МЕМБРАННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

1. Мембранный вакуумный насос с электрическим приводным блоком и вакуумной мембраной (94, 94' 94”), которая разделяет камеру (96, 96', 96”) насоса на отсек со стороны привода и отсек, удаленный от привода, и которую можно отклонять посредством подвижной части (92, 92', 92”) приводного блока, при этом приводной блок является электромагнитным приводным блоком, в котором подвижная часть (92, 92', 92”) выполнена с возможностью поступательного перемещения, а вакуумная мембрана (94, 94', 94”) способна отклоняться в направлении указанного поступательного перемещения, создаваемого в приводном блоке электромагнитным методом.
2. Вакуумный насос по п.1, в котором подвижная часть (92”) функционально связана с вентиляционным клапаном для вентилирования мембранного вакуумного насоса, при этом поступательное перемещение, обеспечиваемое приводным блоком, способно активировать вентиляционный клапан.
3. Вакуумный насос по п.2, в котором подвижная часть (92”) имеет первый конец и второй конец, противоположный первому концу, при этом вакуумная мембрана (94”) функционально связана с первым концом, а вентиляционный клапан функционально связан со вторым концом.
4. Вакуумный насос по п.1, в котором вентиляционный клапан имеет вентиляционную мембрану (903).
5. Вакуумный насос по п.4, в котором вакуумная мембрана (94”) жестко прикреплена к первому концу подвижной части (92”), а вентиляционная мембрана (903) жестко прикреплена ко второму концу указанной части, при этом указанные мембраны образуют подвеску для подвижной части (92”) в приводном блоке.
6. Вакуумный насос по п.1, в котором управление подвижной частью (92”) посредством контроллера обеспечивает выполнение первого и второго ходов для создания вакуума в камере (96”) насоса и выполнение третьего хода для активирования вентиляционного клапана, при этом третий ход может производиться в том же направлении, что и второй ход, но при большем перемещении.
7. Вакуумный насос по п.1, в котором приводной блок содержит по меньшей мере один постоянный магнит (91, 91', 91”) и каркас (92, 92', 92”) с находящейся на нем обмоткой, при этом указанный каркас (92, 92', 92”) вместе с обмоткой установлен с возможностью поступательного перемещения относительно магнита (91, 91', 91”) в двух направлениях вдоль своей продольной оси, причем каркас (92, 92', 92”) обмотки, образующий подвижную часть, жестко прикреплен к вакуумной мембране (94, 94', 94”) и обеспечивает при своем перемещении ее отклонение в обоих направлениях.
8. Вакуумный насос по п.7, в котором каркас (92, 92', 92”) обмотки образует поршень, на первом конце которого находится вакуумная мембрана (94, 94', 94”).
9. Вакуумный насос по п.8, в котором вакуумная мембрана (94, 94', 94”) имеет диаметр, существенно превышающий диаметр указанного поршня (92, 92', 92”).
10. Вакуумный насос по п.9, в котором вакуумная мембрана (94, 94', 94”) закреплена на первом конце поршня (92, 92', 92”) центрально симметрично.
11. Вакуумный насос по п.8, в котором поршень (92, 92', 92”) имеет второй конец, установленный с возможностью поступательного перемещения.
12. Вакуумный насос по п.8, в котором поршень (92, 92”) имеет второй конец, к которому прикреплена дополнительная мембрана (903).
13. Вакуумный насос по п.8, в котором обмотка (921, 921”) является плоской обмоткой и в котором имеется по меньшей мере один постоянный магнит (91, 91”), зафиксированный в корпусе (90, 90”) вакуумного насоса.
14. Вакуумный насос по п.8, в котором поршень (92') имеет второй конец, установленный, с возможностью перемещения, между железным сердечником (911') и магнитом (91').
15. Вакуумный насос по п.8, в котором выполненная подвижной обмотка и постоянный магнит (91') имеют вращательно-симметричную конструкцию, причем сквозь подвижную обмотку проведен железный сердечник (911').
16. Вакуумный насос по п.1, в котором имеется по меньшей мере один детектор (97, 97'; 98, 98', 98”) положения для определения положения подвижной части (92, 92', 92”) приводного блока относительно остальной его части, находящейся в фиксированном положении.
17. Вакуумный насос по п.16, в котором детектор (97, 97'; 98, 98', 98”) положения способен генерировать сигнал, пригодный для управления вакуумным насосом в зависимости от положения каркаса (92, 92', 92”) обмотки.
18. Вакуумный насос по любому из пп.1-17, в котором имеется выход (990) в удаленный от привода отсек камеры (96, 96', 96”) насоса, причем указанный выход соединен со второй камерой (8), при этом вторая камера (8) содержит дополнительную мембрану (14), разделяющую вторую камеру (8) на два отсека (80, 81) и служащую для разделения различных сред и для переноса вакуума, создаваемого внутри камеры насоса.