УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее плоскую мишень (1), выполненную из металла, установленную на основании (2) и закрепленную на нем с помощью прижима (3), содержащее также первую магнитную систему (4), расположенную внутри корпуса (5) с первым каналом водяного охлаждения (6), при этом основание (2) установлено на корпусе (5), содержащее также источник питания электрического разряда (7), отрицательным полюсом соединенный с корпусом (5), а положительным полюсом соединенный с заземляющим проводником (8), при этом мишень (1), основание (2), первая магнитная система (4) и корпус (5) расположены коаксиально вертикальной оси (9), отличающееся тем, что в него введен источник ионов газа (10), расположенный коаксиально вертикальной оси (9), содержащий внутренний полюсный наконечник (11), включающий первую стенку (12), содержащий также внешний полюсный наконечник (13), включающий вторую стенку (14), при этом первая стенка (12) и вторая стенка (14) расположены друг напротив друга и образуют выходную апертуру (15), расположенную со стороны плоской мишени (1), при этом внутренний полюсный наконечник (11) и внешний полюсный наконечник (13) охватывают корпус (5) с внешней стороны и отделены от него изолятором (16), содержащий также кольцевой анод (17) со вторым каналом водяного охлаждения (18), плиту (19) с третьим каналом водяного охлаждения (20), вторую магнитную систему (21), коаксиально расположенные вокруг корпуса (5), содержащий также высоковольтный источник питания (22), положительным полюсом соединенный с кольцевым анодом (17), а отрицательным полюсом соединенный с заземляющим проводником (8), причем первый канал водяного охлаждения (6) расположен в первой магнитной системе (4).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первая стенка (12) и вторая стенка (14) выходной апертуры (15) расположены параллельно вертикальной оси (9).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первая стенка (12) и вторая стенка (14) выходной апертуры (15) наклонены в сторону мишени (1) и образуют с вертикальной осью (9) угол δ.