СПОСОБЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОЛИБДЕНОВО-ТИТАНОВЫХ ПЛАСТИН И МИШЕНЕЙ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ

1. Способ изготовления молибденово-титановой мишени для распыления, по существу, не имеющей фазы β(Ti, Мо), предусматривающий:
(a) предоставление порошкообразных молибдена и титана, где указанный порошкообразный титан присутствует в количестве около 5-95 ат.% по отношению к суммарному ат.% порошкообразных молибдена и титана, а остальное составляет порошкообразный молибден;
(b) смешивание порошкообразных молибдена и титана с получением смешанного порошка;
(c) при необходимости уплотнение смешанного порошка;
(d) герметизацию уплотненного порошка; и
(e) проводимое при нагревании прессование герметизированного порошка с получением первой пластины мишени MoTi.
2. Способ по п.1, в котором на стадии (е) прессование проводят при давлении от 75 до 300 МПа и нагревание проводят при температуре 725-925°С в течение 2-16 ч.
3. Способ по п.1, в котором порошкообразный молибден обладает средним размером частиц 20 мкм или менее.
4. Способ по п.1, в котором порошкообразный титан обладает средним размером частиц 44 мкм или менее.
5. Способ по п.1, в котором уплотнение на стадии (с) проводят в холодном изостатическом прессе.
6. Способ по п.1, в котором прессование/нагревание на стадии (е) проводят в горячем изостатическом прессе.
7. Способ по п.1, дополнительно предусматривающий стадии:
(f) удаления части герметизированного материала на первой пластине мишени;
(g) соединения первой пластины мишени со второй пластиной мишени MoTi вдоль края первой и второй пластины с получением соединенных пластин; и
(h) проводимого при нагревании прессования соединенных пластин с получением соединенной пластины мишени.
8. Способ по п.7, в котором соединенная пластина мишени составляет по меньшей мере 55×67 дюймов по площади.
9. Способ по п.7, в котором прессование и нагревание на стадии (h) представляет собой горячее изостатическое прессование, проводимое при давлении 75-300 МПа и при температуре 700-950°С.
10. Способ изготовления молибденово-титановой мишени для распыления, имеющей одну фазу β(Ti, Mo), при этом способ предусматривает стадии:
(a) предоставления порошкообразных молибдена и титана, где указанный порошкообразный титан присутствует в количестве около 5-95 ат.% по отношению к суммарному ат.% порошкообразных молибдена и титана, а остальное составляет порошкообразный молибден;
(b) смешивания порошкообразных молибдена и титана с получением смешанного порошка;
(c) при необходимости уплотнения смешанного порошка;
(d) герметизации уплотненного порошка; и
(е) проводимого при нагревании прессования герметизированного порошка с получением пластины мишени MoTi, имеющей одну фазу β(MoTi).
11. Способ по п.10, в котором на стадии (е) прессование проводят при давлении 75-300 МПа и нагревание проводят при температуре 900-1650°С в течение 2-16 ч.
12. Способ по п.10, в котором порошкообразный молибден обладает средним размером частиц 0,1-25 мкм.
13. Способ по п.10, в котором порошкообразный титан обладает средним размером частиц 5-50 мкм.
14. Способ по п.10, в котором уплотнение на стадии (с) проводят в холодном изостатическом прессе.
15. Способ по п.10, в котором прессование/нагревание на стадии (е) проводят в горячем изостатическом прессе.
16. Способ соединения вместе двух или большего количества пластин мишени для распыления с получением обладающей большой площадью мишени для распыления, при этом способ предусматривает:
(a) очистку края каждой из двух или большего количества пластин мишени;
(b) при необходимости нанесение соединяющего материала на край по меньшей мере одной из двух или большего количества соединяемых пластин мишени;
(c) герметизацию двух или большего количества пластин мишени; и
(d) проводимое при нагревании прессование двух или большего количества пластин мишени с получением обладающей большой площадью пластины мишени для распыления, где обладающая большой площадью пластина мишени для распыления составляет по меньшей мере 55x67 дюймов по площади.
17. Способ по п.16, в котором каждая из двух или большего количества пластин мишени обладает толщиной от 1/2 до 36 дюймов вдоль соединяемого края.
18. Способ по п.16, в котором каждая из двух или большего количества пластин мишени обладает толщиной 4-8 дюймов вдоль соединяемого края.
19. Способ по п.16, в котором пластины мишени состоят из молибдена и титана.
20. Способ по п.16, в котором применяют соединяющий материал, представляющий собой порошкообразный титан.
21. Способ по п.16, в котором применяют соединяющий материал, представляющий собой фольгу из титана.
22. Способ по п.16, в котором применяют соединяющий материал, представляющий собой порошкообразный титан-молибден.
23. Способ по п.16, в котором стадия прессования и нагревания представляет собой горячее изостатическое прессование, проводимое при давлении 75-300 МПа и при температуре 700-950°С.
24. Молибденово-титановая пленка, полученная распылением мишени, изготовленной способом по п.1.
25. Молибденово-титановая пленка, полученная распылением мишени, изготовленной способом по п.10.
26. Молибденово-титановая мишень для распыления, имеющая площадь по меньшей мере 55×67 дюймов.
27. Молибденово-титановая мишень для распыления, по существу, не имеющая фазу сплава β(Мо, Ti).
28. Молибденово-титановая мишень для распыления по п.27, обладающая плотностью, которая составляет по меньшей мере 95% от теоретической плотности.
29. Молибденово-титановая мишень для распыления, имеющая одну фазу сплава β(Мо, Ti).
30. Молибденово-титановая мишень для распыления по п.29, обладающая плотностью, которая составляет по меньшей мере 95% от теоретической плотности.