УСТРОЙСТВО И СПОСОБ МНОГОКРАТНОГО СИММЕТРИЧНОГО РАЗДЕЛИТЕЛЬНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗА

1. Система для распределения материалов в рабочей камере для полупроводников, содержащая:
установочную пластину, содержащую множество резьбовых внешних отверстий и резьбовых внутренних отверстий;
множество распределителей, соединенных с установочной пластиной;
центральный продувающий модуль, соединенный с установочной пластиной и множеством распределителей;
множество модулей для распределения реагентов, причем каждый модуль для распределения реагентов расположен друг над другом для формирования стопы модулей для распределения реагентов, которая расположена сверху центрального продувающего модуля;
соединительный механизм для скрепления вместе множества модулей для распределения реагентов указанной стопы модулей для распределения реагентов и
верхнюю крышку, соединенную со стопой модулей для распределения реагентов и соединительным механизмом.
2. Система по п. 1, в которой каждый модуль для распределения реагентов содержит множество клапанов.
3. Система по п. 2, в которой каждый модуль для распределения реагентов содержит множество нагревательных блоков.
4. Система по п. 3, в которой каждый модуль для распределения реагентов соединен с общей линией подачи газа.
5. Система по п. 4, в которой множество клапанов каждого модуля для распределения реагентов содержит по меньшей мере четыре клапана;
причем множество нагревательных блоков каждого модуля для распределения реагентов содержит по меньшей мере четыре нагревательных блока, а
общее количество клапанов равно общему количеству нагревательных блоков.
6. Система по п. 5, дополнительно содержащая изолирующую оболочку, которая охватывает стопу модулей для распределения реагентов и верхнюю крышку.
7. Система по п. 1, в которой стопа модулей для распределения реагентов дополнительно содержит по меньшей мере четыре выемки для распределителей, выполненные на отдельных сторонах стопы модулей для распределения реагентов; причем
множество распределителей содержит по меньшей мере четыре распределителя, а каждый распределитель соединен с выемкой для распределителей.
8. Система по п. 1, в которой соединительный механизм содержит по меньшей мере четыре крепежных стержня, каждый из которых соединен вдоль продольной оси стопы модулей для распределения реагентов.
9. Система по п. 1, дополнительно содержащая опорную пластину, соединенную с установочной пластиной, причем опорная пластина содержит множество крепежных болтов, каждый из которых прочно соединен с отдельным внутренним отверстием установочной пластины.
10. Система по п. 9, дополнительно содержащая:
кожух, соединенный с установочной пластиной, и
головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки и соединенную с опорной пластиной.
11. Система по п. 10, в которой кожух дополнительно содержит:
первое изолирующее кольцо,
второе изолирующее кольцо, соединенное с первым изолирующим кольцом, и
наружное кольцо, соединенное с первым изолирующим кольцом, вторым изолирующим кольцом и кожухом.
12. Система по п. 11, дополнительно содержащая подузел изоляционная/установочная пластины, содержащий:
указанную установочную пластину и
изоляционную пластину, содержащую множество резьбовых внешних отверстий и множество резьбовых внутренних отверстий,
причем установочная пластина прочно соединена с изоляционной пластиной посредством множества внешних крепежных винтов, сопрягающихся с множеством резьбовых внешних отверстий установочной пластины и внешних отверстий изоляционной пластины.
13. Система по п. 1, в которой стопа модулей для распределения реагентов содержит первую подстопу и вторую подстопу, причем
первая подстопа содержит по меньшей мере один из модулей, включающих в себя одноканальный модуль для распределения реагентов первой подстопы и двуканальный модуль для распределения реагентов первой подстопы, а
вторая подстопа содержит по меньшей мере один из модулей, включающих в себя одноканальный модуль для распределения реагентов второй подстопы и двуканальный модуль для распределения реагентов второй подстопы.
14. Устройство для симметричного распределения газа в рабочей камере для полупроводников, содержащее:
модуль для распределения реагентов, имеющий первую и вторую противоположные стороны с множеством проходов между первой и второй противоположными сторонами,
вертикальный канал, просверленный в модуле для распределения реагентов и расположенный по центру в модуле для распределения реагентов, и
внутреннюю дозирующую пробку, соединенную с вертикальным каналом и выполненную с возможностью симметричного и разделительного распределения газа между указанными проходами.
15. Устройство по п. 14, дополнительно содержащее множество клапанов, соединенных с модулем для распределения реагентов, причем каждый клапан соединен по меньшей мере с одним проходом.
16. Устройство по п. 15,
в котором множество походов содержит по меньшей мере одно газовпускное отверстие и множество газовыпускных отверстий, причем
каждый клапан соединен меньшей мере с одним газовыпускным отверстием.
17. Устройство по п. 14, дополнительно содержащее множество нагревательных блоков, соединенных с модулем для распределения реагентов и по меньшей мере двумя клапанами.
18. Устройство по п. 14, в котором стопа модулей для распределения реагентов содержит по меньшей мере один из модулей из числа одноканального модуля для распределения реагентов и двуканального модуля для распределения реагентов.
19. Способ симметричного распределения газа в рабочей камере для полупроводников, включающий:
введение газа в модуль для распределения реагентов, имеющий первую и вторую противоположные стороны с множеством проходов между первой и второй противоположными сторонами;
передачу газа по вертикальному каналу, просверленному в модуле для распределения реагентов и расположенному по центру в модуле для распределения реагентов; и
симметричное и разделительное распределение газа между проходами с использованием внутренней дозирующей пробки, соединенной с вертикальным каналом.
20. Способ по п. 19, дополнительно включающий нагрев модуля для распределения реагентов с использованием множества нагревательных блоков, соединенных с модулем для распределения реагентов.