КЕРАМИЧЕСКИЙ ТЕРМОКОМПЕНСИРОВАННЫЙ РЕЗОНАТОР

1. Термокомпенсированный резонатор (1, 11), содержащий тело (5, 15) в деформированном виде, внутренняя часть (8, 18) которого выполнена из керамики, отличающийся тем, что по меньшей мере одна часть тела (5, 15) содержит покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16), у которого изменение модуля Юнга при изменении температуры (ТЕС) противоположно по знаку по сравнению с ТЕС керамики, использованной для внутренней части (8, 18), так что изменение частоты при изменении температуры резонатора по существу равно нулю по меньшей мере в первом порядке (α, β).
2. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит стекло.
3. Резонатор (1, 11) по п. 2, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) выполнена из плавленого кварца.
4. Резонатор (1, 11) по п. 3, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит металл, металлический сплав или карбид кремния.
5. Резонатор (1, 11) по п. 2, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) выполнена из боросиликатного или алюмосиликатного стекла.
6. Резонатор (1, 11) по любому из пп. 2-5, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит хром или титан.
7. Резонатор (1, 11) по п. 2, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) выполнена из фотоструктурированного стекла.
8. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит керамическое стекло.
9. Резонатор (1, 11) по п. 8, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) выполнена из церодура.
10. Резонатор (1, 11) по п. 9, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит металл или карбид кремния.
11. Резонатор (1, 11) по п. 8, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит хром, алюминий или титан.
12. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит техническую керамику.
13. Резонатор (1, 11) по п. 12, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) выполнена из карбида кремния в кристаллической форме.
14. Резонатор (1, 11) по п. 13, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит диоксид кремния.
15. Резонатор (1, 11) по п. 12 или 13, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит хром или титан.
16. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что внутренняя часть (8, 18) тела (5, 15) содержит металлическое стекло.
17. Резонатор (1, 11) по п. 16, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит диоксид теллура.
18. Резонатор (1, 11) по п. 16, отличающийся тем, что покрытие (2, 4, 6, 12, 14, 16) содержит хром или титан.
19. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что тело (5, 15) имеет по существу четырехугольное сечение с попарно идентичными сторонами.
20. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что тело (5, 15) имеет по существу четырехугольное сечение, при этом стороны тела полностью закрыты покрытием.
21. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что тело (5, 15) содержит первичный слой между внутренней частью (8, 18) и покрытием (2, 4, 6, 12, 14, 16).
22. Резонатор (1) по п. 1, отличающийся тем, что тело является стержнем, скрученным с образованием пружины баланса и соединенным с инерционным маховиком.
23. Резонатор (11) по п. 1, отличающийся тем, что тело (15) содержит по меньшей мере два симметрично установленных стержня (17, 19) для образования камертона.
24. Резонатор (1, 11) по п. 1, отличающийся тем, что тело представляет собой резонатор микроэлектромеханической системы.
25. Хронометр, характеризующийся тем, что он содержит по меньшей мере один резонатор (1, 11) по любому из пп. 1-24.