УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУР НА ПОДЛОЖКЕ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам получения наноструктур на подложке.
Известно устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижной направляющей и зондом. [Авт. Свид. СССР №1713065, МПК Н 02 L 41//09, 1991]
Недостатком аналога является низкая производительность.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с зондом и неподвижной направляющей, подложку, установленную на координатном столе. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учебное пособие // М. МИЭТ, 2000 - 69с., ил. стр.4-5]
Недостатком прототипа является низкая производительность.
В основу полезной модели положена техническая задача, которая состоит в том, чтобы обеспечить высокую производительность.
Поставленная техническая задача решается тем, в устройстве для получения наноструктур на подложке, содержащем пьезопривод, жестко связанный с системой зондов и неподвижной направляющей, и подложку, установленную на координатном столе, согласно предложенной полезной модели, зонды выполнены в виде углеродных нанотрубок, установленных в кассету, устройство снабжено источником лазерного излучения с возможностью воздействия на подложку посредством углеродных нанотрубок.
Введение в предложенное устройство зондов, выполненных в виде углеродных нанотрубок, и источника лазерного излучения приводит к резкому повышению производительности за счет реализации возможности параллельного выполнения
множества нанотехнологических операций.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство для получения наноструктур на подложке.
Устройство для получения наноструктур на подложке (фиг.1) содержит пьезопривод 1, который жестко связан с системой зондов 2 и неподвижной направляющей 3, подложку 4, установленную на координатном столе 5.
Зонды 2 выполнены в виде углеродных нанотрубок 6, установленных в кассету 8, в устройство введен источник лазерного излучения 7 с возможностью воздействия на подложку 4 посредством углеродных нанотрубок 6.
Устройство для получения наноструктур на подложке (фиг.1) работает следующим образом:
С помощью пьезопривода 1 осуществляется перемещение системы зондов 2, а с помощью стола 5 - перемещение подложки 4 относительно системы зондов 2 (привод перемещения подложки 4 на (фиг.1) условно не показан). Активируется источник лазерного излучения 7 и посредством углеродных нанотрубок 6 оказывается воздействие на подложку 4, в результате чего на ней образуется наноструктура.
Применение предложенного устройства для получения наноструктур на подложке позволяет образовывать на подложке одновременно несколько наноструктур и тем самым обеспечить высокую производительность.