САПФИРОВЫЕ ПОДЛОЖКИ И СПОСОБЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Сапфировая подложка, которая содержит:
2
плоскую поверхность, имеющую кристаллографическую ориентацию, выбранную из группы, в которую входят ориентации в a-плоскости, r-плоскости, m-плоскости и c-плоскости, и которая имеет nTTV ориентировочно не более 0,037 мкм/см, причем nTTV представляет собой изменение полной толщины, нормализованное относительно площади плоской поверхности, при этом подложка имеет диаметр ориентировочно не меньше чем 9,0 см.
2
2. Сапфировая подложка по п.1, у которой nTTV ориентировочно не превышает 0,035 мкм/см.
3. Сапфировая подложка по п.1, у которой плоская поверхность имеет шероховатость Ra ориентировочно не более 10,0 Å.
2
4. Сапфировая подложка по п.1, имеющая n плоскостность не более 0,100 мкм/см, причем n плоскостность представляет собой плоскостность плоской поверхности, нормализованную по площади плоской поверхности.
2
5. Сапфировая подложка по п.1, имеющая n изгиб не более 0,100 мкм/см, причем n изгиб представляет собой изгиб подложки, нормализованный по площади плоской поверхности.
2
6. Сапфировая подложка по п.1, имеющая n коробление не более 0,190 мкм/см, причем n коробление представляет собой коробление подложки, нормализованное по площади плоской поверхности.
2
7. Сапфировая подложка по п.1, у которой плоская поверхность сапфировой подложки имеет плотность дислокации не более 1Е8/см.
2
8. Сапфировая подложка по п.1, у которой плоская поверхность имеет площадь поверхности ориентировочно не меньше чем 70 см.
9. Сапфировая подложка по п.1, имеющая диаметр ориентировочно не меньше чем 10,0 см.
10. Сапфировая подложка, которая содержит:
плоскую поверхность, имеющую кристаллографическую ориентацию, выбранную из группы, в которую входят ориентации в a-плоскости, r-плоскости, m-плоскости и c-плоскости, и которая имеет TTV ориентировочно не более 3,00 мкм, причем TTV представляет собой изменение полной толщины плоской поверхности, при этом подложка имеет диаметр ориентировочно не меньше чем 9,5 см и толщину ориентировочно не больше чем 525 мкм.
11. Сапфировая подложка по п.10, у которой толщина ориентировочно не превышает 500 мкм.
12. Сапфировая подложка по п.10, у которой плоская поверхность имеет шероховатость Ra ориентировочно не более 5,0 Å.
2
13. Сапфировая подложка по п.10, имеющая n плоскостность не более 0,100 мкм/см, причем n плоскостность представляет собой плоскостность плоской поверхности, нормализованную по площади поверхности плоской поверхности.
2
14. Сапфировая подложка по п.13, у которой площадь поверхности составляет ориентировочно не меньше чем 70 см.
15. Сапфировая подложка, которая содержит:
2
плоскую поверхность, имеющую кристаллографическую ориентацию, выбранную из группы, в которую входят ориентации в a-плоскости, r-плоскости, m-плоскости и c-плоскости, и которая имеет nTTV ориентировочно не более 0,025 мкм/см, причем nTTV представляет собой изменение полной толщины, нормализованное относительно площади плоской поверхности, при этом подложка имеет диаметр ориентировочно не меньше чем 9,0 см.