СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНКИ И УСТАНОВКА ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ ЭТОГО СПОСОБА

1. Способ осаждения пленки на подложку (16) посредством импульсного лазерного напыления, включающий:
генерирование N импульсных лазерных пучков (4, 5, 6, 4', 5') посредством по меньшей мере одного лазера (1), при N>1;
направление лазерных пучков (4, 5, 6, 4', 5') на разные облучаемые пятна (9, 10, 11) мишени (12), в результате чего вызывают абляцию мишени (12) и создают по меньшей мере два плазменных факела (13a, 13b, 13c), причем плазменные факелы (13a, 13b, 13c) создают поток материала мишени к подложке (16), и материал мишени напыляют на подложку (16) в зоне (24) напыления,
отличающийся тем,
что плазменные факелы (13a, 13b, 13c), созданные лазерными пучками (4, 5, 6, 4', 5'), накладываются друг на друга в пространстве и во времени, и
что облучаемые пятна (9, 10, 11) отделены друг от друга расстоянием, которое обеспечивает газодинамическое взаимодействие созданных плазменных факелов (13a, 13b, 13c).
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что лазерные пучки (4, 5, 6, 4', 5') являются частичными лазерными пучками, сформированными посредством расщепления единственного лазерного пучка (2).
3. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что единственный лазерный пучок (2) расщепляют так, что частичные лазерные пучки (4, 5, 6, 4', 5') имеют одинаковую интегральную интенсивность.
4. Способ по п. 1 или 2, отличающийся тем, что единственный лазерный пучок (2) расщепляют так, что частичные лазерные пучки (4, 5, 6, 4', 5') имеют равное поперечное сечение.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что N лазерных пучков (4, 5, 6) генерируют посредством разных лазеров (1).
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что N лазерных пучков (4, 5, 6) синхронизируют так, что плазменные факелы (13a, 13b, 13c) накладываются друг на друга во времени и в пространстве на по меньшей мере 30% времени существования одного из плазменных факелов (13a, 13b, 13c), в частности, плазменного факела с более длительным временем существования.
7. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что расстояние между облучаемыми пятнами (9, 10, 11) выбирают в диапазоне 0,01-0,3 длины одного из плазменных факелов (13a, 13b, 13c), в частности, более длинного плазменного факела.
8. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что расстояние между облучаемыми пятнами (9, 10, 11) выбирают меньшим, чем 5 мм.
9. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что мишень (12) и упомянутый по меньшей мере один лазер (1), генерирующий лазерные пучки (4, 5, 6, 4', 5'), непрерывно и многократно перемещают друг относительно друга.
10. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что применяют мишень из REBCO.
11. Способ по п. 10, отличающийся тем, что расстояние между двумя соседними облучаемыми пятнами (9, 10, 11) составляет в диапазоне 0,01-0,1 длины одного из плазменных факелов (13a, 13b, 13c), созданного соответствующим лазерным пучком (4, 5, 6), в частности, длины более длинного плазменного факела.
12. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что материал каждого плазменного факела (13a, 13b, 13c) напыляют в подзоне (24a, 24b, 24c) напыления подложки (16), при этом совокупность подзон (24a, 24b, 24c) напыления образует зону (24) напыления, и тем, что подзоны (24a, 24b, 24c) напыления двух соседних плазменных факелов (13a, 13b, 13c) накладываются друг на друга со степенью 5-99%, в частности, со степенью 10-85%.
13. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что в ходе напыления зона (24) напыления перемещается с линейной скоростью 0,2-2 м/с вдоль окна (21) напыления нагревательного элемента (20).
14. Способ по п. 13, отличающийся тем, что перемещение зоны (24) напыления вызывается взаимным наложением перемещений лентоносителя (18), мишени (12) и лазерных пучков (4, 5, 6), которые направлены на мишень (12).
15. Установка для осуществления способа по любому из предшествующих пунктов, содержащая:
устройство (1) генерации пучков для генерирования N лазерных пучков (4, 5, 6), при N>1,
систему (3, 14) доставки пучков,
сканирующее устройство (7) для относительного перемещения лазерных пучков (4, 5, 6) и мишени (12),
отличающаяся тем, что
предусмотрен светоделитель (3, 3') для расщепления единственного лазерного пучка (2) на N лазерных пучков (4, 5, 6, 4', 5').
16. Установка по п. 15, отличающаяся тем, что предусмотрено устройство (17) временной задержки, чтобы управлять временным сдвигом лазерных пучков (4', 5').
17. Установка по любому из пп. 15-16, отличающаяся тем, что подложка (16) является лентой, спирально намотанной на трубчатый лентоноситель (18).
18. Установка по любому из пп. 15-17, отличающаяся тем, что предусмотрен нагреватель (20, 21, 22, 15) подложки, в частности, трубчатый квазиравновесный нагреватель.