СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАСХОДА СИСТЕМЫ ПОДАЧИ РАБОЧЕГО ТЕЛА К ИСТОЧНИКУ ПЛАЗМЫ

Способ определения расхода системы подачи рабочего тела к источнику плазмы, включающий пропускание потока рабочего тела через магистраль системы его подачи, измерение расхода рабочего тела в единицу времени, отличающийся тем, что измеряют давление во входной магистрали системы подачи источника плазмы, измеряют рабочие параметры источника плазмы для различных значений измеренного рабочего давления во входной магистрали, для измеренных рабочих параметров определяют передаточные характеристики регулирования расхода рабочего тела в единицу времени в источнике плазмы, обеспечивающие номинальный режим его работы, а в процессе работы источника плазмы измеряют текущие значения параметров передаточных характеристик регулирования расхода рабочего тела в источнике плазмы и давления во входной магистрали, далее по определенным зависимостям расхода для измеренных значений передаточных характеристик регулирования расхода рабочего тела и давления определяют значение текущего расхода рабочего тела в единицу времени и по определенным текущим значениям расхода рабочего тела в единицу времени на фиксированном интервале работы источника определяют расход рабочего тела из изолированного объема.