СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЧЕТНЫХ СЕТОК В ОБЪЕМЕ СТЕКЛЯННОЙ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ АНАЛИЗА БИОЛОГИЧЕСКИХ МИКРООБЪЕКТОВ

2
14
21
2
Способ изготовления счетных сеток в объеме стеклянной подложки для анализа биологических микрообъектов, заключающийся в формировании заданных микроструктур в объеме стеклянной подложки, отличающийся тем, что формирование заданных периодических микроструктур осуществляется легированием диффузией металла в объем исходной подложки из нагретой облучением металлической сетки, расположенной на поверхности подложки, ионами инертного газа с плотностью тока в пучке 20-50 мкА/см при энергиях 5-150 кэВ и дозах 1⋅10-1.0⋅10 ион/см.