Способ получения износостойкого покрытия на основе борида алюминия-магния

14
2
2
Способ получения износостойкого покрытия на основе борида алюминия-магния, включающий распыление единой стехиометрической мишени AlMgB в вакуумной камере, используя высокочастотное магнетронное распыление, отличающийся тем, что получение покрытия осуществляют в два этапа: на первом этапе осуществляют нанесение нижнего слоя покрытия при плотности мощности магнетронного разряда 2-7 Вт/см, а на втором этапе осуществляют нанесение верхнего слоя покрытия при плотности мощности разряда 7-20 Вт/см, кроме того, между стехиометрической мишенью магнетрона и подложкой выбирается расстояние 10-50 мм.