СИСТЕМЫ И СПОСОБЫ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗА В РЕАКТОРЕ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

1. Реакторная система, включающая:
реакционную камеру, включающую по меньшей мере одну опорную плиту, закрепленную в реакционной камере, и кожух, функционально соединенный с опорной плитой;
по меньшей мере один накальный элемент, прикрепленный к опорной плите;
источник электрического тока для подведения тока по меньшей мере к одному накальному элементу;
источник газа, функционально связанный с реакционной камерой для создания газового потока через реакционную камеру; и
вертикальную трубу, функционально соединенную с источником газа, для ввода газового потока в реакционную камеру.
2. Реакторная система по п.1, в которой ток подводят непосредственно к накальному элементу через электрический подвод в опорной плите.
3. Реакторная система по п.1, в которой реакционная камера дополнительно включает смотровое окно для наблюдения за внутренней частью реакционной камеры.
4. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба сделана из кремния.
5. Реакторная система по п.1, дополнительно включающая по меньшей мере одну дополнительную вертикальную трубу, введенную в реакционную камеру.
6. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба выполнена с возможностью приема отложений из поликристаллического кремния в реакционной камере.
7. Реакторная система по п.1, в которой вертикальная труба дополнительно включает соединительный наконечник и корпус трубы, причем соединительный наконечник предназначен для соединения с источником газа.
8. Реакторная система по п.7, в которой диаметр корпуса трубы выбирают на основе по меньшей мере желательной величины расхода газового потока.
9. Реакторная система по п.7, в которой соединительный наконечник дополнительно включает прокладку для уплотнения вертикальной трубы с источником газа.
10. Реакторная система по п.1, в которой реакторная система представляет собой реакторную систему для химического осаждения из паровой фазы.
11. Реакторная система по п.1, дополнительно включающая систему охлаждения, имеющую по меньшей мере один впуск для текучей среды и выпуск для текучей среды, функционально связанные с реакторной системой.
12. Способ осаждения материала в реакторе, включающий стадии, на которых:
предоставляют реакционную камеру, включающую по меньшей мере одну опорную плиту, закрепленную в реакционной камере, и кожух, функционально соединенный с опорной плитой;
присоединяют по меньшей мере один накальный элемент к опорной плите;
подсоединяют источник электрического тока к реакционной камере для подведения тока к накальному элементу;
подсоединяют источник газа к реакционной камере для обеспечения протекания газа через реакционную камеру;
подсоединяют вертикальную трубу к источнику газа для распределения газового потока внутри реакционной камеры; и
обеспечивают работу реактора для осаждения материала на по меньшей мере одном накальном элементе в реакционной камере.
13. Способ по п.12, в котором материал, осаждаемый на накальном элементе, представляет собой поликристаллический кремний.
14. Способ по п.12, в котором накальный элемент включает кремний.
15. Способ по п.12, в котором реактор представляет собой реактор для химического осаждения из паровой фазы.
16. Способ по п.12, дополнительно включающий стадию, на которой:
подводят электрический ток непосредственно к накальному элементу через электрический подвод в опорной плите.
17. Способ по п.12, в котором реакционная камера дополнительно включает смотровое окно для наблюдения за внутренней частью реакционной камеры.
18. Способ по п.12, в котором вертикальная труба сделана из кремния.
19. Реакционная камера, содержащая:
по меньшей мере одну опорную плиту, закрепленную в реакционной камере;
по меньшей мере один накальный элемент, прикрепленный к опорной плите, причем реакционная камера функционально соединена с источником электрического тока и источником газа для обеспечения осаждения материала на по меньшей мере одном накальном элементе; и
вертикальную трубу, функционально прикрепленную к источнику газа, для распределения газового потока внутри реакционной камеры.
20. Реакционная камера по п.19, в которой электрический ток подводят к накальному элементу с помощью источника электрического тока.
21. Реакционная камера по п.20, в которой электрический ток подводят непосредственно к накальному элементу через электрический подвод в опорной плите.
22. Реакционная камера по п.19, дополнительно включающая по меньшей мере один газовпуск и газовыпуск, функционально связанные с реакционной камерой, для создания газового потока через реакционную камеру.
23. Реакционная камера по п.19, дополнительно включающая смотровое окно для наблюдения за внутренней частью реакционной камеры.