СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКЕ

Неконтактный способ измерения толщины пленки на поверхности материала подложки путем облучения поверхности оптическим излучением на разных длинах волн зондирования, регистрации отраженного от поверхности сигнала и определения толщины пленки по результатам анализа зависимости интенсивности отраженного сигнала на длинах волн зондирования, отличающийся тем, что по данным измерений вычисляют первую и вторую производные коэффициента отражения трехслойной системы «воздух - пленка - подложка» и определяют толщину пленки по значениям первой и второй производной коэффициента отражения.