НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС НА ОСНОВЕ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ И ИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

1. Нанотехнологический комплекс на основе эпитаксиальных и ионных технологий, включающий камеру загрузки, модуль молекулярно-лучевой эпитаксии, модуль ионной имплантации, транспортную систему с захватом, носители подложек и средства откачки, отличающийся тем, что в него введен блок переворота подложек, а транспортная система выполнена в виде автономной распределительной камеры с блоком откачки и соединенными фланцами, в которой расположен центральный робот распределитель с возможностью осевого вращения, а также с возможностью взаимодействия, по меньшей мере, одним захватом носителей подложек с камерой загрузки, модулем молекулярно-лучевой эпитаксии и модулем ионной имплантации, состыкованными через соединительные фланцы с распределительной камерой.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что распределительная камера снабжена, по меньшей мере, одним дополнительным соединительным фланцем.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что распределительная камера снабжена модулем подготовки подложек.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок переворота подложек расположен внутри модуля молекулярно-лучевой эпитаксии.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок переворота подложек расположен внутри модуля ионной имплантации.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок переворота подложек расположен внутри камеры загрузки.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что блок переворота подложек расположен внутри распределительной камеры.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено блоком подготовки подложек, расположенным в модуле молекулярно-лучевой эпитаксии и/или модуле ионной имплантации и/или распределительной камере.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что робот-манипулятор снабжен, по меньшей мере, одним дополнительным захватом носителей подложек.