КАТЕТЕР-ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ С РАСПОЛОЖЕННЫМИ В ШАХМАТНОМ ПОРЯДКЕ РЯДАМИ МИКРОМАШИННЫХ УЛЬТРАЗВУКОВЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

1. Решетка емкостных микромашинных ультразвуковых преобразователей (CMUT), содержащая:
первую колонку расположенных с интервалами ячеек CMUT, по меньшей мере, на одном кремниевом островке;
вторую колонку расположенных с интервалами ячеек CMUT, по меньшей мере, на еще одном кремниевом островке, причем вторая колонка расположена в шахматном порядке в отношении первой колонки так, что ячейки второй колонки частично расположены в пространствах между последовательными ячейками первой колонки, причем первая колонка и вторая колонка разделены зазором; и
гибкую фольгу, удерживающую соответствующие кремниевые островки, причем гибкая фольга содержит проводящие межсоединения.
2. Решетка преобразователей CMUT по п. 1, в которой:
первая колонка расположенных с интервалами ячеек CMUT расположена на первом кремниевом островке, имеющем противоположные изгибистые края, причем каждый край изгибается наружу вокруг одной из ячеек CMUT и изгибается внутрь в пространстве между ячейками CMUT;
вторая колонка расположенных с интервалами ячеек CMUT расположена на втором кремниевом островке, имеющем противоположные изгибистые края, причем каждый край изгибается наружу вокруг одной из ячеек CMUT и изгибается внутрь в пространстве между ячейками CMUT; и
первый кремниевый островок расположен рядом со вторым кремниевым островком таким образом, что наружный изгибистый краевой участок первого кремниевого островка расположен в пазу изгибающегося внутрь краевой участок второго кремниевого островка.
3. Решетка преобразователей CMUT по п. 2, в которой каждый первый кремниевый островок и второй кремниевый островок содержит пару указанных колонок из расположенных с интервалами ячеек CMUT, причем колонки в указанной паре расположены в шахматном порядке.
4. Решетка преобразователей CMUT по п. 1 или 2, в которой гибкая фольга представляет собой структурированную фольгу, содержащую множество гибких мостиков, причем каждый гибкий мостик проходит по зазору между соседними кремниевыми островками.
5. Решетка преобразователей CMUT по п. 3, в которой каждый гибкий мостик содержит проводящее межсоединение.
6. Решетка преобразователей CMUT по любому из пп. 1-5, в которой каждое проводящее межсоединение содержит слой металла, встроенный в полимерный слой или полимерное многослойное покрытие.
7. Решетка преобразователей CMUT по п. 6, в которой металлический слой содержит алюминий.
8. Катетер, содержащий внешнюю трубчатую оболочку и решетку преобразователей CMUT по любому из пп. 1-7, обернутую вокруг внешней трубчатой оболочки, так что соответствующие ряды решетки проходят в направлении длины катетера.
9. Катетер по п. 8, дополнительно содержащий дополнительную решетку преобразователей CMUT на дистальном конце катетера.
10. Катетер по п. 8 или 9, отличающийся тем, что катетер является сосудистым катетером или катетером для введения в полость сердца.
11. Система ультразвуковой визуализации, содержащая интерфейсный модуль пациента и катетер по любому из пп. 8-10.
12. Система ультразвуковой визуализации по п. 11, дополнительно содержащая:
формирователь тонкосфокусированных пучков, соединенный с ячейками CMUT и выполненный с возможностью направлять ультразвуковые пучки в направлении ряда; и
схему смещения постоянного тока, соединенную с ячейками CMUT, для подачи смещения на ячейки CMUT для работы в сжатом режиме, причем, по меньшей мере, либо формирователь тонкосфокусированных пучков, либо схема смещения постоянного тока размещен(а) в интерфейсном модуле пациента.
13. Система ультразвуковой визуализации по п. 11 или 12, в которой схема смещения постоянного тока выполнена с возможностью управления ячейками CMUT в сжатом режиме.