ГРАФИТОВЫЙ НАГРЕВАТЕЛЬ

Известен графитовый нагреватель, используемый в печи для эпитаксии карбида кремния по патенту на изобретение RU 2330128, который по своим конструктивным признакам можно выбрать в качестве прототипа. Нагреватель представляет собой полый цилиндр, выполненный из прессованного графита. Параллельно оси вращения в противолежащих стенках нагревателя выполнены вырезы, не доходящие до конца цилиндра, т.е нагреватель условно состоит из двух половинок, соединенных снизу перемычкой из того же материала. К каждой половине подведена водоохлаждаемая шина источника питания. Внутри нагревателя установлен тигель.
Недостаток приведенного нагревателя заключается в сложности изготовления, дороговизне и низкой ремонтопригодности. Сложность изготовления связана с тем, что нагреватель изготавливают из прессованной цилиндрической графитовой заготовки. При этом, чтобы получить полый цилиндр, середину заготовки необходимо выбрать на токарном станке, что невыгодно с точки зрения экономии материала. При перегорании нагревателя в процессе эксплуатации он ремонту не подлежит и требует замены на аналогичный нагреватель.
Техническая задача, решаемая с помощью предлагаемой полезной модели, заключается в упрощении, конструкции и технологии изготовления нагревателя, увеличении его ремонтопригодности, экономии материала.
Для достижения этой цели нагреватель выполнен составным, включающим ряд одинаковых нагревательных элементов, выполненных в форме прямоугольного параллелепипеда, которые установлены равномерно по окружности вокруг тигля. При этом к каждому из нагревательных элементов подведены отдельные водоохлаждаемые шины источника питания.
Конструкция графитового нагревателя приведена на фигуре.
Нагреватель включает нагревательные элементы 1, выполненный в форме прямоугольного параллелепипеда, в котором выполнен вырез 2 и содержит перемычку 3. К нагревательному элементу подведены водоохлаждаемые шины 4 источника питания. Нагревательные элементы установлены равномерно по окружности вокруг тигля 5.
Нагреватель работает следующим образом: Тигель 5 размещают в нагревателе и на шины 4 нагревательных элементов 1 подают напряжение. При прохождения тока между ними нагревательные элементы разогреваются до заданной температуры. Тепло от нагревательных элементов передается тиглю 5.