ИНТЕРФЕРОМЕТР

1. Интерферометр, содержащий опорное плечо, измерительное плечо, осветитель, светоделитель, фоторегистратор, при этом осветитель оптически связан со светоделителем, делящим и направляющим световое излучение в опорное плечо на подвижный опорный элемент, в котором выполнен последний, и в измерительное плечо на исследуемый объект, выполненное с возможностью установки в нем исследуемого объекта, опорное плечо и измерительное плечо оптически связаны с фоторегистратором через светоделитель с возможностью регистрации им отраженного исследуемым объектом и опорным элементом светового излучения, отличающийся тем, что опорный элемент снабжен атомно-гладкой поверхностью, предназначенной для отражения светового излучения.
2. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что снабжен компьютером и контроллером, которые связаны электрически друг с другом, фоторегистратор электрически связан с компьютером, а осветитель и опорное плечо электрически связаны с контроллером.
3. Интерферометр по п. 1 или 2, отличающийся тем, что осветитель выполнен в составе оптически связанных источника излучения - частично когерентного и коллимирующей оптики, осветитель связан с контроллером посредством электрической связи источника излучения с контроллером.
4. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что светоделитель выполнен в виде светоделительного кубика.
5. Интерферометр по п. 1, или 2, или 4, отличающийся тем, что опорное плечо выполнено в составе последовательно оптически связанных, установленных вдоль оптической оси объектива, расположенного со стороны одной из ортогональных граней светоделительного кубика, подвижного опорного элемента, снабженного атомно-гладкой поверхностью, предназначенной для отражения светового излучения, который смонтирован на пьезокерамическом актюаторе для реализации возможности перемещения, опорное плечо связано с контроллером посредством электрической связи контроллера с актюатором.
6. Интерферометр по п. 1, или 2, или 4, отличающийся тем, что измерительное плечо выполнено в составе последовательно оптически связанных, установленных вдоль оптической оси объектива, расположенного со стороны второй из ортогональных граней светоделительного кубика, фокусирующего излучение на исследуемый объект, который установлен для проведения исследований посредством держателя.
7. Интерферометр по п. 1, или 2, или 4, отличающийся тем, что фоторегистратор выполнен в виде камеры на основе приборов с зарядовой связью, установленной вдоль оптической оси со стороны третьей из ортогональных граней светоделительного кубика, фоторегистратор связан с компьютером посредством электрической связи указанной камеры с компьютером.
8. Интерферометр по п. 1, отличающийся тем, что опорный элемент, снабженный атомно-гладкой поверхностью, предназначенной для отражения светового излучения, изготовлен в виде твердотельной подложки с атомно-гладкой поверхностью.
9. Интерферометр по п. 8, отличающийся тем, что в качестве твердотельной подложки для опорного элемента, снабженного атомно-гладкой поверхностью, предназначенной для отражения светового излучения, использована кремниевая подложка с ориентацией [111], на которой получена атомно-гладкая поверхность.