Способ работы плазменного источника ионов и плазменный источник ионов

-2
1. Способ работы плазменного источника ионов, при осуществлении которого в газоразрядную камеру предварительно вводят рабочий газ через газоввод, создают магнитное поле с вектором индукции преимущественно осевого направления относительно анода и катода, подают напряжение на анод и на полый катод, зажигают тлеющий разряд, образуют ионы за счет бомбардировки атомов рабочего газа электронами, отличающийся тем, что при зажигании тлеющего разряда устанавливают давление в газоразрядной камере ниже Р=10 Торр, создают разные концентрации частиц газа в различных областях межэлектродного пространства, за счет организации сверхзвукового потока рабочего газа в заданной области межэлектродного зазора в поперечном к электрическому полю направлении при скорости потока газа более V=300 м/с.
2. Плазменный источник ионов, содержащий откачную вакуумную систему подключенную к газоразрядной камере, с размещенными в нейгазовводом для рабочего газа, полымкатодом, анодом, и магнитную систему, предназначенную для создания в разрядной камере магнитного поля с вектором индукции осевого направления, относительно анода и катода, отличающийся тем, что содержит конфузор, а газоввод выполнен как сверхзвуковое сопло, являющееся диффузором, причем конфузор и диффузор установлены в межэлектродном пространстве в газоразрядной камере соосно друг против друга таким образом, что ось конфузора и диффузора находится в поперечном к оси анода и катода направлении на заданном расстоянии относительно анода и катода.