УСТРОЙСТВО МОДУЛЯЦИИ И КОМПОНОВКА ИСТОЧНИКА ПИТАНИЯ

1. Устройство модуляции для использования в системе (100) литографии пучком заряженных частиц, выполненной с возможностью генерирования элементарных пучков (123) заряженных частиц, причем устройство модуляции выполнено для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка и содержит:
- пластинчатый корпус (106);
- решетку дефлекторов (30) элементарных пучков, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для отклонения элементарных пучков;
- множество выводов (202-205) источника питания для подачи по меньшей мере двух различных напряжений;
- множество схем (40, 41) управления, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для приема данных рисунка и подачи соответствующих сигналов управления в дефлекторы (30) элементарных пучков, причем питание схем (40, 41) управления выполняется с помощью множества выводов (202-205) источника питания; и
проводящую пластину (201), выполненную с возможностью подачи электрической мощности на один или более выводов (202-205) источника питания,
причем корпус устройства модуляции разделен на удлиненную зону (51) действия пучков и удлиненную зону (52) отсутствия действия пучков, расположенную рядом с зоной (51) действия пучков таким образом, чтобы длинный край зоны (51) действия пучков граничил с длинным краем смежной зоны (52) отсутствия действия пучков,
причем дефлекторы элементарных пучков размещены в зоне (51) действия пучков,
причем схемы (40, 41) управления расположены в зоне (52) отсутствия действия пучков для подачи сигналов управления на дефлекторы (30) элементарных пучков; и
причем проводящая пластина (201) подсоединена к одному или более выводам источника питания в зоне (52) отсутствия действия пучков, причем проводящая пластина (201) содержит множество тонких проводящих пластинок.
2. Устройство модуляции по п. 1, содержащее множество проводящих пластин (201), выполненных с возможностью подачи электрической мощности на выводы (202-205) источника питания;
причем корпус устройства модуляции разделен на множество удлиненных зон (51) действия пучков и множество удлиненных зон (52) отсутствия действия пучков, расположенных рядом с зонами действия пучков таким образом, чтобы длинный край каждой зоны действия пучков граничил с длинным краем смежной зоны отсутствия действия пучков;
причем дефлекторы элементарных пучков размещены в группах, причем каждая группа дефлекторов элементарных пучков, расположена в одной из зон действия пучков;
причем схемы управления расположены в зонах отсутствия действия пучков для подачи сигналов управления на дефлекторы (30) элементарных пучков, причем каждая схема управления расположена в одной из зон отсутствия действия пучков, смежной с одной из зон действия пучков, содержащих один или более дефлекторов элементарных пучков, принимающих сигналы управления из схемы управления; и
причем проводящие пластины (201) подсоединены к схемам управления в зонах отсутствия действия пучков, причем каждая проводящая пластина (201) содержит множество тонких проводящих пластинок (202-205), причем множество проводящих пластин (201) образует часть компоновки источника питания.
3. Устройство модуляции по п. 1, в котором каждая тонкая проводящая пластинка (202-205) выполнена для подсоединения к соответствующему одному из упомянутых выводов (202-205) источника питания.
4. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3, в котором каждая из проводящих пластинок одной из проводящих пластин (201) имеет лицевую поверхность, завершающуюся на одном или нескольких краях, и пластинки размещены их лицевыми поверхностями по существу параллельно друг другу, причем предпочтительно лицевая поверхность каждой проводящей пластинки одной из проводящих пластин по существу равны по площади.
5. Устройство модуляции по одному из пп. 1-3, в котором каждая проводящая пластинка одной из проводящих пластин имеет по существу одинаковое удельное сопротивление по отношению к другим проводящим пластинкам проводящей пластины.
6. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3, в котором каждая проводящая пластинка одной из проводящих пластин имеет по существу одинаковое удельное сопротивление в каждом положении на всей своей протяженности по отношению к другим проводящим пластинкам проводящей пластины.
7. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3, в котором по меньшей мере один край каждой проводящей пластинки адаптирован для подсоединения к источнику питания, и по меньшей мере один другой край каждой пластинки адаптирован для подсоединения к множеству схем управления.
8. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3, в котором схемы управления распределены вдоль по существу всей длины длинного края зоны отсутствия действия пучков, которая граничит с длинным краем смежной зоны действия пучков, причем соединения между одной из проводящих пластин и схемами управления в зоне отсутствия действия пучков распределены вдоль по существу всей длины длинного края зоны отсутствия действия пучков, которая граничит с длинным краем смежной зоны действия пучков.
9. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3, в котором соединения между проводящими пластинами и схемами управления выполнены через множество электропроводящих контактных выводов или паяных соединений на поверхности корпуса устройства модуляции, причем предпочтительно проводящие пластины содержат первый участок с лицевой поверхностью, параллельной поверхности корпуса, где расположены контактные выводы, и бóльший второй участок по существу перпендикулярный поверхности корпуса.
10. Устройство модуляции по п. 9, в котором первое множество проводящих контактных выводов или паяных соединений соединено с первой из проводящих пластинок проводящей пластины, и второе множество проводящих контактных выводов соединено со второй из проводящих пластинок проводящей пластины.
11. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3 или 10, в котором по меньшей мере одна из проводящих пластин содержит множество проводящих пластинок, выполненных с возможностью проводить прямой электрический ток из источника питания в схемы управления и дефлекторы элементарных пучков, и по меньшей мере одну проводящую пластинку, выполненную с возможностью проводить обратный электрический ток из схем управления и дефлекторов элементарных пучков в источник питания, причем прямой электрический ток по существу равен обратному электрическому току.
12. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3 или 10, в котором схемы управления содержат множество светочувствительных элементов, выполненных с возможностью приема модулированных оптических сигналов, несущих в себе данные рисунка и преобразования оптических сигналов в электрические сигналы управления для управления дефлекторами элементарных пучков, и при этом проводящие линии из пластинок до светочувствительных элементов и обратные линии являются по существу перпендикулярными к лицевой поверхности пластинок.
13. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3 или 10, в котором зоны действия пучков имеют длину и ширину, причем длина по меньшей мере в пять раз больше ширины, предпочтительно по меньшей мере в десять раз больше ширины.
14. Устройство модуляции по любому одному из пп. 1-3 или 10, в котором схемы управления содержат множество светочувствительных элементов, выполненных с возможностью приема модулированных оптических сигналов, несущих в себе данные рисунка, и преобразования оптических сигналов в электрические сигналы управления для управления дефлекторами элементарных пучков причем предпочтительно схемы управления дополнительно содержат множество демультиплексоров, причем каждый демультиплексор выполнен с возможностью приема сигнала управления из соответствующего одного из светочувствительных элементов, и демультиплексирования сигнала управления для генерирования множества сигналов управления для управления множеством дефлекторов элементарных пучков.
15. Система (100) литографии пучком заряженных частиц, содержащая:
генератор (101, 102, 103, 105) пучков, предназначенный для генерирования множества элементарных пучков (123) заряженных частиц;
устройство модуляции по любому одному из предыдущих п.п.; и
проекционную систему (110), предназначенную для проецирования модулированных элементарных пучков на облучаемую мишень (130);
причем каждая зона действия пучков устройства модуляции расположена на пути одной из групп элементарных пучков, и каждая зона отсутствия действия пучков расположена за пределами пути элементарных пучков.
16. Компоновка источника питания для использования в системе литографии пучками заряженных частиц, содержащая: устройство модуляции, предназначенное для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка и содержащее:
- пластинчатый корпус (106);
- решетку дефлекторов (30) элементарных пучков, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для отклонения элементарных пучков;
- множество выводов (202-205) источника питания для подачи по меньшей мере двух различных напряжений; и
- множество схем (40, 41) управления, размещенных на пластинчатом корпусе (106) для приема данных рисунка и подачи соответствующих сигналов управления в дефлекторы (30) элементарных пучков, причем питание на схемы (40, 41) управления подается с помощью множества выводов (202-205) источника питания,
причем компоновка источника питания содержит:
- по меньшей мере один входной вывод для приема по меньшей мере одного входного напряжения;
- по меньшей мере два выходных вывода для подачи по меньшей мере двух различных выходных напряжений;
- по меньшей мере один преобразователь (312) постоянного тока в постоянный, подсоединенный между по меньшей мере одним входным выводом и по меньшей мере двумя выходными выводами, причем по меньшей мере один преобразователь (312) постоянного тока в постоянный выполнен для преобразования по меньшей мере одного входного напряжения в по меньшей мере два различных выходных напряжения, и
- проводящую пластину (201), подсоединенную к упомянутым по меньшей мере двум выходных выводам, причем проводящая пластина (201) выполнена для подсоединения к выводам (202-205) источника питания устройства модуляции для подачи электрической мощности на устройство модуляции, при этом проводящая пластина (201) содержит множество тонких проводящих пластинок (202-205),предпочтительно содержит множество проводящих пластин (201), выполненных с возможностью подачи электрической мощности на выводы (202-205) источника питания, причем каждая проводящая пластина (201) содержит множество тонких проводящих пластинок (202 -205),
причем каждая тонкая проводящая пластинка (202-205) выполнена для подсоединения к соответствующему одному из упомянутых выводов (202-205) источника питания.
17. Устройство модуляции для использования в системе (100) литографии пучками заряженных частиц, выполненной с возможностью генерирования множества групп элементарных пучков (123) заряженных частиц, причем устройство модуляции предназначено для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка и содержит пластинчатый корпус (106), решетку дефлекторов (30) элементарных пучков, выполненных для отклонения элементарных пучков, множество схем (40, 41) управления, выполненных с возможностью приема данных рисунка и подачи соответствующих сигналов управления в дефлекторы элементарных пучков, и множество проводящих пластин (201), выполненных с возможностью подачи электрической мощности на схемы управления и дефлекторы элементарных пучков;
причем корпус устройства модуляции разделен на множество удлиненных зон (51) действия пучков и множество удлиненных зон (52) отсутствия действия пучков, расположенных рядом с зонами действия пучков таким образом, чтобы длинный край каждой зоны действия пучков граничил с длинным краем смежной зоны отсутствия действия пучков;
причем дефлекторы элементарных пучков размещены в группах, причем каждая группа дефлекторов элементарных пучков расположена в одной из зон действия пучков;
причем схемы управления расположены в зонах отсутствия действия пучков, причем каждая схема управления расположена в одной из зон отсутствия действия пучков, смежных с одной из зон действия пучков, содержащих один или более дефлекторов элементарных пучков, принимающих сигналы управления из схемы управления; и
причем проводящие пластины соединены со схемами управления в зонах отсутствия действия пучков, причем каждая из проводящих пластин содержит множество тонких проводящих пластинок (202-205).