СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ АЛЮМИНИЯ (Al)

Способ травления пленки алюминия, включающий вытравливание пленки алюминия с контактных участков кремниевых пластин в травителе, состоящем из азотной, фосфорной и уксусной кислоты, отличающийся тем, что травление проводят при расходе азотной, фосфорной и уксусной кислоты соответственно 1:50:12 при температуре 40±5°С, в течение 15±5 мин, при этом разброс по толщине слоя фоторезиста составляет 4,5÷5,0%.