МИКРОСТРУЙНОЕ УСТРОЙСТВО И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И СОДЕРЖАЩИЙ ЕГО СЕНСОР

1. Микроструйное устройство, содержащее:
- первую подложку (120), имеющую первую поверхность (122);
- вторую подложку (128), имеющую вторую поверхность (126);
причем вторая поверхность обращена к первой поверхности, и между первой и второй подложкой образована граница раздела;
- первые вырезы (124) и вторые вырезы (130), предусмотренные на границе раздела;
при этом первые вырезы и вторые вырезы образуют канал (104), меандрирующий в плоскости под прямыми углами к границе раздела; и
по меньшей мере часть вырезов содержит пористый материал (114),
отличающееся тем, что вторая поверхность контактирует с первой поверхностью, образуя при этом указанную границу раздела между первой и второй подложкой.
2. Микроструйное устройство по п.1, в котором первые вырезы (124) расположены в первой поверхности (122), а вторые вырезы (130) расположены во второй поверхности (126).
3. Микроструйное устройство по п.1, в котором по меньшей мере часть вырезов (124, 130) заполнена другим пористым материалом.
4. Микроструйное устройство по п.2, в котором по меньшей мере часть вырезов (124, 130) заполнена другим пористым материалом.
5. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором пористый материал (114) примыкает к углу выреза (124, 130).
6. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором при использовании, пористый материал (114) в первом вырезе (124) контактирует со второй поверхностью (126), и/или в котором при использовании пористый материал (114) во втором вырезе (130) контактирует с первой поверхностью (122).
7. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором улавливающее вещество (116) для связывания заданного вещества размещается в или на пористом материале (114) одного или более вырезов (124, 130).
8. Микроструйное устройство по п.7,
в котором при использовании улавливающее вещество (116) в первом вырезе (124) контактирует со второй поверхностью (126), и/или в котором при использовании улавливающее вещество (116) во втором вырезе (130) контактирует с первой поверхностью (122).
9. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором пористый материал (114) способен набухать в контакте с пробной текучей средой.
10. Микроструйное устройство по п.7, в котором на границе раздела первой подложки (120) и второй подложки (128) предусмотрены стенки (134, 135) для направления первого сигнала измерения улавливающего вещества (116) в первом направлении и/или для направления второго сигнала измерения другого улавливающего вещества во втором направлении.
11. Микроструйное устройство по п.10, в котором второе направление является, по существу, противоположным первому направлению.
12. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором первые вырезы (124) и/или вторые вырезы (130) имеют скошенные стенки (150, 152).
13. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором дно первых вырезов (124) и/или вторых вырезов (130) обеспечено поглощающим или отражающим слоем (136).
14. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором боковые стенки первых вырезов (124) и/или вторых вырезов (130) обеспечены отражающим слоем (138).
15. Микроструйное устройство по одному из пп.1-4, в котором пористый материал (114) содержит по меньшей мере один реагент для растворения в пробной текучей среде.
16. Сенсорное устройство, содержащее микроструйное устройство по любому из предшествующих пунктов, причем сенсорное устройство дополнительно содержит детектор (4) для измерения ответного сигнала, генерированного в микроструйном устройстве.
17. Способ изготовления микроструйного устройства, включающий следующие стадии:
- обеспечение первых вырезов (124) и вторых вырезов (130) в первой поверхности (122) первой подложки (120) и/или во второй поверхности (126) второй подложки (128);
- обеспечение по меньшей мере части первых вырезов пористым материалом (114) и опционально обеспечение по меньшей мере части вторых вырезов другим пористым материалом; и
- приведение в контакт первой поверхности со второй поверхностью с образованием границы раздела между первой и второй подложкой, так что первые вырезы и вторые вырезы образуют канал (104), меандрирующий в плоскости под прямыми углами к границе раздела.