МЕТОД ОБРАБОТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПЛАСТИН ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ АКТИВНЫХ ОБЛАСТЕЙ

2
4
2
2
4
2
2
2
Метод обработки поверхности пластин для формирования активных областей, отличающийся тем, что кремниевые пластины подвергают двухстадийной обработке в двух ваннах с различными растворами: в первой ванне содержится раствор, состоящий из серной кислоты и перекиси водорода (HSO:НО) в соотношении компонентов 9:1 при температуре Т=105±5°С; во второй ванне содержится раствор, состоящий из водного аммиака, перекиси водорода и деионизованной воды (NHOH:HO:НО) в соотношении компонентов 1:5:15 при температуре Т=55°С, длительность обработки в каждой из ванн по 5 мин, при этом количество пылинок составило 3 шт.