ПОДЛОЖКА АКТИВНОЙ МАТРИЦЫ И УСТРОЙСТВО ОТОБРАЖЕНИЯ
ACTIVE MATRIX SUBSTRATE AND DISPLAY DEVICE

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
[0001] Настоящее изобретение относится к подложке активной матрицы и к устройству отображения. Более конкретно, настоящее изобретение относится к подложке активной матрицы монолитного типа и устройству отображения.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОМУ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
[0002] В последнее время передовых информационных технологий расширился рынок плоских панелей отображения, таких как жидкокристаллические дисплеи (LSD), плазменные дисплеи (PDP), неорганические электролюминесцентные (неорганические EL) дисплеи и органические электролюминесцентные (органические EL) дисплеи, и такие дисплеи активно разрабатывают.
[0003] Требуется дальнейшее уменьшение размеров и веса портативных электронных устройств, таких как сотовые телефоны и КПК (компактный персональный консультант), которые оснащают такими плоскими панелями отображения. В результате существует тенденция к уменьшению периферийной области области отображения, конкретнее, тенденция к сужению обрамления экрана.
Кроме того, хотя у обычных устройств отображения, у которых конфигурация уже сложилась, схема управления и тому подобное смонтированы вне панели отображения, в последние годы, чтобы сократить затраты и получить устройство меньшей толщины, разработка продвигается в отношении устройств отображения, в которых монтируют полностью монолитную схемную плату, на которой периферийные схемы, требуемые для управления, такие как схема формирователя сигналов управления, обеспечены на подложке.
[0004] Были раскрыты жидкокристаллические устройства отображения, в которых конфигурация схемной платы разработана с расчетом, что этим будут вызваны различные результаты (например, смотри патентные документы 1-3).
ССЫЛКИ НА ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Патентные документы
[0005] Патентный документ 1: JP 2008-83703A
Патентный документ 2: JP 2007-193340A
Патентный документ 3: JP 2005-527856A
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Задачи, решаемые с помощью настоящего изобретения
[0006] В жидкокристаллических устройствах отображения, описанных в указанных выше патентных документах 1 и 2, транзистор T6, который является участком схемы для сброса потенциала плавающего соединения до заданного потенциала, и соединение для сигнала (INT) инициирования расположены вне схемы управления. Поэтому дополнительный проволочный вывод (например, проволочный вывод 15, показанный на фигуре 11) обеспечен при обеспечении структуры, которая сбрасывает потенциал плавающего соединения до заданного потенциала. Таким образом существовало пространство для улучшения конструкции в отношении дополнительного уменьшения размеров области соединений и увеличения зазора между соседними соединениями для повышения выхода годной продукции. В частности, в случае транзистора, в котором используют аморфный кремний (а-Si), ввиду большого размера транзистора существовало пространство для улучшения конструкции в отношении уменьшения ограничений по расположению.
[0007] Настоящее изобретение было создано ввиду настоящих обстоятельств, которые описаны выше, и задачей настоящего изобретения является предоставление подложки активной матрицы, которая может сузить обрамления экрана и увеличить зазор между соседними соединениями, чтобы повысить выход годной продукции.
Средство для решения задач
[0008] Авторы провели различные исследования в отношении подложек активной матрицы, чтобы для повышения выхода годной продукции можно было сузить обрамление экрана и увеличить промежуток между соседними соединениями, и сосредоточили внимание на компоновке переключающих линий и третьем транзисторе в схеме управления. Авторы заметили, что в вышеупомянутых жидкокристаллических устройствах отображения требуется предоставление дополнительного проволочного вывода, и нашли, что если принять такую конструкцию, в которой каждое плавающее соединение и каждое ответвленное соединения подачи сигнала электрически соединяют два транзистора в пределах части схемы управления и содержат участок пересечения, который пересекается с переключающим соединением, причем на участке пересечения обеспечен третий транзистор, то больше не нужно предоставлять упомянутый выше дополнительный проволочный вывод, а для повышения выхода годной продукции возможно добиться сужения обрамления экрана или увеличения промежутка между соседними соединениями. Поняв, что эта идея может прекрасно решить вышеуказанную задачу, авторы пришли к настоящему изобретению.
