СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ МЕМБРАН

1. Способ изготовления наноразмерных металлических мембран, заключающийся в том, что на сплошную ацетатную подложку, высаженную на поддерживающую медную сетку, последовательно напыляют два слоя материалов с различными коэффициентами распыления, растворяют ацетатную подложку и производят ионное травление полученной двухслойной пленки до образования наноотверстий, отличающийся тем, что после получения мембраны на нее дополнительно напыляют укрепляющий слой, например, слой углерода.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве напыляемых материалов с различными коэффициентами распыления используется золото, серебро и углерод.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление материалов на подложку производят путем термического испарения в вакууме соответствующих веществ.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что напыление материалов на подложку производят путем катодного распыления мишеней из соответствующих материалов.
5.. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности потоком ионов аргона с энергией 3÷6 кэВ.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное травление производят равномерным по плотности плазменным потоком ионов ксенона с энергией 200÷300 эВ.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что толщина укрепляющего слоя углерода составляет 100-200 нм.