СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ПО КРАЙНЕЙ МЕРЕ ЧАСТЬ ИНСТРУМЕНТА, ПОКРЫТИЕ С ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ ОДНИМ СЛОЕМ КАРБОНИТРИДА И ИНСТРУМЕНТ С УПОМЯНУТЫМ ПОКРЫТИЕМ

1. Способ нанесения покрытия на по крайней мере часть инструмента, в частности режущего инструмента, например в виде режущей пластины, при котором готовят основу, на которую из газа, содержащего метан, азот и по меньшей мере одно соединение металлов, осаждают, по меньшей мере, один слой из карбонитрида, по меньшей мере, одного металла, выбранного из группы, включающей титан, цирконий, гафний, ванадий, ниобий, тантал и/или хром, отличающийся тем, что осаждение начинают при температуре основы, равной 850-950°С, после чего температуру основы повышают по меньшей мере на 40°С и продолжают осаждение по крайней мере периодически при повышенной температуре.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при продолжении осаждения температуру основы снова повышают.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что повышенную температуру основы получают в течение 350 мин, в частности 120 мин, после начала осаждения.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что по достижении повышенной температуры осаждение продолжают в течение по меньшей мере 60 мин.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что температуру основы повышают до 1010 до 1040°С.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что карбонитридом металла является карбонитрид титана, который осаждают из газа, содержащего метан, азот и тетрахлорид титана.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что содержание газа осаждения берут в составе 1 части в молях метана, от 8 до 11 частей в молях азота и от 15 до 25 частей в молях водорода, при этом в состав газ дополнительно включают от 1 до 8 об.% тетрахлорида титана.
8. Покрытие с по меньшей мере одним слоем карбонитрида, по меньшей мере, одного металла, выбранного из группы, включающей титан, цирконий, гафний, ванадий, ниобий, тантал и/или хром, например слоя карбонитрида титана, отличающееся тем, что слой карбонитрида металла имеет нанокомпозитную структуру, образованную из кристаллов с неоднородным распределением элементов.
9. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что кристаллы по своему химическому составу в центре и приграничной зоне имеют различное содержание углерода и азота.
10. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что по меньшей мере указанный слой образуют два типа кристаллов с различной геометрической формой.
11. Покрытие по п.10, отличающееся тем, что указанный слой образован по меньшей мере из одного типа со звездообразно-игольчатой структурой и по меньшей мере одного типа с пластинчатой структурой.
12. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что указанный слой содержит дополнительно химический элемент, выбранный из группы, включающей бор, кремний цирконий, гафний, ванадий или редкоземельные элементы.
13. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что кристаллы имеют среднюю величину менее 65 нм, более предпочтительно менее 45 нм.
14. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что средняя величина кристаллов увеличивается в направлении наружу, т.е. в сторону обрабатываемой заготовки.
15. Покрытие по одному из пп.8-14, отличающееся тем, что указанный слой имеет состав MeCxNy, при х равном от 0,1 до менее 0,3 и у равном от 0,9 до более 0,7.
16. Покрытие по п.15, отличающееся тем, что значения составляют х=0,15 до 0,20 и y=0,85 до 0,80.
17. Покрытие по п.8, отличающееся тем, что цвет слоя имеет желто-красный оттенок со светотеневой структурой, в частности с полосчатой структурой такого типа, заметной на микрошлифе в оптический микроскоп при увеличении 500-1000 крат.
18. Инструмент или его часть, в частности режущий инструмент, например режущая пластина, содержащий основу с по меньшей мере одним нанесенным на нее слоем, причем по меньшей мере один слой является слоем карбонитрида металла, отличающийся тем, что на него нанесено покрытие по одному из пп.8-17.
2
3
19. Инструмент или его часть по п.18, отличающийся тем, что в направлении наружу или в сторону обрабатываемой заготовки слой карбонитрида выполнен игольчатым в виде расходящихся лучей и имеет защитный слой, выполненный в виде оксидного слоя, более предпочтительно в виде слоя оксида алюминия (AlO) или слоя углерода, в частности алмазного слоя.