КОМПОЗИЦИИ ПОДПИТКИ И СПОСОБЫ ПОДПИТКИ КОМПОЗИЦИЙ ПРЕДВАРИТЕЛЬНОЙ ОБРАБОТКИ

1. Способ подпитки композиции предварительной обработки, включающий:
добавление композиции подпитки к композиции предварительной обработки, в котором композиция подпитки содержит комплекс циркония.
2. Способ по п. 1, в котором комплекс циркония содержит метансульфонат циркония.
3. Способ по п. 1, в котором композиция подпитки дополнительно содержит растворенный комплекс металла с фторид-ионом, в котором ион металла включает металл IIIA группы, металл IVA группы, металл IVB группы или их комбинации.
2
6
2
6
2
6
2
6
2
6
2
6
4. Способ по п. 3, в котором растворенный комплекс металла с фторид-ионом в композиции подпитки включает HTiF, HZrF, HHfF, HSiF, HGeF, HSnF или их комбинации.
5. Способ по п. 3, в котором металл растворенного комплекса металла с фторид-ионом включает титан, цирконий, гафний, алюминий, кремний, германий, олово или их комбинации.
6. Способ по п. 1, в котором композиция подпитки дополнительно содержит компонент, включающий оксид, гидроксид, карбонат металлов IIIА группы, металлов IVA группы, металлов IVB группы или их комбинации.
7. Способ по п. 6, в котором компонент, включающий оксид, гидроксид, карбонат металлов IIIА группы, металлов IVA группы, металлов IVB группы или их комбинации, включает соединение цирконила.
8. Способ по п. 7, в котором соединение цирконила включает нитрат цирконила, ацетат цирконила, карбонат цирконила, протонированный основной карбонат циркония, сульфат цирконила, хлорид цирконила, йодид цирконила, бромид цирконила или их комбинации.
9. Способ по п. 1, в котором композиция подпитки дополнительно содержит:
растворенный комплекс металла с фторид-ионами, в котором ион металла включает металл IIIА группы, металл IVA группы, металл IVB группы или их комбинации; и
компонент, включающий оксид, гидроксид, карбонат металлов IIIА группы, металлов IVA группы, металлов IVB группы или их комбинации.
10. Способ по п. 1, в котором композиция подпитки дополнительно содержит:
растворенный ион металла, включающего металл IB группы, металл IIB группы, металл VIIB группы, металл VIII группы, лантаниды или их комбинации.
11. Способ по п. 10, в котором раствор иона металла, содержащий металл IB группы, металл IIB группы, металл VIIB группы, металл VIII, лантаниды, или их комбинации, содержит марганец, церий, кобальт, медь, цинк или их комбинации.
12. Способ по п. 6, в котором композиция подпитки дополнительно включает:
растворенный ион металла, содержащего металл IB группы, металл IIB группы, металл VIIB группы, металл VIII группы, лантаниды или их комбинации.
13. Способ по п. 12, в котором раствор ионов металла, содержащего металл IB группы, металл IIB группы, металл VIIB группы, металл VIII группы, лантаниды, или их комбинации, содержит марганец, церий, кобальт, медь, цинк или их комбинации.
14. Способ по п. 1, в котором композицию подпитки добавляют в композицию предварительной обработки в количестве, достаточном, чтобы поддерживать общее содержание ионов металлов в композиции предварительной обработки в пределах 10-250 ppm.
15. Способ по п. 9, в котором композиция подпитки дополнительно включает:
растворенный ион металла, содержащего металл IB группы, металл IIB группы, металл VIIB группы, металл VIII группы, лантаниды, или их комбинации.
16. Способ по п. 15, в котором растворенный ион металла, содержащего металл IB группы, металл IIB группы, металл VIII группы, металл VIII группы, лантаниды, или их комбинации, включает марганец, церий, кобальт, медь, цинк или их комбинации.
17. Способ по п. 1, дополнительно включающий стадию перемешивания композиции подпитки и композиции предварительной обработки.
18. Пополненная композиция предварительной обработки по п. 1.
19. Способ обработки подложки, включающий введение в контакт подложки с пополненной композицией предварительной обработки по п. 18.
20. Обработанная подложка, сформированная в соответствии со способом по п. 19.