ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МОНИТОРИНГА ПЛАЗМЕННЫХ РЕАКЦИЙ И РЕАКТОРОВ

1. Генерирующая плазму система, содержащая плазменную полость, внутри которой генерируется плазма с применением микроволновой энергии; детекторный блок для измерения интенсивности света, излучаемого плазмой в ультрафиолетовом (УФ) диапазоне и инфракрасном (ИК) диапазоне; и контроллер для регулирования детекторного блока.
2. Генерирующая плазму система по п. 1, дополнительно содержащая волновод, присоединенный к плазменной полости; и полый цилиндр, выступающий из стенки волновода и имеющий нижний закрывающий элемент, который содержит отверстие, причем детекторный блок выполнен с возможностью приема света через указанное отверстие.
3. Генерирующая плазму система по п. 2, в которой отверстие имеет такие размеры, чтобы предотвращать сквозную утечку микроволновой энергии.
4. Генерирующая плазму система по п. 1, в которой детекторный блок содержит датчик для преобразования света в электрический сигнал; плату, содержащую электрический контур, причем датчик установлен на плате, при этом электрический контур выполнен с возможностью обработки электрического сигнала и отправки указанного электрического сигнала в контроллер.
5. Генерирующая плазму система по п. 4, дополнительно содержащая переключаемый полосовой фильтр, расположенный перед датчиком и содержащий один или несколько полосовых фильтров, каждый из которых пропускает свет в соответствующем диапазоне длины волны.
6. Генерирующая плазму система по п. 1, дополнительно содержащая линзу для фокусировки света на детекторный блок.
7. Генерирующая плазму система по п. 1, в которой детекторный блок содержит первый датчик для измерения интенсивности света в ультрафиолетовом диапазоне; и второй датчик для измерения интенсивности света в инфракрасном диапазоне.
8. Генерирующая плазму система по п. 7, дополнительно содержащая первый полосовой фильтр, расположенный перед первым датчиком и выполненный с возможностью пропускания света в ультрафиолетовом диапазоне; и второй полосовой фильтр, расположенный перед вторым датчиком и выполненный с возможностью пропускания света в инфракрасном диапазоне.
9. Генерирующая плазму система по п. 1, дополнительно содержащая волновод, присоединенный к плазменной полости; и оптическое волокно, установленное в волноводе и имеющее один конец для приема света и другой конец, присоединенный к детекторному блоку.
10. Генерирующая плазму система по п. 1, дополнительно содержащая волновод, служащий для передачи микроволновой энергии через себя; внутреннюю стенку, расположенную внутри волновода для определения плазменной полости; переходник, установленный на волноводе и выполненный с возможностью введения газа в плазменную полость и образования вихревого потока внутри плазменной полости с применением газа, причем переходник имеет сквозное отверстие, через которое газ, обработанный плазмой, выходит из плазменной полости; и оптическое волокно, установленное в переходнике, имеющее один конец для приема света и другой конец, присоединенный к детекторному блоку.
11. Генерирующая плазму система по п. 1, дополнительно содержащая волновод, служащий для передачи микроволновой энергии через себя; впуск прямого потока, установленный на волноводе и выполненный с возможностью введения газа в плазменную полость и образования вихревого потока внутри плазменной полости с применением газа; и оптическое волокно, установленное во впуске прямого потока и имеющее один конец для приема света и другой конец, присоединенный к детекторному блоку.