Способ изготовления графеновой плёнки и устройство для реализации этого способа

1. Способ изготовления графеновой плёнки на поверхности каталитической подложки, нагретой до температуры 800-1000°C, отличающийся тем, что в качестве каталитической подложки используется медная фольга, в среде углеродсодержащего газа при давлении от 10 до 800 миллибар.
2. Устройство для реализации способа изготовления графеновой плёнки по п. 1, состоящее из вакуумной камеры, в которую любым герметичным способом введены электрические вводы.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве каталитической подложки используют фольгу из никеля, платины.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что каталитическая подложка имеет толщину от 1 мкм до 50 мкм.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед запуском углеродсодержащего газа производят отжиг каталитической подложки в среде водорода и аргона или азота.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что во время отжига каталитической подложки давление в камере имеет значение от 20 до 800 миллибар.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что во время отжига каталитической подложки водород имеет концентрацию от 10% до 90%, всё остальное аргон или азот.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что время отжига каталитической подложки составляет от 1 мин до 60 мин.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что после отжига каталитической подложки запускают углеродсодержащий газ из списка: ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что после отжига каталитической подложки запускают углеродсодержащий газ с концентрацией от 1% до 20%.
11. Способ по п.1 отличающийся тем, что время изготовления графеновой плёнки после напуска углеродсодержащего газа от 1 мин до 60 мин.
12. Устройство по п.2, отличающееся тем, что вакуумная камера имеет цилиндрическую форму.
13. Устройство по п.2, отличающееся тем, что вакуумная камера имеет смотровое окно.
14. Устройство по п.2, отличающееся тем, что вакуумная камера имеет двойные стенки с охлаждением.
15. Устройство по п.2, отличающееся тем, что вакуумная камера имеет отверстие для подключения вакуумного насоса, вакуумметра и подачи газов.