БАРЬЕРНОЕ ПОКРЫТИЕ PVD ДЛЯ СУПЕРСПЛАВНЫХ СУБСТРАТОВ

1. Многослойная структура, содержащая:
а. металлический субстрат; и
b. многослойное покрытие, нанесенное на металлический субстрат, содержащее:
i. дискретный первый слой, расположенный на металлическом субстрате, где первый слой содержит материал на основе Ni, Co, Ni-Co или алюминида Ni;
ii. второй слой, расположенный на первом слое, где второй слой содержит Al, Cr, O и дополнительно содержит материал на основе Ni, Co, Ni-Co или алюминида Ni; и
iii. третий слой, расположенный на втором слое, где третий слой содержит Al, Cr и О.
2. Многослойная структура по п. 1, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Ni, содержащий от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. % Со.
3. Многослойная структура по п. 1 или 2, в которой дискретный первый слой содержит от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. % Со.
4. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Co, содержащий от 35 до 65 мас. % Co, от 19 до 30 мас. % Cr и до 35 мас. % Ni.
5. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой дискретный первый слой содержит от 35 до 65 мас. % Со, от 19 до 30 мас. % Cr и до 35 мас. % Ni.
6. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Ni-Co, содержащий от 40 до 80 мас. % Ni, от 9 до 35 мас. % Co и от 10 до 20 мас. % Cr.
7. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой дискретный первый слой содержит от 40 до 80 мас. % Ni, от 9 до 35 мас. % Со и от 10 до 20 мас. % Cr.
3
3
8. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой металлический субстрат представляет собой алюминид никеля, содержащий NiAl, NiAl или NiAl, с отклонением от номинального состава ±10 ат. %.
9. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе монокристаллического Ni, содержащий от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. % Со.
10. Многослойная структура по одному из предшествующих пунктов, в которой первый слой имеет такой же химический состав, как и химический состав металлического субстрата.
11. Многослойная структура, содержащая:
a. металлический субстрат; и
b. многослойное покрытие, нанесенное на металлический субстрат, содержащее:
i. дискретный первый слой, расположенный на металлическом субстрате, причем, где первый слой содержит материал на основе Ni, Co, Ni-Co или алюминида Ni;
ii. второй слой, расположенный на первом слое, где второй слой содержит Al и O; и
iii. третий слой, расположенный на втором слое, где третий слой содержит Al, Cr и О.
12. Многослойная структура по п. 11, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Ni, содержащий от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. % Со.
13. Многослойная структура по п. 11 или 12, в которой дискретный первый слой содержит от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. % Со.
14. Многослойная структура по одному из пп. 11-13, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Co, содержащий от 35 до 65 мас. % Co, от 19 до 30 мас. % Cr и до 35 мас. % Ni.
15. Многослойная структура по одному из пп. 11-14, в которой дискретный первый слой содержит от 35 до 65 мас. % Со, от 19 до 30 мас. % Cr и до 35 мас. % Ni.
16. Многослойная структура по одному из пп. 11-15, в которой металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе Ni-Co, содержащий от 40 до 80 мас. % Ni, от 9 до 35 мас. % Co и от 10 до 20 мас. % Cr.
17. Многослойная структура по одному из пп. 11-16, в которой дискретный первый слой содержит от 40 до 80 мас. % Ni, от 9 до 35 мас. % Со и от 10 до 20 мас. % Cr.
3
3
18. Многослойная структура по одному из пп. 11-17, отличающаяся тем, что металлический субстрат представляет собой суперсплав на основе алюминида Ni, содержащий NiAl, NiAl или NiAl с отклонением от номинального состава ±10 ат. %.
19. Многослойная структура по одному из пп. 11-18, в которой металлический субстрат представляет собой монокристаллический суперсплав на основе Ni, содержащий от 38 до 76 мас. % Ni, до 27 мас. % Cr и до 20 мас. %. Co.
20. Многослойная структура по одному из пп. 11-19, в которой первый слой имеет химический состав, который является таким же, как химический состав металлического субстрата.
21. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой второй слой имеет кристаллическую структуру корунда.
22. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой третий слой имеет кристаллическую структуру твердого раствора с корундом.
23. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой концентрация Cr в третьем слое уменьшается в направлении от металлического субстрата.
24. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой первый слой имеет эпитаксиальный рост по отношению материалу на основе Ni, Co, Ni-Co или алюминида Ni.
25. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой структура создана путем испарения в катодной дуге, предпочтительно в одном процессе.
26. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой первый слой имеет толщину менее 20 мкм, предпочтительно менее 5 мкм и более предпочтительно менее 2 мкм.
27. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой второй слой имеет толщину менее 5 мкм, предпочтительно менее 1 мкм и более предпочтительно менее 500 нм.
28. Многослойная структура по любому из предшествующих пунктов, в которой третий слой имеет толщину более 1 мкм, предпочтительно более 5 мкм и более предпочтительно более 10 мкм.