ГЕРМЕТИЧНАЯ ПАНЕЛЬ И СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА ПЛАЗМЕННОЙ ИНДИКАТОРНОЙ ПАНЕЛИ
TIGHT PANEL AND METHOD FOR PRODUCTION OF PLASMA INDICATOR PANEL

Область техники
[0001] Настоящее изобретение относится к герметичной панели и способу производства плазменной индикаторной панели.
ПРЕДШЕСТВУЮЩИЙ УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
[0002] Плазменная индикаторная панель снабжается передней подложкой, на которой формируются поддерживающий электрод и сканирующий электрод, и задней подложкой, на которой формируются адресный электрод и флуоресцентное вещество. Обе эти подложки скрепляются герметизирующим материалом, расположенным по периферийной кромке, и между подложками герметизируется (запаивается) газ разряда («газ разрядного промежутка»).
Когда между этими электродами прикладывается напряжение, газ разряда превращается в плазму, испуская ультрафиолетовое излучение. Ультрафиолетовое излучение заставляют падать на флуоресцентное вещество, тем самым возбуждая это флуоресцентное вещество излучать видимый свет.
[0003] Традиционно в качестве герметизирующего материала для обеих подложек использовалось легкоплавкое стекло. Однако в последние годы была предложена технология, в которой применяются смолистые материалы (см., например, патентный документ 1). Применение смолистых материалов позволяет использовать в герметичных панелях более широкие пределы условий нагревания и охлаждения, таким образом делая возможным значительное снижение количества времени, необходимого для производства панелей.
Патентный документ 1: нерассмотренная заявка на патент Японии, первая публикация №2002-75197
РАСКРЫТИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Проблема, решаемая изобретением
[0004] Однако, когда в качестве герметизирующего материала используется смолистый материал, имеется опасение, что из смолистого материала в панель может выделяться примесный газ (например, вода или углекислый газ). Кроме того, когда в качестве герметизирующего материала используется смесь легкоплавкого стекла со смолистым материалом в качестве связующего, имеется опасение, что примесный газ может выделиться в панель во время герметизации панели. Более того, имеется опасение, что после того как панель герметизирована, примесный газ может проникнуть в панель через герметизирующий материал снаружи. К тому же, когда ультрафиолетовое излучение, генерируемое внутри панели, заставляют падать на герметизирующий материал, смолистый материал может разлагаться с выделением в панель примесного газа (газа на основе CH). Таким образом, имеется проблема, состоящая в том, что чистота герметизированного внутри панели газа разряда («газа разрядного промежутка») снижается этими примесными газами, тем самым повышая напряжение разряда. В связи с повышением напряжения разряда увеличивается потребление электроэнергии плазменной индикаторной панелью.
Кроме того, примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала в панель во время герметизации панели, адсорбируется в пленку, образованную на поверхности подложки. В силу этого коэффициент вторичной электронной эмиссии у поверхности подложки снижается, повышая напряжения разряда. Когда к подложкам в течение заранее заданного времени прикладывается напряжение (первоначальное старение), примесный газ десорбируется с поверхностей подложек, что стабилизирует напряжение разряда. Однако, поскольку десорбированный примесный газ остается между подложками, приводя к понижению скорости десорбирования примесного газа, необходимо выполнять продолжительное первоначальное старение.
[0005] Настоящее изобретение было создано для решения вышеупомянутой проблемы и имеет своей целью предоставление герметичной панели, способной подавлять повышение напряжения разряда, и способа производства плазменной индикаторной панели.
Средства для решения проблемы
[0006] Чтобы достичь описанной выше цели, герметичная панель согласно настоящему изобретению представляет собой герметичную панель, которая включает в себя: герметизирующий материал, который содержит смолистый материал и размещен вдоль всей периферии на участке между парой подложек; и газ разряда, который герметизирован между парой подложек герметизирующим материалом, причем вдоль внутренней периферии герметизирующего материала непрерывно или прерывисто сформирован адсорбционный материал, который адсорбирует примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала, и примесный газ, проходящий через герметизирующий материал.
Она может быть устроена так, что герметизирующим материалом является смесь стеклянного материала со смолистым материалом в качестве связующего.
Согласно вышеприведенному строению примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала, и примесный газ, который проходит через герметизирующий материал, могут адсорбироваться адсорбционным материалом, что позволяет подавить снижение чистоты газа разряда, герметизированного между парой подложек, а также позволяет помешать примесному газу адсорбироваться на поверхности подложки. Следовательно, возможно подавить повышение напряжения разряда.
