МНОГОЧАСТОТНЫЙ РЕЗОНАТОР НА ОБЪЕМНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ

1. Многочастотный резонатор на объемных акустических волнах, состоящий из звукопровода и источника акустических колебаний, включающего в себя пьезоэлектрик, верхний и нижний металлические электроды и размещенного на одной из поверхностей звукопровода, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из ориентированного монокристалла алмаза.
2. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что звукопровод выполнен из искусственно выращенного монокристалла алмаза.
3. Резонатор по пп.1 и 2, отличающийся тем, что в качестве материала звукопровода используют монокристаллы алмаза срезов (100), или (110), или (111), соответствующих направлениям распространения чистых продольных мод.
4. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что в качестве пьезоэлектрика используют нитрид алюминия AlN.
5. Резонатор по п.1, отличающийся тем, что нижний электрод выполняют из молибдена толщиной 100-200 нм.