ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПРОТОЧНОЙ ЯЧЕЙКИ С ПЛАНАРНЫМ ВОЛНОВОДОМ

1. Способ изготовления проточной ячейки, при этом способ включает:
формирование слоя сердцевины, причем слой сердцевины располагают между подложкой и слоем наноям, причем слой наноям включает наноямы для приема образца, при этом слой сердцевины характеризуется большим показателем преломления, чем подложка и слой наноям; и
формирование решетки при использовании наноимпринтинга для ввода света в слой сердцевины.
2. Способ по п. 1, где слой сердцевины формируют в общем технологическом процессе совместно с формированием решетки.
3. Способ по п. 1, где слой сердцевины формируют в технологическом процессе, отдельном от формирования решетки.
4. Способ по п. 3, где в результате наноимпринтинга на подложке формируют решетку, на решетке формируют слой сердцевины, а на слое сердцевины формируют слой наноям.
5. Способ по п. 3, где на подложке формируют решетку, на решетке формируют слой сердцевины, на слое сердцевины формируют дополнительный слой, а на дополнительном слое формируют слой наноям.
6. Способ по п. 5, где дополнительный слой и слой наноям первоначально являются свободными от наноям до формирования наноям, при этом способ, кроме того, включает формирование рисунка для слоя наноям в целях формирования наноям, тогда как дополнительный слой остается незатронутым, и впоследствии перенос рисунка для слоя наноям на дополнительный слой таким образом, чтобы экспонировать слой сердцевины в наноямах.
7. Способ по п. 6, где рисунок переносят в результате травления.
8. Способ по п. 1, где на подложке формируют слой сердцевины, и где на слое сердцевины формируют решетку и слой наноям.
9. Способ по п. 3, где на подложке формируют слой сердцевины, на слое сердцевины формируют решетку, а на решетке формируют слой наноям.
10. Способ по п. 3, где на подложке формируют слой сердцевины, на слое сердцевины формируют первый слой, на первом слое формируют второй слой, и где решетку и наноямы формируют, соответственно, в первом и втором слоях.
11. Способ по п. 3, где на подложке формируют слой сердцевины, на слое сердцевины формируют слой смолы, а в слое смолы формируют решетку и наноямы.
12. Способ по любому из пп. 1-3, 8 или 10, где решетку и слой наноям формируют в общем технологическом процессе.
13. Способ по п. 12, где решетку и слой наноям формируют в одном и том же слое проточной ячейки.
14. Способ по п. 12, где решетку и слой наноям формируют в раздельных слоях проточной ячейки.
15. Проточная ячейка, изготовленная с использованием способа по любому из пп. 1-14, включающая:
подложку;
слой наноям, имеющий наноямы для приема образца;
слой сердцевины, расположенный между подложкой и слоем наноям, причем слой сердцевины характеризуется большим показателем преломления, чем подложка и слой наноям; и
решетку для ввода света в слой сердцевины.
16. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположена решетка, поверх решетки расположен слой сердцевины, и поверх слоя сердцевины расположен слой наноям.
17. Проточная ячейка по п. 16, где подложка покрыта слоем решетки, при этом слой решетки включает решетку.
18. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположен первый слой смолы, включающий решетку, а поверх первого слоя смолы расположен второй слой смолы, включающий наноямы.
19. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположена решетка, поверх решетки расположен первый слой полимера, а поверх первого слоя полимера расположен второй слой полимера, где в первом и втором слоях полимера расположены наноямы.
20. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположен слой сердцевины, поверх слоя сердцевины расположен слой смолы, и в слое смолы расположены решетка и наноямы.
21. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположен слой сердцевины, поверх слоя сердцевины расположена решетка, а поверх решетки расположен слой наноям.
22. Проточная ячейка по п. 21, где слой сердцевины покрыт слоем решетки, при этом слой решетки включает решетку.
23. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположен слой сердцевины, поверх слоя сердцевины расположен слой полимера, а поверх слоя полимера расположен слой смолы, где решетка расположена в слое полимера, и где наноямы расположены в слое смолы.
24. Проточная ячейка по п. 15, где поверх подложки расположен слой полимера, а поверх слоя полимера расположен слой смолы, где решетка расположена в слое полимера, и где наноямы расположены в слое смолы.