Способ изготовления оптического волновода с "гребенчатой" структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом с " гребенчатой" структурой и оптическим волокном, и оптический волновод с "гребенчатой" структурой, изготовленный этим способом

1. Способ изготовления оптического волновода (40) с «гребенчатой» структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом (40) с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5), при этом способ содержит следующие этапы, на которых:
- выполняют (100) оптический волновод на поверхности диэлектрической подложки (10), при этом оптический волновод имеет первый конец (А) и второй конец (В), противоположный первому концу (А);
r
r
- вырезают (200) две параллельные выемки (R1, R2), разделенные расстоянием w, на поверхности диэлектрической подложки для получения оптического волновода (40) с «гребенчатой» структурой шириной w, выступающего между двумя выемками (R1, R2),
m
p
p
отличающийся тем, что вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) непрерывно и постепенно изменяется от нулевой глубины на уровне первого конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, до максимальной глубины (H) на заранее определенном расстоянии (I) от первого конца оптического волновода, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50) оптической моды длиной (I) между оптическим волноводом (40) с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5).
2. Способ по п. 1, в котором оптический волновод (20) является планарным волноводом.
3. Способ по п. 2, в котором уменьшение глубины каждой выемки (R1, R2) осуществляют, начиная от первого конца оптического волновода.
4. Способ по п. 1, в котором оптический волновод (20) является микроленточным волноводом.
d
5. Способ по п. 4, в котором уменьшение глубины каждой выемки (R1, R2) осуществляют, начиная с заранее определенного расстояния (I) от первого конца оптического волновода.
6. Способ по любому из пп. 1-5, в котором вырезание является механическим вырезанием.
7. Способ по п. 6, в котором механическое вырезание производят при помощи циркулярной пилы, содержащей по меньшей мере одно лезвие.
8. Способ по п. 7, в котором механическое вырезание производят при помощи лезвия (60) циркулярной пилы.
9. Способ по любому из пп. 7 или 8, в котором лезвие (60) циркулярной пилы
p
постепенно опускают на уровне заранее определенного расстояния (I) от первого конца оптического волновода так, чтобы глубина изменялась по дуге окружности с радиусом, равным радиусу лезвия (60) циркулярной пилы.
10. Способ по п. 9, в котором, как только лезвие (60) циркулярной пилы достигает необходимой глубины выемок (R1, R2), ему сообщают поступательное движение параллельно поверхности диэлектрической подложки (10).
r
11. Способ по п. 7, в котором механическое вырезание производят при помощи двух лезвий циркулярной пилы с одной осью, отстоящих друг от друга на ширину (w) оптического волновода с «гребенчатой» структурой.
12. Способ по любому из пп. 1-5, в котором вырезание осуществляют посредством лазерного травления.
p
d
13. Способ по любому из пп. 1-5, 7, 8, 10, 11, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').
p
d
14. Способ по п. 6, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').
p
d
15. Способ по п. 9, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').
16. Способ по п. 12, в котором вырезание осуществляют так, что глубина каждой выемки (R1, R2) изменяется непрерывно и постепенно от нулевой глубины на уровне
p
d
второго конца оптического волновода и до максимальной глубины на заранее определенном расстоянии (I) от второго конца оптического волновода, выполненного с возможностью приема оптического волокна, при этом изменение глубины каждой выемки (R1, R2) образует вертикальную переходную зону (50') оптической моды длиной (I) между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном (5').
17. Оптический волновод с «гребенчатой» структурой с низкими потерями связи между оптическим волноводом с «гребенчатой» структурой и оптическим волокном, отличающийся тем, что изготовлен способом по любому из пп. 1-16.