ДАТЧИК УГЛОВОЙ СКОРОСТИ

1. Датчик угловой скорости, содержащий
эталонный вибратор, поддерживаемый таким образом, чтобы генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию вокруг первой оси вращения как центра;
детектирующий вибратор, поддерживаемый эталонным вибратором таким образом, чтобы генерировать возвратно-поступательную вибрацию вокруг второй оси вращения, которая отличается от первой оси вращения, как центра;
блок генерации эталонной вибрации для предоставления возможности эталонному вибратору генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию; и
блок детектирования для детектирования величины смещения детектирующего вибратора относительно эталонного вибратора, который находится в связи с возвратно-поступательной вращательной вибрацией детектирующего вибратора.
2. Датчик угловой скорости по п.1, в котором первая ось вращения и вторая ось вращения перпендикулярны друг другу.
3. Датчик угловой скорости по п.2, в котором
детектирующий вибратор имеет форму плоской пластины; и
первая ось вращения располагается перпендикулярно плоскости детектирующего вибратора, когда детектирующий вибратор устанавливается в нейтральное положение.
4. Датчик угловой скорости по п.1, в котором блок детектирования включает в себя блок для детектирования электростатической емкости между эталонным вибратором и детектирующим вибратором.
5. Датчик угловой скорости по п.1, в котором блок детектирования включает в себя блок детектирования деформации, включающий в себя одно из пьезорезистора и пьезоэлектрического элемента, который предоставлен на опорной части для поддержки детектирующего вибратора.
6. Датчик угловой скорости по п.1, в котором, по меньшей мере, один из эталонного вибратора и детектирующего вибратора имеет, по меньшей мере, одно из сквозного отверстия и углубленной части на своей поверхности, при этом эталонный вибратор и детектирующий вибратор располагаются напротив друг друга.
7. Датчик угловой скорости по п.6, в котором, по меньшей мере, одно из сквозного отверстия и углубленной части предоставлено с большей плотностью, поскольку является отдаленным от второй оси вращения.
8. Датчик угловой скорости по п.1, в котором вторая ось вращения имеет крестообразный вид в поперечном сечении.
9. Датчик угловой скорости по п.1, кроме того, содержащий второй детектирующий вибратор, поддерживаемый эталонным вибратором таким образом, чтобы генерировать возвратно-поступательную вращательную вибрацию вокруг третьей оси вращения, которая перпендикулярна второй оси вращения, как центра,
причем блок детектирования детектирует величину смещения одного из первого детектирующего вибратора и второго детектирующего вибратора относительно эталонного вибратора.