СПОСОБ КОМБИНИРОВАННОЙ ВАКУУМНОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

1. Способ комбинированной ионно-плазменной обработки, включающий обработку изделия в плазме, содержащей ионы аргона, проведение диффузионного насыщения изделия в плазме и нанесение на него покрытия, отличающийся тем, что диффузионное насыщение проводят в плазме, дополнительно содержащей ионы компонентов, входящих в состав наносимого покрытия.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что диффузионное насыщение проводят в газоразрядной плазме, содержащей ионы аргона и азота, которую создают с помощью газового плазмогенератора, а ионы компонентов твердого вещества, входящих в состав наносимого покрытия, вводят дополнительно магнетронным распылением мишени-катода.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что нанесение покрытия проводят магнетронным распылением мишени-катода с одновременным ассистирующим воздействием газоразрядной плазмы, формируемой газовым плазмогенератором и содержащей ионы аргона и азота, а переход от диффузионного насыщения к нанесению покрытия осуществляют неразрывно понижением отрицательного потенциала смещения на обрабатываемом изделии.