ЛАЗЕРНЫЙ АВТОКОЛЛИМАЦИОННЫЙ МИКРОСКОП

1
2
1. Лазерный автоколлимационный микроскоп, включающий первый измерительный канал, состоящий из размещенных по ходу луча источника излучения с длиной волны λ, первого коллимирующего объектива, первого светоделителя, светоделительная грань которого расположена под углом к оптической оси первого коллимирующего объектива, в отраженных лучах первого светоделителя расположен фокусирующий объектив, а в преломленных - первый многоэлементный приемник излучения, при этом в предметной плоскости фокусирующего объектива расположена контролируемая поверхность, отличающийся тем, что между первым светоделителем и фокусирующим объективом введен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси фокусирующего объектива, за первым светоделителем в продолжение оптической оси первого коллимирующего объектива перпендикулярно оптической оси расположена светопоглащающая пластина, а между первым светоделителем и первым многоэлементным приемником излучения расположен первый объектив, и дополнительно введен второй измерительный канал, состоящий из источника излучения с длиной волны λ и размещенных по ходу луча второго коллимирующего объектива, второго спектроделителя, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго коллимирующего объектива, при этом в отраженных лучах второго спектроделителя расположен второй светоделитель, в свою очередь, в преломленных лучах второго светоделителя расположен второй объектив, а за ним второй многоэлементный приемник излучения, при этом светоделительная грань второго светоделителя расположена под углом к оптической оси второго объектива, а в отраженных лучах второго светоделителя расположен первый спектроделитель, спектроделительная грань которого расположена под углом к оптической оси второго объектива.
3
2. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1, отличающийся тем, что дополнительно введен юстировочный канал, содержащий источник коллимированного излучения с длиной волны λ видимого диапазона, размещенный за вторым спектроделителем на оптической оси, соединяющей второй спектроделитель и второй светоделитель, и оптически связанный через второй спектроделитель и второй светоделитель с первым спектроделителем.
1
3. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ выполнен в виде когерентного источника излучения.
2
4. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ выполнен в виде когерентного источника излучения.
1
2
5. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источники излучения с длинами волн λ и λ выполнены в виде когерентных источников излучения.
1
6. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ выполнен в виде подсвечиваемой осветителем точечной диафрагмы.
1
7. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ представляет собой торец волоконно-оптического кабеля из поликристаллического волокна.
1
8. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ представляет собой светодиод.
2
9. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ выполнен в виде подсвечиваемой осветителем точечной диафрагмы.
2
10. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ представляет собой торец волоконно-оптического кабеля.
2
11. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что источник излучения с длиной волны λ представляет собой светодиод.
12. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.
13. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.
14. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба и во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде неполяризационного светоделительного куба.
15. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.
16. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.
17. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 5, отличающийся тем, что в первом измерительном канале первый светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина, и во втором измерительном канале второй светоделитель выполнен в виде поляризационного светоделительного куба, за которым по ходу лучей установлена четвертьволновая фазовая пластина.
18. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе соединений кадмий-ртуть-теллур.
19. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на основе антимонида индия.
20. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на квантово-размерных ямах.
21. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен охлаждаемым многоэлементным приемником инфракрасного излучения на барьерах Шоттки.
22. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе аморфного кремния.
23. Лазерный автоколлимационный микроскоп по п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый многоэлементный приемник излучения выполнен в виде неохлаждаемого микроболометрического многоэлементного приемника инфракрасного излучения на основе оксида ванадия.