СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОПОГРАФИИ ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ПОКРЫТИЕМ

1. Способ определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, при котором с помощью хроматического измерения белого света определяют трехмерную топографию покрытия и затем с помощью ультрафиолетовой интерферометрии определяют толщину покрытия и посредством сравнения с суммарными размерами покрытой поверхности определяют топографию поверхности под покрытием.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве отражающих поверхностей помещают покрытые металлом стеклянные или полимерные подложки.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве покрытий помещают нанесенные из раствора полимерные слои неотверждаемых или отверждаемых полимеров.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что в качестве полимерных слоев наносят эпоксиды на основе бис-фенола-А, полистирол или полиметилметакрилаты.
5. Устройство для определения топографии отражающих поверхностей с покрытием, в котором на месте измерения расположены устройство для хроматического измерения и устройство для ультрафиолетовой интерферометрии.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для хроматического измерения выполнено в виде хроматического датчика (CWL).
7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что устройство для ультрафиолетовой интерферометрии выполнено в виде интерферометра ультрафиолетового - видимого спектров (UV-VIS).