ИСТОЧНИК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Источник (1) для нанесения покрытия физическим осаждением из паровой фазы, включающий по меньшей мере один компонент (2, 7, 8), изготовленный из по меньшей мере одного порошкообразного исходного материала в процессе изготовления способом порошковой металлургии, и по меньшей мере одну ферромагнитную область (5a, 5b, 6), встроенную в компонент, причем по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) введена в компонент (2, 7, 8) и неподвижно соединена с компонентом в процессе изготовления способом порошковой металлургии.
2. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одну область (6), изготовленную из ферромагнитного материала, введенного в порошковой форме в процессе изготовления способом порошковой металлургии.
3. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одну область с постоянной намагниченностью.
4. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) включает по меньшей мере одно ферромагнитное тело (5а, 5b), введенное в процессе изготовления способом порошковой металлургии.
5. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия включает мишень (2), и по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) расположена в мишени.
6. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия включает мишень (2) и подкладку (7), которая неподвижно соединена с мишенью для теплового взаимодействия с охлаждаемой подложкой установки для нанесения покрытия, и по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) расположена в мишени (2) и/или подкладке (7).
7. Источник для нанесения покрытия по п.1, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия включает мишень (2) и крепление (8), которое соединено с мишенью с возможностью съема, для соединения мишени с охлаждаемой подложкой установки для нанесения покрытия, и по меньшей мере одна ферромагнитная область (5a, 5b, 6) расположена в креплении (8).
8. Источник для нанесения покрытия по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия представляет собой источник для нанесения покрытия методом магнетронного распыления.
9. Источник для нанесения покрытия по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что источник (1) для нанесения покрытия представляет собой источник для нанесения покрытия методом катодно-дугового осаждения.
10. Способ изготовления источника (1) для нанесения покрытия физическим осаждением из паровой фазы, включающий следующие стадии:
помещение в пресс-форму по меньшей мере одного порошкообразного исходного материала для по меньшей мере одного компонента (2, 7, 8) источника для нанесения покрытия,
введение в пресс-форму ферромагнитного порошка (6) и/или по меньшей мере одного ферромагнитного тела (5a, 5b) таким образом, чтобы он(о) был(о) расположен(о) в по меньшей мере одной области порошкообразного исходного материала, и
уплотнение образованного таким образом компонента.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что введение выполняют по меньшей мере в одной области исходного материала, которая образует мишень (2) в источнике (1) для нанесения покрытия.
12. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что введение выполняют по меньшей мере в одной области исходного материала, которая в источнике (1) для нанесения покрытия образует подкладку (7), неподвижно соединенную с мишенью (2), для теплового взаимодействия с охлаждаемой подложкой установки для нанесения покрытия.
13. Способ по п.10 или 11, отличающийся тем, что введение выполняют в области исходного материала, которая в источнике (1) для нанесения покрытия образует крепление (8), соединенное с мишенью (2) с возможностью съема, для соединения мишени (2) с охлаждаемой подложкой установки для нанесения покрытия.