СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКА

1. Способ переноса рисунка, включающий в себя:
приложение давления к одной или более областям поверхности вещества с преобразованием фазы одной или более соответствующих областей упомянутого вещества во вторую фазу, причем упомянутое давление прикладывают в направлении, по существу, перпендикулярном упомянутой поверхности; и
снятие упомянутого давления с преобразованием упомянутой второй фазы в по меньшей мере одну третью фазу;
при этом соответствующие формы и относительные местоположения упомянутых областей, к которым прикладывают упомянутое давление, выбирают для переноса желательного рисунка на упомянутое вещество, причем перенесенный рисунок образован соответствующими формами и относительными местоположениями результирующих одной или более областей упомянутой по меньшей мере одной третьей фазы.
2. Способ переноса рисунка, включающий в себя:
доступ к данным о рисунке, характеризующим желательный рисунок, состоящий из одной или более областей, имеющих соответствующие формы и относительные местоположения;
приложение давления к одной или более областям вещества с преобразованием фазы одной или более соответствующих областей упомянутого вещества во вторую фазу, причем соответствующие формы и относительные местоположения тех областей, к которым прикладывают упомянутое давление, определяют по данным о рисунке для переноса желательного рисунка на упомянутое вещество; и
снятие упомянутого давления с преобразованием упомянутой второй фазы в по меньшей мере одну третью фазу, причем перенесенный рисунок образован соответствующими формами и относительными местоположениями этих одной или более областей упомянутой по меньшей мере одной третьей фазы.
3. Способ по п.2, в котором упомянутые области преобразуют в упомянутую по меньшей мере одну третью фазу для изменения скорости удаления упомянутых областей во время последующего субтрактивного процесса.
4. Способ по п.3, включающий в себя применение упомянутого субтрактивного процесса к веществу таким образом, что эти одну или более преобразованных областей селективно удаляют или оставляют.
5. Способ переноса рисунка, включающий в себя:
приложение давления к одной или более областям вещества и снятие упомянутого давления с преобразованием фазы одной или более соответствующих областей упомянутого вещества, причем соответствующие формы и относительные местоположения тех областей, к которым прикладывают упомянутое давление, выбирают для переноса желательного рисунка на упомянутое вещество, причем перенесенный рисунок образован соответствующими формами и относительными местоположениями упомянутых одной или более преобразованных областей упомянутого вещества; и
применение субтрактивного процесса к веществу, причем скорость удаления упомянутого вещества при подвергании упомянутому субтрактивному процессу изменяется за счет этого преобразования, так что одну или более преобразованных областей селективно удаляют или оставляют.
6. Способ по п.5, включающий в себя нагревание преобразованных областей упомянутого вещества для дальнейшего преобразования по меньшей мере одной фазы преобразованных областей перед упомянутым субтрактивным процессом.
7. Способ по п.3, в котором субтрактивный процесс включает в себя процесс влажного или сухого травления, процесс распыления, плазменный процесс и/или процесс абляции.
8. Способ по п.3, в котором селективное удаление или оставление одной или более преобразованных областей определяет маску, которая соответственно открывает или маскирует одну или более преобразованных областей.
9. Способ по п.3, в котором субтрактивный процесс включает в себя процесс анизотропного травления, причем селективное удаление или оставление одной или более преобразованных областей определяет травильную маску для упомянутого процесса анизотропного травления.
10. Способ по п.9, причем этот способ включает в себя травление через маску упомянутого вещества посредством упомянутого процесса анизотропного травления для уменьшения отражения солнечного света от соответствующей поверхности солнечного элемента, изготовленного из упомянутого вещества.
11. Способ по п.1, в котором упомянутое давление прикладывают и снимают тиснением упомянутого вещества инструментом приложения давления таким образом, что отсутствует существенное боковое относительное перемещение упомянутого инструмента приложения давления и упомянутого вещества во время упомянутого приложения и снятия упомянутого давления.
12. Способ по п.1, включающий в себя:
доступ к данным о рисунке, характеризующим желательный рисунок, причем соответствующие формы и относительные местоположения тех областей, к которым прикладывают упомянутое давление, определяют на основании упомянутых данных о рисунке.
13. Способ по п.12, включающий в себя обработку упомянутых данных о рисунке для регулирования по меньшей мере одного из приложения давления к упомянутому веществу и его снятия для того, чтобы перенести желательный рисунок на упомянутое вещество.
14. Способ по п.12, в котором упомянутое давление прикладывают к упомянутому веществу инструментом приложения давления и способ включает в себя обработку упомянутых данных о рисунке для определения по меньшей мере одного пути прохода упомянутого инструмента приложения давления при приложении упомянутого давления к упомянутому веществу для обеспечения возможности переноса желательного рисунка на упомянутое вещество.
