УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ БОЛЬШИХ ПЛОЩАДЕЙ

1. Устройство (50) для плазменной обработки, содержащее:
a. по меньшей мере, одну плоскую антенну (A),
b. по меньшей мере, один высокочастотный генератор (20), возбуждающий антенну (A),
c. систему (55) нагнетания газа и диффузор,
d. рабочую камеру (51) вблизи с антенной (A),
e. при этом плоская антенна (A) содержит множество взаимосвязанных элементарных резонансных замкнутых контуров (М1, M2, M3), причем каждый из замкнутых контуров (М1, M2, M3) содержит, по меньшей мере, два электропроводных участка (1, 2) цепи и, по меньшей мере, два конденсатора (5, 6) так, что вышеупомянутая антенна (A) имеет множество резонансных частот,
f. и генератор (20) радиочастотных сигналов возбуждает антенну (A), по меньшей мере, на одной из ее резонансных частот.
2. Устройство по п.1, в котором электропроводные участки (1, 2) цепи параллельны друг другу.
3. Устройство по п.2, в котором элементарные резонансные замкнутые контуры (М1, M2, M3) имеют два параллельных более длинных электропроводных участка цепи (1, 2), концы которых взаимосвязаны посредством поперечных более коротких соединительных элементов (3, 4).
4. Устройство по п.3, в котором поперечные более короткие соединительные элементы (3, 4) содержат противостоящие конденсаторы (5, 6).
5. Устройство по п.3 или 4, в котором параллельные более длинные электропроводные участки (1, 2) цепи содержат противостоящие конденсаторы (5, 6), каждый из которых последовательно подключен между отрезками (1a, 1b; 2a, 2b) соответствующего электропроводного участка (1, 2) цепи.
6. Устройство по любому из пп.2-4, в котором элементарные резонансные замкнутые контуры (М1, M2, M3) взаимосвязаны посредством общих участков (2) цепи для формирования резонансной антенны (A) лестничного типа.
7. Устройство (50) по любому из пп.1-4, дополнительно содержащее электропроводную пластину (S), параллельную антенне (A), и средство для настройки относительного положения (P) пластины (5) так, что могут быть настроены резонансные частоты антенны (A).
8. Устройство (50) по любому из пп.1-4, дополнительно содержащее средство (10) для генерирования магнитного поля рядом с антенной.
9. Устройство по п.8, в котором средство (10) для генерирования магнитного поля содержит набор постоянных магнитов (10a, 10b).
10. Устройство (50) по п.8, дополнительно содержащее средство (60, 61, 62, 63, 64) для ввода постоянного тока в антенну (A), наложенного на высокочастотный ток, так, что постоянный ток генерирует магнитное поле рядом с антенной (A).
11. Устройство (50) по любому из пп.1-4, дополнительно содержащее, по меньшей мере, одну дополнительную антенну.
12. Устройство (50) по любому из пп.1-4, в котором антенна (A) размещена внутри рабочей камеры (51).
13. Устройство (50) по любому из пп.1-4, дополнительно содержащее, по меньшей мере, одну согласующую схему (40).
14. Устройство (50) по любому из пп.1-4, в котором высокочастотный генератор (20) питает антенну (A), по меньшей мере, двумя сдвинутыми по фазе мощными радиочастотными (RF) сигналами через две различные точки (38, 39) ввода, что приводит в результате к сдвигу (30) во времени распределения тока в участках (1, 100) цепи антенны (A).