УСТРОЙСТВО ПРЕЦИЗИОННОГО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ

1. Устройство прецизионного перемещения, содержащее направляющую (1) и каретку (2), сопряженную с ней, отличающееся тем, что направляющая (1) состоит из монокристаллического материала.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве монокристаллического материала направляющей (1) используют кремний.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в него введен привод (6), сопряженный с кареткой (2).
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что привод (6) установлен на направляющей (1).
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что в него введен первый базовый элемент (12), на котором закреплены направляющая (1) и привод (6).
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в него введен второй базовый элемент (16), направляющая (1) имеет форму параллелепипеда, содержащего первую рабочую поверхность (17), вторую рабочую поверхность (18), и закреплена на втором базовом элементе (16), каретка (2) содержит первый фрагмент (19) и второй фрагмент (20), расположенные под углом друг к другу и содержащие соответственно первую пару опорных элементов (21) и вторую пару опорных элементов (22), сопряженных с направляющей (1), при этом в устройство введен первый прижим (23), закрепленный на втором базовом элементе (16) и сопряженный с кареткой (2).
7. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в него введен третий базовый элемент (27), содержащий первый (28) и второй (29) базовые фрагменты, расположенные под углом друг к другу, направляющая (1) состоит из первой пластины (30), закрепленной на первом базовом фрагменте (28), и второй пластины (31), закрепленной на втором базовом фрагменте (29), а каретка (2) содержит три первых опорных элемента (32), сопряженных с первой пластиной (30), и третью пару опорных элементов (33), сопряженных со второй пластиной (31), при этом в устройство введен второй прижим (35), закрепленный на третьем базовом элементе (27) и сопряженный с кареткой (2).
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что третий базовый элемент (27) включает ферромагнитный материал, каретка (2) содержит третий фрагмент (38) и четвертый фрагмент (39), расположенные под углом друг к другу и содержащие три вторых опорных элемента (40), расположенных на третьем фрагменте (38) и четвертую пару опорных элементов (41), расположенную на четвертом фрагменте (39), при этом в каретку (2) введен первый набор магнитов (42), расположенный напротив вторых опорных элементов (40), и второй набор магнитов (43), расположенный напротив четвертой пары опорных элементов (41).
9. Устройство по п.8, отличающееся тем, что третий базовый элемент (27) включает первую ферромагнитную вставку (44), расположенную напротив первой пластины (30) и вторую ферромагнитную вставку (45), расположенные напротив второй пластины (31) и соединенные с дюралевой вставкой (46), закрепленной на основании (47), выполненном из стали «Армко».
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что направляющая (1) выполнена в виде первого цилиндра (50), включающего цилиндрическую ферромагнитную вставку (51), а каретка (2) имеет цилиндрическую опорную поверхность (52), по которой сопряжена с первым цилиндром (50), и магнит (53), расположенный с противоположной стороны от опорной поверхности (52).
11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что направляющая (1) выполнена в виде второго цилиндра (56), а каретка (2) - в виде кольцевого элемента (57).
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что каретка (2) содержит пятый (60) и шестой (61) фрагменты, расположенные под углом друг к другу и содержащие первый (62) и второй (63) опорные модули, сопряженные с поверхностью второго цилиндра (56), а также третий (64) и четвертый (65) прижимы, закрепленные на каретке (2) и сопряженный с направляющей (1).
13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что направляющая (1) состоит из третьего цилиндра (69) и четвертого цилиндра (70), установленных на четвертом базовом элементе (71), каретка (2) содержит первую кольцевую опору (72), сопряженную с третьим цилиндром (69), вторую кольцевую опору (73), сопряженную с четвертым цилиндром (70), третью кольцевую опору (74), сопряженную с третьим цилиндром (69), и четвертую кольцевую опору (75), сопряженную с четвертым цилиндром (70), при этом поджимы первой кольцевой опоры (72) и второй кольцевой опоры (73), а также третьей кольцевой опоры (74) и четвертой кольцевой опоры (75) к третьему цилиндру (69) и четвертому цилиндру (70) разнонаправлены.
14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что направляющая (1) дополнена обоймой (86), включающей первый упор (87), второй упор (88) и третий упор (89), соединенные с направляющей (1), а каретка (2) содержит V-образную опорную поверхность (90), сопряженную со вторым упором (88) и третьим упором (89), а также каретка (2) содержит первую плоскую опорную поверхность (91), сопряженную с первым упором (87).
15. Устройство по п.1, отличающееся тем, что направляющая (1) дополнена обоймой (86), включающей первый упор (87), второй упор (88) и третий упор (89), соединенные с направляющей (1), а каретка (2) содержит вторую плоскую опорную поверхность (96), сопряженную со вторым упором (88) и третьим упором (89), а также каретка (2) содержит третью плоскую опорную поверхность (97), сопряженную с первым упором (87).