СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРИБОРНЫХ ГРАФЕНОВЫХ СТРУКТУР

1. Способ получения приборных графеновых структур, заключающийся в том, что выращивают на подложке-доноре графеновый слой, который затем покрывают вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, далее отделяют графеновый слой, покрытый вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, от подложки-донора и осуществляют его перенос на подложку, отличающийся тем, что перед отделением графенового слоя на вспомогательной для переноса графенового слоя пленке создают натягивающую рамку, предотвращающую сминание при переносе, или наносят сплошную упрочняющую пленку, обеспечивающую механическую целостность и предотвращающую сминание при переносе, после переноса графенового слоя, покрытого вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, на подложку осуществляют прижим к подложке, при условиях обеспечивающих полную адгезию графенового слоя к подложке.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки-донора используют медную подложку, фольгу из меди.
2
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют подложку кремния, SiO/Si.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что покрывают вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой толщиной не более 2 мкм.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве вспомогательной для переноса графенового слоя пленки используют пленку поликарбоната.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в качестве поликарбоната используют поли(бифенол-А карбонат).
7. Способ по п.5, отличающийся тем, что для формирования пленки поликарбоната используют раствор (1÷3)% поликарбоната в хлороформе.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что создают натягивающую рамку, предотвращающую сминание при переносе, из термоскотча - скотча с адгезией, уменьшающейся при нагреве.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что наносят сплошную упрочняющую пленку, обеспечивающую механическую целостность и предотвращающую сминание при переносе, из термоскотча - скотча с адгезией, уменьшающейся при нагреве.
2
2
8
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что отделяют графеновый слой, покрытый вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, от подложки-донора электролитически, используют при этом в качестве электролита водный раствор персульфата натрия (NaSO) с концентрацией 1÷2%, в качестве катода устанавливают подложку-донор с графеновым слоем и вспомогательной для переноса графенового слоя пленкой, а анод используют из графита, между катодом и анодом прикладывают напряжение в диапазоне 5÷10 В, электрохимический процесс проводят от 10 до 30 мин. и отделяют вспомогательную для переноса графенового слоя пленку с графеновым слоем от подложки-донора за счет образования пузырьков водорода на поверхности подложки донора в результате электролиза воды, после отделения вспомогательную для переноса графенового слоя пленку с графеновым слоем промывают в воде.
11. Способ по п.1 или 3, отличающийся тем, что осуществляют перенос графенового слоя и вспомогательной для переноса графенового слоя пленки на подложку из кремния, предварительно обработав ее в кислородной плазме для активации поверхности.
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что прижим к подложке осуществляют на оборудовании импринт-литографии при условиях, обеспечивающих полную адгезию графенового слоя к подложке, а именно, при давлении от 10 до 80 атмосфер в течение 5÷60 минут при температуре от 20 до 130°C.
13. Способ по п.1 или 8, отличающийся тем, что натягивающую рамку, предотвращающую сминание при переносе, из термоскотча после переноса графенового слоя и вспомогательной для переноса графенового слоя пленки на подложку удаляют путем нагревания.
14. Способ по п.1 или 9, отличающийся тем, что сплошную упрочняющую пленку, обеспечивающую механическую целостность и предотвращающую сминание при переносе, из термоскотча - скотча с адгезией, уменьшающейся при нагреве, удаляют путем нагревания.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что после прижима к подложке проводят удаление вспомогательной для переноса графенового слоя пленки.
16. Способ по п.1, или 5, или 6, или 15, отличающийся тем, что удаление вспомогательной для переноса графенового слоя пленки осуществляют посредством использования хлороформа.
17. Способ по п.1, или 5, или 6, или 15, отличающийся тем, что после прижима к подложке и удаления вспомогательной для переноса графенового слоя пленки проводят отжиг при условиях, обеспечивающих очистку от загрязнений, а именно, при температуре 200÷250°C в атмосфере аргона с водородом в течение 1 часа.