РЕЗОНАНСНЫЙ СЕНСОР ДАВЛЕНИЯ

Резонансный сенсор давления, содержащий измерительную мембрану с возбуждающим электродом и резонансной полостью, к краям которой с двух сторон жесткозакреплен резонансный элемент в форме балки с прямоугольным сечением, в теле которого сформированы тензорезисторы, отличающийся тем, что размер сечения балки в ортогональном направлении к плоскости колебаний постоянен, а в направлении колебаний возрастает по линейному закону, достигая максимального значения посередине балки, причем отношение максимального размера сечения к минимальному в указанном направлении лежит в интервале от 1 до 6.