СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГРАФЕНОВОЙ ПЛЕНКИ

1. Способ получения графеновой пленки, включающий осаждение в вакууме углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, отличающийся тем, что предварительно подложку с катализатором нагревают до температуры, превышающей разложение углеродсодержащего газа, после чего производят последовательно кратковременный напуск углеродсодержащего газа и откачивание реактора с одновременным охлаждением его до комнатной температуры.
-4
-10
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложку с катализатором помещают в вакуум 10-10 торр.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что подложку с катализатором нагревают до температуры 400-2000°C.
-4
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что напуск углеродсодержащего газа производят до давления 1-10 торр.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что откачивание реактора производят через 1-300 с после напуска углеродсодержащего газа.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что охлаждение реактора до комнатной температуры производят со скоростью 10-100°/мин.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего газа берут газ, выбранный из ряда: ацетилен, метан, этан, пропан, бутан, этилен, гексан или комбинация этих газов с инертным газом.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве катализатора используют металл, выбранный из ряда: Fe, Ni, Cu, или комбинацию металлов, включающую по крайней мере два из вышеупомянутых.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что пленка катализатора имеет толщину 1-5000 нм.