СПЕКТРОСКОПИЧЕСКОЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО

1. Спектроскопическое измерительное устройство, содержащее:
a) разделяющую оптическую систему для разделения измеряемого луча, испускаемого из каждой из множества измеряемых точек, расположенных в измеряемой области подлежащего измерению объекта, на первый измеряемый луч и второй измеряемый луч;
b) формирующую изображение оптическую систему для обеспечения интерференции первого измеряемого луча и второго измеряемого луча друг с другом;
c) средства обеспечения разницы длины оптического пути для обеспечения непрерывного распределения разницы длины оптического пути между первым измеряемым лучом и вторым измеряемым лучом;
d) детектор, содержащий множество пикселей для детектирования распределения интенсивности интерференционного света в соответствии с непрерывным распределением длины оптического пути;
e) процессор для получения картины интерференции измеряемой точки измеряемого объекта на основе распределения интенсивности света при интерференции света, детектируемой детектором, и для преобразования Фурье этой картины интерференции с получением спектра;
f) формирующую изображение оптическую систему с сопряженной плоскостью, расположенную между измеряемым объектом и разделяющей оптической системой, где формирующая изображение оптическая система с сопряженной плоскостью обладает общей сопряженной плоскостью с разделяющей оптической системой; и
g) средства обеспечения периодичности, расположенные на сопряженной плоскости, для обеспечения пространственной периодической модуляции измеряемых лучей, испускаемых множеством измеряемых точек.
2. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 1, где:
средство обеспечения разницы длины оптического пути, содержит фиксированный отражающий блок и подвижный отражающий блок, расположенный за фиксированным отражающим блоком и перемещаемый в направлении оптической оси;
разделяющая оптическая система содержит входящую оптическую систему для обеспечения вхождения измеряемого луча в фиксированный отражающий блок и подвижный отражающий блок;
при этом формирующая изображение оптическая система принимает измеряемый луч, отраженный фиксированным отражающим блоком в качестве первого измеряемого луча, и измеряемый луч, отраженный подвижным отражающим блоком в качестве второго измеряемого луча, и формирует интерференционный свет посредством направления двух измеряемых лучей в одну и ту же точку; и
процессор получает картину интерференции двух измеряемых лучей на основе изменения интенсивности интерференционного света, детектируемой детектором интерференционного света, посредством перемещения подвижного отражающего блока.
3. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 1, где:
средство обеспечения разницы длины оптического пути, содержит пропускающий оптический блок, состоящий из первой пропускающей части с входной поверхностью и выходной поверхностью, параллельными друг другу, и второй пропускающей части, расположенной за первой пропускающей частью и имеющей клиновидную форму с входной поверхностью и выходной поверхностью, одна из которых наклонена относительно другой, где входная поверхность или выходная поверхность второй пропускающей части расположена в той же плоскости, что и входная поверхность или выходная поверхность первой пропускающей части;
разделяющая оптическая система содержит линзу объектива для коллимации измеряемого луча и для обеспечения вхождения коллимированного луча в первую пропускающую часть и вторую пропускающую часть;
формирующая изображение оптическая система содержит цилиндрическую линзу с осью, параллельной линии пересечения входной поверхности первой пропускающей части и граничной поверхности между первой пропускающей частью и второй пропускающей частью, для приема измеряемого луча, проходящего через первую пропускающую часть, в качестве первого измеряемого луча и измеряемого луча, проходящего через вторую пропускающую часть, в качестве второго измеряемого луча;
при этом детектор содержит множество пикселей для детектирования распределения интенсивности интерференционного света, получаемого из первого измеряемого луча и второго измеряемого луча, входящих в цилиндрическую линзу; и
процессор получает картину интерференции измеряемых точек измеряемого объекта на основе распределения интенсивности интерференционного света, детектируемого детектором, и проводит преобразование Фурье картины интерференции с получением спектра.
4. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 3, дополнительно содержащее трубчатый корпус для вмещения линзы объектива, оптического блока, цилиндрической линзы и детектора в линейно ориентированной форме, где трубчатый корпус содержит окно, формируемое на концевой части, где расположена линза объектива, и где окно, формирует вход для измеряемого луча, испускаемого измеряемой точкой объекта для измерения.
5. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 4, содержащее внутренний корпус для вмещения оптического блока и цилиндрической линзы, где внутренний корпус смонтирован в трубчатом корпусе в виде вращающегося блока.
6. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 5, содержащее приводное средство для вращения внутреннего корпуса.
7. Спектроскопическое измерительное устройство по одному из пп. 4-6, где линза объектива смонтирована в трубчатом корпусе таким образом, что она способна перемещаться вдоль оптической оси.
8. Спектроскопическое измерительное устройство по одному из пп. 1-3, где средство обеспечения периодичности представляет собой амплитудную дифракционную решетку.
9. Спектроскопическое измерительное устройство по одному из пп. 4-6, где средство обеспечения периодичности представляет собой амплитудную дифракционную решетку.
10. Спектроскопическое измерительное устройство по п. 7, где средство обеспечения периодичности представляет собой амплитудную дифракционную решетку.