ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОМАГНИТНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТАКОГО ДЕТЕКТОРА

1. Детектор электромагнитного излучения, содержащий отражающую подложку (10, 12, 14) и по меньшей мере один элемент детектирования, содержащий мембрану (16, 18, 20), чувствительную к упомянутому излучению и подвешенную над подложкой (10, 12, 14), отличающийся тем, что расстояние между мембраной и по меньшей мере одним элементом детектирования и подложкой является переменным, причем упомянутое расстояние имеет предопределенное пространственное распределение, пригодное для минимизации резких изменений отклика детектора на излучение в по меньшей мере одном предопределенном диапазоне длин волн.
2. Детектор электромагнитного излучения по пункту 1, отличающийся тем, что подложка и/или мембрана имеет трехмерные узоры (30, 32).
3. Детектор электромагнитного излучения по любому из пп.1 и 2, отличающийся тем, что мембрана и подложка по существу параллельны в частях.
4. Детектор электромагнитного излучения по п.3, отличающийся тем, что расстояние между мембраной и подложкой распределено между по меньшей мере первым и вторым предопределенными значениями (D1, D2).
5. Детектор электромагнитного излучения по п.3, отличающийся тем, что площади поверхности, соответствующие различным значениям расстояния между мембраной и подложкой, идентичны или различны.
6. Детектор электромагнитного излучения по п.4, отличающийся тем, что площади поверхности, соответствующие различным значениям расстояния между мембраной и подложкой, идентичны или различны.
7. Детектор электромагнитного излучения по п.1, отличающийся тем, что мембрана содержит болометрический материал, чувствительный к изменению температуры, происходящему в результате воздействия инфракрасного излучения.
8. Детектор электромагнитного излучения по п.7, отличающийся тем, что мембрана является чувствительной к длинам волн между примерно 3 и 14 мкм.
9. Детектор электромагнитного излучения по п.7, отличающийся тем, что первое и второе значения расстояния по существу равны 3 и 2 мкм соответственно.
10. Детектор электромагнитного излучения по п.8, отличающийся тем, что первое и второе значения расстояния по существу равны 3 и 2 мкм соответственно.
11. Детектор электромагнитного излучения по п.9 или 10, отличающийся тем, что отношение площади мембраны, отделенной от подложки первым расстоянием, к площади мембраны, отделенной от подложки вторым расстоянием, составляет примерно 35-65%.
12. Детектор электромагнитного излучения по п.2, отличающийся тем, что трехмерные узоры (30, 32) являются повторяющимися, и тем, что шаг их повторения меньше или равен 4 мкм.
13. Способ изготовления детектора электромагнитного излучения того типа, который включает в себя этап формирования отражающей подложки (10, 12, 14) и мембраны (16, 18, 20), по меньшей мере одного элемента детектирования, чувствительного к излучению, и этап подвешивания мембраны над подложкой, отличающийся тем, что этап формирования подложки и мембраны включает в себя этап создания трехмерных узоров (30, 32) в подложке и/или мембране, так что расстояние между подложкой (10, 12, 14) и мембраной (16, 18, 20) является переменным для того, чтобы иметь предопределенное пространственное распределение, пригодное для минимизации резких изменений отклика детектора излучения в по меньшей мере одном предопределенном диапазоне длин волн.