СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОПОРОШКОВ НИТРИДА ТИТАНА

Способ получения нанопорошка нитрида титана, включающий подачу прекурсора в камеру испарителя-реактора, обработку в потоке азотной плазмы, последующее охлаждение в потоке азота и улавливание целевого продукта на поверхности фильтра, отличающийся тем, что в качестве прекурсора используют порошок никелида титана с размером частиц не более 40 мкм.