МИШЕНЬ ДЛЯ ДИСПЕНСЕРНОГО КАТОДА НА ОСНОВЕ СКАНДАТА БАРИЯ

1. Материал мишени (66) для физического осаждения тонких пленок, используемый в изготовлении диспенсерных катодов на основе скандата бария или других материалов на основе скандата бария,
2
3
2
3
причем материал мишени (66) содержит смесь или состоит из смеси оксида бария ВаО, оксида кальция СаО, оксида алюминия AlО и оксида скандия SсО,
2
3
2
3
причем молярное отношение BaO:CaO:AlО:ScО составляет «b:c:x:y», с 2≤b≤5, l≤c≤3, 2≤x+y≤b+c, и 0,1≤y≤1.
2. Материал мишени (66) по п. 1, причем материал мишени (66) дополнительно содержит
2
3
2
3
2
3
- один или более оксидов, выбранных из группы, состоящей из оксида стронция SrO, оксида лантана LaO, оксида иттрия YO, и оксида европия EuO, в дополнение к оксиду бария, и/или
- один или более оксидов одного или более редкоземельных элементов, или смесь оксидов редкоземельных элементов, со скандием в качестве основного редкоземельного элемента, в дополнение к оксиду скандия.
3. Материал мишени (66) по п. 1, с 0,1<y<0,5.
4. Материал мишени (66) по п. 1, в котором отношение «b:c» составляет одно из 4:1, 3:1 или 5:3.
5. Материал (66) мишени по п. 1,
дополнительно содержащий один или более оксидов из двух или более элементов, выбранных из группы, состоящей из бария, кальция, алюминия и скандия.
6. Мишень (66) для физического осаждения тонких пленок, отличается тем, что она изготовлена из материала (66) по п. 1.
7. Мишень (66) по п. 6,
2
5
дополнительно содержащая BaScAlO.
8. Применение материала мишени (66) в изготовлении диспенсерного катода на основе скандата бария или других материалов на основе скандата бария,
2
3
2
3
в котором материал мишени (66) содержит смесь или состоит из смеси оксида бария ВаО, оксида кальция СаО, оксида алюминия AlО и оксида скандия SсО,
2
3
2
3
причем молярное отношение BaO:CaO:AlО:ScО составляет «b:c:x:y», с 2≤b≤5, l≤c≤3, 2≤x+y≤b+c, и 0,1≤y≤1.
2
3
2
3
9. Применение материала мишени (66) по п. 8, в котором материал мишени (66) используется на стадии физического осаждения тонкой пленки для формирования промежуточного слоя, состоящего из ВаО, СаО, AlО и SсО, или содержащего их, в диспенсерном катоде.
10. Способ получения диспенсерного катода на основе скандата бария, включающий стадии, в которых:
формируют (102) пористый металлический корпус, имеющий поверхность и пропитанный одним или более соединениями для дозирования по меньшей мере бария и скандия на поверхность,
2
3
2
3
получают (104) промежуточный слой, состоящий из или содержащий ВаО, СаО, AlО и SсО, с помощью физического осаждения тонкой пленки на пористом металлическом корпусе, и
получают (106) наружный металлический слой,
2
3
2
3
причем для физического осаждения тонкой пленки промежуточного слоя используют материал мишени (66), содержащий смесь или состоящий из смеси оксида бария ВаО, оксида кальция СаО, оксида алюминия AlО и оксида скандия SсО,
2
3
2
3
причем молярное отношение BaO:CaO:AlО:ScО составляет «b:c:x:y», с 2≤b≤5, l≤c≤3, 2≤x+y≤b+c, и 0,1≤y≤1.
11. Способ по п. 10,
в котором физическое осаждение тонкой пленки включает лазерное осаждение из абляционной плазмы и/или напыление.
12. Устройство, включающее диспенсерный катод на основе скандата бария, полученный способом по п. 10.
13. Способ получения мишени для физического осаждения тонких пленок для применения в изготовлении диспенсерных катодов на основе скандата бария или других материалов на основе скандата бария, содержащий стадии, на которых
2
3
2
3
получают (12, 14, 14′, 16) смесь из оксида бария ВаО, оксида кальция СаО, оксида алюминия AlО и оксида скандия SсО,
проводят спекание (20) или плавление (22) смеси для формирования мишени (66),
2
3
2
3
причем молярное отношение BaO:CaO:AlО:ScО в мишени составляет «b:c:x:y», с 2≤b≤5, l≤c≤3, 2≤x+y≤b+c, и 0,1≤y≤1.