СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ ДЕТЕКТОРОВ ТГЦ ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

2
1. Способ изготовления матрицы детекторов терагерцового излучения на основе сеток углеродных нанотрубок, отличающийся тем, что массив чувствительных элементов формируется в процессе селективного травления однородной сетки УНТ с использованием литографической маски в виде массива прямоугольников размером 8×4 мкм, сформированной в процессе фотолитографии.
2. Способ изготовления матрицы детекторов терагерцового излучения на основе сеток углеродных нанотрубок по п. 1, отличающийся тем, что матрицы контактных электродов к углеродным нанотрубкам выполнены в виде плоских спиральных антенн логарифмического типа из металлов с разной работой выхода в одном литографическом цикле с помощью углового напыления.