[0009] Более конкретно, настоящее изобретение предоставляет подложку активной матрицы, в которой периферийная область находится вне области отображения, причем в подложке активной матрицы первый, второй и третий транзисторы, плавающее соединение, переключательное соединение, основное соединение подачи сигнала и ответвленное соединение подачи сигнала, которое электрически соединено с основным соединением подачи сигнала, расположены в периферийной области; каждое плавающее соединение и каждое ответвленное соединение подачи сигнала электрически соединяют первый и второй транзисторы и содержат участок пересечения, который пересекается с переключательным соединением, причем на участке пересечения обеспечен третий транзистор; и в третьем транзисторе его электрод затвора включает в себя переключательное соединение, один из его электродов истока и стока включает в себя ответвленное соединение подачи сигнала, а другой из электродов истока и стока включает в себя плавающее соединение.
[0010] Используемое выше понятие «плавающее соединение» относится к такому соединению, которое способно электрически соединять с сигнальным соединением только через транзистор. Плавающее соединение такого типа не подсоединяют непосредственно или через проводник к сигнальному соединению, а в зависимости от переключательного действия транзистора есть периоды времени, когда плавающее соединение подсоединено к сигнальному соединению, и есть периоды времени, когда плавающее соединение не подсоединено к сигнальному соединению.
[0011] В связи с этим электрод затвора третьего транзистора включает в себя переключательное соединение. Обычно электрод затвора не подсоединен к ответвленному соединению подачи сигнала. Электроды истока и стока третьего транзистора включают в себя - один ответвленное соединение подачи сигнала, а другой - плавающее соединение.
[0012] Приняв этот вид, можно принять и такую конструкцию, у которой каждый из электрода истока и электрода стока третьего транзистора включает в себя плавающее соединение без вышеописанного проволочного вывода, в соответствии с подложкой активной матрицы настоящего изобретения для повышения выхода годной продукции возможно добиться сужения обрамления экрана и увеличения промежутка между соседними соединениями.
[0013] Конфигурация подложки активной матрицы настоящего изобретения особо не ограничена при условии, что она по существу включает в себя такие компоненты.
Далее более подробно рассматриваются предпочтительные варианты реализации подложки активной матрицы настоящего изобретения.
[0014] Одним из предпочтительных вариантов реализации подложки активной матрицы настоящего изобретения можно назвать такой вид, у которого вышеописанный третий транзистор обеспечен на основной линии переключательного соединения. Согласно такому виду возможно уменьшить площадь участка пересечения (также называемого «участком перекрещивания») соединений, сузить область соединений (в том числе и выступающий участок, в случае когда транзисторы обеспечены на выступающем участке соединения) и уменьшить изменения паразитной емкости. В связи с этим вышеупомянутый термин «основная линия» относится к месту, которое не является выступающим участком соединения.
[0015] Одним из предпочтительных вариантов реализации подложки активной матрицы настоящего изобретения можно назвать такой вид, у которого вышеописанное плавающее соединение является соединением, в которое в фиксированные периоды времени вводят импульсные сигналы. Для повышения выхода годной продукции согласно такому виду возможно уменьшить размер участков схемы для периодического сброса потенциала плавающего соединения 11 до заданного потенциала и увеличить промежуток между соседними соединениями.
[0016] Одним из предпочтительных вариантов реализации настоящего изобретения подложки активной матрицы можно назвать такой вид, у которого вышеописанное плавающее соединение и/или ответвленное соединение подачи сигнала содержит на граничном участке обходную структуру, которая, как можно видеть на виде в плане основной поверхности подложки, пересекается с переключательным соединением. Согласно такому виду можно улучшить выход годной продукции панели отображения. Конкретнее, когда соединение формируют с помощью процесса фотолитографии, поскольку фоторезист толще в участке ступеньки (граничная часть между переключательным соединением и участком, где переключательное соединение не формируют, как видно на виде в плане основной поверхности подложки), есть риск короткого замыкания между плавающим соединением и ответвленным соединением подачи сигнала из-за оставшегося резиста и/или дефекта рисунка. Чтобы предотвратить возникновение такого короткого замыкания в участке ступеньки, предпочтительно принять такой вид, у которого в окрестности участка ступеньки плавающее соединение изгибается так, чтобы удалиться от ответвленного соединения подачи сигнала, и/или такой вид, у которого в окрестности участка ступеньки ответвленное соединение подачи сигнала изгибается так, чтобы удалиться от плавающего соединения.
