СПОСОБ ОДНОВРЕМЕННОГО ЗАХВАТА ДАННЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ ПРИ МНОГОЧИСЛЕННЫХ ГЛУБИНАХ ОБРАЗЦА

1. Способ одновременного захвата данных изображений при многочисленных глубинах образца с использованием устройства формирования изображений, имеющего оптическую ось,
при этом устройство содержит датчик изображения, наклоненный относительно оптической оси и имеющий:
первую пиксельную линию (410), содержащую множество пикселей (415, 416),
вторую пиксельную линию (411), содержащую множество пикселей (418, 419),
причем первая и вторая пиксельные линии имеют отличающуюся длину оптического пути до образца вдоль оптической оси устройства формирования изображений,
первая пиксельная линия и вторая пиксельная линия отделены друг от друга просветом (305а-305с, 402, 403) вдоль направления сканирования,
при этом способ содержит этапы, на которых:
сканируют образец вдоль направления (X’) сканирования, которое по существу перпендикулярно к оптической оси и основному направлению (Y) протяженности первой и второй пиксельных линий (S1),
захватывают первое изображение образца с первой пиксельной линии (S2),
одновременно захватывают второе изображение образца с первой пиксельной линии и захватывают третье изображение образца со второй пиксельной линии (S3),
продолжают захват изображений образца со второй пиксельной линии (S4),
прекращают захват изображений образца с первой пиксельной линии (S5).
2. Способ по п. 1, в котором просвет является либо нечувствительным к свету промежутком (402) между первой и второй пиксельными линиями, либо незахватывающей пиксельной линией между первой и второй пиксельными линиями, и эта незахватывающая пиксельная линия является деактивированной.
3. Способ по п. 2, в котором нечувствительный к свету промежуток продолжается параллельно первой и второй пиксельным линиям.
4. Способ по любому из пунктов 1-3, в котором этапы S1-S5 выполняют во время сканирования образца.
5. Способ по любому из пунктов 1-3, в котором этап одновременного захвата второго изображения и третьего изображения выполняют, пока это требуется для перекрытия просвета между первой пиксельной линией и второй пиксельной линией во время сканирования.
6. Способ по п.1, дополнительно содержащий этапы, на которых:
определяют, требуется ли изменение глубины регистрации, и
приводят в действие вторую пиксельную линию на основании определения, что требуется изменение глубины регистрации.
7. Способ по п. 6, в котором способ прогнозирования оптимального положения фокуса используют для определения, требуется ли изменение глубины регистрации.
8. Способ по одному из пп. 6-7, в котором датчик изображения дополнительно содержит
третью пиксельную линию, содержащую множество пикселей,
при этом каждая из первой, второй и третьей пиксельных линий имеет отличающуюся длину оптического пути до образца вдоль оптической оси устройства формирования изображений,
при этом первая пиксельная линия и третья пиксельная линия отделены друг от друга просветом вдоль направления (X’) сканирования,
при этом первая пиксельная линия расположена между второй и третьей пиксельными линиями,
причем способ дополнительно содержит этап, на котором приводят в действие вторую пиксельную линию в случае определения, что требуется увеличение глубины регистрации, или приводят в действие третью пиксельную линию в случае определения, что требуется уменьшение глубины регистрации.
9. Способ по п.1, дополнительно содержащий этап, на котором отбрасывают повторяющиеся данные, регистрируемые первой пиксельной линией и/или второй пиксельной линией.
10. Способ по п. 9, дополнительно содержащий этап, на котором формируют конечное изображение образца на основании захваченных изображений после отбрасывания повторяющихся данных.
11. Способ по любому из пунктов 1-3, или 6, или 9,
в котором система формирования изображений представляет собой датчик (400) изображения, содержащий двумерный массив пикселей в ортогональной системе координат XY, при этом двумерный массив пикселей датчика содержит первую, вторую и третью пиксельные линии, и
при этом каждая из первой, второй и третьей пиксельных линий продолжается вдоль направления Y.
12. Способ по любому из пп.1-3, или 6, или 9,
для формирования трехмерного изображения образца, при этом способ дополнительно содержит этапы, на которых:
захватывают первое изображение образца из первого набора пиксельных линий, содержащих первую пиксельную линию,
одновременно захватывают второе изображение образца из первого набора пиксельных линий и захватывают третье изображение образца из второго набора пиксельных линий пикселей, содержащих вторую пиксельную линию,
продолжают захват изображений образца из второго набора пиксельных линий, и
прекращают захват изображений образца из первого набора пиксельных линий.
13. Система формирования изображений для одновременного захвата данных изображений образца при многочисленных глубинах, содержащая:
первую пиксельную линию (410), содержащую множество пикселей (415, 416),
вторую пиксельную линию (411), содержащую множество пикселей (418, 419),
при этом устройство выполнено с возможностью сканирования образца вдоль направления (X’) сканирования,
первая пиксельная линия и вторая пиксельная линия отделены друг от друга просветом (305а-305с, 402, 403) вдоль направления сканирования,
система формирования изображений выполнена с возможностью захвата первого изображения образца с первой пиксельной линии,
система формирования изображений выполнена с возможностью одновременного захвата второго изображения образца с первой пиксельной линии и захвата третьего изображения образца со второй пиксельной линии, и
система формирования изображений выполнена с возможностью продолжения захвата изображений образца со второй пиксельной линии и выполнена с возможностью прекращения захвата изображений образца с первой линии пикселей.
14. Система формирования изображений по п. 13,
в которой первая и вторая пиксельные линии являются частью датчика (400) изображения, содержащего двумерный массив пикселей в ортогональной системе координат XY,
при этом первая и вторая пиксельные линии продолжаются вдоль направления Y,
датчик изображения дополнительно содержит первый нечувствительный к свету промежуток (402) между первой и второй пиксельными линиями,
первый нечувствительный к свету промежуток продолжается вдоль направления Y, и
считывающие электронные компоненты (412, 413) пикселей из первой пиксельной линии и/или пикселей из второй пиксельной линии расположены в первом нечувствительном к свету промежутке (402).
15. Система формирования изображений по п. 14,
в которой по меньшей мере один из следующих компонентов расположен в первом нечувствительном к свету промежутке или в последующем нечувствительном к свету промежутке датчика:
преобразователи тока в напряжение пикселей по меньшей мере одной из первой и второй пиксельных линий, логические схемы датчика изображения и соединительные цепи датчика изображения.