СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКОЙ

1. Способ управления подложкой, когда подлежащую обработке подложку удерживают электростатическим держателем, содержащим:
корпус держателя, имеющий множество электродов,
планшайбу держателя из диэлектрического материала, имеющую выступающий участок, с которым периферийный краевой участок подлежащей обработке подложки способен приходить в поверхностный контакт, и множество поддерживающих участков, которые расположены вертикально на заданном расстоянии друг от друга во внутреннем пространстве, окруженном выступающим участком, и
средство ввода газа для введения заданного газа во внутреннее пространство,
при этом, когда подложку удерживают этим электростатическим держателем, который выполнен с возможностью притягивать подложку за счет приложения заданного напряжения между электродами и формировать газовую атмосферу за счет подачи заданного газа во внутреннее пространство, состоянием подложки управляют так, чтобы не наносить повреждений подложке,
причем способ содержит:
контроль величины тока при вызывании протекания переменного тока через электрическую емкость планшайбы посредством источника питания переменного тока,
контроль величины расхода газа при вызывании протекания газа из средства ввода газа и
управление состоянием подложки на основании отклонения в по меньшей мере одной из величины тока и величины расхода газа.
2. Способ управления подложкой по п.1, дополнительно содержащий, когда отклонение в по меньшей мере одной из величины тока и величины расхода газа превысило заданное пороговое значение,
оценку состояния подложки, которое приведет к повреждению подложки, и
регулирование по меньшей мере одного из прикладываемого к обоим электродам напряжения постоянного тока и величины расхода газа из средства ввода газа, исключающее тем самым упомянутое состояние подложки.
3. Способ управления подложкой по п.1, дополнительно содержащий после установки подложки на планшайбе:
контроль величины тока при вызывании протекания переменного тока до приложения напряжения к электродам и
оценку подложки как неприемлемой, если величина тока превышает заданное пороговое значение.
4. Способ управления подложкой по п.2, дополнительно содержащий после установки подложки на планшайбе:
контроль величины тока при вызывании протекания переменного тока до приложения напряжения к электродам и
оценку подложки как неприемлемой, если величина тока превышает заданное пороговое значение.
5. Способ управление подложкой по любому из пп.1-4, дополнительно содержащий после прекращения подачи напряжения из состояния притягивания подложки,
оценку на основании величины тока состояния, в котором подложка способна отделиться от планшайбы.