СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЙ ОДНОФОТОННЫЙ ДЕТЕКТОР ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ РЕФЛЕКТОМЕТРИИ ОПТОВОЛОКОННЫХ ЛИНИЙ

2
2
2
2
Сверхпроводниковый однофотонный детектор (SSPD) состоящий из кремниевой подложки (Si), покрытой слоем оксида кремния (SiO), поверх которого напыляется пленка нитрида ниобия (NbN) с топологией в виде меандра и золотые (Au) контактные площадки, обеспечивающие подачу тока смещения на детектор и съем ВЧ сигнала; отличается наличием оптического четвертьволнового резонатора, полостью которого является слой оксида кремния (SiO) соответствующей толщины, а отражающие поверхности: одна - граница раздела кремния (Si) и оксида кремния (SiO), вторая - граница раздела оксида кремния (SiO) и нитрида ниобия (NbN).