ЕМКОСТНЫЙ ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Емкостный датчик перемещений, содержащий широтно-импульсный модулятор, подвижный электрод, выполненный на пластине проводящего монокремния, соединенный с объектом измерения перемещений и два неподвижных проводящих электрода, выполненных на изоляционных обкладках, размещенных симметрично относительно подвижного электрода с одинаковыми зазорами, отличающийся тем, что каждый неподвижный электрод разделен пополам, а одинаковые части, размещенные с разных сторон подвижного электрода, соединены между собой перекрестно и составляют два дифференциально включенных измерительных конденсатора, которые подключены к входу широтно-импульсного модулятора.