НАНЕСЕНИЕ ЛЕГИРОВАННЫХ ПЛЕНОК ZNO НА ПОЛИМЕРНЫЕ ПОДЛОЖКИ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ УФ

1. Способ образования слоя на полимерной подложке, включающий:
(a) контактирование полимерной подложки по меньшей мере с одним прекурсором; и
(b) действие ультрафиолетового света для разложения по меньшей мере одного прекурсора и нанесения слоя на полимерную подложку.
2. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор содержит легирующую добавку.
3. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.2, где легирующая добавка представляет собой по меньшей мере один металл, выбранный из группы, состоящий из Al, Ga, In, Tl и B.
4. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор содержит цинк.
5. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.4, где слой представляет собой легированный слой оксида цинка.
6. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где слой представляет собой прозрачный электропроводящий оксидный слой.
-3
7. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.6, где прозрачный электропроводящий оксидный слой имеет удельное сопротивление менее чем приблизительно 1×10 Ωсм.
8. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где этап (b) происходит при менее чем около 200°C.
9. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где этап (b) происходит при около 160-200°C.
10. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где по меньшей мере один прекурсор вводят в газовой фазе на этапе (a).
11. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где указанное контактирование проводят при приблизительно атмосферном давлении.
12. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где полимерную подложку выбирают из группы, состоящей из фторполимерных смол, сложных полиэфиров, полиакрилатов, полиамидов, полиимидов и поликарбонатов.
13. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где полимерную подложку выбирают из группы, состоящей из поливинилиденфторида (PVDF), полиэтилентерефталата (PET), полиэтиленнафталата (PEN) и полиметилметакрилата (PMMA).
14. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где ультрафиолетовый свет активирует по меньшей мере один прекурсор.
15. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где ультрафиолетовый свет имеет длину волны около 180-310 нм.
16. Способ образования слоя на полимерной подложке по п.1, где способ представляет собой способ химического осаждения из газовой фазы.
17. Способ образования легированного слоя, содержащего оксид цинка на полимерной подложке, включающий:
(a) контактирование полимерной подложки по меньшей мере с одним прекурсором, содержащим цинк и легирующую добавку, и
(b) действие ультрафиолетового света для разложения по меньшей мере одного прекурсора и нанесения слоя, содержащего легированный оксид цинка, на полимерную подложку.
18. Легированный слой, содержащий оксид цинка, нанесенный на полимерную подложку, полученный путем:
(a) введения по меньшей мере одного прекурсора, содержащего цинк и легирующую добавку, в сосуд, содержащий полимерную подложку, и
(b) действия ультрафиолетового света для разложения по меньшей мере одного прекурсора и для нанесения слоя, содержащего легированный оксид цинка, на полимерную подложку.