СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ

1. Способ получения тетрафторида кремния, характеризующийся тем, что на диоксид кремния воздействуют фтористым водородом, полученный в результате реакции тетрафторид кремния обрабатывают солью плавиковой кислоты с образованием соли кремнефтористоводородной кислоты, после чего осуществляют разложение соли кремнефтористоводородной кислоты на газообразный тетрафторид кремния и фтористый водород с последующим их разделением.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что разделение тетрафторида кремния и фтористого водорода осуществляют путем низкотемпературной конденсации фтористого водорода.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что отделенный фтористый водород направляют на стадию получения соли плавиковой кислоты и/или на стадию обработки диоксида кремния.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что диоксид кремния помещен в 4-7% раствор олеума.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что соль плавиковой кислоты получают путем ее обработки раствором органического основания.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что в качестве органического основания используют раствор триалкиламина или раствор триалкиламина в триэтилбензоле, или раствор триалкиламина в смеси додекана с октиловым спиртом.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что разложение соли кремнефтористоводородной кислоты осуществляют путем ее обработки концентрированной минеральной кислотой.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что в качестве минеральной кислоты используют олеум, содержащий 3-5 мас.% свободного серного ангидрида.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что соль кремнефтористоводородной кислоты перед разложением промывают и сушат.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что сушку соли кремнефтористоводородной кислоты осуществляют потоком подогретого до 55-60°С воздуха или инертного газа.