СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК РУТИЛА

-2
-2
Способ получения нанокристаллических пленок рутила, включающий нагрев нанокристаллической пленки титана на подложке кремния посредством импульсной фотонной обработки в окислительной газовой среде, активацию реакции оксидирования источником некогерентного света, используя импульсные ксеноновые лампы с диапазоном излучения 0,2-1,2 мкм, излучение на кремниевую подложку подают в виде пакетов импульсов длительностью 10 с в течение 1,6-1,8 с, доза поступающего на пленку Тi излучения составляет величину от 230 до 260 Дж·см.