СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЕТЕКТОРА ТГЦ ИЗЛУЧЕНИЯ НА ОСНОВЕ ГРАФЕНА

1. Способ изготовления детектора терагерцового излучения, содержащего подложку, контактные площадки, размещенные на подложке, графен, подсоединенный к контактным площадкам, отличающийся тем, что контактные площадки выполнены в виде плоской спиральной антенны логарифмического типа.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что контактные площадки выполнены из металлов с разной работой выхода в одном литографическом цикле.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что контактные площадки выполнены из хрома и золота.
2
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что графен синтезирован методом химического осаждения из газовой фазы на никелевых подложках размером до 1⋅2 см.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что латеральные размеры чувствительного элемента составляют от 1 до 10 мкм.
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в качестве подложки используют материал, прозрачный в области рабочих длин волн детектора.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что в качестве подложки используют кремний с проводимостью 10 Ом⋅см, покрытый термическим оксидом толщиной 500 нм.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что подложка фиксируется на плоской поверхности кремниевой линзы так, что излучение фокусируется на чувствительном элементе, проходя через подложку.