СИСТЕМА ОБНАЖЕННЫХ ПРОВОДНИКОВ И СПОСОБ ДЛЯ СЧИТЫВАНИЯ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ

1. Детектор (104; 300) для считывания интенсивности пучка (106) электронов, сформированного вдоль траектории, содержащий:
обнаженный проводник (105; 404), прикрепленный к опоре (112), которая сконфигурирована для расположения проводника в пределах траектории пучка (106) электронов; и
второй проводник (107; 402), изолированный от обнаженного проводника (105; 404), причем проводник (107; 402) присоединен к потенциалу электрического напряжения и частично окружает обнаженный проводник (105; 404), чтобы формировать плазменный экран, при этом плазменный экран имеет окно, посредством которого обнаженный проводник (105; 404) открывается для экспонирования пучку (106) электронов, окно является расположенным по меньшей мере на направлении траектории пучка электронов.
2. Детектор по п.1, в котором второй проводник (107; 402) присоединен к потенциалу земли детектора (104).
3. Детектор по п.1, в котором второй проводник (107; 402) присоединен к потенциалу электрического напряжения, достаточному для воздействия на скорость, с которой электроны отбираются из плазмы в окрестности детектора (104).
4. Детектор по п.1, содержащий:
измеритель (126) тока для детектирования электрического тока в обнаженном проводнике (105) в качестве меры интенсивности пучка электронов.
5. Детектор по п.1, в котором обнаженный проводник (105) сформирован с внешним проводящим покрытием.
6. Детектор по п.5, в котором внешнее проводящее покрытие является инертным проводящим материалом.
7. Детектор по п.1, содержащий:
решетку обнаженных проводников для детектирования интенсивности пучка (106) электронов в каждом из множества местоположений в пределах траектории.
8. Детектор по п.7, в котором обнаженные проводники решетки скомпонованы под углами относительно требуемого направления транспортировки материала мишени в пределах области (108) мишени и в плоскости, расположенной поперек траектории.
9. Детектор по п.7, содержащий:
средство для сравнения уровня электрического тока, детектированного в по меньшей мере двух разных обнаженных проводниках в качестве меры интенсивности пучка электронов.
10. Детектор по п.1, в котором обнаженный проводник сформирован в качестве проводящей поверхности подложки.
11. Детектор по п.10, содержащий:
решетку обнаженных проводников, каждый сформирован на подложке, для детектирования интенсивности пучка электронов в каждом из многочисленных местоположений.
12. Детектор по п.11, в котором обнаженные проводники скомпонованы под углами относительно требуемого направления транспортировки материала мишени в пределах области (108) мишени и в плоскости, расположенной поперек траектории.
13. Детектор по п.1, содержащий:
изолирующий элемент (406), присоединенный к заземленному проводнику (402).
14. Детектор (104) по п.1, в сочетании с системой (100) для облучения области (108) мишени пучком (106) электронов, испускаемым вдоль траектории, содержащий:
генератор (102) пучка электронов для испускания пучка (106) электронов вдоль траектории, при этом генератор (102) пучка электронов включает в себя окно (124) выхода электронов, детектор (104) является расположенным в позиции вдоль траектории между генератором (102) электронов и областью (108) мишени, чтобы детектировать и измерять интенсивность пучка (106) электронов, выходящих из окна (124) выхода электронов.
15. Детектор по п.14, при этом детектор (104; 300) наложен на внешнюю часть окна (124) выхода электронов.
16. Детектор по п.14, содержащий:
контроллер (128) пучка электронов для регулирования интенсивности пучка (106) электронов в ответ на выходной сигнал детектора (104; 300) пучка электронов.
17. Детектор по п.14, в котором пучок (106) электронов испускается с энергией, меньшей, чем 100 кэВ.
18. Детектор по п.14, содержащий опору (114) для удерживания материала мишени на области (108) мишени, опора включает в себя:
по меньшей мере один ролик транспортировки ленты упаковочного материала.
