СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ С ПОМОЩЬЮ ОДИНОЧНОГО ЗОНДА

Способ измерения параметров плазмы, по которому при помощи перемещения одиночного зонда внутри вакуумной камеры снимают показатели вольт-амперной характеристики, отличающийся тем, что в вакуумную камеру устанавливают механизм перемещения с установленным на нем одиночным зондом, затем, преобразовывая вращательное движение электродвигателя в поступательное движение механизма через винтовую пару, передвигают зонд по оси OY и повторно снимают вольт-амперную характеристику.