СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ И РЕАКТОР ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1
1
2
1
2
1
1
2
2
1. Способ получения поликристаллического кремния с использованием способа Siemens, включающий первую стадию с относительно низкой подачей газа; последнюю стадию с относительно высокой подачей газа и промежуточную стадию, на которой количество подаваемого газа увеличивают от величины подачи на первой стадии до величины подачи на последней стадии при подаче исходного газа, содержащего газообразные хлорсиланы и газообразный водород, в реактор через входное отверстие с сопловой насадкой с целью осаждения поликристаллического кремния на кремниевой электродной проволоке, при этом все три стадии осуществляют при температуре реакции от 900 до 1250˚С и под давлением от 0,3 до 0,9 МПа, скорость у входного отверстия с сопловой насадкой составляет 150 м/с или более при максимальной подаче исходного газа на последней стадии, и подачу газа и температуру кремниевого стержня регулируют в соответствии со следующими условиями А-С в зависимости от диаметра D стержня поликристаллического кремния, который изменяется в ходе реакции осаждения после ее начала: условие А (количество подаваемых газообразных хлорсиланов): газообразные хлорсиланы подают в количестве одной трети или менее максимальной подачи газообразных хлорсиланов до тех пор, пока не будет достигнута заданная величина D от 15 мм до 40 мм, подаваемое количество увеличивают постепенно или поэтапно до достижения максимальной подачи газообразного хлорсилана между тем, когда достигнута величина D, и тем, когда будет достигнута заданная величина D от 15 до 40 мм, которая больше D, максимальную подачу газообразного хлорсилана поддерживают после достижения величины D; условие В (количество подаваемого газообразного водорода): газообразный водород подают так, чтобы концентрация газообразных хлорсиланов в исходном газе составляла от 30 мол.% до менее чем 40 мол.%  до тех пор, пока не достигнута величина D, отношение количества подаваемого газообразного водорода к количеству газообразного хлорсилана увеличивают постепенно или поэтапно после достижения D, газообразный водород подают так, чтобы концентрация газообразных хлорсиланов в исходном газе составляла от 15 мол.% до менее чем 30 мол.% после достижения величины D; и условие С (температура кремниевого стержня): температуру уменьшают по мере увеличения диаметра кремниевого стержня после достижения величины D.
2. Способ получения поликристаллического кремния по п. 1, в котором диапазон уменьшения температуры кремниевого стержня в условии С устанавливают равным от 50 до 350°С.
3. Способ получения поликристаллического кремния по п. 1 или 2, в котором операцию увеличения отношения подаваемого количества газообразного водорода к количеству газообразных хлорсиланов в соответствии с условием В осуществляют до того, как диаметр кремниевого стержня достигнет 40 мм.
4. Способ получения поликристаллического кремния по п. 1 или 2, в котором температуру поверхности колпака и основания в реакторе в начале реакции регулируют так, чтобы она составляла 40˚С или выше.
5. Способ получения поликристаллического кремния по п. 4, включающий стадию использования реактора для получения поликристаллического кремния с использованием способа Siemens, при этом реактор включает контур циркуляции хладагента для регулирования температуры поверхностей колпака и основания и устройство регулирования температуры хладагента, пригодное для регулирования температуры хладагента, протекающего по контуру циркуляции хладагента, в диапазоне от 40 до 90˚С, для осаждения поликристаллического кремния при одновременном поддержании температуры хладагента в диапазоне от 40 до 90˚С.