СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНОГО ГРАДИЕНТНОГО ПОКРЫТИЯ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

1. Способ получения многослойного градиентного покрытия методом магнетронного напыления, включающий нанесение на предварительно очищенную поверхность металлической подложки адгезионного слоя тугоплавких металлов в среде инертного газа, а затем нитридов тугоплавких металлов в газовой смеси инертного и реакционного газа, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют в направлении толщины напыляемого слоя с получением на поверхности покрытия нитридного слоя.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержание нитридов тугоплавких металлов изменяют от 0% до 100%, выдерживают до получения требуемой толщины нитридного слоя, затем уменьшают в обратном порядке, выдерживают до получения требуемой толщины слоя тугоплавких металлов и вновь увеличивают в направлении толщины напыляемого слоя.
-2
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что для увеличения и уменьшения содержания нитридов тугоплавких металлов давление реакционного газа изменяют по линейной зависимости, соответственно, от 0 до 8·10 Па, а затем в обратном порядке.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что процесс повторяют до достижения требуемой толщины покрытия.