УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫПОЛНЕНИЯ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам для выполнения нанотехнологических операций.
Известно технологическое устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее стол и пьезоэлектрические преобразователи, связанные с неподвижной направляющей [Патент РФ на ПМ №30032, МПК H01L 41/00, опубл. 10.06.2003].
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее направляющую, стол и технологический узел, связанный с направляющей, выполненный в виде пьезоэлектрического преобразователя и диэлектрического сильфона, герметично установленного между направляющей и столом, с возможностью подачи внутрь сильфона и удаления из него рабочей жидкости или газа [Патент РФ на ПМ №30041, МПК Н02N 2/00, 10.06.2003].
Недостатком известных устройств является низкая производительность устройства.
В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы обеспечить высокую производительность устройства.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство для выполнения нанотехнологических операций, содержащее направляющую, стол и технологический узел, связанный с направляющей и выполненный в виде пьезоэлектрического преобразователя и диэлектрического сильфона, герметично установленного между направляющей и столом с возможностью подачи внутрь сильфона и удаления из него рабочей жидкости или газа, согласно предложенной полезной модели снабжено, по меньшей мере, одним дополнительным технологическим узлом, жестко установленным на направляющей, которая выполнена с возможностью вращательного и возвратно поступательного движения относительно оси вращения.
Введение в устройство для выполнения нанотехнологических операций, по меньшей мере, одного дополнительного технологического узла, жестко связанных с направляющей, повышает производительность выполнения нанотехнологических операций, за счет увеличения числа одновременно выполняемых нанотехнологических операций.
Сущность полезной модели поясняется на фиг.1, где показано устройство для выполнения нанотехнологических операций.
Устройство для нанотехнологических операций (фиг.1) содержит направляющую 1, подложкодержатель 2 и пьезоэлектрические преобразователи 3, жестко связанные с направляющей 1.
На каждом пьезоэлектрическом преобразователе 3 закреплен зонд 4. Между направляющей 1 и подложкодержателем 2 герметично установлен диэлектрический сильфон 5, посредством уплотнений 6, 7. Количество диэлектрических сильфонов два и более. Устройство снабжено системами 8, 9 подачи внутрь каждого диэлектрического сильфона 5 и удаления из него рабочей жидкости или газа (на фиг.1 условно не показаны). На подложкодержателе 2 установлены подложки 10 с возможностью электрического взаимодействия с зондом 4. Направляющая 1 выполнена с возможностью вращательного и возвратно-поступательного движения относительно оси вращения.
Устройство для выполнения нанотехнологических операций работает следующим образом.
При перемещении направляющей 1 вертикально вниз происходит герметизация подложек 10 внутри диэлектрических сильфонов 5 с помощью уплотнителей 6, 7. Затем внутрь диэлектрических сильфонов 5 подается рабочий газ или жидкость с помощью систем подачи 8. При взаимодействии зондов 4 с подложкой 10 одновременно выполняется необходимое количество нанотехнологических операций. По завершению операций производится удаление рабочей жидкости или газа с помощью систем удаления 9 с последующей разгерметизацией диэлектрических сильфонов 5, направляющая 1 поднимается верх и осуществляется ее поворот на угол равный 360/n, где n - количество рабочих позиций на подложкодержателе 2 или количество диэлектрических сильфонов 5. Далее технологический процесс повторяется.
Применение предлагаемого устройства для выполнения нанотехнологических операций повышает его производительность, за счет увеличения числа одновременно выполняемых операций.