СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ НИТРИДНЫХ ПОКРЫТИЙ

-3
-6
6
10
2
Способ формирования нитридных покрытий, включающий воздействие импульсного лазерного излучения на поверхность подложки в азотсодержащей среде при длительности лазерного импульса 10-10 с и плотности мощности лазерного излучения 2·10 - 10 Вт/см, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа, в качестве азотсодержащей среды используют слой жидкости азота, сформированного на поверхности подложки, причем толщину слоя жидкого азота выбирают в интервале (2-5)D, где D - диаметр лазерного пятна на поверхности, равной 0,5-1,5 мм.