СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫСОКОКАЧЕСТВЕННЫХ МОП СТРУКТУР С ПОЛИКРЕМНИЕВЫМ ЗАТВОРОМ

Способ формирования высококачественных МОП структур с поликремниевым затвором, содержащий операцию термического отжига МОП структур в температурном диапазоне 600-850°С в электрическом поле напряженностью 10-100 В/см, отличающийся тем, что одновременно проводится облучение светом видимого и близкого инфракрасного спектра в интервале длин волн λ=0,5-1,4 мкм.