СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ

Способ локального ионного азотирования, включающий триодный способ катодно-плазменного азотирования в высоком вакууме, отличающийся тем, что ионное азотирование проводят в ограниченном объеме плазмы тлеющего разряда, созданном с помощью источника высокого напряжения и поддерживаемым потоком сжатых электромагнитным полем электронов от раскаленной до 2000-2500°С вольфрамовой нити накала, причем образующийся ограниченный объем плазмы тлеющего разряда имеет вид диска толщиной t и равен , где D - внутренний диаметр вакуумной камеры, t - длина вольфрамовой нити накала, установленной параллельно оси вакуумной камеры.