ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКИ

Полезная модель относится к оборудованию вакуумных установок и может быть использована для герметичного перекрытия вакуумных объемов с высоким и средним вакуумом.
Известно устройство «Вакуумный затвор для вакуумного устройства» по патенту RU 2376399, опубликованному 20.12.2009 года. Вакуумный затвор содержит корпус, имеющий отверстия, каждое их которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу, задвижку для открытия/закрытия отверстий и приводные средства для обеспечения возратно-поступательного перемещения подвижного щитка и для обеспечения герметичного отделения внутренней части подвижного щитка и внутренней части корпуса затвора друг от друга.
Однако, описанное устройство имеет следующие недостатки: для работы затвора используется несколько приводов, что диктует необходимость использования нескольких уплотнительных элементов, при чем один из них работает между двумя подвижными поверхностями, быстро изнашиваясь. Оба недостатка влияют на надежность работы устройства в целом. Кроме того используемый вакуумный затвор имеет большие габаритные размеры.
Наиболее близким по конструктивным признакам к заявляемому в качестве полезной модели устройству является вакуумный затвор, описанный в авторском свидетельстве СССР SU 1756698, опубликованном 23.08.1992 года. Затвор содержит корпус, привод и запорный элемент, а кинематическая связь привода с запорным элементом выполнена в виде рамы с установленной на ней с возможностью продольного перемещения кареткой, причем один конец рамы подпружинен и снабжен контактной площадкой и стопорной площадкой, а другой шарнирно установлен внутри корпуса с возможностью качания вокруг оси, перпендикулярной оси проходных отверстий.
Недостатком такого затвора является значительный габаритный размер затвора по высоте, быстрый износ роликовой обоймы и контактной площадки рамы.
Задачей предлагаемой полезной модели является уменьшение габаритов затвора по высоте и повышение надежности его работы.
Поставленная задача решена тем, высоковакуумный затвор вакуумной установки, содержащий корпус с проходным отверстием, привод в виде каретки и запорного элемента, при этом каретка снабжена механизмом для продольного возвратно-поступательного перемещения, согласно полезной модели в корпусе в качестве нижней стенки выступает плита вакуумной камеры вакуумной установки, которая снабжена проходным отверстием и жестко закрепленными на ней направляющими, при этом привод содержит пневматическое устройство, а запорный элемент снабжен роликами, установленными на его торце, смонтирован выступающим по отношению к каретке с возможностью поперечного перемещения и снизу содержит уплотнительное кольцо для герметизации путем его прижима по контуру проходного отверстия прижимным ролико-рычажно-пружинным механизмом, включающим функционально связанные между собой ролики, рычаги и пружины.
Рычаги и пружины прижимного ролико-рычажно-пружинного механизма смонтированы на каретке.
Пневматическое устройство привода снабжено пневмодросселями и датчиками положения.
Механизм для продольного возвратно-поступательного перемещения каретки выполнен в виде кривошипно-шатунного механизма.
Сущность полезной модели поясняется чертежами. На фиг. 1 представлен высоковакуумный затвор вакуумной установки в закрытом положении, вид сверху; на фиг. 2 показан сложный разрез А-А высоковакуумного затвора вакуумной установки; на фиг. 3 - увеличенный разрез В-В.
Высоковакуумный затвор вакуумной установки включает корпус 1 с нижней стенкой 2, которая представляет собой плиту вакуумной камеры вакуумной установки (на чертеже не показаны) с проходным отверстием 3, пневматическое устройство 4 привода с механизмом 5 продольного возвратно-поступательного перемещения каретки 6 с запорным элементом 7 по направляющим 8, закрепленным на нижней стенке 2 корпуса 1; на выступающем торце запорного элемента 7 установлены ролики 9; уплотнительное кольцо 10, установленное на запорном элементе 7 для герметизации по контуру проходного отверстия 3; прижимной рычажно-пружинный механизм запорного элемента 7 с рычагами 11 и растягивающимися пружинами 12, смонтированный на каретке 6; пневматическое устройство 4 привода с пневмодросселями 13 и датчиками положения 14.
Высоковакуумный затвор вакуумной установки работает следующим образом. В вакуумной установке при отсекании вакуумной напылительной камеры от шлюзовой камеры кривошипно-шатунный механизм 5 перемещает каретку 6 с запорным элементом 7 в направляющих 8 до упора роликов 9 в боковую стенку корпуса 1 вакуумного затвора, при дальнейшем нажиме механизма 5 на каретку 6 ролики 9 двигаются вниз по боковой стенке затвора, в результате чего запорный элемент 7 на рычагах 11 опускается до плотного прилегания к проходному отверстию 3. Герметичность прилегания запорного элемента обеспечивается использованием эластомерного уплотнительного кольца 10. Плавность хода запорного элемента 7 обеспечивают растягивающимися пружинами 12. Использование для прижима запорного элемента 7 пневматического устройства привода 4 позволяет обеспечить постоянную нагрузку на каретку 6, а значит и на сам запорный элемент 7. Перед возвратным движением запорный элемент 7 приподнимается над нижней стенкой 2 под действием пружин 12.
Пневматическое устройство привода посредством пневмодросселей и датчиков положения обеспечивает повышенную надежность работы высоковакуумного затвора вакуумной установки, а исполнение верхней плиты вакуумной камеры в виде нижней стенки корпуса высоковакуумного затвора позволяет встроить его, как конструктивный элемент в вакуумную камеру и уменьшить габариты затвора по высоте.
Источники информации:
1. Патент РФ RU 2376399, опубликованный 20.12.2009 г.
2. Авторское свидетельство СССР SU 1756698, опубликованное 23.08.1992 г.