СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛА НА ОСНОВЕ ЛАНГАТАТА И МОНОКРИСТАЛЛ НА ОСНОВЕ ЛАНГАТАТА
METHOD FOR PREPARATION OF MONOCRYSTAL BASED ON LANGATATE AND MONOCRYSTAL BASED ON LANGATATE

ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ
[0001] Настоящее изобретение относится к способу получения пьезоэлектрического оксидного кристалла с высокой стабильностью и высокими изоляционными свойствами. Более предпочтительно, настоящее изобретение относится к способу получения монокристалла на основе лангатата – пьезоэлектрического оксида, пригодного для использования в качестве пьезоэлектрического элемента датчика давления сгорания для измерения давления при сгорании внутри камеры сгорания двигателя внутреннего сгорания и т.д. Настоящее изобретение также относится к монокристаллу на основе лангатата, полученному этим способом получения.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
[0002] Например, в автомобиле, использующем двигатель внутреннего сгорания, практика заключалась в определении давления сгорания внутри камеры сгорания с тем, чтобы управлять величиной подачи топлива или моментом времени зажигания для оптимального управления горением, чтобы справиться с перебоями зажигания или неправильным горением и т.д. Для определения давления сгорания внутри камеры сгорания обычно используют датчик давления сгорания, использующий элемент из оксидного пьезоэлектрического материала, проявляющего пьезоэлектрический эффект (при котором генерируется заряд в результате поляризации, происходящей в соответствии с приложенным усилием (давлением)).
3
5
14
3
5,5
0,5
14
3
0,5
5,5
14
3
0,5
5,5-x
x
14
[0003] В пьезоэлектрическом элементе датчика давления сгорания используется монокристалл оксидного пьезоэлектрического материала. В прошлом в качестве такого пьезоэлектрического материала использовался кварц. Далее, начиная с начала 1990-х годов, в центре внимания оказался лангасит (LGS или ЛГС: LaGaSiO), который имеет большую пьезоэлектрическую постоянную, чем кварц. Проводили исследования, сосредотачивавшиеся на ланганите (LGN или ЛГН: LaGaNbO), имеющем такую же структуру, как и лангасит. Потом, в связи с небольшим изменением своей пьезоэлектрической постоянной из-за температуры и высоких изоляционных свойств, в центре внимания стал лангатат (LTG или ЛТГ: LaTaGaO). В настоящее время ЛТГ широко используется. Кроме того, последние 10 лет или более также известен LTGA или ЛТГА (LaTaGaAlO (x=0,2 или около того является основной тенденцией)), где часть галлия (Ga) в ЛТГ замещена алюминием (Al). ЛТГА недавно привлек внимание из-за проявления более высокого сопротивления изоляции, чем ЛТГ (PLT 1).
2
3
2
5
2
3
2
3
[0004] Монокристалл ЛТГА получают навешиванием исходных материалов LaO, TaO, GaO и AlO для задания намеченного стехиометрического состава монокристалла, прокаливанием смеси для приготовления спеченного тела ЛГТА (поликристаллического материала), расплавлением его, погружением затравочного кристалла в этот расплав и постепенным вытягиванием его вверх с получением монокристалла (метод Чохральского (CZ, Czochralski)) и т.п.
[0005] PLT 1 описывает способ получения монокристалла на основе лангатата по методу Чохральского, включающий выращивание монокристалла в атмосфере роста из газа, состоящего из инертного газа, в котором примешан кислород при максимуме в 2%, и охлаждение его в атмосфере с пониженной концентрацией кислорода по сравнению с атмосферой роста, также описывает постепенное охлаждение полученного монокристалла до комнатной температуры (его отжиг), затем термическую обработку его в не содержащей окисляющего газа атмосфере инертного газа для уменьшения тем самым окрашивания из-за дефектов и уменьшения температурной зависимости удельного сопротивления, а также описывает предназначенный для использования при высокой температуре 100-600°C пьезоэлектрический датчик с использованием пьезоэлектрического элемента, состоящего из термически обработанного таким образом монокристалл (датчик давления сгорания).
