ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ФИЛЬТР, ОПТИЧЕСКИЙ МОДУЛЬ И АНАЛИЗИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

1. Интерференционный фильтр, содержащий:
первую отражательную пленку; и
вторую отражательную пленку, размещенную так, чтобы обращаться к первой отражательной пленке с зазором между ними,
в котором первая отражательная пленка включает первую пленку сплава Ag-Sm-Cu, которая содержит серебро (Ag), самарий (Sm) и медь (Cu), и
вторая отражательная пленка включает вторую пленку сплава Ag-Sm-Cu, которая содержит серебро (Ag), самарий (Sm) и медь (Cu).
2. Интерференционный фильтр по п.1, в котором каждая из первой и второй пленок сплава Ag-Sm-Cu имеет:
содержание Sm от 0,1 ат.% до 0,5 ат.%, включительно;
содержание Cu от 0,1 ат.% до 0,5 ат.%, включительно;
полное содержание Sm и Cu 1 ат.% или меньше.
3. Интерференционный фильтр по п.1, в котором:
первая отражательная пленка представляет собой первую однослойную пленку, образованную из первой пленки сплава Ag-Sm-Cu; и
вторая отражательная пленка представляет собой вторую однослойную пленку, образованную из второй пленки сплава Ag-Sm-Cu.
4. Интерференционный фильтр по п.1, дополнительно содержащий:
первую подложку, поддерживающую первую отражательную пленку, и
вторую подложку, поддерживающую вторую отражательную пленку, и
в котором первая отражательная пленка включает первую диэлектрическую пленку, обеспеченную между первой пленкой сплава Ag-Sm-Cu и первой подложкой,
вторая отражательная пленка включает вторую диэлектрическую пленку, обеспеченную между второй пленкой сплава Ag-Sm-Cu и второй подложкой, и
каждая из первой и второй диэлектрических пленок представляет собой одну из:
2
однослойной пленки из оксида титана (TiO); и
многослойной пленки, которая представляет собой ламинат из:
2
2
5
слоя оксида титана (TiO) или окиси тантала (TaO); и
2
2
слоя оксида кремния (SiO) или фторида магния (MgF).
5. Интерференционный фильтр по п.4,
в котором первая отражательная пленка включает первую защитную пленку, обеспеченную на первой пленке сплава Ag-Sm-Cu, противоположной первой диэлектрической пленке,
вторая отражательная пленка включает вторую защитную пленку, обеспеченную на второй пленке сплава Ag-Sm-Cu, противоположной второй диэлектрической пленке, и
2
каждая из первой и второй защитных пленок содержит оксид кремния (SiO), оксинитрид кремния (SiON), нитрид кремния (SiN) или оксид алюминия.
6. Интерференционный фильтр, содержащий:
первую отражательную пленку; и
вторую отражательную пленку, размещенную так, чтобы обращаться к первой отражательной пленке с зазором между ними,
в котором первая отражательная пленка включает первую пленку сплава Ag-Bi-Nd, которая содержит серебро (Ag), висмут (Bi) и неодим (Nd), и
вторая отражательная пленка включает вторую пленку сплава Ag-Bi-Nd, которая содержит серебро (Ag), висмут (Bi) и неодим (Nd).
7. Интерференционный фильтр по п.6, в котором каждая из первой и второй пленок сплава Ag-Bi-Nd имеет:
содержание Bi от 0,1 ат.% до 3 ат.%, включительно;
содержание Nd от 0,1 ат.% до 5 ат.%, включительно.
8. Оптический модуль, содержащий:
интерференционный фильтр по одному из пп.1-4; и
детектор, который обнаруживает количество света, отбираемого этим интерференционным фильтром.
9. Оптический модуль, содержащий:
интерференционный фильтр по одному из пп.6 и 7; и
детектор, который обнаруживает количество света, отбираемого этим интерференционным фильтром.
10. Анализирующее устройство, содержащее:
интерференционный фильтр по одному из пп.1-4;
детектор, который обнаруживает количество света, отбираемого этим интерференционным фильтром; и
процессор, который выполняет фотометрический процесс, основанный на количестве света, обнаруженного детектором.
11. Анализирующее устройство, содержащее:
интерференционный фильтр по одному из пп.6 и 7;
детектор, который обнаруживает количество света, отбираемого этим интерференционным фильтром; и
процессор, который выполняет фотометрический процесс, основанный на количестве света, обнаруженного детектором.
12. Интерференционный фильтр, содержащий:
первую отражательную пленку; и
вторую отражательную пленку, размещенную так, чтобы обращаться к первой отражательной пленке с зазором между ними,
в котором первая и вторая отражательные пленки включают одну из:
пленки сплава Ag-Sm-Cu, которая содержит серебро (Ag), самарий (Sm) и медь (Cu); и
пленки сплава Ag-Bi-Nd, которая содержит серебро (Ag), висмут (Bi) и неодим (Nd).
13. Интерференционный фильтр по п.12, в котором
пленка сплава Ag-Sm-Cu имеет:
содержание Sm от 0,1 ат.% до 0,5 ат.%, включительно;
содержание Cu от 0,1 ат.% до 0,5 ат.%, включительно; и
полное содержание Sm и Cu 1 ат.% или меньше, и
пленка сплава Ag-Bi-Nd имеет:
содержание Bi от 0,1 ат.% до 3 ат.%, включительно;
содержание Nd от 0,1 ат.% до 5 ат.%, включительно.
14. Интерференционный фильтр по п.12, дополнительно содержащий:
первую подложку, поддерживающую первую отражательную пленку, и
вторую подложку, поддерживающую вторую отражательную пленку, и
в котором первая отражательная пленка включает первую диэлектрическую пленку, обеспеченную между первой пленкой сплава, которая представляет собой одну из пленки сплава Ag-Sm-Cu и пленки сплава Ag-Bi-Nd, и первой подложкой,
вторая отражательная пленка включает вторую диэлектрическую пленку, обеспеченную между второй пленкой сплава, которая представляет собой одну из пленки сплава Ag-Sm-Cu и пленки сплава Ag-Bi-Nd, и второй подложкой, и
каждая из первой и второй диэлектрических пленок представляет собой одну из:
2
однослойной пленки из оксида титана (TiO); и
многослойной пленки, которая представляет собой ламинат из:
2
2
5
слоя оксида титана (TiO) или окиси тантала (TaO); и
2
2
слоя оксида кремния (SiO) или фторида магния (MgF).
15. Интерференционный фильтр по п.14,
в котором первая отражательная пленка включает первую защитную пленку, обеспеченную на первой пленке сплава, противоположной первой диэлектрической пленке,
вторая отражательная пленка включает вторую защитную пленку, обеспеченную на второй пленке сплава, противоположной второй диэлектрической пленке, и
2
каждая из первой и второй защитных пленок содержит оксид кремния (SiO), оксинитрид кремния (SiON), нитрид кремния (SiN) или оксид алюминия.