МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ, МОДУЛЬНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

1. Многоступенчатый, модульный вакуумный насос, содержащий:
два корпусных элемента, выполненных с возможностью герметичного соединения друг с другом с образованием группы камер, проходящей в продольном направлении от впускной области насоса к выпускной области насоса;
средство уплотнения, расположенное между двумя корпусными элементами для предотвращения перемещения текучей среды в вакуумный насос и из него, в месте соединения указанных двух корпусных элементов; и
группу отдельных, удлиненных каналов, расположенных между средством уплотнения и группой камер, для защиты средства уплотнения от текучей среды, проходящей через камеры, при этом каждый канал выполнен с возможностью принятия барьерной текучей среды, имеющей давление, отличное от давления барьерной текучей среды, принимаемой смежным каналом.
2. Насос по п.1, в котором группа каналов, по существу, коллинеарна.
3. Насос по п.1, в котором камеры являются насосными камерами, а каждый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом.
4. Насос по п.1, в котором камеры являются передаточными камерами, при этом первый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом, а второй корпусной элемент является крышкой.
5. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускной области вакуумного насоса.
6. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускному участку вакуумного насоса.
7. Насос по п.1, в котором, по меньшей мере, один из отдельных каналов выполнен с возможностью подачи продувочного газа непосредственно в насосную камеру или передаточный канал вакуумного насоса.
8. Насос по п.1, дополнительно содержащий, по меньшей мере, одну торцевую крышку, присоединенную к, по меньшей мере, одному из корпусных элементов; средство уплотнения, расположенное между торцевой крышкой и корпусным элементом для предотвращения перемещения текучей среды в насос и из него; и канал торцевой крышки, расположенный между средством уплотнения и камерами и выполненный с возможностью принятия барьерной текучей среды для защиты средства уплотнения от текучей среды, проходящей через камеры.
9. Насос по п.8, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде с, по меньшей мере, одним смежным каналом на корпусном элементе и принимает барьерную текучую среду из него.
10. Насос по п.9, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде со смежными каналами на противоположных сторонах камер корпусного элемента, при этом канал торцевой крышки выполнен с возможностью принятия барьерной текучей среды из смежного канала на одной стороне камер и ее переноса к смежному каналу на противоположной стороне камер.
11. Насос по п.8, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде с, по меньшей мере, одним смежным каналом на корпусном элементе и переносит барьерную текучую среду к нему.
12. Насос по п.1, в котором средство уплотнения представляет собой уплотнительное кольцо.
13. Насос по п.1, в котором средство уплотнения представляет собой контур уплотнителя.
14. Насос по п.1, в котором давление, под которым барьерная текучая среда принимается в группу каналов, увеличивается от одного канала к смежному каналу по всей группе.