СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГАЗОДИНАМИЧЕСКИХ КАНАВОК И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ получения газодинамических канавок, заключающийся в том, что участки плоской поверхности упорного подпятника (кольца торцового уплотнения) подвергают определенное время ионно-плазменному травлению через окна (прорези) в шаблонной маске, которую предварительно накладывают на обрабатываемую плоскую поверхность упорного подпятника (кольца торцового уплотнения), отличающийся тем, что окна (прорези) в шаблонной маске периодически перекрывают краями окон (прорезей) экранирующей маски.
2. Устройство для реализации способа по п.1, содержащее шаблонную маску с окнами (прорезями), формирующими и обеспечивающими требуемую форму, размеры и точность размеров газодинамических канавок в плане на плоской поверхности упорного подпятника, отличающееся тем, что оно снабжено экранирующей маской с окнами (прорезями) и механизмом ее перемещения относительно шаблонной маски для обеспечения периодического перекрытия окон (прорезей) шаблонной маски.
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что экранирующая маска размещается соосно с шаблонной маской непосредственной над ее поверхностью и без зазора.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что очертания краев окон (прорезей) у обеих масок тождественны.
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что экранирующая маска имеет окна (прорези), количество которых в два раза меньше, чем требуемое количество газодинамических канавок на обрабатываемой поверхности упорного подпятника.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что очертания краев окон (прорезей) у экранирующей маски могут быть выполнены, в частности, как прямолинейные, так и криволинейные с различным радиусом кривизны.
7. Устройство по п.2, отличающееся тем, что механизм перемещения экранирующей маски задает ей возвратно-качательное движение на угол γ, соответствующий угловой ширине окна (прорези) в экранирующей маске.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что после ионного травления в течение требуемого периода времени перемещают обе маски в одном и том же направлении (например, по часовой стрелке) из их первоначального положения на угол 2θ, соответствующий требуемому по конструкторской документации угловому шагу размещения газодинамических канавок на поверхности упорного подпятника, и вновь подвергают изделие ионно-плазменному травлению.