СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА

1. Способ получения тонких пленок диоксида олова, включающий приготовление раствора исходного компонента, нанесение раствора на подложку, сушку на воздухе при комнатной температуре с последующей термообработкой, отличающийся тем, что в качестве исходного компонента используют тетра(N,N-диалкилкарбаматы)олова, термообработку осуществляют при температуре 250-300°C.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для приготовления раствора тетра(N,N-диалкилкарбамата)олова используют эфирный растворитель.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что для приготовления раствора тетра(N,N-диалкилкарбамата)олова используют спиртовый растворитель.
2+
3+
5+
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в раствор тeтpa(N,N-диалкилкарбамата)олова в спиртовом или эфирном растворителе дополнительно вводят раствор соли электронодонорного или электроноакцепторного элемента (Sn, In, Sb и др.) в количестве 0,1-30% от массы тетра(N,N-диалкилкарбамата)олова.
5. Способ по любому из пп.1-4, отличающийся тем, что в раствор тетра(N,N-диалкилкарбамата)олова добавляют не менее эквимольного количества воды.