МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ

2
2
2
2
Метод получения пленки диоксида кремния, включающий метод получения диэлектрической пленки на поверхности кремниевой подложки, отличающийся тем, что на поверхности подложки формируют слой диэлектрический пленки диоксида кремния за счет горения водорода и сухого кислорода в среде азота (N) при температуре -980±20°С и расхода газов: N=400 л/ч; Н=65 л/ч; O=650±50 л/ч, разброс толщины составил - 3,5÷4,0%.