К тому же возможно сократить количество времени, необходимого для проведения первоначального старения, или вообще исключить необходимость в проведении первоначального старения.
[0007] Кроме того, она может быть устроена так, что адсорбционные материалы предусмотрены на множестве периферий концентрическим образом.
Согласно вышеприведенному строению примесный газ может быть надежно адсорбирован.
Кроме того, она может быть устроена так, что некоторые из адсорбционных материалов среди адсорбционных материалов, предусмотренных на множестве периферий, наложены на одну подложку из пары подложек; а остальные адсорбционные материалы среди адсорбционных материалов, установленных на множестве периферий, наложены на другую подложку из пары подложек.
Согласно вышеприведенному строению примесный газ проникает по более длинному каналу, и при этом вдоль этого канала также расположены адсорбционные материалы, что позволяет улучшить эффективность адсорбции примесного газа.
[0008] Она может быть устроена так, что вдоль внутренней периферии герметизирующего материала непрерывно сформирован защищающий от ультрафиолета экран, который препятствует попаданию на герметизирующий материал ультрафиолетового излучения, генерируемого внутри герметичной панели.
Согласно вышеприведенному строению возможно предотвратить попадание на герметизирующий материал ультрафиолетового излучения, генерируемого внутри герметичной панели. Посредством этого возможно подавить выделение примесного газа из герметизирующего материала и подавить повышение напряжения разряда.
[0009] Она может быть устроена так, что передний конец защищающего от ультрафиолета экрана, установленного прямо на одну подложку из пары подложек, находится в контакте с другой подложкой из пары подложек.
Согласно вышеприведенному строению возможно блокировать примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала, и примесный газ, проникающий через герметизирующий материал, защищающим от ультрафиолета экраном и тем самым подавить снижение чистоты газа разряда.
[0010] Желательно, чтобы адсорбционные материалы были расположены между герметизирующим материалом и защищающим от ультрафиолета экраном.
Согласно вышеприведенному строению адсорбционные материалы могут использоваться для надежного адсорбирования примесного газа, блокированного защищающим от ультрафиолета экраном.
[0011] Кроме того, желательно, чтобы герметичная панель являлась плазменной индикаторной панелью; и защищающий от ультрафиолета экран был выполнен из того же материала, что и перегородка, помещенная между пикселями плазменной индикаторной панели.
[0012] Согласно вышеприведенному строению возможно формировать защищающий от ультрафиолета экран одновременно с перегородкой, тем самым упрощая стадии производства с уменьшением себестоимости производства.
С другой стороны, способ производства плазменной индикаторной панели согласно настоящему изобретению представляет собой способ производства плазменной индикаторной панели, которую снабжают: герметизирующим материалом, содержащим смолистый материал, расположенный вдоль всей периферии в паре подложек; и газом разряда, заполняющим промежуток между парой подложек, герметизируемых герметизирующим материалом, причем способ включает в себя: формирование защищающего от ультрафиолета экрана для предотвращения попадания на герметизирующий материал ультрафиолетового излучения, генерируемого внутри плазменной индикаторной панели, одновременно с перегородкой, помещаемой между пикселями плазменной индикаторной панели.
Перегородка плазменной индикаторной панели служит для предотвращения ошибочного разряда между соседними пикселями и формируется с высотой, равной промежутку между парой подложек. Перегородку формируют в то же время, что и защищающий от ультрафиолета экран, что позволяет сформировать защищающий от ультрафиолета экран с высотой, которая равна промежутку между парой подложек.
В силу этого возможно надежно препятствовать попаданию на герметизирующий материал ультрафиолетового излучения, генерируемого внутри плазменной индикаторной панели. Поэтому возможно подавить выделение примесного газа из герметизирующего материала, а также подавить повышение напряжения разряда.
Полезные результаты изобретения
[0013] В соответствии с герметичной панелью и способом производства плазменной индикаторной панели по настоящему изобретению возможно подавить снижение чистоты газа разряда, герметизированного между парой подложек. Кроме того, можно помешать примесному газу адсорбироваться на поверхности подложки. Следовательно, возможно подавить повышение напряжения разряда. К тому же, возможно сократить время старения или вообще исключить первоначальное старение.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
[0014] Фиг.1 - вид в перспективе в разобранном состоянии трехэлектродной плазменной индикаторной панели с возбуждением переменным током.
Фиг.2 - вид в разрезе, показывающий часть периферийной кромки плазменной индикаторной панели.
