СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ ОКСИД ТИТАНА - СИЛИЦИД ТИТАНА НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ

1. Способ получения гетероструктуры оксид титана - силицид титана на кремниевой подложке, включающий нагрев нанокристаллической пленки титана на подложке кремния в атмосфере воздуха, отличающийся тем, что активацию реакций оксидирования и силицидообразования в ходе формирования гетероструктуры осуществляют световым излучением.
2. Способ по п.1 отличающийся тем, что в качестве источника света используют импульсные ксеноновые лампы с диапазоном излучения 0,2- 1,2 мкм.
-2
-2
3. Способ по п.1 отличающийся тем, что дозу энергии излучения на облучаемую подложку подают в интервале 220-240 Дж·см пакетами импульсов длительностью 10 с в течение 2,0-2,2 с.