ЗАЖИМНОЕ УСТРОЙСТВО

1. Зажимное устройство для закрепления обрабатываемого тела, содержащее:
опору, выполненную с возможностью поддержания обрабатываемого тела, причем опора содержит опорную поверхность;
покрытие, осажденное электростатическим способом, для покрытия опорной поверхности, причем покрытие содержит керамику; и
крепежный элемент, выполненный с возможностью закрепления обрабатываемого тела при помощи опоры.
2. Устройство по п.1, в котором покрытие имеет шероховатость Ra 0,4 мкм или более и 3,2 или менее.
3. Устройство по п.1, в котором покрытие состоит, по существу, из одного, выбранного из группы карбида титана, карбида кремния и карбида вольфрама.
4. Устройство по п.1, в котором покрытие образовано в результате выполнения электростатического осаждения с рабочего электрода, состоящего, по существу, из карбида титана на опорную поверхность при использовании опоры в качестве обрабатываемой детали.
5. Устройство по п.1, в котором покрытие образовано в результате выполнения электростатического осаждения с рабочего электрода, состоящего, по существу, из карбида кремния на опорную поверхность, покрытую маслом, при использовании опоры в качестве обрабатываемой детали.
6. Устройство по п.1, в котором покрытие образовано только на опорной поверхности.