СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИН НАНОМЕТРОВЫХ СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ, ПРОВОДИМОГО В ПРОЦЕССЕ ЕГО НАПЫЛЕНИЯ

1. Способ измерения толщин нанометровых слоев многослойного покрытия, проводимого в процессе его напыления, включающий измерение спектра пропускания нанесенного на контрольную подложку покрытия в широком спектральном диапазоне и вычисление толщины напыляемого слоя, отличающийся тем, что в качестве контрольной подложки используют подложку с предварительно нанесенным слоем достаточной толщины, чтобы в спектральной зависимости отражения и/или пропускания от подложки с предварительно нанесенным слоем появился хотя бы один локальный экстремум или хотя бы одна точка перегиба, при этом само измерение толщины слоя может быть проведено как в режиме измерения спектра отражения, так и в режиме измерения спектра пропускания.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют отдельную контрольную подложку.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для каждого распыляемого материала используют несколько отдельных контрольных подложек.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что для всех распыляемых материалов используют единую сегментируемую на отдельные участки контрольную подложку.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что процесс создания предварительно нанесенных слоев может производится как до нанесения слоев покрытия, так и непосредственно в процессе нанесения слоев покрытия.