УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ДЛЯ РЕАКТОРОВ ОСАЖДЕНИЯ

1. Устройство, содержащее:
источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями;
линию подачи, предназначенную для подачи пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку; и
конструкцию, выполненную с возможностью использования тепла от нагревателя реакционной камеры для предотвращения конденсации пара исходного продукта в жидкую или твердую фазу между источником исходного продукта и реакционной камерой.
2. Устройство по п.1, в котором источник исходного продукта содержит выступ, выполненный с возможностью получения тепла от реактора.
3. Устройство по п.2, содержащее внутреннюю горловину в выступе и внешнюю горловину вокруг выступа, причем внутренняя горловина и внешняя горловина образуют между собой зазор.
4. Устройство по п.2, содержащее теплопроводящую часть, расположенную вокруг линии подачи, выполненную с возможностью уменьшения потерь тепловой энергии от выступа в окружающую среду.
5. Устройство по п.1, содержащее корпус источника, выполненный с возможностью вмещения присоединяемого картриджа источника с возможностью отсоединения.
6. Устройство по п.5, содержащее нагреватель для нагревания картриджа источника.
7. Устройство, содержащее:
источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями;
два пульсирующих клапана, внедренные в источник исходного продукта, выполненные с возможностью управления подачей пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку; и
перепускную линию между пульсирующими клапанами для подачи нереакционно-способного газа из одного пульсирующего клапана в другой пульсирующий клапан.
8. Устройство по п.7, содержащее ограничитель потока, размещенный в перепускной линии.
9. Устройство, содержащее:
источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями;
пульсирующий клапан, внедренный в источник исходного продукта, выполненный с возможностью управления подачей пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку, при этом устройство выполнено с возможностью:
пропускания нереакционно-способного газа через пульсирующий клапан к картриджу источника исходного продукта с обеспечением поднятия давления и ослабления последующего потока смеси пара исходного продукта и нереакционно-способного газа к реакционной камере.
10. Устройство по п.9, в котором устройство выполнено с возможностью закрытия картриджа исходного продукта после поднятия давления до начала следующего периода импульса исходного продукта и дополнительно выполнено с возможностью открытия пути к реакционной камере через пульсирующий клапан при начале следующего периода импульса исходного продукта.
11. Источник исходного продукта, содержащий:
присоединяемый картридж исходного продукта, выполненный с возможностью отсоединения;
первую соединительную часть, выполненную с возможностью присоединения картриджа исходного продукта к источнику исходного продукта и отсоединения от него; и
вторую соединительную часть для присоединения источника исходного продукта к устройству реактора осаждения и отсоединения от него.
12. Источник по п.11, содержащий фильтр частиц, соединенный с первой соединительной частью.
13. Источник по п.11, содержащий уплотнительную часть или клапан, выполненный с возможностью герметичного закрытия картриджа исходного продукта с обеспечением предотвращения потока материала исходного продукта из картриджа исходного продукта к первой соединительной части.
14. Источник по п.13, содержащий третью соединительную часть на первой стороне уплотнительной части или клапана и четвертую соединительную часть на другой стороне уплотнительной части или клапана, при этом указанные третья и четвертая части выполнены с возможностью открытия для отсоединения указанной уплотнительной части или клапана и для того, чтобы очистить картридж.
15. Картридж исходного продукта, присоединяемый с возможностью отсоединения для использования в источнике исходного продукта, выполненном по п.11.
16. Картридж исходного продукта, содержащий:
лодочку исходного продукта, содержащую материал исходного продукта; и
агломерационный картридж для вмещения загруженной в него указанной лодочки исходного продукта.
17. Картридж по п.16, в котором лодочка исходного продукта, загруженная химическим источником, расположена горизонтально с обеспечением вхождения в агломерационный картридж через порт загрузки.
18. Способ, включающий:
подачу пара исходного продукта вдоль линии подачи из источника исходного продукта реактора осаждения к реакционной камере, содержащей нагретую подложку;
осуществление осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями; и
использование тепла от нагревателя реакционной камеры для предотвращения конденсации пара исходного продукта в жидкую или твердую фазу между источником исходного продукта и реакционной камерой.
19. Способ по п.18, в котором получают тепло от реактора в выступ в источнике, причем выступ имеет линию подачи, при этом указанное полученное тепло нагревает линию подачи.
20. Способ по п.19, в котором располагают теплопроводящую часть вокруг линии подачи для того, чтобы уменьшить потери тепловой энергии от выступа в окружающую среду.
21. Способ, включающий:
осуществление осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями;
управление подачей пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку, с двумя пульсирующими клапанами, внедренными в источник исходного продукта; и
подачу нереакционно-способного газа из одного пульсирующего клапана в другой пульсирующий клапан через перепускную линию.
22. Способ по п.21, в котором перепускная линия содержит ограничитель потока.
23. Способ, включающий:
осаждение материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями;
управление подачей пара исходного продукта из источника исходного продукта в реакционную камеру, содержащуюся в реакторе, который содержит подложку, с пульсирующим клапаном, внедренным в источник исходного продукта; и
пропускание нереакционно-способного газа через пульсирующий клапан к картриджу источника исходного продукта, чтобы поднять давление и облегчить последующий поток смеси пара исходного продукта и нереакционно-способного газа к реакционной камере.
24. Способ по п.23, в котором закрывают картридж исходного продукта после поднятия давления до начала следующего периода импульса исходного продукта и открывают путь к реакционной камере через пульсирующий клапан при начале следующего периода импульса исходного продукта.
25. Способ, включающий приведение в действие источника исходного продукта и помещение горизонтальной лодочки исходного продукта, загруженной химическим источником, в агломерационный картридж источника исходного продукта.