КОМБИНИРОВАННАЯ НАСОСНАЯ СИСТЕМА, СОДЕРЖАЩАЯ ГЕТТЕРНЫЙ НАСОС И ИОННЫЙ НАСОС

1. Комбинированная насосная система (10), содержащая геттерный насос (12) и ионный насос (13), отличающаяся тем, что геттерный и ионный насосы (12, 13) установлены на одном и том же фланце (11) и расположены на одной стороне фланца (11) в двух его разных точках.
2. Система по п.1, в которой магнит (136), необходимый для работы ионного насоса (13), расположен в гнезде, выполненном во фланце (11) и на той стороне фланца (11), которая является внешней относительно вакуумной камеры, когда насосная система (10) соединена с ней.
3. Система по п.1 или 2, в которой магнит (136) является постоянным магнитом и имеет состав самарий-кобальт или железо-бор-неодим.
4. Система по п.1, в которой магнит (236), необходимый для работы ионного насоса (13), расположен на той стороне фланца (11), которая является внутренней относительно вакуумной камеры, когда насосная система соединена с ней.
5. Система по п.4, в которой магнит (236) является постоянным магнитом и имеет точку Кюри выше 350°С.
6. Система по п.4 или 5, в которой магнит (236) является постоянным магнитом и имеет следующее весовое соотношение компонентов: алюминий 8-12% по весу, никель 15-26% по весу, кобальт 5-24% по весу, с возможной добавкой небольших количеств меди и титана, остальное - железо.
7. Система по п.1, в которой геттерный насос (12) выполнен из серии дисков (121, 121', …), выполненных из неиспаряющегося геттерного материала и установленных друг на друга на центральной опоре (122).
8. Система по п.1, в которой ионный насос (13) выполнен из двух плоских и параллельных друг другу электродов (134, 134', 234, 234'), образованных из титана, тантала или молибдена, между которыми расположен по меньшей мере один анодный элемент (131, 231), выполненный из титана и имеющий форму пустотелого цилиндрического тела, при этом ось анодного элемента (131, 231) перпендикулярна поверхности электродов (134, 134', 234, 234').