ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР И СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ

1. Газоразрядный, в частности, эксимерный лазер, включающий в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, состоящую, главным образом, из металла и имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, определяющие область разряда между ними, с первым электродом, расположенным со стороны внутренней поверхности лазерного камеры, по меньшей мере, один протяженный блок предыонизации; систему циркуляции газа; набор конденсаторов, размещенных
либо в одном керамическом контейнере, либо
в двух керамических контейнерах, установленных вблизи первого электрода, указанные конденсаторы подключены к первому и второму электродам через высоковольтные и заземленные токовводы, каждого керамического контейнера и через заземленные обратные токопроводы, расположенные по обе стороны электродов, лазер также содержит импульсный источник питания, подключенный к конденсаторам, при этом
со стороны первого электрода в металлической стенке лазерной камеры вдоль нее установлены герметичные высоковольтные токовводы, каждый из которых включает в себя керамический изолятор,
внутри лазерной камеры по обе стороны керамических контейнеров/контейнера размещены соединенные с металлической стенкой лазерной камеры протяженные заземленные токопроводы,
и импульсный источник питания малоиндуктивно подключен к конденсаторам через указанные высоковольтные токовводы и заземленные токопроводы лазерной камеры, а также через токовводы каждого керамического контейнера.
2. Лазер по п.1, в камере которого размещены либо один, либо два дополнительных протяженных керамических контейнера, каждый дополнительный керамический
контейнер расположен преимущественно с нерабочей стороны второго электрода, в каждом дополнительном керамическом контейнере размещены дополнительные конденсаторы,
в стенках каждого дополнительного керамического контейнера вдоль него установлены герметичные высоковольтные токовводы и заземленные токовводы,
при этом конденсаторы подключены ко второму электроду через газопроницаемые токопроводы, токовводы каждого дополнительного контейнера и дополнительные конденсаторы,
снаружи лазерной камеры размещен подключенный к дополнительным конденсаторам дополнительный импульсный источник питания, полярность которого противоположна полярности источника питания.
3. Лазер по п.2, в котором концевые части каждого дополнительного керамического контейнера герметично закреплены на торцах металлического лазерной камеры с возможностью доступа или герметичного подсоединения к внутренней части дополнительного контейнера.
4. Лазер по п.2, в котором дополнительный источник питания подключен к дополнительным конденсаторам с торцов каждого дополнительного контейнера.
5. Лазер по п.2, в котором временная задержка между включениями дополнительного источника питания и источника питания равна разности времени импульсной зарядки дополнительных конденсаторов и времени зарядки конденсаторов.
6. Лазер по п.2, в котором части поверхности каждого дополнительного контейнера, обращенные к разрядной области, образуют вблизи второго электрода расположенные верх и вниз по потоку направляющие газового потока.
7. Лазер по п.2, в котором заземленные газопроницаемые токопроводы выполнены вогнутыми в сторону области разряда.
8. Лазер по п.2, в котором, по меньшей мере, один блок предыонизатора размещен в непосредственной близости от второго электрода, и, по меньшей мере, в одном дополнительном керамическом контейнере, вдоль его длины установлены вспомогательные герметичные токовводы и размещены вспомогательные конденсаторы, одна из обкладок которых подсоединена к блоку предыонизатора через вспомогательные токовводы.
9. Лазер по п.2, в котором вблизи второго электрода установлен один дополнительный контейнер, поверхность которого, обращенная к разрядной области имеет протяженную нишу, в которой размещен второй электрод.
10. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором вблизи первого электрода установлен один протяженный керамический контейнер, поверхность которого, обращенная к разрядной области, имеет протяженную нишу, в которой размещен первый электрод.
11. Лазер по п.10, в котором в котором вблизи первого электрода установлен один протяженный керамический контейнер, поверхность которого, обращенная к разрядной области, имеет протяженную нишу, в которой размещены первый электрод и, по меньшей мере, один блок предыонизации.
12. Лазер по любому из пп.1, 2, лазерная камера которого снабжена дополнительной системой циркуляции газа.
13. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором первый электрод и второй электрод выполнены сплошными, и, по меньшей мере, один блок предыонизации установлен сбоку одного из двух указанных электродов.
14. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором либо первый электрод, либо второй электрод выполнен частично прозрачным, и блок предыонизации установлен с обратной стороны частично прозрачного электрода.
15. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором блок предыонизации содержит систему формирования протяженного однородного скользящего разряда по поверхности диэлектрика.
16. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором, по меньшей мере, один контейнер/дополнительный контейнер имеет форму либо круглой, либо прямоугольной трубы.
17. Лазер по любому из пп.1, 2, в котором, по меньшей мере, один керамический контейнер заполнен либо газовой, либо жидкой электрически прочной средой под давлением, близким к давлению газа в лазерной камере, и
к торцам каждого контейнера, заполненного электрически прочной средой, герметично подсоединена система поддержания давления электрически прочной среды, близким к давлению газа в лазерной камере, причем система поддержания давления выполнена с возможностью циркуляции и охлаждения электрически прочной среды.
18. Способ генерации лазерного излучения посредством лазера по любому из пп.2-17, заключающийся в осуществлении импульсной зарядки конденсаторов, размещенных в каждом керамическом контейнере, с помощью импульсного источника питания и предыонизации газа между первым и вторым электродами, осуществлении разряда между первым и вторым электродами и генерации луча лазера, при котором
предварительно включают дополнительный источник питания и с торцов каждого дополнительного керамического контейнера производят импульсную зарядку дополнительных конденсаторов, затем с временной задержкой, равной разности времен зарядки дополнительных конденсаторов и конденсаторов, включают импульсный источник питания и осуществляют быструю импульсную зарядку конденсаторов напряжением, полярность которого противоположна полярности напряжения зарядки дополнительных конденсаторов, после момента одновременного окончания зарядки конденсаторов и дополнительных конденсаторов осуществляют разряд между высоковольтными первым и вторым электродами противоположной полярности по малоиндуктивному разрядному контуру, включающему в себя конденсаторы и дополнительные конденсаторы, последовательно соединенные между собой через газопроницаемые токопроводы, вогнутые в сторону области разряда.
19. Способ генерации лазерного излучения посредством лазера по п.18, при котором с временной задержкой по отношению к моменту включения дополнительного источника питания, равной разности времен зарядки дополнительных конденсаторов и конденсаторов, осуществляют предыонизацию со стороны первого электрода.
20. Способ генерации лазерного излучения посредством лазера по п.17, заключающийся в осуществлении импульсной зарядки конденсаторов, размещенных в каждом керамическом контейнере, предыонизации газа между первым и вторым электродами, осуществлении разряда между первым и вторым электродами и генерации луча лазера, при котором
в процессе работы лазера поддерживают давление электрически прочной среды, заполняющей, по меньшей мере, один керамический контейнер с размещенными в нем конденсаторами, близким к давлению газа в лазерной камере.