СПОСОБ ОТЖИГА ЛЕГИРОВАННЫХ СТРУКТУР

Способ отжига легированных структур, включающий способ обработки кремниевых подложек, где имплантированные слои могут быть подвергнуты лазерному отжигу, отличающийс  тем, что температура подогрева легируемых пластин встроенными нагревател ми равна - 600К, ток ионного пучка - 2 мА и диапазон энергии ионов равен 70±5 кЭв.