КАЛИБРОВОЧНЫЙ ЭТАЛОН ДЛЯ ПРОФИЛОМЕТРОВ И СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ

Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов, состоящий из пластины, выполненной из поляризованного пьезоэлектрического материала, к двум противоположным сторонам которой прикреплено по электроду, соединенному с источником электрического напряжения постоянной амплитуды и полярности, отличающийся тем, что к каждой стороне пластины с расположенным на ней электродом прикреплено по элементу, причем пластина и геометрические размеры элементов подобраны так, что обеспечивают перемещение одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения, каждый из элементов имеет, по крайней мере, по одной плоской поверхности, которые параллельны между собой и параллельны направлению перемещения одного из элементов при приложении к электродам электрического напряжения.