Вакуумный аппарат для разложения отходов арсенида галлия

1. Вакуумный аппарат для разложения отходов арсенида галлия, состоящий из цилиндрической вакуумной камеры с цилиндрическим многослойным экраном, внутри которой по оси размещен цилиндрический нагреватель с нижним токовводом, в полости которого на подине вдоль оси установлена колонна испарительных тарелей, накрытых крышками и конденсатором, а подина снабжена каналом перетока с герметичным сборником галлия, отличающийся тем, что на крышку конденсатора герметично установлен загрузочный бункер сырья с затвором и вентилями вакуумирования и напуска азота, а испарительные тарели выполнены в виде конуса с диаметром малого основания, увеличивающимся от нижней к верхней тарели, и с отверстиями у большего основания для стока галлия на подину, соединенную со сборником через сифонный затвор.
2. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что наклон стенки конуса тарели к горизонтали составляет 20-35°.
3. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что тарели у большего основания выполнены с отверстиями перетока и установлены снизу вверх попеременно с противоположных сторон.
4. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что диаметры малых оснований тарелей увеличиваются для каждой вышестоящей тарели с образованием расширяющегося паропровода.
5. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что диаметр малого основания верхней тарели меньше, чем диаметр основания загрузочного бункера для обеспечения распределения шихты по тарелям при загрузке.
6. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что загрузочный бункер по оси у нижнего основания снабжен конусом.
7. Вакуумный аппарат по пп. 1 и 6, отличающийся тем, что основание загрузочного бункера снабжено затвором с механизмом закрытия и фиксации герметизации.
8. Вакуумный аппарат по п. 1, отличающийся тем, что подина снабжена сифонным затвором, связанным с каналом перетока и герметичным сборником галлия.
9. Вакуумный аппарат по пп. 1 и 8, отличающийся тем, что между сифонным затвором в подине соединен с герметичным сборником через чашу перетока.