СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий ионную очистку, диффузионное насыщение подложки материалом катода и осаждение материала катода на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет снижения уровня остаточных напряжений и повышения адгезии переходного слоя, перед осаждением материала катода проводят закалку подложки.