МЕТОД ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ

2
4
2
2
4
2
2
2
Метод обработки поверхности эпитаксиальных кремниевых пластин для формирования активных областей, отличающийся тем, что кремниевые пластины подвергают двухстадийной обработке в двух ваннах с различными растворами: в первой ванне содержится раствор в смеси «КАРО», состоящий из серной кислоты и перекиси водорода (HSO:HO) в соотношении компонентов 7,2:1,2 при температуре Т=105±5°C; во второй ванне содержится раствор «ПАР», состоящий из водного аммиака, перекиси водорода и деионизованной воды (NHOH:H0:HO) в соотношении компонентов 1:4:22 при температуре Т=65°C, длительность обработки поверхности пластин в каждой из ванн по 5 минут, при этом количество пылинок составило 3 шт.