СПОСОБ ПОДГОТОВКИ И ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРУПНОГАБАРИТНОГО ОБЪЕКТА СКАНИРУЮЩИМ ЗОНДОВЫМ МИКРОСКОПОМ

1. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом, включающий формирование измерительной поверхности механическим способом, отличающийся тем, что дополнительно формируют установочную область, на которою устанавливают сканирующий зондовый микроскоп.
2. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что установочную область формируют посредством ее шлифовки абразивным кругом с подачей на него ультразвуковых колебаний.
3. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.2, отличающийся тем, что установочную область формируют посредством подачи на абразивный круг ультразвуковых колебаний синусоидальной формы.
4. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.3, отличающийся тем, что установочную область формируют посредством подачи на абразивный круг ультразвуковых колебаний синусоидальной формы со срезанными вершинами.
5. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что установочную область формируют посредством ее шлифовки с последующим воздействием на нее сконцентрированным потоком излучения, расплавляют ее, зону расплава подвергают затвердеванию и формируют микрорельеф.
6. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что установочную область формируют посредством ее шлифовки с последующим воздействием на нее сконцентрированным потоком излучения, нагревают ее и формируют микрорельеф валками с заданной шероховатостью.
7. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что установочную область формируют в виде двух зон, расположенных с двух сторон от измерительной поверхности.
8. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что установочную область формируют в виде трех зон, расположенных вокруг измерительной поверхности.
9. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.1, отличающийся тем, что измерительную поверхность формируют путем ее шлифовки и первой полировки, после чего к установочной зоне подводят абразивный круг, формируют на нем ультразвуковые колебания и удаляют путем отсоса с измерительной поверхности продукты механической обработки.
10. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.9, отличающийся тем, что на установочную область закрепляют сканирующий зондовый микроскоп и производят первое исследование измерительной поверхности зондом.
11. Способ подготовки и измерения поверхности крупногабаритного объекта сканирующим зондовым микроскопом по п.10, отличающийся тем, что после первого исследования измерительной поверхности зондом производят ее вторую полировку, после чего к установочной зоне подводят абразивный круг, формируют на нем ультразвуковые колебания и удаляют путем отсоса с измерительной поверхности продукты механической обработки и далее производят второе, по меньшей мере, исследование измерительной поверхности зондом.