Фиг.3А - вид сверху плазменной индикаторной панели, оснащенной газопоглотителем.
Фиг.3В - вид сверху плазменной индикаторной панели, оснащенной газопоглотителем.
Фиг.3С - вид сверху плазменной индикаторной панели, оснащенной газопоглотителем.
Фиг.4А - поясняющий вид плазменной индикаторной панели, оснащенной множеством газопоглотителей.
Фиг.4В - поясняющий вид плазменной индикаторной панели, оснащенной множеством газопоглотителей.
Фиг.4С - поясняющий вид плазменной индикаторной панели, оснащенной множеством газопоглотителей.
Фиг.5 - блок-схема последовательности операций, охватывающая способ производства плазменной индикаторной панели.
Фиг.6А - график, показывающий результаты испытания на влагопоглощение плазменной индикаторной панели.
Фиг.6В - график, показывающий результаты испытания на влагопоглощение плазменной индикаторной панели.
Фиг.7А - график, показывающий результаты испытания на старение плазменной индикаторной панели.
Фиг.7В - график, показывающий результаты испытания на старение плазменной индикаторной панели.
Описание ссылочных обозначений
[0015] 1: задняя подложка
2: передняя подложка
15: перегородка
16: разрядная камера
20: герметизирующий материал
22: газопоглотитель (адсорбционный материал)
24: защищающий от ультрафиолета экран
100: плазменная индикаторная панель (герметичная панель)
ЛУЧШИЙ ВАРИАНТ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0016] Ниже со ссылкой на чертежи будут пояснены варианты реализации согласно настоящему изобретению. Отметим, что на отдельных чертежах, на которые ссылаются при последующем пояснении, масштаб каждой детали надлежащим образом изменен с тем, чтобы ее можно было вычертить с распознаваемым размером.
В данном описании "внутренняя сторона" подложки должна считаться поверхностью, обращенной к поверхности другой подложки, которая образует пару с этой подложкой.
Плазменная индикаторная панель
Фиг.1 представляет собой вид в перспективе в разобранном состоянии трехэлектродной плазменной индикаторной панели с возбуждением переменным током. Плазменная индикаторная панель 100 (в дальнейшем используется сокращение "PDP" от англ. plasma display panel) снабжена задней подложкой 1 и передней подложкой 2, которые расположены так, чтобы быть противоположными друг другу, и множеством разрядных камер 16, которые образуются между подложками 1 и 2.
[0017] На внутренней стороне задней подложки 1 полосчатым образом с заранее заданными интервалами сформированы адресные электроды 11. Диэлектрический слой 19 сформирован так, чтобы накрывать адресные электроды 11. Далее, параллельно адресным электродам 11 на верхней стороне диэлектрического слоя 19 между соседними адресными электродами 11 сформирована перегородка (ребро) 15. Более того, на верхней стороне диэлектрического слоя 19 между соседними перегородками 15 и на боковой стороне перегородки 15 помещено флуоресцентное вещество 17. Флуоресцентное вещество 17 испускает любое из красного, зеленого и синего свечения.
[0018] С другой стороны, на внутренней стороне передней подложки 2 с заранее заданными интервалами полосчатым образом сформирован дисплейный электрод 12 (сканирующий электрод 12а и поддерживающий электрод 12b). Дисплейный электрод 12 выполнен из прозрачного проводящего материала, такого как ITO, и расположен в направлении, перпендикулярном адресному электроду 11.
Точка пересечения адресного электрода 11 и дисплейного электрода 12 называется пикселем PDP 100. Далее, диэлектрический слой 13 сформирован так, чтобы накрывать дисплейный электрод 12, а защитная пленка 14 сформирована так, чтобы накрывать диэлектрический слой 13. Эта защитная пленка 14 защищает диэлектрический слой 13 от положительных ионов, генерируемых при превращении в плазму газа разряда. Эта пленка выполнена из оксидов щелочноземельных металлов, таких как MgO и SrO.
[0019] Описанная выше задняя подложка 1 и передняя подложка 2 сложены вместе, образуя разрядные камеры 16 между соседними перегородками 15. Внутри разрядных камер 16 герметизирован газ разряда, такой как газовая смесь из Ne и Xe.
В этом случае между адресным электродом 11 и сканирующим электродом 12а прикладывается постоянное напряжение, чтобы вызвать противоположный разряд. Далее, между сканирующим электродом 12а и поддерживающим электродом 12b прикладывается переменное напряжение, чтобы вызвать поверхностный разряд. Тогда газ разряда, герметизированный внутри разрядных камер 16, превращается в плазму, при этом испуская вакуумное ультрафиолетовое излучение. Флуоресцентное вещество 17 возбуждается этим ультрафиолетовым излучением, испуская видимый свет с передней подложки 2.
