Формирование пленок состава SiO х(SnO у)вi золь-гельным методом

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Петров В.В., Копылова Н.Ф., Назарова Т.Н. Исследование электрофизических параметров тонких пленок состава Б^БпО) // Актуальные проблемы твердотельной электроники. 2002. Ч.1. С.161-163.

УДК 539.217.5:546.28

В.В. Петров, Н.Ф. Копылова, Т.Н. Назарова

ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК СОСТАВА 8ЮХ(81ЧОУ)В1 ЗОЛЬ-ГЕЛЬНЫМ

МЕТОДОМ

Разработка новых газочувствительных материалов для химических сенсоров, используемых в системах экологического мониторинга, является одной из актуальных задач современной науки. Разновидностью таких материалов являются тонкие (до 0,1 мкм) пленки оксидов кремния, олова, висмута и т.д. Среди известных методов формирования таких материалов наиболее простыми и гибкими являются химические методы, в частности получение тонких пленок золь-гельным методом [1]. Данный метод позволяет получать пленки с заданными свойствами путем изменения состава и соотношения компонентов в исходном пленкообразующем растворе.

В данной работе пленки состава БЮх(8пОу)В1 формировались из растворов на основе тетраэтоксисилана и изобутилового спирта с добавлением в качестве катализатора соли висмута в количестве 0,01 % по объему. Концентрация пленкообразующего вещества составила почти 12%. Созревание растворов протекало в течение 12 ч. Созревшие растворы наносились на кремниевые подложки, предварительно обезжиренные в изопропиловом спирте, методом центрифугирования. Окончательное формирование пленки производилось при ее термообработке. Все полученные образцы проходили термическую обработку в диапазоне 120-860 °С. С повышением температуры происходит заметное уплотнение структуры пленки.

Толщина полученных пленок, определяемая концентрацией пленкообразующего раствора, измеренная с помощью МИИ-4, составила 0,07 мкм. Дальнейшее изучение свойств полученных пленок позволит их применять в качестве газочувствительных элементов при изготовлении химических сенсоров газа.

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. Маслов Л.П., Румянцева В.Д., Ермуратский П.В. Пленочные химические сенсоры токсичных газов и паров // Приборы, системы управления. 1997. №1. С.29-31

УДК 628.516:612.014.46

Н.В. Гусакова, Т.Б. Мурай, А.В. Соболев ВЛИЯНИЕ ЛАНДШАФТНЫХ ОСОБЕННОСТЕЙ НА ЗАГРЯЗНЕНИЕ ПОЧВ ТАГАНРОГА ТЯЖЕЛЫМИ МЕТАЛЛАМИ

1. В настоящее время Таганрог как промышленный город является источником локальных влияний на природную среду, что определяет необходимость специальных исследований по геохимической оценке его урбанизированных территорий, в том числе по загрязнению тяжелыми металлами (РЬ, Мп, 2п, Си).