СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЁНОК ИЗ ТЕРМИЧЕСКИ АКТИВИРОВАННОЙ СМЕСИ ГАЗОВ И РЕАКТОР ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ

1. Способ осаждения алмазных пленок из термически активированной смеси газов, при котором водород и метан активируют с помощью металлического активатора, а осаждение пленки осуществляют на нагретой подложке, отличающийся тем, что водород и метан активируют в металлическом активаторе, представляющем собой два соосных цилиндрических канала, причем нагревают стенку внешнего цилиндрического канала, в пространство между внешним цилиндрическим каналом и корпусом металлического активатора подают аргон, в пространство между стенками внутреннего и внешнего цилиндрических каналов подают водород, а по внутреннему цилиндрическому каналу подают смесь водорода и метана.
2. Реактор для осуществления способа осаждения алмазных пленок из термически активированной смеси газов, содержащий металлический активатор и подложку, расположенные в вакуумной камере, отличающийся тем, что металлический активатор представляет собой два соосных цилиндрических канала, корпус активатора выполнен из меди, а внутренняя поверхность корпуса отполирована.