СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГИБКИХ ОРГАНИЧЕСКИХ-НЕОРГАНИЧЕСКИХ СЛОИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ

1. Способ изготовления слоистого материала, включающий
(а) осаждение неорганического слоя посредством процесса осаждения атомных слоев, и
(б) осаждение органического слоя, содержащего селен, посредством процесса осаждения молекулярных слоев.
2. Способ по п. 1, где для осаждения органического слоя, в процессе осаждения молекулярных слоев применяют селенол.
3. Способ по п. 1 или 2, где для осаждения органического слоя, в процессе осаждения молекулярных слоев применяют диселенол.
4. Способ по любому из пп. 1-3, где для осаждения органического слоя, в процессе осаждения молекулярных слоев применяют ароматический селенол.
5. Способ по любому из пп. 1-4, где для осаждения неорганического слоя, в процессе осаждения атомных слоев применяют соединение, содержащее А1.
6. Способ по любому из пп. 1-5, где неорганический слой осаждают в результате 4-150 циклов осаждения атомных слоев.
7. Слоистый материал, содержащий
(а) неорганический слой и
(б) органический слой, содержащий селен.
8. Слоистый материал по п. 7, где органический слой включает селен в степени окисления -2, -1 или 0.
х
у
9. Слоистый материал по п. 7 или 8, где неорганический слой содержит АlO(ОН), где 0≤х≤1,5; 0≤у≤3 и 2х+у=3.
10. Слоистый материал по любому из пп. 7-9, где неорганический слой имеет толщину, которая составляет 0,4-15 нм.
11. Защитная пленка, содержащая слоистый материал по любому из пп. 7-10.
12. Защитная пленка по п. 11, где защитная пленка дополнительно содержит полимерную подложку.
13. Защитная пленка по п. 11 или 12, где защитная пленка дополнительно содержит выравнивающий слой.
14. Применение защитной пленки по любому из пп. 11-13 для герметизации, упаковки, или пассивации.
15. Электронное устройство, содержащее защитную пленку по любому из пп. 11-13.