УСТРОЙСТВО И СПОСОБ КОМБИНАТОРНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗА ЧЕРЕЗ МНОГОЗОНАЛЬНУЮ ГОЛОВНУЮ ЧАСТЬ, ВЫПОЛНЕННУЮ НАПОДОБИЕ РАЗБРЫЗГИВАЮЩЕЙ НАСАДКИ ДЛЯ ДУШЕВОЙ ЛЕЙКИ

1. Камера для обработки, содержащая:
опору для подложки и
многозонную головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки и содержащую подкладочную пластину и множество узлов,
причем каждый узел из указанного множества узлов содержит пак головной части и монтажный каркас, соединяющий этот пак головной части с подкладочной пластиной.
2. Камера для обработки по п.1, в которой
область, заключенная в каждый пак указанной головной части, изолирована от областей, заключенных в другие паки этой головной части, посредством очистительного канала, разделяющего смежные паки такой головной части.
3. Камера для обработки по п.1, в которой
один из указанных паков головной части имеет характеристики, отличные от характеристик по меньшей мере одного пака из указанных других паков головной части.
4. Камера для обработки по п.3, в которой
характеристиками являются один или большее количество следующих элементов: количество каналов, размер каналов, распределение каналов или толщина паков головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки.
5. Камера для обработки по п.1, в которой количество паков головной части составляет одно значение из 2, 3, 4, 5, 6, 7 или 8.
6. Система для осаждения из паровой фазы, содержащая:
одну или большее количество камер для обработки,
причем по меньшей мере одна камера для обработки содержит многозонную головную часть, выполненную наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки и содержащую подкладочную пластину и множество узлов,
причем каждый узел содержит пак головной части и монтажный каркас, соединяющий этот пак головной части с подкладочной пластиной.
7. Система для осаждения из паровой фазы по п.6, в которой
область, заключенная в каждый пак указанной головной части, изолирована от областей, заключенных в другие паки этой головной части, посредством очистительного канала, разделяющего смежные паки такой головной части.
8. Система для осаждения из паровой фазы по п.6, в которой
один из указанных паков головной части имеет характеристики, отличные от характеристик по меньшей мере одного пака из указанных других паков головной части.
9. Система для осаждения из паровой фазы по п.8, в которой характеристиками являются один или большее количество следующих элементов: количество каналов, размер каналов, распределение каналов или толщина паков головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки.
10. Система для осаждения из паровой фазы по п.6, в которой количество паков головной части составляет одно значение из 2, 3, 4, 5, 6, 7 или 8.
11. Способ обработки подложки, включающий этапы, на которых:
a. формируют материал на изолированной области на подложке с использованием пака головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки,
причем головная часть является деталью многозонной головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки;
b. перемещают указанную изолированную область подложки в положение под другим паком головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки;
с. формируют отличающийся материал сверху первого материала с использованием указанного другого пака головной части и
d. повторяют этапы b) и c) до завершения обработки подложки.
12. Способ по п.11, при котором
паки головной части имеют отличающиеся характеристики, а набор технологических параметров для обработки, используемых для формирования материалов, является одинаковым для каждого пака головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки.
13. Способ по п.11, при котором
паки головной части имеют одинаковые характеристики, а набор технологических параметров для обработки, используемых для формирования материалов, отличается для каждого пака головной части, выполненной наподобие разбрызгивающей насадки для душевой лейки.
14. Способ по п.11, при котором
паки головной части предназначены для одного этапа многоэтапной последовательности обрабатывающих операций, причем
многоэтапную последовательность обрабатывающих операций выполняют последовательным перемещением этой изолированной области под указанные паки головной части.