ИМЕЮЩИЙ ПОКРЫТИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ УЗЕЛ

1. Электрический узел, который имеет многослойное конформное покрытие, содержащее три или более слоев на по меньшей мере одной поверхности электрического узла, причем:
2
2
2
2
3
2
- самый нижний слой многослойного конформного покрытия, который находится в контакте с по меньшей мере одной поверхностью электрического узла, можно получить посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей (а) одно или более кремнийорганических соединений, (b) необязательно - O, NO, NO, Н, NH и/или N, и (с) необязательно - Не, Ar и/или Kr;
2
2
2
2
3
2
- самый верхний слой многослойного конформного покрытия можно получить посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей (а) одно или более кремнийорганических соединений, (b) необязательно - O, NO, NO, Н, NH и/или N, и (с) необязательно - Не, Ar и/или Kr; и
3
2
2
2
4
2
6
3
6
3
8
- многослойное покрытие содержит один или более слоев, которые можно получить посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей (а) одно или более углеводородных соединений формулы (А), (b) необязательно - NH, NO, N, NO, CH, CH, СН и/или СН, и (с) необязательно - Не, Ar и/или Kr,
причем:
1
1
3
2
3
Z обозначает С-С-алкильную группу или С-С-алкенильную группу;
2
1
3
2
3
Z обозначает атом водорода, C-С-алкильную группу или С-С-алкенильную группу;
3
1
3
2
3
Z обозначает атом водорода, C-C-алкильную группу или С-С-алкенильную группу;
4
1
3
2
3
Z обозначает атом водорода, С-С-алкильную группу или С-С-алкенильную группу;
5
1
3
2
3
Z обозначает атом водорода, С-С-алкильную группу или С-С-алкенильную группу; и
6
1
3
2
3
Z обозначает атом водорода, C-С-алкильную группу или С-С-алкенильную группу.
2. Электрический узел по п. 1, отличающийся тем, что многослойное конформное покрытие имеет от трех слоев до тринадцати слоев.
3. Электрический узел по п. 1 или 2, отличающийся тем, что плазменное осаждение является плазмохимическим осаждением из паровой фазы (PECVD).
4. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что плазменное осаждение осуществляют при давлении, лежащем в диапазоне от 0,001 мбар до 10 мбар.
5. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что самый нижний слой многослойного конформного покрытия является органическим.
2
2
2
6. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что самый нижний слой многослойного конформного покрытия может быть получен посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, не содержащей или по существу не содержащей O, NO или NO.
2
3
2
7. Электрический узел по п. 6, отличающийся тем, что самый нижний слой многослойного конформного покрытия может быть получен посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей Н, NH, N, Ar, Не и/или Kr.
8. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что самый верхний слой многослойного конформного покрытия является органическим.
9. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что самый верхний слой многослойного конформного покрытия может быть получен посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей Не, Ar и/или Kr.
2
2
2
10. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что многослойное конформное покрытие содержит один или более барьерных слоев для влаги, которые могут быть получены посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей (а) одно или более кремнийорганических соединений, (b) O, NO и/или NO, и (с) необязательно - Не, Ar и/или Kr.
2
2
2
3
11. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что многослойное конформное покрытие имеет один или более барьерных слоев для влаги, которые могут быть получены посредством плазменного осаждения прекурсорной смеси, содержащей (а) одно или более азотсодержащих кремнийорганических соединений, (b) N, NO, NO и/или NH, и (с) необязательно - Не, Ar и/или Kr.
12. Электрический узел по п. 10 или 11, отличающийся тем, что прекурсорная смесь, из которой могут быть получены один или более барьерных слой для влаги, дополнительно содержит Не, Ar и/или Kr.
3
3
4
4
13. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что одно или более кремнийорганических соединений независимо выбраны из гексаметилдисилоксана (HMDSO), тетраметилдисилоксана (TMDSO), 1,3-дивинилтетраметилдисилоксана (DVTMDSO), гексавинилдисилоксана (HVDSO), аллилтриметилсилана, аллилтриметоксисилана (ATMOS), тетраэтилортосиликата (TEOS), триметилсилана (TMS), триизопропилсилана (TiPS), тривинил-триметил-циклотрисилоксана (VD), тетравинил-тетраметил-циклотетрасилоксана (VD), тетраметилциклотетрасилоксана (TMCS), октаметилциклотетрасилоксана (OMCTS), гексаметилдисилазана (HMDSN), 2,4,6-триметил-2,4,6-тривинилциклотрисилазана, диметиламино-триметилсилана (DMATMS), бис(диметиламино)диметилсилана (BDMADMS) и трис(диметиламино)метилсилана (TDMAMS).
14. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что многослойное покрытие содержит один, два, три или четыре слоя, которые могут быть получены посредством плазменного осаждения углеводородного соединения формулы (А).
15. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что одно или более углеводородных соединений формулы (А) выбрано из 1,4-диметилбензола, 1,3-диметилбензола, 1,2-диметилбензола, толуола, 4-метилстирола, 3-метилстирола, 2-метилстирола, 1,4-дивинилбензола, 1,3-дивинилбензола, 1,2-дивинилбензола, 1,4-этилвинилбензола, 1,3-этилвинилбензола и 1,2-этилвинилбензола.
16. Электрический узел по п. 15, отличающийся тем, что одно или более углеводородных соединений формулы (А) является 1,4-диметилбензолом.
17. Электрический узел по п. 15, отличающийся тем, что одно или более углеводородных соединений формулы (А) является смесью 1,4-дивинилбензола, 1,3-дивинилбензола и 1,2-дивинилбензола.
18. Электрический узел по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что электрический узел содержит подложку, содержащую изоляционный материал, множество токопроводящих дорожек, присутствующих на по меньшей мере одной поверхности подложки, и по меньшей мере один электрический компонент, соединенный с по меньшей мере одной токопроводящей дорожкой.
19. Электрический узел по п. 18, отличающийся тем, что многослойное конформное покрытие покрывает множество токопроводящих дорожек, по меньшей мере один электрический компонент и поверхность подложки, на которой расположены множество токопроводящих дорожек и по меньшей мере один электрический компонент.
20. Электрический компонент, который имеет многослойное конформное покрытие по любому из пп. 1-19 на по меньшей мере одной поверхности электрического компонента.
21. Электрический компонент по п. 20, отличающийся тем, что он является резистором, конденсатором, транзистором, диодом, усилителем, реле, трансформатором, батареей, предохранителем, интегральной схемой, переключателем, светодиодом, светодиодным индикатором, пьезоэлементом, оптоэлектронным компонентом, антенной или осциллятором.