Способ защиты кремниевых структур на основе свинцово-силикатного стекла

2
2
3
Способ защиты кремниевых структур на основе свинцово-силикатного стекла, отличающийся тем, что на поверхность кремниевой структуры наносят слой на основе свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси, в состав которого входят: 50±5% окиси свинца - PbO; 30±5% окиси кремния - SiO; 8±2% окиси алюминия - AlO и 13±2% оксид лития - LiO, при температуре - 700±50°С, где толщина стекла - 0,8±0,2 мкм.