Разработана эффективная методика микроструктурирования сапфира

31.07.2018

Сотрудники отдела поисковых ростовых технологий Института кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН и отдела лазерной атомно-молекулярной технологии Института фотонных технологий РАН разработали методику эффективного и хорошо контролируемого микроструктурирования сапфира с использованием термоплазмонного лазерного жидкостного травления (ТПЛЖТ).

Разработанная технология позволяет формировать микрорельеф на положках сапфира с заданными параметрами без трудоемких и затратных методов ионного травления или фотолитографии.

В основе метода лежит генерация в процессе лазерного облучения сильнопоглощающих плазмонных наночастиц серебра, формируемых в результате лазерной деструкции растворенного в воде прекурсора серебра AgNO3. Процесс травления сапфира осуществляется сверхкритической водой, образующейся на интерфейсе сапфир/вода в результате поглощения лазерного излучения наночастицами серебра и достигаемых при этом ультравысоких температурах и давлениях, существенно превышающих критические значения для воды. В результате совместной работы предложен механизм термоплазмонного лазерного жидкостного травления, а также определены скорости травления, достигающие 100 нм/импульс и выше.

Предложенная методика может найти широкое применение как в нитридных технологиях, так и в биоинженерии.

Подробнее