УСТРОЙСТВО ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ЗОНДА ДЛЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ

Полезная модель относится к области машиностроения, а более конкретно к устройствам перемещения зонда для нанотехнологии.
Известно устройство перемещения зонда для нанотехнологии, содержит механический зонд, связанный посредством направляющей с пьезоприводом. [Биннинг Г., Рорер Г. Сканирующая туннельная микроскопия - от рождения к юности. - Успехи физических наук, т.154, выш. 2. - М.; Наука, 1988 - с.261 - 278 (аналог).]
Недостатком аналога является отсутствие возможности одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство перемещения зонда для нанотехнологии, которое содержит механический зонд, связанный с пьезоприводом установленным на основании [Неволин В. К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. - Учебное пособие / М.: МИЭТ. 2000 - 69 с.(прототип).].
Недостатком прототипа является отсутствие возможности одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить возможность одновременного независимого зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Поставленная техническая задача решается тем, что устройство снабжено дополнительными пьезоприводами с зондами, причем основной и дополнительные пьезоприводы закреплены на основании параллельно друг другу, а все зонды установлены в диэлектрическую направляющую, жестко связанную с основанием.
Введение в устройство перемещения зонда для нанотехнологии дополнительных пьезоприводов с зондами, установленных в диэлектрическую направляющую, которая находится в жестком контакте с основанием, обеспечивает возможность независимого одновременного зондирования нескольких точек на подложке, расположенных на близком расстоянии друг от друга, при выполнении различных аналитико-технологических операций.
Сущность полезной модели поясняется фиг.1, где показано устройство перемещения зонда для наноперемещений.
Устройство перемещения зонда для нанотехнологии содержит механический зонд 1, связанный с основным пьезоприводом 2, который установлен на основании 3. В устройство введены дополнительные пьезоприводы 4, 5 с зондами 6, 7. Электрический контакт между зондами 1, 6, 7 исключается за счет диэлектрической направляющей 8.
Устройство перемещения зонда для нанотехнологии работает следующим образом:
При подаче напряжения на пьезоприводы 2, 4, 5 происходит вертикальное перемещение зондов 1, 6, 7 в направляющей 8, посредством которой обеспечивается возможность перемещений без электрического контакта зондов 1, 6, 7, расположенных на предельно близком расстоянии друг от друга.
Таким образом, за счет диэлектрической направляющей 8 достигается независимое зондирование нескольких точек на подложке одновременно.
Применение предлагаемого технического решения устройства перемещения зонда для нанотехнологии позволяет зондировать точки, расположенные на близком расстоянии друг от друга.