[0006] Кроме того, при изготовлении монокристалла оксидного пьезоэлектрического материала из расплава с получением монокристалла ЛТГА с высокими изоляционными свойствами и высокой стабильностью известно делать соотношение компонентов оксида лантана, оксида тантала и оксида галлия в смеси исходных материалов отклоняющимся от стехиометрического состава и выращивать монокристалл в атмосфере роста из газовой смеси с концентрацией кислорода в инертном газе от 0,2 до 5% (например, смотри PLT 2).
СПИСОК ССЫЛОК
ПАТЕНТНАЯ ЛИТЕРАТУРА
[0007] PLT 1: публикация WO2006/106875A
PLT 2: Японская патентная публикация № 2011-184263A
ТЕХНИЧЕСКАЯ ПРОБЛЕМА
8
[0008] Пьезоэлектрический материал, используемый в пьезоэлектрическом элементе датчика давления сгорания, должен обладать высокими изоляционными свойствами (большим удельным сопротивлением пьезоэлектрического материала) и определенной или более высокой величиной прочности, при которой не происходят растрескивание и другое разрушение из-за действия давления на пьезоэлектрический элемент. В частности, из-за необходимости работать при высокой температуре в двигателе внутреннего сгорания требуется сопротивление изоляции в 3×10 Ом·см или более при 500°C. Из-за необходимости использования в двигателе внутреннего сгорания автомобиля востребована стойкость к разрушению из-за давления 30 МПа или более.
[0009] В связи с этим, однако, среди монокристаллов на основе лангатата до сих пор было трудно получить монокристалл на основе лангатата, удовлетворяющий условиям как сопротивления изоляции, так и прочности, необходимых для пьезоэлектрического материала, используемого для двигателя внутреннего сгорания автомобильного назначения.
[0010] Настоящее изобретение имеет своей целью обеспечение способа, решающего эту проблему и позволяющего осуществлять получение монокристалла на основе лангатата с высокой прочностью и высокими изоляционными свойствами, пригодного к использованию для пьезоэлектрического элемента датчика давления сгорания высокой надежности, полезного для измерения давления сгорания внутри камеры сгорания двигателя внутреннего сгорания. Другой целью настоящего изобретения является обеспечение монокристалла на основе лангатата, полученного этим способом получения.
[0011] Способ получения монокристалла на основе лангатата по настоящему изобретению представляет собой способ получения монокристалла на основе лангатата с использованием метода Чохральского вытягиванием кристалла вверх из раствора исходного материала для выращивания монокристалла на основе лангатата, в котором газовая атмосфера для выращивания монокристалла на основе лангатата представляет собой газовую смесь, состоящую из инертного газа, в котором содержится окисляющий газ в количестве более 5 об.%.
2
[0012] Предпочтительно, раствор исходного материала удерживают в платиновом тигле для выращивания монокристалла на основе лангатата. Кроме того, осью роста монокристалла предпочтительно является Z-ось, а окисляющим газом предпочтительно является O.
[0013] Монокристалл на основе лангатата по настоящему изобретению имеет прочность при раздавливании в направлении X-оси при 200°C в 1500 МПа или более.
8
[0014] Монокристалл на основе лангатата по настоящему изобретению может дополнительно иметь сопротивление изоляции при 500°C 3×10 Ом·см или более.
3
0,5
5,5-x
x
14
[0015] Кроме того, монокристаллом на основе лангатата по настоящему изобретению может быть LaTaGaAlO (0<x<5,5).
ПОЛЕЗНЫЙ ЭФФЕКТ ИЗОБРЕТЕНИЯ
[0016] В соответствии с настоящим изобретением возможно реализовать монокристалл на основе лангатата с высоким сопротивлением изоляции после роста и с высокой прочностью. В связи с использованием пьезоэлектрического элемента, приготовленного из монокристалла на основе лангатата по настоящему изобретению, возможно использовать его для таких применений, как датчик давления сгорания, измеряющий давление сгорания в двигателе внутреннего сгорания, в котором становится необходимым измерение высокого давления.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
[0017] Фиг.1 представляет собой график, показывающий зависимость между концентрацией кислорода в атмосфере роста и величиной испарения галлия.
