ЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к зондовым устройствам для нанотехнологии.
Известно зондовое устройство для нанотехнологии, содержащее металлический зонд, жестко закрепленный на торце пьезоэлектрического привода и электрически связанный с системой подачи потенциала. [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2. - М.; Наука, 1988 - с.261 - 278 (аналог).]
Недостатком аналога является отсутствие возможности одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является зондовое устройство для нанотехнологии, которое содержит металлический зонд, жестко закрепленный на торце пьезоэлектрического привода и электрически связанный с системой подачи потенциала [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие / М.: МИЭТ. 2000 - 69 с. (прототип)].
Недостатком прототипа также является отсутствие возможности одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Поставленная зтехническая задача решается тем, в зондовом устройстве для нанотехнологии, содержащем металлический зонд, жестко закрепленный на торце пьезоэлектрического привода и электрически связанный с системой подачи потенциала, согласно предложенной полезной модели, металлический зонд выполнен в виде тонких металлических игл диаметром 0,1-0,2 мм, изолированных друг от друга посредством диэлектрического материала, температура плавления которого в 1,5-2,0 раза больше температуры плавления металла, из которого выполнены тонкие металлические игл, при этом каждая металлическая игла связана с системой подачи потенциала, причем расстояние между металлическими иглами по осям не менее 0,2-0,4 мм, а общее число металлических игл не менее семи.
Выполнение зонда в зондовом устройстве для нанотехнологии в виде тонких металлических игл, изолированных друг от друга посредством диэлектрического материала, каждая из которых связана с системой подачи потенциала, обеспечивает возможность одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и фиг.2, где показано зондовое устройство для нанотехнологии.
n
Зондовое устройство для нанотехнологии содержит металлический зонд 1, жестко закрепленный на торце 2 пьезоэлектрического привода 3. Металлический зонд 1 выполнен в виде тонких металлических игл 4 диаметром d, изолированных друг от друга посредством диэлектрического материала 5. Экспериментально было установлено, что общее число металлических игл должно быть не менее семи. Каждая тонкая металлическая игла 4 связанна с системой подачи потенциала 6. Причем расстояние между иглами 6 по осям не менее 0,2-0,4 мм.
Зондовое устройство для нанотехнологии работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезопривод 3 происходит одновременное вертикальное перемещение тонких металлических игл 4, изолированных друг от друга диэлектрическим материалом 5, предотвращающим электрический контакт между иглами 4, расположенных на предельно близком расстоянии друг от друга 0,2-0,4 мм. При этом на каждую тонкую металлическую иглу 4 подается напряжение от системы подачи потенциала 6. При наличии такого напряжения на зондовом устройстве реализуется необходимая аналитико-технологическая операция на подложке (на фиг.1, 2 условно не показана).
Применение предлагаемого технического решения зондового устройства для нанотехнологии позволяет одновременно зондировать несколько точек, расположенные на близком расстоянии друг от друга.