МИШЕНЬ, АДАПТИРОВАННАЯ К УСТРОЙСТВУ КОСВЕННОГО ОХЛАЖДЕНИЯ С ОХЛАЖДАЮЩЕЙ ПЛАСТИНОЙ

1. Устройство для охлаждения мишени с компонентом, который содержит канал охлаждения, и с дополнительной теплопроводной пластиной, которая разъемно соединена с охлаждающей стороной компонента, причем охлаждающая сторона является такой, на которую канал охлаждения оказывает свое действие, отличающееся тем, что между дополнительной теплопроводной пластиной и охлаждающей стороной компонента предусмотрена первая самоклеющаяся углеродная пленка, которая по обширной площади самосклеивающимся образом приклеивается на одну сторону дополнительной теплопроводной пластины, которая обращена к охлаждающей стороне.
2. Устройство для охлаждения мишени по п. 1, отличающееся тем, что на другой стороне дополнительной теплопроводной пластины предусмотрена вторая самоклеющаяся углеродная пленка, которая самосклеивающимся образом приклеивается по обширной площади.
3. Устройство для охлаждения мишени по п. 1 и 2, отличающееся тем, что дополнительная теплопроводная пластина содержит медь и/или молибден.
4. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что дополнительная теплопроводная пластина выбирается настолько толстой, что придает стабильность самоклеющейся углеродной пленке или самоклеющимся углеродным пленкам для простого обращения с ними.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что дополнительная теплопроводная пластина имеет толщину по меньшей мере 3 мм, предпочтительно по меньшей мере 5 мм, и особенно предпочтительно по меньшей мере 1 см.
6. Мишень с охлаждающим устройством по одному из предшествующих пунктов, отличающаяся тем, что мишень выполнена в виде источника материала для способа распыления и/или для способа искрового испарения.
7. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что толщина самоклеющейся углеродной пленки составляет между 0,125 мм и менее 0,5 мм, и предпочтительной является толщина 0,125 мм.
8. Источник для нанесения покрытий, содержащий мишень с устройством по одному из предшествующих пунктов.
9. Источник для нанесения покрытий по п. 8, отличающийся тем, что периметр мишени взаимодействует с держателем источника в форме байонетного замка, благодаря чему осуществляется более высокое и более равномерное прижимающее давление.