СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ СРАВНИТЕЛЬНЫХ ИСПЫТАНИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИВОДОВ

1. Система для сравнительных испытаний тестируемых участков на образце, содержащая:
а. измерительную установку, содержащую предметный столик и по меньшей мере два датчика,
b. причем каждый датчик имеет соединенный с ним набор инструментов, который содержит один или более аппаратных модулей, функционирующих для испытания электрического свойства материала, который сформирован на множестве областей на изолированном участке высокопродуктивным комбинаторным образом,
с. ПК контроллер, соединенный с каждым из указанных датчиков и набором инструментов, соединенным с этим датчиком,
d. причем один из ПК контроллеров выполнен как ведущий ПК контроллер и служит для управления предметным столиком и для синхронизации указанного испытания с остальными ПК контроллерами, а остальные ПК контроллеры выполнены как ведомые ПК контроллеры, и
е. сеть для соединения ПК контроллеров между собой.
2. Система по п.1, в которой каждый датчик и соединенный с ним набор инструментов выполнены с возможностью испытания одного и того же электрического свойства материала.
3. Система по п.1, в которой каждый датчик и соединенный с ним набор инструментов выполнены с возможностью испытания различного электрического свойства материала.
4. Способ сравнительных испытаний тестируемых участков на образце, включающий:
а. формирование материала на множестве областей на изолированном участке высокопродуктивным комбинаторным образом;
b. помещение образца на предметный столик измерительной установки, причем измерительная установка содержит по меньшей мере два датчика, каждый из которых имеет соединенный с ним набор инструментов и ПК контроллер, причем ПК контроллеры объединены в сеть с конфигурацией ведущий/ведомый;
с. использование ведущего ПК контроллера для управления предметным столиком для задания соответствующих координат и обеспечения контакта измерительных наконечников датчиков с образцом на множестве тестируемых участков;
d. использование ведущего ПК контроллера для отсылки сигнала остальным ведомым ПК контроллерам для инициирования электрических испытаний образца;
е. одновременное испытание электрического свойства материала посредством каждого датчика под управлением ПК контроллеров, объединенных в сеть с конфигурацией ведущий/ведомый; и
f. изменение положения предметного столика до другого набора координат для продолжения испытания образца.
5. Способ по п.4, согласно которому каждый датчик и соединенный с ним набор инструментов испытывают одно и то же электрическое свойство материала.
6. Способ по п.4, согласно которому каждый датчик и соединенный с ним набор инструментов испытывают различное электрическое свойство материала.