ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ

Полезная модель относится к области нанотехнологии, а более конкретно к технологическим устройствам для наноперемещений изделия.
Известно технологическое устройство для наноперемещений изделия содержащее неподвижную направляющую, стол и пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей и зонд, жестко связанный с преобразователем [Авторское свидетельство СССР №529509, МКИ Н 01 L 21/66, 1976 (аналог).].
Недостатком аналога является невозможность измерения температуры в туннельном зазоре.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол и пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с преобразователем. [Авторское свидетельство СССР №1713065, кл. H 02 L 41/09, 1991 (прототип).].
Недостатком прототипа также является невозможность измерения температуры в туннельном зазоре.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить возможность измерения температуры в туннельном зазоре.
Поставленная техническая задача решается тем, что в технологическом устройстве для наноперемещений изделия, содержащем неподвижную направляющую, стол, пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей, и зонд, жестко связанный с преобразователем, согласно заявляемой полезной модели, устройство снабжено блоком измерений, на острие зонда закреплены два последовательно соединенных разнометаллических проводника электрически связанных с блоком измерений, причем диаметр проводников составляет 0,1-0/2 диаметра зонда.
Введение в устройство блока измерений и установка на острие зонда двух последовательно соединенных разнометаллических проводников, электрически связанных с блоком измерений обеспечивает возможность измерения температуры в туннельном зазоре.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано технологическое устройство для наноперемещений изделия.
Технологическое устройство для наноперемещений изделия (фиг.1) содержит неподвижную направляющую 1, стол 2, пьезоэлектрический преобразователь 3, жестко связанный с неподвижной направляющей 1 и зонд 4, жестко связанный с преобразователем 3. Устройство снабжено блоком измерений (Б.И.) 7. Блок измерений 7 включает известные устройства для измерения температуры, например термопара или иное, и связанные с измерительным устройством известные программно-аппаратные средства для обработки и анализа результатов измерений. На острие зонда 4 закреплены два последовательно соединенных разнометаллических проводника 5 и 6, электрически связанных с блоком измерений (Б.И.) 7. На столе 2 установлена подложка 8 с возможностью электрического взаимодействия с зондом 4. Стол 2 снабжен системой шести координатных перемещений (С.Ш.К.) 9, выполненной по структуре L-координат.
Технологическое устройство для наноперемещений изделия работает следующим образом.
При перемещении стола 2 по шести координатам с помощью системы шести координатных перемещений (С.Ш.П.) 9 происходит установка подложки 8 напротив зонда 4 и измерение температуры в туннельном зазоре. Процесс измерения осуществляется следующим образом. Электрический сигнал от двух последовательно соединенных разнометаллических проводников 5 и б подается на блок измерений 7, который осуществляет обработку сигнала и выводит результат измерений.
Применение предлагаемого технологического устройства для наноперемещений изделия обеспечивает возможность измерения температуры в туннельном зазоре.