Способ производства компонента из керамических материалов

1. Способ производства компонента из керамических материалов, в котором:
множество слоев наносят на основной корпус (1) с помощью трафаретной печати или шаблонной печати, причем указанные слои сформированы из керамического материала, в каждом случае в определенном расположении один над другим, в виде пасты или суспензии, в которую включены порошкообразный керамический материал и по меньшей мере одно связующее, и при этом формируют по меньшей мере одну область внутри по меньшей мере одного слоя (2), имеющего определенную толщину и геометрическую форму, из дополнительного материала, который может быть удален при термической обработке и который также наносят в виде пасты или суспензии с помощью трафаретной печати или шаблонной печати; и
электрически функционирующие структуры, состоящие из электропроводящего или полупроводящего материала, наносят на и/или формируют на и/или в по меньшей мере одном из керамических слоев перед нанесением дополнительного керамического слоя; и
слоистую структуру подвергают спеканию при термической обработке, при этом происходит удаление дополнительного материала, и образуется по меньшей мере одна полость (4), имеющая определенные размеры по ширине, длине и высоте.
2
3
2
3
4
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что керамические слои сформированы из низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC), высокотемпературной совместно обжигаемой керамики (НТСС), AlO, ZrO, упрочненного оксидом алюминия оксида циркония (ATZ), упрочненного оксидом циркония оксида алюминия (ZTA), AlN и/или SiN.
3. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что слои компонента сформированы в определенном порядке, в определенном количестве и с определенной толщиной, в каждом случае из разных керамических материалов, при этом указанные разные керамические материалы имеют различные коэффициенты теплового расширения и/или различные степени усадки при спекании и способны спекаться друг с другом.
4. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что в нем используют эпоксидную смолу, поливиниловый спирт (ПВА), поливинилбутираль (ПВБ), поливинилиденфторид (ПВДФ), альгинаты, акрилаты, целлюлозы или системы, отвердевающие под действием УФ-излучения.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют в температурном диапазоне от 500°С до 1800°С.
6. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что области, в которые вводят дополнительный материал, формируют внутри по меньшей мере одного слоя, имеющего определенную толщину и геометрическую форму, посредством штамповки и/или лазерной абляции.
7. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что электрически функционирующие структуры выполнены в виде электрических электродов или проводящих дорожек, электрических резисторов и/или катушек и/или конденсаторных устройств.
8. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что каналы, камеры, мембраны и/или механические пружины формируют вместе с полостями (4), образованными внутри компонента.
9. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что формируют мембраны, имеющие усиления и/или буртики, расположенные локально определенным образом и имеющие размеры, заданные определенным образом.
10. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что формируют слои, имеющие толщину в диапазоне от 10 мкм до 50 мкм, предпочтительно в диапазоне от 10 мкм до 20 мкм.
11. Применение компонента, изготовленного с помощью способа по любому из предшествующих пунктов, в качестве датчика давления, датчика силы, датчика ускорения, микронасоса, мембранного клапана, микрореакторов, микросмесителей, электромагнитного датчика или топливного элемента и/или чувствительного элемента пьезоэлектрического привода.