ЗАХВАТ, В ЧАСТНОСТИ ЗАХВАТ БЕРНУЛЛИ

1. Захват, в частности захват (1) Бернулли, для приема плоскостных элементов, таких как, например, кремниевые полупроводниковые пластины (2), содержащий зажимное кольцо (4), соединенное с управляемой рукой (3) робота, соединенную с зажимным кольцом (4) посредством воронкообразного конструктивного элемента (5) ударную шайбу (6) с захватной поверхностью (7), сообщающейся с проходящей через воронкообразный конструктивный элемент (5) и ударную шайбу (6) поточной системой (8), посредством которой после подачи на захват (1) Бернулли избыточного давления у захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины (2), интегрированную в захватную поверхность (7) установочную поверхность (9) опорного кольца (10), посредством которой осуществляется бесскользящее перемещение полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7), и адаптированное к захвату (1) по периметру амортизирующее устройство (12), контур которого, если смотреть на захват (1) сверху, выходит по периметру за пределы контуров всех прочих элементов (4, 5, 6) захвата (1) и которое создает для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при ее обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе такое амортизирующее сопротивление, что полупроводниковая пластина (2) входит в контакт с установочной поверхностью (9) опорного кольца (10) щадящим в отношении удара образом, отличающийся тем, что
установочная поверхность (9) опорного кольца (10) прорезинена,
амортизирующее устройство (12), адаптированное к захвату (1) по периметру, образовано щеткой (12) с упругими щетинками, которые, если смотреть на захват (1) сбоку, выступают над всеми прочими элементами (4, 5, 6) захвата (1) на величину (d), находящуюся в диапазоне 1,5-3,5 мм, и создают для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе в качестве первого контакта амортизирующее сопротивление, при этом
на захвате (1) предусмотрен емкостной датчик (11) для распознавания полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7).
2. Захват по п.1, отличающийся тем, что концы (15) щетинок, противоположные свободно выходящим концам (14) щетинок, закреплены по окружной кромке (16) щетки, удерживаемой в окружном зажимном пазу (17) захвата (1) с возможностью замены, образуемом зажимным кольцом (4) и воронкообразным конструктивным элементом (5).
3. Захват по п.1 или 2, отличающийся тем, что, если смотреть на захват (1) сверху, контур захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) и контур щетки (12) выполнен круговыми, причем ударная шайба (6) и щетка (12) расположены коаксиально продольной оси (18) захвата (1).
4. Захват по п.1, отличающийся тем, что упругие щетинки (13) щетки (12), если смотреть на захват (1) сверху, образуют открытое круглое кольцо примерно 340°, причем кольцевой участок (19) щетки (12) без щетинок пространственно относится к емкостному датчику (11) для распознавания присосанной полупроводниковой пластины (2).
5. Захват по п.1, отличающийся тем, что щетинки (13) щетки (12) проходят наклонно вниз относительно плоскости захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) под углом 16,5 ±1°.
6. Захват по п.1, отличающийся тем, что упругие щетинки (13) щетки (12) выполнены из полиамида.
7. Захват, в частности захват (1) Бернулли, для приема плоскостных элементов, таких как, например, кремниевые полупроводниковые пластины (2), содержащий зажимное кольцо (4), соединенное с управляемой рукой (3) робота, соединенную с зажимным кольцом (4) посредством воронкообразного конструктивного элемента (5) ударную шайбу (6) с захватной поверхностью (7), сообщающейся с проходящей через воронкообразный конструктивный элемент (5) и ударную шайбу (6) поточной системой (8), посредством которой после подачи на захват (1) Бернулли избыточного давления у захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины (2), интегрированную в захватную поверхность (7) установочную поверхность (9) опорного кольца (10), посредством которой осуществляется бесскользящее перемещение полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7), и адаптированное к захвату (1) по периметру амортизирующее устройство (12), контур которого, если смотреть на захват (1) сверху, выходит по периметру за пределы контуров всех прочих элементов (4, 5, 6) захвата (1) и которое создает для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при ее обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе такое амортизирующее сопротивление, что полупроводниковая пластина (2) входит в контакт с установочной поверхностью (9) опорного кольца (10) щадящим в отношении удара образом, отличающийся тем, что
установочная поверхность (9) опорного кольца (10) прорезинена,
амортизирующее устройство (12), адаптированное к захвату (1) по периметру, образовано замкнутым резиновым кольцом в виде уплотнительной кромки из мягкого материала, посредством которого полупроводниковая пластина (2) при своем обусловленном присосом прилегании к прорезиненной установочной поверхности (9) опорного кольца (10), интегрированной в захватную поверхность (7), герметично уплотнена по периметру относительно ударной шайбы (6), через которую проходит проточная система (8), при этом
на захвате (1) предусмотрен емкостной датчик (11) для распознавания полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7).