СПОСОБ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ПРОВОДЯЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ПРОВОДЯЩЕЙ ПОДЛОЖКЕ

1. Способ для определения толщины слоя электрически проводящего покрытия (52), которое размещено на электрически проводящей подложке (50) испытываемого объекта, причем способ содержит следующие этапы:
i) определение индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) в датчике вихревых токов в воздухе как функции частоты (ω) поля возбуждения,
j) предоставление множества снабженных покрытием эталонных объектов, которые, соответственно, включают в себя подложку и покрытие из тех же материалов, что и у подложки (50) и покрытия (52) испытываемого объекта, причем эталонные объекты имеют различные известные толщины слоя,
k) определение эталонного напряжения (U(х, ω)) как функции частоты (ω) поля возбуждения для каждого эталонного объекта посредством датчика вихревых токов,
mat
l) определение индуцированного в материале напряжения (U(x)) из эталонного напряжения (U(x, ω) и индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) датчика вихревых токов в воздухе как функции частоты (ω) для каждого эталонного объекта,
mat
m) формирование нормированной амплитуды индуцированного в материале напряжения (U(x)) как функции частоты (ω) для каждого эталонного объекта,
mat
1
n) установление калибровочной кривой, которая представляет нормированную амплитуду индуцированного в материале напряжения (U(x)) как функцию толщины (d) слоя покрытия (52),
o) выполнение этапов (c)-(e) с испытываемым объектом, и
1
p) определение толщины (d) слоя покрытия (52) испытываемого объекта из нормированной амплитуды посредством калибровочной кривой.
mat
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что индуцированное в материале напряжение (U(x)) равно вектору разности в плоскости комплексного напряжения между вектором эталонного напряжения (U(х, ω)) и вектором индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) датчика вихревых токов в воздухе.
mat
mat
mat
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что из комплексного индуцированного в материале напряжения (U(x)) определяются амплитуда (|U(x)|) и/или фаза (φ).
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что предоставляется, по меньшей мере, один эталонный объект без покрытия, с помощью которого определяется дополнительное эталонное напряжение (U(b, ω)) как функция частоты (ω) поля возбуждения посредством датчика вихревых токов.
mat
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что с помощью эталонного объекта без покрытия определяется дополнительное индуцированное в материале напряжение (U(b)) из дополнительного эталонного напряжения (U(b, ω)) и индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) датчика вихревых токов в воздухе.
mat
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что индуцированное в материале напряжение (U(x)) эталонного объекта без покрытия равно вектору разности в комплексной плоскости напряжения между вектором дополнительного эталонного напряжения (U(b, ω)) и вектором индуцированного напряжения (U(воздух, ω)) датчика вихревых токов в воздухе.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что на этапе (а) устанавливается, при какой частоте или каких частотах в датчике вихревых токов наступает резонанс или резонансы.
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что калибровочная кривая устанавливается для такой частоты, при которой не возникает резонанса в датчике вихревых токов.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что для способа применяются исключительно датчики вихревых токов одинаковой структуры.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что для способа постоянно применяется тот же самый датчик вихревых токов.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что применяемый датчик вихревых токов включает в себя гибкий плоскостной элемент (10) и по меньшей мере одну катушку (12, 18, 20, 22, 28, 30).
12. Способ по п.1, отличающийся тем, что применяемый датчик вихревых токов включает в себя по меньшей мере одну катушку (12, 18), которая применяется как катушка возбуждения и как детекторная катушка.
13. Способ по п.1, отличающийся тем, что применяемый датчик вихревых токов имеет по меньшей мере одну отдельную катушку (20, 28) возбуждения и по меньшей мере одну отдельную детекторную катушку (22, 30).
14. Способ по п.11, отличающийся тем, что в применяемом датчике вихревых токов по меньшей мере одна катушка (12, 18, 20, 22, 28, 30) выполнена как плоская проводящая дорожка, которая нанесена на гибкий плоскостной элемент (10).
15. Способ по п.12, отличающийся тем, что в применяемом датчике вихревых токов по меньшей мере одна катушка (12, 18, 20, 22, 28, 30) выполнена как плоская проводящая дорожка, которая нанесена на гибкий плоскостной элемент (10).
16. Способ по п.13, отличающийся тем, что в применяемом датчике вихревых токов по меньшей мере одна катушка (12, 18, 20, 22, 28, 30) выполнена как плоская проводящая дорожка, которая нанесена на гибкий плоскостной элемент (10).
17. Способ по любому из пп.14-16, отличающийся тем, что в применяемом датчике вихревых токов проводящая дорожка катушки (12, 18, 20, 22, 28, 30) выполнена в спиральной форме.
18. Способ по любому из пп.14-16, отличающийся тем, что в применяемом датчике вихревых токов проводящая дорожка катушки (12, 18, 20, 22, 28, 30) выполнена в форме меандра.
19. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложка эталонного объекта идентична с подложкой испытываемого объекта.