Фиг.2 представляет собой график, показывающий зависимость между концентрацией кислорода во время роста и сопротивлением изоляции ЛТГА.
Фиг.3 представляет собой график, показывающий зависимость концентрации кислорода во время роста и прочностью при раздавливании ЛТГА.
ОПИСАНИЕ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
3
0,5
5,5
14
3
0,5
5,5-x
x
14
[0018] Настоящее изобретение относится к монокристаллу на основе лангатата и способу его получения. "Монокристалл на основе лангатата" обычно является монокристаллом соединения, представленного формулой LaTaGaO (здесь иногда сокращенно обозначаемого "ЛТГ"). Упоминаемый здесь "монокристалл на основе лангатата" также включает ЛТГА, где часть Ga замещена на Al (LaTaGaAlO (0<x<5,5)) (здесь иногда сокращенно обозначаемый "ЛТГА").
2
3
2
5
2
3
2
3
2
3
2
5
2
3
2
3
[0019] Также возможно получать монокристалл ЛТГА из поликристаллических исходных материалов состава, представленного следующей формулой y(LaO)+(1-x-y-z)(TaO)+z(GaO)+x(AlO) (в этой формуле 0<x≤0,40/9, 3,00/9<y≤3,23/9, 5,00/9≤z<5,50/9, более предпочтительно 0,17/9≤x≤0,26/9, 3,06/9≤y≤3,15/9, 5,14/9≤z≤5,32/9), в качестве исходных материалов для получения монокристалла ЛТГА. Исходные материалы LaO, TaO, GaO и AlO могут быть навешены для задания желательного состава и смешаны с помощью шаровой мельницы и т.д. с приготовлением смеси исходных материалов. Далее приготовленная смесь исходных материалов может быть спрессована, затем прокалена для приготовления спеченного тела со структурой намеченного кристалла по твердофазной реакции. Приготовленное вышеупомянутым способом спеченное тело обычно включает в себя многочисленные поликристаллы.
[0020] Способ получения монокристалла на основе лангатата обычно включает выращивание монокристалла из расплавленного исходного материала. Например, можно упомянуть метод Чохральского (метод CZ) с погружением затравочного кристалла в расплав поликристаллического материала в тигле и постепенным вытягиванием его вверх для получения монокристалла. Точнее, возможно загружать вышеупомянутое спеченное тело в тигель, нагревать тигель для расплавления спеченного тела внутри тигля, приводить затравочный кристалл с кристаллографической ориентацией в контакт с поверхностью расплава при его вращении, затем вытягивать затравочный кристалл из расплава для роста монокристалла по Z-оси и вырастить монокристалл ЛТГА. (Направление Z-оси при росте по Z-оси указывает направление главной оси (c-оси) затравочного кристалла и также называется "осью роста монокристалла". Перпендикулярное Z-оси направление по а-оси определяется как X-ось.) После этого выращенный монокристалл LTGA можно вырезать из расплава и охладить до комнатной температуры, тем самым закончив получение монокристалла ЛТГА.
[0021] При изготовлении монокристалла на основе лангатата методом Чохральского кристалл выращивают в атмосфере газовой смеси, содержащей инертный газ с кислородом или другим окисляющим газом. Известно, что путем выращивания кристалла в атмосфере газовой смеси, включающей окисляющий газ, можно предохранять от испарения галлий в находящемся в тигле расплаве. Фиг.1 представляет собой график, показывающий зависимость между концентрацией кислорода в атмосфере роста и величиной испарения галлия. Здесь "скоростью испарения галлия" является относительная величина, приведенная к принятой за 1 скорости испарения, когда концентрация кислорода в атмосфере составляет 0 об.%. Вместе с ростом концентрации кислорода в атмосфере роста величина испарения галлия из расплава исходных материалов падает. Испарение галлия из расплава исходных материалов становится причиной образования галлиевых дефектов частично отсутствующего галлия внутри выращенного монокристалла. При выращивании кристалла в атмосфере, содержащей окисляющий газ, величина испарения галлия из расплава падает и могут быть снижены галлиевые дефекты, содержащиеся в выращенном монокристалле.
