Комбинированный микронагреватель и термометр сопротивления для планарных чувствительных элементов газовых сенсоров

1. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления, содержащий контактные площадки, планарный резистивный нагреватель, выполненный из химически инертного металла с температурой плавления более 1750°C в виде тонкопленочной спирали (меандра) с толщиной менее 1 мкм, на пористой оксидной подложке с порами, располагающимися преимущественно перпендикулярно поверхности подложки, образуя единый конструктив (микрочип), отличающийся тем, что резистивный нагреватель расположен в центре микрочипа.
2. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что подложка выполнена из пленки пористого анодного оксида алюминия толщиной от 10 мкм до 100 мкм со средним диаметром пор от 50 нм до 300 нм.
3. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что латеральные размеры резистивного микронагревателя минимизированы до значений менее 500 мкм.
4. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что ширина дорожки тонкопленочной спирали, образующей резистивный микронагреватель, в местах резких изгибов увеличена по сравнению с основной шириной дорожки меандра не более чем на 50%, и на всем протяжении резистивного микронагревателя ширина дорожки составляет менее 100 мкм.
5. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что контактные площадки и резистивный нагреватель выполнены в виде единого однородного по составу металлического слоя, частично проникающего в поры оксидной подложки, обеспечивая увеличенную адгезию металлического слоя к оксидной подложке.
6. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что металлический слой выполнен из платины или сплава платина-родий с содержанием родия менее 30%.
7. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что сверху металлического слоя, образующего резистивный нагреватель, нанесен диэлектрический оксидный слой с толщиной от 10 нм до 500 нм.
8. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 7, отличающийся тем, что диэлектрический оксидный слой выполнен из оксида кремния или оксида алюминия.
9. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что нагреваемая область отделена от токоподводящих контактных площадок отверстиями в пористой оксидной подложке.
10. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что токоподводы, соединяющие контактные площадки и резистивный микронагреватель, располагаются симметрично относительно центра микрочипа.
11. Комбинированный микронагреватель - термометр сопротивления по п. 1, отличающийся тем, что температура нагреваемой области определяется по горячему сопротивлению резистивного микронагревателя исходя из значения его холодного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления.
12. Микронагреватель по п. 1, характеризующийся тем, что он может применяться в качестве элемента конструкции полупроводникового химического газового сенсора.