НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЯ НА МЕЛКИЕ ЧАСТИЦЫ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МОДУЛЯ ДЛЯ АТОМНОГО ОСАЖДЕНИЯ

1. Способ атомно-слоевого осаждения, включающий:
установку картриджа для атомно-слоевого осаждения (картриджа АСО) в приемник реактора АСО посредством осуществления быстроразъемного соединения, причем картридж АСО сконфигурирован с возможностью служить реакционной камерой АСО, и
обработку поверхности дисперсного материала в картридже АСО при последовательном использовании самоограниченных поверхностных реакций.
2. Способ по п. 1, в котором быстроразъемное соединение осуществляют посредством операции прикручивания, согласно которой картридж АСО прикручивают, пока он не будет зафиксирован в заданном положении стопорным компонентом, или посредством геометрического замыкания, обеспечивающего фиксацию картриджа АСО в заданном положении.
3. Способ по п. 1 или 2, включающий подачу в картридж АСО вибрирующего газа с целью препятствовать образованию агломератов в дисперсном материале.
4. Способ по п. 1 или 2, включающий использование отделенного от линий подачи прекурсоров проточного канала, чтобы подавать в процессе АСО неактивный вибрирующий газ в картридж АСО.
5. Способ по п. 1 или 2, включающий отведение остатка материала реакции к выхлопной части по меньшей мере через один выходной проход, выполненный внутри корпуса картриджа АСО.
6. Способ по п. 1 или 2, включающий загрузку дисперсного материала по загрузочному каналу, выполненному внутри корпуса картриджа АСО.
7. Способ по п. 1 или 2, включающий обработку дисперсного материала в расположенных одно над другим отделениях, каждое из которых отделено от смежного отделения пластинчатым фильтром.
8. Реактор атомно-слоевого осаждения (АСО), содержащий:
приемник, сконфигурированный для установки в реактор АСО, посредством осуществления быстроразъемного соединения, картриджа АСО, сконфигурированного с возможностью служить реакционной камерой АСО, и
линию (линии) подачи, сконфигурированную (сконфигурированные) с возможностью подавать в картридж АСО пары прекурсоров для осуществления обработки поверхности дисперсного материала в картридже АСО при последовательном использовании самоограниченных поверхностных реакций.
9. Реактор АСО по п. 8, в котором приемник сконфигурирован с возможностью установки картриджа АСО посредством его прикручивания до положения, в котором стопорный компонент фиксирует картридж АСО в заданном положении.
10. Реактор АСО по п. 8, в котором приемник сконфигурирован с возможностью установки картриджа АСО посредством геометрического замыкания с фиксацией картриджа АСО в заданном положении.
11. Реактор АСО по любому из пп. 8-10, содержащий источник вибрации, находящийся в проточном канале и сконфигурированный с возможностью подавать вибрирующий газ в картридж АСО с целью препятствовать образованию агломератов в дисперсном материале.
12. Реактор АСО по любому из пп. 8-10, содержащий выходной проход, выполненный внутри корпуса реактора АСО и сконфигурированный с возможностью принимать остаток материала реакции из выходного прохода, выполненного внутри корпуса картриджа АСО.
13. Реактор АСО по любому из пп. 8-10, содержащий загрузочный канал, выполненный внутри корпуса реактора АСО и сконфигурированный с возможностью подавать дисперсный материал в загрузочный канал, выполненный внутри корпуса картриджа АСО.
14. Реактор АСО по любому из пп. 8-10, в котором реактор АСО сконфигурирован с возможностью образования пространства для распространения газа, расположенного перед входным фильтром картриджа АСО.
15. Съемный картридж для осуществления АСО, сконфигурированный с возможностью служить реакционной камерой АСО и содержащий механизм для быстроразъемного соединения, сконфигурированный для обеспечения прикрепления к корпусу реактора АСО, посредством осуществления быстроразъемного соединения, указанного картриджа, сконфигурированного с возможностью осуществления, по завершении указанного прикрепления к корпусу реактора АСО, обработки поверхности дисперсного материала внутри картриджа при последовательном использовании самоограниченных поверхностных реакций.
16. Картридж АСО по п. 15, имеющий выходной проход, выполненный внутри корпуса картриджа АСО и сконфигурированный с возможностью выведения остатка материала реакции через корпус реактора АСО в выхлопной компонент.
17. Картридж АСО по п. 15 или 16, содержащий пластинчатые фильтры, установленные друг над другом с образованием между ними отделений для нанесения покрытия на дисперсный материал.
18. Картридж АСО по п. 15 или 16, содержащий пространство для распространения газа, расположенное под входным фильтром.
19. Аппарат для осуществления атомно-слоевого осаждения, содержащий реактор АСО, выполненный в соответствии с любым из пп. 8-14, и картридж АСО, выполненный в соответствии с любым из пп. 15-17.