ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ УПРАВЛЯЮЩИХ ПАРАМЕТРОВ ДИСПЛЕЯ НА ОСНОВЕ МЭМС И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТАКИХ ПАРАМЕТРОВ

1. Способ измерения порогового напряжения устройства МЭМС, согласно которому:
к устройству прикладывают перепады напряжения и измеряют количество заряда, переданного на устройство при приложении по меньшей мере одного из указанных перепадов напряжения;
на основании измеренного заряда определяют, изменяет ли каждый из указанных перепадов напряжения состояние устройства; и
определяют пороговое напряжение по меньшей мере частично на основе перепада напряжения, вызывающего изменение состояния.
2. Способ по п.1, согласно которому определение порогового напряжения включает определение напряжения, достаточного для приведения в движение подвижного элемента устройства.
3. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает интегрирование силы тока, приложенной к устройству.
4. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает измерение силы тока, приложенной к устройству.
5. Способ по п.1, согласно которому измерение заряда включает цифровое интегрирование сигнала и/или аналоговое интегрирование сигнала.
6. Способ по п.1, согласно которому дополнительно:
заземляют вывод устройства и прикладывают напряжение инициализации, которое переводит устройство в исходное состояние;
перед приложением перепадов напряжения подключают вывод устройства к цепи интегратора и
измеряют заряд посредством цепи интегратора.
7. Способ по п.6, согласно которому дополнительно:
перед подачей перепада напряжения положительной полярности подключают вывод устройства к первому интегратору;
посредством цепи первого интегратора измеряют заряд с определением первого порогового значения;
перед подачей перепада напряжения отрицательной полярности подключают вывод устройства ко второму интегратору; и
посредством цепи второго интегратора измеряют заряд с определением второго порогового значения.
8. Способ по п.1, согласно которому устройство содержит несколько элементов и согласно которому дополнительно:
к каждому из элементов прикладывают перепады напряжения и измеряют количество заряда, переданного на устройство при приложении по меньшей мере одного из указанных перепадов напряжения;
на основании измеренного заряда определяют, изменяет ли каждый из указанных перепадов напряжения состояние заданного числа элементов; и
определяют пороговое напряжение по меньшей мере частично на основании перепада напряжения, приводящего к изменению состояния указанного заданного числа элементов.
9. Способ по п.1, согласно которому дополнительно:
измеряют заряд, переданный на устройство при приложении по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности;
прикладывают к устройству тестовое напряжение;
измеряют заряд, переданный на устройство при приложении по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности;
определяют, изменяет ли тестовое напряжение состояние устройства на основании разности между зарядом, измеренным при перепаде напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при перепаде напряжения отрицательной полярности.
10. Способ по п.1, согласно которому устройство содержит матрицу элементов, на которую подают перепады напряжения положительной и отрицательной полярностей и согласно которому дополнительно:
прикладывают перепады напряжения положительной полярности к первой части матрицы;
прикладывают перепады напряжения отрицательной полярности ко второй части матрицы;
определяют, изменилось ли состояние элементов на основании разности между зарядом, измеренным при перепадах напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при перепадах напряжения отрицательной полярности.
11. Способ по п.10, согласно которому каждая из первой и второй частей матрицы содержит по меньшей мере один столбец, а каждый из столбцов первой части граничит по меньшей мере с одним столбцом второй части.
12. Способ по п.1, согласно которому в качестве порогового напряжения определяют пороговое значение активации или пороговое значение выключения и согласно которому дополнительно:
определяют изменение состояния;
определяют следующий прикладываемый перепад напряжения для измерения второго порогового значения, отличного от пороговых значений активации и выключения; и
прикладывают к устройству указанный следующий перепад напряжения.
13. Способ по п.1, в котором в качестве порогового напряжения определяют положительное пороговое значение или отрицательное пороговое значение и согласно которому дополнительно:
определяют второе пороговое значение, отличное от положительного и отрицательного пороговых значений; и
определяют напряжение разбаланса, которое, по существу, является средним значением положительного и отрицательного порогов.
14. Способ по п.2, согласно которому дополнительно определяют пороговое напряжение выключения по меньшей мере частично на основании перепада напряжения, приводящего к изменению состояния устройства из активированного в выключенное.
15. Способ по п.14, согласно которому в качестве порогового напряжения выключения определяют пороговое напряжение по постоянному току.
16. Способ по п.14, согласно которому перепады напряжения имеют начальное напряжение и конечное напряжение одинаковой полярности.
17. Способ по п.2, согласно которому дополнительно определяют пороговое напряжение активации по меньшей мере частично на основании перепада напряжения, приводящего к изменению состояния устройства из выключенного в активированное.
18. Способ по п.17, согласно которому в качестве порогового напряжения активации определяют пороговое напряжение по постоянному току.
19. Способ по п.2, согласно которому дополнительно определяют пороговое напряжение активации по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приводящего к изменению состояния устройства из выключенного в активированное и имеющего начальное и конечное напряжения противоположной полярности.
