СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБЪЕМА ПОСРЕДСТВОМ МНОЖЕСТВА ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ГЕНЕРАТОРОВ

1. Устройство для возбуждения технологической среды посредством электромагнитного излучения, содержащее:
реакционную конструкцию, содержащую технологический или реакционный объем;
множество сверхвысокочастотных электромагнитных генераторов, связанных с реакционной конструкцией, вокруг реакционной конструкции; и,
по меньшей мере, один радиочастотный (РЧ) электромагнитный генератор, связанный с реакционной конструкцией.
2. Устройство по п.1, отличающееся, по меньшей мере, одним из следующих признаков:
(а) дополнительно содержащее, по меньшей мере, один генератор статического электромагнитного поля, связанный с реакционной конструкцией, и при этом, по меньшей мере, один генератор статического электромагнитного поля предпочтительно создает постоянное поле для удержания плазмы;
(b) в котором реакционная конструкция является одномодовой или многомодовой при сверхвысокой частоте; и
(с) в котором реакционная конструкция является цилиндрически симметричной относительно оси.
3. Устройство по п.1, в котором реакционная конструкция ограничена спиральной конструкцией, образованной из проводящего материала и имеющей множество катушек.
4. Устройство по п.3, отличающееся одним из следующих отличительных признаков:
(а) в котором ширина витков спирали составляет одну четвертую часть длины волны при резонансной частоте;
(b) в котором спираль соединена с одним или несколькими из указанных радиочастотных генераторов;
(с) в котором витки образуют часть резонансного контура; и
(d) в котором спираль имеет концевую заглушку на каждом конце, при этом концевые заглушки содержат спиральные обмотки для предотвращения потерь на вихревые токи.
5. Устройство по п.1, в котором два или более из, по меньшей мере, одного сверхвысокочастотных электромагнитных генераторов генерируют сверхвысокочастотные волны с одинаковой частотой, выбранной для возбуждения различных волн в реакционной структуре, и при этом сверхвысокочастотные волны одинаковой частоты предпочтительно синхронизированы по фазе.
6. Устройство по п.5, дополнительно содержащее фазовый детектор, получаемый из которого сигнал рассогласования возвращается в, по меньшей мере, один из указанных сверхвысокочастотных электромагнитных генераторов одинаковой частоты.
7. Устройство по п.1, отличающееся, по меньшей мере, одним из следующих признаков:
(а) в котором сверхвысокочастотные электромагнитные генераторы генерируют сверхвысокочастотные волны с разными частотами, выбранные для возбуждения различных мод в реакционной конструкции;
(b) в котором технологическая среда возбуждается посредством магнитного поля моды TElmn;
(с) в котором радиочастотные генераторы связаны для возбуждения зоны рядом с осью резонансной конструкции;
(d) дополнительно содержащее ультразвуковое устройство для ультразвуковой очистки резонансной конструкции;
(е) в котором спираль имеет жидкостное или воздушное охлаждение;
(f) в котором сверхвысокочастотные электромагнитные генераторы выполнены с конфигурацией, обеспечивающей возможность возбуждения множества мод сверхвысокочастотных волн в разных местах в продольном направлении в реакционной конструкции;
(g) в котором радиочастотные электромагнитные генераторы выполнены с конфигурацией, обеспечивающей возможность возбуждения множества мод TElmn в разных местах в продольном направлении в реакционной конструкции;
(h) дополнительно содержащее, по меньшей мере, один поршень, расположенный на одном конце реакционной конструкции для обеспечения более одной моды, и при этом, по меньшей мере, один поршень предпочтительно используется для регулирования настройки различных волн;
(i) в котором реакционная конструкция содержит множество резонансных конструкций, соединенных последовательно или параллельно, или параллельно и последовательно;
(j) дополнительно содержащее электромеханический соединитель для больших изменений нагрузки; и
(k) дополнительно содержащее задающий генератор, который выполнен с возможностью регулирования для восприятия малых возмущений.
8. Устройство для обработки технологического объема посредством множества электромагнитных генераторов, содержащее:
резонансную конструкцию, образованную из металлической спирали; и
множество электромагнитных генераторов, связанных со спиралью.
9. Устройство по п.8, отличающееся, по меньшей мере, одним из следующих признаков:
(а) дополнительно содержащее входную заглушку и выходную заглушку на соответствующих концах металлической спирали, при этом технологический объем введен в резонансную конструкцию через входную заглушку;
(b) дополнительно содержащее реакционную камеру, которая является цилиндрически симметричной;
(с) в котором множество электромагнитных генераторов включает в себя, по меньшей мере, один сверхвысокочастотный генератор и, по меньшей мере, один радиочастотный генератор;
(d) в котором электромагнитные генераторы создают переменные магнитные поля, параллельные оси спирали;
(е) в котором входы от множества электромагнитных генераторов расположены так, что различные генераторы связаны с различными волнами резонансной конструкции;
(f) дополнительно содержащее, по меньшей мере, один цилиндрический поршень для настройки различных резонансных волн магнитных полей, создаваемых указанными электромагнитными генераторами;
(g) в котором технологическая среда возбуждается посредством магнитного поля моды TElmn;
(h) дополнительно содержащее трубу для подачи технологического объема в указанную резонансную конструкцию, при этом труба является прозрачной для радиочастотной и сверхвысокочастотной энергии, и при этом труба предпочтительно имеет входную секцию и выходную секцию, и при этом указанные входная секция и выходная секция трубы образованы из металла;
(i) в котором витки металлической спирали имеют ширину, составляющую одну четвертую часть длины волны при резонансной частоте;
(j) в котором спираль имеет жидкостное или воздушное охлаждение;
(k) дополнительно содержащее электромеханический соединитель для больших изменений нагрузки; и
(l) в котором часть множества электромагнитных генераторов выполнена с конфигурацией, обеспечивающей возможность возбуждения множества волн в разных местах в продольном направлении в реакционной конструкции.
10. Способ возбуждения технологической среды посредством использования магнитного поля, включающий в себя:
выполнение резонансной конструкции, которая является, по существу, цилиндрической, при этом, по меньшей мере, один сверхвысокочастотный генератор и, по меньшей мере, один радиочастотный генератор соединены с указанной резонансной конструкцией;
создание электромагнитных полей, которые связаны с различными модами резонансной конструкции; и
пропускание указанной технологической среды через указанную резонансную конструкцию в направлении ширины.
11. Способ по п.10, дополнительно включающий в себя настройку указанных электромагнитных полей в соответствии с различными модами резонансной конструкции, и при этом настройку предпочтительно выполняют посредством регулирования положения полого цилиндрического поршня в продольном направлении.
12. Способ по п.10, дополнительно включающий в себя настройку указанного, по меньшей мере, одного сверхвысокочастотного генератора посредством электромеханического соединителя для больших изменений нагрузки.
13. Способ по п.10, дополнительно включающий в себя использование моды TElmn для возбуждения среды посредством соответствующих магнитных полей.
14. Способ по п.10, в котором указанная технологическая среда представляет собой плазму, дополнительно включающий в себя удержание указанной плазмы посредством постоянного электрического поля для обеспечения возможности лучшего взаимодействия магнитных полей с указанной плазмой.
15. Способ по п.10, отличающийся одним или обоими из следующих признаков:
(а) в котором резонансная конструкция ограничена спиральной конструкцией, образованной из проводящего материала и образующей, по меньшей мере, одну катушку; и
(b) в котором ширина витков спирали составляет одну четвертую часть длины волны при резонансной частоте.