СПОСОБ ОЧИСТКИ ДВУХ ФИЛЬТРОВ ВСАСЫВАЮЩЕГО АППАРАТА ДЛЯ ОЧИСТНЫХ ЦЕЛЕЙ, А ТАКЖЕ ВСАСЫВАЮЩИЙ АППАРАТ ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА

1. Способ очистки первого фильтра и второго фильтра всасывающего аппарата для очистных целей, который имеет грязесборник с всасывающим впускным отверстием,
при этом к грязесборнику через первый фильтр и второй фильтр, а также примыкающую к ним первую отсасывающую линию или же вторую отсасывающую линию подводят разряжение,
при этом первый запорный клапан и второй запорный клапан закрывает первое впускное отверстие наружного воздуха или же второе впускное отверстие наружного воздуха в первую отсасывающую линию или же вторую отсасывающую линию, и
при этом для очистки первого фильтра и второго фильтра первый запорный клапан или же второй запорный клапан открывают для того, чтобы на первый фильтр или же второй фильтр со стороны чистого пространства подавать наружный воздух,
отличающийся тем, что
к грязесборнику через первую отсасывающую линию и первый фильтр с помощью первого всасывающего агрегата всасывающего аппарата, а также через вторую отсасывающую линию и второй фильтр с помощью второго всасывающего агрегата всасывающего аппарата подводят разряжение, и, по меньшей мере, во время очистки первого фильтра и второго фильтра первую отсасывающую линию и вторую отсасывающую линию со стороны чистого пространства герметизируют относительно друг друга.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что первую отсасывающую линию и вторую отсасывающую линию со стороны чистого пространства постоянно герметизируют относительно друг друга.
3. Способ по п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и второй запорный клапан приводят в действие в разные моменты времени,
4. Способ п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и второй запорный клапан являются открытыми не в один и тот же момент времени.
5. Способ п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и/или второй запорный клапан приводят в действие через задаваемые интервалы времени.
6. Способ п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и/или второй запорный клапан открывают на задаваемые периоды времени.
7. Способ п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и/или второй запорный клапан приводят в действие электронным образом.
8. Способ п.1 или п.2, отличающийся тем, что первый запорный клапан и/или второй запорный клапан приводят в действие в зависимости от возникающего между первой отсасывающей линией и грязесборником или же между второй отсасывающей линией и грязесборником перепада давлений при закрытом первом запорном клапане или же закрытом втором запорном клапане.
9. Всасывающий аппарат для очистных целей для осуществления способа п.1 или 2 с грязесборником (24), который имеет всасывающее впускное отверстие (26), при этом всасывающий аппарат (10; 100) на первом всасывающем выпускном отверстии (28) имеет первый фильтр (56), а на втором всасывающем выпускном отверстии (30) - второй фильтр (58), к которым примыкают первая отсасывающая линия (52) или же вторая отсасывающая линия (54), посредством которых грязесборник (24) выполнен с возможностью подвода к нему разряжения, и
при этом всасывающий аппарат (10; 100) имеет первое впускное отверстие (62) наружного воздуха, а также второе впускное отверстие (64) наружного воздуха, через которое наружный воздух может поступать в первую отсасывающую линию (52) или же вторую отсасывающую линию (54) для подвода со стороны чистого пространства к первому фильтру (56) или же второму фильтру (58) наружного воздуха, и которое выполнено с возможностью запирания посредством первого запорного клапана (70) или же второго запорного клапана (72),
отличающийся тем, что
всасывающий аппарат (10; 100) имеет первый всасывающий агрегат (46) для подвода разряжения к грязесборнику (24) через первую отсасывающую линию (52) и первый фильтр (56), а также второй всасывающий агрегат (50) для подвода разряжения к грязесборнику (24) через вторую отсасывающую линию (54) и второй фильтр (58), и
что первая отсасывающая линия (52) и вторая отсасывающая линия (54) со стороны чистого пространства являются герметизированными относительно друг друга, по меньшей мере, во время очистки первого фильтра (56) и второго фильтра (58).
10. Всасывающий аппарат по п.9, отличающийся тем, что первая отсасывающая линия (52) и вторая отсасывающая линия (54) постоянно герметизированы относительно друг друга.
11. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что первая отсасывающая линия (52) и вторая отсасывающая линия (54) выполнены в виде пространственно отделенных друг от друга отсасывающих каналов.
12. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что всасывающий аппарат (10; 100) имеет корпус (12) с первой деталью (14) корпуса, которая, по меньшей мере частично, образует первую отсасывающую линию (52) и/или вторую отсасывающую линию (54).
13. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что всасывающий аппарат (10; 100) имеет корпус (12) со второй деталью (16) корпуса, которая, по меньшей мере частично, образует стенку по меньшей мере одного канала (66) наружного воздуха, который через первое впускное отверстие (62) наружного воздуха оканчивается в первой отсасывающей линии (52) и/или через второе впускное отверстие (64) наружного воздуха оканчивается во второй отсасывающей линии (54).
14. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что первый запорный клапан (70) и/или второй запорный клапан (72) имеют неподвижное относительно аппарата первое седло (62) клапана или же второе седло (64) клапана, а также подвижный относительно него первый стержень (74) клапана или же второй стержень (80) клапана, который в закрытом положении прилегает к первому седлу (62) клапана или же второму седлу (64) клапана, а в открытом положении приподнят от первого седла (62) клапана или же от второго седла (64) клапана.
15. Всасывающий аппарат по п.14, отличающийся тем, что первый запорный клапан (70) и/или второй запорный клапан (72) содержат первый возвратный элемент (106) или же второй возвратный элемент (110), против действия которого первый стержень (74) клапана или же второй стержень (80) клапана является переводимым из закрытого положения в открытое положение.
16. Всасывающий аппарат по п.14, отличающийся тем, что первый запорный клапан (70) и/или второй запорный клапан (72) содержат первый электромагнит (102) или же второй электромагнит (108), под действием которого первый стержень (74) клапана или же второй стержень (80) клапана удерживается в закрытом положении.
17. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что всасывающий аппарат (10; 100) содержит находящийся в электрическом соединении с первым запорным клапаном (70) и/или вторым запорным клапаном (72) блок (76) управления и/или регулирования, с помощью которого являются управляемыми первый запорный клапан (70) или же второй запорный клапан (72).
18. Всасывающий аппарат по п.9 или 10, отличающийся тем, что первый всасывающий агрегат (46) и второй всасывающий агрегат (50) и/или первая отсасывающая линия (52) и вторая отсасывающая линия (54) и/или что первый запорный клапан (70) и второй запорный клапан (72), относительно средней продольной плоскости всасывающего аппарата (10; 100), расположены на всасывающем аппарате (10; 100) симметрично друг другу.