ОСНОВАННАЯ НА МОДЕЛИРОВАНИИ ТРАВИЛЬНОЙ ЛИНИИ ОПТИМИЗАЦИЯ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ ПОДВЕРГАЕМЫХ ТРАВЛЕНИЮ ПОЛОС

1. Способ работы травильной линии, в которой должно подвергаться травлению некоторое количество подвергаемых травлению полос (2), которые, соответственно, имеют начальные свойства материала (МЕ), причем способ работы содержит следующие этапы:
а) компьютер (5) устанавливает некоторое количество последовательностей (Gi), которые содержат, соответственно, определенное количество полос (2), подвергаемых травлению,
b) компьютер (5) определяет для установленных последовательностей (Gi) посредством основанной на физико-математических уравнениях модели (9) травильной линии с применением их начальных свойств материала (МЕ) соответствующий оптимизированный режим работы травильной линии и на основе режима работы по меньшей мере одну соответствующую числовую меру (М),
с) до тех пор, пока не выполнен критерий прерывания (K), компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) в соответствии с предписанием изменения и возвращается назад к этапу b),
d) как только критерий прерывания (K) выполнен, компьютер (5) либо выбирает одну из установленных последними последовательностей (Gi) и инициирует управление травильной линией в соответствии с выбранной последовательностью (Gi), либо предоставляет оператору (13) несколько из установленных последними последовательностей (Gi) вместе с их соответствующей числовой мерой (М) для выбора, принимает от оператора (13) команду выбора (SEL), чтобы выбрать одну из предложенных последовательностей (Gi), и инициирует управление травильной линией в соответствии с последовательностью (Gi), выбранной оператором (13),
причем в качестве критерия прерывания (K) при необходимости может определяться, что:
- не происходят никакие или происходят только незначительные улучшения наилучшей числовой меры (М) в течение некоторого количества последовательных итераций, и/или
- достигнуто предварительно определенное максимальное число итераций, и/или
- определяется последовательность полос, которая считается достаточно хорошей.
2. Способ работы по п. 1, отличающийся тем, что свойства материала (МЕ) полос (2) включают в себя химический состав (С) и/или геометрические параметры (b, h) и/или предысторию (Н) соответствующей полосы (2).
3. Способ работы по п. 1 или 2, отличающийся тем, что компьютер (5) дополнительно принимает относящиеся к полосам (2) и/или относящиеся к травильной линии граничные условия (R1, R2), и что компьютер (5) учитывает граничные условия (R1, R2) в рамках определения соответствующего оптимизированного режима работы травильной линии и/или изменения последовательностей (Gi).
4. Способ работы по пп. 1, 2 или 3, отличающийся тем, что компьютер (5) принимает начальное состояние (ZA) травильной линии и учитывает начальное состояние (ZA) травильной линии в рамках определения соответствующего оптимизированного режима работы травильной линии и/или изменении последовательностей (Gi).
5. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) определяет перед выполнением этапа а) начальную последовательность (GA) полос (2), и компьютер (5) определяет количество последовательностей (Gi) на этапе а) на основе начальной последовательности (GA).
6. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что в числовые меры (М) входят общая длительность процесса (ti) и/или общая потребность в энергии (Ei) травильной линии для травления количества полос (2) согласно соответствующей последовательности (Gi).
7. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) на этапе с), учитывая определенные на этапе b) величины или промежуточные результаты.
8. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что компьютер (5) изменяет установленные последовательности (Gi) на этапе с) с применением методов математической оптимизации.
9. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что этапы а)-d) выполняют во время того, когда полоса (2) уже находится в травильной линии, причем находящаяся в травильной линии полоса (2) в устанавливаемых на этапе а) последовательностях (Gi) является первой полосой (2), и причем находящаяся в травильной линии полоса (2) в изменяемых на этапе с) последовательностях (Gi) остается первой полосой (2).
10. Способ работы по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что во время управления травильной линией согласно выбранной последовательности (Gi) регистрируют рабочие данные травильной линии, и причем модель (9) травильной линии и/или предписание изменения адаптируют на основе отклонения рабочих данных травильной линии от ожидаемых рабочих данных травильной линии.
11. Машиночитаемый программный код для компьютера (5), причем программный код содержит управляющие команды (8), выполнение которых вызывает то, что компьютер (5) выполняет способ работы по любому из предыдущих пунктов.
12. Программный код по п. 11, отличающийся тем, что программный код сохранен на носителе (7) данных.
13. Компьютер, программируемый программным кодом (6) по п. 11.
14. Компьютер по п. 13, отличающийся тем, что компьютер (5) выполнен как устройство (4) управления для травильной линии для травления полос (2) или связан информационно-технически с таким устройством (4) управления.