ГАЗОРАЗРЯДНЫЙ ЛАЗЕР

1. Газоразрядный, в частности эксимерный лазер или лазер на молекулярном фторе, включающий в себя: заполненную газовой смесью лазерную камеру, состоящую, по меньшей мере, частично из керамического материала и имеющую отстоящие друг от друга протяженные первый и второй электроды, определяющие область разряда между ними, с первым электродом, расположенным вблизи или непосредственно на внутренней поверхности лазерной камеры, по меньшей мере, один протяженный блок предыонизации для предыонизации газа между первым и вторым электродами; систему циркуляции газа для обновления газа в области разряда между очередными разрядными импульсами; набор конденсаторов, расположенных вне лазерной камеры и соединенных с первым и вторым электродами через электрические вводы лазерной камеры и газопроницаемые обратные токопроводы, расположенные в лазерной камере по обе стороны электродов; источник питания, подключенный к конденсаторам и предназначенный для их импульсной зарядки до напряжения пробоя, обеспечивающего газовый разряд между первым и вторым электродами для возбуждения газовой смеси лазера, и резонатор для генерации луча лазера, при этом
лазерная камера включает в себя керамическую трубу с двумя торцевыми фланцами, каждый из торцевых фланцев герметизирован с керамической трубой посредством уплотнительной кольцевой прокладки, и два торцевых фланца жестко скреплены между собой посредством протяженной вдоль керамической трубы крепежной системы.
2. Лазер по п.1, в котором кольцевая прокладка, посредством которой торцевой фланец герметизирован с керамической трубой, размещена на наружной поверхности концевой части керамической трубы.
3. Лазер по п.1, в котором каждый торцевой фланец имеет на внутренней стороне круговую нишу, в которой размещен торец керамической трубы, и торцевой фланец близко примыкает к керамической трубе только на ее наружной поверхности в месте установки уплотнительной кольцевой прокладки.
4. Лазер по п.1, в котором наружная поверхность концевой части керамической трубы лазерной камеры имеет форму прямого круглого цилиндра.
5. Лазер по п.1, в котором каждый из двух торцевых фланцев скреплен с одним из двух ответных фланцев, установленных на наружной поверхности концевых частей керамической трубы для сжатия кольцевой прокладки, посредством которой осуществляется герметизация лазерной камеры.
6. Лазер по п.1, в котором керамическая труба лазерной камеры состоит либо из двух, либо из трех керамических модулей с герметичным соединением каждого стыка между керамическими модулями, содержащим, по меньшей мере, одну кольцевую уплотняющую прокладку из галогеностойкого эластомера.
7. Лазер по п.1, в котором керамическая труба лазерной камеры состоит либо из двух, либо из трех керамических модулей с герметичным соединением каждого стыка между керамическими модулями, обеспечиваемым парой скрепленных между собой фланцев, между которыми размещена, по меньшей мере, одна кольцевая прокладка из галогеностойкого эластомера, фланцы выполнены из диэлектрического материала, и каждый диэлектрический фланец установлен на части наружной поверхности одного из керамических модулей, примыкающей к стыку и имеющей форму прямого круглого цилиндра.
8. Лазер по п.1, в котором каждая пара скрепленных между собой диэлектрических фланцев имеет либо плотную, либо скользящую посадку по наружной поверхности керамических модулей, выполняя роль бандажного кольца в области стыка модулей составной керамической трубы лазерной камеры.
9. Лазер по п.1, в котором блок предыонизации содержит систему формирования протяженного однородного скользящего разряда по поверхности диэлектрика.
10. Лазер по п.1, в котором блок предыонизации содержит систему формирования коронного разряда.
11. Лазер по п.1, в котором либо первый электрод, либо второй электрод выполнен частично прозрачным, и блок предыонизации установлен с обратной стороны частично прозрачного электрода.
12. Лазер по п.1, в котором первый электрод и второй электрод выполнены сплошными, и, по меньшей мере, один блок предыонизации установлен сбоку одного из двух указанных электродов.
13. Лазер по п.1, содержащий электрически связанные с блоком предыонизации и одним из электродов вспомогательные конденсаторы, емкость которых многократно меньше емкости конденсаторов.