СПОСОБ ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ ЧАСОВ

1. Способ термической обработки микромеханического компонента часов, изготавливаемого по LIGA-технологии и имеющего очень низкую тепловую инерцию, включающий в себя этап местного нагрева одной зоны микромеханического компонента часов для увеличения его твердости посредством местного изменения фазового состояния, при этом компонент нагревают в течение достаточно короткого периода времени, чтобы термическая обработка оказывала влияние только на локально нагреваемую зону, а фазовое состояние термически необработанных участков компонента оставалось неизменным.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для местной закалки компонента используется лазерный луч, система индукционного нагрева, микрогорелка с дутьем или предварительно нагретый элемент, который локально нагревает компонент или посредством прямого контакта или посредством излучения.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ применяют для любого типа микромеханической детали часов, изготавливаемой по LIGA-технологии из материала, выбранного из группы, образованной из никеля и сплавов никеля и фосфора, вольфрамовых или железных сплавов, и микромеханических деталей часов, изготавливаемых обычными способами из материалов, которые могут подвергаться отпуску, например, из углеродистых сталей или сплавов со структурным твердением, например, из медно-бериллиевых сплавов.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что способ применяют для любого типа микромеханической детали часов, изготавливаемой по LIGA-технологии из материала, выбранного из группы, образованной из никеля и сплавов никеля и фосфора, вольфрамовых или железных сплавов, и микромеханических деталей часов, изготавливаемых обычными способами из материалов, которые могут подвергаться отпуску, например, из углеродистых сталей или сплавов со структурным твердением, например, из медно-бериллиевых сплавов.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что зона компонента, которая должна быть подвергнута местному нагреву, доводится до температуры, по меньшей мере, 200°C.
6. Способ по п.2, отличающийся тем, что зона компонента, которая должна быть подвергнута местному нагреву, доводится до температуры, по меньшей мере, 200°C.
7. Способ по п.3, отличающийся тем, что зона компонента, которая должна быть подвергнута местному нагреву, доводится до температуры, по меньшей мере, 200°C.
8. Способ по п.4, отличающийся тем, что зона компонента, которая должна быть подвергнута местному нагреву, доводится до температуры, по меньшей мере, 200°C.
9. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что для осуществления способа микромеханический компонент часов помещают на устройство (10), в котором рассеивается тепло, образующееся в результате нагрева.