СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЛИ ВОССТАНОВЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ РАСПЫЛЕНИЯ И АНОДОВ РЕНТГЕНОВСКИХ ТРУБОК

1. Способ восстановления или изготовления мишени распыления или анода рентгеновской трубки, в котором поток газа образует газопорошковую смесь с порошком из материала, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей двух или более из них и их сплавов с по меньшей мере двумя из них или с другими металлами, причем порошок имеет размер частиц от 0,5 до 150 мкм, и в котором газовому потоку сообщают сверхзвуковую скорость и направляют сверхзвуковую струю на поверхность объекта, подлежащего восстановлению или изготовлению.
2
2
2
2
2. Способ по п.1, в котором порошок добавляют в газ в таком количестве, что обеспечивают плотность потока частиц в диапазоне от 0,01 до 200 г/(с·см), предпочтительно от 0,01 до 100 г/(с·см), более предпочтительно от 0,01 до 20 г/(с·см) и наиболее предпочтительно от 0,05 до 17 г/(с·см).
3. Способ по п.1, в котором распыление включает стадии:
обеспечения распылительного отверстия смежно поверхности, на которую должно быть путем распыления нанесено покрытие;
подведения к распылительному отверстию порошка дисперсного материала, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей по меньшей мере двух из них или их сплавов друг с другом или с другими металлами, причем порошок имеет размер частиц от 0,5 до 150 мкм и порошок находится под давлением;
подведения инертного газа под давлением к распылительному отверстию для создания статического давления у распылительного отверстия и формирование распыленной струи указанного дисперсного материала и газа на покрываемую поверхность; и
размещения распылительного отверстия в зоне низкого давления окружающей среды, которое составляет менее 1 атм и которое, по существу, меньше, чем статическое давление у распылительного отверстия, для обеспечения существенного ускорения распыленной струи указанного дисперсного материала и газа на покрываемую поверхность.
4. Способ по п.1, в котором распыление осуществляют с использованием пушки холодного распыления, причем и покрываемую мишень и пушку холодного распыления располагают в вакуумной камере при давлении ниже 80 кПа, предпочтительно от 0,1 до 50 кПа и наиболее предпочтительно от 2 до 10 кПа.
5. Способ по п.1, в котором частицы порошка, ударяющиеся о поверхность объекта, образуют слой.
6. Способ по п.1, в котором перед восстановлением опорную пластину или другие имеющиеся компоненты конструкции не удаляют.
7. Способ по п.1, в котором скорость порошка в газопорошковой смеси составляет от 300 до 2000 м/с, предпочтительно от 300 до 1200 м/с.
8. Способ по п.1, в котором нанесенный слой имеет размер частиц от 5 до 150 мкм, предпочтительно от 10 до 50 мкм или от 10 до 32 мкм, или от 10 до 38 мкм, или от 10 до 25 мкм, или от 5 до 15 мкм.
9. Способ по п.1, в котором металлический порошок содержит газовые примеси в количестве от 200 до 2500 ч. мил, в пересчете на массу.
10. Способ по п.1, в котором металлический порошок имеет содержание кислорода менее 1000 ч.мил, или менее 500 ч.мил, или менее 300 ч.мил, в частности менее 100 ч.мил.
11. Способ по п.1, в котором нанесенный слой имеет содержание кислорода менее 1000 ч.мил, или менее 500 ч.мил, или менее 300 ч.мил, более конкретно менее 100 ч.мил.
12. Способ по п.1, в котором нанесенный слой имеет содержание газовых примесей, отличающееся не более чем на 50% от содержания газовых примесей в исходном порошке.
13. Способ по п.1, в котором нанесенный слой имеет содержание газовых примесей, отличающееся не более чем на 20% или не более чем на 10% или не более чем на 5%, или не более чем на 1% от содержания газовых примесей в исходном порошке.
14. Способ по п.1, в котором нанесенный слой имеет содержание кислорода, отличающееся не более чем на 5%, более конкретно не более чем на 1% от содержания кислорода в исходном порошке.
15. Способ по п.1, в котором содержание кислорода в нанесенном слое не превышает 100 ч. мил.
16. Способ по п.1, в котором нанесенный металлический слой содержит тантал или ниобий.
17. Способ по п.1, в котором толщина слоя составляет от 10 мкм до 10 мм или от 50 мкм до 5 мм.
18. Способ по одному из пп.1-17, в котором слои наносят холодным распылением на поверхность покрываемого объекта, предпочтительно слои тантала или ниобия.
19. Способ по п.18, в котором полученные слои имеют содержание кислорода ниже 1000 ч.мил.
20. Способ применения порошка из материала, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония или их сплавов друг с другом или с другими металлами, с размером частиц 150 мкм или менее, в способе согласно одному или более из предшествующих пунктов.
21. Способ применения порошка из материала, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония или их сплавов друг с другом или с другими металлами, с размером частиц 150 мкм или менее, для изготовления или восстановления мишеней распыления или анодных пластин рентгеновских трубок, предпочтительно вращающихся анодных пластин рентгеновских трубок.
22. Способ по п.20 или 21, в котором применяемый металлический порошок имеет содержание кислорода 300 ч. мил или менее и размер частиц 150 мкм или менее.
23. Способ по п.20 или 21, в котором применяют ниобиевый или танталовый порошок, имеющий размер частиц 150 мкм или менее и содержание кислорода менее 300 ч. мил.
24. Способ применения по п.20 или 21, в котором применяют вольфрамовый или молибденовый порошок, имеющий размер частиц от 0,5 до 150 мкм, предпочтительно от 3 до 75 мкм, в частности от 5 до 50 мкм, или от 10 до 32 мкм, или от 10 до 38 мкм, или от 10 до 25 мкм, или от 5 до 15 мкм и содержание кислорода 500 ч. мил или менее.
25. Способ применения по п.20 или 21, в котором металлический порошок представляет собой сплав следующего состава: молибден - от 94 до 99 мас.%, предпочтительно от 95 до 97 мас.%, ниобий - от 1 до 6 мас.%, предпочтительно от 2 до 4 мас.%, цирконий - от 0,05 до 1 мас.%, предпочтительно от 0,05 до 0,02 мас.%.
26. Способ применения по п.20 или 21, в котором металлический порошок представляет собой сплав, псевдосплав или порошковую смесь огнеупорного металла, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, циркония и титана, с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота.
27. Способ применения по п.20 или 21, в котором металлический порошок включает вольфраморениевый сплав.
28. Способ применения по п.20 или 21, в котором металлический порошок включает смесь титанового порошка с вольфрамовым порошком или молибденовым порошком.
29. Слой огнеупорного металла на мишени распыления или на аноде рентгеновской трубки, получаемый способом по одному или более из предшествующих пп.1-19.
30. Мишень распыления или анод рентгеновской трубки, содержащая по меньшей мере один слой огнеупорных металлов ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей двух или более из них, или сплавов двух или более из них, или сплавов с другими металлами, обработанная или восстановленная с использованием способа по одному или более из предшествующих пп.1-19.