СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЛУЧЕВЫХ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ, ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО, А ТАКЖЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПУСКАНИЯ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

1. Способ определения лучевых параметров пучка заряженных частиц, в котором:
а) пучок заряженных частиц устройства для испускания пучка заряженных частиц посредством отклоняющего лучи устройства (3) направляют через предусмотренную в диафрагменном устройстве (7) компоновочную схему щелевых диафрагм с одной или несколькими щелевыми диафрагмами (8),
б) посредством задающего измерительную плоскость (10) лучевого датчика (6) фиксируют координаты на измерительной плоскости точек лучевого попадания прошедших сквозь компоновочную схему щелевых диафрагм лучевых составляющих,
в) расположенную в диафрагменном устройстве (7), выполненную в виде перфорированной диафрагмы измерительную диафрагму (9) автоматически перемещают в положение над заданной на измерительной плоскости (10) опорной измерительной точкой, причем на основе известного геометрического расположения щелевой диафрагмы/щелевых диафрагм (8), а также измерительной диафрагмы (9) на диафрагменном устройстве (7) для определения управляющих данных для перемещения измерительной диафрагмы (9) выполняют обработку координат на измерительной плоскости точек лучевого попадания, и
г) для измерения лучевых параметров пучок заряженных частиц направляют через перемещенную согласно признаку в) измерительную диафрагму (9).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что для осуществления шага способа согласно признаку а) п. 1 пучок заряженных частиц многократно направляют через компоновочную схему щелевых диафрагм.
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что для осуществления шага способа согласно признаку а) п. 1 пучок заряженных частиц направляют через компоновочную схему щелевых диафрагм в двух независимых друг от друга направлениях отклонения отклоняющего устройства (3).
4. Способ по одному из предшествующих пп., отличающийся тем, что для осуществления шага способа согласно признаку а) п. 1 пучок заряженных частиц направляют через компоновочную схему щелевых диафрагм в осциллирующем состоянии.
5. Способ по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что в качестве опорной измерительной точки выбирают точку попадания неотклоненного пучка заряженных частиц в измерительную плоскость (10).
6. Способ по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что положение и/или направленность диафрагменного устройства (7) относительно измерительной плоскости (10) заданным образом по меньшей мере один раз изменяют, по меньшей мере в двух различных положениях и/или направленностях диафрагменного устройства (7) выполняют шаги способа согласно признакам а) и б) п. 1, а изменение положения и/или направленности диафрагменного устройства (7) обрабатывают в качестве других данных для определения управляющих данных для перемещения измерительной диафрагмы (9) согласно шагу в) способа по п. 1.
7. Способ по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что в процессе обработки зафиксированных согласно признаку б) п. 1 координат на измерительной плоскости точек лучевого попадания определяют по меньшей мере один калибровочный параметр отклоняющего лучи устройства (3).
8. Способ по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что для проверки других лучевых параметров, прежде всего углового отклонения направленного на опорную измерительную точку пучка заряженных частиц и/или положения фокуса, измерительную диафрагму (9) перемещают с перпендикулярным измерительной плоскости (10) компонентом.
9. Способ по одному из пп. 1-3, отличающийся тем, что определенные лучевые параметры вводят по обратной связи для управления или регулирования устройством для испускания пучка заряженных частиц.
10. Предназначенное для использования в способе по одному из п.п. 1-9 измерительное устройство (5) для измерения лучевых параметров, включающее в себя лучевой датчик (6), а также диафрагменное устройство (7), причем диафрагменное устройство (7) включает в себя компоновочную схему щелевых диафрагм и измерительную диафрагму (9), и причем измерительная диафрагма (9) выполнена в виде перфорированной диафрагмы, отличающееся тем, что компоновочная схема щелевых диафрагм включает в себя по меньшей мере два непараллельных друг другу участка (12, 13, 15, 16) щелевых диафрагм.
11. Измерительное устройство по п. 10, отличающееся тем, что, по меньшей мере, некоторые из участков (12, 13, 15, 16) щелевых диафрагм относятся к одной отдельной сквозной щелевой диафрагме (8).
12. Измерительное устройство по п. 10, отличающееся тем, что компоновочная схема щелевых диафрагм включает в себя замкнутую, бесконечную щелевую диафрагму (8).
13. Измерительное устройство по п. 11, отличающееся тем, что компоновочная схема щелевых диафрагм включает в себя замкнутую, бесконечную щелевую диафрагму (8).
14. Измерительное устройство по одному из п.п. 10-13, отличающееся тем, что щелевая диафрагма (8) или по меньшей мере одна из щелевых диафрагм (8) является, по меньшей мере, участками кругообразной.
15. Измерительное устройство по одному из п.п. 10-13, отличающееся тем, что предусмотрена защитная заслонка для временного закрытия компоновочной схемы щелевых диафрагм и измерительной диафрагмы (9).
16. Измерительное устройство по п. 14, отличающееся тем, что предусмотрена защитная заслонка для временного закрытия компоновочной схемы щелевых диафрагм и измерительной диафрагмы (9).
17. Измерительное устройство по одному из п.п. 10-13 или 16, отличающееся собственным отклоняющим устройством для пучка заряженных частиц.
18. Устройство для испускания пучка заряженных частиц для осуществления способа по одному из п.п. 1-9, включающее в себя источник (2) пучков заряженных частиц и отклоняющее лучи устройство (3), отличающееся измерительным устройством (5) по одному из п.п. 10-17.
19. Устройство для испускания пучка заряженных частиц по п. 18, отличающееся средством для ввода по обратной связи результатов измерений измерительного устройства (5) для управления устройством для испускания пучка заряженных частиц.