ЗАСЛОНКА
SHUTTER

Изобретение относится к устройствам напыления пленок металлов с помощью резистивного испарителя и двух электронных испарителей.
Напыление осуществляется с помощью двухлопастной заслонки, которая в соответствии с технологическим процессом открывает сектор над резистивным испарителем и испаряемый материал наносится в вакууме на подложки из специального материала, затем происходит полное раскрытие лопастей на максимальный угол и уже наносится другой материал с обоих электронных испарителей.
Очередность напыления с резистивных и электронных испарителей может меняться в зависимости от технологического процесса.
Известны разные конструктивные варианты задвижек (заслонок) (см. патенты №709484, №498241 и др.). Эти задвижки используются для сыпучих материалов и, имея большие габариты, не могут использоваться в вакуумной технике.
Наиболее близким из аналогов, в качестве прототипа, выбран затвор для емкостей №2070860, конструкция которого раскрыта в способе выполнения затвора для емкостей.
Сущность изобретения: способ выполнения затвора для емкостей включает монтаж на корпусе с выпускным отверстием двух створок с хвостовиками посредством общей вертикальной оси и соединение хвостовиков с приводным механизмом, обеспечивающим сведение и разведение концов хвостовиков. Корпус монтируют с двумя бортами, на одном из которых выполняют сообщенное с выпускным отверстием углубление для размещения в нем створок, а в другом - резьбовое отверстие, при этом в качестве приводного механизма используют размещенную в резьбовом отверстии винтовую штангу, снабженную квадратной гайкой, на наружной поверхности которой выполнены канавки для размещения в них концов хвостовиков.
Недостатком данного устройства является то, что раскрытие створок в нем осуществляется на незначительный угол - только для перекрытия отверстия, большие габариты устройства и использование этого устройства в области вакуумной технологи не представляется возможным.
В нашем случае необходимо открытие створок на большой внешний угол при обороте винта поворота не более чем на 180°.
Заявляемое техническое решение решает задачу устранения выше перечисленных недостатков.
Сущность изобретения состоит в том, что заслонка содержит две створки сегментной формы, сидящие на одной оси для их синхронного поворота в разные стороны, и механизм сведения и разведения створок, который выполнен в виде ползуна, представляющего собой гайку, внутри которой выполнены две винтовые канавки, в которых находятся ролики, закрепленные на оси, установленной перпендикулярно на валу, который приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности гайки выполнены ушки, в которых на осях симметрично закреплены две серьги, при этом второй конец каждой серьги шарнирно соединен с осью закрепленной на рычаге, кроме этой оси на рычаге перпендикулярно его плоскости закреплена втулка, причем оба рычага установлены втулками навстречу друг другу на одной центральной оси для синхронного поворота в разные стороны.
При осуществлении изобретения осуществляется технический результат, а именно происходит открытие створок на больший внешний угол при повороте вала не более чем на 180°.
Сопоставительный анализ с аналогами и прототипом позволяет сделать вывод, что заявленное техническое решение отличается тем, что механизм сведения и разведения створок выполнен в виде ползуна, представляющего собой гайку, внутри которой выполнены две винтовые канавки, в которых находятся ролики, закрепленные на оси, установленной перпендикулярно на валу, который приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности гайки выполнены ушки, в которых на осях симметрично закреплены две серьги, при этом второй конец каждой серьги шарнирно соединен с осью, закрепленной на рычагах и отстоящей от оси вращения рычагов, причем рычаги установлены на общей оси навстречу друг другу.
Таким образом, заявленное техническое решение соответствует критерию «новизна».
Предлагаемые чертежи поясняют сущность предлагаемого технического решения.
Фиг. 1 - вид заслонки сверху с разрезом в закрытом состоянии;
Фиг. 2 - вид заслонки сверху с разрезом в открытом состоянии;
Фиг. 3 - вид заслонки, главная проекция в разрезе и с сечениями;
Фиг. 4 - вид рычага заслонки в сборе.
Заслонка содержит две створки 1 и 2 сегментной формы, закрепленные на рычагах 3 и 4 винтами 5 и сидящие на общей оси 6 для их синхронного поворота в разные стороны и механизм сведения и разведения створок. Механизм сведения и разведения створок выполнен в виде корпуса 7, внутри которого расположены: ползун 8, в котором жестко закреплена винтами 9 гайка 10, в ней выполнены две винтовые канавки 11 и 12, а в них расположены ролики 13, вращающиеся на оси 14, запрессованной перпендикулярно на валу 15, последний приводится во вращение по заданной программе, а на торцевой поверхности ползуна 8 выполнены ушки 16, в которых на осях 17 симметрично закреплены две серьги 18 и 19, при этом второй конец каждой серьги 18 и 19 шарнирно соединен с осью 20, закрепленной (по одной) на рычагах 3 и 4. Кроме того, оба рычага 3 и 4 снабжены втулками 21 с отверстием 22 и установлены перпендикулярно плоскости рычага навстречу друг другу на оси 6, а сегментные створки 1 и 2 выполнены легкосъемными.
Заслонка работает следующим образом: при повороте вала 15 на некоторый угол, ролики 13, прокатываясь по винтовым канавкам 11, 12, перемещают гайку 10 с ползуном 8 вперед или назад, в зависимости от направления вращения вала.
Перемещаясь, ползун 8, посредством серег 18 и 19, шарнирно закрепленных на нем и на рычагах 3 и 4, поворачивает рычаги 18 и 19 вокруг оси 6. В свою очередь, поворачиваются в противоположные стороны и створки 1 и 2, закрепленные на рычагах.
Таким образом, данная заслонка позволяет открывать створки на большой внешний угол при обороте вала не более чем на 180°C с минимальными усилиями на поворот вала.
Заявителем изготовлен опытный образец заслонки и проведенные испытания показали ее преимущества по сравнению с аналогами и прототипом.