[0022] В этой связи, известно, что рост в содержащей окисляющий газ атмосфере обеспечивает возможность снижения галлиевых дефектов, причем в оксиде монокристалла на основе лангатата образуются кислородные дефекты из-за эффектов парциального давления кислорода. Кроме того, если концентрация окисляющего газа в атмосфере роста высока, то существует проблема, что тигель становится все более окисленным и срок службы тигля становится короче. В прошлом, учитывая этот момент, считалось, что в качестве атмосферы роста монокристалла на основе лангатата можно использовать газовую смесь, в состав которой входит инертный газ, в который включены несколько % окисляющего газа, конкретно, газовая смесь с концентрацией окисляющего газа 5 об.% или менее, в частности, от 0,3 до 2 об.%.
9
9
8
9
9
9
8
9
[0023] Однако авторы изобретения обнаружили, что, делая концентрацию окисляющего газа в инертном газе в атмосфере роста более высокой, чем в уровне техники, а конкретно, делая концентрацию кислорода или другого окисляющего выше, чем 5 об.%, можно реализовать монокристалл на основе лангатата с высокой прочностью и с высоким сопротивлением изоляции. При выращивании кристалла в атмосфере роста с высокой концентрацией окисляющего газа возможно получать монокристалл с небольшим числом галлиевых дефектов. Это считается причиной того, почему получается высокопрочный монокристалл с высоким сопротивлением изоляции. Для усиления этого эффекта может быть установлен нижний предел концентрации кислорода в 6 об.%, еще более предпочтительно – 10 об.%. Измеренное при 500°C сопротивление изоляции монокристалла на основе лангатата, полученного в соответствии с настоящим изобретением, составляло в интервале от 3,4×10 до 6,5×10 Ом·см. Сопротивление изоляции, необходимое в датчике давления сгорания, составляет 3,0×10 Ом·см или более при 500°C, предпочтительно 3,0×10 Ом·см или более, предпочтительнее 3,4×10 Ом·см или более, еще более предпочтительно 6,3×10 Ом·см или более. От пьезоэлектрического материала, используемого в пьезоэлектрическом элементе датчика давления сгорания, требуется иметь сопротивление изоляции 3×10 Ом·см или более при 500°C из-за необходимости работать при высокой температуре в двигателе внутреннего сгорания, но если сделать концентрацию кислорода или другого окисляющего газа выше, чем 5 об.%, как в настоящем изобретении, то монокристалл на основе лангатата может удовлетворять этому требованию. Подтверждено, что монокристалл на основе лангатата в соответствии с настоящим изобретением имеет сопротивление изоляции 6,5×10 Ом·см. Это может быть принято верхним пределом сопротивления изоляции в соответствии с настоящим изобретением. Сопротивление изоляции будет объяснено далее с использованием фиг.2. Кроме того, прочность при раздавливании (прочность разрушения при сжатии) в направлении X-оси при 200°C монокристалла на основе лангатата, полученного в соответствии с настоящим изобретением, составляет 1500 МПа или более, предпочтительно 1700 МПа или более, предпочтительнее 1750 МПа или более. От пьезоэлектрического материала, используемого в пьезоэлектрическом элементе датчика давления сгорания, требуется не разрушаться от давления 30 МПа или более, вследствие необходимости использования в двигателе внутреннего сгорания автомобиля, а монокристалл на основе лангатата по настоящему изобретению может удовлетворять этому требованию. Подтверждено, что монокристалл на основе лангатата также имеет прочность при раздавливании 1875 МПа. Это также может быть принято верхним пределом прочности при раздавливании в соответствии с настоящим изобретением. Прочность при раздавливании будет объяснена далее с использованием фиг.3.
