ПРОСТРАНСТВЕННЫЙ МОДУЛЯТОР СВЕТА С ИНТЕГРИРОВАННОЙ ОПТИЧЕСКОЙ КОМПЕНСАЦИОННОЙ СТРУКТУРОЙ

1. Пространственный модул тор света, содержащий
подложку;
множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке и выполненных с возможностью интерферометрической модул ции света, прошедшего через подложку, причем множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов; и
оптическую компенсационную структуру;
при этом оптическа  компенсационна  структура размещена между подложкой и множеством индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов.
2. Пространственный модул тор света по п.1, в котором интерферометрический модул тор содержит подвижный элемент и полость.
3. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит черную маску.
4. Пространственный модул тор света по п.1 или 3, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит цветовой фильтр.
5. Пространственный модул тор света по п.1 или 3, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит рассеиватель.
6. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит антиотражающий слой.
7. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит множество рассеивающих элементов.
8. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит решетку микролинз.
9. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит голографическую пленку, котора  уменьшает сдвиг в отраженном цвете по отношению к углу падени  света, прошедшего через подложку.
10. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит дифракционный оптический элемент.
11. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура размещена так, что свет, прошедший сквозь подложку, проходит через оптическую компенсационную структуру, чтобы модулироватьс  посредством светомодулирующего элемента.
12. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит выравнивающий слой, который содержит рассеивающий элемент.
13. Пространственный модул тор света по п.1, в котором оптическа  компенсационна  структура  вл етс  пассивной оптической компенсационной структурой.
14. Пространственный модул тор света по п.1, дополнительно содержащий выравнивающий слой.
15. Пространственный модул тор света по п.1, в котором подложка  вл етс  частично отражающей.
16. Пространственный модул тор света, содержащий
подложку;
множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке и выполненных с возможностью интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку, причем множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов; и
оптическую компенсационную структуру;
при этом множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов размещено между подложкой и оптической компенсационной структурой.
17. Пространственный модул тор света по п.16, в котором интерферометрический модул тор содержит подвижный элемент и полость.
18. Пространственный модул тор света по п.16, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит черную маску.
19. Пространственный модул тор света по п.16 или 18, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит цветовой фильтр.
20. Пространственный модул тор света по п.16, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит антиотражающий слой.
21. Пространственный модул тор света по п.16, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит выравнивающий слой, который содержит рассеивающий элемент.
22. Пространственный модул тор света по п.16, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит черную маску и рассеиватель.
23. Пространственный модул тор света по п.16 или 18, в котором оптическа  компенсационна  структура содержит цветовой фильтр и рассеиватель.
24. Пространственный модул тор света по п.16, дополнительно содержащий выравнивающий слой.
25. Пространственный модул тор света по п.16, в котором подложка  вл етс , по меньшей мере, частично отражающей, так что светомодулирующие элементы модулируют свет, прошедший сквозь подложку.
26. Пространственный модул тор света по п.16, в котором подложка  вл етс , по меньшей мере, частично отражающей.
27. Способ изготовлени  пространственного модул тора света, содержащий
изготовление оптической компенсационной структуры на прозрачной подложке и
изготовление множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов на оптической компенсационной структуре, при этом индивидуально адресуемые светомодулирующие элементы содержат множество интерферометрических модул торов, выполненных с возможностью интерферометрической модул ции света, проход щего через прозрачную подложку.
28. Способ по п.27, в котором изготовление индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит изготовление полости и подвижного элемента.
29. Способ по п.27, дополнительно содержащий изготовление второй оптической компенсационной структуры поверх прозрачной подложки.
30. Способ по п.27, дополнительно содержащий изготовление выравнивающего сло  поверх оптической компенсационной структуры.
31. Способ по п.27, в котором изготовление оптической компенсационной структуры содержит изготовление, по меньшей мере, одной структуры, выбранной из группы, состо щей из цветового фильтра и рассеивател .
32. Способ по п.27, в котором упом нутое изготовление оптической компенсационной структуры содержит нанесение материала на прозрачную подложку таким образом, что свет, прошедший сквозь прозрачную подложку, проходит через упом нутый материал, чтобы модулироватьс  светомодулирующим элементом.
33. Способ по п.32, в котором упом нутый материал содержит фоторезист или полиимид с покрытием, полученным методом центрифугировани .
34. Способ по п.27, в котором изготовление оптической компенсационной структуры содержит изготовление пассивной оптической компенсационной структуры.
35. Пространственный модул тор света, изготовленный способом по п.27, в котором прозрачна  подложка содержит, по меньшей мере, одно из пластика и стекла.
