СПОСОБ ОТКАЧКИ В СИСТЕМЕ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ И СИСТЕМА ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

1. Способ откачки в системе (SP) вакуумных насосов, содержащей:
- первичный сухой винтовой вакуумный насос (3), имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы (SP) вакуумных насосов,
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом способ отличается тем, что
запускают первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) для откачки газов, содержащихся в вакуумной камере (1), через отверстие (4) выхода газов;
одновременно подают рабочую текучую среду в эжектор; и
рабочую текучую среду продолжают подавать в эжектор (7) в течение всего времени, пока первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока сухой винтовой вакуумный насос (3) поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
2. Способ откачки по п. 1, отличающийся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
3. Способ откачки по п.1 или 2, отличающийся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
4. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного сухого винтового вакуумного насоса (3), который ограничен обратным клапаном (6).
5. Способ откачки по п. 4, отличающийся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
6. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
7. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
8. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного сухого винтового вакуумного насоса (3) находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
9. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в полупроводниковой промышленности.
10. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
11. Способ откачки по п. 10, отличающийся тем, что патрон установлен в глушителе, закрепленном на отверстии (5) выхода газов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
12. Способ откачки по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7), обеспечивается компрессором (10).
13. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) приводится во вращение по меньшей мере одним из валов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
14. Способ откачки по п. 12, отличающийся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
15. Способ откачки по п.12, отличающийся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).
16. Система (SP) вакуумных насосов, содержащая:
- первичный сухой винтовой вакуумный насос (3), имеющий отверстие (2) входа газов, соединенное с вакуумной камерой (1), и отверстие (4) выхода газов, сообщающееся с каналом (5) перед выходом (8) газов системы (SP) вакуумных насосов,
- обратный клапан (6), установленный в канале (5) между отверстием (4) выхода газов и выходом (8) газов, и
- эжектор (7), установленный параллельно с обратным клапаном (6),
при этом система (SP) вакуумных насосов отличается тем, что
эжектор (7) выполнен с возможностью получения питания рабочей текучей средой в течение всего времени, пока первичный сухой винтовой вакуумный насос (3) откачивает газы, содержащиеся в вакуумной камере (1), и/или в течение всего времени, пока сухой винтовой вакуумный насос (3) поддерживает определенное давление в вакуумной камере (1).
17. Система вакуумных насосов по п.16, отличающаяся тем, что выход эжектора (7) соединен с каналом (5) после обратного клапана (6).
18. Система вакуумных насосов по п.16 или 17, отличающаяся тем, что параметры эжектора (7) рассчитаны для минимального потребления рабочей текучей среды.
19. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что номинальный расход эжектора (7) выбирают в зависимости от объема выходного канала (5) первичного сухого винтового вакуумного насоса (3), который ограничен обратным клапаном (6).
20. Система вакуумных насосов по п. 19, отличающаяся тем, что расход эжектора (7) составляет от 1/500 до 1/20 номинального расхода первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
21. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что рабочей текучей средой эжектора (7) является сжатый воздух и/или азот.
22. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) является многоступенчатым или одноступенчатым.
23. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что обратный клапан (6) закрывается, когда давление всасывания первичного сухого винтового вакуумного насоса (3) находится в пределах от 500 миллибар абсолютного давления до значения конечного разрежения.
24. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) выполнен из материала, обладающего повышенной химической стойкостью к веществам и газам, обычно применяемым в полупроводниковой промышленности.
25. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что эжектор (7) встроен в патрон, который содержит обратный клапан (6).
26. Система вакуумных насосов по п. 25, отличающаяся тем, что патрон установлен в глушителе, закрепленном на отверстии (5) выхода газов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
27. Система вакуумных насосов по любому из пп.16-17, отличающаяся тем, что содержит компрессор (10), который обеспечивает поток газов при давлении, необходимом для работы эжектора (7).
28. Система вакуумных насосов по п. 27, отличающаяся тем, что компрессор (10) приводится во вращение по меньшей мере одним из валов первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
29. Система вакуумных насосов по п. 27, отличающаяся тем, что компрессор (10) вращается автономно, независимо от первичного сухого винтового вакуумного насоса (3).
30. Система вакуумных насосов по п.27, отличающаяся тем, что компрессор (10) засасывает атмосферный воздух или газы в канале (8) выхода газов после обратного клапана (6).