МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ НА ОСНОВЕ ДВУОКИСИ ГЕРМАНИЯ

2
2
2
2
Метод получения пленки на основе двуокиси германия, включающий обработку поверхности подложки, отличающийся тем, что на поверхности подложки формируют защитный слой диоксида германия за счет горения водорода и сухого кислорода в среде азота (N) и расхода газов: N=450 л/ч; Н=75 л/ч; O=750±50 л/ч при температуре процесса 1050°С, при этом разброс составил 1,0÷1,5%.