СЛОИ МОНООКСИДА МОЛИБДЕНА И ИХ ПОЛУЧЕНИЕ С ПОМОЩЬЮ PVD

1. Покрытие, которое включает по меньшей мере один содержащий молибден слой с оксидом молибдена, отличающееся тем, что оксид молибдена, по существу, является монооксидом молибдена.
2
3
2. Покрытие по п.1, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере один слой оксида молибдена, который содержит, по существу, монооксид молибдена, и тем, что на XRD-спектре слоя монооксида молибдена, по существу, не имеется ни пиков MoO, ни пиков МоО.
3. Покрытие по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере один слой нитрида молибдена.
4. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере один слой Mo-N-O, который включает связи молибдена с азотом и связи оксида молибдена, при этом в основном атомы молибдена образуют соединения максимум с одним атомом кислорода и в покрытии предпочтительно содержится монооксид молибдена.
5. Покрытие по п.3, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере один слой Mo-N-O, который включает связи молибдена с азотом и связи оксида молибдена, при этом в основном атомы молибдена образуют соединения максимум с одним атомом кислорода и в покрытии предпочтительно содержится монооксид молибдена.
6. Покрытие по п.4, отличающееся тем, что слой Mo-N-O находится между слоем нитрида молибдена и слоем монооксида молибдена.
7. Покрытие по п.4, отличающееся тем, что отношение атомных концентраций в слое Mo-N-O описывается с помощью следующей формулы:
z
d
e
MO(NO),
где e - атомная концентрация кислорода в слое Mo-N-O,
d - атомная концентрация азота в слое Mo-N-O,
z - атомная концентрация молибдена в слое Mo-N-O
и z≥y.
8. Покрытие по п.4, отличающееся тем, что слой Mo-N-O представляет собой градуированный слой, причем концентрация азота от ближней к подложке граничной поверхности до ближней к поверхности граничной поверхности слоя Mo-N-O снижается, в то время как концентрация кислорода повышается.
9. Покрытие по п.4, отличающееся тем, что слой Mo-N-O представляет собой градуированный слой, причем концентрация кислорода от ближней к подложке граничной поверхности до ближней к поверхности граничной поверхности слоя Mo-N-O снижается, в то время как концентрация азота повышается.
10. Покрытие по п.4, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере одно покрытие по п.7 и по меньшей мере одно покрытие по п.8.
3
11. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что покрытие включает поверхностный слой с МоО.
12. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что между основой и содержащим Мо слоем напыляют по меньшей мере один фиксирующий слой и/или по меньшей мере один функциональный слой.
1-x
x
a
b
c
13. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что по меньшей мере один содержащий Мо слой, в частности, имеет очень хорошую механическую стабильность и содержит (MoMe)ABC, причем 0≤x≤0,99, предпочтительно 0≤x≤0,5 и
Me представляет собой металл из группы W, Ti, Al, Cr, Si, Zr, Та, Nb, Ag, Cu и V или комбинацию из двух или нескольких металлов данной группы и
А - азот (N) с 0,5≤а≤1,
В - углерод (С) с 0≤b≤0,5,
С - кислород (О) с 0≤c≤0,5
и индексы a, b и с элементов N, С и О в атомных % удовлетворяют условию а+b+с=1 и могут быть предусмотрены дополнительные элементы, однако предпочтительно дополнительные элементы не предусмотрены, и x≥с.
1y
y
u
y
w
14. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что по меньшей мере один содержащий Мо слой имеет, в частности, очень хорошие смазывающие свойства и скользящие свойства и содержит (Mo,Me)ABC, причем 0≤y≤0,99, предпочтительно 0≤y≤0,5 и
Me представляет собой металл из группы W, Ti, Al, Cr, Si, Zr, Та, Nb, Ag, Cu и V или комбинацию из двух или нескольких металлов данной группы и
А - азот (N) с 0≤u≤0,5,
В - углерод (С) с 0≤v≤0,5,
С - кислород (О) с 0,5≤w≤1
и индексы u, v и w элементов N, С и O в атомных % удовлетворяют условию u+v+w=1, и могут быть предусмотрены дополнительные элементы, однако предпочтительно дополнительные элементы не предусмотрены, и y≥w.
15. Покрытие по п.1 или 2, отличающееся тем, что покрытие включает по меньшей мере один первый слой по п.12 и один второй слой по п.13.
16. Способ PVD или комбинированный PVD/CVD способ получения покрытия по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что монооксид молибдена вносится в содержащий монооксид молибдена слой способом искрового напыления.
17. Способ PVD получения покрытия по одному из пп. 1-14, отличающийся тем, что содержащий молибден слой получают с помощью искрового напыления с помощью по меньшей мере одной содержащей молибден мишени в реактивной атмосфере.
18. Конструктивный элемент с покрытием, отличающийся тем, что покрытие является покрытием по одному из п.п.1-14.
19. Применение инструментов, покрытых по п.18, для изготовления конструктивных элементов из металлов или сплавов металлов, отличающееся тем, что благодаря покрытию снижается или предпочтительно полностью предотвращается размазывание обрабатываемого металла или сплава металла по покрытой поверхности инструмента.