СПОСОБ ОБРАБОТКИ НАНОКОМПОЗИТОВ В ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ

1. Способ обработки нанокомпозитов в водородной плазме, характеризующийся тем, что обрабатываемый образец размещают внутри полого цилиндра реактора из кварцевого стекла, при этом с обоих торцов упомянутого цилиндра устанавливают диэлектрические фланцы с хвостовиками, причем фланцы уплотняют вакуумным уплотнением из термостойкой резины, при этом к каждому из фланцев подводят вакуумные шланги, по одному из которых в кварцевый реактор подают водород, а через другой производят вакуумирование системы, при этом каждый фланец выполняют составным, состоящим, как минимум, из наружной оболочки, которую выполняют в виде полого двухступенчатого цилиндра, на наружной поверхности входной части которого выполняют наружную резьбу, а на внутренней поверхности входной части выполняют внутренний конус, при этом в выходной части упомянутой наружной оболочки располагают хвостовик для вакуумного шланга, крышки, на внутренней поверхности которой выполняют внутреннюю резьбу и устанавливают на наружную оболочку по резьбовой поверхности, уплотнения, которое устанавливают в конический зазор между корпусом реактора и наружной оболочкой и поджимают крышкой, при этом между внутренним торцом наружной оболочки и торцом полого цилиндра реактора, устанавливают профилированную прокладку из кварцевого стекла с центральным отверстием, одна поверхность которой взаимодействует с торцом упомянутого цилиндра, а на другой поверхности выполняют хвостовик, входящий в ответный хвостовик наружной части и взаимодействующий с ним своим наружным диаметром, при этом, при обработке, предпочтительно, наводораживании, образцов тонкопленочных композитов, упомянутый полый цилиндр с исследуемым образцом помещают в СВЧ-печь, далее производят вакуумирование системы, состоящей из СВЧ-печи и реактора путем откачки воздуха через один из фланцев при помощи механического насоса до предельного значения при открытом натекателе, после чего производят подачу водорода в кварцевый реактор через другой фланец и осуществляют промывку всей системы водородом, затем натекатель прикрывают для достижения рабочего давления в реакторе, после чего обеспечивают СВЧ-разряд в кварцевом реакторе, зажигают водородную плазму и производят требуемую обработку водородом образцов из нанокомпозитов.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в процессе обработки водородной плазмой образцов из нанокомпозитов дополнительно вакуумируют СВЧ-печь.