УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТОВ

Устройство для измерения геометрических параметров объектов, содержащее интерферометр Майкельсона с источником монохроматического когерентного излучения (МКИ), предметный стол с объектом измерения (покрытием), установленный в измерительной ветви интерферометра, источник инфракрасного излучения (ИКИ), узел совмещения излучений (УСИ) источников ИКИ и МКИ, установленный на выходах МКИ и ИКИ, неподвижное зеркало интерферометра, первое и второе полупрозрачные зеркала, размещенные последовательно на выходе интерферометра, четыре линейных поляризатора, один из которых установлен между источником МКИ и УСИ, а второй - между источником ИКИ и УСИ, и плоскости линейных поляризаций этих поляризаторов ортогонально ориентированы, а два других поляризатора, плоскости линейной поляризации которых ортогонально ориентированы, установлены раздельно соответственно в каждом из двух выходных потоков излучений от второго полупрозрачного зеркала интерферометра, и один из последних двух поляризаторов связан оптически с входом индикатора интерференционной картины (ИИК), расположенного за ним, а второй из второй пары указанных поляризаторов связан со счетчиком интерференционных полос (СИП), установленного за ним, а второй вход СИП соединен с выходом индикатора интерференционной картины (ИИК), отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений, совместно использованы интерференционное наведение на точки, ограничивающие измеряемый объект (покрытие), и частотный метод измерений линейных размеров, и для этого на выходе ИКИ волоконно-оптически подключен первый волоконно-оптический (ВО) разветвитель, к одному из двух выходов которого присоединен первый ВО выключатель, выход которого соединен с первой ВО розеткой, а второй выход первого ВО разветвителя соединен через первый линейный поляризатор с первым входом второго ВО разветвителя-сумматора, и при этом второй вход второго ВО разветвителя-сумматора волоконно-оптически связан с выходом источника МКИ через последовательно соединенные второй линейный поляризатор и первый ВО коллиматор-фокусер, а выход второго разветвитель-сумматора волоконно-оптически соединен (через последовательно соединенные второй ВО выключатель, первый ВО изолятор и второй ВО коллиматор-фокусер) с первым полупрозрачным зеркалом интерферометра, которое связано с покрытием через, последовательно волоконно-оптически соединенные, первый коллиматор-рефокусер, третий ВО выключатель, первый выходной световод третьего разветвителя-сумматора, третий разветвитель-сумматор и далее через входной световод этого третьего разветвителя-сумматора и последовательно включенный второй коллиматор-рефокусер, а второй входной световод этого третьего разветвитель-сумматора соединен последовательно с четвертым ВО выключателем, со второй ВО розеткой, и далее с входом четвертого ВО разветвитель-сумматора, у которого один из двух выходных световодов соединен с входом пятого разветвитель-сумматора, а второй выходной световод четвертого разветвитель-сумматора соединен последовательно с выходом второго ВО изолятора, пятым линейным поляризатором и выходом шестого ВО разветвитель-сумматора, один из двух входов которого волоконно-оптически связан с ИКИ через волоконно-оптически последовательно соединенные первый ВО разветвитель, один из двух выходов которого соединен со входом первого ВО выключателя, выходной ВО розеткой этого первого ВО выключателя, первый ВО аттенюатор, шестой линейный поляризатор и первую четвертьволновую поляризационную пластину, а второй вход шестого разветвитель-сумматора связан с первым выходом пятого ВО разветвителя-сумматора через последовательно волоконно-оптически соединенные ВО усилитель, пятый ВО выключатель, второй ВО регулируемый аттенюатор, седьмой линейный поляризатор, вторую полуволновую пластину и четвертьволновую поляризационную пластинку, а выход шестого разветвителя-сумматора связан через пятый линейный поляризатор, второй ВО изолятор с вторым выходом четвертого ВО разветвителя, а первый выход четвертого ВО разветвителя волоконно-оптически соединен через вход пятого ВО разветвителя и далее (через второй выходной световод этого разветвителя) со входом фотоприемника, выход которого электрически связан с одним из двух входов компаратора частот, второй вход которого связан с синтезатором частот, связанным с эталоном частоты.