СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДНОЙ МИШЕНИ ДЛЯ РАСПЫЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ изготовления катодной мишени для распыления керамических материалов в магнетронном оборудовании нанесения керамических покрытий на изделия, включающий послойное нанесение распыляемого материала в виде покрытия на металлическое основание потоком низкотемпературной плазмы путём подачи в поток материала в виде порошковых частиц, отличающийся тем, что в качестве основания используют металлическую катодную мишень, отработавшую свой срок применения по назначению на этом магнетронном оборудовании и имеющую минимальное значение толщины материала основания в области её максимального распыления не менее 2 мм, а покрытие из распыляемого керамического материала наносят на поверхность металлического основания только по месту распыления материала основания с неравномерной толщиной покрытия, превышающего в 1,5-2,5 раза значение глубины области распыления материала основания при его первоначальном применении на данном магнетронном оборудовании, распыляемый керамический материал одного состава наносится на правую, а другого состава на левую часть металлического основания.
2. Способ изготовления катодной мишени по п.1, отличающийся тем, что перед нанесением покрытия из керамического порошкового материала под ним на металлическое основание наносят как минимум один слой согласующего металлического покрытия с толщиной каждого слоя в пределах (0,05…0,10) мм потоком низкотемпературной плазмы путём подачи в поток металлических порошковых частиц.
3. Способ изготовления катодной мишени по п.1, отличающийся тем, что после применения катодной мишени по назначению и распыления керамического покрытия эта катодная мишень повторно используют в качестве металлического основания.