СПОСОБ СКАНИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

Способ сканирования поверхности объекта с помощью сканирующего зондового микроскопа, заключающийся в том, что объект устанавливают на пьезосканере, зонд располагают над исследуемой поверхностью объекта и сближают их, пьезосканером осуществляют сканирование и с использованием системы регистрации измеряют полезный сигнал, являющийся функцией взаимного положения зонда и поверхности объекта, отличающийся тем, что перед установкой объекта на пьезосканере его поверхность разделяют, по меньшей мере, на две части, после сближения зонда с разделенной на части поверхностью объекта пропускают электрический ток, по меньшей мере, через одну часть поверхности, затем сканируют одновременно часть без пропускания электрического тока и часть с пропусканием электрического тока.