ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ДЛЯ ПРОЦЕССА РАСПЫЛЕНИЯ

2
1. Способ создания плазменного разряда с плотностью тока разряда, по меньшей мере в некоторых областях, локально свыше 0,2 А/см, включающий следующие этапы:
- обеспечение блока энергоснабжения с предварительно заданной максимальной мощностью;
2
- обеспечение по меньшей мере двух магнетронных источников распыляемого материала с предварительно заданной в каждом случае зоной распыления и предварительно заданным термическим пределом, причем зона распыления выполнена настолько малой, что при воздействии максимальной мощности от блока энергоснабжения соответствующий в каждом случае магнетронный источник распыляемого материала плотность тока разряда составляет свыше 0,2 А/см;
2
- подачу энергии с помощью блока энергоснабжения с первой мощностью на первый из по меньшей мере двух магнетронных источников распыляемого материала в течение первого интервала времени, причем первая мощность выбирается достаточно высокой, чтобы на магнетронном источнике распыляемого материала, по меньшей мере в одной области, создавалась локальная плотность тока разряда свыше 0,2 А/см, и причем первый интервал времени выбирается достаточно коротким, чтобы не превышался предварительно заданный термический предел первого магнетронного источника распыляемого материала;
2
- подачу энергии с помощью блока энергоснабжения со второй мощностью на второй магнетронный источник распыляемого материала в течение второго интервала времени, причем вторая мощность выбирается достаточно большой, чтобы на втором магнетронном источнике распыляемого материала, по меньшей мере в одной области, создавалась локальная плотность тока разряда свыше 0,2 А/см, и причем второй интервал времени выбирается достаточно коротким, чтобы не превышался предварительно заданный термический предел второго магнетронного источника распыляемого материала;
отличающийся тем, что блок энергоснабжения включает в себя по меньшей мере два генератора, которые связаны друг с другом в Master-Slave-конфигурации, причем оба интервала времени перекрываются не полностью.
2
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что при необходимости обеспечивают третий и, предпочтительно, прочие магнетронные источники распыляемого материала с предварительно заданной в каждом случае зоной распыления, и в каждом случае с предварительно заданным термическим пределом, причем зоны распыления сформированы таким образом, что при воздействии максимальной мощности от блока энергоснабжения на соответствующий в каждом случае магнетронный источник распыляемого материала плотность тока разряда составляет свыше 0,2 А/см, и блок энергоснабжения включает в себя по меньшей мере столько подчиненных генераторов, что число подчиненных генераторов и мастер-генератор составляют число генераторов, которое является равным или большим, чем число магнетронных источников распыляемого материала.
3. Способ по одному из пп.1 или 2, отличающийся тем, что интервалы времени составляют в виде периодически повторяющихся интервалов с образованием таким образом периодических импульсов.
4. Способ по одному из пп.1 или 2, отличающийся тем, что позади по меньшей мере одной из мишеней магнетронных источников распыляемого материала предусмотрена подвижная, предпочтительно вращающаяся магнитная система, которая создает перемещающуюся зону распыления, протяженность которой является меньшей, чем поверхность мишени, однако большей, чем 20% площади поверхности мишени.
5. Способ по п.3, отличающийся тем, что позади по меньшей мере одной из мишеней магнетронных источников распыляемого материала предусмотрена подвижная, предпочтительно вращающаяся магнитная система, которая создает перемещающуюся зону распыления, протяженность которой является меньшей, чем поверхность мишени, однако большей, чем 20% площади поверхности мишени.
6. Установка для магнетронного распыления с двумя или более магнетронными источниками распыляемого материала и блоком энергоснабжения, причем блок энергоснабжения включает число генераторов, которое по меньшей мере соответствует числу магнетронных источников распыляемого материала, и в которой предусмотрены средства, которые, с одной стороны, позволяют конфигурировать имеющиеся в блоке энергоснабжения генераторы в конфигурации с одним мастером и одним подчиненным, причем предусмотрена схема подключения, посредством которой мощность от таким образом конфигурированного блока энергоснабжения подводится по очереди на магнетронные источники распыляемого материала, и, с другой стороны, упомянутые средства позволяют конфигурировать блок энергоснабжения как серию независимых генераторов, и выполнять подключение с возможностью подведения мощности соответственно по меньшей мере одного генератора соответственно к одному магнетронному источнику распыляемого материала.