[0017] Кроме того, если не принять обходную структуру, то даже в случае такой же нагрузки и сопротивления можно сформировать тонким переключательное соединение и уменьшить сопротивление плавающего соединения и/или ответвленного соединения подачи сигнала на величину, соответствующую величине соединения, которая не требуется для обхода.
[0018] В этой связи размер транзистора можно подходящим образом отрегулировать согласно сгенерированному сигналу затвора и/или свойствам полупроводникового слоя. Например, в описанном выше переключательном соединении участок выреза и/или выступающий участок могут быть подходящим образом предоставлены в участке пересечения с плавающим соединением и ответвленным соединением подачи сигнала, как описано выше.
[0019] Одним из предпочтительных вариантов реализации подложки активной матрицы настоящего изобретения можно назвать такой вид, у которого в описанном выше переключательном соединении обеспечен выступающий участок, и третий транзистор обеспечен на выступающем участке с его электродом истока, подсоединенным к выступающему участку ответвленного соединения подачи сигнала, и его электродом стока, подсоединенным к выступающему участку плавающего соединения, и ширина соответственных выступающих участков плавающего соединения и ответвленного соединения подачи сигнала составляет половину или менее длины выступающего участка переключательного соединения. Согласно этому виду, даже если в процессе фотолитографии плавающее соединение и/или ответвленное соединение подачи сигнала сформировано неточно совмещенным образом относительно переключательного соединения, то изменения паразитной емкости могут быть уменьшены.
[0020] Предпочтительно, чтобы ширина соответственного выступающего участка плавающего соединения и ответвленного соединения подачи сигнала была равна одной трети или менее длины выступающего участка переключательного соединения. В этой связи предпочтительный нижний предел составляет, например, четверть или более.
К тому же предпочтительно, чтобы длина соответственных выступающих участков плавающего соединения и ответвленного соединения подачи сигнала составляла половину или более по отношению к ширине выступающего участка переключательного соединения, а более предпочтительно составляла две третьих или более и еще более предпочтительно составляла три четверти или более, и может быть равна или больше, чем ширина выступающей части переключательного соединения. В этой связи предпочтительный верхний предел, например, кратен трем или менее относительно ширины выступающего участка переключательного соединения.
[0021] Настоящее изобретение также предоставляет устройство отображения, включающее в себя подложку активной матрицы настоящего изобретения.
Аналогично панели отображения настоящего изобретения можно получить устройство отображения, у которого для повышения выхода годной продукции можно уменьшить обрамление экрана и увеличить промежуток между соседними соединениями.
[0022] Вышеприведенные методы можно применять в соответствующих сочетаниях в той мере, в какой эти сочетания не выходят за объем сущности настоящего изобретения.
РЕЗУЛЬТАТЫ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0023] Согласно подложке активной матрицы настоящего варианта изобретения для повышения выхода годной продукции можно сузить обрамление экрана и увеличить промежуток между соседними соединениями.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
[0024] Фиг. 1 - это схематичный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 1 настоящего изобретения.
Фиг. 2 - это схематичный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 1.
Фиг. 3 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 1.
Фиг. 4 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 2.
Фиг. 5 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 2.
Фиг. 6 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 2.
Фиг. 7 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 2.
Фиг. 8 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 2.
Фиг. 9 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 3.
Фиг. 10 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 3.
Фиг. 11 - это схематичный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке традиционной активной матрицы.
Фиг. 12 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке традиционной активной матрицы.
МЕТОДЫ РЕАЛИЗАЦИИ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0025] В настоящем описании термин «обрамление экрана» относится к области (периферической области области отображения), иной, чем область отображения на подложке активной матрицы и устройстве отображения. Далее в случае, когда обеспечен участок, который выступает из основной линии соединения, считается, что соединение включает в себя выступающий участок. Кроме того, по отношению к одному третьему транзистору могут быть обеспечены один первый транзистор и один второй транзистор и могут быть обеспечены по отношению к одному третьему транзистору два первых транзистора и два вторых транзистора.
[0026] Настоящее изобретение будет более подробно рассмотрено в следующих вариантах реализации, но без ограничения только этими вариантами.
[0027] (Вариант реализации 1)
Фиг. 1 - это схематичный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы варианта реализации 1.
Подложка активной матрицы варианта реализации 1 включает в себя область отображения и область схемы управления, которая находится вне области отображения.