Герметизирующий материал
[0020] Фиг.2 представляет собой вид в разрезе, показывающий часть периферийной кромки плазменной индикаторной панели. По периферийной кромке задней подложки 1 сформированы выступы 21 в форме бордюра. Между передней торцевой стороной выступа 21 и передней подложкой 2 расположен герметизирующий материал 20, содержащий смолистый материал, посредством чего обе подложки 1 и 2 герметизируются. В качестве герметизирующего материала 20 применяются, например, термореактивные смолы, такие как эпоксидная смола и акриловая смола, или отверждаемые ультрафиолетовым излучением смолы. Как описано выше, когда применяется герметизирующий материал 20, содержащий смолистый материал, условия нагревания и охлаждения во время герметизации панели значительно смягчаются по сравнению со случаем, когда применяется традиционный герметизирующий материал, состоящий из легкоплавкого стекла. Таким образом, можно значительно сократить количество времени, необходимого для производства панели. Отметим, что может применяться герметизирующий материал, который получается путем смешивания легкоплавкого стекла со смолой в качестве связующего.
Адсорбционный материал
[0021] Между тем во время герметизации подложек 1 и 2 из герметизирующего материала 20, содержащего смолистый материал, выделяются примесные газы. В дополнение к H
O и CO
, из герметизирующего материала 20, который сделан из эпоксидной смолы или из акриловой смолы, выделяются такие газы, как CO, H
и газы на основе CH. Далее, в случае герметизирующего материала, полученного путем смешивания легкоплавкого стекла с акриловой смолой, из легкоплавкого стекла выделяются газы CO
, O
и другие, в то время как из акриловой смолы выделяются газы H
O, CO
, CO и другие. Кроме того, имеется опасение, что примесные газы, такие как H
O, могут проникнуть в PDP извне через герметизирующий материал 20 после герметизации.
2
2
2
2
2
2
2
2
[0022] Поэтому вдоль внутренней периферии герметизирующего материала 20 предусмотрен газопоглотитель 22 (адсорбционный материал), который адсорбирует примесный газ. Газопоглотитель 22 адсорбирует воду (H
O), газообразный кислород (O
), газы на основе углерода, такие как CO и CO
, и другие газы, такие как углеводородный газ на основе СН. В частности, в качестве газопоглотителя 22 может применяться SrO, сформированный в виде листа с приданием толщины в примерно 150 мкм. Кроме того, в качестве газопоглотителя 22 могут применяться активные металлы, такие как Ba, Ca или Sr, сформированные с приданием толщины от 5 до 10 мкм. В качестве газопоглотителя 22 также может применяться материал на основе Zr-V-Fe-Ti.
2
2
2
[0023] Фиг.3А-3С представляют собой виды сверху, показывающие плазменную индикаторную панель, оснащенную газопоглотителем.
Как показано на фиг.3А, желательно, чтобы газопоглотитель 22 был сформирован непрерывно вдоль всей внутренней периферии (по периметру) герметизирующего материала 20. Как показано на фиг.3В и фиг.3С, он может быть сформирован прерывисто вдоль всей внутренней периферии (по периметру) герметизирующего материала 20.
Отметим, что, как показано на фиг.2, газопоглотитель 22 может быть расположен на поверхности задней подложки 1 на внутренней стороне герметизирующего материала 20 или может быть расположен на поверхности передней подложки 2. Далее, как показано на фиг.2, толщина газопоглотителя 22 может быть меньшей, чем промежуток между обеими подложками 1 и 2, или может быть равна толщине промежутка между подложками 1 и 2.
[0024] Фиг.4А и фиг.4В представляют собой виды сверху, показывающие плазменную индикаторную панель, оснащенную множеством газопоглотителей. Как показано на фиг.4А, множество газопоглотителей 22а и 22b могут быть расположены вдоль внутренней периферии герметизирующего материала 20 концентрическим образом. Множество газопоглотителей 22а и 22b могут быть сформированы непрерывно, как показано на фиг.4А, или они могут быть сформированы прерывисто, как показано на фиг.4В. Кроме того, среди этого множества газопоглотителей некоторые из них сформированы непрерывно, тогда как остальные газопоглотители могут быть сформированы прерывисто. Как описано выше, за счет размещения множества газопоглотителей 22а и 22b концентрическим образом можно надежно адсорбировать примесный газ.
