СЛОИ TiB2 И ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЕ

2
1. Способ покрытия по меньшей мере одного изделия содержащим TiB слоем со следующими этапами:
- помещают подлежащее покрытию изделие в напылительную камеру,
2
2
2
2
- осаждают содержащий TiB слой посредством процесса нереактивного распыления в содержащей рабочий газ атмосфере путем воздействия на мишени TiB, отличающийся тем, что воздействуют на по меньшей мере две мишени TiBс такой мощностью источника питания постоянного тока, что время от времени удельная мощность приводит к локальной плотности тока на мишенях более чем 0,2 А/см, при этом мишени должны работать при осредненной по времени мощности не более чем 10 кВт.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что мощность источника питания постоянного тока составляет более чем 20 кВт.
2
3. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что на шероховатость содержащего TiB слоя влияют регулировкой парциального давления рабочего газа.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что при распылении по меньшей мере некоторое время поддерживают парциальное давление рабочего газа не более чем 0,2 Па, предпочтительно не более чем 0,4 Па, а особо предпочтительно не более чем 0,75 Па.
5. Способ по п. 4, отличающийся тем, что рабочий газ содержит по меньшей мере аргон.
2
2
2
6. Изделие с покрытием, которое включает в себя по меньшей мере один содержащий TiB слой, отличающееся тем, что содержащий TiBслой получен согласно одному из предшествующих пп. 1-5, и содержащий TiBслой имеет более высокую плотность по сравнению со слоями, полученными посредством традиционного процесса распыления.
2
7. Изделие с покрытием по п. 6, отличающееся тем, что содержащий TiB слой имеет твердость по меньшей мере 50 ГПа.
2
8. Изделие с покрытием по п. 6 или 7, отличающееся тем, что слой TiB имеет текстуру, которая дает характерные пики на рентгеновском дифракционном спектре, которые демонстрируют
выраженную ориентацию (001).
9. Изделие с покрытием по одному из предшествующих пп. 6-8, отличающееся тем, что поверхность изделия сразу после нанесения покрытия имеет значения шероховатости Ra, которые составляют не более 0,14 мкм, предпочтительно не более 0,115 мкм, а особо предпочтительно не более 0,095 мкм, если вычесть вклад непокрытой поверхности изделия.
10. Изделие по одному из пп. 6-9, отличающееся тем, что поверхность изделия сразу после нанесения покрытия имеет значения шероховатости Rz, которые составляют не более 0,115 мкм, предпочтительно не более 0,095 мкм, а особо предпочтительно не более 0,05 мкм, если вычесть вклад непокрытой поверхности изделия.