9
9
[0024] Здесь, при росте в атмосфере окисляющего газа с высокой концентрацией кислородные дефекты увеличиваются, как объяснено выше. Из-за увеличения кислородных дефектов сопротивление изоляции и прочность склонны уменьшаться, но галлиевые дефекты, образовавшиеся из-за того, что галлий испарялся с поверхности расплава во время роста, являются дефектами, образующимися по всей площади выращенного монокристалла, в то время как кислородные дефекты, образовавшиеся из-за утечки молекул наружу из-за парциального давления кислорода в атмосфере внешней среды роста кристалла, являются дефектами, главным образом образующимися на стороне поверхностного слоя монокристалла, поэтому считается, что по сравнению с кислородными дефектами присутствие галлиевых дефектов оказывает большее влияние на сопротивление изоляции, прочность и другие характеристики монокристалла, и поэтому в результате установления высокой концентрации окисляющего газа можно получать монокристалл с вышеупомянутыми высоким сопротивлением изоляции (от 3,0×10 до 6,5×10 Ом·см) и высокой прочностью (от 1550 до 1875 МПа). Кроме того, тот факт, что по сравнению с кислородом галлий имеет больший ионный радиус и атомный радиус, считается одной причиной того, почему эффект присутствия галлиевых дефектов имеет большее влияние на характеристики монокристалла по сравнению с кислородными дефектами. Верхний предел концентрации кислорода конкретно не ограничен. Однако при повышении концентрации кислорода в определенной степени или более видна тенденция к достижению предельных значений («насыщению») сопротивления изоляции, прочности и других характеристик, а срок службы тигля становится короче и т.д., поэтому верхний предел концентрации кислорода может быть установлен на 15 об.%, или же может быть установлен на 10 об.%.
15
3
13
3
11
3
11
3
15
3
[0025] В настоящем изобретении в качестве тигля, удерживающего расплав поликристаллического материала, может быть использован тигель, изготовленный из иридия, платины, платинового сплава, упрочненной платины, состоящей из платины, в которой диспергирован оксид металла, и т.д., но предпочтительным является, в частности, использование тигля, изготовленного из платины, платинового сплава или упрочненной платины, или главным образом состоящего из платины, то есть так называемого "платинового тигля". Платиновый тигель имеет чистоту платины в 85% или более, предпочтительно 90% или более, предпочтительнее 95% или более, еще более предпочтительно 100%. Платина имеет скорость испарения ниже, чем иридий. Если принять скорость испарения иридия за 100, то у платины она составляет примерно 8. Скорость испарения тигля при изготовлении монокристалла является одним из важных факторов для получения монокристалла с хорошими характеристиками. Тигель испаряется во время роста монокристалла, поэтому мелкие частицы благородного металла испарившихся ингредиентов тигля загрязняют растущий монокристалл, вызывают физическое напряжение в монокристалле и вызывают трещины в монокристалле. С помощью использования тигля на основе платины с низкой скоростью испарения возможно подавлять дефекты из-за испарения тигля. Кроме того, тигель на основе платины является стойким к окислению, поэтому его срок службы долог. По причине стойкости к окислению тигель пригоден для настоящего изобретения, где кристалл выращивают при высокой концентрации окисляющего газа. Монокристалл на основе лангатата, полученный с использованием платинового тигля, практически не загрязнен другими элементами помимо платины, содержавшейся в платиновом тигле. То есть, монокристалл на основе лангатата в соответствии с настоящим изобретением может быть также практически не содержащим иридия и т.д. Выражение "практически не содержащий" указывает уровень неизбежных примесей, который может быть менее 10 атомов/см, предпочтительно – менее 10 атомов/см, более предпочтительно – менее 10 атомов/см. Кроме того, монокристалл на основе лангатата в соответствии с настоящим изобретением иногда включает в себя небольшое количество платины, происходящей из платинового тигля. Ее концентрация составляет от 10 атомов/см до примерно 10 атомов/см, но никакого влияния на сопротивление изоляции нет.