15. Способ по п.12, в котором упомянутое давление прикладывают к упомянутому веществу инструментом приложения давления и способ включает в себя обработку упомянутых данных о рисунке для определения множества мест упомянутого вещества, причем упомянутое приложение и снятие упомянутого давления включают в себя поступательное перемещение упомянутого инструмента приложения давления к каждому из упомянутых мест и приложение упомянутого давления к упомянутому веществу в каждом из упомянутых мест и снятие упомянутого давления с тем, чтобы перенести желательный рисунок на упомянутое вещество, причем каждое приложение и снятие упомянутого давления переносят соответствующую часть этого желательного рисунка.
16. Способ по п.1, в котором упомянутое давление прикладывают к упомянутому веществу инструментом приложения давления, имеющим один или более выступов, которые прикладывают упомянутое давление к упомянутому веществу.
17. Способ по п.16, в котором упомянутые один или более выступов включают в себя один или более, по существу, точечных выступов.
18. Способ по п.16, в котором упомянутые один или более выступов включают в себя один или более вытянутых выступов.
19. Способ по п.14, в котором упомянутый инструмент приложения давления включает в себя один или более из штампа, иглы и наконечника индентора.
20. Способ по п.14, в котором упомянутый инструмент приложения давления включает в себя по меньшей мере один штамп или штамп с одним или более выступами для приложения упомянутого давления к упомянутому веществу, причем формы и относительные местоположения выступов соответствуют желательному рисунку, и способ также включает в себя формирование упомянутых одного или более выступов на основании данных о рисунке, характеризующих желательный рисунок.
21. Способ по п.1, в котором приложение и снятие упомянутого давления включают в себя последовательное приложение давления к соответствующим областям упомянутого вещества и снятие упомянутого давления для последовательного преобразования соответствующих областей упомянутого вещества и тем самым переноса желательного рисунка на упомянутое вещество, причем каждое приложение и снятие упомянутого давления переносят соответствующую часть этого желательного рисунка на упомянутое вещество.
22. Способ по п.21, в котором упомянутое давление прикладывают к упомянутому веществу посредством повторяющегося тиснения упомянутого вещества инструментом приложения давления, причем способ включает в себя поступательное перемещение упомянутого инструмента приложения давления между последовательными этапами тиснения к соответствующим местам упомянутого вещества для переноса желательного рисунка на упомянутое вещество.
23. Способ по п.21, в котором упомянутое приложение и снятие упомянутого давления включают в себя последовательное поступательное перемещение инструмента приложения давления ко множеству мест и последовательное приложение давления к и снятие давления с соответствующих областей упомянутого вещества для преобразования фазы упомянутых соответствующих областей упомянутого вещества и тем самым переноса желательного рисунка на упомянутое вещество.
24. Способ по п.21, в котором приложение и снятие упомянутого давления включают в себя прокатку инструмента приложения давления по упомянутому веществу при одновременном приложении давления для того, чтобы последовательно преобразовать упомянутые области упомянутого вещества.
25. Способ по п.21, в котором последовательное приложение упомянутого инструмента приложения давления последовательно преобразует перекрывающиеся области упомянутого вещества с формированием по меньшей мере одной преобразованной области, которая включает в себя эти перекрывающиеся преобразованные области.
26. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование по меньшей мере одного из приложения и снятия упомянутого давления для управления преобразованием упомянутых одной или более областей упомянутого вещества.
27. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование по меньшей мере одного из приложения и снятия упомянутого давления для задания по меньшей мере одной третьей фазы преобразованных одной или более областей упомянутого вещества.
28. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование по меньшей мере одного из приложения и снятия упомянутого давления для задания формы преобразованных одной или более областей упомянутого вещества.
29. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование по меньшей мере одного из приложения и снятия упомянутого давления для задания боковой протяженности преобразованных одной или более областей упомянутого вещества.
30. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование по меньшей мере одного из приложения и снятия упомянутого давления для задания толщины преобразованных одной или более областей упомянутого вещества.
31. Способ по п.1, в котором упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование скорости снятия упомянутого давления для управления преобразованием упомянутых одной или более областей упомянутого вещества.
32. Способ по п.1, в котором упомянутая фаза включает в себя первую фазу и упомянутый этап приложения и снятия давления включает в себя регулирование приложения и снятия давления для задания соответствующих пространственных распределений упомянутой второй фазы и упомянутой по меньшей мере одной третьей фазы.
33. Способ по п.27, в котором упомянутое регулирование упомянутого приложения и снятия давления включает в себя выбор максимального приложенного давления, прилагаемого к упомянутому веществу, и регулирование одной или более скоростей снятия упомянутого давления с упомянутого вещества.
34. Способ по п.33, в котором упомянутое регулирование включает в себя снятие части упомянутого давления при первой скорости снятия с преобразованием упомянутой второй фазы одной или более первых областей в третью фазу и далее снятие по меньшей мере некоторой дополнительной части упомянутого давления при второй скорости снятия с преобразованием одной или более вторых областей в четвертую фазу.
