Устройство для планаризации
DEVICE FOR PLANARISATION

Область техники, к которой относится изобретение
[0001] Настоящее изобретение относится к устройству для планаризации и, в частности, к устройству, пригодному для выполнения планаризации способом химической обработки с применением катализатора. Настоящее изобретение также применимо к устройству для планаризации, в котором не обязательно использован способ химической обработки с применением катализатора. Уровень техники
[0002] В патентной литературе 1 и патентной литературе 2 раскрыты способы химической обработки с применением катализатора. Способы химической обработки с применением катализатора включают в себя использование катализатора из переходного металла на обрабатывающей базовой поверхности, размещение заготовки в растворе, который не содержит абразивных зерен и т.п., приведение обрабатывающей базовой поверхности в контакт с обрабатываемой поверхностью заготовки или размещение вблизи нее, обеспечение движения обрабатывающей базовой поверхности и обрабатываемой поверхности друг относительно друга, получение соединений в результате химической реакции между активными веществами, образующимися из раствора, и поверхностными атомами заготовки и удаление этих соединений с целью обработки (травления) заготовки. Это позволяет с высокой точностью, приблизительно на атомарном уровне, выполнять планаризацию поверхности трудно поддающихся обработке подложек, например, изготовленных из карбида кремния или нитрида галлия.
[0003] К тому же, в качестве устройства, выполняющего планаризацию путем возвратно-поступательного движения поверхности полировальника (обрабатывающей поверхности), образованной слоем переходного металла, служащего в качестве слоя катализатора, относительно поверхности обрабатываемой подложки (обрабатываемой поверхности), служащей в качестве заготовки, круглый полировальник большого диаметра вращается на столе и приводится в контакт или размещается вблизи поверхности обрабатываемой подложки, которая имеет меньший диаметр и удерживается вращающимся держателем, как традиционно описывается в патентной литературе 1.
Список источников
Патентная литература
[0004]
Патентная литература 1: Выложенная патентная заявка Японии №2006-114632
Патентная литература 2: Выложенная патентная заявка Японии №2007-283410
Раскрытие изобретения
Задачи, решаемые изобретением
[0005] Тем не менее, в технологическом оборудовании из уровня техники такое устройство имеет значительные размеры, поскольку диаметр полировальника по меньшей мере вдвое превышает диаметр заготовки, а технологический процесс оказывается неэкономичным, поскольку для обработки подложек из карбида кремния и нитрида галлия требуется много времени. Помимо того, что вращающаяся обрабатываемая подложка прижимается к поверхности полировальника противодавлением пневматической подушки, предусмотренной в держателе, обрабатываемая подложка также притягивается к поверхности полировальника за счет так называемого эффекта адгезии воды, возникающего в растворе, подаваемом между обрабатываемой подложкой и полировальником со слоем катализатора из платины и т.п., образованным на поверхности и имеющем гладкую плоскую поверхность. Поэтому на обрабатываемую подложку со стороны полировальника действует значительное круговое вращательное усилие, вытягивающее обрабатываемую подложку из держателя и стремящееся отбросить ее в направлении внешней границы полировальника, что приводит к риску повреждения при ее захвате внешним фиксатором и т.п. Таким образом, это снижает производительность и увеличивает затраты на обработку. Для решения описанных выше проблем авторами настоящего изобретения ранее было предложено новое устройство для планаризации (PCT/JP2015/86493).
[0006] Впрочем, при использовании предложенного ранее нового устройства для химической обработки с применением катализатора возникла еще одна проблема, требующая решения. Для повышения скорости обработки и степени сглаживания желательно перемещать опорную плиту, на которой размещен контейнер с полировальником, с высокой скоростью, при этом в устройствах из уровня техники появляются вибрации, вызванные противодействующими силами, возникающими при движении опорной плиты. Появление вибраций, воздействующих на обрабатываемую поверхность, приводит к необходимости уменьшать вызывающие эту вибрацию силы. Вызывающие вибрацию силы, требующие уменьшения, возникают при движении заготовки или тела катализатора, имеющего по меньшей мере поверхностный каталитический слой, приводящем к вибрации в направлении вверх/вниз, воздействующей на заготовку. Например, вызывающие вибрацию силы приводят к вибрации станины устройства, что вызывает колебательные движения вверх/вниз поверхности заготовки, находящейся вблизи катализатора или в контакте с ним.
Поэтому задачей настоящего изобретения является создание устройства для планаризации, способного эффективно подавлять появление вибраций во время работы такого устройства.
Средства решения задач
[0007] Для достижения описанной выше цели в первом варианте изобретения устройство для планаризации содержит секцию (SP1) планаризации, содержащую первое удерживающее средство (62), которое удерживает заготовку (W) или тело (5) катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, второе удерживающее средство (4), которое удерживает, соответственно, тело (5) катализатора или заготовку (W) и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки (W) и тела (5) катализатора, и направляющий элемент (3), обеспечивающий движение второго удерживающего средства (4) в направлении, параллельном другой поверхности заготовки (W) или тела (5) катализатора по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод (PD), обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства (4) секции (SP1) планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются. Следует отметить, что движение в этом случае может быть одиночным движением в одном направлении, одиночным возвратно-поступательным движением или повторяющимся возвратно-поступательным движением. Кроме того, тело катализатора не ограничено типичными полировальниками; на его конструкцию не накладывается ограничений и он может быть элементом, несущим катализатор, или сам может быть катализатором. Кроме того, крепление заготовки и тела катализатора также не ограничено; крепление может обеспечиваться за заднюю поверхность, за боковую поверхность, за переднюю поверхность или за любую другую часть заготовки или тела катализатора. Заготовка, разумеется, не ограничена объектом в форме пластины.
