Способ спектральных эллипсометрических измерений

1     Способ спектральных эллипсометрических измерений, в котором последовательно направляют на исследуемый образец два коллимированных пучка излучения с заданными азимутами ортогональных состояний поляризации P1 и P1+90°, отраженное от образца излучение направляют на поляризационное устройство разделения ортогонально поляризованных пучков с азимутами A1 и A1+90°, падающих на два фотоприемника, и определяют по измеренным отношениям интенсивностей пучков на фотоприемниках эллипсометрические параметры Ψ и Δ образца, отличающийся тем, что последовательно включают (либо открывают) два однотипных источника излучения, сфокусированных на разделенные по высоте участки входной щели монохроматора, коллимируют пространственно разделенные пучки излучения после выходной щели монохроматора системой плоских и сферических зеркал и направляют их на два входа поляризационного устройства совмещения (например, призмы Глана-Томпсона из кальцита со сведением ортогонально поляризованных пучков) коллимированных пучков с ортогональными азимутами поляризации, последовательно падающих на образец, а отраженное излучение второй призмой Глана-Томпсона направляется на два фотоприемника.
2     Способ по п.1, в котором линейно поляризованные коллимированные пучки с ортогональными азимутами  проходят через четырехзеркальный ахроматический компенсатор с собственными осями, расположенными в плоскости падания излучения на образец и перпендикулярно ей до отражения от образца.