КРЕПЛЕНИЕ ДЛЯ СЕНСОРНОГО БЛОКА СКАНИРУЮЩЕГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ЗОНДА, СЕНСОРНЫЙ БЛОК СКАНИРУЮЩЕГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ЗОНДА, СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП И МЕТОД УСТАНОВКИ И СНЯТИЯ СЕНСОРНОГО БЛОКА СКАНИРУЮЩЕГО ИЗМЕРИТЕЛЬНОГО ЗОНДА

1. Крепление для сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда, включающее:
опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305), образующую в креплении плоскость,
по меньшей мере один подвижный фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208), выполненный с возможностью взаимодействия с соответствующей ответной частью (43, 143) сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда и с возможностью перемещения в первое положение, в котором он прикладывает усилие к установленному сенсорному блоку (27, 127) сканирующего зонда таким образом, чтобы действовать на указанный сенсорный блок (27, 127) сканирующего зонда в направлении опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) по нормали к указанной плоскости, и во второе положение, в котором он позволяет производить установку сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда на опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) или снятие этого блока с опоры в направлении вдоль нормали к указанной плоскости.
2. Крепление по п.1, в котором
фиксирующий соединительный элемент (9, 109) расположен на подвижном элементе (11, 111), выполненном с возможностью отклонения к центру опоры (1, 5, 101, 105) упругой силой.
3. Крепление по п.2, в котором
подвижный элемент включает упруго сгибаемый рычажный элемент (11, 111), имеющий неподвижную часть, закрепленную по отношению к опоре (1, 5, 101, 105), и свободный конец, на котором расположен указанный фиксирующий соединительный элемент (9, 109),
причем указанный упруго сгибаемый рычажный элемент (11, 111) проходит по существу параллельно нормали к указанной плоскости и имеет такую форму, чтобы сдвигать свободный конец фиксирующим соединительным элементом (9, 109) к центру опоры (1, 5, 101, 105).
4. Крепление по п.3, в котором неподвижная часть упруго сгибаемого рычажного элемента (11, 111) закреплена на опоре (1, 5, 101, 105).
5. Крепление по п.1, в котором фиксирующий соединительный элемент (9, 109) имеет симметрию вращения относительно оси симметрии и установлен с возможностью вращения относительно своей оси симметрии, которая является осью вращения и которая расположена перпендикулярно нормали к указанной плоскости, образованной в креплении.
6. Крепление по п.5, которое включает по меньшей мере три подвижных фиксирующих соединительных элемента (9, 109), равномерно распределенных по краю опоры (1, 5, 101, 105).
7. Крепление по п.1, которое включает по меньшей мере одну кольцевую спиральную пружину (206), которая расположена на периферии опоры (201, 205, 301, 305) с окружением этой опоры (201, 205, 301, 305), при этом части (208) витков (206), обращенные к центру опоры (201, 205, 301, 305), образуют указанные фиксирующие соединительные элементы.
8. Крепление по любому из пп.6 или 7, которое также включает приводящий элемент (13, 313), выполненный с возможностью воздействия на указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 208) с обеспечением перемещения указанного фиксирующего соединительного элемента (9, 208) из первого положения во второе положение и наоборот при приведении в действие указанного приводящего элемента (13, 313).
9. Сенсорный блок (27, 127) сканирующего зонда, включающий сенсорный элемент (29) и основание (31, 131), к которому прикреплен сенсорный элемент (29) и которое включает по меньшей мере одну фиксирующую соединительную часть (43, 143), которая выполнена с возможностью взаимодействия с фиксирующим соединительным элементом (9, 109) крепления по любому из пп.1-8 и размеры которой выбраны такими, что она проходит через указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109) вдоль нормали к указанной плоскости, образованной в креплении, когда этот фиксирующий соединительный элемент находится во втором положении, но не проходит через указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109) вдоль указанной нормали, когда этот фиксирующий соединительный элемент (9, 109) находится в первом положении, при этом фиксирующий соединительный элемент (9, 109) выполнен с возможностью приложения усилия к указанной плоскости, образованной в креплении, в направлении нормали к креплению, после прохождения фиксирующей соединительной части (43, 143) через фиксирующий соединительный элемент к указанной плоскости.
