МАГНЕТРОННАЯ РАСПЫЛИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА

Магнетронная распылительная система, содержащая анод и катодный узел, включающий основную магнитную систему из внешних и внутренних магнитов, размещенных на магнитопроводе и испаряющуюся мишень, отличающаяся тем, что по периметру катодного узла размещена дополнительная магнитная система, выполненная из набора постоянных магнитов, полярность которых совпадает с полярностью внешних магнитов основной магнитной системы.