СПОСОБ И СИСТЕМА ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАДИУСА ПУЧКА ИЗЛУЧЕНИЯ

0
1. Способ измерения радиуса r пучка (20) излучения, отличающийся тем, что включает в себя этапы, на которых
- источник (2) пучка (20) излучения посредством нагревания возбуждает (S1) эталон (1) периодическим образом с частотой (f) для получения периодического теплового возбуждения эталона (1);
- датчик (3) измеряет (S2) периодическую тепловую реакцию эталона, возникающую в ответ на периодическое тепловое возбуждение;
- обрабатывающий модуль (4) определяет (S3) фазовое смещение (φ) между периодическим тепловым возбуждением и периодической тепловой реакцией;
причем источник (2) возбуждает эталон на нескольких частотах (f), а обрабатывающий модуль (4) определяет фазовое смещение для каждой из частот (f), определяя таким образом несколько фазовых смещений (φ);
- обрабатывающий модуль (4)
min
- определяет (S4) минимум φ фазового смещения (φ) на основе определенных таким образом нескольких фазовых смещений и
0
- определяет (S5) радиус r пучка (20) по формуле
0
min
r=Δ/g(φ),
где Δ - толщина эталона (1), g - функция, которая зависит от типа пучка (20) нагревающего излучения.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что функция g представляет собой функцию полиномиального типа, причем коэффициенты полинома зависят от типа пучка (20) нагревающего излучения.
0
3. Способ по п. 2, отличающийся тем, что для пучка (20) нагревающего излучения гауссова типа обрабатывающий модуль (4) определяет (S5) радиус r пучка в мм по формуле
где Δ - толщина эталона (1), мкм.
0
4. Способ по п. 2, отличающийся тем, что для пучка (20) нагревающего излучения однородного типа обрабатывающий модуль (4) определяет (S5) радиус r пучка в мм по формуле
0
при (1,68<r/Δ<10);
0
при (1,68<r/Δ<20) и
0
при (1,68<r/Δ<100),
где Δ - толщина эталона (1), мкм.
5. Способ по любому из п.п. 1-4, отличающийся тем, что источник (2) возбуждает (S1) эталон (1) в виде синусоидального периодического возбуждения.
6. Способ по любому из п.п. 1-4, отличающийся тем, что справедливо соотношение
0
1,5·Δ≤r≤20·Δ.
0
7. Система для измерения радиуса r пучка (20) излучения, отличающаяся тем, что содержит
- источник (2) пучка (20) излучения для возбуждения (S1) эталона (1) периодическим образом посредством нагревания для получения периодического теплового возбуждения эталона (1);
- датчик (3) для измерения (S2) периодической тепловой реакции эталона, возникающей в ответ на периодическое тепловое возбуждение;
- обрабатывающий модуль (4) для
- определения (S3) фазового смещения (φ) между периодическим тепловым возбуждением и периодической тепловой реакцией для каждой частоты из числа нескольких частот (f),
min
- определения (S4) минимума φ определенного таким образом фазового смещения (φ) и
0
- определения (S5) радиуса r пучка (20) излучения по формуле
0
min
r=Δ/g(φ),
где Δ - толщина эталона (1), g - функция, которая зависит от типа пучка (20) нагревающего излучения.
8. Система по п. 7, отличающаяся тем, что источник (2) представляет собой лазер или лазерный диод.
9. Система по п. 7 или 8, отличающаяся тем, что датчик (3) представляет собой оптический или акустический датчик.