ПРИМЕНЕНИЕ МИШЕНИ ДЛЯ ИСКРОВОГО НАПЫЛЕНИЯ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДХОДЯЩЕЙ ДЛЯ ЭТОГО ПРИМЕНЕНИЯ МИШЕНИ

1. Применение мишени в процессе нанесения покрытия искровым напылением для получения металлооксидных и/или металлонитридных покрытий, причем применяют мишень, в которой непроводящий оксид и/или нитрид металла мишени, внедрен в матрицу этого металла мишени и благодаря этому с мишенью можно работать при температуре, которая выше температуры плавления использованного в мишени металла.
2. Применение мишени по п.1, причем мишень содержит алюминиевую матрицу, в которую внедрены непроводящие частицы оксида алюминия и/или частицы нитрида алюминия.
3. Применение мишени по п.2, причем частицы оксида алюминия в основном имеют диаметр, который меньше, чем типичный диаметр искрового разряда, и тем самым меньше 100 мкм, предпочтительно меньше 50 мкм.
4. Применение мишени по п.2 или 3, причем содержание оксида алюминия в алюминиевой матрице составляет менее 70 об.%.
5. Применение мишени по любому из пп.1-3, причем мишень является мишенью, полученной методом порошковой металлургии.
6. Применение мишени по п.4, причем мишень является мишенью, полученной методом порошковой металлургии.
7. Способ получения мишени, которая подходит для применения по любому из пп.2-6, причем мишень получают способом голографического структурирования, при этом слой оксида алюминия структурируют в виде решетки, и при этом возникшие в решетке канавки заполняют алюминием.