СПОСОБ ЗАЩИТЫ p-n- ПЕРЕХОДОВ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ ОКИСИ ВОЛЬФРАМА

-2
Способ защиты р-n переходов на основе пленки окиси вольфрама, включающий защиту поверхности р-n переходов на основе окиси вольфрама, отличающийся тем, что процесс проводят при температуре нанесения защитной пленки окиси вольфрама 285°С и давлении газа в рабочей камере равно 5·10 мм рт.ст., при этом напряжение на электродах равно 350 В.