СПОСОБ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВОЙ ТРУБЫ
METHOD OF QUARTZ PIPE CLEANING

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, к способам обработки кварцевой оснастки, в частности кварцевой трубы, применяемой при проведении высокотемпературных процессов в диффузионных печах.
Известны способы обработки изделий из кварца. Основным недостатком этих способов является неполное удаление примесей с кварцевой трубы после ряда диффузионных операций (диффузия бора, диффузия фосфора) [1, 2].
2
Известен способ очистки кварцевой трубы, сущность которого заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе состоящей из фтористоводородной кислоты (HF) и деионизованной воды (HO) при комнатной температуре [3].
Недостатками этого способа являются длительность процесса и использование такого агрессивного вещества, как плавиковая кислота.
Целью изобретения является полное удаление различных загрязнений с кварцевой трубы после высокотемпературных операций, уменьшение температуры, длительности обработки кварцевых труб и удешевление процесса.
4
2
2
Поставленная цель достигается тем, что удаление загрязнений с кварцевой трубы происходит за счет использования раствора в состав, которого входят бифторид аммония - NHHF и деионизованная вода - НО в соотношении 1:5. Длительность обработки составляет 20±7 минут. После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде в течение 20±5 минут.
Сущность способа заключается в том, что кварцевая труба подвергается обработке в растворе состоящего из бифторида аммония и деионизованной воды, температура раствора комнатная. Процесс удаления различных загрязнений и примесей считается законченным в том случае, когда цвет индикаторной бумаги не изменяется. Длительность процесса равна 20±7 минутам. После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20±5 минут.
Сущность изобретения подтверждается следующими примерами.
ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:
4
2
2
NHHF:HO=1:5
Температура раствора комнатная. Время обработки 25 минут.
После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 23 минут.
Контроль осуществляется с помощью индикаторной бумаги.
ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:
4
2
2
NHHF:HO=1:5
Температура раствора комнатная. Время обработки 20 минут.
После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 20 минут.
ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке обработки кварцевой трубы в растворе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды при соотношении компонентов:
4
2
2
NHHF:HO=1:5
Температура раствора комнатная. Время обработки 15 минут.
После обработки кварцевую трубу промывают в деионизованной воде при комнатной температуре в течение 18 минут.
Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипами обеспечивает полное удаление остатков окисла с поверхности кварцевой трубы и качество обработки кварцевых труб, не требует больших затрат.
Литература
1. А.И.Курносов Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.: Высшая школа. 1980. 272-273.
2. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь. - 1988. Стр.48-50.
3. Патент №2366032, Н01L 21/306, 27.08.2009.