АДАПТИВНЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ПОЛЕВОГО ПРИБОРА

Адаптивный датчик на основе чувствительного полевого прибора, содержащий структуру «металл-диэлектрик-полупроводник» с полупроводниковой подложкой и подвижным проводящим электродом на консоли, включающей слои с различными коэффициентами термического расширения, отличающийся тем, что на подложке на расстоянии не более ширины области пространственного заряда от края электрода расположен затвор и р-n переход для ввода электрического сигнала.