СПОСОБЫ СПЕКТРАЛЬНОГО АНАЛИЗА

1. Способ определения компонентов, присутствующих в образце, содержащий стадии:
отбор спектральных данных для нескольких точек на образце;
осуществление первоначальной оценки спектральных значений первого компонента образца;
исходя из первоначальной оценки первого компонента, выполнение итеративного разрешения спектра первого компонента; и
осуществление первоначальной оценки спектральных значений, по меньшей мере, еще одного компонента образца, и выполнение итеративного разрешения спектра каждого такого компонента, исходя из соответствующей первоначальной оценки и одного или более разрешенных ранее спектров.
2. Способ спектрального определения компонентов, присутствующих в образце, содержащий стадии:
облучение образца;
отбор спектральных данных для нескольких точек на образце;
осуществление первоначальной оценки спектральных значений первого компонента образца;
исходя из первоначальной оценки первого компонента, выполнение итеративного разрешения спектра первого компонента; и
осуществление первоначальной оценки спектральных значений, по меньшей мере, еще одного компонента образца, и выполнение итеративного разрешения спектра каждого такого компонента, исходя из соответствующей первоначальной оценки и из одного или более разрешенных ранее спектров.
3. Способ по п.1 или 2, в котором соответствующие первоначальные оценки осуществляются из спектральных значений последующих компонентов образца, и итеративное разрешение спектра каждого такого компонента выполняется, исходя из соответствующей первоначальной оценки и из одного или более разрешенных ранее спектров.
4. Способ по п.1 или 2, в котором применяются равные величины для всех спектральных значений соответствующей первоначальной оценки.
5. Способ по п.1 или 2, в котором на этапах итеративного разрешения применяется метод альтернативной оптимизации по наименьшим квадратам.
6. Способ по п.1 или 2, включающий этап сохранения итеративно разрешенных спектральных значений компонентов.
7. Способ по п.1 или 2, в котором спектральные значения анализируются для создания карты, представляющей концентрации компонентов образца на его поверхности.
8. Устройство для определения компонентов, присутствующих в образце, содержащее компьютер с программным управлением для выполнения стадий:
отбор спектральных данных для нескольких точек на образце;
осуществление первоначальной оценки спектральных значений первого компонента образца;
исходя из первоначальной оценки первого компонента, выполнение итеративного разрешения спектра первого компонента; и
осуществление первоначальной оценки спектральных значений, по меньшей мере, еще одного компонента образца, и выполнение итеративного разрешения спектра каждого такого компонента, исходя из соответствующей первоначальной оценки и из одного или более разрешенных ранее спектров.
9. Устройство по п.8, содержащее кроме того прибор для спектрального анализа для получения спектральных данных для нескольких точек на образце.
10. Код компьютерной программы, содержащей инструкции, при исполнении которых компьютером осуществляется способ по п.1 или 2.
11. Машиночитаемый носитель, предоставляющий код компьютерной программы по п.10.