[0025] Фиг.4С представляет собой вид в разрезе, выполненный по линии А-А на фиг.4А. Как показано на фиг.4С, среди множества газопоглотителей 22a и 22b некоторые из газопоглотителей 22а могут быть наложены на заднюю подложку 1, тогда как остальные газопоглотители 22b могут быть наложены на переднюю подложку 2. В силу этого примесный газ проникает по более длинному каналу, и вдоль этого канала также расположены газопоглотители 22а и 22b, что позволяет улучшить эффективность адсорбции примесного газа. Отметим, что все множество газопоглотителей 22а и 22b может накладываться на заднюю подложку 1, или же все они могут накладываться на переднюю подложку 2.
Защищающий от ультрафиолета экран
[0026] Возвращаясь к фиг.2, защищающий от ультрафиолета экран 24 непрерывно устанавливается вдоль внутренней периферии описанного выше газопоглотителя 22. Защищающий от ультрафиолета экран 24 предотвращает попадание на герметизирующий материал 20 ультрафиолетового излучения, генерируемого в разрядной камере 16, и сформирован с приданием ширины примерно 1 мм поглощающим ультрафиолет материалом, таким как PbO·B
O
·SiO
. Как показано на фиг.2, защищающий от ультрафиолета экран 24 может устанавливаться прямо на заднюю подложку 1 или может устанавливаться прямо на переднюю подложку 2.
2
3
2
[0027] Высота защищающего от ультрафиолета экрана 24 выполняется равной промежутку между парой подложек 1 и 2. Таким образом, передний конец защищающего от ультрафиолета экрана 24, установленного прямо на заднюю подложку 1, плотно прикладывается (прилегает) к передней подложке 2. Согласно вышеприведенному строению защищающим от ультрафиолета экраном можно блокировать примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала 20, и примесный газ, проникающий через герметизирующий материал 20. Желательно, чтобы вышеупомянутый газопоглотитель 22 располагался между герметизирующим материалом 20 и защищающим от ультрафиолета экраном 24.
Согласно вышеприведенному строению примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала 20, может блокироваться защищающим от ультрафиолета экраном 24 и надежно адсорбироваться газопоглотителем 22.
[0028] Желательно, чтобы защищающий от ультрафиолета экран 24 был выполнен из того же поглощающего ультрафиолет материала, что и перегородка 15, и установлен прямо на заднюю подложку 1, на которой установлена перегородка 15. В силу этого, как будет описано позже, защищающий от ультрафиолета экран 24 формируется одновременно с перегородкой 15, что позволяет упростить стадии производства и снизить себестоимость производства.
Между тем перегородка 15 PDP предотвращает ошибочный разряд между соседними разрядными камерами 16 и выполнена имеющей высоту, равную промежутку между задней подложкой 1 и передней подложкой 2. При формировании перегородки 15 одновременно с защищающим от ультрафиолета экраном 24 этот защищающий от ультрафиолета экран 24 может быть сформирован имеющим высоту, равную промежутку между обеими подложками 1 и 2. В силу этого может быть надежно предотвращено попадание ультрафиолетового излучения, генерируемого в разрядной камере 16, на герметизирующий материал 20.
Способ производства плазменной индикаторной панели
[0029] Далее будет объясняться способ производства плазменной индикаторной панели согласно данному варианту реализации со ссылкой на фиг.2 и фиг.5. Фиг.5 представляет собой блок-схему последовательности операций, показывающую способ производства плазменной индикаторной панели согласно данному варианту реализации.
Сначала формируют дисплейный электрод 12 и диэлектрический слой 13 на внутренней стороне передней подложки 2, показанной на фиг.2 (стадия 32). Далее на внутренней стороне задней подложки 1 формируют адресный электрод 11 и диэлектрический слой 19 (стадия 42).
[0030] Затем одновременно формируют перегородку 15 и защищающий от ультрафиолета экран 24 на поверхности диэлектрического слоя 19 задней подложки 1 (стадия 44). В частности, сначала формируют пленку поглощающего ультрафиолет материала на внутренней стороне задней подложки 1. Точнее говоря, поглощающий ультрафиолет материал наносят в виде пасты, придавая толщину примерно 200 мкм, печатным способом или т.п. и высушивают с образованием пленки. Затем на поверхность этой пленки накладывают сухой пленочный резист (DFR). Потом DFR экспонируют и проявляют с получением шаблона в соответствии с конфигурациями перегородки 15 и защищающего от ультрафиолета экрана 24. Потом выполняют пескоструйную обработку с использованием шаблона DFR в качестве маски, посредством этого переводя шаблон на пленку в соответствии с конфигурацией перегородки 15 и защищающего от ультрафиолета экрана 24. Затем DFR отслаивают и удаляют. Заднюю подложку 1 кладут в сушильную печь для обжига перегородки 15 и защищающего от ультрафиолета экрана 24. Следовательно, перегородка 15 и защищающий от ультрафиолета экран 24 формируются на внутренней стороне задней подложки 1.
