ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

Полезная модель относится к измерительной технике, в частности к емкостным датчикам давления преимущественно газообразных сред и может быть использовано в различных отраслях промышленности, например, в авиационной технике, в машиностроении, энергетике, нефтяной, химической промышленности и т.д.
Известен «ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ» SU 823913 [1], содержащий корпус и мембрану на которых размещены соответственно неподвижный и подвижный электроды, корпус и мембрана выполнены из монокристаллов.
Недостатками известной конструкции являются высокая стоимость, обусловленная применением дорогостоящих монокристаллов.
Наиболее близким к заявляемому техническому решению является «ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ» SU 410794 [2], содержащий неподвижный электрод, токопроводящую мембрану и изолятор между токопроводящей мембраной и неподвижным электродом, неподвижный электрод выполнен с токопроводящим покрытием как минимум на поверхности электрода, обращенной к мембране. Неподвижный электрод в известном решении выполнен из ситалла.
Ситалл является более доступным материалом по сравнению с монокристаллами.
Недостатком является нестабильность характеристик, присущая поликристаллам с неоднородным составом.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение стабильности характеристик емкостного преобразователя давления.
Технический результат достигается тем, что неподвижный электрод выполнен на основе плавленого кварца.
Неподвижный электрод может быть выполнен с напылением металлического зеркала на поверхности электрода, обращенной к мембране. Металлическое зеркало, полученное напылением обладает достаточно высокой технологичностью при удовлетворительных электрических характеристиках.
В составе металла напыленного зеркала может присутствовать хром и никель. Хром повышает адгезию покрытия к стеклу, никель позволяет проводить соединение пайкой проводников с покрытием.
На фиг схематически представлен поперечный разрез предлагаемого устройства, где:
1 - неподвижный электрод;
2 - токопроводящая мембрана;
3 - изолятор;
4 - токопроводящее покрытие.
Устройство действует следующим образом: Неподвижный электрод 1 с токопроводящим покрытием 4 служит одной обкладкой, а токопроводящая мембрана 2 - второй обкладкой измерительного конденсатора. Изолятор 3 служит для изоляции обкладок друг для друга.
Технический результат - повышение стабильности характеристик достигается применением для изготовления неподвижного электрода плавленого кварца, благодаря однородности своей структуры обладающего стабильными механическими характеристиками.
Промышленное применение. Предлагаемая полезная модель может быть с успехом применена для изготовления емкостных преобразователей давления.