Вакуумный встроенный криогенно-геттерный насос

1. Вакуумный встроенный криогенно-геттерный насос, включающий вакуумный фланец, криогенный объем и съемный контейнер с нераспыляемым геттером, отличающийся тем, что в качестве геттера используются интерметаллиды, способные абсорбировать и адсорбировать газы во всем диапазоне температур, начиная от температуры жидкого азота и заканчивая температурой до высоких температур.
2. Насос по п. 1, отличающийся тем, что интерметаллическим соединением используется металл, выбираемый из редкоземельных металлов, и/или щелочноземельных металлов, и/или титана, и/или циркония, и/или гафния, и/или ванадия, и/или кобальта, и/или палладия, смеси и/или сплава, содержащего, по меньшей мере, один из этих металлов и/или с другими металлами.
2
3
5
2
7
3. Насос по п. 1, отличающийся тем, что интерметаллическое соединение, выполненное из смеси и/или сплава, имеет одну из следующих структур: АВ, или АВ, или АВ, или АВ, или АВ.
4. Насос по п. 1, отличающийся тем, что для уменьшения тепловых потерь на излучение корпус насоса зачерняется любым известным способом.
5. Насос по п. 1, отличающийся тем, что интерметаллид, используемый в качестве нераспыляемого геттера, охлажден до температуры жидкого азот, через криогенный объем, в который залит азот, и температура геттера регулируется посредством тока, пропускаемого непосредственно через корпус насоса.