СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РАЗМЕРОВ МАЛЫХ ОБЪЕКТОВ С ПОМОЩЬЮ ВАРИООБЪЕКТИВА

1. Способ бесконтактного измерения размеров малых объектов, заключающийся в том, что рассматриваемый объект размещают в задней фокальной плоскости вариообъектива, в задней фокальной плоскости неподвижного объектива размещают две калиброванные рамки, далее осуществляют последовательное совмещение изображения объекта с изображениями двух рамок, фиксацию положения подвижного компонента при этих совмещениях и вычисление размера объекта по двум зафиксированным положениям подвижного компонента, по размеру рамок и конструктивным параметрам вариообъектива, отличающийся тем, что измеряют два положения подвижного компонента при совмещениях изображения объекта с изображениями двух калиброванных рамок, и вычисляют размер объекта.
2. Устройство для бесконтактного оптического измерения размеров малых объектов, содержащее вариообъектив, выполненный в виде комбинации из одного неподвижного и двух подвижных компонентов - первого и второго, считая от неподвижного компонента, две рамки калиброванного размера, расположенные в оптически сопряженной с объектом плоскости, датчик положения первого подвижного компонента и объект, расположенный в задней фокальной плоскости вариообъектива, отличающееся тем, что вариообъектив снабжен двумя кадровыми рамками, размещенными между его неподвижным и первым подвижным компонентами, и датчиком линейного перемещения первого подвижного компонента.
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первый подвижный компонент выполнен с возможностью движения как в ведомом, так и в линейном режиме по отношению к второму подвижному компоненту.