КРЕМНИЕВЫЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ СОЛНЕЧНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ОБЛАДАЮЩИЙ УСОВЕРШЕНСТВОВАННОЙ ДЫМЧАТОСТЬЮ, И СПОСОБЫ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ повышения дымчатости комплексного покрытия, имеющего верхний слой и подстилающий слой, включающий:
осаждение подстилающего слоя, имеющего шероховатую поверхность; и
осаждение верхнего слоя поверх подстилающего слоя с помощью химического осаждения из газовой фазы, так чтобы верхний слой имел более шероховатую поверхность, чем подстилающий слой.
2. Способ по п.1, в котором верхний слой имеет уровень дымчатости в диапазоне от 5% до 30%.
3. Способ по п.1, в котором подстилающий слой содержит оксиды одного или нескольких материалов, выбранных из кремния, титана, циркония, олова, алюминия, фосфора, и их смесей.
4. Способ по п.3, в котором оксид титана является оксидом титана в анатазной модификации с толщиной в диапазоне от 20 нм до 25 нм.
5. Способ повышения дымчатости комплексного покрытия, имеющего верхний слой и подстилающий слой, с использованием способа нанесения покрытия с помощью химического осаждения из газовой фазы, включающий по меньшей мере одно из:
- повышения скорости потока предшественника;
- снижения скорости потока газа-носителя;
- повышения температуры подложки;
- повышения скорости потока воды;
- снижения скорости потока выпускных газов; и
- повышения толщины по меньшей мере одного из верхнего или подстилающего слоев.
6. Способ по п.5, в котором предмет с нанесенным покрытием имеет пропускание видимого света более 80%, и поверхностное сопротивление менее 15 Ω/.
7. Способ по п.6, в котором поверхностное сопротивление меньше 10 Ω/.
8. Способ по п.6, в котором поверхностное сопротивление находится в диапазоне от 5 Ω/ до 9 Ω/.
9. Способ по п.5, включающий снижение скорости потока выпускных газов до достижения осаждения гранулярной пленки.
10. Способ повышения дымчатости комплексного покрытия, содержащего верхний слой и подстилающий слой, включающий:
- получение подстилающего слоя из диоксида титана в анатазной модификации; и
- осаждение слоя оксида олова, легированного фтором, поверх по меньшей мере части подстилающего слоя.
11. Тонкопленочный солнечный элемент, содержащий:
- прозрачную подложку, имеющую по меньшей мере одну основную поверхность;
- первое покрытие, сформированное поверх по меньшей мере части основной поверхности, где первое покрытие содержит один или несколько оксидов, выбранных из оксидов кремния, титана, алюминия, олова, циркония и/или фосфора;
- второе покрытие, сформированное поверх по меньшей мере части первого покрытия, где второе покрытие содержит один или несколько оксидных материалов, выбранных из оксидов одного или нескольких элементов из Zn, Fe, Mn, Al, Се, Sn, Sb, Hf, Zr, Ni, Zn, Bi, Ti, Co, Cr, Si или In, или сплава из двух или более из этих материалов.
12. Солнечный элемент по п.11, в котором первое покрытие содержит диоксид кремния.
13. Солнечный элемент по п.11, в котором первое покрытие содержит оксиды по меньшей мере двух элементов из кремния, титана, алюминия, олова, циркония и фосфора.
14. Солнечный элемент по п.11, в котором второе покрытие дополнительно содержит один или несколько легирующих материалов, выбранных из F, In, Al, P, и Sb.
15. Солнечный элемент по п.11, в котором второе покрытие содержит оксид олова, легированный фтором.