ИЗМЕРЕНИЕ РАЗНОСТИ ДАВЛЕНИЙ С ПОМОЩЬЮ ПЛЕНОЧНОЙ КАМЕРЫ

1. Установка проверки герметичности для измерения разности давлений между проверочной камерой (10) и эталонной камерой, которая выполнена с возможностью газонепроницаемого отделения посредством первого запорного клапана (24) от проверочной камеры (10), причем с эталонной камерой и с проверочной камерой (10) для измерения разности давлений между внутренним давлением эталонной камеры и внутренним давлением проверочной камеры (10) соединен датчик (34) разности давлений,
отличающаяся тем, что
проверочная камера (10) и эталонная камера имеют в каждом случае по меньшей мере одну выполненную из гибкой пленки область стенки, причем отношение объема (20) проверочной камеры к площади поверхности смежной объему (20) проверочной камеры гибкой области стенки проверочной камеры (10) и отношение объема эталонной камеры к площади поверхности смежной объему эталонной камеры гибкой области стенки эталонной камеры являются по существу равными.
2. Установка проверки герметичности по п. 1, отличающаяся тем, что проверочная камера (10) и эталонная камера в каждом случае выполнены в виде пленочной камеры.
3. Установка проверки герметичности по п. 1 или 2, отличающаяся тем, что объем эталонной камеры меньше объема (20) проверочный камеры или равен ему.
4. Установка проверки герметичности по одному из предшествующих пп., отличающаяся тем, что проверочная камера (10) и эталонная камера выполнены единообразными.
5. Установка проверки герметичности по одному из предшествующих пп., отличающаяся тем, что смежные соответствующему внутреннему объему (20, 28) внутренние стороны гибких областей стенки проверочной камеры (10) и эталонной камеры снабжены в каждом случае слоем нетканого материала.
6. Установка проверки герметичности по одному из предшествующих пп., отличающаяся тем, что отношения объем камеры/площадь поверхности гибкой области стенки проверочной камеры (10) и эталонной камеры отличаются максимально на 20%, а предпочтительно максимально на 5%.
7. Установка проверки герметичности по одному из предшествующих пп., отличающаяся тем, что первый запорный клапан (24) и эталонная камера для вакуумирования проверочной камеры (10) и эталонной камеры соединены через второй запорный клапан (30) с вакуумным насосом (32).
8. Способ измерения разности давлений между проверочной камерой (10) и эталонной камерой с помощью установки проверки герметичности согласно предшествующим пп.,
отличающийся тем, что
для вакуумирования проверочной камеры (10) и эталонной камеры с помощью вакуумного насоса (32) открывают оба запорных клапана (24, 30),
при достижении заданного давления в проверочной камере (10) второй запорный клапан (30) закрывают, и
до начала измерения разности давлений первый запорный клапан (24) закрывают.