Недостатком прототипа также является малый диапазон линейных перемещений зонда (до 0,1 мкм).
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы расширить диапазон линейных перемещений зонда.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве наноперемещений, содержащем пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, связанный с пьезоприводом, подложкодержатель с подложкой, электрически связанный с зондом, согласно предложенной полезной модели, пьезопривод выполнен в виде двух изогнутых биморфов, и соединен через диэлектрическую втулку с неподвижным основанием, зонд связан с биморфами посредством диэлектрического кольца, устройство снабжено блоком управления пьезоприводом и блоком питания, связанным с зондом и подложкой.
Введение в устройство наноперемещений пьезопривода, выпоненного в виде двух биморфов, неподвижного основания связанного с пьезоприводом через диэлектрическую втулку, зонда связанного с биморфами посредством диэлектрического кольца, блока управления пьезоприводом, блока питания связанного с зондом и подложкой, обеспечивает расширение диапазона линейных перемещений зонда (до 1 мм).
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где изображено устройство наноперемещений.
Устройство наноперемещений (фиг.1) содержит неподвижное основание 1, связанное с пьезоприводом 2, на котором закреплен зонд 3 электрически связанный с подложкой 4, установленной на подложко держателе 5. Пьезопривод 2 выполнен в виде двух изогнутых биморфов 6, 7. Неподвижное основание 1, связанное с пьезоприводом 2 через диэлектрическую втулку 8, а зонд связан с биморфами 6, 7 посредством диэлектрического кольца 9. Устройство снабжено блоком управления 10 пьезоприводом 2 и блоком питания 11, связанным с зондом 3 и подложкой 4.
Устройство наноперемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения с блока управления 10 на биморфы 6, 7 происходит изменение их кривизны и как следствие перемещение зонда 3. Диэлектрическая втулка 8 и кольцо 9 обеспечивают изоляцию пьезопривода от неподвижного основания 1 и зонда 3. При подаче напряжения от блока питания 11 на зонд 3 и подложку 4, установленную на подложкодержателе 5 реализуется заданный аналитический или технологический процесс.
Предлагаемая полезная модель обеспечивает расширение диапазона линейных перемещений зонда (до 1 мм).