Датчик вибрации

1. Резистивный датчик вибрации, содержащий чувствительный элемент и лазерный источник, излучение которого направлено на поверхность чувствительного элемента, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде толстопленочного резистора, содержащего в материале, по крайней мере, оксид палладия.
2. Резистивный датчик по п. 1, отличающийся тем, что чувствительный элемент изготовлен из серебропалладиевой резистивной пасты.
3. Резистивный датчик по п. 1, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде контакта разнородных материалов «металл-полупроводник».