СПОСОБ БАЛАНСИРОВКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО БАЛОЧНОГО БИМОРФНОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ВИБРАЦИОННОГО ДАТЧИКА УГЛОВОЙ СКОРОСТИ

1. Способ балансировки биморфного пьезокерамического чувствительного элемента вибрационного датчика угловой скорости, состоящего из двух встречно поляризованных частей, имеющего две параллельные поверхности, покрытые электродами, один из которых является возбуждающим, а второй измерительный, разделенный продольным пропилом на две равные части, включающий возбуждение чувствительного элемента и выполнение пропилов, отличающийся тем, что чувствительный элемент возбуждают автогенератором на первой гармонике моды колебаний, перпендикулярных плоскости соединения половин биморфной балки, измеряют разность фаз и разность амплитуд сигналов с измерительных электродов чувствительного элемента при его колебаниях на указанной моде и сводят их к минимуму, выполняя пропилы лазерным лучом на чувствительном элементе со стороны возбуждающего электрода, при этом сначала в центральной области чувствительного элемента симметрично относительно поперечной оси симметрии - для устранения разности фаз, а затем вблизи линий закрепления упругих подвесов - для устранения разности амплитуд.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что пропилы выполняют максимально близко к краям балки, а их параметры выбирают из условий:
s≤0.1b,
Ф
Ф
l=C1·Δφ при l≤l/4,
α
α
l=C2·ΔA при l≤l/10,
где s - ширина пропилов;
b - ширина балки;
l - длина балки;
Ф
l - длина пропилов для балансировки фаз, мкм;
α
l - длина пропилов для балансировки амплитуд, мкм;
Δφ - разность фаз, градус;
ΔA - разность амплитуд, мВ;
С1, С2 - константы, определяемые экспериментально для каждого типа чувствительных элементов, мкм/градус, мкм/мВ.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что пропилы выполняют лазерным излучением с наносекундной длительностью импульсов и средней мощностью менее 15 Вт для сведения к минимуму тепловой деполяризации пьезокерамики, при этом для учета долговременной релаксации свойств чувствительного элемента при расчете длины балансировочного реза перед регулировкой вводят устанавливаемую экспериментально поправку для разности фаз.