СПОСОБ ГЕНЕРАЦИИ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА ПЕРЕХОДАХ ГАЛОГЕНИДОВ И ДИМЕРОВ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ

1. Способ генерации ультрафиолетового излучения на эксимерных переходах галогенидов и димеров инертных газов, включающий возбуждение тлеющим разрядом смесей инертных газов и/или смесей инертных газов с галогенсодержащими молекулами, отличающийся тем, что возбуждение производится в тлеющем разряде с полым катодом, изготовленным из никеля и/или поверхность которого покрыта никелем.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой никеля на поверхности полого катода составляет не менее 2 мкм, предпочтительно 10-20 мкм.