УСТРОЙСТВО СВЧ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ

Устройство СВЧ плазменной обработки, содержащее волноводный тракт, огибающий боковую стенку реакционной камеры, через центр широкой стенки волноводного тракта, перпендикулярно к камере проходят несколько разрядных трубок, а в местах их входа и выхода в волноводный тракт накладывается магнитное поле для создания условий электронного циклотронного резонанса, отличающееся тем, что волноводные тракты, выполненные кольцевыми, расположены на стенке реакционной камеры ярусами со смещением разрядных трубок в ярусах друг относительно друга, а так же дополнительно введен электрод, через который вводятся газы.