СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ИЗДЕЛИЙ

1. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность изделия, включающий очистку изделий и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и ионно-плазменное азотирование поверхностей изделий, нанесения покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что после ионно-плазменного азотирования дополнительно проводят ионное травление поверхности изделия, при этом ионно-плазменное азотирование с последующим ионным травлением осуществляют в N этапов, где N - целое число и N≥1.
2. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность изделия по п.1, отличающийся тем, что проводят предварительный нагрев вакуумной камеры с одновременной откачкой воздуха.
3. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность изделия по п.2, отличающийся тем, что наносят на поверхности изделия микрослой из титана, алюминия и кремния общей толщиной 0,4-0,6 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев этих материалов толщиной 1-100 нм, нанесение микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.
4. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность изделия по п.3, отличающийся тем, что подают в камеру азот и наносят на поверхности изделия микрослой из нитридов титана, алюминия, кремния общей толщиной 2,5-3 мкм, причем указанный микрослой состоит из нанослоев нитридов этих материалов толщиной 1-100 нм, нанесение микрослоя осуществляют последовательным прохождением изделия перед магнетронами с мишенями из указанных материалов.
5. Способ нанесения нанокомпозитного покрытия на поверхность изделия по п.3, отличающийся тем, что одновременно наносят нитриды титана, алюминия и кремния с образованием на поверхности изделия микрослоя в виде аморфной матрицы из нитрида кремния с твердыми включениями из нитридов титана и алюминия.