СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ ПЛЕНОК НИТРИДА ГАЛЛИЯ

1. Способ выращивания пленки нитрида галлия путем автосегрегации металла на поверхности подложки-полупроводника сложного состава, включающего этот металл, заключающийся в том, что подложку помещают в атмосферу прокачиваемого газообразного азота или аргона с добавками азота и водорода, нагревают в печи, выдерживают и охлаждают в той же газовой атмосфере, отличающийся тем, что газообразный азот или аргон с добавками азота и водорода прокачивают со скоростью 5-10 л/ч, подложку нагревают до температур 600-1100°C, оптимально 1050°C, выдержку осуществляют соответственно в течение 3-1 ч при той же температуре, охлаждение проводят в печи.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что аргон с добавками азота и водорода содержит до 15% азота и до 4% водорода.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что нагревание подложки проводят в трубчатом алундовом тигле, который помещают в кварцевую ампулу, после чего осуществляют прокачку газа с одновременным нагревом подложки, выдержкой и охлаждением в газовой атмосфере.