СИСТЕМА И СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ МЕСТНОГО МЕХАНИЧЕСКОГО НАПРЯЖЕНИЯ В ИНТЕГРАЛЬНЫХ УСТРОЙСТВАХ

1. Способ обнаружения механического напряжения в интегральных устройствах, в котором:
обеспечивают обнаружение разности фотонапряжений между сканирующим зондом и участком поверхности интегрального устройства, при этом сканирующий зонд способен отклоняться под влиянием разности фотонапряжений,
измеряют отклонение сканирующего зонда под влиянием разности фотонапряжений между сканирующим зондом и участком поверхности интегрального устройства и
вычисляют уровень местного напряжения внутри интегрального устройства путем определения местной работы выхода на участке поверхности интегрального устройства, исходя из отклонения сканирующего зонда.
2. Способ по п.1, в котором обнаружение разности фотонапряжений осуществляют путем облучения интегрального устройства первым лазерным сигналом и вторым лазерным сигналом.
3. Способ по п.2, в котором попеременно модулируют первый лазерный сигнал и второй лазерный сигнал.
4. Способ по п.2, в котором первый лазерный сигнал имеет первый угол падения на участок поверхности интегрального устройства, а второй лазерный сигнал имеет второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства.
5. Способ по п.4, в котором первый угол падения и второй угол падения являются одинаковыми или отличаются друг от друга.
6. Способ по п.4, в котором первый угол падения и второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства приблизительно равны углу Брюстера.
7. Способ по п.2, в котором первый лазерный сигнал имеет третий угол падения относительно второго лазерного сигнала.
8. Способ по п.1, в котором уровень местного напряжения внутри интегрального устройства измеряют в масштабе приблизительно 100 нм.
9. Способ обнаружения механического напряжения в интегральных устройствах, в котором:
облучают участок поверхности интегрального устройства первым лазерным сигналом и вторым лазерным сигналом, чтобы обнаружить разность фотонапряжений между сканирующим зондом и участком поверхности интегрального устройства, при этом сканирующий зонд подвешен над интегральным устройством,
измеряют отклонение сканирующего зонда под влиянием разности фотонапряжений и
вычисляют уровень местного напряжения внутри интегрального устройства на участке поверхности путем определения местной работы выхода на участке поверхности интегрального устройства, исходя из отклонения сканирующего зонда.
10. Способ по п.9, в котором уровень местного напряжения выводят из результатов измерения отклонения сканирующего зонда под влиянием разности фотонапряжений.
11. Способ по п.9, в котором первый лазерный сигнал имеет первый угол падения на участок поверхности интегрального устройства, а второй лазерный сигнал имеет второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства.
12. Способ по п.11, в котором первый угол падения и второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства приблизительно равны углу Брюстера.
13. Способ по п.9, в котором первый лазерный сигнал имеет третий угол падения относительно второго лазерного сигнала.
14. Способ по п.9, в котором первый лазерный сигнал локально взаимодействует с первым волновым вектором на участке поверхности интегрального устройства, а второй лазерный сигнал взаимодействует со вторым волновым вектором на участке поверхности интегрального устройства для обнаружения различий в работах выхода на участке поверхности интегрального устройства.
15. Способ по п.9, в котором обнаруживают разность фотонапряжений путем сканирования вершины сканирующего зонда, при этом на вершину сканирующего зонда воздействует меняющимся во времени электрическим стимулом с частотой, равной или близкой к частоте механического резонанса сканирующего зонда.
16. Способ по п.9, в котором дополнительно подают напряжение смещения между интегральным устройством и сканирующим зондом, исходя из разности фотонапряжений, для активного обнуления отклонения сканирующего зонда.
17. Способ по п.9, в котором дополнительно:
фиксируют топографическое изображение участка поверхности интегрального устройства, и
при облучении первым лазерным сигналом и вторым лазерным сигналом участка поверхности интегрального устройства поддерживают постоянный зазор между сканирующим зондом и интегральным устройством, исходя из топографического изображения.
18. Устройство для обнаружения механического напряжения в интегральных устройствах, содержащее:
интегральное устройство, имеющее участок поверхности с местной работой выхода,
сканирующий зонд, подвешенный над интегральным устройством,
оптический контроллер, выполненный с возможностью обнаружения разности фотонапряжений между интегральным устройством и сканирующим зондом, при этом сканирующий зонд способен перемещаться под влиянием разности фотонапряжений,
детектор сканирующего зонда, способный измерять перемещения сканирующего зонда под влиянием разности фотонапряжений, и
блок обработки, выполненный с возможностью обмена сигналами с детектором сканирующего зонда и вычисления уровня местного напряжения внутри интегрального устройства путем определения местной работы выхода на участке поверхности интегрального устройства, исходя из отклонения сканирующего зонда.
19. Устройство по п.18, в котором сканирующий зонд имеет консоль с тонкой вершиной, которая способна колебаться с резонансной частотой, и сканирующий зонд способен перемещаться в плоскости z.
20. Устройство по п.18, в котором оптический контроллер имеет первый источник светового излучения и второй источник светового излучения.
21. Устройство по п.20, в котором первый источник светового излучения имеет первый угол падения на участок поверхности интегрального устройства, а второй источник светового излучения имеет второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства.
22. Устройство по п.21, в котором первый угол падения и второй угол падения на участок поверхности интегрального устройства приблизительно равны углу Брюстера.
23. Устройство по п.20, в котором первый источник светового излучения имеет третий угол падения относительно второго источника светового излучения.
24. Устройство по п.18, дополнительно имеющее источник питания для подачи напряжение смещения между интегральным устройством и сканирующим зондом, исходя из разности фотонапряжений.
25. Устройство по п.18, дополнительно имеющее контроллер зонда для регулирования высоты сканирующего зонда.