УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для нанотехнологических операций.
Известно устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание, установленный на нем пьезопривод, зондовый узел, связанный с пьзоприводом и подложку, электрически связанную с зондовым узлом. [Патент РФ №66628, МПК H01L 41/00, опубл. 10.09.2007 г.]
Недостатком аналога является невозможность поддержки стабилизации теплового режима в локальной зоне зонд-подложка.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в обеспечении постоянной поддержки стабилизации теплового режима в локальной зоне зонд-подложка.
Поставленная техническая задача решается тем, что, устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее неподвижное основание, установленный на нем пьезоприивод, зондовый узел, связанный с пьезоприводом и подложку, электрически связанную с зондовым узлом, согласно предложенной полезной модели, снабжено источником и приемником жидкого азота, зондовый узел выполнен в виде набора зондов, установленных в диэлектрической полой плате с шагом 0,5-0,7 мм, причем вход полости платы связан с источником жидкого азота, а выход с приемником жидкого азота, на тупых концах зондов закреплены оптоволоконные кабели, связанные в жгут и соединенные с источником лазерного излучения, а диэлектрическая полая плата связана с пьезоприводом посредством соединительного элемента, выполненного в виде трубы с продольными сквозными прорезями на цилиндрической части трубы.
Введения в устройство для выполнения нанотехнологических операций, где зондовый узел выполнен в виде набора зондов, которые установлены в диэлектрической полой плате и на тупых концах которых закреплены оптоволоконные кабели, соединенные с источником лазерного излучения. А вход и выход диэлектрической полой платы соединены с источником и приемником жидкого азота соответственно, дает возможность стабилизировать тепловой режим в локальной зоне зонд-подложка.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для выполнения нанотехнологических операций.
Устройство для выполнения наннотехнологических операций (фиг.1) содержит неподвижное основание 1, установленный на нем пьезоприивод 2, зондовый узел 3, связанный с пьезоприводом 2 и подложку 18, электрически связанную с зондовым узлом 3. Зондовый узел 3 выполнен в виде набора зондов 4, установленных в диэлектрической полой плате 5, с шагом 0,5-0,7 мм, причем вход 6 полости платы 5 связан с источником 7 жидкого азота, а выход 8 с приемником 9 жидкого азота. На тупых концах 10 зондов 3 закреплены оптоволоконные кабели 11, связанные в жгут 12 и соединенные с источником 13 лазерного излучения, а диэлектрическая полая плата 5 связана с пьезоприводом 2 посредством соединительного элемента 14, выполненного в виде трубы 15 с продольными сквозными прорезями 16 на цилиндрической части 17 трубы 15.
Устройство для выполнения нанотехнологических операций работает следующим образом. При перемещении зондового узла 3 относительно подложки 18, источник лазерного излучения 13 посредством оптоволоконных кабелей 11 передает излучение и нагревает зонды 4. Охлаждение зондов 4 происходит путем подачи жидкого азота от источника жидкого азота 9 к входу полости 6 внутри диэлектрической полой платы 5, что приводит к уменьшению интенсивности процесса нагрева зондов 4 и стабилизирующей терморегуляции.
Применение предложенного нанотехнологического устройства позволяет поддерживать стабилизацию теплового режима в локальной зоне зонд-подложка.