СПОСОБ ОЧИСТКИ ДЛЯ УСТАНОВОК НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

1. Способ очистки вспомогательных поверхностей установок нанесения покрытий, содержащий следующие этапы:
- нанесение антиадгезионного слоя на вспомогательные поверхности камеры для нанесения покрытия, предшествующее нанесению покрытия,
2
- обработка вспомогательных поверхностей с помощью струйной обработки сухим льдом и/или способа очистки струями снега CO, следующая за нанесением покрытия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что антиадгезионный слой содержит суспензию порошка в летучем растворителе.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что антиадгезионный слой включает в себя металлический слой, который существенно толще, чем слой, наносимый в процессе нанесения покрытия.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что антиадгезионный слой представляет собой слой, антиадгезионное воздействие которого основано на эффекте лотоса.