РЕАКТОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ (PCVD) НА БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ И СПОСОБ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ТАКОГО ОСАЖДЕНИЯ

1. Реакторное устройство для активированного микроволновой плазмой химического осаждения из паровой фазы на большой площади, LA MPCVD, содержащее;
реакторную камеру, приспособленную для обеспечения плазменной зоны во внутреннем пространстве реакторной камеры посредством электромагнитной энергии на первой частоте, и
составную, направленную вправо/влево, CRLH, волноводную секцию, приспособленную для работы с бесконечной длиной волны на первой частоте и имеющую в стенке средство передачи, выполненное с возможностью передачи электромагнитной энергии из внутреннего пространства CRLH-волноводной секции во внутреннее пространство реакторной камеры.
2. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 1, причем средство передачи содержит множество устройств передачи электромагнитной энергии, разнесенных относительно друг друга.
3. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 1 или 2, причем средство передачи содержит паз в стенке CRLH-волноводной секции.
4. Реакторное устройство для LA MPCVD по пп. 1, 2 или 3, содержащее
источник электромагнитной энергии, имеющий устройство вывода энергии, и причем один или более CRLH-волноводов в CRLH-волноводной секции имеют первый конец ввода энергии, связанный с устройством вывода энергии.
5. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 4, причем один или более CRLH-волноводов в CRLH-волноводной секции имеют второй, закороченный конец.
6. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из предшествующих пунктов, причем реакторная камера содержит первую и вторую подкамеры, причем первая подкамера содержит средство передачи, а вторая подкамера приспособлена содержать плазменную зону, и причем электромагнитная энергия подается от CRLH-волноводной секции во вторую подкамеру через первую подкамеру.
7. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 6, причем первая и вторая подкамеры в поперечном сечении имеют одинаковую площадь.
8. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 6 или 7, причем вторая подкамера содержит кварцевые окна, предназначенные для отделения плазменной зоны от атмосферного давления.
9. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из пп. 6-8, причем первая и вторая подкамеры размещены друг над другом и взаимосвязаны на каждом конце.
10. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из предшествующих пунктов, причем электромагнитная энергия представляет собой микроволновую энергию на первой частоте.
11. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из предшествующих пунктов, причем первая частота составляет 2,45 ГГц.
12. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из предшествующих пунктов, причем CRLH-волноводная секция содержит множество CRLH-волноводов, размещенных бок о бок.
13. Реакторное устройство для LA MPCVD по любому из предшествующих пунктов, причем CRLH-волноводная секция содержит периодически каскадно соединенные единичные ячейки, причем взаимосвязь между частотой и фазовым сдвигом единичных ячеек является перестраиваемой.
14. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 13, причем единичные ячейки содержат элементы настройки, выполненные с возможностью модификации внутренних размеров единичных ячеек.
15. Реакторное устройство для LA MPCVD по п. 14, причем элементы настройки содержат пару штифтов, выполненных вставляемыми в единичные ячейки.
16. Способ обеспечения плазмохимического осаждения из паровой фазы на большой площади в реакторной камере, причем реакторная камера выполнена с возможностью обеспечения плазменной зоны во внутреннем пространстве реакторной камеры посредством электромагнитной энергии на первой частоте, причем способ включает:
передачу электромагнитной энергии из внутреннего пространства составной, направленной вправо/влево, CRLH, волноводной секции во внутреннее пространство реакторной камеры через средство передачи в стенке CRLH-секции, причем CRLH-волноводная секция выполнена с возможностью работы с бесконечной длиной волны на первой частоте.
17. Способ по п. 16, причем CRLH-волноводная секция содержит периодически каскадно соединенные единичные ячейки, содержащие элементы настройки, выполненные с возможностью модификации внутренних размеров единичных ячеек, причем способ включает регулирование элементов настройки.
18. Способ по п. 17, причем источник электромагнитной энергии, имеющий устройство вывода энергии, соединен с входом CRLH-волноводной секции, причем способ включает минимизацию измеренной отраженной мощности итеративным регулированием элементов настройки и согласование импеданса источника с CRLH-волноводной секцией.