СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ УГЛЕРОДНОГО НАНОМАТЕРИАЛА, СОДЕРЖАЩЕГО МЕТАЛЛ

12
13
-3
Способ получения углеродного наноматериала, содержащего металл, путем осаждения на подложку из диэлектрического материала испаряемого в вакууме металла и осаждения в вакууме с помощью плазмы испаряемого углеродного материала с использованием инертного газа, отличающийся тем, что осаждение испаряемого в вакууме металла, в качестве которого используют серебро, производят на подложку перед осаждением углеродного материала, испарение в вакууме углеродного материала, в качестве которого используют графит, осуществляют импульсным дуговым разрядом, а плазму для осаждения углеродного материала создают вне области разрядного промежутка дугового разряда в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5·10 1·10 см, длительностью 200-600 мкс, частотой следования 1-5 Гц, при этом инертный газ используют для ионной стимуляции плазмы в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, который направляют перпендикулярно потоку углеродной плазмы, после чего подложку с осажденными на ней серебром и углеродным материалом извлекают из вакуумной камеры и отжигают на воздухе при температуре 400°С в течение 10 мин.