ПРЕДВАРИТЕЛЬНО ПРИЖАТАЯ ЯЧЕЙКА ЕМКОСТНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ, ПОЛУЧАЕМОГО ПУТЕМ МИКРООБРАБОТКИ, С ПРИЖАТОЙ ОБЛАСТЬЮ КОЛЬЦЕВОЙ ФОРМЫ

1. Предварительно прижатая ячейка (10) емкостного преобразователя, получаемого путем микрообработки, содержащая:
- подложку (12), содержащую первый электрод (16),
- мембрану (14), содержащую второй электрод (18),
- внешнюю область (22), в которой мембрана (14) закреплена на подложке (12),
- внутреннюю область (20), расположенную внутри внешней области (22) или окруженную ею,
причем мембрана (14) прижата к подложке (12) в первой прижатой области (24) кольцевой формы, расположенной во внутренней области (20); и причем ячейка имеет первую область (26) преобразования, находящуюся внутри первой прижатой области (24) кольцевой формы или окруженную ею, и вторую область (27) преобразования, находящуюся снаружи первой прижатой области (24) кольцевой формы или окружающую ее.
2. Ячейка по п. 1, в которой второй электрод (18) расположен в любой из первой области (26) преобразования и второй области преобразования.
3. Ячейка по п. 1, дополнительно включающая в себя вторую прижатую область (28), расположенную во внутренней области (20), и четвертый электрод (21), расположенный во второй прижатой области (28).
4. Ячейка по п. 2 или 3, в которой второй электрод (18) расположен, по меньшей мере, в непосредственной близости от первой прижатой области (24) кольцевой формы.
5. Ячейка по п. 1, в которой второй электрод (18) и/или первый электрод (16) имеют кольцевую форму.
6. Ячейка по п. 1, в которой первая прижатая область (24) кольцевой формы сосредоточена вокруг центра (С) ячейки (10) или мембраны (14).
7. Ячейка по п. 1, в которой мембрана (14) дополнительно прижата к подложке (12) во второй прижатой области (28), расположенной во внутренней области (20).
8. Ячейка по п. 7, в которой вторая прижатая область (28) расположена в центральной области или в центре (С) ячейки (10) или мембраны (14).
9. Ячейка по п. 1, в которой во внутренней области (20) мембраны (14) имеется остаточное напряжение, возникшее при изготовлении.
10. Ячейка по п. 1 или 3, в которой мембрана (14) дополнительно содержит третий электрод (19), расположенный в первой прижатой области (24).
11. Ячейка по п. 10, в которой второй электрод (18) и/или третий электрод (19) имеют, по меньшей мере, одно отверстие, причем в отверстии расположен соединитель (38, 39) с четвертым электродом (21) и/или вторым электродом (18).
12. Ячейка по п. 1, в которой мембрана (14) постоянно прижата.
13. Ячейка по п. 1, в которой мембрана (14) прижата только во время работы ячейки.
14. Способ изготовления предварительно прижатой ячейки (10) емкостного преобразователя, получаемого путем микрообработки,
причем способ включает в себя этапы, на которых:
- обеспечивают подложку (12), содержащую первый электрод (16),
- обеспечивают мембрану (14), содержащую второй электрод (18), причем ячейка имеет внешнюю область (22), в которой мембрана (14) закреплена на подложке, и внутреннюю область (20), расположенную внутри внешней области (20) или окруженную ею, и
- прижимают мембрану (14) к подложке (12) в первой прижатой области (24) кольцевой формы, расположенной во внутренней области (20),
причем данный способ дополнительно включает в себя этап, на котором
- обеспечивают первую область (26) преобразования, находящуюся внутри первой прижатой области (24) кольцевой формы или окруженную ею, и вторую область (27) преобразования, находящуюся снаружи первой прижатой области (24) кольцевой формы или окружающую ее.
15. Способ по п. 14, в котором мембрана дополнительно содержит третий электрод (19), расположенный в первой прижатой области (24),
причем, прижатие мембраны (14) к подложке (12) включает в себя приложение напряжения между первым электродом (16) и третьим электродом (19).