СДВОЕННЫЙ РЕЗОНАТОР НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ (ПАВ) НА ОДНОЙ ПЬЕЗОПЛАТЕ

Полезная модель относится к области микроэлектроники, акустоэлектроники, конструирования и технологии электронных компонентов.
Известны сдвоенные изделия на поверхностных акустических волнах (ПАВ), изготовленные на одной пьезоплате, такие как линии задержки и резонаторы (см. OConnell R.M. А new cut of Quartz with orthogonal temperature - compensated propagation directions for surface acoustic wave applications // Proc. 33 AFCS, USA. 1979, p. 402-405). Такие линии задержки и резонаторы применяются в качестве чувствительных элементов датчиков различных физико-механических величин, например, для измерения крутящего момента. Часто такие две резонаторные структуры расположены на пьезоплате ортогонально или под углом от 60 до 120 одна относительно другой с целью измерения параметра по двум координатам или повышения чувствительности датчика. Каждая из двух резонаторных структур (см. рис. 1) состоит из центрального встречноштыревого преобразователя 1 и двух симметрично расположенных от него отражающих решеток 2, расположенных на общей пьезоплате 3.
Недостатком существующей конструкции сдвоенных резонаторов является потеря площади подложки и, следовательно, удорожание изделия, особенно при использовании в качестве исходного материала дорогостоящих пьезоплат.
Задачей предлагаемого технического решения является создание такой конструкции сдвоенного резонатора на ПАВ, которая занимает предельно минимальную площадь пьезоплаты при прочих равных условиях.
.2,2--2// 7/
Для решения поставленной задачи одна отражающая решетка одной резонаторной структуры наложена на одну отражающую рещетку другой резонаторной структуры, расположенной под углом от 60 до 120° относительно первой.
Кроме того, наложенные друг на друга отражающие решетки выполнены в виде пересекающихся протравленных в пьезоплате канавок, причем дно каждой канавки имеет рельефную структуру, образованную травлением пересекающихся канавок.
Кроме того, наложенные друг на друга отражающие рещетки выполнены в виде матрицы протравленных в пьезоплате отражающих углублений.
Кроме того, наложенные друг на друга отражающие рещетки выполнены в виде матрицы металлических отражающих элементов на поверхности пьезоплаты.
На рис. 2 (обозначения те же, что и на рис. 1) показано предлагаемое техническое решение. При этом возможны три варианта выполнения наложенных друг на друга отражающих рещеток, показанные на рис. 3 и 4 а) и б).
В первом варианте (рис. 3) в качестве отражающих рещеток используются пересекающиеся протравленные в пьезоплате канавки. В сечении А-А видны фрагменты канавок в первом ярусе, а в сечении В-В фрагменты тех же канавок, расположенные во втором ярусе. Таким образом, дно каждой канавки имеет рельефную структуру, образованную травлением пересекающихся канавок. Во втором варианте (рис. 4а) в качестве отражающей рещетки используется протравленная матрица отражающих углублений. В третьем варианте используется матрица металлических отражающих элементов на поверхности пьезоплаты (рис. 4, б). Опыт показывает, что рельефная форма дна канавок, равно как и пустые промежутки между металлическими отражающими элементами практически не сказываются на эффективности отражения волн.
Оценка показывает, что предложенное техническое рещение позволяет уменьщить площадь пьезоплаты в 1,5 раза без ухудщения параметров сдвоенного резонатора и при прочих равных условиях.
Таким образом, путем наложения отражающих рещеток двух резонаторных структур решена задача уменьщения площади пьезоплаты сдвоенного резонатора при прочите равных условиях.
Авторы:VДмитриев В.Ф.
Корт С.И. Новиков В.В.