СПОСОБ ГАЗОСТРУЙНОГО НАНЕСЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ МЕТАЛЛОПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ

-2
-1
Способ газоструйного нанесения наноразмерных металлополимерных покрытий, при котором в вакуумной камере, содержащей подложку, реактор для контролируемого испарения металла, реактор для испарения и пиролиза полимеров, где происходит разложение полимера до газа-прекурсора, производят совместную конденсацию паров одного или нескольких металлов и/или их оксидов и газа-прекурсора на подложке с образованием металлополимерного покрытия, отличающийся тем, что в реактор для испарения и пиролиза помещают один или несколько полимеров, при прохождении газа-прекурсора через сопло реактора для испарения и пиролиза формируется сверхзвуковая, либо дозвуковая струя, которая затем натекает на нагретую проволочную сетку, закрепленную на сопле реактора для испарения и пиролиза, а в реактор для контролируемого испарения металла подается несущий газ, при этом процесс осуществляют при давлении в вакуумной камере 10-10 Торр.