УСТРОЙСТВО ОРИЕНТАЦИИ ОБРАЗЦА ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА

1. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса, содержащее средство захвата (2) образца (1) и механизм (3) перемещения средства захвата (2) при ориентации образца, отличающееся тем, что образец снабжен носителем (4) образца с элементами ориентации (5), средство захвата (2) содержит платформу (6), установленную с возможностью поворота вокруг горизонтальной оси, и содержащую две пары роликов (7) и (8), попарно расположенных на противоположных краях платформы (6), при том что ролики выполнены с элементами взаимодействия (9) с носителем (4) образца, привод перемещения (10) роликов вдоль горизонтальной оси, при этом механизм (3) перемещения средства захвата (2) содержит U образную раму (11), соединенную с приводом перемещения по вертикальной оси (12), установленным на основании (13), а U образная рама (11) своими проушинами охватывает платформу (6) средства захвата (2), на проушинах U образной рамы (11) порознь установлены привод поворота (15) средства захвата (2) вокруг горизонтальной оси, и привод вращения (16) одного из роликов.
2. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что носитель (4) образца выполнен в виде кольца с профилем (20) по внешней окружности, сопрягаемым с элементами взаимодействия (9) роликов в виде ответного профиля (21), образец установлен на первой плоской стороне (22) носителя (4), а элементы ориентации (5) образца выполнены в виде ориентирующих канавок (23) на второй плоской стороне (24) носителя (4).
3. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что привод перемещения (10) роликов содержит ходовой винт (25) с двумя резьбовыми нарезками противоположного направления, например, правого и левого, а правая (28) и левая (29) ходовые гайки связаны посредством тяг (30) и (32) с соответствующей парой роликов (7) и (8), каждый из которых установлен на направляющей (31), расположенной на платформе (6) вдоль горизонтальной оси, при этом одна из пар роликов подпружинена на своих тягах.
4. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что платформа (6) снабжена двумя полуосями (14), установленными в проушинах U образной рамы (11), привод поворота (15) средства захвата (2) вокруг горизонтальной оси сопряжен с одной из полуосей (14), с помощью угловой передачи вращения (17), привод вращения (16) одного из роликов выполнен в виде бесконтактной передачи вращения, причем ведущая ее часть (18) установлена на валу привода вращения (16), а ведомая часть (19) закреплена на оси одного из роликов.
5. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.1, отличающееся тем, что платформа (6) содержит датчик ориентации образца (35), сопряженный с ориентирующими канавками (23) на второй плоской стороне (24) носителя (4), а так же датчик крайних угловых положений (36) платформы (6) при ее повороте вокруг горизонтальной оси.
6. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.5, отличающееся тем, что датчик ориентации образца (35) выполнен в виде цилиндрического ролика (37), с осью вращения, совпадающей с координатной осью ориентации образца, при этом цилиндрический ролик (37) установлен на первой гибкой контактной пластине (38) датчика, а вторая жесткая контактная пластина (39) датчика установлена на платформе (6).
7. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.5, отличающееся тем, что датчик крайних угловых положений (36) платформы (6) выполнен в виде контактной группы, включающей двухпозиционный поворотный контакт (40), закрепленный на полуоси (14) платформы (6), и два сопряженных неподвижных контакта (41), установленных на проушине U образной рамы (11).
8. Устройство ориентации образца для нанотехнологического комплекса по п.3, отличающееся тем, что тяги подпружиненной пары роликов выполнены составными в виде телескопического соединения двух частей (32) и (33), при этом обе части (32) и (33) одной тяги сопряжены посредством пружины сжатия (34).