ОБРАБОТКА БОРОСОДЕРЖАЩИХ ПОТОКОВ ХЛОРСИЛАНОВ

1. Способ получения хлорсиланов, имеющих сниженное содержание бора, из смеси хлорсиланов путем отделения дистилляцией обогащенного бором потока дистиллята, причем в системе с одной или несколькими дистилляционными колоннами, по меньшей мере, из одной дистилляционной колонны отводят обогащенный бором боковой поток и утилизируют или направляют для иного применения.
2. Способ получения трихлорсилана со сниженным содержанием бора из борсодержащей смеси хлорсиланов путем отделения дистилляцией обогащенного бором дистилляционного потока, причем из системы, состоящей лишь из одной дистилляционной колонны, отводят боковой поток трихлорсилана со сниженным содержанием бора и подают его на дальнейшую обработку или направляют для иного применения, а обогащенный бором верхний или боковой поток отводят и утилизируют или направляют для иного применения.
3. Способ по п.1 или 2, по которому из дистилляционной колонны или же из самой нижней дистилляционной колонны отводят нижний поток тетрахлорсилана со сниженным содержанием бора и подают его на дальнейшую обработку или направляют для иного применения.
4. Способ по п.1 или 2, по которому, по меньшей мере, из одной колонны отводят боковой или нижний поток трихлорсилана со сниженным содержанием бора и подают его на дальнейшую обработку или направляют для иного применения.
5. Способ по п.4, по которому в случае применения нескольких дистилляционных колонн из одной из этих дистилляционных колонн, не являющейся самой нижней, отводят нижний поток трихлорсилана со сниженным содержанием бора.
6. Способ по п.4, по которому в случае работы с несколькими дистилляционными колоннами из одной из этих дистилляционных колонн отводят боковой поток, а из еще одной дистилляционной колонны, расположенной выше указанной ранее колонны, - нижний поток трихлорсилана со сниженным содержанием бора, причем в качестве опции возможно объединение обоих потоков трихлорсилана со сниженным содержанием бора.
7. Способ по п.1 или 2, по которому из верхней части дистилляционной колонны либо, в случае использования нескольких дистилляционных колонн, из верхней части, по меньшей мере, одной из дистилляционных колонн, не являющейся самой нижней, отводят верхний поток дихлорсилана со сниженным содержанием бора и в качестве опции объединяют его с потоком или потоками трихлорсилана со сниженным содержанием бора или направляют для иного применения.
8. Способ по п.7, по которому от верхнего потока дистилляционной колонны или же самой верхней дистилляционной колонны отделяют инертные газы.
9. Способ по п.1 или 2, по которому дистилляцию осуществляют под давлением, которое находится в пределах от 0,5 до 22 бар, предпочтительно от 1 до 10 бар, причем в случае нескольких дистилляционных колонн значения давления в отдельных колоннах могут быть независимы друг от друга.
3
10. Способ по п.1 или 2, по которому в состав борсодержащей смеси хлорсиланов входит 2-98 мас.%, более предпочтительно 40-95 мас.% тетрахлорсилана; 1-97 мас.%, более предпочтительно 5-50 мас.% трихлорсилана; 0,01-20 мас.%, более предпочтительно 0,05-5 мас.% дихлорсилана, а также 0,1-20 м.д. мас. BCl, более предпочтительно 0,5-5 м.д. мас.
3
11. Способ по п.1 или 2, по которому обогащенный бором боковой поток содержит, по меньшей мере, 20%, предпочтительно, по меньшей мере, 50% количества BCl, содержавшегося при подаче на вход дистилляции.
3
12. Способ по п.4, по которому боковой или нижний поток или потоки трихлорсиана со сниженным количеством бора содержат более 90 мас., предпочтительно более 99 мас. трихлорсилана, причем доля BCl ниже, чем доля при подаче на вход дистилляции.
3
13. Способ по п.7, по которому верхний поток легкокипящих компонентов со сниженным содержанием бора включает в себя инертные газы и максимум 60%, предпочтительно максимум 50%, количества BCl, содержавшегося при подаче на вход дистилляции.
3
14. Способ по п.8, по которому доля BCl в объединенном потоке трихлорсилана и дихлорсиана со сниженным содержанием бора ниже, чем эта доля при подаче на вход дистилляции.
15. Устройство для получения хлорсиланов со сниженным содержанием бора из борсодержащей смеси хлорсиланов, в состав которого входят
a) одна или несколько дистилляционных колонн, пригодных для дистилляции борсодержащих смесей хлорсиланов,
b) средство подачи борсодержащей смеси хлорсиланов, причем средство размещено на дистилляционной колонне или на самой нижней из дистилляционных колонн и предпочтительно пригодно для подачи массового потока в 1000-800000 кг/ч,
c) средство отделения нижнего потока тетрахлорсилана со сниженным содержанием бора, причем средство размещено на дистилляционной колонне или на самой нижней из дистилляционных колонн и предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 500-750000 кг/ч,
d) средство отделения бокового или нижнего потока трихлорсилана со сниженным содержанием бора, причем средство размещено, по меньшей мере, на одной из дистилляционных колонн и предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 1000-50000 кг/ч,
e) средство отделения верхнего потока легкокипящих компонентов, в основном дихлорсилана, причем средство размещено, по меньшей мере, на одной из этих дистилляционных колонн, не являющейся самой нижней, и предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 10-1000 кг/ч,
f) средство отделения инертных газов от верхнего потока дистилляционной колонны либо, в случае использования нескольких дистилляционных колонн, от самой верхней дистилляционной колонны и
g) в качестве опции средство объединения легкокипящих компонентов со сниженным содержанием бора, предпочтительно дихлорсилана, из потока из верхней части с отделенными ранее потоками трихлорсилана со сниженным содержанием бора, а также средства для отведения объединенных потоков хлорсилана, причем последнее предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 1000-50000 кг/ч,
причем, по меньшей мере, на одной из дистилляционных колонн размещено средство отведения обогащенного бором бокового потока, и это средство предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 1-100 кг/ч.
16. Устройство для получения хлорсиланов со сниженным содержанием бора из борсодержащей смеси хлорсиланов, в состав которого входят
a) пригодная для дистилляции борсодержащих смесей хлорсиланов дистилляционная колонна,
b) средство подачи борсодержащей смеси хлорсиланов, размещенное на дистилляционной колонне, причем средство предпочтительно пригодно для подачи массового потока в 1000-800000 кг/ч,
c) средство отделения нижнего потока тетрахлорсилана со сниженным содержанием бора, размещенное на дистилляционной колонне, причем средство предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 500-750000 кг/ч,
d) средство отделения бокового потока трихлорсилана со сниженным содержанием бора, размещенное на дистилляционной колонне, причем средство предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 1000-50000 кг/ч, и
e) средство отделения инертных газов от верхнего потока дистилляционной колонны,
причем для отделения бора на дистилляционной колонне размещено средство отделения обогащенного бором верхнего или головного потока и средство предпочтительно пригодно для отведения массового потока в 1-100 кг/ч.