Способ получения пленок и пластинок оксида титана IV ТiO2 -рутил

2
2
Способ получения слоя оксида титана ТiO - рутила в виде пленки или пластинки, включающий процесс, происходящий в окислительной газовой среде, отличающийся тем, что поверхность титана разогревают с помощью резистивного, индукционного или лучевого воздействия до температуры ниже температуры плавления вблизи точки фазового перехода 800-900°С в окислительной газовой среде, содержащей кислород и инертный газ или смесь инертных газов, при давлении, превышающем 100 Па, при этом происходит окисление приповерхностных слоев титана с одновременной перестройкой в структуру, соответствующую ТiO - рутилу.