Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины, нанесенной на металлическую подложку

1. Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины, нанесенной на металлическую подложку, путем применения электрического емкостного двухэлектродного метода, в котором первый электрод присоединяют к металлической подложке, а второй присоединяют к наружной поверхности тонкой диэлектрической пленки, и затем проводят измерения электрического импеданса в полосе частот от долей  герц до порядка нескольких мегагерц, отличающийся тем, что, для формирования второго электрода на подготовительной стадии измерения формируют ограниченную полость из поверхности тонкой пленки и непроводящих бортов известной формы, затем полученную полость заполняют жидким металлическим веществом, затем к внешней поверхности  жидкого металлического вещества прижимают электропроводящую пластину и соединяют ее согласно стандартной схеме электрического емкостного двухэлектродного метода.
2. Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины по п.1, отличающийся тем, что для формирования ограниченную полости второго электрода ее разделяют непроводящими перегородками на многие ограниченные полости различных размеров, а измерения электрического импеданса в измеряемой широкополосной области частот проводят путем параллельного получения и обработки сигналов между первым и многими вторыми электродами.
3. Способ определения толщины тонких диэлектрических пленок нанометровой толщины по п.1, отличающийся тем, что для формирования ограниченную полости второго электрода ее разделяют непроводящими перегородками на многие ограниченные полости различных размеров, а измерения электрического импеданса в измеряемой широкополосной области частот проводят путем последовательного получения и обработки сигналов между первым и многими вторыми электродами.
4. Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины по п.1, отличающийся тем, что жидкое металлическое вещество в полости термостатировано и, одновременно, с измерениями электрического импеданса в широкополосной области частот, измеряется его температура.
5. Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины по п.1, отличающийся тем, что в качестве жидкого метллического вещества используется галлий.
6. Способ определения толщины тонкой диэлектрической пленки нанометровой толщины по п.1, отличающийся тем, что в качестве жидкого металлического вещества используется легкоплавкий сплав под названием «русский сплав».