Электронно-лучевая обработка пленок хрома на восстановленном свинцово-силикатном стекле

Известия ТРТУ

Специальный выпуск

ления и кристаллизации. Найдены: характерные размеры зоны оплавления, распределение температуры в расплаве, время кристаллизации жидкой ванны, средняя скорость движения границы раздела фаз. Выполнен расчет наведенного в зоне воздействия электрического поля, напряженность которого достигает близких к про. -лоту и температуру плавления материала. При использовании критерия абсолютной устойчивости монокристалличесого роста (критерий Мюллинса) были найдены оптимальные параметры ЭЛО. Установленные параметры режима ЭЛО учтены в критерии Мюллинса.

УДК 681.7.069.32

С Л. Авдеев, ПТ. Музыков

ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА ПЛЕНОК ХРОМА НА ВОССТАНОВЛЕННОМ СВИНЦОВО-СИЛИКАТНОМ СТЕКЛЕ

С целью улучшения металлизации микроканальных пластин (МКП) было исследовано влияние электронно-лучевой обработки (ЭЛО) на слои хрома, нанесенные на восстановленное свинцово-силикатное стекло (ВССС) методом термического испарения в вакууме. Изучено влияние ЭЛО на фазовый состав, структуру пленок хрома и слоев свинца в приповерхностном слое ВССС, а также на сопротивление пленок хрома. Удельная мощность электронного луча изменялась от 10 до 30-35 Вт/см2 (мощность, при которой происходит испарение хромовой пленки).

Определение фазового состава и тонкой структуры пленки при различных режимах обработки проводили методами рентгеноструктурного анализа. Рентгенограммы образцов с размерами 10 X 10 мм получали с помощью рентгеновского дифрактометра ДР0Н-2,0 в отфильтрованном СиК2-излучении в режиме непрерывной записи на диаграммную ленту со скоростью вращения счетчика 1 град/см.

Анализ рентгенограмм показал, что изменения фазового состава пленки после ее обработки электронным лучом при различных режимах не происходит. Ус, -ках хрома и слоях свинца, что позволяет снизить дефектность структуры, сопротивление пленки и уменьшить внутренние напряжения.

Сопротивление пленки измерялось мостовым и четырехзондовым методами. На основании полученных результатов пришли к следующим выводам:

- -,

пучка;

- максимально сопротивление уменьшается относительно исходного в 10-14

;

-

- ,

уменьшалось, а в ряде случаев - увеличивалось.