УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИСИЛИЛАМИНА

1. Трубчатый проточный газовый реактор идеального вытеснения с ламинарным потоком для синтеза силиламинов, включающий:
(a) первую часть трубчатого ламинарного проточного реактора, определяющую зону впуска газа, вторую часть трубчатого ламинарного проточного реактора, определяющую зону реакции и третью часть реактора, определяющую зону разделения, зону реакции, представляющую собой область контакта реагентов;
(b) один или более первых трубопроводов, расположенных практически параллельно центральной продольной оси проточного реактора, входящих в зону впуска газа и заканчивающихся в зоне реакции, один или более трубопроводов, направляющих ламинарный поток первого газообразного реагента в зону реакции;
(c) один или более вторых трубопроводов впуска газа, расположенных выше по течению одного или более первых трубопроводов, направляющих поток второго газообразного реагента в зону впуска газа, чтобы получить поток второго газообразного реагента, который проходит в зону реакции;
(d) зону реакции, в которой первый газообразный реагент и второй газообразный реагент вступают в контакт друг с другом, образуя поток реагентов;
(e) отверстие для выпуска газа, направляющее поток реагентов из зоны реакции в зону сбора;
(f) зону сбора, включающую коллектор, выводящий продукт реакции из потока реагентов; и
в котором внутреннее давление реактора поддерживают приблизительно на уровне одной атмосферы (0,1 МПа) или ниже.
2. Реактор по п.1, в котором зона реакции является цилиндрической.
3. Реактор по п.1, дополнительно включающий вторую зону сбора для выделения продуктов из выходящего потока первого коллектора.
4. Реактор по п.1, в котором первый газообразный реагент представляет собой газообразный аммиак, и второй газообразный реагент представляет собой моногалосилан.
5. Реактор по п.1, в котором первый газообразный реагент представляет собой моногалосилан, и второй газообразный реагент представляет собой аммиак.
6. Реактор по п.4, в котором моногалосилан выбран из группы, в которую входят монофторсилан, монохлорсилан, монобромсилан и монойодсилан.
7. Реактор по п.6, в котором моногалосилан представляет собой монохлорсилан.
8. Реактор по п.1, в котором силиламины представляют собой дисилиламин и трисилиламин.
9. Реактор по п.1, в котором трубчатый проточный реактор расположен под углом к горизонтали, составляющем от приблизительно 0° до приблизительно 90°.
10. Реактор по п.9, в котором трубчатый проточный реактор расположен под углом к горизонтали, составляющем от приблизительно 85° до приблизительно 90°.
11. Реактор по п.9, в котором трубчатый проточный реактор расположен вертикально.
12. Реактор по п.1, дополнительно включающий запорный вентиль загрузочного отверстия выше по течению зоны впуска газа.
13. Реактор по п.12, дополнительно включающий накопитель твердых частиц выше по течению запорного вентиля загрузочного отверстия.
14. Реактор по п.1, в котором внутреннее давление поддерживают от приблизительно 100 торр (13,3 кПа) до приблизительно 400 торр (53,2 кПа).
15. Реактор по п.1, в котором первый коллектор представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру от приблизительно 20°C до приблизительно -110°C, для выделения силиламинов из потока реагентов.
16. Реактор по п.1, в котором зона первого коллектора представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру от приблизительно -50°C до приблизительно -110°C, для выделения силиламинов из потока реагентов.
17. Реактор по п.1, в котором реактор нагревают.
18. Реактор по п.3, в котором зона второго коллектора представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру ниже чем приблизительно -140°C, для конденсации отходов из выходящего потока первого коллектора.
19. Реактор по п.1, в котором зона реакции облицована стеклом.
20. Реактор по п.1, в котором зона реакции облицована нелипким материалом.
21. Реактор по п.20, в котором нелипкий материал представляет собой фторполимер.
22. Реактор по п.1, в котором один или более трубопроводов включают концентрические трубки, где поток второго газообразного реагента проходит во внешней концентрической трубке, и поток первого газообразного реагента проходит в центральной трубке.
23. Реактор по п.1, в котором множество трубопроводов расположены практически вдоль центральной продольной оси проточного реактора, входя в реактор и заканчиваясь в зоне реакции, где каждый из трубопроводов расположен последовательно вниз по течению один за другим, и каждый из множества трубопроводов направляет поток первого газообразного реагента в зону реакции.
24. Реактор по п.1, в котором существует один трубопровод, и этот трубопровод включает две концентрические трубки, где поток первого газообразного реагента проходит по внешней трубке, и поток второго газообразного реагента проходит по центральной трубке.