35. Способ по п.1, включающий в себя дополнительную обработку непреобразованных и преобразованных областей упомянутого вещества для изготовления прибора, причем по меньшей мере одна из непреобразованных и преобразованных областей дает активный или пассивный компонент упомянутого прибора.
36. Способ по п.35, в котором упомянутые одна или более преобразованных областей образуют по меньшей мере один компонент электронного, механического и/или оптического прибора, солнечного элемента или индикаторного прибора.
37. Способ по п.36, в котором упомянутый по меньшей мере один компонент включает в себя одну или более преобразованных областей упомянутого вещества.
38. Способ по п.36, в котором упомянутый по меньшей мере один компонент включает в себя одну или более непреобразованных областей упомянутого вещества.
39. Способ по п.35, в котором преобразование фазы изменяет по меньшей мере одно свойство упомянутого вещества, причем это измененное по меньшей мере одно свойство определяет функцию по меньшей мере одного компонента упомянутого прибора.
40. Способ по п.39, в котором измененное по меньшей мере одно свойство включает в себя по меньшей мере одно из электрического свойства, химического свойства, термического свойства, механического свойства и оптического свойства.
41. Способ по п.1, в котором упомянутое давление прикладывают к отпущенной аморфной фазе упомянутого вещества, причем эту одну или более областей упомянутого вещества преобразуют в по меньшей мере одну кристаллическую фазу.
42. Способ по п.1, в котором упомянутое давление прикладывают к по меньшей мере одной кристаллической фазе упомянутого вещества, причем эту одну или более областей упомянутого вещества преобразуют в аморфную фазу.
43. Способ по п.1, включающий в себя нагревание вещества для дальнейшего преобразования по меньшей мере одной фазы преобразованных областей.
44. Способ по п.43, в котором преобразованные области включают в себя фазы Si-III/Si-XII и способ включает в себя нагревание вещества для дальнейшего преобразования фаз Si-III/Si-XII в фазу Si-I.
45. Способ по п.44, в котором упомянутое нагревание также преобразует аморфный Si внутри фаз Si-III/Si-XII в фазу Si-I.
46. Способ по п.1, в котором упомянутое вещество является полупроводником.
47. Способ по п.46, в котором упомянутый полупроводник является кремнием.
48. Способ по п.1, в котором приложение и снятие давления вызывают, по существу, постоянную деформацию поверхности упомянутого вещества с уменьшением отражения света от упомянутой поверхности.
49. Способ по п.1, в котором одна или более преобразованных областей образуют одну или более проводящих и/или изолирующих областей электронного прибора.
50. Способ по п.1, в котором упомянутое вещество является полупроводником в виде тонкой пленки.
51. Способ по п.50, в котором тонкая пленка прикреплена к гибкой подложке.
52. Способ по п.1, в котором упомянутые одна или более преобразованных областей образуют электропроводящие области одного или более солнечных элементов.
53. Способ по п.1, в котором упомянутые одна или более преобразованных областей образуют один или более каналов соответствующих транзисторов.
54. Способ по п.53, в котором упомянутые один или более транзисторов включают в себя один или более тонкопленочных транзисторов индикаторного прибора.
55. Способ по п.1, в котором, по существу, всю одну поверхность упомянутого вещества, по существу, преобразуют из по меньшей мере одной первой фазы в по меньшей мере одну вторую фазу.
56. Способ по п.1, в котором вещество находится в виде слоя, прикрепленного к подложке, причем преобразованные одна или более областей простираются, по существу, через упомянутый слой.
57. Способ по п.56, в котором, по существу, весь упомянутый слой упомянутого вещества, по существу, преобразуют из по меньшей мере одной первой фазы в упомянутую по меньшей мере одну третью фазу.
58. Способ по п.1, в котором упомянутые одна или более областей упомянутого вещества, к которым прикладывают упомянутое давление, являются, по существу, по меньшей мере одной кристаллической первой фазой, а упомянутая по меньшей мере одна третья фаза является, по существу, аморфной фазой.
59. Способ по п.1, в котором упомянутые одна или более областей упомянутого вещества, к которым прикладывают упомянутое давление, являются, по существу, аморфной фазой, а упомянутая по меньшей мере одна третья фаза является, по существу, по меньшей мере одной кристаллической фазой.
60. Способ по п.1, в котором одна или более областей упомянутого вещества, к которым прикладывают упомянутое давление, являются, по существу, первой кристаллической фазой, а упомянутая по меньшей мере одна третья фаза является, по существу, по меньшей мере одной второй кристаллической фазой.
61. Способ по п.1, в котором упомянутые одна или более областей имеют размеры нанометрового масштаба.
62. Система переноса рисунка, имеющая компоненты для выполнения этапов по любому из пунктов с 1 по 61.
63. Вещество с рисунком, сформированным путем выполнения этапов по любому из пп.1-61.
64. Прибор или солнечный элемент, имеющий компонент, сформированный путем выполнения этапов по любому из пп.1-61.