ФЕМТОСЕКУНДНЫЙ ЛАЗЕР ВЫСОКОЙ МОЩНОСТИ С ЧАСТОТОЙ ПОВТОРЕНИЯ, РЕГУЛИРУЕМОЙ СОГЛАСНО СКОРОСТИ СКАНИРОВАНИЯ

1. Способ сканирования с помощью лазерной системы, причем способ содержит этапы, на которых:
генерируют лазерные импульсы, имеющие переменную частоту повторения, с помощью лазерного двигателя,
фокусируют лазерные импульсы в фокальное пятно в области мишени с помощью системы доставки сканирующего лазерного пучка,
осуществляют сканирование фокальным пятном с некоторой скоростью сканирования в области мишени с помощью системы доставки сканирующего лазерного пучка,
изменяют скорость сканирования, и
регулируют частоту повторения согласно измененной скорости сканирования с помощью модуля управления частотой повторения.
2. Способ по п. 1, в котором этап генерации содержит этапы, на которых:
генерируют фемтосекундные затравочные импульсы с помощью генератора,
растягивают затравочные импульсы с помощью модуля растяжения-сжатия,
усиливают выбранные растянутые затравочные импульсы с образованием усиленных растянутых импульсов с помощью усилителя, и
сжимают усиленные растянутые импульсы с образованием фемтосекундных лазерных импульсов с помощью модуля растяжения-сжатия.
3. Способ по п. 1, содержащий этап, на котором
регулируют частоту повторения для поддержания плотности пузырьков, создаваемых лазером, в области мишени приблизительно в пределах выбранного значения.
4. Способ по п. 3, в котором
плотность пузырьков представляет собой одну из линейной плотности, поверхностной плотности и объемной плотности.
5. Способ по п. 3, в котором этап регулировки частоты повторения состоит в том, что
регулируют частоту повторения пропорционально скорости сканирования.
6. Способ по п. 1, в котором этап регулировки частоты повторения состоит в том, что
изменяют частоту повторения с первого значения на второе значение за время в пределах 1 мкс - 1 с.
7. Способ по п. 1, в котором этап осуществления сканирования фокальным пятном состоит в том, что
осуществляют сканирование фокальным пятном вдоль пути минимального ускорения.
8. Способ по п. 1, содержащий этапы, на которых:
осуществляют сканирование фокальным пятном в плоскости XY по извилистому пути, и
снижают частоту повторения при приближении к участку изгиба пути.
9. Способ по п. 1, содержащий этапы, на которых:
осуществляют сканирование лазерным пучком по спирали, и
снижают частоту повторения при приближении сканирования к центру спирали.
10. Способ по п. 1, в котором этап регулировки частоты повторения содержит этапы, на которых:
принимают модулем управления частотой повторения информацию об измененной скорости сканирования посредством одного из
считывания изменения скорости сканирования, и
получения электронной информации об изменении скорости сканирования от процессора или устройства памяти, и
регулируют частоту повторения согласно принятой информации об измененной скорости сканирования.
11. Система лазерного сканирования с переменной частотой повторения, содержащая:
генератор, который генерирует и выводит пучок фемтосекундных затравочных импульсов,
модуль растяжения-сжатия, который:
увеличивает длительность затравочных импульсов,
принимает усиленные растянутые импульсы от усилителя,
уменьшает длительность усиленных растянутых импульсов, и
выводит лазерный пучок фемтосекундных импульсов с некоторой частотой повторения,
усилитель, который:
принимает растянутые затравочные импульсы от модуля растяжения-сжатия,
усиливает амплитуду выбранных растянутых затравочных импульсов для создания усиленных растянутых импульсов, и
выводит усиленные растянутые импульсы на модуль растяжения-сжатия, и
сканирующее оптическое средство, которое осуществляет сканирование фокальным пятном лазерного пучка в области мишени с переменной скоростью сканирования для генерации пятен фоторазрушения,
причем система лазерного сканирования изменяет частоту повторения для создания пятен фоторазрушения с заранее определенным профилем плотности.
12. Система лазерного сканирования по п. 11, в которой усилитель содержит
компенсатор дисперсии, который снижает дисперсию усиленных растянутых импульсов.
13. Система лазерного сканирования по п. 11, в которой усилитель содержит
переключаемый поляризатор, который вращает плоскость поляризации растянутых импульсов в усилителе,
причем время нарастания переключаемого поляризатора меньше 5 нс, 4 нс или 3 нс.
14. Система лазерного сканирования по п. 13, содержащая
электронное средство управления, которое подает на переключаемый поляризатор сигналы управления, побуждающие переключаемый поляризатор осуществлять переключение с временем нарастания менее 5 нс, 4 нс или 3 нс.
15. Способ сканирования с помощью лазерного двигателя, причем способ содержит этапы, на которых:
генерируют фемтосекундные лазерные импульсы с некоторой частотой повторения,
фокусируют лазерные импульсы в фокальное пятно в области мишени для генерации пятен фоторазрушения,
осуществляют сканирование фокальным пятном в области мишени с некоторой скоростью сканирования, и
регулируют частоту повторения в ходе сканирования для создания пятен фоторазрушения с некоторым профилем плотности.
16. Способ по п. 15, в котором этап регулировки содержит этап, на котором
создают пятна фоторазрушения, причем одну из линейной плотности пятен, поверхностной плотности пятен и объемной плотности пятен поддерживают, по существу, однородной в области мишени.
17. Способ по п. 15, в котором этап регулировки состоит в том, что
регулируют частоту повторения согласно изменению скорости сканирования.
18. Способ по п. 15, в котором этап регулировки состоит в том, что
регулируют частоту повторения приблизительно пропорционально скорости сканирования.
19. Способ по п. 15, в котором этап регулировки частоты повторения состоит в том, что
изменяют частоту повторения с первого значения на второе значение за время в пределах 1 мкс - 1 с.
20. Способ по п. 15, в котором этап генерации содержит этапы, на которых:
генерируют фемтосекундные затравочные импульсы с помощью генератора,
растягивают затравочные импульсы с помощью модуля растяжения-сжатия,
усиливают выбранные растянутые затравочные импульсы с образованием усиленных растянутых импульсов с помощью усилителя, и
сжимают усиленные растянутые импульсы с образованием фемтосекундных лазерных импульсов с помощью модуля растяжения-сжатия.
21. Способ по п. 15, в котором этап осуществления сканирования фокальным пятном состоит в том, что
осуществляют сканирование фокальным пятном вдоль пути минимального ускорения.
22. Способ по п. 15, содержащий этапы, на которых:
осуществляют сканирование фокальным пятном по извилистому пути, и
снижают частоту повторения при приближении к участку изгиба пути.
23. Способ по п. 15, содержащий этапы, на которых:
осуществляют сканирование лазерным пучком по спирали, и
снижают частоту повторения по мере приближения сканирования к центру спирали.
24. Способ по п. 15, содержащий этапы, на которых:
осуществляют сканирование лазерным пучком вдоль конца линии или излома линии, и
снижают частоту повторения по мере приближения сканирования к концу линии или излому линии.
25. Способ по п. 15, содержащий этапы, на которых:
принимают сохраненную или считанную информацию о скорости сканирования, и
регулируют частоту повторения согласно принятой информации, касающейся скорости сканирования.
26. Способ по п. 15, содержащий этапы, на которых:
принимают считанную или отображенную информацию об области мишени, и
регулируют частоту повторения согласно принятой информации, касающейся области мишени.