ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАНИПУЛИРОВАНИЯ ПЛАСТИНАМИ

1. Система для манипулирования пластинами (W) внутри устройства (1) обработки, содержащая систему (10) всасывания, оснащенную входным отверстием всасывания, причем упомянутая система (10) обеспечивает задаваемое или регулируемое всасывание, всасывающую трубу (7), имеющую первый конец и второй конец, причем упомянутый первый конец соединен с входным отверстием всасывания системы (10) всасывания, приспособление (6) для манипулирования пластинами (W) и для удержания их посредством всасывания и соединенное со вторым концом всасывающей трубы (7), и устройство для регулировки давления во всасывающей трубе в дополнение к возможному регулирующему средству упомянутой системы (10) всасывания; при этом упомянутое регулирующее устройство содержит клапан (8), соединенный с всасывающей трубой (7) и способный открываться, когда давление во всасывающей трубе (7) падает ниже заданного значения.
2. Система по п.1, в которой клапан (8) содержит проход (80), пружину (85) и подвижный элемент (83, 84), способный закрывать упомянутый проход (80) под действием упомянутой пружины (85).
3. Система по п.2, в которой проход (80) соединяется на одной стороне с всасывающей трубой (7).
4. Система по п.3, в которой проход (80) соединяется на второй стороне с внутренней камерой (3) упомянутого устройства обработки.
5. Система по п.1, в которой клапан (8) может калиброваться, и упомянутое заданное значение зависит от калибровки упомянутого клапана (8).
6. Система по п.5, отличающаяся тем, что она содержит калибрующий винт (86), который действует на пружину (85), при этом калибровка клапана (8) осуществляется с помощью вращения винта (86).
7. Система по п.1, в которой система (10) всасывания содержит устройство выброса, питаемое потоком инертного газа, который управляется программируемым контроллером массового расхода.
8. Система по п.1, отличающаяся тем, что она содержит робот (5), имеющий шарнирно соединенный манипулятор (51, 52, 53), на котором монтируется упомянутое приспособление (6).
9. Система по п.1, отличающаяся тем, что всасывающая труба (7) выполнена, по существу, из гибкой трубки (71), предпочтительно за которой следует жесткая трубка (73), соединенная с гибкой трубкой через способное вращаться соединение (72).
10. Система по п.1, в которой упомянутое приспособление (6) содержит корпус (61), сконфигурированный и имеющий размеры для осуществления контакта с краем пластины (W), чтобы формировать камеру (60) всасывания между корпусом (61) и пластиной (W), и предоставляются средства (51) для соединения камеры (60) всасывания с всасывающей трубой (7).
11. Устройство (1) для обработки пластин (W), отличающееся тем, что оно содержит систему манипулирования пластинами по п.1.
12. Устройство (1) по п.11, отличающееся тем, что оно содержит передаточную камеру (3), в которой клапан (8) устройства для регулировки системы манипулирования соединяется с передаточной камерой (3).
13. Устройство (1) по п.11 или 12, отличающееся тем, что оно содержит передаточную камеру (3), при этом, по меньшей мере, манипулятор (51, 52, 53) робота (5) системы манипулирования содержится внутри упомянутой передаточной камеры (3).
14. Способ для регулировки давления в системе для манипулирования пластинами (W), причем упомянутая система содержит приспособление (6), соединенное с всасывающей трубой (7), отличающийся тем, что клапан (8) соединяют с всасывающей трубой (7), и клапан (8) открывают, когда давление во всасывающей трубе (7) падает ниже заданного значения.
15. Способ по п.14, отличающийся тем, что всасывающая труба (7) соединяется с системой (10) задаваемого или регулируемого всасывания.
16. Способ по п.14 или 15, отличающийся тем, что используют приспособление (6), которое содержит корпус (61), сконфигурированный и имеющий размеры для осуществления контакта с краем пластины (W), чтобы формировать камеру (60) всасывания между корпусом (61) и пластиной (W), и используют средства (51) для соединения камеры (60) всасывания с всасывающей трубой (7).