Денис Мантуров осмотрел мощности производств оборудования для микроэлектроники

Заместитель Председателя Правительства – Министр промышленности и торговли Денис Мантуров совместно с президентом Российской академии наук академиком РАН Геннадием Красниковым посетил Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ) в Зеленограде.

Денис Мантуров осмотрел специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти, и отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180–90 нм.

Вице-премьер ознакомился с уникальной физико-химической аналитической лабораторией НИИМЭ для проведения исследований в области контроля качества технологических сред (жидкие среды, химреактивы). В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе – не более трёх.

Лаборатория занимается сертифицированием материалов, носящих общеотраслевой стратегический характер и необходимых для организации производства в микроэлектронной, фармацевтической, химической, биотехнологической и других отраслях промышленности, составлением технических требований и рекомендаций к их использованию, разрабатывает уникальные методики их аттестации.

Отдельно вице-премьер осмотрел участок НИИМЭ для подготовки химических реактивов, используемых в микроэлектронном производстве. Денису Мантурову продемонстрировали разработанное в рамках субсидии Минпромторга России на НИОКР оборудование и поставленный процесс серийного изготовления отечественных материалов для микроэлектронного производства.

Следующей точкой маршрута стала лаборатория перспективных технологических процессов НИИМЭ. Лаборатория занимается исследованиями и разработками новых технологий микроэлектроники, внедрением новых материалов в производство.