СПОСОБ ОБРАБОТКИ ГАЗОВОГО ПОТОКА

1. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых
циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора;
подают, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора в скруббер для газоочистки;
подают газовый поток в скруббер;
осуществляют мониторинг кислотности раствора, подлежащего подаче в скруббер; и
регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в указанной, по меньшей мере, части циркулирующего раствора.
2. Способ по п.1, при котором указанную, по меньшей мере, часть циркулирующего раствора отводят из замкнутого контура и позднее возвращают в замкнутый контур.
3. Способ по п.2, в котором устройство удаления кислоты является электрохимическим устройством.
4. Способ обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, включающий этапы, на которых
циркулируют водный чистящий раствор через по существу замкнутый контур, содержащий устройство удаления кислоты для снижения кислотности раствора;
отводят часть циркулирующего раствора из замкнутого контура в скруббер газоочистки;
подают газовый поток в скруббер для растворения в отведенном растворе;
возвращают отведенный раствор в замкнутый контур;
осуществляют мониторинг кислотности циркулирующего раствора в месте, находящемся в пределах замкнутого контура; и
регулируют уменьшение кислотности раствора в зависимости от измеренной кислотности для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в отведенном растворе.
5. Способ по п.4, при котором кислотность отведенного раствора поддерживают на или выше заданного значения.
6. Способ по п.5, при котором кислотой является HF и концентрацию HF в отведенном растворе поддерживают на или выше 400 ч/млн.
7. Способ по любому из пп.4-6, при котором осуществляют мониторинг кислотности раствора в месте, находящемся выше по потоку от электрохимического устройства и ниже по потоку от места, в котором раствор отводится в скруббер.
8. Способ по п.3 или 4, при котором отведенный раствор возвращают в емкость-хранилище, расположенной в замкнутом контуре и в которой отведенный раствор смешивается с раствором, выпущенным из электрохимического устройства.
9. Способ по п.3 или 4, в котором электрохимическое устройство содержит регенерируемое электрохимически ионообменное устройство.
10. Способ по п.3 или 4, причем электрохимическое устройство содержит ионообменный материал для поглощения выбранных ионов из раствора, и поперек этого материала прикладывается электрическое поле, чтобы заставить абсорбированные ионы перемещаться через ионообменный материал в отдельный раствор, и причем напряженность электрического поля корректируется в зависимости от измеренной концентрации.
11. Способ по п.1 или 4, в котором твердым компонентом газового потока является компонент на основе кремния газового потока.
12. Способ по п.1 или 4, в котором твердым компонентом газового потока является диоксид кремния.
13. Способ по п.1 или 4, при котором осуществляют мониторинг кислотности раствора путем измерения электропроводности раствора.
14. Способ по п.1 или 4, при котором кислота содержит галогенид, причем осуществляют мониторинг кислотности раствора с применением онлайнового анализатора кислотности, такого, как анализатор галогенида.
3
2
4
3
3
3
4
15. Способ по п.1 или 4, в котором кислота содержит, по меньшей мере, одну кислоту, выбранную из группы, содержащей HF, HCl, HNO, HSO, HBO и HPO.
16. Устройство для обработки газового потока, содержащего кислоту и твердые частицы, содержащее
скруббер для газоочистки;
циркуляционную систему с по существу замкнутым контуром, содержащую насос для циркуляции водного чистящего раствора по замкнутому контуру, электрохимическое устройство для снижения кислотности циркулирующего раствора и выходное отверстие для отведения части циркулирующего раствора из замкнутого контура в скруббер газоочистки;
скруббер газоочистки, имеющий первый вход для приема отведенного раствора, второй вход для приема газового потока для растворения в отведенном растворе, и выход, через который отведенный раствор выводится из скруббера, причем замкнутый контур имеет входное отверстие для приема раствора, выходящего из скруббера;
устройство для мониторинга кислотности раствора в месте, находящемся в пределах замкнутого контура; и
контроллер для регулирования уменьшения кислотности раствора в зависимости от измеренной концентрации для регулирования растворимости твердого компонента газового потока в отведенном растворе.
17. Устройство по п.16, в котором контроллер выполнен с возможностью поддержания кислотности отведенного раствора на или выше заданного значения.
18. Устройство по п.17, в котором контроллер выполнен с возможностью поддержания концентрации HF в отведенном растворе на или выше 400 ч/млн.
19. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство находится в замкнутом контуре выше по потоку от электрохимического устройства и ниже по потоку от выходного отверстия.
20. Устройство по любому из пп.16-18, в котором входное отверстие находится в емкости-хранилище, предусмотренном в замкнутом контуре, и в этой емкости раствор, выходящий из скруббера, смешивается с раствором, выходящим из электрохимического устройства.
21. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство выполнено с возможностью измерения электропроводности раствора.
22. Устройство по любому из пп.16-18, в котором устройство является онлайновым анализатором кислотности, таким, как анализатор галогенида.
23. Устройство по любому из пп.16-18, в котором электрохимическое устройство содержит регенерируемое электрохимически ионообменное устройство.
24. Устройство по любому из пп.16-18, в котором электрохимическое устройство содержит ионообменный материал для поглощения выбранных ионов из раствора, и поперек которого приложено электрическое поле, чтобы заставить абсорбированные ионы перемещаться через ионообменный материал в отдельный раствор, причем контроллер выполнен с возможностью регулировать напряженность электрического поля в зависимости от измеренной концентрации.