УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ОЧИСТКИ ОБЪЕКТОВ, В ЧАСТНОСТИ ТОНКИХ ДИСКОВ

1. Устройство для очистки тонких пластин (6), в котором пластины (6) закреплены одной стороной на несущем устройстве (2), и при этом образован промежуток (7) между двумя смежными пластинами (6), по существу состоящее из:
промывочного устройства (15), посредством которого текучая среда вводится в соответствующие промежутки (7), и бака (14), который может наполняться текучей средой и выполнен с такими размерами, что вмещает несущее устройство (2),
отличающееся тем, что промывочное устройство (15) содержит по меньшей мере один промывочный элемент (16), имеющий множество сопел и конструкцию из двух частей, причем каждая соответственная часть выполняется сбоку на одной длинной стороне бака (14) таким образом, что обе части проходят параллельно продольной оси бака и, по отношению к их направлению потока, позиционированы в противолежащих направлениях, и при этом обе части по меньшей мере одного промывочного элемента (16) выполнены регулируемые, таким образом, что непосредственно противолежащие сопла не активируются одновременно.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сопла функционально соединены друг с другом, по меньшей мере, через один сопловый блок с тем, чтобы могли вследствие этого питаться тем же количеством текучей среды.
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что по меньшей мере один промывочный элемент (16) разделен на несколько сегментов с обеих сторон, при этом каждый из сегментов имеет один сопловый блок.
4. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что положение обеих частей промывочного элемента (16) (если необходимо, отдельно друг от друга) является регулируемым.
5. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что либо промывочное устройство (15) может перемещаться по отношению к неподвижному несущему устройству (2), либо несущее устройство (2) может перемещаться по отношению к неподвижному промывочному устройству (15), либо несущее устройство (2), а также промывочное устройство (15) могут перемещаться по отношению друг к другу.
6. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что предусмотрено по меньшей мере одно ультразвуковое устройство (18), которое выполнено внутри бака (14) по выбору неподвижным или подвижным.
7. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что несколько промывочных элементов (16) расположены на различных уровнях по отношению к глубине бака (14).
8. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что по меньшей мере один промывочный элемент (16) является регулируемым по вертикали внутри бака (14).
9. Устройство по п.6, отличающееся тем, что ультразвуковое устройство (18) содержит излучатели (19) ультразвука, которые расположены наклонно к горизонтальной ориентации несущего устройства (2).
10. Устройство по п.6, отличающееся тем, что излучатели (19) ультразвука выполнены вращающимися.
11. Способ очистки тонких пластин (6) посредством устройства, в котором пластины (6) закреплены одной стороной на несущем устройстве (2), и при этом образован промежуток (7) между двумя смежными пластинами, при этом устройство по существу состоит из промывочного устройства (15), посредством которого текучая среда вводится в соответствующие промежутки (7), и бака (14), который может наполняться текучей средой, и выполнен с такими размерами, что вмещает несущее устройство (2), отличающийся тем, что он включает нижеследующие этапы процесса:
a) вставку несущего устройства (2) вместе с бруском (1) подложек в пустой или частично наполненный бак (14);
b) выполнение процесса очистки с помощью промывочного устройства (15);
c) выполнения процесса очистки с помощью ультразвукового устройства (18) в присутствии текучей среды.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что промывочное устройство (15) содержит по меньшей мере один промывочный элемент (16), имеющий несколько сопел и конструкцию из двух частей, причем каждая соответствующей часть является выполняемой сбоку на одной длинной стороне бака (14), таким образом, что обе части идут параллельно продольной оси бака и, по отношению к их направлению потока, позиционированы в противолежащих направлениях, и при этом обе части по меньшей мере одного промывочного элемента (16) выполнены регулируемыми таким образом, что непосредственно противолежащие сопла не активируются одновременно.
13. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что этап b) процесса выполняют прежде и после этапа c) процесса.
14. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что этапы b) и c) процесса выполняют несколько раз один за другим.
15. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что этап b) процесса выполняют с помощью теплой текучей среды.
16. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что этап c) процесса выполняют с помощью холодной текучей среды.
17. Способ по п.11 или 12, отличающийся тем, что завершающий процесс очистки содержит выполнение процесса очистки с помощью промывочного устройства (15) с использованием холодной текучей среды.