ИМПЛАНТИРОВАННОЕ ИОНАМИ ОЛОВА КВАРЦЕВОЕ СТЕКЛО

2
16
2
Имплантированное ионами олова кварцевое стекло, представляющее собой основу из диоксида кремния с поверхностным слоем, включающим нанокластеры олова, отличающееся тем, что кварцевое стекло получено путем имплантации ионов олова в импульсном режиме при длительности импульсов 0,3÷0,4 мс, частоте повторения импульсов 12,5÷20 Гц, импульсной плотности ионного тока 0,8÷0,9 мА/см, дозе облучения (4,5÷5)×10 ион/см, энергии ионов олова 30÷35 кэВ и температуре диоксида кремния 60÷350°C, с последующим отжигом имплантированного ионами олова кварцевого стекла при температуре 800÷900°C в течение 50÷70 мин в воздушной атмосфере.