СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ ИЗ СПЛАВА НА ОСНОВЕ МОЛИБДЕНА ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ

1. Способ производства распыляемой мишени из сплава на основе молибдена высокой чистоты, включающий последовательное глубокое вакуумное рафинирование электронно-лучевым капельным переплавом металлокерамической заготовки с получением поликристаллического слитка молибдена высокой чистоты, формирование из него дуговым вакуумным переплавом с одновременным легированием кремнием в пределах 0,005-1,0 мас.% поликристаллического слитка сплава и механическую обработку полученного слитка до получения распыляемой мишени заданной геометрии.
2. Распыляемая мишень из сплава на основе молибдена высокой чистоты с кремнием содержит указанные компоненты в следующем соотношении, мас.%:
Кремний
0,005-1,0
Молибден
Остальное