РАДИОЧАСТОТНОЕ УСТРОЙСТВО ГЕНЕРИРОВАНИЯ ПЛАЗМЫ

1. Радиочастотное устройство (A) генерирования плазмы, содержащее:
генератор (5) напряжения и
по меньшей мере один блок (9) зажигания, при этом указанный блок (9) зажигания содержит:
свечу (4) зажигания, выполненную с возможностью генерирования искры между двумя электродами свечи, когда на свечу (4) подается напряжение; и
выключатель (7), установленный между контактом питания свечи (4) и выходом генератора (5) напряжения, при этом выключатель (7) выполнен с возможностью электрического и селективного соединения выхода генератора (5) напряжения с указанным контактом питания свечи (4) при получении командного сигнала (V1), поданного на контакт управления указанного выключателя (7);
причем устройство дополнительно содержит электронный блок (UC) управления, соединенный электрически с указанным контактом управления указанного выключателя (7) и выполненный с возможностью генерирования указанного командного сигнала, отличающееся тем, что электронный блок (UC) управления содержит средства (М) измерения значений, характеризующих изменение во времени выходного напряжения генератора (5) напряжения, при этом устройство содержит средства изменения напряжения и/или частоты электрического тока, подаваемого на указанный контакт питания свечи, в зависимости от значений, измеренных указанными средствами (М) измерения.
2. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.1, отличающееся тем, что электронный блок (UC) управления содержит средства сравнения измеренных значений с теоретическими значениями, предварительно записанными в память устройства.
3. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.1, отличающееся тем, что электронный блок (UC) управления соединен электрически с указанным генератором (5) напряжения, и генератор (5) напряжения выполнен с возможностью изменения выходного напряжения генератора в зависимости от сигнала (Sg) управления генератором, выдаваемого электронным блоком (UC) управления.
4. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.1, отличающееся тем, что электронный блок (UC) управления электрически соединен с указанным генератором (5) напряжения, при этом генератор напряжения выполнен с возможностью изменения частоты электрического тока, генерируемого на выходе генератора (5), в зависимости от сигнала (Sg) управления генератором, выдаваемого электронным блоком (UC) управления.
5. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.1, отличающееся тем, что указанный выключатель (7) выполнен с возможностью изменения частоты электрического тока, подаваемого на указанный контакт питания свечи (4), в зависимости от указанного сигнала (V1) управления, генерируемого указанным электронным блоком (UC) управления.
6. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.1, отличающееся тем, что содержит несколько блоков (9) зажигания заданного типа, при этом каждый выключатель (7) каждого блока зажигания соединен с указанным генератором (5) напряжения и с указанным блоком (UC) управления.
7. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.6, отличающееся тем, что каждый блок (9) зажигания принимает сигнал (V1, V2, V3, V4) управления, соответствующий этому блоку (9) зажигания.
8. Радиочастотное устройство генерирования плазмы по п.6, отличающееся тем, что указанные средства изменения напряжения и/или частоты электрического тока выполнены с возможностью изменения, в зависимости от значений, измеренных указанными средствами (M) измерения, каждого из напряжений и/или частоты электрических токов, подаваемых на контакты питания каждой из свечей (4).
9. Способ управления устройством генерирования плазмы по любому из пп.1-8, характеризующийся тем, что подают электрический ток питания на контакт питания свечи (4) зажигания, затем измеряют значения, характеризующие изменение во времени выходного напряжения генератора (5) напряжения, эти измеренные значения сравнивают с предварительно записанными теоретическими значениями и изменяют напряжение питания, подаваемое на контакт свечи (4), в зависимости от отмеченного отклонения между этими измеренными значениями и предварительно записанными теоретическими значениями.
10. Способ управления по п.9, характеризующийся тем, что для измерения значений, характеризующих изменение во времени выходного напряжения генератора (5) напряжения, производят первое измерение выходного напряжения генератора напряжения, начиная с момента начала подачи питания на данную свечу устройства (Vdébut_all(x)), затем после указанного первого измерения производят второе измерение выходного напряжения генератора питания перед прекращением подачи питания на эту свечу (Vfin_all(x)).