Область схемы управления включает в себя, по меньшей мере, одну схему управления. Эта схема управления включает в себя первый участок 31 и второй участок 32, как показано на фиг. 1. Первый участок 31 схемы управления включает в себя первый транзистор, который подсоединен к плавающему соединению 11, и первый транзистор, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала. Второй участок 32 первой схемы управления включает в себя второй транзистор, который подсоединен к плавающему соединению 11, и второй транзистор, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала. Иными словами, плавающее соединение 11 электрически подсоединено к первому транзистору, который подсоединен к плавающему соединению 11 внутри первого участка 31, и ко второму транзистору, который подсоединен к плавающему соединению 11 внутри второго участка 32. Ответвленное соединение 12 подачи сигнала электрически подсоединено к первому транзистору, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри первого участка 31, и ко второму транзистору, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри второго участка 32. Как показано на фиг. 1, можно принять такой вид, у которого первый транзистор 22 служит и в качестве первого транзистора, который подсоединен к плавающему соединению 11 внутри первого участка 31, и в качестве первого транзистора, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри первого участка 31, и/или второй транзистор 23 служит и в качестве второго транзистора, который подсоединен к плавающему соединению 11 внутри второго участка 32, и в качестве второго транзистора, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри второго участка 32.
[0028] Фиг. 2 - это схематичный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 1. Схема управления, показанная на фиг. 2, включает в себя первый транзистор 122, который подсоединяют к плавающему соединению 11 внутри первого участка 31, и первый транзистор 123, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри первого участка 31. Схема управления, показанная на фиг. 2, также включает в себя второй транзистор 124, который подсоединен к плавающему соединению 11 внутри второго участка 32, и второй транзистор 125, который подсоединен к ответвленному соединению 12 подачи сигнала внутри второго участка 32. Оставшаяся конфигурация примера модификации варианта реализации 1 является такой же как конфигурация варианта реализации 1, которая описана выше. В связи с этим основное соединение 2 синхронизации и переключательный элемент 24, которые показаны на фиг. 1, опущены на фиг. 2. Кроме того, можно принять такой вид, у которого нет соединения между первым транзистором 122 и вторым транзистором 123 и/или нет соединения между четвертым транзистором 124 и пятым транзистором 125.
[0029] К тому же переключательное соединение 13 расположено между первым участком 31 и вторым участком 32 и пересекается с плавающим соединением 11 и ответвленным соединением 12 подачи сигнала. Схема управления также включает в себя третий транзистор 21. Третий транзистор 21 сформирован на переключательном соединении 13. Электрод затвора третьего транзистора 21 включает в себя переключательное соединение 13, его электрод истока включает в себя ответвленное соединение 12 подачи сигнала, а его электрод стока включает в себя плавающее соединение 11.
Далее основное соединение 14 подачи сигнала дополнительно обеспечено в области схемы управления вне области отображения. Ответвленное соединение 12 подачи сигнала соединено с основным соединением 14 подачи сигнала. Заметим, что хотя плавающее соединение 11 на фиг. 1 расположено с верхней стороны ответвленного соединения 12 подачи сигнала, можно также принять вид, в котором плавающее соединение 11 расположено с нижней стороны ответвленного соединения 12 подачи сигнала.
Согласно варианту реализации 1 с той стороны, которая дальше от области отображения (вне второго участка 32), расположено основное соединение 14 подачи сигнала, и в нее вводят сигнал, который подает потенциал выключения транзистору области отображения. К тому же импульсный сигнал вводят в переключательное соединение 13.
[0031] Схема управления включает в себя множество транзисторов и множество соединений, которые соединены с множеством транзисторов. В дополнение к соединениям подачи сигнала (основному соединению 14 подачи сигнала и ответвленному соединению 12 подачи сигнала) соединения также включают в себя соединение (плавающее соединение 11), которое находится в электрически плавающем состоянии, в котором соединение не присоединено к соединению подачи сигнала непосредственно или через проводник.
Например, плавающее соединение 11 является соединением, которое генерирует потенциал включения/выключения затвора транзистора (переключательного элемента 24), который соединен с соединением, которое подает сигнал в линию развертки области отображения, чтобы стабилизировать сигнал линии развертки, потенциал плавающего соединения 11 периодически сбрасывают до заданного потенциала.
