ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

1. Способ осаждения тонкой пленки на подложку в поточной вакуумной системе обработки, включающий в себя следующие стадии:
a) введение первой подложки в запорно-загрузочную камеру (2);
b) снижение давления в упомянутой камере;
c) перемещение упомянутой первой подложки в первую камеру (4) осаждения и размещение упомянутой подложки на первом подложкодержателе (11);
d) осаждение слоя первого материала по меньшей мере частично на упомянутую первую подложку, используя первый набор параметров нанесения покрытия;
e) перемещение упомянутой первой подложки во вторую, следующую камеру (5) осаждения упомянутой поточной системы без нарушения вакуума и размещение упомянутой подложки на втором подложкодержателе (12);
f) осаждение еще одного слоя упомянутого первого материала по меньшей мере частично на упомянутую первую подложку, используя, по существу, такой же набор параметров нанесения покрытия;
g) перемещение упомянутой первой подложки в запорно-загрузочную камеру (10);
h) удаление упомянутой первой подложки из упомянутой системы;
и одновременно со стадией f) обработку второй подложки согласно стадии d) в упомянутой поточной вакуумной системе.
2. Способ по п.1, в котором упомянутый первый набор параметров нанесения покрытия включает в себя расход газа, химические вещества и давление.
3. Способ по п.1, в котором упомянутое осаждение включает в себя одно из CVD, PECVD, LPCVD, PVD или реактивного PVD.
4. Способ по п.1, в котором стадия b) включает в себя дополнительную стадию нагревания подложки.
5. Способ по п.1, в котором общую толщину упомянутого слоя осаждают за n стадий при толщине слоя 1/n на каждой в n камерах осаждения.
6. Способ по п.1, в котором используют реагенты, такие как вода в жидком или газообразном виде, металлоорганические вещества, такие как диэтилцинк (ДЭЦ), и диборан в качестве легирующей примеси.
7. Установка для поточной вакуумной обработки подложек, содержащая
по меньшей мере одну запорно-загрузочную камеру (2);
по меньшей мере две следующие камеры (4, 5) осаждения, предназначенные для работы с, по существу, одинаковым набором параметров нанесения покрытия и образующие цепь камер осаждения, где в каждом случае выполняют часть осаждения;
по меньшей мере одну запорно-разгрузочную камеру (10); и
средства для перемещения последующей обработки подложек и/или обращения с ними через различные камеры и внутри них.
8. Установка по п.7, в которой камеры осаждения дополнительно содержат средства для транспортировки подложки, причем упомянутые средства представляют собой выдвигающиеся колесики или ролики (36) и вертикально подвижные штифты, приспособленные поднимать подложку с роликов.
9. Установка по п.7, в которой камеры осаждения (4, 5) и запорно-загрузочная и запорно-разгрузочная камеры (2, 10) расположены последовательно по прямой линии, и при этом под этими камерами расположены средства (21-26) обратной транспортировки для перемещения подложек в противоположном направлении относительно процесса осаждения в верхних камерах.
10. Установка по п.9, которая дополнительно содержит станцию (1) загрузки, содержащую лифт или подъемник для подъема обработанной подложки со средств обратной транспортировки с целью доставки подложки с нанесенным покрытием на место, где по меньшей мере один рабочий или одна машина может принять ее и складировать ее отдельно.