СПОСОБ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ САПФИРОВОЙ ПОДЛОЖКИ

1. Способ механической обработки сапфировой подложки, который включает в себя следующие операции:
шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием первого связанного абразива и шлифование второй поверхности сапфировой подложки, противоположной первой поверхности; и
шлифование указанной первой поверхности сапфировой подложки с использованием второго связанного абразива, отличного от первого связанного абразива, причем второй связанный абразив имеет меньший средний размер зерна, чем первый связанный абразив, при этом второй связанный абразив представляет собой абразив с самозаправкой.
2. Способ по п.1, в котором первый связанный абразив представляет собой абразив с самозаправкой.
3. Способ по п.2, в котором шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием первого связанного абразива предусматривает приложение пиковой нормальной силы к первой поверхности, которая не превышает 50 Н/мм ширины.
4. Способ по п.3, в котором пиковая нормальная сила является постоянной в течение времени шлифования.
5. Способ по п.2, в котором первый связанный абразив содержит крупные зерна абразива в матрице связующего материала.
6. Способ по п.1, в котором шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием первого связанного абразива предусматривает удаление ориентировочно не меньше чем 30 мкм материала.
7. Способ по п.6, в котором шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием первого связанного абразива предусматривает удаление ориентировочно не меньше чем 40 мкм материала.
8. Способ по п.1, в котором шлифование с использованием первого связанного абразива предусматривает шлифование со скоростью ориентировочно не меньше чем 2000 об/мин.
9. Способ по п.1, в котором второй связанный абразив содержит мелкие зерна абразива в матрице связующего материала.
10. Способ по п.9, в котором мелкие зерна абразива имеют средний размер ориентировочно не более 100 мкм.
11. Способ по п.9, в котором второй связанный абразив имеет пористость в диапазоне от 30 до 70 об.%.
12. Способ по п.1, в котором шлифование первой поверхности сапфировой подложки с использованием второго связанного абразив предусматривает приложение пиковой нормальной силы к первой поверхности, которая ориентировочно не превышает 50 Н/мм.
13. Способ по п.12, в котором пиковая нормальная сила является постоянной в течение времени шлифования.
14. Способ по п.1, в котором шлифование с использованием второго связанного абразива предусматривает удаление ориентировочно не меньше чем 5,0 мкм материала с указанной первой поверхности сапфировой подложки.
15. Способ по п.1, который дополнительно предусматривает отрезание сапфирового диска от сапфировой ленты, чтобы образовать сапфировую подложку.