19. Детектор по п.1, содержащий:
изолятор (406), сформированный в Н-образной конфигурации, при этом обнаженный проводник (404) и второй проводник (402) изолированы один от другого изолятором (406).
20. Система в сочетании с детектором по п.19, содержащая:
первый датчик, присоединенный к обнаженному проводнику (404);
второй датчик, присоединенный ко второму проводнику (402); и
процессор для объединения выходных сигналов первого и второго датчиков в качестве меры интенсивности пучка электронов.
21. Устройство для считывания интенсивности пучка (106) электронов, сформированного вдоль траектории, содержащее:
средство (404) для проведения тока, созданного электронами пучка (106) электронов; и
средство (406) для экранирования средства проведения от плазмы, средство (406) экранирования имеет окно (408), расположенное для непосредственного экспонирования по меньшей мере части средства (404) проведения на траекторию пучка электронов.
22. Устройство по п.21 в сочетании со:
средством (102) для испускания пучка (106) электронов вдоль траектории, средство (102) испускания включает в себя окно (124) выхода электронов; и
средством (114) для поддержки материала мишени на области (108) мишени.
23. Устройство по п.22, содержащее:
средство (126) для измерения электрического тока из средства (404) проведения в качестве меры интенсивности пучка электронов.
24. Устройство по п.22, в котором средство (404) проведения включает в себя:
решетку обнаженных проводников для детектирования интенсивности пучка (106) электронов в каждом из множества местоположений в пределах траектории.
25. Устройство по п.22, в котором средство (404) проведения сформировано в качестве проводящей поверхности на подложке.
26. Устройство по п.22, содержащее:
средство (128) для управляемого регулирования интенсивности пучка (106) электронов в ответ на выходной сигнал средства (126) детектирования.
27. Детектор для считывания интенсивности пучка электронов, сформированного вдоль траектории, содержащий:
обнаженный проводник (404), прикрепленный к опоре (112), которая сконфигурирована для расположения проводника (404) в пределах траектории пучка (106) электронов; и
второй проводник (402), изолированный от обнаженного проводника (404) и расположенный, чтобы воздействовать на влияние вторичных электронов на обнаженный проводник (404) существенным ограничением экспонирования обнаженного проводника (404) по меньшей мере направлением траектории (106) пучка электронов.
28. Детектор по п.27, в котором влияние вторичных электронов на обнаженный проводник (404) достигается существенным ограничением угла экспонирования упомянутого проводника для экспонирования по меньшей мере в направлении траектории (106) пучка электронов.
29. Детектор по п.27, содержащий:
измеритель (126) тока для измерения электрического тока в обнаженном проводнике (404, 105) в качестве меры интенсивности пучка электронов.
30. Детектор по п.27, содержащий:
решетку обнаженных проводников для детектирования интенсивности пучка (106) электронов в каждом из множества местоположений в пределах траектории.
31. Детектор по п.27, в котором обнаженный проводник сформирован в качестве проводящей поверхности на подложке.
32. Детектор по п.27, при этом детектор (104) наложен на внешнюю часть окна (124) выхода электронов.
33. Способ для облучения области (108) мишени пучком (106) электронов, испускаемым вдоль траектории, состоящий в том, что:
испускают пучок (106) электронов через окно (124) выхода электронов и вдоль траектории;
детектируют пучок (106) электронов, выходящий из окна (124) выхода электронов, детектирование выполняется с использованием обнаженного проводника (105; 404); причем
второй проводник (107; 402), изолированный от обнаженного проводника (105; 404), второй проводник (107; 402) частично окружает обнаженный проводник (105; 404), чтобы формировать плазменный экран, имеющий окно (408), расположенное по меньшей мере в направлении траектории пучка электронов; и
поддерживают перемещающийся материал мишени в требуемой позиции измерения относительно обнаженного проводника (105; 404).
34. Способ по п.33, в котором обнаженный проводник (105; 404) расположен между окном (124) выхода электронов и материалом мишени.
35. Способ по п.33, состоящий в том, что:
измеряют электрический ток из проводника (105; 404) в качестве меры интенсивности пучка электронов.