ДВУМЕРНО УПОРЯДОЧЕННЫЙ ЛИНЕЙНО-ЦЕПОЧЕЧНЫЙ УГЛЕРОД, УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ

1. Двумерно упорядоченный линейно-цепочечный углерод, состоящий из параллельных цепочек с регулярными изгибами углеродных атомов, ориентированных нормально к поверхности, отличающийся тем, что содержит упорядоченные цепочки углеродных атомов и образует пленки толщиной до нескольких микрон.
2. Устройство для получения двумерно упорядоченного линейно-цепочечного углерода, состоящее из вакуумной камеры с подложкой и фланцами с ионным источником и с источником углеродной плазмы, содержащим катод и анод основного разряда, катод и анод вспомогательного разряда, поджигающий электрод, источник электропитания, конденсатор, индуктивность, отличающийся тем, что содержит источник атомов примеси групп 1-7.
3. Способ получения двумерно упорядоченного линейно-цепочечного углерода, состоящий из импульсно-плазменного испарения расходуемого графитового катода с разрушением гексагональных графитовых сеток и последующим ионно-стимулированным осаждением инертным газом получаемых линейных цепочек углерода, отличающийся тем, что проводят упорядочивание линейно-цепочечного углерода путем ввода атомов примеси водорода или водородоподобной структуры, при этом используют источник углеродной плазмы с напряжением разряда от 100 до 500 В, с длительностью импульса 400-800 мкс и частотой следования 1-30 Гц.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что вводят атомы хлора или азота или группы ОН.
5. Способ по п.3, отличающийся тем, что осаждение линейно-цепочечного углерода происходит в условиях высокого вакуума в камере с безмасляной системой откачки.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что осуществляется очистка поверхности подложки методом ионного травления ионами инертного газа с энергией 1 кэВ в течение нескольких минут.
7. Способ по п.3, отличающийся тем, что ионную стимуляцию осуществляют с энергией 50÷500 эВ.
2
8. Способ по п.3, отличающийся тем, что плотность тока ионов инертного газа 1÷10 мА/см.
9. Способ по п.3, отличающийтся тем, что концентрация атомов водорода или водородоподобной структуры составляет 5÷10% от концентрации инертного газа.
-4
-3
10. Способ по п.3, отличающийся тем, что общее давление в камере составляет 7×10÷1×10 Торр.
11. Способ по п.3, отличающийся тем, что осуществляют напуск газообразной примеси из групп 1-7 через ионный источник.
12. Способ по п.3, отличающийся тем, что осуществляют легирование двумерно упорядоченного линейно-цепочечного углерода атомами примеси из групп 1-7.
13. Способ по п.3, отличающийся тем, что напуск атомов примеси групп 1-7 осуществляют с использованием композитного катода основного разряда, содержащего элемент примеси.
14. Способ по п.3, отличающийся тем, что напуск примеси осуществляют путем напыления в виде исходного подслоя подложки или на образующуюся пленку.
15. Способ по п.14, отличающийся тем, что атомы примеси напыляют методом термического испарения или магнетронным распылением.