ГИБРИДНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА СВЧ ДИАПАЗОНА

1. Гибридная интегральная схема СВЧ диапазона, содержащая корпус и размещенную в корпусе диэлектрическую подложку, отличающаяся тем, что корпус состоит из основания с волноводным каналом и крышки, содержащей короткозамыкающий волновод с длиной волны λ/4, на обе стороны диэлектрической подложки нанесен слой металлизации, при этом на лицевой стороне подложки слой металлизации выполнен в виде топологического рисунка, содержащего волноводно-микрополосковый переход, расположенный в области волноводного канала, а на тыльную сторону подложки нанесен слой сплошной заземляющей металлизации, в которой напротив волноводно-микрополоскового перехода выполнено сквозное окно, при этом сквозное окно и топологический рисунок металлизации окружены рядом сквозных металлизированных отверстий, выполненных в диэлектрической подложке, диаметр D которых удовлетворяет условию 0,1 мм≤D≤0,2 мм, а расстояние между соседними отверстиями равно диаметру отверстия, в диэлектрической подложке выполнено по меньшей мере одно сквозное окно, в котором установлен по меньшей мере один активный элемент, соединенный выводами с топологическим рисунком металлизации диэлектрической подложки.
2. Гибридная интегральная схема СВЧ диапазона по п.1, отличающаяся тем, что между диэлектрической подложкой и основанием с волноводным каналом установлена переходная пластина, в которой выполнено сквозное окно, соответствующее волноводному каналу, при этом переходная пластина выполнена из материала, коэффициент термического расширения которого соответствует коэффициенту термического расширения диэлектрической подложки.