25. Реактор по п.1, дополнительно включающий фильтр, расположенный вниз по течению после конца зоны реакции и перед зоной сбора.
26. Трубчатый проточный газовый реактор идеального вытеснения с ламинарным потоком для синтеза трисилиламина, включающий:
(a) первую часть трубчатого ламинарного проточного реактора, определяющую зону впуска газа, вторую часть трубчатого ламинарного проточного реактора, определяющую зону реакции и третью часть реактора, определяющую зону разделения, зону реакции, представляющую собой область контакта реагентов;
(b) один или более трубопроводов, расположенных практически параллельно центральной продольной оси проточного реактора, входящих в зону впуска газа и заканчивающихся в зоне реакции, один или более трубопроводов, направляющих ламинарный поток первого газообразного реагента в зону реакции;
(c) один или более трубопроводов впуска газа, расположенных выше по течению одного или более трубопроводов, направляющих поток второго газообразного реагента в зону впуска газа, чтобы получить поток второго газообразного реагента, который проходит в зону реакции;
(d) зону реакции, в которой первый газообразный реагент и второй газообразный реагент вступают в контакт друг с другом, образуя поток реагентов;
(e) отверстие для выпуска газа, направляющее поток реагентов из зоны реакции в зону сбора;
(f) зону сбора, включающую коллектор, выводящий продукт реакции из потока реагентов, и
в котором внутреннее давление реактора поддерживают на уровне ниже одной атмосферы (0,1 МПа), первый газообразный реагент представляет собой аммиак, и второй газообразный реагент представляет собой монохлорсилан.
27. Реактор по п.26, дополнительно содержащий множество трубопроводов, расположенных практически вдоль центральной продольной оси проточного реактора, входящих в реактор и заканчивающихся в зоне реакции, где каждый из трубопроводов расположен последовательно вниз по течению от другого последовательного трубопровода из множества трубопроводов, направляющих поток первого газообразного реагента в зону реакции.
28. Реактор по п.26, дополнительно включающий запорный вентиль загрузочного отверстия выше по течению зоны впуска газа.
29. Реактор по п.28, дополнительно включающий накопитель твердых частиц выше по течению запорного вентиля загрузочного отверстия.
30. Реактор по п.26, в котором внутреннее давление поддерживают от приблизительно 100 торр (13,3 кПа) до приблизительно 400 торр (53,2 кПа).
31. Реактор по п.25, в котором первый коллектор представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру от 20°C до приблизительно -110°C, для выделения силиламинов из потока реагентов.
32. Реактор по п.25, в котором первый коллектор представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру от -50°C до приблизительно -110°C, для выделения силиламинов из потока реагентов.
33. Реактор по п.25, в котором реактор нагревают.
34. Реактор по п.25, в котором зона реакции является цилиндрической.
35. Реактор по п.25, дополнительно включающий второй коллектор для удаления отходов из выходящего потока первого коллектора.
36. Реактор по п.34, в котором второй коллектор представляет собой конденсационную ловушку, имеющую температуру ниже чем приблизительно -140°C, для конденсации силана.
37. Реактор по п.1, в котором зона реакции облицована стеклом.
38. Реактор по п.1, в котором зона реакции облицована нелипким материалом.
39. Способ получения силиламинов в трубчатом проточном газовом реакторе идеального вытеснения с ламинарным потоком, в который включены:
(a) направление потока первого газообразного реагента в область зоны реакции трубчатого реактора;
(b) пропускание второго газообразного реагента через трубопровод в область зоны реакции трубчатого реактора, содержащего первый газообразный реагент, образуя тем самым ламинарный реакционный поток идеального вытеснения, в котором первый газообразный реагент и второй газообразный реагент реагируют с образованием силиламинов;
(c) пропускание реакционного потока, содержащего силиламины, в зону сбора проточного трубчатого реактора;
(d) отделение силиламинов от реакционного потока; и в котором давление реактора поддерживают на уровне одной атмосферы (0,1 МПа) или ниже.
40. Способ по п.39, в котором силиламины, выделенные из реакционного потока, выдерживают до завершения превращения в трисилиламин.
41. Способ по п.39, в котором давление в зоне реакции составляет от приблизительно 100 торр (13,3 кПа) до приблизительно 400 торр (53,2 кПа).
42. Способ по п.39, в котором давление в зоне реакции составляет от приблизительно 100 торр (13,3 кПа) до приблизительно 300 торр (39,9 кПа).
43. Способ по п.39, в котором молярное соотношение газообразного монохлорсилана и газообразного аммиака составляет от приблизительно 1 до приблизительно 1,2.