УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены электродуговой испаритель, подложкодержатель, держатель магнитов с профилированным немагнитным экраном, подключенным к источнику питания, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и повышения качества покрытий за счет улучшения однородности плазмы и снижения капель в потоке, держатель магнитов выполнен из магнитного материала в виде полого тела, расположенного коаксиально подложкодержателю, магниты выполнены с чередующейся полярностью полюсов, экран размещен между подложкодержателем и магнитами, повторяет форму держателя магнитов и подключен к отрицательному полюсу источника питания, а подложкодержатель выполнен с возможностью поворота.