ДЕТЕКТОР СКОРОСТИ

1. Способ определения скорости и направления при микронном и субмикронном размере движущегося объекта, содержащий этапы, на которых:
генерируют падающий пучок когерентного света;
принимают отраженный свет, отражаемый от движущегося объекта, пересекающего падающий световой пучок, и формируют из отраженного света увеличенное изображение движущегося объекта;
проецируют увеличенное изображение через первую оптическую маску, имеющую первую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих первое разнесение, и вторую область из чередующихся прозрачных и непрозрачных участков, имеющих второе разнесение, отличное от первого разнесения;
обнаруживают световой сигнал, проходящий через оптическую маску, при этом световой сигнал содержит серию импульсов, и вычисляют скорость и направление движущегося объекта как функцию частоты сигнала и первого и второго разнесений непрозрачных участков.
2. Способ по п.1, в котором увеличенное изображение дополнительно проецируют через вторую оптическую маску, имеющую первую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих первое разнесение, и вторую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих второе разнесение, отличное от первого разнесения, при этом вторую оптическую маску поворачивают, по существу, на 90° относительно первой оптической маски, и в котором световой сигнал, проходящий через вторую оптическую маску, дополнительно обнаруживают, на основании чего вычисляют скорость и составляющую направления движущегося объекта относительно каждой из первой и второй оптических масок.
3. Способ по п.1, в котором увеличенное изображение дополнительно вводят в интерферометр, выполненный с возможностью определения скорости движущегося объекта по направлению к интерферометру.
4. Способ по п.3, в котором часть падающего светового пучка дополнительно вводят в интерферометр в качестве опорного сигнала.
5. Способ по п.1, в котором падающий световой пучок содержит пару пучков когерентного света, при этом один пучок поляризуют относительно другого пучка, пару пучков заставляют сходиться в точке, через которую проходит движущийся объект.
6. Способ по п. 1, в котором первая и вторая области этой или каждой объектной маски содержат картину из равномерно разнесенных линий.
7. Способ по п.1, в котором когерентный свет представляет собой лазерный свет.
8. Способ по п.1, в котором принимаемый отраженный свет пропускают через фильтр, имеющий ширину полосы частот, охватывающую частоту когерентного света.
9. Устройство для определения скорости и направления при микронном или субмикронном размере движущегося объекта, содержащее:
источник когерентного света, выполненный с возможностью генерации падающего пучка когерентного света;
оптическую систему формирования изображения, выполненную с возможностью приема света, отражаемого от движущегося объекта, пересекающего падающий пучок, и фокусировки отражаемого света в увеличенное изображение движущегося изображения;
первую оптическую маску, через которую увеличенное изображение проецируется, при этом маска имеет первую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих первое разнесение, и вторую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих второе разнесение, отличное от первого разнесения;
первый детектор света, выполненный с возможностью приема светового сигнала, проходящего через оптическую маску, при этом световой сигнал содержит серию импульсов, и вычисления скорости и направления движущегося объекта как функции частоты импульсов и разнесения непрозрачных участков оптической маски.
10. Устройство по п.9, дополнительно содержащее:
расщепитель пучка, выполненный с возможностью расщепления увеличенного изображения на первое и второе изображения, при этом первое изображение проецируется через первую оптическую маску;
вторую оптическую маску, имеющую первую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих первое разнесение, и вторую область из чередующихся непрозрачных и прозрачных участков, имеющих второе разнесение, отличное от первого разнесения, при этом вторая оптическая маска повернута по существу на 90є относительно первой оптической маски; и
второй детектор света, выполненный с возможностью приема дополнительного светового сигнала, проходящего через вторую оптическую маску, и вычисления скорости и составляющей направления движущегося объекта относительно второй оптической маски.
11. Устройство по п.9, дополнительно содержащее интерферометр, выполненный с возможностью приема увеличенного изображения и определения скорости движущегося объекта по направлению к интерферометру.
12. Устройство по п.11, в котором часть падающего светового пучка дополнительно вводится в интерферометр в качестве опорного сигнала.
13. Устройство по п.9, в котором источник когерентного света выполнен с возможностью генерации первого и второго падающих световых пучков, при этом указанные первый и второй падающие световые пучки являются поляризованными относительно друг друга, и в котором устройство дополнительно содержит первый линзовый узел для сведения первого и второго падающих световых пучков.
14. Устройство по п.9, в котором первая и вторая области этой или каждой оптической маски содержат картину из равномерно разнесенных линий.
15. Устройство по п.9, в котором источник когерентного света представляет собой лазер.