СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ И ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ)

1. Способ измерения давления, содержащий этапы, на которых подают первое давление на жидкую или газообразную среду, воздействующую на закрепленную в корпусе упругую прогибаемую пластинку с одной стороны пластинки, подают второе давление на жидкую или газообразную среду, воздействующую на пластинку с другой стороны пластинки, или поддерживают с другой стороны пластинки вакуум, измеряют параметры пластинки, включая величину прогиба и величину кривизны в ограниченной области пластинки, вычитают величину кривизны пластинки в ограниченной области, умноженную на нормирующий коэффициент из величины прогиба пластинки, через результат вычитания выражают момент силы в области закрепления пластинки, используют момент силы и один из измеренных параметров - кривизну пластинки или величину прогиба пластинки в качестве аргументов функции вычисления измеряемой величины давления, определенной с условием минимизации влияния на результат вычисления измеряемой величины давления момента силы в области закрепления пластинки, вычисляют с помощью этой функции величину измеряемого давления.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что измеряют величину кривизны в центральной или периферийной области пластинки.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что измеряют величину прогиба в центральной или периферийной области пластинки.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для измерения величины прогиба используют измерительный преобразователь величины прогиба пластинки, выполненный на основе емкостных, или оптических, или струнных, или электромагнитных чувствительных элементов, для измерения кривизны пластинки используют измерительный преобразователь кривизны пластинки на основе тензорезисторных, или оптических, или струнных, или акустических, чувствительных, или емкостных элементов, из величины выходного сигнала измерительного преобразователя величины прогиба пластинки вычитают величину выходного сигнала измерительного преобразователя кривизны пластинки, момент силы в области закрепления пластинки выражают через результат вычитания.
5. Способ измерения давления, содержащий этапы, на которых подают первое давление на жидкую или газообразную среду, воздействующую на закрепленную в корпусе упругую прогибаемую пластинку с одной стороны пластинки, подают второе давление на жидкую или газообразную среду, воздействующую на пластинку с другой стороны пластинки, или поддерживают с другой стороны пластинки вакуум, измеряют параметры пластинки, включая величину прогиба и величину кривизны в ограниченной области пластинки, используют величину прогиба и величину кривизны в ограниченной области пластинки в качестве аргументов функции вычисления измеряемой величины давления, определенной с условием минимизации влияния на результат вычисления измеряемой величины давления момента силы в области закрепления пластинки, выраженного через величину прогиба пластинки и величину кривизны пластинки в ограниченной области, вычисляют с помощью этой функции величину измеряемого давления.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что измеряют величину кривизны в центральной или периферийной области пластинки.
7. Способ по п.5, отличающийся тем, что измеряют величину прогиба в центральной или периферийной области пластинки.
8. Способ измерения давления с помощью датчика, содержащего закрепленную в корпусе упругую прогибаемую пластинку, две не сообщающиеся между собой полости, расположенные с разных сторон пластинки, при этом, по меньшей мере, одна полость заполнена жидкой или газообразной средой, причем жидкая или газообразная среда способна воспринимать давление и воздействовать силой давления на пластинку, измерительный преобразователь величины прогиба пластинки, измерительный преобразователь кривизны пластинки, выходной сигнал которого связан с величиной кривизны в ограниченной области пластинки, устройство вычитания и вычислительное устройство, содержащий этапы на которых вычитают из выходного сигнала измерительного преобразователя величины прогиба пластинки, выходной сигнал измерительного преобразователя кривизны пластинки, результирующий сигнал вычитания и один из сигналов - сигнал величины кривизны пластинки или сигнал величины прогиба пластинки используют для вычисления измеряемой величины давления.
9. Датчик давления, содержащий закрепленную в корпусе упругую прогибаемую пластинку, две не сообщающиеся между собой полости, расположенные с разных сторон пластинки, при этом, по меньшей мере, одна полость заполнена жидкой или газообразной средой, причем жидкая или газообразная среда способна воспринимать давление и воздействовать силой давления на пластинку, измерительный преобразователь величины прогиба пластинки, измерительный преобразователь кривизны пластинки, выходной сигнал которого связан с величиной кривизны в ограниченной области пластинки, устройство вычитания и вычислительное устройство, причем выходы измерительного преобразователя кривизны пластинки и измерительного преобразователя величины прогиба пластинки подключены к входам устройства вычитания, выход устройства вычитания подключен к первому входу вычислительного устройства, второй вход вычислительного устройства подключен к выходу измерительного преобразователя кривизны пластинки или к выходу измерительного преобразователя величины прогиба.
10. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что пластинка выполнена относительно небольшой толщины в виде мембраны.
11. Датчик давления по п.9, отличающийся тем, что устройство вычитания и вычислительное устройство выполнены на основе аналоговых или цифровых элементов или на основе комбинации аналоговых и цифровых элементов.
12. Датчик давления, содержащий закрепленную в корпусе упругую прогибаемую пластинку, две не сообщающиеся между собой полости, расположенные с разных сторон пластинки, при этом, по меньшей мере, одна полость заполнена жидкой или газообразной средой, причем жидкая или газообразная среда способна воспринимать давление и воздействовать силой давления на пластинку, измерительный преобразователь величины прогиба пластинки, измерительный преобразователь кривизны пластинки, выходной сигнал которого связан с величиной кривизны в ограниченной области пластинки, и вычислительное устройство, причем выходы измерительных преобразователей подключены к вычислительному устройству.
13. Датчик давления по п.12, отличающийся тем, что выходной сигнал измерительного преобразователя кривизны связан с величиной прогиба в центральной или периферийной области пластинки.
14. Датчик давления по п.12, отличающийся тем, что пластинка выполнена относительно небольшой толщины в виде мембраны.
15. Датчик давления по п.12 отличающийся тем, что вычислительное устройство выполнено на основе аналоговых или цифровых элементов или на основе комбинации аналоговых и цифровых элементов.