НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС

1. Нанотехнологический комплекс, включающий робот-раздатчик с возможностью осевого вращения, сопряженный с камерой загрузки образцов и модулем локального воздействия, отличающийся тем, что в него введены измерительный модуль, включающий сканирующий зондовый микроскоп, аналитическую камеру, монохроматор и источник рентгена, при этом измерительный модуль и аналитическая камера сопряжены с роботом-раздатчиком, монохроматор сопряжен с аналитической камерой, а источник рентгена - с монохроматором, причем модуль локального воздействия содержит модуль фокусированных ионных пучков и первый растровый электронный микроскоп.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между роботом-раздатчиком и аналитической камерой установлен блок сопряжения.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что модуль локального воздействия соединен с двумя сильфонами, симметрично расположенными относительно него и закрепленными на каркасах.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный модуль снабжен вторым растровым электронным микроскопом.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный модуль снабжен оптическим микроскопом.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что аналитическая камера содержит рентгеновский гониометр, снабженный сцинциляционным рентгеновским детектором, флуоресцентным рентгеновским детектором и линейным позиционно чувствительным рентгеновским детектором.