УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

1. Устройство для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, содержащее:
корпус, имеющий камеру;
вход, выполненный в корпусе для введения газа в камеру;
выход, выполненный в корпусе для выведения газа из камеры;
по меньшей мере, один электрод, проходящий сквозь корпус, причем электрод, по меньшей мере, частично расположен в камере для соединения с захватной частью и содержит:
стержень, имеющий первый конец и второй конец;
головку, расположенную на одном из концов стержня, причем указанная головка имеет наружную поверхность, включающую контактную зону для контакта с захватной частью;
источник питания, соединенный с электродом для подачи на него электрического тока; и
3
наружное покрытие, нанесенное на наружную поверхность электрода вне контактной зоны, причем наружное покрытие имеет более высокую износостойкость, чем никель, измеряемую в мм/Н·м.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что электрод изготовлен из металла основы, причем наружное покрытие нанесено непосредственно на указанный металл основы.

3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что металл основы выбран из группы, включающей медь, серебро, никель, инконель, золото и их сплавы.
6
3
4. Устройство по одному из предшествующих пунктов, отличающееся тем, что наружное покрытие имеет износостойкость, равную, по меньшей мере, 6·10мм/Н·м по методике ASTM G99-5.
6
5. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что наружное покрытие имеет удельную электропроводность, меньшую 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что наружное покрытие включает алмазоподобное углеродное соединение.
7. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что контактная зона свободна от нанесенного покрытия.
8. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что наружное покрытие нанесено на, по меньшей мере, один из элементов: указанную головку вне контактной зоны и указанный стержень.
9. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что наружное покрытие нанесено на стержень и головку вне контактной зоны, причем наружное покрытие на стержне включает материал, отличающийся от материала наружного покрытия на головке.
10. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что стержень свободен от покрытия, нанесенного на указанную наружную поверхность.
11. Устройство по одному из пп.1-3, отличающееся тем, что наружное покрытие имеет толщину в диапазоне от примерно 0,1 до примерно 5 мкм.
12. Электрод для использования в устройстве для осаждения материала на подложку, имеющую первый конец и второй конец, отстоящие друг от друга, с захватными частями, расположенными на каждом конце подложки, содержащий:
стержень, имеющий первый конец и второй конец;
головку, расположенную на одном из концов стержня, причем головка имеет наружную поверхность, включающую контактную зону для контакта с захватной частью; и
3
наружное покрытие, нанесенное на наружную поверхность электрода вне контактной зоны, причем наружное покрытие имеет более высокую износостойкость, чем никель, измеряемую в мм/Н·м.
13. Электрод по п.12, отличающийся тем, что изготовлен из металла основы, причем наружное покрытие нанесено непосредственно на указанный металл основы.

14. Электрод по п.13, отличающийся тем, что металл основы выбран из группы, включающей медь, серебро, никель, инконель, золото и их сплавы.
6
3
15. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что наружное покрытие имеет износостойкость, равную, по меньшей мере, 6·10 мм/Н·м по методике ASTM G99-5.
6
16. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что наружное покрытие имеет удельную электропроводность, меньшую 7·10 Сименс/метр при комнатной температуре.
17. Электрод по п.16, отличающийся тем, что наружное покрытие включает алмазоподобное углеродное соединение.
18. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что контактная зона свободна от нанесенного покрытия.
19. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что наружное покрытие нанесено на, по меньшей мере, один из элементов: указанную головку вне контактной зоны и указанный стержень.
20. Электрод по п.19, отличающийся тем, что наружное покрытие нанесено на стержень и головку вне контактной зоны, причем наружное покрытие на стержне включает материал, отличающийся от материала наружного покрытия на головке.
21. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что стержень свободен от покрытия, нанесенного на указанную наружную поверхность.
22. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что электрод включает чашку с указанной контактной зоной, расположенной внутри части чашки.
23. Электрод по п.22, отличающийся тем, что контактная зона расположена только на боковых стенках чашки.
24. Электрод по п.22, отличающийся тем, что наружное покрытие нанесено на дно чашки.
25. Электрод по одному из пп.12-14, отличающийся тем, что наружное покрытие имеет толщину в диапазоне от примерно 0,1 до примерно 5 мкм.