СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ АНИЗОТРОПИИ ЭЛЕМЕНТА, СОДЕРЖАЩЕГО, ПО МЕНЬШЕЙ МЕРЕ, ОДИН ДЕЛЯЩИЙСЯ МАТЕРИАЛ, И СООТВЕТСТВУЮЩАЯ УСТАНОВКА

1. Способ измерения анизотропии зоны (39) поверхности (17) элемента (1), содержащего, по меньшей мере, один делящийся материал, содержащий этапы, на которых:
направляют пучок света на поверхность (17); и
пропускают пучок света, отраженного от поверхности (17), в поляризационный анализатор (27) с изменяемым направлением (Р) анализа,
отличающийся тем, что содержит этапы, на которых:
направляют пучок света из поляризационного анализатора (27) в устройство (31) получения цифровых изображений,
получают, по меньшей мере, одно цифровое изображение (31) зоны (39) поверхности (17) элемента (1), и
обрабатывают полученное цифровое изображение для измерения анизотропии.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что содержит этапы, на которых:
получают первое изображение зоны (39) при первом направлении (Р) анализа поляризационного анализатора (27),
получают второе изображение зоны (39) при втором направлении (Р) анализа поляризационного анализатора, и
делят, пиксель за пикселем, первое изображение на второе изображение для формирования картографического изображения измерений анизотропии зоны (39).
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что первое и второе направления (Р) анализа, по существу, перпендикулярны.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что для элемента, по меньшей мере, частично полученного осаждением материала в направлении (R) осаждения, первое направление, по существу, перпендикулярно направлению (R) осаждения вблизи зоны (39).
5. Способ по любому из пп.2-4, отличающийся тем, что среднее из значений пикселей вычисляют, по меньшей мере, в одном окне (46) картографического изображения.
2
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что окно соответствует области поверхности (17), площадь которой превышает 30 мкм.
7. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что содержит этапы, на которых:
поворачивают направление (Р) анализа поляризационного анализатора (27) в пределах 360° относительно направления распространения отраженного пучка света при одновременном получении цифровых изображений зоны (39),
устанавливают для каждого пикселя максимальное и минимальное значения, полученные при повороте направления анализа, и
формируют картографическое изображение измерений анизотропии, где в качестве значения для каждого пикселя используют величину отношения максимального значения к минимальному значению.
8. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что направляемый пучок представляет собой пучок неполяризованного света.
9. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что элемент (1) представляет собой частицу ядерного топлива для высокотемпературного реактора.
10. Установка для осуществления способа по любому из пп.1-9, содержащая источник света (21) для направления пучка света на поверхность (17) элемента (1), содержащего, по меньшей мере, один делящийся материал, поляризационный анализатор (27) с изменяемым направлением (Р) анализа, предназначенный для пропускания через него пучка света, отраженного от поверхности (17), устройство (31) получения цифровых изображений, которое принимает отраженный пучок света после прохождения анализатора и формирует, по меньшей мере, одно цифровое изображение (31) зоны (39) поверхности (17) элемента (1), и блок (33) обработки данных, предназначенный для обработки полученного цифрового изображения для измерения анизотропии.
11. Установка по п.10, отличающаяся тем, что устройство получения цифровых изображений (31) представляет собой камеру с переносом заряда.