МОДУЛЬ ДЛЯ СИСТЕМЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ И СВЯЗАННАЯ С НИМ ТЕХНОЛОГИЯ

1. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру, содержащий:
крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры; и
источник питания, физически связанный с этой крышкой, другой крышкой, связанной с расположенной поблизости камерой, или устройством для нанесения покрытий, при этом источник питания является достаточным для приема электрического входного сигнала и для выдачи электрического выходного сигнала, достаточного для распыления внутри камеры.
2. Модуль по п.1, в котором источник питания является достаточным для поддержания или для изменения электрического выходного сигнала на основании заданного значения или заданного диапазона.
3. Модуль по п.1, в котором электрический входной сигнал является входным сигналом трехфазного переменного тока от около 380 В до около 600 В, от около 50 Гц до около 60 Гц.
4. Модуль по п.1, дополнительно содержащий магнетрон, физически связанный с крышкой.
5. Модуль по п.4, в котором магнетрон выбран из плоского магнетрона и цилиндрического магнетрона.
6. Модуль по п.4, при этом магнетрон является цилиндрическим магнетроном, а модуль дополнительно содержит первый концевой блок и второй концевой блок, физически связанные с крышкой, при этом первый концевой блок и второй концевой блок вместе являются достаточными для поддержки цилиндрического магнетрона.
7. Модуль по п.1, дополнительно содержащий кожух, который, по меньшей мере, частично вмещает источник питания.
8. Модуль по п.1, дополнительно содержащий кожух, при этом источник питания физически связан с крышкой через кожух.
9. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру и, по меньшей мере, один соединитель камеры, связанный с камерой, при этом модуль содержит:
модуль, содержащий крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры;
источник питания, физически связанный с этой крышкой или другой крышкой, связанной с расположенной поблизости камерой, или устройством для нанесения покрытий, при этом источник питания является достаточным для приема электрического входного сигнала и для выдачи электрического выходного сигнала, достаточного для распыления внутри камеры; и
соединитель, физически связанный с модулем, достаточный для соединения с соединителем камеры, когда крышка и камера достаточно позиционированы одна относительно другой, из условия, чтобы электрическая связь обеспечивалась между источником питания и камерой.
10. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру и, по меньшей мере, один соединитель камеры, связанный с камерой, модуль содержит:
модуль, содержащий крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры;
источник питания, физически связанный с этой крышкой, другой крышкой, связанной с расположенной поблизости камерой, или устройством для нанесения покрытий, при этом источник питания является достаточным для приема электрического входного сигнала и для выдачи электрического выходного сигнала, достаточного для распыления внутри камеры; и
соединитель, физически связанный с модулем, достаточный для соединения с соединителем камеры, когда крышка и камера достаточно расставлены одна относительно другой из условия, чтобы сообщение по текучей среде обеспечивалось между источником текучей среды и камерой.
11. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру и, по меньшей мере, один соединитель управления, связанный с камерой, при этом модуль содержит:
модуль, содержащий крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры; и
источник питания, физически связанный с этой крышкой, другой крышкой, связанной с расположенной поблизости камерой, или устройством для нанесения покрытий, при этом источник питания является достаточным для приема электрического входного сигнала и для выдачи электрического выходного сигнала, достаточного для распыления внутри камеры;
при этом модуль является достаточным для соединения с соединителем управления из условия, чтобы управляемая электрическая связь обеспечивалась между источником питания и камерой.
12. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру и, по меньшей мере, один соединитель управления, связанный с камерой и достаточный для связи с контроллером, модуль содержит:
модуль, содержащий крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры; и
источник питания, физически связанный с этой крышкой, другой крышкой, связанной с расположенной поблизости камерой, или устройством для нанесения покрытий, при этом источник питания является достаточным для приема электрического входного сигнала и для выдачи электрического выходного сигнала, достаточного для распыления внутри камеры;
при этом модуль является достаточным для соединения с соединителем управления и связан с идентификатором, достаточным для распознавания контроллером.
13. Модуль для использования совместно с устройством для нанесения покрытий, которое содержит, по меньшей мере, одну камеру, по меньшей мере, одну форвакуумную линию и, по меньшей мере, один соединитель форвакуумной линии, физически связанный с форвакуумной линией, при этом модуль содержит:
крышку, достаточную для плотного прилегания к проему камеры;
по меньшей мере, один насос, физически связанный с крышкой и достаточный для обеспечения вакуума в камере; и
соединитель модуля, физически связанный с модулем и достаточный для автоматического соединения с соединителем форвакуумной линии, когда крышка и камера достаточно позиционированы одна относительно другой.
14. Модуль по п.13, в котором, по меньшей мере, один соединитель из соединителя форвакуумной линии и соединителя модуля содержит сильфон.