ПРИМЕНЕНИЕ ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ ОДНОГО БИНАРНОГО СОЕДИНЕНИЯ ЭЛЕМЕНТА ГРУППЫ 15, 13/15 ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО СЛОЯ И БИНАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТА ГРУППЫ 15

1. Применение по меньшей мере одного бинарного соединения элемента группы 15 в качестве эдукта в методике осаждения из паровой фазы,
в котором по меньшей мере одно бинарное соединение элемента группы 15 описывается общей формулой
в которой
1
2
3
4
1
10
- R, R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей Н, алкильный радикал (C-С) и арильную группу, и
- Е и Е' независимо друг от друга выбраны из группы, включающей N, Р, As, Sb и Bi,
в которой Е=Е' или Е≠Е', и
в котором гидразин и его производные исключены из указанного применения, и/или
в котором по меньшей мере одно бинарное соединение элемента группы 15 описывается общей формулой
в которой
5
6
7
1
10
- R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей Н, алкильный радикал (C-С) и арильную группу, и
- Е и Е' независимо друг от друга выбраны из группы, включающей N, Р, As, Sb и Bi,
в которой Е=Е' или Е≠Е',
2. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (I) и
1
2
1
10
- R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей алкильный радикал (C-С) и арильную группу, и
3
4
- R=R=Н.
2
2
3
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
3. Применение по п. 2, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (I) выбрано из группы, включающей tBuP-NH, (CF)P-NH, PhP-NH, tBuP-AsH, tBuAs-NH, tBuAs-PH, PhAs-PH, tBuSb-NH и tBuSb-PH.
4. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (I) и
1
2
4
1
10
- R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей алкильный радикал (C-С) и арильную группу, и
3
- R=Н.
2
2
2
2
5. Применение по п. 4, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (I) выбрано из группы, включающей tBuAs-PHMe, tBuSb-NHtBu, tBuSb-PHtBu и tBuSb-NHiPr.
1
2
3
4
1
10
6. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15, описывающееся общей формулой (I), и R, R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей алкильный радикал (C-С) и арильную группу.
2
2
2
2
2
2
2
2
2
6
5
2
2
2
2
2
7. Применение по п. 6, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (I) выбрано из группы, включающей MeAs-AsMe, tBuSb-NMe, iPrSb-PMe, EtSb-NMe, EtSb-P(CH), tBuBi-PtBu и tBuBi-AstBu.
5
8. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) и R=Н.
2
2
2
2
9. Применение по п. 8, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) выбрано из группы, включающей HP(AstBu) и HN(SbtBu).
10. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) и
5
1
10
- R выбран из группы, включающей алкильный радикал (С-С) и арильную группу, и
6
7
- R=R=Н.
2
2
2
2
6
5
2
2
11. Применение по п. 10, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (ii) выбрано из группы, включающей tBuP(NH), tBuAs(NH) и (CH)P(NH).
12. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) и
5
7
1
10
- R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей алкильный радикал (С-С) и арильную группу, и
6
- R=Н.
2
6
5
2
13. Применение по п. 12, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) выбрано из группы, включающей nBuP(AsHMe) и (CH)P(AsHMe).
14. Применение по п. 1, отличающееся тем, что эдуктом является бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) и
5
6
7
1
10
R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей алкильный радикал (C-С) и арильную группу,
2
2
3
6
4
2
2
2
2
15. Применение по п. 14, отличающееся тем, что бинарное соединение элемента группы 15 общей формулы (II) выбрано из группы, включающей tBuAs(NMe), m-FCCHAs(NMe) и tBuAs(PMe).
16. 13/15 Полупроводниковый слой, который можно получить по методике осаждения из паровой фазы с использованием по меньшей мере одного бинарного соединения элемента группы 15 по одному из п.п. 1-15 в качестве эдукта в методике осаждения из паровой фазы.
17. Бинарные соединения элемента группы 15, описывающиеся общей формулой
в которой
1
2
3
4
1
10
- R, R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей Н, алкильный радикал (C-С) и арильную группу, и
- Е и Е' независимо друг от друга выбраны из группы, включающей Р, As, Sb и Bi,
в которой Е≠Е',
или
описывающиеся общей формулой
в которой
5
6
7
1
10
- R, R и R независимо друг от друга выбраны из группы, включающей Н, алкильный радикал (C-С) и арильную группу,
- Е выбраны из группы, включающей N, Р, As, Sb и Bi, и
- Е' выбраны из группы, включающей Р, As, Sb и Bi,
в которой Е≠Е'.