УСТРОЙСТВО ОСАЖДЕНИЯ КАПЕЛЬ

1. Устройство осаждения капель, содержащее
матрицу камер текучей среды, причем каждая камера текучей среды образована с помощью пары противостоящих стенок камеры, отделенных одна от другой интервалом стенки камеры, и сообщается по текучей среде с соплом, предназначенным для выброса из нее текучей среды, причем упомянутые противостоящие стенки камеры деформируются после приложения к ним электрического поля;
компонент крышки, соединенный с краями упомянутых стенок камеры, таким образом, закрывающий одну сторону упомянутых камер, причем компонент крышки имеет толщину крышки;
при этом отношение толщины крышки к интервалу стенки камеры меньше или равно 1:1.
2. Устройство по п.1, в котором упомянутые стенки камеры содержат пьезоэлектрический материал.
3. Устройство по п.2, в котором упомянутые приводимые в действие стенки камеры деформируются способом сдвига.
4. Устройство по п.1, в котором упомянутое отношение толщины крышки к интервалу стенки камеры меньше или равно 1:5.
9
2
5. Устройство по п.1, в котором упомянутый компонент крышки имеет модуль Юнга, меньший или равный 100·10 Н/м.
6. Устройство по п.1, в котором толщина компонента крышки меньше 150 мкм.
7. Устройство по п.6, в котором упомянутый компонент крышки имеет толщину, меньшую или равную 100 мкм.
8. Устройство по п.7, в котором упомянутый компонент крышки имеет толщину, меньшую или равную 50 мкм.
9. Устройство по любому из пп.1-8, в котором сопла сформированы в компоненте крышки.
10. Устройство по любому из пп.1-8, в котором компонент крышки проходит на удалении от упомянутых камер таким образом, чтобы ограничивать область магистрали текучей среды.
11. Устройство по любому из пп.1-8, в котором компонент крышки сформирован из полимера.
12. Устройство по п.11, в котором компонент крышки сформирован из полиимида.
13. Устройство по любому из пп.1-8, в котором компонент крышки сформирован из сплава.
14. Устройство по любому из пп.1-8, в котором компонент крышки является составной конструкцией.
15. Устройство по любому из пп.1-8, в котором компонент крышки сформирован из материала фоторезиста.
16. Устройство по п.15, в котором материал фоторезиста является SU-8.