СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОСНОВНЫХ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПРОЗРАЧНОГО ОПТИЧЕСКИ АНИЗОТРОПНОГО ОБРАЗЦА

1
2
1
2
1. Способ измерения основных эллипсометрических параметров прозрачного анизотропного образца с помощью двулучевого интерференционного эллипсометра, включающий облучение исследуемого образца поляризованным потоком излучения в одном из плеч эллипсометра, сложение потока, прошедшего через образец, с опорным поляризованным потоком излучения из другого плеча интерферометра, регистрации и анализе переменной составляющей получающегося интерференционного сигнала при вращении образца, отличающийся тем, что обеспечено облучение образца линейно поляризованным излучением, сложение потока излучения из рабочей ветви с линейно поляризованным излучением из опорного плеча, исключением из конструкции поляризационной призмы и приемника излучения из ее ветви отражения и способом измерения, заключающимся в следующем: установив образец в одно из плеч эллипсометра, поворачивают образец на угол не менее 180°, находят положения экстремума интенсивности сигнала с приемника излучения, в этих точках, моделируя по линейному закону длину одного из плеч эллипсометра, измеряют фазы (δ, δ) и амплитуды (А, А) переменных составляющих интенсивности интерференционных сигналов и вычисляют искомые эллипсометрические параметры по формулам
F
S
1
2
Δ=δ=δ-δ=|δ-δ|.
2. Способ измерения основных эллипсометрических параметров по п.1, отличающийся тем, что проводят независимые измерения при облучении волнами с ортогональными линейными поляризациями, переключение которых осуществляется ячейкой Фарадея 90°, установленной перед светоделительной призмой.