СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НАСОСА ПОСРЕДСТВОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ПОКРЫТИЯ

1. Способ защиты внутренних поверхностей насоса, включающий следующие операции:
- подводят к входу защищаемого насоса впускной манифольд, а к выходу защищаемого насоса - выпускной манифольд и
- подвергают внутренние поверхности защищаемого насоса воздействию следующих друг за другом самоограниченных поверхностных реакций, последовательно подавая во внутренний объем защищаемого насоса через впускной манифольд реакционные газы и выводя через выпускной манифольд остаточные продукты реакций, причем насос все это время является функционирующим.
2. Способ по п. 1, в котором впускной манифольд подсоединяют к входу защищаемого насоса, а выпускной манифольд - к выходу защищаемого насоса.
3. Способ по п. 1, в котором остаточные продукты реакций и продувочный газ откачивают из внутреннего объема защищаемого насоса вакуумным насосом, подсоединенным к выпускному манифольду.
4. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором требуемую температуру обработки обеспечивают за счет функционирования защищаемого насоса, без применения другого средства нагрева.
5. Способ по любому из пп. 1-3, в котором впускной манифольд состоит из одной или более подающих линий, снабженных собственными управляющими компонентами, которые контролируются компьютерной управляющей системой.
6. Способ по любому из пп. 1-3, в котором формируют сквозной канал, проходящий через ряд защищаемых насосов, и, используя указанный сквозной канал, обеспечивают одновременно защиту внутренних поверхностей всех указанных насосов.
7. Способ по п. 6, в котором сквозной канал формируют, подсоединяя выпускной манифольд предыдущего насоса в указанном ряду к входу следующего насоса.
8. Способ по любому из пп. 1-3, в котором внутренние поверхности защищаемого насоса подвергают воздействию следующих друг за другом самоограниченных поверхностных реакций, протекающих в температурном интервале от температуры окружающей среды до 150°С.
9. Способ по любому из пп. 1-3, в котором защищаемый насос представляет собой вакуумный насос.
10. Способ защиты внутренних поверхностей насоса, включающий следующие операции:
- подводят к входу защищаемого насоса впускной манифольд, а к выходу защищаемого насоса - выпускной манифольд и
- подвергают внутренние поверхности защищаемого насоса воздействию следующих друг за другом самоограниченных поверхностных реакций, последовательно подавая во внутренний объем защищаемого насоса через впускной манифольд реакционные газы и выводя через выпускной манифольд остаточные продукты реакций, причем насос все это время не функционирует.
11. Устройство для защиты внутренних поверхностей насоса, содержащее:
- впускной манифольд, сконструированный с возможностью подсоединения к входу защищаемого насоса, и
- выпускной манифольд, сконструированный с возможностью подсоединения к выходу защищаемого насоса,
причем указанное устройство при его использовании обеспечивает осуществление способа по любому из пп. 1-10.
12. Устройство по п. 11, выполненное с возможностью во время его использования подвергать внутренние поверхности защищаемого насоса воздействию следующих друг за другом самоограниченных поверхностных реакций, посредством последовательной подачи во внутренний объем защищаемого насоса через впускной манифольд реакционных газов и выведения через выпускной манифольд остаточных продуктов реакций, причем насос все это время является функционирующим.
13. Устройство по п. 11, в котором впускной манифольд состоит из линий подачи парообразных прекурсоров и продувочного газа, снабженных собственными управляющими компонентами.
14. Устройство по любому из пп. 11-13, в котором в выпускном манифольде установлен вакуумный насос.
15. Устройство по любому из пп. 11-13, в котором впускной манифольд снабжен соединительным компонентом, согласованным с конструкцией защищаемого насоса и сконфигурированным с возможностью закрепления впускного манифольда во входе защищаемого насоса.
16. Устройство по любому из пп. 11-13, выполненное в виде мобильного устройства.