СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ НАНОВИБРАЦИЙ ПОВЕРХНОСТИ

Способ бесконтактного измерения нановибраций поверхности, включающий облучение исследуемой колеблющейся поверхности оптическим пучком излучателя, юстировку излучателя относительно поверхности для получения максимального отражения пучка назад, детектирование переменной составляющей лазерной мощности с помощью фотодетектора и исследование спектра колебаний фототока, отличающийся тем, что в качестве излучателя используют гелий-неоновый активный элемент, оптимизированный для получения лазерного излучения на длине волны 3.39 мкм и помещенный в полуконфокальный резонатор с двумя отражающими поверхностями, одна из которых имеет коэффициент отражения не менее 0.9 и радиусом кривизны поверхности вогнутого зеркала, соизмеримой с удвоенной длиной активного элемента, а в качестве второй отражающей поверхности резонатора используется зондируемая поверхность, юстируют ось резонатора, перпендикулярно исследуемой поверхности до возникновения генерации и получения ее максимального значения, перестраивают длину резонатора при сканировании сферического зеркала в пределах длины волны и измеряют значение выходной лазерной мощности, настраивают длину резонатора на линейный участок зависимости лазерной мощности от длины резонатора, измеряют переменную составляющую лазерной мощности, пропорциональной колебаниям поверхности, анализируют переменную составляющую фотодетектора, фототек которого пропорционален переменной составляющей лазерной мощности, и с помощью Фурье или Вейвлет преобразования определяют амплитуды и частоты колебаний исследуемой поверхности.