ВЕРТИКАЛЬНАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

Вертикальная печь для термической обработки полупроводниковых пластин, содержащая нагревательную камеру, реактор, кассету, механизм загрузки - выгрузки, держатель, заслонку и разделительную плиту, отличающаяся тем, что она имеет установочное устройство для размещения в реакторе держателя с кассетой.