[0026] Кроме того, в настоящем изобретении рост монокристалла можно производить по Z-оси. При выращивании монокристалла методом Чохральского погружают в расплав затравочный кристалл и постепенно вытягивают вверх для получения монокристалла. По этой причине, иногда, скорость вытягивания монокристалла и т.д. вызывает отклонение расстояния между атомами монокристалла в направлении оси вытягивания от идеального и в монокристалле возникает деформация. Пьезоэлектрический материал проявляет пьезоэлектрический эффект, зависящий от направления оси кристалла, но если есть деформация по оси кристалла, генерирующей заряд, то это оказывает влияние на пьезоэлектрические характеристики. Поэтому в настоящем изобретении, за счет выращивания кристалла вытягиванием его вверх в направлении по Z-оси, где заряд не генерируется, даже если действует нагрузка, может быть реализован способ получения монокристалла, подавляющий возникновение деформации во время роста.
Пример 1
[0027] Далее, монокристалл на основе лангатата и способ его получения по настоящему изобретению будут объяснены со ссылкой на пример монокристалла на основе лангатата ЛТГА.
2
3
2
5
2
3
2
3
2
3
2
5
2
3
2
3
[0028] В области техники известен монокристалл ЛТГА, выращенный из поликристаллических исходных материалов состава, представленного следующей формулой: y(LaO)+(1-x-y-z)(TaO)+z(GaO)+x(AlO) (в этой формуле 0<x≤0,40/9, 3,00/9<y≤3,23/9, 5,00/9≤z<5,50/9, более предпочтительно, 0,17/9≤x≤0.26/9, 3,06/9≤y≤3,15/9, 5,14/9≤z≤5,32/9), в качестве исходных материалов для получения монокристалла ЛТГА (смотри PLT 2). В этом примере монокристалл ЛТГА получен из исходных материалов состава, представленного 3,139/9(LaO)+0,488/9(TaO)+5,167/9(GaO)+0,206/9(AlO).
2
3
2
5
2
3
2
3
[0029] Исходные материалы LaO, TaO, GaO и AlO навешивали в количествах 160,7 г, 33,9 г, 152,2 г и 3,3 г и смешивали в сухом виде с помощью шаровой мельницы в течение 8 часов или более для приготовления смеси исходных материалов.
[0030] Далее эту смесь исходных материалов прессовали с помощью изостатического пресса усилием в 1 тонну, затем прокаливали для приготовления спеченного тела со структурой намеченного кристалла путем твердофазной реакции. Условия подъема температуры при этом были такими: скорость подъема температуры 180°С/ч, выдерживание при 500°С в течение 2 часов, выдерживание при 900°С в течение 2 часов, а также выдерживание при 1350°С в течение 5 часов.
[0031] Далее в тигель из упрочненной платины, состоящий из платины, в которой диспергирован оксид металла, загружали 350 г спеченного тела. Этот тигель помещали в нагревательную камеру, где тигель нагревали с помощью прямого индукционного нагрева для расплавления спеченного тела внутри тигля (температура поверхности расплава 1500°С). Затравочный кристалл с кристаллографической ориентацией приводили в контакт с поверхностью расплава, при этом вращая его с 10 об/мин, затем затравочный кристалл вытягивали вверх из расплава для приготовления плечевой части при автоматическом управлении с использованием компьютера, затем выращивали монокристалл по Z-оси роста опять при автоматическом управлении с использованием компьютера, получив монокристалл ЛТГА диаметром 50 мм, длиной тела 70 мм. Далее, монокристалл поднимали с отделением от расплава и охлаждали до комнатной температуры при автоматическом управлении с использованием компьютера, а затем вынимали его из камеры, тем самым заканчивая получение монокристалла ЛГТА. Атмосферу роста монокристалла ЛТГА делали атмосферой газовой смеси, состоящей из газообразного азота, содержащего от 6 до 15 об.% кислорода или другого окисляющего газа. Монокристалл ЛТГА охлаждали в такой же атмосфере.
