ЯЧЕЙКА ЕМКОСТНОГО МИКРООБРАБОТАННОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРИЖАТОГО ТИПА С ЗАГЛУШКОЙ

1. Ячейка (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, содержащая:
- подложку (12),
- мембрану (14), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20), мембрана (14) содержит отверстие (15) и краевую часть (14а), окружающую отверстие (15), причем краевая часть (14а) мембраны (14) прижата к подложке (12), и
под
полн
- заглушку (30), размещенную в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в подобласти (А) полной мембранной области (А);
при этом заглушка (30) контактирует с или прикреплена к подложке (12).
полн
2. Ячейка по п. 1, при этом отверстие мембраны (14) расположено в центральной области полной мембранной области (А).
3. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит часть-ножку (30а), размещенную на подложке (12), и часть-головку (30b), размещенную на краевой части (14а).
4. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) содержит выемку, образованную путем удаления напряженного слоя, имеющего заданное значение механического напряжения относительно мембраны (14).
5. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая напряженный слой (17) на мембране (14), причем напряженный слой имеет заданное значение механического напряжения.
6. Ячейка по п. 1, при этом заглушка (30) выполнена из нитрида, диоксида кремния или их сочетания.
7. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая покровный слой (40), размещенный на мембране (14) и/или заглушке (30).
8. Ячейка по п. 1, дополнительно содержащая первый электрод (16) на или в подложке (12) и/или второй электрод (18) на или в мембране (14).
9. Ячейка по п. 8, при этом второй электрод (18) является кольцевым электродом.
10. Ячейка по п. 1, при этом полость (20) является кольцевой полостью.
11. Ячейка по п. 1, при этом ячейка является ячейкой емкостного микрообработанного ультразвукового преобразователя (cMUT) для передачи и/или приема ультразвуковых волн.
12. Способ изготовления ячейки (10) емкостного микрообработанного преобразователя предварительно прижатого типа, включающий в себя этапы:
- обеспечение подложки (12),
полн
- обеспечение мембраны (14), покрывающей полную мембранную область (А), при этом между мембраной (14) и подложкой (12) образована полость (20),
- обеспечение отверстия (15) в мембране (14) таким образом, что мембрана (14) содержит краевую часть (14а), окружающую это отверстие,
- прижатие краевой части (14а) мембраны (14) к подложке (12), и
- обеспечение заглушки (30), размещенной в отверстии (15) мембраны (14), причем заглушка (30) расположена только в
под
полн
подобласти (А) полной мембранной области (А) и контактирует с или прикреплена к подложке (12).
полн
под
13. Способ по п. 12, при этом обеспечение заглушки (30) включает в себя нанесение дополнительного слоя на мембрану (14) по меньшей мере в полной мембранной области (А) и удаление этого слоя, за исключением части слоя, расположенной в подобласти (А).
14. Способ по п. 12, дополнительно включающий в себя обеспечение напряженного слоя (17) на мембране (14), причем напряженный слой (17) имеет заданное значение механического напряжения относительно мембраны (14).