ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ

1. Чувствительный элемент на поверхностных акустических волнах для измерения температуры, состоящий из пластины из альфа кварца, на поверхности которой сформированы не менее одного встречно-штыревого преобразователя (ВШП) и не менее двух отражающих элементов (ОЭ), при этом рабочая поверхность пластины жестко связана с правой декартовой системой координат (X1, Y1, Z1), где ось Z1 направлена перпендикулярно поверхности пластины, при этом правая декартова система координат (X1, Y1, Z1) имеет угловую ориентацию относительно кристаллографической системы координат кварца (X, Y, Z), заданную углами Эйлера φ, θ, Ψ, отличающийся тем, что угол φ принимает значение, находящееся в одном из диапазонов от -20°+60°·n до 20°+60°·n, где n принимает значения 0, 1, 2, 3, 4, 5, угол в принимает значение, находящееся в диапазоне от 140° до 180° или в диапазоне от минус 40° до θ, угол Ψ принимает значение ±90°, электроды ВШП и ОЭ отклонены от оси Y1 на угол, не превосходящий по модулю 20°.
2. Чувствительный элемент по п. 1, отличающийся тем, что на поверхности пластины из альфа кварца сформированы не менее двух структур, содержащих не менее одного встречно-штыревого преобразователя и не менее двух отражающих элементов в каждой структуре, с направлениями электродов, отклоненными друг от друга на угол, не превосходящий по модулю 20°, и с направлениями осей каждой из структур, отклоненными друг от друга на угол, не превосходящий по модулю 12°.
3. Чувствительный элемент по п. 2, отличающийся тем, что электроды одной из структур отклонены от оси Y1 на угол, не превосходящий по модулю 2°, а электроды другой структуры отклонены от оси Y1 на угол, превосходящий по модулю 8°, и не превосходящий по модулю 12°.
4. Чувствительный элемент по любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что при значении угла θ 160° или -20°, электроды одной из структур параллельны оси Y1, электроды другой структуры отклонены от оси Y1 на ±10°, а оси обеих структур параллельны оси X1.
5. Чувствительный элемент по п. 1, отличающийся тем, что к ВШП подключена антенная система.
6. Чувствительный элемент по п. 2, отличающийся тем, что к ВШП подключена антенная система.
7. Чувствительный элемент по п. 3, отличающийся тем, что к ВШП подключена антенная система.
8. Чувствительный элемент по п. 4, отличающийся тем, что к ВШП подключена антенная система.
9. Чувствительный элемент по п. 1, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
10. Чувствительный элемент по п. 2, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
11. Чувствительный элемент по п. 3, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
12. Чувствительный элемент по п. 4, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
13. Чувствительный элемент по п. 5, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
14. Чувствительный элемент по п. 6, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
15. Чувствительный элемент по п. 7, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.
16. Чувствительный элемент по п. 8, отличающийся тем, что ВШП подключены к генератору колебаний.