УСТАНОВКА ДЛЯ НАВОДОРАЖИВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КОМПОЗИТОВ И СПОСОБ ЕЕ ПРИМЕНЕНИЯ

1. Установка для наводораживания тонкопленочных композитов, характеризующаяся тем, что она содержит, как минимум, СВЧ-печь, внутри которой размещен кварцевый реактор, представляющий собой полый цилиндр, выполненный из кварцевого стекла, на торцах которого установлены диэлектрические фланцы с хвостовиками и с вакуумным уплотнением из термостойкой резины, и внутрь которого помещается исследуемый образец, при этом к каждому из фланцев подведены вакуумные шланги, по одному из которых в кварцевый реактор поступает водород, а через другой производится вакуумирование системы, состоящей из СВЧ-печи и реактора, при помощи механического насоса, причем кварцевый реактор выполнен с возможностью замены исследуемого образца, предпочтительно, за счет выполнения одного из фланцев с возможностью снятия/установки, при этом каждый фланец выполнен составным, состоящим, как минимум, из наружной оболочки, выполненной в виде полого двухступенчатого цилиндра, на наружной поверхности входной части которого выполнена наружная резьба, а на внутренней поверхности входной части выполнен внутренний конус, при этом в выходной части упомянутой наружной оболочки расположен хвостовик для вакуумного шланга, крышки, на внутренней поверхности которой выполнена внутренняя резьба, устанавливаемой на наружную оболочку и взаимодействующей с ней резьбовой поверхностью, уплотнения, устанавливаемого в конический зазор между корпусом реактора и наружной оболочкой и поджимаемого крышкой, при этом между внутренним торцом наружной оболочки и торцом полого цилиндра реактора установлена профилированная прокладка из кварцевого стекла с центральным отверстием, одна поверхность которой взаимодействует с торцом упомянутого цилиндра, а на другой поверхности выполнен хвостовик, входящий в ответный хвостовик наружной части и взаимодействующий с ним своим наружным диаметром, при этом внутренняя полость СВЧ-печи соединена с устройством для создания разрежения в указанной внутренней полости.
2. Способ применения установки по п.1, характеризующийся тем, что исследуемый образец размещают внутри полого цилиндра реактора из кварцевого стекла, при этом с обоих торцов упомянутого цилиндра устанавливают диэлектрические фланцы со шлангами, причем фланцы уплотняют вакуумным уплотнением из термостойкой резины, при этом к каждому из фланцев подводят вакуумные шланги, по одному из которых в кварцевый реактор подают водород, а через другой производят вакуумирование системы, при этом каждый фланец выполняют составным, состоящим, как минимум, из двух частей, наружной, выполненной из фторопласта, и внутренней, выполненной из кварцевого стекла, и взаимодействующей с торцом упомянутого цилиндра, при этом в упомянутой внутренней части фланца выполняют хвостовик, входящий в ответный хвостовик наружной части и взаимодействующий с ним своим наружным диаметром, при этом, при наводораживании образцов тонкопленочных композитов, упомянутый полый цилиндр с исследуемым образцом помещают в СВЧ-печь, далее производят вакуумирование системы, состоящей из СВЧ-печи и реактора, путем откачки воздуха через один из фланцев при помощи механического насоса до предельного значения при открытом натекателе, после чего производят подачу водорода в кварцевый реактор через другой фланец и осуществляют промывку всей системы водородом, затем натекатель прикрывают для достижения рабочего давления в реакторе, после чего обеспечивают СВЧ-разряд в кварцевом реакторе, зажигают водородную плазму и производят требуемую обработку водородом образцов из тонкопленочных композитов.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что в процессе наводораживания образцов из тонкопленочных композитов дополнительно вакуумируют СВЧ-печь.