СПОСОБ АНАЛИЗА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ ПО ЭНЕРГИЯМ И МАССАМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ анализа заряженных частиц по энергиям и массам, включающий анализ по энергиям в электрическом поле цилиндрического конденсатора - в энергоанализаторе Юза-Рожанского, анализ по массам в скрещенных электрическом и магнитном полях фильтра Вина, отличающийся тем, что анализ по энергиям и массам ведут в совмещенном радиальном электрическом поле энергоанализатора Юза-Рожанского и радиальном магнитном поле фильтра Вина и поперечном к ним продольном электрическом поле фильтра Вина.
2. Устройство для анализа заряженных частиц по энергиям и массам, содержащее энергоанализатор Юза-Рожанского и фильтр Вина, отличающееся тем, что фильтр Вина выполнен цилиндрическим, энергоанализатор Юза-Рожанского и фильтр Вина расположены так, что магнитные полюса фильтра Вина охватывают цилиндрические пластины энергоанализатора Юза-Рожанского, а пластины фильтра Вина, создающие электрическое поле, выполнены в виде плоских круглых электродов, размещенных по обе стороны относительно энергоанализатора Юза-Рожанского и магнитной системы фильтра Вина, при этом детектор ионов расположен в точке поворота траектории на угол
φ=π/ω,
где
ω - параметр, определяющий угол, при котором целевые ионы фокусируются на равновесной траектории, 1/рад,
а цилиндрические электроды выполнены с расстоянием между ними, равном
где
γ - параметр, определяющий угол, при котором нецелевые ионы максимально уходят от равновесной траектории, 1/рад.