[0032] Электрод затвора транзистора (переключательного элемента 24) электрически соединен с плавающим соединением 11. К тому же один из электродов истока и стока транзистора (переключательного элемента 24) электрически соединен с основным соединением 2 синхронизации, а другой из электродов истока и стока транзистора электрически соединен с линией развертки области отображения. На фиг. 1 основное соединение 2 синхронизации соединено с ответвленным соединением 4 синхронизации через основное соединение 2 синхронизации и контактное окно 6, а ответвленное соединение 4 синхронизации соединено с одним из электродов истока и стока транзистора (переключательного элемента 24). Предпочтительным является вид, у которого основное соединение 2 синхронизации снабжено участком выреза на обеих сторонах участка пересечения с ответвленным соединением 12 подачи сигнала.
[0033] Для сброса потенциала, как описано выше, например, используют конфигурацию, в которой соединение (основное соединение 14 подачи сигнала), которое подает потенциал выключения затвора, соединено через третий транзистор 21 и тому подобное, и в ней обеспечено переключательное соединение 13.
Согласно настоящему варианту реализации аналогично основному соединению 14 подачи сигнала переключательное соединение 13 подает сигнал, полученный извне панели. Чтобы совместно использовать гибкие печатные схемы (ГПС) и тому подобное для подачи сигналов, соединение переключательного соединения 13 выполняют путем продолжения переключательного соединения 13 в том же направлении (то есть параллельно с), что и основное соединение 14 подачи сигнала.
В связи с этим способ, в котором переключательное соединение 13 подает сигнал, не ограничено вышеописанным средством. Например, возможно обеспечить схему на подложке.
[0034] Ответвленное соединение 12 подачи сигнала используют для соединения основного соединения 14 подачи сигнала и третьего транзистора 21. Ответвленное соединение 12 подачи сигнала является соединением для подачи потенциала выключения затвора основного соединения 14 подачи сигнала в транзистор (переключательный элемент 24) внутри схемы управления через другие транзисторы, включая третий транзистор.
[0035] Предпочтительно, чтобы плавающее соединение 11, ответвленное соединение 12 подачи сигнала, переключательное соединение 13 и третий транзистор 21 располагались по соседству, так чтобы дополнительный проволочный вывод не требовался.
Поскольку плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала формируют на множестве этапов в соответствии с числом линий развертки области отображения, переключательное соединение 13 проводят так, чтобы пересечься с плавающим соединением 11 и ответвленным соединением 12 подачи сигнала, и предпочтительно, чтобы третий транзистор 21 располагался в окрестности участка пересечения. [0036] В связи с этим относительно терминов «располагались по соседству» и «располагался в окрестности участка пересечения» для достижения соответственных результатов настоящего изобретения достаточно, чтобы участок пересечения между соответственными соединениями и областью формирования полупроводникового слоя транзистора были расположены в местах, которые достаточно близки друг к другу, а более конкретно, предпочтительно, чтобы весь или часть участка пересечения между соответственными соединениями была расположена так, чтобы она была наложена на область формирования полупроводникового слоя транзистора, если смотреть на вид в плане основной поверхности подложки.
[0037] То есть, предпочтительно, чтобы переключательное соединение 13 и третий транзистор 21 располагались в промежуточном положении между первым участком 31 первой схемы управления, включающей в себя транзистор 22, который соединен с плавающим соединением 11, и вторым участком 32 первой схемы управления, включающей в себя транзистор 23, который соединен с плавающим соединением 11.
[0038] Фиг. 3 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 1. Предпочтителен такой вид, в котором третий транзистор 21 сформирован как третий транзистор 21, показанный на фиг. 3.
Когда к настоящему изобретению (конфигурации, где переключательное соединение 13 и третий транзистор 21 расположены в промежуточном положении между первым участком 31 первой схемы управления и вторым участком 32 первой схемы управления) применена конфигурация согласно традиционному примеру, показанному на фиг. 12, где переключательное соединение 13 и третий транзистор 21 образованы в отдельном месте относительно участка пересечения между основной линией переключательного соединения 13 и плавающим соединением 11 и ответвленным соединением 12 подачи сигнала, участок пересечения соединений увеличивается и также расширяется площадь размещения.
Предпочтительно расположить третий транзистор 21 на основной линии переключательного соединения 13, то есть в месте, которое не является выступающим участком переключательного соединения 13, как в настоящем изобретении.
