ПРОСТРАНСТВЕННЫЙ МОДУЛЯТОР СВЕТА С ИНТЕГРИРОВАННОЙ ОПТИЧЕСКОЙ КОМПЕНСАЦИОННОЙ СТРУКТУРОЙ

1. Пространственный модулятор света, содержащий
подложку;
множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов, размещенных на подложке и выполненных с возможностью интерферометрической модуляции света, прошедшего сквозь подложку, и
оптическую компенсационную структуру,
при этом множество индивидуально адресуемых светомодулирующих элементов размещено между подложкой и оптической компенсационной структурой.
2. Пространственный модулятор света по п.1, в котором указанные светомодулирующие элементы содержат подвижный элемент и полость.
3. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит черную маску.
4. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит цветовой фильтр.
5. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит рассеиватель.
6. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит антиотражающий слой.
7. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит множество рассеивающих элементов.
8. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит решетку микролинз.
9. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит дифракционный оптический элемент.
10. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит выравнивающий слой, который содержит рассеивающий элемент.
11. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит голографическую пленку, которая уменьшает сдвиг в отраженном цвете по отношению к углу падения света, прошедшего через подложку.
12. Пространственный модулятор света по п.1, в котором светомодулирующие элементы являются отражающими.
13. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит черную маску и цветовой фильтр.
14. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит черную маску и рассеиватель.
15. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура содержит цветовой фильтр и рассеиватель.
16. Пространственный модулятор света по п.1, дополнительно содержащий выравнивающий слой.
17. Пространственный модулятор света по п.1, в котором подложка является, по меньшей мере, частично отражающей.
18. Пространственный модулятор света по п.1, в котором оптическая компенсационная структура представляет собой пассивную оптическую компенсационную структуру.
19. Пространственный модулятор света по п.1, в котором подложка является, по меньшей мере, частично прозрачной.
20. Пространственный модулятор света по п.1, в котором подложка является частично прозрачной и частично отражающей.
21. Пространственный модулятор света, содержащий
подложку;
множество индивидуально адресуемых интерферометрических светомодулирующих элементов, размещенных на подложке и выполненных с возможностью модуляции света, прошедшего через подложку или отраженного от подложки, причем указанные интерферометрические индивидуально адресуемые светомодулирующие элементы содержат полость и подвижную стенку; и
по меньшей мере, одну оптическую компенсационную структуру, причем множество индивидуально адресуемых интерферометрических светомодулирующих элементов размещено между подложкой и оптической компенсационной структурой, причем оптическая компенсационная структура содержит структуру, выбранную из группы состоящей из антиотражающего слоя, дифракционного оптического элемента, структуры, которая рассеивает свет, рассеивателя, решетки микролинз и голографической пленки.
22. Пространственный модулятор света по п.21, в котором, по меньшей мере, одна оптическая компенсационная структура содержит черную маску.
23. Пространственный модулятор света по п.21, в котором, по меньшей мере, одна оптическая компенсационная структура содержит цветовой фильтр.
24. Пространственный модулятор света по п.21, дополнительно содержащий выравнивающий слой.
25. Пространственный модулятор света по п.21, в котором подложка является, по меньшей мере, частично отражающей.
26. Пространственный модулятор света по п.21, в котором оптическая компенсационная структура представляет собой пассивную оптическую компенсационную структуру.
27. Пространственный модулятор света по п.21, в котором подложка является, по меньшей мере, частично прозрачной.
28. Пространственный модулятор света по п.21, в котором подложка является частично прозрачной и частично отражающей.
29. Пространственный модулятор света, содержащий
подложку;
средство для интерферометрической модуляции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки; и
средство для компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки;
причем средство для модуляции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, расположено при функционировании между подложкой и средством для компенсации света.
30. Пространственный модулятор света по п.29, в котором средство для модуляции света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит множество интерферометрических модуляторов.
31. Пространственный модулятор света по п.29, в котором средство для компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит структуру, выбранную из группы, состоящей из дифракционного оптического элемента, рассеивателя, антиотражающего слоя, множества рассеивающих элементов, решетки микролинз и голографической пленки.
32. Пространственный модулятор света по п.29, в котором средство для компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит рассеиватель.
33. Пространственный модулятор света по п.29, в котором средство для компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит черную маску.
34. Пространственный модулятор света по п.29, в котором средство для компенсации света, прошедшего сквозь подложку или отраженного от подложки, содержит цветовой фильтр.