МНОГОЗОНДОВОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАННОЙ СБОРКИ МАГНИТНЫХ НАНОСТРУКТУР

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к многозондовым устройствам для сборки наноструктур.
Известно многозондовое устройство для сборки наноструктур, содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную опору, жестко связанный с ней подложкодержатель и многозондовый привод, связанный с пакетом зондов [Патент РФ на ПМ №30033, кл. 7 Н01L 41/00. - Опубл. 10.06.2003, Бюл. №16 (аналог)].
Недостатком аналога является малое быстродействие при создании структур, а также невозможность ориентированной сборки магнитных наноструктур посредством известного многозондового устройства для сборки наноструктур.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является многозондовое устройство для сборки наноструктур, содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную опору, жестко связанный с ней подложкодержатель и многозондовый привод, связанный с пакетом зондов [Птент РФ на ПМ №43105, кл. 7 Н01L 41/00. - Опубл. 27.12.2004, Бюл. №36 (прототип)].
Недостатком прототипа также является малое быстродействие при создании структур, а также невозможность ориентированной сборки магнитных наноструктур посредством известного многозондового устройства для сборки наноструктур.
В основу полез ной модели положена техническая задача - повысить быстродействие при создании структур, а также реализовать возможность
ориентированной сборки магнитных наноструктур посредством предложенного многозондового устройства для ориентированной сборки магнитных наноструктур.
Эта задача решается тем, что известное устройство для сборки наноструктур, содержащее подложкодержатель для размещения подложки, неподвижную опору, жестко связанный с ней подложкодержатель и многозондовый привод, связанный с пакетом зондов, согласно предложенной полезной модели, снабжено многозондовым приводом, выполненным в виде диэлектрической кассеты с отверстиями, внутри которых, с возможностью перемещения, установлены зонды, на торцах которых расположены электретные шайбы, выполненные, например, из фторопласта, причем торцы электретных шайб подпружинены посредством диэлектрических пружин, каждая из которых связана с электродом, установленным в отверстии с натягом, причем каждый электрод независимо связан с источником потенциала, который в свою очередь, связан с блоком питания, а подложка установлена между полюсами магнита, жестко связанного с валом шагового электродвигателя, симметрично относительно полюсов магнита.
Введение в известное мнргозондовое устройство для сборки наноструктур многозондового привода, выполненного в виде диэлектрической кассеты с отверстиями, внутри которых, с возможностью перемещения, установлены зонды, на торцах которых расположены электретные шайбы, причем торцы электретных шайб подпружинены посредством диэлектрических пружин, каждая из которых связана с электродом, установленным в отверстии с натягом, причем каждый электрод независимо связан с источником потенциала, который в свою очередь, связан с блоком питания, а подложка установлена между полюсами магнита, жестко связанного с валом шагового электродвигателя, симметрично относительно полюсов магнита, за счет электростатического взаимодействия между электретными шайбами и
электродами, обеспечивает высокую скорость синтеза магнитоориентированных наноструктур на подложке, что позволяет повысить быстродействие при создании наноструктур на подложке, а также реализовать возможность ориентированной сборки магнитных наноструктур посредством предложенного многозондового устройства для ориентированной сборки магнитных наноструктур.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано многозондовое устройство для ориентированной сборки магнитных наноструктур.
Многозондовое устройство для ориентированной сборки магнитных наноструктур содержит подложкодержатель 1 для размещения подложки 2, неподвижную опору 3, жестко связанный с ней подложкодержатель 1 и многозондовый привод 4, связанный с пакетом зондов 5. Многозондовый привод 4 устройства выполнен в виде диэлектрической кассеты 6 с отверстиями 7, внутри которых, с возможностью перемещения, установлены зонды 5, на торцах которых расположены электретные шайбы 8. Торцы электретных шайбочек 8 подпружинены посредством диэлектрических пружин 9, каждая из которых связана с электродом 10, установленным в отверстии 7 с натягом. Каждый электрод 10 независимо связан с источником потенциала 11, который в свою очередь, связан с блоком питания 12. Подложка установлена между полюсами магнита 13, жестко связанного с валом 14 шагового электродвигателя 15, симметрично относительно полюсов магнита 13.
Многозондовое устройство для ориентированной сборки магнитных наноструктур (фиг.1) работает следующим образом.
Однородное магнитное поле между полюсами магнита 13 заставляет магнитные моменты наночастиц на поверхности подложки 2 ориентироваться в направлении магнитных силовых линий, пронизывающих подложку 2 в продольном направлении. Затем включается шаговый электродвигатель 15,
который ориетирует магнит 13, а следовательно и магнитные моменты наночастиц на подложке 2, относительно силовых линий магнитного поля. После необходимой ориентации обрабатываемых наночастиц в однородном магнитном поле производится их контактная фиксация на подложке 2, посредством пакета зондов 5 многозондового привода 4, которые срабатывают за счет электростатического взаимодействия между соответствующими электретными шайбами 8 и электродами 10. Это взаимодействие возникает из-за разности потенциалов на взаимодействующих поверхностях электретных шайб 8 и электродов 10 благодаря источнику потенциалов 11, питающегося от блока питания 12. Диэлектрические пружины 9 между электретными шайб 8 и электродами 10 необходимы для удержания зондов 5 при отсутствии электростатического взаимодействия между соответствующими электретными шайбами 8 и электродами 10.
Зонды устройства не обязательно производят контактную фиксацию наночастиц на подложке, срабатывая одновременно, так как снабжены независимыми подводами электрического сигнала от источника потенциала к соответствующим электродам зондов, тем самым, обеспечивая высокую избирательность сборки магнитных наноструктур посредством предложенного устройства.
Применение предложенного многозондового устройства для ориентированной сборки магнитных наноструктур позволяет повысить быстродействие при создании структур, а также реализовать возможность ориентированной сборки магнитных наноструктур.