Статья

Статья

Исследование плазмы

2000. Т. 38. № 4. С. 552–556

Бардос Л., Лебедев Ю.А.

Зондовое исследование структуры электродного СВЧ-разряда в азоте

Проведено зондовое исследование структуры электродного СВЧ-разряда в азоте при давлениях $0.5$–$2.5$ Тор, падающих мощностях до $500$ Вт, поглощенных в системе мощностей $10$–$50$ Вт, расходах газа $0$–$1000$ см$^3$/мин при нормальных условиях. Показано, что при диаметре разряда, значительно превышающем диаметр антенны, разряд представляет собой близкое к сферическому образование с четкой границей. Антенна окружена яркой светящейся пленкой плазмы. Определена существенная неоднородность параметров электронной компоненты плазмы и постоянных потенциалов в плазме. Структура разряда, возможно, связана с существованием области самостоятельного разряда (окружающая электрод светящаяся пленка) и области несамостоятельного разряда (шаровая область). Установлено существование значительных постоянных полей в плазме электродного СВЧ-разряда, причиной появления которых может быть нелинейное преобразование поддерживающей разряд СВЧ-мощности. Разряд окружен изотропной областью с уменьшающимися температурой и концентрацией электронов.