СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СТЕКЛА ИЗ ПЯТИОКИСИ ФОСФОРА

2
5
2
2
S
Способ получения стекла из пятиокиси фосфора, включающий процесс образования фосфоро-силикатного стекла на поверхности кремниевой пластины, отличающийся тем, что в качестве источника диффузанта используется твердый источник диффузанта пятиокиси фосфора - фосфорный ангидрид (PO) при следующем соотношении компонентов: кислород -O=40 л/ч, азот -N=500 л/ч при температуре процесса 1050°C при времени диффузии фосфора -40 минут, причем поверхностное сопротивление равно -R=140±10 Ом/см.