ЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ СИСТЕМА И СПОСОБ ХРАНЕНИЯ ПОЗИЦИОННЫХ ДАННЫХ МИШЕНИ

1. Литографическая система для записи шаблона на мишень с использованием одного или более экспозиционных пучков, причем упомянутая система содержит:
систему управления посредством обратной связи, содержащую привод для перемещения мишени в литографической системе, измерительную систему для, по существу, непрерывного измерения положения мишени в литографической системе, и блок управления, выполненный с возможностью управления приводом на основании положения, измеренной измерительной системой, причем упомянутая система управления посредством обратной связи имеет первую задержку, заданную как максимальная задержка между упомянутым измерением и упомянутым управлением приводом на основании упомянутого измерения,
систему хранения для хранения измеренных положений, причем упомянутая система хранения содержит приемный буфер и блок хранения, причем упомянутая система хранения имеет вторую задержку, заданную как средняя задержка между приемом измеренных положений в приемном буфере и сохранением упомянутых измеренных положений в блоке хранения,
причем первая задержка по меньшей мере на порядок величины меньше второй задержки,
причем система управления посредством обратной связи содержит однонаправленное соединение для передачи упомянутых измеренных положений в систему хранения, и при этом система управления посредством обратной связи выполнена с возможностью, по существу, непрерывной работы независимо от упомянутой системы хранения.
2. Литографическая система по п. 1, в которой из системы хранения в систему управления посредством обратной связи не отправляется никаких данных и сигналов.
3. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой упомянутая система хранения является внешней по отношению к упомянутой системе управления посредством обратной связи.
4. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой однонаправленное соединение содержит сетевое соединение, предпочтительно, содержащее кабель неэкранированных витых пар (UTP), экранированных витых пар (STP) или фольгированных витых пар (FTP), или оптоволоконный кабель Ethernet.
5. Литографическая система по п. 4, дополнительно содержащая сетевой коммутатор, имеющий множество входов и по меньшей мере один выход, причем по меньшей мере один из упомянутых входов соединен однонаправленным соединением с системой управления посредством обратной связи, и упомянутый выход соединен с приемным буфером.
6. Литографическая система по п. 5, в которой упомянутое однонаправленное соединение содержит соединение от измерительной системы к коммутатору и/или соединение от системы управления посредством обратной связи к коммутатору.
7. Литографическая система по п. 5, в которой сумма максимальных скоростей передачи данных упомянутого множества входов меньше максимальной скорости передачи данных по меньшей мере одного выхода.
8. Литографическая система по п. 1 или 2, выполненная с возможностью использования протокола пользовательских дейтаграмм по однонаправленному соединению.
9. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой система хранения выполнена с возможностью хранения измеренных положений в течение по меньшей мере всего промежутка времени, необходимого для обработки мишени от начала до конца.
10. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой упомянутые положения измеряются с частотой дискретизации 5 кГц или более, причем каждая выборка предпочтительно содержит по меньшей мере 512 байт данных.
11. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой приемный буфер выполнен с возможностью удаления данных из системы управления посредством обратной связи, когда приемный буфер полон.
12. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой приемный буфер имеет первую емкость хранилища, и блок хранения имеет вторую емкость хранилища, причем вторая емкость хранилища по меньшей мере на три порядка величины больше первой емкости хранилища, предпочтительно по меньшей мере 5 порядков величины.
13. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой система управления посредством обратной связи дополнительно выполнена с возможностью передачи в систему хранения через однонаправленное соединение одного или более из данных управления, метки времени, порядкового номера, данных, представляющих внутреннее состояние блока управления, и настройки хронирования блока управления.
14. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой система хранения выполнена с возможностью приема упомянутых данных не по порядку.
15. Литографическая система по п. 1 или 2, содержащая оптическую колонну для записи шаблона на мишень с использованием одного или более экспозиционных пучков, причем упомянутая оптическая колонна содержит фокусирующую матрицу для фокусировки упомянутых одного или более экспозиционных пучков на мишень.
16. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой упомянутая измерительная система содержит интерферометр.
17. Литографическая система по п. 1 или п. 2, выполненная с возможностью записи упомянутого шаблона, в то время как упомянутая мишень перемещается в упомянутой литографической системе.
18. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой упомянутые один или более экспозиционных пучков содержат множество пучков заряженных частиц.
19. Литографическая система по п. 1 или 2, в которой считывание данных из системы хранения не влияет на работу системы управления посредством обратной связи, когда данные передаются из приемного буфера системы хранения в блок хранения.
20. Способ хранения позиционных данных мишени, перемещаемой в литографической системе, причем упомянутый способ содержит этапы, на которых:
по существу, непрерывно измеряют положение мишени в литографической системе,
по существу, непрерывно управляют перемещением мишени для коррекции отклонений между измеренным положением и желаемым положением мишени, причем первая задержка задается как максимальная задержка между упомянутым измерением и упомянутым управлением привода на основании упомянутого измерения,
сохраняют упомянутое измеренное положение в системе хранения, причем вторая задержка задается как средняя задержка между приемом измеренных положений в приемном буфере и сохранением упомянутых измеренных положений в блоке хранения,
причем первая задержка по меньшей мере на порядок величины меньше второй задержки,
причем система управления посредством обратной связи содержит однонаправленное соединение для передачи упомянутых измеренных положений на систему хранения.
21. Способ по п. 20, в котором упомянутое управление осуществляется независимо от упомянутого сохранения.
22. Способ по п. 20 или 21, в котором измеренные положения сохраняются в течение по меньшей мере всего промежутка времени, необходимого для обработки мишени от начала до конца.
23. Способ по п. 20 или 21, в котором система управления посредством обратной связи выполнена с возможностью, по существу, непрерывной работы независимо от системы хранения.
24. Способ по п. 20 или 21, в котором из системы хранения в систему управления посредством обратной связи не отправляется никаких данных и сигналов.
25. Способ по п. 20 или 21, в котором система хранения является внешней по отношению к упомянутой системе управления посредством обратной связи.