«Величина, обеспечивающая планаризацию за счет каталитической реакции» представляет собой величину перемещения, соответствующую по меньшей мере нескольким атомам и обеспечивающую сглаживание поверхности за счет каталитической реакции. «Перемещение, обеспечивающее планаризацию за счет каталитической реакции» зависит от сочетания тела катализатора и заготовки. Это обусловлено тем, что для химической обработки с применением катализатора требуется перемещение, соответствующее по меньшей мере нескольким атомам, для обеспечения сглаживания за счет каталитической реакции. Для достижения оптимального сглаживания предпочтительно вместо минимального перемещения обеспечивать контакт или близкое расположение как можно большего количества новых атомарных поверхностей тела катализатора с конкретной точкой заготовки. Это обусловлено тем, что поверхность тела катализатора не является идеально плоской на атомарном уровне и имеет по меньшей мере атомарную или большую волнистость, коробление и шероховатость поверхности. Когда тело катализатора имеет волнистость, коробление и шероховатость поверхности, слишком малое перемещение тела катализатора переносит такую волнистость, коробление и шероховатость тела катализатора на контактирующую с катализатором поверхность заготовки, что нежелательно. Поэтому для сглаживания предпочтительно использовать перемещение тела катализатора или заготовки на большее расстояние. Таким образом, обработка по настоящему изобретению требует перемещения тела катализатора или заготовки на расстояние, соответствующее по меньшей мере нескольким атомам, для обеспечения сглаживания за счет каталитической реакции. Конкретные числовые значения зависят от состояний заготовки и материала тела катализатора. Для сглаживания конкретных точек заготовки предпочтительно задействовать большое количество атомарных поверхностей тела катализатора, что положительно влияет на сглаживание.
[0008] В первом варианте изобретения с использованием компактного оборудования возможно выполнять точную планаризацию без повреждения заготовки. Кроме того, поскольку вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил, создаваемых движением второго удерживающего средства секции планаризации, полностью устраняются, брак в процессе планаризации, вызванный значительными вибрациями устройства из-за вызывающих вибрацию сил, действующих на каждую часть устройства, исключается.
[0009] Во втором варианте изобретения устройство для планаризации содержит секцию планаризации (SP1), содержащую первое удерживающее средство (62), которое удерживает заготовку (W) или тело (5) катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство (71), вращающее первое удерживающее средство (62) вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки (W) или тела (5) катализатора, второе удерживающее средство (4), которое удерживает, соответственно, тело (5) катализатора или заготовку (W) и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки (W) и тела (5) катализатора, и направляющий элемент (3), обеспечивающий движение второго удерживающего средства (4) в направлении, параллельном другой поверхности заготовки (W) или тела (5) катализатора по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод (PD), обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства (4) секции (SP1) планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[0010] Во втором варианте изобретения, в дополнение к положительным результатам, обеспечиваемым первым вариантом изобретения, применение первого приводного средства обеспечивает эффективность планаризации.
[0011] В третьем варианте изобретения устройство для планаризации содержит секцию планаризации (SP1), содержащую первое удерживающее средство (62), которое удерживает заготовку (W) или тело (5) катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство (71), вращающее первое удерживающее средство (62) вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки (W) или тела (5) катализатора, второе удерживающее средство (4), которое удерживает, соответственно, тело (5) катализатора или заготовку (W) и обеспечивает близкое расположение поверхностей заготовки (W) и тела (5) катализатора, направляющий элемент (3), вызывающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства (4) в направлении, параллельном другой поверхности заготовки (W) или тела (5) катализатора по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции, второе приводное средство (72), обеспечивающее движение первого удерживающего средства (62) или второго удерживающего средства (4) в направлении, пересекающем поверхность заготовки (W) или тела (5) катализатора и обеспечивающее контакт или близкое расположение поверхностей заготовки (W) и тела (5) катализатора; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод (PD), обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства (4) секции планаризации (SP1) и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[0012] В третьем варианте изобретения, в дополнение к положительным результатам, обеспечиваемым первым вариантом изобретения, применение второго приводного средства обеспечивает точную регулировку контакта или близости поверхности заготовки и поверхности тела катализатора.
[0013] В четвертом варианте изобретения два или большее количество вторых удерживающих средств и противовесных секций расположены с интервалами по окружности вокруг тела вала основного привода, а основной привод обеспечивает одновременные возвратно-поступательные движения второго удерживающего средства и противовесной секции в направлении внутрь и наружу.
[0014] В пятом варианте изобретения основной привод противофазно перемещает второе удерживающее средство и противовесную секцию в одной плоскости в противоположных направлениях.
[0015] В пятом варианте изобретения, поскольку второе удерживающее средство секции планаризации и противовесная секция противофазно перемещаются в одной плоскости в противоположных направлениях, вызывающие вибрацию силы, возникающие в результате этих перемещений, уменьшаются. В результате этого эффективно решается проблема вибрации устройства из-за вызывающих вибрацию сил, действующих на каждую часть устройства.
