СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ИЗОЛИРУЮЩИХ СЛОЕВ

1. Способ эксплуатации источника дуги, причем электрический искровой разряд поджигается и управляется на поверхности мишени (5), и искровой разряд управляется одновременно постоянным током, которому сопоставлено постоянное напряжение DV, и вырабатываемым посредством периодически прикладываемого сигнала напряжения импульсным током, отличающийся тем, что напряжение на источнике дуги повышается за несколько микросекунд.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнальная форма сигнала напряжения по существу является свободно выбираемой.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что частота сигнала напряжения лежит между 1 Гц и 200 кГц, предпочтительно между 10 Гц и 50 кГц.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнальная форма является пилообразной, многоугольником, трапецией, но предпочтительно прямоугольником.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнал напряжения прикладывается в режиме с промежутками.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнал напряжения при превышении определенного порога тока отключается.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнальная форма образуется посредством результирующей (21) последовательности игловидных импульсов (22).
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что игловидные импульсы (22) формируются посредством управляемого во временной последовательности разряда отдельных конденсаторов (19) или посредством источника питания (15) импульсного напряжения.
9. Способ по п.7, отличающийся тем, что крутизна нарастающего фронта (23) игловидных импульсов (22) составляет по меньшей мере 0,5 В/мкс, предпочтительно по меньшей мере 2 В/мкс.
10. Способ по п.7, отличающийся тем, что последовательность или длительность игловидных импульсов (22) устанавливается в пределах от 0,1 кГц до 1 МГц или от 10 мс до 1 мкс, предпочтительно от 1 кГц до 500 кГц или от 1 мс до 2 мкс.
11. Способ по п.7, отличающийся тем, что высота PV игловидного импульса (22) превышает приложенное постоянное напряжение DV на по меньшей мере 10%, предпочтительно по меньшей мере на 30%.
12. Способ по п.7, отличающийся тем, что применяются по меньшей мере 3, предпочтительно по меньшей мере 5 игловидных импульсов (22) для выработки сигнала напряжения.
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнал напряжения обеспечивается посредством источника питания (15) импульсного напряжения или генераторного блока (16), свободно регулируемых в отношении длины сигнала, частоты сигнала, амплитуды напряжения, пауз между импульсами и/или сигнальной формы.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что сигнал напряжения обеспечивается посредством источника питания (15) импульсного напряжения или генераторного блока (16), свободно регулируемых в отношении временной последовательности, крутизны фронтов и/или высоты игловидного импульса.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что крутизна нарастающего фронта (23) сигнала напряжения составляет по меньшей мере 0,5 В/мкс, предпочтительно по меньшей мере 2 В/мкс.
р
16. Способ по п.1, отличающийся тем, что, по существу, на всей длине импульса Т приложено постоянное импульсное напряжение PV.
17. Способ по п.1, отличающийся тем, что периодически прикладываемый сигнал напряжения поочередно прикладывается к мишени (5) нескольких источников дуги.
18. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что осаждаются изолирующие, в частности оксидосодержащие или оксидные слои.
19. Способ по любому из пп.1-17, отличающийся тем, что материал мишени (5) состоит из углерода или из материала с более чем 20 об.% углерода.
20. Способ изготовления подложки с нанесенным покрытием с помощью источника дуги, эксплуатируемого согласно способу по любому из пп.1-17.