УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МЕТАЛЛОВ

Устройство для бесконтактного измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, состоящее из устройства генерации и обработки сигнала, соосных генерирующей электромагнитное излучение и регистрирующей индуцированное излучение катушек, отличающееся тем, что генерирующая и измерительная катушки размещены в одном измерительном блоке на фиксированном расстоянии между ними, при этом катушки идентичны и выполнены в виде плоских спиралей, а их каркас и обмотка выполнены из немагнитных материалов.