[0031] В качестве другого способа их одновременного формирования существует способ, в котором перед тем, как формируют адресный электрод 11 и диэлектрический слой 19, на внутреннюю сторону задней подложки 1 накладывают DFR. Затем DFR экспонируют и проявляют с получением шаблона в соответствии с конфигурациями перегородки 15 и защищающего от ультрафиолета экрана 24. Потом выполняют пескоструйную обработку с использованием шаблона DFR в качестве маски, посредством этого заглубляясь в заднюю подложку 1, состоящую из поглощающего ультрафиолет материала, такого как стекло, на глубину примерно 150 мкм. Затем DFR отслаивают и удаляют. Следовательно, перегородку 15 и защищающий от ультрафиолета экран 24 формируют непосредственно на внутренней стороне задней подложки 1. После этого формируют адресный электрод 11 и остальные. Отметим, что можно сформировать перегородку 15 и защищающий от ультрафиолета экран 24 одновременно с помощью способа, отличного от описанного выше способа.
Затем внутреннюю сторону соседних перегородок покрывают флуоресцентным веществом 17.
[0032] Потом герметизирующий материал 20 и газопоглотитель 22 размещают вдоль всей периферии задней подложки 1 (стадия 46). Герметизирующий материал 20 размещают путем нанесения герметизирующего материала в виде пасты. Герметизирующий материал наносят способом выброса капель, таким как распылительный способ и струйный способ, либо печатным способом. Кроме того, газопоглотитель 22 размещают путем наложения листа материала из SrO, имеющего ширину примерно 3-10 мм и толщину примерно 150 мкм. Лист материала из SrO может быть сформирован с помощью процедур, при которых порошок SrO помещают на пресс-форму, формуют под давлением 200-400 кгс/см
и затем обжигают при примерно 1200°C в течение примерно 30 минут в атмосфере N
.
2
2
[0033] Затем переднюю подложку 2 и заднюю подложку 1 вводят в вакуумное комплексное обрабатывающее оборудование 50 для проведения следующих стадий вплоть до стадии герметизации без подвергания подложек 1 и 2 воздействию воздуха.
Сначала заднюю подложку 1 нагревают в вакууме, посредством этого выполняя дегазацию герметизирующего материала 20, содержащего смолистый материал, и откачку (стадия 48). При этом нагреве герметизирующий материал 20 может быть дегазирован, а газопоглотитель 22 может быть активирован. Далее, переднюю подложку 2 нагревают в вакууме, посредством этого выполняя дегазацию диэлектрического слоя 13 и т.п. (стадия 34). Затем на внутренней стороне передней подложки 2 формируют защитную пленку 14 с помощью электронно-лучевого (ЕВ) осаждения из газовой фазы или т.п. (стадия 36).
[0034] В последние годы, для того чтобы снизить потребление электроэнергии PDP, в качестве компонента защитной пленки 14 вместо традиционного материала MgO был изучен материал на основе SrO, такой как (SrCa)O. Материал на основе SrO обладает намного более высокой гигроскопичностью, чем MgO, и имеет ту особенность, что его цвет меняется при поглощении влаги. В этой связи, вакуумное комплексное обрабатывающее оборудование 50 выполняет стадии от стадии дегазации подложек 1 и 2 до стадии герметизации подложек 1 и 2 через стадию формирования защитной пленки 14, что позволяет предотвратить изменение цвета и повышение напряжения разряда, происходящие в результате влагопоглощения защитной пленки 14.
