УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОДЛОЖЕК БЕЗ ОБРАЗОВАНИЯ ЧАСТИЦ

1. Устройство для перемещения подложек для микропроцессорной техники без образования частиц внутри миниатюрных рабочих сред в условиях чистого помещения, отличающееся тем, что устройство обеспечивает несколько степеней свободы, причем, по меньшей мере, перемещения в направлениях осей х, у, z и в направлении Ф обеспечиваются бесконтактными магнитными опорами и/или направляющими, при этом направление и перемещение вдоль каждой оси обеспечивается бесконтактным электромагнитным способом, а передача энергии для направления и перемещения обеспечивается бесконтактным способом, при этом устройство содержит, по меньшей мере, один активный элемент (3) и, по меньшей мере, один пассивный элемент (2).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что содержит электромагнитные, электродинамические или постоянные магнитные опоры для магнитных опор.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что энергия передается при помощи индукции или через трансформатор.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оси снабжены датчиками положения, выполненными с возможностью передачи замеренных данных бесконтактным способом.
5. Устройство по п.2, отличающееся тем, что оси снабжены датчиками положения, выполненными с возможностью передачи замеренных данных бесконтактным способом.
6. Устройство по п.3, отличающееся тем, что оси снабжены датчиками положения, выполненными с возможностью передачи замеренных данных бесконтактным способом.
7. Устройство по п.4, отличающееся тем, что данные от датчиков передаются беспроводным способом.
8. Устройство по п.5, отличающееся тем, что данные от датчиков передаются беспроводным способом.
9. Устройство по п.6, отличающееся тем, что данные от датчиков передаются беспроводным способом.
10. Устройство по пп.1-9, отличающееся тем, что приводные элементы являются неподвижными, а транспортировочный узел выполнен с возможностью перемещения за счет бесконтактного воздействия приводных элементов.
11. Устройство по любому из пп.1-9, отличающееся тем, что приводные элементы выполнены с возможностью перемещения вместе с транспортировочным узлом.
12. Устройство по любому из пп.1-9, отличающееся тем, что подвижный активный узел (3) имеет возможность перемещения в направляющих, находясь в подвешенном состоянии за счет магнитной опоры (4, 5) на неподвижном пассивном элементе (2), причем приводной двигатель (7), расположенный на активном элементе (3), соединен с источником питания через соединительный узел (6), при этом на активном элементе расположен подъемно-вращательный узел (10) с манипулятором (19).
13. Устройство по п.10, отличающееся тем, что подвижный активный узел (3) имеет возможность перемещения в направляющих, находясь в подвешенном состоянии за счет магнитной опоры (4, 5) на неподвижном пассивном элементе (2), причем приводной двигатель (7), расположенный на активном элементе (3), соединен с источником питания через соединительный узел (6), при этом на активном элементе расположен подъемно-вращательный узел (10) с манипулятором (19).
14. Устройство по п.11, отличающееся тем, что подвижный активный узел (3) имеет возможность перемещения в направляющих, находясь в подвешенном состоянии за счет магнитной опоры (4, 5) на неподвижном пассивном элементе (2), причем приводной двигатель (7), расположенный на активном элементе (3), соединен с источником питания через соединительный узел (6), при этом на активном элементе расположен подъемно-вращательный узел (10) с манипулятором (19).
15. Устройство по п.12, отличающееся тем, что подъемно-вращательный узел (10) снабжен внешней трубкой (11), закрепленной вертикально на активном элементе (3), внутри одного или нескольких рядов магнитных опор (12), установленных с равными интервалами на внутренней поверхности для бесконтактного направления внутренней трубки (13) в вертикальном направлении между двумя крайними положениями.
16. Устройство по п.13, отличающееся тем, что подъемно-вращательный узел (10) снабжен внешней трубкой (11), закрепленной вертикально на активном элементе (3), внутри одного или нескольких рядов магнитных опор (12), установленных с равными интервалами на внутренней поверхности для бесконтактного направления внутренней трубки (13) в вертикальном направлении между двумя крайними положениями.
17. Устройство по п.14, отличающееся тем, что подъемно-вращательный узел (10) снабжен внешней трубкой (11), закрепленной вертикально на активном элементе (3), внутри одного или нескольких рядов магнитных опор (12), установленных с равными интервалами на внутренней поверхности для бесконтактного направления внутренней трубки (13) в вертикальном направлении между двумя крайними положениями.
18. Устройство по любому из пп.15-17, отличающееся тем, что во внутренней трубке (13) расположен центральный подъемный двигатель (14), который функционально соединен со стержнем (16), вертикально закрепленным во внутренней трубке.
19. Устройство по любому из пп.15-17, отличающееся тем, что во внутренней трубке (13) расположен вращательный привод (17) для осуществления управляемого вращения внутренней трубки (13) относительно вертикально закрепленного стержня (16).
20. Устройство по п.12, отличающееся тем, что на манипуляторе (19) расположена электромагнитная подвижная вилка (20) для поддержания кремниевой платы (20).
21. Устройство по любому из пп.13-17, отличающееся тем, что на манипуляторе (19) расположена электромагнитная подвижная вилка (20) для поддержания кремниевой платы (20).
22. Устройство по п.18, отличающееся тем, что на манипуляторе (19) расположена электромагнитная подвижная вилка (20) для поддержания кремниевой платы (20).
23. Устройство по п.19, отличающееся тем, что на манипуляторе (19) расположена электромагнитная подвижная вилка (20) для поддержания кремниевой платы (20).