ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ИЗ СПЕЧЕННОЙ КЕРАМИКИ, ФОРМА КОТОРОЙ БЛИЗКА ЗАДАННОЙ

1. Датчик, в состав которого входит корпус датчика и отклоняемый элемент, установленный на корпусе датчика, при этом отклоняемый элемент реагирует на измеряемый параметр, а характерной особенностью датчика является корпус датчика, при этом датчик и отклоняемый элемент, выполнены из спеченной керамики, в состав которой входит, по крайней мере, одно из следующих веществ: шпинель из оксинитрида алюминия и шпинель из алюмината магния.
2. Датчик по п.1, при этом измеряемым параметром является давление, и при этом корпус датчика и отклоняемый элемент образуют, по крайней мере, одну камеру для измерения давления.
3. Датчик по п.2, отличающийся тем, что в состав датчика входит емкостный дифференциальный манометр, и тем, что в состав отклоняемого элемента входит центральная мембрана, расположенная между первой камерой и второй камерой, при этом центральная мембрана отклоняется в зависимости от давления жидкости в первой и второй камерах.
4. Датчик по п.1, при этом в состав корпуса датчика входит:
первая часть с камерой и вторая часть с камерой;
отличающийся тем, что первая часть входит во вторую часть и присоединена к ней; и тем, что между камерой первой части и камерой второй части установлен отклоняемый элемент.
6
-1/2
5. Датчик по п.1, отличающийся тем, что в состав спеченной керамики входит керамический материал, модуль упругости которого ниже приблизительно 350 ГПа (50,8×10 футов на квадратный дюйм), а вязкость разрушения, превышает приблизительно 1,5 МПа·м.
6. Датчик по п.1, отличающийся тем, что к поверхности корпуса датчика крепится металлический датчик температуры.
7. Датчик по п.1, при этом корпус датчика состоит из первой части дифференциального манометра и второй части дифференциального манометра, отделенной от первой части и связанной с ней металлической трубкой.
8. Датчик давления, в состав которого входит
первая камера;
первая мембрана, расположенная рядом с первой камерой, при этом первая мембрана и первая камера выполнены из керамики, форма которой близка заданной, в состав которой входит, по крайней мере, одно из следующих веществ: шпинель из оксинитрида алюминия и шпинель из алюмината магния.
9. Датчик давления, в состав которого входит
корпус датчика;
мембрана с опорой на корпус датчика, отклоняемая в зависимости от давления жидкости, при этом корпус датчика и мембрана изготовлены из керамики, форма которой близка заданной, в состав которой входит, по крайней мере, одно из следующих веществ: шпинель из оксинитрида алюминия и шпинель из алюмината магния; и
средство формирования выходного сигнала, соответствующего давлению, измеренному на основе отклонения мембраны.
10. Способ изготовления датчика давления, включающий:
формование из спеченной керамики корпуса датчика и мембраны, форма которой близка заданной в состав которой входит, по крайней мере, одно из следующих веществ: шпинель из оксинитрида алюминия и шпинель из алюмината магния;
механическую обработку корпуса датчика и мембраны до получения размеров готового изделия; и
сборку корпуса датчика и мембраны с получением датчика.