УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛА И СПОСОБ ЭКСЛУАТАЦИИ ТАКОГО УСТРОЙСТВА

1. Устройство для обработки материала, содержащее:
- лазер (14) для формирования пучка (16) импульсного лазерного излучения,
- измерительные средства (30, 32, 34, 36, 38) для получения измеренных значений мощности основной гармоники лазерного пучка и мощности по меньшей мере одной высшей гармоники, полученной посредством умножения частоты указанного лазерного пучка, и
- блок (22) оценки, подключенный к измерительным средствам и выполненный с возможностью оценивания качества лазерного пучка (16), основываясь на измеренной мощности основной гармоники, на измеренной мощности высшей гармоники и на установленной мощности излучения лазера (14).
2. Устройство по п.1, в котором по меньшей мере одна высшая гармоника включает вторую гармонику.
3. Устройство по п.1 или 2, в котором блок (22) оценки выполнен с возможностью сравнивать по меньшей мере одно из измеренных значений мощности и/или выведенного из него значения по меньшей мере с одним опорным значением и осуществлять заданный отклик, зависящий от степени отклонения измеренного значения или выведенного значения от опорного значения.
4. Устройство по п.3, в котором опорное значение представляет максимально достижимое значение мощности основной гармоники при установленной мощности излучения лазера (14), мощности высшей гармоники или эффективности преобразования при умножении частоты.
5. Устройство по п.3, в котором блок (22) оценки выполнен с возможностью получать опорное значение из записанной заранее референтной информации, которая содержит опорные значения мощности основной гармоники и/или мощности высшей гармоники, и/или эффективности преобразования при умножении частоты, ассоциированные с множеством различных значений установленной мощности излучения лазера (14).
6. Устройство по п.3, в котором блок (22) оценки выполнен с возможностью определять отношение измеренной мощности высшей гармоники к измеренной мощности основной гармоники и/или определять отношение измеренной мощности высшей гармоники к опорному значению мощности высшей гармоники и оценивать качество пучка в зависимости от найденного значения указанного отношения.
7. Устройство по п.3, в котором блок (22) оценки является частью электронного управляющего контура, выполненного с возможностью управлять формированием лазерного пучка в зависимости от степени отклонения измеренного или выведенного значения от соответствующего опорного значения.
8. Устройство по п.1, в котором измерительные средства содержат оптическую нелинейную среду (34) для генерирования высшей гармоники излучения, а также установленное перед указанной средой по направлению распространения пучка фокусирующее средство (32) для фокусирования на нелинейную среду вспомогательного пучка (16'') излучения, выделенного из основного лазерного пучка (16).
9. Устройство по п.1, в котором измерительные средства выполнены с возможностью измерять мощность основной гармоники по измерению мощности вспомогательного пучка (16'), выделенного из основного лазерного пучка (16).
10. Устройство по п.3, в котором блок (22) оценки является частью электронного управляющего контура, выполненного с возможностью последовательно устанавливать в процессе калибровки множество различных значений мощности излучения лазера (14) с целью ассоциирования с каждым значением установленной мощности излучения лазера (14) измеренных значений мощности основной гармоники и мощности высшей гармоники, а также записывать в память измеренные значения и/или выведенные из них значения, ассоциированные с различными значениями мощности излучения лазера (14).
11. Устройство по п.1, в котором длительность импульса лазерного пучка (16) лежит в фемтосекундном диапазоне.
12. Способ эксплуатации устройства (10) для обработки материала, которое использует пучок (16) импульсного лазерного излучения, преимущественно устройства для обработки материала согласно любому из предыдущих пунктов, включающий:
- измерение мощности основной гармоники лазерного пучка (16) и мощности по меньшей мере одной высшей гармоники, полученной посредством умножения частоты указанного лазерного пучка,
- сравнение по меньшей мере одного из измеренных значений мощности и/или выведенного из него значения по меньшей мере с одним опорным значением и
- осуществление отклика, заданного в зависимости от степени отклонения указанного измеренного или выведенного значения от соответствующего опорного значения.
13. Способ по п.12, дополнительно включающий осуществление, в качестве предварительной стадии, процесса калибровки, при проведении которой определяют, путем формирования лазерного пучка для множества различных значений установленной мощности излучения лазера (14), измеренные значения мощности основной гармоники и мощности высшей гармоники и записывают измеренные значения и/или выведенные из них значения, ассоциированные с различными значениями мощности излучения лазера (14), в память (24), при этом опорные значения определяют по измеренным значениям и/или выведенным из них значениям, записанным в память.
14. Способ по п.12, в котором заданный отклик включает посылку оптического и/или акустического сообщения и/или отключение лазерного пучка или обеспечение возможности его формирования.
15. Способ по любому из пп.12-14, в котором операции измерения и сравнения выполняются, в процессе обработки материала лазерным пучком, многократно, предпочтительно через регулярные временные интервалы.