НАСОС ТИПА ВОДОСТРУЙНОГО НАСОСА, А ТАКЖЕ СПОСОБ ЕГО РАБОТЫ

1. Насос (2) типа водоструйного насоса для создания высокого вакуума, в частности сверхвысокого вакуума, содержащий по меньшей мере одну выполненную с возможностью прохождения потока текучей среды (F) в направлении (s) потока камеру (11), при этом камера (11) содержит:
- по меньшей мере один первый подвод (3) для текучей среды (F), который выступает в камеру (11) и заканчивается сопловым отверстием (3а),
- по меньшей мере один отвод (5) для текучей среды (F), который расположен при рассматривании в направлении потока (s) противоположно сопловому отверстию (3а), и
- по меньшей мере один второй подвод (4), который входит в камеру (11) и выполнен с возможностью соединения с подлежащим откачиванию пространством (10),
отличающийся тем, что в качестве текучей среды (F) предусмотрена ионная текучая среда.
2. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что предусмотрены средства для подачи ионной текучей среды (F) с заданной скоростью потока и/или заданным давлением в первый подвод (3).
3. Насос (2) по п.2, отличающийся тем, что в качестве подающих средств предусмотрен по меньшей мере один нагнетательный насос (6).
4. Насос (2) по п.3, отличающийся тем, что предусмотрено соединение с замкнутым циркуляционным контуром (9) текучей среды, который содержит нагнетательный насос (6) для создания давления текучей среды по меньшей мере в одном первом подводе (3) текучей среды и который содержит накопительный резервуар (7) с обратным клапаном (8) для отвода газов, который соединен по меньшей мере с одним отводом (5) текучей среды и нагнетательным насосом (6).
5. Насос (2) по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) является жидкостью или смесью жидкости и газа.
6. Насос (2) по п.5, отличающийся тем, что давление в подлежащем откачиванию пространстве (10) зависит от применяемой ионной жидкости, в частности от давления пара ионной жидкости.
7. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что ионная текучая среда (F) содержит сульфатные, гидросульфатные, алкилсульфатные, тиоцианатные, фосфатные, боратные, тетракисгидросульфатоборатные или силикатные ионы.
8. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что подлежащее откачиванию пространство является камерой (10) сверхвысокого вакуума для газового обмена между по меньшей мере одним подводом (4) и камерой (10) сверхвысокого вакуума.
-7
-12
9. Насос (2) по п.8, отличающийся тем, что в камере (10) создается сверхвысокий вакуум, который лежит в диапазоне давления от 10 до 10 мбар.
10. Насос (2) по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один первый подвод (3) и/или по меньшей мере один второй подвод (4) и/или по меньшей мере один отвод (5) текучей среды выполнены в виде по меньшей мере одной соответствующей трубы (9а или соответственно 12, или соответственно 9b).
11. Способ работы насоса (2) по любому из пп.1-10, содержащий стадии:
а) создания проходящей через камеру (11) насоса (2) струи (s) текучей среды (F),
b) отсасывания газа в камере и/или в камеру (11) с помощью струи текучей среды,
с) отвода газа с помощью струи текучей среды из камеры (11).
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что стадии а)-с)
следуют в последовательности а)-с) одновременно непрерывно или последовательно в виде импульсов.
13. Способ по любому из пп.11 или 12, отличающийся тем, что используется эффект Вентури.