СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЗАРЯДОВОГО СОСТОЯНИЯ АТОМОВ В СУБНАНОСЛОЙНЫХ ПЛЕНКАХ НА ПОВЕРХНОСТИ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Способ определения зарядового состояния адсорбированных атомов (адатомов) в субнанослойных пленках на поверхности металлов и полупроводников, заключающийся в облучении поверхности корпускулярным потоком, регистрации энергетического спектра потока заряженных частиц, отлетающих от поверхности, и определении по величине энергии заряженных частиц в спектре зарядового состояния адатомов поверхности, отличающийся тем, что поверхность анализируемого объекта облучают ионами инертных газов низких энергий, регистрируют энергетический спектр отраженных ионов от поверхности, измеряют энергетическое положение и величины пиков адатомов субнанослойной пленки и пиков атомов адсорбента (подложки) в энергетическом спектре отраженных ионов, по энергетическому положению пиков в спектре определяют типы адатомов и атомов подложки, затем такие измерения проводят на тест-объекте с различными концентрациями адатомов в пределах от чистой поверхности адсорбента (подложки) до одного моноатомного слоя, далее определяют зависимости величин пиков тест-подложки и адатомов от концентрации адатомов, по отношениям величин пиков адатомов и подложки анализируемого объекта и тест-объекта соответственно определяют концентрацию адатомов на поверхности анализируемого объекта, затем с использованием спектров для чистых массивных материалов подложки и адатомов по линейной экстраполяции определяют величины пиков для найденных концентраций, затем по отношениям измеренных пиков адатомов и подложки анализируемого объекта к линейно-экстраполированным величинам пиков определяют зарядовое состояние адатомов и атомов подложки (адсорбента).