СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ РЕЗОНАТОРОВ

2
2
Способ изготовления пьезоэлементов для высокочастотных резонаторов, включающий механическую шлифовку и полировку пластин из пьезоэлектриков, напыление на пластины металлических пленок защитного покрытия с адгезионным подслоем ванадия, формообразование кристаллических элементов химическим травлением, удаление защитного покрытия в растворах кислот и напыление электродов с адгезионным подслоем ванадия на кристаллические элементы, отличающийся тем, что при напылении защитного покрытия пленки ванадия наносят с толщиной 5-10 нм, а при напылении электродов пленки ванадия наносят с толщиной 15-20 нм, причем удаление защитного покрытия и электродов осуществляют в водных растворах, содержащих 0,4-0,5 об.% НСl и 4-7 об.% НO.