СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКОВ БЕСКИСЛОРОДНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ТИТАНА - КАРБИДА, НИТРИДА И КАРБОНИТРИДА

Способ получения порошков бескислородных соединений титана - нитрида, карбида и карбонитрида в термической плазме в реакторе с ограниченным струйным течением при взаимодействии хлорида титана соответственно с азотом, углеводородом, смесью азота и углеводорода в присутствии водорода, отличающийся тем, что процесс проводится в реакторе, имеющем температуру стенки, на которую осаждается порошок, в диапазоне 300-700°C и процесс состоит из последовательности циклов, включающих следующие стадии: 1 - проведение процесса с участием всех реагентов; 2 - проведение процесса без участия хлорида титана и углеводорода; 3 - удаление порошка со стенок реактора при отсутствии подачи хлорида титана и углеводорода.