СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК В ЖИДКОСТНОМ ТРАВИТЕЛЕ

4
2
4
2
Способ обработки подложек в жидкостном травителе, включающий обработку поверхности подложек травителем, в состав которого входят фтористоводородная кислота (HF), фторид аммония (NHF) и деионизованная вода НО, отличающийся тем, что пластины подвергают обработке в травителе, состоящим из компонентов фтористоводородной кислоты (HF), фторида аммония (NHF) и деионизованной воды (НО) в соотношении компонентов 1:2:5 и времени, равном 4±1 мин.