СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ДВУХКОМПОНЕНТНЫХ ХРОМ-АЛЮМИНИЕВЫХ ПОКРЫТИЙ НА ВНУТРЕННИЕ ПОЛОСТИ ОХЛАЖДАЕМЫХ РАБОЧИХ ЛОПАТОК ГАЗОВЫХ ТУРБИН И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА

6
3
3
1. Способ нанесения двухкомпонентных хром-алюминиевых покрытий на внутренние полости охлаждаемых рабочих лопаток газовых турбин, включающий последовательное осаждение слоев хрома и алюминия с последующим высокотемпературным отжигом в вакууме, отличающийся тем, что осаждение из газовой фазы слоев хрома выполняют при термическом разложении гексакарбонила хрома Cr(СО) и алюминия при термическом разложении триметилалюминия Al(СН), при этом предварительно формируют три температурные зоны вначале для осаждения хрома, а затем для осаждения алюминия.
-2
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение слоев хрома и алюминия выполняют при давлении в вакуумной камере 1,0-1,2·10 мм рт.ст.
6
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что при осаждении хрома гексакарбонил хрома Cr(СО) нагревают до температуры 110-120°С, в промежуточной зоне обеспечивают эту же температуру, а в зоне осаждения устанавливают температуру 400-450°С.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что слой хрома формируют в течение не менее 2-3 ч.
3
3
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что при осаждении алюминия триметилалюминия Al(CH) нагревают до температуры 100-110°С, в промежуточной зоне обеспечивают эту же температуру, а в зоне осаждения устанавливают температуру 300-350°С.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что слой алюминия формируют в течение не менее 5-6 ч.
7. Устройство для нанесения покрытия на детали газовой турбины, содержащее реакционную камеру, в которой установлено средство для размещения обрабатываемых деталей, и средства для создания необходимого температурного поля, отличающееся тем, что реакционная камера, установленная внутри вакуумной камеры, разделена теплоизолирующей вакуумноплотной перегородкой на предварительную зону и зону осаждения, имеющие разные температурные поля, при этом средства для размещения источников материала покрытия выполнены как нагреваемые контейнеры, установленные вне вакуумной камеры и соединенные с помощью прогреваемой транспортной системы и прогреваемых клапанов со входом в предварительную зону реакционной камеры, имеющей более низкую температуру, чем температурное поле зоны осаждения.