Устройство для напыления нанокристаллических покрытий

Устройство для напыления нанокристаллических покрытий, содержащее вакуумную камеру, магнетронный и ионный источники, вращающийся подложкодержатель с подложками, нагреватели, систему управления вращением подложкодержателя, отличающееся тем, что с целью расширения функциональных воможностей дополнительно введены энкодер, связанный с осью вращения подложкодержателя с подложками, и контроллер сканирования, ко входу которого подключен энкодер, а к выходу - система управления скоростью и направлением  вращения подложкодержателя.