СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ТОКА И ДЕГРАДАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ АВТОЭМИССИОННЫХ КАТОДОВ НА КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИНАХ

Способ повышения плотности тока и деградационной стойкости автоэмиссионных катодов, изготовленных в виде островковых покрытий композиционной наноалмазографитовой пленки, синтезированной на поверхности кремниевых пластин в плазме микроволнового газового разряда паров углеводородных веществ, например этанола, в диапазоне давлений от 0,05 до 0,08 Па и температуре подложки от 200 до 350°C, отличающийся тем, что катодные матрицы изготавливают на пластинах монокристаллического кремния дырочного типа проводимости, формируя эмиссионные слои толщиной не менее 10 нм с низкой поперечной электропроводностью, способствующей повышению плотности автоэмиссионных токов.