СПОСОБ ПЛАЗМЕННОГО БОРИРОВАНИЯ

1. Способ борирования металлической поверхности, включающий стадии:
4
(а) внесение КВХ, в котором каждый Х представляет собой галоген;
4
3
(b) нагревание КВХ при температуре, достаточной для высвобождения ВХ; и
3
(с) приложение плазменного заряда к ВХ для создания одной или более активированных борсодержащих частиц для диффундирования в металлическую поверхность.
4
2. Способ по п.1, в котором КВХ вносится в присутствии металлической поверхности.
+
+
+
+
2
3
3. Способ по п.1, в котором одна или более активированных борсодержащих частиц избираются из В, ВХ, ВХ  или ВХ .
4. Способ по п.3, в котором плазменный заряд представляет собой плазму тлеющего разряда.
5. Способ по п.1, в котором металлическая поверхность представляет собой железосодержащую металлическую поверхность.
6. Способ по п.5, в котором металлическая поверхность включает сталь, феррохром с высоким содержанием хрома или титановый сплав.
7. Способ по п.1, в котором металлическая поверхность представляет собой титан или титансодержащий металл.
4
8. Способ по п.1, в котором КВХ нагревается при температуре от 700 до 900°С.
9. Способ по п.1, далее включающий стадию введения газообразного водорода.
10. Способ по п.9, в котором газообразный водород вводится в потоке аргона.
11. Способ плазменного борирования, включающий стадии:
4
(а) внесение КВХ, в котором Х представляет собой галоген;
4
3
(b) термическое разложение названного КВХ с образованием КХ и ВХ;
3
3
2
+
-
(с) направление названного ВХ в плазму, сформированную инертным газом, в котором состав и условия формирования плазмы подбираются так, что ВХ разлагается на ВХ  и Х; и
2
+
(d) обеспечение возможности названному ВХ  реагировать с металлом.
12. Способ по п.11, в котором Х представляет собой фтор.
13. Способ по п.11, в котором Х представляет собой хлор.
14. Способ по п.11, в котором Х представляет собой бром.
15. Способ по п.11, далее включающий стадию введения газообразного водорода.
16. Способ по п.15, в котором газообразный водород вводится в потоке аргона.