СПОСОБ КАЛИБРОВКИ АВТОМАТИЧЕСКОГО МАНИПУЛЯТОРА, УСТАНОВЛЕННОГО НА АКТИВНЫХ МАГНИТНЫХ ПОДШИПНИКАХ

1. Способ для калибровки автоматического манипулятора, установленного на активных магнитных подшипниках и имеющего захват, который может быть установлен вертикально вдоль оси Z для захвата и обработки кремниевых пластин и установки их в транспортную коробку, в которой может содержаться множество кремниевых пластин через фиксированные вертикальные промежутки, в котором захват может перемещаться на первом магнитном подшипнике вдоль оси X и на втором магнитном подшипнике вдоль оси Y, отличающийся разделением первого и второго магнитных подшипников на, в каждом случае, четыре точки (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6g, 6h) установки;
определяют координаты центра точки установки для этих осей X, Y, Z и также значения точки установки для угловых положений δ, ε и преобразования значений точки установки в значения точки установки для вертикальных положений точки установки, в каждом случае, для четырех точек (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6g, 6h) установки;
устанавливают силы F1-F4 привода для электромагнитов, в каждом случае, для четырех точек (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6g, 6h) установки;
определяют текущее вертикальное положение в каждом случае, в каждом случае, для четырех точек (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6g, 6h) установки;
измеряют текущее вертикальное положение z, в каждом случае, для четырех точек (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6g, 6h) установки и преобразуют в фактические координаты центра;
сравнивают фактические координаты центра с координатами центра точки установки, определяя отклонение, и повторяют предыдущие этапы, устанавливая скорректированные значения точки установки, как координаты центра точки установки, до тех пор, пока отклонение фактических координат центра от координат центра точки установки не будет равно нулю.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что ноль градусов устанавливают для двух угловых положений δ, ε.
3. Способ по п.1 или 2, отличающаяся тем, что установочные значения для угловых положений δ, ε определяют путем сравнения фактических угловых положений δ, ε и установления в качестве центра точки установки координат для угловых положений δ, ε.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что преобразование координат X, Y, Z центра и угловых положений δ, ε в вертикальное положение, в каждом случае, для четырех точек (6а, 6b, 6с, 6d; 6е, 6f, 6 г, 6-ых) установки и, наоборот, выполняют, предпочтительно, в каждом случае в матрице (13; 15) преобразования.
5. Способ по п.3, отличающийся тем, что сравнение установки/фактическое сравнение происходит, по меньшей мере, в одном мультиплексоре.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что фактические угловые положения δ, ε измеряют с помощью датчика наклона.
7. Способ по п.4, отличающийся тем, что ориентация угловых положений δ, ε автоматического манипулятора 2 осуществляется относительно опорного положения.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что положение, по меньшей мере, одной кремниевой пластины (1) используется, как опорное положение.
9. Способ по п.7, отличающийся тем, что фактические угловые положения 5, 8 измеряют в каждом случае с помощью датчиков (18) расстояния.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что два датчика (18) расстояния расположены, в каждом случае, на определенном расстоянии от друг друга на захвате (1).
11. Способ по п.9, отличающийся тем, что фактическое угловое положение δ измеряют с помощью датчика (18) расстояния, который перемещается вдоль оси X на заданную величину.