СПОСОБ ТЕКСТУРИРОВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И ПЛАСТИНЫ, ПОЛУЧЕННЫЕ ЭТИМ СПОСОБОМ

1. Способ текстурирования кремниевых пластин, включающий:
- погружение пластин в щелочной раствор с рН>10, и
- приложение разности потенциалов между пластиной и платиновым электродом,
причем
- щелочной раствор представляет собой раствор КОН или NaOH с концентрацией КОН или NaOH приблизительно от 2 мас.% до приблизительно 40 мас.%,
- температура ванны составляет приблизительно от 30°С до приблизительно 70°С,
- продолжительность поляризации составляет от 5 мин до приблизительно 30 мин, и
- потенциал, прикладываемый между пластиной и платиновым противоэлектродом, изменяется импульсно от +20 В до +85 В.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что концентрация щелочи находится в интервале приблизительно от 10 мас.% до приблизительно 40 мас.%, а температура ванны - приблизительно от 30°С до приблизительно 50°С.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что концентрация щелочи находится в интервале от 2 мас.% до 10 мас.%, а температура ванны - в интервале от 30°С до 50°С.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что температура ванны находится в интервале от 50°С до точки кипения раствора КОН или NaOH.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что пластины подвергают предварительному травлению в течение периода времени перед приложением потенциала путем погружения в щелочной раствор без приложения потенциала.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что период предварительного травления варьирует от 1-2 с до приблизительно 30 мин, предпочтительно приблизительно от 5 мин до 10 мин.