СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КАТОДНОГО ДИФФУЗИОННОГО БАРЬЕРНОГО СЛОЯ ТОТЭ (SOFC) и ТОТЭ (SOFC)

1. Способ получения катодного диффузионного барьерного слоя ТОТЭ (SOFC), содержащий этапы, на которых:
a) слой чистого диоксида церия или поливалентно легированного диоксида церия осаждают путем атомно-слоевого осаждения на слой электролита, составленного из поливалентно стабилизированного диоксида циркония спеченного полуэлемента, в то время, как поверхность электролита, на которую осаждается пленка, подвергается воздействию порции паров от одного или более лантаноидных первых прекурсоров, а любой избыток непрореагировавшего пара от данного прекурсора удаляется, а порция паров второго прекурсора доставляется к поверхности и получает возможность реагировать, и такую последовательность этапов повторяют для создания более толстых пленок;
b) выполняют трафаретную печать катодного слоя на основе кобальтитов сверху упомянутых слоев;
c) нагревают вместе катодный диффузионный барьерный слой и катодный слой.
n
2. Способ по п.1, в котором первые прекурсоры представляют собой лантаноидные дикетонаты общей формулы Ln(thd), где thd представляет собой 2,2,6,6-тетраметилгептан-3,5-дионат, или любое другое летучее соединение лантаноидов, которое является достаточно термически стабильным, для того, чтобы удовлетворять требованию самоограничивающегося роста, а второй прекурсор представляет собой озон или воду.
3. Способ по п.1, в котором слой электролита представляет собой диоксид циркония, стабилизированный иттрием.
4. Способ по п.1, в котором слой электролита представляет собой диоксид циркония, стабилизированный скандием.
5. Способ по п.1, в котором слой диоксида церия предпочтительно представляет собой слой диоксида церия,  легированного Y или Gd.
4
3
3
6. Способ по п.5, в котором импульсное соотношение для осаждения первых прекурсоров Ce(thd)и Y(thd) илиGd(thd) составляет от 30:1 до 5:1, предпочтительно 10:1.
x
(1-X)
3
x
(1-X)
y
(1-y)
3
7. Способ по п.1, в котором упомянутый катодный слой на основе кобальтитов предпочтительно представляет собой слой LSC (LaSrCoO) или  LSCF (LaSrCoFeO).
8. Способ по п.1, в котором температура нагревания составляет между 1000-1200°C, предпочтительно между 1000 и 1100°C.
9. Способ по п.1, в котором в последующих циклах этапа a) используют различные лантаноиды для создания смешанных оксидов.
10. Твердооксидный топливный элемент, ТОТЭ (SOFC), содержащий катодный диффузионный барьерный слой, полученный способом по п.1.