СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ НАНО- И МИКРООБЪЕКТОВ МЕТОДОМ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

-12
-3
Способ исследования нано- и микрообъектов методом зондовой микроскопии путем помещения объекта на пористую подложку, его фиксации на поверхности подложки и сканирования зафиксированного объекта методом зондовой микроскопии, отличающийся тем, что используют подложку со сквозными порами, размер которых менее размера исследуемого объекта, а фиксацию объекта осуществляют ламинарным потоком жидкости или газа, подаваемым на подложку со стороны подлежащей сканированию, причем величина прижимной силы, действующей со стороны потока на объект, находится в диапазоне 10-10 Н.