Способ финишной очистки подложек для микроэлектромеханических устройств

1. Способ удаления примесей, заключающийся в том, что изделия промывают в проточном растворителе (преимущественно в воде), отличающийся тем, что изделия размещают под слоем растворителя, сквозь который на поверхность направляют импульсное излучение такой мощности и скважности, которая доводит жидкий растворитель в локальной приповерхностной области очищаемого объекта до кипения и образования газовых микропузырьков, а в промежутках между импульсами газовые пузырьки успевают исчезнуть.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что в растворителе создают электрическое постоянное поле при подаче постоянного напряжения величиной до 100 В.