СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИСТОЙ ПЛЕНКИ И ИСПОЛЬЗУЕМАЯ В НЕМ ЖИДКОСТЬ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛИСИЛАЗАНОВОГО ПОКРЫТИЯ

1. Способ образования кремнистой пленки, включающий
стадию образования полисилазановой пленки, в которой композицию, содержащую полисилазановое соединение и ускоритель реакции превращения оксида кремния, наносят на поверхность подложки с образованием полисилазановой пленки;
стадию нанесения промотора, в которой раствор для обработки полисилазановой пленки наносят на упомянутую полисилазановую пленку; и
стадию затвердевания, в которой упомянутое полисилазановое соединение превращают в кремнистую пленку при температуре 300°С или меньше;
где
упомянутый раствор для обработки полисилазановой пленки содержит растворитель, от 0,5 до 10% масс. пероксида водорода и от 10 до 98% масс. спирта в расчете на его полную массу.
2. Способ образования кремнистой пленки по п.1, где упомянутое полисилазановое соединение представляет собой пергидрополисилазановое соединение.
3. Способ образования кремнистой пленки по п.1 или 2, где упомянутый ускоритель реакции превращения оксида кремния представляет собой карбоксилат металла, N-гетероциклическое соединение или аминовое соединение.
4. Способ образования кремнистой пленки по п.1 или 2, где упомянутый спирт выбирают из группы, состоящей из моноспиртов, диолов и оксиэфиров, каждый из которых имеет от 1 до 8 атомов углерода.
5. Способ образования кремнистой пленки по п.1 или 2, где упомянутый растворитель представляет собой воду.
6. Способ образования кремнистой пленки по п.1 или 2, где упомянутую стадию затвердевания выполняют при комнатной температуре.
7. Раствор для обработки полисилазановой пленки
который наносят на полисилазановую пленку, образованную путем нанесения композиции, содержащей полисилазановое соединение и ускоритель реакции превращения оксида кремния, чтобы способствовать превращению полисилазанового соединения в оксид кремния;
отличающийся тем, что
содержит растворитель, в количестве от 0,5 до 10% масс. пероксида водорода и от 10 до 98% масс. спирта в расчете на его полную массу.