10. Сенсорный блок (27) по п.9, который также включает ручку (47), выступающую из основания (31).
11. Сканирующий зондовый микроскоп, включающий крепление по любому из пп.1-8.
12. Способ установки сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда по п.9 или 10 на крепление по любому из пп.1-8 и снятия сенсорного блока (27, 127) по п.9 или 10 с крепления по любому из пп.1-8, включающий:
перемещение указанного по меньшей мере одного фиксирующего соединительного элемента (9, 109, 208) из первого положения во второе положение;
установку или снятие сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда вдоль нормали к указанной плоскости, образованной в креплении;
перемещение указанного по меньшей мере одного фиксирующего соединительного элемента (9, 109, 208) из второго положения в первое.
13. Крепление для сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда, в частности по любому из пп.1-7, включающее:
опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305),
по меньшей мере один подвижный фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208), расположенный на опоре (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) и выполненный с возможностью взаимодействия с соответствующей ответной частью (43, 143) сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда и с возможностью перемещения в первое положение, в котором он прикладывает усилие к установленному сенсорному блоку (27, 127) сканирующего зонда таким образом, чтобы действовать на указанный сенсорный блок (27, 127) сканирующего зонда в направлении опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305), и во второе положение, в котором он позволяет производить установку сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда на опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) или снятие этого блока с опоры,
приводящий элемент (13, 313), выполненный с возможностью перемещения относительно опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) и воздействия на указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208) с его перемещением из первого положения во второе и наоборот посредством его перемещения относительно опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305),
приводящий двигатель, соединенный с опорой (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) или приводящим элементом (13, 313) с обеспечением возможности передачи относительного перемещения между приводящим элементом (13, 313) и опорой (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305).
14. Крепление по пункту 13, включающее
располагающий двигатель для расположения опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) относительно исследуемого образца;
положение упора, которое задает максимальное расстояние от опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) до образца, причем
указанный по меньшей мере один подвижный фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208) расположен на опоре (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305),
приводящий двигатель является располагающим двигателем, приводящий элемент (13, 313) выполнен с возможностью воздействия на указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208) для его перемещения во второе положение, когда опора (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) достигает положения упора.
15. Способ установки сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда на крепление и снятия этого сенсорного блока с крепления, причем крепление включает опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305), по меньшей мере один подвижный фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208), выполненный с возможностью взаимодействия с соответствующей ответной частью (43, 143) сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда, приводящий элемент (13, 313), выполненный с возможностью перемещения относительно опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) и воздействия на указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208), и располагающий двигатель для расположения опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) относительно исследуемого образца, а способ включает следующие шаги:
перемещение указанного по меньшей мере одного фиксирующего соединительного элемента (9, 109, 208) из первого положения, в котором он прикладывает усилие к установленному сенсорному блоку (27, 127) сканирующего зонда таким образом, чтобы действовать на указанный сенсорный блок (27, 127) сканирующего зонда в направлении опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305), во второе положение, в котором он позволяет производить установку сенсорного блока (27, 127) на опору (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) или снятие этого сенсорного блока с опоры,
установку или снятие сенсорного блока (27, 127) сканирующего зонда;
перемещение указанного по меньшей мере одного фиксирующего соединительного элемента (9, 109, 208) из второго положения в первое положение,
причем
перемещение указанного по меньшей мере одного фиксирующего соединительного элемента (9, 109, 208) из первого положения во второе положение осуществляют путем воздействия на указанный по меньшей мере один фиксирующий соединительный элемент (9, 109, 208) посредством перемещения приводящего элемента (13, 313) относительно опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305),
перемещение приводящего элемента (13, 313) относительно опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) осуществляют путем перемещения опоры (1, 5, 101, 105, 201, 205, 301, 305) к заданному положению упора с помощью располагающего двигателя.