20. Способ по п.19, согласно которому пороговое напряжение активации приблизительно равно конечному напряжению указанного конкретного перепада напряжения.
21. Способ по п.19, согласно которому начальное и конечное напряжения, по существу, равны по абсолютной величине относительно напряжения разбаланса.
22. Способ по п.19, согласно которому в качестве порогового напряжения активации определяют пороговое напряжение по импульсу.
23. Способ по п.19, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжений определяют второе пороговое значение и
определяют по меньшей мере одно из напряжений, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжений на основании второго порогового значения.
24. Способ по п.23, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по импульсу.
25. Способ по п.2, согласно которому дополнительно определяют пороговое напряжение выключения по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приводящего к изменению состояния устройства из активированного в выключенное и имеющего начальное и конечное напряжения противоположной полярности.
26. Способ по п.25, согласно которому пороговое напряжение выключения приблизительно равно конечному напряжению указанного конкретного перепада напряжения.
27. Способ по п.25, согласно которому начальное и конечное напряжения, по существу, равны по абсолютной величине относительно напряжения разбаланса.
28. Способ по п.25, согласно которому в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по импульсу.
29. Способ по п.25, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжений определяют второе пороговое значение и
определяют по меньшей мере одно из напряжений, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжений на основании второго порогового значения.
30. Способ по п.29, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по импульсу.
31. Способ по п.2, согласно которому устройство содержит несколько элементов и согласно которому дополнительно:
определяют пороговое напряжение выключения первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход первого элемента из выключенного состояния в активированное.
32. Способ по п.31, согласно которому пороговое напряжение выключения приблизительно равно конечному напряжению указанного конкретного перепада напряжения.
33. Способ по п.31, согласно которому устройство содержит матрицу элементов, в которой первый элемент расположен в первом столбце, а второй элемент расположен во втором столбце.
34. Способ по п.33, согласно которому первые и вторые элементы расположены в одной и той же строке матрицы.
35. Способ по п.31, согласно которому устройство содержит матрицу элементов, а первые и вторые элементы отделены от нее.
36. Способ по п.31, согласно которому в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
37. Способ по п.31, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжения определяют второе пороговое значение и
определяют по меньшей мере одно напряжение, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжения на основании второго порогового значения.
38. Способ по п.37, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
39. Способ по п.37, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
40. Способ по п.31, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжения определяют второе пороговое значение;
затем перед приложением перепадов напряжения определяют третье пороговое значение; и
определяют по меньшей мере одно напряжение, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжения на основании третьего порогового значения.
41. Способ по п.38, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
42. Способ по п.2, согласно которому устройство содержит несколько элементов и согласно которому дополнительно:
определяют пороговое напряжение активации первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход первого элемента из активированного состояния в выключенное.
43. Способ по п.42, согласно которому пороговое напряжение активации приблизительно равно конечному напряжению указанного конкретного перепада напряжения.
44. Способ по п.42, согласно которому в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
45. Способ по п.42, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжения определяют второе пороговое значение; и
определяют по меньшей мере одно напряжение, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжения на основании второго порогового значения.
46. Способ по п.45, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
47. Способ по п.45, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
48. Способ по п.42, согласно которому дополнительно:
перед приложением перепадов напряжения определяют второе пороговое значение;
затем перед приложением перепадов напряжения определяют третье пороговое значение; и
определяют по меньшей мере одно напряжение, начальное или конечное, по меньшей мере одного перепада напряжения на основании третьего порогового значения.
49. Способ по п.48, согласно которому в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
50. Способ по п.1, согласно которому определяют по меньшей мере одно управляющее напряжение на основе измеренного порогового напряжения.
51. Устройство МЭМС, содержащее
два электрода;
формирователь, выполненный с возможностью подачи на электроды перепадов напряжения;
датчик, выполненный с возможностью индикации количества заряда, переданного на электроды при приложении по меньшей мере одного перепада напряжения;
цепь сравнения, выполненную с возможностью определения на основании измеренного заряда, изменяет ли каждый из указанных перепадов напряжения состояние устройства;
процессор, выполненный с возможностью определения порогового напряжения по меньшей мере частично на основании перепада напряжения, вызывающего изменение состояния.
52. Устройство по п.51, в котором датчик дополнительно выполнен с возможностью интегрирования силы тока, приложенной к устройству.
53. Устройство по п.51, в котором датчик дополнительно выполнен с возможностью измерения силы тока, приложенной к устройству.
54. Устройство по п.51, в котором датчик дополнительно выполнен с возможностью интегрирования сигнала по меньшей мере одним из способов, цифровым или аналоговым.
55. Устройство по п.51, в котором:
датчик содержит цепь интегратора;
а формирователь дополнительно выполнен с возможностью подачи на электроды напряжения инициализации, обеспечивающего перевод устройства в исходное состояние, и возможностью последующего подключения, перед подачей перепадов напряжения, одного из электродов к цепи интегратора, выполненной с возможностью измерения заряда, поданного на электроды при приложении перепада напряжения.
