ИЗГОТОВЛЕНИЕ САМОСТОЯТЕЛЬНЫХ ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ СЛОЕВ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКОЙ ПОДЛОЖЕК С ПОЛИМЕРОМ

1. Способ изготовления самостоятельного твердотельного слоя, согласно которому:
берут твердотельный материал, имеющий по меньшей мере одну поверхность, пригодную для формирования на ней слоя,
формируют слой полимера на указанной поверхности и
изменяют локальную температуру указанного твердотельного материала и слоя полимера от первой температуры, которая не выше примерно 300°C, до второй температуры, которая ниже примерно комнатной температуры, чтобы вызвать разламывание указанного твердотельного материала вдоль плоскости в толщине материала для изготовления по меньшей мере одного самостоятельного твердотельного слоя из указанного твердотельного материала.
2. Способ по п.1, в котором первая температура равна примерно комнатной температуре.
3. Способ по п.1, в котором берут твердотельный материал, который включает материал, выбранный из группы, состоящей из монокристаллического кремния, поликристаллического кремния, монокристаллического германия, поликристаллического германия, кварца, алмаза, сапфира, графита, карбида кремния и стекла.
4. Способ по п.1, в котором:
берут твердотельный материал, содержащий структуру, имеющую две поверхности, противоположные друг другу и, по существу, параллельные друг другу, каждая из которых пригодна для формирования на ней слоя полимера,
формирование слоя полимера включает формирование слоя полимера на каждой из двух указанных поверхностей, а
изготовление по меньшей мере одного самостоятельного твердотельного слоя из указанного твердотельного материала включает изготовление по меньшей мере двух самостоятельных твердотельных слоев из указанного твердотельного материала.
5. Способ по п.1, в котором берут твердотельный материал, который включает структуру, имеющую поверхность, подходящую для формирования на ней слоя, которая содержит топологические поверхностные отличительные особенности.
6. Способ по п.1, в котором берут твердотельный материал, который включает структуру, содержащую микроэлектронные устройства.
7. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированного на указанной поверхности, имеет толщину по меньшей мере примерно 0,01 мм.
8. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, сохраняет адгезию с твердотельным материалом во время изменения локальной температуры.
9. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, является эластомерным материалом.
10. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, имеет предел текучести, который предотвращает образование трещин или разрушение полимерного слоя при вызывании разламывания твердотельного материала.
11. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, содержит полидиметилсилоксан.
12. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, отличается температурой перехода в стеклообразное состояние, которая ниже первой температуры и которая в достаточной мере низка для предотвращения разламывания полимера при вызывании разламывания твердотельного материала.
-6
-1
13. Способ по п.1, в котором слой полимера, сформированный на указанной поверхности, имеет коэффициент теплового расширения, который по меньшей мере примерно на 50×10К больше коэффициента теплового расширения твердотельного материала.
14. Способ по п.1, в котором вторая температура, воздействующая на твердотельный материал и слой полимера, не выше примерно -20°C.
15. Способ по п.1, в котором вторая температура, воздействующая на твердотельный материал и слой полимера, не выше примерно температуры кипения жидкого азота.
16. Способ по п.1, в котором изменяют локальную температуру твердотельного материала и слоя полимера путем погружения в жидкий азот.
17. Способ по п.1, в котором изменяют локальную температуру твердотельного материала и слоя полимера путем охлаждения промежуточной структуры, расположенной между охлаждающей средой и твердотельным материалом и слоем полимера.
18. Способ по п.1, в котором дополнительно:
сохраняют слой полимера на поверхности изготовленного самостоятельного слоя,
формируют второй слой полимера на пригодной поверхности, противоположной поверхности, содержащей слой полимера, и
изменяют локальную температуру указанного самостоятельного слоя и слоя полимера от первой температуры до второй температуры, чтобы вызвать разламывание указанного самостоятельного слоя в его толщине для изготовления по меньшей мере одного дополнительного самостоятельного слоя.
19. Способ по п.1, в котором:
полимер имеет предел текучести, который предотвращает его разламывание или разрушение при температурах ниже примерно -20°C и который сохраняет адгезию с указанной пригодной поверхностью при температурах ниже примерно -20°C, и
вторая температура не выше примерно -20°C.
20. Способ по п.1, в котором формирование слоя полимера на указанной поверхности включает нанесение полимера в жидком состоянии на указанную поверхность и отверждение указанного жидкого полимера для формирования, по существу, твердого слоя полимера.