МАТЕРИАЛ ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ

1. Проводящий материал для напыления, содержащий смесь частиц двуокиси кремния и проводящих легированных частиц кремния, оплавленную с получением спеченной прессованной порошковой заготовки с плотностью, составляющей, по меньшей мере, 90% от теоретической плотности, и с сопротивлением, равным примерно 200 Ом·см или менее.
2. Материал для напыления по п.1, отличающийся тем, что смесь частиц содержит от 50 до 80% по весу окиси кремния.
3. Материал для напыления по п.1, отличающийся тем, что сопротивление равно примерно 100 Ом·см или менее.
4. Материал для напыления по п.1, отличающийся тем, что сопротивление равно примерно 20 Ом·см или менее.
5. Материал для напыления по п.1, отличающийся тем, что сопротивление равно примерно 10 Ом·см или менее.
6. Способ изготовления проводящего материала для напыления, включающий спекание смеси частиц окиси кремния и проводящих легированных частиц кремния до достижения плотности, составляющей, по меньшей мере, 90% от теоретической плотности, и с сопротивлением, равным примерно 200 Ом·см или менее.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что получают целевой материал с сопротивлением, равным примерно 100 Ом·см или менее.
8. Способ по п.6, отличающийся тем, что получают целевой материал с сопротивлением, равным примерно 20 Ом·см или менее.
9. Способ по п.6, отличающийся тем, что получают целевой материал с сопротивлением, равным примерно 10 Ом·см или менее.
10. Способ по п.6, отличающийся тем, что размер частиц смеси составляет примерно 5 мкм или менее.
2
11. Способ по п.6, отличающийся тем, что SiO содержится в смеси в количестве, равном примерно 50-80% по весу.
12. Способ по п.6, отличающийся тем, что смесь подвергают сжатию и спеканию путем помещения ее в контейнер и затем подвергают горячему изостатическому прессованию.
2
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что горячее изостатическое прессование осуществляют при температуре между примерно 1200 и 1350°С и при давлении, равном, по меньшей мере, 20 кф/дюйм.
14. Способ напыления окиси кремния на подложку, включающий:
приготовление материала для напыления из смеси окиси кремния и проводящего легированного кремния;
помещение указанной смеси в камеру, содержащую устройство для напыления, помещенное вблизи подложки для покрытия, и
приведение в действие устройства для напыления с целью осаждения окиси кремния из указанной смеси на подложку.
15. Способ по п.14, отличающийся тем, что процесс напыления проводят в инертной атмосфере.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что в качестве инертной атмосферы используют аргон.
2
17. Способ по п.15, отличающийся тем, что SiO содержится в смеси в количестве между 50 и 80% по весу.