МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

1. Магнетронное распылительное устройство обращенного типа для получения покрытий, включающее в себя размещенные в вакуумной камере с рабочим газом анод, распыляемый полый катод с расположенными внутри объектами напыления, магнитную систему, создающую над поверхностью катода магнитное поле, дополнительно содержит второй полый катод с магнитной системой, причем первый и второй катоды имеют форму вогнутых полых чаш, обращенных друг к другу и в рабочем состоянии разъемно соединенных горловинами, образуя таким образом замкнутый (непрозрачный) для распыляемого материала объем, в котором обеспечено встречное от первого и второго катодов движение атомов распыляемого материала по траекториям, имеющим большой диапазон углов направленности потока распыляемого материала (от 2° до 90°, осесимметрично) относительно центральной плоскости держателя объектов.
2. Магнетронное распылительное устройство по п. 1, отличающееся тем, что дополнительно содержит второй анод.
3. Магнетронное распылительное устройство по п. 1, отличающееся тем, что на держатель объектов подан управляющий потенциал.
4. Магнетронное распылительное устройство по п. 1, отличающееся тем, что полые катоды выполнены двухкомпонентными, включающими в себя основу (оболочку) из недорогого и легко обрабатываемого материала, на которую нанесен дорогостоящий высокочистый или драгоценный распыляемый материал.
5. Магнетронное распылительное устройство по п. 4, отличающееся тем, что дополнительно содержит как минимум один оптоволоконный щуп, установленный в полом катоде и покрытый тем же материалом, что и распыляемая поверхность катода, фотоприемник, установленный вне катода и соединенный с управляющим устройством, расположенным вне магнетронного распыляющего устройства, выход которого соединен с источником питания магнетронного распылительного устройства.