СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ С ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКИ

Способ удаления дефектов с поверхности кремниевой пластины, включающий процесс химической обработки, отличающийся тем, что поверхность пластины предварительно окисляют в среде кислорода при температуре 750±50°C в течение 25±5 мин, а затем проводят химическую обработку в течение 10±2 мин в растворе плавиковой кислоты и фторида аммония в соотношении 1:5.