Держи станок шире

Держи станок шире

На разработку оборудования для полупроводников направят больше 100 млрд руб.

Российские власти намерены к 2027 году фактически с нуля создать в стране машиностроение для микроэлектроники, разработав оборудование для всех циклов производства полупроводников. Стоимость проекта оценивается в сумму больше 100 млрд руб. На фоне инвестиций глобальных игроков индустрии цифры выглядят скромно: ASML только в прошлом году направила на R&D €3,25 млрд. Но проблема, предупреждают эксперты, не только в деньгах: в России буквально единицы специалистов, способных заниматься такими разработками.

Фото: Эмин Джафаров, Коммерсантъ

В период 2023–2025 годов на проведение опытно-конструкторских работ (ОКР) по разработке оборудования для производства микро-, СВЧ-, силовой и оптоэлектроники, а также специализированных материалов будет направлено более 100 млрд руб., сообщили “Ъ” в Минпромторге.

Финансирование, уточнили в министерстве, будет организовано за счет субсидирования работ по действующим механизмам государственной поддержки, а также работ по государственным закупкам по 44-ФЗ в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации». Соотношение бюджетного и внебюджетного финансирования в Минпромторге не уточнили.

В целом только в 2024 году на поддержку микроэлектронной индустрии будет направлено 210 млрд руб. «В 2020 году бюджетные инвестиции не превышали 10 млрд руб. по году, в нынешнем году они составили уже 147 млрд руб., а в следующем превысят 210 млрд»,— заявил 10 октября вице-премьер и глава Минпромторга Денис Мантуров (цитата по «Интерфаксу»).

Сегодня глобальный рынок производства передового оборудования для выпуска микроэлектроники фактически монополизирован голландской ASML: Fitch в апреле 2023 года оценивал ее долю на рынке литографов по доходам в 90%; Moody's в августе 2023 года — в «более 80%». Остальной рынок делят японские Nikon и Canon. Согласно отчетности ASML за 2022 год, компания вложила в R&D по итогам прошлого года €3,25 млрд (343,48 млрд руб. по курсу ЦБ на 11 октября).

Судя по выступлению гендиректора Международного научно-технологического центра МИЭТ (МНТЦ МИЭТ, был учрежден в 2021 году в качестве центра компетенций электронного машиностроения) Олега Нефедова на форуме «Микроэлектроника 2023» в рамках профильной пленарной сессии, по итогам реализации всех ОКР власти намерены получить к 2027 году практически полную номенклатуру оборудования для производства микроэлектроники на трех ключевых этапах.

Речь идет о выпуске кремниевых пластин, планарном цикле и процедуре резки кремния. Помимо этого, планируется субсидировать разработку систем автоматизированного проектирования (САПР).

Это, например, фотолитографы, установки ионной имплантации, кластеры плазмохимического травления, установки для выращивания кремния и т. д. Первую российскую фотолитографическую установку с нормой 350 нм власти намерены получить в 2024 году — ее разработкой сейчас занимается ЗНТЦ, говорится в презентации МНТЦ МИЭТ, с которой ознакомился “Ъ”.

Денис Мантуров, вице-премьер и глава Минпромторга, 10 октября:

«В следующем году мы рассчитываем получить наш литограф для топологии 350 нанометров».

Из материалов также следует, что на ряде этапов производства на российских заводах будет использоваться оборудование из КНР и Белоруссии. Для реализации планов Минпромторг планирует запустить 54 профильных ОКР только в следующем году.

Впрочем, уже сейчас проект сталкивается с рядом проблем, подчеркнул в ходе профильной сессии Олег Нефедов. По его словам, проблема в том, что компетенции для реализации ОКР имеют только предприятия, относящиеся к малому и среднему бизнесу. Из-за этого они не могут исполнять условия субсидий по 50% софинансирования работ.

У компаний, по словам Нефедова, есть проблемы с получением бюджетных средств на разработку и по 44-ФЗ, который требует от исполнителя опыта в выполнении нужных ОКР: «У организации нет компетенций по выполнению таких работ, большинство из них не могут выполнить этот норматив».

Проблемы существуют не только в бюрократической, но и в практической плоскости.

Член-корреспондент РАН, заместитель заведующего кафедрой микро- и наноэлектроники МФТИ Евгений Горнев подчеркивает, что попытка ускоренными темпами разработать широкую номенклатуру оборудования для производства микроэлектроники уже сейчас сталкивается с рядом трудностей. Дело в том, говорит господин Горнев, что даже крупные предприятия, обладающие компетенциями в разработках в области машиностроения еще с советских времен, с опаской берутся за исполнение подобных ОКР.

«У предприятий не хватает ни сотрудников, способных просчитать технологический процесс работы таких установок, ни ученых, обладающих достаточными знаниями в области, например, практической физики»,— объясняет господин Горнев. Он рассказал, что «не так давно» помогал сотрудникам Минпромторга и руководству одного из предприятий найти профильных специалистов: «Их в России оказалось буквально четыре-пять человек. Всем или под 80, или за 80 лет».