УСТРОЙСТВО С МЕМБРАННОЙ КОНСТРУКЦИЕЙ ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

1. Устройство (1) обнаружения теплового излучения, содержащее:
- по меньшей мере одну мембрану (11), на которой расположен по меньшей мере один датчик (111) тепла для преобразования теплового излучения в электрический сигнал;
- по меньшей мере одну подложку (12) контура, несущую мембрану, и по меньшей мере один считывающий контур (121) для считывания электрического сигнала,
и при этом датчик электрически связан через мембрану со считывающим контуром посредством сквозного контакта (120).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что подложка контура и мембрана расположены относительно друг друга так, что между ними имеется по меньшей мере одна полость (15), ограниченная подложкой контура и мембраной.
3. Устройство по любому из пп.1 и 2, отличающееся тем, что:
- предусмотрена по меньшей мере одна крышка для закрытия датчика;
- подложка контура, мембрана и крышка уложены в стопу так, что мембрана находится между подложкой контура и крышкой.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что мембрана и крышка расположены друг относительно друга так, что между ними имеется по меньшей мере одна полость (14).
5. Устройство по п.2, отличающееся тем, что полости, со стороны контура и/или крышки, вакуумированы или выполнены с возможностью их вакуумирования.
6. Устройство по любому из пп.4 и 5, отличающееся тем, что полости со стороны крышки и со стороны контура соединены между собой отверстием (114) в мембране.
7. Устройство по п.4 или 5, отличающееся тем, что для прохода теплового излучения к датчику в мембране, подложке контура и/или крышке имеется по меньшей мере одно окно (17) для прохода излучения с высокой прозрачностью для теплового излучения.
8. Устройство по любому из пп.1, 2, 4, 5, отличающееся тем, что подложка контура и/или крышка изготовлены из кремния.
9. Устройство по п.4 или 5, отличающееся тем, что датчик расположен напротив апертуры в крышке.
10. Устройство по любому из пп.1, 2, 4, 5, отличающееся тем, что мембрана присоединена к подложке контура и/или крышке и/или сквозной контакт надежно присоединен к крышке материалом, образующим неразъемное соединение (16).
11. Устройство по п.10, отличающееся тем, что материал, используемый в неразъемном соединении, является электропроводным.
12. Устройство по любому из пп.1, 2, 4, 5, 11, отличающееся тем, что в нем предусмотрена по меньшей мере одна матрица из нескольких датчиков.
13. Устройство по любому из пп.1, 2, 4, 5, 11, отличающееся тем, что заключено в кожух (20).
14. Устройство по п.13, отличающееся тем, что кожух изготовлен из литьевого материала.
15. Способ изготовления устройства по любому из пп.1-14, содержащий следующие шаги:
a) берут мембрану с датчиком и по меньшей мере одним сквозным электрическим контактом, а также подложку контура;
b) собирают мембрану и подложку контура таким образом, что проходящий через мембрану сквозной контакт замыкает электрическую цепь между датчиком и считывающим контуром.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что предусмотрены следующие шаги:
d) берут разрушаемую временную подложку,
с) размещают мембрану на поверхности временной подложки и собирают вместе мембрану и опору мембраны,
e) удаляют материал разрушаемой временной подложки, частично или полностью освобождая мембрану.
17. Способ по п.16, отличающийся тем, что следующие шаги предпринимают до установки мембраны на разрушаемой временной подложке или после этого:
f) сверлят отверстие в мембране;
g) заполняют отверстие электропроводящим материалом, получая сквозной электрический контакт.
18. Способ по любому из пп.15-17, отличающийся тем, что предусматривает этап: h) прикрепления мембраны к подложке контура материалом, создающим неразъемное соединение между проходящим сквозь мембрану электрическим контактом и подложкой контура.
19. Способ по любому из пп.15-17, отличающийся тем, что предусматривает этап i) прикрепления мембраны к крышке материалом, создающим неразъемное соединение между мембраной к крышкой.
20. Способ по п.18, отличающийся тем, что неразъемное соединение выполняют способом, выбранным из группы: склейка, пайка, сварка.
21. Способ по п.18, отличающийся тем, что во время и/или после выполнения соединения полости со стороны контура и/или со стороны крышки вакуумируют.
22. Способ по п.19, отличающийся тем, что стопу (10) образуют неразъемным соединением мембраны с подложкой контура и мембраны с крышкой, а затем заключают в кожух (20).
23. Способ по п.22, отличающийся тем, что кожух изготавливают литьем или литьем под давлением.
24. Способ по любому из пп.15-17, 20-23, отличающийся тем, что несколько устройств для обнаружения теплового излучения изготавливают в виде схем на общих пластинах, а затем отдельные готовые устройства разделяют.
25. Применение устройства по любому из пп.1-14 в качестве датчика движения, датчика присутствия и/или тепловизора.