НАПРАВЛЯЮЩЕЕ ПОТОК УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУХЭЛЕКТРОДНОЙ РАЗРЯДНОЙ КАМЕРЫ, ДВУХЭЛЕКТРОДНАЯ РАЗРЯДНАЯ КАМЕРА С ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ И ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР

1. Направляющее поток устройство для разрядной камеры, имеющей симметричную конфигурацию и включающей две пары электродов, причем
направляющее поток устройство содержит два ротора, которые соответствуют одной паре из двух пар электродов соответственно; установленные положения роторов симметричны относительно плоскости симметрии разрядной камеры и находятся под электродами; ось вращения роторов параллельна осевому направлению электродов, которое параллельно плоскости основания разрядной камеры, и
два ротора имеют противоположные направления вращения и идентичные скорости вращения.
2. Направляющее поток устройство по п. 1, причем под каждым из роторов установлена нижняя спойлерная пластина, выполненная с возможностью предотвращения прохождения газового потока под роторами.
3. Направляющее поток устройство по п. 2, причем нижняя спойлерная пластина имеет наклонную поверхность или криволинейную поверхность, т.е. наветренная сторона спойлерной пластины предназначена быть наклонной поверхностью или криволинейной поверхностью, и эта криволинейная поверхность является вогнутой вовнутрь криволинейной поверхностью, выгнутой наружу криволинейной поверхностью или их сочетанием.
4. Направляющее поток устройство по п. 2, причем от установленного положения под каждой парой электродов к соответствующему ротору простирается верхняя спойлерная пластина.
5. Направляющее поток устройство по п. 4, причем на боковых стенках роторов установлена направляющая поток пластина и/или поверхности боковых стенок непосредственно обработаны имеющими форму поверхности направляющей поток пластины, так чтобы направлять газовый поток на выходе из роторов к области разряда электродов.
6. Направляющее поток устройство по п. 4, причем между концом направляющей поток пластины и верхней стороной электрода установлена верхняя направляющая поток пластина, и верхняя направляющая поток пластина и верхняя спойлерная пластина образуют постепенно сужающийся промежуточный канал.
7. Направляющее поток устройство по п. 4, причем в среднем положении в пределах области разряда двух электродов установлена симметричная сливающая потоки направляющая пластина, выполненная с возможностью сводить газовый поток, проходящий через область разряда, в нисходящий газовый поток.
8. Направляющее поток устройство по п. 4, причем от направления вниз каждого из электродов к соответствующим роторам выступает нижняя направляющая поток пластина, которая обладает формой дуги, изогнутой по направлению к роторам.
9. Двухэлектродная разрядная камера, содержащая направляющее поток устройство по любому из пунктов 1-8.
10. Эксимерный лазер, содержащий двухэлектродную разрядную камеру по п. 9.