СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ГАЗОВОГО СЕНСОРА

1. Способ изготовления полупроводникового газового сенсора, включающий формирование на диэлектрической подложке путем магнетронного напыления платины контактных площадок и слоя платинового термосопротивления, отличающийся тем, что при нанесении вышеупомянутых слоев в платину добавляют никель, между ними формируют изолирующий слой оксида кремния, на слой платинового термосопротивления наносится дополнительный слой газочувствительной пленки In-Y-O.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что контактные площадки формируются методом фотолитографии.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что изолирующий слой оксида кремния формируют методом ионно-лучевого распыления.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой газочувствительной пленки In-Y-O формируют методом взрывной фотолитографии.