СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Способ нанесения покрытий в вакууме путем нанесения на изделие отражающего слоя и последующего осаждения на него покрытия из газовой фазы в плазме тлеющего разряда, отличающийся тем, что в качестве материала покрытия используют кремнийорганическое соединение гексаметилдисилозана (ГМДСN), которое переводят в парообразное состояние, смешивают с парами воздуха в соотношении 1:2, а осаждение материала на поверхность изделия ведут при парциальном давлении ГМДСN 13,3÷26,6 Па и парциальном давлении воздуха в пределах 39,9÷53,2 Па.