ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО С ПРОМЕЖУТОЧНЫМ УРОВНЕМ

1. Устройство, содержащее
электрод,
неподвижный отражатель,
подвижный отражатель, содержащий электропроводный материал, причем между подвижным отражателем и неподвижным отражателем образован интерферометрический резонатор, подвижный отражатель выполнен с возможностью перемещения по меньшей мере между первым положением, вторым положением и третьим положением, а устройство также содержит
промежуточный слой, расположенный на стороне неподвижного отражателя, противоположной по отношению к подвижному отражателю, и между электродом и неподвижным отражателем и содержащий фильтрующую полость, выполненную таким образом, чтобы повышать насыщенность цвета света, отражаемого интерферометрическим резонатором, и
подложку, расположенную на стороне электрода, противоположной по отношению к неподвижному отражателю.
2. Устройство по п.1, в котором толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 160 нм.
2
3. Устройство по п.1, отражающее красный свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), а толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 140 нм.
2
4. Устройство по п.1, отражающее синий свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), а толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 210 нм.
2
5. Устройство по п.1, отражающее зеленый свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), а толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 190 нм.
6. Устройство по п.1, отражающее белый свет, когда подвижный отражатель перемещен в первое положение, и не отражающее свет, когда подвижный отражатель переведен во второе положение.
7. Устройство по п.1, в котором фильтрующая полость содержит еще один интерферометрический резонатор, который образован на стороне неподвижного отражателя, противоположной по отношению к подвижному отражателю.
8. Устройство по п.7, в котором указанный еще один интерферометрический резонатор образован между неподвижным отражателем и подложкой.
9. Устройство по п.1, дополнительно содержащее
дисплей,
процессор, выполненный с возможностью взаимодействия с дисплеем и возможностью обработки видеоданных, и
запоминающее устройство, выполненное с возможностью взаимодействия с процессором.
10. Устройство по п.8, дополнительно содержащее схему формирователя, выполненную с возможностью направления по меньшей мере одного сигнала на дисплей.
11. Устройство по п.10, дополнительно содержащее контроллер, выполненный с возможностью направления по меньшей мере части видеоданных схеме формирователя.
12. Устройство по п.8, дополнительно содержащее модуль видеоизображения, выполненный с возможностью направления видеоданных на процессор.
13. Устройство по п.12, в котором модуль видеоизображения содержит по меньшей мере один приемник, приемопередатчик и передатчик.
14. Устройство по п.8, дополнительно содержащее устройство ввода данных, выполненное с возможностью получения входных данных и передачи входных данных на процессор.
15. Устройство, содержащее
электрод,
неподвижный отражатель,
подвижный отражатель, содержащий электропроводный материал, причем между подвижным отражателем и неподвижным отражателем образован интерферометрический резонатор, причем подвижный отражатель выполнен с возможностью перемещения по меньшей мере между первым положением, вторым положением и третьим положением, а устройство также содержит
промежуточный слой, расположенный на стороне неподвижного отражателя, противоположной по отношению к подвижному отражателю, и между электродом и неподвижным отражателем и имеющий толщину, равную по меньшей мере 160 нм в поперечном сечении устройства, и содержащий фильтрующую полость, выполненную таким образом, чтобы повышать насыщенность цвета света, отражаемого интерферометрическим резонатором, и
подложку, расположенную на стороне электрода, противоположной по отношению к неподвижному отражателю.
16. Устройство по п.15, в котором фильтрующая полость содержит еще один интерферометрический резонатор, который образован на стороне неподвижного отражателя, противоположной по отношению к подвижному отражателю.
17. Устройство по п.16, в котором указанный еще один интерферометрический резонатор образован между неподвижным отражателем и подложкой.
18. Устройство, содержащее
электрод,
первые средства отражения света, которые являются неподвижными,
вторые средства отражения света, которые являются подвижными и содержат электропроводный материал, причем между первыми отражающими средствами и вторыми отражающими средствами образован интерферометрический резонатор, вторые отражающие средства выполнены с возможностью перемещения по меньшей мере между первым положением, вторым положением и третьим положением, а устройство также содержит
отделяющие средства для отделения первых отражающих средств, расположенные на стороне первых отражающих средств, противоположной по отношению ко вторым отражающим средствам и между электродом и первыми отражающими средствами и содержащие фильтрующую полость, выполненную таким образом, чтобы повышать насыщенность цвета света, отражаемого интерферометрическим резонатором, и
подложка, расположенная на стороне электрода, противоположной по отношению к первым отражающим средствам.
19. Устройство по п.18, в котором толщина указанных отделяющих средств составляет по меньшей мере 160 нм.
2
20. Устройство по п.18, отражающее красный свет, когда вторые отражающие средства находятся в третьем положении, причем указанные отделяющие средства содержат диоксид кремния (SiO), а их толщина составляет по меньшей мере 140 нм.
2
21. Устройство по п.18, отражающее синий свет, когда вторые отражающие средства находятся в третьем положении, причем указанные отделяющие средства содержат диоксид кремния (SiO), а их толщина составляет по меньшей мере 210 нм.
2
22. Устройство по п.18, отражающее зеленый свет, когда вторые отражающие средства находятся в третьем положении, причем указанные отделяющие средства содержат диоксид кремния (SiO), а их толщина составляет по меньшей мере 190 нм.
23. Устройство по п.18, отражающее белый свет, когда вторые отражающие средства находятся в первом положении, и не отражающее свет, когда вторые отражающие средства находятся во втором положении.
24. Устройство по п.18, в котором фильтрующая полость содержит еще один интерферометрический резонатор, образованный на стороне первых отражающих средств, противоположной по отношению ко вторым отражающим средствам.
25. Устройство по п.24, в котором указанный еще один интерферометрический резонатор образован между первыми отражающими средствами и подложкой.
26. Способ изготовления устройства для модуляции света, согласно которому
берут подложку,
формируют электрод,
формируют промежуточный слой,
формируют неподвижный отражатель таким образом, что промежуточный слой расположен между неподвижным отражателем и электродом, а электрод расположен между подложкой и промежуточным слоем, и
формируют подвижный отражатель, содержащий электропроводный материал,
причем между подвижным отражателем и неподвижным отражателем образован интерферометрический резонатор, а подвижный отражатель выполнен с возможностью перемещения по меньшей мере между первым положением, вторым положением и третьим положением,
а промежуточный слой содержит фильтрующую полость, которая выполнена таким образом, чтобы повышать насыщенность цвета света, отражаемого интерферометрическим резонатором.
27. Способ по п.26, согласно которому толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 160 нм.
2
28. Способ по п.26, согласно которому указанное устройство отражает красный свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), а толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 140 нм.
2
29. Способ по п.26, согласно которому указанное устройство отражает синий свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), и толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 210 нм.
2
30. Способ по п.26, согласно которому указанное устройство отражает зеленый свет, когда подвижный отражатель перемещен в третье положение, причем промежуточный слой содержит диоксид кремния (SiO), а толщина промежуточного слоя составляет по меньшей мере 190 нм.
31. Способ по п.26, при котором устройство отражает белый свет, когда подвижный отражатель перемещен в первое положение, и не отражает свет, когда подвижный отражатель перемещен во второе положение.
32. Способ по п.26, при котором фильтрующая полость содержит еще один интерферометрический резонатор, который образован на стороне неподвижного отражателя, противоположной по отношению к подвижному отражателю.
33. Способ по п.32, согласно которому указанный еще один интерферометрический резонатор образован между неподвижным отражателем и подложкой.