СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СУБМИКРОННЫХ КРИСТАЛЛОВ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

Способ получения субмикронных кристаллов нитрида алюминия, включающий взаимодействие паров алюминия с азотсодержащим газом, отличающийся тем, что гранулы металлического алюминия смешивают с порошком трифторида алюминия в соотношении 1:1 − 3:1 и нагревают смесь до температуры 1050 − 1150°С в атмосфере аммиака, подаваемого в пространство над жидким алюминием с объемной скоростью подачи ниже 50 мл/мин при абсолютном давлении 0,03 – 0,07 МПа.