ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

Изобретение относится к напылительной технике и технологии, в частности к металлизации в вакууме и может быть использовано для других видов нанесения покрытий.
Известна вакуумная установка для нанесения покрытий в вакууме, содержащая вакуумную камеру, соединенную со средствами откачки, систему распыления и устройство для размещения изделий. [1]
Недостатком указанной установки является необходимость жесткого крепления изделий или кассет с изделиями, что существенно повышает трудоемкость процесса, серьезно усложняет процесс перехода от одного изделия к другому и ограничивает круг изделий по размеру и форме. Все это снижает производительность установки и увеличивает себестоимость продукции.
Наиболее близкой по технической сущности является устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее барабан с кассетами, на которые крепятся обрабатываемые изделия и испарители, размещенные внутри и снаружи барабана. [2]
Недостатком данного устройства является низкая производительность вследствие ограничения по форме и размерам обрабатываемыз изделий, сложность перезагрузки и перехода на другой тип изделия.
Задачей изобретения является увеличение производительности и универсальности за счет снижения трудоемкости при перезагрузке камеры.
Поставленная задача достигается тем, что в вакуумной установке для нанесения покрытий, содержащей вакуумную камеру, системы распыления или ионно-плазменной обработки, горизонтальный барабан содержит устройство для размещения изделий с противовесом, обеспечивающим постоянное вертикальное расположение устройства при вращении барабана.
На рис. 1 изображена вакуумная установка для нанесения покрытий.
На рис. 2 изображено устройство для размещения изделий на барабане.
На рис. 3 изображены различные виды исполнения устройства для размещения изделий на барабане.
Вакуумная установка для нанесения покрытий (рис. 1) содержит вакуумную камеру 1, поворотный барабан 2, распылительные мишени 3, устройства для размещения изделий на барабане 4 с противовесом 5.
Устройство для размещения изделий на барабане (рис. 2) состоит из двух стоек 7, соединенных стяжками 6 и 8, противовесов 5 и опорных осей 9, на которое устройство опирается во втулки барабана.
В вакуумной камере 1 на горизонтальном барабане 2 устанавливают устройство для размещения изделий 4 с противовесом 5, которое обеспечивает размещение изделий или приспособлений с изделиями. Камера содержит также систему распыления 3, ионный источник или электроды ионной очистки. После откачки и создания необходимых параметров в камере включается вращение барабана и проводится технологический процесс. При этом узлы с деталями и приспособлениями находятся все время в вертикальном положении. Это обеспечивается за счет противовесов. Вес противовесов подбирается экспериментально, так чтобы он уравновешивал вес изделий.
Такое устройство легко устанавливается на барабане в элементы традиционно используемые на барабанах с планетарным вращением.
Устройство пригодно только для горизонтальных барабанов.
Устройство легко снимается и можно использовать традиционные схемы крепления изделий.
Закрепление изделий и подложкодержателей с изделиями очень просто и одинаково для большого числа различных изделий за счет чего увеличивается производительность и универсальность.
Почти в два раза увеличивается допустимый размер обрабатываемого изделия, типа кронштейна люстры или бра, при этом также возрастает объем загрузки, а, следовательно, увеличивается производительность.
Постоянное вертикальное расположение узла обеспечивает простоту загрузки и повышает допустимый размер напыляемых изделий и объем загрузки за цикл во многих случаях вдвое.
Камера, барабан, система распыления или обработки - обычные, традиционные.
Установка устройства для размещения изделий в вакуумную установку не требует каких-либо существенных переделок.
Устройство эффективно при процессе ионно-плазменной обработки и при напылении изделий, не требующих высокой равномерности толщины покрытий - в основном защитно-декоративных покрытий.
На рис. 3 показаны различные виды исполнения устройства, которые выбираются в зависимости от конкретного набора изделий и конструкции камеры.
[1] Каталог фирмы "Leybold-Heraeus", установка модели А 650 В 2 К, 1978, с.4.
[2] Авт. св-во №796.247 С 23 С 13/108