КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНОГО МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО РЕЛЕ С ПОДВИЖНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ В ВИДЕ СТРУКТУРЫ С ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИМ СЛОЕМ

Интегральное микромеханическое реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем, состоящее из подложки, покрытой диэлектрическим слоем с нижним (неподвижным) электродом и подвижного электрода, состоящего последовательно из нижнего токопроводящего слоя, диэлектрического слоя с высокими упругими свойствами, среднего токопроводящего слоя, пьезоэлектрического слоя, верхнего токопроводящего слоя, расположенного на поверхности вышеупомянутой подложки, между неподвижным электродом и нижним токопроводящем слоем подвижного электрода имеется зазор, обеспечивающий прерывание тока при отключении реле, отличающееся тем, что, создание интегрального микромеханического реле с подвижным электродом в виде структуры с пьезоэлектрическим слоем происходит в едином технологическом цикле при упрощенной технологии изготовления, совместимой с технологией производства интегральных схем, формирование подвижного электрода возможно в виде консоли или в виде балки.