[0016] В шестом варианте изобретения основной привод (PD) противофазно перемещает второе удерживающее средство (4) и противовесную секцию в противоположных направлениях вдоль одной прямой линии. В шестом варианте изобретения секция планаризации и противовесная секция находятся с противоположных сторон (с левой стороны и с правой стороны) основного привода и такая конструкция включает в себя вариант конструкции, в котором секция планаризации и противовесная секция расположены попарно вдоль множества радиальных прямых линий, проходящих через центр основного привода.
[0017] В шестом варианте изобретения, поскольку второе удерживающее средство секции планаризации и противовесная секция противофазно перемещаются в противоположных направлениях вдоль одной прямой линии, вызывающие вибрацию силы, возникающие в результате перемещений, уменьшаются. В результате этого эффективно решается проблема вибрации устройства из-за вызывающих вибрацию сил, действующих на каждую часть устройства. В этом случае вызывающие вибрацию силы уменьшаются почти до нуля благодаря тому, что противовесная секция и секция планаризации имеют по существу одинаковую массу.
[0018] В седьмом варианте изобретения противовесная секция представляет собой другую секцию планаризации, выполняющую функцию планаризации. Другая секция планаризации в этом случае может быть секцией планаризации, основанной на принципе планаризации, описанном в вариантах изобретения с первого по третий, или может быть секцией планаризации, основанной на другом принципе планаризации.
[0019] В седьмом варианте изобретения планаризация заготовки может эффективно выполняться путем применения множества секций планаризации с полным устранением вызывающих вибрацию сил, возникающих в результате перемещений. В результате этого решается проблема вибрации устройства из-за вызывающих вибрацию сил, действующих на каждую часть устройства.
[0020] В восьмом варианте изобретения основной привод (PD) содержит приводной двигатель (82) и пару секций (93, 94) вала, расположенных симметрично на одинаковом расстоянии в радиальном направлении от оси выходного вала (С) приводного двигателя (82) и поворачивающихся при вращении выходного вала (С); второе удерживающее средство (4) и противовесную секцию, которые, соответственно, совершают возвратно-поступательные движения синхронно с парой секций (93, 94) вала.
[0021] Ссылочные обозначения в круглых скобках, приведенные выше, соответствуют конкретным средствам, которые описаны в изложенном ниже варианте осуществления.
Результаты, обеспечиваемые изобретением
[0022] Как описано выше, компактное устройство, соответствующее устройству для планаризации по настоящему изобретению, обеспечивает высокоточную планаризацию заготовки без ее повреждения и эффективно подавляет возникновение вибрации во время работы устройства.
Краткое описание чертежей
[0023] Фиг. 1 представляет собой частичный боковой разрез устройства для планаризации, иллюстрирующий вариант осуществления настоящего изобретения.
Фиг. 2 представляет собой вертикальный разрез, подробно иллюстрирующий секцию планаризации.
Фиг. 3 представляет собой разрез основного привода.
Фиг. 4 представляет собой частичный боковой разрез устройства для планаризации, иллюстрирующий вариант осуществления настоящего изобретения.
Фиг. 5 представляет собой боковой разрез устройства для планаризации, иллюстрирующий вариант осуществления настоящего изобретения.
Фиг. 6 представляет собой боковой разрез устройства для планаризации, иллюстрирующий вариант осуществления настоящего изобретения.
Осуществление изобретения
[0024] Следует отметить, что варианты осуществления, описанные ниже, являются лишь примерами и все разнообразие улучшений конструкции, которые специалист в данной области техники может выполнить в пределах сущности настоящего изобретения, попадает в объем охраны настоящего изобретения.
[0025] Фиг. 1 представляет собой частичный боковой разрез устройства для планаризации. Устройство для планаризации содержит пару секций SP1 и SP2 планаризации с левой и правой сторон основания 1. Левая и правая секции SP1, SP2 планаризации имеют одинаковую конструкцию и одинаковую массу. Далее со ссылкой на фиг. 2 подробно описана секция SP1 планаризации.
[0026] Как показано на фиг. 2, стойки 21 и 22, имеющие симметричные Г-образные поперечные сечения, располагаются на основании 1 параллельно друг другу и расположены в направлении вперед/назад на фиг. 2 (в направлении вправо/влево на фиг. 1). Стойки 21 и 22, каждая из которых представляет собой сплошную цельную стойку для левой и правой секций SP1, SP2 планаризации, расположены вдоль одной прямой линии; рейки 31, каждая из которых образует линейную направляющую 3, являющуюся направляющим элементом, прикреплены к левой и правой стойкам 21, 22, располагаясь вдоль них. Каждая из реек 31 снабжена ползунками 32, способными к скользящему перемещению вдоль рейки 31 и расположенными в двух местах в ее продольном направлении; прямоугольная опорная плита 4, служащая в качестве второго удерживающего средства, справа и слева расположена на передних и задних ползунках 32. Таким образом, опорная плита 4 способна совершать линейные возвратно-поступательные движения вдоль реек 31. Стойки 21 и 22 необязательно имеют Г-образное поперечное сечение, достаточно того, чтобы каждая из этих стоек имела поверхность, на которой размещена рейка, например, плоская планка. Направляющий элемент необязательно должен иметь описанную выше конструкцию. Направляющий элемент может, например, охватывать направляющий вал и скользить вдоль направляющего вала. Прямоугольная форма для опорной плиты 4 также не обязательна.
