УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ ПУТЕМ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ФИЗИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

1. Установка для нанесения на подложки покрытий из надлежащих материалов путем электронно-лучевого физического осаждения из паровой фазы, включающая тигельное устройство, содержащее по меньшей мере два тигля, расположенных со смещением друг относительно друга в горизонтальной плоскости, при этом упомянутое тигельное устройство расположено в раме (1), выполненной с возможностью перемещения в горизонтальной плоскости, при этом в упомянутой раме под каждым тиглем расположена по меньшей мере одна доставочная шахта (13) для размещения в ней прутка из материала для формирования покрытия, и включающая по меньшей мере одно подъемное устройство (21), выполненное с возможностью введения упомянутого прутка, расположенного в доставочной шахте (13), через основание тигля в тигель для осуществления там его испарения под действием бомбардировки его электронным лучом от генератора электронов, характеризующаяся тем, что каждый тигль снабжен подъемным устройством (21), расположенным в раме (1), при этом рама (1) выполнена с возможностью линейного перемещения в направлении упомянутого смещения тиглей.
2. Установка по п.1, характеризующаяся тем, что тигельное устройство - это одно из двух тигельных устройств, при этом тигли обоих тигельных устройств имеют одно и то же смещение.
3. Установка по п.2, характеризующаяся тем, что каждому тиглю предназначена карусель (12), содержащая несколько доставочных шахт (13) и установленная с возможностью вращения вокруг вертикальной оси (14) в раме (1).
4. Установка по любому из пп.1-3, характеризующаяся тем, что она расположена в вакуумной камере (4), при этом передача мощности на приводные валы (25) для подъемных устройств (21) осуществлена сквозь стенку вакуумной камеры (4) без нарушения герметичности и двигатели (24) для привода отдельных подъемных устройств (21) расположены за пределами вакуумной камеры (4).
5. Установка по п.4, характеризующаяся тем, что каждое соединение между двигателями и подъемными устройствами, передающее крутящий момент, имеет телескопически удлиняемую секцию.
6. Установка по п.3, характеризующаяся тем, что доставочные шахты (13) образованы расположенными по кругу вертикальными прутьями (17), простирающимися между верхним вращающимся диском (16) и нижним вращающимся диском (15).
7. Установка по п.6, характеризующаяся тем, что каждое из подъемных устройств (21), выполненных в виде подъемных винтов, имеет выступающее вбок продолжение, выполненное с возможностью вступать в контакт с доставочной шахтой (13), образованной вертикальными прутьями (17).
8. Установка по п.3, характеризующаяся тем, что каждый тигель снабжен питающей манжетой (10, 11), расположенной на верхней стороне рамы (1), через которую сквозь основание тигля в тигель может быть введен пруток из материала для формирования покрытия, при этом каждая питающая манжета (10, 11) снабжена зажимным средством, предназначенным для удержания прутка в питающей манжете (10, 11).