СПОСОБ ПЕРФОРАЦИИ ОТВЕРСТИЙ В ЭЛЕКТРОДАХ ИОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ

Способ перфорации отверстий в электродах ионно-оптической системы, основанный на формировании ионных пучков с последующим их воздействием на обрабатываемую поверхность электрода, отличающийся тем, что перед воздействием ионных пучков на обрабатываемую поверхность собирают ионно-оптическую систему, включая эмиссионный электрод, затем формируют разряд, создавая поток ионов, и направляют его через отверстия эмиссионного электрода на обрабатываемую поверхность электрода, где ионы распыляют материал электрода в точках воздействия.