56. Устройство по п.55, в котором:
цепь интегратора содержит первый и второй интеграторы;
формирователь выполнен с возможностью подключения одного электрода к первому интегратору перед подачей перепада напряжения положительной полярности;
датчик выполнен с возможностью измерения посредством цепи интегрирования заряда, приложенного к одному из электродов при приложении перепада напряжения положительной полярности;
процессор выполнен с возможностью определения первого порогового значения на основе заряда, измеренного при приложении перепада напряжения положительной полярности;
формирователь дополнительно выполнен с возможностью подключения одного из электродов ко второму интегратору перед подачей перепадов напряжения отрицательной полярности;
датчик дополнительно выполнен с возможностью измерения посредством цепи второго интегратора заряда, поданного на один из электродов при приложении перепада напряжения отрицательной полярности;
процессор дополнительно выполнен с возможностью определения второго порогового значения на основании заряда, измеренного при приложении перепада напряжения отрицательной полярности.
57. Устройство по п.51, которое содержит несколько элементов и в котором:
формирователь выполнен с возможностью приложения к каждому элементу перепадов напряжения;
датчик выполнен с возможностью индикации количества заряда, переданного на электроды при приложении по меньшей мере одного перепада напряжения;
процессор дополнительно выполнен с возможностью определения на основании измеренного заряда того, изменяет ли указанный по меньшей мере один перепад напряжения состояние заданного числа элементов, и возможностью определения второго порогового значения на основании заряда, измеренного при приложении перепада напряжения, вызывающего изменение состояния указанного заданного числа элементов.
58. Устройство по п.51, в котором:
формирователь дополнительно выполнен с возможностью подачи на электроды по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности, тестового напряжения и по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности;
датчик выполнен с возможностью измерения заряда, приложенного к электродам, при подачи на них по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности и по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности;
а процессор дополнительно выполнен с возможностью определения того, изменило ли тестовое напряжение состояние устройства, на основании разности между зарядом, измеренным при перепаде напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при перепаде напряжения отрицательной полярности.
59. Устройство по п.51, которое дополнительно содержит матрицу элементов, на которые могут быть поданы перепады напряжения положительной и отрицательной полярностей, и в котором формирователь выполнен с возможностью подачи по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности на первую часть матрицы и возможностью подачи по меньшей мерей одного перепада напряжения отрицательной полярности на вторую часть матрицы, а цепь сравнения выполнена с возможностью определения изменения состояния элементов на основании разности между зарядом, измеренным при подаче перепада напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при подаче перепада напряжения отрицательной полярности.
60. Устройство по п.59, согласно которому каждый из первой и второй частей матрицы содержит по меньшей мере один столбец, а каждый из столбцов первой части граничит по меньшей мере с одним столбцом второй части.
61. Устройство по п.51, в котором в качестве порогового напряжения использовано пороговое значение активации или пороговое значение выключения, процессор выполнен с возможностью определения следующего прикладываемого перепада напряжения для измерения второго порогового значения, отличного от пороговых значений активации и выключения, а формирователь выполнен с возможностью подачи на устройство указанного следующего перепада напряжения.
62. Устройство по п.51, в котором в качестве порогового напряжения использовано положительное или отрицательное пороговое значение, а процессор выполнен с возможностью определения второго порогового значения, отличного от положительного и отрицательного пороговых значений, и возможностью определения напряжения разбаланса, по существу равного среднему значению положительного и отрицательного пороговых значений.
63. Устройство по п.51, в котором каждый перепад напряжения имеет начальное и конечное напряжения одинаковой полярности.
64. Устройство по п.63, в котором в качестве порогового напряжения использовано пороговое напряжение выключения по постоянному току.
65. Устройство по п.63, в котором в качестве порогового напряжения использовано пороговое напряжение активации по постоянному току.
66. Устройство по п.51, в котором процессор дополнительно выполнен с возможностью определения порогового напряжения активации по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приводящего к переходу устройства из выключенного состояния в активированное и имеющего начальное и конечное напряжения противоположной полярности.
67. Устройство по п.66, в котором активирующее пороговое напряжение представляет собой импульсное пороговое напряжение.
68. Устройство по п.66, в котором процессор дополнительно выполнен с возможностью определения второго порогового значения перед подачей формирователем перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального или конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании второго порогового значения.
69. Устройство по п.68, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового значения активации использовано пороговое значение по импульсу.
70. Устройство по п.51, в котором процессор дополнительно выполнен с возможностью определения порогового значения выключения по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, вызывающего переход устройства из активированного состояния в выключенное и имеющего начальное и конечное напряжения одинаковой полярности.
71. Устройство по п.69, в котором в качестве порогового значения выключения использовано пороговое значение по импульсу.
