АГРЕГАТ И СПОСОБ ПЕРЕНОСА РАДИКАЛОВ

1. Система электронно-лучевой литографии, содержащая:
генератор элементарных лучей для генерирования множества электронных элементарных лучей;
устройство управления элементарными лучами, содержащее решетку апертур для управления упомянутым множеством электронных элементарных лучей;
выравнивающую рамку, выполненную с возможностью поддерживать устройство управления элементарными лучами;
рамку, выполненную с возможностью поддерживать выравнивающую рамку;
генератор плазмы для генерации плазмы, причем генератор плазмы содержит камеру, в которой может быть образована плазма,
причем система выполнена с возможностью направлять образовавшиеся в плазме радикалы к решетке апертур, и
при этом камера генератора плазмы встроена в выравнивающую рамку.
2. Система по п. 1, причем рамка выполнена с возможностью поддерживать выравнивающую рамку с помощью демпфирующих вибрацию опор.
3. Система по любому из пп. 1-2, причем генератор плазмы расположен сбоку устройства управления элементарными лучами.
4. Система по любому из пп. 1-3, причем генератор плазмы содержит выпуск, и причем этот выпуск расположен сбоку устройства управления элементарными лучами.
5. Система по п. 4, причем выпуск выровнен по горизонтали с устройством управления элементарными лучами.
6. Система по любому из пп. 1-5, причем выравнивающая рамка выполнена с возможностью поддерживать один или более удаляемых со скольжением модулей устройства управления элементарными лучами.
7. Система по любому из пп. 1-6, дополнительно содержащая вакуумную камеру, содержащую модули устройства управления элементарными лучами.
8. Система по любому из пп. 1-7, причем камера генератора плазмы содержит впуск камеры плазмы для приема вводимого газа и один или более выпусков камеры плазмы для удаления по меньшей мере одного из плазмы и созданных в ней радикалов, причем генератор плазмы дополнительно содержит один или более выпусков генератора плазмы в проточном соединении с упомянутым одним или более выпусками камеры плазмы.
9. Система по п. 8, причем выпуск генератора плазмы соединен с выпуском камеры плазмы с помощью воронки, причем воронка встроена в выравнивающую рамку.
10. Система по п. 8 или 9, дополнительно содержащая полое направляющее тело для направления образовавшихся в плазме радикалов к решетке апертур.
11. Система по п. 10, причем полое направляющее тело устанавливает проточное соединение между выпуском генератора плазмы и устройством управления элементарными лучами.
12. Система по п. 10 или 11, причем устройство управления элементарными лучами установлено на удаляемой пластине модуля, и причем полое направляющее тело установлено на удаляемой пластине модуля.
13. Система по любому из пп. 10-12, дополнительно содержащая кожух для размещения поверх соединения между полым направляющим телом и удлиненным участком выпуска генератора плазмы, причем полое направляющее тело выполнено разъемно присоединяемым к удлиненному участку выпуска генератора плазмы посредством упомянутого кожуха.
14. Система по п. 13, причем кожух выполнен помещаемым со скольжением поверх местоположения соединения.