УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения для нанотехнолногического оборудования.
Известно устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее механический зонд и подложку установленную на неподвижном подложкодержателе [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, вып.2. - М: Наука, 1988 - с.261-278 (аналог).].
Недостатком аналога является низкая производительность.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленными на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложкой [Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие / М.: МИЭТ, 2000 - 69 с.(прототип)].
Недостатком прототипа так же является низкая производительность.
В основу полезной модели положена техническая задача повышения производительности нанотехнолногического оборудования.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство перемещения для нанотехнологического оборудования, содержащее неподвижное основание с закрепленными на нем пьезоприводами, на которых установлены зонды, электрически взаимодействующие с подложками, согласно
предложенной полезной модели, устройство снабжено средством, обеспечивающим круговое перемещение подложек. Средство, обеспечивающее круговое перемещение подложек, выполнено в виде вращающегося подложкодержателя, который может быть выполнен в виде цилиндра либо в виде подвижной карусели.
Введение в устройство перемещения средства, обеспечивающего круговое перемещение подложек, выполненного предложенным образом, обеспечивает параллельную реализацию различных технологических процессов, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1 и фиг.2, где
на фиг.1 показано устройство перемещения для нанотехнологического оборудования с подложкодержателем в виде подвижной карусели;
на фиг.2 показано устройство перемещения для нанотехнологического оборудования с подложкодержателем в виде цилиндра;
Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования состоит из неподвижного основания 1 с закрепленными на нем пьезоприводами 2, на которых установлены зонды 3, электрически взаимодействующие с подложками 4. Подложки 4 установлены на средстве, обеспечивающем их круговое перемещение. Средство, обеспечивающее круговое перемещение подложек, выполнено в виде вращающегося подложкодержателя. Вращающийся подложкодержатель может быть выполнен в виде подвижной карусели 5, как показано на фиг.1. Вращающийся подложкодержатель может быть выполнен также в виде цилиндра 5, как показано на фиг.2.
Устройство перемещения для нанотехнологического оборудования работает следующим образом. При взаимодействии зондов 3 с подложками 4 реализуются необходимые технологические процессы. Далее подложкодержатель 5, выполненный в виде подвижной карусели либо в виде цилиндра, совершая дискретное вращательное движение, обеспечивает перемещение подложек 4 по технологическому циклу.
Применение в устройстве перемещения для нанотехнологического оборудования средства, обеспечивающего круговое перемещение подложек, выполненного предложенным образом, позволяет одновременно проводить несколько различных технологических процессов на одной установке, что и повышает производительность нанотехнологического оборудования.