ПЬЕЗОПРИВОД ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к пьезоприводам для нанотехнологии.
Известен пьезопривод для нанотехнологии, содержащий блок питания, пьезомодули, связанные между собой и столом. [Авторское свидетельство СССР №1713065, кл. Н 02 L 41/09,1991 (аналог).]
Недостатком аналога является отсутствие возможности проведения двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является пьезопривод для нанотехнологии, содержащий блок питания, первый, второй, третий пьезомодули, последовательно связанные между собой таким образом, что оси пьезомодулей расположены по координатным направлениям X, Y, Z и основной зонд жестко связанный с третьим пьезомодулем. [Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Пьезопривод для нанотехники - ПМ №30034, 7 Н 01 L 41/09, 10.06.03 - Б.И. №16 (прототип)]
Недостатком прототипа также является отсутствие возможности проведения двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность проведения двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки.
Поставленная техническая задача решается тем, что пьезопривод для нанотехнологии, содержащий блок питания, первый, второй, третий пьезомодули, последовательно связанные между собой таким образом, что оси пьезомодулей расположены по координатным направлениям X, Y, Z и основной зонд жестко связанный с третьим пьезомодулем, согласно предложенной полезной модели, снабжен четвертым пьезомодулем, установленным соосно третьему пьезомодулю и закрепленным на П-образном элементе, который жестко связан со вторым пьезомодулем, причем на четвертом пьезомодуле жестко закреплен дополнительный
зонд, таким образом, что основной и дополнительный онды установлены соосно и направлены навстречу друг другу.
Введение в пьезопривод для нанотехнологии четвертого пьезомодуля, установленного соосно третьему пьезомодулю и закрепленного на П-образном элементе, который жестко связан со вторым пьезомодулем, и снабженного дополнительным зондом, таким образом, что дополнительный и основной зонды установлены соосно и направлены навстречу друг другу, обеспечивает возможность проведения двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показан пьезопривод для нанотехнологии.
Пьезопривод для нанотехнологии (фиг.1) содержит блок питания 1, связанный с тремя пьезомодулями 2, 3, 4 последовательно соединенными между собой таким образом, что оси пьезомодулей расположены по координатным осям X, Y, Z, основной зонд 5 жестко связан с пьезомодулем 4. А также пьезомодуль 6, связанный с блоком питания 1 и закрепленный на П-образном элементе 7. Причем на пьезомодуле 6 жестко закреплен дополнительный зонд 8. Зонды 5 и 8 установлены соосно и направленны навстречу друг другу, обеспечивая возможность проведения двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки 9.
Пьезопривод для нанотехнологии (фиг.1) работает следующим образом.
При подаче напряжения от блока питания 1 на пьезомодуль 2 происходит его независимое перемещение вдоль оси Y. При подачи напряжнения от блока питания 1 на пьезомодуль 3 происходит его независимое перемещение вдоль оси X. При подаче напряжения от блока питания 1 на пьезомодули 4 и 6 происходит их независимое перемещение вдоль оси Z, таким образом, что зонды 5 и 8, закрепленные на пьезомодулях 4 и 6, перемещаются навстречу друг другу и к поверхности подложки 9.
Применение предлагаемого технического решения пьезопривода для нанотехнологии позволяет обеспечить возможность двухстороннего одновременного зондирования закрепленной подложки.