СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ОДНОФАЗНЫХ ПЛЕНОК НИТРИДА ТИТАНА

Способ получения однокомпонентных пленок нитрида титана стехиометрического состава, включающий формирование покрытий в вакууме путем электродугового распыления титановой мишени в атмосфере реакционного газа-азота, предварительную очистку подложки ионной бомбардировкой в тлеющем разряде в атмосфере аргона при температуре 45-50°С в течение 10-15 мин, отличающийся тем, что полученную субмикронную пленку, состоящую из двух компонентов: TiN и Ti, подвергают бомбардировке ионами азота при смещении на подложке до - 600 В при температуре 50-60°С в течение 15-20 мин.