РАСПЫЛЯЕМЫЕ МИШЕНИ ИЗ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ, ИМЕЮЩИЕ ВЫСОКУЮ ПЛОТНОСТЬ

1. Способ изготовления имеющих высокую плотность изделий из тугоплавких металлов, в котором:
а) выполняют холодное изостатическое прессование порошка тугоплавкого металла при давлении, составляющем от приблизительно 10000 фунт/кв.дюйм (68,95 МПа) до приблизительно 65000 фунт/кв.дюйм (448,16 МПа) для получения прессованного изделия, причем упомянутый порошок из тугоплавкого металла представляет собой порошок, выбираемый из группы, состоящей из порошка молибдена, порошка вольфрама, порошка сплава молибдена-вольфрама, порошка сплава молибдена, где легирующий металл отличается от вольфрама, и порошка сплава вольфрама, где легирующий металл отличается от молибдена;
b) нагревают упомянутое прессованное изделие при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до первой температуры, составляющей от приблизительно 300°F (148,89°С) до приблизительно 1000°F (537,78°С), и выдерживают при упомянутой первой температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч;
c) нагревают упомянутое прессованное изделие от упомянутой первой температуры при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до второй температуры, составляющей от приблизительно 1500°F (815,56°С) до приблизительно 2800°F (1537,78°С), и выдерживают при упомянутой второй температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч;
d) нагревают упомянутое прессованное изделие от упомянутой второй температуры при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до третьей температуры, составляющей от приблизительно 3000°F (1648,89°С) до приблизительно 4000°F (2204,44°С), и выдерживают при упомянутой третьей температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч; и
e) дают упомянутому прессованному изделию охладиться до комнатной температуры.
2. Способ по п.1, в котором упомянутый порошок имеет сверхмалый размер по Фишеру, составляющий от приблизительно 2 до приблизительно 5 мкм, при измерении в соответствии со стандартом ASTM В-30-65.
3. Способ по п.1, в котором давление на упомянутом этапе холодного изостатического прессования поддерживают на указанном уровне в течение периода времени, составляющего от приблизительно 5 до приблизительно 30 мин.
4. Способ по п.2, в котором давление на упомянутом этапе холодного изостатического прессования составляет от приблизительно 15000 фунт/кв.дюйм (103,42 МПа) до приблизительно 36000 фунт/кв.дюйм (248,21 МПа), и давление поддерживают на указанном уровне в течение периода времени, составляющего от приблизительно 7 до приблизительно 20 мин.
5. Способ по п.1, в котором скорость нагрева на упомянутом этапе нагрева до первой температуры составляет от приблизительно 70°F (38,89°С) до приблизительно 100°F (55,56°С), упомянутая первая температура составляет от приблизительно 400°F (204,44°С) до приблизительно 700°F (371,11°С) и выдержка на этом этапе составляет от приблизительно 4 до приблизительно 12 ч.
6. Способ по п.1, в котором скорость нагрева на упомянутом этапе нагрева до второй температуры составляет от приблизительно 40°F (22,22°С) до приблизительно 60°F (33,33°С), упомянутая вторая температура составляет от приблизительно 1700°F (926,67°С) до приблизительно 2200°F (1204,44°С) и выдержка на этом этапе составляет от приблизительно 10 до приблизительно 22 ч.
7. Способ по п.1, в котором скорость нагрева на упомянутом этапе нагрева до третьей температуры составляет от приблизительно 25°F (13,89°С) до приблизительно 40°F (22б22°С), упомянутая третья температура составляет от приблизительно 3200°F (1760°С) до приблизительно 3600°F (1982,22°С) и длительность этого этапа составляет от приблизительно 10 до приблизительно 24 ч.
8. Способ изготовления распыляемой мишени, в котором:
а) выполняют холодное изостатическое прессование порошка тугоплавкого металла при давлении, составляющем от приблизительно 10000 фунт/кв.дюйм (68,95 МПа) до приблизительно 65000 фунт/кв.дюйм (448,16 МПа) для получения прессованного изделия, причем упомянутый порошок из тугоплавкого металла представляет собой порошок, выбираемый из группы, состоящей из порошка молибдена, порошка вольфрама, порошка сплава молибдена-вольфрама, порошка сплава молибдена, где легирующий металл отличается от вольфрама, и порошка сплава вольфрама, где легирующий металл отличается от молибдена;
b) нагревают упомянутое прессованное изделие при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до первой температуры, составляющей от приблизительно 300°F (148,89°С) до приблизительно 1000°F (537,78°С), и выдерживают при упомянутой первой температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч;
c) нагревают упомянутое прессованное изделие от упомянутой первой температуры при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до второй температуры, составляющей от приблизительно 1500°F (815,56°С) до приблизительно 2800°F (1537,78°С), и выдерживают при упомянутой второй температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч;
d) нагревают упомянутое прессованное изделие от упомянутой второй температуры при увеличении температуры со скоростью от приблизительно 20°F (11,11°С) до приблизительно 120°F (66,67°С) в час до третьей температуры, составляющей от приблизительно 3000°F (1648,89°С) до приблизительно 4000°F (2204,44°С), и выдерживают при упомянутой третьей температуре в течение периода времени, составляющего от приблизительно 1 до приблизительно 38 ч;
e) дают упомянутому прессованному изделию охладиться до комнатной температуры;
f) выполняют механическую обработку полученной в результате пластины для обеспечения приблизительного размера требуемой распыляемой мишени;
g) выполняют очистку пластины, прошедшей механическую обработку;
h) выполняют промывку очищенной пластины, чтобы удалить любой очищающий реагент, использованный на предыдущем этапе; и
i) соединяют пластину с опорной пластиной для получения распыляемой мишени.
9. Распыляемая мишень, изготовленная в соответствии со способом по п.8.