УСТАНОВКА ДЛЯ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Установка для ионного азотирования в плазме тлеющего разряда, содержащая вакуумную камеру и подключенные к ней форвакуумный насос с блоком управления расходом газа, к которому подключены баллоны с газами, электроды для возбуждения тлеющего разряда, установленные в рабочем пространстве камеры, анод и подложка-катод, соединенные с источником питания разряда, отличающаяся тем, что содержит набор перфорированных экранов, которыми окружены обрабатываемые детали, с возможностью создания эффекта полого катода, обеспечивая формирование на поверхности обрабатываемой детали участков с разной микронеоднородной структурой.