СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОКОМПОЗИТНОГО TiC/a-С:Н-ПОКРЫТИЯ

2
2
2
1. Способ получения нанокомпозитного TiC/a-C:H-покрытия, включающего нанокластеры карбида титана, распределенные в аморфной углеводородной матрице, основанный на магнетронном распылении титановой мишени в CH+Ar газовой смеси при давлениях 0,01-1 Па и осаждении распыленных частиц мишени и углеродсодержащих радикалов на поверхность изделий в сочетании с бомбардировкой поверхности ионами, ускоренными напряжением смещения, отличающийся тем, что в процессе нанесения покрытия газовая смесь активируется воздействием широкого (сотни см) пучка электронов с энергией, соответствующей максимуму сечения ионизации электронным ударом (~100 эВ).
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед нанесением покрытия и адгезионного подслоя поверхность изделия подвергается очистке распылением ионами аргона из плазмы, генерируемой электронным пучком.