КОММУТАЦИОННЫЙ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ РАДИОЧАСТОТНЫХ (RF) МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ (MEMS) И КОММУТАЦИОННАЯ ПЕРЕКЛЮЧАЮЩАЯ МАТРИЦА, СОДЕРЖАЩАЯ КОММУТАЦИОННЫЕ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ RF MEMS

1. Коммутационный переключатель (1) радиочастотных (RF) микроэлектромеханических систем (MEMS), содержащий первую передающую линию (10) и вторую передающую линию (11), которая пересекает первую передающую линию, причем первая передающая линия (10) содержит две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии и переключающий элемент (12), который постоянно электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) передающей линии, причем вторая передающая линия (11) пересекает первую передающую линию (10) между двумя отделенными друг от друга частями (100, 101) передающей линии, при этом коммутационный переключатель (1) RF MEMS дополнительно содержит средства (121) приведения в движение для приведения в движение переключающего элемента (12) по меньшей мере, между первым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а первая (10) и вторая (11) передающие линии электрически разъединены, и вторым положением, в котором переключающий элемент (12) электрически соединяет упомянутые две отделенные друг от друга части (100, 101) первой передающей линии (10), а также электрически соединяет друг с другом две передающие линии (10, 11).
2. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.1, в котором переключающий элемент (12) содержит гибкую мембрану (120a).
3. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.2, в котором гибкая мембрана (120a) поддерживается по меньшей мере одной опорой (120b), и мембрана (120a) и по меньшей мере одна опора (120b) образуют часть первой передающей линии (10).
4. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.3, в котором гибкая мембрана (120a) не закреплена и может свободно сдвигаться относительно по меньшей мере одной опоры (120b) во время своего изгибного движения.
5. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-3, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании.
6. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.5, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании с обоих концов и образует мост.
7. Коммутационный переключатель RF MEMS по п.5, в котором переключающий элемент (12) закреплен на основании только с одного конца и образует консольный переключающий элемент.
8. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором средства приведения в движение выполнены с возможностью изгибания переключающего элемента (12) вниз в нижнее принудительное состояние, соответствующее упомянутому второму положению.
9. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором средства приведения в движение выполнены с возможностью изгибания переключающего элемента (12) вверх в верхнее принудительное состояние, соответствующее упомянутому первому положению.
10. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором переключающий элемент (12) выполнен с возможностью обеспечения омического контакта со второй передающей линией (11).
11. Коммутационный переключатель RF MEMS по любому из пп.1-4, 6, 7, в котором переключающий элемент (12) выполнен с возможностью обеспечения емкостного соединения со второй передающей линией (11).
i
j
ij
12. Переключающая матрица RF MEMS, содержащая несколько строчных передающих линий (RF-R) и несколько столбцовых передающих линий (RF-C), которые пересекают строчные передающие линии, содержащая в каждой точке коммутации коммутационный переключатель (SW) RF MEMS по любому из пп. 1-11 формулы изобретения.
13. Использование переключающей матрицы RF MEMS по п.12 для маршрутизации RF сигналов.