УСТРОЙСТВО ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ТОЧЕК

Полезная модель относится к области наноэлектроники, а более конкретно к устройствам формирования квантовых точек.
Известно устройство формирования квантовых точек, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами [Патент РФ на полезную модель №43105, кл. 7 H01L 41/00 - Бюл №36 от 27.12.2004]
Недостатком аналога является невозможность одновременного формирования квантовых точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга в строгом соответствии с микрорельефом подложки.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования квантовых точек, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном расстоянии, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами [Патент РФ на полезную модель №3 30033, Кл. 7 H01L 41/00 - Бюл. №16 от 10.03.2003]
Недостатком прототипа также является невозможность одновременного формирования квантовых точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга в строгом соответствии с микрорельефом подложки.
В основу полезной модели положена задача одновременного формирования квантовых точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга в строгом соответствии с микрорельефом подложки.
Эта задача решается тем, что в устройстве формирования квантовых точек на подложке, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, электрически связанную с зондами, согласно предложенной полезной модели, каждый зонд пьезопривода выполнен в виде углеродной нанотрубки, при этом внутренний объем каждой углеродной нанотрубки заполнен жидкофазным галлием, а подложка выполнена из диэлектрического материала, обладающего эффектом смачивания с жидкофазным галлием..
Введение в устройство формирования квантовых точек многозондового пьезопривода, выполненного в виде набора зондов, каждый из которых выполнен в виде углеродной нанотрубки, внутри которой расположен жидкофазный галлий, подложки,
выполненной из диэлектрического материала, обладающего эффектом смачивания с жидкофазным галлием позволяет одновременно формировать несколько точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга.
Сущность полезной модели показана на фиг.1, где показано устройство формирования квантовых точек.
Устройство формирования квантовых точек (фиг.1) содержит источник питания 6, многозондовый пьезопривод 1, установленный на неподвижном основании 2, подложку 3, установленную на неподвижном подложкодержателе 4, электрически связанную с зондами 5.
Устройство формирования квантовых точек работает следующим образом.
Перед выполнением нанотехнологической операции многозондовый пьезопривод 1 находится в неподвижном состоянии. При подаче напряжения на многозондовый пьезопривод 1 происходит контактное взаимодействие многозондового пьезопривода 1 с подложкой 3, которая выполнена из диэлектрического материала и обладает эффектом смачивания с жидкофазным галлием. Каждый зонд 5 многозондового пьезопривода 1 выполнен в виде углеродной нанотрубки, каждая из которых наполнена жидкофазным галлием, с возможностью электрического взаимодействия с источником питания 6. При этом набор зондов 5 установлен в строгом соответствии с микрорельефом поверхности подложки 3. При переходе на следующий участок подложки 3 картина повторяется.
Применение предлагаемого устройства формирования квантовых точек позволяет обеспечить одновременное формирование нескольких квантовых точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга в строгом соответствии с микрорельефом поверхности подложки.