СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ И УСТАНОВКА ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ получения тонких пленок химических соединений, включающий перевод исходных соединений в газовую фазу, их транспортировку в зону проведения газофазной реакции и осаждение целевого продукта на подложке в виде тонкой пленки, отличающийся тем, что перевод исходных соединений в газовую фазу происходит в пространственно изолированных зонах, откуда они раздельно транспортируются в зону проведения реакции, где происходит их смешение, протекание реакции и осаждение целевого продукта.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что одно из исходных веществ поступает в зону реакции предварительно заполненную вторым исходным веществом, в направлении, перпендикулярном направлению подложки, на которой происходит осаждение целевого продукта, а их смешение осуществляется в непосредственной близости от подложки.
3. Установка для получения тонких пленок химических соединений, включающая три связанные между собой, раздельно термостатируемые зоны, через которые пропускается поток газа и в одной из которых расположен подложкодержатель, отличающаяся тем, что поток газа поступает в зоны 1 и 2, пространственно изолированые друг от друга, через вводы 6 и 7, соответственно, и выводится из установки через вывод 8, расположенный в зоне 3 позади подложкодержателя 4, при этом зоны 1 и 3 соединены таким образом, что поток газа из зоны 1 поступает в зону 3 через вывод 5, площадь сечения которого меньше площади сечения зоны 3 и конец которого расположен ближе к подложкодержателю 4, чем место соединения зон 2 и 3.