СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ МОНОСИЛАНА

1. Способ глубокой очистки моносилана, загрязненного углеводородами и другими примесями, включающий первую стадию ректификации силана для удаления углеводородов, кипящих выше силана, последующую очистку силана от этилена на молекулярных ситах путем превращения этилена в этилсилан, вторую стадию ректификации силана для удаления этилсилана и других углеводородов, кипящих ниже этилсилана, отличающийся тем, что после первой стадии ректификации проводят очистку силана от этилена на активном оксиде алюминия или на модифицированном оксиде алюминия, превращая его количественно в этилсилан и/или полимерные соединения, а после второй стадии ректификации для более глубокой очистки силан пропускают через наноразмерный кремнийорганический сорбент.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для полноты превращения этилена в этилсилан за счет повышенных каталитических свойств сорбента применяют окись алюминия, на которую нанесена платина, палладий или рутений.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью образования полимерных соединений, используют активный оксид алюминия, модифицированный титаном или цирконием.