УСТРОЙСТВО ДЛЯ МИКРОВОЛНОВОЙ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД НА ЛЕНТОЧНЫХ НОСИТЕЛЯХ

1. Устройство для микроволновой вакуумно-плазменной с электронно-циклотронным резонансом обработки конденсированных сред на ленточных носителях, включающее микроволновый генератор и операционную камеру, выполненную в виде многомодового прямоугольного резонатора, в середине боковых противоположных стенок которого имеются невозмущающие для СВЧ-колебаний узкие длинные щели, через которые протягивается ленточный обрабатываемый материал и осуществляется соединение со средствами откачки, последовательно соединенных между собой одномодовым волноводом и согласованным переходом в виде вакуумно-плотных отверстий связи вдоль оси симметрии в общей широкой стенке многомодового резонатора и одномодового прямоугольного волновода, через который осуществляется ввод микроволнового излучения в операционную камеру, причем расстояние между отверстиями связи определяется из выражения: 1=Λ/(1+рΛ/2d), где Λ - длина волны в волноводе; р - продольный индекс, р»m, n - поперечные индексы волны в резонаторе; d - длина резонатора, устройство, создающее магнитное поле в виде мультипольной магнитной системы, отличающееся тем, что одномодовый прямоугольный волновод является скошенным по узкой стенке от его максимальной высоты в месте ввода в него микроволнового излучения до нуля на противоположном конце, а размер вакуумно-плотных отверстий связи в общей широкой стенке многомодового резонатора и одномодового прямоугольного волновода, через которые осуществляется ввод микроволнового излучения в операционную камеру, напротив, увеличивается в направлении распространения СВЧ-излучения.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что операционная камера выполнена в виде одного многомодового резонатора с удвоенной шириной, на внешней стенке которого расположены два противоположно направленных одномодовых прямоугольных волновода, скошенных по узкой стенке, и отверстиями связи, увеличивающимися в направлении распространения СВЧ-излучений, причем отверстия связи в соседних волноводах смещаются относительно друг друга на расстояние 1/2, где 1 - расстояние между отверстиями связи.
3. Устройство по пп.1 и 2, отличающееся тем, что операционная камера выполнена в виде одного многомодового резонатора с индексом m, определяемым количеством используемых волноводов, на внешней стенке которого расположены несколько пар противоположно направленных одномодовых прямоугольных волновода - скошенных по узкой стенке, и отверстиями связи, увеличивающимися в направлении распространения СВЧ-излучений, причем отверстия связи в соседних парах волноводов смещаются относительно друг друга на расстояние 1/2n, где n - количество используемых пар волноводов.