ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ ЭНЕРГОАНАЛИЗАТОР ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Электростатический энергоанализатор заряженных частиц, содержащий последовательно расположенные первую отклоняющую, вторую фокусирующую и третью отклоняющую ступени, экранирующий электрод, входное окно в первой ступени, затянутое мелкоструктурной металлической сеткой, кольцеобразные диафрагмы между первой и второй, а также между второй и третьей ступенями, выходную кольцеобразную диафрагму, исследуемый образец и приемник электронов, источники питания, подключенные к электродам трех ступеней отклонения и фокусировки, источник рентгеновского излучения, отличающийся тем, что рентгеновский источник коаксиально встроен в анализатор, причем на минимально возможном расстоянии от образца.