СПОСОБ УЛЬТРАЗВУКОВОЙ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Способ обработки поверхности кремниевых пластин, включающий удаление загрязнений с поверхности подложек в этиловом спирте, отличающийся тем, что пластины подвергают удалению загрязнений в этиловом спирте с частотой ультразвука 30±5 Гц и времени очистки 3±1 минут, при комнатной температуре, при этом контроль проводят под сфокусированным светом, количество светящихся точек на пластине не более 5 штук.