СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ НАНОСЛОЯ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ ПРИ ГИДРОФОБИЗАЦИИ СУБСТРАТА

Способ контроля толщины нанослоя аморфного кремния при гидрофобизации субстрата, включающий в себя этапы:
а) подготовки по меньшей мере одной поверхности субстрата;
b) осаждения аморфного кремния на по меньшей мере одной подготовленной поверхности субстрата, при этом осуществляют контроль толщины осаждаемого нанослоя аморфного кремния посредством того, что способ включает в себя этапы, на которых осуществляют:
предварительный расчет суммарной площади поверхности, на которой формируют нанослой аморфного кремния,
расчет объема полости, в которой осаждают нанослой аморфного кремния,
подачу гидрида кремния в количестве, необходимом для получения заданной толщины нанослоя,
контроль степени преобразования гидрида кремния в кремний при изменении величины абсолютного давления процесса с ростом температуры процесса.