КОЛЛЕКТОР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ДЛЯ КМОП-ФОРМИРОВАТЕЛЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ

1. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц;
множество коллекторных электродов для приема первой части заряженных частиц из источника заряженных частиц; и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов, причем сетка принимает вторую часть заряженных частиц из источника заряженных частиц и направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на вторую часть, на соседние коллекторные электроды.
2. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором сетка сформирована из проводящего материала.
3. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 2, в котором сетка электрически изолирована от множества коллекторных электродов.
4. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
5. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод сформирован с неравномерной формой.
6. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, дополнительно содержащее микроканальную пластину (МКП), расположенную между источником и множеством коллекторных электродов.
7. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя углубленную поверхность, образующую углубление.
8. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы и трапециидальной формы.
9. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на первую часть заряженных частиц, на соответствующий коллекторный электрод.
10. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя множество углублений.
11. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором множество коллекторных электродов расположено на диэлектрическом слое, причем диэлектрический слой включает в себя множество углублений, соответствующих множеству углублений в соответственном коллекторном электроде.
12. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором углубление из множества углублений сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы или формы перевернутой пирамиды.
13. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц; и
поверхность сбора заряженных частиц для приема заряженных частиц из источника заряженных частиц, причем поверхность сбора заряженных частиц включает в себя:
множество коллекторных электродов, и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов,
при этом одно из сетки и множества коллекторных электродов включает в себя приподнятый край, расположенный отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
14. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя по меньшей мере одно углубление.
15. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором сетка включает в себя приподнятый край.
16. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 15, в котором приподнятый край сетки расположен над соседними коллекторными электродами относительно поверхности сбора заряженных частиц.
17. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 16, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
18. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя приподнятый край.
19. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 18, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
20. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 19, в котором приподнятые края первого набора перекрывают приподнятые края второго набора в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
21. Способ формирования устройства регистрации заряженных частиц, содержащий этапы, на которых:
размещают множество коллекторных электродов на поверхности сбора заряженных частиц; и
размещают сетку на поверхности сбора заряженных частиц, причем сетку формируют вокруг и располагают отдельно от множества коллекторных электродов.
22. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют каждый коллекторный электрод с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
23. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют сетку с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
24. Способ по п. 23, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
25. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют по меньшей мере одно углубление в поверхности каждого коллекторного электрода напротив поверхности сбора заряженных частиц.
26. Способ по п. 25, в котором этап формирования по меньшей мере одного углубления включает в себя этап, на котором формируют множество углублений, и
способ включает в себя, перед этапом размещения множества коллекторных электродов, этап, на котором формируют множество углублений в поверхности сбора заряженных частиц в местоположениях, соответствующих местоположениям множества углублений соответственного множества коллекторных электродов.
27. Способ по п. 21, в котором этап размещения множества коллекторных электродов включает в себя этап, на котором:
размещают первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины на поверхности сбора заряженных частиц,
при этом первый набор коллекторных электродов размещают с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.