КОНТАКТИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАСТИН ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ

Полезная модель относится к контрольно-испытательному оборудованию изделий электронной техники, а именно, к контактирующим устройствам и может быть использовано при производстве фотоэлектрических панелей для измерения внешним измерителем вольт-амперных характеристик (ВАХ) пластин фотопреобразователя (ФП) в спутниках-носителях при положительных и отрицательных температурах.
Известно устройство для температурных испытаний полупроводниковых и/или гибридных интегральных схем, включающее удерживающее устройство с предметным столиком, соединенным с подвижным основанием. В предметный столик встроено нагревательное устройство, в которое извне может подаваться электрический ток для нагрева и в котором имеется датчик температуры (описание к патенту RU 2284609. МПК H01L 21/00 (2006.01) конвенционный приоритет: 15.04.2002 DE 10216786.9). Для температурных испытаний полупроводниковую пластину в известном устройстве помещают на предметный столик, который охлаждают и/или нагревают до желаемой температуры.
В известном контактирующем устройстве не обеспечивается стабильного усилия прижатия пластины ФП к предметному столику и, следовательно, не обеспечиваются одинаковые условия теплообмена между пластиной ФП и поверхностью предметного столика с заданной температурой. Также не исключается возможность смещения испытываемой пластины и ее механическое повреждение
Техническим результатом полезной модели является создание устройства, обеспечивающего одинаковые условия теплообмена между пластиной ФП и поверхностью предметного столика с регулируемой температурой за счет одинакового усилия прижатия ФП к предметному столику.
Технический результат достигается тем, что в контактирующем устройстве для измерения вольт-амперных характеристик пластин ФП, включающем подвижное удерживающее устройство с предметным столиком для размещения пластины, регулятором температуры предметного столика и датчиком температуры, предметный столик снабжен вакуумируемой полостью, сообщающейся с регулятором вакуума и опорной поверхностью предметного столика посредством каналов, а регулятор температуры выполнен в виде элемента Пельтье и размещен в основании предметного столика.
На фиг.1 изображено поперечное сечение механизма контактирования в положении до проведения измерений и испытания пластины ФП; на фиг.2 - в процессе проведения измерений; на фиг.3-вид сверху удерживающего устройства.
Механизм контактирования состоит из удерживающего устройства 1 с предметным столиком 2, датчиком 3 температуры и регулятором температуры 4 в виде элемента Пельтье. Датчик 3 встроен в корпус предметного столика 2 под опорной поверхностью для размещения пластины ФП. Регулятор температуры 4 размещен в основании предметного столика 2 и контактирует со стенкой вакуумируемой полости 5, сообщающейся с регулятором 6 вакуума и опорной поверхностью предметного столика 2 посредством каналов 7.
Удерживающее устройство 1 установлено на основании 8 с приводом 9 возвратно-поступательного перемещения в направлении контактов 10 измерителя (не показан).
Работа контактирующего устройства осуществляется следующим образом.
Спутник-носитель с пластиной ФП по транспортирующей направляющей подается на позицию измерения.
Удерживающее устройство 1 приводом 9 подводится под пластину 11 ФП в спутнике-носителе 12 до контакта с опорной поверхностью предметного столика 2 и посредством регулятора 6 вакуумируют полость 5 и сообщающиеся с ней каналы 7, осуществляя тем самым «вакуумный захват» и надежную фиксацию пластины 11 ФП на предметном столике 2. Далее посредством регулятора температуры 4 и датчика 3 температуры устанавливают выбранный температурный режим испытания. Если предметный столик имеет температуру выше или ниже заданной измерителем, его соответственно охлаждают или нагревают элементом Пельтье. Далее пластину 11 ФП, удерживаемую на предметном столике 2 подводят к контактам 10 измерителя выбранных ВАХ.
Вакуумирование свободного пространства между опорной поверхностью предметного столика позволяет не только надежно фиксировать пластину ФП на последнем, но и исключить теплообмен с окружающей средой пространства в зоне их контакта. Тем самым обеспечивается поддержание постоянной температуры на всей поверхности испытываемой пластины ФП и достоверность результатов измерений.
За счет одинакового усилия прижатия обеспечиваются одинаковые условия теплообмена пластины ФП с поверхностью предметного столика.