Устройство перемещения для нанотехнологии

УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием. Авторское свидетельство СССР № 1713065, кл. Н 02 L 41/09,1991 г.
Недостатком аналога является невозможность одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке расположенных на близком расстоянии друг от друга.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием и подложку, установленную на подвижном столе. Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ 2000. - 69 с., ил. - стр. 4-5
Недостатком прототипа также является невозможность независимого одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при вьшолнении различных нанотехнологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность независимого одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при вьщолнении различных аналитико-технологических операций.
МПК 7 Н 02 L 2/00, Н 01 L 41/00
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения для нанотехнологии, содержащее зонд, пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, и подложку, установленную на подвижном столе, согласно e36ii/ Hi-/1. установлены дополнительные пьезоприводы, жестко связанные с упомянутым пьезоприводом посредством торсионов, параллельных относительно друг друга, с каждым дополнительным пьезоприводом жестко связан дополнительный зонд, все дополнительные пьезоприводы размещены в пространстве с возможностью раздельной и независимой подачи на них управляющих напряжений, таким образом, чтобы исключить контактное взаимодействие между соседними дополнительными пьезоприводами, зондами и торсионами, при этом каждый торсион, жестко связанный с ним дополнительный пъезопривод и связанный с этим пъезоприводом дополнительный зонд расположены на одной оси.
Введение в устройство перемещения для нанотехнологии жестко связанных между собой торсионов, дополнительных пъезоприводов, зондов обеспечивает возможность независимого одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга.
Сущность полезной модели поясняется фиг. 1, где показано устройство перемещения для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологии (фиг. 1) содержит основной пьезопривод 1, жестко связанный с неподвижным основанием 2 и подложку 3, установленную на подвижном столе 4. На основном пьезоприводе 1 установлены дополнительные 5, жестко связанные с основным 1 по средствам параллельных торсионов 6. С каждым дополнительным пьезоприводом 5,связан
.
- J
.
зонд 7. Все дополнительные пьезоприводы 5 расположены в пространстве с возможностью раздельной и независимой подачи на них напряжения от блока питания 8. При этом дополнительные пьезоприводы 5 «не мешают друг другу: контактное взаимодействие между соседними дополнительными пьезоприводами 5, зондами 7 и торсионами отсутствует (фиг. 1). При этом каждый торсион 6, жестко связанный с ним дополнительный пьезопривод 5 и связанный с этим пьезоприводом 5 зонд 7 расположены на одной оси. Количество пьезоприводов 5 не ограничено.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом. При передаче напряжения на основной пьезопривод 1 происходит синхронное перемещение всех пяти дополнительных пьезоприводов 5 (фиг. 1).
Пастройка каждого зонда 7 на неровнзто поверхность подложки 3 обеспечивается подачей напряжений на каждый дополнительный пьезопривод 5 от блока питания 8.
Применение предложенного устройства перемещения для нанотехнологии позволяет одновременно и независимо зондировать несколько точек на поверхности подложки, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных нанотехнологических операций.