УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ТВЕРДЫХ МАТЕРИАЛОВ, ОБРАЗУЮЩИХ ЛЕТУЧИЕ СОЕДИНЕНИЯ, В ИСПАРИТЕЛЬ

Предлагаемая полезная модель относится к области химической технологии получения покрытий методом химического осаждения из паровой фазы, а именно к устройствам для равномерной подачи микропорций (масса порции до 1 мг) твердых летучих соединений в испаритель.
Наиболее близким аналогом предлагаемого технического решения является устройство для подачи твердых летучих соединений в испаритель, содержащее корпус с отверстием, в котором расположен спрессованный твердый материал, элемент для подачи твердого материала из отверстия в испаритель и средство для дробления материала, выполненное в виде вращающегося барабана со стачивающей поверхностью (см. US 5820678, опубл. 1998 г.).
Недостатком известного устройства является залипание твердого материала на стачивающей поверхности барабана и неравномерной скоростью стачивания, что не обеспечивает стабильной подачи материала в испаритель.
Технической задачей предлагаемой полезной модели является повышение равномерности подачи твердого материала в испаритель при сохранении основной части подаваемого материала при комнатной температуре.
Поставленная задача решается тем, что в устройстве для подачи твердых материалов для образования летучих соединений в испаритель, содержащем корпус с отверстием, в котором расположен твердый материал, элемент для подачи твердого материала из отверстия в испаритель и средство для дробления материала, особенностью является то, что средство для дробления материала выполнено в виде ножа, установленного на выходе
отверстия корпуса с возможностью совершения им поступательных перемещений и срезания частиц твердого материала.
Использование ножа для дозирования вещества исключает залипание частиц на средстве дробления и гарантирует постоянство и равномерность подачи вещества в испаритель.
В частных вариантах полезной модели целесообразно элемент для подачи твердого материала выполнять в виде штока, размещенного в отверстии корпуса и соединенного с линейным приводом на основе шагового двигателя. Скорость подачи материала легко контролируется скоростью движения штока.
Предпочтительно твердый материал выполнять в виде спрессованного из используемого вещества или смеси используемых веществ столбика.
Сущность предлагаемой полезной модели поясняется с помощью рисунка.
На фиг.(а, б, в) показано предлагаемое устройство с верхним положением ножа (а), с положением ножа в момент срезания материала (б), с нижним положением ножа (в).
Устройство содержит корпус в виде трубки 1 с отверстием 2, в котором расположен спрессованный твердый материал в виде столбика 3, шток 4 для подачи твердого материала и нож 5, установленный на выходе отверстия корпуса.
Пример реализации устройства.
Твердое летучее соединение прессуют в столбик диаметром 5-20 мм и длиной 10-200 мм. Спрессованный столбик помещается в отверстии трубы и подается с помощью штока, соединенного с линейным приводом на основе шагового двигателя с дискретностью шага 2 мкм. Срезание порций твердого вещества производится с помощью металлического ножа, совершающегося с частотой около 30 Гц поступательные движения вверх-вниз напротив отверстия. Срезанные со столбика частицы твердого вещества под действием силы тяжести и газового потока направляются в испаритель.
Устройство позволяет реализовать равномерную подачу твердых летучих соединений в испаритель, в то время как основная часть вещества находится при комнатной температуре, что снижает вероятность его химической деструкции в ходе процесса. Устройство применимо и для одновременной подачи в испаритель нескольких летучих веществ в заданном соотношении, для чего столбик прессуется из смеси требуемых веществ.