Статья

Статья

Тепломассообмен и физическая газодинамика

1998. Т. 36. № 2. С. 279–284

Гладуш Г.Г., Куркина Л.Г., Родионов Н.Б.

Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок

Проведен численный анализ закономерностей течения и массопереноса в химических реакторах, предназначенных для нанесения тонких пленок с помощью плазменных струй. Исследуется течение невязкого газа с диффузией малой примеси в реакторе с возвратными струями. Показано, что характер течения существенно зависит от геометрических размеров установки, в частности от соотношения ширины камеры и поперечного размера входной струи. Изучены особенности массопереноса в широких и узких струях, обусловленные диффузией и вихревым движением газа.

Ссылка на статью:

Гладуш Г.Г., Куркина Л.Г., Родионов Н.Б.

Особенности газодинамических и диффузионных процессов в реакторах для нанесения тонких пленок, ТВТ, 1998. Т. 36. № 2. С. 279

High Temp. 1998, v.36, №2, pp. 263-268