СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ НА СКАНИРУЮЩЕМ ЗОНДОВОМ МИКРОСКОПЕ И ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТИ

Способ сканирования на сканирующем зондовом микроскопе и формирования изображения поверхности, согласно которому при сканировании зонд или образец перемещают сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных, полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа, отличающийся тем, что сканирование поверхности образца выполняют раздельно для двух участков - поверхности подложки и поверхности структурного элемента, находящегося на подложке, без переустановки образца, формируют изображение поверхности структурного элемента путем вычитания постоянного наклона, определенного по результатам сканирования поверхности подложки.