ЗУБЧАТАЯ ПЕРЕДАЧА, ВЫПОЛНЕННАЯ ИЗ МАТЕРИАЛА, ДОПУСКАЮЩЕГО ВОЗМОЖНОСТЬ МИКРООБРАБОТКИ, И СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ (1) изготовления зубчатой передачи (51, 51'), который включает в себя следующие этапы:
a) подготовка основания (2) субстрата (29), включающего в себя верхний слой (31) и нижний слой (33), которые выполнены из материала, допускающего возможность микрообработки, и соединены между собой через промежуточный слой (32);
b) травление (3), по меньшей мере, одного рисунка (34) в верхнем слое (31) и промежуточном слое (32) до обнажения нижнего слоя (33), чтобы выполнить, по меньшей мере, одну первую выемку (35), соответствующую первому колесу (55, 55');
c) нанесение (5), по меньшей мере, на дно каждой из указанных первых выемок (35) электропроводящего покрытия (37);
d) электролитическое формование (9) материала, по меньшей мере, в нижней части каждой из указанных первых выемок (35);
e) травление (13) второго рисунка (44) в нижнем слое (33) до самого покрытия (37) из указанного электропроводящего материала, чтобы выполнить, по меньшей мере, одну вторую выемку (45), соответствующую второму колесу (57, 57');
f) размещение (16) фоточувствительного слоя (42, 43, 48) полимера на дне нижнего слоя (33), чтобы данный фоточувствительный слой образовал покрытие (51) на стенках каждой из указанных вторых выемок (45) и каждого углубления (49), которое граничит с соответствующей второй выемкой (45) и коаксиально ей;
g) продолжение (19) электролитического формования, начатого на этапе d), для заполнения каждой из указанных первых выемок (35) и начало электролитического формования (19) материала в каждой из указанных вторых выемок (45) и каждом из указанных углублений (49), чтобы выполнить вал (53, 53'), снабженный фланцем (52, 52');
h) удаление (21) фоточувствительного слоя (38, 40, 42, 43, 48) полимера
i) удаление (23) промежуточного слоя (32) для отделения первого колеса (55, 55') и второго колеса (57, 57'); и
j) отделение (25) изготовленной зубчатой передачи (51, 51') от основания (29).
2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что этап f) включает в себя также следующую операцию:
k) нанесение (15), по меньшей мере, на дно каждого из указанных углублений (49) второго электропроводящего покрытия (47) для оптимизации выполнения указанного фланца.
3. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед этапом d) он включает в себя следующий этап:
1) размещение элемента (38) на верхней поверхности основания (29) для выполнения, по меньшей мере, одного другого углубления (39), которое граничит с соответствующей первой выемкой (35) и коаксиально ей, чтобы получить над верхним слоем (31) слой материала путем электролитического формования.
4. Способ (1) по п.3, отличающийся тем, что этап с) допускает также нанесение, по меньшей мере, на дно каждого из указанных других углублений (39) указанного электропроводящего покрытия (37).
5. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что после этапа с) он включает в себя следующий этап:
m) размещение (7) стержня (40) в каждой из указанных первых выемок (35) для выполнения отверстия (54, 54') в будущей зубчатой передаче (51, 51').
6. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед этапом g) он включает в себя следующий этап:
n) размещение (17) стержня (42) в каждой из указанных вторых выемок (45) для выполнения отверстия (54, 54') в будущей зубчатой передаче (51, 51').
7. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что этапы b) и е) включают в себя следующие операции:
- размещение, по меньшей мере, одной маски (36, 46) на слое (31, 33), подлежащем травлению;
- анизотропное травление указанного слоя вдоль участков, не покрытых указанными масками;
- удаление маски.
8. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что на одном и том же основании (29) изготовляются несколько зубчатых передач (51, 51').
9. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что каждое покрытие (37, 47) содержит, по меньшей мере, один слой золота.
10. Способ (1) по любому из пп.1-9, отличающийся тем, что материалы, допускающие возможность микрообработки, имеют кремниевую основу.
11. Зубчатая передача (51, 51'), содержащая вал (53, 53'), первый конец которого выполнен заодно целое с фланцем (52, 52'), первое колесо (55, 55'), которое выполнено из материала, допускающего возможность микрообработки, и соединено без зазора со вторым концом вала (53, 53'), отличающаяся тем, что данная зубчатая передача (51, 51') содержит второе колесо (57, 57') из материала, допускающего возможность микрообработки, при этом перемещения во втором колесе не зависят от перемещений указанного первого колеса и второе колесо содержит отверстие (58, 58'), стенка которого расположена против указанного вала, то есть второе колесо (57, 57') соединено с первым концом вала (53, 53') с возможностью вращения относительно вала.
12. Зубчатая передача по п.11, отличающаяся тем, что второй конец вала снабжен вторым фланцем (56'), который выполнен заодно целое с валом (53') и частично закрывает первое колесо (55').
13. Зубчатая передача по п.12, отличающаяся тем, что второй фланец (56') имеет зубья, образуя вторую ступень указанного первого колеса (55').
14. Зубчатая передача по п.11, отличающаяся тем, что, по меньшей мере, часть поверхности первого колеса (55, 55') снабжена внешним покрытием (37).
15. Зубчатая передача по п.11, отличающаяся тем, что вал (53, 53') выполнен из материала с низким коэффициентом трения.
16. Зубчатая передача по п.11, отличающаяся тем, что материалы, допускающие возможность микрообработки, имеют кремниевую основу.
17. Часы, отличающиеся тем, что они включают в себя, по меньшей мере, одну зубчатую передачу по любому из пп.11-16.