Способ изготовления полупроводниковых резистивных сенсоров для измерений содержания озона в воздухе

3
2
3
2
3
Способ изготовления полупроводниковых резистивных сенсоров для измерения содержания озона в воздухе, заключающийся в том, что металлооксидные полупроводниковые пленки наносят на нагреваемые диэлектрические подложки и формируют чувствительный слой путем экспериментально установленных многоэтапных режимов отжига при непрерывном измерении сопротивления металлооксидной пленки, отличающийся тем, что для измерения концентраций озона в воздухе в интервале от 50 до 400 мкг/м используют металлооксидные пленки на основе InO с добавками FeO, при этом выбирают режим формирования чувствительного слоя, когда пленку нагревают в воздухе со скоростью не меньше 8,5 и не больше 13°С/мин до температур 460-650°С, а затем при этих температурах выдерживают не менее 0,5 ч.