Источник для нанесения покрытия

1. Способ получения источника (1) для нанесения покрытия посредством физического осаждения из паровой фазы, в котором источник (1) для нанесения покрытия включает, по меньшей мере,
слой (2) мишени, состоящий из по меньшей мере двухфазного композита, который содержит металлическую фазу (М) и по меньшей мере одну дополнительную фазу (Р),
стабилизирующий механические свойства слой (3), который соединяют со слоем (2) мишени с одной стороны слоя (2) мишени,
отличающийся тем, что первую порошковую смесь (6), которая соответствует в показателях ее состава по меньшей мере двухфазному композиту, и вторую порошковую смесь (7), которая соответствует в показателях ее состава стабилизирующему механические свойства слою (3), уплотняют в горячем состоянии в виде наложенных друг на друга слоев.
2. Способ по п. 1, в котором наложенные друг на друга слои подвергают горячему прессованию.
3. Способ по п. 1 или 2, в котором в процессе уплотнения к наложенным друг на друга слоям прикладывают электрический ток и/или подвергают их индукционному нагреву.
4. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором первую и/или вторую порошковую смесь (6, 7) используют в форме только промежуточной предварительно уплотненной прессованной заготовки, а окончательное уплотнение и соединение осуществляют посредством уплотнения в горячем состоянии.
5. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором в качестве металлической фазы (М) по меньшей мере двухфазного композита используют титан или титановый сплав.
6. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором материал для металлической фазы (М) по меньшей мере двухфазного композита и материал стабилизирующего механические свойства слоя состоят по меньшей мере на 80 ат. % из одинакового металла.
7. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором дополнительную фазу (Р) используют в количестве более 25 об. %, исходя из по меньшей мере двухфазного композита.
8. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором в качестве дополнительной фазы (Р) используют элемент, отличный от титана и/или соединения титана.
9. Способ по любому из предшествующих пунктов, в котором первую и вторую порошковые смеси (6, 7) располагают одну над другой так, что они прилегают друг другу по своей полной площади.
10. Источник (1) для нанесения покрытия посредством физического осаждения из паровой фазы, включающий
слой (2) мишени, состоящий по меньшей мере из двухфазного композита, который содержит металлическую фазу (М) и по меньшей мере дополнительную фазу (Р), где металлическая фаза (М) и все дополнительные присутствующие фазы имеют температуру плавления более 1000°С,
стабилизирующий механические свойства слой (3), который соединен со слоем (2) мишени с одной стороны слоя (2) мишени,
отличающийся тем, что слой (2) мишени и стабилизирующий механические свойства слой (3) соединены посредством соединительной зоны (4), которая имеет повышающуюся концентрацию частиц дополнительной фазы (Р) по меньшей мере двухфазного композита в направлении от стабилизирующего механические свойства слоя (3) к слою (2) мишени, без образования границы раздела.
11. Источник (1) для нанесения покрытия по п. 10, в котором металлическая фаза (М) по меньшей мере двухфазного композита включает титан или сплав титана.
12. Источник (1) для нанесения покрытия по п. 10 или п. 11, в котором материал металлической фазы (М) по меньшей мере двухфазного композита и материал стабилизирующего механические свойства слоя (3) состоят по меньшей мере на 80 ат. % из одинакового металла.
13. Источник (1) для нанесения покрытия по пп. 10-12, в котором дополнительная фаза (Р) присутствует в количестве более 25 об. %, исходя из по меньшей мере двухфазного композита.
14. Источник (1) для нанесения покрытия по пп. 10-13, в котором дополнительная фаза (Р) состоит из элемента, отличного от титана и/или соединения титана.
15. Источник (1) для нанесения покрытия по пп. 10-14, в котором стабилизирующий механические свойства слой (3) состоит из того же металлического материала, который образует металлическую фазу (М) слоя (2) мишени, и по меньшей мере по существу не содержит частиц дополнительной фазы (Р) по меньшей мере двухфазного композита.
16. Источник (1) для нанесения покрытия по пп. 10-14, в котором стабилизирующий механические свойства слой (3) сам по себе состоит по меньшей мере из двухфазного композита.