[0027] Открытый сверху круглый контейнер 51, в котором находится жидкость, размещен на верхней поверхности в центральной части опорной плиты 4. На внутренней нижней поверхности контейнера 51 расположен полировальник 5, например, тело катализатора, имеющее слой катализатора заданной толщины, образованный путем напыления и т.п., на всей поверхности тела катализатора. В качестве материала полировальника 5 используется резина, полиуретан или тому подобный материал, устойчивый к технологическому раствору. В качестве катализатора может использоваться переходный металл, например, платина. Диаметр полировальника 5 может быть выбран таким образом, чтобы по меньшей мере немного превышать внешний диаметр обрабатываемой подложки W, например, заготовки. Круглая форма контейнера 51 не обязательна. Контейнер 51 может представлять собой контейнер, в котором находится газ.
[0028] Шпиндель 6, имеющий круглое поперечное сечение, расположен выше контейнера 51, ориентирован по вертикали и удерживается втулкой 61, допускающей его вращение относительно вертикальной оси. Шпиндель 6 вращается приводным двигателем 71 (фиг. 2), служащим в качестве первого приводного средства. Втулка 61 поднимается и опускается приводным цилиндром 72, служащим в качестве второго приводного средства, а шпиндель 6 перемещается вперед и назад относительно полировальника 5 или приближается к полировальнику 5 и отдаляется от него в соответствии с движением втулки 61. На нижнем конце шпинделя 6 предусмотрен известный держатель 62, служащий в качестве первого удерживающего средства, и обрабатываемая подложка W зафиксирован под нижней поверхностью держателя 62. Шпиндель 6, приводной двигатель 71, приводной цилиндр 72 и другие элементы находятся на основании 1 или над ним.
[0029] Как показано на фиг. 1, основной привод PD расположен между левой и правой секциями SP1, SP2 планаризации. Основной привод PD подробно показан на фиг. 3. Основной привод PD содержит кронштейн-пластину 81, расположенную вертикально на основании 1; тело 9 вала, расположенное в направлении вверх/вниз на кронштейн-пластине 81 и удерживаемое несущими элементами 91 и 92 с возможностью его вращения (см. фиг. 3). Выходной вал 821 приводного двигателя 82, расположенного в направлении вверх/вниз вдоль кронштейн-пластины 81, находится внутри центральной части нижнего конца тела 9 вала в соединении с ним.
[0030] Одна концевая часть каждой из пары тяговых пластин 83 и 84, расположенных в направлении влево-вправо, поворотно соединена с внешней круглой поверхностью средней части тела 9 вала. Тяговая пластина 83, соединенная с нижней частью тела 9 вала, изогнута вверх в ее средней части, а другая концевая часть тяговой пластины 83 поворотно соединена через тяговый вал 831 с опорной плитой 4 секции планаризации SP1 (см. фиг. 1). Тяговая пластина 84, соединенная с верхней частью тела 9 вала, изогнута вниз в ее средней части, а другая концевая часть тяговой пластины 84 поворотно соединена через тяговый вал 841 с опорной плитой 4 секции планаризации SP2. Верхние поверхности опорных плит 4 в секциях SP1 и SP2 планаризации расположены на одном уровне в горизонтальной плоскости.
[0031] Вышеупомянутая средняя часть тела 9 вала выполнена так, что оси С1 и С2 секций 93 и 94 вала, с которыми связаны тяговые пластины 83 и 84, смещены относительно оси С тела 9 вала (т.е. относительно оси выходного вала 821 приводного двигателя 82), как показано в увеличенном масштабе на фиг. 3. Иными словами, ось С1 секции вала 93, с которой связана тяговая пластина 83, и ось С2 секции вала 94, с которой связана тяговая пластина 84, смещены в радиальном направлении от оси С тела 9 вала на одинаковое расстояние d и расположены центрально-симметрично.
[0032] Поэтому, когда приводной двигатель 82 вращает тело 9 вала вокруг его оси С, оси С1 и С2 секций 93 и 94 вала совершают вращательное движение вокруг оси С тела 9 вала. Это вращательное движение через тяговые пластины 83 и 84 вызывает возвратно-поступательное противофазное движение опорных плит 4 вдоль одной прямой линии на расстояние (т.е. с амплитудой) 2d. В качестве примера возвратно-поступательного движения, расстояние 2d составляет 3 мм, а скорость вращения тела 9 вала (т.е. частота возвратно-поступательного движения опорных плит 4) составляет 500 об/мин.
[0033] При выполнении планаризации нижней поверхности обрабатываемой подложки W с использованием выполненного таким образом устройства для планаризации, жидкость, необходимая для каталитической реакции, такая как HF, HCl, чистая вода и т.п., заполняет контейнеры 51 на каждой из левой и правой опорных плит 4, при этом шпиндели 6, а следовательно, и обрабатываемые подложки W, вращаются приводными двигателями 71, а приводные цилиндры 72 одновременно обеспечивают близкое расположение или контакт обрабатываемых подложек W с полировальниками 5. В таком состоянии приводной двигатель 82 обеспечивает линейные возвратно-поступательные движения опорных плит 4 и контейнеров 51, находящихся на них, в горизонтальном направлении вдоль реек 31.
[0034] Иными словами, обрабатываемые поверхности обрабатываемых подложек W и полировальники 5, на которых образован слой катализатора, с которым контактирует обрабатываемая поверхность, вращаются друг относительно друга и совершают при этом возвратно-поступательное движение друг относительно друга в плоскости, пересекающей ось вращения. Таким образом, обрабатываемые поверхности обрабатываемых подложек W в ходе химической обработки с применением катализатора подвергаются планаризации с высокой точностью, приблизительно на атомарном уровне. При этом, поскольку опорные плиты 4 в левой и правой секциях SP1, SP2 планаризации совершают противофазные возвратно-поступательные движения (колебания) вдоль одной прямой, вибрации каждой из опорных плит 4 подавляют друг друга, поскольку вызывающие вибрацию силы, действующие на основание 1, существенно ослабляются, что и позволяет устранить вибрацию.
