КРИОГЕННЫЙ НАСОС, СНАБЖЕННЫЙ УСТРОЙСТВОМ ДЛЯ ПРЕДОТВРАЩЕНИЯ ЭФФЕКТА ПАМЯТИ

1. Устройство (21) для предотвращения эффекта памяти у криогенных насосов, включающее в себя
- первую ступень (23) охлаждения,
- вторую ступень (25) охлаждения, которая в осевом направлении примыкает к первой ступени (23) охлаждения,
- цилиндрическое ограждение (31), имеющее отверстие (37) и дно (35), причем через дно (35) проходит указанное двухступенчатое устройство (21) по центру таким образом, что первая ступень (23) охлаждения расположена вне ограждения (31), а вторая ступень (25) охлаждения расположена внутри ограждения (31), при этом между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения образовано промежуточное пространство (34), и дно ограждения (31) соединено теплопроводящим образом с первой ступенью (23) охлаждения посредством теплового мостика (33),
- служащую в качестве поверхности насоса панель (43) охлаждения, которая соединена со второй ступенью (25) охлаждения и предусмотрена внутри ограждения (31), и
- отражатель (39), который расположен в области отверстия (37) цилиндрического ограждения (31) и находится в теплопроводящем контакте с ограждением (31) и/или первой ступенью (23) охлаждения,
отличающееся тем, что
тепловой мостик (33) предусмотрен между ограждением (31) и первой ступенью (23) охлаждения на расстоянии от ее торцевой стороны (55).
2. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что положение теплового мостика (33) на первой ступени (23) охлаждения задано таким образом, что при эксплуатации криогенного насоса на ограждении устанавливается температура от 70 до 90 К, предпочтительно примерно 80 К.
3. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что тепловой мостик имеет форму патрубка, причем патрубок (33) предусмотрен на дне ограждения (31) и только своим дистальным концом теплопроводящим образом соединен с первой ступенью (23) охлаждения.
4. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что внутренний диаметр (53) патрубка (33) больше, чем наружный диаметр (51) первой ступени (23) охлаждения.
5. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) на обращенной к ограждению (31) стороне имеет фланец (46), который служит в качестве теплового мостика между патрубком (33) и ограждением (31).
6. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что между фланцем (46) и первой ступенью (25) охлаждения предусмотрен зазор (49).
7. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) находится на расстоянии от второй ступени (25) охлаждения.
8. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что внутри отражателя (39) расположена крышка (57), которая посредством по меньшей мере одной перемычки (59) соединена с патрубком (33).
9. Устройство (21) по п.3, отличающееся тем, что патрубок (33) изготовлен из меди.
10. Устройство (21) по п.5, отличающееся тем, что фланец (46) изготовлен из меди.
11. Устройство (21) по п.1, отличающееся тем, что устройство (21) размещено в корпусе (12).
12. Криогенный насос (11), включающий в себя
- корпус (12), содержащий
- первый соединительный фланец (13) с первым отверстием (15) для соединения с камерой, подлежащей вакуумированию, и
- второй соединительный фланец (17) для крепления охлаждающей головки (21) в корпусе (12), и
- размещенное в корпусе (12) устройство (21) по одному из пп.1-10.