СПОСОБ И АППАРАТ ДЛЯ ОБРАЗОВАНИЯ НЕСКОЛЬКИХ МИКРОКАНАЛОВ

1. Аппарат для образования одного или нескольких микроканалов путем абразивной обработки, содержащий абразивную головку, включающую вращающееся абразивное средство и управляющий модуль, механически соединенный с абразивной головкой для управления глубиной абразивной обработки посредством остановки и отведения назад абразивной головки.
2. Аппарат по п.1, в котором абразивная головка содержит маску с множеством отверстий в ней и абразивный диск для образования микроканалов.
3. Аппарат по п.1, в котором абразивная головка содержит датчик для обнаружения изменения электрического сопротивления материала, подвергаемого абразивной обработке.
4. Аппарат по п.1, в котором абразивная головка также содержит блок, измеряющий сопротивление, и датчик, электрически соединенный с абразивной головкой.
5. Аппарат по п.2, в котором абразивная головка также содержит блок, измеряющий сопротивление, и датчик, электрически соединенный с маской.
6. Аппарат по п.1, в котором абразивный диск включает в себя незаменяемый абразивный материал.
7. Аппарат по п.1, в котором абразивный диск включает в себя заменяемый абразивный материал.
8. Аппарат по п.2, в котором абразивный диск включает в себя незаменяемый абразивный материал.
9. Аппарат по п.2, в котором абразивный диск включает в себя заменяемый абразивный материал.
10. Аппарат по п.1, в котором абразивный материал является электропроводным.
11. Аппарат по п.1, дополнительно содержащий основание, которое позволяет абразивному блоку перемещаться в направлении, перпендикулярном поверхности, подвергаемой обработке.
12. Аппарат по п.2, в котором абразивный материал является электропроводным.
13. Аппарат по п.2, дополнительно содержащий основание, которое позволяет абразивному блоку перемещаться в направлении, перпендикулярном поверхности, подвергаемой обработке.
14. Аппарат по п.2, в котором тонкая маска действует в качестве датчика сопротивления за счет ее электрического соединения со схемой измерения сопротивления.
15. Аппарат по п.2, в котором блок, измеряющий сопротивление, управляется компьютером.
16. Аппарат по п.2, в котором тонкая маска, измеряющая сопротивление, управляется компьютером.
17. Аппарат по п.2, в котором толщина маски обусловливает глубину микроканалов.
18. Аппарат по п.2, в котором диаметр отверстий в маске обусловливает глубину микроканалов.
19. Способ образования одного или нескольких микроканалов в материале, содержащий этапы, на которых подвергают абразивной обработке материал, выступающий через маску, имеющую одно или несколько отверстий, и прекращают абразивную обработку материала.
20. Способ образования нескольких микроканалов в материале, содержащий этапы, на которых вращающимся абразивным средством подвергают абразивной обработке материал через маску, имеющую несколько отверстий, определяют электрическое сопротивление материала, подвергаемого обработке, и останавливают абразивную обработку материала при изменении электрического сопротивления материала.