[0035] В данном случае, даже если обрабатываемая подложка W прижата к поверхности полировальника 5 вследствие эффекта адгезии воды, на обрабатываемую подложку, в отличие от известного уровня техники, не воздействует значительное круговое вращательное усилие, поскольку поверхность полировальника 5 совершает только малое возвратно-поступательное движение; таким образом, устраняется проблема известного уровня техники, в котором обрабатываемая подложка отделяется от держателя и захватывается внешним фиксатором, что приводит к повреждению и т.п.
[0036] Другие варианты осуществления изобретения
В описанном выше варианте осуществления, вместо вращения обрабатываемой подложки, и линейного возвратно-поступательного движения полировальника, обрабатываемая подложка может совершать линейное возвратно-поступательное движение, а полировальник может вращаться. При этом не обязательно использовать вращение и, кроме того, возвратно-поступательное движение не обязательно является линейным движением. Кроме того, использование возвратно-поступательного движения не обязательно и вместо него может использоваться однонаправленное движение.
Механизм привода возвратно-поступательного движения не ограничен механизмом согласно описанному выше варианту осуществления и вместо него может использоваться типовой кривошипный механизм, преобразующий вращательное движение, создаваемое приводным двигателем, в линейное возвратно-поступательное движение. Кроме того, можно использовать шариковый винтовой механизм, механизм притягивания/отталкивания, основанный на магнитной силе, цилиндровый механизм и другие механизмы.
[0037] В описанном выше варианте осуществления основание также может совершать возвратно-поступательное движение в направлении, параллельном поверхности основания, например, с использованием шарикового винтового механизма или кулачкового механизма. В этом случае планаризация обрабатываемой подложки выполняется равномерно как в центральной части, так и в периферийной части обрабатываемой подложки. Кроме основания, описанного выше, другое основание может дополнительно находиться ниже описанного основания и это другое основание также может совершать возвратно-поступательное движение в направлении, параллельном поверхности основания, как описано выше, например, с использованием шарикового винтового механизма или кулачкового механизма. Подобным образом, помимо опорных плит 4, могут быть предусмотрены другие опорные плиты на опорных плитах 4, а также может быть предусмотрен механизм, обеспечивающий возвратно-поступательное движение этих других опорных плит в направлении, параллельном поверхности опорных плит 4 (например, в направлении вперед/назад относительно плоскости фиг. 1). Заготовка не ограничена объектом в форме пластины, таким как подложка. Достаточно лишь, чтобы заготовка имела форму, позволяющую выполнять обработку ее поверхности. Даже если заготовка имеет иную форму, позволяющую выполнять каталитическое травление, т.е. химическую обработку с применением катализатора, возникновение «вибрации в направлении вверх/вниз, воздействующей на заготовку» может вызывать проблемы. Ситуация, в которой следует избегать появления «вибрации в направлении вверх/вниз, воздействующей на заготовку», не ограничено случаем, когда объектом обработки является заготовка в форме пластины, такая как подложка.
В каждом из вариантов осуществления, описанных выше, вместо поднимающихся и опускающихся держателей 62 может использоваться конструкция, поднимающая и опускающая опорные плиты 4.
[0038] В описанном выше варианте осуществления, полировальник, предусмотренный в каждом из контейнеров для хранения жидкости, может отделяться от них, тем не менее, полировальник сам может быть выполнен в виде контейнера для жидкости, необходимой для каталитической реакции. Жидкость необязательно должна храниться в контейнере, вместо этого она может подаваться и протекать через пространство между обрабатываемой подложкой и полировальником.
В описанном выше варианте осуществления в качестве второго приводного средства используется приводной цилиндр, тем не менее, приводной цилиндр может быть заменен на шариковый винтовой механизм, манипулятор робота или любой другой механизм.
[0039] В описанном выше варианте осуществления предусмотрена пара секций SP1 и SP2 планаризации, имеющих одинаковую конструкцию и одинаковую массу, тем не менее, одна из секций планаризации может быть противовесной секцией, имеющей такую же массу, что и секция планаризации. Противовесная секция в этом случае не обязательно целиком является противовесом. Например, часть деталей секции планаризации можно удалить и предусмотреть тело, масса которого равна массе удаленной части. Противовесная секция также может быть противовесной секцией с использованием механизма давления. Кроме того, в описанном выше варианте осуществления тяговые пластины 83 и 84 соединяют секции 93 и 94 вала тела 9 вала с опорными плитами 4, но это необязательно. Например, могут быть предусмотрены прижимающие элементы, которые прижимают опорные плиты 4 к телу вала, так что один конец каждой опорной плиты 4 находится в контакте с внешней круглой поверхностью секций 93 или 94 вала.
[0040] В варианте осуществления, описанном выше, пара опорных плит 4 совершает возвратно-поступательные движения в противоположных направлениях вдоль одной прямой линии для почти полного ослабления вызывающих вибрацию сил, возникающих из противодействующих сил, создаваемых движением. Тем не менее, опорные плиты 4 (или противовесные секции) не обязательно должны располагаться вдоль одной прямой линии. Например, три или большее количество опорных плит (или противовесных секций) могут располагаться с равными угловыми интервалами по окружности вокруг тела вала основного привода и одновременно совершать возвратно-поступательные движения в направлении внутрь и наружу.
