УСТРОЙСТВО НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно, к устройствам наноперемещений.
Известно устройство для получения наноструктур на подложке, содержащее пьезопривод, жестко связанный с зондом конусообразной формы и неподвижной направляющей, подложку, установленную на координатном столе, на зонд жестко установлена фокусирующая втулка, имеющая потенциал того же знака что и зонд, втулка электрически изолирована от зонда и подложки изоляторами, причем внутренний диаметр втулки составляет 1,5-2 диаметров зонда, наружный - 3-5 диаметров зонда, а выступ острия зонда относительно торца втулки равен 0,5-1 мкм. [Патент РФ №29926, МПК B81C 1/00, опубл. 10.06.2003 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность формирования магнитоориентированных структур.
Известно нанотехнологическое устройство перемещения, содержащее неподвижное основание, установленный на нем трехкоординатный пьезопривод, связанный с зондом, подложка, установленная на подложкодержателе, связанным с неподвижным основанием, трехкоординатный пьезопривод связан с зондом посредством кантиливера, зонд выполнен составным и включает цилиндрическую часть и острие, причем цилиндрическая часть зонда выполнена из магнитомягкого материала, а острие зонда выполнено из электропроводящего материала, устройство дополнительно снабжено электромагнитом, установленным соосно с зондом на противоположной от него стороне подложки на вспомогательном трехкоординатном пьезоприводе, установленном на дополнительном основании, жестко связанный с неподвижным основанием. [Патент РФ №86367, МПК B82B 3/00, опубл. 27.08.2009 (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность формирования магнитоориентированных структур.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность формирования магнитоориентированных структур.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве наноперемещений, содержащем неподвижную платформу, установленный на ней пьезопривод, на торце которого закреплен зонд, электрически связанный с подложкой, закрепленной на подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, устройство снабжено магнитом, выполненным в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью, магнит закреплен на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда, зонд выполнен из немагнитного материала, парамагнетика или диамагнетика.
Выполнение в заявляемом устройстве зонда из немагнитного материала, парамагнитного или диамагнитного материала, а также введение в устройство магнита, выполненного в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью и закрепленного на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда обеспечивает возможность формирования в устройстве магнитоориентированных структур.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1., где показано устройство наноперемещений.
Устройство наноперемещений (фиг. 1) содержит неподвижную платформу 1, установленный на ней пьезопривод 2, на торце которого закреплен зонд 3, электрически связанный с подложкой 4, закрепленной на подложкодержателе 5. Зонд 3 выполнен из немагнитного материала, пара- или диамагнетика, а на наружной стороне цилиндрической поверхности зонда закреплен магнит 6, выполненный в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью.
Устройство наноперемещений работает следующим образом.
Зонд 3 перемещается относительно неподвижной платформы 1 при помощи пьезопривода 2, взаимодействуя с подложкой 4, закрепленной на подложкодержателе 5, посредством магнита 6, выполненного в виде трубчатого элемента с осевой намагниченностью.
Применение предлагаемого устройства наноперемещений обеспечивает возможность формирования магнитоориентированных структур.