ДИАФРАГМА С ОКНАМИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОННОГО ЛУЧА, ИМЕЮЩИМИ НЕОДНОРОДНЫЕ ПОПЕРЕЧНЫЕ СЕЧЕНИЯ

1. Диафрагма с окнами для электронно-лучевой системы, содержащая
первую поверхность и вторую поверхность; и
один или более элементов, простирающихся от первой поверхности до второй поверхности;
при этом один или более элементов имеют неоднородное поперечное сечение между первой и второй поверхностью.
2. Диафрагма с окнами по п.1, в которой неоднородное поперечное сечение представляет собой поперечное сечение на виде сверху.
3. Диафрагма с окнами по п.1, в которой первая поверхность конфигурирована для экспонирования для условий вакуума и конфигурирована для приема ускоренных электронов от генератора электронного луча.
4. Диафрагма с окнами по п.1, в которой вторая поверхность конфигурирована так, чтобы сделать возможным прохождение электронов через фольгу.
5. Диафрагма с окнами по п.1, в которой первая поверхность и вторая поверхность являются в целом параллельными.
6. Диафрагма с окнами по п.1, в которой один или более элементов содержат одну или более сужающихся поверхностей.
7. Диафрагма с окнами по п.6, в которой сужающаяся поверхность содержит одну или более деталей из гребня, ребра и отверстия.
8. Диафрагма с окнами по п.1, в которой элементы равномерно распределены по всей диафрагме с окнами.
9. Диафрагма с окнами по п.1, в которой диаметр поперечного сечения одного или более элементов на первой поверхности больше, чем второй поверхности.
10. Диафрагма с окнами по п.1, в которой диаметр поперечного сечения одного или более элементов на первой поверхности меньше, чем второй поверхности.
11. Диафрагма с окнами по п.1, в которой диаметр поперечного сечения одного или нескольких элементов между первой и второй поверхностью больше, чем поперечное сечение на виде сверху на первой поверхности и на второй поверхности.
12. Диафрагма с окнами для электронно-лучевой системы, содержащая
верхнюю поверхность и нижнюю поверхность, и
один или более элементов, простирающихся от верхней поверхности до нижней поверхности,
где один или более элементов содержит сечение на виде сбоку между верхней поверхностью и нижней поверхностью, и
где сечение на виде сбоку содержит, по меньшей мере, одну секцию, которая не является полностью перпендикулярной верхней поверхности и нижней поверхности.
13. Диафрагма с окнами по п.12, в которой сечение на виде сбоку одного или нескольких элементов представляет собой одно или более сечений из сечения в целом треугольной формы, сечения в целом трапецеидальной формы, сечения в целом эллиптической формы, сечения в целом шестиугольной формы, сечения в целом в форме конической колбы и сечения нерегулярной формы.
14. Диафрагма с окнами по п.12, в которой ширина сечения на виде сбоку на одном или более расстояниях между верхней поверхностью и нижней поверхностью отличается от ширины сечения на виде сбоку на одном или более других расстояниях между верхней поверхностью и нижней поверхностью.
15. Диафрагма с окнами по п.12, в которой один или более элементов содержат первый горизонтальный диаметр на верхней поверхности, второй горизонтальный диаметр на нижней поверхности и, по меньшей мере, третий горизонтальный диаметр на некотором расстоянии между верхней поверхностью и нижней поверхностью.
16. Диафрагма с окнами по п.15, в которой второй горизонтальный диаметр больше, чем третий горизонтальный диаметр и третий горизонтальный диаметр больше, чем первый горизонтальный диаметр.
17. Диафрагма с окнами по п.15, в которой первый горизонтальный диаметр больше, чем третий горизонтальный диаметр и третий горизонтальный диаметр больше, чем второй горизонтальный диаметр.
18. Диафрагма с окнами по п.15, в которой первый горизонтальный диаметр равен второму горизонтальному диаметру и третий горизонтальный диаметр больше как первого горизонтального диаметра, так и второго горизонтального диаметра.
19. Диафрагма с окнами по п.3, в которой один или более элементов увеличивают плотность мощности электронов через диафрагму и уменьшают поглощение тепла.
20. Диафрагма с окнами по п.4, в которой один или более элементов уменьшают поглощение тепла диафрагмой с окнами.
21. Диафрагма с окнами для электронно-лучевой системы, содержащая
первую поверхность и вторую поверхность;
один или более элементов, простирающихся от первой поверхности до второй поверхности,
при этом один или более элементов имеет одну или более площадей поперечного сечения на одном или более расстояниях между первой и второй поверхностью и одну или более других площадей поперечных сечений на одном или более других расстояниях между первой и второй поверхностью;
при этом одна или более площадей поперечного сечения отличается от одного или более других площадей поперечных сечений.
22. Диафрагма с окнами по п.19, в которой один или более элементов содержат первую площадь поперечного сечения на первом расстоянии между первой и второй поверхностью, которая больше или меньше, чем вторая площадь поперечного сечения на втором расстоянии между первой и второй поверхностью.
23. Система электронно-лучевой обработки, содержащая
вакуумную камеру,
атмосферную зону обработки и
диафрагму с окнами между вакуумной камерой и атмосферной зоной обработки, при этом диафрагма с окнами содержит:
первую поверхность и вторую поверхность; и
один или более элементов, простирающихся от первой поверхности до второй поверхности;
при этом один или более элементов имеют неоднородное поперечное сечение между первой поверхностью и второй поверхностью.