СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА

1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включающий платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления, отличающийся тем, что сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что образец сопряжен с первым оптическим блоком.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый оптический блок выполнен в виде оптического микроскопа.
4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием.
5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием, закрепленным на нем посредством гибкой консоли.
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль параллельна плечу кварцевого резонатора
7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль перпендикулярна плечу кварцевого резонатора.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора со световодом, совмещенным со вторым оптическим блоком.
9. Устройство по п.4, отличающееся тем, что острие выполнено электопроводящим и подключено к блоку управления.
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде электропроводящей иглы, подключенной к блоку управления.
11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд оптически сопряжен с модулем анализа.
12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующее устройство сопряжено с упором, установленным на механизме перемещения образца.
13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что упор выполнен подвижным.
14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд снабжен третьим приводом и расположен на платформе с возможностью подвижки относительно образца.
15. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующее устройство снабжено четвертым приводом и расположено с возможностью подвижки относительно измерительного зонда
16. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд снабжен пятым приводом и расположен на механизме перемещения образца с возможностью подвижки относительно образца.
17. Устройство по п.1, отличающееся тем, что держатель измерительного зонда имеет возможность механического сопряжения с механизмом перемещения образца.
18. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено модулем для химического травления образца и (или) плазменного травления образца, и (или) травления образца ионным пучком.
19. Устройство по п.1, отличающееся тем, что образец и (или) пуансон, и (или) измерительный зонд находятся во взаимодействии с хладагентом.