Таким образом, при возникновении описанной выше «вибрации в направлении вверх/вниз, воздействующей на заготовку» (т.е. в случае изменения положения центра тяжести устройства), для ее устранения противовесная секция должна быть способна двигаться в таком направлении, чтобы движение противовесной секции полностью или по меньшей мере частично устраняло эту вибрацию устройства (т.е. изменение положения центра тяжести). В этом случае противовесная секция может перемещаться в таком направлении, чтобы движение противовесной секции непосредственно устраняло «вибрацию в направлении вверх/вниз», которая сама является нежелательным явлением. В случае наличия вибрации, вызывающей «вибрацию в направлении вверх/вниз» (изменение положения центра тяжести устройства), противовесная секция может перемещаться в направлении, в котором движение противовесной секции устраняет такую вибрацию.
[0041] Жидкость, необходимая для каталитической реакции, может быть заменена на газ. Кроме того, жидкость и газ также могут использоваться совместно. В описанном выше варианте осуществления держатели 62 и опорные плиты 4 расположены так, что они обращены друг к другу в направлении вверх/вниз, но вместо этого они могут располагаться так, чтобы они были обращены друг к другу в направлении вправо/влево. В случае, если в каталитической реакции используется по меньшей мере газ или взвесь, держатели 62 могут находиться на нижней стороне, опорные плиты 4 могут находиться на верхней стороне, а положение конструкций, необходимое для вертикальной компоновки, может изменяться в любом из направлений вверх, вниз, вправо и влево в той степени, в которой эти изменения не отклоняются от сущности настоящего изобретения. Соединение приводного двигателя 82 с выходным валом 821 может быть соединением с использованием муфты, ремня или шестерни. Каждый из держателей 62 может, например, удерживаться зажимом, крепиться винтами, зажиматься колодками, фиксироваться в углублениях, отверстиях или на выступах или иметь другую конструкцию.
[0042] В описанном выше варианте осуществления опорные плиты 4 совершают противофазные возвратно-поступательные движения вдоль одной прямой линии, тем не менее, опорные плиты 4 необязательно должны совершать возвратно-поступательные движения вдоль одной прямой линии. На фиг. 4 показан пример такого случая. На фиг. 4 использованы те же позиционные обозначения, что и в описанном выше варианте осуществления. Как показано на фиг. 4, внутренние изогнутые концевые части опорных плит 4 поворотно соединены с несоосными секциями 93 и 94 тела 9 вала (см. фиг. 3). Опорные плиты 4 размещены на скользящих опорах 11, установленных на основании 1, а верхние концевые части 12 валов, которые являются эксцентриками и поворотно соединены с основанием 1, вставлены в наружные концевые части опорных плит 4 с возможностью скольжения и поворота. В соответствии с этой конструкцией, опорные плиты 4 совершают противофазные возвратно-поступательные движения в эллиптической области, если смотреть сверху, в соответствии с вращением, создаваемым приводным двигателем 82. В результате этого опорные плиты 4 (а, следовательно, и полировальники 5 (см. фиг. 2)) перемещаются в более широкой области, чем в описанном выше варианте осуществления, где опорные плиты 4 совершают возвратно-поступательные движения. Это позволяет увеличить площадь однородной поверхности обрабатываемой подложки W.
[0043] На фиг. 5 представлена другая конструкция, обеспечивающая реализацию той же функции, что и конструкция на фиг. 4. Внутренние изогнутые концевые части плит 4, размещенные на скользящих опорах 11, поворотно соединены с эксцентриковыми секциями тела 9 вала (см. секции 93 и 94 вала на фиг. 3), а эксцентриковые валы 131, каждый из которых приводится в движение и вращается двигателем 13, вставлены в наружные концевые части плит 4 с возможностью скольжения и поворота. Опорные плиты 4 могут совершать противофазные возвратно-поступательные движения в эллиптической области, если смотреть сверху, за счет синхронного вращения валов двигателей 13. Тело 9 вала может соединяться с основанием 1, как показано на фиг. 5, или может приводиться в движение и вращаться двигателем, синхронизированным с двигателями 13.
[0044] На фиг. 6 показана еще одна конструкция, обеспечивающая реализацию той же функции, что и конструкция на фиг. 4. Внутренние изогнутые концевые части плит 4, размещенные на скользящей опоре 11, поворотно соединены с эксцентриковыми секциями тел валов 9А и 9В (см. секции 93 и 94 вала на фиг. 3), а эксцентриковые валы 131, которые приводятся в движение и вращаются двигателями 13, вставлены в наружные концевые части плит 4 с возможностью скольжения и поворота. Опорные плиты 4 могут совершать противофазные возвратно-поступательные движения в эллиптической области, если смотреть сверху, за счет синхронного вращения валов двигателей 13. Тела 9А и 9В валов могут соединяться с основанием 1, как показано на фиг. 6, или могут приводиться в движение и вращаться двигателями, синхронизированными с двигателями 13.
[0045] Очевидно, что в соответствии с описанными выше вариантами осуществления могут быть реализованы следующие способы эксплуатации и способы изготовления заготовки.
