СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ непрерывного получения моносилана, включающий взаимодействие гидрида кальция с газообразным тетрафторидом кремния в эвтектическом расплаве хлоридов лития и калия при 360-390°С и очистку моносилана на гранулированном фториде натрия, отличающийся тем, что содержание гидрида кальция в расплаве автоматически поддерживается на уровне насыщения.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что уровень расплава хлоридов лития и калия в реакторе автоматически поддерживается на заданной высоте.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что ввод свежего гидрида кальция и расплава хлоридов лития и калия, нагретых до температуры равной температуре в зоне реакции, и вывод образовавшегося фторида кальция осуществляют через гидрозатворы.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что по мере расхода гидрид кальция и расплав хлоридов после пополнения соответствующих емкостей дополнительно очищаются путем продувки (и/или барботажа) чистым инертным газом.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что глубокая очистки моносилана осуществляется в адсорберах с цеолитом и активированным углем при температуре ниже 0°С
6. Устройство для получения моносилана, включающее обогреваемый реактор с расплавом хлоридов калия и лития, приспособления для ввода газообразного тетрафторида кремния в расплав и вывода моносилана из зоны реакции и устройство стабилизации давления в реакторе, отличающееся тем, что для поддержания концентрации гидрида кальция в расплаве на уровне насыщения над реактором установлена обогреваемая герметичная емкость с запасом гидрида кальция, снабженная в низу патрубком, заканчивающимся сетчатым стаканом, причем граница между патрубком и сетчатым стаканом находится ниже уровня расплава в реакторе.
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что для поддержания уровня расплава в реакторе над ним установлена герметичная емкость с запасом расплава, снабженная патрубком, нижний конец которого опущен в емкость с запасом гидрида на заданный уровень.
8. Устройство по п.6, отличающееся тем, что для выгрузки фторида кальция в нижней части реактора установлен отстойник, который снабжен двумя клапанами или задвижками, связанными между собой так, что при открывании верхнего закрывается нижний и наоборот.
9. Устройство по п.6, отличающееся тем, что в емкостях с запасом расплава хлоридов и гидрида кальция в нижней их части установлены трубки для ввода инертного газа, а в верхней части - для его удаления.