УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР

Полезная модель относится к области машиностроения, а конкретно к устройствам для формирования наноструктур.
Известно устройство для формирования наноструктуры, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием. [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие // М.: МИЭТ 2000. - 69 с., ил. - стр.4-5 (аналог)]
Недостатком аналога является невозможность формирования капельных наноструктур.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для формирования наноструктур, содержащее неподвижное основание, установленный на нем пьезопривод с зондом, подложку, закрепленную на подложкодержателе, с возможностью электрического взаимодействия с зондом и технологическими материалами. [Лускиновин П.Н. и др. Нанотехнологические процессы и установки // Труды научного семинара «Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур». - М.: МИФИ, 2001. - Вып.1., с.30-47 (прототип)]
Недостатком прототипа также является невозможность формирования капельных наноструктур.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность формирования капельных наноструктур.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве для формирования наноструктур, содержащем неподвижное основание, установленный на нем пъезопривод с зондом, подложку, закрепленную на подложкодержателе с возможностью электрического взаимодействия с зондом и технологическими материалами, согласно
предложенной полезной модели, подложка выполнена из материала, являющего несмачиваемым по отношению к технологическим материалам, необходимым для формирования наноструктуры. Устройство снабжено ионным источником.
Сущность изобретения поясняется фиг.1, где показано устройство для формирования наноструктуры.
Устройство для формирования наноструктуры содержит, неподвижное основание 1, установленный на нем пъезопривод 2 с зондом 3, подложку 5, закрепленную на подложкодержателе 4 с возможностью электрического взаимодействия с зондом 3 и технологическими материалами. В устройство дополнительно снабжено ионным источником 6. Подложка 5 выполнена из материала, являющего несмачиваемым по отношению к технологическим материалам, необходимым для формирования наноструктуры. Например, при использовании галлия в качестве технологического материала, необходимого для формирования наноструктуры, подложка 5 может быть выполнена из кремния или алюминия.
Устройство для формирования наноструктуры работает следующим образом.
С помощью дополнительно введенного ионного источника 6 в области острия зонда 3 создается ионное облако. При подаче потенциала противоположного по знаку заряду ионов на зонд 3 на конце зонда 3 под действием силы взаимного притяжения ионов и противоположно заряженного острия зонда 3, и силы поверхностного натяжения образуется капля вещества. При подведении зонда 3 пьезоприводом 2 к подложке 5 образуется капельная наноструктура, т.к. материал подложки 5 является несмачиваемым по отношению к технологическим материалам, необходимым для формирования наноструктуры.
Применение предложенного устройства для формирования наноструктуры позволяет реализовать процесс формирования капельной наноструктуры.