ТЕСТОВЫЙ ОБЪЕКТ ДЛЯ КАЛИБРОВКИ АТОМНО-СИЛОВЫХ МИКРОСКОПОВ

Тестовый объект для калибровки атомно-силовых микроскопов (АСМ), выполненный в виде рельефной кремниевой структуры с элементами рельефа, имеющими трапециевидную форму с постоянным острым углом между боковой гранью и плоскостью нижнего основания, отличающийся тем, что содержит элементы рельефа с различными известными высотами.