ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МАТЕРИАЛА И ЭЛЕКТРОД ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

1. Производственная установка для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутая установка содержит:
корпус, образующий камеру;
впуск, образованный через упомянутый корпус, для введения газа в камеру;
выпуск, образованный через упомянутый корпус, для отведения газа из камеры;
по меньшей мере один электрод, имеющий внешнюю поверхность, имеющую область контакта, приспособленную контактировать с контактным гнездом, причем упомянутый электрод расположен проходящим через упомянутый корпус, причем упомянутый электрод по меньшей мере частично расположен внутри камеры для соединения с контактным гнездом;
источник питания, соединенный с упомянутым электродом, для снабжения электрическим током упомянутого электрода и
6
покрытие области контакта, расположенное на упомянутой области контакта упомянутого электрода, для сохранения теплопроводности между упомянутым электродом и контактным гнездом, причем упомянутое покрытие области контакта имеет электропроводность по меньшей мере 9×10 См/м и сопротивление коррозии, большее, чем у серебра в ряду электродных потенциалов, основанном на использовании морской воды комнатной температуры в качестве электролита.
2. Производственная установка по п.1, при этом упомянутый электрод дополнительно включает в себя:
ствол, имеющий первый конец и второй конец; и
головку, расположенную на одном из упомянутых концов упомянутого ствола.
3. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка упомянутого электрода включает в себя упомянутую внешнюю поверхность, имеющую упомянутую область контакта.
4. Производственная установка по п.2, при этом упомянутая головка содержит медь.
5. Производственная установка по п.3, при этом по меньшей мере одно из упомянутой головки и упомянутого ствола упомянутого электрода включает в себя внешнее покрытие, отличное от упомянутого покрытия области контакта и расположенное на ее/его упомянутой внешней поверхности вне упомянутой области контакта.
6. Производственная установка по п.3, при этом по меньшей мере одно из упомянутой головки и упомянутого ствола не имеет покрытия, расположенного на ее/его упомянутой внешней поверхности вне упомянутой области контакта.
7. Производственная установка по п.1, при этом упомянутое внешнее покрытие упомянутого электрода, включая упомянутое покрытие области контакта, по меньшей мере частично расположено внутри камеры.
8. Производственная установка по любому предыдущему пункту, при этом упомянутое покрытие области контакта содержит по меньшей мере один элемент из золота, платины и палладия.
9. Производственная установка по п.8, при этом упомянутое покрытие области контакта дополнительно содержит по меньшей мере один элемент из серебра, никеля и хрома.
10. Производственная установка по любому из пп.1-7, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00254 до 0,254 мм.
11. Производственная установка по любому из пп.1-7, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,127 мм.
12. Производственная установка по любому из пп.1-7, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,0254 мм.
13. Производственная установка по любому из пп.1-7, при этом упомянутый по меньшей мере один электрод включает в себя первый электрод для приема контактного гнезда на первом конце несущей подложки и второй электрод для приема контактного гнезда на втором конце несущей подложки.
14. Электрод для использования с производственной установкой для осаждения материала на несущую подложку, имеющую находящиеся на расстоянии друг от друга первый конец и второй конец, с контактным гнездом, расположенным на каждом конце несущей подложки, причем упомянутый электрод содержит:
ствол, имеющий первый конец и второй конец;
головку, расположенную на одном из упомянутых концов упомянутого ствола, для соединения с контактным гнездом;
причем упомянутая головка имеет внешнюю поверхность, имеющую область контакта, приспособленную контактировать с контактным гнездом; и
6
покрытие области контакта, расположенное на упомянутой области контакта упомянутого электрода, для сохранения электрической проводимости между упомянутым электродом и контактным гнездом, причем упомянутое покрытие области контакта имеет электропроводность по меньшей мере 9×10 См/м и сопротивление коррозии большее, чем у серебра в ряду электродных потенциалов, основанном на использовании морской воды комнатной температуры в качестве электролита.
15. Электрод по п.14, при этом упомянутая головка является цельной с упомянутым стволом.
16. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутое покрытие области контакта содержит по меньшей мере один элемент из золота, платины и палладия.
17. Электрод по п.16, при этом упомянутое покрытие области контакта дополнительно содержит по меньшей мере один элемент из серебра, никеля и хрома.
18. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутая головка содержит медь.
19. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутый ствол упомянутого электрода включает в себя покрытие ствола, отличное от упомянутого покрытия области контакта и расположенное на внешней поверхности упомянутого ствола.
20. Электрод по любому из пп.14 и 15, при этом упомянутый ствол не имеет покрытие ствола, расположенное на его внешней поверхности.
21. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00254 до 0,254 мм.
22. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,127 мм.
23. Электрод по п.14 или 15, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,0254 мм.
24. Производственная установка по п.8, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00254 до 0,254 мм.
25. Производственная установка по п.8, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,127 мм.
26. Производственная установка по п.8, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,0254 мм.
27. Электрод по п.16, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00254 до 0,254 мм.
28. Электрод по п.16, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,127 мм.
29. Электрод по п.16, при этом упомянутое покрытие области контакта имеет толщину от 0,00508 до 0,0254 мм.