ПЕЧЬ ТЕРМООБРАБОТКИ

1. Печь термической обработки для использования при термической обработке полупроводниковых подложек, включающая в себя цилиндрическую трубчатую оболочку, которая снабжена на противоположных концах проемами, имеющими достаточный размер для того, чтобы позволить перемещать полупроводниковые подложки в трубчатую оболочку и из нее.
2. Печь термической обработки по п.1, дополнительно включающая в себя крышки, каждая из которых разъемно установлена на трубчатой оболочке, чтобы блокировать проем, практически герметизировав трубчатую оболочку.
3. Печь термической обработки по п.1, дополнительно включающая в себя тонкие газовпускные патрубки, проходящие сквозь крышки, для ввода газа в трубчатую оболочку.
4. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, дополнительно включающая в себя тонкие газовпускные патрубки, расположенные у противоположных концов трубчатой оболочки, для ввода газа в трубчатую оболочку.
5. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, дополнительно включающая в себя тонкий газовпускной патрубок, расположенный у центра трубчатой оболочки в продольном измерении, для ввода газа в трубчатую оболочку.
6. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, при этом проем в трубчатой оболочке имеет внутренний диаметр, который составляет, по меньшей мере, 95% внутреннего диаметра трубчатой оболочки в центре.
7. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, дополнительно включающая в себя, по меньшей мере, одну станцию для лодочек, расположенную снаружи трубчатой оболочки и вблизи проема в трубчатой оболочке, причем станция для лодочек несет лодочку с установленными на ней полупроводниковыми подложками в режиме ожидания.
8. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, при этом термическая обработка предназначена для диффундирования легирующей примеси p- или n-типа в кремниевые подложки.
9. Печь термической обработки по любому из пп.1-3, при этом термическая обработка предназначена для оксидирования кремниевых подложек.