СПОСОБ ОЧИСТКИ КАРБИД-КРЕМНИЕВОЙ ТРУБЫ

4
2
2
Способ обработки карбид-кремниевой трубы, включающий очистку кремниевой трубы перед проведением высокотемпературных процессов в растворе, состоящем из бифторида аммония (NHHF), соляной кислоты (HCl) и деионизованной воды (HO), отличающийся тем, что в качестве раствора используют раствор, в состав которого входят бифторид аммония, соляная кислота и деионизованная вода в соотношении компонентов 1:1,5:4 при комнатной температуре, длительность процесса составляет 10±7 минут, далее осуществляется промывка в деионизованной воде в течение 30 минут, качество обработки определяется с помощью индикаторной бумаги.