72. Устройство по п.70, в котором процессор выполнен с возможностью определения второго порогового значения перед подачей формирователем перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального или конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании второго порогового значения.
73. Устройство по п.72, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового значения выключения использовано пороговое значение по импульсу.
74. Устройство по п.51, которое содержит несколько элементов и в котором процессор дополнительно выполнен с возможностью определения порогового напряжения выключения первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход первого элемента из активированного состояния в выключенное.
75. Устройство по п.74, содержащее матрицу элементов, в которой первый элемент расположен в первом столбце, а второй элемент расположен во втором столбце матрицы.
76. Устройство по п.75, в котором первый и второй элементы расположены в одной строке матрицы.
77. Устройство по п.74, которое содержит матрицу элементов, от которой отделены первые и вторые элементы.
78. Устройство по п.74, в котором в качестве порогового напряжения выключения использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
79. Устройство по п.74, в котором процессор выполнен с возможностью определения второго порогового значения перед подачей перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального или конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании второго порогового значения.
80. Устройство по п.79, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения выключения использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
81. Устройство по п.79, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
82. Устройство по п.73, в котором процессор выполнен с возможностью последовательного определения второго и третьего пороговых значений перед подачей перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального или конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании третьего порогового значения.
83. Устройство по п.82, в котором в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, в качестве третьего порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
84. Устройство по п.51, которое содержит несколько элементов и в котором процессор выполнен с возможностью определения порогового напряжения активации первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход первого элемента из выключенного состояния в активированное.
85. Устройство по п.84, в котором в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
86. Устройство по п.84, в котором процессор выполнен с возможностью определения второго порогового значения перед подачей перепадов напряжения и определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании второго порогового значения.
87. Устройство по п.86, в котором вторая пороговая величина представляет собой порог по постоянному току, а активирующее пороговое напряжение есть пороговое напряжение перекрестных помех.
88. Устройство по п.86, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения активации использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
89. Устройство по п.84, в котором процессор выполнен с возможностью последовательного определения второго и третьего пороговых значений перед подачей перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального или конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основании третьего порогового значения.
90. Устройство по п.89, в котором в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, в качестве третьего порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
91. Устройство по п.51, в котором определение по меньшей мере одного управляющего напряжения выполнено на основе измеренного порогового напряжения.
92. Устройство по п.51, которое дополнительно содержит:
дисплей;
второй процессор, который выполнен с возможностью связи с дисплеем и возможностью обработки видеоданных; и
запоминающее устройство, выполненное с возможностью связи с указанным вторым процессором.
93. Устройство по п.92, которое дополнительно содержит цепь формирователя, выполненную с возможностью подачи по меньшей мере одного сигнала на дисплей.
94. Устройство по п.93, которое дополнительно содержит контроллер, выполненный с возможностью передачи по меньшей мере части видеоданных в цепь формирователя.
95. Устройство по п.92, которое дополнительно содержит модуль видеоисточника, выполненный с возможностью подачи видеоданных на второй процессор.
96. Устройство по п.95, в котором:
модуль видеоисточника содержит по меньшей мере один приемник, приемопередатчик или передатчик.
97. Устройство по п.92, которое дополнительно содержит устройство ввода, выполненное с возможностью приема входных данных и их передачи на второй процессор.
98. Способ по п.1, согласно которому устройство содержит матрицу элементов, на которую подают перепады напряжения положительной и отрицательной полярности, и согласно которому дополнительно:
прикладывают перепад напряжения положительной полярности к первой части матрицы,
прикладывают перепад напряжения отрицательной полярности ко второй части матрицы,
и при этом измеряют заряд, переданный на устройство, путем измерения разности между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным перепадом напряжения отрицательной полярности.
99. Способ по п.98, согласно которому перепад напряжения положительной полярности и перепад напряжения отрицательной полярности подают, по существу, одновременно.
100. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
во время подачи перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей прикладывают ко всей матрице первое опорное напряжение;
измеряют первую разность между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным перепадом напряжения отрицательной полярности;
во время подачи дополнительных перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей прикладывают ко всей матрице второе опорное напряжение;
измеряют вторую разность между зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения отрицательной полярности;
сравнивают первую и вторую разности; и
определяют напряжение разбаланса, которое должно быть равно опорному напряжению, соответствующему минимуму первой и второй разностей.
101. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
переводят элементы матрицы в первое состояние;
прикладывают первый перепад напряжения к первой части матрицы;
прикладывают второй перепад напряжения ко второй части матрицы,
полярность которой противоположна полярности первого перепада напряжения;
измеряют разность между зарядом, наведенным первым перепадом напряжения, и зарядом, наведенным вторым перепадом напряжения;
после подачи первого и второго перепадов напряжения элементы матрицы повторно переводят в первое состояние;
после повторного переведения элементов матрицы прикладывают к первой части матрицы третий перепад напряжения;
после повторного переведения элементов матрицы прикладывают ко второй части матрицы четвертый перепад напряжения, полярность которого противоположна полярности третьего перепада напряжения; и
измеряют разность между зарядом, наведенным третьим перепадом напряжения, и зарядом, наведенным четвертым перепадом напряжения.
