СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОБРАТНОЙ СТОРОНЫ КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК НА ОСНОВЕ ПОЛИРОВАЛЬНОЙ ПОДУШКИ

Способ обработки обратной стороны кремниевых подложек на основе полировальной подушки, включающий обработку поверхности кремниевых подложек, отличающийся тем, что поверхность подложки подвергается обработке полировальной подушкой пропитанной суспензией в два этапа: 1. Алмазная суспензия марки 3 до 13 класса чистоты поверхности, толщина удаляемого слоя 28±2 мкм, скорость удаления 0,8±0,1 мкм/мин; 2. Алмазная суспензия марки 1 до 14 класса чистоты поверхности, толщина удаляемого слоя 6±1 мкм, скорость удаления 1,0±0,1 мкм/мин, где глубина нарушенного слоя составляет 0,6 мкм.