ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ

12
13
-3
1. Датчик влажности, содержащий подложку из диэлектрического материала с осажденными на нее пленочными электродами и диэлектрической пленкой в промежутке между ними, в соответствии с изобретением электроды разнесены на подложке относительно друг друга с образованием промежутка 0,1-2,0 мм и выполнены путем термического осаждения в вакууме на керамическую подложку первого слоя пленки из алюминия, последующего второго слоя пленки из металла, выбранного из группы Ti, Sn для одного из электродов и из Ag для другого электрода, а также путем нанесения на поверхность второго слоя каждого из электродов и в промежуток между электродами на поверхность керамической подложки пленки линейно-цепочечного углерода, полученной путем осаждения в вакууме графита, испаряемого импульсным дуговым разрядом с помощью плазмы, создаваемой дуговым разрядом вне области разрядного промежутка в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5⋅10-1⋅10 см, длительностью 200-600 мкс, частотой следования 1-5 Гц, при стимуляции углеродной плазмы инертным газом в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, направленного перпендикулярно потоку углеродной плазмы и подвергнутой после нанесения совместно со всеми слоями и керамической подложкой отжигу на воздухе при температуре 400°C в течение 10 мин.
2. Датчик влажности по п. 1, отличающийся тем, что на поверхность датчика со стороны электродов нанесена пленка хлористого натрия (NaCl).