УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОЙ ОБРАБОТКИ ПАРОМ

1. Устройство для вакуумной обработки паром, содержащее:
вакуумную камеру, выполненную с возможностью поддержания внутри нее заранее определенного давления;
технологический сосуд и испарительный сосуд, причем оба расположены в вакуумной камере на расстоянии друг от друга и сообщаются между собой; и
средство нагрева, выполненное с возможностью нагревать технологический сосуд и испарительный сосуд в состоянии, когда в технологическом сосуде расположен обрабатываемый объект, а в испарительном сосуде расположен металлический испаряющийся материал,
причем технологический сосуд и испарительный сосуд соответственно нагревают при помощи средства нагрева, чтобы таким образом вызвать испарение металлического испаряющегося материала при одновременном повышении температуры обрабатываемого объекта до заранее определенной температуры, в результате чего атомы испарившегося металла подаются к поверхности обрабатываемого объекта, находящегося в технологическом сосуде.
2. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1, в котором испарительный сосуд снабжен лотком, выполненным с возможностью размещения в нем металлического испаряющегося материала.
3. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, в котором на открытой верхней поверхности лотка или в соединительном канале между технологическим сосудом и испарительным сосудом установлена регулирующая пластина, которая регулирует количество атомов испарившегося металла, подаваемых в технологический сосуд.
4. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, в котором технологический сосуд представляет собой первый коробчатый корпус, содержащий коробчатую часть, верхняя поверхность которой открыта, и часть-крышку, которая с возможностью снятия установлена на открытой верхней поверхности коробчатой части, причем первая коробчатая часть может помещаться в или извлекаться из вакуумной камеры, и причем давление во внутреннем пространстве первой коробчатой части снижается до заранее определенного давления вместе со снижением давления в вакуумной камере.
5. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, дополнительно содержащее несущую решетку, выполненную с возможностью установки на ней обрабатываемого объекта на заранее определенной высоте от дна технологического сосуда, причем несущая решетка сделана путем размещения множества проволочных стержней.
6. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, в котором испарительный сосуд представляет собой второй коробчатый корпус, содержащий коробчатую часть, верхняя поверхность которой открыта, и часть-крышку, которая с возможностью снятия установлена на открытой верхней поверхности коробчатой части, причем вторая коробчатая часть может помещаться в и извлекаться из вакуумной камеры, и причем давление во внутреннем пространстве второй коробчатой части снижается до заранее определенного давления вместе со снижением давления в вакуумной камере.
7. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, в котором технологический сосуд, испарительный сосуд и средство нагрева изготовлены из материала, не вступающего в реакцию с металлическим испаряющимся материалом, или имеют, по меньшей мере, на их поверхности футеровочную пленку, изготовленную из материала, не вступающего в реакцию с металлическим испаряющимся материалом.
8. Устройство для вакуумной обработки паром по п.1 или 2, в котором обрабатываемый объект представляет собой спеченный магнит из железа - бора - редкоземельного элемента, а металлический испаряющийся материал содержит, по меньшей мере, одно из Dy и Tb.