СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫМ ИСПАРЕНИЕМ В ВАКУУМЕ

Способ нанесения покрытий электронно-лучевым испарением в вакууме, характеризующийся тем, что нагревают рабочий материал электронным пучком, формируют разряд в парах рабочего материала, поддерживают постоянной величину тока разряда путем корректировки тока электронного пучка при выбранном значении напряжения на аноде и контролируют требуемую толщину покрытия с помощью интегратора тока разряда.