СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКА КРЕМНИЯ ВЫСОКОЙ ЧИСТОТЫ ИЗ СМЕСИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ И АЛЮМИНИЯ
METHOD OF PRODUCING HIGH PURITY SILICON POWDER FROM MIXTURE OF SILICON DIOXIDE AND ALUMINIUM

Изобретение относится к процессам и аппаратам для получения кристаллического кремния повышенной чистоты.
-4
Для производства кристаллического кремния полупроводникового качества в мировой практике применяется хлоридный метод, при этом порошок технического кремния, полученного карботермическим восстановлением в руднотермических печах, подвергается гидрохлорированию с образованием газообразных хлорсодержащих соединений кремния (хлорсиланы). После очистки и разделения газов, покидающих реактор, где происходит гидрохлорирование кремния, выделяют особо чистый трихлорсилан, который подвергается водородному восстановлению, в результате получают ГХК с содержанием суммы примесей меньше, чем 10 мас.%. Полученный поликристаллический кремний (ПКК) идет на изготовление моно- и мультикристаллических слитков для использования их в полупроводниковом производстве. Способ описан в книге "Технология полупроводникового кремния" под ред. Э.С. Фалькевича. М.: Металлургия, 1992 г. Недостатками способа являются сложность и многозвенность технологии, а использование хлора требует особых условий для обеспечения экологической безопасности.
Наиболее близким по своей сущности к данному изобретению является техническое решение, изложенное в патенте DE №102004025654, 22.12.2005. Предлагается способ и установка для получения из смеси кварцевого песка и легких металлов (алюминиевого или магниевого скрапа) высокочистого кремния (или его соединений) путем восстановления кремнезема в плазме, образуемой при введении водяного пара в пламя высокотемпературной горелки. Установка для реализации предлагаемого способа представляет собой вертикальный реактор с водоохлаждаемыми стенками, в верхней части которого располагается горелка, в пламя которой через стенки реактора подается водяной пар и исходная смесь для получения кремния. Снизу реактора расположена вытеснительная турбина в виде вращающихся валков, играющая роль выгрузочного устройства для готового продукта/
Однако этот способ не обеспечивает получение кремния нужной степени чистоты для солнечных элементов, что связано с трудностями поддержания высокой степени чистоты компонентов, значительными температурными градиентами в реакторе и поэтому большим количеством непрореагировавшего материала. Нерешенными остаются экологические проблемы, обусловленные необходимостью очистки больших потоков высокотемпературных газов на выходе из реактора от пыли диоксида кремния, что приводит к высокой стоимости полученного кремния.
Задачей настоящего изобретения является получение высокочистого кремния экологически безопасным способом с низкими потерями кремния и низкой себестоимостью.
2
5
Технический результат достигается тем, что в предлагаемом способе получения кристаллического кремния высокой чистоты, включающем термическое восстановление кремнийсодержащего соединения до элементарного кремния с помощью высокодисперсного алюминия, шихту, содержащую стехиометрическое количество диоксида кремния и алюминиевую пудру (порошок) перемешивают, брикетируют и подают в реактор. Процесс восстановления ведут в электротермическом реакторе в две стадии. На первой стадии восстановления при температуре 900-1000°С происходит образование соединения AlSiO, выдержка времени на первой стадии 3-5 мин. На второй стадии температуру в реакторе повышают до 1100°С, выдержка времени 60-90 с, при этом завершается восстановление кремния и брикеты, прошедшие обработку, состоят из мелкодисперсного кремния и оксида алюминия. Разделение кремния и оксида алюминия после дробления брикетов осуществляется флотационным методом.
В варианте - способе получения кристаллического кремния высокой чистоты, включающем термическое восстановление кремнийсодержащего соединения до элементарного кремния с помощью высокодисперсного алюминия, процесс восстановления ведут в электротермическом реакторе с двумя зонами нагрева, а в качестве газовой среды вводят в реактор аргон для создания инертной атмосферы и повышения выхода кремния.
Пример 1.
2
5
2
5
Шихтовую смесь, состоящую из кварцевой крупки фракции 100-150 мкм и алюминиевой пудры в массовом соотношении 63:37? прессуют в брикеты. Брикеты подаются в реактор, где нагреваются до температуры 900°С, при этом протекает реакция образования AlSiO и кристаллического кремния, который образуется не более 5-7%, время выдержки брикетов 5 мин, после этого температуру поднимают до 1100°С, при этом протекает экзотермическая реакция разложения AlSiO и образования кристаллического кремния, время выдержки 90 с. После охлаждения и рассева получается кремний с чистотой 99,99993 в количестве 23% от массы шихты(теоретический выход кремния 29%).
Пример 2.
Шихтовую смесь, состоящую из кварцевой крупки фракции 100-150 мкм и алюминиевой пудры в массовом соотношении 63:37, прессуют в брикеты. Брикеты подаются в реактор, где нагреваются до температуры 900°С в атмосфере аргона, время выдержки брикетов 3 мин, после этого температуру поднимают до 1100°С, время выдержки 90 с. После охлаждения и рассева получается кремний с чистотой 99,9995 в количестве 26% от массы шихты (теоретический выход кремния 29%).