СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИНЫ ДЕРЖАТЕЛЯ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОМ ДЕРЖАТЕЛЕ

1. Способ производства пластины держателя для использования в электростатическом держателе, причем электростатический держатель содержит: главное тело держателя, имеющее электроды, и пластину держателя, выполненную из диэлектрического тела, которое покрывает поверхность главного тела держателя, при этом способ содержит этапы, на которых: получают спеченное тело посредством формования прессованием сырьевого порошкового материала в предварительно определенную форму и затем ее спекания; образуют, посредством полировки, такую поверхность спеченного тела, которая будет контактировать с подложкой, которая должна быть притянута, до предварительно определенной шероховатости и гладкости поверхности; и выполняют струйную обработку для выборочного удаления только готовых к отделению частиц, которые появляются на поверхности в результате вышеупомянутой полировки.
2. Способ по п.1, в котором струйная обработка является жидкостной струйной обработкой.