КОМПОЗИЦИОННЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ КОМПОНЕНТ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Способ (1) изготовления композиционного микромеханического компонента (41, 41'), включающий следующие стадии:
а) стадия (10) создания подложки (9, 9'), включающей горизонтальный верхний слой (21) и горизонтальный нижний слой (23), которые изготовлены из электропроводного микрообрабатываемого материала и крепятся друг к другу электроизоляционным горизонтальным промежуточным слоем (22);
б) вытравливание в верхнем слое (21), по меньшей мере, одного рисунка (26) до промежуточного слоя (22) для формирования, по меньшей мере, одного углубления (25) в подложке (9, 9'), в которой будет формироваться, по меньшей мере, одна часть (21, 23) композиционного компонента, изготовленная из микрообрабатываемого материала;
в) стадия (16) нанесения на верхнюю часть указанной подложки электроизоляционного покрытия (30);
г) стадия (18) направленного травления указанного покрытия и указанного промежуточного слоя для того, чтобы покрытие присутствовало только на каждой вертикальной стенке (51, 52), сформированной в верхнем слое (21);
д) стадия (5) выполнения электроосаждения при подсоединении электрода к электропроводному нижнему слою (23) подложки (9, 9'), чтобы сформировать, по меньшей мере, одну металлическую часть (33, 43, 43') композиционного компонента;
е) отделение композиционного компонента (41, 41') от подложки (9, 9').
2. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что после стадии г) на верхнем слое (21) подложки монтируют одну часть (27) компонента, чтобы сформировалась, по меньшей мере, одна выемка (28), которая соединяется с указанным, по меньшей мере, одним углублением, формируя второй уровень (45, 45') указанного компонента.
3. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед стадией д) он включает следующую стадию:
ж) монтаж штифта (29) в указанном, по меньшей мере, одном углублении для того, чтобы в проектируемом композиционном компоненте (41, 41') сформировать отверстие (42, 42').
4. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что стадия б) включает следующие стадии:
з) стадия (11) создания на электропроводном верхнем слое (21), по меньшей мере, одной защитной маски (24);
и) стадия (12) выполнения анизотропного травления указанного верхнего слоя на участках (26), которые не покрыты указанной, по меньшей мере, одной защитной маской;
к) стадия (14) удаления указанной, по меньшей мере, одной защитной маски.
5. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что перед стадией е) он включает следующие стадии:
б') вытравливание рисунка (36, 31) в нижнем слое (23) до указанной металлической части (33, 43, 43'), чтобы сформировать, по меньшей мере, второе углубление (35) в указанной подложке;
в') нанесение на нижнюю часть (23) указанной подложки второго электроизоляционного покрытия (38);
д') выполнение электроосаждения при подсоединении электрода к электропроводному нижнему слою (23) подложки (9'), чтобы завершить формирование металлических частей (33, 43', 45', 47') указанного компонента.
6. Способ (1) по п.5, отличающийся тем, что после стадии в') он включает следующую стадию:
г') стадия (18) направленного травления указанного второго покрытия, чтобы открыть исключительно нижнюю часть нижнего слоя (23).
7. Способ (1) по п.6, отличающийся тем, что после стадии г') монтируют одну часть компонента для того, чтобы сформировать, по меньшей мере, одну выемку, которая соединяется с указанным, по меньшей мере, одним вторым углублением, обеспечивая создание второго дополнительного слоя указанного компонента.
8. Способ (1) по п.5, отличающийся тем, что перед стадией д') он включает следующую стадию:
ж') монтаж штифта (37) в указанном, по меньшей мере, одном втором углублении (35) в нижнем слое (23) для того, чтобы сформировать отверстие (42') в проектируемом композиционном компоненте (41').
9. Способ (1) по п.5, отличающийся тем, что стадия б') включает следующие стадии:
з') создание, по меньшей мере, одной защитной маски (34) на электропроводном нижнем слое (23);
и') выполнение анизотропного травления указанного нижнего слоя на участках (36, 31), которые не покрыты указанной, по меньшей мере, одной защитной маской;
к') удаление защитной маски (34).
10. Способ (1) по п.1, отличающийся тем, что несколько композиционных микромеханических компонентов (41, 41') изготавливают на одной и той же подложке (9, 9').
11. Способ (1) согласно любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что электропроводные слои (21, 23) содержат легированный материал на основе кремния.
12. Композиционный микромеханический компонент (41, 41'), включающий горизонтальную кремниевую часть (21) с углублением (25), которое вмещает металлическую часть (43, 43'), отличающийся тем, что кремниевая часть (21), выполнена из легированного кремния и включает, по меньшей мере, один вертикальный участок (51, 52), который предназначен для передачи механического усилия и покрыт диоксидом кремния для улучшения трибологических свойств указанного легированного кремния.
13. Микромеханический компонент по п.12, отличающийся тем, что металлическая часть (43, 43') включает участок (45, 45'), который выдается над указанной кремниевой частью для того, чтобы сформировать единственный металлический уровень выше кремниевой части (21).
14. Микромеханический компонент по п.12, отличающийся тем, что указанная кремниевая часть соединена со второй горизонтальной кремниевой частью (23) посредством слоя (22) диоксида кремния.
15. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что вторая кремниевая часть (23) выполнена из легированного кремния и включает вертикальные участки (53, 54), покрытые диоксидом кремния для улучшения трибологических свойств указанного легированного кремния.
16. Микромеханический компонент по п.14, отличающийся тем, что вторая кремниевая часть (23) включает, по меньшей мере, одно углубление (35), которое вмещает вторую металлическую часть (47').
17. Микромеханический компонент по п.16, отличающийся тем, что указанная вторая металлическая часть включает участок, который выдается над указанной второй кремниевой частью, чтобы сформировать единственный металлический уровень ниже второй кремниевой части (23).
18. Микромеханический компонент по п.12, отличающийся тем, что через каждую металлическую часть (43, 43', 45, 45', 47') проходит отверстие (42, 42'), используемое для приведения в движение указанного компонента относительно оси вращения.
19. Часы, отличающиеся тем, что они, включают, по меньшей мере, один композиционный микромеханический компонент по одному из пп.12-18.
20. Часы по п.19, отличающиеся тем, что, по меньшей мере, одна кремниевая часть микромеханического компонента формирует анкерное колесо.
21. Часы по п.19, отличающиеся тем, что, по меньшей мере, одна кремниевая часть микромеханического компонента формирует паллеты анкерного механизма.