102. Способ по п.101, согласно которому первый и второй перепады напряжения, а также третий и четвертый перепады напряжения соответственно прикладывают, по существу, одновременно.
103. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
переводят элементы матрицы в выключенное состояние;
прикладывают к первому сегменту матрицы последовательность перепадов напряжения положительной полярности с различными абсолютными величинами;
прикладывают ко второму сегменту матрицы последовательность перепадов напряжения отрицательной полярности с различными абсолютными величинами;
при этом определяют пороговое значение путем определения порога активации на основании величин импульсов напряжения положительной и отрицательной полярностей, а также определения изменения состояния устройства на активированное, импульсами напряжения этой величины.
104. Способ по п.103, согласно которому перепады напряжения положительной полярности прикладывают, по существу, одновременно с перепадами напряжения отрицательной полярности.
105. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
переводят элементы матрицы в первое состояние;
прикладывают к первому сегменту матрицы первый перепад напряжения, который способствует удержанию элементов первого сегмента в первом состоянии;
прикладывают ко второму сегменту матрицы второй перепад напряжения, полярность которого противоположна полярности первого перепада напряжения; и
определяют, изменено ли состояние элементов второго сегмента матрицы под действием второго перепада напряжения путем измерения разности между зарядом, наведенным первым перепадом напряжения, и зарядом, наведенным вторым перепадом напряжения.
106. Способ по п.105, согласно которому первый перепад напряжения и второй перепад напряжения прикладывают, по существу, одновременно.
107. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
переводят элементы матрицы в активированное состояние;
прикладывают к первой части матрицы последовательность перепадов напряжения положительной полярности с различными абсолютными величинами;
прикладывают ко второй части матрицы последовательность перепадов напряжения отрицательной полярности с различными абсолютными величинами;
при этом определяют пороговое значение путем определения порогового значения активации на основании абсолютных значений перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей, а также на основании того, изменено ли состояние устройства на выключенное под действием перепадов напряжения с этими абсолютными величинами.
108. Способ по п.107, согласно которому перепады напряжения положительной полярности прикладывают, по существу, одновременно с перепадами напряжения отрицательной полярности.
109. Способ по п.98, согласно которому дополнительно:
во время подачи перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей прикладывают ко всей матрице первое опорное напряжение;
измеряют первую разность между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным перепадом напряжения отрицательной полярности;
во время подачи дополнительных перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей прикладывают ко всей матрице второе опорное напряжение;
измеряют вторую разность между зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения отрицательной полярности;
сравнивают указанные первую и вторую разности; и
определяют напряжение разбаланса, которое равно опорному напряжению, соответствующему минимуму первой и второй разностей.
110. Способ измерения предела устройства МЭМС, согласно которому:
переводят элементы матрицы в первое состояние;
прикладывают напряжение удержания положительной полярности к первому сегменту матрицы;
прикладывают напряжение удержания отрицательной полярности ко второй части матрицы;
во время приложения напряжений удержания положительной и отрицательной полярностей подают тестовый импульс на элементы матрицы;
подают на первый сегмент матрицы перепад напряжения отрицательной полярности для приложения к нему напряжения удержания отрицательной полярности;
подают на второй сегмент матрицы перепад напряжения положительной полярности для приложения к нему напряжения удержания положительной полярности;
измеряют разность между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным перепадом напряжения отрицательной полярности, для определения того, изменено ли состояние под действием тестового импульса по меньшей мере одного элемента матрицы; и
определяют указанный предел на основании того, изменено ли состояние под действием тестового импульса по меньшей мере одного элемента матрицы.
111. Способ по п.110, согласно которому в качестве первого состояния выбрано активированное состояние, а в качестве предела выбран предел выключения.
112. Способ по п.110, согласно которому в качестве первого состояния выбрано выключенное состояние, а в качестве предела выбран предел активации.
113. Устройство МЭМС, выполненное с возможностью перехода в активированное состояние под действием активирующего напряжения, возможностью перехода в выключенное состояние под действием выключающего напряжения и возможностью сохранения текущего состояния под действием напряжения удержания, содержащее
первые и вторые средства активации и выключения в соответствии с напряжением;
средства приложения перепадов напряжения на первые и вторые средства активации и выключения;
средства индикации количества заряда, поданного на устройство при приложении по меньшей мере одного перепада напряжения;
средства определения на основании измеренного заряда, изменено ли под действием по меньшей мере одного перепада напряжения состояние устройства; и
средства определения порогового напряжения по меньшей мере частично на основании перепада напряжения, вызывающего изменение состояния.
