Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия

3
1-x
Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия PtZr на сеточных электродах мощных генераторных ламп, включающий формирование на тугоплавкой подложке слоев карбида материала сеточного электрода, циркония и карбида циркония, формирование поверхностного слоя платины и последующий отжиг сеточного электрода с нанесенным комбинированным покрытием, отличающийся тем, что слой карбида циркония получают в процессе отжига в вакууме нанослоев циркония (Zr), карбида циркония переменного состава (ZrC) и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы (ZrC+С), сформированных из металлической плазмы вакуумно-дугового разряда послоевым способом за один импульс открытия системы подачи рабочего газа, обеспечивающего изменение давления по линейному закону dp/dt от минимального до максимального значения.