УСТРОЙСТВО ЗОНДОВОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам зондового перемещения.
Известно устройство зондового перемещения, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом. [Патент США №6215121, МПК G01B 21/30; G01N 37/00; G01Q 10/04, опубл. 10.04.2001 (аналог)].
Недостатком известного устройства является отсутствие возможности выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому техническому результату является устройство зондового перемещения, содержащее набор пьезотрубок с электродами и параллельными торцами, причем пьезотрубки связаны между собой посредством соединительных элементов, последний из которых связан с неподвижным основанием, а первый с зондом [Патент РФ №2199171, МПК H01L 41/09, H02N 2/02, опубл. 20.02.2003 (прототип)].
Недостатком известного устройства также является отсутствие возможности выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.
Техническая задача, на решение которой направлена заявляемая полезная модель, состоит в том, чтобы создать устройство зондового перемещения для нанотехнологии с возможностью выполнения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве зондового перемещения для нанотехнологии, содержащем неподвижное основание, пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, зонд, жестко связанный с торцем пьезопривода и подложку, электрически связанную с зондом, согласно предложенной полезной модели, торцевая поверхность зонда выполнена в форме матрицы с нанесенными на нее линиями, расположенными в заданном технологическом порядке.
Техническим результатом, достижение которого обеспечивается реализацией всей заявляемой совокупности существенных признаков, является возможность нанесения технологических операций нанесения заданного нанорисунка на подложку за счет выполнения торца зонда фигурным в виде матрицы.
Сущность полезной модели поясняется рисунками, где
на фиг. 1 показан вид устройства зондового перемещения для нанотехнологии сбоку,
на фиг. 2, 3 и 4 показаны варианты выполнения зонда.
Устройство зондового перемещения для нанотехнологии (фиг. 1) содержит неподвижное основание 1, пьезопривод 2, зонд 3, торец пьезопривода 4 и подложку 5, причем пьезопривод 2 жестко связан с основанием 1, а зонд 3 жестко связан с торцем пьезопривода 4, а подложка 5 электрически связана с зондом 3.
Устройство зондового перемещения для нанотехнологии работает следующим образом.
При подаче напряжения на торец 4 пьезопривода 2, происходит его механическая деформация, вызванная явлением обратного пьезоэффекта. При этом зонд 3 перемещается перпендикулярно подложке 5, и, в результате сил электрического взаимодействия, на подложке 5 формируется негативный рисунок, т.е. рисунок обратный рисунку матрицы на зонде 3.
Применение предлагаемого устройства зондового перемещения позволяет выполнять технологические операции нанесения заданного нанорисунка на подложку.