114. Устройство по п.113, в котором первые и вторые средства активации и выключения содержат электроды.
115. Устройство по п.114, в котором средства приложения перепадов напряжения содержат формирователь.
116. Устройство МЭМС по п.114, в котором средства индикации содержат датчик.
117. Устройство по п.116, в котором средства определения изменения состояния содержат цепь сравнения.
118. Устройство по п.117, в котором средства определения порогового напряжения содержат процессор.
119. Устройство по п.113, в котором средства индикации выполнены с возможностью интегрирования сигнала по меньшей мере одним из способов, цифровым или аналоговым.
120. Устройство по п.113, в котором:
средства индикации содержат цепь интегратора, а
средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью приложения к первым средствам активации и вторым средствам выключения напряжения инициализации, обеспечивающего перевод устройства в исходное состояние, и возможностью присоединения перед подачей перепадов напряжения одних из указанных средств, первых или вторых, к цепи интегратора, которая выполнена с возможностью измерения заряда, поданного на средства активации или средства выключения во время приложения перепадов напряжения.
121. Устройство по п.120, в котором:
цепь интегратора содержит первый и второй интеграторы;
средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью подключения перед подачей перепадов напряжения положительной полярности одних из указанных средств, первых или вторых, к первому интегратору;
средства индикации выполнены с возможностью измерения при помощи цепи первого интегратора заряда, поданного к одним из указанных средств, первым или вторым, при подаче перепада напряжения положительной полярности;
средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения первого порогового значения на основании заряда, измеренного при подаче перепада напряжения положительной полярности;
средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью подключения одних из указанных средств, первых или вторых, ко второму интегратору перед подачей перепада напряжения отрицательной полярности;
средства индикации выполнены с возможностью измерения при помощи цепи второго интегратора заряда, поданного к одним из указанных средств, первым или вторым, при подаче перепада напряжения отрицательной полярности;
средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения второго порогового значения на основании заряда, измеренного при подаче перепада напряжения отрицательной полярности.
122. Устройство по п.113, которое содержит несколько элементов и в котором
средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью приложения к каждому элементу перепадов напряжения;
средства индикации выполнены с возможностью измерения заряда, поданного на указанные средства активации или выключения во время приложения по меньшей мере одного перепада напряжения;
средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения на основании измеренного заряда, изменено ли состояние заданного числа элементов за счет по меньшей мере одного перепада напряжения, а также с возможностью определения второго порогового значения на основании заряда, измеренного во время приложения перепада напряжения, вызвавшего изменение состояния указанного заданного числа элементов.
123. Устройство по п.113, в котором:
средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью подачи на указанные средства активации или выключения по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности, тестового напряжения и по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности;
средства индикации выполнены с возможностью измерения заряда, поданного на указанные средства активации или выключения во время приложения по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности и по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности; а
средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения того, изменено ли состояние устройства за счет тестового напряжения, на основе разности между зарядом, измеренным при перепадах напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при перепадах напряжения отрицательной полярности.
124. Устройство по п.113, которое содержит матрицу элементов, на которые могут быть поданы перепады напряжения положительной и отрицательной полярности, причем средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью подачи по меньшей мере одного перепада напряжения положительной полярности на первую часть матрицы и подачи по меньшей мере одного перепада напряжения отрицательной полярности на вторую часть матрицы, а указанные средства определения изменения состояния выполнены с возможностью определения, изменено ли состояние элементов на основе разности между зарядом, измеренным при подаче перепадов напряжения положительной полярности, и зарядом, измеренным при подаче перепадов напряжения отрицательной полярности.
125. Устройство по п.113, в котором в качестве порогового напряжения выбрано пороговое значение активации или выключения; средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения следующего прикладываемого перепады напряжения для измерения второго порогового значения, отличного от пороговых значений активации или выключения, а средства приложения перепадов напряжения выполнены с возможностью подачи на устройство указанного следующего перепада напряжения.
126. Устройство по п.113, в котором в качестве порогового напряжения выбрано пороговое значение положительной или отрицательный полярности, а средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения второго порогового значения, отличного от пороговых значений положительной и отрицательной полярностей, и определения напряжения разбаланса, по существу равного среднему арифметическому пороговых значений положительной и отрицательный полярностей.
127. Устройство по п.113, в котором все перепады напряжения имеют начальное и конечное напряжения одинаковой полярности.
128. Устройство по п.127, в качестве порогового напряжения выбрано пороговое напряжение выключения по постоянному току.
129. Устройство по п.127, в качестве порогового напряжения активации выбрано пороговое напряжение активации по постоянному току.
130. Устройство по п.113, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения порогового напряжения активации по меньшей мере частично на основе конкретного перепада напряжения, вызывающего переход устройства из выключенного состояния в активированное состояние и имеющего начальное и конечное напряжения противоположных полярностей.