Способ эксплуатации устройства для планаризации, содержащего секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и тела катализатора, и направляющий элемент, обеспечивающий движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
Способ эксплуатации устройства для планаризации, содержащего секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает одну заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или тела катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и тела катализатора, и направляющий элемент, обеспечивающий движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
Способ эксплуатации устройства для планаризации, содержащего секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или тела катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает расположение его или ее поверхности напротив поверхности, соответственно, заготовки или тела катализатора, направляющий элемент, обеспечивающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции, и второе приводное средство, обеспечивающее движение первого удерживающего средства или второго удерживающего средства в направлении, пересекающем поверхность заготовки или тела катализатора, для обеспечения контакта или близости их поверхностей друг к другу; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
Способ изготовления заготовки с использованием секции планаризации, содержащей первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и тела катализатора, и направляющий элемент, обеспечивающий движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; включающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
Способ изготовления заготовки с использованием секции планаризации, содержащей первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или тела катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и тела катализатора, и направляющий элемент, обеспечивающий движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; включающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
Способ изготовления заготовки с использованием секции планаризации, содержащей первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или тело катализатора, имеющее по меньшей мере поверхностный слой катализатора, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или тела катализатора, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, тело катализатора или заготовку и обеспечивает расположение его или ее поверхности напротив поверхности, соответственно, заготовки или тела катализатора, направляющий элемент, обеспечивающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или тела катализатора, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет каталитической реакции, и второе приводное средство, обеспечивающее движение первого удерживающего средства или второго удерживающего средства в направлении, пересекающем поверхность заготовки или тела катализатора, для обеспечения контакта или близости друг к другу поверхностей заготовки и тела катализатора; по меньшей мере одну противовесную секцию; включающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[0046] Очевидно, что в соответствии с описанным выше вариантом осуществления дополнительно могут быть реализованы следующие устройства, способы эксплуатации и способы обработки заготовки.
В приведенном ниже описании, движение в «направлении, перпендикулярном поверхности тела катализатора», описанное в пп. [2], [4] и [6] параграфа [0047], соответствует, например, «вибрации в направлении вверх/вниз, воздействующей на заготовку», как описано выше, и в описанных выше вариантах осуществления представляет собой движение, эквивалентное вибрации, которую, в силу ее природы, необходимо непосредственно устранить. В описанных выше вариантах осуществления «движение» означает движение, эквивалентное вибрации в направлении вдоль шпинделей 6 (в направлении вверх/вниз).
Движение в «направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора», описанное в пп. [1], [3] и [5], представляет собой, например, движение, вызывающее «вибрацию в направлении вверх/вниз, воздействующую на заготовку», как описано выше. В описанных выше вариантах осуществления «движение» означает движение в направлении возвратно-поступательного движения одной из секций планаризации (в горизонтальном направлении).
«Ориентация, позволяющая полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства», описанная, например, в пп. [1]-[6], означает, что «вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил, создаваемых движением, полностью ослаблены», как описано выше. В вариантах осуществления согласно пп. [1], [3] и [5], описанных выше в отношении движения одной из секций планаризации (например, секции планаризации SP1), другая секция планаризации (например, секция планаризации SP2) совершает возвратно-поступательное движение вдоль той же прямой линии в противофазе.
[0047] [1] Устройство для планаризации, содержащее противовесную секцию, способную двигаться в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора.
[2] Устройство для планаризации, содержащее средство, способное действовать таким образом, что заготовка и/или тело катализатора, имеющее каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, перемещается из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, перпендикулярную поверхности тела катализатора, и противовесную секцию, способную двигаться в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате работы средства, выполняющего такое действие.
[3] Способ эксплуатации устройства для планаризации, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора.
[4] Способ эксплуатации устройства для планаризации, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, перпендикулярную поверхности тела катализатора.
[5] Способ изготовления заготовки, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора, для выполнения планаризации заготовки.
[6] Способ изготовления заготовки, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, перпендикулярную поверхности тела катализатора, для выполнения планаризации заготовки.
[7] Способ эксплуатации устройства для планаризации, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, расположенное в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора, в котором направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения из первого положения во второе положение, и направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения противовесной секции, ориентированы по одной прямой линии, если смотреть в направлении, перпендикулярном поверхности тела катализатора.
[8] Способ эксплуатации устройства для планаризации, описанный в пп. [3] или [7], в котором направление перемещения из первого положения во второе положение дополнительно имеет составляющую, перпендикулярную поверхности тела катализатора.
[9] Способ эксплуатации устройства для планаризации, описанный в пп. [3], [7] или [8], в котором перемещение противовесной секции представляет собой перемещение другой заготовки, отличной от упомянутой ранее заготовки, и/или другого тела катализатора, отличного от упомянутого ранее тела катализатора и имеющего слой катализатора по меньшей мере на той поверхности другого тела катализатора, которая обращена к другой заготовке, из третьего положения по меньшей мере в четвертое положение в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности другого тела катализатора.
[10] Способ изготовления заготовки, включающий перемещение противовесной секции в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора, для выполнения планаризации заготовки, в котором направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения из первого положения во второе положение, и направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения противовесной секции, ориентированы по одной прямой линии, если смотреть в направлении, перпендикулярном поверхности тела катализатора.
[11] Способ изготовления заготовки, описанный в пп. [5] или [10], в котором направление перемещения из первого положения во второе положение дополнительно имеет составляющую, параллельную поверхности тела катализатора.
