УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, расходуемый катод с рабочей поверхностью и центральным отверстием, обращенным к аноду, электромагнитную катушку, поджигающий электрод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, подложкодержатель размещен в отверстии катода в плоскости его рабочей поверхности и электрически соединен с ним посредством ограничительного сопротивления.