УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно - к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жестко закрепленный на основании, и связанный с ним зонд [Авторское свидетельство СССР №1713065, МПК H02L 41/09, 1991 г. (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность контроля за перемещением зонда, закрепленного на подвижном торце пьезопривода.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, связанный с неподвижным основанием, и связанный с ним зонд [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ 2000. - 69 с., ил. - стр.4-5 (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность контроля за перемещением зонда.
В основу полезной модели положена техническая задача, заключающаяся в обеспечении точного перемещения объектов, в нанометровом диапазоне длин и контроля за данным перемещением.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для наноперемещений, содержащее пьезопривод, закрепленный на основании, и связанный с ним зонд, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено струнным датчиком перемещений, связанным с подвижным торцом пьезопривода и неподвижным основанием, а также с ЭВМ, которая при помощи звена обратной связи соединена с блоком питания.
Введение в устройство для наноперемещений струнного датчика перемещений, связанного посредством кронштейна с подвижным торцом пьезопривода и неподвижным основанием, а также с ЭВМ, позволяет обеспечить точное перемещение объектов в нанометровом диапазоне длин и контролировать данное перемещение.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для наноперемещений.
Устройство для наноперемещений (фиг.1) содержит зонд 7, жестко закрепленный на основном пьезоприводе 1. Пьезопривод 1 связан с неподвижным основанием 2. На неподвижном основании 2 закреплен струнный датчик 3 перемещений, который, в свою очередь, посредством кронштейна 4 связан с подвижным основанием основного пьезопривода 1, также струнный датчик 3 перемещений связан с ЭВМ 5, которая при помощи звена 9 обратной связи соединена с блоком 8 питания.
Устройство для наноперемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения от блока 8 питания на основной пьезопривод 1 происходит перемещение его подвижного торца относительно подложки 6 вследствие обратного пьезоэффекта, посредством кронштейна 4 происходит соответствующее изменение длины струны датчика 3 и, таким образом, перемещение подвижного торца основного пьезопривода 1 регистрируется струнным датчиком 3 перемещений и в виде электрического сигнала поступает на ЭВМ 5. В ЭВМ 5 сигнал обрабатывается и анализируется, и посредством звена 9 обратной связи ЭВМ 5 производит управляющее воздействие на блок 8 питания для более точного перемещения зонда посредством изменения напряжения, подаваемого на основной пьезопривод 1.
Применение предлагаемого устройства перемещений для нанотехнологии позволяет обеспечить точное перемещение объектов в нанометровом диапазоне длин и контролировать данное перемещение.