ТЕРМОИСТОЧНИК

1. Термоисточник, расположенный за пределами реактора устройств для осаждения из паровой фазы, для подачи исходного вещества в реактор, где источник (1) содержит контейнер (2) для источника, имеющий полость (4) источника для исходного вещества, причем контейнер (2) для источника выполнен с возможностью съемного присоединения к крышке (6), имеющей первое нагревательное устройство (8) для нагревания крышки (6) таким образом, что тепло за счет теплопроводности передается контейнеру (2) для источника и далее полости (4) источника для нагревания исходного вещества, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя обогреваемый подводящий канал (14), находящийся в жидкостной связи с полостью (4) источника, для подачи исходного вещества из полости (4) источника в реактор таким образом, что между контейнером (2) для источника и реактором достигается возрастающий градиент температуры.
2. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что первое нагревательное устройство (8) включает в себя один или несколько термических картриджей, устанавливаемых в крышке (6) с возможностью съема.
3. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что первое нагревательное устройство (8) включает в себя один или несколько терморезисторов, установленных в крышке (6).
4. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя термометр (10) для измерения и регулирования температуры крышки (6) с целью регулирования температуры контейнера (2) для источника и полости (4) источника до требуемого уровня.
5. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя один или несколько устройств, устанавливаемых на поверхности, и/или клапанов (12), устанавливаемых на поверхности, для подсоединения приводов или впускных трубопроводов к источнику (1).
6. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) дополнительно включает в себя систему труб, через которые исходное вещество может подаваться из полости (4) источника в подводящий канал (14), установленный в крышке (6), и далее в реактор.
7. Термоисточник по п.6, отличающийся тем, что по меньшей мере часть системы труб крышки (6) установлена в крышке (6) при помощи расточки или при помощи иной механической обработки.
8. Термоисточник по п.6, отличающийся тем, что подводящий канал (14) включает в себя нагревательные устройства (16) для нагревания подводящего канала (14) и протекающего по нему вещества.
9. Термоисточник по п.6, отличающийся тем, что подводящий канал включает в себя первую трубчатую часть (14) канала для подачи исходного вещества в реактор, и одну или несколько трубчатых дополнительных частей (20) канала, установленных вокруг первой части (14) канала, для подачи газа-носителя или технологического газа.
10. Термоисточник по п.8, отличающийся тем, что вторые нагревательные устройства (16) имеют вытянутую форму так, что они могут устанавливаться внутри подводящего канала (14).
11. Термоисточник по п.8, отличающийся тем, что вторые нагревательные устройства (16) снабжены защитной трубой (18), расположенной на них.
12. Термоисточник по п.8, отличающийся тем, что имеются вторые нагревательные устройства (16), регулируемые таким образом, что между контейнером (2) для источника и реактором через крышку (6) и подводящий канал (14) при помощи первых и вторых нагревательных устройств (8, 16) достигается возрастающий градиент температуры.
13. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что источник (1) снабжен быстроразъемным устройством для присоединения и отсоединения контейнера (2) для источника к крышке (6).
14. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что он включает в себя соединительные устройства для соединения двух или более соответствующих термоисточников (1) последовательно или параллельно.
15. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что контейнер (2) для источника снабжен окном или аналогичным прозрачным участком для визуального наблюдения за количеством и состоянием исходного вещества.
16. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что контейнер (2) для источника изготовлен из алюминия или другого материала, хорошо проводящего тепло.
17. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что крышка (6) изготовлена из алюминия или сплава нержавеющей стали и алюминия.
18. Термоисточник по п.1, отличающийся тем, что он дополнительно включает в себя фильтр (34) для предотвращения попадания частиц из полости источника в подводящий канал и далее в реактор.
19. Термоисточник по п.18, отличающийся тем, что фильтр (34) включает в себя лабиринтную конструкцию, через которую протекает газ.