СПОСОБ КОНТРОЛЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

1. Способ контроля рельефа поверхности, включающий размещение контролируемого изделия на предметном столе, направление на поверхность изделия светового излучения под заданным углом освещения, прием отраженного от поверхности изделия светового излучения, регистрацию и измерение характеристик отраженного от поверхности излучения, отличающийся тем, что поверхность изделия освещают наклонно падающим пучком светового излучения последовательно при разных азимутальных углах, производят прием диффузно отраженного светового излучения вдоль заданных азимутов и регистрируют распределение его интенсивности с получением характеристического изображения поверхности изделия, производят суперпозицию всех характеристических изображений поверхности, полученных при разных азимутальных углах, причем каждое характеристическое изображение поверхности смещают вдоль соответствующего азимута в заданном направлении по отношению к источнику падающего светового излучения на заданное расстояние, затем суммируют интенсивности диффузно отраженного светового излучения для всех характеристических изображений в одноименных точках поверхности с получением результирующего характеристического изображения, по которому судят о рельефе поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность изделия освещают наклонно падающим параллельным пучком лучей.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность изделия освещают наклонно падающим расходящимся пучком лучей.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что поверхность изделия освещают наклонно падающим излучением в диапазоне углов наклона не более 45°.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что азимутальные углы освещения поверхности изделия устанавливают с заданной дискретностью в диапазоне углов от 0 до 360°.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, регистрацию интенсивности диффузно отраженного излучения производят в цифровой форме, преимущественно с использованием цифрового фотоаппарата.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что при суперпозиции характеристических изображений поверхности изделия каждое из них смещают вдоль соответствующего азимута в заданном направлении до достижения максимально контрастного результирующего характеристического изображения,преимущественно на расстояние 0,1-0,4 мм.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве характеристического изображения выбирают световое изображение.
9. Способ по п.1 или 8, отличающийся тем, что световое изображение смещают против направления падающего светового излучения.
10. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве характеристического изображения выбирают теневое изображение.
11. Способ по п.1 или 10, отличающийся тем, что теневое изображение смещают в направлении падающего светового излучения.