СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ЭНЕРГИИ ИМПУЛЬСА ЛАЗЕРНОГО УСТРОЙСТВА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ КОГЕРЕНТНОГО ОПТИЧЕСКОГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА

1. Способ калибровки энергии импульса лазерного устройства, обеспечивающего получение рабочего импульсного лазерного излучения, включающий выполнение на одном или более тестовых объектах посредством рабочего лазерного излучения тестовых абляций, преимущественно тестовых абляций посредством множества импульсов, с различным значением энергии для каждой из указанных абляций, измерение глубины каждой из тестовых абляций и на основе измеренных значений глубины абляции и уставки глубины абляции определение и задание на лазерном устройстве соответствующей уставки энергии импульса, отличающийся тем, что измерения значений глубины абляции производят посредством когерентного оптического интерферометрического измерительного устройства.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что измерительное устройство функционирует по принципу оптической низкокогерентной рефлектометрии.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что значения глубины абляции измеряют с использованием формируемого измерительным устройством измерительного пучка, совпадающего по направлению с рабочим лазерным излучением.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что тестовые абляции выполняют на одном тестовом объекте, который перемещают относительно измерительного устройства в интервалах между последовательными тестовыми абляциями.
5. Способ по п.4, отличающийся тем, что тестовые абляции выполняют на расстоянии от центра тестового диска, используемого в качестве тестового объекта, при этом в интервалах между последовательными тестовыми абляциями тестовый диск поворачивают на заданный угол.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что на тестовом объекте, предпочтительно на таком, на котором уже была проведена по меньшей мере одна тестовая абляция, выполняют контрольную абляцию с использованием найденной уставки энергии импульса, а затем измеряют посредством измерительного устройства, глубину контрольной абляции.
7. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что формируют поток воздуха и направляют его по меньшей мере на часть тестового объекта, подвергнутую абляции.
8. Лазерное устройство для осуществления способа согласно любому из предыдущих пунктов, содержащее:
- источник (110) лазерного излучения, обеспечивающий получение импульсного рабочего лазерного излучения для воздействия на объект,
- когерентное оптическое интерферометрическое измерительное устройство (130) для измерения по меньшей мере одной длины с использованием измерительного пучка, совпадающего по направлению с рабочим лазерным излучением,
- управляемый позиционирующий модуль (170) для позиционирования узла тестового объекта, образованного по меньшей мере одним тестовым объектом (180), в заданные положения относительно источника (110) лазерного излучения,
- компьютер, управляющий источником (110) лазерного излучения, измерительным устройством (130) и позиционирующим модулем (170) и выполненный с возможностью осуществления под управлением управляющей программы (200) следующих операций по калибровке источника (110) лазерного излучения:
- выполнение на одном или более тестовых объектах посредством рабочего лазерного излучения тестовых абляций, преимущественно тестовых абляций посредством множества импульсов, с различным значением энергии для каждой из указанных абляций,
- управление позиционирующим модулем для перемещения узла тестового объекта в интервалах между последовательными тестовыми абляциями в различные заданные положения относительно источника лазерного излучения,
- измерение посредством измерительного устройства (130) глубины каждой из тестовых абляций,
- определение на основе измеренных глубин абляции и уставки глубины абляции уставки энергии импульса и, в случае ее приемлемости, задание найденной уставки энергии импульса для рабочего лазерного излучения.