СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УСТРОЙСТВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ

1. Способ изготовления устройств на поверхностных акустических волнах, включающий в себя нанесение на пьезоэлектрическую подложку пленки алюминия толщиной до 5 мкм, формирование фоторезистивной маски, электрохимическое анодирование алюминия в зазорах между электродами, удаление образующегося пористого оксида алюминия в селективном химическом травителе, отличающийся тем, что под пленку алюминия наносят пленку вентильного металла толщиной от 0,05 мкм до 0,2 мкм, электрохимическим анодированием пленку вентильного металла частично переводят в оксид вентильного металла, удаляют образующейся оксид вентильного металла и непроанодированную пленку вентильного металла в селективных химических травителях, которые не воздействуют на пленку алюминия и материал пьезоэлектрической подложки.
2. Способ изготовления по п.1, отличающийся тем, что в качестве вентильного металла используют пленку титана.
3. Способ изготовления по п.1, отличающийся тем, что в качестве вентильного металла используют пленку тантала.
4. Способ изготовления по п.1, отличающийся тем, что в качестве вентильного металла используют пленку ниобия.
5. Способ изготовления по п.1, отличающийся тем, что в качестве вентильного металла используют пленку гафния.
6. Способ изготовления по п.1, отличающийся тем, что в качестве вентильного металла используют пленку циркония.