СПОСОБ РАДИАЦИОННО-СТИМУЛИРОВАННОГО ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ КРЕМНИЯ

15
2
1. Способ радиационно-стимулированного термического окисления кремния, заключающийся в термическом окислении кремния в потоке кислорода при воздействии гамма-излучения, возникающего в камере окисления при распаде изотопов O, создаваемых в гамма-контуре на основе ускорителя электронов в циркулирующем в гамма-контуре веществе, содержащем атомы кислорода, отличающийся тем, что термическое окисление кремния ведут при температуре не выше 1000°C, а плотность мощности дозы гамма-излучения в кремнии составляет не менее 2,3 мкГр/см·с.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве вещества, циркулирующего в гамма-контуре, используют деионизованную воду для создания теплового экрана камеры окисления, причем скорость потока воды лежит в диапазоне от 0,2 до 2 л/мин.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве вещества, циркулирующего в гамма-контуре, используют кислород, подаваемый в камеру окисления со скоростью от 0,5 до 2 л/мин.