ДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С ЗАДАННЫМ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ ПОЛЕМ

1. Дуговое устройство испарения, содержащее:- катод, который имеет поверхность с тем материалом, испарение которого должно быть осуществлено- магнитные элементы, которые формируют магнитное поле над поверхностью- анод для поглощения электронов, которые в процессе испарения выделяются с катода- источник напряжения, который обеспечивает то, что на аноде, по меньшей мере, периодически создается положительный потенциал относительно катода,отличающийся тем, что- анод расположен вблизи катода таким образом, что выходящие из поверхности катода силовые линии магнитного поля входят в анод, если они не выходят из поверхности в центральной области катода.2. Дуговой испаритель по п. 1, отличающийся тем, что положение и геометрия анода по отношению к катоду выбраны таким образом, что силовые линии магнитного поля входят в поверхность анода под углом более 45°, предпочтительно по существу перпендикулярно.3. Дуговой испаритель по п. 2, отличающийся тем, что положение и геометрия анода по отношению к катоду выбраны таким образом, что силовые линии магнитного поля и силовые линии электрического поля, которые входят в анод, проходят по существу параллельно друг другу.4. Дуговой испаритель по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что в центральной области предусмотрены меры предосторожности, которые по существу предотвращают ее эрозию в процессе эксплуатации испарительного устройства.5. Дуговой испаритель по п. 4, отличающийся тем, что принимаемые меры включают в себя размещение экрана в центральной области поверхности катода.6. Вакуумное устройство обработки с приемной камерой и держателем для подложки и с дуговым устройством испар