СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАН С РЕГУЛЯРНЫМИ НАНОПОРАМИ ИЗ ОКСИДОВ ВЕНТИЛЬНЫХ МЕТАЛЛОВ

1. Способ изготовления мембран с регулярными нанопорами из оксидов вентильных металлов, включающий формирование методом анодирования на одной стороне металлической фольги или тонкой металлической пленки из вентильного металла высокой чистоты слоя анодного оксида с гексагональной канализированной столбчатой структурой, последующее ионно-плазменное травление неанодированной стороны фольги или тонкой металлической пленки до удаления оставшегося металла и сплошного барьерного слоя оксида, закрывающих каналы, и образования в оксидной пленке сквозных наноотверстий.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала фольги или тонкой пленки используют высокочистые металла из ряда алюминий, титан, тантал, ниобий, магний, цирконий.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потоке электролита, направляемого на анодируемую поверхность.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что анодирование осуществляют в потенциостатическом режиме при напряжениях 20-60 B и температурах электролита в диапазоне 18-80°C.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионно-плазменное травление осуществляют потоком плазмы аргона или криптона или ксенона с энергией ионов 300-400 эВ.