СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗИСТОРА НА КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ИЛИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОДЛОЖКЕ

1. Способ изготовления резистора на кристаллической или поликристаллической подложке, заключающийся в том, что кристаллическую или поликристаллическую подложку стандартным образом шлифуют, располагают ее в импланторе, направляют сфокусированный поток ионов на подложку и рисуют им резистор.
2. Способ изготовления резистора на кристаллической или поликристаллической подложке по п. 1, отличающийся тем, что на подложке изготавливают маску для резистора, для чего на подложку наносят фоторезист, засвечивают его и смывают, направляют расфокусированный поток ионов на подложку с маской, которую предварительно располагают в импланторе, и получают резистор, а оставшийся фоторезист смывают.