ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к технологическим устройствам для наноперемещений.
Известно технологическое устройство для наноперемещений, содержащее неподвижную направляющую, стол, пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей, и зонд, связанный с преобразователем [Патент РФ на ПМ №30032, МПК H01L 41/00, 10.06.2003 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность выполнять технологические операции с одновременным отводом тепла из рабочей зоны и измерением температуры рабочей зоны.
Наиболее близким по технической сущности и достигнутому техническому результату является технологическое устройство для наноперемещений, содержащее неподвижную направляющую, стол, пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей, и зонд, связанный с преобразователем [Патент РФ на ПМ №40549, МПК H02N 2/00, 10.09.2004 (прототип)].
Недостатком прототипа также является невозможность выполнять технологические операции с одновременным отводом тепла из рабочей зоны и измерением температуры рабочей зоны.
В основу полезной модели положена техническая задача, заключающаяся в том, чтобы обеспечить возможность выполнять технологические операции с одновременным отводом тепла из рабочей зоны и измерением температуры рабочей зоны.
Поставленная техническая задача решается тем, что технологическое устройство для наноперемещений изделия, содержащее неподвижную направляющую, стол с подложкой, пьезоэлектрический преобразователь, жестко связанный с неподвижной направляющей, и зонд, связанный с преобразователем, согласно предложенной полезной модели, снабжено узлом подачи хладагента и тепловой трубой, посредством которой зонд связан с преобразователем, тепловая труба также соединена с узлом подачи хладагента.
Кроме того, зонд и подложка выполнены из двух разноименных токопроводящих материалов, связанных с усилителем сигналов и блоком измерения.
Введение в технологическое устройство для наноперемещений зонда, связанного с преобразователем посредством тепловой трубы, соединенной с узлом подачи хладагента, причем зонд и подложка выполнены из двух разноименных токопроводящих материалов, связанных с усилителем сигналов и блоком измерения, позволяет выполнять технологические операции с одновременным отводом тепла из рабочей зоны и измерением температуры рабочей зоны.
Сущность полезной модели поясняется рисунком на фиг. 1, где указан вид технологического устройства для наноперемещений сбоку.
Технологическое устройство для наноперемещений содержит неподвижную направляющую 1, стол 2, на котором установлена подложка 3, пьезоэлектрический преобразователь 4, жестко связанный с неподвижной направляющей 1, зонд 5, жестко связанный с торцом тепловой трубки 6, которая в свою очередь жестко связана со свободным торцом пьезоэлектрического преобразователя 4, а также связана с узлом подачи хладагента, дополнительно зонд 5 и подложка 3 связаны с усилителем сигналов 8 и блоком измерения 9.
Технологическое устройство для наноперемещений работает следующим образом.
При подаче напряжения на пьезоэлектрический преобразователь 4, зонд 5 перемещается перпендикулярно подложке 3 и выполняет технологический процесс. Вследствие действия эффекта Зеебека, в термопаре подложка-зонд начинает действовать ТЭДС, которую усиливает усилитель сигнала 8 и передает в блок измерения 9, который регистрирует температуру рабочей зоны. Отвод тепла от рабочей зоны и зонда 5 осуществляется посредством тепловой трубки 6, соединенной с узлом подачи хладагента 7.
Применение предложенного технологического устройства для наноперемещений позволяет выполнять технологические операции с одновременным отводом тепла из рабочей зоны и измерением температуры рабочей зоны.