36. Способ изготовлени  пространственного модул тора света, содержащий
изготовление множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов на подложке, причем множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов; и
изготовление оптической компенсационной структуры на множестве индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, причем оптическа  компенсационна  структура содержит, по меньшей мере, одно из цветового фильтра, маски и антиотражающего сло , при этом индивидуально адресуемые светомодулирующие элементы выполнены с возможностью интерферометрической модул ции света, проход щего через оптическую компенсационную структуру.
37. Способ по п.36, в котором изготовление индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит изготовление полости и подвижного элемента.
38. Способ по п.36, дополнительно содержащий изготовление второй оптической компенсационной структуры поверх множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов.
39. Способ по п.36, дополнительно содержащий изготовление выравнивающего сло  поверх множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов.
40. Пространственный модул тор света, изготовленный способом по п.36, в котором подложка содержит пластик или стекло.
41. Пространственный модул тор света, содержащий
прозрачную подложку;
множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на прозрачной подложке и выполненных с возможностью модул ции света, проход щего через прозрачную подложку, причем множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов, содержащих полость и подвижную стенку; и,
по меньшей мере, одну оптическую компенсационную структуру, размещенную между прозрачной подложкой и множеством индивидуально адресуемых интерферометрических светомодулирующих элементов, причем оптическа  компенсационна  структура содержит цветовой фильтр или рассеиватель.
42. Пространственный модул тор света, содержащий
подложку;
средство дл  интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки; и
средство дл  компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки;
причем средство дл  компенсации света оперативно располагаетс  между подложкой и средством дл  интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки.
43. Пространственный модул тор света по п.42, в котором средство дл  модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке.
44. Пространственный модул тор света по п.42, в котором средство дл  модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит множество интерферометрических модул торов.
45. Пространственный модул тор света по п.42, в котором средство дл  компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит дифракционный оптический элемент, цветовой фильтр, рассеиватель, антиотражающий слой, множество рассеивающих элементов, решетку микролинз или голографическую пленку.
46. Пространственный модул тор света по п.42, в котором средство дл  компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит цветовой фильтр или рассеиватель.
47. Пространственный модул тор света, содержащий
подложку;
средство дл  интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки; и
средство дл  компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, причем упом нутое средство дл  компенсации содержит, по меньшей мере, одно из цветового фильтра, черной маски и антиотражающего сло ;
при этом средство дл  интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, оперативно располагаетс  между подложкой и средством дл  компенсации света.
48. Пространственный модул тор света по п.47, в котором средство дл  интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке.
49. Пространственный модул тор света по п.47, в котором средство дл  модул ции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит множество интерферометрических модул торов.
50. Пространственный модул тор света, выполненный способом, содержащим
изготовление оптической компенсационной структуры на прозрачной подложке и
изготовление множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов на оптической компенсационной структуре, при этом множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов, выполненных с возможностью интерферометрической модул ции света, прошедшего сквозь прозрачную подложку.
51. Пространственный модул тор света по п.50, в котором изготовление индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит изготовление полости и подвижного элемента.
52. Пространственный модул тор света по п.50, в котором способ дополнительно содержит изготовление второй оптической компенсационной структуры на прозрачной подложке.
53. Пространственный модул тор света по п.52, в котором способ дополнительно содержит изготовление выравнивающего сло  на оптической компенсационной структуре.
54. Пространственный модул тор света по п.50, в котором изготовление оптической компенсационной структуры содержит изготовление, по меньшей мере, одного из цветового фильтра и рассеивател .
55. Пространственный модул тор света по п.50, в котором изготовление оптической компенсационной структуры содержит изготовление пассивной оптической компенсационной структуры.
56. Пространственный модул тор света, выполненный способом, содержащим
изготовление множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов на подложке, причем множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит множество интерферометрических модул торов; и
изготовление оптической компенсационной структуры на множестве индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, причем оптическа  компенсационна  структура содержит одно из цветового фильтра, антиотражающего фильтра и черной маски, при этом индивидуально адресуемые светомодулирующие элементы выполнены с возможностью интерферометрической модул ции света, проход щего через оптическую компенсационную структуру.
57. Пространственный модул тор света по п.56, в котором изготовление индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов содержит изготовление полости и подвижного элемента.
58. Пространственный модул тор света по п.56, в котором способ дополнительно содержит изготовление второй оптической компенсационной структуры поверх множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов.
59. Пространственный модул тор света по п.56, в котором способ дополнительно содержит изготовление выравнивающего сло  поверх множества индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов.
60. Дисплейна  область, содержаща
черно-белый светомодулирующий элемент, включающий в себ  первую и вторую отражающие поверхности и полость между ними, причем втора  поверхность  вл етс  подвижной относительно первой поверхности; и
цветовой фильтр, выполненный с возможностью пропускани  окрашенного света при освещении белым светом;
при этом цветовой фильтр размещен по отношению к светомодулирующим элементам таким образом, что свет, выход щий из светомодулирующего элемента, фильтруетс  цветовым фильтром.
