МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ВЗРЫВАТЕЛЬ ИЗОХОРИЧЕСКИЙ

Микроэлектромеханический взрыватель изохорический, содержащий микроэлектромеханическую структуру из нанопористой пластины кремния, в порах которой допированы водород и окислитель, отличающийся тем, микроэлектромеханическая структура выполнена из кристаллов одного размера, начиная с верхнего кристалла кремния, с областью пористого кремния, в порах которого находятся водород и твердый окислитель толщиной до 50 мкм, теплопроводящего элемента - монокристаллического кристалла кремния и кремниевого кристалла с областью пористого слоя толщиной не менее 60 мкм, установленных на стеклянной подложке с отверстием в центральной части, закреплена на рамке, встроенной в корпус, внутри которого создан вакуум, при этом в верхней крышке корпуса выполнены отверстия с разным диаметром, в которых вставлены пробки.