ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗАТОР ЭНЕРГИЙ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Электростатический энергоанализатор заряженных частиц, содержащий коаксиально размещенные внутренний и внешний цилиндрические электроды, экранирующий электрод, электрически связанный с внутренним цилиндрическим электродом; конический электрод с углом наклона образующей конуса около 32°, электрически и механически связанный с внешним цилиндрическим электродом, корректирующее кольцо, электрически изолированное от внутреннего и внешнего цилиндрических электродов, выполненные на боковой поверхности внутреннего цилиндрического электрода и затянутые мелкоструктурной металлической сеткой входную и выходную кольцевые прорези (окна) для пролета вторичных электронов, исследуемый образец, встроенную электронную пушку для формирования сфокусированного пучка первичных электронов, выходную кольцевую диафрагму, приемник вторичных электронов, блок развертки потенциала внешнего цилиндрического электрода; делитель напряжения развертки, подключаемый к корректирующему кольцу, отличающийся тем, что вблизи входного окна размещается конический электрод, создающий электростатическое поле в рабочем пространстве анализатора, обеспечивающее угловую фокусировку второго порядка с центральным углом 20°.