2
СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ОКИСЛА КРЕМНИЯ SiO

4
4
4
Способ травления окисла кремния, включающий травление окисла кремния, в состав травителя которого входят фтористоводородная кислота (HF) и фторид аммония (NHF), отличающийся тем, что соотношение фторид аммония (NHF) и фтористоводородной кислоты (HF) в травителе при комнатной температуре выбирается 6:1 т.е. NНF:HF=6:1.