Структура фотопреобразователя на основе кристаллического кремния и линия по его производству

1. Структура фотопреобразователя на основе кристаллического кремния, включающая:
- текстурированную поликристаллическую или монокристаллическую пластину кремния;
- пассивирующий слой в виде аморфного гидрогенизированного кремния нанесенный на каждую сторону пластины кремния;
- p-слой;
- n-слой;
- контактные токосъемные слои в виде прозрачных проводящих оксидов;
- тыльный токосъемный слой в виде металлического непрозрачного проводящего слоя,
отличающаяся тем, что
в качестве p-слоя и n-слоя применяют металлические оксиды, соответственно, p-типа и n-типа, при этом слои n-типа и p-типа, пассивирующий и токосъемный слои, наносятся методом магнетронного распыления.
2
2
3
2
2
7
2
2. Структура по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве металлического оксида n-типа используют оксид цинка (ZnO) или SnO, FeO, TiO, VO, MnO, CdO или другие металлические оксиды n-типа.
2
2
3
3. Структура по п. 1, отличающаяся тем, что в качестве металлического оксида p-типа используют MoO или CoO, CuO, NiO, CrO или другие металлические оксиды p-типа.
4. Линия по производству фотопреобразователя на основе кристаллического кремния, включающая последовательные операции:
- очистку и текстурирование пластин кристаллического кремния;
- нанесение пассивирующего слоя аморфного гидрогенизированного кремния на каждую сторону пластины кремния;
- нанесение p-слоя фотопреобразователя;
- нанесение n-слоя фотопреобразователя;
- нанесение контактных токосъемных слоев фотопреобразователя;
- нанесение тыльного токосъемного слоя;
- окончательная сборка,
отличающаяся тем, что
выполняют последовательное магнетронное напыление пассивирующего слоя, p-слоя в виде металлического оксида p-типа, n-слоя в виде металлического оксида n-типа и токосъемных слоев методом магнетронного распыления.
5. Линия по п. 4, отличающаяся тем, что выполняют последовательное магнетронное напыление пассивирующего, p-типа и n-типа слоев методом магнетронного распыления кремниевой мишени в атмосфере силана и аргона с добавлением водорода.