СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК БОРОФОСФОРОСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА

Способ получения пленок борофосфоросиликатного стекла, включающий нагрев подложек и осаждение на них пленок из парогазовой смеси, состоящей из кремнийорганического соединения, эфиров борной кислоты, кислорода, содержащей фосфор легирующей примеси, отличающийся тем, что, с целью повышения качества пленок за счет улучшения воспроизводимости толщины пленок и концентрации в них борного и фосфорного ангидридов, в качестве кремнийорганического соединения используют органогалоидсиланы, а в качестве содержащей фосфор легирующей примеси - хлориды фосфора при объемном отношении органогалоидсилана к хлориду фосфора 1/0,08-1/0,15 и объемном отношении органогалоидсилана к эфиру борной кислоты 1/05-1-1,2.