СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МДМ-КАТОДА

8
-2
Способ изготовления МДМ-катода, включающий в себя нанесение на подложку нижнего электрода, диэлектрика, верхнего электрода и формовку структуры, отличающийся тем, что, с целью повышения плотности тока эмиссии и равномерности ее по поверхности на нижнем электроде формируется регулярная наноострийная структура в виде столбиков с плотностью 5·10см путем электрохимического осаждения металла через шаблон из полимерной пленки со сквозными порами.