СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА ГЕНЕРАЦИИ ОТРАЖЕННОЙ ГИГАНТСКОЙ ВТОРОЙ ГАРМОНИКИ

1. Способ контроля шероховатости поверхности, при котором осуществляют ее зондирование с помощью лазерного излучения и регистрацию интенсивности генерации отраженной гигантской второй гармоники с использованием фоточувствительных устройств, отличающийся тем, что шероховатую поверхность покрывают слоем частиц наноразмерного уровня, при этом в качестве детектируемого информационного признака используют генерацию отраженной гигантской второй гармоники, индуцируемую зондирующим лазерным излучением, а контроль шероховатости поверхности осуществляют по изменению характера интенсивности отраженной гигантской второй гармоники при изменении значений угла между осью зондирующего излучения и нормалью к шероховатой поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при контроле шероховатости поверхности определяют характеристики шероховатости поверхности по известным размерам частиц наноразмерного уровня и значениям характерных углов, при которых не возникает области тени от шероховатости поверхности, и характерных углов, при которых располагаемая на поверхности частица полностью попадает в область тени.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляют контроль шероховатости локальных участков поверхности.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осуществляют контроль шероховатости путем сканирования ее локальных участков.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве зондирующего электромагнитного излучения используют лазерное когерентное излучение в ближнем инфракрасном и видимом диапазоне длин волн.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала частиц наноразмерного уровня может быть использован полупроводник, например кремний или металл, например серебро.