БАЗОВЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ИМЕЮЩИЙ МНОЖЕСТВО ПРОВОДЯЩИХ ЗОН

1. Базовый элемент, содержащий множество проводящих зон, электрически изолированных друг от друга, в котором:
множество проводящих зон, электрически изолированных друг от друга непрерывными окисленными зонами; и
каждая окисленная зона сформирована окислом, созданным из материала, имеющего множество сквозных отверстий или бороздок, сформированных в нем.
2. Базовый элемент по п.1, в котором наиближайшее расстояние между множеством сквозных отверстий или борозд равняется 2 мкм или меньше.
3. Базовый элемент по п.1, в котором разница между толщиной участка материала, в котором сформирована каждая бороздка, и глубиной каждой бороздки, которая соответствует толщине материала, существующего под нижней поверхностью каждой бороздки, равна 2 мкм или меньше.
4. Базовый элемент по п.1, в котором сквозные отверстия или бороздки имеют глубину 100 мкм или меньше.
5. Способ изготовления базового элемента, имеющего множество проводящих зон, электрически изолированных друг от друга, содержащий этапы, на которых:
формируют множество сквозных отверстий или бороздок с тем, чтобы быть размещенными с интервалами на материале основания; и
термически окисляют материал основания, по меньшей мере, на внутренней поверхности множества сквозных отверстий или бороздок с тем, чтобы формировать непрерывные окисленные зоны, включающие в себя множество сквозных отверстий или бороздок, тем самым формируя множество проводящих зон, которые электрически изолированы друг от друга на материале основания.
6. Способ изготовления базового элемента по п.5, в котором этап формирования окисленных зон включает формирование нитрида кремния на участках иных, чем внутренняя поверхность сквозных отверстий или бороздок в материале основания до термического окисления материала подложки.
7. Датчик ускорения, содержащий базовый элемент по п.1, в котором базовый элемент содержит подвижный элемент для обнаружения ускорения.
8. Гироскоп, содержащий базовый элемент по п.1, в котором базовый элемент содержит подвижный элемент для обнаружения силы, вызванной угловой скоростью.
9. Исполнительный механизм, содержащий базовый элемент по п.1, в котором базовый элемент содержит подвижный элемент для преобразования входного усилия электрической энергии в физическое движение.
10. Датчик разности потенциалов, содержащий базовый элемент по п.1, в котором базовый элемент содержит подвижный элемент, имеющий обнаруживающую электродную часть для вывода электрического сигнала согласно потенциалу измеряемого объекта.