நுண்தொழில்நுட்பம்

**நுண்தொழினுட்பம்** *(Microtechnology)* என்பது மீட்டரில் மில்லியனில் ஒருபங்கு அளவு அல்லது நுண்மீட்டர் அளவு அல்லது 10−6 மீட்டர் அல்லது 1μm அளவில் செய்யப்படும் தொழினுட்பம் ஆகும்.

அறிவியலாளர்கள் 1970 வாக்கில் ஒரே சில்லில் பேரளவு எண்ணிக்கையில் நுண்ணளவு திரிதடையங்களை அணிப்படுத்தும் நுட்பம் கைவரப்பெற்றனர்; நுண்மின்னனியல் சுற்றதர்கள் உயர்செயல்திறம், நம்பகம் துல்லியமானக் கச்சிதத்துடன் குறைந்த செலவில் பெருந்திரளாகச் செய்யப்பட்டன. இது தகவல் புரட்சிக்கு வழிவகுத்தது.

மிக அண்மையில், அறிவியலாளர்கள் மின்கருவிகள் மட்டுமன்றி, எந்திரக் கருவிகளையும், நுண்ணிலையில் பெருந்திரளாகச் செய்யக் கற்று, தொகுசுற்றதர்த் தொழினுட்பம் போன்ற மின் உலகின் நலங்களை எந்திர உலகிலும் உறுதிப் படுத்தியுள்ளனர். இன்றைய வளர்ந்த அமைப்புகளுக்கும் பொருள்களுக்கும் மின்னணுவியல் மூளையாக அமைதலைப் போலவே, நுண் எந்திரக் கருவிகளும் உணர்களையும் செயலிகளையும் உருவாக்கிக் கண்,காது, கை,கால்களாக புற உலகில் செயல்படுகின்றன.

இன்று, தானூர்திக் காற்றுப்பைகள், மைத்தாரை அச்சுப்பொறிகள், குருதி அழுத்த கண்காணிப்பிகள், எறிகாட்சியமைப்புகள் போன்ற இக்காலத்துப் பலவகைப் பொருள்களின் அடிப்படை உறுப்புகளாக நுண் எந்திரக் கருவிகள் அமைகின்றன. இந்தக் கருவிகள் மின்னணுவியல் போலவே எங்கும் பயன்படும் காலம் மிகத்தொலைவில் இல்லை எனத் தோன்றுகிறது.

## நுண் மின்னெந்திர அமைப்புகள்

நுண் மின் எந்திர அமைப்புகள் (நுமிஎஅ-MEMS) எனும் சொல் 1980 களில் ஒற்றைச் சில்லில் அமைந்த புதிய நுட்பமான மின்னோடிகள், பல்லிணைகள் போன்ற நுண் மின் எந்திர அமைப்புகளுக்கான சுருக்கமாக உருவாக்கப்பட்டது. இன்று, நடைமுறையில் நுமிஎஅ- MEMS  எனும் சொல் எந்திரப் பணியைச் செய்யும் பெருந்திரளாக உருவாக்கப்படும் நுண்கருவிகளுக்கு வழங்குகிறது  (எடுத்துகாட்டாக,நுண்சில்லில் உருவாக்கப்படும்  நுண்ணளவுப் பல்லிணைகளின் அணி நுமிஎஅ- MEMS ஆக்க் கருதப்படும். ஆனால், ஒருங்கொளியால் எந்திரவினைக்கு ஆட்பட்ட அடைப்புநீகியோ கடிகார உறுப்போ அப்படி அழைக்கப்படுவதில்லை). ஐரோப்பாவில் நுண் அமைப்புத் தொழினுட்பம் (Micro System Technology) என்பதன் சுருக்கமாக மிஅதொ- MST எனும் சொல் வழக்கில் உள்ளது.யப்பானில் நுமிஎஅ- MEMS எனும் சொல் நுண்ணெந்திரம் என்றே வழங்குகிறது. இச்சொற்களின் வேறுபாடு பொருட்படுத்த்த் தக்கதல்ல. இவற்றில் எதை வேண்டுமானாலும் மாற்றிப் பயன்படுத்துதல் வழக்கில் உண்டு.

நுமிஎஅ- MEMS செயல்முறைகள் பொதுவாக, பரப்பு எந்திரவினை, தொகுதி எந்திரவினை லிகா(LIGA), மின்வேதியாக்கம் (EFAB)  எனப் பலவகைகளில் பகுக்கப்படுகின்றன; உண்மையில் பல ஆயிரம் வேறுபாடான நுமிஎஅ- MEMS  செயல்முறைகள் நடப்பில் உள்ளன. சில மிக எளிய வடிவியல் உருக்களைக் கொண்டுள்ளன; வேறு பிறவோ, சிக்கலான முப்பருமான வடிவியல் உருக்களையும் நுட்பங்களையும் பயன்படுத்துகின்றன..   காற்றுப்பைக்கான முடுக்கமானியைச் செய்யும் குழுமம், உறழ்மை நாவாயோட்டலுக்கான முடுக்கமானியைச் செய்யும் குழுமம் சார்ந்த வடிவமைப்பும் செயல்முறையும்  பின்பற்ற முடியாது. இரண்டு வெவ்வேறு வடிவமைப்பையும் செயல்முறையையும் பின்பற்றும். உறழ்மை நாவாயோட்டலுக்கான முடுக்கமானியில் இருந்து வேறு உறழ்மைக் கருவியான கொட்புநோக்கிக்கு மாறும்போது மேலும் பேரளவு மாற்றம் உள்ள வடிவமைப்பும் செயல்முறையும் தேவைப்படும்; மேலும், இதற்கு முற்றிலும் வேறான கோப்புமுறைகளும் பொறியியல் குழுவுங் கூட வேண்டியிருக்கலாம்.

நுண்தொழினுட்பம் ஒளியச்சிடல் முறையில் செயல்படுகிறது.  பொருளின் மேற்பரப்பில் ஒளியலைகள் மறைதிரை ஊடாக குவியச் செய்யப்படுகின்றன.  இவை வேதிப்படலத்தை திண்மையாக்குகின்றன.  படலத்தின் மென்மை வாய்ந்த ஒளியலை வீழாத பகுதி கரைத்து நீக்கப்படுகிறது.  பிறகு காப்பில்லாத பொருளை அமிலம் அரித்து வெளியேற்றுகிறது.

நுண்தொழில்நுட்பத்தின் அரிய வெற்றி தொகுசுற்றதர் உருவாக்கமே.  இம்முறை இன்று நுண்ணெந்திரங்களுக்கும் பயன்படுகின்றது.

## நுண்ணிலையில் செய்யப்படும் உறுப்படிகள்

ஒளியச்சிடல் முறையால் ஒரு நுண்மீட்டர் அளவில் பின்வரும் உறுப்படிகள் செய்யப்படுகின்றன:
* மின்னணுவியல்:
** கம்பிகள்
** தடையங்கள்
** திரிதடையம்
** வெம்மின்னணுக் கவாடங்கள்
** இருமுனையம்
** உணரிகள்
** கொண்மிகள்
* எந்திரங்கள்:
** மின்னோடிகள்
** பல்லிணைகள்
** நெம்புகள்
** தாங்கிகள்
** கீல்கள்
* பாய்மவியல்:
** கவாடங்கள்
** பலவகை உருவச் சட்டங்கள்
** எக்கிகள் (ஏற்றிகள்)
** சுழலிகள்

## மேற்கோள்கள்

## வெளி இணைப்புகள்

* Institute for Micromachine and Microfabrication Research at Simon Fraser University