Способ многолучевой лазерной полировки алмазной поверхности и устройство для реализации

1. Способ лазерной полировки алмазной  поверхности, основанный на фокусировании лазерного  пучка  на алмазной поверхности под углом  80-90°  от вертикали, опущенной на обрабатываемую поверхность и сканировании  алмазной поверхности  лазерным пучком,
отличающийся тем, что сканирование алмазной  поверхности осуществляют по меньшей мере двумя лазерными пучками одновременно, при этом  лазерное  облучение осуществляют   с разных направлений.
2. Способ лазерной полировки алмазных поверхностей  по п. 1, отличающийся тем, что при сканировании алмазной поверхности  фокальные пятна лазерных пучков сводят  в единое пятно.
3. Способ лазерной полировки алмазной поверхности   по п. 1, отличающийся тем, что при сканировании алмазной  поверхности  фокальные пятна лазерных пучков перемещают по алмазной поверхности  по независимым траекториям.
4. Способ лазерной полировки алмазной поверхности  по п.1, отличающийся тем, что при сканировании поверхности лазерными пучками осуществляют возвратно-поступательное перемещение лазерных пучков относительно пластины с алмазной поверхностью  вдоль одной из осей с одновременным сдвигом вдоль другой оси.
5. Способ лазерной полировки алмазной поверхности  по п.1, отличающийся тем, что сканирование алмазной  поверхности лазерными пучками осуществляют при равномерном перемещении лазерных пучков по алмазной поверхности.
6. Способ лазерной полировки алмазных поверхностей  по п.1, отличающийся тем, что при двухлучевом сканировании алмазной поверхности угол между проекциями лазерных пучков на обрабатываемую поверхность  составляет 90°, а при сканировании алмазной поверхности лазерными  пучками числом, равным N, углы между проекциями сфокусированных лазерных пучков на обрабатываемую поверхность   равны 360°/N.
7. Устройство для лазерной полировки алмазной поверхности по способу п.1, содержащее источник лазерного излучения, оптически связанный с алмазной поверхностью пластины, установленной  в микропозиционере, отличающийся тем, что в него введен блок  разделения лазерного пучка  и оптические блоки управления разделенными лазерными пучками, оптически связанные с блоком разделения лазерного  пучка,  при этом блоки управления разделенными лазерными пучками оптически связаны с алмазной поверхностью и установлены  с возможностью одновременного  облучения алмазной поверхности с разных направлений.
8. Устройство для лазерной полировки по п. 7, отличающееся тем, что блоки управления разделенными лазерными  пучками  выполнены с возможностью обеспечения   их фокусировки под  углом   80-90°  от вертикали, опущенной на обрабатываемую поверхность.
9. Устройство для лазерной полировки по п. 7, отличающееся тем, что  каждый  блок управления разделенным лазерным пучком содержит зеркала,   управляющие положением лазерных пучков  в пространстве, и  линзу, фокусирующую лазерные пучки  на алмазную поверхность пластины.
10. Устройство для лазерной полировки по п. 7, отличающееся тем, что блоки управления разделенными лазерными пучками  выполнены  с возможностью обеспечения сведения лазерных пучков  на алмазной поверхности пластины  в единое пятно.
11. Устройство для лазерной полировки по п. 7, отличающееся тем, что блоки управления  разделенными лазерными пучками выполнены  с возможностью управления перемещением  каждого из фокальных пятен лазерных пучков   на алмазной поверхности пластины  по независимым траекториям.