ЭЖЕКТОРНАЯ ФОРСУНКА ДЛЯ ГАЗА ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА, РЕАКЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА

1. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода, используемая в реакционном устройстве для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, содержит:
стержень, проходящий в продольном направлении; и
головку, которая выполнена на одном конце стержня и проходит в направлении, пересекающем продольное направление стержня;
при этом канал подачи, проходящий в продольном направлении, выполнен в стержне,
множество эжекторных каналов выполнены в головке, и
каждый из эжекторных каналов соединен с возможностью сообщения с каналом подачи и открыт на наружной поверхности головки к направлению, пересекающему направление, в котором проходит канал подачи.
2. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода по п.1, в которой резьба выполнена на стержне.
3. Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода по п.1, в которой множество эжекторных каналов выполнены таким образом, чтобы проходить в радиальном направлении от канала подачи.
4. Реакционное устройство для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, включающее в себя:
основной корпус устройства, к которому подают порошок металлического кремния;
нижнюю пластину, выполненную на нижнем конце основного корпуса устройства; и
устройство ввода газа, которое вводит газ хлористого водорода в основной корпус устройства через нижнюю пластину,
при этом устройство ввода газа содержит множество эжекторных форсунок для газа хлористого водорода по п.1, проходящих с возможностью отсоединения через нижнюю пластину, а головка размещена на нижней пластине.
5. Способ получения трихлорсилана взаимодействием газа хлористого водорода с порошком металлического кремния, включающий в себя этапы, на которых:
прикрепляют эжекторную форсунку для газа хлористого водорода по п.1 к нижней пластине основного корпуса устройства, к которому подают порошок кремния, в тоже время размещают головку на нижней пластине;
подают порошок металлического кремния в нижнюю часть основного корпуса устройства;
и эжектрируют газ хлористого водорода из эжекторных каналов эжекторной форсунки для газа хлористого водорода.