Способ молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон

4
2
4
2
1. Способ молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон, включающий предварительную подготовку боковой и/или торцевой поверхности оптических кварцевых волокон для нанесения титаноксидных слоев, нанесение указанных слоев на боковые и/или торцевые поверхности оптических кварцевых волокон путем последовательной и попеременной их обработки парами TiCl и HO в вакуумном реакторе при давлении 1-100 Па и температуре 200-300°C, причем после каждой стадии обработки парами TiCl и HO избыток реагента и газообразных продуктов реакции удаляют из вакуумного реактора откачкой в течение 15-240 с, химические реакции на поверхности оптических кварцевых волокон протекают преимущественно по схемам (1) и (2):
а их многократное чередование приводит к формированию на поверхности оптических кварцевых волокон титаноксидного нанослоя, толщина которого определяется числом циклов молекулярного наслаивания, при этом предварительная подготовка боковой поверхности оптических кварцевых волокон включает в себя удаление защитного покрытия, спиртовую очистку и промывку очищенного кварцевого волокна в ультразвуковой ванне с дистиллированной водой, а предварительная подготовка торцевой поверхности оптических кварцевых волокон включает в себя удаление с части оптического кварцевого волокна защитного покрытия, очистку поверхности изопропиловым спиртом, скалывание и промывку очищенного кварцевого волокна в ультразвуковой ванне с дистиллированной водой.
2. Устройство молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон, состоящее из вакуумного реактора, подключенного к блоку питания и контроля температуры, термопарного манометра и ампул с реагентами, связанными через вакуумные вентили с термопарным манометром, который подключен к вакуумному реактору, форвакуумного насоса, связанного с азотной ловушкой, которая через дополнительный вакуумный вентиль подключена к вакуумному реактору.