СПОСОБ СОЗДАНИЯ МЕЛКОБЛОЧНЫХ ПЛЕНОК С СОВЕРШЕННОЙ СТРУКТУРОЙ БЛОКОВ

Способ получения мелкоблочных пленок (пленок с размерами блоков не больше толщины пленки) различных веществ, например висмута, с совершенной структурой блоков, методом вакуумного напыления, отличающийся тем, что способ получения состоит из двух этапов: Первый этап - для формирования указанной структуры используется подслой нанокластеров, толщиной меньше половины толщины получаемой пленки, предварительно сформированный путем напыления необходимого материала на подложку при температуре подложки несколько меньше чем температура плавления массивного материала, но выше температуры плавления частиц данного материала размером, соответствующим критическому размеру зародыша; Второй этап - после формирования подслоя нанокластеров для формирования сплошного слоя используется вакуумное напыление при температуре подложки, соответствующей росту по механизму «пар-кристалл»;
все операции выполняются в едином технологическом процессе в глубоком вакууме без контакта подслоя из нанокластеров с атмосферой.