СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ р-ОБЛАСТИ

2
6
2
2
2
s
Способ диффузии бора для формирования p-области, включающий диффузию бора, отличающийся тем, что процесс проводят с применением газообразного источника - диборана (ВН) при температуре 960°С и времени - 35 мин на этапе загонки при следующем соотношении компонентов: азот - N=240 л/ч, кислород - O=120 л/ч, водород - Н=7,5 л/ч; а на этапе разгонки температура - 1100°С и времени - 2 ч, при этом поверхностное сопротивление равно R=155±5 Ом/см.