ПРИГОТОВЛЕНИЕ МИШЕНИ

1. Способ нанесения покрытия на заготовки со следующими стадиями:
- загрузка покрываемых заготовок в камеру для нанесения покрытия
- закрывание и вакуумирование камеры для нанесения покрытия до предварительно заданного технологического давления
- запуск источника покрытия, который в качестве источника материала содержит мишень, и в результате чего частицы с поверхности мишени ускоряют по направлению к подложке
отличающийся тем, что между поверхностью мишени и подложкой предусматривают ограждение до тех пор, пока происходит кондиционирование мишени, причем тем временем, по меньшей мере, частично покрываемую подложку подвергают предварительной обработке.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что предварительная обработка подложки содержит травление.
3. Способ по одному из п.п. 1-3, отличающийся тем, что кондиционирование мишени завершают тогда, когда излучаемый частицами оптический сигнал, по существу, уже больше не изменяется.
4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что оптический сигнал измеряют с помощью оптико-эмиссионного спектрометра (ОЭС).
5. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что источник покрытия представляет собой источник для магнетронного распыления.
2
6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что камера для нанесения покрытия содержит многочисленные источники покрытия, которые последовательно, с перекрывающимися интервалами времени, периодически подключают к генератору напряжения постоянного тока (DC) с большой выходной мощностью так, что на поверхности мишени время от времени периодически создают плотность тока более чем 0,2 А/см.
7. Способ по одному из п.п. 1-4, отличающийся тем, что источник покрытия представляет собой источник для электродугового испарения.
8. Способ по одному из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что предварительная обработка содержит технологическую стадию, в ходе которой заготовку подвергают азотированию.
9. Способ по п. 8, отличающийся тем, что для азотирования в камеру пропускают газовую смесь, которая содержит элементы азот, аргон и водород.