УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ КВАНТОВЫХ ЯМ НА ПОДЛОЖКЕ

Полезная модель относится к области приборостроения, а более конкретно к устройствам для формирования квантовых ям на подложке.
Известно устройство формирования квантовых точек на подложке, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, подложку установленную на неподвижном подложкодержателе, электирически связанную с зондами [Патент РФ на ПМ №66607, МПК Н01L 41/00, 10.09.2007 Бюл. №25 (аналог)].
Недостатком аналога является невозможность формирования однородных и одноразмерных квантовых ям на волнистом профиле подложки.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство формирования квантовых точек на подложке содержащее, трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодежателем, на котором закреплена подложка, источник рабочего газа для передачи последнего в технологическую область [Патент РФ на ПМ №68181, МПК Н01J 37/28, 10.11.2007 Бюл. №31].
Недостатком прототипа также является невозможность формирования однородных и одноразмерных квантовых ям на волнистом профиле подложки.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность формирования однородных и одноразмерных квантовых ям на волнистом профиле подложки.
Поставленная техническая задача решается тем, что, устройство для формирования квантовых ям на подложке, содержащее трехкоординатный пьезопривод, установленный на неподвижном основании и связанный с подложкодержателем, на котором закреплена подложка, согласно предложенной полезной модели, дополнительно снабжено платформой, на которой закреплен источник лазерного излучения, на наружной цилиндрической поверхности лазера установлена диэлектрическая втулка, на внешней поверхности которой закреплены конденсаторные пластины, между конденсаторными пластинами расположены цилиндрические стержни из оптически прозрачного материала, наружный торец каждого стержня выполнен сферическим, оси стержней параллельны конденсаторным пластинам, а их наружные торцы направлены перпендикулярно плоскости подложки, цилиндрические стержни установлены между двумя эластичными пленками, внутри которых расположена электрореологическая жидкость, причем торцы стержней вынесены из пленок, конденсаторные пластины, цилиндрические стержни и две эластичные пленки герметизированы, устройство дополнительно снабжено источником подачи напряжения на конденсаторные пластины и системой управления подачей напряжения.
Введение в устройство для формирования квантовых ям на подложке платформы, источника лазерного излучения, диэлектрической втулки, конденсаторных пластин, цилиндрических стержней из оптически прозрачного материала, двух эластичных пленок, внутри которых расположена электрореологическая жидкость, обеспечивает возможность формирования однородных и одноразмерных квантовых ям на волнистом профиле подложки.
Сущность полезной модели поясняется на (фиг.1) где показано устройство для формирования квантовых ям на подложке.
Устройство для формирования квантовых ям на подложке содержит трехкоординатный пьезопривод 1, установленный на неподвижном основании 2 и связанный с подложкодержателем 3, на котором закреплена подложка 4, платформу 5, на которой закреплен источник лазерного излучения 6, на наружной цилиндрической поверхности 7 лазера 6 установлена диэлектрическая втулка 8, на внешней поверхности 9 которой закреплены конденсаторные пластины 10, 11, между конденсаторными пластинами 10, 11 расположены цилиндрические стержни 12 из оптически прозрачного материала, наружный торец 13 каждого стержня 12 выполнен сферическим, оси стержней 12 параллельны конденсаторным пластинам 10, 11, а их наружные торцы 13 направлены перпендикулярно плоскости 14 подложки 4, цилиндрические стержни 12 установлены между двумя эластичными пленками 15, 16, внутри которых расположена электрореологическая жидкость 17, причем торцы 13, 18 стержней 12 вынесены из пленок 15, 16, конденсаторные пластины 10, 11, цилиндрические стержни 12 и две эластичные пленки 15, 16 - герметизированы, устройство дополнительно снабжено источником подачи напряжения 19 на конденсаторные пластины 10, 11 и системой управления 20 подачей напряжения.
Устройство для формирования квантовых ям на подложке (фиг.1) работает следующим образом.
Трехкоординатный пьезопривод 1 установленный на неподвижном основании 2 и связанный с подложкодержателем 3 обеспечивает точное ориентирование подложки 4 перпендикулярно осям цилиндрических стержней 12, а также ее перемещение к цилиндрическим стержням 12 установленным между двумя эластичными пленками 15, 16 до тех пор, пока не произойдет контакт их наружных торцов 13, с волнистой поверхностью подложки 4, а также копирование профиля волнистой поверхности подложки 4, цилиндрическими стержнями 12, вследствие упругой деформации эластичных пленок 15, 16, внутри которых расположена электрореологическая жидкость 17. Затем происходит подача разности потенциалов на конденсаторные пластины 10, 11, расположенные на диэлектрической втулке 8. Между конденсаторными пластинами 10, 11 возникает электрическое поле, воздействующее на электрореологическую жидкость 17, таким образом, что она затвердевает, сохраняя деформацию эластичных пленок 15, 16, в соответствие с профилем волнистой поверхности подложки 4. Далее производится отвод подложки 4 на необходимое расстояние между наружными торцами 13 цилиндрических стержней 12, обеспечивающее оптимальную фокусировку лазерного излучения. Затем включается источник лазерного излучения 6, расположенный на платформе 5, излучение которого, проходя через цилиндрические стержни 12, фокусируется на волнистом профиле подложки 4, формируя на ней квантовые ямы.
Применение предлагаемого устройства для формирования квантовых ям на подложке позволяет обеспечить возможность формирования однородных и одноразмерных квантовых ям на волнистом профиле подложки.