Title: Qualitätsbestimmende Prozeßparameter beim Einzelpulsbohren mit einem Nd:YAG-Slablaser
Description: Aus dem Inhalt: 1) Einleitung - Konventionelle Bohrverfahren - Laserstrahlbohren - Zielsetzung und Vorgehen 2) Physikalische Prozesse beim Laserstrahlbohren - Absorptionsmechanismen bei Metallen - Wärmeleitung und Aufheizvorgang - Materialabtrag durch Verdampfung und Schmelze 3) Experimentelle Versuchseinrichtung und Durchführung der Versuche - Aufbau des verwendeten Nd:YAG Slablasers - Leistungs- und Strahlqualitätsdaten - Strahlformung - Glasdüse und Prozeßgas - Versuchswerkstoff - Verfahren zur Ermittlung der Bohrlochgeometrie 4) Diagnoseverfahren beim Einzelpulsbohren - Versuchsaufbau zur Analyse der Bohrlochbildung - Beschreibung und Klassifizierung der Bohrlochbildung - Aussehen der Bohrungen - Phänomelogische Zuordnung der HeNe-Signale - Zusammenfassende Deutung der HeNe-Signale 5) Experimentelle Ergebnisse zum Einzelpulsbohren mit unmodulierten Laserpulsen - Grundsätzliche Zusammenhänge - Einfluß der Fokusgeometrie - Einfluß der Pulsdauer - Einfluß des Gasdrucks - Einfluß der Fokuslage - Einfluß der Intensität - Zusammenfassung der Ergebnisse für unmodulierte Laserpulse 6) Experimentelle Ergebnisse zum Einzelpulsbohren mit adaptierten Laserpulsen - Berechnete Austrittsdurchmesser - HeNe-Signale und Gesamtzeiten - Lochdurchmesser - Abtragsrate - Lochform und Qualität - Vergleich zwischen verschiedenen Laserpulsformen 7) Diskussion der Bohrergebnisse - Vergleich der Ergebnisse mit den bestehenden Bohrmodellen - Erklärungsmodell zum Bohrprozeß bei Durchgangsbohrungen - Optimale Bohrbedingungen 8) Zusammenfassung und Ausblick 9) Literaturverzeichnis Anhang.
Subjects: Laserbohren, Brewster-Winkel, Engineering, Neodym-YAG-Laser, Mikrosystemtechnik