[0035] Затем обе подложки 1 и 2 герметизируют (стадия 52). Точнее говоря, эти подложки 1 и 2 сначала помещают в камеру и в эту камеру вводят газ разряда. Затем подложки 1 и 2 выравнивают (позиционируют) и временно закрепляют. Потом между подложками 1 и 2 прикладывают электрическое напряжение для выполнения разряда старения. Кроме того, между электродами этих подложек 1 и 2 прикладывают возбуждающее напряжение для проведения испытания на излучение света. В результате заднюю подложку 1 или переднюю подложку 2, которая найдена отклоняющейся от нормы, удаляют, а подложки 1 и 2, которые подтверждены как нормально излучающие свет, скрепляют друг с другом. В частности, в том случае, когда герметизирующий материал 20 выполнен из отверждаемой ультрафиолетовым излучением смолы, этот герметизирующий материал отверждают путем облучения герметизирующего материала 20 ультрафиолетовым излучением. Кроме того, в том случае, когда герметизирующий материал 20 выполнен из термореактивной смолы, этот герметизирующий материал 20 отверждают путем нагрева герметизирующего материала 20.
Таким образом, эти подложки 1 и 2 герметизируют в состоянии, когда газ разряда запаян внутри подложек 1 и 2.
Испытание на влагопоглощение и испытание на старение
[0036] Автор настоящей заявки выполнил испытание на влагопоглощение в отношении PDP согласно приведенному выше варианту реализации и традиционной PDP, при котором измеряли любое изменение в напряжении разряда. PDP согласно данному варианту реализации была, как показано на фиг.2, снабжена газопоглотителем 22 и защищающим от ультрафиолета экраном 24. В частности, в качестве газопоглотителя 22 применялось листообразное вещество, полученное обжигом SrO в газообразном N
. Кроме того, PbO·B
O
·SiO
, который был тем же материалом, что и материал перегородки 15, применялся в качестве составляющего защищающий от ультрафиолета экран 24, и при этом защищающий от ультрафиолета экран 24 был сформирован одновременно с перегородкой 15. Отметим, что в качестве герметизирующего материала 20 применялась отверждаемая ультрафиолетовым излучением смола. Кроме того, в качестве защитной пленки 14 была сформирована пленка, состоявшая из SrO∙20 мол.% CaO с толщиной 8000 ангстрем, с помощью электронно-лучевого осаждения из газовой фазы. В качестве газа разряда был запаян газ Ne∙4% Xe при 400 Торр.
2
2
3
2
С другой стороны, традиционная PDP была такой, что газопоглотитель 22 и защищающий от ультрафиолета экран 24 были удалены из PDP согласно данному варианту реализации.
[0037] Испытание на влагопоглощение проводили путем выдерживания этих PDP в термостатической камере при постоянной температуре 85°С и влажности 95%. Затем изучали взаимосвязь между временем выдержки и напряжением поддержания разряда.
Фиг.6А и фиг.6В представляют собой графики, показывающие результаты испытания на влагопоглощение этими PDP. В частности, фиг.6А показывает результаты для PDP согласно данному варианту реализации, тогда как фиг.6В показывает результаты для традиционной PDP. Отметим, что на следующих графиках «напряжение включения последней ячейки» означает возбуждающее напряжение, необходимое для начала разрядки всех ячеек в PDP, которая состоит из 300 ячеек, расположенных в двумерной матрице. Кроме того, «напряжение выключения первой ячейки» представляет собой напряжение, при котором первая ячейка выключается, когда возбуждающее напряжение постепенно снижается от состояния, когда все ячейки включены.
[0038] В случае традиционной PDP, показанной на фиг.6В, было обнаружено значительное увеличение напряжения выключения первой ячейки и напряжения включения последней ячейки после короткого времени выдержки в камере. Это считается следствием того факта, что вода внутри термостатической камеры прошла через герметизирующий материал и проникла в PDP, что привело к уменьшению чистоты газа разряда.
С другой стороны, в случае PDP согласно данному варианту реализации, показанному на фиг.6А, изменения в напряжении были в пределах 5 В даже после долгого времени выдержки в камере, и результаты испытания были практически приемлемыми. Это считается следствием того факта, что вода прошла через герметизирующий материал и проникла в PDP, но вода была адсорбирована газопоглотителем, посредством этого подавляя снижение чистоты газа разряда.
[0039] Далее, автор настоящей заявки выполнил испытание на старение в отношении PDP согласно данному варианту реализации и традиционной PDP, при котором измеряли любое изменение в напряжении разряда. Чтобы подтвердить действие защищающего от ультрафиолета экрана, в качестве PDP согласно данному варианту реализации применялась PDP, в которой был удален газопоглотитель. Кроме того, в качестве традиционной PDP применялась PDP, в которой были удалены защищающий от ультрафиолета экран и газопоглотитель.
Испытание на старение проводили путем приложения напряжения к этим PDP в течение длительного времени при комнатной температуре с влажностью 50% и изучали взаимосвязь между временем старения и напряжением поддержания разряда.
