МНОГОПОТОЧНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС ПАРАЛЛЕЛЬНОГО ДЕЙСТВИЯ

Многопоточный молекулярно-вязкостный вакуумный насос параллельного действия, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками, в котором между внешним статором и внутренним ротором, соединенным с валом, расположены коаксиально промежуточные ступени, причем на смежных поверхностях статоров и роторов выполнены винтовые каналы молекулярно-вязкостной проточной части насоса с одинаковой формой профиля, отличающийся тем, что в корпусе вокруг внешнего статора образована кольцевая полость, сообщенная со всасывающим патрубком, статоры промежуточных ступеней выполнены из двух частей, каждая из которых закреплена одним концом в корпусе, а через зазор между ними пропущены перемычки, соединяющие смежные роторы между собой, во всех роторах и статорах, кроме статора последней ступени, выполнены периферийные окна, во внешнем статоре выполнена внутренняя центральная кольцевая проточка, в каждой части статоров промежуточных ступеней и внешнем статоре с стороны кольцевой проточки выполнен, по меньшей мере, один сквозной канал, причем в корпусе с обеих торцевых сторон закреплены коллекторы и в них через отверстия в корпусе выведены примыкающие к ним каналы в статорах.