СПОСОБЫ И СИСТЕМЫ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ ПРИ ФРОНТАЛЬНОМ ОБЛУЧЕНИИ

1. Система (100) детектирования излучения, включающая измерительную зону (104) в измерительной камере, приспособленную для принятия по меньшей мере одного исследуемого образца (108) и для получения возбуждающего излучения для падения на указанный по меньшей мере один образец (108), и для генерирования излучения от образца, система (100) детектирования излучения, также включающая по меньшей мере один детекторный элемент (106) для детектирования излучения, генерируемого образцом,
причем возбуждающее излучение падает на первую сторону измерительной зоны (104) в измерительной камере, и причем по меньшей мере один детекторный элемент (106) расположен на второй стороне измерительной зоны (104) в измерительной камере, вторая сторона противоположна первой стороне относительно измерительной зоны (104) в измерительной камере,
при этом система (100) детектирования, кроме того, включает оптическое средство (112), предназначенное для направления указанного возбуждающего излучения в сторону по меньшей мере от одного детекторного элемента (106).
2. Система (100) детектирования излучения по п.1, в которой оптическое средство (112) включает экранирующее средство, предназначенное, по существу, для экранирования по меньшей мере одного детекторного элемента (106) от указанного возбуждающего излучения.
3. Система (100) детектирования излучения по п.2, в которой экранирующее средство включает первый экранирующий элемент (202), предназначенный, по существу, для экранирования прямого падения возбуждающего излучения по меньшей мере на один детекторный элемент (106).
4. Система (100) детектирования излучения по п.3, в которой экранирующее средство, кроме того, включает второй экранирующий элемент (252), предназначенный, по существу, для блокирования по меньшей мере части указанного возбуждающего излучения, рассеянного указанным первым экранирующим элементом (202).
5. Система (100) детектирования излучения по п.2, в которой экранирующее средство включает по меньшей мере один экранирующий элемент (202, 252), который является управляемо подвижным относительно указанного по меньшей мере одного детекторного элемента (106).
6. Система (100) детектирования излучения по п.5, в которой указанный экранирующий элемент (202, 252), будучи управляемо подвижным, является подвижным в пределах плоскости, определяемой указанным экранирующим элементом (202, 252).
7. Система (100) детектирования излучения по п.5, включающая множество детекторных элементов и, кроме того, включающая контроллер для согласования перемещения указанного управляемо подвижного экранирующего элемента (202, 252) с активированием каждого из указанного множества детекторных элементов.
8. Система (100) детектирования излучения по п.5, в которой указанный экранирующий элемент (202, 252), будучи управляемо подвижным, является подвижным в направлении, перпендикулярном плоскости, определяемой указанным экранирующим элементом (202, 252).
9. Система (100) детектирования излучения по п.2, в которой экранирующее средство включает по меньшей мере один экранирующий элемент (202, 252), который является настраиваемым экранирующим элементом, позволяющим генерировать переменные экранирующие картины с течением времени.
10. Система (100) детектирования излучения по п.9, в которой настраиваемый экранирующий элемент, позволяющий генерировать переменные экранирующие картины, является дисплеем.
11. Система (100) детектирования излучения по п.1, в которой оптическое средство (112), предназначенное для направления указанного возбуждающего излучения в сторону по меньшей мере от одного детекторного элемента (106), включает средство преломления излучения (302) для фокусирования указанного возбуждающего излучения в стороне по меньшей мере от одного детекторного элемента (106).
12. Система (100) детектирования излучения по п.11, в которой указанное средство преломления излучения (302) включает по меньшей мере два линзовых элемента для фокусирования указанного возбуждающего излучения в стороне по меньшей мере от одного указанного детекторного элемента (106).
13. Система (100) детектирования излучения по п.11, в которой указанное средство преломления излучения (302) предназначено для фокусирования указанного возбуждающего излучения на средстве (304) диффузного отражения, предназначенном для диффузного отражения указанного возбуждающего излучения обратно к образцу (108).
14. Система (100) детектирования излучения по п.1, в которой указанная система детектирования излучения, кроме того, включает детекторный фильтр для отфильтровывания излучения образца от возбуждающего излучения.
15. Система (100) детектирования излучения по п.4, в которой второй экранирующий элемент (252) расположен относительно первого экранирующего элемента (202) так, что он расположен в тени от указанного первого экранирующего элемента (202).
16. Система (100) детектирования излучения по п.1, в которой возбуждающее излучение для падения на указанный по меньшей мере один образец (108) является, по существу, коллимированным.
17. Система (100) детектирования излучения по п.1, в которой система (100) детектирования включает матрицу, изготовленную по технологии производства электронных устройств большой площади.
18. Способ (400) детектирования излучения от образца, включающий
облучение (404) образца возбуждающим излучением с первой стороны указанного образца, причем указанное облучение предназначено для генерирования излучения образца,
детектирование (406) излучения образца со второй стороны указанного образца с использованием по меньшей мере одного детекторного элемента, причем указанная вторая сторона противоположна указанной первой стороне, указанный способ включает направление указанного возбуждающего излучения в сторону по меньшей мере от одного детекторного элемента, используемого для детектирования указанного излучения от образца.