РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОНОСИЛАНОВОГО МЕТОДА

1. Реактор (10) для получения поликристаллического кремния с использованием моносиланового метода, содержащий днище (2), в котором имеется множество форсунок (4), через которые в реактор поступает кремнийсодержащий газ, множество также установленных на днище (2) реактора стержней (6) и находящееся на расстоянии от форсунок (4) выпускное отверстие (8) для газа, предназначенное для подачи отработанного моносилана для обогащения и/или переработки, отличающийся тем, что выпускное отверстие (8) для газа расположено на свободном конце (21) внутренней трубы (20), и тем, что внутренняя труба (20) проходит через днище (2) реактора, причем внутренняя труба (20) содержит наружную стенку (20а) и внутреннюю стенку (20i), за счет чего образуется промежуточное пространство, в котором имеется по меньшей мере один циркуляционный контур (71) охлаждающей воды.
2. Реактор (10) по п.1, отличающийся тем, что внутренняя труба (20) расположена в центре (3) днища (2) реактора, и что множество выпускных отверстий (4) для газа и держателей для стержней (6), расположенных в днище (2) реактора, окружают внутреннюю трубу (20).
3. Реактор по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один циркуляционный контур (71) охлаждающей воды, имеющийся в промежуточном пространстве внутренней трубы (20), обеспечивает примерно одинаковую технологическую температуру стержней (6).
4. Реактор по п.1, отличающийся тем, что внутренняя труба (20) является двустенной.
5. Реактор по п.1, отличающийся тем, что реактор (10) и днище (2) реактора представляют собой двухстенную рубашку, состоящую из внутренней стенки (9i) и наружной стенки (9а), и что в двухстенной рубашке содержится вода, предназначенная для охлаждения.
6. Реактор по п.5, отличающийся тем, что днище (2) реактора содержит первую зону (18) и вторую зону (19), причем первая зона (18) образована пластиной (31), обращенной во внутреннее пространство реактора (10), и промежуточной пластиной (32), которая содержит форсунки (4), а вторая зона (19) образована промежуточной пластиной (32) и нижней пластиной (33), которая содержит подключения (24, 26) для питания стержней (6).
7. Реактор по п.6, отличающийся тем, что в первую зону (18) подают охлаждающую воду.
8. Реактор по п.6, отличающийся тем, что во вторую зону (19) подают неотработанный моносилан, который через множество форсунок (4), расположенных в днище (2) реактора, поступает в реактор (10).
9. Реактор по п.6, отличающийся тем, что подключения (24, 26) для питания стержней (6) представляют собой подключение высокого напряжения и подключения охлаждающей воды.
10. Реактор по п.6, отличающийся тем, что стержни (6) закреплены в графитовом адаптере, который входит в зацепление с графитовым зажимным кольцом (14), которое в свою очередь через кварцевое кольцо (12) взаимодействует с пластиной (31).
11. Реактор по п.1, отличающийся тем, что внутренняя труба (20) находится в стакане (40), расположенном на нижней пластине (33), который герметизирует первую зону (18) и вторую зону (19), и тем, что в стакане (40) имеется держатель (42) для внутренней трубы (20), причем радиальное уплотнение (41) обеспечивает взаимное уплотнение стакана (40), держателя (42) и внутреннего пространства реактора.
12. Реактор по п.11, отличающийся тем, что от внутренней трубы (20) через держатель (42) и стакан (40) проходит отводящая труба (45) для отработанного моносилана, которая отводит отработанный моносилан под днищем (2) реактора.
13. Реактор по п.1, отличающийся тем, что в промежуточном пространстве имеются первый циркуляционный контур (71) охлаждающей воды и второй циркуляционный контур (72) охлаждающей воды, причем циркуляционные контуры (71, 72) охлаждающей воды отделены друг от друга разделительной стенкой (65) так, что в промежуточном пространстве образуется поток (70) охлаждающей воды от отверстия (67) к щелевидному отверстию (68).