[0039] Когда транзистор согласно традиционному примеру, показанному на фиг. 12, применен к настоящему изобретению в случае, где переключательное соединение 13 разработано, чтобы иметь такое же сопротивление соединения, то ширина основной линии переключательного соединения 13 согласно настоящему изобретению будет толще (50 мкм) по сравнению с шириной (35 мкм) основной линии переключательного соединения 13 согласно традиционному примеру. С другой стороны, по меньшей мере, одно из нижеследующих преимуществ с (1) по (3) получено согласно настоящему изобретению.
(1) Площадь участка пересечения (участка перекрещивания) мала, а нагрузка легкая (на 30% меньше, чем у вышеупомянутого традиционного примера).
(2) Область соединения (50 мкм), включая выступающий участок транзистора, узкая по сравнению с областью соединения (60 мкм) традиционного примера, и это полезно для создания более узкого обрамления экрана.
(3) Даже если во время процесса фотолитографии плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала сформированы неточно совмещенным образом относительно переключательного соединения 13, то отклонения паразитной емкости малы и можно уменьшить изменения формы выходной волны сигнала затвора.
[0040] Преимуществами настоящего изобретения являются отсутствие необходимости в дополнительном проволочном выводе и то, что можно минимизировать составляющие элементы для сброса плавающего соединения 11.
В частности, при использовании третьего транзистора 21 настоящего варианта реализации нужна только узкая область в качестве области соединения переключательного соединения 13, поэтому можно получить широкое пространство между переключательным соединением 13 и соседним транзистором.
[0041] (Вариант реализации 2)
Фиг. 4 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 2.
Участок выреза при формировании транзистора такого же размера, как и в варианте реализации 1, в частности, не ограничен.
Например, как показано на фиг. 4, предпочтителен вид, у которого обе стороны переключательного соединения 13 вырезаны, чтобы обеспечить вырезанный участок на обеих сторонах области пересечения между переключательным соединением 13, плавающим соединением 11 и ответвленным соединением 12 подачи сигнала. Емкость участка перекрещивания может быть уменьшена посредством обеспечения участков выреза.
В связи с этим и в варианте реализации 1, и в варианте реализации 2 плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала, которые пересекаются с переключательным соединением 13, делают обход на участке, где плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала проходят над переключательным соединением 13, конкретнее, как видно на виде в плане основной поверхности подложки, на граничном участке (граничном участке 61 и ему подобных), где плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала пересекаются с переключательным соединением 13. Причиной, по которой принимают такую конфигурацию, является предотвращение короткого замыкания, возникающего между соединениями, и увеличение выхода годной продукции.
Согласно настоящему варианту реализации переключательное соединение 13 формируют вместе со слоем затвора, на слое затвора формируют изолятор затвора, и далее на изоляторе затвора формируют полупроводниковый слой, плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала. В процессе фотолитографии фоторезист оказывается толще в участке ступеньки и поэтому вероятно образование остаточного резиста и вероятно возникновение дефекта рисунка. Предпочтительно принять эту обходную структуру, чтобы уменьшить возникновение коротких замыканий между плавающим соединением 11 и ответвленным соединением 12 подачи сигнала.
[0042] Далее, если принять такой вид, у которого на обеих сторонах переключательного соединения 13 обеспечен участок выреза, как в варианте реализации 2, то вокруг транзистора улучшатся светоэкранирующие характеристики. Конкретнее, поскольку можно уменьшить смещение характеристик, вызываемое светом задней подсветки, проникающим вокруг транзистора и падающим на слой полупроводника, то такой вид оказывается полезным при использовании подсветки высокой интенсивности.
[0043] Фиг. 5-8 - это частично увеличенные виды, на которых показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 2.
Как показано в примере модификации варианта реализации 2, изображенном на фиг. 5, когда обходная структура не принята, даже когда нагрузка и сопротивление те же самые, возможно точно сформировать переключательное соединение 13 и уменьшить сопротивление плавающего соединения 11 и ответвленного соединения 12 подачи сигнала на величину, соответствующую величине сопротивления соединения, которое не требуется для обхода, и это предпочтительный вид в этом отношении.