[0040] Фиг.7А и фиг.7В представляют собой графики, показывающие результаты испытания на старение этих PDP. В частности, фиг.7А показывает результаты для PDP согласно данному варианту реализации, тогда как фиг.7В показывает результаты согласно традиционной PDP.
В случае традиционной PDP, показанной на фиг.7В, напряжение поддержания разряда увеличивалось с увеличением времени старения, а напряжение включения последней ячейки увеличилось примерно на 30 В после 2000-часового старения. Это считается следствием того факта, что ультрафиолетовое излучение, генерируемое разрядом в PDP, продолжало поступать в герметизирующий материал в течение длительного времени, посредством чего смолистый материал, содержащийся в этом герметизирующем материале, разлагался, и в PDP выделялся примесный газ на основе СН, приведя в результате к уменьшению чистоты газа разряда.
[0041] С другой стороны, в случае PDP согласно данному варианту реализации, показанному на фиг.7А, напряжение увеличилось менее чем на 10 В даже после 2000-часового старения. Это считается следствием того факта, что ультрафиолетовое излучение, генерируемое разрядом в PDP, было поглощено защищающим от ультрафиолета экраном, посредством этого предотвратив выделение примесного газа из герметизирующего материала, приведя к подавленному снижению чистоты газа разряда.
[0042] Как подробно описано выше, PDP согласно данному варианту реализации выполнена так, что газопоглотители сформированы непрерывно или прерывисто вдоль внутренней периферии герметизирующего материала. Согласно вышеприведенному строению примесный газ, выделившийся из герметизирующего материала, или примесный газ, проникающий через герметизирующий материал, адсорбируются газопоглотителями, таким образом позволяя подавить снижение чистоты газа разряда, герметизированного между парой подложек. Следовательно, возможно подавить повышение напряжения разряда.
Кроме того, поскольку примесный газ может адсорбироваться газопоглотителями, возможно предотвратить адсорбирование примесного газа гигроскопичной защитной пленкой. В силу этого возможно подавить снижение коэффициента вторичной электронной эмиссии на поверхности подложки, а также подавить повышение напряжения разряда. Кроме того, возможно адсорбировать газопоглотителями примесный газ, десорбированный из защитной пленки при приложении напряжения между подложками в течение заранее заданного количества времени (первоначальное старение), не оставляя его между подложками. В силу этого примесный газ может быть десорбирован быстро и полностью. В результате время первоначального старения может быть сокращено.
[0043] Далее, PDP согласно данному варианту реализации выполнена имеющей защищающий от ультрафиолетового излучения экран, сформированный непрерывно вдоль внутренней периферии герметизирующего материала. Так как согласно вышеприведенному строению ультрафиолетовое излучение, генерируемое внутри герметичной панели, поглощается защищающим от ультрафиолета экраном, то предотвращается попадание этого излучения на герметизирующий материал. Посредством этого возможно подавить выделение примесного газа из герметизирующего материала и подавить повышение напряжения разряда.
[0044] Настоящее изобретение не должно ограничиваться по техническому объему описанными выше отдельными вариантами реализации, но оно может включать в себя любые модификации вышеприведенных вариантов реализации в пределах объема, не отклоняющегося от сущности настоящего изобретения.
Другими словами, конкретные материалы и конструкции, описанные в вышеприведенных вариантах реализации, являются лишь примерами и могут быть изменены по необходимости.
[0045] Например, в вышеупомянутом варианте реализации настоящее изобретение применяется к плазменной (газоразрядной) индикаторной панели, но оно может применяться и к индикаторной панели с автоэлектронной эмиссией. Индикаторная панель с автоэлектронной эмиссией такова, что электроны испускаются из излучающего электроны источника (эмиттера), размещенного для каждого пикселя в вакууме, и сталкиваются с флуоресцентным веществом, посредством чего достигается излучение света. В частности, индикаторная панель с автоэлектронной эмиссией включает в себя FED (дисплей с автоэлектронной эмиссией, от англ. Field Emission Display), оснащенный проекционным испускающим электроны элементом, и SED (дисплей с эмиссией электронов на основе поверхностной проводимости, от англ. Surface-Conduction Electron Emitter Display), оснащенный испускающим электроны элементом с поверхностной проводимостью. В случае, когда настоящее изобретение применяется к индикаторной панели с автоэлектронной эмиссией, также возможно подавить повышение напряжения разряда.
Промышленная применимость
[0046] Настоящее изобретение применимо к герметичной панели и способу производства плазменной индикаторной панели.