СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПЛАЗМЕННОЙ ОТОБРАЖАЮЩЕЙ ПАНЕЛИ

1. Способ для производства плазменной отображающей панели, в котором газ электрического разряда вводится в пространство между первой подложкой и второй подложкой, которые уплотнены вместе, при этом способ содержит:
этап первой деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка для выдерживания плазменного электрического разряда, до 280°C или более в вакууме или в управляемой атмосфере; и
этап уплотнения для уплотнения фронтальной подложки, в которой примесные газы высвобождаются из защитной пленки, и задней подложки, которые помещаются в контакт друг с другом.
2. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап формирования защитной пленки для формирования защитной пленки на первой подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от этапа формирования защитной пленки по этап первой деаэрации.
3. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка, до 350°C или более в вакууме до этапа первой деаэрации, при этом первая подложка удерживается в вакууме от этапа предварительной деаэрации по этап первой деаэрации.
4. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительной деаэрации для высвобождения примесных газов из защитной пленки посредством нагревания первой подложки, на которой формируется защитная пленка, до 350°C или более в воздушной атмосфере или в управляемой атмосфере до этапа первой деаэрации.
5. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором этап уплотнения выполняется, пока плотность примесных газов в атмосфере удерживается на предварительно определенном значении или менее.
6. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором на этапе первой деаэрации, когда первая подложка и вторая подложка располагаются, обращаясь друг к другу, транспортирующий газ вводится между первой подложкой и второй подложкой так, что средний свободный путь примесного газа, высвобожденного из либо первой подложки, или второй подложки, является более коротким, чем промежуток между первой подложкой и второй подложкой.
7. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.6, в котором транспортирующий газ является таким же типом, газа как газ электрического разряда.
8. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап второй деаэрации для высвобождения примесных газов из люминофоров и уплотняющего материала посредством нагревания второй подложки, на которой люминофоры и уплотняющий материал помещаются, в вакууме или в управляемой атмосфере до этапа уплотнения.
9. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.8, при этом способ дополнительно содержит этап покрытия уплотняющего материала для применения уплотняющего материала на второй подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до этапа второй деаэрации, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от этапа покрытия уплотняющего материала по этап второй деаэрации.
10. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, в котором на этапе уплотнения вводится газ электрического разряда, так что парциальное давление примесных газов - это 2,0 Па или менее.
11. Способ для производства плазменной отображающей панели по п.1, при этом способ дополнительно содержит этап предварительного нагревания первой подложки и второй подложки в вакууме или в управляемой атмосфере до температуры, равной или большей, чем температура уплотнения на этапе уплотнения, до этапа уплотнения.
12. Устройство для производства плазменной отображающей панели, которое обеспечивается камерой уплотнения, в которой первая подложка и вторая подложка уплотняются вместе либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом камера уплотнения выполнена так, что перед тем как первая подложка и вторая подложка помещаются в контакт друг с другом, первая подложка, на которой формируется защитная пленка для выдерживания плазменного электрического разряда, нагревается до 280°C или более либо в вакууме, или в управляемой атмосфере.
13. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, при этом устройство дополнительно содержит камеру формирования пленки, в которой защитная пленка формируется на первой подложке, при этом первая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры формирования пленки по камеру уплотнения.
14. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, при этом устройство дополнительно содержит камеру нагревания, в которой вторая подложка, на которой помещаются люминофоры и уплотняющий материал, нагревается либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры нагревания по камеру уплотнения.
15. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.14, при этом устройство дополнительно содержит камеру покрытия, в которой покрывающий материал применяется на второй подложке либо в вакууме, или в управляемой атмосфере, при этом вторая подложка удерживается в вакууме или в управляемой атмосфере от камеры покрытия по камеру нагревания и камеру уплотнения.
16. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, в котором камера уплотнения обеспечивается газовым анализатором, который выполнен с возможностью измерения плотности примесных газов в атмосфере.
17. Устройство для производства плазменной отображающей панели по п.12, в котором камера уплотнения выполнена так, что, перед тем как первая подложка и вторая подложка помещаются в контакт друг с другом, первая подложка и вторая подложка предварительно нагреваются либо в вакууме, или в управляемой атмосфере до температуры, равной или большей чем температура уплотнения.