АППАРАТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1. Аппарат для получения поликристаллического кремния, в котором множество газоподводящих отверстий для подачи сырьевого газа снизу вверх в реактор и газовыводящих отверстий для выпуска отработанного газа после реакции имеются на внутреннем дне реактора, в котором установлено множество кремниевых затравочных стержней, при этом кремниевые затравочные стержни нагреваются, и поликристаллический кремний осаждается из сырьевого газа на поверхностях кремниевых затравочных стержней, при этом аппарат включает в себя:
газораспределительные трубопроводы, которые соответственно соединены с газоподводящими отверстиями и соответственно подают сырьевой газ к газоподводящим отверстиям;
клапаны, которые имеются на, по меньшей мере, газораспределительных трубопроводах, соединенных с газоподводящими отверстиями вблизи центра реактора, и открывают или закрывают трубопроводные линии газораспределительных трубопроводов; и
устройство управления клапанами, которое соединено с клапанами и управляет трубопроводными линиями, закрываемыми на заданное время на ранней стадии реакции.
2. Аппарат для получения поликристаллического кремния по п.1, в котором газоподводящие отверстия расположены концентрически от центра реактора.
3. Аппарат для получения поликристаллического кремния по п.2, в котором устройство управления клапанами выбирает газоподводящие клапаны соответственно от 5 до 15% от общего числа газоподводящих клапанов среди газоподводящих клапанов, размещенных на самой внутренней окружности и второй окружности от самой внутренней окружности, для управления клапанами газораспределительных трубопроводов, соединенных с выбранными газоподводящими отверстиями, закрываемыми на заданное время, и после истечения заданного времени выбирает такое же число газоподводящих отверстий из газоподводящих отверстий, которые находятся в открытом состоянии и размещены на самой внутренней окружности и второй окружности от самой внутренней окружности, для управления клапанами газораспределительных трубопроводов, соединенных с выбранными газоподводящими отверстиями, подлежащими закрытию, и также управляет открыванием клапанов, находящихся в закрытом состоянии.
4. Аппарат для получения поликристаллического кремния по любому из пп.1-3, в котором газоподводящие отверстия выполнены на концах форсунок, выступающих из внутреннего дна реактора.
5. Способ получения поликристаллического кремния, в котором множество газоподводящих отверстий для подачи сырьевого газа снизу вверх в реактор, и газовыводящих отверстий для выпуска отработанного газа после реакции обеспечивают на внутреннем дне реактора, в котором устанавливают множество кремниевых затравочных стержней, причем кремниевые затравочные стержни нагревают, и поликристаллический кремний осаждается из сырьевого газа на поверхностях кремниевых затравочных стержней, при этом согласно способу
прекращают подачу сырьевого газа из, по меньшей мере, газоподводящих отверстий, вблизи центра реактора в течение заданного времени на ранней стадии реакции.
6. Способ получения поликристаллического кремния по п.5, в котором
располагают газоподводящие отверстия концентрически от центра реактора, и
выбирают газоподводящие отверстия соответственно от 5 до 15% от общего числа газоподводящих отверстий среди газоподводящих отверстий, размещенных на самой внутренней окружности и второй окружности от самой внутренней окружности, для прекращения подачи сырьевого газа из выбранных газоподводящих отверстий в течение заданного времени; и
выбирают такое же число газоподводящих отверстий из газоподводящих отверстий, которые подают сырьевой газ, размещенных на самой внутренней окружности и второй окружности от самой внутренней окружности, для прекращения подачи сырьевого газа из выбранных газоподводящих отверстий, и также подают сырьевой газ из газоподводящих отверстий, которые прекратили подачу сырьевого газа, после истечения заданного времени.