ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ МЕХАНИЧЕСКИЙ ПРИВОД

1. Электростатический механический привод, содержащий корпус с вводом для подачи импульса напряжения, неподвижную пластину, жестко закрепленную на нижней части корпуса, на поверхности которой последовательно осаждены электрод и первый слой диэлектрика, подвижную пластину, перемещающуюся по направляющим, на поверхности подвижной пластины находится тонкая металлическая пленка, один из концов которой является свободным, отличающийся тем, что на поверхность первого слоя диэлектрика дополнительно осажден тонкий слой второго диэлектрика, с низкой шероховатой поверхностью и с отношением величины диэлектрической проницаемости к толщине, близкой к соответствующему параметру первого слоя диэлектрика.
2. Привод по п.1, отличающийся тем, что шероховатая поверхность второго диэлектрика выполнена с распределением перепадов высот микровыступов в диапазоне 100-200 нм.