131. Устройство по п.130, в котором в качестве порогового напряжения активации выбрано пороговое напряжение по импульсу.
132. Устройство по п.130, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения второго порогового значения перед подачей перепадов напряжения средствами приложения перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе второго порогового значения.
133. Устройство по п.132, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового значения активации использовано пороговое значение по импульсу.
134. Устройство по п.113, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения порогового напряжения выключения по меньшей мере частично на основе конкретного перепада напряжения, вызывающего переход устройства из активированного состояния в выключенное и имеющего начальное и конечное напряжения противоположных полярностей.
135. Устройство по п.134, в котором в качестве порогового значения выключения использовано пороговое значение по импульсу.
136. Устройство по п.133, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения второго порогового значения перед подачей разностей напряжения средствами приложения разностей напряжений и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе второго порогового значения.
137. Устройство по п.136, в котором в качестве второго порогового значения использовано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового значения выключения использовано пороговое значение по импульсу.
138. Устройство по п.113, которое содержит несколько элементов и в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения порогового напряжения выключения первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход устройства из выключенного состояния в активированное состояние.
139. Устройство по п.138, которое содержит матрицу элементов, от которой отделены первый и второй элементы.
140. Устройство по п.138, в котором пороговое напряжение представляет собой пороговое напряжение перекрестных помех.
141. Устройство по п.138, в котором устройство для определения порогового напряжения выполнено с возможностью определения второго порогового значения перед подачей перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе второго порогового значения.
142. Устройство по п.141, в котором в качестве второго порогового значения выбрано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения выключения использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
143. Устройство по п.141, в котором в качестве второго порогового значения выбрано пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
144. Устройство по п.138, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью последовательного определения второго и третьего порогов перед приложением разностей напряжений и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе третьего порога.
145. Устройство по п.144, в котором в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, в качестве третьего порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения выключения используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
146. Устройство по п.113, которое содержит несколько элементов и в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения порогового напряжения активации первого элемента по меньшей мере частично на основании конкретного перепада напряжения, приложенного ко второму элементу и вызывающего переход первого элемента из активированного состояния в выключенное.
147. Устройство по п.146, в котором в качестве порогового напряжения активации использовано пороговое напряжение по перекрестным помехам.
148. Устройство по п.146, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью определения второго порогового значения перед подачей перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе второго порогового значения.
149. Устройство по п.148, в котором в качестве второго порогового значения выбрано пороговое значение по постоянному току, а в качестве порогового напряжения активации использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
150. Способ по п.148, в котором в качестве второго порогового значения выбрано пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения активации использовано пороговое значение по перекрестным помехам.
151. Устройство по п.146, в котором средства определения порогового напряжения выполнены с возможностью последовательного определения второго и третьего порогов перед приложением перепадов напряжения и возможностью определения по меньшей мере одного из напряжений, начального либо конечного, по меньшей мере одного из перепадов напряжения на основе третьего порога.
152. Устройство по п.151, в котором в качестве второго порогового значения используют пороговое значение по постоянному току, в качестве третьего порогового значения используют пороговое значение по импульсу, а в качестве порогового напряжения активации используют пороговое напряжение по перекрестным помехам.
153. Устройство по п.113, в котором дополнительно определено по меньшей мере одно управляющее напряжение на основе измеренного порогового напряжения.
154. Устройство по п.113, которое содержит матрицу элементов, на которую подают перепады напряжения положительной и отрицательной полярностей, и которое дополнительно содержит:
средства приложения перепада напряжения положительной полярности к первой части матрицы; и
средства приложения перепада напряжения отрицательной полярности ко второй части матрицы;
причем средства индикации выполнены с возможностью измерения разности между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным перепадом напряжения отрицательной полярности.
155. Устройство по п.154, в котором средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью, по существу, одновременной подачи перепадов напряжения положительной полярности и перепадов напряжения отрицательной полярности.
156. Устройство по п.154, которое дополнительно содержит:
средства подачи первого опорного напряжения ко всей матрице при подаче перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей;
средства измерения первой разности между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным разностью напряжений отрицательной полярности;
средства подачи второго опорного напряжения ко всей матрице при подаче дополнительных перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей;
средства измерения второй разности между зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения отрицательной полярности;
средства сравнения первой и второй разностей; и
средства определения напряжения разбаланса, которое равно опорному напряжению, соответствующему минимуму из первой и второй разностей.
