ЭЛЕКТРОИСКРОВОЙ СПОСОБ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН

1. Электроискровой способ резки полупроводниковых пластин из термоэлектрического слоистого материала на основе твердых растворов путем приложения двух электрических импульсов к промежутку между электродом и пластинами в жидкой диэлектрической среде, при этом плоскость реза параллельна кристаллографической оси <0001>, а передние фронты электрических импульсов совпадают во времени, напряжение первого импульса составляет не менее порогового напряжения пробоя промежутка, напряжение второго составляет 1/3 от порогового напряжения пробоя промежутка, длительности импульсов соотносятся как 1:1÷1:2 соответственно, а величины токов соответственно составляют 1,5÷2 А и 2÷8 А.
2. Способ по п.1, характеризующийся тем, что длительность первого импульса составляет 1-5 мкс, а длительность второго 2-15 мкс.
3. Способ по п.1, характеризующийся тем, что в качестве жидкой среды используют дистиллированную деионизованную воду.
4. Способ по п.1, характеризующийся тем, что в качестве электрода используют молибденовую проволоку диаметром 0,15-0,25 мм.