МИКРОМЕХАНИЧЕСКАЯ ДЕТАЛЬ СЛОЖНОЙ ФОРМЫ С ОТВЕРСТИЕМ

1. Способ изготовления микромеханической детали (11, 31, 41) из цельного куска материала, отличающийся тем, что он состоит из следующих этапов:
a) формирование подложки (1, 21), которая включает в себя негативную полость (3, 23) для упомянутой изготовляемой микромеханической детали;
b) формирование временного слоя (5, 25) на одной из частей подложки (1, 21);
c) осаждение частиц (6, 26) на подложке (1, 21), которые должны стать точками проращивания;
d) удаление временного слоя (5, 25) таким образом, чтобы на одной из частей подложки (1, 21) были выборочно удалены все частицы (6, 26);
e) осаждение слоя материала (7, 27) при помощи химического парофазного осаждения таким образом, чтобы материал осаждался только в тех местах, где остались частицы (6, 26);
f) удаление подложки (1, 21) для освобождения микромеханической детали (11, 31, 41), образованной в упомянутой негативной полости.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед этапом f) осуществляется следующий этап:
2
1
g) уменьшение толщины подложки (1, 21) на толщину (е), которая больше толщины (e) осаждаемого слоя (7, 27), таким образом, чтобы оставить в упомянутой негативной полости ограниченную толщину упомянутого слоя материала.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что этап b) осуществляется при помощи фотолитографии.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что этап с) включает в себя следующие этапы:
1) нанесение на подложку (1, 21) покрытия при помощи коллоидного раствора, включающего в себя упомянутые частицы;
2) удаление растворителя из коллоидного раствора таким образом, чтобы на подложке (1, 21) оставались только частицы (6, 26).
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что частицы (6, 26) имеют такую же природу, что и материал (7, 27), осаждаемый на этапе е).
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал (7, 27), осаждаемый на этапе е), состоит из аллотропной модификации углерода.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал (7, 27), осаждаемый на этапе е), состоит из компаунда на основе кремния.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что после этапа а) осуществляется следующий этап:
h) заполнение полости (3, 23), покрытой материалом (7, 27), осажденным на этапе е), вторым материалом (8, 28) таким образом, чтобы получить микромеханическую деталь (31, 41), изготовленную из первого материала (7, 27), который усилен и/или декорирован вторым материалом (8, 28).
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что на этапе h) происходит формирование второго материала (28), выступающего из упомянутой полости таким образом, чтобы получить дополнительный функциональный элемент (20, 22, 24, 44) микромеханической детали (41).
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что второй материал (8, 28) включает в себя металл или металлический сплав.