УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ АТОМНОГО СЛОЯ И СПОСОБ ЗАГРУЗКИ РЕАКТОРА

1. Система реактора осаждения атомного слоя (ALD), включающая:
несколько реакторов ALD, расположенных относительно друг друга определенным образом, причем каждый из реакторов ALD выполнен с возможностью приема партии подложек для ALD-обработки и включает реакционную камеру с верхним доступом, и
загрузочный робот, включающий захватную часть и устройство перемещения, при этом загрузочный робот выполнен с возможностью осуществления нескольких процедур загрузки, с целью загрузки каждого из реакторов ALD, а каждая процедура загрузки включает:
подхват захватной частью в зоне или на полке складирования держателя подложек, несущего партию подложек, и
перемещение устройством перемещения держателя подложек с партией подложек в реакционную камеру соответствующего реактора ALD.
2. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что загрузочный робот выполнен с возможностью опускания в каждой из процедур загрузки держателя подложек вертикально сверху в реакционную камеру без прохождения отдельной загрузочной камеры.
3. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что количество реакторов ALD в системе составляет два или три.
4. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что каждый из реакторов ALD включает систему крышек, включающую крышку реактора или вакуумной камеры, объединенную с крышкой реакционной камеры; и подъемное устройство для подъема системы крышек, с целью загрузки реакционной камеры.
5. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что включает кожух с высокоэффективным воздушным фильтром, окружающий реакторы ALD, загрузочный робот и зону или полку складирования.
6. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что процедуры загрузки выполняются только указанным роботом без участия человека-оператора.
7. Система реакторов ALD по п.1, отличающаяся тем, что загрузочный робот выполнен с возможностью осуществления нескольких процедур разгрузки, с целью разгрузки каждого из реакторов ALD после ALD-обработки, причем каждая процедура разгрузки включает подхват захватной частью в соответствующем реакторе ALD держателя подложек, несущего партию ALD-обработанных подложек, и перемещение устройством перемещения держателя подложек с партией ALD-обработанных подложек в зону или на полку складирования.
8. Способ, включающий следующие шаги:
эксплуатируют несколько реакторов ALD, расположенных относительно друг друга определенным образом, причем каждый из реакторов ALD выполнен с возможностью приема партии подложек для ALD-обработки и включает реакционную камеру с верхним доступом;
осуществляют несколько процедур загрузки посредством загрузочного робота для загрузки каждого из реакторов ALD, причем каждая процедура загрузки включает:
подхват в зоне или на полке складирования держателя подложек, несущего партию подложек, и
перемещение держателя подложек с партией подложек в реакционную камеру соответствующего реактора ALD.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что посредством загрузочного робота в каждой из процедур загрузки опускают держатель подложек вертикально сверху в реакционную камеру без прохождения отдельной загрузочной камеры.
10. Способ по п.8, отличающийся тем, что количество реакторов ALD в системе составляет два или три.
11. Способ по п.8, отличающийся тем, что каждый из реакторов ALD включает систему крышек, включающую крышку реактора или вакуумной камеры, объединенную с крышкой реакционной камеры, причем способ включает подъем системы крышек с целью загрузки реакционной камеры.
12. Способ по п.8, отличающийся тем, что включает установку кожуха с высокоэффективным воздушным фильтром, окружающего реакторы ALD, загрузочный робот и зону или полку складирования, с образованием таким образом локального чистого помещения.
13. Способ по п.8, отличающийся тем, что процедуры загрузки осуществляют только роботом без участия человека-оператора.
14. Способ по п.8, отличающийся тем, что включает выполнение посредством загрузочного робота нескольких процедур разгрузки, с целью разгрузки каждого из реакторов ALD после ALD-обработки, причем каждая процедура разгрузки включает подхват в соответствующем реакторе ALD держателя подложек, несущего партию ALD-обработанных подложек, и перемещение держателя подложек с партией ALD-обработанных подложек в зону или на полку складирования.
15. Система реактора осаждения атомного слоя (ALD), включающая:
реактор ALD, выполненный с возможностью приема партии подложек для ALD-обработки и включающий реакционную камеру с верхним доступом, и
загрузочный робот, включающий захватную часть и устройство перемещения, причем загрузочный робот выполнен с возможностью осуществления процедуры загрузки, с целью загрузки реактора ALD, при этом процедура загрузки включает:
подхват захватной частью в зоне или на полке складирования держателя подложек, несущего партию подложек, и
перемещение устройством перемещения держателя подложек с партией подложек в реакционную камеру реактора ALD.