СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП С КОНТРОЛИРУЕМОЙ СРЕДОЙ ИЗМЕРЕНИЯ

1. Сканирующий зондовый микроскоп с контролируемой средой измерения, содержащий платформу, на которой установлен измерительный модуль, включающий захват зонда с зондом, оптически сопряженным с источником излучения и фотоприемником, блок предварительного сближения с приводом, передаточным механизмом и подвижным элементом, сопряженным с держателем образца с образцом, а также сканирующий модуль, отличающийся тем, что в него введены модульный блок откачки, сопряженный с платформой, герметичный кожух с, по меньшей мере, одним оптически прозрачным окном, имеющим возможность вакуумно-плотной установки на платформу и герметизации измерительного модуля, а также блок вакуумизации, установленный на платформе с возможностью подвижки и оптически сопряженный, по меньшей мере, посредством одного оптически прозрачного окна с зондом, при этом платформа имеет замкнутую вакуумно-плотную полость, в которой расположены подвижный элемент с держателем образца, захват зонда снабжен пьезомодулем, а на платформе установлен ориентатор, сопряженный с герметичным кожухом.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующий модуль сопряжен с подвижным элементом посредством двухкоординатного позиционера и содержит держатель образца с образцом.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что привод размещен вне замкнутой вакуумно-плотной полости и сопряжен с передаточным механизмом посредством уплотнения.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено средствами напуска газа, состыкованными с герметичным кожухом и(или) замкнутой вакуумно-плотной полостью платформы.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующий модуль сопряжен с измерительным модулем и содержит захват зонда с зондом.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено жидкостной ячейкой или электрохимической ячейкой, установленной либо на подвижном элементе, либо на сканирующем модуле, при этом держатель образца размещен внутри жидкостной или электрохимической ячейки.
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что вакуумно-плотная установка герметичного кожуха на платформе осуществлена посредством упругого уплотнения и без механического касания герметичного кожуха и платформы.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено магнитом, установленным на подвижном элементе и магнитосопряженным с держателем образца.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ориентатор сопряжен с герметичным кожухом посредством демпфирующего элемента.