НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ ОПЕРАЦИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам для выполнения операций.
Известно нанотехнологическое устройство для выполнения операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ №40537, кл. 7 H01L 37/02, 10.09.2004, Бюл. №25, (аналог)].
-12
-9
Недостатком аналога является невозможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны λ=4 пм ÷ 5 нм (4·10÷5·10 м).
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является нанотехнологическое устройство для выполнения операций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ №41933, кл. 7 H02N 2/00, 10.11.2004, Бюл. №31].
-12
-9
Недостатком прототипа также является невозможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны λ=4 пм ÷ 5 нм (4·10÷5·10 м).
-12
-9
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны λ=4 пм ÷ 5 нм (4·10÷5·10 м).
3
Поставленная техническая задача, решается тем, что в нанотехнологи-ческом устройстве для выполнения операций, содержащем неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок и фуллере-нов, размещенных в свинцовой матрице, причем углеродные нанотрубки размещены в каналах свинцовой матрицы в количестве не менее десяти углеродных нанотрубок в одном канале, а фуллерены расположены внутри углеродных нанотрубок в количестве не менее 10 в одной углеродной нанотрубке.
Кроме того, свинцовая матрица выполнена с диаметром d каждого канала равным 1,5÷2 нм, длиной L каждого канала равной 7,5÷8 мкм, и расстояние D между каналами по осям не менее двух диаметров канала.
Кроме того, каждая углеродная трубка имеет длину 750÷800 нм.
-12
-9
Предложенная конструкция устройства обеспечивает возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны λ=4 пм ÷ 5 нм (4·10÷5·10 м).
Сущность полезной модели поясняется рисунками, где на фиг.1 показано нанотехнологическое устройство для выполнения операций, на фиг.2 свинцовая матрица в разрезе.
3
Нанотехнологическое устройство для выполнения операций (фиг.1) содержит неподвижную платформу 1, закрепленный на ней пьезосканер 2, на котором установлен источник излучения 3, подложкодержатель 4 с установленной на нем подложкой 5. На торце 6 пьезосканера 2 установлен источник рентгеновского излучения 7 с фокусирующими линзами 8, выполненными в виде фокусирующих элементов - углеродных нанотрубок 9 и фуллеренов 10. Фуллерены 10 расположены внутри углеродных нанотрубок 9, а сами трубки 9 в каналах 11 свинцовой матрицы 12 (фиг.2). Диаметр каналов 11 свинцовой матрицы d равен 1,5÷2 нм, количество фуллеренов 10 не менее 10 в одной углеродной нанотрубке 9, длина одной углеродной нанотрубки 9 составляет 1750÷800 нм, количество углеродных нанотрубок 9 не менее десяти в одном канале 11 свинцовой матрицы 12. Длина L каждого канала 11 составляет 7,5÷8 мкм, а расстояние D между каналами по осям не менее двух диаметров канала, то есть 3÷4 нм.
3
-5
-7
Нанотехнологическое устройство для выполнения операций работает следующим образом. От источника 7 (фиг.1) подается рентгеновское излучение на фокусирующие линзы 8, которое фокусируется, проходя через систему нанотрубок 9 с расположенными в них фуллеренами 10. Фокусировка рентгеновского излучения осуществляется линзой, имеющей двояко - вогнутый профиль, получаемый за счет двух соседних фуллеренов 10 внутри углеродных нанотрубок 9 (фиг.2). Количество углеродных нанотрубок 9 не менее 10 в одном канале 11 синцовой матрицы 12 и количество фуллеренов 10 в одной углеродной нанотрубке 9 не менее 10, обусловлено тем, что коэффициент преломления рентгеновских лучей близок к единице и отличается от нее на 10-10.
-12
-9
Применение предполагаемого нанотехнологического устройства для выполнения операций обеспечивает возможность выполнения операций в рентгеновском диапазоне с длиной волны λ=4 пм ÷ 5 нм (4·Ю÷5·Ю м).