УСТРОЙСТВО ПЛЕНОЧНОГО КОНВЕЙЕРА И СПОСОБ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ С РУЛОННОЙ ПОДАЧЕЙ И ПРИЕМКОЙ

1. Устройство пленочного конвейера, передающего базовую пленку в вакуумной камере, содержащее:
разматывающий ролик;
сматывающий ролик; и
механизм перемещения, который предусмотрен между разматывающим роликом и сматывающим роликом и который включает в себя направляющий узел, включающий в себя направляющий ролик и вспомогательный ролик, причем вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых направляющих частей, которые поддерживают боковые кромочные части базовой пленки, а вспомогательный ролик расположен напротив направляющего ролика и прижимает боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей.
2. Устройство по п.1, дополнительно содержащее любой из механизма осаждения для нанесения слоя на базовую пленку, механизма нагревания для нагрева базовой пленки и механизма плазменной обработки для подвергания базовой пленки плазменной обработке между разматывающим роликом и сматывающим роликом.
3. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик включает в себя пару кольцевых прижимных частей, которые прижимают боковые кромочные части базовой пленки к паре направляющих частей одновременно.
4. Устройство по п.1, в котором вспомогательный ролик предусмотрен в паре таким образом, чтобы боковые кромочные части базовой пленки могли быть независимо прижаты к паре направляющих частей.
5. Устройство по п.1, в котором механизм перемещения включает в себя основной ролик, который охлаждает или нагревает базовую пленку посредством вхождения в тесный контакт с не подвергаемой осаждению поверхностью базовой пленки, при этом направляющий ролик предусмотрен между основным роликом и сматывающим роликом.
6. Способ вакуумного осаждения с рулонной подачей и приемкой, включающий:
последовательное разматывание базовой пленки в атмосфере пониженного давления;
осаждение слоя по меньшей мере на одну поверхность базовой пленки; и
прижимание базовой пленки, на которой осаждается слой, на ее боковых кромочных частях и передачу базовой пленки в сматывающую часть.