УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ ПЛАЗМЫ ИЗ ГАЗОВОЙ СРЕДЫ ПОСРЕДСТВОМ ЭЛЕКТРОННО-ЦИКЛОТРОННОГО РЕЗОНАНСА (ЭЦР) С ВЫСОКИМ ДИАПАЗОНОМ ВДОЛЬ ОДНОЙ ОСИ

1. Устройство для генерирования плазмы посредством электронно-циклотронного резонанса ЭЦР из газовой среды, имеющее значительную протяженность вдоль оси и содержащее по меньшей мере два коаксиальных волновода (4), каждый из которых сформирован из центрального проводника (1) и внешнего проводника (2) для направления сверхвысокочастотных волн в камеру обработки, отличающееся тем, что по меньшей мере два электромагнитных волновода (4) соединены с магнитным контуром (21-22), удлиненным в одном направлении, при этом указанный магнитный контур окружает волноводы (4), создавая магнитное поле, способное достичь состояния ЭЦР вблизи указанных волноводов.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что магнитный контур содержит два полюса (21-22) с противоположной полярностью (31-32), расположенные вблизи волноводов, для формирования магнитной ловушки для электронов.
3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что первый полюс (21) образует первую линию, окружающую один или несколько волноводов (4), тогда как второй полюс (22) образует вторую линию, окружающую указанную первую линию (21).
4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что центральный проводник (1) каждого волновода содержит элементы, способные защищать отверстие указанного волновода и выполнять функцию антенн.
5. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что центральный проводник (1) содержит концентричный диск (5) большего диаметра, чем отверстие волновода (4) для защиты внутренней части указанного волновода, расположенный как можно ближе к области ЭЦР и содержащий вверху стержень (6), расположенный соосно с центральным проводником (1).
6. Устройство по п. 4, отличающееся тем, что на конце центрального проводника находится пластина (7), удлиненная вдоль большей оси магнитного контура, при этом по меньшей мере один из концов указанной пластины содержит элементы (8), предусмотренные для вхождения в контакт с поверхностью источника для создания короткого замыкания, при этом ширина пластины (7) превышает размер отверстия волновода (4).
7. Устройство по п. 6, отличающееся тем, что ширина пластины (7) является постоянной вдоль всей ее длины.
8. Устройство по п. 6, отличающееся тем, что ширина пластины (7) уменьшается с увеличением расстояния от центрального проводника (1) и относительно указанной по меньшей мере одной стороны указанного проводника (1).
9. Устройство по любому из пп. 1-8, отличающееся тем, что камера обработки содержит корпус (10) с охлаждающим контуром (11), при этом указанный корпус (10) содержит обшивку для установки удлиненного магнитного контура, образованного первой линией (21) магнитов, соответствующей первой поляризации, и второй линией (22) магнитов, соответствующей противоположной поляризации и окружающей первую линию (21), окружающую волноводы (4), установленные в отверстиях, выполненных в толще корпуса (10), при этом первая и вторая линии магнитов соединены ферромагнитной пластиной (23), при этом корпус и магнитная система отделены от плазмы экраном (12).
10. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что центральный проводник (1) является цилиндрическим стержнем, отцентрированным относительно внешнего проводника, установленного в корпусе (10) с хорошим электрическим контактом, причем внутрь волновода (4) помещено диэлектрическое окно (3), расположенное под отверстием, покрытым диском с расположенным сверху стержнем, предусмотренным в качестве антенны.
11. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что центральный проводник является цилиндрическим стержнем, отцентрированным относительно внешнего проводника, установленного в корпусе (10) с образованием хорошего электрического контакта, причем внутри волновода (4) под отверстием, покрытым пластиной (7), удлиненной вдоль оси излучателей, помещено диэлектрическое окно (3), при этом указанное удлинение является ассиметричным относительно центрального проводника для волновода, расположенного на закругленном конце магнитного контура, при этом удлинение выполнено только в направлении противоположного конца и симметрично относительно центрального проводника для волновода, расположенного на линейном участке магнитного контура, при этом каждый участок содержит элемент (8), применяемый для короткого замыкания.