ВАКУУМНЫЙ НАСОС

1. Вакуумный насос для создания пониженного давления, содержащий камеру (14, 15) с входным отверстием (143) и выходным отверстием (150), которое снабжено клапаном (3), отличающийся тем, что камера (14, 15) насоса снабжена датчиком (23, 23′, 24) давления.
2. Вакуумный насос по п. 1, в котором датчик давления содержит мембрану (23, 23′) датчика.
3. Вакуумный насос по п. 2, в котором на мембране (23, 23′) датчика имеется пластинчатый выступ (24), выполненный с возможностью детектирования его положения относительно камеры (14, 15) насоса.
4. Вакуумный насос по п.3, снабженный оптическим детекторным средством (6) для детектирования положения пластинчатого выступа (24).
5. Вакуумный насос по п. 4, в котором оптическое детекторное средство (6) содержит источник (60) оптического излучения и фотодетектор (62), а пластинчатый выступ (24) установлен с возможностью продвижения посредством прогиба мембраны (23, 23′) датчика на оптическую траекторию между указанным источником (60) и фотодетектором (62).
6. Вакуумный насос по п. 1, дополнительно содержащий вакуумирующую мембрану (20, 21) для создания пониженного давления в камере (14, 15) насоса.
7. Вакуумный насос по п. 6, в котором датчик давления содержит мембрану (23, 23′) датчика, причем вакуумирующая мембрана (20, 21) и мембрана (23, 23′) датчика выполнены в виде одной детали.
8. Вакуумный насос по п. 7, в котором мембрана (23) датчика является продолжением одной стороны вакуумирующей мембраны (20, 21).
9. Вакуумный насос по п. 6, в котором датчик давления содержит мембрану (23, 23′) датчика, причем вакуумирующая мембрана (20, 21) и мембрана (23′) датчика являются двумя деталями, выполненными отдельно одна от другой.
10. Вакуумный насос по п. 1, в котором камера насоса состоит из первого отсека (14) и второго отсека (15), который сообщается с первым отсеком (14) через сквозное отверстие, причем в первом отсеке (14) имеется входное отверстие (143), а во втором отсеке (15) - выходное отверстие (150).
11. Вакуумный насос по п. 10, дополнительно содержащий вакуумирующую мембрану (20, 21) для создания пониженного давления в камере (14, 15) насоса, причем датчик давления содержит мембрану (23, 23′) датчика, вакуумирующая мембрана (20, 21) перекрывает первый отсек (14) камеры, а мембрана (23, 23′) камеры перекрывает второй отсек (15) камеры.
12. Вакуумный насос по п. 6, в котором вакуумирующая мембрана (20, 21) имеет, по существу, круглое сечение.
13. Вакуумный насос по п. 12, в котором вакуумирующая мембрана (20, 21) имеет центральную зону, которая может быть присоединена к приводному узлу (10, 11) для приведения в действие вакуумирующей мембраны (20, 21).
14. Вакуумный насос по п. 13, в котором в центральной зоне установлена соединительная головка (22) для присоединения к приводному узлу (10, 11).