Способ контроля сквозных пор в пленках на кремниевой пластине

-5
-4
Способ контроля сквозных пор в пленках на кремниевой пластине, заключающийся в воздействии на кремниевую пластину сквозь поры в пленке газообразным реагентом с последующей оценкой пористости пленки, отличающийся тем, что, с целью контроля и повышения его безопасности, пленки подвергают воздействию углеводорода при давлении 1,3⋅10 - 1,3⋅10 Па и температуре 600÷1200°С в течение 0,5÷2 мин, а степень пористости определяют по наличию включений карбида кремния.