СПОСОБ ПРЯМОГО ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ ИЗ ПРИРОДНОГО КВАРЦА И ИЗ ЕГО ОСОБО ЧИСТЫХ КОНЦЕНТРАТОВ

5
6
Предполагаемый способ основан на получении поликристаллического кремния в одну стадию непосредственно из природных кварцевых концентратов в одном проточном реакторе путем плазмохимического пиролиза частиц диоксида кремния в потоке плазмы инертного газа (аргона) и водорода; при этом скорость охлаждения реагирующей смеси от 6500 до 2000 К достигает значений 10-10 К/с, что способствует эффективному связыванию образовавшегося кислорода с атомами водорода в условиях минимизации скорости повторного окисления кремния; пары кремния, охлаждаясь, кристаллизуются в виде сферических частиц.