ГАЗОАНАЛИЗАТОР НА ОСНОВЕ МИКРОСПЕКТРОМЕТРА

1. Спектрометр, содержащий
инфракрасный источник (S) для проецирования инфракрасного пучка,
ячейку (G, 102) газовой пробы, расположенную на пути инфракрасного пучка,
сканирующее зеркало (14, 32, 46, 60, 64, 68, 106), несущее дифракционную решетку (22), содержащую совокупность параллельных линий и расположенную на пути инфракрасного пучка после его прохождения через ячейку газовой пробы,
резонансную систему привода сканера (P, 20, 28), выполненную с возможностью колебания сканирующего зеркала относительно оси, параллельной линиям дифракционной решетки,
первый фокусирующий элемент (16, 62, 66, 108), расположенный с возможностью фокусировки, по меньшей мере, одной полосы, представляющей интерес, инфракрасного пучка, испытавшего дифракцию на дифракционной решетке,
первый детектор (18, D, 110), расположенный с возможностью приема, по меньшей мере, одной сфокусированной полосы, представляющей интерес, и
схему считывания первого детектора, связанную в рабочем состоянии с первым детектором для приема сигнала от первого детектора.
2. Спектрометр по п.1, дополнительно содержащий
делитель (44, 47), расположенный на пути дифрагированного инфракрасного пучка от сканирующего зеркала,
второй фокусирующий элемент (48), расположенный на соответствующем пути дискретных полос, представляющих интерес,
второй детектор (D), выполненный с возможностью приема сфокусированной дискретной полосы, представляющей интерес, и
схему считывания второго детектора, связанную в рабочем состоянии со вторым детектором для приема сигнала от второго детектора.
3. Спектрометр по п.2, в котором делитель представляет собой дихроичный делитель для разделения дифрагированного инфракрасного пучка на дискретные полосы, представляющие интерес.
4. Спектрометр по п.2, в котором первый фокусирующий элемент является линзой или зеркалом, и второй фокусирующий элемент является линзой или зеркалом.
5. Спектрометр по п.1, в котором первый фокусирующий элемент является линзой или зеркалом.
6. Спектрометр по п.1, дополнительно содержащий линзу с большой апертурой (C, 104), расположенную между инфракрасным источником и ячейкой пробы.