Title: Optical inspection of microsystems
Subjects: Optical detectors, Optical methods, Quality control, Industrial applications, Microelectronics, Engineering inspection, Optical measurements, Interferometry, Qualité, Contrôle, Méthodes optiques, Détecteurs optiques, Microsystèmes électromécaniques, Dispositifs optoélectroniques, Contrôle technique, Automatisation, TECHNOLOGY & ENGINEERING, Industrial Engineering, MEMS, Mikrosystemtechnik, Optische Analyse