СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

1. Способ нанесения тонкопленочных покрытий на подложки, характеризующийся тем, что подложки располагают на вращающихся барабанах, последовательно перемещаемых вдоль зон обработки технологической линии с одинаковой постоянной линейной и угловой скоростью.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что соотношение линейной и угловой скоростей барабана выбираются таким образом, чтобы каждая точка поверхности барабана совершала не менее двух полных оборотов при прохождении зоны обработки.
3. Технологическая линия для нанесения тонкопленочных покрытий, характеризующаяся тем, что она включает камеры, технологические устройства и держатели подложек, установленные с возможностью последовательного прохождения камер, при этом каждый держатель подложек выполнен в виде установленного на каретке барабана, расположенного соосно направлению движения держателя с возможностью вращения с постоянной угловой скоростью, а держатель подложек установлен с возможностью перемещения с постоянной линейной скоростью.
4. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что она включает входные шлюзовую и буферную камеры, по крайней мере, одну технологическую камеру, выходные буферную и шлюзовую камеры.
5. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что каретка держателя подложек выполнена в виде подвеса, расположенного над цилиндром.
6. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что каретка держателя подложек выполнена в виде рамы.
7. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что каретка держателя подложек выполнена в виде тележки с линейными направляющими, расположенными под цилиндром.
8. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что она снабжена, по крайней мере, одним внешним приводом вращения барабанов.
9. Технологическая линия по п.8, отличающаяся тем, что барабаны снабжены фрикционными и/или магнитными разъемными муфтами и/или низковольтным электродвигателем.
10. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что каждый держатель подложек снабжен электродвигателем.
11. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что транспортная система снабжена роликами, а каретка - взаимодействующими с роликами направляющими.
12. Технологическая линия по п.3, отличающаяся тем, что транспортная система снабжена роликами, а каретка - взаимодействующими с роликами направляющими.