61. Дисплейна  область по п.60, в которой упом нутый светомодулирующий элемент содержит интерферометрический модул тор.
62. Дисплейна  область по п.60, дополнительно содержаща  оптический пакет, который образует упом нутую первую поверхность.
63. Дисплейна  область по п.60, в которой, по меньшей мере, одна из первой и второй отражающих поверхностей  вл етс  частично отражающей.
64. Дисплейна  область, содержаща
множество светомодулирующих элементов, причем каждый из светомодулирующих элементов включает в себ  первую и вторую отражающие поверхности и полость между ними, причем втора  поверхность  вл етс  подвижной относительно первой поверхности; и
решетку цветовых фильтров, содержащую множество цветовых фильтровых элементов, выполненных с возможностью передачи более узкого диапазона длин волн при освещении излучением с более широким диапазоном длин волн, причем решетка цветовых фильтров размещена по отношению к светомодулирующим элементам таким образом, что свет, выход щий из светомодулирующих элементов, фильтруетс  цветовыми фильтровыми элементами;
при этом перва  отражающа  поверхность отделена от второй отражающей поверхности, по существу, одинаковым рассто нием дл  каждого из множества светомодулирующих элементов, когда светомодулирующие элементы вывод т свет, причем, по меньшей мере, два из упом нутых цветовых фильтровых элементов выполнены с возможностью формировани  выходного излучени  различного цвета.
65. Дисплейна  область по п.64, дополнительно содержаща  оптический пакет, который образует упом нутую первую поверхность.
66. Дисплейна  область по п.64, в которой, по меньшей мере, три из цветовых фильтровых элементов выполнены дл  формировани  выходного излучени  различного цвета.
67. Дисплейна  область по п.66, в которой множество цветовых фильтровых элементов включает в себ  красный, зеленый и синий цветовые фильтровые элементы.
68. Дисплейна  область по п.64, в которой множество цветовых фильтровых элементов содержит материал, который пропускает более узкий диапазон длин волн при освещении излучением более широкого диапазона длин волн.
69. Дисплейна  область по п.68, в которой упом нутый материал содержит окрашенный материал.
70. Способ изготовлени  дисплейного устройства, содержащий
обеспечение черно-белого светомодулирующего элемента, включающего в себ  первую и вторую отражающие поверхности, причем втора  отражающа  поверхность  вл етс  подвижной относительно первой отражающей поверхности;
помещение цветового фильтра по отношению к светомодулирующим элементам таким образом, что белый свет, выход щий из светомодулирующего элемента, фильтруетс  цветовым фильтром, причем цветовой фильтр выполнен с возможностью пропускани  окрашенного света при освещении белым светом.
71. Дисплейное устройство, изготовленное способом по п.70.
72. Способ изготовлени  дисплейного устройства, содержащий
обеспечение множества светомодулирующих элементов, каждый из которых включает в себ  первую и вторую отражающие поверхности и полость между ними, причем перва  отражающа  поверхность отделена от второй отражающей поверхности, по существу, одинаковым рассто нием дл  каждого из множества светомодулирующих элементов, когда светомодулирующие элементы вывод т свет; и
размещение цветовых фильтровых элементов по отношению к светомодулирующим элементам таким образом, что свет, выход щий из светомодулирующих элементов, фильтруетс  соответствующими цветовыми фильтровыми элементами, при этом цветовые фильтровые элементы включают в себ  материал, имеющий возможность пропускани  узкого диапазона длин волн при освещении излучением широкого диапазона длин волн.
73. Способ по п.72, в котором обеспечение множества светомодулирующих элементов включает в себ  обеспечение множества интерферометрических модул торов.
74. Дисплейное устройство, изготовленное способом по п.72.
75. Дисплейное устройство, содержащее
средство дл  формировани  интерферометрически модулированного сигнала белого света, включающее в себ  первую и вторую отражающие поверхности, причем втора  отражающа  поверхность  вл етс  подвижной относительно первой отражающей поверхности; и
средство дл  фильтрации модулированного сигнала белого света, чтобы преобразовать сигнал белого света в сигнал окрашенного света.
76. Дисплейное устройство по п.75, в котором упом нутое средство дл  формировани  интерферометрически модулированного сигнала белого света содержит решетку светомодулирующих устройств, при этом перва  отражающа  поверхность отделена от второй отражающей поверхности, по существу, одинаковым рассто нием дл  каждого из множества светомодулирующих элементов, когда светомодулирующие элементы вывод т белый свет.
77. Дисплейное устройство по п.75, в котором упом нутое средство дл  фильтрации упом нутого сигнала белого света содержит решетку цветовых фильтров, содержащую, по меньшей мере, два цветовых фильтровых элемента, выполненных с возможностью формировани  выходного излучени  различных цветов из белого цвета.