СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ЧАСТИЦ НАНОРАЗМЕРНОГО УРОВНЯ

1. Способ контроля шероховатости поверхности, при котором обеспечиваются возможность ее зондирования с помощью лазерного излучения для получения оптических эффектов, регистрируемых с использованием фоточувствительных устройств, отличающийся тем, что шероховатую поверхность покрывают слоем частиц наноразмерного уровня, при этом в качестве детектируемого информационного признака используют характерную фотолюминесценцию этих частиц, индуцируемую зондирующим лазерным излучением, а возможность контроля шероховатости поверхности обеспечивают методом анализа по оптическим эффектам в процессе изменения угла между осью зондирующего излучения и нормалью к шероховатой поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что оптические эффекты возникают при характерных углах между осью зондирующего лазерного излучения и нормалью к шероховатой поверхностью за счет частичного или полного экранирования частиц наноразмерного уровня шероховатостью поверхности.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что характеристики шероховатой поверхности определяют по известным размерам частиц наноразмерного уровня и значениям характерных углов.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляется контроль шероховатости локальных участков поверхности.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляется контроль шероховатости поверхности путем сканирования ее локальных участков.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляется экспресс-контроль шероховатости поверхности лазерным лучом большого диаметра.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве зондирующего электромагнитного излучения используют лазерное когерентное излучение в ближнем инфракрасном и видимом оптическом диапазоне длин волн.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала частиц наноразмерного уровня может быть использован, например, кремний.