9
9
[0032] Сопротивление изоляции готового монокристалла, измеренное при 500°С, заключалось в интервале от 3,4×10 до 6,5×10 Ом·см. Сопротивление изоляции измеряли, вырезав из выращенного монокристаллического блока пластинку для измерения удельного сопротивления и сформировав электроды так, чтобы не было короткого замыкания между подлежащими измерению массивными частями, разместив полученный с целью измерения образец внутри имеющей форму трубки печи для испытаний, повысив температуру печи до 500°С и измерив сопротивление, когда температура пластинки образца достигла 500°С. Кроме того, нагрузка разрушения при сжатии монокристалла в направлении X-оси составляла от 6800 до 7500 Н. Нагрузка разрушения при сжатии представляет собой ту нагрузку, при которой монокристалл разламывается при зажимании поверхностей y-z обрезанного до 2×2×2 мм монокристалла по оси твердосплавным приспособлением и сжатии монокристалла в направлении X-оси в окружающей среде с 200°С со скоростью 0,5 мм/мин. При нахождении значения напряжения от значения нагрузки разрушения, деленного на площадь, к которой прикладывается нагрузка (2 мм × 2 мм), вычислили, что кристалл имеет прочность при раздавливании от 1500 МПа до 1875 МПа.
Сравнительный пример
8
9
[0033] Монокристалл ЛТГА получали при объясненных в примере 1 условиях с установлением концентрации кислорода в атмосфере роста монокристалла ЛТГА (концентрации окисляющего газа) от 0,3 до 2 об.%, постепенным снижением концентрации кислорода в атмосфере охлаждения от атмосферы роста, а также охлаждением кристалла в атмосфере инертного газа. Концентрацию кислорода делали ниже во время охлаждения, чем в атмосфере роста, для того чтобы подавить образование кислородных дефектов и, тем самым, получить высокое сопротивление изоляции и снизить температурную зависимость сопротивления изоляции. Измеренное при 500°С сопротивление изоляции готового монокристалла составляло от 5,3×10 до 1,37×10 Ом·см. Нагрузка разрушения при сжатии монокристалла в направлении X-оси составляла от 4700 до 5500 Н (если перевести в прочность при раздавливании, то от 1175 МПа до 1375 МПа).
[0034] Что касается сопротивления изоляции, то в примере 1 было получено более высокое сопротивление изоляции по сравнению со сравнительным примером. В сравнительном примере концентрацию кислорода снижали во время охлаждения для того, чтобы изготавливать монокристалл в условиях, препятствующих образованию кислородных дефектов, тогда как в примере 1 возможно получать высокое сопротивление изоляции независимо от того, что кристалла изготовили в условиях, допускающих образование кислородных дефектов во время охлаждения. Кроме того, по прочности при раздавливании в примере 1 удалось получить более высокую прочность по сравнению со сравнительным примером. Фиг.2 представляет собой график, показывающий зависимость между концентрацией кислорода во время роста и сопротивлением изоляции ЛГТА, а фиг.3 представляет собой график, показывающий зависимость между концентрацией кислорода во время роста и прочностью ЛГТА при раздавливании. Чем выше концентрация кислорода в атмосфере роста монокристалла, тем выше значения сопротивления изоляции и прочности при раздавливании. Из фиг.2 и фиг.3 будет понятно, что в соответствии со способом получения по настоящему изобретению, по сравнению с монокристаллом, выращенным в атмосфере роста, содержащей обычные 5 об.% или менее кислорода или другого окисляющего газа, абсолютная величина сопротивления изоляции растет и получается высокопрочный монокристалл. Более того, из-за небольшого числа галлиевых дефектов в монокристалле можно ожидать, что получится монокристалл с меньшим изменением сопротивления изоляции при изменении температуры. Кроме того, будет понятно, что монокристалл, полученный способом получения по настоящему изобретению, имеет высокое сопротивление изоляции и высокую прочность.
[0035] Выше монокристалл на основе лангатата и способ его получения по настоящему изобретению были пояснены на основании вариантов осуществления, но настоящее изобретение не ограничено такими вариантами осуществления и может быть свободно изменено, дополнено или модифицировано в пределах его объема, не отступающего от сути настоящего изобретения.