СЕТЕВАЯ АРХИТЕКТУРА И ПРОТОКОЛ ДЛЯ КЛАСТЕРА ЛИТОГРАФИЧЕСКИХ МАШИН

1. Кластерная система обработки подложки, содержащая один или более литографических элементов (10), причем каждый литографический элемент содержит:
множество подсистем (16) литографии;
управляющую сеть (120), образующую путь управляющей сети между подсистемами литографии и по меньшей мере одним блоком (12) управления элементом для передачи управляющей информации; и
сеть (140) данных, образующую путь сети данных между подсистемами литографии и по меньшей мере одним концентратором (14) сети данных для передачи информации данных из подсистем литографии по меньшей мере в один концентратор (14) сети данных;
причем путь управляющей сети и путь сети данных образуют отдельные и независимые пути передачи данных.
2. Система по п.1, дополнительно содержащая средство (6) внешней связи кластера для взаимодействия с консолью оператора или главной системой (2, 4), причем средство внешней связи системы выполнено с возможностью:
выдачи управляющей информации по меньшей мере одному блоку управления элементом для управления работой одной или более подсистем литографии для экспонирования одной или более полупроводниковых пластин;
выдачи программы процесса блоку управления элементом, причем программа процесса содержит набор заданных команд и ассоциированных параметров, причем каждая команда соответствует заданному действию или последовательности действий, подлежащих выполнению одной или более из подсистем литографии, и параметры дополнительно определяют, как следует выполнить действие или последовательность действий,
приема по меньшей мере части информации данных, принятых посредством концентратора сети данных.
3. Система по п.1 или 2, в которой по меньшей мере один блок управления элементом выполнен с возможностью передачи команд в подсистемы литографии, и при этом подсистемы литографии выполнены с возможностью передачи ответов в блок управления элементом по пути управляющей сети.
4. Система по п.1 или 2, в которой подсистемы литографии выполнены с возможностью передачи информации данных в концентратор сети данных, и концентратор сети данных выполнен с возможностью приема и сохранения информации данных, переданной подсистемами литографии.
5. Система по п.1 или 2, в которой блок управления элементом выполнен с возможностью планирования программы процесса для формирования соответствующей задачи процесса для выполнения подсистемами литографии, причем задача процесса содержит набор команд программы процесса и запланированное время выполнения для каждой из команд.
6. Система по п.5, в которой блок управления элементом выполнен с возможностью формирования задачи процесса, содержащей набор команд программы процесса, и формирования для каждой из команд идентификатора подсистемы литографии, для которой запланировано выполнение команды.
7. Система по п.6, в которой блок управления элементом выполнен с возможностью выполнения задачи процесса путем передачи каждой из команд задачи процесса в идентифицированную подсистему литографии в запланированное время выполнения для каждой из команд.
8. Система по п.7, в которой блок управления элементом выполнен с возможностью передачи каждой из команд задачи процесса в идентифицированную подсистему литографии в запланированное время выполнения для каждой из команд безотносительно к состоянию выполнения предыдущей команды задачи процесса.
9. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой программа процесса определяет заданный период времени для соответствующей команды, и при этом блок управления элементом выполнен с возможностью планирования программы процесса для формирования задачи процесса для выполнения подсистемами литографии, причем задача процесса содержит запланированное время выполнения для каждой команды, причем заданный период времени используется для определения запланированного времени для соответствующей команды в задаче процесса.
10. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой программа процесса определяет первый заданный период времени для соответствующей первой команды, и при этом блок управления элементом выполнен с возможностью задержки инициирования следующей команды, следующей за первой командой, до истечения периода времени и безотносительно к состоянию выполнения первой команды.
11. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой блок управления элементом выполнен с возможностью инициирования действия или последовательности действий для одной из подсистем литографии путем отправки одного или более параметров для действия или действий в подсистему по управляющей сети, и последующей отправки команды, соответствующей действию или действиям, в подсистему.
12. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой при завершении действия или последовательности действий, соответствующих команде, выданной блоком управления элементом, подсистема литографии, которая завершила действие или последовательность действий, выполнена с возможностью уведомления блока управления элементом о завершении, и при приеме инструкции от блока управления элементом - выдачи данных, относящихся к выполнению действия или последовательности действий.
13. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой программа процесса включает в себя условные этапы, запрограммированные в виде альтернативных команд, причем блок управления элементом выполнен с возможностью планирования программы процесса для формирования задачи процесса для выполнения подсистемами литографии, причем задача процесса содержит запланированное время выполнения для каждой команды, и при этом альтернативные команды параллельно запланированы в задаче процесса, и каждой альтернативной команде назначено одно и то же время выполнения таким образом, что время выполнения задачи процесса в целом не изменяется в зависимости от того, какая альтернативная команда выбрана для выполнения.
14. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой подсистемы литографии выполнены с возможностью передачи данных в сеть данных с первой скоростью передачи, а концентратор сети данных выполнен с возможностью приема данных из сети данных со второй скоростью передачи, и при этом вторая скорость передачи значительно выше первой скорости передачи.
15. Система по любому из пп. 1, 2, 6, 7 и 8, в которой блок управления элементом и подсистемы литографии выполнены с возможностью передачи последовательностей сообщений в управляющей сети, и при этом первое сообщение последовательности сообщений содержит два элемента, причем первый элемент содержит строку с типом сообщения и второй элемент содержит справочник с поименованными аргументами для сообщения.