СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НИТРИДА ГАЛЛИЯ

Способ получени  нитрида галли , включающий загрузку нитрида лити  в реакционную камеру, вакуумирование, герметизацию, термообработку и удаление побочных продуктов, отличающийс  тем, что камеру выполн ют в виде двух соединенных емкостей, в первую емкость загружают хлор в герметичном сосуде и галлий, а во вторую - нитрид лити  с аммиаком в герметичном сосуде, камеру вакуумируют, вскрывают сосуд с хлором и нагревают первую емкость до температуры 210-220°С, затем вскрывают сосуд с нитридом лити  и аммиаком и нагревают вторую емкость до 850-870°С, после чего емкости герметизируют и раздел ют.