СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ЧАСТИЦ ОКСИДОВ МЕТАЛЛА В ВОСХОДЯЩИХ ПЛАЗМЕННЫХ ПОТОКАХ

1. Способ получения наноразмерных частиц оксидов металлов, характеризующийся распылением в магнетронной распылительной системе на постоянном токе металлической мишени, выступающей в роли катода, в магнитном поле, обеспечивающем попадание атомов металла из зоны распыления в восходящий плазменный поток, для формирования которого вертикальная составляющая индукции магнитного поля на внешнем краю зоны распыления мишени превышает индукцию магнитного поля по внутреннему краю зоны распыления мишени не менее чем на 10%, при этом кольцевой анод располагают над металлической мишенью, а систему анод-катод размещают в вакуумной камере в атмосфере рабочего газа при значениях напряжения и тока, обеспечивающих режим тлеющего разряда.
-3
-4
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что мишень выполнена из цинка, при этом давление аргон-кислородной газовой рабочей смеси выбирают в интервале 10-10 Па, напряжение 400-600 В, ток 100-180 мА, соотношение парциальных давлений аргона и кислорода в рабочей смеси составляет от 50%:50% до 40%:60%, величина горизонтальной составляющей магнитного поля над зоной распыления мишени составляет не менее 500 Э.