ПОЛУЧЕНИЕ КРЕМНИЯ ПОСРЕДСТВОМ РЕАКТОРА С ПСЕВДООЖИЖЕННЫМ СЛОЕМ, ВСТРОЕННОГО В СИМЕНС-ПРОЦЕСС

1. Способ, включающий 1) подачу потока отходящего газа из одного или нескольких реакторов Сименса в один или несколько реакторов с псевдоожиженным слоем.
2. Способ по п.1, дополнительно включающий пополнение потока отходящего газа дополнительными хлорсиланами.
3. Способ по п.2, в котором поток отходящего газа включает трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород, хлористый водород и порошкообразный кремний, и способ дополнительно включает удаление порошкообразного кремния из потока отходящего газа перед подачей потока отходящего газа в реактор с псевдоожиженным слоем.
4. Способ по п.2, в котором поток отходящего газа необязательно пополняют дополнительным трихлорсиланом, получая поток сырьевого газа для реактора с псевдоожиженным слоем, и поток сырьевого газа для реактора с псевдоожиженным слоем включает хлорсиланы с концентрацией в диапазоне от 20 мол.% до 50 мол.%.
5. Способ, включающий i) подачу потока отходящего газа из множества реакторов Сименса непосредственно в один или несколько реакторов с псевдоожиженным слоем без промежуточных стадий обработки.
6. Способ по п.1 или 5, в котором поток отходящего газа включает водород и хлорсиланы.
7. Способ п.1 или 5, в котором поток отходящего газа включает водород и силан.
8. Способ п.1 или 5, дополнительно включающий использование кремния, полученного посредством реактора Сименса, для интегральных микросхем, для солнечных элементов или для того и другого.
9. Способ п.1 или 5, дополнительно включающий использование кремния, полученного посредством реактора с псевдоожиженным слоем, для солнечных элементов.
10. Способ по п.6, в котором поток отходящего газа включает трихлорсилан, тетрахлорид кремния, водород, хлористый водород и порошкообразный кремний.
11. Способ по п.6, дополнительно включающий ii) подачу второго потока отходящего газа из реактора с псевдоожиженным слоем в систему извлечения.
12. Способ по п.11, в котором второй поток отходящего газа включает водород, трихлорсилан, тетрахлорсилан и хлористый водород.
13. Способ по п.11, дополнительно включающий iii) извлечение водорода, трихлорсилана или обоих компонентов, и подачу водорода, трихлорсилана или обоих компонентов в реактор Сименса в стадию 1).
14. Способ по п.11, дополнительно включающий iii) извлечение тетрахлорсилана, превращение тетрахлорсилана в трихлорсилан, и подачу трихлорсилана в реактор Сименса в стадию 1).