СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ МИКРОСТРУКТУРЫ И МИКРОСТРУКТУРА, ПОЛУЧЕННАЯ УКАЗАННЫМ СПОСОБОМ

1. Способ изготовления множества металлических микроструктур, характеризующийся тем, что включает следующие этапы, на которых:
a) берут проводящую подложку или электроизоляционную подложку, покрытую проводящим затравочным слоем;
b) наносят слой фоточувствительной смолы на проводящую поверхность подложки;
c) сглаживают поверхность слоя фоточувствительной смолы до получения требуемой толщины и/или требуемого состояния поверхности;
d) облучают слой смолы через маску, определяющую контур требуемой микроструктуры;
e) растворяют незаполимеризовавшиеся участки слоя фоточувствительной смолы, чтобы обнажить участки проводящей поверхности подложки;
f) проводят гальваническое осаждение по меньшей мере одного слоя металла на указанных участках проводящей поверхности для формирования блока, который достигает верхней поверхности фоточувствительной смолы;
g) сглаживают смолу и электроформованный металл до одного уровня для формирования электроформованных деталей или микроструктур;
h) отделяют слой смолы и электроформованные детали или микроструктуры от подложки;
j, n, q) прикрепляют электроформованные детали или микроструктуры базовой торцевой поверхностью к рабочей пластине;
k, о, r) подвергают механической обработке наружные поверхности до получения деталей или микроструктур требуемой толщины и/или с требуемым состоянием поверхности;
l, р, s) высвобождают сформированные детали или микроструктуры.
2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что этап с) выравнивания выполняют с использованием режущего инструмента.
3. Способ по п.2, характеризующийся тем, что режущий инструмент является инструментом, участок режущей кромки которого изготовлен из твердого металла, керамики, карбида металла, нитрида металла или алмаза.
4. Способ по п.1, характеризующийся тем, что
- при проведении этапа f) металл осаждают до выхода его за пределы матрицы по высоте и продолжают осаждение металла на сглаженной поверхности смолы с образованием металлических перемычек, соединяющих детали друг с другом, причем указанные перемычки находятся на поверхности, противоположной указанной базовой торцевой поверхности;
- до проведения этапа j) выполняют этап i), во время которого с деталей или микроструктур удаляют слой фоточувствительной смолы;
- при проведении этапа k) удаляют перемычки, отделяя, таким образом, указанные детали или микроструктуры друг от друга;
- на этапе 1) отделяют детали или микроструктуры от рабочей пластины.
5. Способ по п.1, характеризующийся тем, что до проведения этапа n) способ включает следующие этапы, на которых:
i) удаляют с деталей или микроструктур слой фоточувствительной смолы;
m) накладывают клейкую ленту на поверхность указанных деталей или микроструктур, противоположную базовой торцевой поверхности;
о) удаляют клейкую ленту, отделяя, таким образом, указанные детали или микроструктуры друг от друга;
р) отделяют детали или микроструктуры от рабочей пластины.
6. Способ по п.1, характеризующийся тем, что на этапе s) отделяют детали или микроструктуры от рабочей пластины.
7. Способ по п.1, характеризующийся тем, что до проведения этапов l, р, s) детали или микроструктуры, закрепленные на рабочей пластине, подвергают механической обработке по толщине.
8. Способ по п.1, характеризующийся тем, что до проведения этапов l, р, s) на детали или микроструктуры, закрепленные на рабочей пластине, наносят покрытия физическими или химическими способами.
9. Способ по п.1, характеризующийся тем, что до проведения этапа е) проводят, по меньшей мере, один раз этапы b), с) и d) для получения многоуровневых деталей.