УСТРОЙСТВО ЭЛЕКТРОСНАБЖЕНИЯ С ЧАСТОТНЫМ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕМ ДЛЯ РЕАКТОРА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

1. Устройство электроснабжения (MF) с преобразователем частоты для реактора (R) для производства поликристаллического кремния, содержащее по меньшей мере один вход для подвода входного тока из сети электроснабжения, подключаемой к указанному входу, и выходы (Н", L1"; L1", L2"; L2", L3"), каждый из которых имеет по две точки подключения (Н", L1", L2", L3") для подключения одной или нескольких нагрузок (31, 32, 33), при этом через каждый выход (Н", L1"; L1" L2"; L2", L3") нагрузка или нагрузки (31, 32, 33), подключенные к выходу (Н", L1"; L1" L2"; L2", L3"), снабжаются выходным током,
отличающееся тем, что устройство электроснабжения (MF) содержит бестрансформаторную схему преобразования входного тока в n-фазный переменный ток, причем фазовый сдвиг между межфазными напряжениями системы n-фазного переменного тока, образованной на вторичной стороне схемы преобразования, составляет 360°/n, где n - натуральное число, большее или равное двум, при этом устройство электроснабжения содержит n выходов (Н", L1"; L1", L2"; L2", L3"), причем n-2 из указанных выходов (Н", L1"; L1", L2"; L2", L3") имеют по две точки подключения и указанные точки подключения одновременно относятся также к другим выходам, при этом указанные выходы (Н", L1"; L1", L2"; L2", L3") образуют в результате цепь и на каждый из указанных выходов (Н", L1"; L1", L2"; L2", L3") подается одно из указанных межфазных напряжений системы n-фазного переменного тока.
2. Устройство электроснабжения (MF) по п.1, отличающееся тем, что n является натуральным числом, большим или равным трем.
3. Устройство электроснабжения (MF) по п.1, отличающееся тем, что схема преобразования содержит преобразователь (1) переменного тока в переменный ток, в частности, преобразователь переменного тока в переменный ток с накопителем энергии промежуточного звена постоянного тока или матричный преобразователь.
4. Устройство электроснабжения (MF) по п.1, отличающееся тем, что схема преобразования содержит инвертор, в частности, инвертор с колебательным контуром.
5. Устройство электроснабжения (MF) по п.3, отличающееся тем, что преобразователь (1) переменного тока в переменный ток содержит частотный преобразователь.
6. Устройство электроснабжения (MF) по п.4, отличающееся тем, что инвертор содержит частотный преобразователь.
7. Устройство электроснабжения (MF) по п.3, отличающееся тем, что с преобразователем (1) переменного тока в переменный ток с выходной стороны соединен по меньшей мере один трансформатор (2).
8. Устройство электроснабжения (MF) по п.4, отличающееся тем, что с инвертором с выходной стороны соединен по меньшей мере один трансформатор (2).
9. Устройство электроснабжения (MF) по п.7 или 8, отличающееся тем, что трансформатор (2) является n-фазным трансформатором.
10. Устройство электроснабжения (MF) по п.9, отличающееся тем, что n-фазный трансформатор (2) соединен на первичной стороне в виде многоугольника.
11. Устройство электроснабжения (MF) по п.9, отличающееся тем, что вторичные обмотки (212, 222, 232) n-фазного трансформатора (2) соединены параллельно с соответствующими выходами устройства электроснабжения (MF).
12. Устройство, содержащее:
первое устройство электроснабжения (VSC), содержащее по меньшей мере один однофазный трансформатор (5), или трехфазный трансформатор (5), или n-фазный трансформатор по меньшей мере с тремя отводами (421, 422, 423, 424) для каждой вторичной обмотки (42), причем отвод (424) каждой вторичной обмотки (42) соединен с нулевым проводом на вторичной стороне, а остальные отводы (421, 422, 423) каждой вторичной обмотки (42) соединены через регулятор (5) мощности с фазовым проводом на вторичной стороне, при этом каждый фазовый провод на вторичной стороне подключен к точке подключения (L1''', L2''', L3''') фазового провода, а нулевой провод соединен по меньшей мере с одной точкой подключения (N''') нулевого провода, причем каждая точка подключения (L1''', L2''', L3''') фазового провода образует вместе с одной из точек подключения (N''') нулевого провода выход указанного первого устройства электроснабжения (VSC), и
вторые устройства электроснабжения (MF) в количестве от одного до n,
отличающееся тем, что указанные второе устройство электроснабжения (MF) или вторые устройства электроснабжения (MF) выполнены по любому из пунктов 1-9, причем каждый выход первого устройства электроснабжения (VSC) соединен параллельно с указанной цепью или одной из указанных цепей, образованных выходами одного из вторых устройств электроснабжения (MF).
13. Реактор для производства поликристаллического кремния путем осаждения из газовой фазы в Сименс-процессе, содержащий реакторную емкость с держателями (7) для кремниевых стержней или тонких кремниевых стержней, при этом держатели (7) электрически соединены с устройством,
отличающийся тем, что указанное устройство выполнено по п.12.