157. Устройство по п.154, которое дополнительно содержит:
средства перевода элементов матрицы в первое состояние;
средства подачи первого перепада напряжения к первой части матрицы;
средства подачи ко второй части матрицы второго перепада напряжения,
полярность которого противоположна полярности первого перепада напряжения;
средства измерения разности между зарядом, наведенным первым перепадом напряжения, и зарядом, наведенным вторым перепадом напряжения;
средства повторного переведения элементов матрицы в первое состояние после подачи первого и второго перепадов напряжения;
средства подачи третьего перепада напряжения к первой части матрицы после повторного переведения элементов матрицы в первое состояние; и
средства подачи ко второй части матрицы после переведения элементов матрицы в первое состояние четвертого перепада напряжения, полярность которого противоположна полярности третьего перепада напряжения; и
средства измерения разности между зарядом, наведенным третьим перепадом напряжения, и зарядом, наведенным четвертым перепадом напряжения.
158. Устройство по п.157, в котором средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью подачи первого и второго перепадов напряжения, а также третьего и четвертого перепадов напряжения, соответственно, по существу, одновременно.
159. Устройство по п.154, которое дополнительно содержит:
средства перевода элементов матрицы в выключенное состояние;
средства подачи к первой части матрицы последовательности перепадов напряжения положительной полярности с различными абсолютными величинами;
средства подачи ко второй части матрицы последовательности перепадов напряжения отрицательной полярности с различными абсолютными величинами;
при этом средства определения порогового значения выполнены с возможностью определения порогового значения активации на основе абсолютных величин перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей, а также определения того, изменено ли состояние устройства на активированное под действием перепадов напряжения с этими абсолютными величинами.
160. Устройство по п.159, в котором средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью приложения перепадов напряжения положительной полярности, по существу, одновременно с перепадами напряжения отрицательной полярности.
161. Устройство по п.113, которое дополнительно содержит:
средства перевода элементов матрицы в первое состояние;
средства подачи к первой части матрицы первого перепада напряжения, удерживающего элементы первой части матрицы в первом состоянии;
средства подачи ко второй части матрицы второго перепада напряжения, полярность которого противоположна полярности первого перепада напряжения; и
средства определения того, изменено ли под действием второго перепада напряжения состояние устройства, путем измерения разности между зарядом, наведенным первым перепадом напряжения, и зарядом, наведенным вторым перепадом напряжения.
162. Устройство по п.161, в котором средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью приложения первого и второго перепадов напряжения, по существу, одновременно.
163. Устройство по п.113, которое дополнительно содержит:
средства перевода элементов матрицы в активированное состояние;
средства подачи к первой части матрицы последовательности перепадов напряжения положительной полярности с различными абсолютными величинами;
средства подачи ко второй части матрицы последовательности перепадов напряжения отрицательной полярности с различными абсолютными величинами;
при этом средства определения порогового значения выполнены с возможностью определения порогового значения активации на основе абсолютных величин перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей, а также определения того, изменено ли состояние устройства на активированное под действием перепадов напряжения с этими абсолютными величинами.
164. Устройство по п.163, в котором средства подачи перепадов напряжения выполнены с возможностью приложения перепадов напряжения положительной полярности, по существу, одновременно с перепадами напряжения отрицательной полярности.
165. Устройство по п.113, которое дополнительно содержит:
средства подачи первого опорного напряжения ко всей матрице при подаче перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей;
средства измерения первой разности между зарядом, наведенным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным разностью напряжений отрицательной полярности;
средства подачи второго опорного напряжения ко всей матрице при подаче дополнительных перепадов напряжения положительной и отрицательной полярностей;
средства измерения второй разности между зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения положительной полярности, и зарядом, наведенным дополнительным перепадом напряжения отрицательной полярности;
средства сравнения первой и второй разностей; и
средства определения напряжения разбаланса, которое равно опорному напряжению, соответствующему минимуму из первой и второй разностей.
166. Устройство МЭМС, выполненное с возможностью перехода в активированное состояние под действием активирующего напряжения, возможностью перехода в выключенное состояние под действием выключающего напряжения и возможностью сохранения текущего состояния под действием напряжения удержания, содержащее
средства перевода элементов матрицы в первое состояние;
средства подачи к первой части матрицы напряжения удержания положительной полярности;
средства подачи ко второй части матрицы напряжения удержания отрицательной полярности;
средства подачи к элементам матрицы тестового импульса при приложении напряжений удержания положительной и отрицательной полярностей;
средства подачи к первой части матрицы перепада напряжения отрицательной полярности для подачи напряжения удержания отрицательной полярности;
средства подачи ко второй части матрицы перепада напряжения положительной полярности для подачи напряжения удержания положительной полярности;
средства измерения разницы между зарядом, наведенным положительным перепадом напряжения, и зарядом, наведенным отрицательным перепадом напряжения, для определения того, изменено ли состояние по меншей мере одного элемента матрицы под действием тестового импульса;
средства определения предела на основании того, изменено ли состояние по меньшей мере одного элемента матрицы под действием тестового импульса.
167. Устройство по п.166, в котором в качестве первого состояния выбрано активированное состояние, а в качестве указанного предела предел выключения.
168. Устройство по п.167, в котором в качестве первого состояния выбрано выключенное состояние, а в качестве указанного предела предел активации.