ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ОНТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
Полезная модель относится к контрольно измерительной технике, а именно, к устройствам для измерения отклонения формы полированных поверхностей от номинальной и может быть использована, например, при контроле формы сферических поверхностей оптических деталей.
Известен интерферометр 1 для измерения отклонения формы поверхности от номинальной, состоящий из автоколлимационного устройства, сферических и плоских интерферометрических насадок и узлов для закрепления и юстировки насадок и поверяемых деталей. Автоколлимационное устройство и узлы с насадками и поверяемыми деталями располагаются на горизонтальном столе.
Известен также интерферометр 2, являющийся наиболее близким к предлагаеой полезной модели, в связи с чем он выбран в качестве прототипа. Оптическая схема прототипа представлена на фиг. I.
Интерферометр 2 содержит установленное на горизонтальном столе автоколлимационное устройство с источником излучения и другими элементами, необходимыми для формирования плоского волнового фронта. Далее вдоль оси контроля располагается интерферометрическая насадка и устройство для установки контролируемой детали, имеющее возможность перемещения вдоль оси контроля. Интерферометрическая насадка имеет вогнутую эталонную сферическую поверхность, центр которой совмещен с задним фокусом насадки. Недостатком известного интерферометра 2 является то, что при контроле формы поверхностей с больщими радиусами расстояние L (см. Фиг. 1) между эталонной и поверяемой поверхностями.
М1Ж7 G01 В 9/02
равное сумме величин радиусов эталонной и поверяемой поверхности, становится слишком большим, что приводит к увеличению габаритов интерферометра, а кроме того, отрицательно сказывается на точности контроля из-за влияния большого слоя воздуха и вибраций.
Задачей полезной модели является уменьшение габаритов интерферометра при одновременном повышении точности измерения формы полированных поверхностей с большими радиусами.
Для достижения этого технического результата предлагается интерферометр для контроля оптических деталей, который как и наиболее близкий, выбранный в качестве прототипа, содержит расположенные последовательно вдоль оси контроля автоколлимационное устройство, интерферометрическую насадку с эталонной сферической поверхностью, центр которой совмещен с задним фокусом насадки, и устройство для установки контролируемой детали. Устройстводля установки
контролируемой детали имеет возможность перемещения вдоль оси контроля. Особенностью предлагаемой полезной модели, отличающей ее от известного, принятого за прототип интерферометра 2 , является то, что эталонная сферическая поверхность выполнена выпуклой.
Технический результат, достигнутый в предлагаемой полезной модели, получен за счет того, что задний фокус интерферометрической насадки с выпуклой эталонной поверхностью расположен перед этой поверхностью, в то время как у насадок с вогнутой поверхностью задний фокус расположен за этой поверхностью. Благодаря такому расположению уменьшается расстояние между насадкой и контролируемой поверхностью, так как при контроле центр контролируемой сферической поверхности совмещается с фокусом насадки.
Предлагаемая полезная модель иллюстрируется чертежом (см. фиг. 2), на котором представлена оптическая схема предлагаемого интерферометра. Интерферометр содержит расположенное вдоль оси прибора, являющейся осью контроля, автоколлимационное устройство 1, интерферометрическую насадку 2 с выпуклой эталонной сферической поверхностью 3. Центр выпуклой поверхности 3 совмещен с задним фокусом F интерферометрической насадки 2. Контролируемая деталь 4 с поверяемой поверхностью 5 устанавливается в имеющее возможность перемещения вдоль оси устройство 6.
Контроль формы сферической поверхности осуществляется следующим образом.
Перемещением контролируемой детали 4 вдоль оси и небольшими наклонами ее совмещают центр сферической контролируемой поверхности 3 с фокусом интерферометрической насадки 2. Для выполнения этой операции в автоколлимационном устройстве имеется система совмещения автоколлимационных изображений от эталонной 3 и контролируемой 5 поверхности. При этом волновые фронты, отраженные от эталонной 3 и контролируемой 5 поверхностей интерферируют друг с другом. Вид интерференционной картины - искривление интерференционных полосхарактеризует форму контролируемой поверхности 5. В этом случае, если иметь насадки с радиусами эталонной поверхности от 1 м до максимального радиуса детали с интервалом через 1 м, расстояние между эталонной и поверяемой поверхностью не будет превышать 1 м, так как расстояние L между поверхностями равно:
L  R повер.- R этал. (см. фиг. 2)
Таким образом, с помощью предлагаемого интерферометра создана возможность осуществления с высокой степенью точности контроля формы поверхностей с большими радиусами при минимальных габаритах прибора.
ИСПОЛЬЗОВАННЫЕ ИСТОЧНРЖИ:
1.Натент США 4201473, кл. G01 В 9/02, опубл. 06.05.80.
2.Интерферометр ИКД - 110. Техническое описание и инструкция по эксплуатации. Часть I. Ю-30.60.025 ТО, 1991 - прототип.