СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МОНОЛИТНЫХ КОНТАКТОВ И ЗОНДОВ

Способ изготовления монолитных контактов и зондов с проводящей дорожкой, формируемой путем травления материала, отличающийся тем, что формирование монолитных контактов и зондов с проводящими дорожками осуществляется с помощью фотолитографии, при этом первый контур является маской для второго травления проводящего слоя, и второй контур первого слоя является маской для первого травления.