СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКАЗАНИЯ О СОСТОЯНИИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА И ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС

1. Способ получения показания о состоянии турбомолекулярного насоса, в котором
с помощью соединенного с турбомолекулярным насосом вибрационного датчика (10) определяют характеристику колебаний,
характеристику колебаний передают на анализирующее устройство (12),
в анализирующем устройстве (12) расположен фильтр (16), прежде всего, интегральная схема частотного фильтра, в котором установлена частота для определения соотнесенной амплитуды колебаний,
в анализирующем устройстве (12) с использованием микропроцессора (22) турбомолекулярного насоса фактическая амплитуда колебаний сравнивается с по меньшей мере одним предельным значением, и
при превышении предельного значения передают сигнал в контрольный орган (30).
2. Способ по п.1, в котором фильтр (16) выполнен с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что передаваемый при превышении предельного значения сигнал передают через устройство (28) для передачи данных.
4. Способ по п.1 или 2, в котором амплитуды колебаний измеряют на нескольких частотах и измеренные амплитуды колебаний объединяют в суммарное значение.
5. Способ по п.4, в котором суммарное значение определяют суммированием отдельных измеренных амплитуд колебаний.
6. Способ по п.4, в котором измеряют несколько частот в критическом частотном диапазоне, который расположен, прежде всего, в диапазоне от 0,3-кратной до 50-кратной частоты вращения турбомолекулярного насоса.
7. Способ по п.1, в котором при выдаче предупредительного сигнала дополнительно учитывают параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды.
8. Способ по п.7, в котором параметры турбомолекулярного насоса и/или условия окружающей среды учитывают при определении предельного значения.
9. Способ по п.7 или 8, в котором определение предельного значения является изменяемым, прежде всего, его автоматически рассчитывают заново.
10. Способ по п.1 или 2, в котором через равномерные промежутки времени в контрольный орган (30) передают контрольный сигнал.
11. Способ по п.1 или 2, в котором при превышении первого предельного значения вырабатывают предупредительный сигнал.
12. Способ по п.11, в котором при превышении второго предельного значения происходит, прежде всего, автоматическое выключение турбомолекулярного насоса.
13. Турбомолекулярный насос для осуществления способа по одному из пп.1-12 с расположенным в корпусе насосным устройством, механически соединенным с подлежащем контролю компонентом турбомолекулярного насоса вибрационным датчиком (10), электрически соединенным с вибрационным датчиком (10) анализирующим устройством (12) для анализа принимаемого вибрационного сигнала в зависимости от сравнительных значений, при этом анализирующее устройство (12) имеет фильтр (16), прежде всего, представляющий собой интегральную схему частотного фильтра, и соединенным с анализирующим устройством (12) устройством (26) вывода для выдачи сигнала при превышении предельного значения.
14. Турбомолекулярный насос по п.13, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет микропроцессор (22) для обработки сигнала, который, предпочтительно, является микропроцессором (22) турбомолекулярного насоса.
15. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что фильтр (16) посредством установки частоты подходит для определения соотнесенной амплитуды колебаний и выполнен, прежде всего, с возможностью последовательной настройки путем установки различных частот.
16. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) определяет амплитуду колебаний для по меньшей мере одной частоты.
17. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет запоминающий элемент (24) для хранения сравнительных значений.
18. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся определяющим устройством для определения параметров турбомолекулярного насоса и/или условий окружающей среды.
19. Турбомолекулярный насос по п.18, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) имеет устройство согласования предельного значения для согласования предельного значения в зависимости от определенных параметров турбомолекулярного насоса и/или определенных условий окружающей среды.
20. Турбомолекулярный насос по п.13 или 14, отличающийся тем, что анализирующее устройство (12) через устройство (28) для дистанционной передачи данных соединено с контрольным органом (30).