СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА И ТЕТРАХЛОРСИЛАНА

1. Способ, включающий стадию а) рециркуляции чистой смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан, в дистилляционный аппарат, и крекинг полихлорсилана и/или полихлорсилоксана, в результате чего получают трихлорсилан, тетрахлорсилан или их комбинации.
2. Способ по п.1, где чистую смесь получают способом, включающим:
б) получение смеси, содержащей полихлорсилан и/или полихлорсилоксан; и
возможно в) удаление твердых частиц из смеси с получением чистой смеси.
3. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в отстойник дистилляционного аппарата.
4. Способ по п.1, где чистую смесь рециркулируют в ребойлер дистилляционного аппарата.
5. Способ по п.1, в котором используют стадию в), и твердые вещества рециркулируют в реактор с псевдоожиженным слоем для получения трихлорсилана.
6. Способ по п.1, где полихлорсилан выбран из группы, состоящей из гексахлордисилана, пентахлордисилана, тетрахлордисилана и их комбинации.
7. Способ по п.1, где полихлорсилоксан выбран из группы, состоящей из тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана и их комбинации.
8. Способ по п.1, где дистилляционный аппарат работает при температуре от 130°С до 280°С, когда время пребывания составляет от 10 суток до 1 часа при давлении от 25 бар (2,5 МПа) до 40 бар (4 МПа).
9. Способ по п.2, дополнительно включающий: г) подачу стока из реактора с псевдоожиженным слоем, производящего трихлорсилан, в дистилляционный аппарат перед стадией б).
10. Способ по п.9, где сток представляет собой поток неочищенного продукта, содержащий тетрахлорсилан, трихлорсилан, твердые частицы кремния и водород.
11. Способ по п.9, дополнительно включающий: д) удаление твердых частиц кремния из стока перед стадией г).
12. Способ по п.1, где катализатор находится в ребойлере.
13. Способ по п.12, где катализатор выбран из группы, состоящей из хлорида титана, олова, алюминия или их комбинации.
14. Способ по п.12, где катализатор содержит металл платиновой группы.