СОСТАВНОЙ МАЯТНИК

1. Составной маятник (45, 45′), образованный в слое (21) материала на основе кремния и включающий в себя ступицу (39, 39′), соединенную с ободом (37, 37′), по меньшей мере, одной спицей (40, 41, 42, 43), отличающийся тем, что обод (37, 37′) включает в себя одну дополнительную деталь приблизительно в форме кольца (23, 23′) с прорезями из материала с плотностью, большей, чем плотность указанного материала на основе кремния, чтобы увеличить инерцию указанного маятника.
2. Маятник по п.1, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна дополнительная деталь (23) устанавливается на одной из основных поверхностей обода (37).
3. Маятник по п.1, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна дополнительная деталь (23′) устанавливается в углублении (38), сделанном на одной из основных поверхностей обода (37).
4. Маятник по п.3, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна дополнительная деталь (23′) выступает из одной из основных поверхностей обода (37).
5. Маятник по п.1, отличающийся тем, что кольцо (23, 23′) с прорезями включает в себя ряд выступов (22, 22′), отделенных регулярными зазорами, для компенсации какого бы то ни было теплового расширения в указанной, по меньшей мере, одной дополнительной детали (23, 23′).
6. Маятник по п.1, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна дополнительная деталь (23, 23′) образована из металлического материала.
7. Маятник по п.1, отличающийся тем, что ступица (39, 39′) включает в себя, по меньшей мере, вторую дополнительную деталь (25, 25′) для принятия оси маятника, которая вводится в него.
8. Маятник по п.7, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна вторая дополнительная деталь (25) устанавливается на одной из основных поверхностей ступицы (39).
9. Маятник по п.7, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна вторая дополнительная деталь (25′) устанавливается в углублении (44), сделанном на одной из основных поверхностей ступицы (39).
10. Маятник по п.9, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна вторая дополнительная деталь (25′) выступает из одной из основных поверхностей ступицы (39).
11. Маятник по п.7, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна вторая дополнительная деталь (25′) в основном имеет форму цилиндра (25, 25′).
12. Маятник по любому из пп.7-11, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна вторая дополнительная деталь (25, 25′) образована из металлического материала.
13. Маятник по п.1, отличающийся тем, что указанная, по меньшей мере, одна спица (40, 41, 42, 43) настолько тонкая, чтобы обеспечивать ее осевую и/или радиальную деформацию в случае какого бы то ни было удара, сообщаемого маятнику (45, 45′).
14. Часовой механизм, отличающийся тем, что он включает в себя маятник (45, 45′) по любому из пп.1-13.
15. Способ (1) производства маятника (45, 45′), включающий в себя следующие этапы:
a) обеспечение (3) подложки (21) из материала на основе кремния, отличающийся тем, что дополнительно включает в себя следующие этапы:
b) селективное осаждение (5, 13), по меньшей мере, одного слоя (23, 23′, 24, 24′) металла на подложке (21) для определения шаблона, по меньшей мере, одной металлической детали указанного маятника,
c) селективное травление (7, 17), по меньшей мере, одной полости (26, 27, 28, 29, 30, 31, 32, 33, 34, 26′, 27′, 28′, 29′, 30′, 31′, 32′, 33′, 34′) в подложке (21) для определения шаблона (35, 35′) маятника (45, 45′), включающего в себя указанный, по меньшей мере, один металлический слой,
d) высвобождение (9) регулирующей детали (45, 45′) из подложки (21).
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что этап b) включает в себя следующий этап:
e) выращивание (5) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на поверхности подложки (21) так, чтобы образовывать металлическую деталь (23) для увеличения массы маятника (45).
17. Способ по п.15, отличающийся тем, что этап b) включает в себя следующий этап:
е′) выращивание (5) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично на поверхности подложки (21) так, чтобы образовывать металлическую деталь (25) для принятия коронки, которая вводится в нее.
18. Способ по п.15, отличающийся тем, что этап b) включает в себя следующие этапы:
f) селективное травление (11), по меньшей мере, одной полости (38) в подложке (21) для принятия указанной, по меньшей мере, одной металлической детали;
g) выращивание (13) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично в указанной, по меньшей мере, одной полости так, чтобы образовывать металлическую деталь (23′) для увеличения массы указанной третьей кремниевой детали.
19. Способ по п.15, отличающийся тем, что этап b) включает в себя следующие фазы:
f′) селективное травление (11), по меньшей мере, одной полости (44) в подложке (21) для принятия указанной, по меньшей мере, одной металлической детали;
g′) выращивание (13) указанного осажденного слоя посредством последовательных металлических слоев, по меньшей мере, частично в указанной, по меньшей мере, одной полости так, чтобы образовывать металлическую деталь (25′) для принятия коронки, которая вводится в нее.
20. Способ по п.15, отличающийся тем, что за этапом b) следует следующий этап:
h) полировка (15) осажденного металлического слоя (21).
21. Способ по любому из пп.15-20, отличающийся тем, что на одной и той же подложке (21) изготавливаются несколько маятников (45, 45′).