ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

1. Термоэлектрический элемент (10), содержащий:
подложку (11) с передней стороной (12) подложки и расположенной напротив передней стороны (12) подложки задней стороной (13) подложки,
первый контакт (14), который в виде пленки нанесен на переднюю сторону (12) положки,
второй контакт (15), который в виде пленки нанесен на переднюю сторону (12) положки,
зазор (16) между первым и вторым контактом (14, 15), который термически и электрически отделяет первый и второй контакт друг от друга, и
термоэлектрически активную пленку (17) с верхней стороной (18) и нижней стороной (19), которые соединены друг с другом боковыми ограничивающими поверхностями (20, 21),
причем термоэлектрически активная пленка (17) расположена в зазоре (16) таким образом, что нижняя сторона (19) прилегает к передней стороне (12) подложки, и одна из боковых ограничивающих поверхностей (20) прилегает к первому контакту (14), а также одна из боковых ограничивающих поверхностей (21) прилегает ко второму контакту (15).
2. Термоэлектрический элемент по п. 1, отличающийся тем, что:
на заднюю сторону (13) подложки в виде пленки нанесен третий контакт (25),
на заднюю сторону (13) подложки в виде пленки нанесен четвертый контакт (26),
между третьим и четвертым контактом (25, 26) расположен зазор (27), который термически и электрически отделяет друг от друга третий и четвертый контакт,
по меньшей мере одно первое сквозное соединение (28) термически и электрически соединяет друг с другом первый и третий контакт (14, 25), и
по меньшей мере одно второе сквозное соединение (29) термически и электрически соединяет друг с другом второй и четвертый контакт (15, 26).
3. Термоэлектрический элемент по п. 1, отличающийся тем, что все пленки на передней стороне (12) подложки и на задней стороне (13) подложки нанесены в виде тонких пленок.
4. Термоэлектрический элемент по п. 2, отличающийся тем, что все пленки на передней стороне (12) подложки и на задней стороне (13) подложки нанесены в виде тонких пленок.
5. Термоэлектрический элемент по одному из пп. 1-4, отличающийся тем, что термоэлектрически активная пленка (17) имеет несколько слоев из адгезионного материала (30) и несколько слоев из термоэлектрического материала (31), и слои из адгезионного материала и термоэлектрического материала (30, 31) чередуются между верхней и нижней сторонами (18, 19) термоэлектрически активной пленки (17).
6. Термоэлектрический элемент по одному из пп. 1-4, отличающийся тем, что, по меньшей мере, форма зазора (16) между первым и вторым контактом (14, 15) не является прямолинейной.
7. Термоэлектрический элемент по п. 5, отличающийся тем, что, по меньшей мере, форма зазора (16) между первым и вторым контактом (14, 15) не является прямолинейной.
8. Термоэлектрический элемент по одному из пп. 1-4 или 7, отличающийся тем, что толщина термоэлектрически активной пленки (17) больше толщины первого и второго контакта (14, 15), и термоэлектрически активная пленка (17) частично перекрывает первый и второй контакт (14, 15).
9. Термоэлектрический элемент по п. 5, отличающийся тем, что толщина термоэлектрически активной пленки (17) больше толщины первого и второго контакта (14, 15), и термоэлектрически активная пленка (17) частично перекрывает первый и второй контакт (14, 15).
10. Термоэлектрический элемент по п. 6, отличающийся тем, что толщина термоэлектрически активной пленки (17) больше толщины первого и второго контакта (14, 15), и термоэлектрически активная пленка (17) частично перекрывает первый и второй контакт (14, 15).
11. Способ изготовления термоэлектрического элемента, включающий в себя шаги:
нанесения металлизирующей пленки на переднюю сторону (12) подложки (11),
структурирования зазора (16) в металлизирующей пленке путем целенаправленного удаления металлизирующей пленки с передней стороны (12) подложки, так что зазор (16) разделяет металлизацию на первый контакт (14) и второй контакт (15),
осаждения термоэлектрически активной пленки (17) в зазор (16), так что зазор (16), по меньшей мере частично, заполняется термоэлектрически активным материалом.
12. Способ по п. 11, дополнительно включающий в себя шаги:
нанесения металлизирующей пленки на расположенную напротив передней стороны (12) подложки заднюю сторону (13) подложки,
структурирования зазора (27) в металлизирующей пленке на задней стороне путем целенаправленного удаления металлизирующей пленки с задней стороны (13) подложки, так что зазор разделяет металлизацию на третий контакт (25) и четвертый контакт (26),
изготовления по меньшей мере одного первого сквозного соединения (28), которое термически и электрически соединяет друг с другом первый и третий контакт (14, 25), и
изготовления по меньшей мере одного второго сквозного соединения (29), которое термически и электрически соединяет друг с другом второй и четвертый контакт (15, 26).
13. Способ по п. 11, отличающийся тем, что все пленки наносят в виде тонких пленок с помощью способов физического или химического осаждения из газовой фазы.
14. Способ по п. 12, отличающийся тем, что все пленки наносят в виде тонких пленок с помощью способов физического или химического осаждения из газовой фазы.
15. Способ по одному из пп. 11-14, отличающийся тем, что структурирование каждой металлизирующей пленки происходит путем травления.
16. Способ по одному из пп. 11-14, отличающийся тем, что термоэлектрически активную пленку (17) осаждают в зазор (16) в несколько слоев (30, 31), причем сначала на переднюю сторону (12) подложки осаждают слой с адгезионным материалом (30), а затем поочередно слои из термоэлектрического материала и адгезионного материала (30, 31).
17. Способ по п. 15, отличающийся тем, что термоэлектрически активную пленку (17) осаждают в зазор (16) в несколько слоев (30, 31), причем сначала на переднюю сторону (12) подложки осаждают слой с адгезионным материалом (30), а затем поочередно слои из термоэлектрического материала и адгезионного материала (30, 31).