УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ НАНООПЕРАЦИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения наноопераций.
Известно технологическое устройство для выполнения наноопераций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ №40537, кл. 7 Н01L 37/02, 10.09.2004, Бюл. №25, (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность фокусировки излучения для выполнения наноопераций.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для выполнения наноопераций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой [Патент РФ на ПМ №41933, кл. 7 Н02N 2/00, 10.11.2004, Бюл. №31].
Недостатком прототипа также является невозможность фокусировки излучения для выполнения наноопераций.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить фокусировку излучения для выполнения наноопераций.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для выполнения наноопераций, содержащем неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, согласно предложенной полезной модели, на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы, при этом диаметр d каждого канала выполнен размером 20-50 нм, длина L каждого канала составляет 20-50 мкм, расстояние между каналами по осям составляет не менее двух диаметров канала, количество фуллеренов в одном канале составляет не менее 10.
Введение в устройство для выполнения наноопераций фокусирующих линз, выполненных в виде фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы, диаметр d каналов 20-50 нм, количество фуллеренов не менее 10 в одном канале, дает возможность фокусировать рентгеновское излучение с уменьшением фокусного расстояния до нескольких мкм.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для выполнения наноопераций.
Устройство для выполнения наноопераций (фиг.1) содержит неподвижную платформу 1, закрепленный на ней пьезосканер 2, на котором установлен источник излучения 3, подложкодержатель 4 с установленной на нем подложкой 5. На торце 6 пьезосканера 2 установлен источник рентгеновского излучения 7 с фокусирующими линзами 8, выполненными в виде фокусирующих элементов - фуллеренов 9, расположенных в каналах 10 свинцовой матрицы 11. (Фиг.2)
3
-5
-7
Устройство для выполнения наноопераций работает следующим образом. От источника 7 (фиг.1) подается рентгеновское излучение на фокусирующие линзы 8, которое фокусируется, проходя через систему фуллеренов 9. Фокусировка рентгеновского излучения осуществляется линзой, имеющей двояко-вогнутый профиль, получаемый за счет двух соседних фуллеренов 9 в канале 10 (фиг.2). Количество фуллеренов 9 в канале 10 не менее 10, обусловлено тем, что коэффициент преломления рентгеновских лучей близок к единице и отличается от нее на 10-10.
Применение предполагаемого технологического устройства для выполнения наноопераций позволяет обеспечить эффективную фокусировку рентгеновского излучения, в отличие от известных систем.