[12] Способ изготовления заготовки, описанный в пп. [5], [10] или [11], в котором перемещение противовесной секции представляет собой перемещение другой заготовки, отличной от упомянутой ранее заготовки, и/или другого тела катализатора, отличного от упомянутого ранее тела катализатора и имеющего слой катализатора по меньшей мере на той поверхности другого тела катализатора, которая обращена к другой заготовке, из третьего положения по меньшей мере в четвертое положение в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности другого тела катализатора.
[13] Устройство для планаризации, содержащее средство для перемещения заготовки и/или тела катализатора, имеющего каталитический слой по меньшей мере на той его поверхности, которая обращена к заготовке, из первого положения по меньшей мере во второе положение, в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности тела катализатора, и противовесную секцию, способную перемещаться в направлении, позволяющем полностью или по меньшей мере частично устранить изменение положения центра тяжести устройства, возникающее в результате такого перемещения,
в котором направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения из первого положения во второе положение, и направление изменения положения центра тяжести, возникающего в результате перемещения противовесной секции, ориентированы по одной прямой линии, если смотреть в направлении, перпендикулярном поверхности тела катализатора.
[14] Устройство для планаризации, описанное в пп. [1] или [13], в котором направление перемещения из первого положения во второе положение дополнительно имеет составляющую, перпендикулярную поверхности тела катализатора.
[15] Устройство для планаризации, описанное в пп. [1], [13] или [14], в котором противовесная секция дополнительно содержит средство для перемещения другой заготовки, отличной от упомянутой ранее заготовки, и/или другого тела катализатора, отличного от упомянутого ранее тела катализатора и имеющего слой катализатора по меньшей мере на той поверхности другого тела катализатора, которая обращена к другой заготовке, из третьего положения по меньшей мере в четвертое положение в направлении, имеющем составляющую, параллельную поверхности другого тела катализатора. [0048] Объем настоящего изобретения не ограничен планаризацией, выполняемой способом химической обработки с применением катализатора, как описано выше, и в этом случае могут быть реализованы следующие конструкции.
[16] Устройство для планаризации, содержащее секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или по меньшей мере один полировальник, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, полировальник или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и полировальника, и направляющий элемент, обеспечивающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или полировальника, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет химической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[17] Устройство для планаризации, содержащее секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или по меньшей мере один полировальник, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или полировальника, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, полировальник или заготовку и обеспечивает контакт или близкое расположение поверхностей заготовки и полировальника, и направляющий элемент, обеспечивающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или полировальника, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет химической реакции; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[18] Устройство для планаризации, содержащее секцию планаризации, содержащую первое удерживающее средство, которое удерживает заготовку или по меньшей мере один полировальник, первое приводное средство, вращающее первое удерживающее средство вокруг оси вращения, пересекающей поверхность заготовки или полировальника, второе удерживающее средство, которое удерживает, соответственно, полировальник или заготовку и обеспечивает расположение поверхностей заготовки и полировальника друг напротив друга, направляющий элемент, обеспечивающий возвратно-поступательное движение второго удерживающего средства в направлении, параллельном другой поверхности заготовки или полировальника, по меньшей мере на величину, обеспечивающую планаризацию за счет химической реакции, и второе приводное средство, обеспечивающее движение первого удерживающего средства или второго удерживающего средства в направлении, пересекающем поверхность заготовки или полировальника, для обеспечения контакта или близости их поверхностей друг к другу; по меньшей мере одну противовесную секцию; и основной привод, обеспечивающий перемещение второго удерживающего средства секции планаризации и противовесной секции таким образом, что вызывающие вибрацию силы, возникающие из противодействующих сил при их движении, полностью ослабляются.
[19] Устройство для планаризации, описанное в любом из пп. [16]-[18], в котором два или большее количество вторых удерживающих средств и противовесных секций располагаются с интервалами по окружности вокруг тела вала основного привода, а основной привод обеспечивает одновременные возвратно-поступательные движения вторых удерживающих средств и противовесных секций в направлении внутрь и наружу.
[20] Устройство для планаризации, описанное в любом из пп. [16]-[19], в котором основной привод противофазно перемещает второе удерживающее средство и противовесную секцию в одной плоскости в противоположных направлениях.
[21] Устройство для планаризации, описанное в любом из пп. [16]-[20], в котором основной привод противофазно перемещает второе удерживающее средство и противовесную секцию вдоль одной прямой линии в противоположных направлениях.
[22] Устройство для планаризации, описанное в любом из пп. [16]-[21], в котором противовесная секция представляет собой другую секцию планаризации, выполняющую функцию планаризации.
[23] Устройство для планаризации, описанное в любом из пп. [16]-[22], в котором основной привод содержит приводной двигатель и пару секций вала, расположенных симметрично, отстоящих на одинаковое расстояние в радиальном направлении от оси выходного вала приводного двигателя и поворачивающихся при вращении выходного вала, а второе удерживающее средство и противовесная секция совершают возвратно-поступательные движения синхронно с парой соответствующих секций вала.
Список ссылочных номеров
[0049] 1 - основание; 3 - линейная направляющая (направляющий элемент); 4 - опорная плита (второе удерживающее средство); 5 - полировальник (тело катализатора); 71 -приводной двигатель (первое приводное средство); 62 - держатель (первое удерживающее средство); 72 - приводной цилиндр (второе приводное средство); 82 - приводной двигатель; 93, 94 - секция вала; SP1, SP2 - устройство для планаризации; PD - основной привод; W - заготовка.