ЭКСИМЕРНЫЙ ИСТОЧНИК СВЕТА

1. Ультрафиолетовая эксимерная лампа, содержащая:
оболочку,
эксимерный газ,
по меньшей мере один первый удлиненный электрод, проходящий вдоль продольного участка оболочки, и
по меньшей мере один второй удлиненный электрод, проходящий вдоль продольного участка оболочки и, по существу, параллельный указанному по меньшей мере одному первому удлиненному электроду.
2. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.1, дополнительно содержащая основание, к которому прикреплены по меньшей мере один первый и один второй удлиненные электроды.
3. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.2, в которой основание отражает или пропускает ультрафиолетовое излучение.
4. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.2, в которой оболочка и основание выполнены как единая деталь из материала.
5. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.1, в которой эксимерным газом служит благородный газ, галоген или их смесь.
6. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.5, в которой эксимерным газом служит инертный газ, выбранный из аргона, криптона и ксенона, смешанный с галогеном, выбранным из хлора, брома, фтора и йода.
7. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.6, в которой эксимерным газом служит фторид криптона.
8. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.6, в которой эксимерным газом служит хлорид криптона.
9. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.6, в которой эксимерным газом служит фторид аргона.
10. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.1, в которой по меньшей мере один из первых и вторых удлиненных электродов изолирован.
11. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.1, дополнительно содержащая источник напряжения, подсоединенный параллельно указанным первому и второму удлиненным электродам.
12. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.11, в которой источником напряжения служит импульсный источник напряжения.
13. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.12, в которой частота импульса составляет приблизительно от 20 кГц до приблизительно 300 ГГц.
14. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.11, в которой источник напряжения выполнен в виде источника напряжения переменного тока.
15. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.14, в которой частота напряжения переменного тока составляет приблизительно от 20 кГц до приблизительно до 300 ГГц.
16. Система для обработки текучей среды, содержащая
камеру обработки, соединенную с впускным отверстием для текучей среды и выпускным отверстием для текучей среды, и
по меньшей мере один эксимерный газоразрядный источник света, в которой
источник света выполнен с возможностью воздействия излучением на текучую среду, проходящую через камеру обработки, причем
каждый источник света содержит
оболочку,
эксимерный газ,
по меньшей мере один первый удлиненный электрод, проходящий вдоль длины оболочки, и
по меньшей мере один второй удлиненный электрод, проходящий вдоль длины оболочки и по существу параллельный указанному по меньшей мере одному первому удлиненному электроду.
17. Система по п.16, в которой указанная камера обработки окружает оболочку.
18. Система по п.17, в которой камера обработки содержит рукав, изолирующий текучую среду от контакта с оболочкой.
19. Система по п.16, в которой эксимерным газом служит благородный газ, галоген или их смесь.
20. Система по п.19, в которой эксимерным газом служит фторид аргона.
21. Система по п.19, в которой эксимерным газом служит фторид криптона.
22. Система по п.19, в которой эксимерным газом служит хлорид криптона.
23. Способ очистки текучих сред от загрязнений, включающий
генерацию света с использованием эксимерного газоразрядного источника света, имеющего длину волны в диапазоне от 100 нм до 400 нм, и
освещение текущей среды указанным светом,
в котором
эксимерный газоразрядный источник света, используемый для генерации света, содержит:
оболочку,
эксимерный газ,
по меньшей мере один первый удлиненный электрод, проходящий вдоль длины оболочки, и
по меньшей мере один второй удлиненный электрод, проходящий вдоль длины оболочки и, по существу, параллельный указанному по меньшей мере одному первому удлиненному электроду.
24. Способ по п.23, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны приблизительно между 170 нм и 310 нм.
25. Способ по п.24, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 193 нм.
26. Способ по п.24, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 222 нм.
27. Способ по п.24, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 248 нм.
28. Способ по п.23, в котором текучая среда состоит, по существу, из воды.
29. Ультрафиолетовая эксимерная лампа, содержащая
по меньшей мере два электрода и
несколько герметизированных трубок, причем
по меньшей мере некоторые из них содержат внутри эксимерный газ, и
указанные несколько трубок размещены по меньшей мере частично между указанными по меньшей мере двумя электродами.
30. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой эксимерным газом служит благородный газ, галоген или их смесь.
31. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.30, в которой эксимерным газом служит фторид аргона.
32. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.30, в которой эксимерным газом служит фторид криптона.
33. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.30, в которой эксимерным газом служит хлорид криптона.
34. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой по меньшей мере один из по меньшей мере двух электродов изолирован.
35. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.1, дополнительно содержащая источник напряжения, подсоединенный параллельно указанным по меньшей мере двум электродам.
36. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.35, в которой источником напряжения является импульсный источник напряжения.
37. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.36, в которой частота импульса составляет приблизительно от 20 кГц до приблизительно 300 ГГц.
38. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.35, в которой источником напряжения является источник напряжения переменного тока.
39. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.38, в которой частота напряжения переменного тока составляет приблизительно от 20 кГц до приблизительно до 300 ГГц.
40. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой герметизированные трубки выполнены из кварца.
41. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой герметизированные трубки имеют покрытие на своей внутренней поверхности.
2
2
2
2
2
3
42. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.41, в которой покрытие выполнено из одного материала или нескольких материалов, выбранных из группы: фтористый магний (MgF), фтористый кальций (CaF), фтористый барий (BaF), фтористый литий (LiF), политетрафторэтилен, двуокись титана (TiO) и корунд/сапфир (AlO).
2
2
2
2
2
3
43. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой герметизированные трубки выполнены из одного материала или нескольких материалов, выбранных из группы: фтористый магний (MgF), фтористый кальций (CaF), фтористый барий (BaF), фтористый литий (LiF), политетрафторэтилен; двуокись титана (TiO) и корунд/сапфир (AlO).
44. Ультрафиолетовая эксимерная лампа по п.29, в которой герметизированные трубки содержат, по существу, только газ.
45. Система для обработки текучей среды, содержащая
камеру обработки, соединенную с впускным отверстием для текучей среды и выпускным отверстием для текучей среды, и
по меньшей мере один эксимерный газоразрядный источник света, в которой
источник света выполнен с возможностью воздействия излучением на текучую среду, проходящую через камеру обработки, а
по меньшей мере один эксимерный газоразрядный источник света содержит
по меньшей мере два электрода и
несколько герметизированных трубок, причем
по меньшей мере некоторые из которых содержат внутри эксимерный газ, и
указанные несколько герметизированных трубок размещены по меньшей мере частично между указанными по меньшей мере двумя электродами.
46. Система по п.45, в которой указанная камера обработки окружает оболочку.
47. Система по п.46, в которой камера обработки содержит рукав, изолирующий текучую среду от контакта с источником света.
48. Система по п.45, в которой эксимерным газом служит инертный газ, галоген или их смесь.
49. Система по п.48, в которой эксимерным газом служит фторид аргона.
50. Система по п.48, в которой эксимерным газом служит фторид криптона.
51. Система по п.48, в которой
эксимерным газом служит хлорид криптона.
52. Система по п.45, в которой герметизированные трубки содержат, по существу, только газ.
53. Способ очистки текучих сред от загрязнений, включающий
генерацию света с использованием эксимерного газоразрядного источника света, имеющего длину волны в диапазоне от 100 нм до 400 нм, и
освещение текущей среды указанным светом,
в котором
эксимерный газоразрядный источник света, используемый для генераций света, содержит:
по меньшей мере два электрода и
несколько герметизированных трубок, причем
по меньшей мере некоторые из них содержат внутри эксимерный газ, и
указанные несколько герметизированных трубок размещены по меньшей мере частично между по меньшей мере двумя электродами.
54. Способ по п.53, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны приблизительно между 170 нм и 310 нм.
55. Способ по п.54, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 193 нм.
56. Способ по п.54, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 222 нм.
57. Способ по п.54, в котором газоразрядный источник света генерирует свет, главным образом имеющий длину волны, приблизительно равную 248 нм.
58. Способ по п.53, в котором текучая среда состоит, по существу, из воды.
59. Способ по п.53, в котором герметизированные трубки содержат, по существу, только газ.