ПРОМЫШЛЕННЫЙ ГЕНЕРАТОР ПАРА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ СПЛАВА НА МЕТАЛЛИЧЕСКУЮ ПОЛОСУ (II)

1. Установка для вакуумного осаждения покрытия из сплава металлов на подложку (7), снабженная генератором-смесителем пара, содержащим вакуумную камеру (6), которая снабжена средствами для создания в ней разрежения относительно внешней среды и средствами, обеспечивающими вход и выход подложки (7), и, по существу, непроницаема для внешней среды, причем указанная камера включает в себя головку для осаждения пара, называемую «эжектором» (3), предназначенную для создания струи пара сплава металлов со звуковой скоростью в направлении поверхности подложки (7) и перпендикулярно к ней, причем указанный эжектор (3) герметично сообщается с отдельным смесительным устройством (14), которое, в свою очередь, соединено выше по потоку соответственно, по меньшей мере, с двумя тиглями (11, 12), содержащими два разных металла М1 и М2 в жидком виде, причем каждый тигель (11, 12) соединен собственной отдельной трубой (4, 4') со смесителем (14), причем смеситель (14) содержит группу перегородок, обеспечивающих разделение, по меньшей мере, двух поступающих паров, причем эти перегородки формируют отверстия, обеспечивающие возможность выхода обоих паров с их смешиванием в виде чередующихся слоев одного и другого пара в направлении выходного потока.
2. Установка по п.1, отличающаяся тем, что смеситель (14) имеет цилиндрическую оболочку (14С), внутри которой находятся расположенные по оси оболочки ряд труб (14А), установленных с регулярными интервалами и присоединенных на входе к трубопроводу (4) подачи первого пара металла, при этом трубопровод (4') подачи второго пара металла присоединен, сбоку от цилиндрической оболочки, с межтрубным пространством (14В) между трубами, а в трубах (14А) и в межтрубном пространстве (14В) выполнены выходные отверстия, причем все они выходят в пространство (15), где обеспечивается возможность смешивание паров.
3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что каждый из указанных трубопроводов (4, 4') снабжен пропорциональным клапаном (5, 5') и факультативно устройством (5А) регулирования потери напора.
4. Установка по п.3, отличающаяся тем, что в качестве пропорционального клапана (5, 5') использован клапан типа дроссельной заслонки.
5. Установка по п.1, отличающаяся тем, что эжектор (3) имеет продольную щель для выхода пара, выполняющую функцию критического сечения, которая идет по всей ширине подложки, и фильтрующую среду или орган (3А) регулирования потери напора из спеченного материала, выполняемый предпочтительно из титана или в виде металлического сита из спеченных волокон нержавеющей стали, чтобы упорядочить и выпрямить векторы скоростей выходящего из эжектора (3) пара.
6. Установка по п.5, отличающаяся тем, что она содержит средства для регулировки длины щели в соответствии с шириной подложки.
7. Установка по п.6, отличающаяся тем, что указанные средства включают в себя средства для вращения эжектора (3) вокруг соответствующего подающего трубопровода (4).
8. Установка по п.1, отличающаяся тем, что эжектор (3), смеситель (14), трубопроводы (4, 4') и тигли (11, 12) термически изолированы от внешней среды и нагреваются с помощью радиационной печи.
9. Установка по п.1, отличающаяся тем, что она также содержит средства для нагрева вакуумной камеры (6).
10. Установка по п.2, отличающаяся тем, что предусмотрена первая пористая поверхность, расположенная на выходе труб (14А), и/или вторая пористая поверхность, расположенная на выходе межтрубного пространства (14В) с тем, чтобы уравновесить давления двух соответствующих паров.
11. Установка по п.1, отличающаяся тем, что подложка (7) представляет собой непрерывно движущуюся металлическую полосу.
12. Установка по п.1, обеспечивающая непосредственное осаждение на подложку (7) с помощью струи пара со звуковой скоростью, сплава первого металла М1 и второго металла М2, отличающаяся тем, что предусмотрен дополнительный трубопровод (4''), байпасирующий трубопровод (4') подачи первого металла М1 к смесителю (14), снабженный запорным клапаном (5') и ведущий к дополнительному эжектору (3') в вакуумной камере (6), причем указанный дополнительный эжектор (3') предназначен для создания струи первого металла М1 со звуковой скоростью в направлении поверхности подложки (7) и перпендикулярно к ней, а часть трубопровода (4') подачи первого металла М1, ведущая к смесителю (14), снабжена дополнительным клапаном (5В), предназначенным для изоляции первого тигля (12) от смесителя (14).
13. Способ осаждения покрытия из сплава металлов на подложку (7), предпочтительно непрерывно движущуюся металлическую полосу, с помощью установки по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что:
регулируют скорость истечения каждого из паров металлов на входе смесителя (14) таким образом, чтобы указанная скорость истечения указанных паров на входе смесителя была меньше звуковой скорости в 10 раз, предпочтительнее в 50 раз;
регулируют отдельно концентрацию каждого металла в процессе смешивания паров, подлежащих осаждению на подложку (7).
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что скорость истечения меньше 100 м/с, предпочтительнее от 5 до 50 м/с.
15. Способ по п.13 или 14, отличающийся тем, что при закрытом указанном дополнительном клапане (5В) и открытом указанном запорном клапане (5') последовательно выполняют на подложке (7) осаждение первого металла М1 в зоне дополнительного эжектора (3') и осаждение второго металла М2 в зоне эжектора (3) в вакуумной камере (6).
16. Способ по п.13 или 14, отличающийся тем, что при открытом указанном дополнительном клапане (5В) и закрытом указанном запорном клапане (5') выполняют на подложке (7) непосредственное осаждение сплава М1+М2 в зоне эжектора (3) в вакуумной камере (6).
17. Способ по п.13 или 14, отличающийся тем, что при открытых указанном дополнительном клапане (5В) и указанном запорном клапане (5') последовательно выполняют на подложке (7) осаждение первого металла М1 в зоне дополнительного эжектора (3') и непосредственное осаждение сплава М1+М2 в зоне эжектора (3) в вакуумной камере (6).
18. Способ по п.13 или 14, отличающийся тем, что после осаждения/ий металла или сплава выполняют термообработку.