СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

1. Способ определения шероховатости поверхности интерференционным методом, заключающийся в том, что: на исследуемой поверхности выбирают несколько участков, фазовое изображение каждого из которых может быть получено на фотоприемнике микроскопа, определяют фазовое изображение каждого участка, для чего при различных значениях фазы опорного пучка определяют не менее трех значений энергии, воспринятой каждым пикселем фотоприемника за время экспозиции, причем сдвиг фазы опорного пучка осуществляют путем изменения положения фазового модулятора, а для определения каждого значения воспринятой пикселем энергии получают зависимость освещенности пикселя от времени при изменении положения фазового модулятора, и интегрируют полученную зависимость на интервале времени экспозиции; интерпретируют фазовое изображение каждого участка и определяют шероховатость каждого участка с последующим усреднением шероховатости по всем участкам и получают шероховатость поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве фазового модулятора используют зеркало, которое выполняют с возможностью перемещения вдоль линии оптического пути опорного пучка.