УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещений для нанотехнологии.
Известно устройство перемещений для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием. [Авторское свидетельство СССР №1713065, кл. H 02 L 41/09, 1991г.]
Недостатком аналога является невозможность одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке расположенных на минимальном расстоянии друг от друга.
Наиболее близким по технологической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее пьезоприводы с закрепленными на них зондами. [Свидетельство на полезную модель №30033, МПК 7 Н 01 L 41/00, 2003г. Опубл. 10.06.2003. Б.И. №16.]
Недостатком прототипа также является большое расстояние между зондами.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на минимальном расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещений для нанотехнологии, содержащем пьезоприводы с закрепленными на них зондами, согласно предложенной полезной модели, пьезоприводы выполнены в форме биморфов, которые закреплены на одной стенке «лесенкой», зонды закреплены на одной стороне биморфа и выполнены разной длины, таким образом, что острия зондов расположены в одной технологической плоскости.
Предложенное конструктивное выполнение устройства обеспечивает возможность независимого одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на минимальном расстоянии друг от друга.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1 и фиг.2.
На Фиг.1 показано устройство перемещений для нанотехнологии.
На Фиг.2 показано крепление пьезоэлемента к стенке.
Устройство перемещений для нанотехнологии (Фиг.1) содержит пьезоприводы 1 с закрепленными на них зондами 2 и подложку 3, электрически связанную с зондами 2. Пьезоприводы 1 выполнены в виде биморфов 4, которые закреплены на одной стенке 5 (Фиг.2) «лесенкой». Зонды 2 закреплены с одной стороны 6 биморфа 4 и выполнены разной длины, таким образом, что острия зондов 7 расположены в одной технологической плоскости.
Устройство перемещений для нанотехнологии работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезопривод 1 происходит изгиб биморфа 4, за счет чего зонд 2 опускается (поднимается) относительно технологической поверхности подложки 3. Таким образом, происходит независимая обработка нескольких точек локального участка подложки 3. Число обрабатываемых точек зависит от количества зондов 2.
Применение предложенного устройства перемещений для нанотехнологии позволяет одновременно и независимо зондировать несколько точек на поверхности подложки, расположенных на минимальном расстоянии друг от друга, при выполнении различных нанотехнологических операций.