СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОРОШКООБРАЗНОГО КРЕМНИЯ (ВАРИАНТЫ)

1. Способ очистки порошкообразного кремния, включающий химическое травление поверхности кремния и высокотемпературную термообработку, отличающийся тем, что химическое травление проводят при температуре от 800 до 1410°С при погружении частиц кремния в поток химически активного по отношению к примесям и кремнию газа, при этом химическое травление и термообработку проводят одновременно при перемешивании частиц порошкообразного кремния.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что химически активный газ создают плазмохимическим разрядом токами высокой частоты при пониженном давлении.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что химическое травление проводят в смеси газов.
4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что химическое травление проводят в смеси газов, образующих на кремнии стеклообразующую пленку.
5. Способ очистки порошкообразного кремния, включающий химическое травление поверхности кремния и высокотемпературную термообработку, отличающийся тем, что на поверхности частиц порошкообразного кремния создают слой пористого кремния и проводят химическое травление при температуре от 800 до 1410°С при погружении частиц кремния в поток химически активного по отношению к примесям и кремнию газа, при этом химическое травление и термообработку проводят одновременно при перемешивании частиц порошкообразного кремния.
6. Способ по п.5, отличающийся тем, что химически активный газ создают плазмохимическим разрядом токами высокой частоты при пониженном давлении.
7. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что химическое травление проводят в смеси газов.
8. Способ по п.5 или 6, отличающийся тем, что химическое травление проводят в смеси газов, образующих на кремнии стеклообразующую пленку.