СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ НИТРИДОВ

Способ получения покрытия на основе сложных нитридов, при котором помещают инструмент в вакуумную камеру установки, оснащенную магнетронными распылителями, электродуговыми испарителями и резистивным нагревателем, проводят очистку поверхности инструмента в тлеющем разряде при бесконтактном нагреве поверхности резистивным нагревателем до 100°С и ионную очистку электродуговым испарителем в среде инертного газа, нагревая поверхность до температуры 300°…350°С, затем на подложку наносят нижний слой титана и чередующиеся слои покрытия в газовой смеси инертного и реакционного газов, отличающийся тем, что нижний слой титана наносят электродуговым испарителем титанового катода в среде инертного газа и наносят чередующиеся слои двухкомпонентного нитрида титана и трехкомпонентного нитрида титана и алюминия в газовой смеси инертного и реакционного газов, причем первым наносят слой нитрида титана, а последним - слой нитрида титана и алюминия, при этом слои нитрида титана получают магнетронным распылением титановой мишени, а слои нитрида титана и алюминия получают, одновременно проводя электродуговое испарение алюминиевого катода и магнетронное распыление титановой мишени.