ДАТЧИК И СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА

1. Датчик (10, 10') для измерения интенсивности электронного луча (6, 6”), формируемого генератором (8, 8”) электронного луча вдоль траектории в направлении мишени (16, 16”) в области (4, 4”) мишени, причем электронный луч (6, 6”) возбуждается от генератора (8, 8”) через выходное окно (24, 24”), отличающийся тем, что датчик (10, 10') содержит по меньшей мере одну область (26, 26') по меньшей мере одного проводящего слоя (28, 28'), размещенного на траектории и соединенного с детектором (34) тока, при этом каждая из указанных областей (26, 26′) по меньшей мере одного проводящего слоя (28, 28′), по существу, экранирована от другой области, от окружающей среды и от выходного окна экраном (32, 32'), при этом указанный экран (32, 32') сформирован на выходном окне (24, 24'), и по меньшей мере часть указанного экрана, контактирующего с каждой указанной областью (26, 26'), выполнена из изолирующего материала.
2. Датчик (10) по п.1, отличающийся тем, что экран (32) содержит по меньшей мере первый и второй изолирующие слои (32a, 32b), причем первый слой (32a) закрывает по меньшей мере часть выходного окна (24) и несет на себе по меньшей мере одну область (26) по меньшей мере одного проводящего слоя (28), а второй изолирующий слой (32b) закрывает по меньшей мере каждую область (26) проводящего слоя (28), так что она оказывается герметизированной изолирующим материалом.
3. Датчик (10') по п.1, отличающийся тем, что
содержит по меньшей мере первый и второй проводящий слой (28', 38), каждый из которых содержит по меньшей мере одну область (26'),
при этом экран (32') содержит по меньшей мере первый, второй и третий изолирующий слои (32a', 32b', 32c'),
причем первый изолирующий слой (32a') закрывает по меньшей мере часть выходного окна (24') и несет на себе по меньшей мере одну область (26') первого проводящего слоя (28'),
а второй изолирующий слой (32b') закрывает по меньшей мере каждую область (26') первого проводящего слоя (28'), так что он оказывается герметизированным изолирующим материалом,
при этом второй изолирующий слой (32b') несет на себе по меньшей мере одну область (26') второго проводящего слоя (38), и
и третий изолирующий слой (32с) закрывает по меньшей мере каждую область (26') второго проводящего слоя (38), так что он оказывается герметизированным изолирующим материалом.
4. Датчик (10') по п.3, отличающийся тем, что содержит несколько проводящих слоев, причем проводящие слои проложены послойно между изолирующими слоями, при этом первый изолирующий слой (32а') сформирован на выходном окне (24'), а последний изолирующий слой закрывает по меньшей мере последний проводящий слой для его защиты от окружающей среды.
5. Датчик (10, 10') по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что детектор (34) тока предназначен для обнаружения электрического тока в указанной области (26, 26') проводящего слоя (28, 28') в качестве меры интенсивности электронного луча.
6. Датчик (10, 10') по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что датчик сформирован на внешней фольге (25, 25') выходного окна (24, 24', 24”) с использованием технологии осаждения.
7. Датчик (10, 10') по п.2, отличающийся тем, что изолирующим материалом является оксид.
8. Датчик (10, 10') по любому из пп.4 и 7, отличающийся тем, что проводящим материалом является металл.
9. Датчик (10, 10') по п.2, отличающийся тем, что изолирующим материалом является оксид алюминия, проводящим материалом является алюминий, а фольга выходного окна (25, 25') выполнена из титана.
10. Датчик (10, 10') по п.1, отличающийся тем, что указанная каждая область (26, 26') проводящего слоя (28, 28', 38) является полосой, проходящей через выходное окно (24, 24', 24”).
11. Датчик (10, 10') по п.10, отличающийся тем, что содержит несколько полос (26, 26'), проходящих через выходное окно (24, 24', 24”), причем полосы расположены с зазорами (30) между ними.
12. Датчик (10, 10') по п.1, отличающийся тем, что мишенью является упаковка (16'), предпочтительно упаковка, готовая к заполнению.
13. Датчик (10, 10') по п.1, отличающийся тем, что мишенью является лист (16) упаковочного материала.
14. Система (2, 2”), содержащая датчик (10, 10') по п.1, причем система (2, 2”) дополнительно содержит генератор (8, 8”) электронного луча для формирования электронного луча (6, 6”) вдоль траектории в направлении мишени (16, 16”) в области (4, 4”) мишени, причем электронный луч (6, 6”) возбуждается указанным генератором (8, 8”) через выходное окно (24, 24', 24”), при этом датчик (10, 10') сформирован на выходном окне (24, 24', 24”) и предназначен для обнаружения и измерения интенсивности электронного луча, а система (2, 2”) дополнительно содержит опору (14) для поддержки мишени (16, 16”) в области (4, 4”) мишени.
15. Система (2) по п.14, отличающаяся тем, что мишенью является лист (16) упаковочного материала.
16. Система (2) по п.15, отличающаяся тем, что опора (14) для удержания мишени (16) в области (4) мишени содержит по меньшей мере один роликовый конвейер для транспортировки листа упаковочного материала.
17. Система (2”) по п.14, отличающаяся тем, что мишенью является упаковка (16”), предпочтительно упаковка, готовая к заполнению.
18. Система (2”) по п.17, отличающаяся тем, что система содержит средство для обеспечения относительного перемещения упаковки (16”) по отношению к генератору (8”) электронного луча для приведения их в положение, при котором генератор (8”) располагается по меньшей мере частично в упаковке (16”) для ее обработки.
19. Система (2, 2”) по любому из пп.14-18, отличающаяся тем, что система содержит контроллер (36) электронного луча для регулировки интенсивности электронного луча (6, 6”) в соответствии с выходным сигналом датчика (10, 10') электронного луча.