ОЧИСТКА МАТЕРИАЛОВ ОБРАБОТКОЙ ПЛАЗМОЙ НА ОСНОВЕ ВОДОРОДА

1. Способ очистки для удаления кислорода из материала, характеризующийся тем, что содержащий примеси кислорода материал подвергают обработке плазмой на основе водорода.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что кислород удаляют в присутствии кислородного газопоглотителя.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют титан в качестве кислородного газопоглотителя.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что предназначенный для очистки материал является термоустойчивым.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что материал выбирают из числа химических элементов-неметаллов или металлов.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что кислород удаляют из бора, в частности из аморфного бора.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что предназначенный для очистки материал содержит примеси кислорода в количестве ≥ 1 мас.%, в частности > 4 мас.%, предпочтительно ≥ 10 мас.% от общей массы материала.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что примеси кислорода присутствуют в виде оксидов.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что материал очищают до содержания кислорода ≤ 0,5 мас.%, в частности ≤ 0,1 мас.%, предпочтительно ≤ 0,05 мас.% от общей массы материала.
2
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что плазма на основе водорода содержит ≥ 5 об.%, в частности, ≥ 90 об.%, предпочтительно ≥ 99 об.% Н.
2
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют плазму на основе водорода, состоящую из Н и, необязательно, инертного газа, такого как аргон или азот.
-1
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание кислорода в плазме на основе водорода составляет ≤ 10 млн.
-1
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание воды в плазме на основе водорода составляет ≤ 10 млн.
14. Способ по п.1, отличающийся тем, что обработка плазмой на основе водорода осуществляется в течение 0,5-10 ч.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют плазму, созданную микроволновым излучением.