СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ФОРМЫ И РАЗМЕРОВ ОСТРИЯ ИГЛЫ ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

1. Способ определения геометрической формы и размеров острия иглы зондового микроскопа, заключающийся в том, что
при помощи зондового микроскопа с исследуемой иглой проводят сканирование калибровочной поверхности,
регистрируют траекторию перемещения иглы зондового микроскопа по сканируемой калибровочной поверхности и принимают ее в качестве рельефа данной поверхности,
отличающийся тем, что
в качестве калибровочной поверхности используют поверхность, точное значение рельефа которой заранее неизвестно, но которая содержит элементы всех размеров, которые только может зарегистрировать зондовый микроскоп с исследуемой иглой,
в процессе сканирования калибровочной поверхности регистрируют по меньшей мере один параметр работы зондового микроскопа, который характеризует условия физического взаимодействия между исследуемой иглой зондового микроскопа и калибровочной поверхностью в ряде ее контрольных точек,
формируют набор моделей, описывающих геометрическую форму и размеры острия иглы зондового микроскопа,
для каждой из указанных моделей строят свою отдельную модель калибровочной поверхности, представляющую собой поверхность, которая удалена от поверхности соответствующей ей модели, описывающей геометрическую форму и размеры острия иглы зондового микроскопа, настолько, чтобы содержащий иглу, аналогичную моделируемой, зондовый микроскоп, аналогичный сканирующему калибровочную поверхность, обеспечивал тот по меньшей мере один параметр работы, который был зарегистрирован на стадии сканирования тестовой поверхности в каждой ее контрольной точке,
в контрольных точках измеренного рельефа для каждой модели, описывающей геометрическую форму и размеры острия иглы, и соответствующей ей модели калибровочной поверхности проверяют выполнение физических условий сканирования, которые определяются по меньшей мере одним параметром работы зондового микроскопа, зарегистрированным при измерении рельефа калибровочной поверхности, и особенностями процесса сканирования,
в качестве геометрической формы и размеров острия исследуемой иглы зондового микроскопа принимают соответственно геометрическую форму и размеры острия иглы, описываемого той моделью, для которой в наибольшей степени наблюдается соответствие упомянутым физическим условиям процесса сканирования.
2. Способ измерения геометрической формы и размеров острия иглы зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что в качестве зондового микроскопа, содержащего исследуемую иглу, выбирают туннельный микроскоп, а в качестве параметров работы зондового микроскопа, которые характеризуют условия физического взаимодействия между исследуемой иглой зондового микроскопа и калибровочной поверхностью, выбирают величину туннельного зазора, и/или напряжение туннельного зазора, и/или туннельный ток.
3. Способ измерения геометрической формы и размеров острия иглы зондового микроскопа по п.1, отличающийся тем, что в качестве зондового микроскопа, содержащего исследуемую иглу, выбирают атомно-силовой микроскоп, а в качестве параметров работы зондового микроскопа, которые характеризует условия физического взаимодействия между исследуемой иглой зондового микроскопа и калибровочной поверхностью, выбирают расстояние между иглой и калибровочной поверхностью, и/или частоту колебаний иглы, и/или угол наклона оси иглы по отношению к калибровочной поверхности.