МНОГОКООРДИНАТНАЯ МНОГОСЕНСОРНАЯ МЕТРОЛОГИЧЕСКАЯ ПЛАТФОРМА

1. Многокоординатная многосенсорная метрологическая платформа, содержащая рабочий стол с размещаемым на нем исследуемым объектом и каретку, на котором размещены сенсоры, например объективы оптических микроскопов и рабочие головки зондовых микроскопов, причем указанный стол и каретка снабжены двухкоординатным (например горизонтальным) приводом взаимного перемещения, а сенсоры выполнены с возможностью их координатного перемещения по нормали (вертикали) к указанным двум координатам взаимного перемещения стола и каретки, отличающаяся тем, что на каретке размещено, по меньшей мере, два разных сенсора, причем на поверхности рабочего стола размещены метки нуля координат взаимного перемещения каретки и стола, к которым одновременно чувствительны, по крайней мере, два из указанных сенсоров.
2. Метрологическая платформа по п.1, отличающаяся тем, что для осуществления взаимного координатного перемещения стола и каретки платформа снабжена аэростатическими направляющими, размещенными с зазором относительно друг друга, причем в указанный зазор подается через дроссели сжатый газ.
3. Метрологическая платформа по любому из пп.1, 2, отличающаяся тем, что указанные в п.2 направляющие снабжены постоянными магнитами с полюсными наконечниками из магнитномягкого материала, обращенными через указанный в п.2 зазор к направляющей, выполненной из магнитномягкого материала..
4. Метрологическая платформа по п.1, отличающаяся тем, что каретка выполнена неподвижной, а стол размещен на однокоординатном приводе, причем указанное устройство размещено на втором аналогичном однокоординатном приводе, зазоры между подвижными и неподвижными направляющими указанных приводов выполнены плоскими и размещены так, что составляющая нормали к поверхности подвижной части одного привода образующего указанный зазор в направлении перпендикулярном обеим осям перемещения обоих приводов, имеет направление противоположное таковой составляющей второго привода.
5. Метрологическая платформа по п.3, отличающаяся тем, что каретка выполнена неподвижной, а стол размещен на однокоординатном приводе, причем указанное устройство размещено на втором аналогичном однокоординатном приводе, зазоры между подвижными и неподвижными направляющими указанных приводов выполнены плоскими и размещены так, что составляющая нормали к поверхности подвижной части одного привода образующего указанный зазор в направлении, перпендикулярном обеим осям перемещения обоих приводов, имеет направление противоположное таковой составляющей второго привода.
6. Метрологическая платформа по п.1, отличающаяся тем, что каретка с размещенными на ней сенсорами выполнена с возможностью перемещения по одной из горизонтальных координат и снабжена аэростатическими направляющими и направляющими, причем направляющие снабжены постоянными магнитами с полюсными наконечниками из магнитномягкого материала, обращенными через зазор к направляющей, выполненной из магнитномягкого материала, причем стол также выполнен с возможностью перемещения по другой горизонтальной координате и снабжен аэростатическими направляющими и направляющими, причем направляющие снабжены постоянными магнитами с полюсными наконечниками из магнитномягкого материала, обращенными через зазор к направляющей, выполненной из магнитномягкого материала, причем поверхности направляющих стола и каретки, образующие аэростатический зазор, размещены по одну сторону от соответствующих направляющих.
7. Метрологическая платформа по п.3, отличающаяся тем, что каретка с размещенными на ней сенсорами выполнена с возможностью перемещения по одной из горизонтальных координат и снабжена аэростатическими направляющими и направляющими, причем направляющие снабжены постоянными магнитами с полюсными наконечниками из магнитомягкого материала, обращенными через зазор к направляющей, выполненной из магнитомягкого материала, причем стол также выполнен с возможностью перемещения по другой горизонтальной координате и снабжен аэростатическими направляющими и направляющими, причем направляющие снабжены постоянными магнитами с полюсными наконечниками из магнитомягкого материала, обращенными через зазор к направляющей, выполненной из магнитомягкого материала, причем поверхности направляющих стола и каретки, образующие аэростатический зазор, размещены по одну сторону от соответствующих направляющих.
8. Метрологическая платформа по любому из пп.1, 2, 4-7, отличающаяся тем, что в качестве координатных меток единых для обеих горизонтальных координат использована двумерная дифракционная решетка с переменным шагом с центром симметрии или фазовая пластинка Френеля.
9. Метрологическая платформа по п.3, отличающаяся тем, что в качестве координатных меток, единых для обеих горизонтальных координат, использована двумерная дифракционная решетка с переменным шагом с центром симметрии или фазовая пластинка Френеля.
10. Метрологическая платформа по любому из пп.1, 2, 4-7, 9, отличающаяся тем, что в качестве координатных меток, отдельных для каждой из горизонтальных координат, использованы две одномерные дифракционные решетки с переменным шагом и с осью симметрии.
11. Метрологическая платформа по п.3, отличающаяся тем, что в качестве координатных меток, отдельных для каждой из горизонтальных координат, использованы две одномерные дифракционные решетки с переменным шагом и с осью симметрии.
12. Метрологическая платформа по п.8, отличающаяся тем, что в качестве координатных меток отдельных для каждой из горизонтальных координат использована две одномерные дифракционные решетки с переменным шагом и с осью симметрии.
13. Платформа по любому из пп.1, 2, 4-7, 9, 11, 12, отличающаяся тем, что в качестве измерительных головок используются два снабженных малоходовыми вертикальными приводами микроскопа из группы: лазерный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп, скомбинированный с амплитудным микроскопом белого света, оптический микроскоп ближнего поля, атомно-силовой микроскоп, равно как и любой известный зондовый микроскоп.
14. Платформа по п.3, отличающаяся тем, что в качестве измерительных головок используются два снабженных малоходовыми вертикальными приводами микроскопа из группы: лазерный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп, скомбинированный с амплитудным микроскопом белого света, оптический микроскоп ближнего поля, атомно-силовой микроскоп, равно как и любой известный зондовый микроскоп.
15. Платформа по п.8, отличающаяся тем, что в качестве измерительных головок используются два снабженных малоходовыми вертикальными приводами микроскопа из группы: лазерный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп, скомбинированный с амплитудным микроскопом белого света, оптический микроскоп ближнего поля, атомно-силовой микроскоп, равно как и любой известный зондовый микроскоп.
16. Платформа по п.10, отличающаяся тем, что в качестве измерительных головок используются два снабженных малоходовыми вертикальными приводами микроскопа из группы: лазерный интерференционный фазово-поляризационный микроскоп, скомбинированный с амплитудным микроскопом белого света, оптический микроскоп ближнего поля, атомно-силовой микроскоп, равно как и любой известный зондовый микроскоп.