СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ФОСФИДА ИНДИЯ

1. Способ получения монокристаллов фосфида индия методом Чохральского с жидкостной герметизацией расплава в тигле под давлением инертного газа, включающий затравливание на затравку, разращивание монокристалла до заданного диаметра при одновременном вытягивании его конической части с заданной скоростью и последующее вытягивание цилиндрической части кристалла, отличающийся тем, что после получения заданного диаметра на конической части монокристалла скорость вытягивания увеличивают до 50÷150 мм/мин, в течение 1,0÷6,0 сек, а затем продолжают выращивание цилиндрической части монокристалла с заданной скоростью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при выращивании конической части монокристалла скорость вращения тигля увеличивают от 0÷2 об/мин при затравливании до 3÷6 об/мин при достижении заданного диаметра.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при выращивании конической части монокристалла скорость вытягивания монокристалла увеличивают от 0÷5 мм/час при затравливании до 15÷30 мм/час при достижении заданного диаметра.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что затравка имеет кристаллографическую ориентацию оси роста <511>В.