Устройство перемещения зонда для нанотехнологии

Устройство перемещения зонда для нанотехнологин.
Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения зонда для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения зонда для нанотехнологии, содержащее механический зонд, закрепленный посредством кронштейна к пьезопри-воду Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154,вьш. 2.- М.: Наука, 1988 - с. 261-278.
Недостатком аналога является отсутствие возможности компенсировать тепловые деформации в пьезоприводе.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения зонда для нанотехнологии. содержащее механический зонд, закрепленный посредством кронштейна к пьезоприводу. Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии.-Учебное пособие / М.: МИЭТ, 2000 - 69 с..
Недостатком прототипа является также отсутствие возможности компенсировать тепловые деформации в пьезоприводе, в следствии которых появляются погрешности в перемещении зонда.
В основу полезной модели положена техническая задача заключающаяся в том, чтобы компенсировать тепловые деформации в пьезоприводе.
Поставленная техническая задача решается тем, что в устройстве перемещения зонда для нанотехнологии, содержащеем механический зонд, закрепленный посредством кронштейна к пьезоприводу, кронштейн выполнен в виде двух полупроводниковых пластин, находящихся в жестком контакте, с возможностью подачи на эти пластины электрического потенциала разного знака, а зонд и кронштейн электрически изолированы между собой.
МПК 7 Н 02L 2/00, Н 01 L 41/00
выполненного в виде двух полупроводниковых пластин, находящихся в жестком контакте, с возможностью подачи на эти пластины электрического потенциа.1а разно1Х) знака, чю и обеспечивает достижение поставленной задачи - компенсирование тепловых деформаций в пьезоприводе.
Супдность изобретения поясняется фиг. 1, где показано устройство перемещения зонда для нанотехнологии.
Устройство перемещения зонда для нанотехнологии содержит механический зонд 1, закрепленный посредством кронштейна 2 к пьезоприводу 3. Кронштейн 2 выполнен в виде двух полупроводниковых пластин, находящихся в жестком контакте, с возможностью подачи на эти пластины электрического потенциала разного знака, а зонд 1 и кронштейн 2 электрически изолированы между собой.
Устройство перемещения зонда для нанотехнологии работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезопривод 3 происходит перемещение кронштейна 2. а для компенсации тепловых деформаций в ньезоприводе на кронштейн 2. состояших из двух полупроводниковых пластин, находящихся в жестком контакте подаче, подают электрические потенциалы разного знака. При прохождении тока через полупроводниковые пластины, в соответствии с эффектом Пельтье одна пластина нагревается, а вторая охлаждается, в результате, чего две пластины начинают изгибаться, что приводит к изменению положения механического зонда 1 в пространстве и компенсация тепловых деформаций в пьезоприводе. зависяшие от природы контактирующих полупроводниковых нластин и температур.
Таким образом, за счет подачи разного знака на кронштейн 2 состоящий из двух полупроводниковых пластин находящихся в жестком контакте происходит его изгибание и компенсация тепловых деформаций в пьезоприводе.