В связи с этим размеры транзистора изменяются в зависимости от генерируемого сигнала затвора и свойств полупроводникового слоя. Следовательно, необязательно то, что переключательное соединение 13 должно иметь участок выреза. Можно также принять конфигурацию, включающую в себя выступающий участок, как показано на фиг. 6, или конфигурацию, у которой нет ни участка выреза, ни выступающего участка, как показано на фиг. 7.
[0044] В виде, показанном на фиг. 8, третий транзистор имеет гребенчатый электрод. Описанные выше результаты настоящего варианта реализации могут также быть вызваны таким видом.
[0045] (Вариант реализации 3)
Фиг. 9 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно варианту реализации 3.
В отношении третьего транзистора 21 подложка активной матрицы согласно варианту реализации 3 имеет конфигурацию, отличающуюся от варианта реализации 1, варианта реализации 2 и их примеров модификации. На переключательном соединении 13 обеспечен выступающий участок и на выступающем участке обеспечен третий транзистор 21. Электрод истока третьего транзистора 21 соединен с выступающим участком ответвленного соединения 12 подачи сигнала, а электрод стока третьего транзистора 21 соединен с выступающим участком плавающего соединения 11. Ширина соответственных выступающих участков плавающего соединения 11 и ответвленного соединения 12 подачи сигнала составляет половину или менее длины выступающего участка переключательного соединения 13.
Изменения паразитной емкости малы в случае, когда в процессе фотолитографии плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала были сформированы неточно совмещенным образом относительно переключательного соединения 13, и это предпочтительный вид в этом отношении. Конкретнее, согласно настоящему варианту реализации ширина (также называемая «переходной шириной») описанных выше выступающих участков плавающего соединения 11 и ответвленного соединения 12 подачи сигнала мала и поэтому малы изменения емкости, даже если отклонение совмещения возникает в вертикальном направлении на фиг. 9.
[0046] Фиг. 10 - это частично увеличенный вид, на котором показана схема управления, находящаяся вне области отображения на подложке активной матрицы согласно примеру модификации варианта реализации 3.
Что касается плавающего соединения 11 и ответвленного соединения 12 подачи сигнала, показанного на фиг. 10, то отношение соответственных длин (12 мкм) их выступающих участков к ширине (4 мкм) выступающего участка переключательного соединения равно 3:1. Согласно этому виду также, если плавающее соединение 11 и ответвленное соединение 12 подачи сигнала образованы неточно совмещенным образом относительно переключательного соединения 13, можно уменьшить изменения паразитной емкости, и, следовательно, это предпочтительный вид.
В дополнение, форма третьего транзистора может быть другой формы. Например, один из электродов истока или стока может иметь форму канавки, или U-образную форму, или может иметь такую форму, которая согласуется с гребенчатым электродом.
Заметим, что согласно настоящему варианту реализации также не нужен дополнительный проволочный вывод для сброса потенциала плавающего соединения 11, а требуется лишь минимальная конфигурация схемы.
[0047] Вышеупомянутые методы вариантов реализации можно применять в соответствующих сочетаниях в той мере, в какой эти сочетания не выходят за объем настоящего изобретения.
[0048] Настоящая заявка испрашивает приоритет заявки на патент № 2009-273526, поданной в Японии 1 декабря 2009 года в соответствии с Парижской конвенцией и положениями национального законодательства указанной страны, полное содержание которой включено сюда путем ссылки.
Список обозначений
[0049] 2: основное соединение синхронизации
4: ответвленное соединение синхронизации
6: контактное окно
11: плавающее соединение
12: ответвленное соединение подачи сигнала
13: переключательное соединение
14: основное соединение подачи сигнала
15: проволочный вывод
21: третий транзистор
22: первый транзистор
23: второй транзистор
24: переключательный элемент
31: первый участок схемы управления
32: второй участок схемы управления
41: соединение, соединенное с линией развертки области отображения
51, 57: участок пересечения между плавающим соединением, ответвленным соединением подачи сигнала и переключательным соединением
50, 52, 53, 54, 55, 56, 58, 59, 150: область формирования слоя полупроводника
61: граничный участок, где пересекаются плавающее соединение, ответвленное соединение подачи сигнала и переключательное соединение
71: переходная ширина
122: первый транзистор, соединенный с плавающим соединением
123: первый транзистор, соединенный с ответвленным соединением подачи сигнала
124: второй транзистор, соединенный с плавающим соединением
125: второй транзистор, соединенный с ответвленным соединением подачи сигнала