СПОСОБ И УСТРОЙСТВО РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ

1. Устройство для осуществления контроля шероховатости оптических элементов с использованием диффузного рассеяния мягкого рентгеновского излучения, характеризующееся тем, что оно содержит установленные на плите трехкоординатный прецизионный стол с размещенными на нем рентгеновской трубкой, излучающей в мягком рентгеновском диапазоне, и ионным источником для чистки мишени, камеру монохроматора с установленными в ней монохроматором и монитором интенсивности зондирующего пучка, и камеру для исследуемых образцов с размещенным в ней пятиосным гониометром, при этом камера монохроматора и камера для исследуемых образцов соединены между собой через первый шибер, в качестве монохроматора использован сферический объектив Шварцшильда, камера монохроматора соединена с магниторазрядным насосом, а камера для исследуемых образцов через второй шибер последовательно соединена с турбомолекулярным и форвакуумным безмасляным насосами соответственно.
2. Устройство по п.1, характеризующееся тем, что длина волны излучения рентгеновской трубки составляет 13,5 нм.