УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а конкретно к устройствам перемещения для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее неподвижное основание и жестко связанный с ним привод, выполненный в виде трех модулей, последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей, расположены по координатным осям X, Y, Z и зонд жестко связанный с третьим модулем. [Авторское свидетельство СССР №1713065, кл H 02 L 41/09, 1991 (аналог)]
Недостатком аналога является невозможность использование магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения для нанотехнологии, содержащее основной пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием и подложку, установленную на подвижном столе. [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. Нобелевская лекция по физике. Успехи физических наук. - Том 154, вып 2, 1988 - с.268 рис.3.]
Недостатком прототипа также является невозможность использования магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда при выполнении различных нанотехнологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность использование магнитного поля для оперативного управления величиной перемещения зонда при выполнении различных нанотехнологических операций.
Поставленная задача решается тем, что в устройстве перемещения для нанотехнологии, содержащем неподвижное основание и жестко связанный с ним привод, выполненный в виде трех модулей, последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей, расположены по координатным осям X, Y, Z, и зонд жестко связанный с третьим модулем, согласно предложенной полезной модели, каждый модуль привода выполнен из магнитострикционного материала, на каждом модуле установлена катушка индуктивности с возможностью подачи на каждую катушку напряжения, причем модули изолированы друг от друга, от зонда и от неподвижного основания диэлектрическим материалом.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство перемещения для нанотехнологии.
Устройство перемещения для нанотехнологии содержит, неподвижное основание 1 и жестко связанный с ним привод 2. Привод 2 выполнен в виде трех модулей 3, 4, 5, последовательно связанных между собой таким образом, что оси модулей, расположены по координатным осям X, Y, Z. Устройство содержит зонд 9, жестко связанный с третьим модулем 5. Каждый модуль 3, 4, 5 привода 2 выполнен из магнитострикционного материала. На каждом модуле 3, 4, 5 установлены катушки индуктивности 6, 7, 8 с возможностью подачи на каждую катушку 6, 7, 8 напряжения. Причем модули 3, 4, 5 изолированы друг от друга, от зонда 9 и от неподвижного основания 1 диэлектрическим материалом 10, 11, 12, 13.
Модули могут быть выполнены их никеля, алфера, пермаллоя, пермендюра.
Устройство перемещения для нанотехнологии работает следующим образом. При подаче напряжения на катушки индуктивности 6, 7, 8 происходит перемещение модуля 2, 3, 4, а вместе с ним и зонда 9, и таким образом реализуется нанотехнологический процесс.
Применение предложенного устройства перемещения для нанотехнологии позволяет реализовать нанотехнологические процессы на подложке с использованием магнитного поля вместо электрического поля.